JP2017177080A - 液状混合物供給治具、及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】多孔質体に液状混合物を均一に供給可能な液状混合物供給治具、及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法を提供する。【解決手段】液状混合物供給治具３０は、第１面Ｔ１から第２面Ｔ２まで連通する複数の流路ＦＣを有する治具本体３１を備える。【選択図】図７

Description

本発明は、液状混合物供給治具、及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法に関する。

従来、多孔質体に設けられた１以上の貫通孔の内表面に多孔質膜を成膜する手法として、流下法が知られている（例えば、特許文献１参照）。流下法とは、多孔質体の上端に固定した漏斗を用いて、１以上の貫通孔に液状混合物を流し込む手法である。

特開２００９−１８９９４１号公報

しかしながら、漏斗を用いて液状混合物を流し込んだ場合、多孔質体に液状混合物を均一に供給することが困難であるため、貫通孔の内表面に多孔質膜の膜厚が不均一になりやすい。具体的には、多孔質体が１つの貫通孔を有する場合、当該貫通孔の内表面に成膜される多孔質膜において膜厚差が生じやすく、多孔質体が複数の貫通孔を有する場合、各貫通孔の内表面に成膜される多孔質膜間において膜厚差が生じやすい。

本発明は、上述の状況に鑑みてなされたものであり、多孔質体に液状混合物を均一に供給可能な液状混合物供給治具、及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る液状混合物供給治具は、１以上の貫通孔を有する多孔質体に液状混合物を供給するための液状混合物供給治具であって、第１面から第２面まで連通する複数の流路を有する治具本体を備える。

本発明によれば、多孔質体に液状混合物を均一に供給可能な液状混合物供給治具、及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法を提供することができる。

分離膜構造体の斜視図 図１のＡ−Ａ断面図 液状混合物供給治具を上方から見た斜視図 液状混合物供給治具を下方から見た斜視図 液状混合物供給治具を第２面側から見た平面図 分離膜構造体の製造方法を説明するための断面図 分離膜構造体の製造方法を説明するための断面図 分離膜構造体の製造方法を説明するための断面図

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なっている場合がある。

（分離膜構造体１０の構成）
図１は、分離膜構造体１０の斜視図である。図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。分離膜構造体１０は、支持体２０、第１シール部２１、第２シール部２２及び分離膜２３を備える。

支持体２０は、濾過対象の混合流体（混合液体又は混合気体）を流通させるための複数の濾過セルＣＬを有するモノリス形状に形成される。「モノリス形状」とは、長手方向に形成された複数の連通孔を有する形状を意味し、ハニカム形状を含む概念である。ただし、支持体２０の外形は、モノリス形状に限られるものではなく、濾過セルＣＬを１つ以上有していればよい。

支持体２０の長さは特に制限されないが、例えば１５０ｍｍ〜２０００ｍｍとすることができる。支持体２０の直径は特に制限されないが、例えば３０ｍｍ〜２２０ｍｍとすることができる。

支持体２０は、第１端面Ｓ１、第２端面Ｓ２及び側面Ｓ３を有する。第１端面Ｓ１は、第２端面Ｓ２の反対に設けられる。側面Ｓ３は、第１端面Ｓ１と第２端面Ｓ２に連なる。各濾過セルＣＬは、第１端面Ｓ１から第２端面Ｓ２まで支持体２０を貫通している。各濾過セルＣＬは、支持体２０の長手方向に延びる。本実施形態において、各濾過セルＣＬの断面は円形であるが、円形に限られるものではなく三角形以上の多角形であってもよい。

本実施形態において、支持体２０は、図２に示すように、基材２０ａと中間層２０ｂと表層２０ｃを有する。

基材２０ａは、多孔質材料によって構成される。多孔質材料としては、例えば、セラミックス焼結体、金属、有機高分子、ガラス、或いはカーボンなどを用いることができる。セラミックス焼結体としては、アルミナ、シリカ、ムライト、ジルコニア、チタニア、イットリア、窒化ケイ素、炭化ケイ素などが挙げられる。金属としては、アルミニウム、鉄、ブロンズ、銀、ステンレスなどが挙げられる。有機高分子としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスルホン、ポリイミドなどが挙げられる。

基材２０ａは、無機結合材を含んでいてもよい。無機結合材としては、チタニア、ムライト、易焼結性アルミナ、シリカ、ガラスフリット、粘土鉱物、易焼結性コージェライトのうち少なくとも一つを用いることができる。

基材２０ａの平均細孔径は、例えば５μｍ〜２５μｍとすることができる。基材２０ａの平均細孔径は、水銀ポロシメーターによって測定できる。基材２０ａの気孔率は、例えば２５％〜５０％とすることができる。基材２０ａを構成する多孔質材料の平均粒径は、例えば５μｍ〜１００μｍとすることができる。本実施形態において、「平均粒径」とは、ＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いた断面微構造観察によって測定される３０個の測定対象粒子の最大直径を算術平均した値である。

中間層２０ｂは、基材２０ａ上に形成される。中間層２０ｂは、基材２０ａに用いることのできる上記多孔質材料によって構成することができる。中間層２０ｂの平均細孔径は、基材２０ａの平均細孔径より小さくてもよく、例えば０．００５μｍ〜５μｍとすることができる。中間層２０ｂの平均細孔径は、パームポロメーターによって測定することができる。中間層２０ｂの気孔率は、例えば２０％〜６０％とすることができる。中間層２０ｂの厚みは、例えば３０μｍ〜３００μｍとすることができる。

表層２０ｃは、中間層２０ｂ上に形成される。表層２０ｃは、基材２０ａに用いることのできる上記多孔質材料によって構成することができる。表層２０ｃの平均細孔径は、中間層２０ｂの平均細孔径より小さくてもよく、例えば０．００１μｍ〜２μｍとすることができる。表層２０ｃの平均細孔径は、パームポロメーターによって測定することができる。表層２０ｃの気孔率は、例えば２０％〜６０％とすることができる。表層２０ｃの厚みは、例えば１μｍ〜５０μｍとすることができる。

第１シール部２１は、第１端面Ｓ１の略全面と側面Ｓ３の一部とを覆う。第１シール部２１は、混合流体が支持体２０の第１端面Ｓ１に浸潤することを抑制する。第１シール部２１を構成する材料としては、ガラス、金属及び樹脂などを用いることができ、支持体２０の熱膨張係数との整合性を考慮するとガラスが好適である。

第２シール部２２は、第２端面Ｓ２の略全面と側面Ｓ３の一部とを覆う。第２シール部２２は、混合流体が支持体２０の第２端面Ｓ２に浸潤することを抑制する。第２シール部２２を構成する材料としては、ガラス、金属及び樹脂などを用いることができ、支持体２０の熱膨張係数との整合性を考慮するとガラスが好適である。

分離膜２３は、支持体２０に形成された各濾過セルＣＬの内表面に形成される。分離膜２３は、筒状に形成される。

分離膜２３を構成する材料としては、無機材料や金属などを用いることができる。分離膜２３の無機材料としては、ゼオライト、炭素及びシリカなどが挙げられる。分離膜２３を構成するゼオライトの結晶構造は特に限られるものではなく、例えばＬＴＡ、ＭＦＩ、ＭＯＲ、ＦＥＲ、ＦＡＵ、ＤＤＲ、ＣＨＡ、ＢＥＡなどを用いることができる。分離膜２３がＤＤＲ型ゼオライト膜である場合には、二酸化炭素を選択的に分離するためのガス分離膜として好適に用いることができる。分離膜２３の金属材料としては、パラジウムなどが挙げられる。

分離膜２３の厚みは、分離膜２３を構成する材料種によって任意に設定できるが、混合流体のうち分離膜２３を透過する透過成分の透過量を考慮すると、１０μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以下であることがより好ましい。

（液状混合物供給治具３０）
次に、分離膜構造体１０の製造に用いられる液状混合物供給治具３０の構成について説明する。図３は、液状混合物供給治具３０を上方から見た斜視図である。図４は、液状混合物供給治具３０を下方から見た斜視図である。

液状混合物供給治具３０は、治具本体３１、網状体３２及び複数の毛片３３を備える。

治具本体３１は、円柱状に形成される。治具本体３１の外形は、分離膜構造体１０の外形に合っていればよく、円柱状には限られない。治具本体３１は、第１面Ｔ１、第２面Ｔ２、第３面Ｔ３及び複数の流路ＦＣを有する。第１面Ｔ１は、第２面Ｔ２の反対に設けられる。第３面Ｔ３は、第１面Ｔ１と第２面Ｔ２に連なる。各流路ＦＣは、第１面Ｔ１から第２面Ｔ２まで連通する。各流路ＦＣの位置は特に制限されないが、全体的に均等に散在していることが好ましく、支持体２０の各濾過セルＣＬの位置と合致していることが特に好ましい。各流路ＦＣの内径は特に制限されないが、各濾過セルＣＬの内径と同等又はそれ以上であることが好ましい。

網状体３２は、治具本体３１の第２面Ｔ２側に配置される。本実施形態において、網状体３２は、治具本体３１の第２面Ｔ２に固定されている。網状体３２の外縁は、例えば接着剤によって第２面Ｔ２に貼付することができる。網状体３２は、網状に形成されていればよく、その網目の形状及びサイズは特に制限されるものではない。網状体３２の形状及びサイズは、第２面Ｔ２の平面形状に合っていることが好ましい。網状体３２は、例えばＰＰ（ポリプロピレン）やナイロンなどの樹脂によって構成することができる。

各毛片３３は、治具本体３１の第２面Ｔ２側に配置される。各毛片３３は、網状体３２に固定されている。各毛片３３は、例えば接着剤によって網状体３２に貼付することができる。各毛片３３は、毛状に形成されていればよく、その形状、長さ及び太さは特に制限されるものではない。各毛片３３は、直線状に形成されていてもよいし、波線状に形成されていてもよい。さらに、毛片の先端形状は、球状、針状、平状などにすることができる。各毛片３３の長さは、例えば０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下とすることができる。各毛片３３の太さは、例えば０．０１ｍｍ以上１ｍｍ以下とすることができる。

本実施形態では、複数の毛片３３の一部によって複数の毛束３４が形成されている。各毛束３４は、全体として円柱状に形成される。各毛束３４は、治具本体３１の第２面Ｔ２に形成された各流路ＦＣの流出口の外側に配置される。すなわち、各毛束３４は、各流路ＦＣの流出口から外向きに突出するように配置される。各毛束３４に含まれる毛片３３の本数は特に制限されないが、例えば１本以上１０００本以下とすることができる。各流路ＦＣから流出する液状混合物を効果的に散布することを考慮すると、例えば、毛片３３の太さを０．１ｍｍ、貫通孔の内径を２ｍｍとした場合、各毛束３４に含まれる毛片３３は１００本以上であることが好ましい。各流路ＦＣからスムーズに液状混合物を流出させることを考慮すると、各毛束３４に含まれる毛片３３は３００本以下であることが好ましい。但し、毛片３３の太さや本数は液状混合物の粘性などの性状によって適宜変更することができる。

ここで、図５は、治具本体３１の第２面Ｔ２に形成された流路ＦＣの流出口の平面図である。図５に示すように、毛束３４は、平面視において、流路ＦＣの流出口の内側に配置されている。毛束３４は、平面視において、流路ＦＣの流出口と同じ形状（すなわち、円形）に配置されている。毛束３４に含まれる複数の毛片３３は、平面視において、流路ＦＣの流出口の内側に散在している。複数の毛片３３は、平面視において、流路ＦＣの流出口の内側に均等に配置されていることが好ましい。

ここで、流路ＦＣの流出口の総面積における毛束３４（複数の毛片３３）の占有面積率は、０．５％以上１０％以下とすることができる。流路ＦＣの流出口の総面積における毛束３４の占有面積率を０．５％以上とすることによって、流路ＦＣから流出する液状混合物を効果的に散布することができる。流路ＦＣの流出口の総面積における毛束３４の占有面積率を１０％以下とすることによって、流路ＦＣからスムーズに液状混合物を流出させることができる。

（分離膜構造体の製造方法）
分離膜構造体１０の製造方法について説明する。図６乃至図８は、分離膜構造体１０の製造方法を説明するための断面図である。

（１）支持体２０の形成
まず、押出成形法、プレス成形法あるいは鋳込み成形法などを用いて、基材２０ａの原料を所望の形状に成形することによって基材２０ａの成形体を形成する。次に、基材２０ａの成形体を焼成（例えば、９００℃〜１４５０℃）して基材２０ａを形成する。本実施形態において、基材２０ａは、「多孔質体」の一例である。本実施形態に係る基材２０ａは、図６に示すように、複数の濾過セルＣＬを形成するための複数の貫通孔ＴＨを有する。

次に、図６に示すように、基材２０ａの上端部を漏斗４０の下端部に固定する。漏斗４０は、漏斗本体４１とバタフライ弁４２を有する。漏斗本体４１は、貯留部４１ａと流下部４１ｂを有する。バタフライ弁４２は、漏斗本体４１の内部に配置される。バタフライ弁４２は、漏斗本体４１の貯留部４１ａと流下部４１ｂの間に配置される。バタフライ弁４２は、軸４２ａを中心として開閉可能である。バタフライ弁４２の下方には、上述した液状混合物供給治具３０が配置される。液状混合物供給治具３０は、漏斗本体４１の流下部４１ｂ内に固定されている。本実施形態では、液状混合物供給治具３０の各流路ＦＣは、基材２０ａの各濾過セルＣＬの鉛直上方に位置する。

次に、所望の粒径のセラミックス原料を用いて中間層用スラリーを調製し、図６に示すように、中間層用スラリーを漏斗本体４１の貯留部４１ａに貯留する。この際、バタフライ弁４２は閉じられている。本実施形態において、中間層用スラリーは、「液状混合物」の一例である。

次に、バタフライ弁４２を開くことによって、中間層用スラリーを流下させる。図７に示すように、バタフライ弁４２を開き始めた時点では、中間層用スラリーは流下部４１ｂの内壁に沿って不均一に流下するが、液状混合物供給治具３０によって堰き止められて一時的に貯留される。液状混合物供給治具３０上に一時的に貯留された中間層用スラリーは、図８に示すように、液状混合物供給治具３０の各流路ＦＣから均等に流出する。各流路ＦＣから流出する中間層用スラリーは、各流路ＦＣの下方に配置された毛束３４によってさらに均等に整流される。毛束３４は、濾過セルＣＬの流入口に近接していることが好ましい。これによって、流路ＦＣから濾過セルＣＬにスムーズに液状混合物を流し込むことができる。

そして、上述のとおり、液状混合物供給治具３０の各流路ＦＣが基材２０ａの各濾過セルＣＬの鉛直上方に位置しているため、毛束３４によって整流された中間層用スラリーは、基材２０ａの各濾過セルＣＬに均等に流れ込んで各濾過セルＣＬの内部を流下する。これによって、基材２０ａの内表面に中間層２０ｂの成形体が成膜される。

次に、中間層２０ｂの成形体を焼成（例えば、９００℃〜１４５０℃）して中間層２０ｂを形成する。上述のとおり、中間層２０ｂの成形体は、液状混合物供給治具３０の各流路ＦＣから中間層用スラリーを均等に流出させて成膜したものであるため、各中間層２０ｂ間における膜厚差が抑えられている。本実施形態において、中間層２０ｂは、「多孔質膜」の一例である。

次に、所望の粒径のセラミックス原料を用いて表層用スラリーを調製し、中間層用スラリーと同様（図６参照）、漏斗本体４１の貯留部４１ａに貯留する。そして、バタフライ弁４２を開くことによって、表層用スラリーを流下させる。表層用スラリーは、中間層用スラリーと同様（図７及び図８参照）、液状混合物供給治具３０上に一時的に貯留された後、各流路ＦＣから各濾過セルＣＬに均等に流れ込む。これによって、中間層２０ｂの内表面に表層２０ｃの成形体が成膜される。

次に、表層２０ｃの成形体を焼成（例えば、９００℃〜１４５０℃）して表層２０ｃを形成する。上述のとおり、表層２０ｃの成形体は、液状混合物供給治具３０の各流路ＦＣから表層用スラリーを均等に流出させて成膜したものであるため、各表層２０ｃ間における膜厚差が抑えられている。以上により、支持体２０が完成する。本実施形態において、中間層２０ｂが形成された基材２０ａは「多孔質体」の一例であり、表層２０ｃは「多孔質膜」の一例である。

（２）分離膜２３の形成
表層２０ｃの内表面に分離膜２３を形成する。分離膜２３は、膜種に応じた従来既知の手法で形成することができる。以下、分離膜２３の形成手法の一例としてゼオライト膜、シリカ膜及び炭素膜それぞれの形成方法を順次説明する。なお、本実施形態において、中間層２０ｂ及び表層２０ｃが形成された基材２０ａ（すなわち、支持体２０）は「多孔質体」の一例であり、分離膜２３は「多孔質膜」の一例である。

・ゼオライト膜
まず、ゼオライト種結晶を含む種結晶溶液を表層２０ｃの内表面に塗布する。この際、上述した中間層用スラリーと同様（図６〜図８参照）、種結晶溶液を流下法で表層２０ｃの内表面に塗布することが好ましい。これによって、ゼオライト種結晶を表層２０ｃの内表面に均等に塗布することができる。

次に、シリカ源、アルミナ源、有機テンプレート、アルカリ源及び水に窒素吸着性金属カチオン及び窒素吸着性金属錯体の少なくとも一方が添加された原料溶液の入った耐圧容器に支持体２０を浸漬する。

次に、耐圧容器を乾燥器に入れ、１００〜２００℃で１〜２４０時間ほど加熱処理（水熱合成）を行うことによってゼオライト膜を形成する。次に、ゼオライト膜が形成された支持体２０を洗浄して、８０〜１００℃で乾燥する。

次に、原料溶液中に有機テンプレートが含まれる場合には、支持体２０を電気炉に入れ、大気中にて４００〜８００℃で１〜２００時間ほど加熱することによって有機テンプレートを燃焼除去する。このように成膜されるゼオライト膜は、均等に塗布されたゼオライト種結晶を核として合成されたものであるため、各ゼオライト膜間における膜厚差が抑えられている。

・シリカ膜
まず、テトラエトシキシランを硝酸の存在下で加水分解してゾル液とし、エタノール又は水で希釈することによって前駆体溶液（シリカゾル液）を調製する。

次に、表層２０ｃの内表面に前駆体溶液を接触させる。この際、上述した中間層用スラリーと同様（図６〜図８参照）、前駆体溶液を流下法で表層２０ｃの内表面に接触させることが好ましい。これによって、前駆体溶液を表層２０ｃの内表面に均等に塗布することができる。

次に、１００℃／ｈｒにて４００〜７００℃まで昇温して１時間保持した後に１００℃／ｈｒで降温する。以上の工程を１〜５回繰り返すことによってシリカ膜を成膜する。このように成膜されるシリカ膜は、均等に塗布された前駆体溶液から形成されたものであるため、各シリカ膜間における膜厚差が抑えられている。

・炭素膜
まず、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリエチレンなどの熱可塑性樹脂、セルロース系樹脂、又はこれらの前駆体物質を、窒素吸着性金属カチオン及び窒素吸着性金属錯体の少なくとも一方が添加されたメタノール、アセトン、テトラヒドロフラン、ＮＭＰ、トルエン等の有機溶媒や水に溶解することによって前駆体溶液を調製する。

次に、表層２０ｃの内表面に前駆体溶液を接触させる。この際、上述した中間層用スラリーと同様（図６〜図８参照）、前駆体溶液を流下法で表層２０ｃの内表面に接触させることが好ましい。これによって、前駆体溶液を表層２０ｃの内表面に均等に塗布することができる。

次に、前駆体溶液に含まれる樹脂の種類に応じた熱処理（例えば、５００℃〜１０００℃）を施すことによって炭素膜を成膜する。このように成膜される炭素膜は、均等に塗布された前駆体溶液から形成されたものであるため、各炭素膜間における膜厚差が抑えられている。

（その他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態において、液状混合物供給治具３０は、治具本体３１と複数の毛片３３を備えることとしたが、複数の毛片３３を備えていなくてもよい。この場合、複数の毛片３３を支持するための網状体３２も不要である。

上記実施形態において、複数の毛片３３は、網状体３２に固定されることとしたが、治具本体３１の第２面Ｔ２に直接的に固定されていてもよい。この場合、毛片３３を支持体２０の各流路ＦＣの外側に配置することはできないが、各流路ＦＣから第２面Ｔ２を伝ってくる液状混合物を各毛片３３によってスムーズに流下させることができる。

上記実施形態において、複数の毛片３３は、複数の毛束３４を形成することとしたが、第２面Ｔ２の全面に一様に配置されていてもよい。

上記実施形態において、支持体２０は、基材２０ａ、中間層２０ｂ及び表層２０ｃを有することとしたが、中間層２０ｂと表層２０ｃの少なくとも一方を有していなくてよい。

上記実施形態において、分離膜構造体１０は、支持体２０上に積層された分離膜２３を備えることとしたが、分離膜２３を備えていなくてもよい。また、分離膜構造体１０は、分離膜２３上に積層された別の機能膜や保護膜を備えていてもよい。このような機能膜や保護膜としては、ゼオライト膜や炭素膜やシリカ膜などの無機膜や、ポリイミド膜やシリコーン膜などの有機膜を用いることができる。

上記実施形態において、液状混合物供給治具３０は、漏斗４０の内部に固定されることとしたが、周知の供給管の内部に固定されていてもよい。この場合であっても、液状混合物供給治具３０によって液状混合物を均等に多孔質体に流下させることができる。

１０ 分離膜構造体
２０ 支持体
２０ａ 基材
２０ｂ 中間層
２０ｃ 表層
２３ 分離膜
３０ 液状混合物供給治具
３１ 治具本体
３２ 網状体
３３ 毛片
３４ 毛束
４０ 漏斗
４１ａ 貯留部
４１ｂ 流下部
４１ 漏斗本体
４２ バタフライ弁

Claims (10)

1. １以上の貫通孔を有する多孔質体に液状混合物を供給するための液状混合物供給治具であって、
   第１面から第２面まで連通する複数の流路を有する治具本体を備える液状混合物供給治具。
2. 前記治具本体の前記第２面側に配置される複数の毛片をさらに備える、
   請求項１に記載の液状混合物供給治具。
3. 前記複数の毛片は、網状体に固定されており、
   前記複数の毛片のうち少なくとも一部の毛片は、前記第２面に形成された前記複数の流路それぞれの流出口の外側に配置される、
   請求項２に記載の液状混合物供給治具。
4. 前記複数の毛片は、前記第２面に固定されている、
   請求項２に記載の液状混合物供給治具。
5. 第１面から第２面まで連通する複数の流路を有する治具本体を含む液状混合物供給治具を、１以上の貫通孔を有する多孔質体の上方に配置する工程と、
   前記液状混合物供給治具の前記複数の流路を介して前記多孔質体の前記１以上の貫通孔に液状混合物を流し込むことによって、前記１以上の貫通孔の内表面に多孔質膜を成膜する工程と、
   を備える分離膜構造体の製造方法。
6. 前記液状混合物供給治具は、前記治具本体の前記第２面側に配置される複数の毛片をさらに含む、
   請求項５に記載の分離膜構造体の製造方法。
7. 前記複数の毛片は、網状体に固定されており、
   前記複数の毛片のうち少なくとも一部の毛片は、前記第２面に形成された前記複数の流路それぞれの流出口の外側に配置される、
   請求項６に記載の分離膜構造体の製造方法。
8. 前記複数の毛片は、前記第２面に固定されている、
   請求項６に記載の液状混合物供給治具。
9. 前記複数の毛片のうち少なくとも一部の毛片は、前記多孔質体に形成された前記１以上の貫通孔の流入口に配置される、
   請求項６乃至８のいずれかに記載の分離膜構造体の製造方法。
10. 前記多孔質体は、複数の貫通孔を有しており、
    前記液状混合物供給治具の前記複数の流路それぞれは、前記多孔質体の前記複数の貫通孔それぞれの鉛直方向上方に位置する、
    請求項６乃至９のいずれかに記載の分離膜構造体の製造方法。

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