JP2017183371A - Heat deformation suppression type clamp tray - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はワークの把持固定が可能なクランプトレイに関するものである。 The present invention relates to a clamp tray capable of gripping and fixing a workpiece.
例えば、複数個のワークに同時に印刷を行う場合やワークを実装機に供給する場合、半導体ワークにボンディングを行う場合などには、高い精度でワークを位置決め固定することが要求される。 For example, when printing is simultaneously performed on a plurality of workpieces, when workpieces are supplied to a mounting machine, or when bonding is performed on a semiconductor workpiece, it is required to position and fix the workpiece with high accuracy.
このような要求に対応するため、これまで種々のクランプトレイが提案されている。例えば特許文献１には、底板８、９（下側プレート）、枠板１０（枠状プレート）、および上板１１（上側プレート）といった板状の部材が積層配置されて固定されており、スプリング６や可動板３が枠板１０の内側に配置された治具（クランプトレイ）が開示されている。このクランプトレイでは、可動板が移動することにより、ワークを適切に把持固定することが可能である。 In order to meet such a demand, various clamp trays have been proposed so far. For example, in Patent Document 1, plate-like members such as bottom plates 8 and 9 (lower plate), frame plate 10 (frame-like plate), and upper plate 11 (upper plate) are stacked and fixed, and a spring 6 and a jig (clamp tray) in which the movable plate 3 is disposed inside the frame plate 10 are disclosed. In this clamp tray, the workpiece can be appropriately held and fixed by moving the movable plate.
一般的にクランプトレイは、上側プレート、枠状プレート、および下側プレートがスポット溶接等により固定されて形成される。一方でクランプトレイは、高温環境下で使用されることも多い。この際に上側プレート、枠状プレート、および下側プレートの熱膨張が大きくなり過ぎると、これらのクランプトレイに生じる反り等の変形が顕著となり、クランプトレイの品質維持等が難しくなる。 Generally, the clamp tray is formed by fixing an upper plate, a frame-like plate, and a lower plate by spot welding or the like. On the other hand, the clamp tray is often used in a high temperature environment. At this time, if the thermal expansion of the upper plate, the frame-shaped plate, and the lower plate becomes excessively large, deformation such as warpage generated in the clamp tray becomes remarkable, and it becomes difficult to maintain the quality of the clamp tray.
このような変形を極力抑えるためには、クランプトレイの全体を、熱膨張係数の低い材質で形成すれば良いようにも見える。しかし、熱膨張係数の小さい材料、例えば４２アロイはバネ性が低く、可動プレートなどのバネ性の必要な部材には使用することは難しい。また熱膨張率の低いＮｉ合金材料はＮｉ含有量が多くなるほどエッチングなどの加工性が低下する。このため、本発明者らは、バネ性が必要な可動プレートについてはステンレス鋼などの高硬度材を用い、その他の部材については熱膨張係数の小さい４２アロイなどを用いたところ、クランプトレイの瞬間的な熱変形は抑制できたもののクランプトレイ全体に熱が伝達されると、熱膨張の違いなどによってクランプトレイに新たな変形が生じた。 In order to suppress such deformation as much as possible, it seems that the entire clamp tray may be formed of a material having a low thermal expansion coefficient. However, a material having a small coefficient of thermal expansion, such as 42 alloy, has low spring property, and is difficult to use for a member requiring spring property such as a movable plate. Further, the Ni alloy material having a low coefficient of thermal expansion decreases the workability such as etching as the Ni content increases. For this reason, the present inventors used a hard material such as stainless steel for the movable plate that requires springiness, and used a 42 alloy having a low coefficient of thermal expansion for the other members. However, when heat was transmitted to the entire clamp tray, new deformation occurred in the clamp tray due to differences in thermal expansion.
そこで本発明は、上述した問題点に鑑み、異なる材質の部品を用いた場合でも高温環境下における反り等の変形を抑え得るクランプトレイの提供を目的とする。 In view of the above-described problems, an object of the present invention is to provide a clamp tray capable of suppressing deformation such as warpage in a high temperature environment even when parts made of different materials are used.
本発明に係るクランプトレイは、上側プレートと下側プレートが枠状プレートを挟むように各プレートが積層配置され、可動プレートが、前記枠状プレート内のスペースに配置され、前記上側プレートおよび前記下側プレートの少なくとも一方には、ワークが挿入される孔が形成され、前記可動プレートは、前記孔に挿入されたワークを収容可能とする収容可能位置と、収容されたワークを押さえて固定する固定位置とに可動であるクランプトレイであって、前記上側プレート、前記下側プレート、および前記枠状プレートは、前記可動プレートに比べて熱膨張係数の低い材質により形成された構成とする。 In the clamp tray according to the present invention, the plates are laminated so that the upper plate and the lower plate sandwich the frame plate, the movable plate is disposed in a space in the frame plate, the upper plate and the lower plate A hole into which a workpiece is inserted is formed in at least one of the side plates, and the movable plate is capable of accommodating the workpiece inserted into the hole, and fixed to hold and hold the accommodated workpiece. The clamp tray is movable to a position, and the upper plate, the lower plate, and the frame plate are formed of a material having a lower thermal expansion coefficient than the movable plate.
本構成によれば、反り等の変形の問題を抑えながらも、製造コスト等の問題も極力解消し得るクランプトレイとすることが出来る。 According to this configuration, it is possible to provide a clamp tray that can eliminate problems such as manufacturing cost as much as possible while suppressing deformation problems such as warping.
また上記構成としてより具体的には、前記可動プレートは、前記枠状プレートに当接して当該可動プレートを前記収容可能位置から前記固定位置へ付勢するバネ部を有するように、一枚の金属板材から形成された構成としてもよい。また当該構成としてより具体的には、前記バネ部は、熱膨張の際に前記付勢が強まるように配置された構成としてもよい。 More specifically, in the above-described configuration, the movable plate is a single metal so as to have a spring portion that abuts the frame-shaped plate and biases the movable plate from the accommodating position to the fixed position. It is good also as a structure formed from the board | plate material. More specifically, as the configuration, the spring portion may be arranged so that the urging force is increased during thermal expansion.
また上記構成としてより具体的には、前記上側プレート、前記下側プレート、および前記枠状プレートは、４２アロイを材質とする板材から形成された構成としてもよい。また上記構成としてより具体的には、前記可動プレートは、ステンレス鋼を材質とする板材から形成された構成としてもよい。 More specifically, the upper plate, the lower plate, and the frame plate may be formed of a plate material made of 42 alloy. More specifically, the movable plate may be formed of a plate material made of stainless steel.
本発明のクランプトレイによれば、反り等の変形の問題を抑えながらも、製造コスト等の問題も極力解消することが可能となる。 According to the clamp tray of the present invention, it is possible to eliminate problems such as manufacturing costs as much as possible while suppressing deformation problems such as warpage.
以下、本発明に係るクランプトレイの実施形態について、各図を参照しながら詳述する。但し、本発明の内容は、これらの実施形態に何ら限定されるものではない。なお、以下の説明において上下、左右および前後の各方向（互いに直交する方向）は、図１および図２などに示す通りである。 Hereinafter, embodiments of a clamp tray according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the contents of the present invention are not limited to these embodiments. In the following description, the up / down, left / right, and front / rear directions (directions orthogonal to each other) are as shown in FIGS.
図１は、本実施形態に係るクランプトレイ１（以下、「クランプトレイ１」と記すことがある）の概略的な外観図である。また図２は、クランプトレイ１の概略的な分解斜視図である。本図に示すようにクランプトレイ１は、上側プレート１１、枠状プレート１２、および下側プレート１５が上から順に積層配置されて構成されている。 FIG. 1 is a schematic external view of a clamp tray 1 (hereinafter sometimes referred to as “clamp tray 1”) according to the present embodiment. FIG. 2 is a schematic exploded perspective view of the clamp tray 1. As shown in the figure, the clamp tray 1 is configured by laminating an upper plate 11, a frame plate 12, and a lower plate 15 in order from the top.
下側プレート１５の所定位置には、あて板部材１４が固定されている（図７を参照）。また上側プレート１１と下側プレート１５の間には、枠状プレート１２の内側スペースＳＰおよび開口部ＯＰ（図４を参照）の分だけ隙間が設けられ、この隙間に、可動プレート１３が設けられている。 An address plate member 14 is fixed at a predetermined position of the lower plate 15 (see FIG. 7). Further, a gap is provided between the upper plate 11 and the lower plate 15 by an amount corresponding to the inner space SP and the opening OP (see FIG. 4) of the frame-like plate 12, and the movable plate 13 is provided in this gap. ing.
図１に示すように可動プレート１３には、斜め左後側に伸びた部分αと斜め右前側に伸びた部分βが設けられ、これらの両側（左前側と右後側）の縁が枠状プレート１２と摺動するように、可動プレート１３は移動可能である。これにより可動プレート１３は、枠状プレート１２の内側スペース内において、図１での斜め方向（左後方向および右前方向）へ可動である As shown in FIG. 1, the movable plate 13 is provided with a portion α that extends obliquely to the left rear side and a portion β that extends obliquely to the front right, and the edges of both sides (the left front side and the right rear side) are frame-shaped. The movable plate 13 is movable so as to slide with the plate 12. Accordingly, the movable plate 13 is movable in the diagonal direction (left rear direction and right front direction) in FIG. 1 within the space inside the frame-shaped plate 12.
なお、図２に示すように、上側プレート１１、枠状プレート１２、あて板部材１４、および下側プレート１５は、材質が４２アロイの薄い板材を用いて形成されている。一方で可動プレート１３は、材質がステンレス鋼の薄い板材を用いて、エッチング加工により形成されている。このように異なる材質を用いた理由については、後述の説明により明らかとなる。 As shown in FIG. 2, the upper plate 11, the frame plate 12, the cover plate member 14, and the lower plate 15 are formed using a thin plate material of 42 alloy. On the other hand, the movable plate 13 is formed by etching using a thin plate made of stainless steel. The reason for using such different materials will become clear from the following description.
クランプトレイ１は、全体的に見て、上下方向を厚み方向とする平面視矩形状の薄い板状体となっている。クランプトレイ１の全体的な寸法は、例えば、前後と左右の各方向が５cm程度、上下方向（厚み）が０．５mm程度である。 The clamp tray 1 is a thin plate-like body having a rectangular shape in plan view with the vertical direction as the thickness direction as a whole. The overall dimensions of the clamp tray 1 are, for example, about 5 cm in the front-rear and left-right directions and about 0.5 mm in the up-down direction (thickness).
また図１に示すように、クランプトレイ１は、前後と左右方向へ等間隔に配置された複数個（本実施形態の例では３×３＝９個）の収容孔１１ａ、積層された各板部を貼り合せる際に位置決め等に利用される貼り合せ用穴Ｈａ１〜Ｈａ３、および、可動プレート１３の移動操作等に利用される可動用穴Ｈｂ１，Ｈｂ２を有している。 As shown in FIG. 1, the clamp tray 1 includes a plurality of (3 × 3 = 9 in the example of the present embodiment) receiving holes 11a arranged at equal intervals in the front-rear and left-right directions, and the stacked plates. There are bonding holes Ha1 to Ha3 used for positioning and the like, and movable holes Hb1 and Hb2 used for moving the movable plate 13 and the like.
収容孔１１ａは、ワーク（チップ等でも良い）を収容するための孔である。上方から収容孔１１ａに挿入されたワークは、可動プレート１３に設けられた収容スペース１３ｅ（図５を参照）に達し、図１に示すあて板部材１４と各把持部１３ｂ１，１３ｂ２に挟まれることで把持固定（クランプ）が可能である。 The accommodation hole 11a is a hole for accommodating a workpiece (which may be a chip or the like). The workpiece inserted into the accommodation hole 11a from above reaches the accommodation space 13e (see FIG. 5) provided in the movable plate 13, and is sandwiched between the address plate member 14 and the gripping portions 13b1 and 13b2 shown in FIG. Can be held and fixed (clamp).
可動プレート１３の後側と枠状プレート１２との間には、複数の後側バネ部１３ａ１（左右方向へ４個が並べられている）が設けられており、可動プレート１３の左側と枠状プレート１２との間には、複数の左側バネ部１３ａ２（前後方向へ４個が並べられている）が設けられている。これらのバネ部１３ａ１，１３ａ２が縮むことにより、可動プレート１３を斜め右前方向へ付勢することが可能である。 Between the rear side of the movable plate 13 and the frame-shaped plate 12, a plurality of rear spring portions 13a1 (four are arranged in the left-right direction) are provided. Between the plate 12, a plurality of left side spring portions 13a2 (four are arranged in the front-rear direction) are provided. When the spring portions 13a1 and 13a2 are contracted, the movable plate 13 can be biased diagonally right forward.
なお、あて板部材１４は下側プレート１５に固定されており、各把持部１３ｂ１，１３ｂ２は可動プレート１３と一体化されている。そのため上記のように可動プレート１３が付勢されると、各把持部１３ｂ１，１３ｂ２はワークをあて板部材１４へ押付ける格好となり、ワークが把持固定されることになる。 The address plate member 14 is fixed to the lower plate 15, and the gripping portions 13 b 1 and 13 b 2 are integrated with the movable plate 13. Therefore, when the movable plate 13 is urged as described above, the gripping portions 13b1 and 13b2 look like pressing the workpiece against the plate member 14, and the workpiece is gripped and fixed.
次に、クランプトレイ１の各構成部材（１１〜１５）について、より詳細に説明する。 Next, each structural member (11-15) of the clamp tray 1 is demonstrated in detail.
図３は、上側プレート１１の概略的な構成図である。本図に示すように上側プレート１１は、全体的に見て略矩形状の薄板となっており、９個の収容孔１１ａ、貼り合せ用穴Ｈａ１〜Ｈａ３、および可動用穴Ｈｂ１，Ｈｂ２を有している。 FIG. 3 is a schematic configuration diagram of the upper plate 11. As shown in the figure, the upper plate 11 is a thin plate having a substantially rectangular shape as a whole, and has nine accommodating holes 11a, bonding holes Ha1 to Ha3, and movable holes Hb1 and Hb2. doing.
図４は、枠状プレート１２の概略的な構成図である。本図に示すように枠状プレート１２は、薄板状であるとともに、中央領域が内部スペースＳＰとされた枠状の部材である。枠状プレート１２は、貼り合せ用穴Ｈａ１〜Ｈａ３を有しており、また斜め右前側の角部分には、内部スペースＳＰを外部へ連通させる開口部ＯＰが設けられている。 FIG. 4 is a schematic configuration diagram of the frame-shaped plate 12. As shown in the figure, the frame-shaped plate 12 is a frame-shaped member having a thin plate shape and having a central region as an internal space SP. The frame-like plate 12 has bonding holes Ha1 to Ha3, and an opening OP that communicates the internal space SP to the outside is provided at a corner portion on the diagonally right front side.
図５は、可動プレート１３の概略的な構成図である。本図に示すように可動プレート１３は、薄板状であるとともに、後側バネ部１３ａ１、左側バネ部１３ａ２、後側把持部１３ｂ１、左側把持部１３ｂ２、後側把持用バネ１３ｃ１、左側把持用バネ１３ｃ２、押しボタン部１３ｄ、収容スペース１３ｅ、および各可動用穴Ｈｂ１，Ｈｂ２を有している。 FIG. 5 is a schematic configuration diagram of the movable plate 13. As shown in the figure, the movable plate 13 has a thin plate shape, and includes a rear spring portion 13a1, a left spring portion 13a2, a rear grip portion 13b1, a left grip portion 13b2, a rear grip spring 13c1, and a left grip spring. 13c2, a push button portion 13d, an accommodation space 13e, and movable holes Hb1 and Hb2.
後側バネ部１３ａ１は、可動プレート１３の後側において、左右方向へ４個が並ぶように配置されている。各後側バネ部１３ａ１は、前側の一端が可動プレート１３の本体と繋がっており、後側の他端は枠状プレート１２の内壁（内部スペースの後側の壁）へ当接させることが可能となっている。 The four rear spring portions 13a1 are arranged on the rear side of the movable plate 13 so as to be arranged in the left-right direction. Each rear spring portion 13a1 has one end on the front side connected to the main body of the movable plate 13, and the other end on the rear side can be brought into contact with the inner wall (the rear wall of the internal space) of the frame-shaped plate 12. It has become.
左側バネ部１３ａ２は、可動プレート１３の左側において、前後方向へ４個が並ぶように配置されている。各左側バネ部１３ａ２は、右側の一端が可動プレート１３の本体と繋がっており、左側の他端は枠状プレート１２の内壁（内部スペースの左側の壁）へ当接させることが可能となっている。後側バネ部１３ａ１と左側バネ部１３ａ２の作用により、可動プレート１３を斜め右前方向へ付勢することが可能である。 On the left side of the movable plate 13, four left side spring portions 13a2 are arranged in the front-rear direction. Each left spring portion 13a2 has one right end connected to the main body of the movable plate 13, and the other end on the left can be brought into contact with the inner wall (the left wall of the internal space) of the frame-shaped plate 12. Yes. The movable plate 13 can be biased obliquely forward to the right by the action of the rear spring portion 13a1 and the left spring portion 13a2.
また各収容スペース１３ｅは、各収容孔１１ａに対応して設けられている。後側把持部１３ｂ１は、各収容スペース１３ｅの後側に配置されており、後側把持用バネ１３ｃ１を介して可動プレート１３に繋がっている。左側把持部１３ｂ２は、各収容スペース１３ｅの左側に配置されており、左側把持用バネ１３ｃ２を介して可動プレート１３に繋がっている。 Each accommodation space 13e is provided corresponding to each accommodation hole 11a. The rear gripping portion 13b1 is disposed on the rear side of each storage space 13e, and is connected to the movable plate 13 via the rear gripping spring 13c1. The left grip 13b2 is disposed on the left side of each accommodation space 13e and is connected to the movable plate 13 via a left grip spring 13c2.
これにより後側把持部１３ｂ１は、収容スペース１３ｅ内において前後方向へ弾性的に伸縮可能であり、左側把持部１３ｂ２は、収容スペース１３ｅ内において左右方向へ弾性的に伸縮可能である。後側把持部１３ｂ１は、後方からワークをあて板部材１４へ押付ける役割を果たし、左側把持部１３ｂ２は、左方からワークをあて板部材１４へ押付ける役割を果たす。 As a result, the rear gripping portion 13b1 can be elastically expanded and contracted in the front-rear direction in the accommodation space 13e, and the left gripping portion 13b2 can be elastically expanded and contracted in the horizontal direction in the accommodation space 13e. The rear gripping portion 13b1 plays a role of pressing the workpiece against the plate member 14 from the rear, and the left gripping portion 13b2 plays a role of pressing the workpiece against the plate member 14 from the left side.
押しボタン部１３ｄは、可動プレート１３の斜め右前側において外向き（斜め右前方向）へ突出するように形成されており、開口部ＯＰを介して枠状プレート１２の外側へ延出する。押しボタン部１３ｄは、可動プレート１３の移動操作に利用可能である。 The push button portion 13d is formed so as to protrude outward (obliquely right front direction) on the diagonally right front side of the movable plate 13, and extends to the outside of the frame-shaped plate 12 through the opening OP. The push button portion 13d can be used for a moving operation of the movable plate 13.
図６は、あて板部材１４を固定した状態の下側プレート１５の概略的な構成図である。なお、あて板部材１４および下側プレート１５は、それぞれ薄板状の部品として別個に用意されるが、図７に示すように各あて板部材１４が下側プレート１５表面へ接着固定されることにより、双方は一体化される。 FIG. 6 is a schematic configuration diagram of the lower plate 15 in a state where the address plate member 14 is fixed. The address plate member 14 and the lower plate 15 are separately prepared as thin plate-like components, but each address plate member 14 is bonded and fixed to the surface of the lower plate 15 as shown in FIG. Both are integrated.
クランプトレイ１は、上述した各部材（１１〜１５）が図２に示すように積層配置された上で、上側プレート１１と枠状プレート１２、および、枠状プレート１２と下側プレート１５が、それぞれ所定の複数箇所でスポット溶接され形成されている。可動プレート１３については、このようなスポット溶接はなされていないため、枠状プレート１２の内部スペースＳＰにおいて可動である。 The clamp tray 1 includes the above-described members (11 to 15) stacked and arranged as shown in FIG. 2, and the upper plate 11 and the frame plate 12 and the frame plate 12 and the lower plate 15 are Each of them is formed by spot welding at a predetermined plurality of locations. Since the spot welding is not performed on the movable plate 13, the movable plate 13 is movable in the internal space SP of the frame-shaped plate 12.
ここで、クランプトレイ１がワークを把持固定する動作について説明する。初期状態（外力が加わっていない状態）のクランプトレイ１においては、押しボタン部１３ｄが、枠状プレート１２の外縁よりも斜め右前方向へ延出している。この押しボタン部１３ｄを斜め左後方向へ押圧すると、可動プレート１３は、各バネ部１３ａ１，１３ａ２の付勢に抗して斜め左後方向へ移動する。 Here, the operation in which the clamp tray 1 holds and fixes the workpiece will be described. In the clamp tray 1 in an initial state (a state in which no external force is applied), the push button portion 13 d extends obliquely right forward from the outer edge of the frame-shaped plate 12. When the push button portion 13d is pressed diagonally left rearward, the movable plate 13 moves diagonally left rearward against the urging force of the spring portions 13a1 and 13a2.
これにより各把持部１３ｂ１，１３ｂ２は収容孔１１ａから離れる方向へ移動し、収容孔１１ａを介してワークを収容スペース１３ｅへ収容することが可能となる。このときの可動プレート１３の位置は、収容孔１１ａに挿入されたワークを収容可能とする収容可能位置と見ることが出来る。 Thereby, each holding part 13b1, 13b2 moves in the direction away from the accommodation hole 11a, and it becomes possible to accommodate the workpiece in the accommodation space 13e via the accommodation hole 11a. The position of the movable plate 13 at this time can be regarded as an accommodable position where the work inserted into the accommodation hole 11a can be accommodated.
この状態でワークを収容スペース１３ｅへ収容し、押しボタン部１３ｄの押圧を解除すると、各バネ部１３ａ１，１３ａ２によって、可動プレート１３が斜め右前方向へ付勢される。これにより、各把持部１３ｂ１，１３ｂ２がワークをあて板部材１４に向けて押す格好となり、ワークは、把持部１３ｂ１，１３ｂ２とあて板部材１４とに挟まれる。このようにしてクランプトレイ１は、ワークを適切に把持固定することが可能である。このときの可動プレート１３の位置は、収容されたワークを押さえて固定する固定位置と見ることが出来る。 When the workpiece is accommodated in the accommodation space 13e in this state and the pressing of the push button portion 13d is released, the movable plate 13 is biased diagonally right forward by the spring portions 13a1 and 13a2. As a result, the gripping portions 13b1 and 13b2 look like pressing the workpiece toward the plate member 14, and the workpiece is sandwiched between the gripping portions 13b1 and 13b2 and the contact plate member 14. In this way, the clamp tray 1 can appropriately hold and fix the workpiece. The position of the movable plate 13 at this time can be regarded as a fixed position where the housed workpiece is pressed and fixed.
ワークの把持固定を解消するためには、押しボタン部１３ｄを再度前方へ押圧すれば良い。これによりワークの押付けが解消され、クランプトレイ１からワークを容易に取り外すことが可能である。なお、可動プレート１３の移動操作は、押しボタン部１３ｄを操作する代わりに、可動用穴Ｈｂ１，Ｈｂ２の少なくとも一方へ棒状の治具を挿入したり引き抜いたりすることによっても可能となっている。 In order to cancel the gripping and fixing of the workpiece, the push button portion 13d may be pressed forward again. As a result, the pressing of the workpiece is eliminated, and the workpiece can be easily removed from the clamp tray 1. The movable plate 13 can be moved by inserting or pulling out a rod-shaped jig into at least one of the movable holes Hb1 and Hb2 instead of operating the push button portion 13d.
なお、上側プレート１１、枠状プレート１２、および下側プレート１５は、スポット溶接により互いに接着固定されており、高温環境下で使用されて熱膨張が生じると反り等の変形の要因となり易い。そこで本実施形態のクランプトレイ１では、熱膨張による反り等の変形を出来るだけ抑えるため、可動プレート１３を除く各部材（１１、１２、１４、１５）については、全て４２アロイの材質で形成している。 The upper plate 11, the frame-like plate 12, and the lower plate 15 are bonded and fixed to each other by spot welding, and if they are used in a high temperature environment and thermal expansion occurs, they tend to cause deformation such as warpage. Therefore, in the clamp tray 1 of this embodiment, in order to suppress deformation such as warpage due to thermal expansion as much as possible, all members (11, 12, 14, 15) except the movable plate 13 are made of 42 alloy materials. ing.
４２アロイは、ステンレス鋼等に比べて熱膨張係数（線熱膨張係数）が十分に低い材質として知られており、４２アロイで形成された部材は、高温環境下で使用されても熱膨張は極力抑えられる。例えば、ＳＵＳ３０４（ステンレス鋼）は線熱膨張係数が１７．６×１０−６／℃程度であるのに対し、４２アロイの線熱膨張係数は、４．２×１０−６／℃程度である。 42 alloy is known as a material having a sufficiently low thermal expansion coefficient (linear thermal expansion coefficient) compared to stainless steel and the like, and the member formed of 42 alloy does not expand even when used in a high temperature environment. Suppressed as much as possible. For example, SUS304 (stainless steel) has a linear thermal expansion coefficient of about 17.6 × 10 −6 / ° C., whereas 42 alloy has a linear thermal expansion coefficient of about 4.2 × 10 −6 / ° C. .
そのため、上側プレート１１、枠状プレート１２、および下側プレート１５に生じる反り等の変形が極力抑えられ、クランプトレイ１の品質維持等が容易となっている。なお、あて板部材１４も下側プレート１５と同じ材質とすることにより、熱膨張に起因してあて板部材１４が下側プレート１５から離れ易くなることは極力回避される。 Therefore, deformations such as warpage occurring in the upper plate 11, the frame-shaped plate 12, and the lower plate 15 are suppressed as much as possible, and quality maintenance of the clamp tray 1 is facilitated. In addition, by making the address plate member 14 the same material as the lower plate 15, it is avoided as much as possible that the address plate member 14 is easily separated from the lower plate 15 due to thermal expansion.
一方で４２アロイは、ステンレス鋼等に比べて熱膨張の抑制の点では有利であるが、ステンレス鋼ほどのバネ性を有していない。 On the other hand, 42 alloy is advantageous in terms of suppressing thermal expansion as compared with stainless steel or the like, but does not have the same spring property as stainless steel.
これらの事情を考慮して本実施形態では、可動プレート１３については、ステンレス鋼（例えばＳＵＳ３０４）で形成している。これにより、各バネ部１３ａ１，１３ａ２や各把持用バネ１３ｃ１，１３ｃ２を含む比較的複雑な形状の可動プレート１３を、板材のエッチング加工により容易に形成することが可能である。また、可動プレート１３を４２アロイの材質で形成する場合に比べ、製造コストの点でも有利である。 In consideration of these circumstances, in the present embodiment, the movable plate 13 is formed of stainless steel (for example, SUS304). Thereby, the movable plate 13 having a relatively complicated shape including the spring portions 13a1 and 13a2 and the gripping springs 13c1 and 13c2 can be easily formed by etching the plate material. Further, it is advantageous in terms of manufacturing cost as compared with the case where the movable plate 13 is formed of a 42 alloy material.
なお、可動プレート１３については、スポット溶接等により他の部材と接着固定されることはなく、熱膨張による変形はあまり問題とはならない。そのため４２アロイではなく、ステンレス鋼により可動プレート１３を形成しても不具合は殆ど発生せず、むしろバネ性の維持や製造コストの低減が可能となる点で好ましい。 The movable plate 13 is not bonded and fixed to other members by spot welding or the like, and deformation due to thermal expansion is not a problem. Therefore, even if the movable plate 13 is formed of stainless steel instead of 42 alloy, there is almost no problem, but rather it is preferable in that the spring property can be maintained and the manufacturing cost can be reduced.
３．その他
以上に説明した通りクランプトレイ１では、上側プレート１１と下側プレート１５が枠状プレート１２を挟むように各プレートが積層配置され、可動プレート１３が、枠状プレート１２の内部スペースＳＰに配置されている。また、上側プレート１１にはワークを通す収容孔１１ａが形成され、可動プレート１３は、収容孔１１ａを介してワークを収容可能とする収容可能位置と、収容されたワークを押さえて固定する固定位置とに可動である。
3. Others As described above, in the clamp tray 1, the plates are stacked so that the upper plate 11 and the lower plate 15 sandwich the frame plate 12, and the movable plate 13 is disposed in the internal space SP of the frame plate 12. Has been. The upper plate 11 is formed with a receiving hole 11a through which the work is passed, and the movable plate 13 is capable of receiving the work through the receiving hole 11a and a fixed position for pressing and fixing the stored work. It is movable.
そして上側プレート１１、下側プレート１５、および枠状プレート１２は、可動プレート１３に比べて熱膨張係数の低い材質により形成されている。そのためクランプトレイ１は、反り等の変形の問題を抑えながらも、製造コストやバネ性の問題も解消し得るようになっている。なお、ワークを通す収容孔は、上側プレート１１の代わりに下側プレート１５に設けられても良く、これら両方のプレートに設けられても構わない。 The upper plate 11, the lower plate 15, and the frame-shaped plate 12 are formed of a material having a lower thermal expansion coefficient than the movable plate 13. Therefore, the clamp tray 1 can solve problems of manufacturing cost and spring property while suppressing deformation problems such as warpage. In addition, the accommodation hole which lets a workpiece | work pass may be provided in the lower plate 15 instead of the upper plate 11, and may be provided in both these plates.
なお、可動プレート１３は、枠状プレート１２に当接して可動プレート１３を収容可能位置から固定位置へ付勢する各バネ部１３ａ１，１３ａ２を有するように、一枚の金属板材から形成されている。そしてこれらのバネ部１３ａ１，１３ａ２は、熱膨張の際に前記付勢が強まるように配置されている。 The movable plate 13 is formed from a single metal plate so as to have spring portions 13a1 and 13a2 that abut against the frame-shaped plate 12 and urge the movable plate 13 from the accommodating position to the fixed position. . And these spring parts 13a1 and 13a2 are arrange | positioned so that the said biasing may become strong in the case of thermal expansion.
つまり、これらのバネ部１３ａ１，１３ａ２は、可動プレート１３の後側と左側に配置されているため、熱膨張によって伸びると、可動プレート１３はこれに応じて斜め右前方向へ移動する。この移動の方向は前記付勢の方向と一致しているため、当該付勢が強まることになる。これにより、高温環境下での使用により熱膨張が生じても、ワークの把持固定が強まる方向に作用するため、ワークの把持力が不足することや把持固定が不安定となること等は極力回避される。 That is, since these spring portions 13a1 and 13a2 are disposed on the rear side and the left side of the movable plate 13, when the thermal plate 13 is extended by thermal expansion, the movable plate 13 moves in the diagonally right front direction accordingly. Since the direction of this movement coincides with the direction of the urging, the urging is strengthened. As a result, even if thermal expansion occurs due to use in a high-temperature environment, it will work in the direction that the gripping and fixing of the work will be strengthened. Is done.
本発明は、各種のワークをクランプするクランプトレイに利用可能である。 The present invention can be used for a clamp tray for clamping various workpieces.
１ クランプトレイ
１１ 上側プレート
１１ａ 収容孔
１２ 枠状プレート
１３ 可動プレート
１３ａ１ 後側バネ部
１３ａ２ 左側バネ部
１３ｂ１ 後側把持部
１３ｂ２ 左側把持部
１３ｃ１ 後側把持用バネ
１３ｃ２ 左側把持用バネ
１３ｄ 押しボタン部
１３ｅ 収容スペース
１４ あて板部材
１５ 下側プレート
Ｈａ１〜Ｈａ３ 貼り合せ用穴
Ｈｂ１，Ｈｂ２ 可動用穴
ＯＰ 開口部
ＳＰ 内部スペース
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Clamp tray 11 Upper plate 11a Housing hole 12 Frame-shaped plate 13 Movable plate 13a1 Rear side spring part 13a2 Left side spring part 13b1 Rear side holding part 13b2 Left side holding part 13c1 Rear side holding spring 13c2 Left side holding spring 13d Push button part 13e Housing space 14 Addressing plate member 15 Lower plate Ha1 to Ha3 Bonding holes Hb1 and Hb2 Movable holes OP Opening portion SP Internal space
Claims (5)
可動プレートが、前記枠状プレート内のスペースに配置され、
前記上側プレートおよび前記下側プレートの少なくとも一方には、ワークが挿入される孔が形成され、
前記可動プレートは、前記孔に挿入されたワークを収容可能とする収容可能位置と、収容されたワークを押さえて固定する固定位置とに可動であるクランプトレイであって、
前記上側プレート、前記下側プレート、および前記枠状プレートは、前記可動プレートに比べて熱膨張係数の低い材質により形成されたことを特徴とするクランプトレイ。 Each plate is stacked so that the upper plate and the lower plate sandwich the frame plate,
A movable plate is disposed in a space in the frame-shaped plate;
A hole into which a workpiece is inserted is formed in at least one of the upper plate and the lower plate,
The movable plate is a clamp tray that is movable between an accommodable position that can accommodate the workpiece inserted into the hole and a fixed position that presses and fixes the accommodated workpiece,
The clamp tray, wherein the upper plate, the lower plate, and the frame-like plate are made of a material having a lower thermal expansion coefficient than the movable plate.
前記枠状プレートに当接して当該可動プレートを前記収容可能位置から前記固定位置へ付勢するバネ部を有するように、一枚の金属板材から形成されたことを特徴とする請求項１に記載のクランプトレイ。 The movable plate is
2. The metal plate material according to claim 1, wherein the metal plate is formed so as to have a spring portion that abuts on the frame-shaped plate and biases the movable plate from the accommodating position to the fixed position. Clamp tray.
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Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08113285A (en) * | 1994-08-25 | 1996-05-07 | Justy:Kk | Holder for electronic part, such as quartz resonator |
| JPH11204581A (en) * | 1998-01-14 | 1999-07-30 | Nec Corp | Carrier for assembling tape type semiconductor device and manufacture thereof |
| JPH11344530A (en) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Advantest Corp | Ic carrying medium |
| JP2000138307A (en) * | 1998-10-29 | 2000-05-16 | Hitachi Cable Ltd | Intermediate product for semiconductor device |
| JP2006222775A (en) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Seiko Instruments Inc | Piezoelectric vibrator, its manufacturing method, oscillator, and electronic apparatus |
| JP2009096523A (en) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Panasonic Corp | Carrier frame of electronic component and method for production of electronic component |
| JP2011037518A (en) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Multitest Elektronische Systeme Gmbh | Substrate for arranging electronic component with plate slidably disposed |
| US20110290701A1 (en) * | 2006-11-13 | 2011-12-01 | Bennett Ricky P | Workpiece carrier and workpiece carrier loading/unloading system and method |
| JP2015159156A (en) * | 2014-02-21 | 2015-09-03 | 東洋精密工業株式会社 | Work clamp tray and manufacturing method therefor |
| JP2015159218A (en) * | 2014-02-25 | 2015-09-03 | 東洋精密工業株式会社 | hierarchical work clamp tray |
| KR20150128324A (en) * | 2014-05-09 | 2015-11-18 | 주식회사 루멘스 | Substrates loading system for carrier plate |
-
2016
- 2016-03-29 JP JP2016064978A patent/JP6645888B2/en active Active
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08113285A (en) * | 1994-08-25 | 1996-05-07 | Justy:Kk | Holder for electronic part, such as quartz resonator |
| JPH11204581A (en) * | 1998-01-14 | 1999-07-30 | Nec Corp | Carrier for assembling tape type semiconductor device and manufacture thereof |
| JPH11344530A (en) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Advantest Corp | Ic carrying medium |
| JP2000138307A (en) * | 1998-10-29 | 2000-05-16 | Hitachi Cable Ltd | Intermediate product for semiconductor device |
| JP2006222775A (en) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Seiko Instruments Inc | Piezoelectric vibrator, its manufacturing method, oscillator, and electronic apparatus |
| US20110290701A1 (en) * | 2006-11-13 | 2011-12-01 | Bennett Ricky P | Workpiece carrier and workpiece carrier loading/unloading system and method |
| JP2009096523A (en) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Panasonic Corp | Carrier frame of electronic component and method for production of electronic component |
| JP2011037518A (en) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Multitest Elektronische Systeme Gmbh | Substrate for arranging electronic component with plate slidably disposed |
| JP2015159156A (en) * | 2014-02-21 | 2015-09-03 | 東洋精密工業株式会社 | Work clamp tray and manufacturing method therefor |
| JP2015159218A (en) * | 2014-02-25 | 2015-09-03 | 東洋精密工業株式会社 | hierarchical work clamp tray |
| KR20150128324A (en) * | 2014-05-09 | 2015-11-18 | 주식회사 루멘스 | Substrates loading system for carrier plate |
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