JP2017154199A - 振動加工装置及び振動加工方法 - Google Patents

Abstract

【課題】加工プロセスを精度良く簡便に監視可能である振動加工装置等を提供する。【解決手段】振動加工装置としての振動切削装置１は、ワークＷに対する相対的な振動を工具３に付与する振動装置２と、振動装置２の状態に関するパラメータを把握可能である制御手段を備えており、パラメータは、前記振動に係る消費エネルギー、及び共振周波数ｆであり、制御手段は、前記パラメータの変化であるパラメータ変化に基づいて、ワークＷに係る加工プロセスの監視を行う。【選択図】図１

Description

本発明は、工具を振動させながらワーク（被削材）を加工する振動加工装置及び振動加工方法に関する。

近年、様々なワークに対する極めて精密な加工の実現が求められており、かような要求に応え得るものとして、工具刃先がワークに対して超音波領域の周波数で楕円振動（円振動を含む、以下同様）している状態で加工する、超音波楕円振動切削装置が提案されている（下記特許文献１参照）。
この装置では、工具の摩耗を抑制する効果や、加工力を低減する効果が確認されていることから、この装置は、極めて鋭利な工具を用いた微細加工や精密加工、超精密加工に利用される。

特許第５１０３６２０号公報

かような超音波楕円振動切削装置では、微細加工や精密加工、超精密加工のため、加工空間を遮蔽してワークにミスト状の切削油剤をかけ続ける。よって、作業者がワークや加工空間を視認して加工プロセスを監視することは困難である。
そして、この装置における加工プロセスの監視については、特許文献１では特に開示されていない。
この装置において加工プロセスの監視がなされない場合、加工プロセスにおいて異常が発生しても、加工中に認識することが困難であり、加工完了後に異常が把握されることになる。
例えば、金型を数日かけて超精密加工する場合において、加工開始時に工具の鋭利な刃先に欠損が生じても、作業者には刃先欠損異常を知る手段が無く、数日後の加工完了時に初めて刃先欠損による加工不良が把握される。
かように、この装置において加工プロセスの監視がなされない場合、加工中に異常が把握されないので、発生時に異常に対処することができず、異常発生後の加工プロセスの分、設備やエネルギーが無駄になってしまう。

そこで、この装置において加工プロセスを監視して異常の発生を検知する具体的な技術が望まれる。
例えば、切削装置の制御手段が装置全体の駆動モータの電流を監視して、電流が規定値を超えたことを把握すると、異常の発生を報知するようなものが考えられる。
しかし、大きな機械を動かす駆動モータの電流は、刃先欠損等の異常において実際にはさほど変化せず、異常の発生を検知しようとしても、誤検知が増えてしまうか、異常発生時の不検知が増えてしまうことになる。特に、微細加工や精密加工では、ほとんど駆動モータの電流は変化しない。
又、工具の振動装置に配置されたセンサで変位を検知し、制御手段が変位を監視して、規定値以上の変位となると異常の発生を報知するようなものが考えられる。
しかし、超音波領域の周波数で工具を振動させる振動装置における変位が精度良く把握可能であるセンサは極めて高価である。又、振動装置に対してセンサが配置されることで、限られた工具周辺の空間の一部をセンサが消費してしまうことになるし、振動装置の振動状態についてセンサを考慮した調整が必要となり煩わしい。

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、加工プロセスを精度良く簡便に監視可能である振動加工装置、振動加工方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、振動加工装置であって、ワークに対する相対的な振動を工具に付与する振動装置と、前記振動装置の状態に関するパラメータを把握可能である制御手段を備えており、前記パラメータは、前記振動に係る消費エネルギー、及び共振周波数の少なくとも何れかであり、前記制御手段は、前記パラメータの変化であるパラメータ変化に基づいて、前記ワークに係る加工プロセスの監視を行うことを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、上記発明において、前記パラメータ変化は、非加工時の前記パラメータと加工時の前記パラメータに係る変化であることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、上記発明において、前記制御手段は、前記加工プロセスの監視として、前記工具の摩耗の監視を行うことを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明は、上記発明において、前記加工プロセスに関する情報を報知する報知手段が設けられており、前記制御手段は、前記加工プロセスの監視として、前記報知手段における前記情報の報知を指令することを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明は、上記発明において、前記制御手段は、前記パラメータ変化が所定程度以上となると、前記加工プロセスの監視を行うことを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明は、上記発明において、前記消費エネルギーは、消費電力であることを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明は、上記発明において、前記振動は、楕円振動であることを特徴とするものである。

上記目的を達成するために、請求項８に記載の発明は、振動加工方法であって、ワークに対する相対的な振動を工具に付与する振動装置によって、前記工具を振動させながら前記ワークを加工している間、制御手段において、前記振動に係るパラメータとして消費エネルギー及び共振周波数の少なくとも何れかを把握し、前記制御手段が、前記パラメータの変化であるパラメータ変化に基づいて、前記ワークに係る加工プロセスの監視を行うことを特徴とするものである。
請求項９に記載の発明は、上記発明において、前記パラメータ変化は、非加工時の前記パラメータと加工時の前記パラメータに係る変化であることを特徴とするものである。
請求項１０に記載の発明は、上記発明において、前記制御手段は、前記加工プロセスの監視として、前記工具の摩耗の監視を行うことを特徴とするものである。
請求項１１に記載の発明は、上記発明において、前記加工プロセスに関する情報を報知する報知手段が設けられており、前記制御手段は、前記加工プロセスの監視として、前記報知手段における前記情報の報知を指令することを特徴とするものである。
請求項１２に記載の発明は、上記発明において、前記制御手段は、前記パラメータ変化が所定程度以上となると、前記加工プロセスの監視を行うことを特徴とするものである。
請求項１３に記載の発明は、上記発明において、前記消費エネルギーは、消費電力であることを特徴とするものである。
請求項１４に記載の発明は、上記発明において、前記振動は、楕円振動であることを特徴とするものである。

本発明によれば、加工プロセスを精度良く簡便に監視可能である振動加工装置及び振動加工方法を提供することができる。

本発明の実施形態に係る振動切削装置の模式的な斜視図である。 図１の振動切削装置に係る振動装置及び制御手段のブロック図である。 （ａ）〜（ｄ）は図１の振動切削装置による切削（振動一周期程度の極短時間に亘る微視的なもの）の模式図である。 図３の切削のうち（ａ）バニシングプロセス，（ｂ）材料除去プロセスに係る拡大模式図である。 図１の振動切削装置における工具とワークの間の力を示す模式図である。 本発明の実施例に係る振動切削装置の工具における楕円振動の軌跡を示すグラフである。 図６の振動切削装置における２種類の工具の刃先形状に関するグラフである。 図６の振動切削装置における切削力に係るグラフである。 図６の振動切削装置における縦振動の電力変化量に係るグラフである。 図６の振動切削装置におけるたわみ振動の電力変化量に係るグラフである。 図６の振動切削装置における縦振動の共振周波数変化量に係るグラフである。

以下、本発明に係る実施の形態が、適宜図面に基づいて説明される。尚、本発明は、下記の実施の形態に限定されない。

≪全体構成等≫
図１は、本発明に係る振動加工装置の一例である振動切削装置１の模式的な斜視図である。
振動切削装置１は、振動装置２と、振動装置２に取り付けられる工具３を備えている。
振動装置２は、図２に示されるように、第１の圧電素子４ｌ（図２中「圧電素子（ｌ）」）と、第２の圧電素子４ｂ（図２中「圧電素子（ｂ）」）を備えており、これら圧電素子４ｌ，４ｂの駆動により、工具３に楕円振動を付与し、工具３の刃先（先端）を楕円振動させることが可能である。
圧電素子４ｌは、複数の圧電素子部を含んでも良いし、単独の圧電素子のみを含んでも良い。これは、圧電素子４ｂについても同様である。

又、振動切削装置１は、ワークＷを図中のＸ軸の両方向に移動可能な状態で載せるＸ軸送り機構１０と、振動装置２と接続されており振動装置２を図中のＹ軸の両方向に移動可能であるＹ軸送り機構１１と、Ｙ軸送り機構１１と接続されており振動装置２を図中のＺ軸の両方向に移動可能であるＺ軸送り機構１２を備えている。
ここでは、図１の紙面手前側をＸ軸の正の側として奥側を負の側とし、図１の右側をＹ軸の正の側として左側を負の側とし、図１の下側をＺ軸の正の側として上を負の側とする。
尚、各軸の設定は一例であり、正負を変えたり他の位置に移動したりする等、他の設定がなされても良い。又、各送り機構は、工具３がワークＷに対して相対的に移動可能であれば、どのような配置であっても良い。更に、工具３とワークＷの相対位置も、図１以外のものに変更されて良い。
更に、振動切削装置１は、Ｙ軸送り機構１１を支持する柱１３，１３と、柱１３，１３やＸ軸送り機構１０を支持するベース１４を備えている。

≪振動装置等≫
振動装置２は、ワークＷの上方に配置されており、ワークＷに向かう方向即ちＺ軸方向に延びている。工具３は、Ｚ軸方向に延びる状態で取り付けられ、Ｚ軸方向（下方向）がワークＷに対する切込み方向となる。
又、振動切削装置１では、Ｙ軸正方向が主たる切削方向とされる。即ち、振動切削装置１では、工具３についてＸ軸方向の位置を固定し、ワークＷをＹ軸正方向に送って工具３を相対的にワークＷにＹ軸負方向で近づけながら、Ｚ軸正方向に切り込むように切削され、かような切削が順次Ｘ軸方向の位置を変更されて繰り返される。

圧電素子４ｌは、その駆動により、振動装置２の下部について主にＺ軸方向で振動させ、振動装置２に取り付けられた工具３を、主にＺ軸方向（切込み方向）で振動させるものである。以下、Ｚ軸方向の振動は、縦振動と呼称されることがある。又、縦振動に関する記号には、適宜付属文字「ｌ」を用いる（ｌｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌ）。
圧電素子４ｂは、その駆動により、振動装置２の下部について主にＹ軸方向で往復するようにたわませて、振動装置２に取り付けられた工具３を、主にＹ軸方向（切削方向）で振動させるものである。以下、Ｙ軸方向の振動（横振動）は、たわみ振動と呼称されることがある。又、たわみ振動に関する記号には、適宜付属文字「ｂ」を用いる（ｂｅｎｄｉｎｇ）。
縦振動の周波数やたわみ振動の周波数は、特に限定されないが、好ましくは１００００Ｈｚ（ヘルツ）以上であり、より好ましくは超音波領域以上である。超音波領域の周波数としては、概ね、１６０００Ｈｚ以上とされても良いし、２００００Ｈｚ以上とされても良い。超音波領域の周波数における振動は、超音波振動と適宜呼称される。

≪制御手段等≫
加えて、振動切削装置１は、図２に示されるような、振動装置２等を制御する制御手段２０を備えている。
制御手段２０は、圧電素子４ｌ，４ｂに対して印加する周期的な電圧を発生する電圧制御発振部２１を備えている。電圧制御発振部２１は、制御部２２により制御され、縦振動の共振周波数ｆと、制御部２２の指令に係る位相θに従う電圧を発生する。共振周波数ｆは、振動装置２の形状や重量分布により定まり、切削負荷や振動装置２の温度変化等によって僅かに変化する。
電圧制御発振部２１が発生した電圧は、第１のアンプ２３ｌにより増幅されて、圧電素子４ｌに対し、共振周波数ｆ，位相θに従う電圧Ｖ_ｌ（ｆ，θ）として印加される。圧電素子４ｌは、かような電圧の印加により駆動され、振動装置２における縦振動を発生する。
又、電圧制御発振部２１が発生した電圧は、位相シフト部２４を介して第２のアンプ２３ｂにより増幅されて、圧電素子４ｂに対し、共振周波数ｆ，位相θ＋φに従う電圧Ｖ_ｂ（ｆ，θ＋φ）として印加される。圧電素子４ｂは、かような電圧の印加により駆動され、振動装置２におけるたわみ振動を発生する。アンプ２３ｌ，２３ｂは、例えばスイッチングアンプである。
位相シフト部２４は、電圧制御発振部２１が発生した電圧の位相を、θからθ＋φにずらす。位相シフト部２４が無い場合には電圧Ｖ_ｌ，Ｖ_ｂの位相差がなくなり、縦振動とたわみ振動の位相差が無くなって直線的な振動軌跡となるところ、制御手段２０では位相シフト部２４が設けられて電圧Ｖ_ｌ，Ｖ_ｂについて位相差を付与可能であり、その位相差によって楕円状の振動軌跡が描かれる。位相差の大きさ（φ）が可変であれば、振動軌跡も可変となる。又一般には、電圧に対する振動の位相遅れが縦振動とたわみ振動で若干異なるため、この位相シフト部２４は、縦振動の位相遅れとたわみ振動の位相遅れの差の調整を行う役割も担っている。
振動装置２は、縦振動とたわみ振動における節（最も振動が小さくなる部分）の位置が１箇所以上、好ましくは２箇所以上において一致するように形成される。振動装置２は、一致する節の位置において支持される。
縦振動は、振動装置２における山（振幅の大きい部分）の出現数に応じて次数が定められる。例えば、縦振動の山が工具側端部と中央部と反対側端部の３箇所にあれば、２次の縦振動である。たわみ振動においても、概ね同様に次数が定められ、例えばたわみ振動の山が３箇所にあれば１次のたわみ振動である。振動切削装置１では、望ましくは、２つの振動の共振周波数が概ね一致するように設計されるが、負荷等によって一致しなくなるため、加工精度の向上にとって比較的に重要である縦振動の共振周波数ｆを追尾し、縦振動の共振周波数ｆに基づいて制御される。尚、たわみ振動の共振周波数が用いられても良いし、双方の共振周波数の平均値が追尾されるようにしても良い。
振動装置２は、例えば工具３に近づくにつれて細くなるテーパ形状を有するように形成され、テーパ形状の種類としては、コニカルホーン形状や、エクスポネンシャルホーン形状、ステップホーン形状が例示される。

更に、制御手段２０は、圧電素子４ｌと接続された位相検出部２６を備えている。
位相検出部２６は、圧電素子４ｌに流れる電流Ｉ_ｌの位相θ’を検出可能である。圧電素子４ｌの電流Ｉ_ｌは、振動装置２の周波数ｆと、圧電素子４ｌにおける実際の位相θ’の関数Ｉ_ｌ（ｆ，θ’）となっている。又、位相検出部２６は、位相θ’について、アンプ２４の電圧Ｖ_ｌ（ｆ，θ）の位相θと比較し、それらの差Δθ（＝θ’−θ）が算出される。共振周波数（電気的には反共振周波数）の近傍では、電圧Ｖ_ｌと電流Ｉ_ｌの位相差がゼロになる特性があり、この実施形態では、この特性を利用し、位相差Δθをゼロに近づけるように周波数ｆを操作するフィードバック制御によって、共振周波数の追尾が行われる。具体的には、制御部２２が概ね既知の共振周波数ｆに係る交流電圧の発振を電圧制御発振部２１に指令し、アンプ２３ｌを介して圧電素子４ｌに電圧が印加される。実際の共振周波数は、様々な要因（例えば切削の負荷や振動の継続による振動装置２の発熱等）により変化するため、電圧の位相θと電流の位相θ’の位相差Δθも変化する。
そこで、位相検出部２６では、測定された位相差Δθと、指令データＤで示されるところの目標とする位相差（ここではゼロ）が比較され、その差（誤差）が制御部２２に伝達される。制御部２２は、位相差Δθが０°となるように、電圧制御発振部２１を操作して発振周波数ｆを変更し、共振周波数ｆを追尾する。
かように、制御手段２０は、振動装置２において大きな振幅を保つため、位相固定ループ（Ｐｈａｓｅ Ｌｏｃｋ Ｌｏｏｐ；ＰＬＬ）を有して、縦振動の共振周波数ｆ（たわみ振動の共振周波数もその近くにある）を追う。

加えて、制御手段２０は、監視部２７を備えている。
監視部２７には、追尾している共振周波数ｆに対応する電圧が入力されており、縦振動の共振周波数を把握可能である。更に、電圧Ｖ_ｌ（ｆ，θ）と電流Ｉ_ｌ（ｆ，θ’）も入力されており、これらの積（Ｖ_ｌ×Ｉ_ｌ）から縦振動で消費される消費エネルギーとしての電力Ｐ_ｌを算出可能である。尚、電圧Ｖ_ｌと電流Ｉ_ｌは、周期的に変化しているから、これらの積の（少なくとも一周期に亘る）積分を積分時間で除した平均値（離散的には積算を積算数で除した平均値）が、電力即ち消費エネルギーとなる。又、実用上は、アンプの特性や切削負荷等により、電圧Ｖ_ｂ，Ｖ_ｌ及び電流Ｉ_ｂ，Ｉ_ｌは完全な正弦波にはならず、それらの振幅値やピーク値を用いるのは不正確である。このため正確性を増すために、電力Ｐ_ｌは複数の整数周期分の電圧Ｖ_ｌと電流Ｉ_ｌの積分をその積分時間で除した平均値（離散的には積算を積算数で除した平均値）により算出される。
次の数１に、時間ｔにおける瞬間電圧Ｖ_ｌ（ｔ）と瞬間電流Ｉ_ｌ（ｔ）を用いて電力（消費エネルギー）Ｐ_ｌを算出する式が示される。連続時間では、電力Ｐ_ｌは積分に係る数１で表される。ここで、Ｔは振動の周期であって周波数ｆの逆数であり、ｍは１以上の整数であり、ｔ＝０を積分開始時間としている。

デジタル計測の場合に、数１を離散化すると、次の数２となる。ここで、ｎは積算回数、Δｔはサンプリング間隔であり、ｎΔｔが正確に整数周期になるようにｎが選ばれることが好ましい。

同様に、監視部２７には、電圧Ｖ_ｂ（ｆ，θ）と電流Ｉ_ｂ（ｆ，θ”）も入力されている。ここでθ”は、圧電素子４ｂの実際の位相である。監視部２７は、時間ｔにおける瞬間電圧Ｖ_ｂ（ｔ）と瞬間電流Ｉ_ｂ（ｔ）を把握可能であり、これらの積（Ｖ_ｂ×Ｉ_ｂ）からたわみ振動で消費される電力Ｐ_ｂを算出可能である。
電力Ｐ_ｂを算出する式は、上述と同様に次の数３，数４によって表される。
尚、これらの電力は、デジタル計測結果を用いて直接算出されても良いし、近似的に、瞬間電流と瞬間電圧の乗算とその結果の平均化を行うアナログ電気回路を用いることで算出されても良い。
又、これらの消費エネルギー（消費電力）は、所定時間内において消費されるエネルギー（電力）であるから、消費エネルギー率（消費電力率）と捉えることも可能である。

更に、監視部２７は、工具３によってワークＷを加工している加工時（負荷印加時）と、工具３によってワークＷが加工されていない非加工時（無負荷時）とで、内部パラメータ（パラメータ）としての電力Ｐ_ｌ，Ｐ_ｂ、及び共振周波数ｆを把握可能である。
又、制御部２２は、加工時の内部パラメータと非加工時の内部パラメータに係る変化である内部パラメータ変化（パラメータ変化）を算出可能である。内部パラメータ変化の例としては、加工時の共振周波数ｆと非加工時の共振周波数ｆの差が挙げられる。
尚、制御手段２０は、電圧制御発振部２１の制御（ＰＬＬ）においては、電流Ｉ_ｂや位相θ”は用いないが、これらのうちの少なくとも何れかをＰＬＬで用いるようにしても良い。又、制御手段２０は、ＰＬＬや他の制御において、電圧Ｖ_ｌ，Ｖ_ｂや、電流Ｉ_ｌ，Ｉ_ｂ、電力Ｐ_ｌ，Ｐ_ｂあるいは位相θ，θ’，θ”のうちの少なくとも何れかを用いなくても良い。

更に、制御手段２０には、各種の情報の入力を受け付けて監視部２７に伝える入力手段２８が接続されている。入力手段２８は、どのようなものでも良く、例えばボタンやキーボード、ポインティングデバイス、切削装置の制御部から切削運動中（例えばＧＯ１命令指令中）であるか否かの情報を伝える電気的な接続口、あるいはこれらの組合せであっても良い。
又、監視部２７には、監視部２７の指令に基づいて各種の情報を報知する報知手段２９が接続されている。報知手段２９は、どのようなものでも良く、例えばブザーやランプやこれらの組合せであっても良いが、好ましくはディスプレイ（モニタ）である。
入力手段２８や報知手段２９の少なくとも一方は、省略されても良い。

≪加工プロセス等≫
図３，図４において、振動装置２によって楕円振動される工具３がワークＷを切削する様子（振動一周期程度の極短時間に亘る微視的なもの）が、模式的に示される。
楕円振動の主にたわみ振動によりワークＷの切削方向と同方向側（Ｙ軸正方向側）に退いた工具３（図３（ａ））は、主に縦振動によりワークＷに近づき（Ｚ軸正方向）、ワークＷに接触して切削を開始する（図３（ｂ））。
工具３の刃先は、微視的には先端に丸味部分を有しており、又先端に対してワークＷから逃げるような逃げ面Ｌを有している（図４）。
切削において、工具３はまず、移動方向が比較的にＹ軸負方向に近い状態でワークＷに対してＺ軸正方向に相対的に近づく（図３（ｂ）〜図３（ｃ））。このとき、工具３は刃先の丸味部分においてワークＷを押しならし、逃げ面Ｌにおいて加工したばかりの面（加工面Ｕ）を擦る（図４（ａ））。この加工プロセスは、バニシングプロセスあるいはプラウイングプロセスと呼ばれる。
次いで、工具３は、移動方向が比較的にＺ軸負方向に近い状態でワークＷに対してＹ軸負方向に相対的に近づく（図３（ｃ）〜図３（ｄ））。このとき、工具３はワークＷを擦り上げ、切屑Ｈを適宜引き上げる（図４（ｂ））。この加工プロセスは、材料除去プロセスと呼ぶことができる。
その後、工具３がワークＷから離れると、一周期における材料除去プロセスは終了し、図３（ａ）の状態（但し一周期分進んだ位置）に戻る。

図４，図５において、各プロセスにおける工具３とワークＷの間に作用する力が模式的に示される。尚、図４におけるＶ_ｔｏｏｌは工具３の模式的な速度であり、Ｖ_ｃｈｉｐは切屑Ｈの模式的な速度である。
バニシングプロセス（図４（ａ））において、工具３は、ワークＷを切込み方向（Ｚ軸正方向）に押して、ワークＷから切込み方向（Ｚ軸負方向）に押される反作用の力Ｆ_ｌｐを受ける。力Ｆ_ｌｐは、縦振動における下死点を中心に縦振動を押し戻すように働く。よって、力Ｆ_ｌｐは、縦振動に対する付加的なバネΔＫ_ｌとして働く。
又、工具３は、ワークＷを擦る際に、ワークＷから切削方向（Ｙ軸正方向）の力Ｆ_ｂｐを受ける。力Ｆ_ｂｐは、たわみ振動における速度の最も速い中立点を中心に、たわみ振動を妨げるように働く。よって、力Ｆ_ｂｐは、たわみ振動に対する付加的な減衰（ダンパー）ΔＣ_ｂとして働く。

材料除去プロセス（図４（ｂ））において、工具３は、ワークＷの切屑Ｈを引き上げ、切屑Ｈから切込み方向に引き下げられる（Ｚ軸正方向）反作用の力Ｆ_ｌｃを受ける。力Ｆ_ｌｃは、縦振動における速度の最も速い中立点を中心に、縦振動を妨げるように働く。よって、力Ｆ_ｌｃは、縦振動に対する付加的な減衰（ダンパー）ΔＣ_ｌとして働く。
又、工具３は、切屑Ｈを切削方向で相対的に押し（Ｙ軸負方向）、切屑Ｈから力Ｆ_ｂｃ（Ｙ軸正方向）を受ける。力Ｆ_ｂｃは、たわみ振動における図４の左の死点を中心にたわみ振動を押し戻すように働く。よって、力Ｆ_ｌｐは、たわみ振動に対する付加的なバネΔＫ_ｂとして働く。

≪パラメータと加工プロセスの相関等≫
そして、かような加工プロセスにおけるバネΔＫ_ｌ，ΔＫ_ｂや減衰ΔＣ_ｂ，ΔＣ_ｌの存在により、振動切削装置１の内部パラメータである共振周波数ｆや電力Ｐ_ｌ，Ｐ_ｂ等は、影響を受ける。尚、実際の振動は加工条件や振動条件によって様々に変わり得るが、バネΔＫ_ｌ，ΔＫ_ｂや減衰ΔＣ_ｂ，ΔＣ_ｌを考慮することで、内部パラメータの変化の傾向がつかめる。

即ち、縦振動の共振周波数ｆに関し、バニシングプロセスにおいて、切込み方向の力Ｆ_ｌｐが大きいほど、バネΔＫ_ｌの弾性作用をより強く受けるから、共振周波数ｆが高くなる。
又、材料除去プロセスにおいて、左の死点を過ぎてもなお切屑Ｈを引き上げる力Ｆ_ｌｃが長く継続すればするほど、減衰ΔＣ_ｌの作用を受けたとしても上方向の力Ｆ_ｌｃの作用する期間が長くなるため、共振周波数ｆが高くなる。他方、左の死点を経過する前において切屑Ｈを引き上げる力Ｆ_ｌｃがより長く継続すれば、縦方向の中立点に向けて復元しようとする工具３に対して復元力（バネ力）を弱める力となるから、共振周波数ｆが低くなる。

又、電力Ｐ_ｌに関し、減衰ΔＣ_ｌの存在は、これがない場合に比べて、縦振動に必要なエネルギーを増加させる。縦振動に必要なエネルギーは電力Ｐ_ｌによって賄われているから、電力Ｐ_ｌの増加は、減衰ΔＣ_ｌの増加に相関する。減衰ΔＣ_ｌの増加は、材料除去プロセスにおける力Ｆ_ｌｃの増加に相関し、即ち工具３が切屑Ｈから受ける引き上げ力の反作用の力の増加に相関し、工具３が切屑Ｈを引き上げる力の増加に相関する。
同様に、電力Ｐ_ｂに関し、減衰ΔＣ_ｂにより、電力Ｐ_ｂの増加は、バニシングプロセスにおいて加工したての面を擦る力Ｆ_ｂｐの増大に相関する。

≪パラメータによる監視等≫
かような相関に基づき、制御手段２０は、内部パラメータの変化によって、振動切削装置１の加工プロセスを監視することが可能である。

例えば、制御手段２０の監視部２７は、共振周波数ｆを監視して、内部パラメータ変化としての変化量が所定値を超える状態で共振周波数ｆが高くなったことを把握すると、報知手段２９に対して工具３の摩耗が進展した旨の報知を指令し、報知手段２９はその旨を報知する。尚、制御部２２は、変化の割合が所定値を超える状態で共振周波数ｆが高くなったことを把握しても良く、あるいは非加工時において予め測定された内部パラメータ（共振周波数ｆ）の値を記憶しておいて加工時に非加工時の値と比較することで共振周波数ｆが高くなったことを把握しても良く、以下同様である。又、これらの所定値や非加工時の値は、入力手段２８によって入力することができる。
あるいは、最初に電源が投入された時には非加工時であるため、監視部２７は、この初期状態から非連続に又は急に変化した（変化量が所定閾値を超えた）場合の変化後を加工時と認識し、逆の場合の変化後を非加工時と認識し、あるいはこれを繰り返すことが可能である。又、入力手段２８によって非加工時か加工時かの入力がなされる場合に、必ずしもその入力が毎回なされなくても良い。
共振周波数ｆの増加は、上述の通り、バニシングプロセスにおける切込み方向の力Ｆ_ｌｐの増大や、材料除去プロセスにおける左の死点経過後の切屑Ｈの引き上げ力Ｆ_ｌｃの継続に相関する。このうち、力Ｆ_ｌｐの増加や継続は、工具３の摩耗の進展が一要因となっているからである。一方、力Ｆ_ｌｃの増加は、主に振動条件と切削速度（切れ刃の丸み状態も若干の影響を持つが力Ｆ_ｌｐの影響に比べて無視できる）によって変化するが、通常これらは一定とすることが多いため、この影響を無視することができる。
尚、上述のように、材料除去プロセスが共振周波数ｆに与える影響は、振動条件と切削速度によって反対に現れることがあるため、共振周波数ｆの変化だけから材料除去プロセスを監視するには、振動条件と切削速度が既知であることが必要となり、監視部２７にこれらの情報を入力する必要がある。
又、監視部２７は、報知手段２９に対する報知指令の発信に代えて、又はその発信と共に、振動切削装置１の運転を自動停止したり、工具３を自動的に交換する指令を出したりしても良く、以下同様である。

又、監視部２７は、電力Ｐ_ｂを監視し、変化量が所定値を超える状態で電力Ｐ_ｂが大きくなったことを把握すると、報知手段２９に対して工具３の摩耗が進展した旨の報知を指令する。
電力Ｐ_ｂの増大は、バニシングプロセスにおける加工面を擦る力Ｆ_ｂｐの増大に相関し、かような力Ｆ_ｂｐの増大は、工具３の摩耗の進展が一要因となっているからである。
尚、監視部２７は、共振周波数ｆと電力Ｐ_ｂの双方の変化量がそれぞれの所定値を超えた場合に工具３の摩耗進展の報知を指令しても良い。あるいは、監視部２７は、共振周波数ｆと電力Ｐ_ｂの関数を参照可能であるようにされて、共振周波数ｆと電力Ｐ_ｂがその関数で示される許容範囲から出た場合に、工具３の摩耗進展の報知を指令しても良い。

更に、監視部２７は、電力Ｐ_ｌを監視し、変化量が所定値を超える状態で電力Ｐ_ｌが大きくなったことを把握すると、材料除去の負荷が大きすぎる旨の報知を指令する。
電力Ｐ_ｌの増大は、材料除去プロセスにおける引き上げ力の反作用の力Ｆ_ｌｃの増加に相関し、材料除去の負荷増大に相関しているからである。
材料除去の負荷が大きすぎる場合、工具３の破損やワークＷの加工不良につながるから、かような状態の検出や報知、あるいは運転の自動停止は、有用である。
あるいは、監視部２７は、電力Ｐ_ｌを監視し、その変化量を単に表示しても良い。これによって作業者は正常に加工が行われていることを把握することができるため、その表示だけでも有用である。

加えて、監視部２７は、総電力Ｐ_ｂ＋Ｐ_ｌを監視し、変化量が所定値を超える状態で総電力Ｐ_ｂ＋Ｐ_ｌが大きくなったことを把握すると、加工条件等に応じて、次のような動作をする。
即ち、監視部２７は、加工条件が一定である場合において、総電力Ｐ_ｂ＋Ｐ_ｌの所定量以上の増大を把握すると、工具３の摩耗進展の報知を指令する。尚、制御部２２は、総電力Ｐ_ｂ＋Ｐ_ｌの変化によって、工具３の摩耗の度合を算出し、又その度合の報知を指令することができる。かような度合の算出や報知は、材料除去負荷値を始めとする他の値についても行える。
又、監視部２７は、工具３の摩耗の進展が無視できる程度の短時間内において、総電力Ｐ_ｂ＋Ｐ_ｌの所定量以上の増大を把握すると、加工負荷が大きすぎる旨の報知を指令する。加工負荷は、切削断面積にほぼ比例するから、切削断面積に相関する情報についても報知することが可能である。

尚、上述の実施形態とは異なり、電流の振幅や尖頭値が測定により追尾され、これらの値の変化によって加工プロセスを監視することが考えられる。
しかし、かような監視は、電圧と電流の波形が共に相似に変化することが前提となっており、更に電圧と電流の間の位相が変化しないことが前提となっている。これらの前提が満たされないと、加工プロセスが大きく変化しない定常状態であるにもかかわらず電流の振幅や尖頭値が変化することになり、加工プロセスを監視することができない。又、電流の振幅や尖頭値は、電力（消費エネルギー）の変化には比例しない。
しかも、かような監視では、振動切削の一周期中のある位相範囲内において負荷がかかり、その負荷によって電流や電圧の波形に歪みが生じることに対応することができず、波形の歪みの分、監視が不正確になる。
又、振動切削において、その波形の歪みは位相の制御（共振追尾）にも影響し、電圧と電流の間の位相にも変化を生じさせる。しかし、かような監視では、位相が考慮されておらず、位相の変化が考慮されていない。位相が変化すると、電流と電力との関係が変化するため、かような監視においては、位相の変化が考慮されていない分、監視が不正確になる。特に楕円振動切削の場合には、負荷等によって２つの方向の機械的振動の共振周波数に必ずずれが生じ、このため一方の振動の共振周波数を追尾していると、他方の振動の電圧と電流の間の位相が変化する。この変化は、電流と消費エネルギーとの関係を変化させるため、電流と消費エネルギーは相関しなくなる。かような監視においても、監視が不正確になる。
これに対し、本実施形態では、電力の算出において積分平均が用いられているため、振動切削において、波形に歪みが生じていたり、位相が変化していたりしても、正確に電力を算出することができる。よって、本実施形態では、加工プロセスの監視をより正確に行うことができる。

又、上述の実施形態とは異なり、駆動回路に入力される電力を用い、この値の変化によって加工プロセスを監視することが考えられる。
しかし、かような監視では、内部パラメータに係る電力を追尾する場合に、駆動回路内の消費電力が上乗せされて内部パラメータが不正確になるし、応答性も悪くなって、加工プロセスの監視が不正確になる。
これに対し、本実施形態では、電力の算出において積分平均が用いられているため、内部パラメータに係る電力が正確に算出され、応答性も良好であり、加工プロセスの監視がより正確に行える。

≪効果等≫
振動切削装置１は、ワークＷに対する相対的な振動を工具３に付与する振動装置２と、振動装置２の状態に関する内部パラメータを把握可能である制御手段２０を備えており、内部パラメータは、前記振動に係る消費エネルギー（消費電力）、及び共振周波数ｆであり、制御手段２０は、内部パラメータの変化である内部パラメータ変化に基づいて、ワークＷに係る加工プロセスの監視を行う。又、内部パラメータ変化は、非加工時のそれら内部パラメータと加工時のそれら内部パラメータに係る変化である。よって、加工プロセスを精度良く簡便に監視可能である振動加工装置を提供することができる。
又、制御手段２０は、前記加工プロセスの監視として、工具３の摩耗の監視を行う。よって、工具３の摩耗を精度良く簡便に監視することができる。
更に、前記加工プロセスに関する情報を報知する報知手段２９が設けられており、制御手段２０は、前記加工プロセスの監視として、報知手段２９における前記情報の報知を指令する。よって、加工プロセスの状態を報知することができる。
又更に、制御手段２０は、電力変化量が所定値以上となったり、電力変化割合が所定割合以上となったりする等、前記内部パラメータ変化が所定程度以上となると、前記加工プロセスの監視を行う。よって、より精度の良い加工プロセスの監視を行う振動加工装置を提供することができる。
又、前記振動は、楕円振動であるから、楕円振動加工プロセスを精度良く簡便に監視可能である楕円振動加工装置を提供することができる。

加えて、振動切削装置１によって行われる振動加工方法の一例としての振動切削方法では、ワークＷに対する相対的な振動を工具３に付与する振動装置２によって、工具３を振動させながらワークＷを加工している間、制御手段２０において、前記振動に係る内部パラメータとして消費エネルギー（消費電力）及び共振周波数ｆの少なくとも何れかを把握し、前記制御手段が、内部パラメータの変化である内部パラメータ変化に基づいて、ワークＷに係る加工プロセスの監視を行う。又、内部パラメータ変化は、非加工時の前記内部パラメータと加工時の前記内部パラメータに係る変化である。よって、加工プロセスを精度良く簡便に監視可能である振動加工方法を提供することができる。
又、制御手段２０は、前記加工プロセスの監視として、工具３の摩耗の監視を行う。よって、工具３の摩耗を精度良く簡便に監視することができる。
更に、前記加工プロセスに関する情報を報知する報知手段２９が設けられており、制御手段２０は、前記加工プロセスの監視として、報知手段２９における前記情報の報知を指令する。よって、加工プロセスの状態を報知することができる。
又更に、制御手段２０は、前記内部パラメータ変化が所定程度以上となると、前記加工プロセスの監視を行う。よって、より精度の良い加工プロセスの監視に係る振動加工方法を提供することができる。
又、前記振動は、楕円振動であるから、楕円振動加工プロセスを精度良く簡便に監視可能である楕円振動加工方法を提供することができる。

≪変更例等≫
尚、振動切削装置１では、振動装置２が縦振動とたわみ振動を行うものであったが、これに代えて、テーパ形状の先端部をそれぞれ有する２つの縦振動子を備えた振動装置が用いられても良い。この場合、２つの縦振動子は角度を持ってＬ型あるいはＶ型に配置され、２つの縦振動子の先端部を連結する連結部材が設けられて、連結部材に工具が取り付けられる。
他にも、ねじり振動が組み合わされても良く、切込み方向と切削方向の振動が含まれていれば、それらの２方向に垂直な送り方向の振動も含まれていても良い。
何れの場合にも、楕円振動軌跡のためには、少なくとも２方向の振動が同じ周波数で組み合わされることが好ましく、楕円振動切削装置は、その振動軌跡の中で、切削方向の振動成分を含むアクチュエータの駆動電力、及びそれらの共振周波数（追尾された値）をパラメータとして利用可能であれば良い。

又、楕円振動を発生する振動装置２に代えて、１方向の振動を発生する振動装置が用いられても良い。
この場合は、振動装置において、主に切込み方向の振動（本実施形態では縦振動）のみを考慮するときと、基本的に同様となる。あるいは、振動装置において、主に切削方向の振動（本実施形態ではたわみ振動）を考慮するときと、基本的に同様となる
例えば、切込み方向の振動のみを発生する振動装置の場合、バネΔＫ_ｌや減衰ΔＣ_ｌを考慮し、内部パラメータとして共振周波数ｆや電力Ｐ_ｌを監視することで、加工プロセスが監視される。

更に、ワークの加工に関し、ワークＷの切削に代えて、ワークのボンディングやウェルディング（圧接や溶着、溶接）の場合に、上述の加工プロセスの監視が行われても良い。
この場合であって、縦振動の下死点前後で加圧するプロセスを有するときは、下死点前後の加工負荷がバネとして働くため、共振周波数の増加と相関する。よって、共振周波数の監視によって、そのプロセスにおける加圧（加工負荷）の大きさが監視される。
又、たわみ振動（横振動）の中立点前後における速度の速い工具を用いて摩擦させるプロセスを有するときは、中立点前後の加工負荷が減衰として働くため、たわみ振動の電力の増加と相関する。よって、電力の監視によって、そのプロセスにおける摩擦（加工負荷）の大きさが監視される。

振動は、ワークに与えられても良いし、工具とワークに与えられても良い。

次いで、上述の実施の形態に即した本発明の実施例が、適宜図面に基づいて説明される。実施の形態と同様な部分には、適宜同じ符号が付される。尚、本発明は、下記の実施例に限定されない。

≪構成等≫
実施例に係る振動切削装置１は、ナガセインテグレックス社製の精密工作機械ＮＩＣ−３００に、振動装置２を搭載したものである。尚、実施例に係る振動切削装置１においては、ワークＷはワーク台に固定されてＸ軸方向に移動可能であり、振動装置２はＹＺ２軸方向に移動可能である。
この振動装置２では、工具３が超音波領域の周波数で楕円振動される。振動装置２は、１次の縦振動モードと３次のたわみ振動モードを有する。

図６に、レーザードップラー振動計（グラフテック社製ＡＴ３７００−ＡＴ００４２）によって測定された、振動装置２に係る楕円振動の軌跡が示される。尚、「Ｖｉｂｒａｔｉｏｎ Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ」は振動方向であり、矢印によって示されている。
図６によれば、振動装置２は、５μｍ（マイクロメートル）程度の振幅のたわみ振動と、１μｍ程度の振幅の縦振動を発生している。
又、振動の周波数は、１７．６ｋＨｚ（キロヘルツ）である。
よって、たわみ振動の最大振動速度は１６．６ｍ／ｍｉｎ（メートル毎分）であり、縦振動の最大振動速度は３．３ｍ／ｍｉｎである。

≪切削条件ないし測定条件等≫
かような超音波楕円振動切削装置１で、真鍮製のワークＷを切削した。
この切削において、摩耗の度合の異なる新旧２種類の工具３（より具体的には先端に対して刃先として取り付ける新旧のインサート）が用いられた。
図７に、レーザー顕微鏡（オリンパス社製ＬＥＸＴ ＯＬＳ４１００）によって測定された各工具３の刃先の状況が示される。尚、「Ｆｌａｎｋ Ｆａｃｅ」は逃げ面Ｌであり、「Ｒａｋｅ Ｆａｃｅ」はすくい面である。
図７に示されるように、やや摩耗したインサートを有する工具３である「Ｔｏｏｌ２」の刃先径は、新しいインサートを有する工具３である「Ｔｏｏｌ１」の刃先径より大きかった。つまり、「Ｔｏｏｌ１」の刃先に比べて、「Ｔｏｏｌ２」の刃先は丸かった。
切込み対象であるワークＷの幅（切削方向Ｙに直交する方向の長さ）は２ｍｍ（ミリメートル）とされ、切込み深さは、０．０１ｍｍ、０．０２ｍｍ、及び０．０３ｍｍとされた。又、切削速度は１０００ｍｍ／ｍｉｎ（ミリ毎分）とされた。切削時、オイルミストが、加工箇所へ対向するように延びる２本のノズルによって、加工箇所に供給された。ワークＷはワーク台に載せられ、ワーク台には動力計がセットされた。
楕円振動の軌跡を含む面は、主に切削方向と切込み方向を含む面であった。
次の表１に、上記の切削の要旨が示される。
尚、表１中の「ＰＶＤ」は、物理蒸着法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）のことである。

この実施例において、内部パラメータとして、共振周波数ｆと、電圧及び電流が、切削前と切削中に計測された。又、実施例では、内部パラメータとしての電力（電圧及び電流の積）と、内部パラメータの切削前の値と切削中の値の差分即ち変化量は、切削後に算出された。更に、動力計により切削力も測定された。

≪切削力ないし内部パラメータの測定結果等≫
図８に、切削中における切込み深さ（Ｄｅｐｔｈ ｏｆ ｃｕｔ）毎の切削力（Ｃｕｔｔｉｎｇ Ｆｏｒｃｅ；Ｎ（ニュートン））の測定結果が示される。
切削力の主分力成分（Ｐｒｉｎｃｉｐａｌ Ｆｏｒｃｅ）は、Ｔｏｏｌ１，２とも、切込み深さが大きいほど大きくなった。
切削力の背分力成分（Ｔｈｒｕｓｔ Ｆｏｒｃｅ）は、Ｔｏｏｌ１，２とも、切込み深さが大きいほど小さくなった。尚、ここで負の背分力は、切屑Ｈを押し上げる向きの力、又は工具がＺ軸正方向に引き込まれる側の力を示している。
又、何れの切込み深さにおいても、Ｔｏｏｌ２の主分力は、Ｔｏｏｌ１の主分力より大きく、Ｔｏｏｌ２の背分力は、Ｔｏｏｌ１の背分力より大きかった。これは、Ｔｏｏｌ２の刃先がＴｏｏｌ１の刃先より丸く、Ｔｏｏｌ２による切削では、Ｔｏｏｌ１による切削に比べて、プラウイングプロセスにおける切削力が増大し、又材料除去プロセスにおける切屑Ｈの押し上げ力が減少することによる。

図９に、切込み深さ毎の、切削前後における電力の変化量（Ｃｈａｎｇｅ ｏｆ ｐｏｗｅｒ Ｃｏｎｓｕｍｐｔｉｏｎ；Ｗ（ワット））であって縦振動に係る電力変化量ΔＰ_ｌが示され、図１０に、切込み深さ毎の、切削前後におけるたわみ振動の電力変化量ΔＰ_ｂが示され、図１１に、切込み深さ毎の、切削前後における共振周波数ｆの変化量（Ｃｈａｎｇｅ ｏｆ ｒｅｓｏｎａｎｔ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ；Ｈｚ）であって縦振動に係る共振周波数変化量Δｆ_ｌが示される。
図９に示されるように、電力変化量ΔＰ_ｌは切込み深さが深いほど大きかった。これは、切込み深さが大きいほど、切屑Ｈの引き上げ力の大きさが増してその反作用力Ｆ_ｌｃの大きさが増し、縦振動において付加的に働く減衰ΔＣ_ｌがより大きく作用することによる。
又、何れの切込み深さにおいても、比較的に丸いＴｏｏｌ２の電力変化量ΔＰ_ｌは、Ｔｏｏｌ１の電力変化量ΔＰ_ｌより小さかった。これは、切屑Ｈの引き上げ力ないしはその反作用力Ｆ_ｌｃが、鈍い刃先によって減少することによる。Ｔｏｏｌ２におけるかような力の減少は、図８で示されている。
従って、振動切削装置１の制御手段２０は、振動切削装置１の内部パラメータである電力変化量ΔＰ_ｌを継続的に算出し、その大きさを参照することで、現在の切込み深さがどの程度であるか把握することができる。例えば、本実施例の条件において切込み深さが変化する場合、制御手段２０は、電力変化量ΔＰ_ｌが１．５Ｗ前後であれば、切込み深さが０．０３ｍｍの程度であることを把握することができる。同様に、制御手段２０は、電力変化量ΔＰ_ｌが１．０，０．４Ｗ前後であれば、切込み深さが順に０．０２，０．０１ｍｍの程度であることを把握することができる。
又、制御手段２０は、本実施例の条件において摩耗が進行する場合、その切込み深さに応じて電力変化量ΔＰ_ｌがどの程度の大きさであるかを参照することで、工具３の摩耗の進行度合を把握することができる。例えば、制御手段２０は、切込み深さが０．０２ｍｍである場合において、電力変化量ΔＰ_ｌが１．１Ｗ程度であれば、工具３の摩耗度合はほぼ０であることを把握することができ、電力変化量ΔＰ_ｌが０．９Ｗ程度であれば、工具３の摩耗度合はＴｏｏｌ２の程度であることを把握することができる。

又、図１０に示されるように、たわみ振動の電力変化量ΔＰ_ｂは、比較的に摩耗したＴｏｏｌ２での値がＴｏｏｌ１での値より大きい。これは、プラウイングプロセスにおいて、工具３の刃先の丸味部分が切削面Ｕから受ける力Ｆ_ｂｐは、Ｔｏｏｌ１の場合よりＴｏｏｌ２の場合の方が大きいからである。
よって、制御手段２０は、上述の電力変化量ΔＰ_ｌの場合と同様に、切込み深さに応じて電力変化量ΔＰ_ｂがどの程度の大きさであるかを参照することで、工具３の摩耗の進行度合を把握することができる。例えば、制御手段２０は、切込み深さが０．０２ｍｍである場合において、電力変化量ΔＰ_ｂが１．１Ｗ程度であれば、工具３の摩耗度合はほぼ０であることを把握することができ、電力変化量ΔＰ_ｂが１．７Ｗ程度であれば、工具３の摩耗度合はＴｏｏｌ２の程度であることを把握することができる。
尚、振動切削装置１では、工具３の摩耗度合の差について、電力変化量ΔＰ_ｌの差の絶対値より、電力変化量ΔＰ_ｂの差の絶対値の方がより大きくなるから、工具３の摩耗度合の監視では、電力変化量ΔＰ_ｂをみると比較的に高精度となる。
例えば、量産等の実用的な加工では、同様な加工を繰り返すことが多く、そのような場合には他の条件が変化しないため、工具の摩耗状態のみの影響によって内部パラメータが変化する。よって、電力変化量ΔＰ_ｂを参照して、工具３の摩耗度合を把握することができる。この場合、工具３の摩耗度合を検出するセンサは不要であり、加工プロセスを精度良く簡便に監視するという効果が発揮される。

図９，図１０について比較すると、切込み深さは主に電力変化量ΔＰ_ｌに影響し、工具３の刃先の丸味（摩耗）は主に電力変化量ΔＰ_ｂに影響することが分かる。
よって、電力変化量ΔＰ_ｌ，ΔＰ_ｂに従う振動切削装置１の総電力消費量変化は、それぞれ付加的な減衰ΔＣ_ｌ，ΔＣ_ｂにより起こると言える。
減衰ΔＣ_ｌは、主に、材料除去プロセスにおける切屑Ｈの引き上げ力Ｆ_ｌｃによって生じ、従って電力変化量ΔＰ_ｌは、主に切込み深さに影響される。
他方、減衰ΔＣ_ｂは、主に、プラウイングプロセスにおける摩擦力Ｆ_ｂｐによって生じ、従って電力変化量ΔＰ_ｂは、主に工具３の摩耗度合に影響される。

図１１に示されるように、縦振動の共振周波数変化量Δｆ_ｌは、比較的に摩耗したＴｏｏｌ２の値の方が大きい。これは、Ｔｏｏｌ２における、縦振動において付加的なバネΔＫ_ｌとして働く、プラウイングプロセスに係る切込み方向の力Ｆ_ｌｐが、Ｔｏｏｌ１の力Ｆ_ｌｐより増加していることによる。
又、共振周波数変化量Δｆ_ｌは、切込み深さの増大に応じて増加している。これは、材料除去プロセスは付加的な減衰だけでなく縦振動の付加的なバネとして働くことを示唆しており、楕円振動する工具３が左の死点を経過した後においても、材料を除去する力がしばらく継続していることによるものと考えられる（図３（ｄ）参照）。

上述された通り、材料除去プロセスとプラウイングプロセスは、各種の内部パラメータ即ち電力変化量ΔＰ_ｌ，ΔＰ_ｂや共振周波数変化量Δｆ_ｌに対して、それぞれ異なった影響を与える。
よって、実施例に係る超音波楕円振動切削装置１の内部パラメータは、材料除去プロセスやプラウイングプロセスの監視に用いることができる。
従って、振動切削装置１では、センサを用いなくても、共振周波数や電流、電圧といった内部パラメータについて、様々な加工条件下での切削において把握されることで、様々なプロセスについて監視されるのであり、内部パラメータを用いた、工具３の摩耗を始めとする振動切削の監視が実現しているのである。

１・・振動切削装置（振動加工装置）、２・・振動装置、３・・工具、２０・・制御手段、２９・・報知手段、Ｗ・・ワーク。

Claims (14)

1. ワークに対する相対的な振動を工具に付与する振動装置と、
   前記振動装置の状態に関するパラメータを把握可能である制御手段
   を備えており、
   前記パラメータは、前記振動に係る消費エネルギー、及び共振周波数の少なくとも何れかであり、
   前記制御手段は、前記パラメータの変化であるパラメータ変化に基づいて、前記ワークに係る加工プロセスの監視を行う
   ことを特徴とする振動加工装置。
2. 前記パラメータ変化は、非加工時の前記パラメータと加工時の前記パラメータに係る変化である
   ことを特徴とする請求項１に記載の振動加工装置。
3. 前記制御手段は、前記加工プロセスの監視として、前記工具の摩耗の監視を行う
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の振動加工装置。
4. 前記加工プロセスに関する情報を報知する報知手段が設けられており、
   前記制御手段は、前記加工プロセスの監視として、前記報知手段における前記情報の報知を指令する
   ことを特徴とする請求項１ないしは請求項３の何れかに記載の振動加工装置。
5. 前記制御手段は、前記パラメータ変化が所定程度以上となると、前記加工プロセスの監視を行う
   ことを特徴とする請求項１ないしは請求項４の何れかに記載の振動加工装置。
6. 前記消費エネルギーは、消費電力である
   ことを特徴とする請求項１ないしは請求項５の何れかに記載の振動加工装置。
7. 前記振動は、楕円振動である
   ことを特徴とする請求項１ないしは請求項６の何れかに記載の振動加工装置。
8. ワークに対する相対的な振動を工具に付与する振動装置によって、前記工具を振動させながら前記ワークを加工している間、制御手段において、前記振動に係るパラメータとして消費エネルギー及び共振周波数の少なくとも何れかを把握し、
   前記制御手段が、前記パラメータの変化であるパラメータ変化に基づいて、前記ワークに係る加工プロセスの監視を行う
   ことを特徴とする振動加工方法。
9. 前記パラメータ変化は、非加工時の前記パラメータと加工時の前記パラメータに係る変化である
   ことを特徴とする請求項８に記載の振動加工方法。
10. 前記制御手段は、前記加工プロセスの監視として、前記工具の摩耗の監視を行う
    ことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の振動加工方法。
11. 前記加工プロセスに関する情報を報知する報知手段が設けられており、
    前記制御手段は、前記加工プロセスの監視として、前記報知手段における前記情報の報知を指令する
    ことを特徴とする請求項８ないしは請求項１０の何れかに記載の振動加工方法。
12. 前記制御手段は、前記パラメータ変化が所定程度以上となると、前記加工プロセスの監視を行う
    ことを特徴とする請求項８ないしは請求項１１の何れかに記載の振動加工方法。
13. 前記消費エネルギーは、消費電力である
    ことを特徴とする請求項８ないしは請求項１２の何れかに記載の振動加工方法。
14. 前記振動は、楕円振動である
    ことを特徴とする請求項８ないしは請求項１３の何れかに記載の振動加工方法。

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