JP2017135363A - システムメンテナンス中に最小接触面積フィーチャおよびウエハ移動ピンを保管して整理するための設計 - Google Patents

システムメンテナンス中に最小接触面積フィーチャおよびウエハ移動ピンを保管して整理するための設計 Download PDF

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Abstract

【課題】メンテナンスのために取り外す基板支持体の構成要素の保管、整理、および、追跡を効率的かつ正確に行う。
【解決手段】基板処理システムの最小接触面積（ＭＣＡ）構成要素を保管するためのトレイ１００が、第１リフトピントレイ１１６および第１の複数の穴の少なくとも一方を備えた第１区画１０４−１を備える。第１リフトピントレイは、基板処理システムのリフトピンを保持するよう構成された複数のスロットを備える。第１の複数の穴は、基板処理システムのＭＣＡピンを受け入れるよう構成されている。第１カップが、第１区画に隣接して配置されている。第１カップは、第１カップを少なくとも部分的に囲む壁を備え、壁は、第１カップを第１区画から分離し、壁の上縁は、第１区画の底面より上に伸びている。
【選択図】図１

Description

［関連出願への相互参照］
本願は、２０１５年１２月４日出願の米国仮特許出願第６２／２６３，２５５号の利益を主張する。上記の出願の開示全体が、参照によって本明細書に組み込まれる。
本開示は、基板処理システムの構成要素を保管して整理するためのシステムおよび方法に関する。
本明細書で提供されている背景技術の記載は、本開示の背景を概略的に提示するためのものである。ここに名を挙げられている発明者の業績は、この背景技術に記載された範囲において、出願時に従来技術として通常見なされえない記載の態様と共に、明示的にも黙示的にも本開示に対する従来技術として認められない。
半導体ウエハなどの基板のエッチング、蒸着、洗浄、および／または、その他の処理を実行するために、基板処理システムが利用されうる。基板に対して実行されうる処理の例は、以下を含むがこれらに限定されない：プラズマ化学蒸着（ＰＥＣＶＤ）処理、原子層蒸着（ＡＬＤ）処理、化学プラズマ蒸着（ＣＥＰＶＤ）処理、スパッタリング物理蒸着（ＰＶＤ）処理、イオン注入処理、および／または、その他のエッチング（例えば、化学エッチング、プラズマエッチング、反応性イオンエッチングなど）、蒸着、ならびに、洗浄処理。基板は、基板処理システムの処理チャンバ内の基板支持体（ペデスタルなど）上に配置されうる。単に例として、蒸着中、１または複数の前駆体を含むガス混合物が処理チャンバに導入され、プラズマが基板上に膜を蒸着するために点火される。
一部のペデスタル（例えば、ＰＥＣＶＤおよびＡＬＤ基板処理システムで用いられるペデスタルを含むが、これらに限定されない）は、基板処理システムのメンテナンス中に取り除かれうる１または複数の構成要素を含みうる。これらの構成要素は、最小接触面積（ＭＣＡ）ボールまたはベアリング、ＭＣＡピン、および／または、リフトピンを含みうる。いくつかの例では、ＭＣＡベアリングおよび対応するＭＣＡピンが、ペデスタルの表面のそれぞれの穴に配置される。ＭＣＡピンの第１端部は穴の中でＭＣＡベアリングによって支持され、ＭＣＡピンの第２端部は穴から伸びている。他の例では、ＭＣＡピンのみが、それぞれの穴に配置される。基板は、ＭＣＡピンの第２端部によってペデスタル上に支持される。リフトピンは、ペデスタル内に配置され、ペデスタルから（すなわち、ＭＣＡピンから）基板を持ち上げるため、および、ペデスタル上へ基板を降ろすために、選択的に持ち上げられるおよび／または引っ込められるよう構成される。
基板処理システムの最小接触面積（ＭＣＡ）構成要素を保管するためのトレイが、第１リフトピントレイおよび第１の複数の穴の少なくとも一方を備えた第１区画を備える。第１リフトピントレイは、基板処理システムのそれぞれのリフトピンを保持するよう構成された複数のスロットを備える。第１の複数の穴は、基板処理システムのそれぞれのＭＣＡピンを受け入れるよう構成されている。第１カップが、第１区画に隣接して配置されている。第１カップは、第１カップを少なくとも部分的に囲む壁を備え、壁は、第１カップを第１区画から分離し、壁の上縁は、第１区画の底面より上に伸びている。
詳細な説明、特許請求の範囲、および、図面から、本開示を適用可能なさらなる領域が明らかになる。詳細な説明および具体的な例は、単に例示を目的としており、本開示の範囲を限定するものではない。
本開示は、詳細な説明および以下に説明する添付図面から、より十分に理解できる。
本開示の原理に従って、最小接触面積（ＭＣＡ）構成要素トレイの一例を示す図。
本開示の原理に従って、ＭＣＡベアリングカップの一例を示す図。
本開示の原理に従って、リフトピントレイのみを備えたＭＣＡ構成要素トレイの一例を示す図。
本開示の原理に従って、単一の基板処理チャンバのためのＭＣＡ構成要素トレイの一例を示す図。
本開示の原理に従って、ＭＣＡ構成要素トレイの別の例を示す図。
本開示の原理に従って、ＭＣＡピックアップツールトレイを備えたＭＣＡ構成要素トレイの一例を示す図。
本開示の原理に従って、ＭＣＡピックアップツールの一例を示す図。 本開示の原理に従って、ＭＣＡピックアップツールの一例を示す図。
本開示の原理に従って、ハンドルを備えたＭＣＡ構成要素トレイの一例を示す図。
本開示の原理に従って、ハンドルが高位置にあるＭＣＡ構成要素トレイの一例を示す図。 本開示の原理に従って、ハンドルが高位置にあるＭＣＡ構成要素トレイの一例を示す図。
図面において、同様および／または同一の要素を特定するために、同じ符号を用いる場合がある。
最小接触面積（ＭＣＡ）ボールまたはベアリング、ＭＣＡピン、および／または、リフトピンなど、基板支持体（例えば、ペデスタル）の構成要素は、基板処理システムのメンテナンス中に取り外されうる。いくつかの実施例において、構成要素が取り外された基板支持体のそれぞれの同じ位置に構成要素の各々を戻すことが非常に重要でありうる。
したがって、取り外された構成要素がメンテナンス中にどのように保管されるかが、メンテナンス完了後に構成要素を正確に元の位置に戻す際の難しさを決定しうる。一例において、構成要素は、複数列の区画を含むケースのそれぞれの区画に保管されてよい。例えば、ケースの各列が、異なるペデスタルに割り当てられてよく、各列の各区画が、ペデスタルの異なる構成要素に割当てられてよい。しかしながら、構成要素は、保管中に静荷電しうるため、それぞれの区画から構成要素を取り出すのが困難になりうる。別の例において、構成要素は、メンテナンス中に、トレイ、カップ、および／または、その他のクリーンルーム材料の中に単に配置されうる。
上述の方法は、取り外された構成要素を効率的かつ正確に保管、整理、および、追跡しない。他の要素（例えば、可変長リフトピン、ペデスタル表面からのＭＣＡ構成要素の高さを調節するための可変長ＭＣＡピンなど）が、さらに、構成要素の保管、取り出し、および、交換を複雑にする。
本開示の原理に従ったシステムおよび方法は、基板支持体の構成要素を保管して整理するための構成可能なＭＣＡ構成要素トレイを提供する。トレイは、構成要素の保管、識別、および、回収を容易にすると共に、構成要素の落下、取り違え（すなわち、２以上の構成要素の混同）、または、破損の可能性を最小化するために、関連する基板処理システムに基づいて構成可能である。
ＭＣＡ構成要素トレイは、リフトピントレイ、ＭＣＡピンパターン、および／または、ＭＣＡベアリングカップを備えてよい。リフトピントレイは、それぞれのリフトピンを受け入れるよう構成された１または複数のスロットを備えており、基板支持体に関連する基板処理チャンバ内の固定フィーチャ（例えば、スピンドル）に関連する数字および位置でリフトピンを識別してよい。リフトピントレイは、スロットからのリフトピンの取り出しを容易にするために、（例えば、スロットと重複し、スロットよりも大きい深さを有する）長方形のサブトレイを備えてよい。さらに、落とされたＭＣＡベアリングは、取り出しを容易にするためにサブトレイによって捕らえられてよい。
ＭＣＡピンパターンは、挿入されたＭＣＡピンを受け入れるよう構成された複数のピン穴を備える。ピン穴は、ＭＣＡピンが固定フィーチャ（例えば、スピンドル）に対して基板支持ペデスタルに配置されるのと同じパターンで配置される。ＭＣＡピンは、手で、または、ＭＣＡピックアップツール（例えば、ＭＣＡベアリングを捕らえるよう構成された中空の円筒形ツール）を用いて、ピン穴から取り出されてよい。いくつかの例では、それぞれのＭＣＡベアリングが、ピン穴の各々に保管されてもよい。例えば、ＭＣＡベアリングが、ピン穴に挿入されてよく、対応するＭＣＡピンが、ＭＣＡベアリングの上方のピン穴に挿入されてよい。このように、ＭＣＡベアリングおよびＭＣＡピンの両方のそれぞれの位置が維持される。ＭＣＡベアリングは、ＭＣＡピックアップツールを用いてピン穴から取り出されてよい。いくつかの例において、１または複数のさらなるピン穴が、ＭＣＡ構成要素トレイの中央領域に提供されてもよい。例えば、中央領域のピン穴は、基板処理システムとＭＣＡピンパターンとの間で移動されているＭＣＡピンを一時的に保持するのための中継領域として機能しうる。いくつかの例において、ＭＣＡ構成要素トレイは、ＭＣＡピックアップツールを保管するよう構成されたツールトレイを備える。
ＭＣＡベアリングカップは、１または複数のＭＣＡベアリングを保管するよう構成される。例えば、各ＭＣＡベアリングカップは、特定の基板支持体に関連するＭＣＡベアリングを保管してよい。ＭＣＡベアリングは、手動でおよび／またはＭＣＡピックアップツールを用いて取り出されてよい。手動での取り出しを容易にするために、各ベアリングカップは、カップの底部からカップの端部に伸びる経路に配置されたガイドチャネル、スロット、溝、トラックなどを備える。カップに保管されたＭＣＡベアリングは、カップの底部のチャネルに収まる。ユーザは、カップの底部において指でベアリングを捕らえ、ユーザの指および親指の間で捕らえられるように、チャネルによって規定された経路に沿ってカップの端部までベアリングをスライドさせることができる。したがって、ガイドチャネルは、ＭＣＡベアリングを迅速かつ正確に取り出すことを可能にする。いくつかの例において、カップの底部の輪郭、形状など（例えば、曲率半径）は、（例えば、ＭＣＡ構成要素トレイにぶつかることによって）ＭＣＡベアリングがカップから不注意に逸脱することを防ぐよう構成されてもよい。
いくつかの例において、ＭＣＡベアリングカップの内の２以上の内側側壁（すなわち、ＭＣＡ構成要素トレイの中央／内側に隣接する側壁）が、ユーザの指先を受け止めるよう構成されたスロットまたはくぼみを備えてもよい。したがって、スロットは、グリップを改善すると共に滑りを防ぐことによって、ＭＣＡ構成要素トレイを容易に持ち上げられるようにする。追加的または代替的に、ＭＣＡ構成要素トレイは、ハンドルを備えてもよい。例えば、ハンドルは、ＭＣＡベアリングカップの間の中央領域に提供されてよい。
ここで、図１を参照すると、本開示の原理に従ったＭＣＡ構成要素トレイの例１００が示されている。トレイ１００は、異なる基板支持体（例えば、基板処理システムのそれぞれの基板処理チャンバまたはステーションに関連する基板支持体）にそれぞれ割り当てられた１または複数の区画１０４−１、１０４−２、１０４ー３、および、１０４−４（集合的に区画１０４と呼ぶ）を備える。区画１０４の各々は、ＭＣＡベアリングカップ１０８、ＭＣＡピンパターン１１２、および／または、リフトピントレイ１１６を備えてよい。区画１０４の内の１または複数（例えば、図に示すように、１０４−３および１０４−４）が、リフトピントレイ１１６を備えなくてもよい。例えば、区画１０４−３および１０４−４は、リフトピンを利用しない基板支持体に割り当てられてよい。実施例において、ＭＣＡ構成要素トレイ１００は、化学耐性かつ帯電防止性の材料（例えば、テフロン（登録商標）、プラスチック／ポリマ、デルリン（例えば、ポリオキシメチレン）、ポリカーボネート、ＨＤＰＥ、アルミニウムなど）、および／または、静電気の放電を促進する材料、から形成されるか、または、かかる材料で被覆されている。
ＭＣＡベアリングカップ１０８は、関連する基板支持体の１または複数のＭＣＡベアリングを保管するよう構成される。ＭＣＡベアリングカップ１０８は、平面または凹面の底面１２０と、ガイドチャネル１２４とを備えてよい。ユーザは、ベアリングをガイドチャネル内に方向付け、ガイドチャネル１２４に沿って上げて行き、ノッチ１２８を通して、ベアリングカップ１０８からＭＣＡベアリングを取り出す。ノッチ１２８は、ベアリングカップ１０８の外縁すなわち外周を囲んで規定する壁１３２に形成されてよい。単に例として、壁１３２は、集合的にベアリングカップ１０８を囲んでもよいし、ベアリングカップ１０８の各々が、それぞれの壁１３２によって囲まれてもよい。図に示すように、ベアリングカップ１０８の上端は、区画１０４の底面の上方に突き出しているユーザがベアリングをガイドチャネル１２４に沿って上の方にノッチ１２８内までスライドさせると、ベアリングは、ユーザの指および親指とノッチ１２８の両側との間に捕らえられうる。
ＭＣＡピンパターン１１２は、挿入されたＭＣＡピンを受け入れるよう構成された複数のピン穴１３６を備える。ピン穴１３６は、ＭＣＡピンが固定フィーチャ（例えば、基板支持体のスピンドル）に対して関連する基板支持体に配置されるのと同じパターンで配置されうる。単に例として示すように、ピン穴１３６は、９ピンパターンで配列されているが、その他のパターンが、関連する基板支持体の構成に基づいて提供されてもよく、数字（例えば、１〜９）で各ＭＣＡピンを識別できる。ピン穴１３６は、ＭＣＡピンのみを支持するよう構成されてもよいし、ＭＣＡピンおよび対応するＭＣＡベアリングの両方を支持するよう構成されてもよい。例えば、ピン穴１３６がＭＣＡピンのみを支持するよう構成された場合、ピン穴１３６の深さは、ＭＣＡピンの長さＬと、いくらかの所望のオフセット（すなわち、ＭＣＡピンが挿入された時にピン穴１３６から突出するのが望ましいＭＣＡピンの部分）とを足した長さに対応しうる。逆に、ピン穴１３６がＭＣＡピンおよび対応するＭＣＡベアリングの両方を支持するよう構成された場合、ピン穴１３６の深さは、ＭＣＡピンの長さＬと、ＭＣＡベアリングの直径と、所望のオフセット（すなわち、ベアリングおよびＭＣＡピンの両方が挿入された時にピン穴１３６から突出するのが望ましいＭＣＡピンの部分）とを足した長さに対応しうる。
リフトピントレイ１１６は、それぞれのリフトピンを受け入れるよう構成された１または複数のスロット１４０を備えており、基板支持体に関連する基板処理チャンバ内の固定フィーチャ（例えば、スピンドル）に関連する数字（例えば、１、２、３など）および位置でリフトピンを識別してよい。リフトピントレイ１１６は、スロット１４０からのリフトピンの取り出しを容易にする長方形のサブトレイ１４４を備えてよい。単に例として、サブトレイ１４４の深さは、スロット１４０の深さよりも大きくてよい。
ＭＣＡ構成要素トレイ１００は、保管中にＭＣＡ構成要素の構成要素を保持するための１または複数のタイプのカバーまたは蓋を備えてよい。例えば、ＭＣＡ構成要素トレイ１００は、ＭＣＡ構成要素トレイ１００の上面全体を包み込む１つの折りたたみ式、ヒンジ付き、スライド、スライド式、スナップ式などのカバーまたは蓋を備えてよい。あるいは、各区画１０４が、それぞれのカバーまたは蓋を備えてもよい。
ＭＣＡ構成要素トレイ１００は、１または複数のさらなるピン穴１４８を備えてもよい。単に例として、ピン穴１４８は、ＭＣＡ構成要素トレイ１００の中央領域でＭＣＡベアリングカップ１０８の間に提供される。ピン穴１４８は、基板処理システムと、区画１０４のそれぞれのＭＣＡピンパターン１１２との間で移送されているＭＣＡピンを一時的に保持するための中継領域として機能しうる。
いくつかの例において、ＭＣＡベアリングカップ１０８の内の２以上が、それぞれの内側側壁に提供されたスロット１５２（例えば、凹部領域、くぼみ、など）を備えてもよい。例えば、図に示すように、スロット１５２は、ＭＣＡベアリングカップ１０８間の中央領域の対角線上両側にあるＭＣＡベアリングカップ１０８の側壁に提供される。スロット１５２は、ユーザの指先を受け止めるよう構成される。したがって、スロット１５２は、ユーザが、例えば、スロット１５２の内の第１スロットに配置した親指と、スロット１５２の内の第１スロットの反対側のスロット１５２の内の第２スロットに配置した１または複数の指との間に、ＭＣＡ構成要素トレイ１００をつまむことを可能にすることにより、ＭＣＡ構成要素トレイ１００を容易に持ち上げられるようにする。スロット１５２は、楕円形／卵形のくぼみとして示されているが、任意の適切な形状が用いられてよい。
ここで、図２を参照すると、ＭＣＡベアリングカップの例２００が示されている。ＭＣＡベアリングカップ２００は、平面または凹面の底面２０４と、ガイドチャネル２０８とを備えてよい。ガイドチャネル２０８は、底面２０４から、ＭＣＡベアリングカップ２００の外縁すなわちふちを規定する壁２１６に形成されたノッチ２１２まで伸びる。ガイドチャネル２０８は、ＭＣＡベアリング２２０を捕らえて保持するよう構成される。例えば、図に示すように、ガイドチャネル２０８は、ＭＣＡベアリング２２０の保持を容易にするために、比較的平坦な底面２２４と、底面２２４とほぼ垂直な側壁２２８とを有する。他の例において、ガイドチャネル２０８は、曲面、凹面、Ｖ字面などであってもよい。
さらに、図に示すように、ガイドチャネル２０８は、底面２０４のほぼ中央で終わっているが、他の例において、ガイドチャネル２０８は、底面２０４の反対側、ＭＣＡベアリグカップ２００の反対側の別のノッチなど、まで伸びていてもよい。さらに他の例において、ＭＣＡベアリングカップ２００は、２以上のガイドチャネル２０８と、それぞれのノッチ２１２とを備えてもよい。
ＭＣＡベアリングカップ２００の側壁２３６と底面２０４との間の境界（例えば、コーナー）２３２は、カップ２００内のベアリング２２０の保持を容易にすると共に、ガイドチャネル２０８を介してのベアリング２２０の取り出しを容易にするよう設計された曲率半径を有しうる。単に例として、境界２３２の曲率半径は、０．３７５インチ（０．９５２５ｃｍ）〜０．６２５インチ（１．５８７５ｃｍ）の間であってよい。
ここで、図３を参照すると、本開示の原理に従ったＭＣＡ構成要素トレイの別の例３００が示されている。この例において、ＭＣＡ構成要素トレイ３００は、リフトピンのみを備えた基板支持体を有するチャンバのために構成されている（すなわち、基板支持体は、ＭＣＡ構成要素を備えない）。したがって、ＭＣＡ構成要素トレイ３００内の各区画３０４は、リフトピントレイ３０８のみを備える。
ここで、図４を参照すると、本開示の原理に従ったＭＣＡ構成要素トレイの別の例４００が示されている。この例において、ＭＣＡ構成要素と例４００は、単一の基板処理チャンバまたはステーションのために構成されている（すなわち、単一の基板支持体またはペデスタルのみのためにＭＣＡ構成要素を受け入れるよう構成されている）。いくつかの例において、ＭＣＡ構成要素トレイ４００の端部は、他のＭＣＡ構成要素トレイ４００と接続するよう構成されたコネクタ（例えば、相補的なスロットおよびタブ、穴およびピン、など）を備えてよい。このように、２以上のＭＣＡ構成要素トレイ４００が、カスタマイズを容易にするために接続されうる。
ここで、図５を参照すると、本開示の原理に従ったＭＣＡ構成要素トレイの別の例５００が示されている。この例において、各区画５０４は、リフトピントレイ５０８を備える。
ここで、図６Ａ、図６Ｂ、および、図６Ｃを参照すると、本開示の原理に従ったＭＣＡ構成要素トレイの例６００が示されている。ＭＣＡ構成要素トレイ６００は、ＭＣＡピックアップツール６０８を収容するよう構成されたＭＣＡピックアップツールトレイ６０４を備える。換言すると、ＭＣＡピックアップツール６０４は、ＭＣＡピックアップツール６０８のフィーチャを収容するよう形成される。単に例として、ＭＣＡピックアップツール６０８は、プランジャ６１２および外側スリーブ６１６を備える。プランジャ６１２の内部シャフト６２０は、外側スリーブ６１６内でスライドするよう構成される。図６Ｂに示すように、外側スリーブ６１６の端部は、ＭＣＡベアリング６２４を捕らえるよう構成されている。例えば、外側スリーブ６１６の内径が、ＭＣＡベアリング６２４の直径とほぼ等しいことで、外側スリーブ６１６が摩擦によってＭＣＡベアリング６２４を保持することが可能になる。このように、ＭＣＡピックアップツール６０８は、ＭＣＡベアリングカップ６２８、ピン穴６３２などから、ＭＣＡベアリング６２４を取り出すために用いられてよい。逆に、（例えば、外側スリーブ６１６が１または複数の指によって固定された状態で、親指で）プランジャ６１２を押すと、図６Ｃに示すように、内部シャフト６２０が外側スリーブ６１６からＭＣＡベアリング６２４を押し出す。
ここで、図７、図８Ａ、および、図８Ｂを参照すると、ＭＣＡ構成要素トレイの例７００は、ハンドル７０４を備える。例示の目的で、ハンドル７０４とＭＣＡベアリングカップ７０８とを備えるＭＣＡ構成要素トレイの一部のみを、図８Ａおよび図８Ｂに示す。例えば、ハンドル７０４は、ＭＣＡベアリングカップ７０８の間の中央領域に提供されてよい。単に例として示すように、ハンドル７０４は、基板処理ツールの移送プレートと同様の形状である。ハンドル７０４は、図７に示す低位置と、図８Ａおよび図８Ｂに示す高位置との間で駆動されてよい。単に例として、ハンドル７０４は、ＭＣＡベアリングカップ７０８の間の中心点と整列された軸を有するシャフト７１２に関して回転可能であってよい。
一例において、ハンドル７０４は、高位置にある時および／または低位置から高位置まで駆動される間の時に、回転可能である。逆に、ハンドル７０４は、図７に示す低位置にある時に、固定されてよい（すなわち、回転不能になりうる）。したがって、ハンドル７０４は、低位置にある時、ＭＣＡベアリングカップ７０８へのアクセスを妨げない。しかしながら、高位置にある時、ハンドル７０４の回転により、ハンドル７０４の一部が、図８Ａに示すようにＭＣＡベアリングカップ７０８の一部と重なることが可能になりうる。別の例において、ハンドル７０４は、高位置および低位置の両方で固定されてもよい（すなわち、回転不能になりうる）。
図８Ｂに示すように、シャフト７１２は、正方形（または、その他の多角形または非円形）部分７１６と、円形部分７２０とを備えてよい。ＭＣＡ構成要素トレイ７００は、シャフト７１２を受け入れて保持するよう構成された穴７２４を備える。穴７２４は、シャフト７１２の正方形部分７１６を受け入れるよう構成された上側の正方形凹部７２８を備える。したがって、ハンドル７０４が低位置にある時、シャフト７１２の正方形部分７１６は、正方形凹部７２８内に保持され、ハンドル７０４は、回転を妨げられる。逆に、ハンドル７０４が高位置にある時、シャフト７１２の正方形部分７１６は、正方形凹部７２８から取り外され、シャフト７１２は、穴７２４内で自由に回転できる。単に例として示すように、シャフト７１２は、ハンドル７０４が穴７２４から完全に取り外されることを防ぐフランジ７３２を備えてよい。いくつかの例において、シャフト７１２の下側部分（例えば、円形部分７２０）および穴７２４の内径は、ねじ切りされてよい。このように、ハンドル７０４は、上下される時に自動的に回転するよう構成されてよい。例えば、シャフト７１２および穴７２４は、ハンドル７０４が、下げられる場合に図７に示した位置へと自動的に回転し、上げられる場合に図８Ａに示した位置へと自動的に回転するように、ねじ切りされてよい。
上述の記載は、本質的に例示に過ぎず、本開示、応用例、または、利用法を限定する意図はない。本開示の広範な教示は、様々な形態で実施されうる。したがって、本開示には特定の例が含まれるが、図面、明細書、および、以下の特許請求の範囲を研究すれば他の変形例が明らかになるため、本開示の真の範囲は、それらの例には限定されない。方法に含まれる１または複数の工程が、本開示の原理を改変することなく、異なる順序で（または同時に）実行されてもよいことを理解されたい。さらに、実施形態の各々は、特定の特徴を有するものとして記載されているが、本開示の任意の実施形態に関して記載された特徴の内の任意の１または複数の特徴を、他の実施形態のいずれかに実装することができる、および／または、組み合わせが明確に記載されていないとしても、他の実施形態のいずれかの特徴と組み合わせることができる。換言すると、上述の実施形態は互いに排他的ではなく、１または複数の実施形態を互いに置き換えることは本開示の範囲内にある。
要素の間（例えば、モジュールの間、回路要素の間、半導体層の間）の空間的関係および機能的関係性が、「接続される」、「係合される」、「結合される」、「隣接する」、「近接する」、「の上部に」、「上方に」、「下方に」、および、「配置される」など、様々な用語を用いて記載されている。第１および第２の要素の間の関係性を本開示で記載する時に、「直接」であると明確に記載されていない限り、その関係性は、他に介在する要素が第１および第２の要素の間に存在しない直接的な関係性でありうるが、１または複数の介在する要素が第１および第２の要素の間に（空間的または機能的に）存在する間接的な関係性でもありうる。本明細書で用いられているように、「Ａ、Ｂ、および、Ｃの少なくとも１つ」という表現は、非排他的な論理和ＯＲを用いて、論理（ＡまたはＢまたはＣ）を意味すると解釈されるべきであり、「Ａの少なくとも１つ、Ｂの少なくとも１つ、および、Ｃの少なくとも１つ」という意味であると解釈されるべきではない。

Claims (16)

  1. 基板処理システムの最小接触面積（ＭＣＡ）構成要素を保管するためのトレイであって、
    第１リフトピントレイおよび第１の複数の穴の少なくとも一方を備えた第１区画であって、
    前記第１リフトピントレイは、前記基板処理システムのリフトピンを保持するよう構成された複数のスロットを備え、
    前記第１の複数の穴は、前記基板処理システムのＭＣＡピンを受け入れるよう構成されている、第１区画と、
    前記第１区画に隣接して配置された第１カップであって、前記第１カップを少なくとも部分的に囲む壁を備え、前記壁は、前記第１カップを前記第１区画から分離し、前記壁の上縁は、前記第１区画の底面より上に伸びる、第１カップと、
    を備える、トレイ。
  2. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記リフトピントレイは、第２区画と、前記第２区画に隣接して配置された第２カップと、を備える、トレイ。
  3. 請求項２に記載のトレイであって、
    前記第２区画は、第２リフトピントレイおよび第２複数の穴の少なくとも一方を備える、トレイ。
  4. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記第１リフトピントレイは、前記リフトピンのそれぞれの識別子を備える、トレイ。
  5. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記複数のスロットの数は、前記基板処理システム内の前記リフトピンの数に対応する、トレイ。
  6. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記第１リフトピントレイは、前記基板処理システム内の前記リフトピンのそれぞれの位置の識別子を備える、トレイ。
  7. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記第１リフトピントレイは、前記複数のスロットの深さより大きい深さを有するサブトレイを備える、トレイ。
  8. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記第１の複数の穴の数は、前記基板処理システム内の前記ＭＣＡピンの数に対応する、トレイ。
  9. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記第１の複数の穴は、前記基板処理システム内の前記ＭＣＡピンのパターンに対応するパターンに配置される、トレイ。
  10. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記第１の複数の穴の深さは、前記ＭＣＡピンの長さからオフセットを引いた長さに対応する、トレイ。
  11. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記第１の複数の穴の深さは、前記ＭＣＡピンの長さにＭＣＡベアリングの直径を足してオフセットを引いた長さに対応する、トレイ。
  12. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記第１カップは、前記第１カップの底面に形成されたガイドチャネルを備える、トレイ。
  13. 請求項１２に記載のトレイであって、
    前記ガイドチャネルは、前記第１カップの前記底面から、前記第１カップを少なくとも部分的に囲む前記壁まで伸びる、トレイ。
  14. 請求項１３に記載のトレイであって、
    前記第１カップを少なくとも部分的に囲む前記壁は、前記ガイドチャネルと整列されたノッチを備える、トレイ。
  15. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記第１カップの底面は、平面または凹面の少なくとも一方である、トレイ。
  16. 請求項１に記載のトレイであって、
    前記カップの側壁および底面の間の境界は、０．３７５インチ（０．９５２５ｃｍ）〜０．６２５インチ（１．５８７５ｃｍ）の間の曲率半径を有する、トレイ。
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