JP2017124623A - Laminated film - Google Patents

Laminated film Download PDF

Info

Publication number
JP2017124623A
JP2017124623A JP2017001597A JP2017001597A JP2017124623A JP 2017124623 A JP2017124623 A JP 2017124623A JP 2017001597 A JP2017001597 A JP 2017001597A JP 2017001597 A JP2017001597 A JP 2017001597A JP 2017124623 A JP2017124623 A JP 2017124623A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
film
laminated film
laminated
degrees
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017001597A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7005898B2 (en
Inventor
希 横山
Nozomi Yokoyama
希 横山
維允 鈴木
Tadamasa Suzuki
維允 鈴木
慎也 川原
Shinya Kawahara
慎也 川原
東大路 卓司
Takuji Higashioji
卓司 東大路
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Publication of JP2017124623A publication Critical patent/JP2017124623A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7005898B2 publication Critical patent/JP7005898B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminated film that has a good transportability, fabricability and transparency.SOLUTION: There is provided a laminated film in which an A layer and a B layer having different contact angles from each other are laminated on both sides of a base material respectively, and in which the contact angle of the A layer surface with water is 55 to 85 degrees, the contact angle of the B layer surface is 85 to 120 degrees, and in which the contact angle of the A layer surface after carrying out the blocking test by laminating such that the A layer surface and the B layer surface are brought into contact with each other is 55 to 90 degrees and the SRz (10 point average surface roughness) of the A layer and the B layer surface is 250 nm or less.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、搬送性、加工性、透明性が良好な積層フィルムに関する。 The present invention relates to a laminated film having good transportability, processability, and transparency.

積層フィルムは、磁気テープ、強磁性薄膜テープ、写真フィルム、包装用フィルム、電子部品用フィルム、電気絶縁フィルム、金属ラミネート用フィルム、ガラスディスプレイ等の表面に貼るフィルム、各種部材の保護用フィルム等やドライフィルムレジスト(DFR)の支持体、積層セラミックスコンデンサー(MLCC;Multi Layered Ceramics Condenser)を製造する際の離型フィルムの素材として広く用いられている。そのひとつにディスプレイ部材用途が挙げられる。ディスプレイに代表される画像表示装置には、従来ガラス基板が用いられてきた。近年、画像表示装置は、より一層の薄型化、軽量化、大画面化などが求められており、重くて割れやすいガラス基板に代えて、高分子フィルム基板が検討されるようになってきた。高分子フィルム基板としてポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート、ポリカーボネートを含む様々な熱可塑性樹脂が検討されている。各種の画像表示装置には高いバリア性が必要とされるため、高分子フィルム基板とバリア層との密着性を上げる検討がされている(たとえば、特許文献1参照)。一方で、搬送性を改善するために粒子を添加する方法が提案されている(たとえば、特許文献2参照)。 Laminated films are magnetic tapes, ferromagnetic thin film tapes, photographic films, packaging films, films for electronic components, electrical insulation films, films for metal laminates, films to be attached to the surface of glass displays, protective films for various members, etc. It is widely used as a support for a dry film resist (DFR) and a material for a release film when manufacturing a multilayer ceramic capacitor (MLCC; Multi Layered Ceramics Condenser). One of them is the display member application. Conventionally, a glass substrate has been used for an image display device represented by a display. In recent years, there has been a demand for image display devices that are thinner, lighter, and larger in screen size, and polymer film substrates have been studied instead of heavy and fragile glass substrates. Various thermoplastic resins including polypropylene, polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, and polycarbonate have been studied as polymer film substrates. Since various image display devices require high barrier properties, studies have been made to increase the adhesion between the polymer film substrate and the barrier layer (see, for example, Patent Document 1). On the other hand, a method of adding particles in order to improve transportability has been proposed (for example, see Patent Document 2).

特開2014−146582号公報JP 2014-146582 A 特開2008−212837号公報JP 2008-212837 A

しかしながら、特許文献1に記載の方法では、高分子フィルムとバリア層との密着性を上げると搬送性や後加工のハンドリング性が悪化するという課題があった。また、特許文献2に記載の方法では、粒子の脱落による工程汚染やバリア層との密着不良、高へイズ化による機能性の低下が生じるという課題があった。本発明がかかる問題を解決し、粒子脱落での工程汚染がなく、搬送性と平滑性を両立し、透過性、バリア層との密着性に優れる積層フィルムを提供することにある。 However, in the method described in Patent Document 1, there is a problem that if the adhesion between the polymer film and the barrier layer is increased, the transportability and the handling property of post-processing are deteriorated. In addition, the method described in Patent Document 2 has problems in that process contamination due to dropping off of particles, poor adhesion with a barrier layer, and functional deterioration due to high haze are caused. An object of the present invention is to provide a laminated film which solves such problems, has no process contamination due to particle dropping, has both transportability and smoothness, and is excellent in permeability and adhesion to a barrier layer.

上記した課題は、基材層の片側に水との接触角が55〜85度の層(A層)が積層され、基材層のもう一方の側に水との接触角が85〜120度の層(B層)が積層された積層フィルムであって、前記A層表面のSRz(10点平均表面粗さ)、B層表面のSRz(10点平均表面粗さ)がいずれも250nm以下であり、A層表面とB層表面とのブロッキングテスト後のA層表面の水との接触角が55〜90度である積層フィルムによって達成可能である。 The above-described problem is that a layer (A layer) having a contact angle with water of 55 to 85 degrees is laminated on one side of the substrate layer, and a contact angle with water is 85 to 120 degrees on the other side of the substrate layer. Layer (B layer) in which the SRz (10-point average surface roughness) on the surface of the A layer and the SRz (10-point average surface roughness) on the surface of the B layer are both 250 nm or less. Yes, it can be achieved by a laminated film having a contact angle of 55 to 90 degrees with water on the surface of the A layer after the blocking test between the surface of the A layer and the surface of the B layer.

本発明の積層フィルムは粒子脱落での工程汚染がなく、搬送性と平滑性を両立し、透過性、バリア層との密着性が改善されるためディスプレイ部材や、プリント配線基板、半導体パッケージ、フレキシブル基板などの回路を形成するために用いられているドライフィルムレジストの支持体として好適に使用することが出来る。 The laminated film of the present invention is free from process contamination due to particle dropping, has both transportability and smoothness, and has improved permeability and adhesion with the barrier layer, so that it can be used for display members, printed wiring boards, semiconductor packages, flexible It can be suitably used as a support for a dry film resist used for forming a circuit such as a substrate.

以下に具体例を挙げつつ、本発明について詳細に説明する。
本発明の積層フィルムは、基材層の片側にA層、もう一方の側にB層が積層された積層フィルムである。本発明において積層フィルムの基材層は、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステルフィルム、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィンフィルム、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリスチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリアクリルニトリルフィルム、ポリイミドフィルム等が用いられる。機械特性、耐熱性、寸法安定性、耐薬剤性、コストパフォーマンス性などに優れることからポリエステルフィルムであることが好ましい。
本発明におけるポリエステルは、ジカルボン酸構成成分とジオール構成成分を有してなるものである。なお、本明細書内において、構成成分とはポリエステルを加水分解することで得ることが可能な最小単位のことを示す。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with specific examples.
The laminated film of the present invention is a laminated film in which an A layer is laminated on one side of a base material layer and a B layer is laminated on the other side. In the present invention, the base layer of the laminated film is a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET) or polyethylene naphthalate (PEN), a polyolefin film such as polyethylene or polypropylene, a polyether sulfone (PES), a polystyrene film, a polyamide film, a poly A vinyl chloride film, a polycarbonate film, a polyacrylonitrile film, a polyimide film, or the like is used. A polyester film is preferred because it is excellent in mechanical properties, heat resistance, dimensional stability, chemical resistance, cost performance and the like.
The polyester in the present invention has a dicarboxylic acid component and a diol component. In addition, in this specification, a structural component shows the minimum unit which can be obtained by hydrolyzing polyester.

かかるポリエステルを構成するジカルボン酸構成成分としては、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸、ダイマー酸、エイコサンジオン酸、ピメリン酸、アゼライン酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸等の脂肪族ジカルボン酸類、アダマンタンジカルボン酸、ノルボルネンジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、デカリンジカルボン酸、などの脂環族ジカルボン酸、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、1,4−ナフタレンジカルボン酸、1,5−ナフタレンジカルボン酸、2,6−ナフタレンジカルボン酸、1,8−ナフタレンジカルボン酸、4,4’−ジフェニルジカルボン酸、4,4’−ジフェニルエーテルジカルボン酸、5−ナトリウムスルホイソフタル酸、フェニルエンダンジカルボン酸、アントラセンジカルボン酸、フェナントレンジカルボン酸、9,9’−ビス(4−カルボキシフェニル)フルオレン酸等芳香族ジカルボン酸などのジカルボン酸、もしくはそのエステル誘導体が挙げられる。   Examples of the dicarboxylic acid component constituting the polyester include malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, suberic acid, sebacic acid, dodecanedioic acid, dimer acid, eicosandioic acid, pimelic acid, azelaic acid, methylmalon. Aliphatic dicarboxylic acids such as acid, ethylmalonic acid and the like, adamantane dicarboxylic acid, norbornene dicarboxylic acid, cyclohexane dicarboxylic acid, decalin dicarboxylic acid, terephthalic acid, isophthalic acid, phthalic acid, 1,4-naphthalene Dicarboxylic acid, 1,5-naphthalenedicarboxylic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, 1,8-naphthalenedicarboxylic acid, 4,4′-diphenyldicarboxylic acid, 4,4′-diphenyletherdicarboxylic acid, 5-sodiumsulfoisophthalate Acid, fe Toluene boys carboxylic acid, anthracene dicarboxylic acid, phenanthrene carboxylic acid, 9,9'-bis (4-carboxyphenyl) dicarboxylic acids such as fluorene acids and aromatic dicarboxylic acids, or include an ester derivative thereof.

また、かかるポリエステルを構成するジオール構成成分としては、エチレングリコール、1,2−プロパンジオール、1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール等の脂肪族ジオール類、シクロヘキサンジメタノール、スピログリコールなどの脂環式ジオール類、ビスフェノールA、1,3―ベンゼンジメタノール,1,4−ベンセンジメタノール、9,9’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、芳香族ジオール類等のジオール、上述のジオールが複数個連なったものなどがあげられる。   Examples of the diol component constituting the polyester include ethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,4-butanediol, 1,2-butanediol, and 1,3-butanediol. Aliphatic diols such as cyclohexanedimethanol, spiroglycol, bisphenol A, 1,3-benzenedimethanol, 1,4-benzenedimethanol, 9,9′-bis (4-hydroxy Phenyl) fluorene, diols such as aromatic diols, and those in which a plurality of the above diols are linked.

本発明において、基材層に用いるポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレートおよび/またはポリエチレンナフタレートが好ましく用いられる。より好ましくは厚みムラなど塗布性の観点からポリエチレンテレフタレートが好ましい。   In the present invention, polyethylene terephthalate and / or polyethylene naphthalate is preferably used as the polyester used for the base material layer. More preferably, polyethylene terephthalate is preferable from the viewpoint of applicability such as thickness unevenness.

本発明の積層フィルムの基材の厚みは、5μm〜50μmであることが好ましい。より好ましくは10μm〜35μmであることが好ましい。5μm未満であると、ガスバリアフィルムにした際に、搬送性が悪く生産性が落ちる場合がある。一方、厚みが50μmを超えると、ディスプレイを薄型化するのが困難となるだけでなく、ディスプレイ部材用フィルムとしてディスプレイに組み込みにくく生産性が落ちる場合がある。   The thickness of the base material of the laminated film of the present invention is preferably 5 μm to 50 μm. More preferably, it is 10 μm to 35 μm. When it is less than 5 μm, the gas barrier film may have poor transportability and productivity. On the other hand, if the thickness exceeds 50 μm, it is difficult not only to make the display thinner, but it may be difficult to incorporate it into a display as a film for a display member, and productivity may be reduced.

本発明の積層フィルムは、基材層の片側に積層されるA層の水との接触角は55〜85度であって、基材層のもう一方の側に積層されるB層の水との接触角が85〜120度の層である必要がある。   The laminated film of the present invention has a contact angle of 55 to 85 degrees with water of layer A laminated on one side of the base material layer, and water of layer B laminated on the other side of the base material layer. Need to be a layer having a contact angle of 85 to 120 degrees.

一般的に、フィルムは製造工程において、種々のロールで搬送・加工された後、フィルムロールに巻き取られる。そのため、フィルムロールに巻き取られる際には、フィルムの一方の表面と、もう一方の表面が重なる形で巻き取られる。ここでいう加工とは、積層フィルムの少なくとも片面に種々の接着剤層やアンカーコート、オーバーコートやハードコートなどのコーティングを行う工程や、蒸着により種々の層を積層する工程、本願の積層フィルムや、加工後の積層フィルム、他のフィルムや樹脂基材などをラミネートなどで貼り合せる工程のことである。本発明者らが鋭意検討した結果、特許文献1のような従来技術において、バリア層との密着性を上げると搬送性や加工のハンドリング性が悪化するという課題は、このフィルムロールから巻き出す際に、バリア層との密着性を上げた側のフィルム面の影響が、もう一方のフィルム面に影響を与えることに起因することを明らかにした。そして、本発明者らは、基材層の片側に積層されるA層の水との接触角は55〜85度とし、基材層のもう一方の側に積層されるB層の水との接触角が85〜120度の層とすることで上記課題が解決できることを明らかにした。
以下に詳しく説明する。
Generally, in a manufacturing process, a film is wound and wound on a film roll after being conveyed and processed by various rolls. For this reason, when the film is wound on a film roll, the film is wound so that one surface of the film overlaps the other surface. Processing here refers to a process of coating various adhesive layers, anchor coats, overcoats, hard coats, etc. on at least one side of the laminated film, a process of laminating various layers by vapor deposition, the laminated film of the present application, It is a process of laminating a laminated film after processing, another film, a resin base material and the like by lamination. As a result of intensive studies by the present inventors, in the conventional technique such as Patent Document 1, when the adhesion with the barrier layer is increased, the problem that the transportability and the processing handleability are deteriorated is that the film roll is unwound. Furthermore, it has been clarified that the influence of the film surface on the side having improved adhesion to the barrier layer is caused by the influence on the other film surface. And the present inventors set the contact angle with the water of the A layer laminated on one side of the base material layer to 55 to 85 degrees, and the water of the B layer laminated on the other side of the base material layer. It was clarified that the above problem can be solved by using a layer having a contact angle of 85 to 120 degrees.
This will be described in detail below.

本発明の積層フィルムは、基材層の片側に積層されるA層の水との接触角が55〜85度であることが必要である。A層の水との接触角が55度未満であると、加工時に搬送ロールとの滑り性が十分に得られず搬送性が悪化する。85度を超えると加工時にバリア層との接着性が悪化する。A層表面の水との接触角は後述する塗剤処方とすることによって制御することができる。A層の水との接触角は、より好ましくは、58〜80度である。A層の厚みは30nm以上、300nm以下であることが好ましい。A層の厚みが30nm未満であるとバリア層との密着性の低下や搬送性が悪化する場合がある。300nmを超えると加工におけるロール走行時にA層が脱落したり、ヘイズが大きくなったり十分な機能が得られない場合がある。本発明におけるA層は、本発明の積層フィルムをガスバリアフィルムとして用いる際に、ガスバリア層との密着性を向上させる特性を有する。A層を構成する成分としては、基材に対し接着性を有するものであれば特に限定されないが、たとえばポリエステル、ポリカーボネート、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂、アクリル樹脂、尿素樹脂、ウレタン樹脂などを好適に用いることができる。また、異なる2種以上の樹脂、例えば、ポリエステルとウレタン樹脂、ポリエステルとアクリル樹脂、あるいはウレタン樹脂とアクリル樹脂等を組み合わせて用いてもよい。好ましくはポリエステル、アクリル樹脂、ウレタン樹脂であり、特に好ましくはポリエステルである。本発明にかかるA層においては、上記した樹脂に各種の架橋剤を併用すると、耐久性を飛躍的に向上させることができるため、好ましい態様である。A層に用いる樹脂として、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂に架橋性官能基が共重合されている場合、架橋剤を併用することがとくに好ましい。架橋剤はオキサゾリン樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、カルボジイミド樹脂、イソシアネート樹脂が好ましい。より好ましくはオキサゾリン樹脂である。好ましいオキサゾリン樹脂成分とは、分子中にオキサゾリン基構造を有する樹脂、および、前記樹脂と他の成分が反応して得られる樹脂からなる成分を示す。具体的には1,4−ビス(4,5−ジヒドロ−2−オキサゾリル)ベンゼン、2,2’−ビス(2−オキサゾリン)のようなビスオキサゾリン(低分子型オキサゾリン基含有化合物)や、ポリオレフィンを骨格構造としてオキサゾリン変性してオキサゾリン基を導入したもの、ポリスチレンを骨格構造としてオキサゾリン基を導入したもの等の高分子型オキサゾリン基含有化合物などが挙げられる。易接着層にオキサゾリン樹脂成分を含むことで、ポリエステルフィルムの末端カルボキシル基とオキサゾリン基が反応し、密着性を高めることができる。架橋剤は任意の比率で混合して用いることができるが、架橋剤は、A層のベース樹脂100重量部に対し10〜40重量部添加することが耐久性向上の点で好ましく、より好ましくは20〜35重量部添加である。架橋剤の添加量が、10重量部未満の場合、耐久性向上効果が小さくなる場合があり、また、40重量部を越える場合も密着性が低く耐久性が悪化する場合がある。本発明にかかるA層においては、粒子を添加してもよい。添加する粒子の粒径は30〜500nmであることが好ましい。より好ましくは50nm〜400nmである。添加量はA層のベース樹脂100重量部に対して0.5〜20重量部、より好ましくは1〜10重量部が好ましい。   In the laminated film of the present invention, it is necessary that the contact angle with water of the A layer laminated on one side of the base material layer is 55 to 85 degrees. If the contact angle of the A layer with water is less than 55 degrees, the slipperiness with the transport roll cannot be sufficiently obtained during processing, and transportability is deteriorated. If it exceeds 85 degrees, the adhesion with the barrier layer is deteriorated during processing. The contact angle with water on the surface of the A layer can be controlled by using a coating formulation described later. The contact angle of the A layer with water is more preferably 58 to 80 degrees. The thickness of the A layer is preferably 30 nm or more and 300 nm or less. If the thickness of the A layer is less than 30 nm, the adhesiveness with the barrier layer and the transportability may be deteriorated. If it exceeds 300 nm, the A layer may fall off during roll running during processing, haze may increase, or a sufficient function may not be obtained. The A layer in the present invention has a property of improving adhesion with the gas barrier layer when the laminated film of the present invention is used as a gas barrier film. The component constituting the A layer is not particularly limited as long as it has adhesiveness to the substrate. For example, polyester, polycarbonate, epoxy resin, alkyd resin, acrylic resin, urea resin, urethane resin and the like are preferably used. be able to. Further, two or more different resins, for example, polyester and urethane resin, polyester and acrylic resin, or urethane resin and acrylic resin may be used in combination. Polyester, acrylic resin, and urethane resin are preferable, and polyester is particularly preferable. In the A layer according to the present invention, when various crosslinking agents are used in combination with the above-described resin, durability can be drastically improved, which is a preferable embodiment. When a crosslinkable functional group is copolymerized with a polyester resin, a urethane resin, or an acrylic resin as the resin used for the A layer, it is particularly preferable to use a crosslinking agent in combination. The crosslinking agent is preferably an oxazoline resin, a melamine resin, an epoxy resin, a carbodiimide resin, or an isocyanate resin. More preferred is an oxazoline resin. The preferred oxazoline resin component refers to a component comprising a resin having an oxazoline group structure in the molecule and a resin obtained by reacting the resin with other components. Specifically, 1,4-bis (4,5-dihydro-2-oxazolyl) benzene, bisoxazolines (low molecular oxazoline group-containing compounds) such as 2,2′-bis (2-oxazoline), polyolefins And a polymer type oxazoline group-containing compound such as those in which an oxazoline group is introduced by modifying oxazoline as a skeleton structure, and those in which an oxazoline group is introduced with a skeleton structure as polystyrene. By including the oxazoline resin component in the easy-adhesion layer, the terminal carboxyl group of the polyester film and the oxazoline group react to increase the adhesion. The crosslinking agent can be used by mixing at an arbitrary ratio, but the crosslinking agent is preferably added in an amount of 10 to 40 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base resin of the A layer, and more preferably. 20 to 35 parts by weight are added. When the addition amount of the crosslinking agent is less than 10 parts by weight, the durability improving effect may be reduced, and when it exceeds 40 parts by weight, the adhesion may be low and the durability may be deteriorated. In the A layer according to the present invention, particles may be added. The particle diameter of the added particles is preferably 30 to 500 nm. More preferably, it is 50 nm-400 nm. The addition amount is preferably 0.5 to 20 parts by weight, more preferably 1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base resin of the A layer.

本発明の積層フィルムは、基材層のもう一方の側に水との接触角は85〜120度であるB層が積層されていることが必要である。B層の水との接触角が85度未満であると、ロールフィルムから巻出し加工する際にA層面との剥離性が十分でなく、また、搬送性が悪化する。120度を超えると積層フィルムをロールで保管した際にB層の組成分がA層へ移りA層表面の水との接触角を上げる原因となり、例えばガスバリアフィルムに加工する際にガスバリア層との密着性が低下する。B層の水との接触角は、より好ましくは、90〜110度である。なお、B層表面の水との接触角は後述する塗剤処方とすることで制御することができる。B層の厚みは10nm以上、300nm以下であることが好ましい。B層の厚みが10nm未満であると、搬送性が悪化したり加工におけるロール走行時にB層が脱離する場合がある。300nmを超えるとヘイズが大きくなったり加工におけるロール走行時にB層が脱離し十分な機能が得られない場合がある。   In the laminated film of the present invention, it is necessary that the B layer having a contact angle with water of 85 to 120 degrees is laminated on the other side of the base material layer. When the contact angle of the B layer with water is less than 85 degrees, when unrolling from the roll film, the peelability from the surface of the A layer is not sufficient, and the transportability deteriorates. If it exceeds 120 degrees, when the laminated film is stored in a roll, the composition of the B layer moves to the A layer and causes the contact angle with water on the surface of the A layer to increase. For example, when processed into a gas barrier film, Adhesion decreases. The contact angle of the B layer with water is more preferably 90 to 110 degrees. In addition, a contact angle with the water of the B layer surface can be controlled by setting it as the coating agent prescription mentioned later. The thickness of the B layer is preferably 10 nm or more and 300 nm or less. If the thickness of the B layer is less than 10 nm, the transportability may be deteriorated or the B layer may be detached during roll running during processing. If it exceeds 300 nm, haze may increase or the B layer may be detached during roll running during processing, and a sufficient function may not be obtained.

本発明の積層フィルムは、以下の条件でA層表面とB層表面が接触するように積層してブロッキングテストを行った後のA層表面の接触角が55〜90度である必要がある。本願におけるブロッキングテストとは、積層フィルムをロールの状態で保管した際にB層成分のA層への移りの有無やA層成分のB層へのブロッキングの有無を確認する指標として用いることが出来る。ブロッキングテストは、C型の加熱可能な60tプレス機(ゴンノ水圧機製作所製)を用いて、A層表面とB層表面を接触させた積層フィルムを荷重150kgf、温度50度、時間5時間の条件でプレス処理した。ブロッキングテスト後のA層表面の水との接触角が55度未満であると、加工性の悪化や、搬送性の悪化の原因となる。また、ブロッキングテスト後のA層表面の水との接触角が90度を超えるとB層がA層に影響を与えた(B層の組成分がA層へうつった)ことにより、いったんフィルムロールに巻き取ったフィルムロールからフィルムを巻き出してフィルムを加工する際に加工性が悪化する。ブロッキングテスト後のA層表面の水との接触角は、A層とB層に塗工する塗剤を後述する塗剤に調整することで制御することが出来る。   The laminated film of the present invention needs to have a contact angle of 55 to 90 degrees on the surface of the A layer after performing a blocking test by laminating so that the surface of the A layer and the surface of the B layer are in contact with each other under the following conditions. The blocking test in the present application can be used as an index for confirming the presence or absence of the transfer of the B layer component to the A layer or the blocking of the A layer component to the B layer when the laminated film is stored in a roll state. . The blocking test was performed using a C-type heatable 60t press machine (manufactured by Gonno Hydraulic Machinery Co., Ltd.), with a load of 150 kgf, a temperature of 50 degrees, and a time of 5 hours. And pressed. If the contact angle with water on the surface of the layer A after the blocking test is less than 55 degrees, it may cause deterioration in workability and transportability. Also, when the contact angle with water on the surface of the A layer after the blocking test exceeds 90 degrees, the B layer affected the A layer (the composition of the B layer was transferred to the A layer). When the film is unwound from the film roll wound up to process the film, workability deteriorates. The contact angle with water on the surface of the A layer after the blocking test can be controlled by adjusting the coating agent applied to the A layer and the B layer to a coating agent described later.

本発明におけるB層とは、平滑で透明性の高く搬送性も向上させる特性を有する。B層を構成するベースとなる樹脂成分(以下ベース樹脂)としては、基材に対し接着性を有するものであれば特に限定されないが、たとえばポリエステル、ポリカーボネート、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂、アクリル樹脂、尿素樹脂、ウレタン樹脂などを好適に用いることができる。好ましくはポリエステル、アクリル樹脂、ウレタン樹脂であり、特に好ましくはアクリル樹脂である。また、異なる2種以上の樹脂、例えば、ポリエステルとウレタン樹脂、ポリエステルとアクリル樹脂、あるいはウレタン樹脂とアクリル樹脂等を組み合わせて用いてもよい。   The B layer in the present invention has characteristics that are smooth, highly transparent, and improve transportability. The resin component (hereinafter referred to as base resin) constituting the base of the B layer is not particularly limited as long as it has adhesiveness to the base material. For example, polyester, polycarbonate, epoxy resin, alkyd resin, acrylic resin, urea Resin, urethane resin, etc. can be used suitably. Polyester, acrylic resin, and urethane resin are preferable, and acrylic resin is particularly preferable. Further, two or more different resins, for example, polyester and urethane resin, polyester and acrylic resin, or urethane resin and acrylic resin may be used in combination.

また、B層には、長鎖アルキル化合物、ワックス、フッ素化合物、シリコーン化合物などの添加剤を含有させると搬送性と平滑性を両立させることが出来るため好ましい。これらの中でも密着性が良好であることや汚染性が少ないという観点から、長鎖アルキル化合物であることがより好ましい。   In addition, it is preferable to add an additive such as a long-chain alkyl compound, a wax, a fluorine compound, or a silicone compound to the B layer because both transportability and smoothness can be achieved. Among these, a long-chain alkyl compound is more preferable from the viewpoint of good adhesion and low contamination.

長鎖アルキル化合物とは、炭素数が6以上、特に好ましくは8以上の直鎖または分岐のアルキル基を有する化合物のことである。具体例としては、特に限定されるものではないが、長鎖アルキル基含有ポリビニル樹脂、長鎖アルキル基含有アクリル樹脂、長鎖アルキル基含有ポリエステル樹脂、長鎖アルキル基含有アミン化合物、長鎖アルキル基含有エーテル化合物、長鎖アルキル基含有四級アンモニウム塩等が挙げられる。   The long-chain alkyl compound is a compound having a linear or branched alkyl group having 6 or more, particularly preferably 8 or more carbon atoms. Specific examples include, but are not limited to, long-chain alkyl group-containing polyvinyl resins, long-chain alkyl group-containing acrylic resins, long-chain alkyl group-containing polyester resins, long-chain alkyl group-containing amine compounds, long-chain alkyl groups. And an ether compound, a long-chain alkyl group-containing quaternary ammonium salt, and the like.

ワックスとは、天然ワックス、合成ワックス、それらの配合したワックスの中から選ばれたワックスである。天然ワックスとは、植物系ワックス、動物系ワックス、鉱物系ワックス、石油ワックスである。植物系ワックスとしては、キャンデリラワックス、カルナウバワックス、ライスワックス、木ロウ、ホホバ油が挙げられる。動物系ワックスとしては、みつろう、ラノリン、鯨ロウが挙げられる。鉱物系ワックスとしてはモンタンワックス、オゾケライト、セレシンが挙げられる。石油ワックスとしてはパラフィンワックス、マイクロクリスタリンワックス、ペトロラタムが挙げられる。合成ワックスとしては、合成炭化水素、変性ワックス、水素化ワックス、脂肪酸、酸アミド、アミン、イミド、エステル、ケトンが挙げられる。合成炭化水素としては、フィッシャー・トロプシュワックス(別名サゾワールワックス)、ポリエチレンワックスが有名であるが、このほかに低分子量の高分子(具体的には粘度数平均分子量500から20000の高分子)である以下のポリマーも含まれる。すなわち、ポリプロピレン、エチレン・アクリル酸共重合体、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールのブロックまたはグラフト結合体がある。変性ワックスとしてはモンタンワックス誘導体、パラフィンワックス誘導体、マイクロクリスタリンワックス誘導体が挙げられる。ここでの誘導体とは、精製、酸化、エステル化、ケン化のいずれかの処理、またはそれらの組み合わせによって得られる化合物である。水素化ワックスとしては硬化ひまし油、および硬化ひまし油誘導体が挙げられる。   The wax is a wax selected from natural waxes, synthetic waxes, and blended waxes thereof. Natural waxes are plant waxes, animal waxes, mineral waxes, and petroleum waxes. Examples of plant waxes include candelilla wax, carnauba wax, rice wax, wood wax, and jojoba oil. Animal waxes include beeswax, lanolin, and whale wax. Examples of the mineral wax include montan wax, ozokerite, and ceresin. Examples of petroleum wax include paraffin wax, microcrystalline wax, and petrolatum. Synthetic waxes include synthetic hydrocarbons, modified waxes, hydrogenated waxes, fatty acids, acid amides, amines, imides, esters, and ketones. As synthetic hydrocarbons, Fischer-Tropsch wax (also known as Sazoir wax) and polyethylene wax are famous, but in addition to this, low molecular weight polymers (specifically, polymers having a viscosity number average molecular weight of 500 to 20000) Some of the following polymers are also included. That is, there are polypropylene, ethylene / acrylic acid copolymer, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol and polypropylene glycol block or graft conjugate. Examples of the modified wax include montan wax derivatives, paraffin wax derivatives, and microcrystalline wax derivatives. The derivative herein is a compound obtained by any of purification, oxidation, esterification, saponification treatment, or a combination thereof. Hydrogenated waxes include hardened castor oil and hardened castor oil derivatives.

シリコーン化合物とは、分子内にシリコーン構造を有する化合物のことであり、シリコーンエマルション、アクリルグラフトシリコーン、シリコーングラフトアクリル、アミノ変性シリコーン、パーフルオロアルキル変性シリコーン、アルキル変性シリコーン等が挙げられる。耐熱性、汚染性を考慮し、硬化型シリコーン樹脂を含有することが好ましい。
硬化型シリコーン樹脂の種類としては、付加型、縮合型、紫外線硬化型、電子線硬化型等いずれの硬化反応タイプでも用いることができる。
The silicone compound is a compound having a silicone structure in the molecule, and examples thereof include silicone emulsion, acrylic graft silicone, silicone graft acrylic, amino-modified silicone, perfluoroalkyl-modified silicone, and alkyl-modified silicone. In view of heat resistance and contamination, it is preferable to contain a curable silicone resin.
As the type of the curable silicone resin, any of the curing reaction types such as an addition type, a condensation type, an ultraviolet curable type, and an electron beam curable type can be used.

上記添加剤は、B層のベース樹脂100重量部に対し5〜70重量部添加することが搬送性向上の点で好ましく、より好ましくは20〜60重量部添加である。架橋剤の添加量が、5重量部未満の場合、搬送性向上効果が小さくなる場合があり、また、70重量部を越える場合は透明性が低い場合や、表面粗さが大きくなり搬送性が悪化する場合がある。これらの離型剤は単独で用いてもよいし、複数使用してもよい。   The additive is preferably added in an amount of 5 to 70 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base resin of the B layer from the viewpoint of improving transportability, and more preferably 20 to 60 parts by weight. When the addition amount of the crosslinking agent is less than 5 parts by weight, the effect of improving the transportability may be reduced, and when it exceeds 70 parts by weight, the transparency is low or the surface roughness is increased and the transportability is increased. It may get worse. These release agents may be used alone or in combination.

また、B層を構成する成分として架橋剤を添加することが好ましい。前述した樹脂に各種の架橋剤を併用することにより、耐久性を飛躍的に向上させることができる。架橋剤はオキサゾリン樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、カルボジイミド樹脂、イソシアネート樹脂が好ましい。前述した長鎖アルキル化合物との相溶性や接触角を適切な範囲に制御する観点から、より好ましくはメラミン樹脂、カルボジイミド樹脂、イソシアネート樹脂であり、接触角を適切な範囲に制御するためにさらに好ましくはメラミン樹脂である。架橋剤は任意の比率で混合して用いることができるが、架橋剤は、B層のベース樹脂100重量部に対し50〜150重量部添加が耐久性向上の点で好ましく、より好ましくは80〜120重量部添加である。架橋剤の添加量が50重量部未満の場合、A層とのブロッキングが生じ十分なバリア性能が得られない場合がある。また、150重量部を越える場合基材との密着性が低くバリア性能が悪化する場合がある。   Moreover, it is preferable to add a crosslinking agent as a component which comprises B layer. The durability can be drastically improved by using various crosslinking agents in combination with the aforementioned resin. The crosslinking agent is preferably an oxazoline resin, a melamine resin, an epoxy resin, a carbodiimide resin, or an isocyanate resin. From the viewpoint of controlling the compatibility with the long-chain alkyl compound and the contact angle to an appropriate range, melamine resin, carbodiimide resin, and isocyanate resin are more preferable, and more preferable for controlling the contact angle to an appropriate range. Is a melamine resin. The crosslinking agent can be used by mixing at an arbitrary ratio, but the crosslinking agent is preferably added in an amount of 50 to 150 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the base resin of the B layer, more preferably 80 to 120 parts by weight is added. When the added amount of the crosslinking agent is less than 50 parts by weight, blocking with the A layer may occur and sufficient barrier performance may not be obtained. On the other hand, when it exceeds 150 parts by weight, the adhesion with the substrate is low and the barrier performance may be deteriorated.

本発明の積層フィルムはA層とB層表面のSRz(10点平均表面粗さ)がいずれも250nm以下である必要がある。A層、B層のいずれかの表面のSRz(10点平均表面粗さ)が250nmを超えると表面の突起が引っ掛かりとなり塗剤の削れや脱落の原因となる。また、ガスバリアフィルムとして加工するときに密着性が十分に得られず欠点が増加する場合がある。より好ましくは200nm以下である。積層フィルムのA層とB層表面のSRz(10点平均表面粗さ)を制御する方法は特に限られるものではないが、例えば、積層フィルムの基材や塗剤に含有する粒子の含有量、粒径により調整することができる。積層フィルムの基材や塗剤に含有する粒子の含有量が多くなると、また、粒径が大きくなるとSRzは大きくなる傾向が見られる。SRzを低くするためには、基材に粒子が含有されていないことが好ましい。また、透明性の観点からも、基材には粒子が含有されていないことが好ましい。また、A層とB層に塗工する塗剤についても粒子が含有していると、ヘイズが悪化したり粒子の脱落による工程汚染や塗剤の削れや脱落により機能性の低下が生じる場合がある。特に、A層とB層に塗工する塗剤を後述する塗剤に調整して用いることが好ましい。   In the laminated film of the present invention, SRz (10-point average surface roughness) on the surface of the A layer and the B layer needs to be 250 nm or less. If SRz (10-point average surface roughness) on the surface of either the A layer or the B layer exceeds 250 nm, the surface protrusions will be caught, causing the coating material to be scraped or dropped off. In addition, when processed as a gas barrier film, sufficient adhesion may not be obtained and defects may increase. More preferably, it is 200 nm or less. The method for controlling SRz (10-point average surface roughness) of the A layer and B layer surfaces of the laminated film is not particularly limited. For example, the content of particles contained in the base material or coating material of the laminated film, It can be adjusted by the particle size. When the content of particles contained in the base material or coating material of the laminated film increases, the SRz tends to increase as the particle size increases. In order to reduce SRz, it is preferable that the substrate does not contain particles. Also, from the viewpoint of transparency, it is preferable that the substrate does not contain particles. In addition, if the coating is applied to the A layer and the B layer, if the particles are contained, haze may be deteriorated, or process deterioration due to particle dropping or functional deterioration may occur due to shaving or dropping of the coating. is there. In particular, it is preferable that the coating agent applied to the A layer and the B layer is adjusted to the coating agent described later.

本発明の積層フィルムは、ブロッキングテスト後のA層表面とB層表面の接触角の差が20〜60度であることが好ましい。さらに好ましくは22〜50度であり、より好ましくは25〜45度である。20度未満であると、A層表面とB層表面の密着性が上がりブロッキングが生じて、搬送性が悪化し、加工後に十分な性能が得られない場合がある。60度を超えるとB層の組成分がA層へ移っている可能性があり加工時にA層の密着性が低下し搬送性が悪化する場合がある。   In the laminated film of the present invention, the difference in contact angle between the surface of the layer A and the surface of the layer B after the blocking test is preferably 20 to 60 degrees. More preferably, it is 22-50 degrees, More preferably, it is 25-45 degrees. If it is less than 20 degrees, the adhesion between the surface of the A layer and the surface of the B layer is increased, blocking occurs, the transportability is deteriorated, and sufficient performance may not be obtained after processing. If it exceeds 60 degrees, the composition of the B layer may have moved to the A layer, and the adhesion of the A layer may be reduced during processing, and the transportability may deteriorate.

本発明の積層フィルムは、前記A層表面、B層表面の摩擦係数μdがいずれも0.35以下であることが好ましい。より好ましくは0.3以下である。更に好ましくは0.25以下である。摩擦係数μdは低いほど好ましいが、低すぎると製造工程で巻ずれなどを起こしやすく生産性が悪化する場合があるため、0.05以上とすることが好ましい。A層表面、B層表面のいずれかの摩擦係数μdが0.35よりも大きいと滑り性が十分でないため、搬送時にシワや巻き付きがおこり、生産性が悪化する場合がある。摩擦係数μdはA層とB層に塗工する塗剤を後述する塗剤に調整することによって制御することが出来る。   In the laminated film of the present invention, the friction coefficient μd on the surface of the A layer and the surface of the B layer is preferably 0.35 or less. More preferably, it is 0.3 or less. More preferably, it is 0.25 or less. The friction coefficient μd is preferably as low as possible. However, if it is too low, it is liable to cause winding slippage in the production process and the productivity may be deteriorated. If the friction coefficient μd on either the surface of the A layer or the surface of the B layer is larger than 0.35, the slipperiness is not sufficient, so that wrinkles or wrapping may occur at the time of conveyance, and productivity may deteriorate. The coefficient of friction μd can be controlled by adjusting the coating applied to the A layer and the B layer to the coating described later.

本発明の積層フィルムは、ヘイズが3%以下であることが好ましい。より好ましくは0〜2%である。3%より大きいとディスプレイ用のガスバリアフィルムとしたときに画質が悪くなる場合がある。ヘイズはフィルムの基材となる原料およびA層とB層に塗工する塗剤を後述する塗剤に調整することによって制御することが出来る。   The laminated film of the present invention preferably has a haze of 3% or less. More preferably, it is 0 to 2%. If it exceeds 3%, the image quality may be deteriorated when a gas barrier film for display is used. The haze can be controlled by adjusting the raw material to be the base material of the film and the coating agent applied to the A layer and the B layer to the coating agent described later.

次に、本発明の積層フィルムの製造方法について説明する。これは一例であり、本発明は、かかる例によって得られる物のみに限定して解釈されるものではない。   Next, the manufacturing method of the laminated | multilayer film of this invention is demonstrated. This is an example, and the present invention should not be construed as being limited to the product obtained by such an example.

まず、本発明の積層フィルムの基材としてポリエステルを例に挙げて説明する。原料となるポリエステル樹脂は、ジカルボン酸、もしくはそのエステル誘導体と、ジオールを周知の方法でエステル交換反応、もしくはエステル化反応させることによって得ることができる。従来公知の反応触媒としてはアルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、亜鉛化合物、鉛化合物、マンガン化合物、コバルト化合物、アルミニウム化合物、アンチモン化合物、チタン化合物、リン化合物などを挙げることが出来る。好ましくは、通常の製造方法が完結する以前の任意の段階において、重合触媒としてアルカリ金属化合物、マンガン化合物、アンチモン化合物またはゲルマニウム化合物、チタン化合物を添加することが好ましく、積層フィルム基材の耐湿熱性を高める観点からナトリウム化合物、マンガン化合物を添加することがより好ましい。このような方法としては例えば、マンガン化合物を例に取るとマンガン化合物粉体をそのまま添加することが好ましい。   First, polyester will be described as an example of the base material of the laminated film of the present invention. The polyester resin used as a raw material can be obtained by subjecting a dicarboxylic acid or its ester derivative and a diol to a transesterification or esterification reaction by a well-known method. Examples of conventionally known reaction catalysts include alkali metal compounds, alkaline earth metal compounds, zinc compounds, lead compounds, manganese compounds, cobalt compounds, aluminum compounds, antimony compounds, titanium compounds, and phosphorus compounds. Preferably, an alkali metal compound, a manganese compound, an antimony compound or a germanium compound, or a titanium compound is preferably added as a polymerization catalyst at any stage before the normal production method is completed, and the moisture and heat resistance of the laminated film substrate is improved. It is more preferable to add a sodium compound and a manganese compound from the viewpoint of enhancing the above. As such a method, for example, when a manganese compound is taken as an example, it is preferable to add the manganese compound powder as it is.

またポリエステル樹脂の末端カルボキシル基量は重合時の温度や、ポリエステル樹脂を重合した後、190℃〜ポリエステル樹脂の融点未満の温度で、減圧または窒素ガスのような不活性気体の流通下で加熱する、いわゆる固相重合の時間によってコントロールすることができる。具体的には重合時の温度が高くなると末端カルボキシル基量が増加し、固相重合の時間を長くすると末端カルボキシル基量が低くなる。     Moreover, the terminal carboxyl group amount of the polyester resin is heated at a polymerization temperature or after polymerization of the polyester resin at a temperature of 190 ° C. to less than the melting point of the polyester resin under reduced pressure or a flow of an inert gas such as nitrogen gas. It can be controlled by the so-called solid phase polymerization time. Specifically, the amount of terminal carboxyl groups increases as the polymerization temperature increases, and the amount of terminal carboxyl groups decreases as the time of solid phase polymerization increases.

積層フィルム基材の製造方法はポリエステル樹脂原料を押出機内で加熱溶融し、口金から冷却したキャストドラム上に押し出してシート状に加工する方法(溶融キャスト法)を使用することができる。このとき、ポリマー中の未溶融物を除去するために、繊維焼結ステンレス金属フィルターによりポリマーを濾過してもよい。さらに、本発明の効果を阻害しない範囲内であれば、各種添加剤、例えば、相溶化剤、可塑剤、耐候剤、酸化防止剤、熱安定剤、滑剤、帯電防止剤、導電剤、紫外線吸収剤、難燃剤、難燃助剤などが添加されてもよい。その他の方法として、原料を溶媒に溶解させ、その溶液を口金からキャストドラム、エンドレスベルト等の支持体上に押し出して膜状とし、次いでかかる膜層から溶媒を乾燥除去させてシート状に加工する方法(溶液キャスト法)等も使用することができる。また積層フィルムの基材が積層構造の場合の製造方法は、積層する各層の材料が熱可塑性樹脂を主たる構成とする場合、二つの異なる熱可塑性樹脂を二台の押出機に投入し溶融してから合流させて、口金から冷却したキャストドラム上に共押出してシート状に加工する方法(共押出法)を好ましく用いることができる。     As a method for producing a laminated film substrate, a method (melt casting method) in which a polyester resin raw material is heated and melted in an extruder and extruded from a die onto a cast drum cooled to be processed into a sheet shape can be used. At this time, in order to remove the unmelted material in the polymer, the polymer may be filtered with a fiber sintered stainless metal filter. Furthermore, various additives such as compatibilizers, plasticizers, weathering agents, antioxidants, thermal stabilizers, lubricants, antistatic agents, conductive agents, ultraviolet absorbers, as long as the effects of the present invention are not impaired. An agent, a flame retardant, a flame retardant aid and the like may be added. As another method, the raw material is dissolved in a solvent, and the solution is extruded from a die onto a support such as a cast drum or an endless belt to form a film, and then the solvent is dried and removed from the film layer to form a sheet. A method (solution casting method) or the like can also be used. In addition, the manufacturing method in the case where the base material of the laminated film has a laminated structure is such that when the material of each layer to be laminated is mainly composed of a thermoplastic resin, two different thermoplastic resins are put into two extruders and melted. Preferably, a method (coextrusion method) of co-extrusion onto a cast drum cooled from the die and processed into a sheet shape can be preferably used.

押出機(積層構造の場合は複数台の押出機)に原料を投入し、溶融して口金から押出し(積層構造の場合は共押出)し、冷却した表面温度10〜60℃に冷却されたドラム上で静電気により密着冷却固化し、未延伸シートを作製する。次に、この未延伸シートを70〜140℃の温度に加熱されたロール群に導き、長手方向(縦方向、すなわちシートの進行方向)に3〜4倍延伸し、20〜50℃の温度のロール群で冷却する。続いて、シートの両端をクリップで把持しながらテンターに導き、80〜150℃の温度に加熱された雰囲気中で、長手方向に直角な方向(幅方向)に3〜4倍に延伸する。延伸倍率は、長手方向と幅方向それぞれ3〜5倍とするが、その面積倍率(縦延伸倍率×横延伸倍率)は9〜15倍であることが好ましい。面積倍率が9倍未満であると、得られる二軸延伸シートの耐久性が不十分となり、逆に面積倍率が15倍を超えると延伸時に破れを生じ易くなる傾向がある。尚、二軸延伸する方法としては、上述の様に長手方向と幅方向の延伸とを分離して行う逐次二軸延伸方法の他に、長手方向と幅方向の延伸を同時に行う同時二軸延伸方法のどちらであっても構わない。   Raw material is charged into an extruder (multiple extruders in the case of a laminated structure), melted, extruded from a die (coextrusion in the case of a laminated structure), and cooled to a surface temperature of 10 to 60 ° C. Above, it cools and solidifies by static electricity to produce an unstretched sheet. Next, this unstretched sheet is led to a group of rolls heated to a temperature of 70 to 140 ° C., and stretched 3 to 4 times in the longitudinal direction (longitudinal direction, that is, the traveling direction of the sheet). Cool with rolls. Subsequently, the both ends of the sheet are guided to a tenter while being gripped by clips, and are stretched 3 to 4 times in a direction (width direction) perpendicular to the longitudinal direction in an atmosphere heated to a temperature of 80 to 150 ° C. The stretching ratio is 3 to 5 times in each of the longitudinal direction and the width direction, and the area ratio (longitudinal stretching ratio x lateral stretching ratio) is preferably 9 to 15 times. When the area magnification is less than 9 times, the durability of the resulting biaxially stretched sheet is insufficient, and conversely when the area magnification exceeds 15 times, there is a tendency that tearing tends to occur during stretching. As the biaxial stretching method, in addition to the sequential biaxial stretching method in which the stretching in the longitudinal direction and the width direction is separated as described above, simultaneous biaxial stretching in which stretching in the longitudinal direction and the width direction is simultaneously performed. Either method can be used.

本発明の積層フィルムにおいてA層およびB層を形成するための塗剤組成物の調製方法として、まず分散溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン、酢酸エチル、酢酸ブチル、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、テトラヒドロフラン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、メタノール、エタノールおよび水等を例示することができ、エマルジョン型および溶解型のいずれでも良い。近年では環境保護、省資源化、製造時における有機溶剤の排気問題などが重視され、水を溶媒の主体とした溶解型、もしくはエマルジョン型が好ましい形態である。また、易接着層に含まれる樹脂成分を塗剤組成物の調製のため水にエマルジョン化させる方法としては、特に制限されるものではなく、固/液撹拌装置や乳化機として広く当業者に知られている装置によって作製することができる。   As a method for preparing a coating composition for forming the A layer and the B layer in the laminated film of the present invention, first, as a dispersion solvent, for example, toluene, xylene, ethyl acetate, butyl acetate, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone , Tetrahydrofuran, dimethylformamide, dimethylacetamide, methanol, ethanol, water and the like, and any of emulsion type and dissolution type may be used. In recent years, emphasis has been placed on environmental protection, resource saving, exhaust problems of organic solvents at the time of production, etc., and a dissolved type or an emulsion type with water as the main solvent is a preferred form. The method for emulsifying the resin component contained in the easy-adhesion layer in water for preparing the coating composition is not particularly limited, and is widely known to those skilled in the art as a solid / liquid stirring device or an emulsifier. It can be produced by a device that is used.

またA層およびB層を形成するための塗剤組成物を調製後、保管する環境としては5℃以上、35℃以下の室温環境下で保管することが好ましい。また調整から塗布を行うまでの保管期間としては1週間以内が好ましい。塗剤組成物の保管環境が前記の条件を満たさない場合、分散している樹脂成分の安定性が損なわれ、所望の特性を有する易接着層が得られない場合がある。   Moreover, after preparing the coating composition for forming A layer and B layer, it is preferable to store in the room temperature environment of 5 degreeC or more and 35 degrees C or less as an environment to store. The storage period from adjustment to application is preferably within one week. When the storage environment of the coating composition does not satisfy the above conditions, the stability of the dispersed resin component is impaired, and an easy-adhesion layer having desired characteristics may not be obtained.

次にA層およびB層を形成する方法は、特に制限されるべきものではないが、コーティング手法を用いるのが好ましい。コーティング手法としては、公知の方法を適用することができ、例えば、ロールコーティング法、ディップコーティング法、バーコーティング法、ダイコーティング法およびグラビアロールコーティング法等や、これらを組み合わせた方法を利用することができる。中でも塗剤の選択幅が広い観点からはバーコーティング法が好ましく、一方でA層およびB層の厚みを大きくしたい場合は厚膜塗布性の観点からダイコーティング法およびグラビアロールコーティング法が好ましく選択できる。   Next, the method for forming the A layer and the B layer is not particularly limited, but a coating method is preferably used. As a coating method, a known method can be applied, and for example, a roll coating method, a dip coating method, a bar coating method, a die coating method, a gravure roll coating method, or a combination of these methods can be used. it can. Among them, the bar coating method is preferable from the viewpoint of a wide selection range of coating materials, while the die coating method and the gravure roll coating method can be preferably selected from the viewpoint of thick film coating property when it is desired to increase the thickness of the A layer and the B layer. .

更にA層およびB層の形成は積層フィルム基材の製造工程の中で設けるインラインコーティングにて行うのが工程簡略化や低コスト化の観点からより好ましい。具体的には、逐次二軸延伸方法の場合には、未延伸シートあるいは一軸延伸したシートを形成した後に、同時二軸延伸方法の場合には未延伸シートを形成した後に、それぞれ前記のコーティング工程を設け易接着層を形成する塗剤組成物を塗布した後、塗剤組成物の乾燥工程と同時に積層フィルムの熱固定を行う。この時、塗剤組成物の乾燥温度はディスプレイ積層フィルムの耐久性の観点から150℃以上250℃以下が好ましく、より好ましくは170℃以上230℃以下、更に好ましくは180℃以上220℃以下である。   Furthermore, the formation of the A layer and the B layer is more preferably performed by in-line coating provided in the production process of the laminated film base material from the viewpoint of process simplification and cost reduction. Specifically, in the case of the sequential biaxial stretching method, after forming an unstretched sheet or a uniaxially stretched sheet, in the case of the simultaneous biaxial stretching method, after forming the unstretched sheet, the above coating step After applying the coating composition that forms the easy-adhesion layer, the laminated film is heat-set simultaneously with the drying step of the coating composition. At this time, the drying temperature of the coating composition is preferably 150 ° C. or higher and 250 ° C. or lower, more preferably 170 ° C. or higher and 230 ° C. or lower, more preferably 180 ° C. or higher and 220 ° C. or lower, from the viewpoint of durability of the display laminated film. .

また必要に応じて積層フィルム基材への塗剤組成物の濡れ性向上やA層およびB層形成後の層間接着力向上の観点から、コーティング工程の直前に積層フィルム基材の表面へコロナ処理やプラズマ処理を行ってもよい。
このようにして得られる本発明の積層フィルムは、DFRの支持体として好ましく用いられる。一般的に、DFRは、感光層(フォトレジスト層)が、ポリエステルフィルムからなる支持体とLDPEフィルムなどからなる保護フィルム(カバーフィルム)との間に挟まれたサンドイッチ構造をしている。このDFRを用いて導体回路を作製するには、一般的に次のような操作が行われる。
If necessary, from the viewpoint of improving the wettability of the coating composition to the laminated film substrate and improving the interlayer adhesion after forming the A layer and the B layer, a corona treatment is performed on the surface of the laminated film substrate immediately before the coating process. Alternatively, plasma treatment may be performed.
The laminated film of the present invention thus obtained is preferably used as a DFR support. In general, the DFR has a sandwich structure in which a photosensitive layer (photoresist layer) is sandwiched between a support made of a polyester film and a protective film (cover film) made of an LDPE film or the like. In order to produce a conductor circuit using this DFR, the following operations are generally performed.

すなわち、DFRから保護フィルムを剥離し、露出したレジスト層の表面と、基板上の例えば銅箔などの導電性基材層の表面とが密着するように、基板・導電性基材層とラミネートする。次に、導体回路パターンを焼き付けたレチクルを、ポリエステルフィルムからなる支持体上に置き、その上から、感光性樹脂を主体としたレジスト層に光線を照射して、露光させる。その後、レクチルおよびポリエステルフィルムを剥離した後、溶剤によってレジスト層中の未反応分を溶解、除去する。次いで、酸などでエッチングを行い、導電性基材層中の露出した部分を溶解、除去する。この結果、レジスト層中の光反応部分とこの光反応部分に対応する導電性基材層部分がそのまま残ることになる。その後、残ったレジスト層を除去すれば、基板上の導体回路が形成されることになる。   That is, the protective film is peeled off from the DFR and laminated with the substrate / conductive substrate layer so that the exposed surface of the resist layer and the surface of the conductive substrate layer such as copper foil on the substrate are in close contact with each other. . Next, the reticle onto which the conductor circuit pattern is baked is placed on a support made of a polyester film, and the resist layer mainly composed of a photosensitive resin is exposed to light by irradiating light. Thereafter, after the reticle and polyester film are peeled off, unreacted components in the resist layer are dissolved and removed with a solvent. Next, etching is performed with an acid or the like to dissolve and remove the exposed portion in the conductive base material layer. As a result, the photoreactive portion in the resist layer and the conductive base material layer portion corresponding to the photoreactive portion remain as they are. Thereafter, if the remaining resist layer is removed, a conductor circuit on the substrate is formed.

このような方法により導体回路が形成されるので、支持体としてポリエステルフィルムには、離型性が要求されるところ、本発明の積層フィルムのB層上にレジスト層を形成することは好ましい実施形態のひとつである。B層の水との接触角が85〜120度の範囲であれば、本発明の積層フィルムをレジスト層から剥がす場合にレジスト層との離型性が良好となりレジスト性が向上する。B層の接触角が85度未満の場合、レジスト層との離型性が悪くなり、レジスト性が低下する場合がある。また、B層の接触角が120度を超えるとレジスト層との密着性が低下し、レジスト層をB層上に形成しにくくなるため、レジスト性が悪化する。   Since a conductor circuit is formed by such a method, a release layer is required for the polyester film as a support, and it is preferable to form a resist layer on the B layer of the laminated film of the present invention. It is one of. When the contact angle of the B layer with water is in the range of 85 to 120 degrees, when the laminated film of the present invention is peeled off from the resist layer, the releasability with the resist layer is improved and the resist property is improved. When the contact angle of the B layer is less than 85 degrees, the releasability with the resist layer is deteriorated, and the resist property may be lowered. On the other hand, when the contact angle of the B layer exceeds 120 degrees, the adhesion with the resist layer is lowered, and it becomes difficult to form the resist layer on the B layer, so that the resist property is deteriorated.

また、B層のSRzが250nm以下であれば、B層上にレジスト層を形成する場合、レジスト層の傷付きを少なくできるため好ましい。さらにブロッキングテスト後のA層表面とB層表面の水との接触角の差が20〜60度であれば、レジスト層とB層の離型性が良好である。   In addition, if SRz of the B layer is 250 nm or less, it is preferable to form a resist layer on the B layer because scratches on the resist layer can be reduced. Furthermore, if the difference in contact angle between the water on the surface of the A layer and the surface of the B layer after the blocking test is 20 to 60 degrees, the releasability between the resist layer and the B layer is good.

また、上述の条件でA層表面とB層表面が接触するように積層してブロッキングテストを行った後のA層表面の接触角は、55度以上90度以下であることが好ましい。該接触角が55度未満であると、フィルムの搬送性が悪化し、レジスト性が劣る場合がある。また、ブロッキングテスト後のA層表面の水との接触角が90度を超えるとB層がA層に影響を与えた(B層の組成分がA層へうつった)ことにより、いったんフィルムロールに巻き取ったフィルムロールからフィルムを巻き出してフィルムを加工する際にレジスト性が悪化することがある。   Moreover, it is preferable that the contact angle of the surface of the A layer after the lamination test is performed so that the surface of the A layer and the surface of the B layer are in contact with each other under the above conditions is 55 degrees or more and 90 degrees or less. When the contact angle is less than 55 degrees, the transportability of the film is deteriorated and the resist property may be inferior. Also, when the contact angle with water on the surface of the A layer after the blocking test exceeds 90 degrees, the B layer affected the A layer (the composition of the B layer was transferred to the A layer). When the film is unwound from the film roll wound up to process the film, the resist property may deteriorate.

[特性の測定方法・評価方法]
(1)水との接触角(度)
接触角計CA−D型(協和界面科学株式会社製)を用い、JIS R 3257(1999)に準じて測定を行った。積層フィルムを室温23℃相対湿度60%の雰囲気に24時間放置する。その後、同雰囲気下で測定面に対して純水の接触角を、5点測定し、5点の測定値の最大値と最小値を除いた3点の平均値を接触角とした。
[Measurement and evaluation method of characteristics]
(1) Contact angle with water (degrees)
Measurement was performed according to JIS R 3257 (1999) using a contact angle meter CA-D type (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.). The laminated film is left in an atmosphere of room temperature 23 ° C. and relative humidity 60% for 24 hours. Thereafter, 5 contact angles of pure water were measured with respect to the measurement surface under the same atmosphere, and an average value of 3 points excluding the maximum value and the minimum value of the 5 measured values was defined as the contact angle.

(2)ブロッキング性(ブロッキングテスト後の剥離性)
積層フィルムを5cm四方にカットする。積層フィルムのA層表面とB層表面が接するように積層させ、C型の加熱可能な60tプレス機(ゴンノ水圧機製作所製)を用いて150kgf荷重を50℃で5時間処理した。2枚の積層フィルムを重ねて処理した後のサンプルをピンセットで剥離した際の抵抗を下記基準にて、ブロッキング性を評価した。
A:剥離時の抵抗はほとんどなく、また、剥離した積層フィルムに層間剥離はない。
B:剥離時に抵抗はあるが、剥離した積層フィルムに層間剥離はない。
C:剥離した積層フィルムの少なくともいずれかにA層とB層の層間剥離が生じている。
D:剥離した積層フィルムの少なくともいずれかにA層とB層の層間剥離が生じ、また、剥離した積層フィルムの少なくともいずれかがカールする。
(2) Blocking property (peelability after blocking test)
Cut the laminated film into 5cm squares. The laminated film was laminated so that the surface of the A layer and the surface of the B layer were in contact with each other, and a 150 kgf load was processed at 50 ° C. for 5 hours using a C-type 60t press machine (manufactured by Gonno Hydraulic Machine Works). The blocking property was evaluated according to the following criteria for the resistance when the sample after being processed by stacking two laminated films was peeled off with tweezers.
A: There is almost no resistance at the time of peeling, and there is no delamination in the peeled laminated film.
B: Although there is resistance at the time of peeling, there is no delamination in the peeled laminated film.
C: Delamination of the A layer and the B layer occurs in at least one of the peeled laminated films.
D: Delamination between the A layer and the B layer occurs in at least one of the peeled laminated films, and at least one of the peeled laminated films curls.

(3)ブロッキングテスト後の水との接触角(度)
積層フィルムを5cm四方にカットする。積層フィルムのA層表面とB層表面が接するように積層させ、C型の加熱可能な60tプレス機(ゴンノ水圧機製作所製)を用いて150kgf荷重を50℃で5時間処理した。処理後の積層フィルムを「(1)水との接触角」の方法にて、水との接触角(度)を測定した。
(3) Contact angle with water after blocking test (degrees)
Cut the laminated film into 5cm squares. The laminated film was laminated so that the surface of the A layer and the surface of the B layer were in contact with each other, and a 150 kgf load was processed at 50 ° C. for 5 hours using a C-type 60t press machine (manufactured by Gonno Hydraulic Machine Works). The contact angle (degree) with water was measured for the laminated film after the treatment by the method of “(1) Contact angle with water”.

(4)SRz(10点平均表面粗さ) (nm)
触針法の高精細微細形状測定器(3次元表面粗さ計)を用いてJIS−B0601(1994年)に準拠して、下記条件にてポリエステルフィルムの表面形態を測定した。
・測定装置 :3次元微細形状測定器(型式ET−4000A)(株)小坂研究所製
・解析機器 :3次元表面粗さ解析システム(型式TDA−31)
・触針 :先端半径0.2μmR、ダイヤモンド製
・針圧 :50μN
・測定方向 :フィルム長手方向、フィルム幅方向を各1回測定後平均
・X測定長さ:380μm
・X送り速さ:0.1mm/s(測定速度)
・Y測定長さ:280μm
・Y送りピッチ:5μm(測定間隔)
・Z倍率 :100,000(縦倍率)
・低域カットオフ:0.08mm(うねりカットオフ値)
・高域カットオフ:無し(粗さカットオフ値)
・フィルタ方式:ガウシアンライン型
・レベリング:あり(傾斜補正)。
(4) SRz (10-point average surface roughness) (nm)
The surface morphology of the polyester film was measured under the following conditions in accordance with JIS-B0601 (1994) using a high-definition fine shape measuring instrument (three-dimensional surface roughness meter) of the stylus method.
・ Measuring device: 3D fine shape measuring instrument (model ET-4000A), manufactured by Kosaka Laboratory Ltd./Analyzing equipment: 3D surface roughness analysis system (model TDA-31)
-Stylus: Tip radius 0.2 μm R, made of diamond-Needle pressure: 50 μN
・ Measurement direction: film longitudinal direction and film width direction average after each measurement ・ X measurement length: 380 μm
-X feed speed: 0.1 mm / s (measurement speed)
・ Y measurement length: 280μm
・ Y feed pitch: 5μm (measurement interval)
・ Z magnification: 100,000 (vertical magnification)
・ Low frequency cut-off: 0.08mm (swell cut-off value)
・ High frequency cutoff: None (Roughness cutoff value)
-Filter method: Gaussian line type-Leveling: Available (tilt correction).

(5)搬送性(摩擦係数μd)
東洋精機(株)製スリップテスターを用いて、JIS K 7125(1999年)に準じて、2枚の積層フィルムのA層とB層を重ねて摩擦させた時の値を3回測定し、その平均値から長手方向の摩擦係数μdを求めた。摩擦係数μdを搬送性の指標として下記基準に従い評価した。
A:0.25以下
B:0.35以下で0.25を超える
C:0.35を超える。
(5) Transportability (friction coefficient μd)
Using a slip tester manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd., according to JIS K 7125 (1999), the values when the A layer and the B layer of two laminated films were rubbed and rubbed were measured three times. The longitudinal friction coefficient μd was determined from the average value. The friction coefficient μd was evaluated according to the following criteria as an index of transportability.
A: 0.25 or less B: 0.35 or less and exceeding 0.25 C: exceeding 0.35

(6)透明性(ヘイズ(%))
日本電色工業(株)製濁度計「NDH5000」を用いて、JIS K 7136(2000年)に準じて3回測定し、その平均値をヘイズの値とした。へイズを透明性の指標として下記基準に従って評価した。
A:0〜2%以下
B:2%を超えて3%以下
C:3%を超える。
(6) Transparency (Haze (%))
Using a turbidimeter “NDH5000” manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd., it was measured three times according to JIS K 7136 (2000), and the average value was taken as the haze value. The haze was evaluated according to the following criteria as an index of transparency.
A: 0 to 2% or less B: Over 2% to 3% or less C: Over 3%.

(7)フィルム厚み(μm)
フィルム厚みは、ダイヤルゲージを用い、JIS K7130(1992年)A−2法に準じて、フィルムを10枚重ねた状態で任意の5ヶ所について厚さを測定した。その平均値を10で除してフィルム厚みとした。
(7) Film thickness (μm)
The film thickness was measured at any five locations using a dial gauge in accordance with JIS K7130 (1992) A-2 method with 10 films stacked. The average value was divided by 10 to obtain the film thickness.

(8)密着性
アクリルポリオールとトリイジルイソシアネートを、アクリルポリオールのOH基に対してNCO基が等量となるように加え、全固形分が5w%になるよう酢酸エチルで希釈し、さらにこれにβ−(3,4エポキシシクロヘキシル)トリメトキシシランを全固形分に対し5w%添加して混合し、屈折率調整剤として酸化ジルコニアゾル(メタノール溶剤分散、平均粒径30nm)を全固形分に対して15wt%を加えてアンカーコート溶液とした。これを乾燥後の膜厚が0.1μmなるよう積層フィルムにグラビアコート法を用いて塗布し、アンカーコート層を得た。上記アンカーコート層面に酸化珪素材料(高純度化学研究所社製)からなる蒸着材料を電子ビーム加熱法で加熱し、成膜圧力は1.1×10−2Paとして膜厚が20nmとなるように蒸着薄膜層を形成した。次に、上記蒸着薄膜層上にテトラエトキシシラン10.4gに塩酸(0.1N)89.6gを加え、30分間撹拌して加水分解させた固形分3wt%(SiO換算)の加水分解溶液と、ポリビニルアルコールの3wt%水/イソプロピルアルコール溶液{水:イソプロピルアルコール=90:10(重量比)}を混合したガスバリア被覆液を、乾燥後の膜厚が0.3μmになるようにグラビアコート法により形成して積層フィルム上にガスバリア層を作製しガスバリア積層フィルムとした。
作製したガスバリア積層フィルムをテクノロックス社製の水蒸気透過度測定装置(機種名:DELTAPERM(登録商標))を使用して温度40℃、湿度90%RH、測定面積50cmの条件で水蒸気透過度を測定した。各点について10回、10点測定し、当該点における平均値を求め、その値を水蒸気透過度(g/(m・24hr・atm))とした。ガスバリア層と積層フィルムとの密着性が良いとバリア性が高く、水蒸気透過度は小さい。またガスバリア層と積層フィルムの密着性が悪いとバリア性は不十分となり、水蒸気透過度は高くなる。水蒸気透過度を密着性の指標として下記基準にて評価した。
A(密着性良好):水蒸気透過度が1.0×10−3(g/(m・24hr・atm))以下
B(密着性可):水蒸気透過度が1.0×10−3(g/(m・24hr・atm))を超えて〜10.0×10−3(g/(m・24hr・atm))以下
C(密着性不可):水蒸気透過度が10.0×10−3(g/(m・24hr・atm))を超える。
(8) Adhesive Acrylic polyol and triidyl isocyanate are added so that the NCO group is equivalent to the OH group of the acrylic polyol, and diluted with ethyl acetate so that the total solid content is 5 w%. Add β- (3,4 epoxycyclohexyl) trimethoxysilane to 5% by weight of the total solid content, mix, and add zirconia sol (methanol solvent dispersion, average particle size 30 nm) as a refractive index adjuster to the total solid content. 15 wt% was added to obtain an anchor coat solution. This was applied to the laminated film using a gravure coating method so that the film thickness after drying was 0.1 μm to obtain an anchor coat layer. A vapor deposition material made of a silicon oxide material (manufactured by High-Purity Chemical Laboratory Co., Ltd.) is heated on the anchor coat layer surface by an electron beam heating method so that the film formation pressure is 1.1 × 10 −2 Pa and the film thickness is 20 nm. An evaporated thin film layer was formed on the substrate. Next, 89.6 g of hydrochloric acid (0.1N) was added to 10.4 g of tetraethoxysilane on the vapor-deposited thin film layer, and a hydrolyzed solution having a solid content of 3 wt% (converted to SiO 2 ) was stirred for 30 minutes for hydrolysis. And a 3 wt% water / isopropyl alcohol solution of polyvinyl alcohol {water: isopropyl alcohol = 90: 10 (weight ratio)} in a gravure coating method so that the film thickness after drying becomes 0.3 μm A gas barrier layer was produced on the laminated film to obtain a gas barrier laminated film.
Using the water vapor permeability measuring device (model name: DELTAPERRM (registered trademark)) manufactured by Technolox Co., Ltd., the produced gas barrier laminated film was subjected to water vapor permeability under the conditions of a temperature of 40 ° C., a humidity of 90% RH, and a measurement area of 50 cm 2. It was measured. Ten points were measured 10 times for each point, the average value at that point was determined, and the value was taken as the water vapor permeability (g / (m 2 · 24 hr · atm)). When the adhesion between the gas barrier layer and the laminated film is good, the barrier property is high and the water vapor permeability is small. Further, if the adhesion between the gas barrier layer and the laminated film is poor, the barrier property is insufficient and the water vapor permeability is increased. The water vapor permeability was evaluated according to the following criteria as an adhesion index.
A (good adhesion): water vapor permeability is 1.0 × 10 −3 (g / (m 2 · 24 hr · atm)) or less B (adhesion is possible): water vapor permeability is 1.0 × 10 −3 ( g / (m 2 · 24 hr · atm)) to 10.0 × 10 −3 (g / (m 2 · 24 hr · atm)) or less C (adhesion not possible): water vapor permeability is 10.0 × 10 −3 (g / (m 2 · 24 hr · atm)) is exceeded.

(9)レジスト性の評価
以下a.からc.の方法により評価を行う。
a.片面鏡面研磨した6インチSiウエハー上に、東京応化(株)製のネガレジスト“PMERN−HC600”を塗布し、大型スピナーで回転させることによって厚み7μmのレジスト層を作製する。次いで、窒素循環の通風オーブンを用いて70℃の温度条件で約20分間の前熱処理を行う。
b.本発明の積層フィルムのB層をレジスト層と接触するように重ね、ゴム製のローラーを用いて、レジスト層上にポリエステルフィルムをラミネートし、その上に、クロム金属でパターニングされたレチクルを配置し、そのレクチル上からI線(波長365nmにピークをもつ紫外線)ステッパーを用いて露光を行う。
c.レジスト層から積層フィルムを剥離した後、東京応化(株)製の現像液“PMER N−A5”が入った容器にレジスト層を入れ約1分間の現像を行う。その後、現像液から取り出し、水で約1分間の洗浄を行う。現像後に作成されたレジストパターンのL/S(μm)(Line and Space)=10/10μmの30本の状態を走査型電子顕微鏡SEMを用いて約800〜3000倍率で観察し、パターンに欠けのある本数で以下のように評価する。
(9) Evaluation of resist properties: a. To c. The method is used for evaluation.
a. A negative resist “PMERN-HC600” manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd. is applied onto a 6-inch Si wafer that has been mirror-polished on one side, and is rotated with a large spinner to form a resist layer having a thickness of 7 μm. Next, pre-heat treatment is performed for about 20 minutes under a temperature condition of 70 ° C. using a ventilation oven with nitrogen circulation.
b. The layer B of the laminated film of the present invention is laminated so as to be in contact with the resist layer, a polyester film is laminated on the resist layer using a rubber roller, and a reticle patterned with chromium metal is placed thereon. Then, exposure is performed from above the reticle using an I-line (ultraviolet light having a peak at a wavelength of 365 nm) stepper.
c. After peeling the laminated film from the resist layer, the resist layer is put in a container containing a developer “PMER N-A5” manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. and developed for about 1 minute. Thereafter, the developer is taken out and washed with water for about 1 minute. Thirty states of L / S (μm) (Line and Space) = 10/10 μm of the resist pattern created after development were observed at a magnification of about 800 to 3000 using a scanning electron microscope SEM. A certain number is evaluated as follows.

S;欠けのある本数が0から3本
A;欠けのある本数が4から8本
B;欠けのある本数が9から13本
C;欠けのある本数が13本以上
S: The number of missing pieces is 0 to 3 A; The number of missing pieces is 4 to 8 B; The number of missing pieces is 9 to 13 C; The number of missing pieces is 13 or more

以下、本発明について実施例を挙げて説明するが、本発明は必ずしもこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated, this invention is not necessarily limited to these.

[PETの製造]テレフタル酸ジメチル100質量部、エチレングリコール57.5質量部、酢酸マグネシウム2水和物0.03質量部、三酸化アンチモン0.03質量部を150℃、窒素雰囲気下で溶融した。この溶融物を撹拌しながら230℃まで3時間かけて昇温し、メタノールを留出させ、エステル交換反応を終了した。エステル交換反応終了後、リン酸0.005質量部をエチレングリコール0.5質量部に溶解したエチレングリコール溶液(pH5.0)を添加した。このときのポリエステル組成物の固有粘度は0.2未満であった。この後、重合反応を最終到達温度285℃、真空度0.1Torrで行い、固有粘度0.52、末端カルボキシル基量が15当量/トンのポリエチレンテレフタレートを得た。得られたポリエチレンテレフタレートを160℃で6時間乾燥、結晶化させた。その後、220℃、真空度0.3Torr、8時間の固相重合を行い、固有粘度0.80、末端カルボキシル基量が10当量/トンのポリエチレンテレフタレート(PETチップ−1)を得た。得られたPETチップのガラス転移温度は82℃、融点は255℃であった。   [Production of PET] 100 parts by mass of dimethyl terephthalate, 57.5 parts by mass of ethylene glycol, 0.03 parts by mass of magnesium acetate dihydrate and 0.03 parts by mass of antimony trioxide were melted at 150 ° C. in a nitrogen atmosphere. . While stirring this melt, the temperature was raised to 230 ° C. over 3 hours to distill methanol, and the transesterification reaction was completed. After completion of the transesterification reaction, an ethylene glycol solution (pH 5.0) in which 0.005 parts by mass of phosphoric acid was dissolved in 0.5 parts by mass of ethylene glycol was added. The intrinsic viscosity of the polyester composition at this time was less than 0.2. Thereafter, the polymerization reaction was performed at a final temperature of 285 ° C. and a degree of vacuum of 0.1 Torr to obtain polyethylene terephthalate having an intrinsic viscosity of 0.52 and a terminal carboxyl group amount of 15 equivalents / ton. The obtained polyethylene terephthalate was dried and crystallized at 160 ° C. for 6 hours. Thereafter, solid-state polymerization was performed at 220 ° C. and a vacuum degree of 0.3 Torr for 8 hours to obtain polyethylene terephthalate (PET chip-1) having an intrinsic viscosity of 0.80 and a terminal carboxyl group amount of 10 equivalents / ton. The obtained PET chip had a glass transition temperature of 82 ° C. and a melting point of 255 ° C.

参考例1
(塗剤Aの調製)
ポリエステル樹脂を76重量部とオキサゾリン系架橋剤((株)日本触媒製“エポクロス(登録商標)”WS300)を24重量部を固形分濃度8wt%になるように水で混合攪拌し、塗剤Aとした。
Reference example 1
(Preparation of coating agent A)
76 parts by weight of a polyester resin and 24 parts by weight of an oxazoline-based cross-linking agent (“Epocross (registered trademark) WS300 manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.) are mixed and stirred in water so that the solid concentration is 8 wt%. It was.

参考例2
(塗剤Bの調製)
アクリル樹脂を38重量部とメチロール型メラミン架橋剤(三和ケミカル(株)製“ニカラック(登録商標)”MW12LF)を38重量部、長鎖アルキル系高分子化合物(中京油脂(株)製“レゼム”)を24重量部、固形分濃度8wt%になるように水で混合攪拌し、塗材Bとした。
Reference example 2
(Preparation of coating agent B)
38 parts by weight of an acrylic resin, 38 parts by weight of a methylol-type melamine cross-linking agent (“Nicarac (registered trademark)” MW12LF manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), a long-chain alkyl polymer (“Resem” manufactured by Chukyo Yushi Co., Ltd.) )) Was mixed and stirred with water so that the solid content concentration was 8 wt%, and a coating material B was obtained.

参考例3
(塗剤Cの調製)
アクリル樹脂を30重量部とメチロール型メラミン架橋剤(三和ケミカル(株)製“ニカラック(登録商標)”MW12LF)を30重量部、長鎖アルキル系高分子化合物(中京油脂(株)製“レゼム”)を40重量部、固形分濃度8wt%になるように水で混合攪拌し、塗材Cとした。
Reference example 3
(Preparation of coating agent C)
30 parts by weight of an acrylic resin, 30 parts by weight of a methylol-type melamine cross-linking agent (“Nikalac (registered trademark)” MW12LF manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), a long-chain alkyl polymer (“Rezem manufactured by Chukyo Yushi Co., Ltd.) )) Was mixed and stirred with water so that the solid concentration was 8 wt%, and coating material C was obtained.

参考例4
(塗剤Dの調製)
アクリル樹脂を44重量部とメチロール型メラミン架橋剤(三和ケミカル(株)製“ニカラック(登録商標)”MW12LF)を44重量部、長鎖アルキル系高分子化合物(中京油脂(株)製“レゼム”)を12重量部、固形分濃度8wt%になるように水で混合攪拌し、塗材Dとした。
Reference example 4
(Preparation of coating agent D)
44 parts by weight of acrylic resin, 44 parts by weight of methylol-type melamine cross-linking agent (“NIKALAC (registered trademark)” MW12LF manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), long-chain alkyl polymer compound (“RESEM manufactured by Chukyo Yushi Co., Ltd.) )) Was mixed and stirred with water so that the solid concentration was 8 wt%.

参考例5
(塗剤Eの調製)
アクリル樹脂を38重量部とメチロール型メラミン架橋剤(三和ケミカル(株)製“ニカラック(登録商標)”MW12LF)を38重量部、フッ素樹脂(DIC(株)製“メガファック(登録商標)”F−477)を24重量部、固形分濃度8wt%になるように水で混合攪拌し、塗材Eとした。
Reference Example 5
(Preparation of coating E)
38 parts by weight of acrylic resin, 38 parts by weight of methylol type melamine cross-linking agent (“Nikarak (registered trademark)” MW12LF manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), fluororesin (“Megafuck (registered trademark)” manufactured by DIC Corporation) F-477) was mixed and stirred with water so that the solid content concentration was 8 wt%, and a coating material E was obtained.

参考例6
(塗剤Fの調製)
アクリル樹脂を38重量部とメチロール型メラミン架橋剤(三和ケミカル(株)製“ニカラック(登録商標)”MW12LF)を38重量部、シリコーン樹脂(信越化学(株)製“KM9738−A”)を24重量部、固形分濃度8wt%になるように水で混合攪拌し、塗剤Fとした。
Reference Example 6
(Preparation of coating agent F)
38 parts by weight of acrylic resin, 38 parts by weight of methylol type melamine cross-linking agent (“Nikarak (registered trademark)” MW12LF manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), silicone resin (“KM9738-A” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) A coating agent F was prepared by mixing and stirring with water so that the solid content concentration was 24 wt parts.

参考例7
(塗剤Gの調製)
ポリエステル樹脂を76重量部とオキサゾリン系架橋剤((株)日本触媒製“エポクロス(登録商標)”WS300)を23重量部、粒子径が150nmのシリカ粒子0.8重量部、粒子径300nmのシリカ粒子0.2重量部を固形分濃度8wt%になるように水で混合攪拌し、塗剤Gとした。
Reference Example 7
(Preparation of coating agent G)
76 parts by weight of a polyester resin, 23 parts by weight of an oxazoline-based crosslinking agent (“Epocross (registered trademark) WS300 manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), 0.8 parts by weight of silica particles having a particle diameter of 150 nm, and silica having a particle diameter of 300 nm A coating agent G was prepared by mixing and stirring 0.2 parts by weight of the particles with water so that the solid concentration was 8 wt%.

参考例8
(塗Hの調製)
アクリル樹脂を66重量部とメチロール型メラミン架橋剤(三和ケミカル(株)製“ニカラック(登録商標)”MW12LF)を10重量部、長鎖アルキル系高分子化合物(中京油脂(株)製“レゼム”)を24重量部、固形分濃度8wt%になるように水で混合攪拌し、塗材Hとした。
Reference Example 8
(Preparation of coating H)
66 parts by weight of acrylic resin, 10 parts by weight of methylol-type melamine cross-linking agent (“Nikalac (registered trademark)” MW12LF manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), long-chain alkyl polymer compound (“Rezem manufactured by Chukyo Yushi Co., Ltd.) )) Was mixed and stirred with water so that the solid content concentration was 8 wt%, and a coating material H was obtained.

参考例9
(塗剤Iの調製)
ポリエステル樹脂を80重量部とメチロール型メラミン架橋剤(三和ケミカル(株)製“ニカラック(登録商標)”MW12LF)を20重量部を固形分濃度8wt%になるように水で混合攪拌し、塗剤Iとした。
Reference Example 9
(Preparation of coating agent I)
80 parts by weight of a polyester resin and 20 parts by weight of a methylol-type melamine cross-linking agent (“NIKALAC (registered trademark)” MW12LF manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.) are mixed and stirred in water so that the solid content concentration is 8 wt%. Agent I was designated.

(実施例1)
PETチップを180℃で3時間減圧乾燥した。温度制御に鋳込み電熱ヒータと水冷ジャケットを用いて282℃にシリンダが加熱された押出機Eに供給し、Tダイ口金に導入した。
Example 1
The PET chip was dried under reduced pressure at 180 ° C. for 3 hours. Using a cast electric heater and a water cooling jacket for temperature control, the cylinder was heated to 282 ° C. and supplied to an extruder E and introduced into a T die die.

次いで、Tダイ口金内から、PETチップの溶融物をシート状に押出して溶融単層シートとし、表面温度25℃のキャストドラムに静電荷を印加させながら密着冷却固化させて、未延伸フィルムを作製した。続いて、得られた未延伸フィルムを加熱したロール群で予熱した後、シリコーン製の延伸ロールとニップロールを用いて張力をカットし、長手方向に90℃の温度で3.5倍MD延伸を行った後、25℃の温度のロール群で冷却して一軸延伸フィルムを得た。次いで一軸延伸したシートにコロナ処理を施した。次にA層に(参考例1)の塗剤Aを、B層に(参考例2)の塗剤Bをマイヤーバーにて両面塗布した後、フィルムの両端を60℃以下に冷却したクリップで把持しながらテンター内の80℃の温度の予熱ゾーンに導き、引き続き連続的に90℃の温度の加熱ゾーンで長手方向に直角な幅方向(TD方向)に4.0倍延伸した。さらに引き続いて、テンター内の熱処理ゾーンで232℃の温度で5秒間の熱処理を施し、さらに232℃の温度で4%幅方向に弛緩処理を行った。次いで、冷却ゾーンで均一に徐冷後、巻き取って、積層フィルムを得た。得られたフィルムの特性を表1に示す。搬送性、ブロッキング性、密着性、透明性、レジスト性のすべてにおいて優れる積層フィルムであった。   Next, from the inside of the T die die, the melt of PET chips is extruded into a sheet to form a molten single layer sheet, which is cooled and solidified while applying an electrostatic charge to a cast drum having a surface temperature of 25 ° C. to produce an unstretched film did. Subsequently, after the obtained unstretched film was preheated with a heated roll group, the tension was cut using a silicone-made stretching roll and a nip roll, and 3.5 times MD stretching was performed at a temperature of 90 ° C. in the longitudinal direction. Then, it was cooled with a roll group having a temperature of 25 ° C. to obtain a uniaxially stretched film. Next, the uniaxially stretched sheet was subjected to corona treatment. Next, the coating A of (Reference Example 1) is applied to the A layer, and the coating B of (Reference Example 2) is applied to the B layer on both sides with a Meyer bar, and then the both ends of the film are cooled to 60 ° C. or less. While gripping, the film was guided to a preheating zone at a temperature of 80 ° C. in the tenter, and continuously stretched by 4.0 times in the width direction (TD direction) perpendicular to the longitudinal direction in a heating zone at a temperature of 90 ° C. Subsequently, a heat treatment was performed at a temperature of 232 ° C. for 5 seconds in a heat treatment zone in the tenter, and a relaxation treatment was further performed in the 4% width direction at a temperature of 232 ° C. Next, the film was gradually cooled in a cooling zone and wound up to obtain a laminated film. The properties of the obtained film are shown in Table 1. It was a laminated film excellent in all of transportability, blocking property, adhesion, transparency, and resist properties.

(実施例2)
B層の塗剤として(参考例3)の塗剤Cを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。
(Example 2)
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating agent C of (Reference Example 3) was used as the coating agent for the B layer. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1.

(実施例3)
B層の塗剤として(参考例4)の塗剤Dを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。
(Example 3)
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating material D of (Reference Example 4) was used as the coating material for the B layer. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1.

(実施例4)
A層の塗剤として(参考例7)の塗剤Gを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。
Example 4
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating agent G of (Reference Example 7) was used as the coating agent for the A layer. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1.

(実施例5)
B層の塗剤として(参考例8)の塗剤Hを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。
(実施例4)
A層の塗剤として(参考例9)の塗剤Iを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。
(Example 5)
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating material H of (Reference Example 8) was used as the coating material for the B layer. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1.
Example 4
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating material I of (Reference Example 9) was used as the coating material for the A layer. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1.

(比較例1)
A層とB層の塗剤として(参考例7)の塗剤Gを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。A層とB層の水との接触角差が小さく、搬送性、ブロッキング性、密着性、レジスト性に劣る積層フィルムとなった。
(Comparative Example 1)
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating material G of (Reference Example 7) was used as the coating material for the A layer and the B layer. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1. The contact angle difference between the water of the A layer and the B layer was small, and a laminated film inferior in transportability, blocking property, adhesion, and resist properties was obtained.

(比較例2)
B層の塗剤として(参考例5)の塗剤Eを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。B層の組成分がA層へ移り、ガスバリア層とA層の密着性が劣る積層フィルムとなった。また、レジスト性にも劣るフィルムであった。
(Comparative Example 2)
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating E of (Reference Example 5) was used as the coating for the B layer. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1. The composition of the B layer moved to the A layer, resulting in a laminated film having poor adhesion between the gas barrier layer and the A layer. Moreover, it was a film inferior to resist property.

(比較例3)
B層の塗剤として(参考例6)の塗剤Fを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。ヘイズが高く、透明性に劣る積層フィルムとなった。また、レジスト性にも劣るフィルムであった。
(Comparative Example 3)
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating agent F of (Reference Example 6) was used as the coating agent for the B layer. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1. It became a laminated film having high haze and inferior transparency. Moreover, it was a film inferior to resist property.

(比較例4)
基材に20μmのポリプロピレンフィルムを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。SRz(10点平均表面粗さ)が大きく、密着性、透明性、レジスト性に劣る積層フィルムとなった。
(Comparative Example 4)
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that a 20 μm polypropylene film was used as the substrate. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1. SRz (10-point average surface roughness) was large, resulting in a laminated film inferior in adhesion, transparency, and resist properties.

(比較例5)
A層とB層の塗剤として(参考例2)の塗剤Bを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。A層とB層の接触角が高く、密着性に劣る積層フィルムとなった。また、レジスト性にも劣るフィルムであった。
(Comparative Example 5)
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating material B of (Reference Example 2) was used as the coating material for the A layer and the B layer. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1. The contact angle of A layer and B layer was high, and it became a laminated film inferior to adhesiveness. Moreover, it was a film inferior to resist property.

(比較例6)
B層の塗剤として(参考例9)の塗剤Hを用いたこと以外は、実施例1と同様にして積層フィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表1に示す。B層が搬送工程で脱落したり、A層にブロッキングを起こし搬送性、密着性に劣る積層フィルムとなった。また、レジスト性にも劣るフィルムであった。
(Comparative Example 6)
A laminated film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating material H of (Reference Example 9) was used as the coating material for the B layer. The evaluation results of the obtained film are shown in Table 1. The B layer dropped off in the transporting process, or the A layer was blocked, resulting in a laminated film having poor transportability and adhesion. Moreover, it was a film inferior to resist property.

Figure 2017124623
Figure 2017124623

本発明の積層フィルムは粒子脱落での工程汚染がなく、搬送性と平滑性を両立し、透過性、バリア層との密着性に優れるためディスプレイ部材として好適に使用することが出来る。 The laminated film of the present invention is suitable for use as a display member because it is free from process contamination due to particle dropping, has both transportability and smoothness, and is excellent in permeability and adhesion to the barrier layer.

Claims (9)

基材層の片側に水との接触角が55〜85度の層(A層)が積層され、基材層のもう一方の側に水との接触角が85〜120度の層(B層)が積層された積層フィルムであって、
前記A層表面のSRz(10点平均表面粗さ)、B層表面のSRz(10点平均表面粗さ)がいずれも250nm以下であり、以下の条件で行うA層表面とB層表面とのブロッキングテスト後のA層表面の水との接触角が55〜90度である積層フィルム。
[ブロッキングテスト条件]
積層フィルムを5cm四方にカットする。積層フィルムのA層表面とB層表面が接するように積層させ、C型の加熱可能な60tプレス機(ゴンノ水圧機製作所製)を用いて150kgf荷重を50℃で5時間処理する。
A layer having a contact angle with water of 55 to 85 degrees (A layer) is laminated on one side of the base material layer, and a layer having a contact angle with water of 85 to 120 degrees on the other side of the base material layer (B layer) ) Are laminated films,
SRz (10-point average surface roughness) on the surface of the A layer and SRz (10-point average surface roughness) on the surface of the B layer are both 250 nm or less, and the A layer surface and the B layer surface performed under the following conditions: A laminated film having a contact angle with water on the surface of the A layer after the blocking test of 55 to 90 degrees.
[Blocking test conditions]
Cut the laminated film into 5cm squares. The laminated film is laminated so that the surface of the A layer and the surface of the B layer are in contact with each other, and a 150 kgf load is processed at 50 ° C. for 5 hours using a C-type heatable 60 t press machine (manufactured by Gonno Hydraulic Machine Works).
ブロッキングテスト後のA層表面とB層表面の水との接触角の差が20〜60度である、請求項1に記載の積層フィルム。 The laminated film according to claim 1, wherein a difference in contact angle between the water on the surface of the A layer and the surface of the B layer after the blocking test is 20 to 60 degrees. 前記A層表面、B層表面の摩擦係数μdがいずれも0.35以下である、請求項1または2に記載の積層フィルム。 The laminated film according to claim 1 or 2, wherein both the surface of the A layer and the surface of the B layer have a friction coefficient μd of 0.35 or less. 積層フィルムのヘイズが3%以下である、請求項1〜3のいずれかに記載の積層フィルム。 The laminated film according to any one of claims 1 to 3, wherein the haze of the laminated film is 3% or less. 基材層がポリエステルからなる層である、請求項1〜4のいずれかに記載の積層フィルム。 The laminated film according to any one of claims 1 to 4, wherein the base material layer is a layer made of polyester. ディスプレイの部材のガスバリアフィルムの基材として用いられる請求項1〜5のいずれかに記載の積層フィルム。 The laminated film according to any one of claims 1 to 5, which is used as a base material for a gas barrier film of a member of a display. 請求項1〜6のいずれかに記載の積層フィルムを用いたディスプレイ部材用ガスバリアフィルム。 The gas barrier film for display members using the laminated | multilayer film in any one of Claims 1-6. 請求項7に記載のガスバリアフィルムを用いたディスプレイ。 A display using the gas barrier film according to claim 7. ドライフィルムレジストの支持体として用いられる請求項1〜5のいずれかに記載の積層フィルム。 The laminated film according to any one of claims 1 to 5, which is used as a support for a dry film resist.
JP2017001597A 2016-01-13 2017-01-10 Laminated film Active JP7005898B2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016004110 2016-01-13
JP2016004110 2016-01-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017124623A true JP2017124623A (en) 2017-07-20
JP7005898B2 JP7005898B2 (en) 2022-01-24

Family

ID=59364833

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017001597A Active JP7005898B2 (en) 2016-01-13 2017-01-10 Laminated film

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7005898B2 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004012610A (en) * 2002-06-04 2004-01-15 Toray Ind Inc Biaxially oriented polyester film for dry photoresist
JP2005082784A (en) * 2003-09-11 2005-03-31 Mitsubishi Polyester Film Copp Polyester film for high-resolution dry film resist
JP2007152932A (en) * 2005-07-04 2007-06-21 Teijin Dupont Films Japan Ltd Polyester film for gas barrier working, and gas barrier laminated polyester film consisting of the same
JP2009184331A (en) * 2008-02-09 2009-08-20 Mitsubishi Plastics Inc Release film
JP2011161696A (en) * 2010-02-07 2011-08-25 Mitsubishi Plastics Inc Laminated polyester film

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004012610A (en) * 2002-06-04 2004-01-15 Toray Ind Inc Biaxially oriented polyester film for dry photoresist
JP2005082784A (en) * 2003-09-11 2005-03-31 Mitsubishi Polyester Film Copp Polyester film for high-resolution dry film resist
JP2007152932A (en) * 2005-07-04 2007-06-21 Teijin Dupont Films Japan Ltd Polyester film for gas barrier working, and gas barrier laminated polyester film consisting of the same
JP2009184331A (en) * 2008-02-09 2009-08-20 Mitsubishi Plastics Inc Release film
JP2011161696A (en) * 2010-02-07 2011-08-25 Mitsubishi Plastics Inc Laminated polyester film

Also Published As

Publication number Publication date
JP7005898B2 (en) 2022-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5251315B2 (en) Release film production method
JP2010058327A (en) Laminate
JP6187025B2 (en) Biaxially oriented polyester film for mold release
JP2006007550A (en) Double-side mold release film
JP2007185898A (en) Biaxially oriented polyester film and its manufacturing process
TW202216863A (en) Method for manufacturing polyester film, polyester film, and laminated film
JP5346679B2 (en) Release film
TW201505831A (en) Mould release film
JP5346640B2 (en) Release film
JP2008255142A (en) Biaxially stretched polyester film for simultaneous forming and transfering
JP7005898B2 (en) Laminated film
JP4311008B2 (en) Release film roll for producing ceramic sheet, release film laminate roll for producing ceramic sheet, and method for producing ceramic sheet
JP2006051681A (en) Mold release film
JP5378703B2 (en) Release film
JP2010260275A (en) Laminated polyester film for in-mold transfer foil
JP6481725B2 (en) Release film for green sheet molding
JP2004196856A (en) Polyester film for release film
WO2024070442A1 (en) Film, laminated film, and film production method
WO2019123979A1 (en) Biaxially oriented multilayer film
JP3918547B2 (en) Method for producing release film for producing ceramic sheet and method for producing film laminate
JP4496720B2 (en) Coating film
JP5331272B2 (en) Polyester film for in-mold transfer foil
WO2020241692A1 (en) Biaxially oriented polyester film
WO2024070623A1 (en) Film, layered film, and method for producing film
JP7310108B2 (en) biaxially oriented polyester film

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191106

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200811

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200908

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201005

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210406

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210512

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211102

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211109

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20211207

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20211220