JP2017186161A - Container storage facility - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a container storage facility in which a container is hardly affected by temperature rise of a mass flow controller and production cost of a gas supply device can be suppressed.SOLUTION: A gas supply device 3 comprises: plural connection parts 18 each of which is connected to a container W stored in a supply storage part 1a; pipelines 19 each of which supplies a gas to the respective connection parts 18; and a mass flow controller 20 for controlling a flow rate of a gas which is circulated in each pipeline 19. The pipelines 19 comprise, first pipelines 23 installed for each supply storage part 1a, a second pipeline 24 installed on an upstream side of the first pipelines 23, and a branch pipeline 26 for branching the gas supplied from the second pipeline 24 to the first pipelines 23. The mass flow controller 20 is installed on the second pipeline 24 and on an installation area E2.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、収納領域に複数設置されて容器を収納する収納部と、前記収納領域における前記複数の収納部の一部又は全部を供給収納部として、前記供給収納部に収納されている前記容器の内部に気体を供給する気体供給装置と、を備え、前記気体供給装置は、複数の前記供給収納部の夫々に対して設置され且つ前記供給収納部に収納された前記容器に接続される複数の接続部と、前記収納領域の外部に設置された供給源から供給される気体を前記複数の接続部に分岐供給する配管と、前記配管内を通流する気体の流量を制御するマスフローコントローラと、を備えた容器収納設備に関する。   The present invention provides a storage unit that is installed in a plurality of storage areas and stores containers, and the containers that are stored in the supply storage unit using a part or all of the plurality of storage units in the storage area as a supply storage unit. A plurality of gas supply devices that are installed in each of the plurality of supply storage units and connected to the containers stored in the supply storage units. A connection section, a pipe for branching and supplying a gas supplied from a supply source installed outside the storage area to the plurality of connection sections, and a mass flow controller for controlling the flow rate of the gas flowing through the pipe , And a container storage facility.

かかる容器収納設備の従来例が、特開２０１３−１３３１９３号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の容器収納設備では、１つの区画に属する複数の供給収納部により供給収納部群を構成して、気体供給装置は、供給収納部群を構成する２つ以上の供給収納部の夫々に対して第１配管を備えている。そして、特許文献１の気体供給装置は、第２配管から供給される気体を分岐配管により２つ以上の第１配管に分岐させて、２つ以上の第１配管により、供給収納部群を構成する２つ以上の供給収納部の夫々に対して気体を供給する。
そして、特許文献１の容器収納設備では、気体供給装置におけるマスフローコントローラは、２つ以上の第１配管の夫々における流路上に設置されており、このマスフローコントローラは収納部が設置されている収納領域に設置されている。具体的には、マスフローコントローラは、収納部に容器が収納された場合に当該容器の横側方に隣接する位置に設置されている。 A conventional example of such a container storage facility is described in JP2013-133193A (Patent Document 1). In the container storage facility of Patent Document 1, a supply storage unit group is configured by a plurality of supply storage units belonging to one section, and the gas supply device includes two or more supply storage units that configure the supply storage unit group. In contrast, a first pipe is provided. And the gas supply apparatus of patent document 1 branches the gas supplied from 2nd piping into 2 or more 1st piping by branch piping, and comprises a supply storage part group by 2 or more 1st piping. The gas is supplied to each of the two or more supply storage units.
And in the container storage equipment of patent document 1, the mass flow controller in a gas supply apparatus is installed on the flow path in each of two or more 1st piping, and this mass flow controller is a storage area in which the storage part is installed. Is installed. Specifically, the mass flow controller is installed at a position adjacent to the lateral side of the container when the container is stored in the storage unit.

特開２０１３−１３３１９３号公報JP 2013-133193 A

上記した従来の容器収納設備では、収納部が設置されている収納領域にマスフローコントローラが設置されているため、マスフローコントローラの温度が上昇した場合に、その温度上昇の影響が、収納部に収納されている容器、特に、容器に収容されている収容物に影響を与えてしまう可能性がある。
また、第１配管は、複数の供給収納部の夫々に対して設置されているが、その複数の第１配管の夫々にマスフローコントローラが設置されているため、マスフローコントローラの設置数が多く、気体供給装置の製造コストが高くなっていた。 In the conventional container storage equipment described above, since the mass flow controller is installed in the storage area where the storage unit is installed, when the temperature of the mass flow controller rises, the effect of the temperature increase is stored in the storage unit. It may affect the containers that are being stored, especially the items contained in the containers.
Moreover, although the 1st piping is installed with respect to each of several supply accommodating parts, since the mass flow controller is installed in each of the several 1st piping, there are many installation numbers of mass flow controllers, and gas The manufacturing cost of the supply device was high.

そこで、収納領域の容器がマスフローコントローラの温度上昇の影響を受け難く、しかも、気体供給装置の製造コストを抑えることができる容器収納設備が求められる。   Accordingly, there is a need for a container storage facility in which the containers in the storage area are not easily affected by the temperature increase of the mass flow controller, and the manufacturing cost of the gas supply device can be reduced.

本発明に係る容器収納設備の特徴構成は、収納領域に複数設置されて容器を収納する収納部と、前記収納領域における前記複数の収納部の一部又は全部を供給収納部として、前記供給収納部に収納されている前記容器の内部に気体を供給する気体供給装置と、を備え、前記気体供給装置は、複数の前記供給収納部の夫々に対して設置され且つ前記供給収納部に収納された前記容器に接続される複数の接続部と、前記収納領域の外部に設置された供給源から供給される気体を前記複数の接続部に分岐供給する配管と、前記配管内を通流する気体の流量を制御するマスフローコントローラと、を備えた容器収納設備において、
前記配管は、前記複数の供給収納部の一部又は全部により構成される供給収納部群に対して、前記供給収納部群を構成する２つ以上の前記供給収納部の夫々に対して設置された２つ以上の第１配管と、気体の通流方向において前記２つ以上の第１配管より上流側に設置された単一の流路を形成する第２配管と、前記第２配管から供給される気体を前記２つ以上の第１配管に分岐させる分岐配管と、を備え、前記マスフローコントローラは、前記第２配管における前記単一の流路上に設置され、前記収納領域の外部に設定された設置領域に、前記マスフローコントローラが設置されている点にある。 The container storage facility according to the present invention is characterized in that a plurality of storage units that are installed in a storage region and store containers, and a part or all of the plurality of storage units in the storage region are used as a supply storage unit. A gas supply device for supplying a gas to the inside of the container housed in a portion, wherein the gas supply device is installed for each of the plurality of supply storage portions and stored in the supply storage portion. A plurality of connection parts connected to the container, a pipe for branching and supplying a gas supplied from a supply source installed outside the storage area to the plurality of connection parts, and a gas flowing through the pipe In a container storage facility comprising a mass flow controller for controlling the flow rate of
The said piping is installed with respect to each of the two or more said supply storage parts which comprise the said supply storage part group with respect to the supply storage part group comprised by a part or all of these supply storage parts. Two or more first pipes, a second pipe forming a single flow path installed upstream of the two or more first pipes in the gas flow direction, and a supply from the second pipe A branch pipe for branching the gas to be branched into the two or more first pipes, and the mass flow controller is installed on the single flow path in the second pipe and is set outside the storage area. The mass flow controller is installed in the installation area.

この特徴構成によれば、第２配管にマスフローコントローラを設置することで、供給収納部群を構成する複数の供給収納部に対して１つのマスフローコントローラを設けることとなる。そのため、マスフローコントローラの設置数を減らすことができ、気体供給装置の製造コストを抑えることができる。また、このように第１配管より上流側に位置する第２配管にマスフローコントローラを設けることで、マスフローコントローラを収納部から離れた位置に設置し易く、そのマスフローコントローラを、複数の収納部が備えられる収納領域の外部に設定された領域に設けることで、マスフローコントローラの温度が上昇した場合でも、その温度上昇の影響を、収納部に収納されている容器が受け難くできる。   According to this characteristic configuration, by installing a mass flow controller in the second pipe, one mass flow controller is provided for a plurality of supply storage units constituting the supply storage unit group. Therefore, the number of mass flow controllers installed can be reduced, and the manufacturing cost of the gas supply device can be suppressed. In addition, by providing the mass flow controller in the second pipe positioned upstream from the first pipe in this way, the mass flow controller can be easily installed at a position away from the storage unit, and the plurality of storage units includes the mass flow controller. By providing it in a region set outside the storage region, even if the temperature of the mass flow controller rises, the container stored in the storage unit can hardly receive the influence of the temperature increase.

ここで、前記複数の収納部は、上下方向に並べて配置され、前記複数の収納部の夫々は、前記容器の底面部を下方から支持する支持部を備え、前記複数の収納部における最下段の前記収納部に備えられている前記支持部より下方に前記設置領域が設定されていると好適である。   Here, the plurality of storage portions are arranged side by side in the vertical direction, and each of the plurality of storage portions includes a support portion that supports the bottom surface portion of the container from below, and is provided at the lowest level of the plurality of storage portions. It is preferable that the installation area is set below the support part provided in the storage part.

この構成によれば、最下段の収納部に備えられている支持部より下方の空き空間を利用して、マスフローコントローラを設置できる。説明を加えると、例えば、収納部に対してスタッカークレーンが容器を搬送する場合に、最下段の収納部に対して容器を搬送できるように、最下段の収納部に備えられている支持部は、スタッカークレーンが搬送できる高さに設置される。このような場合では、最下段の収納部に備えられている支持部の下方に空き空間が形成されている場合が多い。マスフローコントローラを最下段の収納部に備えられている支持部の下方に設置することで、マスフローコントローラを空き空間を利用して設置できる。
また、容器収納設備には、収納領域内の気体を下方に流動させる気流発生装置を設置してダウンフローが生じている場合があり、このようにダウンフローが生じている場合では、マスフローコントローラの温度上昇により温度が上昇した周囲の気体は上方に流動し難くなるため、マスフローコントローラより上方に設置されている収納部に収納されている容器が、マスフローコントローラの温度上昇による熱の影響を受け難くなる。 According to this structure, a mass flow controller can be installed using the empty space below the support part provided in the lowermost storage part. For example, when the stacker crane transports a container to the storage unit, the support unit provided in the lowermost storage unit is configured so that the container can be transported to the lowermost storage unit. The stacker crane is installed at a height that can be transported. In such a case, a vacant space is often formed below the support part provided in the lowermost storage part. By installing the mass flow controller below the support portion provided in the lowermost storage unit, the mass flow controller can be installed using an empty space.
In addition, in the container storage facility, there may be a case where a downflow occurs due to the installation of an air flow generator that causes the gas in the storage area to flow downward. The surrounding gas whose temperature has risen due to the temperature rise is less likely to flow upward, so that the container housed in the housing portion installed above the mass flow controller is not easily affected by heat due to the temperature rise of the mass flow controller. Become.

また、前記収納領域と前記設置領域とに亘って領域内の気体を下方に流動させる気流発生装置を備えていると好適である。   In addition, it is preferable that an airflow generation device is provided that causes the gas in the region to flow downward across the storage region and the installation region.

この構成によれば、気流発生装置により、収納領域と設置領域とに亘って領域内の気体が下方に流動するダウンフローが発生しているため、マスフローコントローラの温度上昇により温度が上昇した周囲の気体は上方に流動し難くなり、マスフローコントローラより上方に設置されている収納部に収納されている容器が、マスフローコントローラの温度上昇による熱の影響を受け難くなる。   According to this configuration, since the downflow in which the gas in the region flows downward between the storage region and the installation region is generated by the air flow generation device, the surroundings where the temperature has increased due to the temperature increase of the mass flow controller are generated. The gas is less likely to flow upward, and the container stored in the storage unit installed above the mass flow controller is less likely to be affected by heat due to the temperature rise of the mass flow controller.

また、前記供給収納部群を構成する前記２つ以上の供給収納部が、上下方向にのみ並べて配置されていると好適である。   In addition, it is preferable that the two or more supply storage units constituting the supply storage unit group are arranged side by side only in the vertical direction.

この構成によれば、配管により気体が供給される２つ以上の供給収納部は、上下方向に並んでいる。そして、その２つ以上の供給収納部に気体を供給する配管は、主に上下方向に延びる状態で設置されるため、配管における水平方向に延びる部分は比較的少ない。そのため、配管がダウンフローの邪魔になり難く、気流発生装置により適切に気体を流動させ易くなる。   According to this structure, the two or more supply accommodating parts to which gas is supplied by piping are arranged in the up-down direction. And since the piping which supplies gas to the 2 or more supply storage part is installed in the state extended mainly in the up-down direction, the part extended in the horizontal direction in piping is comparatively few. Therefore, the piping is unlikely to interfere with the downflow, and the gas can be easily flowed appropriately by the airflow generator.

また、前記複数の収納部は、上下方向及びこの上下方向と直交する横方向に並べて配置され、前記収納部に前記容器を搬送するスタッカークレーンを備え、前記スタッカークレーンは、前記横方向に走行する走行台車と、前記走行台車に立設されたマストと、前記マストに沿って上下方向に移動し且つ自己から前記収納部に前記容器を移載する移載装置と、を備え、前記最下段の収納部に備えられている前記支持部より下方に、前記走行台車の少なくとも一部が位置していると好適である。   The plurality of storage units are arranged side by side in a vertical direction and a horizontal direction orthogonal to the vertical direction, and include a stacker crane that conveys the container to the storage unit, and the stacker crane travels in the horizontal direction. A traveling carriage; a mast erected on the traveling carriage; and a transfer device that moves up and down along the mast and transfers the container from the container to the storage unit. It is preferable that at least a part of the traveling carriage is located below the support part provided in the storage part.

この構成によれば、最下段の収納部に備えられて支持部は、その下方にスタッカークレーンの走行台車の少なくとも一部が位置する高さに設置されているため、最下段の収納部に備えられている支持部の下方に、空き空間が形成され易い。そして、マスフローコントローラを最下段の収納部に備えられている支持部の下方に設置することで、マスフローコントローラを空き空間を利用して設置できる。   According to this configuration, the support unit provided in the lowermost storage unit is installed at a height at which at least a part of the traveling cart of the stacker crane is positioned below, so the support unit is provided in the lowermost storage unit. An empty space is easily formed below the supported support portion. And a mass flow controller can be installed using an empty space by installing a mass flow controller under the support part with which the lowermost storage part is equipped.

また、前記気体供給装置は、前記第１配管の夫々にオリフィスを備えていると好適である。   The gas supply device preferably includes an orifice in each of the first pipes.

この構成によれば、第１配管の夫々にオリフィスを備えているため、第２配管から供給される気体を、供給収納部群を構成する２つ以上の供給収納部の夫々に対して気体を均等に供給し易くなる。   According to this configuration, since each of the first pipes is provided with an orifice, the gas supplied from the second pipe is supplied to each of the two or more supply storage parts constituting the supply storage part group. It becomes easy to supply evenly.

また、前記容器が、レチクルを収納する容器であって、前記気体供給装置により前記容器の内部に供給される気体が、前記収納部の気体に比べて湿度が低い気体であると好適である。   In addition, it is preferable that the container is a container for storing a reticle, and the gas supplied into the container by the gas supply device is a gas having a lower humidity than the gas in the storage unit.

この構成によれば、容器に収容されているレクチルが、マスフローコントローラが発する熱の影響を受け難くできる。また、第２配管にマスフローコントローラを設置して供給収納部群を構成する複数の供給収納部に対して１つのマスフローコントローラを設置した場合では、第１配管にマスフローコントローラを設置して供給収納部群を構成する複数の供給収納部の夫々に対してマスフローコントローラを設置した場合に比べて、複数の供給収納部に供給される気体の供給量の変動が大きくなり易い。しかし、一般的に、容器にレチクルを収容している場合では、半導体ウェハ等を収容している場合に比べて、容器に対する気体の供給量の変動の許容値が大きい。そのため、供給収納部群を構成する複数の供給収納部に対して１つのマスフローコントローラを設けた場合でも、供給量の変動が許容値以内に収まり易い。   According to this configuration, the reticle that is accommodated in the container can be hardly affected by the heat generated by the mass flow controller. Further, when one mass flow controller is installed for a plurality of supply storage units constituting the supply storage unit group by installing the mass flow controller in the second pipe, the mass storage controller is installed in the first pipe. Compared with the case where a mass flow controller is installed for each of the plurality of supply storage units constituting the group, the variation in the amount of gas supplied to the plurality of supply storage units tends to increase. However, generally, when the reticle is accommodated in the container, the allowable value of the variation in the amount of gas supplied to the container is larger than when the semiconductor wafer or the like is accommodated. Therefore, even when one mass flow controller is provided for a plurality of supply storage units constituting the supply storage unit group, fluctuations in the supply amount are likely to be within an allowable value.

また、前記収納領域の側周囲を気体の通流を規制するように覆う壁体を備え、前記壁体は、気体の通流を規制する設置床に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向に沿う姿勢で設置されると共に気体の通流を規制する主壁部、を備え、上下方向に見て前記主壁部の厚み方向において、前記主壁部に対して前記収納領域が存在する方向を第１方向、前記第１方向とは反対の方向を第２方向とし、前記主壁部の上端に、前記主壁部の上方から気体を前記収納領域に流入させる流入口が形成され、前記マスフローコントローラは、前記主壁部の下端と前記設置床との間で且つ上下方向に見て前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置するように設置されていると好適である。   Further, a wall body is provided so as to restrict the gas flow around the side of the storage area, and the wall body is vertically moved to a position spaced above the installation floor for restricting the gas flow. A main wall portion that is installed in a posture along the direction and restricts the flow of gas, and the storage region exists with respect to the main wall portion in the thickness direction of the main wall portion when viewed in the vertical direction. The direction is the first direction, the direction opposite to the first direction is the second direction, and an inflow port is formed at the upper end of the main wall portion to allow gas to flow into the storage area from above the main wall portion, The mass flow controller is installed between a lower end of the main wall and the installation floor so that at least a part of the mass flow controller is positioned in the second direction from the main wall as viewed in the vertical direction. It is preferable that

この構成によれば、主壁部の上端に形成された流入口から壁体の内部に流入した気体は、壁体の内部における収納領域を下方に流動した後、主壁部と設置床との間から第２方向に流動して壁体の外部に流出する。そして、マスフローコントローラを、主壁部の下端と設置床との間で且つ上下方向に見てマスフローコントローラの少なくとも一部が主壁部より第２方向に位置するように設置することで、マスフローコントローラを収納領域に対して気体の流れの下流側に設置できる。そのため、マスフローコントローラにより熱せられたマスフローコントローラの周囲の気体が収納領域に流動し難く、マスフローコントローラにより熱せられた気体により収納部に収納された容器が加熱されることを抑制できる。   According to this configuration, the gas that has flowed into the wall body from the inlet formed at the upper end of the main wall portion flows downward in the storage area inside the wall body, and then the gas flows between the main wall portion and the installation floor. It flows in the second direction from the outside and flows out of the wall body. The mass flow controller is installed so that at least a part of the mass flow controller is positioned in the second direction from the main wall portion between the lower end of the main wall portion and the installation floor and viewed in the vertical direction. Can be installed downstream of the gas flow with respect to the storage area. Therefore, it is difficult for the gas around the mass flow controller heated by the mass flow controller to flow into the storage area, and the container stored in the storage unit can be suppressed from being heated by the gas heated by the mass flow controller.

また、前記壁体は、前記主壁部に加えて、前記設置床に対して上方に間隔を空けた位置に前記設置床に沿って設置されると共に気体の通流を規制する副壁部を備え、前記収納領域と前記副壁部より下方の前記設置領域とが連通し、前記副壁部における前記第２方向の端部の下方に、前記設置領域から前記副壁部の前記第２方向に気体を流出させる流出口が形成され、前記副壁部における前記第１方向の部分が、前記副壁部と前記主壁部との間を気体の通流を規制する状態で前記主壁部における下端に接続され、前記マスフローコントローラは、前記副壁部と前記設置床との間で且つ前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置し且つ前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記副壁部における前記第１方向の端部より前記第１方向に位置するように設置されていると好適である。   Further, in addition to the main wall portion, the wall body is installed along the installation floor at a position spaced upward from the installation floor and has a sub-wall portion that regulates gas flow. The storage area communicates with the installation area below the sub-wall part, and the second direction of the sub-wall part extends from the installation area below the end in the second direction of the sub-wall part. An outlet for allowing gas to flow out is formed, and the portion in the first direction of the sub-wall portion regulates the flow of gas between the sub-wall portion and the main wall portion. The mass flow controller is connected between the sub-wall portion and the installation floor, and at least a part of the mass flow controller is positioned in the second direction from the main wall portion, and at least the mass flow controller. A part of the secondary wall Serial it is preferable to be installed so as to be positioned in the first direction from an end portion of the first direction.

この構成によれば、壁体の内部の収納領域を下方に流動した気体は、主壁部と設置床との間から第２方向に流動し、副壁部の直下に形成された収納領域を流れた後、副壁部の端部の下方に形成された流出口から壁体の外部に流出される。つまり、壁体内の空気を、主壁部から直接に壁体の外部に流出させるのではなく、副壁部を設けることで形成された設置領域を流動させてから壁部の外部に流出させることで、設置領域を流動している間に気体が撹拌される。
説明を加えると、例えば、収納棚に収納されている物品が半導体基板を収容する容器である場合に、容器内に充満している窒素ガス等の不活性気体が容器から流出する場合がある。このように容器からガスが発生した場合に、そのガスの濃度が局所的に高くなる場合があり、換言すれば、酸素の濃度が局所的に低くなる場合がある。しかし、壁体内の空気を、副壁部を設けることで形成された設置領域を流動させて、この設置領域で気体を撹拌させてから壁体の外部に流出させることで、流出口から流出する気体の酸素濃度の均一化を図ることができる。 According to this configuration, the gas that has flowed downward in the storage region inside the wall body flows in the second direction from between the main wall portion and the installation floor, and the storage region formed immediately below the sub-wall portion. After flowing, it flows out of the wall from an outlet formed below the end of the sub-wall. In other words, the air in the wall is not allowed to flow directly out of the wall from the main wall, but is allowed to flow out of the wall after flowing through the installation area formed by providing the sub-wall. Thus, the gas is agitated while flowing in the installation area.
In other words, for example, when an article stored in the storage shelf is a container for storing a semiconductor substrate, an inert gas such as nitrogen gas filled in the container may flow out of the container. When gas is generated from the container in this way, the concentration of the gas may be locally increased, in other words, the concentration of oxygen may be locally decreased. However, the air in the wall flows out of the outlet by flowing through the installation area formed by providing the sub-wall portion, stirring the gas in this installation area, and then flowing out of the wall. It is possible to make the oxygen concentration of the gas uniform.

また、前記壁体は、清浄空気を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井の直下に設置され、作業者が歩行可能で且つ上下方向に通気可能な作業床を前記副壁部より上方に更に備え、前記副壁部は、前記作業床と上下方向に並ぶ状態で設置され、前記作業床における前記副壁部と上下方向に並ぶ部分は、前記副壁部により上下方向への通気が規制されていると好適である。   Further, the wall body is installed immediately below the ceiling provided with an outflow portion for flowing clean air downward, and a work floor that allows an operator to walk and vent in the vertical direction is provided from the sub-wall portion. The sub-wall portion is installed in a state of being vertically aligned with the work floor, and a portion of the work floor that is lined up and down with the sub-wall portion is vertically vented by the sub-wall portion. Is preferably regulated.

この構成によれば、作業床は、設置床に対して上方に間隔を空けた位置に設置された副壁部よりも更に上方に設置されているため、収納棚における高い部分に対して作業者が作業を行うことができる。そして、作業床の下方の空間を利用して設置領域を形成できるために、周囲の邪魔になり難い状態で設置領域を形成することができる。
さらに、作業床における副壁部と上下方向に並ぶ部分は、副壁部の存在により通気が規制されるため、収納棚の近くにおいて作業床から気体が流出することを防止できる。そのため、収納棚に対して物品の出し入れ作業を行う作業者が壁体の近くに存在していたとしても、その作業者が存在している箇所よりも第２方向の箇所で気体が上方に流動することとなるので、流出した気体による作業者への影響を抑えることができる。 According to this configuration, since the work floor is installed further above the sub-wall part installed at a position spaced above the installation floor, the worker can work with respect to a high part in the storage shelf. Can do the work. And since an installation area | region can be formed using the space under a work floor, an installation area | region can be formed in the state which does not become obstructive of the circumference | surroundings.
Furthermore, since the ventilation of the portion of the work floor that is aligned with the sub-wall portion in the vertical direction is restricted by the presence of the sub-wall portion, it is possible to prevent gas from flowing out of the work floor near the storage shelf. Therefore, even if there is an operator who takes in and out the article with respect to the storage shelf near the wall body, the gas flows upward at a location in the second direction from the location where the operator exists. As a result, the influence of the outflowed gas on the worker can be suppressed.

第１実施形態における容器収納設備の正面図Front view of container storage facility in the first embodiment 第１実施形態における容器収納設備の側面図Side view of container storage facility in the first embodiment 第１実施形態における供給収納部群に対する配管を示した図The figure which showed the piping with respect to the supply storage part group in 1st Embodiment. 第１実施形態における容器の側面図Side view of container in first embodiment 第２実施形態における容器収納設備の正面図Front view of container storage facility in the second embodiment

〔第１実施形態〕
以下、本発明にかかる容器収納設備の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、容器収納設備は、容器Ｗを収納する収納棚１と、容器Ｗを搬送するスタッカークレーン２と、気体供給装置３と、を備えている。また、容器収納設備には、収納棚１やスタッカークレーン２が設置される収納領域Ｅ１の側周囲を覆う壁体Ｋと、壁体Ｋを貫通する状態で設置されて容器Ｗを搬送する搬送コンベヤ４と、が備えられている。 [First Embodiment]
Hereinafter, a container storage facility according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the container storage facility includes a storage shelf 1 that stores containers W, a stacker crane 2 that transports the containers W, and a gas supply device 3. Further, in the container storage facility, a wall body K that covers the periphery of the storage area E1 where the storage rack 1 and the stacker crane 2 are installed, and a transport conveyor that is installed in a state of penetrating the wall body K and transports the containers W 4 are provided.

収納棚１には、容器Ｗを収納可能な複数の収納部１ａが備えられている。気体供給装置３は、収納部１ａに収納されている容器Ｗの内部に、気体としてのクリーンドライエアー（以下、ドライエアーと略称する）を供給するように構成されている。つまり、気体供給装置３により容器Ｗの内部に供給される気体は、収納部１ａの気体に比べて湿度が低い気体となっている。
容器Ｗは、１枚の基板を収容可能に構成されている。本実施形態では、基板をレチクルとし、容器Ｗを、レチクルを収納する容器Ｗとしている。 The storage shelf 1 is provided with a plurality of storage portions 1a capable of storing the containers W. The gas supply device 3 is configured to supply clean dry air (hereinafter, abbreviated as dry air) as a gas into the container W stored in the storage unit 1a. That is, the gas supplied into the container W by the gas supply device 3 is a gas whose humidity is lower than that of the gas in the storage portion 1a.
The container W is configured to be able to accommodate one substrate. In this embodiment, the substrate is a reticle, and the container W is a container W that stores the reticle.

搬送コンベヤ４は、壁体Ｋの外側に位置する外部箇所と壁体Ｋの内側に位置する内部箇所との間で容器Ｗを搬送するように設置されている。高い位置に設置されている搬送コンベヤ４の外部箇所に対しては、天井搬送車（図示せず）が容器Ｗの載せ降しを行い、低い位置に設置されている搬送コンベヤ４の外部箇所に対しては、作業者が容器Ｗの載せ降しを行うように、搬送コンベヤ４は高い位置と低い位置とに設置されている。尚、低い位置に設置されている搬送コンベヤ４は図示していない。
そして、スタッカークレーン２は、搬送コンベヤ４の内部箇所から収納棚１の収納部１ａに容器Ｗを搬送し、収納棚１の収納部１ａから搬送コンベヤ４の内部箇所に容器Ｗを搬送する。 The conveyor 4 is installed so as to transport the containers W between an external location located outside the wall body K and an internal location located inside the wall body K. An overhead conveyance vehicle (not shown) loads and unloads the container W on the external part of the conveyor 4 installed at a high position, and the external part of the conveyor 4 installed at a low position. On the other hand, the conveyance conveyor 4 is installed in the high position and the low position so that an operator may load and unload the container W. In addition, the conveyance conveyor 4 installed in the low position is not illustrated.
And the stacker crane 2 conveys the container W from the internal location of the conveyance conveyor 4 to the storage part 1a of the storage shelf 1, and conveys the container W from the storage part 1a of the storage shelf 1 to the internal location of the conveyance conveyor 4.

容器収納設備は、内部領域Ｅを天井側から床側に向けて空気（気体）が下方に流動するダウンフロー式のクリーンルーム内に設置されている。説明を加えると、収納領域Ｅ１の真上には、下方に向けて気体を送風する送風ファン５が設置されている。この送風ファン５の送風作用により、収納領域Ｅ１及び設置領域Ｅ２を天井側から床側に向けて気体が下方に流動する。尚、送風ファン５が、収納領域Ｅ１と設置領域Ｅ２とに亘って領域内の気体を下方に流動させる気流発生装置に相当する。   The container storage facility is installed in a downflow clean room in which air (gas) flows downward with the internal region E directed from the ceiling side to the floor side. If it demonstrates, the ventilation fan 5 which ventilates gas will be installed directly above the storage area E1. Due to the blowing action of the blower fan 5, the gas flows downward from the storage area E <b> 1 and the installation area E <b> 2 toward the floor side from the ceiling side. Note that the blower fan 5 corresponds to an airflow generator that causes the gas in the region to flow downward across the storage region E1 and the installation region E2.

クリーンルームの床部Ｆは、下床部Ｆ１と、下床部Ｆ１よりも上側に配設された上床部Ｆ２とにより構成されている。下床部Ｆ１は、通気孔を有さない床であり、本実施形態では、無孔状のコンクリートによって構成されており、スタッカークレーン２はこの下床部Ｆ１上を走行する。上床部Ｆ２は、グレーチング床であり、上下方向Ｙに貫通する通気孔が複数形成されており、作業者はこの上床部Ｆ２上を歩行する。尚、上床部Ｆ２は、下天井部Ｃ２より下方に設置され且つ下床部Ｆ１より上方に設置されて、上下方向Ｙに気体を通気可能に構成された作業床に相当する。   The floor part F of the clean room is composed of a lower floor part F1 and an upper floor part F2 disposed above the lower floor part F1. The lower floor part F1 is a floor which does not have a ventilation hole, and is comprised by the non-porous concrete in this embodiment, and the stacker crane 2 drive | works on this lower floor part F1. The upper floor portion F2 is a grating floor, and a plurality of ventilation holes penetrating in the vertical direction Y are formed, and the worker walks on the upper floor portion F2. The upper floor portion F2 corresponds to a work floor that is installed below the lower ceiling portion C2 and above the lower floor portion F1 and configured to allow gas to flow in the vertical direction Y.

以下、収納棚１の長手方向（スタッカークレーン２が走行する走行方向）に見て、収納棚１とスタッカークレーン２とが並ぶ方向を前後方向Ｘとし、収納棚１に対してスタッカークレーン２が存在する方向を内方Ｘ１とし、その反対方向を外方Ｘ２として説明する。尚、前後方向Ｘが、上下方向Ｙに見て床上壁３１の厚み方向となる。また、内方Ｘ１が、床上壁３１に対して収納領域Ｅ１が存在する方向である第１方向となり、外方Ｘ２が、第１方向とは反対の方向の第２方向となる。また、壁体Ｋにより覆われる領域と上床部Ｆ２より下方の領域とが内部領域Ｅである。   Hereinafter, the direction in which the storage shelf 1 and the stacker crane 2 are arranged in the longitudinal direction of the storage shelf 1 (traveling direction in which the stacker crane 2 travels) is defined as the front-rear direction X, and the stacker crane 2 exists with respect to the storage shelf 1. The direction to be performed will be described as inner X1, and the opposite direction as outer X2. The front-rear direction X is the thickness direction of the floor wall 31 when viewed in the vertical direction Y. Further, the inner side X1 is a first direction in which the storage area E1 is present with respect to the floor wall 31, and the outer side X2 is a second direction opposite to the first direction. An area covered by the wall body K and an area below the upper floor portion F2 are the internal area E.

壁体Ｋは、収納領域Ｅ１の側周囲を空気の通流を規制するように覆っている。壁体Ｋは、床上壁３１と床下壁３２とを備えており、床上壁３１は、上床部Ｆ２の上面より上方で且つ天井Ｃより下方に位置している。床下壁３２は、上床部Ｆ２の上面より下方で且つ下床部Ｆ１より上方に位置している。
図１に示すように、床下壁３２は、四角筒状に形成された４面の床下壁部３２ａを備えている。床下壁部３２ａには、床下壁部３２ａの内方Ｘ１から外方Ｘ２に空気を流出させる流出口（図示せず）が形成されている。 The wall body K covers the periphery of the storage area E1 so as to restrict the flow of air. The wall body K includes an upper floor wall 31 and a lower floor wall 32, and the upper floor wall 31 is located above the upper surface of the upper floor portion F2 and below the ceiling C. The underfloor wall 32 is located below the upper surface of the upper floor portion F2 and above the lower floor portion F1.
As shown in FIG. 1, the underfloor wall 32 includes four underfloor wall portions 32a that are formed in a square tube shape. The underfloor wall portion 32a is formed with an outlet (not shown) through which air flows out from the inner side X1 to the outer side X2 of the underfloor wall portion 32a.

床上壁３１は、四角筒状に形成された４面の床上壁部３１ａに加えて、上面を形成する上壁部３１ｂを備えている。床上壁部３１ａは、収納領域Ｅ１の側周囲を空気の通気を規制する状態で設置されている。尚、図１には、前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床上壁部３１ａと、前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床上壁部３１ａと、上面を形成する上壁部３１ｂと、が示されている。   The upper floor wall 31 includes an upper wall portion 31b that forms an upper surface in addition to four floor upper wall portions 31a formed in a square cylinder shape. The floor upper wall portion 31a is installed in a state of restricting air ventilation around the side of the storage area E1. FIG. 1 shows a floor upper wall portion 31a that closes one direction in the front-rear direction X, a floor upper wall portion 31a that closes the other direction in the front-rear direction X, and an upper wall portion 31b that forms the upper surface. .

床上壁３１の上端に、床上壁３１の上方から空気を収納領域Ｅ１に流入させる流入口３３が形成されている。説明を加えると、床上壁３１の上端には、床上壁３１の上面を形成する上壁部３１ｂが備えられており、その上壁部３１ｂの一部に上下方向Ｙに空気の通流を許容する流入口３３が形成されている。送風ファン５は、その流入口３３を塞ぐように上壁部３１ｂに設置されている。尚、床上壁３１が、下床部Ｆ１に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向Ｙに沿う姿勢で設置された主壁部に相当する。
そして、送風ファン５の送風作用により壁体Ｋの上端に形成された流入口３３から壁体Ｋの内部に流入した空気は、壁体Ｋ内の収納領域Ｅ１を上方から下方に流動した後、壁体Ｋの床下壁部３２ａに形成された流出口から壁体Ｋの外部に流出するようになっている。 An inlet 33 is formed at the upper end of the floor wall 31 to allow air to flow into the storage area E1 from above the floor wall 31. In other words, the upper end of the upper floor wall 31 is provided with an upper wall portion 31b that forms the upper surface of the upper floor wall 31, and air flow in the vertical direction Y is allowed in a part of the upper wall portion 31b. An inflow port 33 is formed. The blower fan 5 is installed on the upper wall portion 31 b so as to close the inlet 33. The upper floor wall 31 corresponds to a main wall portion installed in a posture along the vertical direction Y at a position spaced upward from the lower floor portion F1.
And after the air which flowed into the inside of wall body K from the inflow port 33 formed in the upper end of wall body K by the air blowing action of blower fan 5 flows in storage area E1 in wall body K from the upper part to the lower part, It flows out of the wall body K from the outlet formed in the underfloor wall portion 32a of the wall body K.

〔容器〕
図４に示すように、容器Ｗの底部には、給気部６と排気部７とを備えている。給気部６は、気体供給装置３の接続部１８から吐出されたドライエアーを容器Ｗの内部に給気するための部分である。給気部６には、給気用開閉弁（図示せず）が備えられている。また、排気部７は、容器Ｗの内部の気体を容器Ｗの外部に排気するための部分である。排気部７には、排気用開閉弁（図示せず）が備えられている。 〔container〕
As shown in FIG. 4, an air supply unit 6 and an exhaust unit 7 are provided at the bottom of the container W. The air supply unit 6 is a part for supplying dry air discharged from the connection unit 18 of the gas supply device 3 into the container W. The air supply unit 6 is provided with an air supply on-off valve (not shown). The exhaust unit 7 is a part for exhausting the gas inside the container W to the outside of the container W. The exhaust unit 7 is provided with an exhaust on-off valve (not shown).

給気部６の給気用開閉弁は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、給気部６に気体供給装置３の接続部１８が接続された状態で、その接続部１８からドライエアーが噴出されると、その噴出したドライエアーの圧力により給気用開閉弁が開き操作されて、ドライエアーが給気部６から容器Ｗの内部に供給される。また、排気部７の排気用開閉弁は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、気体供給装置３によるドライエアーの供給により容器Ｗの内部の圧力が高まるとその圧力により排気用開閉弁が開き操作されて、容器Ｗの内部の気体が排気部７から排気される。   The air supply on / off valve of the air supply unit 6 is urged in a closed state by an urging body such as a spring, and the connection is made in a state where the connection unit 18 of the gas supply device 3 is connected to the air supply unit 6. When dry air is ejected from the portion 18, the air supply on / off valve is opened by the pressure of the blown dry air, and the dry air is supplied from the air supply portion 6 to the inside of the container W. The exhaust on / off valve of the exhaust unit 7 is urged in a closed state by an urging body such as a spring. When the pressure inside the container W increases due to the supply of dry air by the gas supply device 3, The exhaust on-off valve is opened and the gas inside the container W is exhausted from the exhaust part 7.

〔収納棚〕
図１に示すように、収納棚１には、上下方向Ｙ及び横方向に並ぶ状態で収納部１ａが配置されている。
図１及び図３に示すように、複数の収納部１ａの夫々には、容器Ｗを下方から支持する支持部９が備えられており、収納部１ａは、支持部９により下方から支持した状態で容器Ｗを収納するようになっている。支持部９には、水平方向での容器Ｗの規定位置を位置決めするための突起９ａが備えられている。また、支持部９は、収納部１ａに収納された容器Ｗに接続される接続部１８を支持している。この接続部１８は、支持部９の規定位置に容器Ｗを支持した状態で、その容器Ｗに備えられた給気部６に接続される箇所に設けられている。 〔Storage rack〕
As shown in FIG. 1, the storage unit 1 a is arranged on the storage shelf 1 in a state of being arranged in the vertical direction Y and the horizontal direction.
As shown in FIGS. 1 and 3, each of the plurality of storage portions 1 a is provided with a support portion 9 that supports the container W from below, and the storage portion 1 a is supported from below by the support portion 9. The container W is stored. The support portion 9 is provided with a protrusion 9a for positioning the specified position of the container W in the horizontal direction. Moreover, the support part 9 is supporting the connection part 18 connected to the container W accommodated in the accommodating part 1a. The connecting portion 18 is provided at a location where the connecting portion 18 is connected to the air supply portion 6 provided in the container W in a state where the container W is supported at the specified position of the supporting portion 9.

つまり、容器Ｗが収納部１ａに収納されて支持部９に支持されると、当該容器Ｗは、突起９ａにより規定位置に位置決めされるとともに、接続部１８が給気部６に接続される。そして、容器Ｗが支持部９に支持されている状態において、接続部１８からドライエアーが吐出することにより、給気部６から容器Ｗの内部にドライエアーが供給されるとともに、容器Ｗの内部の気体が排気部７から排気されるように構成されている。
収納棚１に備えられている複数の収納部１ａの夫々について、備えられている支持部９にはその全部に接続部１８が支持されている。そのため、収納棚１における複数の収納部１ａの全部を、気体供給装置３によりドライエアーが供給される供給収納部としている。従って、以下の説明においては、供給収納部について単に収納部１ａと称して説明する。 That is, when the container W is stored in the storage unit 1 a and supported by the support unit 9, the container W is positioned at the specified position by the protrusion 9 a and the connection unit 18 is connected to the air supply unit 6. Then, in a state where the container W is supported by the support portion 9, the dry air is discharged from the connection portion 18, whereby the dry air is supplied from the air supply portion 6 to the inside of the container W, and the inside of the container W The gas is exhausted from the exhaust part 7.
For each of the plurality of storage portions 1 a provided in the storage shelf 1, the connection portion 18 is supported by all of the support portions 9 provided. Therefore, all of the plurality of storage portions 1 a in the storage shelf 1 are set as supply storage portions to which dry air is supplied by the gas supply device 3. Accordingly, in the following description, the supply storage unit will be described simply as the storage unit 1a.

収納棚１は、下床部Ｆ１上に設置されている。収納棚１における複数の収納部１ａは、その全部が上床部Ｆ２より上方に位置するように配設されている。そのため、上下方向Ｙに並ぶ収納部１ａのうちの最も下方に位置する収納部１ａを最下段の収納部１ａとして、その最下段の収納部１ａに備えられている支持部９は、上床部Ｆ２より上方に設置されている。
内部領域Ｅのうち、上床部Ｆ２より上方において壁体Ｋに囲まれている領域を収納領域Ｅ１としている。収納棚１に備えられている複数の収納部１ａは、その全部が収納領域Ｅ１に設置されている。また、内部領域Ｅのうち、上床部Ｆ２より下方の領域を設置領域Ｅ２としている。この設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方の領域をとなっている。つまり、内部領域Ｅは、上床部Ｆ２より上方において壁体Ｋに囲まれている領域である収納領域Ｅ１と、上床部Ｆ２より下方の領域である設置領域Ｅ２とにより構成されている。
尚、本実施形態では、収納棚１における複数の収納部１ａ（供給収納部）の全部を上床部Ｆ２より上方に設置しているため、上床部Ｆ２より上方において壁体Ｋに囲まれている領域を収納領域Ｅ１としている。しかし、収納棚１における収納部１ａの一部を上床部Ｆ２より下方に設置した場合には、例えば、収納領域Ｅ１を最下段の収納部１ａ（供給収納部）における支持部９の下端まで収納領域Ｅ１を下方に延ばすように、上床部Ｆ２より下方において壁体Ｋに囲まれている領域の一部又は全部を収納領域Ｅ１としてもよい。この場合、主壁部は上床部Ｆ２より下方まで延在することになる。 The storage shelf 1 is installed on the lower floor portion F1. The plurality of storage portions 1a in the storage shelf 1 are arranged so that all of them are located above the upper floor portion F2. For this reason, the lowermost storage portion 1a of the storage portions 1a arranged in the vertical direction Y is defined as the lowermost storage portion 1a, and the support portion 9 provided in the lowermost storage portion 1a includes the upper floor portion F2. It is installed above.
Of the internal region E, a region surrounded by the wall body K above the upper floor F2 is defined as a storage region E1. The plurality of storage units 1a provided in the storage shelf 1 are all installed in the storage area E1. Moreover, the area | region below the upper floor part F2 among the internal areas E is set as the installation area E2. The installation area E2 is an area below the support section 9 provided in the lowermost storage section 1a. That is, the internal area E is configured by a storage area E1 that is an area surrounded by the wall body K above the upper floor portion F2, and an installation area E2 that is an area below the upper floor portion F2.
In the present embodiment, since all of the plurality of storage portions 1a (supply storage portions) in the storage shelf 1 are installed above the upper floor portion F2, they are surrounded by the wall body K above the upper floor portion F2. The area is a storage area E1. However, when a part of the storage part 1a in the storage shelf 1 is installed below the upper floor part F2, for example, the storage area E1 is stored up to the lower end of the support part 9 in the lowermost storage part 1a (supply storage part). A part or all of the region surrounded by the wall body K below the upper floor portion F2 may be used as the storage region E1 so as to extend the region E1 downward. In this case, the main wall portion extends below the upper floor portion F2.

収納棚１に備えられている複数の収納部１ａは、複数の供給収納部群Ｇのいずれかに属している。図１及び図２に示すように、供給収納部群Ｇは、上下方向Ｙにのみ並ぶ２つ以上の収納部１ａにより構成されている。また、収納棚１において最上段から最下段までの１列に並ぶ複数の収納部１ａが、複数の供給収納部群Ｇに分けられており、収納棚１の１列が複数の供給収納部群Ｇにより形成されている。本実施形態では、図１に示すように、収納棚１には上下方向Ｙに３３の収納部１ａが並んでおり、供給収納部群Ｇは、上下方向Ｙに並ぶ１１の収納部１ａにより構成されている。つまり、上下方向Ｙに１列に並ぶ３３の収納部１ａが、３つの供給収納部群Ｇに分けられている。このように、供給収納部群Ｇは、収納棚１に備えられている複数の収納部１ａの一部により構成されており、供給収納部群Ｇを構成する２つ以上の収納部１ａは、上下方向Ｙにのみ並べて配置されている。   The plurality of storage units 1 a provided in the storage shelf 1 belong to one of the plurality of supply storage unit groups G. As shown in FIGS. 1 and 2, the supply storage unit group G includes two or more storage units 1 a arranged only in the vertical direction Y. In the storage shelf 1, a plurality of storage units 1 a arranged in one row from the top to the bottom are divided into a plurality of supply storage unit groups G, and one row of the storage shelf 1 is a plurality of supply storage unit groups. G is formed. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, 33 storage units 1 a are arranged in the vertical direction Y on the storage shelf 1, and the supply storage unit group G is configured by 11 storage units 1 a arranged in the vertical direction Y. Has been. That is, the 33 storage units 1 a arranged in a line in the vertical direction Y are divided into three supply storage unit groups G. Thus, the supply storage unit group G is configured by a part of the plurality of storage units 1a provided in the storage shelf 1, and the two or more storage units 1a constituting the supply storage unit group G are: They are arranged side by side only in the vertical direction Y.

〔スタッカークレーン〕
図１に示すように、スタッカークレーン２は、収納棚１の前方を走行方向（横方向）に走行する走行台車１１と、走行台車１１に立設されたマスト１２と、マスト１２に沿って昇降する昇降体１３と、昇降体１３に支持されている移載装置１４と、を備えている。
移載装置１４は、走行台車１１が走行することで走行方向に沿って移動し、昇降体１３が昇降することでマスト１２に沿って上下方向Ｙに移動する。また、詳細な説明は省略するが、移載装置１４には、容器Ｗを支持する支持体と、当該支持体を前後方向に沿って移動させるリンク機構と、を備えており、移載装置１４は、自己と収納部１ａとの間や、自己と搬送コンベヤ４との間で、容器Ｗを記載可能に構成されている。
そして、スタッカークレーン２は、走行台車１１の走行、昇降体１３の昇降及び移載装置１４の移載作動により、搬送コンベヤ４から収納部１ａに容器Ｗを搬送し、収納部１ａから搬送コンベヤ４に容器Ｗを搬送する。 [Stacker crane]
As shown in FIG. 1, the stacker crane 2 includes a traveling carriage 11 that travels in the traveling direction (lateral direction) in front of the storage shelf 1, a mast 12 that is erected on the traveling carriage 11, and is moved up and down along the mast 12. And a transfer device 14 supported by the lift 13.
The transfer device 14 moves along the traveling direction when the traveling carriage 11 travels, and moves in the vertical direction Y along the mast 12 when the elevating body 13 moves up and down. Although detailed explanation is omitted, the transfer device 14 includes a support body that supports the container W and a link mechanism that moves the support body in the front-rear direction. Is configured such that the container W can be described between itself and the storage unit 1a or between itself and the conveyor 4.
The stacker crane 2 transports the container W from the transport conveyor 4 to the storage section 1a and travels from the storage section 1a to the transport conveyor 4 by the travel of the traveling carriage 11, the lifting and lowering of the lifting body 13, and the transfer operation of the transfer device 14. The container W is transported to.

走行台車１１は、下床部Ｆ１上に設置された走行レール１５上をその走行レール１５に沿って走行する。当該走行台車１１について、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方に、走行台車１１の少なくとも一部が位置している。本実施形態では、走行台車１１の全体が、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方で、且つ、上床部Ｆ２より下方に位置している。   The traveling carriage 11 travels along the traveling rail 15 on the traveling rail 15 installed on the lower floor portion F1. Regarding the traveling carriage 11, at least a part of the traveling carriage 11 is located below the support portion 9 provided in the lowermost storage portion 1 a. In the present embodiment, the entire traveling carriage 11 is located below the support portion 9 provided in the lowermost storage portion 1a and below the upper floor portion F2.

〔気体供給装置〕
気体供給装置３は、収納部１ａに収納されている容器Ｗの内部にドライエアーを供給する。
気体供給装置３は、接続部１８と、配管１９と、マスフローコントローラ２０と、を備えている。接続部１８は、複数の収納部１ａの夫々に対して設置されており、気体供給装置３に複数備えられている。この接続部１８は、収納部１ａに収納された容器Ｗに接続される。配管１９は、収納領域Ｅ１の外部に設置された供給源２１から供給されるドライエアーを複数の接続部１８に分岐供給する。マスフローコントローラ２０は、配管１９内を通流するドライエアーの流量を制御するものであり、供給収納部群Ｇの夫々に対して設置されており、気体供給装置３に複数備えられている。ちなみに、図２では、第１配管２３及び第２配管２４について、横方向に隣接する２列の収納部１ａに対する第１配管２３及び第２配管２４についてのみ図示している。 [Gas supply device]
The gas supply device 3 supplies dry air to the inside of the container W stored in the storage unit 1a.
The gas supply device 3 includes a connecting portion 18, a pipe 19, and a mass flow controller 20. The connection part 18 is installed with respect to each of the some storage part 1a, and the gas supply apparatus 3 is provided with two or more. This connection part 18 is connected to the container W stored in the storage part 1a. The piping 19 branches and supplies the dry air supplied from the supply source 21 installed outside the storage area E1 to the plurality of connecting portions 18. The mass flow controller 20 controls the flow rate of the dry air that flows through the pipe 19, and is installed in each of the supply storage unit groups G, and a plurality of the gas supply devices 3 are provided. Incidentally, in FIG. 2, only the first pipe 23 and the second pipe 24 for the two rows of storage portions 1a adjacent in the horizontal direction are illustrated for the first pipe 23 and the second pipe 24.

配管１９は、第１配管２３と、第２配管２４と、第３配管２５と、第１分岐配管２６と、第２分岐配管２７と、を備えている。第１配管２３は、複数の収納部１ａの夫々に対して設置されている。第２配管２４は、複数の供給収納部群Ｇの夫々に対して設置されている。第３配管２５は、ドライエアーの供給源２１に接続されている。第１分岐配管２６は、収納棚１の前後方向（上下方向Ｙに見て走行方向（横方向）と直交する方向）に沿って設置されている。   The pipe 19 includes a first pipe 23, a second pipe 24, a third pipe 25, a first branch pipe 26, and a second branch pipe 27. The 1st piping 23 is installed with respect to each of the some accommodating part 1a. The second pipe 24 is installed for each of the plurality of supply storage unit groups G. The third pipe 25 is connected to a dry air supply source 21. The first branch pipe 26 is installed along the front-rear direction of the storage shelf 1 (the direction orthogonal to the traveling direction (lateral direction) when viewed in the vertical direction Y).

第１分岐配管２６は、１つの第２配管２４と、１つの供給収納部群Ｇを構成する複数の収納部１ａ（２以上の収納部１ａであり、本実施形態では１１の収納部１ａ）に対応する複数の第１配管２３（２以上の第１配管２３であり、本実施形態では１１の第１配管２３）と、を接続し、第２配管２４から供給されるドライエアーを複数の第１配管２３に分岐させる。第２分岐配管２７は、１つの第３配管２５と、配管１９に備えられている複数の第２配管２４（列数×３の第２配管２４）と、を接続し、第３配管２５から供給されるドライエアーを複数の第２配管２４に分岐させる。尚、第１分岐配管２６が、分岐配管に相当する。   The first branch pipe 26 is composed of one second pipe 24 and a plurality of storage parts 1a constituting one supply storage part group G (two or more storage parts 1a, in this embodiment, 11 storage parts 1a). Are connected to a plurality of first pipes 23 (two or more first pipes 23, which are eleventh first pipes 23 in the present embodiment), and a plurality of dry air is supplied from the second pipe 24. The first pipe 23 is branched. The second branch pipe 27 connects one third pipe 25 and a plurality of second pipes 24 (the number of rows × 3 second pipes 24) provided in the pipe 19. The supplied dry air is branched into a plurality of second pipes 24. The first branch pipe 26 corresponds to a branch pipe.

第２配管２４の夫々には、マスフローコントローラ２０が設置されている。換言すると、マスフローコントローラ２０は、第２配管２４における単一の流路上に設置されている。マスフローコントローラ２０は、第２配管２４を通流するドライエアーの質量流量を計測して第２配管２４を通流するドライエアーの流量を制御する。
第１配管２３の夫々には、オリフィス２９とフィルタ３０とが設置されている。１つの第２配管２４に接続されている複数の第１配管２３の夫々にオリフィス２９が設置されており管径が絞られているため、第２配管２４から複数の収納部１ａに供給されるドライエアーの流量の均一化が図られている。また、フィルタ３０により、第１配管２３を通流する塵埃を除去できる。 A mass flow controller 20 is installed in each of the second pipes 24. In other words, the mass flow controller 20 is installed on a single flow path in the second pipe 24. The mass flow controller 20 measures the mass flow rate of the dry air flowing through the second pipe 24 and controls the flow rate of the dry air flowing through the second pipe 24.
Each of the first pipes 23 is provided with an orifice 29 and a filter 30. Since the orifice 29 is installed in each of the plurality of first pipes 23 connected to one second pipe 24 and the pipe diameter is reduced, the second pipe 24 supplies the plurality of storage portions 1a. The flow rate of dry air is made uniform. Further, the filter 30 can remove dust flowing through the first pipe 23.

このように、収納部１ａ単位で設けられている第１配管２３ではなく、供給収納部群Ｇ単位で設けられている第２配管２４の夫々にマスフローコントローラ２０を設けることで、マスフローコントローラ２０を収納部１ａから離して設け易い。つまり、マスフローコントローラ２０を収納領域Ｅ１の外部に設定された設置領域Ｅ２に設け易く、マスフローコントローラ２０を設置領域Ｅ２に設けることで、マスフローコントローラ２０の発熱の影響を容器Ｗが受けることを抑えることができる。   Thus, by providing the mass flow controller 20 in each of the second pipes 24 provided in units of the supply storage unit group G instead of the first pipes 23 provided in units of the storage units 1a, the mass flow controller 20 is provided. It is easy to provide away from the storage part 1a. That is, it is easy to provide the mass flow controller 20 in the installation area E2 set outside the storage area E1, and by providing the mass flow controller 20 in the installation area E2, the container W is prevented from being affected by the heat generated by the mass flow controller 20. Can do.

マスフローコントローラ２０を設置する設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられた支持部９より下方、又は、上下方向Ｙに並ぶ複数の収納部１ａの外方Ｘ２の端より外方Ｘ２に設定されている。本実施形態では、設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられた支持部９より下方で、且つ、上下方向Ｙに並ぶ複数の収納部１ａの外方Ｘ２の端に対して前後方向Ｘに亘って設定されている。
そして、マスフローコントローラ２０は、床上壁３１の下端と下床部Ｆ１との間に設置されている。また、マスフローコントローラ２０は、床下壁３２の床下壁部３２ａを前後方向Ｘに貫通する状態で設置されており、上下方向Ｙに見てマスフローコントローラ２０の一部が床下壁部３２ａより外方Ｘ２に位置するように設置されている。床上壁部３１ａと床下壁部３２ａとは前後方向において同じ位置に設置されており、上述の如くマスフローコントローラ２０を設置することで、上下方向Ｙに見てマスフローコントローラ２０の一部が床上壁部３１ａより外方Ｘ２に位置するように設置されている。 The installation area E2 in which the mass flow controller 20 is installed is located below the support portion 9 provided in the lowermost storage portion 1a or outward X2 from the end of the outer X2 of the plurality of storage portions 1a arranged in the vertical direction Y. Is set. In the present embodiment, the installation area E2 is a front-rear direction with respect to the outer X2 ends of the plurality of storage portions 1a arranged below the support portion 9 provided in the lowermost storage portion 1a and in the vertical direction Y. X is set.
The mass flow controller 20 is installed between the lower end of the floor upper wall 31 and the lower floor portion F1. Further, the mass flow controller 20 is installed in a state of penetrating the under floor wall portion 32a of the under floor wall 32 in the front-rear direction X, and a part of the mass flow controller 20 is X2 outward from the under floor wall portion 32a when viewed in the vertical direction Y. It is installed to be located in. The floor upper wall portion 31a and the floor lower wall portion 32a are installed at the same position in the front-rear direction, and by installing the mass flow controller 20 as described above, a part of the mass flow controller 20 is seen from the upper and lower directions Y when viewed in the vertical direction Y. It is installed so as to be located outward X2 from 31a.

床上壁３１の上端に形成された流入口３３から壁体Ｋの内部に流入した空気は、壁体Ｋの内部を収納領域Ｅ１、設置領域Ｅ２の順に下方に流動して、床下壁３２に形成された流出口から壁体Ｋの外部に流出する。マスフローコントローラ２０は、空気の流動方向において収納領域Ｅ１より下流側に設置されている。そのため、マスフローコントローラ２０により熱せられた空気が収納領域Ｅ１に流動し難い。   The air that has flowed into the wall K from the inlet 33 formed at the upper end of the upper floor wall 31 flows downward through the wall K in the order of the storage area E1 and the installation area E2 to form the lower floor wall 32. It flows out to the exterior of the wall body K from the made outflow port. The mass flow controller 20 is installed downstream of the storage area E1 in the air flow direction. Therefore, the air heated by the mass flow controller 20 is difficult to flow into the storage area E1.

〔第２実施形態〕
次に、本発明にかかる物品搬送設備の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
尚、第２実施形態を説明するにあたり、第１実施形態と異なる壁体Ｋの形状及びマスフローコントローラ２０の配置について主に説明し、第１実施形態と同様の構成については説明を省略する。 [Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the article transport facility according to the present invention will be described based on the drawings.
In describing the second embodiment, the shape of the wall body K and the arrangement of the mass flow controller 20 different from the first embodiment will be mainly described, and the description of the same configuration as that of the first embodiment will be omitted.

クリーンルームの天井Ｃは、上天井部Ｃ１と、上天井部Ｃ１よりも下方に設置された下天井部Ｃ２とにより構成されている。上天井部Ｃ１は、通気孔を有さない空気の通流を規制する天井であり、下天井部Ｃ２は、上下方向Ｙに通気可能な天井である。本実施形態では、上天井部Ｃ１は、無孔状のコンクリートにより構成されており、下天井部Ｃ２は、ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタにより構成されている。
尚、フィルタが備えられた下天井部Ｃ２は、清浄空気を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井に相当する。下床部Ｆ１は、上下方向Ｙに気体の通流を規制する設置床に相当する。 The ceiling C of the clean room is composed of an upper ceiling part C1 and a lower ceiling part C2 installed below the upper ceiling part C1. The upper ceiling part C1 is a ceiling that restricts the flow of air that does not have a vent hole, and the lower ceiling part C2 is a ceiling that can ventilate in the vertical direction Y. In the present embodiment, the upper ceiling part C1 is made of non-porous concrete, and the lower ceiling part C2 is made of a filter such as a HEPA filter.
In addition, the lower ceiling part C2 provided with the filter corresponds to a ceiling provided with an outflow part for flowing clean air downward. The lower floor portion F1 corresponds to an installation floor that regulates gas flow in the vertical direction Y.

図５に示すように、壁体Ｋは、下天井部Ｃ２の直下に設置されている。壁体Ｋは、床上壁３１と床下壁３２とを備えている。床上壁３１は、上床部Ｆ２より上方で且つ下天井部Ｃ２より下方に位置している。床下壁３２は、上床部Ｆ２より下方で且つ下床部Ｆ１より上方に位置している。床下壁３２は、床上壁３１に比べて前後方向Ｘに幅広に形成されており、壁体Ｋ全体として、長手方向に見て上下反転させたＴ字状に形成されている。   As shown in FIG. 5, the wall body K is installed directly under the lower ceiling part C2. The wall body K includes an upper floor wall 31 and a lower floor wall 32. The upper floor wall 31 is located above the upper floor portion F2 and below the lower ceiling portion C2. The underfloor wall 32 is located below the upper floor portion F2 and above the lower floor portion F1. The lower floor wall 32 is formed wider in the front-rear direction X than the upper floor wall 31, and the entire wall body K is formed in a T-shape that is vertically inverted when viewed in the longitudinal direction.

床上壁３１は、上下方向Ｙに貫通する四角筒状に形成されている。つまり、第２実施形態では、床上壁３１は、四角筒状に形成された４面の床上壁部３１ａを備えているが、第１実施形態で示した上壁部３１ｂは備えられていない。尚、図５には、前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床上壁部３１ａと、前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床上壁部３１ａと、が示されている。   The floor upper wall 31 is formed in a rectangular tube shape penetrating in the vertical direction Y. That is, in the second embodiment, the floor top wall 31 includes the four floor top wall portions 31a formed in a rectangular tube shape, but does not include the top wall portion 31b illustrated in the first embodiment. In FIG. 5, a floor upper wall portion 31 a that closes one direction in the front-rear direction X and a floor upper wall portion 31 a that closes the other direction in the front-rear direction X are shown.

床下壁３２は、上面の一部が開口する四角箱状に形成されている。説明を加えると、床下壁３２は、四角筒状に形成された４面の床下壁部３２ａに加えて、上面を形成する一対の遮断壁部３２ｂと、下面を形成する底壁部３２ｃと、を備えている。図５では、前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床下壁部３２ａと、前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床下壁部３２ａと、上面を形成する一対の遮断壁部３２ｂと、下面を形成する底壁部３２ｃと、が示されている。床下壁３２における上面を形成する一対の遮断壁部３２ｂは、下床部Ｆ１に対して上方に間隔を空けた位置に下床部Ｆ１に沿って設置されると共に空気の通流を規制する構成となっている。尚、遮断壁部３２ｂが、副壁部に相当する。   The underfloor wall 32 is formed in a square box shape in which a part of the upper surface is opened. In addition to the description, the underfloor wall 32 includes a pair of blocking wall portions 32b that form an upper surface, a bottom wall portion 32c that forms a lower surface, in addition to the four underfloor wall portions 32a formed in a square tube shape, It has. In FIG. 5, the underfloor wall portion 32 a that blocks one direction in the front-rear direction X, the underfloor wall portion 32 a that closes the other direction in the front-rear direction X, a pair of blocking wall portions 32 b that form the upper surface, and the bottom wall that forms the lower surface Part 32c is shown. The pair of blocking wall portions 32b that form the upper surface of the underfloor wall 32 is installed along the lower floor portion F1 at a position spaced above the lower floor portion F1 and restricts the flow of air. It has become. The blocking wall portion 32b corresponds to the sub wall portion.

遮断壁部３２ｂは、その内方Ｘ１の端部は、前後方向Ｘにおいて床下壁部３２ａの内面と支持部９の外方側端との間に位置し、外方Ｘ２の端部は、床下壁部３２ａの外面より外方Ｘ２に位置している。
床下壁３２の外方Ｘ２の端部には、外方Ｘ２に向けて開口する流出口３４が形成されているが、この流出口３４は、空気を前後方向に通気可能な床下壁部３２ａにより閉じられている。つまり、床下壁３２の外方Ｘ２の端部には、空気が流出する流出口３４が形成されており、その流出口３４が、床下壁部３２ａにより部分的に閉じられている。 The blocking wall 32b has an inner X1 end located between the inner surface of the underfloor wall 32a and the outer end of the support 9 in the front-rear direction X, and the outer X2 end below the floor It is located outward X2 from the outer surface of the wall 32a.
An outflow port 34 that opens toward the outer side X2 is formed at the end portion of the outer side wall X2 of the underfloor wall 32. The outflow port 34 is formed by an underfloor wall portion 32a that can ventilate air in the front-rear direction. Closed. That is, an outflow port 34 through which air flows out is formed at the outer X2 end of the underfloor wall 32, and the outflow port 34 is partially closed by the underfloor wall portion 32a.

床上壁３１の下端に形成された開口と床下壁３２の上面に形成された開口とは、上床部Ｆ２を介して接続されており、床上壁３１に囲われた収納領域Ｅ１と遮断壁部３２ｂの直下の設置領域Ｅ２とが連通している。また、床上壁３１の上端に、床上壁３１の上方から収納領域Ｅ１に空気を流入させる流入口３３が形成されている。また、床下壁３２の外方Ｘ２の端部に、設置領域Ｅ２から床下壁３２の外方Ｘ２に空気を流出させる流出口３４が形成されている。この流出口３４は、遮断壁部３２ｂにおける外方Ｘ２の端部の下方に形成される。   The opening formed at the lower end of the upper floor wall 31 and the opening formed at the upper surface of the lower floor wall 32 are connected via the upper floor portion F2, and the storage area E1 surrounded by the upper floor wall 31 and the blocking wall portion 32b. To the installation area E2 directly below. In addition, an inlet 33 is formed at the upper end of the floor wall 31 to allow air to flow into the storage area E1 from above the floor wall 31. Further, an outlet 34 is formed at the end of the outer side X2 of the underfloor wall 32 to allow air to flow out from the installation region E2 to the outer side X2 of the underfloor wall 32. The outlet 34 is formed below the outer X2 end of the blocking wall 32b.

そして、遮断壁部３２ｂにおける内方Ｘ１の部分が、遮断壁部３２ｂと床上壁３１との間を空気の通流を規制する状態で床上壁３１における下端に接続されている。
説明を加えると、遮断壁部３２ｂは上床部Ｆ２の下面に連結されており、床上壁３１の床上壁部３１ａの下端は上床部Ｆ２の上面に連結されている。このように、床上壁３１における床上壁部３１ａの下端と遮断壁部３２ｂの上面との間に上床部Ｆ２を挟む状態で、床上壁３１及び遮断壁部３２ｂを設置することで、床上壁３１と遮断壁部３２ｂとの間を空気の通流を規制する状態となっている。
尚、遮断壁部３２ｂにおける内方Ｘ１の端部は、遮断壁部３２ｂにおける内方Ｘ１の端から１／３の部分としている。 And the part of the inner side X1 in the blocking wall part 32b is connected to the lower end in the floor upper wall 31 in the state which regulates the flow of air between the blocking wall part 32b and the floor upper wall 31.
If it demonstrates, the interruption | blocking wall part 32b is connected with the lower surface of the upper floor part F2, and the lower end of the floor upper wall part 31a of the floor upper wall 31 is connected with the upper surface of the upper floor part F2. As described above, the floor top wall 31 and the blocking wall 32b are installed in a state where the upper floor F2 is sandwiched between the lower end of the floor upper wall 31a and the upper surface of the blocking wall 32b in the floor upper wall 31. And the blocking wall 32b are in a state of restricting the flow of air.
In addition, the edge part of the inner side X1 in the interruption | blocking wall part 32b is made into the 1/3 part from the edge of the inner side X1 in the interruption | blocking wall part 32b.

本実施形態では、設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられた支持部９より下方で、且つ、上下方向Ｙに並ぶ複数の収納部１ａの外方Ｘ２の端より外方Ｘ２に設定されている。そして、マスフローコントローラ２０は設置領域Ｅ２に設置されており、マスフローコントローラ２０の全体が遮断壁部３２ｂの内方Ｘ１の端より外方Ｘ２に位置し且つマスフローコントローラ２０の全体が遮断壁部３２ｂの外方Ｘ２の端より内方Ｘ１に位置している。また、マスフローコントローラ２０は、上下方向Ｙに見て支持部９と重ならないように支持部９に対して外方Ｘ２に設置されている。   In the present embodiment, the installation area E2 is located below the support portion 9 provided in the lowermost storage portion 1a and outward X2 from the outer X2 ends of the plurality of storage portions 1a arranged in the vertical direction Y. Is set. The mass flow controller 20 is installed in the installation area E2, and the entire mass flow controller 20 is positioned outward X2 from the inner X1 end of the blocking wall 32b, and the entire mass flow controller 20 is positioned in the blocking wall 32b. It is located inward X1 from the end of outward X2. Further, the mass flow controller 20 is installed on the outer side X2 with respect to the support portion 9 so as not to overlap the support portion 9 when viewed in the vertical direction Y.

下天井部Ｃ２から下方に流出した空気が、床上壁３１の上端に形成された流入口３３から壁体Ｋの内部に流入する。そして、床上壁３１内に流入した空気は、収納領域Ｅ１を下方に流動した後、設置領域Ｅ２を外方Ｘ２に通過し、その後、床下壁部３２ａを通って流出口３４から壁体Ｋの外部に流出する。
マスフローコントローラ２０は、空気の流動方向において収納領域Ｅ１より下流側に設置されている。そのため、マスフローコントローラ２０により熱せられた空気が収納領域Ｅ１に流動し難い。 The air that has flowed downward from the lower ceiling portion C <b> 2 flows into the inside of the wall body K from the inlet 33 formed at the upper end of the floor wall 31. The air that has flowed into the upper floor wall 31 flows downward in the storage area E1, passes through the installation area E2 outward X2, and then passes through the lower floor wall portion 32a from the outlet 34 to the wall K. It flows out to the outside.
The mass flow controller 20 is installed downstream of the storage area E1 in the air flow direction. Therefore, the air heated by the mass flow controller 20 is difficult to flow into the storage area E1.

〔別実施形態〕
（１）上記第１及び第２実施形態では、複数の収納部における最下段の収納部に備えられた支持部より下方に設置領域を設定したが、設置領域を設定する位置はこれに限定されない。つまり、複数の収納部における最上段の収納部より上方に設置領域を設定してもよく、また、収納棚を覆う壁体の外部、具体的には、上下方向において下床部と上床部の間で且つ前後方向において床下壁部より外方に設置領域を設定してもよい。 [Another embodiment]
(1) In the first and second embodiments, the installation area is set below the support section provided in the lowermost storage section in the plurality of storage sections, but the position where the installation area is set is not limited to this. . That is, the installation area may be set above the uppermost storage section in the plurality of storage sections, and the outside of the wall covering the storage shelf, specifically, the lower floor section and the upper floor section in the vertical direction. The installation area may be set outside and in the front-rear direction from the bottom wall portion.

（２）上記第１及び第２実施形態では、供給収納部群を構成する２つ以上の供給収納部を、上下方向にのみ並べたが、供給収納部群を構成する２つ以上の供給収納部を、横方向にのみ並べてもよく、また、上下方向と横方向との双方に並べてもよい。また、収納棚１の１列を１つの供給収納部群Ｇにより形成してもよい。 (2) In the first and second embodiments, two or more supply storage units constituting the supply storage unit group are arranged only in the vertical direction, but two or more supply storage units constituting the supply storage unit group are arranged. The parts may be arranged only in the horizontal direction, or may be arranged in both the vertical direction and the horizontal direction. Further, one row of the storage shelves 1 may be formed by one supply storage unit group G.

（３）上記第１及び第２実施形態では、容器を、レチクル（フォトマスク）を収納する容器としたが、容器は、ＦＯＵＰ等の半導体ウェハを収容する容器としてもよく、食料を収容する容器としてもよい。 (3) In the first and second embodiments, the container is a container for storing a reticle (photomask). However, the container may be a container for storing a semiconductor wafer such as FOUP or a container for storing food. It is good.

（４）上記第１及び第２実施形態では、気体供給装置により容器の内部に供給される気体を、ドライエアーとしたが、気体供給装置により容器の内部に供給される気体は、ドライエアー以外でもよく、例えば、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性気体でもよい。 (4) In the first and second embodiments, the gas supplied into the container by the gas supply device is dry air. However, the gas supplied into the container by the gas supply device is other than dry air. For example, an inert gas such as nitrogen gas or argon gas may be used.

（５）上記実施形態では、収納棚に備えられている複数の収納部の全部を、供給収納部としたが、収納棚に備えられている複数の収納部の一部のみを、供給収納部としてもよい。つまり、複数の収納部のうちの一部を、気体供給装置により気体が供給される供給収納部とし、複数収納部のうちの残りを、気体供給装置により気体が供給されない通常の収納部としてもよい。 (5) In the above embodiment, all of the plurality of storage units provided in the storage shelf are the supply storage unit, but only a part of the plurality of storage units provided in the storage shelf is supplied and stored. It is good. That is, a part of the plurality of storage units may be a supply storage unit that is supplied with gas by the gas supply device, and the remaining part of the plurality of storage units may be a normal storage unit that is not supplied with gas by the gas supply device. Good.

１ａ 収納部（供給収納部）
２ スタッカークレーン
３ 気体供給装置
５ 送風ファン（気流発生装置）
９ 支持部
１１ 走行台車
１２ マスト
１４ 移載装置
１８ 接続部
１９ 配管
２０ マスフローコントローラ
２３ 第１配管
２４ 第２配管
２６ 第１分岐配管（分岐配管）
２９ オリフィス
Ｅ１ 収納領域
Ｅ２ 設置領域
Ｇ 供給収納部群
Ｗ 容器 1a Storage unit (supply storage unit)
2 Stacker crane 3 Gas supply device 5 Blower fan (air flow generator)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 9 Support part 11 Traveling carriage 12 Mast 14 Transfer device 18 Connection part 19 Piping 20 Mass flow controller 23 1st piping 24 2nd piping 26 1st branch piping (branch piping)
29 Orifice E1 Storage area E2 Installation area G Supply storage section group W Container

また、前記壁体は、前記主壁部に加えて、前記設置床に対して上方に間隔を空けた位置に前記設置床に沿って設置されると共に気体の通流を規制する副壁部を備え、前記収納領域と前記副壁部より下方の前記設置領域とが連通し、前記副壁部における前記第２方向の端部の下方に、前記設置領域から前記副壁部の前記第２方向に気体を流出させる流出口が形成され、前記副壁部における前記第１方向の部分が、前記副壁部と前記主壁部との間を気体の通流を規制する状態で前記主壁部における下端に接続され、前記マスフローコントローラは、前記副壁部と前記設置床との間で且つ前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置し且つ前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記副壁部における前記第１方向の端部より前記第２方向に位置するように設置されていると好適である。 Further, in addition to the main wall portion, the wall body is installed along the installation floor at a position spaced upward from the installation floor and has a sub-wall portion that regulates gas flow. The storage area communicates with the installation area below the sub-wall part, and the second direction of the sub-wall part extends from the installation area below the end in the second direction of the sub-wall part. An outlet for allowing gas to flow out is formed, and the portion in the first direction of the sub-wall portion regulates the flow of gas between the sub-wall portion and the main wall portion. The mass flow controller is connected between the sub-wall portion and the installation floor, and at least a part of the mass flow controller is positioned in the second direction from the main wall portion, and at least the mass flow controller. A part of the secondary wall Serial it is preferable to be installed so as to be positioned in the second direction from the end portion of the first direction.

クリーンルームの床部Ｆは、下床部Ｆ２と、下床部Ｆ２よりも上側に配設された上床部Ｆ１とにより構成されている。下床部Ｆ２は、通気孔を有さない床であり、本実施形態では、無孔状のコンクリートによって構成されており、スタッカークレーン２はこの下床部Ｆ２上を走行する。上床部Ｆ１は、グレーチング床であり、上下方向Ｙに貫通する通気孔が複数形成されており、作業者はこの上床部Ｆ１上を歩行する。尚、上床部Ｆ１は、下天井部Ｃ２より下方に設置され且つ下床部Ｆ２より上方に設置されて、上下方向Ｙに気体を通気可能に構成された作業床に相当する。 Floor F of the clean room, the lower floor portion F 2, is constituted by a top floor section F 1 disposed above the lower floor F 2. Lower floor F 2 is a floor without a vent, in this embodiment, is constituted by a nonporous shaped concrete, the stacker crane 2 travels on the lower floor portion F 2. Top floor portion F 1 is a grating floor, vent hole penetrating in the vertical direction Y is formed with a plurality, the worker walks on the floor portion F 1 thereon. Incidentally, top floor portion F 1 is placed from the lower ceiling portion C2 from being disposed below and Shitayuka portion F 2 upwards, corresponding gas in the vertical direction Y in breathable-configured working floor.

以下、収納棚１の長手方向（スタッカークレーン２が走行する走行方向）に見て、収納棚１とスタッカークレーン２とが並ぶ方向を前後方向Ｘとし、収納棚１に対してスタッカークレーン２が存在する方向を内方Ｘ１とし、その反対方向を外方Ｘ２として説明する。尚、前後方向Ｘが、上下方向Ｙに見て床上壁３１の厚み方向となる。また、内方Ｘ１が、床上壁３１に対して収納領域Ｅ１が存在する方向である第１方向となり、外方Ｘ２が、第１方向とは反対の方向の第２方向となる。また、壁体Ｋにより覆われる領域と上床部Ｆ１より下方の領域とが内部領域Ｅである。 Hereinafter, the direction in which the storage shelf 1 and the stacker crane 2 are arranged in the longitudinal direction of the storage shelf 1 (traveling direction in which the stacker crane 2 travels) is defined as the front-rear direction X, and the stacker crane 2 exists with respect to the storage shelf 1. The direction to be performed will be described as inner X1, and the opposite direction as outer X2. The front-rear direction X is the thickness direction of the floor wall 31 when viewed in the vertical direction Y. Further, the inner side X1 is a first direction in which the storage area E1 is present with respect to the floor wall 31, and the outer side X2 is a second direction opposite to the first direction. Also, from the area and the top floor part F 1 covered by wall K and the lower region is an internal region E.

壁体Ｋは、収納領域Ｅ１の側周囲を空気の通流を規制するように覆っている。壁体Ｋは、床上壁３１と床下壁３２とを備えており、床上壁３１は、上床部Ｆ１の上面より上方で且つ天井Ｃより下方に位置している。床下壁３２は、上床部Ｆ１の上面より下方で且つ下床部Ｆ２より上方に位置している。
図１に示すように、床下壁３２は、四角筒状に形成された４面の床下壁部３２ａを備えている。床下壁部３２ａには、床下壁部３２ａの内方Ｘ１から外方Ｘ２に空気を流出させる流出口（図示せず）が形成されている。 The wall body K covers the periphery of the storage area E1 so as to restrict the flow of air. Wall K is provided with a floor wall 31 and floor wall 32, the floor wall 31 is positioned below the and the ceiling C above the upper surface of the top floor portion F 1. Underfloor wall 32 is positioned above and more Shitayuka portion F 2 below the upper surface of the top floor portion F 1.
As shown in FIG. 1, the underfloor wall 32 includes four underfloor wall portions 32a that are formed in a square tube shape. The underfloor wall portion 32a is formed with an outlet (not shown) through which air flows out from the inner side X1 to the outer side X2 of the underfloor wall portion 32a.

床上壁３１の上端に、床上壁３１の上方から空気を収納領域Ｅ１に流入させる流入口３３が形成されている。説明を加えると、床上壁３１の上端には、床上壁３１の上面を形成する上壁部３１ｂが備えられており、その上壁部３１ｂの一部に上下方向Ｙに空気の通流を許容する流入口３３が形成されている。送風ファン５は、その流入口３３を塞ぐように上壁部３１ｂに設置されている。尚、床上壁３１が、下床部Ｆ２に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向Ｙに沿う姿勢で設置された主壁部に相当する。
そして、送風ファン５の送風作用により壁体Ｋの上端に形成された流入口３３から壁体Ｋの内部に流入した空気は、壁体Ｋ内の収納領域Ｅ１を上方から下方に流動した後、壁体Ｋの床下壁部３２ａに形成された流出口から壁体Ｋの外部に流出するようになっている。 An inlet 33 is formed at the upper end of the floor wall 31 to allow air to flow into the storage area E1 from above the floor wall 31. In other words, the upper end of the upper floor wall 31 is provided with an upper wall portion 31b that forms the upper surface of the upper floor wall 31, and air flow in the vertical direction Y is allowed in a part of the upper wall portion 31b. An inflow port 33 is formed. The blower fan 5 is installed on the upper wall portion 31 b so as to close the inlet 33. Incidentally, the floor wall 31 corresponds to the main wall disposed in a posture along the vertical direction Y to a position spaced upwardly from the lower floor F 2.
And after the air which flowed into the inside of wall body K from the inflow port 33 formed in the upper end of wall body K by the air blowing action of blower fan 5 flows in storage area E1 in wall body K from the upper part to the lower part, It flows out of the wall body K from the outlet formed in the underfloor wall portion 32a of the wall body K.

収納棚１は、下床部Ｆ２上に設置されている。収納棚１における複数の収納部１ａは、その全部が上床部Ｆ１より上方に位置するように配設されている。そのため、上下方向Ｙに並ぶ収納部１ａのうちの最も下方に位置する収納部１ａを最下段の収納部１ａとして、その最下段の収納部１ａに備えられている支持部９は、上床部Ｆ１より上方に設置されている。
内部領域Ｅのうち、上床部Ｆ１より上方において壁体Ｋに囲まれている領域を収納領域Ｅ１としている。収納棚１に備えられている複数の収納部１ａは、その全部が収納領域Ｅ１に設置されている。また、内部領域Ｅのうち、上床部Ｆ１より下方の領域を設置領域Ｅ２としている。この設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方の領域をとなっている。つまり、内部領域Ｅは、上床部Ｆ１より上方において壁体Ｋに囲まれている領域である収納領域Ｅ１と、上床部Ｆ１より下方の領域である設置領域Ｅ２とにより構成されている。
尚、本実施形態では、収納棚１における複数の収納部１ａ（供給収納部）の全部を上床部Ｆ１より上方に設置しているため、上床部Ｆ１より上方において壁体Ｋに囲まれている領域を収納領域Ｅ１としている。しかし、収納棚１における収納部１ａの一部を上床部Ｆ１より下方に設置した場合には、例えば、収納領域Ｅ１を最下段の収納部１ａ（供給収納部）における支持部９の下端まで収納領域Ｅ１を下方に延ばすように、上床部Ｆ１より下方において壁体Ｋに囲まれている領域の一部又は全部を収納領域Ｅ１としてもよい。この場合、主壁部は上床部Ｆ１より下方まで延在することになる。 Storage rack 1 is placed on the lower floor portion F 2. A plurality of housing portions 1a of the storage rack 1 is arranged so that its entirety is located above the top floor portion F 1. Therefore, the lowermost storage portion 1a of the storage portions 1a arranged in the vertical direction Y is defined as the lowermost storage portion 1a, and the support portion 9 provided in the lowermost storage portion 1a has an upper floor portion F. It is installed above 1 .
In the internal region E, it has a region surrounded by the wall K at above the top floor part F 1 and the storage area E1. The plurality of storage units 1a provided in the storage shelf 1 are all installed in the storage area E1. Further, in the internal region E, it has a lower region and installation area E2 from the top floor portion F 1. The installation area E2 is an area below the support section 9 provided in the lowermost storage section 1a. That is, the internal area E includes a housing area E1 is a region surrounded by the wall K at above the top floor portion F 1, is constituted by the installation area E2 is a region below the top floor portion F 1.
In the present embodiment, since the set up all of the plurality of accommodating portions 1a (supply accommodating section) above the top floor portion F 1 of the storage rack 1, surrounded by a wall K at above the top floor portion F 1 This area is the storage area E1. However, in case of installing a part of the housing part 1a below the top floor portion F 1 of the storage rack 1 is, for example, a housing area E1 to the lower end of the supporting portion 9 in the lowermost storage portion 1a (supply housing unit) to extend the storage area E1 downward, a part or all of the region surrounded by the wall K at below the top floor portion F 1 may be housed region E1. In this case, the main wall portion will extend to below the top floor portion F 1.

走行台車１１は、下床部Ｆ２上に設置された走行レール１５上をその走行レール１５に沿って走行する。当該走行台車１１について、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方に、走行台車１１の少なくとも一部が位置している。本実施形態では、走行台車１１の全体が、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方で、且つ、上床部Ｆ１より下方に位置している。 The traveling vehicle 11 travels along the traveling rail 15 on which is disposed on the lower floor portion F 2 to the running rail 15. Regarding the traveling carriage 11, at least a part of the traveling carriage 11 is located below the support portion 9 provided in the lowermost storage portion 1 a. In this embodiment, the whole of the traveling carriage 11, below the supporting portion 9 provided in the lowermost storage portion 1a, and is positioned below the top floor portion F 1.

マスフローコントローラ２０を設置する設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられた支持部９より下方、又は、上下方向Ｙに並ぶ複数の収納部１ａの外方Ｘ２の端より外方Ｘ２に設定されている。本実施形態では、設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられた支持部９より下方で、且つ、上下方向Ｙに並ぶ複数の収納部１ａの外方Ｘ２の端に対して前後方向Ｘに亘って設定されている。
そして、マスフローコントローラ２０は、床上壁３１の下端と下床部Ｆ２との間に設置されている。また、マスフローコントローラ２０は、床下壁３２の床下壁部３２ａを前後方向Ｘに貫通する状態で設置されており、上下方向Ｙに見てマスフローコントローラ２０の一部が床下壁部３２ａより外方Ｘ２に位置するように設置されている。床上壁部３１ａと床下壁部３２ａとは前後方向において同じ位置に設置されており、上述の如くマスフローコントローラ２０を設置することで、上下方向Ｙに見てマスフローコントローラ２０の一部が床上壁部３１ａより外方Ｘ２に位置するように設置されている。 The installation area E2 in which the mass flow controller 20 is installed is located below the support portion 9 provided in the lowermost storage portion 1a or outward X2 from the end of the outer X2 of the plurality of storage portions 1a arranged in the vertical direction Y. Is set. In the present embodiment, the installation area E2 is a front-rear direction with respect to the outer X2 ends of the plurality of storage portions 1a arranged below the support portion 9 provided in the lowermost storage portion 1a and in the vertical direction Y. X is set.
Then, the mass flow controller 20 is installed between the lower end and the Shitayuka portion F 2 of the floor wall 31. Further, the mass flow controller 20 is installed in a state of penetrating the under floor wall portion 32a of the under floor wall 32 in the front-rear direction X, and a part of the mass flow controller 20 is X2 outward from the under floor wall portion 32a when viewed in the vertical direction Y. It is installed to be located in. The floor upper wall portion 31a and the floor lower wall portion 32a are installed at the same position in the front-rear direction, and by installing the mass flow controller 20 as described above, a part of the mass flow controller 20 is seen from the upper and lower directions Y when viewed in the vertical direction Y. It is installed so as to be located outward X2 from 31a.

クリーンルームの天井Ｃは、上天井部Ｃ１と、上天井部Ｃ１よりも下方に設置された下天井部Ｃ２とにより構成されている。上天井部Ｃ１は、通気孔を有さない空気の通流を規制する天井であり、下天井部Ｃ２は、上下方向Ｙに通気可能な天井である。本実施形態では、上天井部Ｃ１は、無孔状のコンクリートにより構成されており、下天井部Ｃ２は、ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタにより構成されている。
尚、フィルタが備えられた下天井部Ｃ２は、清浄空気を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井に相当する。下床部Ｆ２は、上下方向Ｙに気体の通流を規制する設置床に相当する。 The ceiling C of the clean room is composed of an upper ceiling part C1 and a lower ceiling part C2 installed below the upper ceiling part C1. The upper ceiling part C1 is a ceiling that restricts the flow of air that does not have a vent hole, and the lower ceiling part C2 is a ceiling that can ventilate in the vertical direction Y. In the present embodiment, the upper ceiling part C1 is made of non-porous concrete, and the lower ceiling part C2 is made of a filter such as a HEPA filter.
In addition, the lower ceiling part C2 provided with the filter corresponds to a ceiling provided with an outflow part for flowing clean air downward. Lower floor F 2 corresponds to the installation floor for regulating the flow of gas in the vertical direction Y.

図５に示すように、壁体Ｋは、下天井部Ｃ２の直下に設置されている。壁体Ｋは、床上壁３１と床下壁３２とを備えている。床上壁３１は、上床部Ｆ１より上方で且つ下天井部Ｃ２より下方に位置している。床下壁３２は、上床部Ｆ１より下方で且つ下床部Ｆ２より上方に位置している。床下壁３２は、床上壁３１に比べて前後方向Ｘに幅広に形成されており、壁体Ｋ全体として、長手方向に見て上下反転させたＴ字状に形成されている。 As shown in FIG. 5, the wall body K is installed directly under the lower ceiling part C2. The wall body K includes an upper floor wall 31 and a lower floor wall 32. Floor wall 31 is positioned below the lower ceiling portion C2 and at above the top floor portion F 1. Underfloor wall 32 is positioned above and more Shitayuka portion F 2 in below the top floor portion F 1. The lower floor wall 32 is formed wider in the front-rear direction X than the upper floor wall 31, and the entire wall body K is formed in a T-shape that is vertically inverted when viewed in the longitudinal direction.

床下壁３２は、上面の一部が開口する四角箱状に形成されている。説明を加えると、床下壁３２は、四角筒状に形成された４面の床下壁部３２ａに加えて、上面を形成する一対の遮断壁部３２ｂと、下面を形成する底壁部３２ｃと、を備えている。図５では、前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床下壁部３２ａと、前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床下壁部３２ａと、上面を形成する一対の遮断壁部３２ｂと、下面を形成する底壁部３２ｃと、が示されている。床下壁３２における上面を形成する一対の遮断壁部３２ｂは、下床部Ｆ２に対して上方に間隔を空けた位置に下床部Ｆ２に沿って設置されると共に空気の通流を規制する構成となっている。尚、遮断壁部３２ｂが、副壁部に相当する。 The underfloor wall 32 is formed in a square box shape in which a part of the upper surface is opened. In addition to the description, the underfloor wall 32 includes a pair of blocking wall portions 32b that form an upper surface, a bottom wall portion 32c that forms a lower surface, in addition to the four underfloor wall portions 32a formed in a square tube shape, It has. In FIG. 5, the underfloor wall portion 32 a that closes one direction in the front-rear direction X, the underfloor wall portion 32 a that closes the other direction in the front-rear direction X, a pair of blocking wall portions 32 b that form the upper surface, and the bottom wall that forms the lower surface Part 32c is shown. A pair of blocking wall portions 32b to form the upper surface of the floor wall 32, restricting the flow of air while being placed along the Shitayuka portion F 2 at a position spaced upwardly from the lower floor F 2 It is the composition to do. The blocking wall portion 32b corresponds to the sub wall portion.

床上壁３１の下端に形成された開口と床下壁３２の上面に形成された開口とは、上床部Ｆ１を介して接続されており、床上壁３１に囲われた収納領域Ｅ１と遮断壁部３２ｂの直下の設置領域Ｅ２とが連通している。また、床上壁３１の上端に、床上壁３１の上方から収納領域Ｅ１に空気を流入させる流入口３３が形成されている。また、床下壁３２の外方Ｘ２の端部に、設置領域Ｅ２から床下壁３２の外方Ｘ２に空気を流出させる流出口３４が形成されている。この流出口３４は、遮断壁部３２ｂにおける外方Ｘ２の端部の下方に形成される。 The top opening formed in the opening and the floor wall 32 formed at the lower end of the floor wall 31 is connected via the top floor portion F 1, the blocking wall portion housing area E1 surrounded on the floor wall 31 The installation area E2 directly below 32b communicates. In addition, an inlet 33 is formed at the upper end of the floor wall 31 to allow air to flow into the storage area E1 from above the floor wall 31. Further, an outlet 34 is formed at the end of the outer side X2 of the underfloor wall 32 to allow air to flow out from the installation region E2 to the outer side X2 of the underfloor wall 32. The outlet 34 is formed below the outer X2 end of the blocking wall 32b.

そして、遮断壁部３２ｂにおける内方Ｘ１の部分が、遮断壁部３２ｂと床上壁３１との間を空気の通流を規制する状態で床上壁３１における下端に接続されている。
説明を加えると、遮断壁部３２ｂは上床部Ｆ１の下面に連結されており、床上壁３１の床上壁部３１ａの下端は上床部Ｆ１の上面に連結されている。このように、床上壁３１における床上壁部３１ａの下端と遮断壁部３２ｂの上面との間に上床部Ｆ１を挟む状態で、床上壁３１及び遮断壁部３２ｂを設置することで、床上壁３１と遮断壁部３２ｂとの間を空気の通流を規制する状態となっている。
尚、遮断壁部３２ｂにおける内方Ｘ１の端部は、遮断壁部３２ｂにおける内方Ｘ１の端から１／３の部分としている。 And the part of the inner side X1 in the blocking wall part 32b is connected to the lower end in the floor upper wall 31 in the state which regulates the flow of air between the blocking wall part 32b and the floor upper wall 31.
The addition of description, the blocking wall portion 32b is connected to the lower surface of the top floor portion F 1, the lower end of the floor wall portion 31a of the floor wall 31 is connected to the upper surface of the top floor portion F 1. Thus, in a state sandwiching the top floor portion F 1 between the top surface of the lower end and the blocking wall portion 32b of the floor wall portion 31a of the floor wall 31, by installing a floor wall 31 and blocking wall portion 32b, the floor wall It is in the state which regulates the flow of air between 31 and the interruption | blocking wall part 32b.
In addition, the edge part of the inner side X1 in the interruption | blocking wall part 32b is made into the 1/3 part from the edge of the inner side X1 in the interruption | blocking wall part 32b.

Claims (10)

収納領域に複数設置されて容器を収納する収納部と、
前記収納領域における前記複数の収納部の一部又は全部を供給収納部として、前記供給収納部に収納されている前記容器の内部に気体を供給する気体供給装置と、を備え、
前記気体供給装置は、複数の前記供給収納部の夫々に対して設置され且つ前記供給収納部に収納された前記容器に接続される複数の接続部と、前記収納領域の外部に設置された供給源から供給される気体を前記複数の接続部に分岐供給する配管と、前記配管内を通流する気体の流量を制御するマスフローコントローラと、を備えた容器収納設備であって、
前記配管は、前記複数の供給収納部の一部又は全部により構成される供給収納部群に対して、前記供給収納部群を構成する２つ以上の前記供給収納部の夫々に対して設置された２つ以上の第１配管と、気体の通流方向において前記２つ以上の第１配管より上流側に設置された単一の流路を形成する第２配管と、前記第２配管から供給される気体を前記２つ以上の第１配管に分岐させる分岐配管と、を備え、
前記マスフローコントローラは、前記第２配管における前記単一の流路上に設置され、
前記収納領域の外部に設定された設置領域に、前記マスフローコントローラが設置されている容器収納設備。 A plurality of storage units installed in the storage area for storing containers;
A gas supply device that supplies a gas to the inside of the container stored in the supply storage unit, using a part or all of the plurality of storage units in the storage region as a supply storage unit,
The gas supply device is installed for each of the plurality of supply storage units and connected to the container stored in the supply storage unit, and a supply installed outside the storage region A container storage facility comprising: a pipe for branching and supplying a gas supplied from a source to the plurality of connection parts; and a mass flow controller for controlling a flow rate of the gas flowing through the pipe,
The said piping is installed with respect to each of the two or more said supply storage parts which comprise the said supply storage part group with respect to the supply storage part group comprised by a part or all of these supply storage parts. Two or more first pipes, a second pipe forming a single flow path installed upstream of the two or more first pipes in the gas flow direction, and a supply from the second pipe A branch pipe for branching the gas to be branched into the two or more first pipes,
The mass flow controller is installed on the single flow path in the second pipe,
Container storage equipment in which the mass flow controller is installed in an installation area set outside the storage area. 前記複数の収納部は、上下方向に並べて配置され、
前記複数の収納部の夫々は、前記容器の底面部を下方から支持する支持部を備え、
前記複数の収納部における最下段の前記収納部に備えられている前記支持部より下方に前記設置領域が設定されている請求項１記載の容器収納設備。 The plurality of storage units are arranged in the vertical direction,
Each of the plurality of storage units includes a support unit that supports the bottom surface of the container from below,
The container storage facility according to claim 1, wherein the installation area is set below the support portion provided in the lowermost storage section in the plurality of storage sections. 前記収納領域と前記設置領域とに亘って領域内の気体を下方に流動させる気流発生装置を備えている請求項２に記載の容器収納設備。   The container storage facility according to claim 2, further comprising an airflow generation device that causes a gas in the region to flow downward across the storage region and the installation region. 前記供給収納部群を構成する前記２つ以上の供給収納部が、上下方向にのみ並べて配置されている請求項３に記載の容器収納設備。   The container storage facility according to claim 3, wherein the two or more supply storage units constituting the supply storage unit group are arranged side by side only in the vertical direction. 前記複数の収納部は、上下方向及びこの上下方向と直交する横方向に並べて配置され、
前記収納部に前記容器を搬送するスタッカークレーンを備え、
前記スタッカークレーンは、前記横方向に走行する走行台車と、前記走行台車に立設されたマストと、前記マストに沿って上下方向に移動し且つ自己から前記収納部に前記容器を移載する移載装置と、を備え、
前記最下段の収納部に備えられている前記支持部より下方に、前記走行台車の少なくとも一部が位置している請求項２から４のいずれか１項に記載の容器収納設備。 The plurality of storage units are arranged side by side in a vertical direction and a horizontal direction perpendicular to the vertical direction,
A stacker crane for transporting the container to the storage unit;
The stacker crane includes a traveling cart that travels in the lateral direction, a mast that is erected on the traveling cart, a vertical movement that moves along the mast, and a container that transfers the container from its own to the storage unit. A mounting device,
The container storage facility according to any one of claims 2 to 4, wherein at least a part of the traveling carriage is positioned below the support portion provided in the lowermost storage portion. 前記気体供給装置は、前記第１配管の夫々にオリフィスを備えている請求項１から５のいずれか１項に記載の容器収納設備。   The said gas supply apparatus is a container storage equipment of any one of Claim 1 to 5 provided with the orifice in each of said 1st piping. 前記容器が、レチクルを収納する容器であって、
前記気体供給装置により前記容器の内部に供給される気体が、前記収納部の気体に比べて湿度が低い気体である請求項１から６のいずれか１項に記載の容器収納設備。 The container is a container for storing a reticle;
The container storage equipment according to any one of claims 1 to 6, wherein the gas supplied into the container by the gas supply device is a gas having a lower humidity than the gas in the storage unit. 前記収納領域の側周囲を空気の通流を規制するように覆う壁体を備え、
前記壁体は、空気の通流を規制する設置床に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向に沿う姿勢で設置されると共に空気の通流を規制する主壁部、を備え、
上下方向に見て前記主壁部の厚み方向において、前記主壁部に対して前記収納領域が存在する方向を第１方向、前記第１方向とは反対の方向を第２方向とし、
前記主壁部の上端に、前記主壁部の上方から空気を前記収納領域に流入させる流入口が形成され、
前記マスフローコントローラは、前記主壁部の下端と前記設置床との間で且つ上下方向に見て前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置するように設置されている請求項１から７のいずれか１項に記載の容器収納設備。 A wall covering the side of the storage area so as to restrict the air flow;
The wall body is provided with a main wall portion that is installed in a posture along the vertical direction at a position spaced apart upward with respect to an installation floor that regulates air flow, and that regulates air flow,
In the thickness direction of the main wall portion when viewed in the vertical direction, the direction in which the storage area exists with respect to the main wall portion is the first direction, and the direction opposite to the first direction is the second direction,
An inlet for allowing air to flow into the storage area from above the main wall is formed at the upper end of the main wall,
The mass flow controller is installed between a lower end of the main wall and the installation floor so that at least a part of the mass flow controller is positioned in the second direction from the main wall as viewed in the vertical direction. The container storage equipment according to any one of claims 1 to 7. 前記壁体は、前記主壁部に加えて、前記設置床に対して上方に間隔を空けた位置に前記設置床に沿って設置されると共に空気の通流を規制する副壁部を備え、
前記収納領域と前記副壁部より下方の前記設置領域とが連通し、
前記副壁部における前記第２方向の端部の下方に、前記設置領域から前記副壁部の前記第２方向に空気を流出させる流出口が形成され、
前記副壁部における前記第１方向の部分が、前記副壁部と前記主壁部との間を空気の通流を規制する状態で前記主壁部における下端に接続され、
前記マスフローコントローラは、前記副壁部と前記設置床との間で且つ前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置し且つ前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記副壁部における前記第１方向の端部より前記第１方向に位置するように設置されている請求項８に記載の容器収納設備。 The wall body includes, in addition to the main wall portion, a sub-wall portion that is installed along the installation floor at a position spaced upward with respect to the installation floor and restricts the flow of air.
The storage area and the installation area below the sub-wall portion communicate with each other,
An outlet for allowing air to flow out from the installation region in the second direction of the subwall portion is formed below the end portion in the second direction of the subwall portion,
A portion of the sub-wall portion in the first direction is connected to a lower end of the main wall portion in a state of restricting air flow between the sub-wall portion and the main wall portion,
The mass flow controller is located between the auxiliary wall and the installation floor, and at least a part of the mass flow controller is positioned in the second direction from the main wall, and at least a part of the mass flow controller is the auxiliary wall. The container storage facility according to claim 8, wherein the container storage facility is installed so as to be positioned in the first direction from an end portion of the first direction in the section. 前記壁体は、清浄空気を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井の直下に設置され、
作業者が歩行可能で且つ上下方向に通気可能な作業床を前記副壁部より上方に更に備え、
前記副壁部は、前記作業床と上下方向に並ぶ状態で設置され、
前記作業床における前記副壁部と上下方向に並ぶ部分は、前記副壁部により上下方向への通気が規制されている請求項８又は９に記載の容器収納設備。 The wall body is installed immediately below the ceiling provided with an outflow portion for flowing clean air downward.
A work floor that allows an operator to walk and vent in the vertical direction is further provided above the sub-wall portion,
The sub-wall portion is installed in a state aligned with the work floor in the vertical direction,
The container storage facility according to claim 8 or 9, wherein a portion of the work floor that is vertically aligned with the sub-wall portion is restricted in ventilation in the vertical direction by the sub-wall portion.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011507309A (en) * 2007-12-18 2011-03-03 エンテグリス・インコーポレーテッド Method and apparatus for suppressing substrate contamination
WO2015194252A1 (en) * 2014-06-16 2015-12-23 村田機械株式会社 Purge stocker and purging method
JP2016021429A (en) * 2014-07-11 2016-02-04 村田機械株式会社 Purge stocker

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0179405B1 (en) * 1993-04-12 1999-04-15 마스다 쇼오이치로오 Load storing equipment with cleaning device
JP4807579B2 (en) * 2006-09-13 2011-11-02 株式会社ダイフク Substrate storage equipment and substrate processing equipment
JP4706938B2 (en) * 2008-11-21 2011-06-22 村田機械株式会社 Clean room automatic warehouse and how to store goods in automatic warehouse
JP5440871B2 (en) * 2010-08-20 2014-03-12 株式会社ダイフク Container storage equipment
JP5709011B2 (en) 2011-12-26 2015-04-30 株式会社ダイフク Goods storage facility
JP5979089B2 (en) * 2013-06-26 2016-08-24 株式会社ダイフク Storage facilities

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011507309A (en) * 2007-12-18 2011-03-03 エンテグリス・インコーポレーテッド Method and apparatus for suppressing substrate contamination
WO2015194252A1 (en) * 2014-06-16 2015-12-23 村田機械株式会社 Purge stocker and purging method
JP2016021429A (en) * 2014-07-11 2016-02-04 村田機械株式会社 Purge stocker

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