JP2017138595A - 可変形状鏡 - Google Patents
可変形状鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017138595A JP2017138595A JP2017017297A JP2017017297A JP2017138595A JP 2017138595 A JP2017138595 A JP 2017138595A JP 2017017297 A JP2017017297 A JP 2017017297A JP 2017017297 A JP2017017297 A JP 2017017297A JP 2017138595 A JP2017138595 A JP 2017138595A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- deformable mirror
- plate
- plane
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0825—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/198—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors with means for adjusting the mirror relative to its support
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Telescopes (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
Description
11 可変膜
12 背面
13 第1の平面
14 支持構造体
15 アクチュエータ
16 第1の端部
17 第2の端部
18 板
19 第2の平面
20 可変形状鏡
21 弾性要素
30 可変形状鏡
31 カプラ
40 可変形状鏡
50 可変形状鏡
51 弾性要素
60 可変形状鏡
70 可変形状鏡
80 可変形状鏡
90 可変形状鏡
91 埋め込み脚部
92 ヘッド
100 可変形状鏡
110 可変形状鏡
120 可変形状鏡
Z 第1の軸線
Claims (9)
- 静止時に第1の平面(13)内に延びるとともに、反射する前面と前記前面とは反対側の背面(12)とを有する可変膜(11)と、
支持構造体(14)と、
第1の端部(16)と第2の端部(17)とを有するアクチュエータ(15)であって、前記第1の端部(16)が前記支持構造体(14)に固定され、前記可変膜(11)を局所的に変形させるために、第1の軸線(Z)上において前記背面(12)に軸方向荷重をかけるように前記第2の端部(17)を前記第1の平面(13)に実質的に垂直な前記第1の軸線(Z)上における前記第1の端部(16)に対して変位させることができる、前記アクチュエータ(15)とを備え、
前記可変形状鏡が、前記第1の平面(13)に実質的に平行な第2の平面(19)において実質的に平坦であり、前記アクチュエータ(15)と前記可変膜(11)との間に位置決めされ、前記背面(12)に結合され、かつ前記アクチュエータ(15)が前記軸方向荷重をかけたときに変形させることが可能である、板(18)を備えることと、前記板(18)が、前記第2の平面(19)において前記鏡(10)に加わる荷重を担うために前記第2の平面(19)において剛性であることとを特徴とする、可変形状鏡(10、20、30、40、50、60、70、80、90、100、110、120)。 - 前記板(18)と前記可変膜(11)との間に位置決めされた弾性要素(21)を備えることを特徴とする、請求項1に記載の可変形状鏡(10、20、50、60、100、120)。
- 前記板(18)が、前記アクチュエータ(15)と前記可変膜(11)との間の軸方向荷重のみを伝達するようにかつ前記板(18)に対する前記可変膜(11)の前記第1の平面(13)内での自由な変位を可能にするように構成されたカプラ(31)を介して前記背面(12)に結合されることを特徴とする、請求項1または2に記載の可変形状鏡(30、40、70、80、90、110)。
- 前記板(18)と前記アクチュエータ(15)の前記第2の端部(17)との間に位置決めされた弾性要素(22)を備えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の可変形状鏡(20、40、60、80、100)。
- 前記板(18)と前記支持構造体(14)との間に位置決めされた弾性要素(51)を備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の可変形状鏡(50、60、70、80、90)。
- 前記アクチュエータ(15)が、前記アクチュエータ(15)の前記第2の端部(17)に位置決めされた、前記第2の平面(19)に実質的に平行な第3の平面内で自由に平行移動しかつ自由に回転するヘッド(92)を備えることと、前記ヘッド(92)が、前記アクチュエータ(15)の前記第2の端部(17)の前記変位を抑制するために、少なくとも1つの弾性要素(52)により前記支持構造体(14)に結合されることとを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の可変形状鏡(110)。
- 前記可変膜(11)を前記支持構造体(14)に結合する埋め込み脚部(91)を備えることと、前記板(18)が、前記埋め込み脚部(91)内に固定された端部を有することとを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の可変形状鏡(90、100、110)。
- 前記アクチュエータ(15)が前記軸方向荷重をかけたときの前記板(18)の変形を促進するために前記板(18)が中空状に形成されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の可変形状鏡(10、20、30、40、50、60、70、80、90、100、110、120)。
- 各々が第1の端部と第2の端部とを有する複数のアクチュエータであって、前記第1の端部が前記支持構造体に固定され、前記可変膜を局所的に変形させるために、第1の軸線上において前記背面に軸方向荷重をかけるように前記第2の端部を前記第1の平面に実質的に垂直な前記第1の軸線上における前記第1の端部に対して変位させることができる、前記アクチュエータを備えることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の可変形状鏡(120)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1600184A FR3047321B1 (fr) | 2016-02-03 | 2016-02-03 | Miroir deformable |
FR1600184 | 2016-02-03 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017138595A true JP2017138595A (ja) | 2017-08-10 |
JP6961350B2 JP6961350B2 (ja) | 2021-11-05 |
Family
ID=56321998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017017297A Active JP6961350B2 (ja) | 2016-02-03 | 2017-02-02 | 可変形状鏡 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10088649B2 (ja) |
EP (1) | EP3203299B1 (ja) |
JP (1) | JP6961350B2 (ja) |
ES (1) | ES2709938T3 (ja) |
FR (1) | FR3047321B1 (ja) |
IL (1) | IL250385A0 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3100344B1 (fr) * | 2019-08-30 | 2021-09-24 | Alpao | Dispositif d’optique adaptative de construction simplifiee et procede de fabrication associe |
FR3120451B1 (fr) * | 2021-03-03 | 2023-11-24 | Alpao | Dispositif d’optique adaptative ameliore et procede de fabrication afferent |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE9409869U1 (de) * | 1994-06-17 | 1995-10-12 | Diehl Gmbh & Co | Deformierbarer Spiegel, insbesondere für eine Laserstrahl-Materialbearbeitungseinrichtung |
US5434697A (en) * | 1994-07-27 | 1995-07-18 | Litton Systems, Inc. | Deformable mirror system having replaceable actuators |
US6108121A (en) * | 1998-03-24 | 2000-08-22 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Micromachined high reflectance deformable mirror |
US5986795A (en) * | 1998-06-15 | 1999-11-16 | Chapman; Henry N. | Deformable mirror for short wavelength applications |
JP3219072B2 (ja) * | 1999-02-17 | 2001-10-15 | 住友電気工業株式会社 | レーザビーム用形状可変鏡 |
US6181459B1 (en) * | 1999-06-04 | 2001-01-30 | Raytheon Company | Deformable mirror with removable actuator using shaped-memory alloys |
US6236490B1 (en) * | 2000-01-05 | 2001-05-22 | The B. F. Goodrich Company | Dual stage deformable mirror |
US6467915B2 (en) * | 2000-01-19 | 2002-10-22 | Diehl Munitionssysteme Gmbh & Co. Kg | Deformable mirror, in particular for a laser beam material machining apparatus |
US6842277B2 (en) * | 2002-07-23 | 2005-01-11 | Nikon Corporation | Deformable mirror with high-bandwidth servo for rigid body control |
US6984049B2 (en) * | 2002-11-04 | 2006-01-10 | General Dynamics Advanced Information Systems, Inc. | Hinged substrate for large-aperture, lightweight, deformable mirrors |
WO2004068180A2 (en) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Montana State University-Bozeman | Off-axis variable focus and aberration control mirrors and method |
US7125128B2 (en) * | 2004-01-26 | 2006-10-24 | Nikon Corporation | Adaptive-optics actuator arrays and methods for using such arrays |
US7452741B2 (en) * | 2006-06-19 | 2008-11-18 | Lucent Technologies Inc. | Process for manufacturing an apparatus that protects features during the removal of sacrificial materials |
US20080225370A1 (en) * | 2007-03-16 | 2008-09-18 | Active Optical Systems, Llc | Low-cost continuous phase sheet deformable mirror |
FR2923301B1 (fr) * | 2007-11-02 | 2010-09-17 | Ujf Filiale | Miroir deformable a raideur repartie,outil et procede pour realiser un tel miroir |
US8139280B2 (en) * | 2009-07-17 | 2012-03-20 | Xingtao Wu | MEMS hierarchically-dimensioned deformable mirror |
FR2958415B1 (fr) * | 2010-04-06 | 2012-08-17 | Alpao | Miroir deformable a faible empreinte de collage et procede de fabrication d'un tel miroir |
US9314980B2 (en) * | 2013-03-19 | 2016-04-19 | Goodrich Corporation | High correctability deformable mirror |
JP2014225639A (ja) * | 2013-04-16 | 2014-12-04 | キヤノン株式会社 | ミラーユニット及び露光装置 |
FR3011942B1 (fr) * | 2013-10-11 | 2017-07-14 | Thales Sa | Telescope spatial actif a miroir suspendu |
-
2016
- 2016-02-03 FR FR1600184A patent/FR3047321B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2017
- 2017-02-01 EP EP17154187.3A patent/EP3203299B1/fr active Active
- 2017-02-01 ES ES17154187T patent/ES2709938T3/es active Active
- 2017-02-01 US US15/422,030 patent/US10088649B2/en active Active
- 2017-02-01 IL IL250385A patent/IL250385A0/en active IP Right Grant
- 2017-02-02 JP JP2017017297A patent/JP6961350B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2709938T3 (es) | 2019-04-22 |
JP6961350B2 (ja) | 2021-11-05 |
FR3047321B1 (fr) | 2018-02-23 |
IL250385A0 (en) | 2017-03-30 |
KR20170092477A (ko) | 2017-08-11 |
EP3203299B1 (fr) | 2018-11-14 |
US10088649B2 (en) | 2018-10-02 |
EP3203299A1 (fr) | 2017-08-09 |
US20170219796A1 (en) | 2017-08-03 |
FR3047321A1 (fr) | 2017-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6214773B2 (ja) | 大型ミラー用の最適な運動学的マウント | |
JP5862484B2 (ja) | 鏡支持構造 | |
CN103792645B (zh) | 一种小型反射镜超高力热稳定性支撑结构 | |
US9400367B2 (en) | Optical subassembly with a mount with connection units of directed flexibility | |
Rausch et al. | Unimorph deformable mirror for space telescopes: environmental testing | |
JP2017138595A (ja) | 可変形状鏡 | |
JP6422723B2 (ja) | 懸垂反射鏡を備える能動的宇宙望遠鏡 | |
US11314041B2 (en) | Multi-material mirror system | |
CN109387917B (zh) | 用于能变化地影响射线束的波前的设备 | |
US7649702B2 (en) | Immersion lithography objective | |
US8876306B2 (en) | Mirror comprising mechanical means for generating primary geometrical aberrations | |
KR102672864B1 (ko) | 변형 가능한 미러 | |
Hugot et al. | Stress polishing of thin shells for adaptive secondary mirrors-Application to the Very Large Telescope deformable secondary | |
JP6540341B2 (ja) | ミラー支持方法、ミラー支持構造およびミラー構造体 | |
CN112068275B (zh) | 一种光学元件背部柔性支撑结构 | |
JP6597032B2 (ja) | ミラー支持方法、ミラー支持構造およびミラー構造体 | |
JP2010152090A (ja) | 反射鏡システム | |
JP2015132820A (ja) | ハニカム構造 | |
JP3204347U (ja) | 熱膨張差を補償し要素を支持部に締結する締結装置及びその締結装置を含む光学機器 | |
Lillie et al. | Adaptive x-ray optics development at AOA-Xinetics | |
JPS63177104A (ja) | プラスチツクレンズ鏡筒 | |
JP2017032793A (ja) | ミラー支持構造、ミラー構造体およびその製造方法 | |
Smith et al. | Bending modes for active optics | |
JP2014151744A (ja) | 反射鏡支持機構 | |
Zhang et al. | Fabricate and assemble: an alignment and integration method for next generation x-ray telescopes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210402 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210914 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211013 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6961350 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |