JP2017161659A - Photosensitive resin composition, dry film, and printed wiring board - Google Patents

Photosensitive resin composition, dry film, and printed wiring board Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition which prevents aggregation of an organic filler and is excellent in resolution, flexibility, thixotropy, plating resistance, and thermal shock resistance.SOLUTION: The photosensitive resin composition contains a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, a photopolymerization initiator (C), an epoxy compound (D), an organic filler (E), and a coupling agent (F). The organic filler (E) contains an organic filler (E1) having a carboxyl group with an average primary particle diameter of 1 μm or less. The coupling agent (F) contains a coupling agent (F1) containing atoms selected from silicon atoms, aluminum atoms, titanium atoms, and zirconia atoms and further containing two or more functional groups selected from an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkoxide.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、ドライフィルム、及びプリント配線板に関し、詳しくはプリント配線板にソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の電気絶縁性の層を形成するために適する感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、及び前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a dry film, and a printed wiring board. Specifically, an electrically insulating layer such as a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, or an interlayer insulating layer is formed on the printed wiring board. Suitable photosensitive resin composition, dry film containing the photosensitive resin composition, printed wiring board including an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and curing of the photosensitive resin composition The present invention relates to a printed wiring board provided with a solder resist layer containing an object.

従来、プリント配線板の製造のためには、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の電気絶縁性の層を形成するために種々の電気絶縁性の樹脂組成物が使用されており、樹脂組成物としては例えば感光性樹脂組成物が使用されている。   Conventionally, for the production of printed wiring boards, various electrically insulating resin compositions have been used to form electrically insulating layers such as solder resist layers, plating resist layers, etching resist layers, and interlayer insulating layers. For example, a photosensitive resin composition is used as the resin composition.

感光性樹脂組成物から得られる硬化物のクラックの発生を抑制し物理的強度を上げるために、感光性樹脂組成物に有機フィラーを配合することが知られている(特許文献1)。   In order to suppress the occurrence of cracks in the cured product obtained from the photosensitive resin composition and increase the physical strength, it is known to add an organic filler to the photosensitive resin composition (Patent Document 1).

特許第5564144号公報Japanese Patent No. 5564144

しかし、感光性樹脂組成物に有機フィラーを添加するだけでは、十分な分散性を得られない場合が多い。そこで、例えば、特許文献1では、カルボキシル基含有樹脂、光重合開始剤、及び有機フィラーを含有する樹脂組成物に、カップリング剤を添加することが開示されている。樹脂組成物にカップリング剤を配合することにより、有機フィラーの分散性を高めることができる。   However, in many cases, sufficient dispersibility cannot be obtained only by adding an organic filler to the photosensitive resin composition. Thus, for example, Patent Document 1 discloses that a coupling agent is added to a resin composition containing a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, and an organic filler. The dispersibility of an organic filler can be improved by mix | blending a coupling agent with a resin composition.

しかし、特許文献1では、表面がシリカで被覆された有機フィラーを用いなければならない。有機フィラーの凝集を防ぐとともに、解像性、柔軟性、チクソ性、耐メッキ性、及び冷熱衝撃耐性に優れた感光性樹脂組成物を得ることは容易ではない。   However, in Patent Document 1, an organic filler whose surface is coated with silica must be used. It is not easy to obtain a photosensitive resin composition that prevents aggregation of organic fillers and is excellent in resolution, flexibility, thixotropy, plating resistance, and thermal shock resistance.

本発明は上記事由に鑑みてなされたものであり、有機フィラーの凝集を防ぎ、解像性、柔軟性、チクソ性、耐メッキ性、及び冷熱衝撃耐性に優れた感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、及び前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned reasons, and prevents the aggregation of organic fillers, and is a photosensitive resin composition excellent in resolution, flexibility, thixotropy, plating resistance, and thermal shock resistance, and the photosensitive resin. Printed circuit board comprising a dry film containing a photosensitive resin composition, an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and a solder resist layer containing a cured product of the photosensitive resin composition The purpose is to provide.

本発明に係る感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)と、有機フィラー(E)と、カップリング剤(F)と、を含有する。前記有機フィラー(E)は、平均一次粒子径が1μm以下のカルボキシル基を有する有機フィラー(E1)を含む。前記カップリング剤(F)は、ケイ素原子、アルミニウム原子、チタン原子、及びジルコニア原子から選ばれる原子を含有し、さらにアルコキシ基、アシルオキシ基及びアルコキシドから選ばれる官能基を二つ以上含有するカップリング剤(F1)を含む。   The photosensitive resin composition according to the present invention includes a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, a photopolymerization initiator (C), And an epoxy compound (D), an organic filler (E), and a coupling agent (F). The said organic filler (E) contains the organic filler (E1) which has a carboxyl group whose average primary particle diameter is 1 micrometer or less. The coupling agent (F) contains an atom selected from a silicon atom, an aluminum atom, a titanium atom, and a zirconia atom, and further contains two or more functional groups selected from an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkoxide. Contains agent (F1).

本発明に係るドライフィルムは、前記感光性樹脂組成物を含有する。   The dry film according to the present invention contains the photosensitive resin composition.

本発明に係るプリント配線板は、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備える。   The printed wiring board which concerns on this invention is equipped with the interlayer insulation layer containing the hardened | cured material of the said photosensitive resin composition.

本発明に係るプリント配線板は、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備える。   The printed wiring board which concerns on this invention is equipped with the soldering resist layer containing the hardened | cured material of the said photosensitive resin composition.

本発明によれば、カルボキシル基を有する有機フィラー及びカップリング剤を配合することで、有機フィラーの凝集を防ぎ、解像性、柔軟性、チクソ性、耐メッキ性、及び冷熱衝撃耐性に優れた感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を含有するドライフィルム、前記感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備えるプリント配線板、及び前記感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備えるプリント配線板が得られる。   According to the present invention, by incorporating an organic filler having a carboxyl group and a coupling agent, aggregation of the organic filler is prevented, and the resolution, flexibility, thixotropy, plating resistance, and thermal shock resistance are excellent. A photosensitive resin composition, a dry film containing the photosensitive resin composition, a printed wiring board including an interlayer insulating layer containing a cured product of the photosensitive resin composition, and a cured product of the photosensitive resin composition A printed wiring board provided with a solder resist layer is obtained.

図1Aから図1Eは、多層プリント配線板を製造する工程を示す断面図である。1A to 1E are cross-sectional views showing a process of manufacturing a multilayer printed wiring board.

本発明を実施するための形態について説明する。なお、以下の説明において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル」と「メタクリル」のうち少なくとも一方を意味する。例えば、(メタ)アクリレートは、アクリレートとメタクリレートとのうち少なくとも一方を意味する。   A mode for carrying out the present invention will be described. In the following description, “(meth) acryl” means at least one of “acryl” and “methacryl”. For example, (meth) acrylate means at least one of acrylate and methacrylate.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、エポキシ化合物(D)と、有機フィラー(E)と、カップリング剤(F)とを含有する。有機フィラー(E)は、平均一次粒子径が1μm以下のカルボキシル基を有する有機フィラー(E1)を含む。カップリング剤(F)は、ケイ素原子、アルミニウム原子、チタン原子、及びジルコニア原子から選ばれる原子を含有し、さらにアルコキシ基、アシルオキシ基及びアルコキシドから選ばれる官能基を二つ以上含有するカップリング剤(F1)を含む。感光性樹脂組成物が、有機フィラー(E1)を含有することで、感光性樹脂組成物のチクソ性が高まり、感光性樹脂組成物の安定性が向上する。また、その硬化物に温度変化が繰り返されることがあったとしても、硬化物のクラックを生じ難くさせることができる。さらに、感光性樹脂組成物が、カップリング剤(F1)を含有することで、有機フィラー(E1)の分散性が高まり、感光性樹脂組成物のチクソ性及び安定性が向上する。   The photosensitive resin composition according to this embodiment includes a carboxyl group-containing resin (A), an unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule, and a photopolymerization initiator (C). And an epoxy compound (D), an organic filler (E), and a coupling agent (F). An organic filler (E) contains the organic filler (E1) which has a carboxyl group whose average primary particle diameter is 1 micrometer or less. The coupling agent (F) contains an atom selected from a silicon atom, an aluminum atom, a titanium atom, and a zirconia atom, and further contains two or more functional groups selected from an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkoxide. (F1) is included. When the photosensitive resin composition contains the organic filler (E1), the thixotropy of the photosensitive resin composition is increased, and the stability of the photosensitive resin composition is improved. Moreover, even if the temperature change is repeated in the cured product, cracks in the cured product can be made difficult to occur. Furthermore, the dispersibility of an organic filler (E1) increases because a photosensitive resin composition contains a coupling agent (F1), and the thixotropy and stability of a photosensitive resin composition improve.

カルボキシル基含有樹脂(A)は、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂を含むことが好ましい。カルボキシル基含有樹脂(A)が、エチレン性不飽和基を有することで、光反応性を有する。このため、カルボキシル基含有樹脂(A)は感光性樹脂組成物に感光性、具体的には紫外線硬化性、を付与できる。   The carboxyl group-containing resin (A) preferably contains a carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group. Since the carboxyl group-containing resin (A) has an ethylenically unsaturated group, it has photoreactivity. For this reason, the carboxyl group-containing resin (A) can impart photosensitivity, specifically, ultraviolet curability, to the photosensitive resin composition.

カルボキシル基含有樹脂(A)は、芳香環を有するカルボキシル基含有樹脂を含むことが好ましい。カルボキシル基含有樹脂(A)が、芳香環を含むことで、カルボキシル基含有樹脂(A)を含有する感光性樹脂組成物の硬化物に高い耐熱性及び絶縁信頼性を付与できる。カルボキシル基含有樹脂(A)は、ビフェニル骨格、ナフタレン骨格、フルオレン骨格、及びアントラセン骨格のうちいずれかの多環芳香環を有するカルボキシル基含有樹脂を含むことがより好ましい。カルボキシル基含有樹脂(A)が、ビフェニル骨格、ナフタレン骨格、フルオレン骨格、及びアントラセン骨格のうちいずれかの多環芳香環を含むことで、カルボキシル基含有樹脂(A)を含有する感光性樹脂組成物の硬化物に、より高い耐熱性及び絶縁信頼性を付与できる。カルボキシル基含有樹脂(A)は、ビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を含むことがさらに好ましい。カルボキシル基含有樹脂(A)が、ビスフェノールフルオレン骨格を含むことで、カルボキシル基含有樹脂(A)を含有する感光性樹脂組成物の硬化物に、さらに高い耐熱性及び絶縁信頼性を付与できる。   The carboxyl group-containing resin (A) preferably contains a carboxyl group-containing resin having an aromatic ring. When the carboxyl group-containing resin (A) contains an aromatic ring, high heat resistance and insulation reliability can be imparted to the cured product of the photosensitive resin composition containing the carboxyl group-containing resin (A). It is more preferable that the carboxyl group-containing resin (A) includes a carboxyl group-containing resin having any polycyclic aromatic ring among a biphenyl skeleton, a naphthalene skeleton, a fluorene skeleton, and an anthracene skeleton. The photosensitive resin composition containing carboxyl group-containing resin (A) because carboxyl group-containing resin (A) contains any polycyclic aromatic ring among biphenyl skeleton, naphthalene skeleton, fluorene skeleton, and anthracene skeleton. Higher heat resistance and insulation reliability can be imparted to the cured product. More preferably, the carboxyl group-containing resin (A) includes a carboxyl group-containing resin having a bisphenolfluorene skeleton. When the carboxyl group-containing resin (A) includes a bisphenolfluorene skeleton, higher heat resistance and insulation reliability can be imparted to the cured product of the photosensitive resin composition containing the carboxyl group-containing resin (A).

カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)を含有することが好ましい。カルボキシル基含有樹脂(A1)は、下記式(1)で示され、式(1)中、R〜Rは各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンであるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)を含むカルボン酸(a2)との反応物である中間体と、酸無水物(a3)との反応物である。カルボキシル基含有樹脂(A1)は、ビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)に由来する芳香環を有する。カルボキシル基含有樹脂(A1)は、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)を含むカルボン酸(a2)に由来するエチレン性不飽和基を有する。カルボキシル基含有樹脂(A1)は、下記式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)を含むカルボン酸(a2)とを反応させ、それにより得られた中間体と、酸無水物(a3)とを反応させることで合成される。 The carboxyl group-containing resin (A) preferably contains a carboxyl group-containing resin (A1). The carboxyl group-containing resin (A1) is represented by the following formula (1), and in the formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, a C 1-5 alkyl group, or a bisphenolfluorene skeleton. It is a reaction product of an intermediate which is a reaction product of an epoxy compound (a1) having carboxylic acid (a2) containing an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1) and an acid anhydride (a3). The carboxyl group-containing resin (A1) has an aromatic ring derived from the epoxy compound (a1) having a bisphenolfluorene skeleton. The carboxyl group-containing resin (A1) has an ethylenically unsaturated group derived from the carboxylic acid (a2) including the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1). The carboxyl group-containing resin (A1) reacts an epoxy compound (a1) having a bisphenolfluorene skeleton represented by the following formula (1) with a carboxylic acid (a2) containing an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1). And an intermediate obtained thereby and the acid anhydride (a3) are reacted.

Figure 2017161659
Figure 2017161659

式(1)中、R〜Rは各々独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンである。すなわち、式(1)におけるR〜Rの各々は、水素でもよいが、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲンでもよい。芳香環における水素が低分子量のアルキル基又はハロゲンで置換されても、カルボキシル基含有樹脂(A1)の物性に悪影響は与えられず、むしろ置換されることでカルボキシル基含有樹脂(A1)を含む感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性或いは難燃性が向上する場合もあるからである。 In formula (1), R 1 to R 8 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or halogen. That is, each of R 1 to R 8 in Formula (1) may be hydrogen, but may be an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen. Even if the hydrogen in the aromatic ring is substituted with a low molecular weight alkyl group or halogen, the physical properties of the carboxyl group-containing resin (A1) are not adversely affected. This is because the heat resistance or flame retardancy of the cured product of the conductive resin composition may be improved.

本実施形態では、カルボキシル基含有樹脂(A1)がエポキシ化合物(a1)に由来する式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有することで、感光性樹脂組成物の硬化物に高い耐熱性及び絶縁信頼性を付与できる。また、カルボキシル基含有樹脂(A1)が酸無水物(a3)に由来するカルボキシル基を有することで、感光性樹脂組成物に優れた現像性を付与できる。さらに、感光性樹脂組成物が、エポキシ樹脂を含有することで、感光性樹脂組成物に熱硬化性を付与できる。   In this embodiment, since the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1) derived from the epoxy compound (a1), the cured product of the photosensitive resin composition has high heat resistance and insulation. Reliability can be given. Moreover, the developability excellent in the photosensitive resin composition can be provided because carboxyl group-containing resin (A1) has a carboxyl group derived from an acid anhydride (a3). Furthermore, thermosetting property can be provided to the photosensitive resin composition because the photosensitive resin composition contains an epoxy resin.

カルボキシル基含有樹脂(A1)について、より具体的に説明する。カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成するためには、まず式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基(式(2)参照)の少なくとも一部と、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)を含むカルボン酸(a2)とを反応させることで、中間体を合成する。中間体の合成は、第一反応と規定される。中間体は、エポキシ基とカルボン酸(a2)との開環付加反応により生じた下記式(3)に示す構造を有する。すなわち、中間体は、式(3)に示す構造中に、エポキシ基と不飽和基含有カルボン酸(a2−1)を含むカルボン酸(a2)との開環付加反応により生じた二級の水酸基を有する。式(3)において、Aはカルボン酸残基である。このAは、不飽和基含有カルボン酸残基を含む。   The carboxyl group-containing resin (A1) will be described more specifically. In order to synthesize the carboxyl group-containing resin (A1), first, at least a part of the epoxy group (see formula (2)) in the epoxy compound (a1) having a bisphenolfluorene skeleton represented by formula (1) and unsaturated An intermediate is synthesized by reacting the carboxylic acid (a2) containing the group-containing carboxylic acid (a2-1). The synthesis of the intermediate is defined as the first reaction. The intermediate has a structure represented by the following formula (3) generated by the ring-opening addition reaction between the epoxy group and the carboxylic acid (a2). That is, the intermediate is a secondary hydroxyl group generated by a ring-opening addition reaction between an epoxy group and a carboxylic acid (a2) containing an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1) in the structure represented by the formula (3). Have In formula (3), A is a carboxylic acid residue. This A includes an unsaturated group-containing carboxylic acid residue.

Figure 2017161659
Figure 2017161659

Figure 2017161659
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次に、中間体中の二級の水酸基と、酸無水物(a3)とを反応させる。これにより、カルボキシル基含有樹脂(A1)を合成できる。中間体と酸無水物(a3)との反応は、第二反応と規定される。酸無水物(a3)は、酸一無水物及び酸二無水物を含みうる。酸一無水物とは、一分子内における二つのカルボキシル基が脱水縮合した、酸無水物基を一つ有する化合物である。酸二無水物とは、一分子内における四つのカルボキシル基が脱水縮合した、酸無水物基を二つ有する化合物である。   Next, the secondary hydroxyl group in the intermediate is reacted with the acid anhydride (a3). Thereby, carboxyl group-containing resin (A1) can be synthesized. The reaction between the intermediate and the acid anhydride (a3) is defined as the second reaction. The acid anhydride (a3) can include an acid monoanhydride and an acid dianhydride. The acid monoanhydride is a compound having one acid anhydride group in which two carboxyl groups in one molecule are dehydrated and condensed. An acid dianhydride is a compound having two acid anhydride groups obtained by dehydration condensation of four carboxyl groups in one molecule.

酸無水物(a3)が酸一無水物を含む場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格と、下記式(4)に示す構造とを有する。   When the acid anhydride (a3) contains an acid monoanhydride, the carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1) and a structure represented by the following formula (4).

式(4)に示す構造は、中間体の式(3)で示す構造中の二級の水酸基と、酸無水物(a3)における酸無水物基とが反応することで生じる。式(4)において、Aはカルボン酸残基であり、Bは酸一無水物の残基である。このAは、不飽和基含有カルボン酸残基を含む。   The structure represented by the formula (4) is generated by the reaction between the secondary hydroxyl group in the structure represented by the formula (3) of the intermediate and the acid anhydride group in the acid anhydride (a3). In formula (4), A is a carboxylic acid residue and B is an acid monoanhydride residue. This A includes an unsaturated group-containing carboxylic acid residue.

Figure 2017161659
Figure 2017161659

また、酸無水物(a3)が酸一無水物と酸二無水物との両方を含んでもよい。例えば、中間体中の二級の水酸基のうちの一部と酸一無水物とを反応させ、中間体中の二級の水酸基のうちの別の一部と酸二無水物とを反応させてもよい。この場合、合成されるカルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格と、上記式(4)に示す構造と、下記式(5)に示す構造とを有する。   Further, the acid anhydride (a3) may contain both an acid monoanhydride and an acid dianhydride. For example, a part of the secondary hydroxyl group in the intermediate is reacted with acid monoanhydride, and another part of the secondary hydroxyl group in the intermediate is reacted with acid dianhydride. Also good. In this case, the synthesized carboxyl group-containing resin (A1) has a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1), a structure represented by the above formula (4), and a structure represented by the following formula (5).

式(5)に示す構造は、酸二無水物中の酸無水物基と、中間体における二つの二級の水酸基とが、それぞれ反応することで生じる。すなわち、式(5)に示す構造は、二つの二級の水酸基同士を酸二無水物が架橋することで生成する。なお、中間体の一つの分子中に存在する二つの二級の水酸基同士が架橋される場合と、中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が架橋される場合とが、ありうる。中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が架橋されると、分子量の増大が得られる。式(5)において、Aはカルボン酸残基であり、Dは酸二無水物残基である。このAは、不飽和基含有カルボン酸残基を含む。   The structure represented by the formula (5) is generated by the reaction between the acid anhydride group in the acid dianhydride and the two secondary hydroxyl groups in the intermediate. That is, the structure shown in Formula (5) is produced by crosslinking of two secondary hydroxyl groups with an acid dianhydride. In addition, the case where two secondary hydroxyl groups present in one molecule of the intermediate are crosslinked and the case where two secondary hydroxyl groups present in each of the two molecules of the intermediate are crosslinked It is possible. When two secondary hydroxyl groups present in the two molecules of the intermediate are cross-linked, an increase in molecular weight is obtained. In formula (5), A is a carboxylic acid residue and D is an acid dianhydride residue. This A includes an unsaturated group-containing carboxylic acid residue.

Figure 2017161659
Figure 2017161659

カルボキシル基含有樹脂(A1)が、更に下記式(6)で示す構造を有することもありうる。式(6)で示す構造は、酸二無水物中の二つの酸無水物基のうち、一つのみが、中間体における二級の水酸基と反応することで生じる。式(6)において、Aはカルボン酸残基であり、Dは酸二無水物残基である。このAは、不飽和基含有カルボン酸残基を含む。   The carboxyl group-containing resin (A1) may further have a structure represented by the following formula (6). The structure represented by formula (6) occurs when only one of the two acid anhydride groups in the acid dianhydride reacts with the secondary hydroxyl group in the intermediate. In formula (6), A is a carboxylic acid residue and D is an acid dianhydride residue. This A includes an unsaturated group-containing carboxylic acid residue.

Figure 2017161659
Figure 2017161659

中間体の合成時にエポキシ化合物(a1)中のエポキシ基の一部が未反応のまま残存する場合、カルボキシル基含有樹脂(A1)は式(2)に示す構造、すなわちエポキシ基を有することがありうる。また、中間体における式(3)に示す構造の一部が未反応のまま残存する場合に、カルボキシル基含有樹脂(A1)は式(3)に示す構造を有することもありうる。   When some of the epoxy groups in the epoxy compound (a1) remain unreacted during the synthesis of the intermediate, the carboxyl group-containing resin (A1) may have a structure represented by the formula (2), that is, an epoxy group. sell. In addition, when a part of the structure represented by the formula (3) in the intermediate body remains unreacted, the carboxyl group-containing resin (A1) may have a structure represented by the formula (3).

ただし、カルボキシル基含有樹脂(A1)の合成時の反応条件を最適化することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)中の式(2)に示す構造、及び式(6)に示す構造を低減し、或いは殆どなくすことが可能である。   However, by optimizing the reaction conditions during the synthesis of the carboxyl group-containing resin (A1), the structure shown in the formula (2) and the structure shown in the formula (6) in the carboxyl group-containing resin (A1) are reduced. Or it can be almost eliminated.

以上により、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(1)で示されるビスフェノールフルオレン骨格と、式(4)に示す構造を有しうる。さらに、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(5)に示す構造を有することもできる。さらに、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、式(2)に示す構造と、式(3)に示す構造と、式(6)に示す構造とのうち少なくとも一種を有することがある。   As described above, the carboxyl group-containing resin (A1) can have a bisphenolfluorene skeleton represented by the formula (1) and a structure represented by the formula (4). Furthermore, the carboxyl group-containing resin (A1) can also have a structure shown in Formula (5). Furthermore, the carboxyl group-containing resin (A1) may have at least one of the structure shown in Formula (2), the structure shown in Formula (3), and the structure shown in Formula (6).

また、エポキシ化合物(a1)自体が二級の水酸基を有する場合、すなわち例えば後述する式(7)においてn=1以上である場合には、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、エポキシ化合物(a1)中の二級の水酸基と酸無水物(a3)とが反応することで生じる構造を有することもある。   When the epoxy compound (a1) itself has a secondary hydroxyl group, that is, for example, when n = 1 or more in the formula (7) described later, the carboxyl group-containing resin (A1) is an epoxy compound (a1). The secondary secondary hydroxyl group and the acid anhydride (a3) may react with each other.

なお、上述のカルボキシル基含有樹脂(A1)の構造は技術常識に基づいて合理的に類推されたものであり、カルボキシル基含有樹脂(A1)の構造を分析によって同定することは現実にはできない。その理由は次の通りである。エポキシ化合物(a1)自体が二級の水酸基を有する場合(例えば式(7)においてnが1以上である場合)には、エポキシ化合物(a1)中の二級の水酸基の数によってカルボキシル基含有樹脂(A1)の構造が大きく変化してしまう。また、中間体と酸二無水物とが反応する際には、上述の通り、中間体の一つの分子中に存在する二つの二級の水酸基同士が酸二無水物で架橋される場合と、中間体の二つの分子中にそれぞれ存在する二つの二級の水酸基同士が酸二無水物で架橋される場合とが、ありうる。このため、最終的に得られるカルボキシル基含有樹脂(A1)は、互いに構造の異なる複数の分子を含み、カルボキシル基含有樹脂(A1)を分析してもその構造を同定できなくなる。   In addition, the structure of the above-mentioned carboxyl group-containing resin (A1) is reasonably inferred based on the common general technical knowledge, and the structure of the carboxyl group-containing resin (A1) cannot be identified by analysis. The reason is as follows. When the epoxy compound (a1) itself has a secondary hydroxyl group (for example, when n is 1 or more in the formula (7)), the carboxyl group-containing resin depends on the number of secondary hydroxyl groups in the epoxy compound (a1). The structure of (A1) changes greatly. When the intermediate and the acid dianhydride react, as described above, when two secondary hydroxyl groups present in one molecule of the intermediate are cross-linked with the acid dianhydride, There may be a case where two secondary hydroxyl groups respectively present in the two molecules of the intermediate are crosslinked with an acid dianhydride. For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) finally obtained contains a plurality of molecules having different structures, and even when the carboxyl group-containing resin (A1) is analyzed, the structure cannot be identified.

カルボキシル基含有樹脂(A1)は、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)に由来するエチレン性不飽和基を有することで光反応性を有する。このため、カルボキシル基含有樹脂(A1)は感光性樹脂組成物に感光性、具体的には紫外線硬化性、を付与できる。また、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、酸無水物(a3)に由来するカルボキシル基を有することで、感光性樹脂組成物に、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液による現像性を付与できる。   The carboxyl group-containing resin (A1) has photoreactivity by having an ethylenically unsaturated group derived from the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1). For this reason, carboxyl group-containing resin (A1) can provide photosensitivity, specifically, ultraviolet curability, to the photosensitive resin composition. Moreover, carboxyl group-containing resin (A1) has a carboxyl group derived from an acid anhydride (a3), so that the photosensitive resin composition contains at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide. The developability by alkaline aqueous solution can be provided.

カルボキシル基含有樹脂(A1)の重量平均分子量は700〜10000の範囲内であることが好ましい。重量平均分子量が700以上であると、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性をさらに抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性をさらに向上できる。また、重量平均分子量が10000以下であると、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。重量平均分子量は、900〜8000の範囲内であることがさらに好ましく、1000〜5000の範囲内であることが特に好ましい。   The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) is preferably in the range of 700 to 10,000. When the weight average molecular weight is 700 or more, the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition can be further suppressed, and the insulation reliability and plating resistance of the cured product can be further improved. Moreover, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition improves especially that a weight average molecular weight is 10,000 or less. The weight average molecular weight is more preferably in the range of 900 to 8000, and particularly preferably in the range of 1000 to 5000.

カルボキシル基含有樹脂(A1)の多分散度が1.0〜4.8の範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される硬化物の良好な絶縁信頼性及び耐メッキ性(例えば無電解ニッケル/金メッキ処理時の白化耐性)を確保しながら、感光性樹脂組成物に優れた現像性を付与できる。カルボキシル基含有樹脂(A1)の多分散度が1.1〜4.0であることがより好ましく、1.2〜2.8であることがさらに好ましい。なお、多分散度は、カルボキシル基含有樹脂(A1)の数平均分子量(Mn)に対する重量平均分子量(Mw)の比の値(Mw/Mn)である。   The polydispersity of the carboxyl group-containing resin (A1) is preferably in the range of 1.0 to 4.8. In this case, it was excellent in the photosensitive resin composition while ensuring good insulation reliability and plating resistance (for example, resistance to whitening during electroless nickel / gold plating) of the cured product formed from the photosensitive resin composition. Developability can be imparted. The polydispersity of the carboxyl group-containing resin (A1) is more preferably 1.1 to 4.0, and further preferably 1.2 to 2.8. The polydispersity is a value (Mw / Mn) of the ratio of the weight average molecular weight (Mw) to the number average molecular weight (Mn) of the carboxyl group-containing resin (A1).

カルボキシル基含有樹脂(A1)の固形分酸価は60〜140mgKOH/gの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の現像性が特に向上する。酸価が80〜135mgKOH/gの範囲内であればより好ましく、酸価が90〜130mgKOH/gの範囲内であれば更に好ましい。   The solid content acid value of the carboxyl group-containing resin (A1) is preferably in the range of 60 to 140 mgKOH / g. In this case, the developability of the photosensitive resin composition is particularly improved. The acid value is more preferably in the range of 80 to 135 mgKOH / g, and the acid value is more preferably in the range of 90 to 130 mgKOH / g.

カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量は、酸二無水物の架橋によって調整されうる。この場合、酸価と分子量とが調整されたカルボキシル基含有樹脂(A1)が得られる。すなわち、酸無水物(a3)中に含まれる酸二無水物の量を制御することで、カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量及び酸価を容易に調整できる。なお、カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィによる次の条件での測定結果から算出される。   The molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1) can be adjusted by crosslinking of acid dianhydride. In this case, a carboxyl group-containing resin (A1) having an adjusted acid value and molecular weight is obtained. That is, the molecular weight and acid value of the carboxyl group-containing resin (A1) can be easily adjusted by controlling the amount of acid dianhydride contained in the acid anhydride (a3). In addition, the molecular weight of carboxyl group-containing resin (A1) is calculated from the measurement results under the following conditions by gel permeation chromatography.

GPC装置:昭和電工社製 SHODEX SYSTEM 11、
カラム:SHODEX KF−800P,KF−005,KF−003,KF−001の4本直列、
移動相:THF、
流量:1ml/分、
カラム温度:45℃、
検出器:RI、
換算:ポリスチレン。
GPC device: SHODEX SYSTEM 11, manufactured by Showa Denko KK
Column: 4 series of SHODEX KF-800P, KF-005, KF-003, KF-001,
Mobile phase: THF,
Flow rate: 1 ml / min
Column temperature: 45 ° C
Detector: RI,
Conversion: Polystyrene.

カルボキシル基含有樹脂(A1)の原料、並びにカルボキシル基含有樹脂(A1)の合成時の反応条件について詳しく説明する。   The raw material of the carboxyl group-containing resin (A1) and the reaction conditions during the synthesis of the carboxyl group-containing resin (A1) will be described in detail.

エポキシ化合物(a1)は、例えば下記式(7)に示す構造を有する。式(7)中のnは、例えば0〜20の範囲内の整数である。カルボキシル基含有樹脂(A1)の分子量を適切に制御するためには、nの平均は0〜1の範囲内であることが特に好ましい。nの平均が0〜1の範囲内であれば、酸無水物(a3)が酸二無水物を含有する場合でも、過剰な分子量の増大が抑制されやすくなる。   The epoxy compound (a1) has a structure represented by the following formula (7), for example. N in Formula (7) is an integer in the range of 0-20, for example. In order to appropriately control the molecular weight of the carboxyl group-containing resin (A1), the average of n is particularly preferably in the range of 0-1. If the average of n is in the range of 0 to 1, an excessive increase in molecular weight is likely to be suppressed even when the acid anhydride (a3) contains an acid dianhydride.

Figure 2017161659
Figure 2017161659

カルボン酸(a2)は、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)を含む。カルボン酸(a2)は、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)のみを含んでいてもよい。あるいは、カルボン酸(a2)は、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)と、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)以外のカルボン酸を含んでいてもよい。   The carboxylic acid (a2) includes an unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1). The carboxylic acid (a2) may contain only the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1). Or carboxylic acid (a2) may contain carboxylic acid other than unsaturated group containing carboxylic acid (a2-1) and unsaturated group containing carboxylic acid (a2-1).

不飽和基含有カルボン酸(a2−1)は、例えばエチレン性不飽和基を1個のみ有する化合物を含有できる。より具体的には、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、クロトン酸、桂皮酸、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、2−アクリロイルオキシエチルフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、2−アクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−メタクリロイルオキシプロピルフタル酸、2−アクリロイルオキシエチルマレイン酸、2−メタクリロイルオキシエチルマレイン酸、β−カルボキシエチルアクリレート、2−アクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、及び2−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。好ましくは、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)がアクリル酸を含有する。   The unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1) can contain, for example, a compound having only one ethylenically unsaturated group. More specifically, the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1) is, for example, acrylic acid, methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate, crotonic acid, cinnamic acid, 2-acryloyloxy. Ethyl succinic acid, 2-methacryloyloxyethyl succinic acid, 2-acryloyloxyethyl phthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl phthalic acid, 2-acryloyloxypropyl phthalic acid, 2-methacryloyloxypropyl phthalic acid, 2-acryloyloxyethyl malein Acid, 2-methacryloyloxyethyl maleic acid, β-carboxyethyl acrylate, 2-acryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthal One or more compounds selected from the group consisting of phosphoric acid and 2-methacryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid can be contained. Preferably, unsaturated group containing carboxylic acid (a2-1) contains acrylic acid.

カルボン酸(a2)は、多塩基酸(a2−2)を含んでもよい。多塩基酸(a2−2)は、1分子内において2つ以上の水素原子が金属原子と置換可能な酸である。多塩基酸(a2−2)は、カルボキシル基を2つ以上有することが好ましい。この場合、エポキシ化合物(a1)は、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)及び多塩基酸(a2−2)の両方と反応する。エポキシ化合物(a1)の2つの分子中に存在するエポキシ基を多塩基酸(a2−1)が架橋することで、分子量の増大が得られる。それにより、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に制御すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。   The carboxylic acid (a2) may contain a polybasic acid (a2-2). The polybasic acid (a2-2) is an acid capable of substituting two or more hydrogen atoms with metal atoms in one molecule. The polybasic acid (a2-2) preferably has two or more carboxyl groups. In this case, the epoxy compound (a1) reacts with both the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1) and the polybasic acid (a2-2). The polybasic acid (a2-1) crosslinks the epoxy groups present in the two molecules of the epoxy compound (a1), whereby an increase in molecular weight is obtained. As a result, the tackiness of the film formed from the photosensitive resin composition can be further controlled, and the insulation reliability and plating resistance of the cured product can be further improved.

多塩基酸(a2−2)は、ジカルボン酸を含むことが好ましい。例えば、4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。好ましくは、多塩基酸(a2−2)が4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸を含有する。   The polybasic acid (a2-2) preferably contains a dicarboxylic acid. For example, 4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, maleic acid, fumaric acid, phthalic acid, isophthalic acid One or more compounds selected from the group consisting of acid and terephthalic acid can be contained. Preferably, the polybasic acid (a2-2) contains 4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid.

エポキシ化合物(a1)とカルボン酸(a2)とを反応させるに当たっては、公知の方法が採用されうる。例えばエポキシ化合物(a1)の溶剤溶液にカルボン酸(a2)を加え、更に必要に応じて熱重合禁止剤及び触媒を加えて攪拌混合することで、反応性溶液を得る。この反応性溶液を常法により好ましくは60〜150℃、特に好ましくは80〜120℃の温度で反応させることで、中間体を得ることができる。溶剤は、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、及びトルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、及び酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類、及びジアルキルグリコールエーテル類からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。熱重合禁止剤は例えばハイドロキノン及びハイドロキノンモノメチルエーテルのうち少なくとも一方を含有する。触媒は例えばベンジルジメチルアミン、トリエチルアミン等の第3級アミン類、トリメチルベンジルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド等の第4級アンモニウム塩類、トリフェニルフォスフィン、及びトリフェニルスチビンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。   In reacting the epoxy compound (a1) with the carboxylic acid (a2), a known method may be employed. For example, the reactive solution is obtained by adding the carboxylic acid (a2) to the solvent solution of the epoxy compound (a1), further adding a thermal polymerization inhibitor and a catalyst as necessary, and stirring and mixing. An intermediate can be obtained by reacting this reactive solution at a temperature of preferably 60 to 150 ° C., particularly preferably 80 to 120 ° C., by a conventional method. Solvents include, for example, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone, and aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, diethylene glycol monoethyl ether It can contain at least one component selected from the group consisting of acetates, acetate esters such as propylene glycol monomethyl ether acetate, and dialkyl glycol ethers. The thermal polymerization inhibitor contains, for example, at least one of hydroquinone and hydroquinone monomethyl ether. The catalyst is at least selected from the group consisting of tertiary amines such as benzyldimethylamine and triethylamine, quaternary ammonium salts such as trimethylbenzylammonium chloride and methyltriethylammonium chloride, triphenylphosphine, and triphenylstibine. A kind of component can be contained.

触媒が特にトリフェニルフォスフィンを含有することが好ましい。すなわち、トリフェニルフォスフィンの存在下で、エポキシ化合物(a1)とカルボン酸(a2)とを反応させることが好ましい。この場合、エポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基とカルボン酸(a2)との開環付加反応が特に促進され、95%以上、或いは97%以上、或いはほぼ100%の反応率(転化率)を達成することが可能である。このため、式(3)に示す構造を有する中間体が高い収率で得られる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。   It is particularly preferred that the catalyst contains triphenylphosphine. That is, it is preferable to react the epoxy compound (a1) and the carboxylic acid (a2) in the presence of triphenylphosphine. In this case, the ring-opening addition reaction between the epoxy group and the carboxylic acid (a2) in the epoxy compound (a1) is particularly accelerated, and a reaction rate (conversion rate) of 95% or more, 97% or more, or almost 100% is achieved. Is possible. For this reason, the intermediate which has a structure shown in Formula (3) is obtained with a high yield. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing hardened | cured material further improves.

エポキシ化合物(a1)とカルボン酸(a2)とを反応させる際のエポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対するカルボン酸(a2)の量は0.5〜1.2モルの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の優れた感光性と安定性が得られる。同様の観点から、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対する不飽和基含有カルボン酸(a2−1)の量が0.5〜1.2モルの範囲内であることが好ましい。あるいは、カルボン酸(a2)が、不飽和基含有カルボン酸(a2−1)以外のカルボン酸を含む場合には、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対する不飽和基含有カルボン酸(a2−1)の量が0.5〜0.95モルの範囲内であってもよい。また、カルボン酸(a2)が、多塩基酸(a2−1)を含む場合、エポキシ化合物(a1)のエポキシ基1モルに対する多塩基酸(a2−1)の量は0.025〜0.25モルの範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の優れた感光性と安定性が得られる。   When the epoxy compound (a1) and the carboxylic acid (a2) are reacted, the amount of the carboxylic acid (a2) relative to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1) is in the range of 0.5 to 1.2 mol. Is preferred. In this case, excellent photosensitivity and stability of the photosensitive resin composition can be obtained. From the same viewpoint, the amount of the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1) relative to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1) is preferably in the range of 0.5 to 1.2 mol. Alternatively, when the carboxylic acid (a2) contains a carboxylic acid other than the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-1), the unsaturated group-containing carboxylic acid (a2-) with respect to 1 mol of the epoxy group of the epoxy compound (a1). The amount of 1) may be in the range of 0.5 to 0.95 mole. Moreover, when carboxylic acid (a2) contains polybasic acid (a2-1), the quantity of polybasic acid (a2-1) with respect to 1 mol of epoxy groups of epoxy compound (a1) is 0.025-0.25. It is preferably within the molar range. In this case, excellent photosensitivity and stability of the photosensitive resin composition can be obtained.

エポキシ化合物(a1)とカルボン酸(a2)とを、エアバブリング下で反応させることも好ましい。この場合、不飽和基の付加重合反応を抑制して、中間体の分子量の増大及び中間体の溶液のゲル化を抑制できる。また、最終生成物であるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な着色を抑制できる。   It is also preferable to react the epoxy compound (a1) and the carboxylic acid (a2) under air bubbling. In this case, the addition polymerization reaction of the unsaturated group can be suppressed, and the increase in the molecular weight of the intermediate and the gelation of the intermediate solution can be suppressed. Moreover, the excessive coloring of carboxyl group-containing resin (A1) which is a final product can be suppressed.

このようにして得られる中間体は、エポキシ化合物(a1)におけるエポキシ基とカルボン酸(a2)におけるカルボキシル基とが反応することで生成した水酸基を備える。   The intermediate obtained in this way has a hydroxyl group produced by the reaction of the epoxy group in the epoxy compound (a1) and the carboxyl group in the carboxylic acid (a2).

酸無水物(a3)は酸一無水物を含むことが好ましい。酸一無水物は、酸無水物基を一つ有する化合物である。すなわち、式(4)におけるBが酸一無水物の残基を含むことが好ましい。   The acid anhydride (a3) preferably contains an acid monoanhydride. An acid monoanhydride is a compound having one acid anhydride group. That is, it is preferable that B in Formula (4) includes an acid monoanhydride residue.

酸一無水物は、ジカルボン酸の無水物を含有できる。酸一無水物は、例えば1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、フタル酸無水物、コハク酸無水物、メチルコハク酸無水物、マレイン酸無水物、シトラコン酸無水物、グルタル酸無水物、イタコン酸無水物、メチルテトラヒドロフタル酸無水物、メチルナジック酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物、及びメチルヘキサヒドロフタル酸無水物からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。特に酸一無水物が1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸を含有することが好ましい。すなわち、式(4)におけるBが1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸残基を含むことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の良好な現像性を確保しながら、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。酸一無水物全体に対して、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸は20〜100モル%の範囲内であることが好ましく、40〜100モル%の範囲内であることがより好ましいが、これに限られない。   The acid monoanhydride can contain an anhydride of a dicarboxylic acid. Examples of the acid monoanhydride include 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, succinic anhydride, methyl succinic anhydride, maleic anhydride, citraconic anhydride, glutaric anhydride, Itaconic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylnadic acid anhydride, hexahydrophthalic anhydride, cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride, and methylhexahydrophthalic anhydride One or more compounds selected from the group consisting of products can be contained. In particular, the acid monoanhydride preferably contains 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride. That is, it is preferable that B in Formula (4) contains a 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride residue. In this case, while ensuring good developability of the photosensitive resin composition, it is possible to further suppress the tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition and further improve the insulation reliability and plating resistance of the cured product. . 1,2,3,6-Tetrahydrophthalic anhydride is preferably in the range of 20 to 100 mol%, more preferably in the range of 40 to 100 mol%, based on the entire acid monoanhydride. However, it is not limited to this.

酸無水物(a3)は酸二無水物を含むことが好ましい。酸二無水物は、酸無水物基を二つ有する化合物である。酸二無水物は、テトラカルボン酸の無水物を含有できる。酸二無水物は、例えば1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸二無水物、テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、エチレンテトラカルボン酸二無水物、9,9’−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン二無水物、グリセリンビスアンヒドロトリメリテートモノアセテート、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−5(テトラヒドロ−2,5−ジオキソ−3−フラニル)ナフト〔1,2−c〕フラン−1,3−ジオン、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物及び3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。特に酸二無水物が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含有することが好ましい。すなわち、式(5)及び式(6)におけるDが3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物残基を含むことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の良好な現像性を確保しながら、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を更に抑制すると共に硬化物の絶縁信頼性及び耐メッキ性を更に向上できる。酸二無水物全体に対して、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物は20〜100モル%の範囲内であることが好ましく、40〜100モル%の範囲内であることがより好ましいが、これに限られない。   The acid anhydride (a3) preferably contains an acid dianhydride. An acid dianhydride is a compound having two acid anhydride groups. The acid dianhydride can contain an anhydride of tetracarboxylic acid. Examples of the acid dianhydride include 1,2,4,5-benzenetetracarboxylic dianhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, methylcyclohexene tetracarboxylic dianhydride, tetracarboxylic dianhydride, and naphthalene-1. , 4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, ethylenetetracarboxylic dianhydride, 9,9'-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorene dianhydride, glycerin bisanhydro trimellitate mono Acetate, ethylene glycol bisanhydro trimellitate, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5 (tetrahydro-2, 5-Dioxo-3-furanyl) naphtho [1,2-c] furan-1,3-dione, 1,2,3,4-butanetetra Carboxylic acid dianhydride and 3,3 ', may contain at least one compound selected from the group consisting of 4,4'-biphenyl tetracarboxylic acid dianhydride. In particular, the acid dianhydride preferably contains 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. That is, it is preferable that D in Formula (5) and Formula (6) includes a 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride residue. In this case, while ensuring good developability of the photosensitive resin composition, it is possible to further suppress the tackiness of a film formed from the photosensitive resin composition and further improve the insulation reliability and plating resistance of the cured product. . 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is preferably in the range of 20 to 100 mol%, and in the range of 40 to 100 mol%, based on the entire acid dianhydride. Although it is more preferable that there is, it is not limited to this.

中間体と酸無水物(a3)とを反応させるに当たっては、公知の方法が採用されうる。例えば中間体の溶剤溶液に酸無水物(a3)を加え、更に必要に応じて熱重合禁止剤及び触媒を加えて攪拌混合することで、反応性溶液を得る。この反応性溶液を常法により好ましくは60〜150℃、特に好ましくは80〜120℃の温度で反応させることで、カルボキシル基含有樹脂(A1)を得ることができる。溶剤、触媒及び重合禁止剤としては、適宜のものが使用でき、中間体の合成時に使用した溶剤、触媒及び重合禁止剤をそのまま使用することもできる。   In reacting the intermediate with the acid anhydride (a3), a known method can be employed. For example, a reactive solution is obtained by adding an acid anhydride (a3) to a solvent solution of an intermediate, further adding a thermal polymerization inhibitor and a catalyst as necessary, and stirring and mixing. The carboxyl group-containing resin (A1) can be obtained by reacting this reactive solution at a temperature of preferably 60 to 150 ° C., particularly preferably 80 to 120 ° C., by a conventional method. As the solvent, catalyst and polymerization inhibitor, appropriate ones can be used, and the solvent, catalyst and polymerization inhibitor used in the synthesis of the intermediate can also be used as they are.

触媒が特にトリフェニルフォスフィンを含有することが好ましい。すなわち、トリフェニルフォスフィンの存在下で、中間体と、酸無水物(a3)とを反応させることが好ましい。この場合、中間体における二級の水酸基と酸無水物(a3)との反応が特に促進され、90%以上、95%以上、97%以上、或いはほぼ100%の反応率(転化率)を達成することが可能である。このため、式(4)に示す構造を有するカルボキシル基含有樹脂(A1)が高い収率で得られる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。   It is particularly preferred that the catalyst contains triphenylphosphine. That is, it is preferable to react the intermediate and the acid anhydride (a3) in the presence of triphenylphosphine. In this case, the reaction between the secondary hydroxyl group and the acid anhydride (a3) in the intermediate is particularly accelerated, and a reaction rate (conversion rate) of 90% or more, 95% or more, 97% or more, or almost 100% is achieved. Is possible. For this reason, the carboxyl group-containing resin (A1) having the structure represented by the formula (4) can be obtained with high yield. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing hardened | cured material further improves.

中間体と、酸無水物(a3)とを、エアバブリング下で反応させることも好ましい。この場合、生成されるカルボキシル基含有樹脂(A1)の過度な分子量増大が抑制されることで、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。   It is also preferable to react an intermediate and an acid anhydride (a3) under air bubbling. In this case, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition improves especially by suppressing the excessive molecular weight increase of the produced | generated carboxyl group-containing resin (A1).

カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)のみ又はカルボキシル基含有樹脂(A1)以外のカルボキシル基含有樹脂のみを含有してもよく、カルボキシル基含有樹脂(A1)とカルボキシル基含有樹脂(A1)以外のカルボキシル基含有樹脂とを含有してもよい。カルボキシル基含有樹脂(A1)以外のカルボキシル基含有樹脂は、ビスフェノールフルオレン骨格を有さないカルボキシル基含有樹脂(以下、カルボキシル基含有樹脂(A2)ともいう)を含む。   The carboxyl group-containing resin (A) may contain only the carboxyl group-containing resin (A1) or only a carboxyl group-containing resin other than the carboxyl group-containing resin (A1), and the carboxyl group-containing resin (A1) and the carboxyl group-containing resin. You may contain carboxyl group-containing resin other than resin (A1). The carboxyl group-containing resin other than the carboxyl group-containing resin (A1) includes a carboxyl group-containing resin having no bisphenolfluorene skeleton (hereinafter also referred to as a carboxyl group-containing resin (A2)).

カルボキシル基含有樹脂(A2)は、例えば、カルボキシル基を有し光重合性を有さない化合物(以下、(A2−1)成分という)を含有できる。(A2−1)成分は、例えばカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物を含むエチレン性不飽和単量体の重合体を含有する。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、アクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート等の化合物を含有できる。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート等と二塩基酸無水物との反応物も含有できる。エチレン性不飽和単量体は、2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、直鎖又は分岐の脂肪族或いは脂環族(但し、環中に一部不飽和結合を有してもよい)の(メタ)アクリル酸エステル等の、カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。   The carboxyl group-containing resin (A2) can contain, for example, a compound having a carboxyl group and not having photopolymerizability (hereinafter referred to as (A2-1) component). (A2-1) A component contains the polymer of the ethylenically unsaturated monomer containing the ethylenically unsaturated compound which has a carboxyl group, for example. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group can contain compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, and ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate. The ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group can also contain a reaction product of pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate and the like with a dibasic acid anhydride. The ethylenically unsaturated monomer is 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, linear or branched aliphatic or alicyclic (provided that It may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group, such as (meth) acrylic acid ester (which may partially have an unsaturated bond in the ring).

カルボキシル基含有樹脂(A2)は、カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する化合物(以下、(A2−2)成分という)を含有してもよい。(A2−2)成分は、例えば一分子中に二個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(g1)とエチレン性不飽和化合物(g2)との反応物である中間体と、多価カルボン酸及びその無水物の群から選択される少なくとも一種の化合物(g3)との反応物である樹脂(第一の樹脂(g)という)を含有する。第一の樹脂(g)は、例えばエポキシ化合物(g1)中のエポキシ基と、エチレン性不飽和化合物(g2)中のカルボキシル基とを反応させて得られた中間体に化合物(g3)を付加させて得られる。エポキシ化合物(g1)は、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂等の適宜のエポキシ樹脂を含有できる。エポキシ化合物(g1)は、エチレン性不飽和化合物(h)の重合体を含有してもよい。エチレン性不飽和化合物(h)は、例えばグリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有する化合物(h1)を含有し、或いは更に2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート等のエポキシ基を有さない化合物(h2)を含有する。エチレン性不飽和化合物(g2)は、アクリル酸及びメタクリル酸のうち少なくとも一方を含有することが好ましい。化合物(g3)は、例えばフタル酸、テトラヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸等の多価カルボン酸と、これらの多価カルボン酸の無水物とからなる群から選択される一種以上の化合物を含有する。   The carboxyl group-containing resin (A2) may contain a compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group (hereinafter referred to as “component (A2-2)”). The component (A2-2) includes, for example, an intermediate that is a reaction product of an epoxy compound (g1) having two or more epoxy groups in one molecule and an ethylenically unsaturated compound (g2), a polyvalent carboxylic acid, and It contains a resin (referred to as a first resin (g)) that is a reaction product with at least one compound (g3) selected from the group of anhydrides. For example, the first resin (g) is obtained by adding the compound (g3) to an intermediate obtained by reacting the epoxy group in the epoxy compound (g1) with the carboxyl group in the ethylenically unsaturated compound (g2). Can be obtained. The epoxy compound (g1) can contain an appropriate epoxy resin such as a cresol novolac epoxy resin or a phenol novolac epoxy resin. The epoxy compound (g1) may contain a polymer of the ethylenically unsaturated compound (h). The ethylenically unsaturated compound (h) contains a compound (h1) having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, or further has no epoxy group such as 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate. Contains compound (h2). The ethylenically unsaturated compound (g2) preferably contains at least one of acrylic acid and methacrylic acid. The compound (g3) contains one or more compounds selected from the group consisting of polyvalent carboxylic acids such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, and methyltetrahydrophthalic acid, and anhydrides of these polyvalent carboxylic acids. .

(A2−2)成分は、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物を含有するエチレン性不飽和単量体の重合体とエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物との反応物である樹脂(第二の樹脂(i)という)を含有してもよい。エチレン性不飽和単量体はカルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。第二の樹脂(i)は、重合体におけるカルボキシル基の一部にエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物を反応させることで得られる。エチレン性不飽和単量体は、カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物を更に含有してもよい。カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、例えばアクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート等の化合物を含有する。カルボキシル基を有さないエチレン性不飽和化合物は、例えば2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、直鎖又は分岐の脂肪族或いは脂環族(但し、環中に一部不飽和結合を有してもよい)の(メタ)アクリル酸エステル等の化合物を含有する。エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物は、グリシジル(メタ)アクリレートを含有することが好ましい。   The component (A2-2) is a resin (second resin) that is a reaction product of a polymer of an ethylenically unsaturated monomer containing an ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group. Of resin (i)). The ethylenically unsaturated monomer may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group. The second resin (i) can be obtained by reacting an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group with a part of the carboxyl group in the polymer. The ethylenically unsaturated monomer may further contain an ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group. Examples of the ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group include compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n≈2) monoacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol trimethacrylate. Examples of the ethylenically unsaturated compound having no carboxyl group include 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, linear or branched aliphatic or oil It contains a compound such as a (meth) acrylic acid ester of a cyclic group (however, it may have some unsaturated bonds in the ring). The ethylenically unsaturated compound having an epoxy group preferably contains glycidyl (meth) acrylate.

カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)のみ、カルボキシル基含有樹脂(A2)のみ、又はカルボキシル基含有樹脂(A1)とカルボキシル基含有樹脂(A2)とを含有しうる。カルボキシル基含有樹脂(A)は、カルボキシル基含有樹脂(A1)を30質量%以上含有することが好ましく、60質量%以上含有することがより好ましく、100質量%含有することが更に好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性及び絶縁信頼性を特に向上させることができる。また、感光性樹脂組成物から形成される皮膜のタック性を十分に抑制することができる。更に、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性を確保することができる。   The carboxyl group-containing resin (A) can contain only the carboxyl group-containing resin (A1), only the carboxyl group-containing resin (A2), or the carboxyl group-containing resin (A1) and the carboxyl group-containing resin (A2). The carboxyl group-containing resin (A) preferably contains 30% by mass or more of the carboxyl group-containing resin (A1), more preferably 60% by mass or more, and still more preferably 100% by mass. In this case, the heat resistance and insulation reliability of the cured product of the photosensitive resin composition can be particularly improved. Moreover, the tack property of the film | membrane formed from the photosensitive resin composition can fully be suppressed. Furthermore, the developability by the alkaline aqueous solution of the photosensitive resin composition can be ensured.

不飽和化合物(B)は、感光性樹脂組成物に光硬化性を付与できる。不飽和化合物(B)は、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能(メタ)アクリレート;並びにジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ε―カプロラクトン変性ペンタエリストールヘキサアクリレート等、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。   The unsaturated compound (B) can impart photocurability to the photosensitive resin composition. The unsaturated compound (B) is, for example, a monofunctional (meth) acrylate such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate; and diethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ε-caprolactone modified pentaerythritol hexaacrylate, etc. It can contain at least one compound selected from the group consisting of polyfunctional (meth) acrylates such as candimethanol di (meth) acrylate.

特に不飽和化合物(B)が、三官能の化合物、すなわち一分子中に不飽和結合を3つ有する化合物を含有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される皮膜を露光・現像する場合の解像性が向上すると共に、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。三官能の化合物は、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリストールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート及びε−カプロラクトン変性トリス−(2−アクリロキシエチル)イソシアヌレート及びエトキシ化グリセリントリ(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。   In particular, the unsaturated compound (B) preferably contains a trifunctional compound, that is, a compound having three unsaturated bonds in one molecule. In this case, the resolution when the film formed from the photosensitive resin composition is exposed and developed is improved, and the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved. Trifunctional compounds include, for example, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, ethoxylated isocyanuric acid tri (meth) acrylate and ε-caprolactone modified It can contain at least one compound selected from the group consisting of tris- (2-acryloxyethyl) isocyanurate and ethoxylated glycerin tri (meth) acrylate.

不飽和化合物(B)が、リン含有化合物(リン含有不飽和化合物)を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の難燃性が向上する。リン含有不飽和化合物は、例えば2−メタクリロイロキシエチルアシッドフォスフェート(具体例として共栄社化学株式会社製の品番ライトエステルP−1M、及びライトエステルP−2M)、2−アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート(具体例として共栄社化学株式会社製の品番ライトアクリレートP−1A)、ジフェニル−2−メタクリロイルオキシエチルフォスフェート(具体例として大八工業株式会社製の品番MR−260)、並びに昭和高分子株式会社製のHFAシリーズ(具体例としてジペンタエリストールヘキサアクリレートとHCAとの付加反応物である品番HFAー6003、及びHFA−6007、カプロラクトン変性ジペンタエリストールヘキサアクリレートとHCAとの付加反応物である品番HFAー3003、及びHFA−6127等)からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。   It is also preferred that the unsaturated compound (B) contains a phosphorus-containing compound (phosphorus-containing unsaturated compound). In this case, the flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. Phosphorus-containing unsaturated compounds include, for example, 2-methacryloyloxyethyl acid phosphate (as specific examples, product number light ester P-1M and light ester P-2M manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), 2-acryloyloxyethyl acid phosphate (As a specific example, product number light acrylate P-1A manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), diphenyl-2-methacryloyloxyethyl phosphate (as a specific example, product number MR-260 manufactured by Daihachi Kogyo Co., Ltd.), and Showa Polymer Co., Ltd. HFA series (particularly HFA-6003, which is an addition reaction product of dipentaerystol hexaacrylate and HCA, and HFA-6007, an addition reaction product of caprolactone-modified dipentaerystol hexaacrylate and HCA. Part number HFA 003, and may contain HFA-6127, etc.) one or more compounds selected from the group consisting of.

不飽和化合物(B)が、プレポリマーを含有してもよい。プレポリマーは、例えばエチレン性不飽和結合を有するモノマーを重合させてからエチレン性不飽和基を付加して得られるプレポリマー、並びにオリゴ(メタ)アクリレートプレポリマー類からなる群から選択される少なくとも一種の化合物を含有できる。オリゴ(メタ)アクリレートプレポリマー類は、例えばエポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、アルキド樹脂(メタ)アクリレート、シリコーン樹脂(メタ)アクリレート、及びスピラン樹脂(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。   The unsaturated compound (B) may contain a prepolymer. The prepolymer is at least one selected from the group consisting of, for example, a prepolymer obtained by polymerizing a monomer having an ethylenically unsaturated bond and then adding an ethylenically unsaturated group, and oligo (meth) acrylate prepolymers These compounds can be contained. Oligo (meth) acrylate prepolymers include, for example, epoxy (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, alkyd resin (meth) acrylate, silicone resin (meth) acrylate, and spirane resin (meth) acrylate At least one component selected from the group consisting of:

光重合開始剤(C)は、例えばアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)を含有する。すなわち、感光性樹脂組成物は例えばアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)を含有する。この場合、感光性樹脂組成物を紫外線で露光する場合に感光性樹脂組成物に高い感光性を付与できる。また、感光性樹脂組成物の硬化物を含む層におけるイオンマイグレーションの発生が抑制され、硬化物を含む層の絶縁信頼性が更に向上する。   The photopolymerization initiator (C) contains, for example, an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1). That is, the photosensitive resin composition contains, for example, an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1). In this case, when exposing the photosensitive resin composition with ultraviolet rays, high photosensitivity can be imparted to the photosensitive resin composition. Moreover, generation | occurrence | production of the ion migration in the layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition is suppressed, and the insulation reliability of the layer containing hardened | cured material further improves.

アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)は、例えば2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−エチル−フェニル−フォスフィネート等のモノアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、並びにビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、(2,5,6−トリメチルベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤からなる群から選択される一種以上の成分を含有できる。特にアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)が2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドを含有することが好ましく、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)が2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドのみを含有することも好ましい。   Acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) is, for example, monoacyl such as 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-ethyl-phenyl-phosphinate Phosphine oxide photopolymerization initiator, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2 , 6-Dichlorobenzoyl) -4-propylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxyben Yl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine Contains one or more components selected from the group consisting of bisacylphosphine oxide photopolymerization initiators such as fin oxide and (2,5,6-trimethylbenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide it can. In particular, the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) preferably contains 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, and the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) is 2, It is also preferred to contain only 4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide.

光重合開始剤(C)がアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)に加えてヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有することが好ましい。すなわち感光性樹脂組成物がヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有することが好ましい。この場合、ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)を含有しない場合と比べて、感光性樹脂組成物に更に高い感光性を付与できる。これにより、感光性樹脂組成物から形成される塗膜に紫外線を照射して硬化させる場合、塗膜をその表面から深部に亘って十分に硬化させることが可能となる。ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)としては、例えば1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、フェニルグリオキシックアシッドメチルエステル、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン及び2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オンが挙げられる。   The photopolymerization initiator (C) preferably contains a hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) in addition to the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1). That is, it is preferable that the photosensitive resin composition contains a hydroxyketone photopolymerization initiator (C2). In this case, higher photosensitivity can be imparted to the photosensitive resin composition as compared with the case where the hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) is not contained. Thereby, when irradiating and hardening an ultraviolet-ray to the coating film formed from the photosensitive resin composition, it becomes possible to fully harden a coating film over the deep part from the surface. Examples of the hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) include 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, phenylglyoxyc acid methyl ester, and 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy. 2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propane-1- On and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one.

アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)とヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)との質量比は、1:0.01〜1:10の範囲内であることが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜の表面付近における硬化性と深部における硬化性とを、バランス良く向上させることができる。   The mass ratio of the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1) and the hydroxyketone photopolymerization initiator (C2) is preferably in the range of 1: 0.01 to 1:10. In this case, the curability in the vicinity of the surface of the coating film formed from the photosensitive resin composition and the curability in the deep portion can be improved in a well-balanced manner.

光重合開始剤(C)がビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有することも好ましい。すなわち、感光性樹脂組成物がアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)及びビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有し、或いはアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)、ヒドロキシケトン系光重合開始剤(C2)及びビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)を含有することも好ましい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される塗膜を部分的に露光してから現像する場合、露光されない部分の硬化が抑制されることで、解像性が特に高くなる。このため感光性樹脂組成物の硬化物で非常に微細なパターンを形成することが可能となる。特に、感光性樹脂組成物から多層プリント配線板の層間絶縁層を作製すると共にこの層間絶縁層にスルーホールのための小径の穴をフォトリソグラフィー法で設ける場合(図1参照)、小径の穴を精密且つ容易に形成することが可能となる。   It is also preferred that the photopolymerization initiator (C) contains bis (diethylamino) benzophenone (C3). That is, the photosensitive resin composition contains an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1) and bis (diethylamino) benzophenone (C3), or an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator (C1), a hydroxyketone type. It is also preferable to contain a photopolymerization initiator (C2) and bis (diethylamino) benzophenone (C3). In this case, when developing after partially exposing the coating film formed from the photosensitive resin composition, the resolution is particularly enhanced by suppressing the curing of the unexposed portion. For this reason, it becomes possible to form a very fine pattern with the hardened | cured material of the photosensitive resin composition. In particular, when an interlayer insulating layer of a multilayer printed wiring board is prepared from a photosensitive resin composition and a small-diameter hole for a through hole is provided in the interlayer insulating layer by a photolithography method (see FIG. 1), the small-diameter hole is formed. It becomes possible to form precisely and easily.

ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)は、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤(C1)に対して0.5〜20質量%の範囲内であることが好ましい。ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)が0.5質量%以上であると、解像性が特に高くなる。また、ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)が20質量%以下であると、感光性樹脂組成物の硬化物の電気絶縁性をビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C3)が阻害しにくい。   Bis (diethylamino) benzophenone (C3) is preferably in the range of 0.5 to 20% by mass with respect to the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C1). When bis (diethylamino) benzophenone (C3) is 0.5% by mass or more, the resolution is particularly high. Further, when the content of bis (diethylamino) benzophenone (C3) is 20% by mass or less, it is difficult for bis (diethylamino) benzophenone (C3) to inhibit the electrical insulation of the cured product of the photosensitive resin composition.

感光性樹脂組成物は、更に公知の光重合促進剤、増感剤等を含有してもよい。例えば感光性樹脂組成物は、ベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド等のベンゾフェノン類;2,4−ジイソプロピルキサントン等のキサントン類;並びに2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン等のα−ヒドロキシケトン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン等の窒素原子を含む化合物からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。感光性樹脂組成物が、光重合開始剤(C)と共に、p−ジメチル安息香酸エチルエステル、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、2−ジメチルアミノエチルベンゾエート等の第三級アミン系等の公知の光重合促進剤や増感剤等を含有してもよい。感光性樹脂組成物が、必要に応じて、可視光露光用の光重合開始剤及び近赤外線露光用の光重合開始剤のうちの少なくとも一種を含有してもよい。感光性樹脂組成物が、光重合開始剤(C)と共に、レーザ露光法用増感剤である7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン等のクマリン誘導体、カルボシアニン色素系、キサンテン色素系等を含有してもよい。   The photosensitive resin composition may further contain a known photopolymerization accelerator, sensitizer and the like. For example, the photosensitive resin composition includes benzoin and its alkyl ethers; acetophenones such as acetophenone and benzyldimethyl ketal; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone; 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2- Thioxanthones such as isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; benzophenones such as benzophenone and 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide; xanthones such as 2,4-diisopropylxanthone; Α-hydroxyketones such as hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone It can contain at least one component selected from the group consisting of compounds containing a nitrogen atom. The photosensitive resin composition is known together with a photopolymerization initiator (C), such as tertiary amines such as p-dimethylbenzoic acid ethyl ester, p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, and 2-dimethylaminoethylbenzoate. You may contain a photoinitiator, a sensitizer, etc. If necessary, the photosensitive resin composition may contain at least one of a photopolymerization initiator for visible light exposure and a photopolymerization initiator for near-infrared exposure. The photosensitive resin composition contains a photopolymerization initiator (C) and a coumarin derivative such as 7-diethylamino-4-methylcoumarin that is a sensitizer for laser exposure, a carbocyanine dye system, a xanthene dye system, and the like. May be.

エポキシ化合物(D)は、感光性樹脂組成物に熱硬化性を付与できる。エポキシ化合物(D)は、結晶性エポキシ樹脂を含有することが好ましい。結晶性エポキシ樹脂は、融点を有するエポキシ樹脂である。結晶性エポキシ樹脂は、感光性樹脂組成物に熱硬化性を付与できる。さらに、結晶性エポキシ樹脂は、硬化物の耐熱性及び現像性を向上させる。   The epoxy compound (D) can impart thermosetting properties to the photosensitive resin composition. The epoxy compound (D) preferably contains a crystalline epoxy resin. The crystalline epoxy resin is an epoxy resin having a melting point. The crystalline epoxy resin can impart thermosetting properties to the photosensitive resin composition. Furthermore, the crystalline epoxy resin improves the heat resistance and developability of the cured product.

結晶性エポキシ樹脂は、例えば、1,3,5−トリス(2,3−エポキシプロピル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、ハイドロキノン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品名YDC−1312)、ビフェニル型結晶性エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品名YX−4000)、ジフェニルエーテル型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、ビスフェノール型結晶性エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品名YSLV−80XY)、テトラキスフェノールエタン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番GTR−1800)、ビスフェノールフルオレン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として式(7)に示す構造を有するエポキシ樹脂)からなる群から選択される一種以上の成分を含有することが好ましい。   The crystalline epoxy resin is, for example, 1,3,5-tris (2,3-epoxypropyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, hydroquinone type crystal Epoxy resin (product name YDC-1312 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), biphenyl type crystalline epoxy resin (product name YX-4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), diphenyl ether type crystalline epoxy resin (specific example) As an example, NS Nippon Kayaku Co., Ltd. product number GTR-1800), bisphenolfluorene type crystal Preferably it contains one or more components selected from the group consisting of an epoxy resin (epoxy resin having a structure represented by the formula (7) as a specific example).

結晶性エポキシ樹脂は、1分子中に2個のエポキシ基を有していてもよい。この場合、温度変化が繰り返される中で、硬化物にクラックを更に生じ難くさせることができる。   The crystalline epoxy resin may have two epoxy groups in one molecule. In this case, it is possible to further prevent cracks in the cured product while the temperature change is repeated.

結晶性エポキシ樹脂は150〜300g/eqのエポキシ当量を有することが好ましい。このエポキシ当量は、1グラム当量のエポキシ基を含有する結晶性エポキシ樹脂のグラム重量である。   The crystalline epoxy resin preferably has an epoxy equivalent of 150 to 300 g / eq. This epoxy equivalent is the gram weight of a crystalline epoxy resin containing 1 gram equivalent of epoxy groups.

結晶性エポキシ樹脂の融点としては、例えば70〜180℃が挙げられる。特に結晶性エポキシ樹脂が、融点110℃以下の結晶性エポキシ樹脂を含有することが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性が特に向上する。融点が110℃以下の結晶性エポキシ樹脂は、例えばビフェニル型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番YX4000)、ビフェニルエーテル型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−80DE)、及びビスフェノール型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学製の品番YSLV−80XY)、ビスフェノールフルオレン型結晶性エポキシ樹脂(具体例として式(7)に示す構造を有するエポキシ樹脂)からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。   As melting | fusing point of crystalline epoxy resin, 70-180 degreeC is mentioned, for example. In particular, the crystalline epoxy resin preferably contains a crystalline epoxy resin having a melting point of 110 ° C. or lower. In this case, the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution is particularly improved. Crystalline epoxy resins having a melting point of 110 ° C. or less include, for example, biphenyl type epoxy resin (specifically, product number YX4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), biphenyl ether type epoxy resin (specifically, product number YSLV− manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) 80DE), and a bisphenol type epoxy resin (part number YSLV-80XY manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical as a specific example), a bisphenol fluorene type crystalline epoxy resin (specifically, an epoxy resin having a structure represented by formula (7)). It can contain at least one selected component.

エポキシ化合物(D)は、結晶性エポキシ樹脂以外のエポキシ化合物を含んでいてもよい。結晶性エポキシ樹脂以外のエポキシ化合物には、非晶性エポキシ樹脂が含まれる。非晶性エポキシ樹脂は、融点を有さないエポキシ樹脂である。非晶性エポキシ樹脂は、感光性樹脂組成物に熱硬化性を付与できる。非晶性エポキシ樹脂は、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有することが好ましい。   The epoxy compound (D) may contain an epoxy compound other than the crystalline epoxy resin. The epoxy compound other than the crystalline epoxy resin includes an amorphous epoxy resin. An amorphous epoxy resin is an epoxy resin having no melting point. The amorphous epoxy resin can impart thermosetting properties to the photosensitive resin composition. The amorphous epoxy resin preferably has at least two epoxy groups in one molecule.

非晶性エポキシ樹脂は、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−775)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−695)、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON N−865)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番jER1001)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として三菱化学株式会社製の品番jER4004P)、ビスフェノールS型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON EXA−1514)、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂(具体例として日本化薬株式会社製の品番NC−3000)、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として新日鉄住金化学株式会社製の品番ST−4000D)、ナフタレン型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON HP−4032、EPICLON HP−4700、EPICLON HP−4770)、ターシャリーブチルカテコール型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON HP−820)、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(具体例としてDIC製の品番EPICLON HP−7200)、アダマンタン型エポキシ樹脂(具体例として出光興産株式会社製の品番ADAMANTATE X−E−201)、特殊二官能型エポキシ樹脂(具体例として、三菱化学株式会社製の品番YL7175−500、及びYL7175−1000;DIC株式会社製の品番EPICLON TSR−960、EPICLON TER−601、EPICLON TSR−250−80BX、EPICLON 1650−75MPX、EPICLON EXA−4850、EPICLON EXA−4816、EPICLON EXA−4822、及びEPICLON EXA−9726;新日鉄住金化学株式会社製の品番YSLV−120TE)、ゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番MX−156)、並びにゴム状コアシェルポリマー変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例として株式会社カネカ製の品番MX−136)からなる群から選択される一種以上の成分を含有することが好ましい。   The amorphous epoxy resin is, for example, a phenol novolac type epoxy resin (specifically, product number EPICLON N-775 manufactured by DIC Corporation), or a cresol novolac type epoxy resin (specific example, product number EPICLON N-695 manufactured by DIC Corporation). Bisphenol A novolac type epoxy resin (specifically, product number EPICLON N-865 manufactured by DIC Corporation), bisphenol A type epoxy resin (specifically, product number jER1001 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), bisphenol F type epoxy resin (specific example) As product number jER4004P manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), bisphenol S type epoxy resin (specifically, product number EPICLON EXA-1514 manufactured by DIC Corporation), bisphenol AD type epoxy resin, biphenyl novolak type Poxy resin (part number NC-3000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), hydrogenated bisphenol A type epoxy resin (part number ST-4000D manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), naphthalene type epoxy resin (particular example) DIC Corporation product numbers EPICLON HP-4032, EPICLON HP-4700, EPICLON HP-4770), tertiary butyl catechol type epoxy resin (specifically, product number EPICLON HP-820 manufactured by DIC Corporation), dicyclopentadiene type Epoxy resin (part number EPICLON HP-7200 manufactured by DIC as a specific example), adamantane type epoxy resin (part number ADAMANATE X-E-201 manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), special bifunctional type epoxy resin (specific example , Mitsubishi Chemical Corporation part numbers YL7175-500 and YL7175-1000; DIC Corporation part numbers EPICLON TSR-960, EPICLON TER-601, EPICLON TSR-250-80BX, EPICLON 1650-75MPX, EPICLON EXA-4850, EPICLON EXA-4816, EPICLON EXA-4822, and EPICLON EXA-9726; Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. product number YSLV-120TE), rubber core-shell polymer modified bisphenol A type epoxy resin (specifically, product number MX manufactured by Kaneka Corporation) 156), and a rubbery core-shell polymer-modified bisphenol F type epoxy resin (as a specific example, product number MX-136 manufactured by Kaneka Corporation) It is preferable to contain one or more components selected from the above.

上記のようなエポキシ化合物(結晶性又は非晶性のエポキシ化合物)がリン含有エポキシ樹脂を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物の難燃性が向上する。リン含有エポキシ樹脂としては、リン酸変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂(具体例としてDIC株式会社製の品番EPICLON EXA−9726、及びEPICLON EXA−9710)、新日鉄住金化学株式会社製の品番エポトートFX−305等が挙げられる。   The epoxy compound (crystalline or amorphous epoxy compound) as described above may contain a phosphorus-containing epoxy resin. In this case, the flame retardancy of the cured product of the photosensitive resin composition is improved. Examples of phosphorus-containing epoxy resins include phosphoric acid-modified bisphenol F-type epoxy resins (specific examples of product numbers EPICLON EXA-9726 and EPICLON EXA-9710 manufactured by DIC Corporation), and product number Epototo FX-305 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Is mentioned.

エポキシ化合物(D)は、結晶性エポキシ樹脂のみ、又は結晶性エポキシ樹脂と非晶性エポキシ樹脂とを含有することが好ましい。エポキシ化合物(D)は、結晶性エポキシ樹脂を10質量%以上含有することが好ましく、30質量%以上含有することがより好ましく、50質量%含有することが更に好ましい。この場合、感光性樹脂組成物のアルカリ性水溶液による現像性を向上することができ、感光性樹脂組成物の硬化物の耐熱性及び絶縁信頼性を特に向上させることができる。   It is preferable that an epoxy compound (D) contains only a crystalline epoxy resin or a crystalline epoxy resin and an amorphous epoxy resin. The epoxy compound (D) preferably contains 10% by mass or more of a crystalline epoxy resin, more preferably 30% by mass or more, and still more preferably 50% by mass. In this case, the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution can be improved, and the heat resistance and insulation reliability of the cured product of the photosensitive resin composition can be particularly improved.

有機フィラー(E)は、有機フィラー(E1)を含む。有機フィラー(E1)は、カルボキシル基を有する。有機フィラー(E1)のカルボキシル基は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等の重合性不飽和二重結合を有するカルボン酸モノマーを重合あるいは架橋させることで得られる。有機フィラー(E1)は、感光性樹脂組成物のチクソ性を高め、安定性(特に保存安定性)を向上させる。さらに、有機フィラー(E1)は、カルボキシル基を有するため、硬化物の現像性を向上させると共に、結晶性エポキシ樹脂の相溶性を向上させ、結晶化を防ぐことができる。有機フィラー(E1)のカルボキシル基含有量は特に制限されないが、有機フィラー(E1)の酸価が、酸−塩基滴定による酸価で1〜60mgKOH/gであることが好ましい。酸価が1mgKOH/gより小さいと感光性樹脂組成物の安定性及び硬化物の現像性が低下するおそれがある。酸価が60mgKOH/gより大きいと硬化物の耐湿信頼性が低下するおそれがある。有機フィラー(E1)の酸価は3〜40mgKOH/gであることがより好ましい。   The organic filler (E) includes an organic filler (E1). The organic filler (E1) has a carboxyl group. The carboxyl group of the organic filler (E1) is obtained by polymerizing or crosslinking a carboxylic acid monomer having a polymerizable unsaturated double bond such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, and itaconic acid. can get. The organic filler (E1) increases the thixotropy of the photosensitive resin composition and improves the stability (particularly storage stability). Furthermore, since the organic filler (E1) has a carboxyl group, it can improve the developability of the cured product, improve the compatibility of the crystalline epoxy resin, and prevent crystallization. The carboxyl group content of the organic filler (E1) is not particularly limited, but the acid value of the organic filler (E1) is preferably 1 to 60 mgKOH / g by acid-base titration. If the acid value is less than 1 mgKOH / g, the stability of the photosensitive resin composition and the developability of the cured product may be reduced. If the acid value is larger than 60 mgKOH / g, the moisture resistance reliability of the cured product may be lowered. The acid value of the organic filler (E1) is more preferably 3 to 40 mgKOH / g.

有機フィラー(E1)は、水酸基を有することも好ましい。有機フィラー(E1)が、水酸基を有することで、感光性樹脂組成物における有機フィラー(E1)の分散性が向上する。   The organic filler (E1) also preferably has a hydroxyl group. When the organic filler (E1) has a hydroxyl group, the dispersibility of the organic filler (E1) in the photosensitive resin composition is improved.

有機フィラー(E1)の平均一次粒子径は、1μm以下である。有機フィラー(E1)の平均一次粒子径が1μm以下となることで、感光性樹脂組成物のチクソ性が効率よく高まる。そのため、感光性樹脂組成物の安定性がさらに向上する。有機フィラー(E1)の平均一次粒子径は、その下限は特に限定されないが、例えば、0.001μm以上であることが好ましい。平均一次粒子径は、レーザ回折式粒度分布測定装置により、D50として測定される。有機フィラー(E1)の平均一次粒子径が0.4μm以下であることが好ましく、0.1μm以下であることがさらに好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の安定性がさらに向上すると共に、露光時の散乱が抑えられるため解像性がさらに向上する。 The average primary particle diameter of the organic filler (E1) is 1 μm or less. When the average primary particle diameter of the organic filler (E1) is 1 μm or less, the thixotropy of the photosensitive resin composition is efficiently increased. Therefore, the stability of the photosensitive resin composition is further improved. The lower limit of the average primary particle diameter of the organic filler (E1) is not particularly limited, but is preferably 0.001 μm or more, for example. The average primary particle size by a laser diffraction particle size distribution measuring device, is measured as D 50. The average primary particle diameter of the organic filler (E1) is preferably 0.4 μm or less, and more preferably 0.1 μm or less. In this case, the stability of the photosensitive resin composition is further improved, and the resolution is further improved because scattering during exposure is suppressed.

有機フィラー(E1)は、感光性樹脂組成物中において最大粒子径が1.0μm以下で分散されていることが好ましく、0.5μm以下で分散されていることがより好ましい。最大粒子径は、レーザ回折式粒度分布測定装置により、D50として測定される。あるいは、最大粒子径は、硬化物を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察することにより測定される。有機フィラー(E1)は、感光性樹脂組成物中において凝集することがある(たとえば二次粒子を形成しうる)が、その場合、最大粒子径は凝集後の粒子のサイズを意味する。分散状態での有機フィラー(E1)の最大粒子径が前記の範囲であると、感光性樹脂組成物の安定性がさらに向上すると共に、露光時の散乱が抑えられるため解像性がさらに向上する。なお、粒子の凝集が起こった場合、最大粒子径は、通常、平均一次粒子径よりも大きい。 The organic filler (E1) is preferably dispersed with a maximum particle size of 1.0 μm or less, more preferably 0.5 μm or less in the photosensitive resin composition. Maximum particle diameter, by laser diffraction type particle size distribution measuring device, is measured as D 50. Alternatively, the maximum particle size is measured by observing the cured product with a transmission electron microscope (TEM). The organic filler (E1) may aggregate in the photosensitive resin composition (for example, can form secondary particles). In this case, the maximum particle diameter means the size of the particles after aggregation. When the maximum particle diameter of the organic filler (E1) in the dispersed state is within the above range, the stability of the photosensitive resin composition is further improved and the resolution is further improved because scattering during exposure is suppressed. . When particle aggregation occurs, the maximum particle size is usually larger than the average primary particle size.

有機フィラー(E1)は、ゴム成分を含むことが好ましい。ゴム成分は、感光性樹脂組成物の硬化物に柔軟性を付与できる。ゴム成分は、樹脂により構成されうる。ゴム成分は、架橋アクリルゴム、架橋NBR、架橋MBS及び架橋SBRから選ばれる少なくとも1つの重合体を含むことが好ましい。この場合、ゴム成分により効果的に感光性樹脂組成物の硬化物に柔軟性が付与され、温度変化が繰り返される中でクラックを生じ難くさせることができる。NBRは、一般的に、ブタジエンとアクリロニトリルの共重合体であり、ニトリルゴムに分類される。MBSは、一般的に、メチルメタアクリレート、ブタジエン、スチレンの3成分で構成される共重合体であり、ブタジエン系ゴムに分類される。SBRは、一般的に、スチレンとブタジエンとの共重合体であり、スチレンゴムに分類される。有機フィラー(E1)の具体例として、JSR株式会社製の品番XER−91−MEKが挙げられる。この有機フィラーは、平均一次粒子径0.07μmのカルボキシル基を有する架橋ゴム(NBR)であり、架橋ゴムの含有割合15重量%のメチルエチルケトン分散液で提供され、その酸価が10.0mgKOH/gである。このように、有機フィラー(E1)は、分散液で配合されてもよい。ゴム成分は、分散液で配合されうる。また、有機フィラー(E1)の具体例として、上記の他に、JSR株式会社製の品番XER−32、XER−92等が挙げられる。また、カルボキシル基及び水酸基を有する架橋ゴム(SBR)の分散液としてJSR株式会社製の品番XSK−500等が挙げられる。   The organic filler (E1) preferably contains a rubber component. The rubber component can impart flexibility to the cured product of the photosensitive resin composition. The rubber component can be composed of a resin. The rubber component preferably contains at least one polymer selected from crosslinked acrylic rubber, crosslinked NBR, crosslinked MBS, and crosslinked SBR. In this case, the rubber component effectively imparts flexibility to the cured product of the photosensitive resin composition, so that cracks can hardly be caused while the temperature change is repeated. NBR is generally a copolymer of butadiene and acrylonitrile, and is classified as a nitrile rubber. MBS is generally a copolymer composed of three components of methyl methacrylate, butadiene, and styrene, and is classified as a butadiene rubber. SBR is generally a copolymer of styrene and butadiene, and is classified as styrene rubber. Specific examples of the organic filler (E1) include product number XER-91-MEK manufactured by JSR Corporation. This organic filler is a crosslinked rubber (NBR) having a carboxyl group having an average primary particle size of 0.07 μm and is provided as a methyl ethyl ketone dispersion having a content of 15% by weight of the crosslinked rubber, and its acid value is 10.0 mgKOH / g. It is. Thus, an organic filler (E1) may be mix | blended with a dispersion liquid. The rubber component can be blended in a dispersion. In addition to the above, specific examples of the organic filler (E1) include product numbers XER-32 and XER-92 manufactured by JSR Corporation. Moreover, as a dispersion of a crosslinked rubber (SBR) having a carboxyl group and a hydroxyl group, product number XSK-500 manufactured by JSR Corporation may be mentioned.

有機フィラー(E1)は、ゴム成分以外の粒子成分を含有してもよい。この場合、有機フィラー(E1)は、カルボキシル基を有するアクリル樹脂微粒子、及びカルボキシル基を有するセルロース微粒子からなる群から選択される少なくとも1種の粒子成分を含有することができる。カルボキシル基を有するアクリル樹脂微粒子は、非架橋スチレン・アクリル樹脂微粒子及び架橋スチレン・アクリル樹脂微粒子からなる群から選択される少なくとも1種の粒子成分を含有することができる。非架橋スチレン・アクリル樹脂微粒子の具体例として、日本ペイント・インダストリアルコーティングス株式会社製の品番 FS−201(平均一次粒子径0.5μm)が挙げられる。架橋スチレン・アクリル樹脂微粒子の具体例として、日本ペイント・インダストリアルコーティングス株式会社製の、品番MG−351(平均一次粒子径1.0μm)、及び品番BGK−001(平均一次粒子径1.0μm)が挙げられる。また、有機フィラー(E1)は、上記の、ゴム成分、アクリル樹脂微粒子、及びセルロース微粒子から選択される粒子成分以外の粒子成分を含有してもよい。この場合、有機フィラー(E1)は、カルボキシル基を有する粒子成分を含有することができる。すなわち、このカルボキシル基を有する粒子成分は、ゴム成分、アクリル樹脂微粒子、及びセルロース微粒子から選択される粒子成分と異なっていてよい。   The organic filler (E1) may contain a particle component other than the rubber component. In this case, the organic filler (E1) can contain at least one particle component selected from the group consisting of acrylic resin fine particles having a carboxyl group and cellulose fine particles having a carboxyl group. The acrylic resin fine particles having a carboxyl group can contain at least one particle component selected from the group consisting of non-crosslinked styrene / acrylic resin fine particles and crosslinked styrene / acrylic resin fine particles. As a specific example of the non-crosslinked styrene / acrylic resin fine particles, product number FS-201 (average primary particle size 0.5 μm) manufactured by Nippon Paint Industrial Coatings Co., Ltd. may be mentioned. As specific examples of crosslinked styrene / acrylic resin fine particles, product number MG-351 (average primary particle size: 1.0 μm) and product number BGK-001 (average primary particle size: 1.0 μm) manufactured by Nippon Paint Industrial Coatings Co., Ltd. Is mentioned. The organic filler (E1) may contain a particle component other than the particle component selected from the rubber component, the acrylic resin fine particles, and the cellulose fine particles. In this case, the organic filler (E1) can contain a particle component having a carboxyl group. That is, the particle component having a carboxyl group may be different from the particle component selected from the rubber component, the acrylic resin fine particles, and the cellulose fine particles.

有機フィラー(E)は、前記有機フィラー(E1)以外の有機フィラーをさらに含んでいてもよい。前記有機フィラー(E1)以外の有機フィラーは、カルボキシル基を有さなくてよい。前記有機フィラー(E1)以外の有機フィラーは、平均一次粒子径が1μmより大きくてよい。ただし、チクソ性を効率よく得る観点、結晶性エポキシ樹脂の相溶性を向上させる観点、及び高解像性を得る観点から、感光性樹脂組成物は、前記有機フィラー(E1)以外の有機フィラーを含まなくてよい。   The organic filler (E) may further contain an organic filler other than the organic filler (E1). Organic fillers other than the said organic filler (E1) do not need to have a carboxyl group. The organic filler other than the organic filler (E1) may have an average primary particle size larger than 1 μm. However, from the viewpoint of efficiently obtaining thixotropy, the viewpoint of improving the compatibility of the crystalline epoxy resin, and the viewpoint of obtaining high resolution, the photosensitive resin composition contains an organic filler other than the organic filler (E1). It does not have to be included.

有機フィラー(E)は、有機フィラー(E1)のみ、又は有機フィラー(E1)と有機フィラー(E1)以外の有機フィラーとを含有する。有機フィラー(E)は、有機フィラー(E1)を30質量%以上含有することが好ましく、50質量%以上含有することがより好ましく、100質量%含有することが更に好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の安定性を特に向上させることができる。   The organic filler (E) contains only the organic filler (E1) or an organic filler other than the organic filler (E1) and the organic filler (E1). The organic filler (E) preferably contains 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, and still more preferably 100% by mass of the organic filler (E1). In this case, the stability of the photosensitive resin composition can be particularly improved.

カップリング剤(F)は、カップリング剤(F1)を含む。カップリング剤(F1)は、ケイ素原子、アルミニウム原子、チタン原子、及びジルコニア原子から選ばれる原子を含有する。カップリング剤(F1)は、さらにアルコキシ基、アシルオキシ基及びアルコキシドから選ばれる官能基を二つ以上含有する。カップリング剤(F1)は、アルコキシ基を二つ以上含有してもよく、アシルオキシ基を二つ以上含有してもよく、アルコキシドを二つ以上含有してもよい。また、カップリング剤(F1)は、アルコキシ基、アシルオキシ基及びアルコキシドから選ばれる異なる官能基を二つ以上含有してもよい。カップリング剤(F1)は、カルボキシル基含有樹脂(A)及び有機フィラー(E1)に含有されるカルボキシル基との反応または相互作用により、感光性樹脂組成物における有機フィラー(E1)の分散性を高めるため、感光性樹脂組成物のチクソ性及び安定性(特に保存安定性)を向上させる。アルコキシ基、アシルオキシ基及びアルコキシドから選ばれる官能基は、ケイ素原子、アルミニウム原子、チタン原子、及びジルコニア原子から選ばれる原子に直接結合していることが好ましい。   The coupling agent (F) includes a coupling agent (F1). The coupling agent (F1) contains an atom selected from a silicon atom, an aluminum atom, a titanium atom, and a zirconia atom. The coupling agent (F1) further contains two or more functional groups selected from alkoxy groups, acyloxy groups and alkoxides. The coupling agent (F1) may contain two or more alkoxy groups, may contain two or more acyloxy groups, and may contain two or more alkoxides. The coupling agent (F1) may contain two or more different functional groups selected from an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkoxide. The coupling agent (F1) has the dispersibility of the organic filler (E1) in the photosensitive resin composition by reaction or interaction with the carboxyl group contained in the carboxyl group-containing resin (A) and the organic filler (E1). In order to enhance, the thixotropy and stability (especially storage stability) of the photosensitive resin composition are improved. The functional group selected from an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkoxide is preferably directly bonded to an atom selected from a silicon atom, an aluminum atom, a titanium atom, and a zirconia atom.

カップリング剤(F1)がケイ素原子を含有する場合、カップリング剤(F1)としては、例えばテトラエトキシシラン、テトラメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルメチルジエトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシラン、2−(3,4エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、p−スチリルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−(2−アミノエチルアミノ)プロピルトリエトキシシラン、N,N−ジメチル−3−(トリメトキシシリル)プロピルアミン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、アリルトリエトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、アリルクロロジメチルシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルトリエトキシシラン、3−クロロプロピルジメトキシメチルシラン、クロロメチルトリエトキシシラン、クロロメチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジエトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、シクロヘキシルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン、ヘキサデシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリエトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、n−オクチルトリエトキシシラン、n−オクチルトリメトキシシラン、ドデシルトリエトキシシラン、ドデシルトリメトキシシラン、プロピルトリメトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、ベンジルトリエトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、メチルフェニルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、p−トリルトリメトキシシラン、4−ビニルフェニルトリメトキシシラン、1−ナフチルトリメトキシシラン、3,3,3−トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、11−ペンタフルオロフェノキシウンデシルトリメトキシシラン、ペンタフルオロフェニルトリメトキシシラン、11−アジドウンデシルトリメトキシシラン、2−シアノエチルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン等が挙げられる。   When the coupling agent (F1) contains a silicon atom, examples of the coupling agent (F1) include tetraethoxysilane, tetramethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinylmethyldiethoxysilane, and vinylmethyl. Dimethoxysilane, 2- (3,4 epoxy cyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 3- Glycidoxypropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, p-styryltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3 Aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3- (2-aminoethylamino) propyltri Ethoxysilane, N, N-dimethyl-3- (trimethoxysilyl) propylamine, 3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl-butylidene) propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltriethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, -Methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, allyltriethoxysilane, allyltrimethoxysilane, allylchlorodimethylsilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-chloropropyltriethoxysilane, 3 -Chloropropyldimethoxymethylsilane, chloromethyltriethoxysilane, chloromethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldiethoxysilane, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, bis (triethoxysilyl) Propyl) tetrasulfide, cyclohexyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, ethyltrimethyl Xysilane, hexyltrimethoxysilane, hexyltriethoxysilane, hexadecyltrimethoxysilane, octadecyltriethoxysilane, octadecyltrimethoxysilane, n-octyltriethoxysilane, n-octyltrimethoxysilane, dodecyltriethoxysilane, dodecyltrimethoxysilane Silane, propyltrimethoxysilane, propyltriethoxysilane, benzyltriethoxysilane, methylphenyldimethoxysilane, methylphenyldiethoxysilane, phenyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, p-tolyltrimethoxysilane, 4-vinylphenyltri Methoxysilane, 1-naphthyltrimethoxysilane, 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane, 11-pentafluoropheno Examples thereof include xylundecyltrimethoxysilane, pentafluorophenyltrimethoxysilane, 11-azidoundecyltrimethoxysilane, 2-cyanoethyltriethoxysilane, and vinyltriacetoxysilane.

カップリング剤(F1)がアルミニウム原子を含有する場合、カップリング剤(F1)としては、例えば、アセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート、アルミニウムジイソプロポキシモノエチルアセトアセテート、アルミニウムトリスエチルアセトアセテート等が挙げられる。   When the coupling agent (F1) contains an aluminum atom, examples of the coupling agent (F1) include acetoalkoxy aluminum diisopropylate, aluminum diisopropoxy monoethyl acetoacetate, aluminum trisethyl acetoacetate and the like. .

カップリング剤(F1)がチタン原子を含有する場合、カップリング剤(F1)としては、例えば、イソプロピルトリステアロイルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホスフェートチタネート)、テトラ(2−2−ジアリルオキシメチル−1−ブチル)ビス(ジトリデシル)ホスフェートチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート等が挙げられる。   When the coupling agent (F1) contains a titanium atom, examples of the coupling agent (F1) include isopropyl tristearoyl titanate, isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate, tetraoctyl bis (ditridecyl phosphate titanate), tetra (2-2-diallyloxymethyl-1-butyl) bis (ditridecyl) phosphate titanate, bis (dioctylpyrophosphate) oxyacetate titanate, bis (dioctylpyrophosphate) ethylene titanate and the like.

カップリング剤(F1)がジルコニア原子を含有する場合、カップリング剤(F1)としては、例えば、ジルコニウムテトラノルマルプロポキシド、ジルコニウムテトラノルマルブトキシド等が挙げられる。   When the coupling agent (F1) contains a zirconia atom, examples of the coupling agent (F1) include zirconium tetranormal propoxide and zirconium tetranormal butoxide.

カップリング剤(F1)は、ケイ素原子を含有することが好ましい。カップリング剤(F1)が、ケイ素原子を含有することで、感光性樹脂組成物における有機フィラー(E1)の分散性が効率よく高まる。そのため、感光性樹脂組成物のチクソ性及び安定性がさらに向上する。カップリング剤(F1)は、シランカップリング剤であってよい。   The coupling agent (F1) preferably contains a silicon atom. When the coupling agent (F1) contains a silicon atom, the dispersibility of the organic filler (E1) in the photosensitive resin composition is efficiently increased. Therefore, the thixotropy and stability of the photosensitive resin composition are further improved. The coupling agent (F1) may be a silane coupling agent.

カップリング剤(F1)は、メトキシ基、エトキシ基及びアセトキシ基から選ばれる官能基を含有することが好ましい。メトキシ基及びエトキシ基は、アルコキシ基に分類される。また、アセトキシ基は、アシルオキシ基に分類される。カップリング剤(F1)は、メトキシ基のみを含有してもよく、エトキシ基のみを含有してもよく、アセトキシ基のみを含有してもよい。また、カップリング剤(F1)は、メトキシ基、エトキシ基及びアセトキシ基から選ばれる異なる官能基を含有してもよい。カップリング剤(F1)が、メトキシ基、エトキシ基及びアセトキシ基から選ばれる官能基を含有することで、有機フィラー(E1)とカップリング剤(F1)との反応性が向上し、感光性樹脂組成物における有機フィラー(E1)の凝集がより生じにくくなる。そのため、感光性樹脂組成物のチクソ性及び安定性がさらに向上する。また、感光性樹脂組成物の良好な解像性が得られる。   The coupling agent (F1) preferably contains a functional group selected from a methoxy group, an ethoxy group, and an acetoxy group. A methoxy group and an ethoxy group are classified into alkoxy groups. The acetoxy group is classified as an acyloxy group. The coupling agent (F1) may contain only a methoxy group, may contain only an ethoxy group, or may contain only an acetoxy group. Further, the coupling agent (F1) may contain different functional groups selected from a methoxy group, an ethoxy group, and an acetoxy group. Since the coupling agent (F1) contains a functional group selected from a methoxy group, an ethoxy group, and an acetoxy group, the reactivity between the organic filler (E1) and the coupling agent (F1) is improved, and a photosensitive resin. Aggregation of the organic filler (E1) in the composition is less likely to occur. Therefore, the thixotropy and stability of the photosensitive resin composition are further improved. Moreover, the favorable resolution of the photosensitive resin composition is obtained.

カップリング剤(F1)は、アルコキシ基、アシルオキシ基及びアルコキシドから選ばれる官能基を二つから四つ含有することが好ましい。カップリング剤(F1)は、アルコキシ基を二つから四つ含有してもよく、アシルオキシ基を二つから四つ含有してもよく、アルコキシドを二つから四つ含有してもよい。たとえば、カップリング剤(F1)は、メトキシ基を二つから四つ含有してもよく、エトキシ基を二つから四つ含有してもよく、アセトキシ基を二つから四つ含有してもよい。また、カップリング剤(F1)は、アルコキシ基、アシルオキシ基及びアルコキシドから選ばれる異なる官能基を二つから四つ含有してもよい。カップリング剤(F1)が、アルコキシ基、アシルオキシ基及びアルコキシドから選ばれる官能基を二つから四つ含有することで、有機フィラー(E1)とカップリング剤(F1)との反応による過剰な架橋反応を抑制することができ、感光性樹脂組成物における有機フィラー(E1)の分散性を向上させると同時に、ゲル化を抑制することができる。   The coupling agent (F1) preferably contains two to four functional groups selected from an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkoxide. The coupling agent (F1) may contain 2 to 4 alkoxy groups, may contain 2 to 4 acyloxy groups, and may contain 2 to 4 alkoxides. For example, the coupling agent (F1) may contain 2 to 4 methoxy groups, 2 to 4 ethoxy groups, or 2 to 4 acetoxy groups. Good. Further, the coupling agent (F1) may contain two to four different functional groups selected from an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkoxide. The coupling agent (F1) contains two to four functional groups selected from an alkoxy group, an acyloxy group and an alkoxide, so that excessive crosslinking is caused by a reaction between the organic filler (E1) and the coupling agent (F1). Reaction can be suppressed and the dispersibility of the organic filler (E1) in the photosensitive resin composition can be improved, and at the same time, gelation can be suppressed.

カップリング剤(F1)は、アミノ基、エポキシ基、ビニル基、メタクリル基、メルカプト基、イソシアネート基、及びスルフィド基から選ばれる少なくとも一つの官能基を含有することが好ましい。カップリング剤(F1)が、アミノ基、エポキシ基、ビニル基、メタクリル基、メルカプト基、イソシアネート基、及びスルフィド基から選ばれる少なくとも一つの官能基を含有することで、有機フィラー(E1)に含まれるカルボキシル基と反応することができ、感光性樹脂組成物における有機フィラー(E1)の分散性がさらに効率よく高まる。そのため、感光性樹脂組成物のチクソ性、安定性及び解像性がさらに向上する。   The coupling agent (F1) preferably contains at least one functional group selected from an amino group, an epoxy group, a vinyl group, a methacryl group, a mercapto group, an isocyanate group, and a sulfide group. The coupling agent (F1) contains at least one functional group selected from an amino group, an epoxy group, a vinyl group, a methacryl group, a mercapto group, an isocyanate group, and a sulfide group, and thus included in the organic filler (E1). The dispersibility of the organic filler (E1) in the photosensitive resin composition can be further efficiently increased. Therefore, the thixotropy, stability and resolution of the photosensitive resin composition are further improved.

カップリング剤(F1)がアミノ基を含有する場合、アミノ基は例えば、アミノアルキル基で導入される。また、カップリング剤(F1)がエポキシ基を含有する場合、エポキシ基は例えば、グリシドキシ基で導入される。カップリング剤(F1)がビニル基を含有する場合、ビニル基は例えば、ケイ素原子に直接結合する。カップリング剤(F1)がアミノ基、エポキシ基、又はビニル基を含有することで、有機フィラー(E1)との反応性が高まり、感光性樹脂組成物における有機フィラー(E1)の分散性がさらに効率よく高まる。カップリング剤(F1)がエポキシ基又はビニル基を有することが好ましい。カップリング剤(F1)がエポキシ基又はビニル基を有することで、感光性樹脂組成物の線間絶縁性が高まり、安定性がさらに向上する。   When the coupling agent (F1) contains an amino group, the amino group is introduced by, for example, an aminoalkyl group. Moreover, when a coupling agent (F1) contains an epoxy group, an epoxy group is introduce | transduced by a glycidoxy group, for example. When the coupling agent (F1) contains a vinyl group, the vinyl group is directly bonded to a silicon atom, for example. When the coupling agent (F1) contains an amino group, an epoxy group, or a vinyl group, the reactivity with the organic filler (E1) increases, and the dispersibility of the organic filler (E1) in the photosensitive resin composition further increases. Increases efficiently. The coupling agent (F1) preferably has an epoxy group or a vinyl group. When the coupling agent (F1) has an epoxy group or a vinyl group, the insulating property between lines of the photosensitive resin composition is increased, and the stability is further improved.

カップリング剤(F)は、前記カップリング剤(F1)以外のカップリング剤をさらに含んでいてもよい。前記カップリング剤(F1)以外のカップリング剤は、ケイ素原子、アルミニウム原子、チタン原子、及びジルコニア原子から選ばれる原子を含有しなくてもよい。前記カップリング剤(F1)以外のカップリング剤は、アルコキシ基、アシルオキシ基及びアルコキシドから選ばれる官能基を二つ以上含有しなくてもよい。ただし、有機フィラー(E1)の分散性を効率よく得る観点、また感光性樹脂組成物のチクソ性及び安定性を向上させる観点から、感光性樹脂組成物は、前記カップリング剤(F1)以外のカップリング剤を含まなくてよい。   The coupling agent (F) may further contain a coupling agent other than the coupling agent (F1). The coupling agent other than the coupling agent (F1) may not contain an atom selected from a silicon atom, an aluminum atom, a titanium atom, and a zirconia atom. The coupling agent other than the coupling agent (F1) may not contain two or more functional groups selected from an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkoxide. However, from the viewpoint of efficiently obtaining the dispersibility of the organic filler (E1) and from the viewpoint of improving the thixotropy and stability of the photosensitive resin composition, the photosensitive resin composition is other than the coupling agent (F1). A coupling agent may not be included.

カップリング剤(F)は、カップリング剤(F1)のみ、又はカップリング剤(F1)とカップリング剤(F1)以外のカップリング剤とを含有する。カップリング剤(F)は、カップリング剤(F1)を30質量%以上含有することが好ましく、50質量%以上含有することがより好ましく、100質量%含有することが更に好ましい。この場合、感光性樹脂組成物における有機フィラー(E)の分散性を特に向上させることができる。   The coupling agent (F) contains only the coupling agent (F1) or a coupling agent other than the coupling agent (F1) and the coupling agent (F1). The coupling agent (F) preferably contains 30% by mass or more of the coupling agent (F1), more preferably contains 50% by mass or more, and still more preferably contains 100% by mass. In this case, the dispersibility of the organic filler (E) in the photosensitive resin composition can be particularly improved.

感光性樹脂組成物はメラミンを含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物と銅などの金属との間の密着性が高くなる。このため、感光性樹脂組成物が、プリント配線板用の絶縁材料として特に適する。また、感光性樹脂組成物の硬化物の耐メッキ性、すなわち無電解ニッケル/金メッキ処理時の白化耐性が向上する。   The photosensitive resin composition may contain melamine. In this case, the adhesion between the cured product of the photosensitive resin composition and a metal such as copper is increased. For this reason, the photosensitive resin composition is particularly suitable as an insulating material for a printed wiring board. Moreover, the plating resistance of the cured product of the photosensitive resin composition, that is, the whitening resistance during the electroless nickel / gold plating process is improved.

感光性樹脂組成物は、有機溶剤を含有してもよい。有機溶剤は、感光性樹脂組成物の液状化又はワニス化、粘度調整、塗布性の調整、造膜性の調整などの目的で使用される。   The photosensitive resin composition may contain an organic solvent. The organic solvent is used for the purpose of liquefaction or varnishing of the photosensitive resin composition, viscosity adjustment, application property adjustment, film formation property adjustment, and the like.

有機溶剤は、例えばエタノール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ヘキサノール、エチレングリコール等の直鎖、分岐、2級或いは多価のアルコール類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;スワゾールシリーズ(丸善石油化学社製)、ソルベッソシリーズ(エクソン・ケミカル社製)等の石油系芳香族系混合溶剤;セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類;カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類;プロピレングリコールメチルエーテル等のプロピレングリコールアルキルエーテル類;ジプロピレングリコールメチルエーテル等のポリプロピレングリコールアルキルエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類;並びにジアルキルグリコールエーテル類からなる群から選択される一種以上の化合物を含有できる。   Organic solvents include, for example, linear, branched, secondary or polyhydric alcohols such as ethanol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, hexanol and ethylene glycol; ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene Petroleum aromatic mixed solvents such as Swazol series (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) and Solvesso series (manufactured by Exxon Chemical Co.); cellosolves such as cellosolve and butylcellosolve; Tolls; propylene glycol alkyl ethers such as propylene glycol methyl ether; polypropylene glycol alkyl ethers such as dipropylene glycol methyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, carb It can contain, as well as one or more compounds selected from the group consisting of dialkyl glycol ethers; Lumpur acid esters such as acetate.

感光性樹脂組成物中の成分の量は、感光性樹脂組成物が光硬化性を有しアルカリ性溶液で現像可能であるように、適宜調整される。   The amount of the component in the photosensitive resin composition is appropriately adjusted so that the photosensitive resin composition has photocurability and can be developed with an alkaline solution.

カルボキシル基含有樹脂(A)は、感光性樹脂組成物の固形分量に対して5〜85質量%の範囲内であれば好ましく、10〜75質量%の範囲内であればより好ましく、30〜60質量%の範囲内であれば更に好ましい。また、カルボキシル基含有樹脂(A1)は、感光性樹脂組成物の固形分量に対して5〜85質量%の範囲内であれば好ましく、10〜75質量%の範囲内であればより好ましく、30〜60質量%の範囲内であれば更に好ましい。   The carboxyl group-containing resin (A) is preferably in the range of 5 to 85% by mass, more preferably in the range of 10 to 75% by mass, and more preferably in the range of 30 to 60% with respect to the solid content of the photosensitive resin composition. It is more preferable if it is within the range of mass%. Further, the carboxyl group-containing resin (A1) is preferably in the range of 5 to 85% by mass, more preferably in the range of 10 to 75% by mass with respect to the solid content of the photosensitive resin composition, 30 More preferably, it is in the range of ˜60 mass%.

不飽和化合物(B)は、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して1〜50質量%の範囲内であれば好ましく、10〜45質量%の範囲内であればより好ましく、21〜40質量%の範囲内であれば更に好ましい。   The unsaturated compound (B) is preferably in the range of 1 to 50% by mass, more preferably in the range of 10 to 45% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A), and more preferably 21 to 40% by mass. If it is in the range, it is more preferable.

光重合開始剤(C)は、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して0.1〜30質量%の範囲内であることが好ましく、1〜25質量%の範囲内であれば更に好ましい。   The photopolymerization initiator (C) is preferably in the range of 0.1 to 30% by mass and more preferably in the range of 1 to 25% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A).

エポキシ化合物(D)の量に関しては、エポキシ化合物(D)に含まれるエポキシ基の当量の合計が、カルボキシル基含有樹脂(A)に含まれるカルボキシル基1当量に対して0.7〜2.5の範囲内であることが好ましく、0.7〜2.3の範囲内であればより好ましく、0.7〜2.0の範囲内であれば更に好ましい。また、エポキシ化合物(D)が結晶性エポキシ樹脂を含む場合、結晶性エポキシ樹脂に含まれるエポキシ基の当量の合計が、カルボキシル基含有樹脂(A)に含まれるカルボキシル基1当量に対して0.7〜2.5の範囲内であることが好ましく、0.7〜2.3の範囲内であればより好ましく、0.7〜2.0の範囲内であれば更に好ましい。   Regarding the amount of the epoxy compound (D), the total equivalent of the epoxy groups contained in the epoxy compound (D) is 0.7 to 2.5 with respect to 1 equivalent of the carboxyl group contained in the carboxyl group-containing resin (A). Is preferably within the range of 0.7 to 2.3, more preferably within the range of 0.7 to 2.0. Moreover, when an epoxy compound (D) contains a crystalline epoxy resin, the sum total of the equivalent of the epoxy group contained in a crystalline epoxy resin is 0.00 with respect to 1 equivalent of carboxyl groups contained in a carboxyl group-containing resin (A). It is preferably within the range of 7 to 2.5, more preferably within the range of 0.7 to 2.3, and even more preferably within the range of 0.7 to 2.0.

有機フィラー(E)の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(A)の含有量を100質量部としたときに、1〜40質量部の範囲内であることが好ましい。有機フィラー(E)の含有量がこの範囲となることで、感光性樹脂組成物のチクソ性が高まり、安定性が向上する。有機フィラー(E)の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(A)の含有量を100質量部としたときに、5〜20質量部の範囲内であることがより好ましく、10〜17質量部の範囲内であることが更に好ましい。また、有機フィラー(E1)の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(A)の含有量を100質量部としたときに、1〜40質量部の範囲内であることが好ましい。有機フィラー(E1)の含有量がこの範囲となることで、感光性樹脂組成物のチクソ性が効率よく高まり、安定性が効果的に向上する。有機フィラー(E1)の含有量は、カルボキシル基含有樹脂(A)の含有量を100質量部としたときに、5〜20質量部の範囲内であることがより好ましく、10〜17質量部の範囲内であることが更に好ましい。   The content of the organic filler (E) is preferably in the range of 1 to 40 parts by mass when the content of the carboxyl group-containing resin (A) is 100 parts by mass. When the content of the organic filler (E) is within this range, the thixotropy of the photosensitive resin composition is increased and the stability is improved. The content of the organic filler (E) is more preferably in the range of 5 to 20 parts by mass, when the content of the carboxyl group-containing resin (A) is 100 parts by mass, More preferably within the range. Moreover, it is preferable that content of an organic filler (E1) exists in the range of 1-40 mass parts, when content of carboxyl group-containing resin (A) is 100 mass parts. When the content of the organic filler (E1) is within this range, the thixotropy of the photosensitive resin composition is efficiently increased, and the stability is effectively improved. The content of the organic filler (E1) is more preferably in the range of 5 to 20 parts by mass, when the content of the carboxyl group-containing resin (A) is 100 parts by mass, More preferably within the range.

カップリング剤(F)の含有量は、有機フィラー(E)の含有量を100質量部としたときに、0.01〜7質量部の範囲内であることが好ましい。カップリング剤(F)の含有量がこの範囲となることで、感光性樹脂組成物における有機フィラー(E)の凝集を防ぎ、分散性が向上する。カップリング剤(F)の含有量は、有機フィラー(E)の含有量を100質量部としたときに、0.05〜5質量部の範囲内であることがより好ましい。また、カップリング剤(F1)の含有量は、有機フィラー(E1)の含有量を100質量部としたときに、0.01〜7質量部の範囲内であることが好ましい。カップリング剤(F1)の含有量がこの範囲となることで、感光性樹脂組成物における有機フィラー(E1)の凝集を効率よく防ぎ、分散性が効果的に向上する。カップリング剤(F1)の含有量は、有機フィラー(E1)の含有量を100質量部としたときに、0.05〜5質量部の範囲内であることがより好ましい。   The content of the coupling agent (F) is preferably in the range of 0.01 to 7 parts by mass when the content of the organic filler (E) is 100 parts by mass. When the content of the coupling agent (F) falls within this range, aggregation of the organic filler (E) in the photosensitive resin composition is prevented and dispersibility is improved. The content of the coupling agent (F) is more preferably in the range of 0.05 to 5 parts by mass when the content of the organic filler (E) is 100 parts by mass. Moreover, it is preferable that content of a coupling agent (F1) exists in the range of 0.01-7 mass parts, when content of an organic filler (E1) is 100 mass parts. When the content of the coupling agent (F1) is within this range, aggregation of the organic filler (E1) in the photosensitive resin composition is efficiently prevented, and dispersibility is effectively improved. The content of the coupling agent (F1) is more preferably in the range of 0.05 to 5 parts by mass when the content of the organic filler (E1) is 100 parts by mass.

感光性樹脂組成物がメラミンを含有する場合、メラミンはカルボキシル基含有樹脂(A)に対して0.1〜10質量%の範囲内であることが好ましく、0.5〜5質量%の範囲内であれば更に好ましい。   When the photosensitive resin composition contains melamine, the melamine is preferably in the range of 0.1 to 10% by mass and in the range of 0.5 to 5% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A). If it is more preferable.

感光性樹脂組成物が有機溶剤を含有する場合、有機溶剤の量は、感光性樹脂組成物から形成される塗膜を乾燥させる際に速やかに有機溶剤が揮散するように、すなわち有機溶剤が乾燥膜に残存しないように、調整されることが好ましい。特に、感光性樹脂組成物全体に対して、有機溶剤が0〜99.5質量%の範囲内であることが好ましく、15〜60質量%の範囲内であれば更に好ましい。なお、有機溶剤の好適な割合は、塗布方法などにより異なるので、塗布方法に応じて割合が適宜調節されることが好ましい。   When the photosensitive resin composition contains an organic solvent, the amount of the organic solvent is determined so that the organic solvent is volatilized quickly when the coating film formed from the photosensitive resin composition is dried, that is, the organic solvent is dried. It is preferable to adjust so as not to remain in the film. In particular, the organic solvent is preferably in the range of 0 to 99.5% by mass and more preferably in the range of 15 to 60% by mass with respect to the entire photosensitive resin composition. In addition, since the suitable ratio of an organic solvent changes with application methods etc., it is preferable that a ratio is suitably adjusted according to the application method.

なお、固形分量とは、感光性樹脂組成物から溶剤などの揮発性成分を除いた、全成分の合計量のことである。   In addition, solid content is a total amount of all components remove | excluding volatile components, such as a solvent, from the photosensitive resin composition.

本発明の主旨を逸脱しない限りにおいて、感光性樹脂組成物は、上記成分以外の成分を更に含有してもよい。   Unless it deviates from the main point of this invention, the photosensitive resin composition may further contain components other than the said component.

例えば、感光性樹脂組成物が無機充填材(無機フィラー)を含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される膜の硬化収縮が低減する。無機充填材は、例えば硫酸バリウム、結晶性シリカ、ナノシリカ、カーボンナノチューブ、タルク、ベントナイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、及び酸化チタンからなる群から選択される一種以上の材料を含有できる。無機充填材に酸化チタン、酸化亜鉛等の白色の材料を含有させることで、感光性樹脂組成物及びその硬化物を白色化してもよい。感光性樹脂組成物中の無機充填材の割合は適宜設定されるが、カルボキシル基含有樹脂(A)に対して0〜300質量%の範囲内であることが好ましい。   For example, the photosensitive resin composition may contain an inorganic filler (inorganic filler). In this case, the curing shrinkage of the film formed from the photosensitive resin composition is reduced. The inorganic filler can contain, for example, one or more materials selected from the group consisting of barium sulfate, crystalline silica, nano silica, carbon nanotubes, talc, bentonite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, and titanium oxide. You may whiten the photosensitive resin composition and its hardened | cured material by making an inorganic filler contain white materials, such as a titanium oxide and a zinc oxide. Although the ratio of the inorganic filler in the photosensitive resin composition is appropriately set, it is preferably in the range of 0 to 300% by mass with respect to the carboxyl group-containing resin (A).

感光性樹脂組成物は、カプロラクタム、オキシム、マロン酸エステル等でブロックされたトリレンジイソシアネート系、モルホリンジイソシアネート系、イソホロンジイソシアネート系及びヘキサメチレンジイソシアネート系のブロックドイソシアネート;メラミン樹脂、n−ブチル化メラミン樹脂、イソブチル化メラミン樹脂、ブチル化尿素樹脂、ブチル化メラミン尿素共縮合樹脂、ベンゾグアナミン系共縮合樹脂等のアミノ樹脂;前記以外の各種熱硬化性樹脂;紫外線硬化性エポキシ(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、脂環型等のエポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を付加して得られる樹脂;並びにジアリルフタレート樹脂、フェノキシ樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂等の高分子化合物からなる群から選択される一種以上の樹脂を含有してもよい。   Photosensitive resin composition comprising tolylene diisocyanate, morpholine diisocyanate, isophorone diisocyanate and hexamethylene diisocyanate blocked isocyanates blocked with caprolactam, oxime, malonic acid ester, etc .; melamine resin, n-butylated melamine resin , Amino resins such as isobutylated melamine resin, butylated urea resin, butylated melamine urea cocondensation resin, benzoguanamine cocondensation resin; various other thermosetting resins; ultraviolet curable epoxy (meth) acrylate; bisphenol A type , Resins obtained by adding (meth) acrylic acid to phenolic novolac type, cresol novolac type, alicyclic type epoxy resins; and diallyl phthalate resin, phenoxy resin, urethane resin, fluorine resin, etc. It may contain one or more resins that are selected from the group consisting of a polymer compound.

感光性樹脂組成物は、エポキシ化合物(D)を硬化させるための硬化剤を含有してもよい。硬化剤は、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物;アジピン酸ヒドラジド、セバシン酸ヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルフォスフィン等のリン化合物;酸無水物;フェノール;メルカプタン;ルイス酸アミン錯体;及びオニウム塩からなる群から選択される一種以上の成分を含有できる。これらの成分の市販品の例として、四国化成株式会社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ株式会社製のU−CAT3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)が挙げられる。   The photosensitive resin composition may contain a curing agent for curing the epoxy compound (D). Examples of the curing agent include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1- (2 Imidazole derivatives such as -cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N-dimethylbenzylamine, Amine compounds such as 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic hydrazide and sebacic acid hydrazide; phosphorus compounds such as triphenylphosphine; acid anhydrides; phenols; mercaptans; And It may contain one or more components selected from the group consisting um salt. Examples of commercially available products of these components include 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd., U-CAT3503N, U manufactured by San Apro Co., Ltd. -CAT3502T (all are trade names of blocked isocyanate compounds of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (all are bicyclic amidine compounds and salts thereof).

感光性樹脂組成物は、メラミン以外の密着性付与剤を含有してもよい。密着性付与剤としては、例えばグアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、並びに2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体が、挙げられる。   The photosensitive resin composition may contain an adhesion-imparting agent other than melamine. Examples of the adhesion-imparting agent include guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, 2-vinyl- Examples thereof include S-triazine derivatives such as 4,6-diamino-S-triazine / isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine / isocyanuric acid adduct.

感光性樹脂組成物は、硬化促進剤;着色剤;シリコーン、アクリレート等の共重合体;レベリング剤;密着性付与剤;チクソトロピー剤;重合禁止剤;ハレーション防止剤;難燃剤;消泡剤;酸化防止剤;界面活性剤;並びに高分子分散剤からなる群から選択される一種以上の成分を含有してもよい。   Photosensitive resin composition includes a curing accelerator; a colorant; a copolymer such as silicone and acrylate; a leveling agent; an adhesion-imparting agent; a thixotropic agent; a polymerization inhibitor; an antihalation agent; a flame retardant; One or more components selected from the group consisting of an inhibitor; a surfactant; and a polymer dispersant may be contained.

感光性樹脂組成物中のアミン化合物の含有量はできるだけ少ないことが好ましい。この場合、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層の電気絶縁性が損なわれにくい。特にカルボキシル基含有樹脂(A)に対してアミン化合物が6質量%以下であることが好ましく、4質量%以下であれば更に好ましい。   The content of the amine compound in the photosensitive resin composition is preferably as small as possible. In this case, the electrical insulation of the layer made of a cured product of the photosensitive resin composition is not easily impaired. In particular, the amine compound is preferably 6% by mass or less, more preferably 4% by mass or less, based on the carboxyl group-containing resin (A).

上記のような感光性樹脂組成物の原料が配合され、例えば三本ロール、ボールミル、サンドミル等を用いる公知の混練方法によって混練されることにより、感光性樹脂組成物が調製されうる。感光性樹脂組成物の原料に液状の成分、粘度の低い成分等が含まれる場合には、原料のうち液状の成分、粘度の低い成分等を除く部分をまず混練し、得られた混合物に、液状の成分、粘度の低い成分等を加えて混合することで、感光性樹脂組成物を調製してもよい。   The raw material of the photosensitive resin composition as described above is blended, and the photosensitive resin composition can be prepared by kneading by a known kneading method using, for example, a three roll, ball mill, sand mill or the like. In the case where the raw material of the photosensitive resin composition contains a liquid component, a low viscosity component, etc., the part of the raw material excluding the liquid component, the low viscosity component, etc. is first kneaded, and the resulting mixture is The photosensitive resin composition may be prepared by adding and mixing a liquid component, a component having a low viscosity, and the like.

カルボキシル基を有する有機フィラー(E1)の配合においては、あらかじめ、カルボキシル基含有樹脂(A)とカップリング剤(F1)の存在下において撹拌により有機フィラー(E1)を分散させることが好ましい。また、カップリング剤(F1)を介してカルボキシル基含有樹脂(A)とカルボキシル基を有する有機フィラー(E1)とを結合させてハイブリッド化することが好ましい。このとき、酸性条件下、あるいはアルカリ条件下において撹拌することが好ましい。酸性条件下ではカップリング剤(F1)の加水分解速度が速くなり、アルカリ条件下ではカップリング剤(F1)の縮合反応速度が速くなる。   In blending the organic filler (E1) having a carboxyl group, it is preferable to disperse the organic filler (E1) by stirring in the presence of the carboxyl group-containing resin (A) and the coupling agent (F1) in advance. Moreover, it is preferable to couple | bond and hybridize carboxyl group-containing resin (A) and the organic filler (E1) which has a carboxyl group through a coupling agent (F1). At this time, it is preferable to stir under acidic conditions or alkaline conditions. Under acidic conditions, the hydrolysis rate of the coupling agent (F1) increases, and under alkaline conditions, the condensation reaction rate of the coupling agent (F1) increases.

保存安定性等を考慮して、感光性樹脂組成物の成分の一部を混合することで第一剤を調製し、成分の残部を混合することで第二剤を調製してもよい。すなわち、感光性樹脂組成物は、第一剤と第二剤とを備えてもよい。この場合、例えば、感光性樹脂組成物の成分のうち不飽和化合物(B)及び有機溶剤の一部及び熱硬化性成分を予め混合して分散させることで第一剤を調製し、感光性樹脂組成物の成分のうち残部を混合して分散させることで第二剤を調製してもよい。この場合、適時必要量の第一剤と第二剤とを混合して混合液を調製し、この混合液を硬化させて硬化物を得ることができる。   In consideration of storage stability and the like, the first agent may be prepared by mixing a part of the components of the photosensitive resin composition, and the second agent may be prepared by mixing the rest of the components. That is, the photosensitive resin composition may include a first agent and a second agent. In this case, for example, the first agent is prepared by previously mixing and dispersing the unsaturated compound (B), a part of the organic solvent, and the thermosetting component among the components of the photosensitive resin composition. You may prepare a 2nd agent by mixing and disperse | distributing the remainder among the components of a composition. In this case, it is possible to prepare a mixed solution by mixing the necessary amount of the first agent and the second agent in a timely manner and curing the mixed solution to obtain a cured product.

本実施形態による感光性樹脂組成物は、プリント配線板用の電気絶縁性材料として適している。特に感光性樹脂組成物は、ソルダーレジスト層、メッキレジスト層、エッチングレジスト層、層間絶縁層等の、電気絶縁性の層を形成するために適している。   The photosensitive resin composition according to the present embodiment is suitable as an electrically insulating material for a printed wiring board. In particular, the photosensitive resin composition is suitable for forming an electrically insulating layer such as a solder resist layer, a plating resist layer, an etching resist layer, and an interlayer insulating layer.

感光性樹脂組成物が厚み25μmの皮膜に成形された場合に、皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であることが好ましい。この場合、十分に厚みの大きい電気絶縁性の層を感光性樹脂組成物からフォトリソグラフィー法で作製することが可能であるため、感光性樹脂組成物を、プリント配線板における層間絶縁層、ソルダーレジスト層等を作製するために広く適用可能である。勿論、感光性樹脂組成物から厚み25μmより薄い電気絶縁性の層を作製することも可能である。   When the photosensitive resin composition is formed into a film having a thickness of 25 μm, the film is preferably developable with an aqueous sodium carbonate solution. In this case, since a sufficiently thick electrically insulating layer can be produced from the photosensitive resin composition by photolithography, the photosensitive resin composition is used as an interlayer insulating layer or solder resist in a printed wiring board. Widely applicable for producing layers and the like. Of course, it is also possible to produce an electrically insulating layer having a thickness of less than 25 μm from the photosensitive resin composition.

皮膜が炭酸ナトリウム水溶液で現像可能であることは、次の方法で確認できる。適当な基材上に感光性樹脂組成物を塗布することで湿潤塗膜を形成し、この湿潤塗膜を80℃で40分加熱することで、厚み25μmの皮膜を形成する。この皮膜に紫外線を透過する露光部と紫外線を遮蔽する非露光部とを有するネガマスクを直接当てがった状態で、ネガマスクを介して皮膜に500mJ/cmの条件で紫外線を照射する。露光後の皮膜に30℃の1%NaCO水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射してから、純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射する。この処理後の皮膜を観察した結果、皮膜における非露光部に対応する部分が除去されて残渣が認められない場合に、現像可能であると判断できる。 It can be confirmed by the following method that the film can be developed with an aqueous sodium carbonate solution. A wet paint film is formed by applying the photosensitive resin composition on a suitable substrate, and this wet paint film is heated at 80 ° C. for 40 minutes to form a film having a thickness of 25 μm. In a state where a negative mask having an exposed portion that transmits ultraviolet rays and a non-exposed portion that blocks ultraviolet rays is directly applied to the coating, the coating is irradiated with ultraviolet rays through the negative mask under a condition of 500 mJ / cm 2 . A 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. is jetted for 90 seconds at an injection pressure of 0.2 MPa on the film after exposure, and then pure water is jetted for 90 seconds at an injection pressure of 0.2 MPa. As a result of observing the film after this treatment, it can be determined that development is possible when a portion corresponding to the non-exposed part of the film is removed and no residue is observed.

以下に、本実施形態による感光性樹脂組成物から形成された層間絶縁層を備えるプリント配線板を製造する方法の一例を、図1Aから図1Eを参照して説明する。本方法では、層間絶縁層にフォトリソグラフィー法でスルーホールを形成する。   Below, an example of the method of manufacturing a printed wiring board provided with the interlayer insulation layer formed from the photosensitive resin composition by this embodiment is demonstrated with reference to FIG. 1A to FIG. 1E. In this method, a through hole is formed in the interlayer insulating layer by photolithography.

まず、図1Aに示すようにコア材1を用意する。コア材1は、例えば少なくとも一つの絶縁層2と少なくとも一つの導体配線3とを備える。コア材1の一面上に設けられている導体配線3を、以下、第一の導体配線3という。図1Bに示すように、コア材1の第一の導体配線3が設けられている面上に、感光性樹脂組成物から皮膜4を形成する。皮膜4の形成方法として、塗布法とドライフィルム法が挙げられる。   First, the core material 1 is prepared as shown in FIG. 1A. The core material 1 includes, for example, at least one insulating layer 2 and at least one conductor wiring 3. The conductor wiring 3 provided on one surface of the core material 1 is hereinafter referred to as a first conductor wiring 3. As shown to FIG. 1B, the film | membrane 4 is formed from the photosensitive resin composition on the surface in which the 1st conductor wiring 3 of the core material 1 is provided. Examples of the method for forming the film 4 include a coating method and a dry film method.

塗布法では、例えばコア材1上に感光性樹脂組成物を塗布して湿潤塗膜を形成する。感光性樹脂組成物の塗布方法は、公知の方法、例えば浸漬法、スプレー法、スピンコート法、ロールコート法、カーテンコート法、及びスクリーン印刷法からなる群から選択される。続いて、感光性樹脂組成物中の有機溶剤を揮発させるために、例えば60〜120℃の範囲内の温度下で湿潤塗膜を乾燥させて、皮膜4を得ることができる。   In the coating method, for example, a photosensitive resin composition is coated on the core material 1 to form a wet coating film. The method for applying the photosensitive resin composition is selected from the group consisting of known methods such as dipping, spraying, spin coating, roll coating, curtain coating, and screen printing. Subsequently, in order to volatilize the organic solvent in the photosensitive resin composition, the wet coating film is dried at a temperature in the range of 60 to 120 ° C., for example, and the coating film 4 can be obtained.

ドライフィルム法では、まずポリエステル製などの適宜の支持体上に感光性樹脂組成物を塗布してから乾燥することで、支持体上に感光性樹脂組成物を含むドライフィルムを形成する。これにより、ドライフィルムと、ドライフィルムを支持する支持体とを備える支持体付きドライフィルムが得られる。この支持体付きドライフィルムにおけるドライフィルムをコア材1に重ねてから、ドライフィルムとコア材1に圧力をかけ、続いて支持体をドライフィルムから剥離することで、ドライフィルムを支持体上からコア材1上へ転写する。これにより、コア材1上に、ドライフィルムからなる皮膜4が設けられる。   In the dry film method, first, a photosensitive resin composition is applied on an appropriate support made of polyester or the like, and then dried to form a dry film containing the photosensitive resin composition on the support. Thereby, the dry film with a support provided with a dry film and the support body which supports a dry film is obtained. In this dry film with a support, the dry film is laminated on the core material 1, then pressure is applied to the dry film and the core material 1, and then the support is peeled off from the dry film, whereby the dry film is cored on the support. Transfer onto material 1. Thereby, the coating 4 made of a dry film is provided on the core material 1.

皮膜4を露光することで図1Cに示すように部分的に光硬化させる。そのために、例えばネガマスクを皮膜4に当てがってから、ネガマスクを介して皮膜4に紫外線を照射する。ネガマスクは、紫外線を透過させる露光部と紫外線を遮蔽する非露光部とを備え、非露光部はスルーホール10の位置と合致する位置に設けられる。ネガマスクは、例えばマスクフィルム、乾板等のフォトツールである。紫外線の光源は、例えばケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ及びメタルハライドランプからなる群から選択される。   The coating 4 is exposed to light and partially cured as shown in FIG. 1C. For this purpose, for example, a negative mask is applied to the film 4 and then the film 4 is irradiated with ultraviolet rays through the negative mask. The negative mask includes an exposure part that transmits ultraviolet rays and a non-exposure part that blocks ultraviolet rays. The negative mask is a photo tool such as a mask film or a dry plate. The ultraviolet light source is selected from the group consisting of chemical lamps, low-pressure mercury lamps, medium-pressure mercury lamps, high-pressure mercury lamps, ultra-high-pressure mercury lamps, xenon lamps, and metal halide lamps, for example.

なお、露光方法として、ネガマスクを用いる方法以外の方法が採用されてもよい。例えば光源から発せられる紫外線を皮膜4上の露光すべき部分のみに照射する直接描画法で皮膜を露光してもよい。直接描画法に適用される光源は、例えば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)、並びにg線、h線及びi線のうちの二種以上の組み合わせからなる群から選択される。   As an exposure method, a method other than a method using a negative mask may be employed. For example, the film may be exposed by a direct drawing method in which ultraviolet rays emitted from a light source are irradiated only on a portion to be exposed on the film 4. The light source applied to the direct drawing method is, for example, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, g-line (436 nm), h-line (405 nm), i-line (365 nm), and g-line, h-line, and i-line. It is selected from the group consisting of two or more kinds of combinations.

また、ドライフィルム法では、支持体付きドライフィルムにおけるドライフィルムをコア材1に重ねてから、支持体を剥離することなく、支持体を透過させて紫外線をドライフィルムからなる皮膜4に照射することで皮膜4を露光し、続いて現像処理前に皮膜4から支持体を剥離してもよい。   In the dry film method, after the dry film in the dry film with the support is stacked on the core material 1, the support 4 is transmitted through the support 4 without irradiating the film 4 made of the dry film without peeling off the support. Then, the coating 4 may be exposed to light, and then the support may be peeled off from the coating 4 before the development treatment.

続いて、皮膜4に現像処理を施すことで、図1Cに示す皮膜4の露光されていない部分5を除去し、これにより、図1Dに示すようにスルーホール10が形成される位置に穴6を設ける。現像処理では、感光性樹脂組成物の組成に応じた適宜の現像液を使用できる。現像液は、例えばアルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液、又は有機アミンである。アルカリ性水溶液は、より具体的には例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム及び水酸化リチウムからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。アルカリ性水溶液中の溶媒は、水のみであっても、水と低級アルコール類等の親水性有機溶媒との混合物であってもよい。有機アミンは、例えばモノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン及びトリイソプロパノールアミンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有する。   Subsequently, the coating 4 is developed to remove the unexposed portion 5 of the coating 4 shown in FIG. 1C, whereby the hole 6 is formed at the position where the through hole 10 is formed as shown in FIG. 1D. Is provided. In the development process, an appropriate developer according to the composition of the photosensitive resin composition can be used. The developer is, for example, an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide, or an organic amine. More specifically, the alkaline aqueous solution is, for example, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, ammonium hydrogen carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonium hydroxide, tetramethyl ammonium hydroxide and water. It contains at least one component selected from the group consisting of lithium oxide. The solvent in the alkaline aqueous solution may be water alone or a mixture of water and a hydrophilic organic solvent such as lower alcohols. The organic amine contains, for example, at least one component selected from the group consisting of monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, monoisopropanolamine, diisopropanolamine and triisopropanolamine.

現像液は、アルカリ金属塩及びアルカリ金属水酸化物のうち少なくとも一方を含有するアルカリ性水溶液であることが好ましく、炭酸ナトリウム水溶液であることが特に好ましい。この場合、作業環境の向上及び廃棄物処理の負担軽減を達成できる。   The developer is preferably an alkaline aqueous solution containing at least one of an alkali metal salt and an alkali metal hydroxide, and particularly preferably an aqueous sodium carbonate solution. In this case, it is possible to improve the work environment and reduce the burden of waste disposal.

続いて、皮膜4を加熱することで熱硬化させる。加熱の条件は、例えば加熱温度120〜200℃の範囲内、加熱時間30〜120分間の範囲内である。このようにして皮膜4を熱硬化させると、層間絶縁層7の強度、硬度、耐薬品性等の性能が向上する。   Subsequently, the coating 4 is thermally cured by heating. The heating conditions are, for example, within a heating temperature range of 120 to 200 ° C. and within a heating time range of 30 to 120 minutes. When the film 4 is thermally cured in this manner, the performance of the interlayer insulating layer 7 such as strength, hardness, and chemical resistance is improved.

必要により、加熱前と加熱後のうちの一方又は両方で、皮膜4に更に紫外線を照射してもよい。この場合、皮膜4の光硬化を更に進行させることができる。   If necessary, the coating 4 may be further irradiated with ultraviolet rays before or after heating. In this case, photocuring of the film 4 can be further advanced.

層間絶縁層7の厚みは、特に限定されないが、10〜50μmの範囲内であってよい。   The thickness of the interlayer insulating layer 7 is not particularly limited, but may be in the range of 10 to 50 μm.

以上により、コア材1上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなる層間絶縁層7が設けられる。この層間絶縁層7上に、アディティブ法などの公知の方法で、第二の導体配線8及びホールめっき9を設けることができる。これにより、図1Eに示すように、第一の導体配線3、第二の導体配線8、第一の導体配線3と第二の導体配線8との間に介在する層間絶縁層7、並びに第一の導体配線3と第二の導体配線8とを電気的に接続するスルーホール10を備えるプリント配線板11が得られる。なお、図1Eにおいて、ホールめっき9は穴6の内面を覆う筒状の形状を有するが、穴6の内側全体にホールめっき9が充填されていてもよい。   As described above, the interlayer insulating layer 7 made of a cured product of the photosensitive resin composition is provided on the core material 1. The second conductor wiring 8 and the hole plating 9 can be provided on the interlayer insulating layer 7 by a known method such as an additive method. As a result, as shown in FIG. 1E, the first conductor wiring 3, the second conductor wiring 8, the interlayer insulating layer 7 interposed between the first conductor wiring 3 and the second conductor wiring 8, and the first conductor wiring A printed wiring board 11 having a through hole 10 for electrically connecting the first conductor wiring 3 and the second conductor wiring 8 is obtained. In FIG. 1E, the hole plating 9 has a cylindrical shape that covers the inner surface of the hole 6, but the entire inner side of the hole 6 may be filled with the hole plating 9.

本実施形態による感光性樹脂組成物から形成されたソルダーレジスト層を備えるプリント配線板を製造する方法の一例を説明する。   An example of a method for producing a printed wiring board provided with a solder resist layer formed from the photosensitive resin composition according to the present embodiment will be described.

まず、コア材を用意する。コア材は、例えば少なくとも一つの絶縁層と少なくとも一つの導体配線とを備える。コア材の導体配線が設けられている面上に、感光性樹脂組成物から皮膜を形成する。皮膜の形成方法として、塗布法とドライフィルム法が挙げられる。塗布法とドライフィルム法としては、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。皮膜を露光することで部分的に光硬化させる。露光方法も、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。続いて、皮膜に現像処理を施すことで、皮膜の露光されていない部分を除去し、これにより、コア材上に、皮膜の露光された部分が残存する。続いて、コア材上の皮膜を加熱することで熱硬化させる。現像方法及び加熱方法も、上記の層間絶縁層を形成する場合と同じ方法を採用できる。必要により、加熱前と加熱後のうちの一方又は両方で、皮膜に更に紫外線を照射してもよい。この場合、皮膜の光硬化を更に進行させることができる。   First, a core material is prepared. The core material includes, for example, at least one insulating layer and at least one conductor wiring. A film is formed from the photosensitive resin composition on the surface of the core material where the conductor wiring is provided. Examples of the method for forming the film include a coating method and a dry film method. As the coating method and the dry film method, the same method as that for forming the interlayer insulating layer can be employed. The film is partially photocured by exposure. The exposure method can be the same as the method for forming the interlayer insulating layer. Subsequently, the film is subjected to a development process to remove the unexposed part of the film, whereby the exposed part of the film remains on the core material. Subsequently, the coating on the core material is heated and cured. The developing method and the heating method can be the same as the method for forming the interlayer insulating layer. If necessary, the film may be further irradiated with ultraviolet rays before or after heating. In this case, photocuring of the film can be further advanced.

ソルダーレジスト層の厚みは、特に限定されないが、10〜50μmの範囲内であってよい。   The thickness of the solder resist layer is not particularly limited, but may be in the range of 10 to 50 μm.

以上により、コア材上に、感光性樹脂組成物の硬化物からなるソルダーレレジスト層が設けられる。これにより、絶縁層とその上の導体配線とを備えるコア材、並びにコア材における導体配線が設けられている面を部分的に覆うソルダーレジスト層を備える、プリント配線板が得られる。   By the above, the solderless resist layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition is provided on a core material. Thereby, a printed wiring board provided with the core material provided with an insulating layer and the conductor wiring on it, and the soldering resist layer which partially covers the surface in which the conductor wiring in a core material is provided is obtained.

(1)カルボキシル基含有樹脂の合成:
合成例A−1〜A−3のカルボキシル基含有樹脂は次のように調製した。後掲の表1にその詳細を示す。還流冷却器、温度計、空気吹き込み管及び攪拌機を取付けた四つ口フラスコ内に、表1中の「第一反応」欄に示す成分を加えて、これらをエアバブリング下で攪拌することで混合物を調製した。この混合物をフラスコ内でエアバブリング下で攪拌しながら、「反応条件」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。これにより、中間体の溶液を調製した。
(1) Synthesis of carboxyl group-containing resin:
The carboxyl group-containing resins of Synthesis Examples A-1 to A-3 were prepared as follows. The details are shown in Table 1 below. The components shown in the “First Reaction” column of Table 1 are added to a four-necked flask equipped with a reflux condenser, thermometer, air blowing tube and stirrer, and the mixture is stirred by air bubbling. Was prepared. While stirring this mixture in the flask under air bubbling, the mixture was heated at the reaction temperature and reaction time shown in the “Reaction Conditions” column. This prepared an intermediate solution.

続いて、フラスコ内の中間体の溶液に表1の「第二反応」欄に示す成分を投入し、エアバブリング下で攪拌しながら「反応条件(1)」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。合成例A−1については、さらに、エアバブリング下で攪拌しながら「反応条件(2)」欄に示す反応温度及び反応時間で加熱した。これにより、カルボキシル基含有樹脂の65質量%溶液を得た。カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量及び酸価は表1中に示す通りである。合成例A−1については、成分間のモル比も表1に示している。また、合成例A−1の多分散度は2.15であった。   Subsequently, the components shown in the “second reaction” column of Table 1 were added to the intermediate solution in the flask, and the reaction temperature and reaction time shown in the “reaction conditions (1)” column were stirred while air bubbling. Heated. In Synthesis Example A-1, the mixture was further heated at the reaction temperature and reaction time shown in the “Reaction Conditions (2)” column with stirring under air bubbling. This obtained a 65 mass% solution of carboxyl group-containing resin. The weight average molecular weight and acid value of the carboxyl group-containing resin are as shown in Table 1. For Synthesis Example A-1, the molar ratio between the components is also shown in Table 1. Further, the polydispersity of Synthesis Example A-1 was 2.15.

なお、表1中の(a1)及び(g1)欄に示す成分の詳細は次の通りである。
・エポキシ化合物1:式(7)で示され、式(7)中のR〜Rがすべて水素であるエポキシ当量250g/eqのビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物。
・エポキシ化合物2:ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社製、品番NC−3000−H、エポキシ当量288g/eq)。
・エポキシ化合物3:クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学株式会社製、品番YDC−700−5、エポキシ当量203g/eq)。
In addition, the detail of the component shown in the (a1) and (g1) column of Table 1 is as follows.
Epoxy compound 1: A bisphenolfluorene type epoxy compound having an epoxy equivalent of 250 g / eq represented by the formula (7) and in which R 1 to R 8 in the formula (7) are all hydrogen.
Epoxy compound 2: biphenyl novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., product number NC-3000-H, epoxy equivalent 288 g / eq).
Epoxy compound 3: Cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., product number YDC-700-5, epoxy equivalent 203 g / eq).

(2)感光性樹脂組成物の調製:
実施例1〜20及び比較例1〜5の感光性樹脂組成物は次のように調製した。後掲の表に示す成分をフラスコ内で撹拌混合することで、感光性樹脂組成物を得た(表2〜表4参照)。感光性樹脂組成物は穴径30μmのフィルターで加圧ろ過した。
(2) Preparation of photosensitive resin composition:
The photosensitive resin compositions of Examples 1-20 and Comparative Examples 1-5 were prepared as follows. A photosensitive resin composition was obtained by stirring and mixing the components shown in the table below (see Tables 2 to 4). The photosensitive resin composition was filtered under pressure with a filter having a hole diameter of 30 μm.

比較例6の感光性樹脂組成物は次のように調製した。後掲の表に示すカルボキシル基含有樹脂の65%溶液とカップリング剤とをフラスコ内で撹拌しながら、その他の成分の一部を3本ロールで混練してからフラスコに加え、次いで、その他成分の残りすべてを追加してフラスコ内で撹拌混合することで、感光性樹脂組成物を得た(表4参照)。感光性樹脂組成物は穴径30μmのフィルターで加圧ろ過した。   The photosensitive resin composition of Comparative Example 6 was prepared as follows. While stirring a 65% solution of a carboxyl group-containing resin and a coupling agent shown in the table below and a coupling agent in a flask, a part of other components are kneaded with three rolls and then added to the flask. All of the remainder was added and stirred and mixed in the flask to obtain a photosensitive resin composition (see Table 4). The photosensitive resin composition was filtered under pressure with a filter having a hole diameter of 30 μm.

表に示される成分の詳細は次の通りである。
・不飽和化合物A:トリメチロールプロパントリアクリレート。
・不飽和化合物B:ε−カプロラクトン変性ジペンタエリストールヘキサアクリレート、日本化薬株式会社製、品番KAYARAD DPCA−20。
・光重合開始剤A:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、BASF社製、品番Irgacure TPO。
・光重合開始剤B:1−ヒドロキシ-シクロヘキシル−フェニル−ケトン、BASF社製、品番Irgacure 184。
・光重合開始剤C:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン。
・結晶性エポキシ樹脂A:ビフェニル型結晶性エポキシ樹脂、三菱化学株式会社製、品番YX−4000、融点105℃、エポキシ当量187g/eq。
・結晶性エポキシ樹脂B:ビスフェノール型結晶性エポキシ樹脂、新日鉄住金化学株式会社製、品番YSLV−80XY、融点75〜85℃、エポキシ当量192g/eq。
・有機フィラーAの分散液:平均一次粒子径0.07μmのカルボキシル基を有する架橋ゴム(NBR)、JSR株式会社製、品番XER−91−MEK、架橋ゴムの含有割合15重量%のメチルエチルケトン分散液、酸価10.0mgKOH/g。
・有機フィラーBの分散液:平均一次粒子径0.07μmのカルボキシル基及び水酸基を有する架橋ゴム(SBR)、JSR株式会社製、品番XSK−500、架橋ゴムの含有割合15重量%のメチルエチルケトン分散液。
・有機フィラーC:エポキシ基含有有機フィラーパウダー:平均一次粒子径0.3μmのグリシジル変性アクリロニトリルブタジエンゴム。
・カップリング剤A:テトラエトキシシラン。
・カップリング剤B:メチルトリメトキシシラン。
・カップリング剤C:3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン。
・カップリング剤D:N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン。
・カップリング剤E:ビニルトリメトキシシラン。
・酸化防止剤:ヒンダードフェノール系酸化防止剤、BASF社製、品番IRGANOX 1010。
・着色剤: カラーインデックスPigment Blue 15:3と、カラーインデックスPigment Yellow 147とを、重量比で1:2.5の割合で合計15重量%含有する色顔料分散ワニス。
・界面活性剤:DIC製、品番メガファックF−477。
・レオロジーコントロール剤:ビッグケミー・ジャパン株式会社製、品番BYK−430。
・メラミン分散ワニス:日産化学工業株式会社製、微粉メラミンの分散ワニス。微粉メラミン1.5部、及び不飽和化合物トリメチロールプロパントリアクリレート3.5部をビーズミルにて分散。
・溶剤:メチルエチルケトン。
Details of the components shown in the table are as follows.
Unsaturated compound A: trimethylolpropane triacrylate.
Unsaturated compound B: ε-caprolactone-modified dipentaerystol hexaacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., product number KAYARAD DPCA-20.
Photopolymerization initiator A: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, manufactured by BASF, product number Irgacure TPO.
Photopolymerization initiator B: 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, manufactured by BASF, product number Irgacure 184.
Photopolymerization initiator C: 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone
Crystalline epoxy resin A: Biphenyl type crystalline epoxy resin, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, product number YX-4000, melting point 105 ° C., epoxy equivalent 187 g / eq.
Crystalline epoxy resin B: bisphenol type crystalline epoxy resin, manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., product number YSLV-80XY, melting point 75 to 85 ° C., epoxy equivalent 192 g / eq.
-Dispersion of organic filler A: cross-linked rubber (NBR) having a carboxyl group with an average primary particle size of 0.07 μm, manufactured by JSR Corporation, product number XER-91-MEK, methyl ethyl ketone dispersion with a content of 15% by weight of cross-linked rubber Acid value 10.0 mg KOH / g.
-Dispersion of organic filler B: Crosslinked rubber (SBR) having an average primary particle size of 0.07 μm, carboxyl group and hydroxyl group, manufactured by JSR Corporation, product number XSK-500, methyl ethyl ketone dispersion having a content of 15% by weight of crosslinked rubber .
Organic filler C: Epoxy group-containing organic filler powder: glycidyl-modified acrylonitrile butadiene rubber having an average primary particle size of 0.3 μm.
Coupling agent A: tetraethoxysilane.
Coupling agent B: methyltrimethoxysilane.
Coupling agent C: 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane.
Coupling agent D: N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane.
Coupling agent E: Vinyltrimethoxysilane.
Antioxidant: A hindered phenol antioxidant, manufactured by BASF, product number IRGANOX 1010.
Colorant: Color pigment dispersion varnish containing a color index Pigment Blue 15: 3 and a color index Pigment Yellow 147 in a weight ratio of 1: 2.5 in total 15% by weight.
Surfactant: manufactured by DIC, product number MegaFuck F-477.
-Rheology control agent: Product number BYK-430 manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd.
Melamine dispersed varnish: A fine melamine dispersed varnish manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd. Disperse 1.5 parts fine melamine and 3.5 parts unsaturated compound trimethylolpropane triacrylate in a bead mill.
Solvent: methyl ethyl ketone.

(3)テストピースの作製
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を用いて、次のようにしてテストピースを作製した。
(3) Preparation of test piece Using the photosensitive resin compositions of the examples and comparative examples, test pieces were prepared as follows.

感光性樹脂組成物を、ポリエチレンテレフタレート製のフィルム上にアプリケータで塗布してから、95℃で25分加熱することで乾燥させることにより、フィルム上に厚み30μmのドライフィルムを形成した。   The photosensitive resin composition was coated on a polyethylene terephthalate film with an applicator, and then dried by heating at 95 ° C. for 25 minutes to form a dry film having a thickness of 30 μm on the film.

厚み17.5μmの銅箔を備えるガラスエポキシ銅張積層板(FR−4タイプ)を用意した。このガラスエポキシ銅張積層板にサブトラクティブ法で導体配線としてライン幅/スペース幅が50μm/50μmであるくし型電極を形成し、これによりコア材を得た。このコア材の導体配線における厚み1μm程度の表層部分を、エッチング剤(メック株式会社製の有機酸系マイクロエッチング剤、品番CZ−8101)で溶解除去することにより、導体配線を粗化した。このコア材の一面全面にドライフィルムを真空ラミネーターで加熱ラミネートした。加熱ラミネートの条件は、0.5MPa、80℃、1分間である。これにより、コア材上にドライフィルムからなる膜厚30μmの皮膜を形成した。この皮膜に、ポリエチレンテレフタレート製のフィルム上から、直径60μmの円形形状を含むパターンの非露光部を有するネガマスクを直接当てがった状態で、ネガマスクを介して皮膜に250mJ/cmの条件で紫外線を照射した。なお、露光後、現像前に、ドライフィルム(皮膜)からポリエチレンテレフタレート製のフィルムを剥離した。露光後の皮膜に現像処理を施した。現像処理に当たっては、皮膜に30℃の1%NaCO水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射した。続いて皮膜に純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射することで洗浄した。これにより、皮膜における露光されていない部分を除去して、穴を形成した。続いて、皮膜に1000mJ/cmの条件で紫外線を照射した後、皮膜を180℃で60分間加熱した。これにより、コア材上に感光性樹脂組成物の硬化物(ドライフィルムの硬化物ともいえる)からなる層を形成した。これによりテストピースを得た。 A glass epoxy copper clad laminate (FR-4 type) provided with a copper foil having a thickness of 17.5 μm was prepared. A comb-shaped electrode having a line width / space width of 50 μm / 50 μm was formed as a conductor wiring on this glass epoxy copper clad laminate by a subtractive method, thereby obtaining a core material. The conductor layer was roughened by dissolving and removing a surface layer portion having a thickness of about 1 μm in the conductor wiring of the core material with an etching agent (organic acid type micro-etching agent, product number CZ-8101 manufactured by MEC Co., Ltd.). A dry film was laminated by heating with a vacuum laminator over the entire surface of the core material. The conditions for heat lamination are 0.5 MPa, 80 ° C., and 1 minute. As a result, a 30 μm-thick film made of a dry film was formed on the core material. With this film directly exposed to a negative mask having a non-exposed portion of a pattern including a circular shape with a diameter of 60 μm from a polyethylene terephthalate film, ultraviolet rays are applied to the film through the negative mask under the condition of 250 mJ / cm 2. Was irradiated. In addition, the film made from a polyethylene terephthalate was peeled from the dry film (coating) after exposure and before development. The exposed film was developed. In the development process, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was sprayed onto the film for 90 seconds at a spray pressure of 0.2 MPa. Subsequently, the film was cleaned by spraying pure water with a spray pressure of 0.2 MPa for 90 seconds. Thereby, the part which was not exposed in a film | membrane was removed, and the hole was formed. Subsequently, the film was irradiated with ultraviolet rays under the condition of 1000 mJ / cm 2 , and then the film was heated at 180 ° C. for 60 minutes. Thereby, the layer which consists of hardened | cured material of the photosensitive resin composition (it can also be said to be hardened | cured material of a dry film) was formed on the core material. As a result, a test piece was obtained.

(4)評価試験
(4−1)分散性
各実施例及び比較例について、感光性樹脂組成物の粒度分布をマイクロトラック・ベル株式会社製のMT3300EXIIで計測し、その結果を次のように評価した。
A:粒度分布測定により、最大粒子径が0.5μm以下であった。
B:粒度分布測定により、最大粒子径が0.5μmより大きく、1.0μm以下であった。
C:粒度分布測定により、最大粒子径が1.0μmより大きく、20μm以下であった。
D:粒度分布測定により、最大粒子径が20μmより大きかった。
(4) Evaluation test (4-1) Dispersibility For each example and comparative example, the particle size distribution of the photosensitive resin composition was measured with MT3300EXII manufactured by Microtrack Bell Co., Ltd., and the results were evaluated as follows. did.
A: The maximum particle size was 0.5 μm or less by particle size distribution measurement.
B: The maximum particle size was larger than 0.5 μm and 1.0 μm or less by particle size distribution measurement.
C: The maximum particle size was larger than 1.0 μm and 20 μm or less by particle size distribution measurement.
D: The maximum particle size was larger than 20 μm by particle size distribution measurement.

ただし、実施例17〜19は着色剤及びメラミンの影響を受けるため、表3の実施例17〜19の組成において着色剤及びメラミン分散ワニスを配合しない組成物を調製し、その組成物を実施例17〜19の評価として粒度分布を計測した。   However, since Examples 17 to 19 are affected by the colorant and melamine, a composition in which the colorant and the melamine dispersion varnish are not blended in the compositions of Examples 17 to 19 in Table 3 is prepared. The particle size distribution was measured as an evaluation of 17-19.

(4−2)安定性
各実施例及び比較例について、感光性樹脂組成物を冷蔵庫(4℃)に1週間保存した後、感光性樹脂組成物を観察し、その結果を次のように評価した。
A:感光性樹脂組成物中の成分の分離は生じておらず、均一な状態を保っていた。
B:感光性樹脂組成物に若干の濁りが見られたが、沈殿物は見られなかった。
C:感光性樹脂組成物中の成分に分離が生じ、沈殿物が見られた。
(4-2) Stability About each Example and a comparative example, after storing the photosensitive resin composition in a refrigerator (4 degreeC) for 1 week, the photosensitive resin composition was observed, and the result was evaluated as follows. did.
A: Separation of components in the photosensitive resin composition did not occur, and a uniform state was maintained.
B: Some turbidity was seen in the photosensitive resin composition, but no precipitate was seen.
C: Separation occurred in the components in the photosensitive resin composition, and precipitates were observed.

(4−3)塗膜均一性
各実施例及び比較例について、フィルム上に形成した厚み30μmのドライフィルムを観察し、その結果を次のように評価した。
A:凝集物及びボイド(泡)は観察されず、表面状態は均一であった。
B:凝集物及び/又はボイド(泡)が若干観察された。
C:凝集物及び/又はボイド(泡)が多く観察され、表面状態は均一でなかった、あるいは、均一な膜厚が得られなかった。
(4-3) Uniformity of coating film For each example and comparative example, a dry film having a thickness of 30 μm formed on the film was observed, and the result was evaluated as follows.
A: Aggregates and voids (bubbles) were not observed, and the surface state was uniform.
B: Some aggregates and / or voids (bubbles) were observed.
C: Many aggregates and / or voids (bubbles) were observed, and the surface state was not uniform, or a uniform film thickness was not obtained.

(4−4)現像性
各実施例及び比較例について、プリント配線板の一面全面に感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布することで、湿潤塗膜を形成した。この湿潤塗膜を80℃で40分又は60分加熱することで、厚み25μmの皮膜を形成した。この皮膜に、露光することなく現像処理を施した。現像処理に当たっては、皮膜に30℃の1%NaCO水溶液を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射してから、純水を0.2MPaの噴射圧で90秒間噴射した。処理後のプリント配線板を観察し、その結果を次のように評価した。
A:湿潤塗膜の加熱時間が40分、60分のいずれの場合でも、皮膜が全て除去されている。
B:湿潤塗膜の加熱時間が40分である場合には皮膜が全て除去されたが、60分では皮膜の一部がプリント配線板上に残存した。
C:湿潤塗膜の加熱時間が40分、60分のいずれの場合でも、皮膜の一部がプリント配線板上に残存した。
(4-4) Developability About each Example and the comparative example, the wet paint film was formed by apply | coating the photosensitive resin composition to the whole surface of the printed wiring board by the spin coat method. This wet coating film was heated at 80 ° C. for 40 minutes or 60 minutes to form a film having a thickness of 25 μm. This film was developed without exposure. In the development process, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was jetted for 90 seconds at a jet pressure of 0.2 MPa, and then pure water was jetted for 90 seconds at a jet pressure of 0.2 MPa. The printed wiring board after the treatment was observed, and the result was evaluated as follows.
A: The film was completely removed regardless of whether the heating time of the wet coating film was 40 minutes or 60 minutes.
B: When the heating time of the wet coating film was 40 minutes, all the coating film was removed, but at 60 minutes, a part of the coating film remained on the printed wiring board.
C: A part of the film remained on the printed wiring board regardless of whether the heating time of the wet coating film was 40 minutes or 60 minutes.

(4−5)解像性
各実施例及び比較例について、テストピースにおける硬化物からなる層に形成された穴を観察し、その結果を次のように評価した。
A:穴の底の直径が53μm以上である。
B:穴の底の直径が50μm以上53μm未満である。
C:穴の底の直径が40μm以上50μm未満である。
D:穴の底の直径が40μm未満である、あるいは、明確な穴が形成されない。
(4-5) Resolution About each Example and the comparative example, the hole formed in the layer which consists of hardened | cured material in a test piece was observed, and the result was evaluated as follows.
A: The diameter of the bottom of the hole is 53 μm or more.
B: The diameter of the bottom of the hole is 50 μm or more and less than 53 μm.
C: The diameter of the bottom of the hole is 40 μm or more and less than 50 μm.
D: The diameter of the bottom of the hole is less than 40 μm, or no clear hole is formed.

(4−6)耐メッキ性
各実施例及び比較例のテストピースの導体配線における外部に露出する部分の上に、市販の無電解ニッケルメッキ浴を用いてニッケルメッキ層を形成してから、市販の無電解金メッキ浴を用いて金メッキ層を形成した。これにより、ニッケルメッキ層及び金メッキ層からなる金属層を形成した。硬化物からなる層及び金属層を目視で観察した。また、硬化物からなる層に対してセロハン粘着テープ剥離試験をおこなった。その結果を次のように評価した。
A:硬化物からなる層及び金属層の外観に異常は認められず、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離は生じなかった。
B:硬化物からなる層に変色が認められるが、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離は生じなかった。
C:硬化物からなる層の浮き上がりが認められ、セロハン粘着テープ剥離試験による硬化物からなる層の剥離が生じた。
(4-6) Plating resistance After a nickel plating layer is formed using a commercially available electroless nickel plating bath on the portion of the conductor wiring of the test piece of each example and comparative example that is exposed to the outside, it is commercially available. A gold plating layer was formed using an electroless gold plating bath. This formed the metal layer which consists of a nickel plating layer and a gold plating layer. The layer and metal layer which consisted of hardened | cured material were observed visually. Moreover, the cellophane adhesive tape peeling test was done with respect to the layer which consists of hardened | cured material. The results were evaluated as follows.
A: No abnormality was observed in the appearance of the layer made of the cured product and the metal layer, and peeling of the layer made of the cured product by the cellophane adhesive tape peeling test did not occur.
B: Although discoloration was recognized in the layer which consists of hardened | cured materials, peeling of the layer which consists of hardened | cured materials by the cellophane adhesive tape peeling test did not arise.
C: Lifting of the layer made of the cured product was observed, and peeling of the layer made of the cured product by the cellophane adhesive tape peeling test occurred.

(4−7)線間絶縁性
各実施例及び比較例のテストピースにおける導体配線(くし型電極)にDC30Vのバイアス電圧を印加しながら、テストピースを121℃、97%R.H.の試験環境下に120時間曝露した。この試験環境下における硬化物からなる層のくし型電極間の電気抵抗値を常時測定し、その結果を次の評価基準により評価した。
A:試験開始時から120時間経過するまでの間、電気抵抗値が常に10Ω以上を維持した。
B:試験開始時から100時間経過するまでは電気抵抗値が常に10Ω以上を維持したが、試験開始時から120時間経過する前に電気抵抗値が10Ω未満となった。
C:試験開始時から80時間経過するまでは電気抵抗値が常に10Ω以上を維持したが、試験開始時から100時間経過する前に電気抵抗値が10Ω未満となった。
D:試験開始時から80時間経過する前に電気抵抗値が10Ω未満となった。
(4-7) Insulation between lines While applying a bias voltage of DC 30 V to the conductor wiring (comb electrode) in the test pieces of each Example and Comparative Example, the test piece was 121 ° C. and 97% R.D. H. The test environment was exposed for 120 hours. The electrical resistance value between the comb-type electrodes of the cured product layer in this test environment was constantly measured, and the result was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: The electric resistance value was constantly maintained at 10 6 Ω or more until 120 hours passed from the start of the test.
B: The electric resistance value was constantly maintained at 10 6 Ω or more until 100 hours passed from the start of the test, but the electric resistance value became less than 10 6 Ω before 120 hours passed from the start of the test.
C: The electric resistance value was always maintained at 10 6 Ω or more until 80 hours passed from the start of the test, but the electric resistance value became less than 10 6 Ω before 100 hours passed from the start of the test.
D: The electric resistance value was less than 10 6 Ω before 80 hours passed from the start of the test.

(4−8)層間絶縁性
各実施例及び比較例のテストピースにおける硬化物からなる層の上に導電テープを貼り付けた。この導電テープにDC100Vのバイアス電圧を印加しながら、テストピースを121℃、97%R.H.の試験環境下に60時間曝露した。この試験環境下における硬化物からなる層の導体配線と導電テープとの間の電気抵抗値を常時測定し、その結果を次の評価基準により評価した。
A:試験開始時から60時間経過するまでの間、電気抵抗値が常に10Ω以上を維持した。
B:試験開始時から45時間経過するまでは電気抵抗値が常に10Ω以上を維持したが、試験開始時から60時間経過する前に電気抵抗値が10Ω未満となった。
C:試験開始時から45時間経過する前に電気抵抗値が10Ω未満となった。
(4-8) Interlayer insulation The conductive tape was stuck on the layer which consists of hardened | cured material in the test piece of each Example and a comparative example. While applying a bias voltage of DC 100 V to the conductive tape, the test piece was placed at 121 ° C. and 97% R.D. H. The test environment was exposed for 60 hours. The electrical resistance value between the conductive wiring of the layer made of the cured product and the conductive tape in this test environment was constantly measured, and the result was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: The electric resistance value was constantly maintained at 10 6 Ω or more until 60 hours passed from the start of the test.
B: The electric resistance value was always maintained at 10 6 Ω or more until 45 hours passed from the start of the test, but the electric resistance value became less than 10 6 Ω before 60 hours passed from the start of the test.
C: The electrical resistance value was less than 10 6 Ω before 45 hours passed from the start of the test.

(4−9)PCT
各実施例及び比較例のテストピースを121℃、100%R.H.の環境下で100時間放置した後、硬化物からなる層の外観を次の評価基準により評価した。
A:硬化物からなる層に異常は見られなかった。
B:硬化物からなる層に変色が見られた。
C:硬化物からなる層に大きな変色が見られ、一部膨れが発生していた。
(4-9) PCT
The test piece of each Example and Comparative Example was 121 ° C., 100% R.D. H. After being allowed to stand for 100 hours in this environment, the appearance of the layer made of the cured product was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: No abnormality was found in the layer made of the cured product.
B: Discoloration was observed in the layer made of the cured product.
C: A large discoloration was observed in the layer made of the cured product, and partial swelling occurred.

(4−10)冷熱サイクル耐性
各実施例及び比較例のテストピースを温度変化させ、−65℃で10分(低温条件)と、150℃で10分(高温条件)とを経たもの1サイクルとして、750サイクル及び1000サイクルの温度サイクル試験を行った。その後、硬化物からなる層の外観を次の評価基準により評価した。
A:1000サイクルでクラックが見られなかった。
B:750サイクルでクラックが見られないが、1000サイクルでクラックが見られた。
C:750サイクルでクラックが見られた。
(4-10) Cooling cycle resistance The test piece of each Example and Comparative Example was changed in temperature, and passed through -65 ° C for 10 minutes (low temperature condition) and 150 ° C for 10 minutes (high temperature condition) as one cycle. , 750 cycle and 1000 cycle temperature cycle tests were conducted. Then, the external appearance of the layer which consists of hardened | cured material was evaluated by the following evaluation criteria.
A: No crack was observed after 1000 cycles.
B: Cracks were not observed at 750 cycles, but cracks were observed at 1000 cycles.
C: Cracks were observed at 750 cycles.

以上の評価試験の結果を下記表2〜表4に示す。   The results of the above evaluation tests are shown in Tables 2 to 4 below.

Figure 2017161659
Figure 2017161659

Figure 2017161659
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Figure 2017161659
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Claims (14)

カルボキシル基含有樹脂(A)と、
エチレン性不飽和結合を一分子中に少なくとも一つ有する不飽和化合物(B)と、
光重合開始剤(C)と、
エポキシ化合物(D)と、
有機フィラー(E)と、
カップリング剤(F)と、を含有し、
前記有機フィラー(E)は、平均一次粒子径が1μm以下のカルボキシル基を有する有機フィラー(E1)を含み、
前記カップリング剤(F)は、ケイ素原子、アルミニウム原子、チタン原子、及びジルコニア原子から選ばれる原子を含有し、さらにアルコキシ基、アシルオキシ基及びアルコキシドから選ばれる官能基を二つ以上含有するカップリング剤(F1)を含む、
感光性樹脂組成物。
A carboxyl group-containing resin (A);
An unsaturated compound (B) having at least one ethylenically unsaturated bond in one molecule;
A photopolymerization initiator (C);
An epoxy compound (D);
An organic filler (E);
A coupling agent (F),
The organic filler (E) includes an organic filler (E1) having a carboxyl group with an average primary particle size of 1 μm or less,
The coupling agent (F) contains an atom selected from a silicon atom, an aluminum atom, a titanium atom, and a zirconia atom, and further contains two or more functional groups selected from an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkoxide. Containing agent (F1),
Photosensitive resin composition.
前記有機フィラー(E1)が、1μm以下の粒子径で分散されている、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 1 in which the said organic filler (E1) is disperse | distributed with the particle diameter of 1 micrometer or less. 前記カップリング剤(F1)が、ケイ素原子を含有する、請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 1 or 2 in which the said coupling agent (F1) contains a silicon atom. 前記カップリング剤(F1)が、さらに、アミノ基、エポキシ基、ビニル基、メタクリル基、メルカプト基、イソシアネート基、及びスルフィド基から選ばれる少なくとも一つの官能基を含有する、請求項3に記載の感光性樹脂組成物。   The coupling agent (F1) according to claim 3, further comprising at least one functional group selected from an amino group, an epoxy group, a vinyl group, a methacryl group, a mercapto group, an isocyanate group, and a sulfide group. Photosensitive resin composition. 前記有機フィラー(E1)の含有量が、前記カルボキシル基含有樹脂(A)の含有量を100質量部としたときに、1〜40質量部の範囲内である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The content of the organic filler (E1) is in the range of 1 to 40 parts by mass when the content of the carboxyl group-containing resin (A) is 100 parts by mass. The photosensitive resin composition of one term. 前記カルボキシル基含有樹脂(A)が、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂を含む、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1 thru | or 5 in which the said carboxyl group-containing resin (A) contains the carboxyl group-containing resin which has an ethylenically unsaturated group. 前記カップリング剤(F1)の含有量が、前記有機フィラー(E1)の含有量を100質量部としたときに、0.01〜7質量部の範囲内である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The content of the coupling agent (F1) is in the range of 0.01 to 7 parts by mass, when the content of the organic filler (E1) is 100 parts by mass. A photosensitive resin composition according to claim 1. 前記有機フィラー(E1)の平均一次粒子径が0.1μm以下であり、前記有機フィラー(E1)が0.5μm以下の粒子径で分散されている、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The average primary particle diameter of the organic filler (E1) is 0.1 μm or less, and the organic filler (E1) is dispersed with a particle diameter of 0.5 μm or less. The photosensitive resin composition as described. 前記有機フィラー(E1)が、ゴム成分を含む、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1 thru | or 8 in which the said organic filler (E1) contains a rubber component. 前記ゴム成分が、架橋アクリルゴム、架橋NBR、架橋MBS及び架橋SBRから選ばれる少なくとも1つの重合体を含む、請求項9に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 9 in which the said rubber component contains at least 1 polymer chosen from crosslinked acrylic rubber, crosslinked NBR, crosslinked MBS, and crosslinked SBR. 前記カルボキシル基含有樹脂(A)が、ビスフェノールフルオレン骨格を有するカルボキシル基含有樹脂を含む、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 10, wherein the carboxyl group-containing resin (A) includes a carboxyl group-containing resin having a bisphenolfluorene skeleton. 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を含有する、ドライフィルム。   The dry film containing the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1 thru | or 11. 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む層間絶縁層を備える、プリント配線板。   A printed wiring board provided with the interlayer insulation layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1 thru | or 11. 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含むソルダーレジスト層を備える、プリント配線板。   A printed wiring board provided with the soldering resist layer containing the hardened | cured material of the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1 thru | or 11.
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