JP2017167033A - Measuring apparatus and processing line having the same - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measuring apparatus capable of measuring both inner diameter and depth of a hole of an object by a single laser displacement meter and a processing line having the same.SOLUTION: A measuring apparatus includes a laser displacement meter 1 and an optical path change machine 2. The optical path change machine 2 changes an optical path of a laser beam emitted from the laser displacement meter 1. The location of the optical path change machine 2 can be switched between a change position of the laser displacement meter 1 on an optical axis and a retreat position dislocated from an optical axis of the laser displacement meter 1. A processing line includes a plurality of processors and a work loader that transfers a work from one processor to the other. The above measuring apparatus is attached onto the work loader.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、レーザ変位計によって対象物の穴の内径や深さなどを測定する測定装置およびこの測定装置を備えた加工ラインに関する。   The present invention relates to a measuring device that measures the inner diameter and depth of a hole of an object using a laser displacement meter, and a processing line including the measuring device.

レーザ変位計によって対象物の穴の内径を測定するための装置として、たとえば特許文献1の発明が提案されている。これは、管体の内径を測定するためのものであって、管軸方向にレーザビームを発射するレーザ変位計と、レーザビームを半径方向に反射させ管体の内面に照射させるようにした反射器を備えている。   As an apparatus for measuring the inner diameter of a hole in an object with a laser displacement meter, for example, the invention of Patent Document 1 has been proposed. This is for measuring the inner diameter of the tube, a laser displacement meter that emits a laser beam in the tube axis direction, and a reflection that reflects the laser beam in the radial direction and irradiates the inner surface of the tube Equipped with a bowl.

特開平7−43119号公報JP 7-43119 A

従来、このような装置により、管体の内径を測定できたが、一方で、閉じた穴について、内径とともに深さも測定したい場合があった。しかしながら、特許文献1の発明は、レーザ変位計から発射されたレーザビームが90度反射される構造であるから、穴の深さを測定することはできなかった。よって、深さを測定するためには別個のレーザ変位計が必要となるが、複数のレーザ変位計を設けることで費用が高くなることや、装置が大型化することが問題がであった。   Conventionally, the inner diameter of a tubular body could be measured with such an apparatus, but there was a case where it was desired to measure the depth as well as the inner diameter of a closed hole. However, since the invention of Patent Document 1 has a structure in which the laser beam emitted from the laser displacement meter is reflected by 90 degrees, the depth of the hole cannot be measured. Therefore, although a separate laser displacement meter is required to measure the depth, there are problems in that the cost is increased by providing a plurality of laser displacement meters and the size of the apparatus is increased.

本発明は、上記事情を鑑みたものであり、一つのレーザ変位計によって、対象物の穴の内径と深さを両方測定可能な測定装置およびこの測定装置を備えた加工ラインを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a measuring apparatus capable of measuring both the inner diameter and the depth of a hole of an object with a single laser displacement meter, and a processing line including the measuring apparatus. Objective.

本発明のうち請求項1の発明は、レーザ変位計と、光路変更器を備え、光路変更器が、レーザ変位計から発射されるレーザビームの光路を変更するものであって、光路変更器の位置を、レーザ変位計の光軸上の変更位置と、レーザ変位計の光軸から外れた待避位置とに切替可能であることを特徴とする。   The invention according to claim 1 of the present invention includes a laser displacement meter and an optical path changer, and the optical path changer changes an optical path of a laser beam emitted from the laser displacement meter. The position can be switched between a change position on the optical axis of the laser displacement meter and a retracted position off the optical axis of the laser displacement meter.

本発明のうち請求項2の発明は、レーザ変位計と、変更位置の光路変更器との間の距離が可変であることを特徴とする。   A second aspect of the present invention is characterized in that the distance between the laser displacement meter and the optical path changer at the change position is variable.

本発明のうち請求項3の発明は、レーザ変位計と光路変更器が一体となって、レーザ変位計の光軸を一軸とする直交三軸方向に移動可能であることを特徴とする。   The invention according to claim 3 of the present invention is characterized in that the laser displacement meter and the optical path changer are integrated and are movable in three orthogonal directions with the optical axis of the laser displacement meter as one axis.

本発明のうち請求項4の発明は、複数の加工機と、ワークを一の加工機から他の加工機へ移送するワークローダを備え、ワークローダに、請求項1、2または3記載の測定装置を取り付けてあることを特徴とする。   The invention of claim 4 of the present invention comprises a plurality of processing machines and a work loader for transferring a work from one processing machine to another processing machine, and the work loader is provided with the measurement according to claim 1, 2 or 3. A device is attached.

本発明のうち請求項1の発明によれば、光路変更器の位置を切り替えることで、一つのレーザ変位計によって穴の内径と深さを両方測定できる。すなわち、レーザ変位計を対象物の穴に向け、光路変更器を変更位置にすることで、レーザビームを曲げて穴の内周面に照射して、内径を測定することができ、光路変更器を待避位置にすることで、レーザビームを直進させて穴の底面に照射して、深さを測定することができる。そして、レーザ変位計が一つで済むので、費用を抑え、装置を小型化できる。   According to the first aspect of the present invention, by switching the position of the optical path changer, both the inner diameter and the depth of the hole can be measured with one laser displacement meter. That is, by turning the laser displacement meter toward the hole of the object and setting the optical path changer to the change position, the laser beam can be bent and irradiated to the inner peripheral surface of the hole to measure the inner diameter. By setting the position to the retracted position, the laser beam can be moved straight to irradiate the bottom surface of the hole to measure the depth. Since only one laser displacement meter is required, the cost can be reduced and the apparatus can be downsized.

本発明のうち請求項2の発明によれば、レーザ変位計は、測定が可能な対象面との距離の範囲が決まっているので、レーザ変位計と光路変更器の間の距離を変えれば、光路変更器と対象面の間の測定可能な距離範囲も変わる。よって、測定可能な穴の内径の範囲も変えることができる。   According to the invention of claim 2 of the present invention, since the range of the distance between the laser displacement meter and the target surface that can be measured is determined, if the distance between the laser displacement meter and the optical path changer is changed, The measurable distance range between the optical path changer and the target surface also changes. Therefore, the range of the inner diameter of the hole that can be measured can also be changed.

本発明のうち請求項3の発明によれば、対象物に対してレーザ変位計および光路変更器を自在に動かせるので、対象物の任意の位置の測定が可能である。   According to the third aspect of the present invention, the laser displacement meter and the optical path changer can be freely moved with respect to the object, so that an arbitrary position of the object can be measured.

本発明のうち請求項4の発明によれば、ワークローダによるワークの移送中に、ワークについて測定することができるので、加工のサイクルタイムを短縮することができ、また、加工ライン全体を小型化できる。   According to the invention of claim 4 of the present invention, since the workpiece can be measured during the transfer of the workpiece by the work loader, the machining cycle time can be shortened, and the entire machining line can be downsized. it can.

本発明の測定装置の主要部分の側面図であり、光路変更器が変更位置にある場合を示す。It is a side view of the principal part of the measuring apparatus of this invention, and shows the case where an optical path changer exists in a change position. 本発明の測定装置の主要部分の側面図であり、光路変更器が待避位置にある場合を示す。It is a side view of the principal part of the measuring apparatus of this invention, and shows the case where an optical path changer exists in a retracted position. 本発明の測定装置の主要部分の正面図である。It is a front view of the principal part of the measuring apparatus of this invention. 本発明の測定装置の全体図であり、(a)は側面図、(b)は正面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a general view of the measuring apparatus of this invention, (a) is a side view, (b) is a front view. 光路変更器部分の拡大図(シャフトの縦断面図)である。It is an enlarged view (longitudinal sectional view of a shaft) of an optical path changer part. 距離調節機構の動作の説明図であり、(a)はガイド部材を上げた状態、(b)はガイド部材を下げた状態を示す。It is explanatory drawing of operation | movement of a distance adjustment mechanism, (a) shows the state which raised the guide member, (b) shows the state which lowered the guide member. (a)は、レーザ変位計の測定可能範囲の説明図であり、(b)、(c)は、レーザ変位計と光路変更器の間の距離を変えた場合の説明図である。(A) is explanatory drawing of the measurable range of a laser displacement meter, (b), (c) is explanatory drawing at the time of changing the distance between a laser displacement meter and an optical path changer. (a)〜(d)は、本発明の測定装置による測定の手順を示す説明図である。(A)-(d) is explanatory drawing which shows the procedure of the measurement by the measuring apparatus of this invention. (a)〜(g)は、本発明の測定装置により測定可能な加工形状の例を示す模式図である。(A)-(g) is a schematic diagram which shows the example of the process shape which can be measured with the measuring apparatus of this invention. 本発明の測定装置を備えた加工ラインの模式図である。It is a schematic diagram of the processing line provided with the measuring apparatus of this invention.

本発明の測定装置の具体的な構成について、各図面に基づいて説明する。なお、以下において前後とは、装置を正面視した際(図3、図4(b))の手前側および奥側を示し、左右とは、装置を正面視した際の左右を示す。図1〜図4に示すように、この測定装置は、レーザ変位計1と、レーザ変位計1から発射されるレーザビームの光路を変更する光路変更器2を備え、さらに、光路変更器2を取り付けるシャフト3、シャフト3を回転させる回転機構4、光路変更器2を変更位置と待避位置とに切り替える切替機構5、レーザ変位計1と光路変更器2の距離を変える距離調節機構6ならびにレーザ変位計1、光路変更器2およびその他の機構の全体を移動させる移動機構7を備える。以下、各構成要素について詳述する。ただし、光路変更器2が変更位置にある状態を基準とする。   A specific configuration of the measuring apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, front and rear indicate the front side and the rear side when the apparatus is viewed from the front (FIG. 3, FIG. 4B), and left and right indicate the left and right when the apparatus is viewed from the front. As shown in FIGS. 1 to 4, the measuring apparatus includes a laser displacement meter 1 and an optical path changer 2 that changes an optical path of a laser beam emitted from the laser displacement meter 1, and further includes an optical path changer 2. A shaft 3 to be attached, a rotation mechanism 4 that rotates the shaft 3, a switching mechanism 5 that switches the optical path changer 2 between a change position and a retracted position, a distance adjustment mechanism 6 that changes the distance between the laser displacement meter 1 and the optical path changer 2, and laser displacement A moving mechanism 7 is provided for moving the total 1, the optical path changer 2 and other mechanisms. Hereinafter, each component will be described in detail. However, the state where the optical path changer 2 is at the change position is used as a reference.

移動機構7は、装置全体を直交三軸方向に移動させるものであり、左右方向に延びるX軸レール71、前後方向に延びるY軸レール72、上下方向に延びるZ軸レール73を有し、各レールに対して、X軸スライダ74、Y軸スライダ75およびZ軸スライダ76が摺動自在となっている。そして、Y軸スライダ75の上側にX軸レール71を固定してあり、X軸スライダ74の前側にZ軸レール73を固定してあり、Z軸スライダ76の前側に、平板状の基盤13を垂直向きに固定してある。   The moving mechanism 7 moves the entire apparatus in three orthogonal axes, and includes an X-axis rail 71 extending in the left-right direction, a Y-axis rail 72 extending in the front-rear direction, and a Z-axis rail 73 extending in the up-down direction. An X-axis slider 74, a Y-axis slider 75, and a Z-axis slider 76 are slidable with respect to the rail. The X-axis rail 71 is fixed to the upper side of the Y-axis slider 75, the Z-axis rail 73 is fixed to the front side of the X-axis slider 74, and the flat base 13 is attached to the front side of the Z-axis slider 76. It is fixed vertically.

そして、基盤13の前側面に、レーザ変位計1を取り付けてある。レーザ変位計1は、既存のユニットであって、対象面にレーザビームを照射することで、対象面までの距離を測定するものであり、略直方体形の本体11と、本体11の一面に設けた発射口12を有していて、発射口12を下側に向けてある。よって、レーザ変位計1の光軸は、Z軸に一致する。   The laser displacement meter 1 is attached to the front side surface of the base 13. The laser displacement meter 1 is an existing unit that measures the distance to a target surface by irradiating the target surface with a laser beam. The laser displacement meter 1 is provided on a substantially rectangular parallelepiped main body 11 and one surface of the main body 11. The launch port 12 is provided with the launch port 12 facing downward. Therefore, the optical axis of the laser displacement meter 1 coincides with the Z axis.

また、レーザ変位計1の発射口12の直下に、シャフト3を設けてある。シャフト3は、上下に延びる筒状のものであって、その中心軸がレーザ変位計1の光軸と一致しており、シャフト3の外径は、測定対象となるワークの穴の内径よりも小さなものとなっている。そして、図5に示すように、シャフト3の内部の下端部分には、光路変更器2を設けてある。光路変更器2は、シャフト3の中心軸に対して45度の角度で傾斜した鏡面21を有しており、鏡面21が臨むシャフト3の側面に、通過孔31を形成してある。レーザ変位計1の発射口12から発射されたレーザビームは、シャフト3の内部の中心軸に沿って進み、光路変更器2の鏡面21で反射して光路が90度曲げられ、シャフト3の通過孔31を通過して、シャフト3の外部に照射される。   Further, a shaft 3 is provided immediately below the launch port 12 of the laser displacement meter 1. The shaft 3 has a cylindrical shape extending vertically, and the center axis thereof coincides with the optical axis of the laser displacement meter 1, and the outer diameter of the shaft 3 is larger than the inner diameter of the hole of the workpiece to be measured. It has become a small one. And as shown in FIG. 5, the optical path changer 2 is provided in the lower end part inside the shaft 3. As shown in FIG. The optical path changer 2 has a mirror surface 21 inclined at an angle of 45 degrees with respect to the central axis of the shaft 3, and a passage hole 31 is formed on the side surface of the shaft 3 facing the mirror surface 21. The laser beam emitted from the emission port 12 of the laser displacement meter 1 travels along the central axis inside the shaft 3, is reflected by the mirror surface 21 of the optical path changer 2, and the optical path is bent 90 degrees, and passes through the shaft 3. The light passes through the hole 31 and is irradiated to the outside of the shaft 3.

そして、シャフト3は、回転機構4によって、その中心軸周りに回転自在となっている。回転機構4は、シャフト3を回転自在に支持するスリーブ41、モータ42ならびにシャフト3とモータ42を接続する歯車43,44およびベルト45を備える。より具体的には、レーザ変位計1の発射口12の下側に、左右に延びる水平向きの支持板51を設けてあり、支持板51の、発射口12の直下の位置に丸孔を形成してあって、丸孔に下側から略円筒形状のスリーブ41を挿入してある。スリーブ41は、上部に外周側に突出する鍔部46を有していて、鍔部46が支持板51の下面に当接している。そして、スリーブ41の内部の上端部と下端部に、軸受47を取り付けてあり、上下の軸受47により、シャフト3が回転自在に支持されている。シャフト3は、スリーブ41の上下に突出しており、上側の突出部分に、歯車43を外挿してある。また、下側の突出長さは、測定対象となるワークの穴の深さに対応したものとなっている。さらに、支持板51の左側部には、シャフト3の中心軸と平行な回転軸を有するモータ42を設けてあり、モータ42の回転軸に、歯車44を外挿してある。シャフト3の歯車43とモータ42の歯車44は高さ位置が揃っており、両歯車43,44にベルト45を掛けてあって、モータ42によりシャフト3が任意に回転可能となっている。これにより、レーザ変位計1から発射されたレーザビームを、水平向きの任意の方向に照射できる。なお、支持板51の、両歯車43,44の間の位置には、ベルト45に張力を与えるためのテンションプーリ48を設けてある。   The shaft 3 is rotatable around its central axis by the rotation mechanism 4. The rotation mechanism 4 includes a sleeve 41 that rotatably supports the shaft 3, a motor 42, gears 43 and 44 that connect the shaft 3 and the motor 42, and a belt 45. More specifically, a horizontal support plate 51 extending in the left-right direction is provided below the launch port 12 of the laser displacement meter 1, and a round hole is formed in the support plate 51 at a position directly below the launch port 12. Accordingly, a substantially cylindrical sleeve 41 is inserted into the round hole from below. The sleeve 41 has a flange portion 46 protruding to the outer peripheral side at the upper portion, and the flange portion 46 is in contact with the lower surface of the support plate 51. And the bearing 47 is attached to the upper end part and lower end part inside the sleeve 41, and the shaft 3 is rotatably supported by the upper and lower bearings 47. The shaft 3 protrudes above and below the sleeve 41, and a gear 43 is extrapolated to the upper protruding portion. Further, the lower protrusion length corresponds to the depth of the hole of the workpiece to be measured. Further, a motor 42 having a rotation axis parallel to the central axis of the shaft 3 is provided on the left side of the support plate 51, and a gear 44 is extrapolated to the rotation axis of the motor 42. The gear 43 of the shaft 3 and the gear 44 of the motor 42 are aligned in height, and a belt 45 is hung on both gears 43, 44, so that the shaft 3 can be arbitrarily rotated by the motor 42. Thereby, the laser beam emitted from the laser displacement meter 1 can be irradiated in an arbitrary horizontal direction. A tension pulley 48 for applying tension to the belt 45 is provided at a position between the gears 43 and 44 of the support plate 51.

また、光路変更器2を備えるシャフト3および回転機構4は、切替機構5によって、位置が切り替えられる。切替機構5は、上記のシャフト3と回転機構4を支持する支持板51、支持板51を回転させる回転アーム52、回転アーム52と一体の支持軸53、支持軸53を軸支する支持アーム54およびエアシリンダ55ならびに支持軸53とエアシリンダ55を接続する歯車56およびラック57を備える。より具体的には、基盤13の右側に、基盤13と同様に垂直向きの補助基盤61を設けてあり、補助基盤61に、前側に向けて突出する支持アーム54を取り付けてある。支持アーム54の先端部分には、左右方向に貫通する丸孔を形成してあって、丸孔に支持軸53を挿入してあり、支持軸53は左右方向軸周りに回転自在となっている。そして、支持軸53の左端部(支持アーム54とレーザ変位計1の間部分)には、下方に向けて延びる回転アーム52を固定してある。回転アーム52は、下端部が後側に向けて屈曲した略L字形のものであって、下側面に、支持板51の右端部を固定してある。また、支持軸53の右端部には、歯車56を外挿してある。さらに、補助基盤61の上側部には、上下方向に動作するピストンを有するエアシリンダ55を設けてあり、エアシリンダ55のピストンに、ラック57を取り付けてあり、ラック57がエアシリンダ55により上下動自在となっている。支持軸53の歯車56とラック57は左右位置が揃っており、歯車56とラック57が噛み合っていて、いわゆるラック・アンド・ピニオン方式により、支持軸53が任意に回転可能となっている。そして、支持軸53の回転に伴って、回転アーム52も回転し、さらに、回転アーム52の先端に取り付けた支持板51ならびに支持板51に取り付けたシャフト3および回転機構4も一体となって移動する。支持軸53の回転範囲は、図1に示すように、シャフト3が下向き(垂直向き)となる状態から、図2に示すように、シャフト3が前向き(水平向き)となる状態までの90度の範囲となっている。シャフト3が下向きの図1の状態であれば、光路変更器2はレーザ変位計1の光軸上に位置し、レーザ変位計1から発射されたレーザビームは、光路変更器2によって90度曲げられる。この際の光路変更器2の位置を、変更位置とよぶ。一方、シャフト3が前向きの図2の状態であれば、光路変更器2はレーザ変位計1の光軸から外れ、レーザビームは直進する。この際の光路変更器2の位置を、待避位置とよぶ。   Further, the position of the shaft 3 and the rotation mechanism 4 including the optical path changer 2 is switched by the switching mechanism 5. The switching mechanism 5 includes a support plate 51 that supports the shaft 3 and the rotation mechanism 4, a rotation arm 52 that rotates the support plate 51, a support shaft 53 that is integral with the rotation arm 52, and a support arm 54 that supports the support shaft 53. And an air cylinder 55 and a gear 56 and a rack 57 that connect the support shaft 53 and the air cylinder 55. More specifically, a vertical auxiliary base 61 is provided on the right side of the base 13 in the same manner as the base 13, and a support arm 54 protruding toward the front side is attached to the auxiliary base 61. A round hole penetrating in the left-right direction is formed at the distal end portion of the support arm 54, and a support shaft 53 is inserted into the round hole, and the support shaft 53 is rotatable around the left-right direction axis. . A rotating arm 52 extending downward is fixed to the left end portion of the support shaft 53 (a portion between the support arm 54 and the laser displacement meter 1). The rotary arm 52 is substantially L-shaped with the lower end bent toward the rear side, and the right end of the support plate 51 is fixed to the lower surface. A gear 56 is extrapolated to the right end portion of the support shaft 53. Further, an air cylinder 55 having a piston that operates in the vertical direction is provided on the upper side of the auxiliary base 61, and a rack 57 is attached to the piston of the air cylinder 55, and the rack 57 is moved up and down by the air cylinder 55. It is free. The gear 56 and the rack 57 of the support shaft 53 are aligned at the left and right positions, and the gear 56 and the rack 57 are engaged with each other, so that the support shaft 53 can be arbitrarily rotated by a so-called rack and pinion system. As the support shaft 53 rotates, the rotation arm 52 also rotates, and the support plate 51 attached to the tip of the rotation arm 52, the shaft 3 attached to the support plate 51, and the rotation mechanism 4 also move together. To do. As shown in FIG. 1, the rotation range of the support shaft 53 is 90 degrees from the state where the shaft 3 is downward (vertical) to the state where the shaft 3 is forward (horizontal) as shown in FIG. It is the range. If the shaft 3 is in the state of FIG. 1 downward, the optical path changer 2 is positioned on the optical axis of the laser displacement meter 1, and the laser beam emitted from the laser displacement meter 1 is bent 90 degrees by the optical path changer 2. It is done. The position of the optical path changer 2 at this time is called a change position. On the other hand, if the shaft 3 is in the forward state shown in FIG. 2, the optical path changer 2 deviates from the optical axis of the laser displacement meter 1 and the laser beam goes straight. The position of the optical path changer 2 at this time is called a retracted position.

さらに、光路変更器2を備えるシャフト3、回転機構4および切替機構5は、距離調節機構6によって、上下動する。距離調節機構6は、上記の切替機構5を取り付けた補助基盤61、補助基盤61を取り付けたガイド部材62およびガイド部材62を上下動させるリニアアクチュエータ63を備える。より具体的には、Z軸スライダ76の右側部分に、上下動する駆動軸を有するリニアアクチュエータ63を取り付けてあり、リニアアクチュエータ63の前側面に、上下に摺動自在なガイド部材62を設けてある。ガイド部材62は、上端部が後側に向けて屈曲しており、屈曲部分にリニアアクチュエータ63の駆動軸が接続されていて、リニアアクチュエータ63によって任意に上下動させることができる。そして、ガイド部材62の前側面に、補助基盤61を取り付けてある。Z軸スライダ76に固定された、基盤13、レーザ変位計1およびリニアアクチュエータ63は、一体であり、図6(a)、(b)に示すように、リニアアクチュエータ63がガイド部材62を上下動させることで、レーザ変位計1に対して、シャフト3、回転機構4および切替機構5が上下動する。これにより、レーザ変位計1と、変更位置の光路変更器2との間の距離を変えることができるものであり、図6(a)に示すように、ガイド部材62を上げれば、レーザ変位計1と光路変更器2の間の距離L1は短くなり、図6(b)に示すように、ガイド部材62を下げれば、レーザ変位計1と光路変更器2の間の距離L2は長くなる。図7(a)に示すように、レーザ変位計1は、測定が可能な対象面との距離について、最小測定距離Rminと最大測定距離Rmaxが決まっており、その間が測定可能範囲ΔRとなっているので、このようにしてレーザ変位計1と光路変更器2の間の距離を変えれば、光路変更器2と対象面の間の測定可能な距離範囲も変わる。すなわち、図7(b)に示すように、レーザ変位計1と光路変更器2の間の距離R1を短くすれば、測定可能範囲ΔRは光路変更器2(レーザ変位計1の光軸)から遠ざかる。一方、図7(c)に示すように、レーザ変位計1と光路変更器2の間の距離R2を長くすれば、測定可能範囲ΔRは光路変更器2(レーザ変位計1の光軸)に近づく。よって、測定可能な穴の内径の範囲も変えることができる。 Furthermore, the shaft 3, the rotation mechanism 4, and the switching mechanism 5 including the optical path changer 2 are moved up and down by the distance adjustment mechanism 6. The distance adjusting mechanism 6 includes an auxiliary base 61 to which the switching mechanism 5 is attached, a guide member 62 to which the auxiliary base 61 is attached, and a linear actuator 63 that moves the guide member 62 up and down. More specifically, a linear actuator 63 having a drive shaft that moves up and down is attached to the right side portion of the Z-axis slider 76, and a guide member 62 that is slidable up and down is provided on the front side of the linear actuator 63. is there. The guide member 62 has an upper end bent toward the rear side, and a drive shaft of the linear actuator 63 is connected to the bent portion, and can be arbitrarily moved up and down by the linear actuator 63. An auxiliary base 61 is attached to the front side surface of the guide member 62. The base 13, the laser displacement meter 1 and the linear actuator 63 fixed to the Z-axis slider 76 are integrated, and the linear actuator 63 moves the guide member 62 up and down as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b). As a result, the shaft 3, the rotation mechanism 4, and the switching mechanism 5 move up and down with respect to the laser displacement meter 1. Thereby, the distance between the laser displacement meter 1 and the optical path changer 2 at the change position can be changed. As shown in FIG. 6A, when the guide member 62 is raised, the laser displacement meter The distance L1 between 1 and the optical path changer 2 is shortened. As shown in FIG. 6B, when the guide member 62 is lowered, the distance L2 between the laser displacement meter 1 and the optical path changer 2 is increased. As shown in FIG. 7 (a), the laser displacement meter 1 has a minimum measurement distance Rmin and a maximum measurement distance Rmax determined with respect to the distance to the target surface that can be measured, and a measurable range ΔR between them. Therefore, if the distance between the laser displacement meter 1 and the optical path changer 2 is changed in this way, the measurable distance range between the optical path changer 2 and the target surface also changes. That is, as shown in FIG. 7B, if the distance R1 between the laser displacement meter 1 and the optical path changer 2 is shortened, the measurable range ΔR is from the optical path changer 2 (the optical axis of the laser displacement meter 1). Move away. On the other hand, as shown in FIG. 7C, if the distance R2 between the laser displacement meter 1 and the optical path changer 2 is increased, the measurable range ΔR becomes the optical path changer 2 (the optical axis of the laser displacement meter 1). Get closer. Therefore, the range of the inner diameter of the hole that can be measured can also be changed.

次に、この測定装置によって測定を行う方法について図8に基づき説明する。ここでは、ワークWに複数の穴H1,H2を形成してあり、各穴H1,H2の内径および深さが設計図面どおりであるかを測定により確認する場合を想定する。なお、初期状態において、光路変更器2は変更位置にある。まず、ワークWを、穴H1,H2が上向きになるようにして、測定装置の可動範囲内の所定位置に固定する。この際、ワークWにシャフト3の下端部が当たることのないように、それよりも低い位置とする。続いて、移動機構7が作動し、測定装置を左右方向(X軸方向)および前後方向(Y軸方向)に移動させて、レーザ変位計1の光軸(シャフト3の中心軸)を、一つ目の穴H1の位置に一致させる(図8(a))。そして、まず穴H1の内径を測定するため、測定装置を下方(Z軸方向)に移動させ、ワークWの一つ目の穴H1に、シャフト3を挿入する(図8(b))。この際、穴H1の想定される内径は設計図面より既知であるから、距離調節機構6が作動して、内径が測定可能範囲に納まるように、レーザ変位計1と光路変更器2の間の距離を調節する。そして、レーザ変位計1からレーザビームを発射すると、レーザビームはシャフト3の下端部分に設けた光路変更器2によって90度曲げられて穴H1の内周面に照射され、回転機構4によりシャフト3を回転させ内周面の全周にわたって照射することで、穴H1の内径が測定される。次に、穴H1の深さを測定するため、移動機構7が作動し、測定装置を上方(Z軸方向)に移動させ、ワークWの穴H1からシャフト3を引き抜く。この際、穴H1の想定される深さは設計図面より既知であるから、深さが測定可能範囲に納まるように、測定装置の高さ位置を調節する。続いて、切替機構5が動作して、光路変更器2の位置を、変更位置から待避位置へ切り替える(図8(c))。そして、レーザ変位計1からレーザビームを発射すると、レーザビームは下向きに直進し、穴H1の底面に照射されて、穴H1の深さが測定される。次に、測定装置の位置が下がっている場合には、移動機構7が作動して初期の高さ位置まで上昇させ、その後、切替機構5が動作して、光路変更器2の位置を、待避位置から変更位置へ切り替える。そして、移動機構7が作動し、測定装置を左右方向(X軸方向)および前後方向(Y軸方向)に移動させて、レーザ変位計1の光軸(シャフト3の中心軸)を、二つ目の穴H2の位置に一致させ、一つ目の穴H1と同様に測定を行う(図8(d))。このようにして、すべての穴H1,H2についての内径および深さの測定が完了する。なお、以上の測定装置の各部の動作は、制御装置(図示省略)にプログラミングされており、自動で行われる。   Next, a method for performing measurement using this measuring apparatus will be described with reference to FIG. Here, it is assumed that a plurality of holes H1 and H2 are formed in the workpiece W and it is confirmed by measurement whether the inner diameter and depth of each hole H1 and H2 are as per the design drawing. In the initial state, the optical path changer 2 is in the change position. First, the workpiece W is fixed at a predetermined position within the movable range of the measuring apparatus so that the holes H1 and H2 face upward. At this time, the position is set lower than that so that the lower end of the shaft 3 does not hit the workpiece W. Subsequently, the moving mechanism 7 is operated to move the measuring device in the left-right direction (X-axis direction) and the front-rear direction (Y-axis direction), so that the optical axis of the laser displacement meter 1 (the central axis of the shaft 3) is It matches with the position of the first hole H1 (FIG. 8A). First, in order to measure the inner diameter of the hole H1, the measuring device is moved downward (Z-axis direction), and the shaft 3 is inserted into the first hole H1 of the workpiece W (FIG. 8B). At this time, since the assumed inner diameter of the hole H1 is known from the design drawing, the distance adjusting mechanism 6 is operated and the distance between the laser displacement meter 1 and the optical path changer 2 is set so that the inner diameter is within the measurable range. Adjust the distance. When a laser beam is emitted from the laser displacement meter 1, the laser beam is bent 90 degrees by the optical path changer 2 provided at the lower end portion of the shaft 3 and irradiated to the inner peripheral surface of the hole H 1, and the shaft 3 is rotated by the rotating mechanism 4. Is rotated and irradiated over the entire circumference of the inner circumferential surface, whereby the inner diameter of the hole H1 is measured. Next, in order to measure the depth of the hole H1, the moving mechanism 7 is operated, the measuring device is moved upward (Z-axis direction), and the shaft 3 is pulled out from the hole H1 of the workpiece W. At this time, since the assumed depth of the hole H1 is known from the design drawing, the height position of the measuring device is adjusted so that the depth is within the measurable range. Subsequently, the switching mechanism 5 operates to switch the position of the optical path changer 2 from the changed position to the retracted position (FIG. 8C). Then, when a laser beam is emitted from the laser displacement meter 1, the laser beam goes straight downward and is irradiated onto the bottom surface of the hole H1, and the depth of the hole H1 is measured. Next, when the position of the measuring device is lowered, the moving mechanism 7 is operated and raised to the initial height position, and then the switching mechanism 5 is operated to retract the position of the optical path changer 2. Switch from position to change position. Then, the moving mechanism 7 is operated to move the measuring device in the left-right direction (X-axis direction) and the front-rear direction (Y-axis direction), so that two optical axes (center axis of the shaft 3) of the laser displacement meter 1 are moved. The measurement is performed in the same manner as the first hole H1 by matching with the position of the eye hole H2 (FIG. 8D). In this way, the measurement of the inner diameter and depth for all the holes H1, H2 is completed. The operation of each part of the above measuring device is programmed in a control device (not shown) and is automatically performed.

また、この測定装置によれば、図9(a)、(b)に示すような、内径に対して深さが深い穴の内径および深さの測定のほか、図9(c)、(d)に示すような、内径に対して深さが浅いザグリ穴の内径および深さの測定を行うこともできる。上記のように、距離調節機構6によってレーザ変位計1と光路変更器2の間の距離を変えることで、測定可能な内径の範囲が変化し、移動機構7によってレーザ変位計の高さ位置を変えることで、測定可能な深さの範囲が変化するので、内径や深さが大きく異なる穴にも対応できる。さらに、図9(e)に示すような段付穴について、内径を測定しつつ移動機構7により測定装置を上下動させることで、その内部形状を測定することができる。また、図9(f)に示すようなOリング溝を有する孔について、移動機構7によってシャフト3の通過孔31の高さ位置をOリング溝に合わせることで、Oリング溝の内径を測定することができる。さらに、図9(g)に示すようなタップ穴について、内径を測定しつつ移動機構7により測定装置を上下動させることで、タップの山数やピッチを測定することができる。   Further, according to this measuring apparatus, in addition to the measurement of the inner diameter and the depth of a hole having a deep depth relative to the inner diameter as shown in FIGS. 9A and 9B, FIGS. The inner diameter and depth of a counterbore hole whose depth is shallow with respect to the inner diameter as shown in FIG. As described above, by changing the distance between the laser displacement meter 1 and the optical path changer 2 by the distance adjusting mechanism 6, the measurable inner diameter range changes, and the moving mechanism 7 changes the height position of the laser displacement meter. By changing the range of measurable depth, it is possible to handle holes with greatly different inner diameters and depths. Furthermore, about a stepped hole as shown in FIG.9 (e), the internal shape can be measured by moving a measuring apparatus up and down by the moving mechanism 7, measuring an internal diameter. For the hole having the O-ring groove as shown in FIG. 9F, the inner diameter of the O-ring groove is measured by adjusting the height position of the passage hole 31 of the shaft 3 to the O-ring groove by the moving mechanism 7. be able to. Furthermore, about the tap hole as shown in FIG.9 (g), the number of taps and a pitch can be measured by moving a measuring apparatus up and down with the moving mechanism 7, measuring an internal diameter.

このように構成した測定装置によれば、上記のように、光路変更器2の位置を変更位置と待避位置とに切り替えることで、一つのレーザ変位計1によって穴の内径と深さを両方測定できる。これにより、レーザ変位計1が一つで済むので、費用を抑え、装置を小型化できる。また、距離調節機構6によってレーザ変位計1と光路変更器2の間の距離を変えることで、測定可能な穴の内径の範囲を変えることができ、移動機構7によってレーザ変位計1の高さ位置を変えることで、測定可能な穴の深さの範囲を変えることができる。さらに、移動機構7によって、対象物に対してレーザ変位計1および光路変更器2を自在に動かせるので、対象物の任意の位置の測定が可能である。   According to the measuring apparatus configured in this way, as described above, both the inner diameter and the depth of the hole are measured by one laser displacement meter 1 by switching the position of the optical path changer 2 between the changed position and the retracted position. it can. Thereby, since only one laser displacement meter 1 is required, the cost can be reduced and the apparatus can be downsized. Further, by changing the distance between the laser displacement meter 1 and the optical path changer 2 by the distance adjusting mechanism 6, the range of the inner diameter of the measurable hole can be changed, and the height of the laser displacement meter 1 can be changed by the moving mechanism 7. By changing the position, the measurable hole depth range can be changed. Furthermore, since the laser displacement meter 1 and the optical path changer 2 can be moved freely with respect to the object by the moving mechanism 7, it is possible to measure an arbitrary position of the object.

次に、この測定装置を備えた加工ラインについて説明する。この加工ラインは、図10に示すように、前後に並ぶ複数の加工機101a,101bと、並んだ加工機101a,101bの左側で前後方向に延びるガイドレール103と、ガイドレール103上を走行するワークローダ102を備える。各加工機101a,101bは、ワークWに対して、工具による切削加工や、レーザ加工、放電加工など、種々の加工を行うものである。また、ワークローダ102は、ワークWを一の加工機101aから他の加工機101bへ移送するものであり、加工機101a,101bからワークWを搬入出する搬入出アーム121を備える。搬入出アーム121は、先端部でワークWを保持するものであり、垂直軸周りに回転して、ワークWをガイドレール103の右側(加工機101a,101b側)からガイドレール103の左側(加工機101a,101bの反対側)に、またはその反対向きに移動させるものである。そして、ワークローダ102の左側部(加工機101a,101bの反対側)に、上記の測定装置100を取り付けてある。測定装置100は、Y軸方向がガイドレール103の延びる方向に一致する向きで取り付けてあり、搬入出アーム121により左側に移動されたワークWが、測定装置100の測定可能範囲内に納まるものである。   Next, a processing line equipped with this measuring device will be described. As shown in FIG. 10, this processing line runs on a plurality of processing machines 101 a and 101 b arranged in the front-rear direction, a guide rail 103 extending in the front-rear direction on the left side of the arranged processing machines 101 a and 101 b, and the guide rail 103. A work loader 102 is provided. Each processing machine 101a, 101b performs various types of processing, such as cutting processing with a tool, laser processing, and electrical discharge processing, on the workpiece W. The work loader 102 is for transferring the workpiece W from one processing machine 101a to another processing machine 101b, and includes a loading / unloading arm 121 for loading and unloading the workpiece W from the processing machines 101a and 101b. The carry-in / out arm 121 holds the workpiece W at the tip, rotates around the vertical axis, and moves the workpiece W from the right side of the guide rail 103 (processing machine 101a, 101b side) to the left side of the guide rail 103 (processing). The other side of the machine 101a, 101b) or in the opposite direction. And the said measuring apparatus 100 is attached to the left side part (opposite side of the processing machines 101a and 101b) of the work loader 102. FIG. The measuring apparatus 100 is attached so that the Y-axis direction coincides with the extending direction of the guide rail 103, and the workpiece W moved to the left side by the carry-in / out arm 121 falls within the measurable range of the measuring apparatus 100. is there.

このように構成した加工ラインによれば、まず、一つ目の加工機101aでワークWの加工が行われた後、搬入出アーム121によってワークWが加工機101aから搬出され、さらに搬入出アーム121が旋回してワークWがワークローダ102の左側に移動する。そして、ワークローダ102が一つ目の加工機101aから二つ目の加工機101bへ移動する間に、測定装置100が作動し、上記の要領で、ワークWの一つ目の加工機101aによる加工部を測定する。そして、ワークローダ102が二つ目の加工機101bに到着すると、搬入出アーム121が旋回してワークWがワークローダ102の右側に移動し、さらに搬入出アーム121によってワークWが加工機101bに搬入される。その後、二つ目の加工機101bでワークWの加工が行われる。そしてこの後、一つ目の加工機101aによる加工後と同様に、ワークローダ102によるワークWの移送中に、測定装置100によりワークWの二つ目の加工機101bによる加工部を測定する。このように、ワークローダ102によるワークWの移送中に、ワークWの加工部について測定することができるので、加工のサイクルタイムを短縮することができ、また、別途測定装置を設ける必要がないので、加工ライン全体を小型化できる。   According to the processing line configured in this manner, first, after the workpiece W is processed by the first processing machine 101a, the workpiece W is unloaded from the processing machine 101a by the loading / unloading arm 121, and the loading / unloading arm is further loaded. 121 turns and the workpiece W moves to the left side of the workpiece loader 102. And while the work loader 102 moves from the 1st processing machine 101a to the 2nd processing machine 101b, the measuring apparatus 100 operate | moves and it carries out by the 1st processing machine 101a of the workpiece | work W in said way. Measure the machined part. When the work loader 102 arrives at the second processing machine 101b, the loading / unloading arm 121 turns to move the work W to the right side of the work loader 102, and the loading / unloading arm 121 further moves the work W to the processing machine 101b. It is brought in. Thereafter, the workpiece W is processed by the second processing machine 101b. After that, during the transfer of the workpiece W by the work loader 102, the measuring unit 100 measures the processing portion of the workpiece W by the second processing machine 101b in the same manner as after the processing by the first processing machine 101a. As described above, since the workpiece W can be measured while the workpiece W is being transferred by the workpiece loader 102, the machining cycle time can be shortened, and there is no need to provide a separate measuring device. The entire processing line can be downsized.

本発明は、上記の実施形態に限定されない。たとえば、光路変更器は、上記のようにレーザビームを反射させて光路を曲げるもののほか、屈折により光路を曲げるプリズムからなるものであってもよい。また、光路変更器(シャフト)を回転させる回転機構、光路変更器の位置を切り替える切替機構およびレーザ変位計と光路変更器の間の距離を変える距離調節機構の構成については、一例を示したものであり、同等の動作をするものであれば、どのような構成であってもよい。さらに、加工ラインは、三台以上の加工機を備えるものであってもよい。   The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the optical path changer may be composed of a prism that bends the optical path by refraction in addition to the one that reflects the laser beam and bends the optical path as described above. An example of the configuration of the rotation mechanism that rotates the optical path changer (shaft), the switching mechanism that switches the position of the optical path changer, and the distance adjustment mechanism that changes the distance between the laser displacement meter and the optical path changer is shown. Any configuration may be used as long as it performs an equivalent operation. Furthermore, the processing line may include three or more processing machines.

1 レーザ変位計
2 光路変更器
100 測定装置
101a,101b 加工機
102 ワークローダ
W ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser displacement meter 2 Optical path change device 100 Measuring apparatus 101a, 101b Processing machine 102 Work loader W Workpiece

Claims (4)

レーザ変位計と、光路変更器を備え、
光路変更器が、レーザ変位計から発射されるレーザビームの光路を変更するものであって、光路変更器の位置を、レーザ変位計の光軸上の変更位置と、レーザ変位計の光軸から外れた待避位置とに切替可能であることを特徴とする測定装置。
Equipped with laser displacement meter and optical path changer,
The optical path changer changes the optical path of the laser beam emitted from the laser displacement meter, and the position of the optical path changer is changed from the change position on the optical axis of the laser displacement meter and the optical axis of the laser displacement meter. A measuring apparatus that can be switched to a retracted position.
レーザ変位計と、変更位置の光路変更器との間の距離が可変であることを特徴とする請求項1記載の測定装置。   2. The measuring apparatus according to claim 1, wherein a distance between the laser displacement meter and the optical path changer at the change position is variable. レーザ変位計と光路変更器が一体となって、レーザ変位計の光軸を一軸とする直交三軸方向に移動可能であることを特徴とする請求項1または2記載の測定装置。   3. The measuring apparatus according to claim 1, wherein the laser displacement meter and the optical path changer are integrated and are movable in three orthogonal directions with the optical axis of the laser displacement meter as one axis. 複数の加工機と、ワークを一の加工機から他の加工機へ移送するワークローダを備え、
ワークローダに、請求項1、2または3記載の測定装置を取り付けてあることを特徴とする加工ライン。
A plurality of processing machines and a work loader that transfers workpieces from one processing machine to another,
A processing line, wherein the measuring device according to claim 1, 2 or 3 is attached to a work loader.
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