JP2017154196A - 表面処理装置および表面処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に概要的に示されている本発明の一実施形態としての表面処理装置は、チップ1と、加工液供給装置10と、第1駆動装置11と、第2駆動装置12と、高周波電源装置13と、制御装置2と、を備えている。
前記構成の表面処理装置を用いて実行される表面処理方法に関して説明する。
Tiからなるチップ1と、鋳鉄からなる被加工物Wとが間隔D=0.01[mm]で対向配置された。ナノカーボン粒子(粒径:300〜800[nm])を溶媒である水に0.1〜1.0%の範囲に含まれる量(ここでは0.5%)だけ分散させることにより加工液Qが調整された。加工液Qの動粘度が2〜5[mm2/s]の範囲に含まれるように(ここでは2.5[mm2/s]になるように)、適当な増粘剤(PEG(ポリエチレングリコール)など)が加工液Qに添加された。高周波電源装置13によってチップ1および被加工物Wの間に10[min]にわたって最大値200[V]のパルス電圧(パルス周波数1[MHz])が形成された。
(比較例1)
チップ1および被加工物Wの間に加工液Qに代えて純水を介在させたほかは実施例と同一の条件下で被加工物Wの表面加工が試みられた。
チップ1および被加工物Wの間に加工液Qに代えて金属加工用の切削油を介在させたほかは実施例と同一の条件下で被加工物Wの表面加工が試みられた。
実施例、比較例1および比較例2のそれぞれにおける被加工物Wの表面をEDX(エネルギー分散型X線分光法)により観察した。観察結果が、図3A〜図3Cのそれぞれに示されている。図3A〜図3Cから、実施例の表面処理方法により得られた被加工物Wの表面には、比較例1および2の表面処理方法により得られた被加工物Wの表面と比較して、Ti粒子(またはTiC粒子)が多量にドープされていることがわかる。
前記実施形態の表面処理装置から第2駆動装置12が省略され、被加工物Wの表面処理に際してチップ1と被加工物Wとの間隙におけるナノバブルの形成(図2/STEP06参照)が省略されてもよい。
Claims (4)
- Ti、V、Zr、Nb、Mo、TaおよびWからなる群から選ばれる少なくとも1つの金属またはその炭化物を含むチップと、
前記チップと鉄鋼からなる被加工物とを相対的に運動させる第1駆動装置と、
前記チップと前記被加工物との間に導電性ナノパーティクルが水または水溶液に分散されている加工液を供給する加工液供給装置と、
前記チップと前記被加工物との間に前記加工液を介してアーキングを発生させる高周波パルス電圧を出力する高周波電源装置と、を備えていることを特徴とする表面処理装置。 - 請求項1記載の表面処理装置において、
前記チップを前記被加工物に対して相対的に振動または運動させることにより、前記加工液に含まれている水の電気分解により発生する気泡をナノバブルに変化させる第2駆動装置をさらに備えていることを特徴とする表面処理装置。 - Ti、V、Zr、Nb、Mo、TaおよびWからなる群から選ばれる少なくとも1つの金属またはその炭化物を含むチップと、鉄鋼からなる被加工物とを対向配置する工程と、
前記チップと前記被加工物との間に導電性ナノパーティクルが水または水溶液に分散されている加工液を供給する工程と、
前記チップと前記被加工物との間に高周波パルス電圧を印加してアーキングを発生させて、前記チップを構成する金属またはその炭化物と前記加工液に分散されている前記導電性ナノパーティクルとのうち少なくとも一方に由来する粒子を前記被加工物の表面にドーピングすることによりその局所的な加工表面に耐摩耗性を向上させた改質層を生成する工程と、を含んでいることを特徴とする表面処理方法。 - 請求項3記載の表面処理方法において、
前記チップを前記被加工物に対して相対的に振動または運動させることにより前記チップと前記被加工物との間隙に存在する前記加工液に含まれている水の電気分解により発生する気泡をナノバブルに変化させる工程をさらに含んでいることを特徴とする表面処理方法。
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