JP2017122711A - 光電センサ及び物体検出方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】改良された光学系により光スポットの位置をより鮮明に画定し、光学的な三角測量の精度を改善することができるセンサを提供する。
【解決手段】三角測量の原理により監視領域18内の物体を検出するための光電センサ10であって、光線16を送出するための発光器12と、物体からの反射光線20を検出するための空間分解能を有する受光器であって発光器12に対して基線間隔だけずらして配置された受光器26とを有し、受光器26の手前に受光光学系22並びに発光器12と受光光学系22との間にある光学素子24が配置されている。光学素子24は収束性の部分領域と発散性の部分領域を備え、更に光学素子24は、監視領域18の近接領域にある物体からの反射光線20が収束性の部分領域を通って入射し、監視領域18の遠方領域からの反射光線20が発散性の部分領域を通って入射するように配置されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、請求項1又は14のプレアンブルに記載の光電センサ並びに三角測量の原理による物体検出方法に関する。
光学的な三角測量の原理は、発光器と、空間分解能を有する受光器を、相互に既知の基線間隔だけ離して配置することを基本とする。そうすると発射光線及び受信光線はある角度を成すから、受光器上の受光スポットは検出された物体までの距離に従属して移動することになる。従って、空間分解能を有する受光器上の受光スポットの位置が物体の距離の尺度となる。
三角測量センサは、先に概略的に述べたように距離を測定して出力する測定用のものだけではない。三角測量の原理によるスイッチング装置であって、そのスイッチングの挙動が物体の距離に依存したものもある。この種のセンサの1つに背景隠蔽型光センサがある。このセンサはスイッチング動作を行う、すなわち単に2値的な物体検出信号を出力する。しかし、少なくとも近接領域及び遠方領域に空間を分解する受光器を用いて2種類の受光信号を生成するために、三角測量センサの構成も同時に利用している。物体検出を一定の距離範囲に制限し、該距離範囲の外にある物体を背景信号として隠蔽するために、スイッチング閾値を用いて両信号の差が評価される。背景隠蔽型光センサは例えば特許文献1に開示されている。このセンサには、空間分解能を有する受光器の個々の要素を近接領域と遠方領域に可変的に割り当てるためにスイッチが設けられている。特許文献2には仮想的な分離帯を備える光センサが記載されている。
物体の距離と受光器上での受光スポットの移動量との関係は非線形的である。近接領域で距離が変化すると受光スポットが大きく移動する一方、遠方領域では僅かな移動に留まる。また、受光スポットは数学的な点という理想的なものではなく、しかも受光光学系は全距離範囲で鮮明な像を結ぶことはできないので、スポットの広がりもまた物体の距離によって変わる。これらの効果により、測定が不正確になったり、背景隠蔽型光センサの場合にはスイッチング点がずれて少なくとも時折スイッチング誤りに至ったりする。
これらの問題は光沢のある物体の場合に特に重大である。なぜなら、その場合受光器の瞳孔の一部しか照らされない可能性があるからである。光沢の認識と特別に関係したセンサも確かにある。しかし、それらのセンサは光沢のある物体を主として検出する又はその光沢度を測定するためのものである。三角測量式の距離測定や背景隠蔽は想定されておらず、特別に光沢認識のために採用された手段ではそれらを解決できない。
従来技術として、線形性を改善したり、あるいは特に近くの物体に対する測定領域を広げたりするために、受光光学系を改良するためのアタッチメントがある。例えば、特許文献3では、物体が近付くに従って発光器方向の受信光がより強くなるような追加の近接領域用レンズが用いられている。しかしこれでは近接領域における挙動しか改善されない。
特許文献4では、受光レンズと受光器の間に追加の補正レンズが配置される。これは、受光レンズにより束ねられた光線の方向を意図的に変えることで、受光器上での各入射光線の離間距離が大きくなり且つ鮮明な結像が生じるようにするものである。しかし実際には、全ての受信光線の光路に影響を及ぼす補正レンズではそれは全く不可能であり、ある特定の距離範囲に対する部分的な改善が達成されるのがせいぜいである。
三角法によるもの以外に、例えば光伝播時間測定による同軸式の装置でも光学的な距離を測定することができる。この場合、受光光学系が異なる距離に対応できるようにするために、例えば特許文献5で提案されているように、それぞれ異なる距離範囲を担当する複数の同心円状のリングを有するいわゆる多焦点レンズが用いられる。このような多焦点レンズはその対称性ゆえに三角測量センサには適していない。近接領域で何か利益があれば、それに応じた余分な誤差が遠方領域で生じるし、その逆もまた然りだからである。
光沢のある物体の場合に部分的な照明が生じるという点については、公知の解決策は全く役に立たない。
DE 197 21 105 C2 DE 199 62 701 A1 DE 102 20 037 C5 DE 10 2008 014 912 A1 US 5 347 137
従って、本発明の課題は、光学的な三角測量の精度を改善することである。
この課題は請求項1又は請求項14に記載の光電センサ及び三角測量の原理による物体検出方法により解決される。そのために、光学的な三角測量で通常に行われているように、光線が監視領域へ送出され、該領域において物体により反射された光線が受光器において感知される。反射光線は拡散反射によっても、また方向性のある反射によっても生じ得る。発光器と受光器は互いに基線間隔だけ離間して配置される。この三角測量の基線があるため、反射光線が受光器上で形成する受光スポットの位置は物体の距離(走査距離とも呼ばれる)に従属する。それゆえ、物体の距離を三角測量で求めることができる。
そして本発明は、光線が収束している面内、つまり反射光線が既に受光光学系の作用によって収束している場所に配置された光学素子を、三角測量のために近接領域及び遠方領域の両方において最適化するという基本思想から出発している。そのために該光学素子は収束性の部分領域と発散性の部分領域を備え、更に該光学素子は、近接領域からの反射光線が収束性の部分領域を通って入射し、遠方領域からの反射光線が発散性の部分領域を通って入射するように配置されている。これは、受光光学系そのものは一定の走査距離範囲以外では鮮明な結像ができないからである。近接領域と遠方領域における前記光学素子の作用を異ならせることにより、線形性の改善とより鮮明な受光スポットの結像を領域毎に達成できる。加えて、前記光学素子は部分瞳孔光線の効果的な集中乃至混合を生じさせることで、特に光沢のある物体の場合に受光スポット内の均一な光分布を生み出す。
即ち、本発明には、受光路内にある改良された光学系により光スポットの位置をより鮮明に画定し、より正確に求めることができるという利点がある。これにより、背景隠蔽型光センサのようなスイッチング装置の場合に正確なスイッチング点を維持し、スイッチング誤りを防ぐことができる。加えて、光沢のある物体の場合、該物体により反射される光線が受光器の瞳孔全体のうち一部しか照らさない可能性があるが、それでも確実に物体を認識できる。
以下では、Y軸が発光器と受光器を結び、従ってこの軸が受光器上での受光スポットの移動方向を示し、Z軸が発光器の光軸であり、従ってZ軸に沿って物体の距離が測定され、X軸がY軸及びZ軸に垂直な残りの第3の軸であるという、一般性を一切損なわない座標系を時折参照して、より簡単に説明を行う。
前記光学素子は収束性の部分領域と発散性の部分領域の間に中性の部分領域を備えていることが好ましい。近接領域と遠方領域の間の中間的な物体距離に対しては受光光学系そのものが受光器上へ光を集める。この場合、追加の光線成形は不要である。中性の部分領域は収束性の部分領域と発散性の部分領域の間に連続的な移行を作り出す。これにより光学素子の製造及び配置も容易にすることができる。
前記光学素子は前記収束性の部分領域と前記発散性の部分領域を有する自由形状面を備えていることが好ましい。この光学素子は屈折に基づくものとすることができる。その場合、通常の集光レンズや分散レンズとは作用が異なるが、簡略化してそれをレンズと呼ぶ。自由形状面により、特に近接領域及び遠方領域における異なる要求に合うように、光線形成作用を局所的に適合させることができる。レンズの場合、入射面及び/又は出射面を自由形状面としてもよいし、二面の一方を平らにしておくか、その幾何形状の複雑さや顕著性の程度を大幅に低くしてもよい。レンズの代わりに反射素子つまり適宜の自由形状面を有する鏡を用いてもよい。幾何学的に形成された光学素子の代替物として、所望の回折作用を有するように設計された回折素子がある。
自由形状面が局所的な湾曲部及び/又は曲率の局所的な勾配を有し、それにより反射光線の部分瞳孔光線を収束させる及び/又は混合することが好ましい。つまり、近軸収束用の局所的な湾曲部と、部分光線混合用の曲率の局所的な勾配とにより自由形状を決めることができる。
部分瞳孔光線とは、入射瞳孔の一部のみを照らす部分光線である。説明の都合上、ここでは入射光の光軸を取り囲む無限小の近軸部分光線を最小の部分光線とみなす。この光線の収束は自由形状部の両面における複数の局所的な湾曲部の組み合わせにより行われる。つまり、受光器の平面内にある共通の焦点面に焦点が合うように、自由形状部の凸状乃至凹状の局所的な湾曲部を選ぶことができる。これとの関連で、「焦点が合う」とは一般に1つの共通の焦点面に到達することと理解すべきであり、これは焦点距離の延長を意味することもある。
混合は以下のように生じる。部分光線は最終的に広がるため、理想的な近軸光線にはならず、様々な局所的湾曲部を持つ自由形状の領域を通過するが、それらの領域は近軸の部分光線を収束させるためだけに設計されている。故に、この非近軸である現実の部分光線は自由形状部を通過する際にあまり収束されず、従って広がりを持つ。局所的な曲率勾配があるため、広がりの大きさや当たる場所は自由形状部のどの領域を通過したかによって変わる。それゆえ、部分光線が混ざり合う。局所的な曲率勾配は自由形状部上で見分けがつく。例えば、1つの凹凸形状から成る波は外面上に局所的な曲率勾配を持つ一方、互いに接する2つの円柱は一定の局所的な湾曲部を有する。
計算機に支えられた現代の光学設計では普通であるが、最適化処理により得られる自由形状は簡単な言葉で幾何学的に説明することはできない。そうするには形状が複雑過ぎる上に、少なくともほぼ同様に作用する別々の最適化が幾何学的に非常に異なる結果を生むこともある。一般に、Y方向つまり発光器と受光器を結ぶ線上の基線間隔に沿う方向とそれに垂直なX方向においてそれぞれ達成すべき光線成形作用は、異なるやり方で、十分に独立して、それぞれの湾曲部又は曲率勾配を介して、前記2方向に、光線方向と交差して調節することができる。三角測量の効果は最初の考察ではY方向のみに沿って生じ、これが最適化対象の自由形状面に当然影響する。
前記光学素子は基線間隔に沿った断面上において単一の波の基本形状を有していることが好ましい。この波は基線間隔に沿って、つまりY方向に走っており、凹状の曲線と凸状の曲線から成る。これにより、収束性と発散性の部分領域が出来上がり、その湾曲は、屈折式の光学素子及び反射式の光学素子の場合は当然ながら相補的である。ここ及び以下において基本形状とは、追加的な最適化のためにずれが生じることはあり得るが、その出発点(つまりここでは波)がなおも明瞭に認識できる形状、という意味である。
前記光学素子は前記波から横方向に押し出し成形された物体の基本形状を有していることが好ましい。まずは2次元的に観察した形が波状になるようにする。そして、その波に対する横方向の押し出し成形により、いずれの断面にも波の形が現れるレンズ又は鏡の3次元的な本体が得られる。
前記光学素子は、前記波に対して横方向に収束性の湾曲を追加的に呈していることが好ましい。単なる押し出し成形であれば、その成形体はX方向に平らになる。しかし、当然ながら、この方向にも自由形状面を成形することは更なる改良に寄与する。収束作用があれば受光スポットが小さくなり、エネルギー密度が高まる。X方向のこの効果は、Y方向の波とは違って、近接領域と同様に遠方領域でも生じる。それでも、その湾曲を近接領域と遠方領域において異なる度合いで設計する方が有利である場合もあり、特に、発散性の部分領域乃至凹状の遠方領域では曲がりを小さめに、収束性の部分領域乃至凸状の近接領域では大きめにする。
自由形状面は、斜めに入射する光線を考慮に入れるために、基本形状から更に最適化されることが好ましい。これまでの考察はX軸とY軸にそれぞれ限定されていた。これでは空間的な効果がまだ考慮されていない。なぜならそれらの軸に対して斜めに入射する光成分も当然存在するからである。基本形状から出発して自由形状面をより細かく適合化することは、そのような斜めの光線が所望の光線成形を妨げないようにする上で役立つ。
前記光学素子はプリズム的な作用による反射光線の傾斜を追加的に生じさせることが好ましい。これは光学素子の成形及び/又は傾いた配置により達成できる。プリズム的な作用による傾斜は、反射光線の入射点に従属していること、つまり物体の距離に応じてその顕著性の度合いが異なることが更に好ましい。そうすれば、プリズム的な作用による傾斜が特に三角測量の線形化に役立つ。
前記光学素子は長方形状又は台形状の枠に合わせて切断されていることが好ましい。つまり、光学素子が上面から見て長方形又は台形を成しており、反射光線が光学素子を突き抜ける前面及び/又は背面の自由形状部を除き、全体として大まかに平行六面体状である。この切断によれば、光学的には損失が無いに等しい一方、取り扱い、収納及び保持が非常に容易になる。
発散性の部分領域は反射光線に対する減衰特性を有していることが好ましい。これは、光学素子の表面又は材料内部において、粗面化、膜被覆、反射除去、吸収等により達成できる。近接領域では過大なエネルギーを受け取ることが典型的である。従って、光学素子内で減衰させることで、近接領域における検出特性を損なわずに受光のダイナミックレンジを小さくすることができる。
前記光学素子は同時に光学フィルタとして構成されていることが好ましい。これもまた特に被膜又は材料により達成できるが、ここでは単に減衰を意味するのではなく、その効果は近接領域に限らず全ての受診光に関わるものであることが好ましい。例として、発光器の波長域に合わせた光学的なバンドパス効果や、偏光フィルタ、又は一般の回折光学的な特性が挙げられる。
本発明のセンサは、前記受光器が近接領域及び遠方領域並びにその間の分離帯を備え、且つ、近接領域において物体が検出されたか否かに応じてスイッチ状態が変わるスイッチ出力を備える、背景隠蔽型光センサとして構成されることが好ましい。
背景隠蔽型光センサの機能原理は冒頭で簡単に説明した。どの信号が背景として隠蔽されるかは分離帯の位置による。それゆえ、物体の距離が変化する状況で正確な検出を行うには、できるだけ多量の光が分離帯を越えて移動するようにしなければならない。これは本発明の光学素子により達成される。分離帯は近距離用受光素子と遠距離用受光素子の間の物理的な分離線とすることができる。また、個々の受光器を単純な又は重みを付けた相互連結を通じて近距離用素子と遠距離用素子に接続することにより電子的に位置調節ができる仮想的な分離帯を指すことも多い。このような重み付けによれば分離帯をサブピクセルの分解能でずらすことさえ可能である。
本発明に係る方法は、前記と同様のやり方で仕上げていくことが可能であり、それにより同様の効果を奏する。そのような効果をもたらす特徴は、例えば本願の独立請求項に続く従属請求項に記載されているが、それらに限られるものではない。
以下、本発明について、更なる特徴及び利点をも考慮しつつ、模範的な実施形態に基づき、添付の図面を参照しながら詳しく説明する。
三角測量の原理による光電センサのブロック回路図。 発光光学系と受光器の間に配置される光学素子の3次元図。 発光光学系と受光器の間の光学素子の配置の拡大詳細図。 (a)近接領域に物体がある場合の従来の三角測量センサにおける光線の進路の模範例、(b)(a)に示した状況における受光器上の受光スポットの概略図、(c)発光光学系と受光器の間に光学素子を有する本発明に係るセンサにおける(a)と同様の光線の進路の模範例、及び(d)(c)に示した状況における受光器上の受光スポットの概略図。 図4(a)〜(d)と同様の図であって、中間の距離領域に物体がある場合の図(a)〜(d)。 図4(a)〜(d)と同様の図であって、遠方領域に物体がある場合の図(a)〜(d)。 (a)光沢のある物体を検出する場合であって、部分的瞳孔照明が生じてスイッチング誤りに至る場合の光線の進路の概略図、及び(b)(a)と同様の図であるが、光沢のある物体がより近くにあるために誤って見落とされてしまう場合を示す図。 反射光線の部分光線束とそれにより生じる部分的瞳孔照明の図。 部分的瞳孔照明の様々な場合の光スポットの位置を、光学素子のない参照事例と光学素子を有する本発明とで比較した図。
図1は、背景隠蔽型光センサとしての実施例における三角測量の原理による光電センサ10の概略断面図である。発光器12が光線成形用の発光光学系14を通じて光線16を監視領域18へ送出する。光線16が監視領域18内で物体に当たると、その一部が反射光線20としてセンサ10へ戻る。
受光光学系22が反射光線20を束ねる。続いて、反射光線20が光学素子24内で更に光線成形された後、受光器26に入射し、該受光器がその光線から電気的な受光信号を生成する。図示した実施形態のセンサ10は背景隠蔽処理を行うようになっている。それゆえ受光器26は近接領域用素子26aと遠方領域用素子26bに分割されている。センサ10の内部は三角測量の配置になっているから、受光器26上での反射光線20の入射箇所乃至は該光線から生じる受光スポットの位置は、反射光線20を送り返してきた被検知物体の距離によって決まる。Y軸とここで呼ばれる方向に沿った発光器12と受光器26の間のずれが三角測量の基線となる。それゆえ、遠くの物体、つまりここでZ軸と呼ばれる方向に沿った距離が大きい物体の受光スポットは遠方領域用素子26b上で感知され、近くの物体の受光スポットは近接領域用素子26a上で感知されることになる。
前記電気的な受光信号から近接領域における物体の存在に応じて物体確認信号を決定してそれをスイッチ出力30に供給するために、評価ユニット28が受光器26と接続されている。評価ユニット28は背景隠蔽処理のために近接領域用素子26aの信号と遠方領域用素子26bの信号の差を求め、閾値を用いてその差を評価する。それに応じてスイッチ出力30ではスイッチ信号が生成される。この信号は、近接領域で物体が検出されたときには物体の確認を通知し、物体が全く検出されないときや、隠蔽すべき遠方領域の物体だけが検出されたときには物体の確認を通知しない。評価ユニット28は発光器12の制御も行う。
2素子型の受光器26の代わりにPSD(Position Sensitive Device)又は受光器列を用いることができる。物体の距離に対する受光器26上での光スポットの移動量の非線形的な依存性を少なくとも部分的に補償するために、受光器列の画素の幅を異ならせてもよい。背景隠蔽処理のために、装置の設置、パラメータ設定又は教え込みの度に、画素を2群に分けて受光器26を近接領域用素子26aと遠方領域用素子26bに分割する分離帯32が定められる。分離帯32の位置を電子的に変更できるようにしてもよい。
受光器26の空間分解能は必ずしも近接領域と遠方領域への分割のためだけに利用しなければならないわけではない。一例として追加の分離帯と距離領域を設けることが考えられる。また、背景隠蔽処理のためではなく距離測定のために三角測量を用いることも可能であり、その場合、センサ10は距離測定用の三角測量センサとなる。
これらは図1に示したセンサ10の構成において変更可能な側面の幾つかの例に過ぎない。本発明は何よりも光学素子24に関するものであり、以下ではその特徴をより詳しく説明する。三角測量の原理によるセンサ10の他の特徴は公知の方法で変形可能である。これについては、一般的な機能原理に加えて、例えば既に冒頭で言及した特許文献1や特許文献2を参照されたい。
図2は光学素子24を3次元図で示し、図3は、受光光学系22と受光器26の間、つまり反射光線20が受光光学系22により束ねられた後で収束する光路における光学素子24の模範的な配置例を拡大図で示している。本実施例の光学素子24は自由形状レンズであり、従って屈折を基礎にしている。代わりに、反射作用、つまり適宜の輪郭を有する鏡や、回折光学素子を利用してもよい。
光学素子24は前面34aと背面34bを備え、その両方が自由形状面として構成されている。面34a〜bの一方を平面にすることも考えられるが、そうすると最適化の自由度が低下してしまう。光学素子24は、Y方向、つまり発光器12と受光器26の離間方向であって、受光スポットが物体の距離に従属して移動する方向に、波状の輪郭を有している。これにより、収束性の部分領域24aと発散性の部分領域24cが移行領域24bとともに作り出されている。波状の輪郭は前面34a上の方が背面34b上よりも顕著である。そのため全体では胴部が膨らんだ形状になっている。部分領域24a〜cは明確な境界なしで相互に移行している。加えて、光学素子24を近接領域用と遠方領域用の2つの素子に分割することも考えられる。そうすれば、2つの素子の一方を放棄することさえ可能となるが、その予測可能な帰結として、当該距離領域では追加の有利な光線成形が生じなくなる。
横方向つまりX方向において、光学素子24は1次近似では押し出し成形体であり、波状の輪郭がいずれの断面でも繰り返される。ただしこれは基本形状に過ぎず、得ようとする後述の光線成形作用を考慮して更に最適化される。例えば、3次元空間内で各軸に対して斜めに入射する光線を考慮しなければならない。また、反射光線20をX軸内で集光するために、X方向の輪郭を全体として収束性にすることが有利な場合もある。
光学素子24は両側で切断されている。これにより、長方形状又は台形状の枠乃至は全体として平行六面体状の形が出来上がる。これは光線成形特性にはほとんど影響しないが、取り扱い、収納及び保持を容易にする。
図示した光学素子24の形状は最適化の結果であり、その狙いは、X方向と同様にY方向においても、光学素子24上における光線20の入射断面及び入射位置つまりは物体の距離に従属した焦点合わせ又は焦点ぼかしを、部分瞳孔光線の有効な集中及び/又は混合を伴って達成することである。ただし、Y方向の作用は一般にX方向と異なっている。更に、同様に物体の距離に従属して、中心光線を受光器26の表面の法線方向へプリズム的な作用により傾斜させなければならない。これらの効果及びその利点について以下に図4〜図9を参照しながら説明する。
これらの最適化目標のために光学素子24の形状にずれが生じてもよい。最適化の際、収束性の部分領域24aと発散性の部分領域24cは維持される。しかし、詳細な成形は図示した光学素子24に限定されない。
図4〜図6は、それぞれ走査距離が近接、中間及び遠方である場合、つまり被検知物体36がそれらに対応する距離にある場合の光学素子24における改善された光線の進路を示している。いずれも、最初に図4(a)、図5(a)又は図6(a)として、参照のために、光学素子24のない従来のセンサにおける光線の進路を示し、次に図4(c)、図5(c)又は図6(c)として本発明に係るセンサ10における光線の進路を示している。他の図4(b)、図5(b)及び図6(b)並びに図4(d)、図5(d)及び図6(d)は、各進路に付随する受光器26上の受光スポット38を示している。
本例の受光光学系22は単一の収束性受光レンズであり、中間の走査距離範囲にある物体36の像を受光器26上に鮮明に結ぶように焦点が合わされている。走査距離がより短い又はより長い場合は結像が不鮮明になり、受光器26上での受光スポット38のエネルギー分布の集中度が低くなる。走査距離の変化に対する受光器上での受光スポット38の位置変化は近接領域では大きく、遠方領域では小さい。そのため、受光スポット38の位置、つまり受光スポット38のエネルギー分布の重み付け無しの重心又は中央値を特定することができる。
光学素子24は、少なくとも近接領域及び遠方領域でエネルギー集中を生じさせるとともに、その都度の中心光線に対する受光スポット38の中央値の位置をずらす。詳しく言うと、近接領域では中心光線へ近づけて、遠方領域では中心光線から遠ざける。
図4に示した近接領域では、入射する反射光線20は収束性の部分領域24aの凸状のレンズ面を通過することで更に収束され、その結果、受光器26上でのエネルギーの集中度が高まる。収束性の部分領域24aの作用がなければ物体36の像は受光器26の背後に位置することになり、受光器26上での受光スポット38のエネルギーの集中度がそれに応じて低くなる。加えて、受光スポット38が明らかにプリズム的な作用により上方へ傾けられる。
図5に示した中間領域では、入射する反射光線20は光学素子24による影響をあまり受けないため、受光光学系22により既に収束された受光スポット28の位置及び形状が十分に保たれる。このような反射光線20は主に光学素子の中性的な移行領域24bに入射する。
図6に示した遠方領域では、入射する反射光線20は発散性の部分領域24cの凹状のレンズ面によりその収束が弱められる。この場合も受光器26上でエネルギーが集中することになる。なぜなら、発散性の部分領域24cの作用がなければ、物体36の像は受光器26の手前に位置することになり、それに応じて受光スポット38の集中度が低くなるからである。プリズム的な作用による受光スポット38の上方への傾きは、遠方領域では近接領域よりも明らかに控えめである。
以上から光学素子24の2つの効果が具体的に分かる。即ち、該素子は、光スポットサイズの走査距離依存性と、走査距離の変化に対する受光スポット38の移動量の非線形性の明瞭な低減に大きく寄与する。一方、三角測量の原理によるセンサには、光沢のある物体36の検出に際して生じる部分的瞳孔照明の問題もある。以下、図7に基づき、この問題を明らかにする。
背景隠蔽型光センサは、監視領域18を、物体36が検出されたときにスイッチを入れるべき前景と、隠蔽すべき背景とに分割する。その際、前景と背景の間の境界40が分離帯32に対応する。もっとも、実際にはこの境界40は、図中にヒステリシス領域42で示したように、スイッチングヒステリシスで以て評価される。これにより、境界40付近に物体36がある際に測定の揺らぎによる高速の往復スイッチングが防止される。
また、この種の光センサではいわゆる白黒シフト(Schwarz−Weiss−Verschiebung)が生じる。白黒シフトとは物体36の反射特性に基づく見かけの距離変化である。弱く反射する物体36が、別の距離において、強く反射する物体又は鏡面状若しくは光沢のある物体36として閾値より上又は下の受光信号を生じさせるのである。従って、検出すべき物体36の反射特性が分かっていなければ測定が不正確になってしまう。これは別の許容差区間44によって考慮される。
しかし、光沢のある物体36はヒステリシス領域42及び許容差区間44の外側でもなおスイッチング誤りを生じさせる可能性がある。なぜなら、状況によっては受光器の瞳孔の一部のみが照らされ、それが走査距離の測定の大幅なずれを招くからである。光沢のある物体36は空間の全方向にランベルト特性に従って光を返すわけではなく、むしろ物体36の光沢のある又は鏡状の面の向きに応じた明らかに特定の方向へ光を返す。その結果、受光器の瞳孔の一部、例えばレンズの上半分、下半分、右半分、左半分又はより小さい部分だけが照らされる。いま、物体36が受光光学系22の結像距離、つまり中間的な距離範囲にない場合、光学素子24が無ければ物体36の結像が不鮮明になる。従って、受光器の瞳孔のどの部分が照らされるかに応じて受光器26上での中央値の位置に違いが出て、走査距離の測定の際に誤りが生じる。
図7(a)は、光沢のある物体36が遠すぎる位置にあり、本来なら隠蔽されるべきである場合に生じるスイッチング誤りを示している。反射光線20の部分光線20aが受光光学系22の下部のみを照らしている。それに応じて多くのエネルギーが近接領域用素子26aに入射し、センサ10のスイッチが入る。一方、理想的な中心光線46であれば、遠方領域用素子26bに当たり、正しく隠蔽されるはずである。
図7(b)は、光沢のある物体36が近くにあり、誤って見落とされてしまうという誤り事例を示している。この配置では、反射光線20の部分光線20aが受光光学系22の上部のみを照らし、その結果、大きなエネルギーが遠方領域用素子26bに入射して、誤った背景隠蔽を引き起こす。一方、理想的な中心光46であれば、近接領域用素子26aに当たり、センサ10のスイッチが入るはずである。
図8は光学素子24がないときの部分的瞳孔照明の作用を再び示している。収束が不十分な場合、別々の部分光線が異なる高さで受光光学系22へ入射し、それに応じてエネルギー密度が縞状に高められた受光スポットが生じるため、受光瞳孔が均質に照らされる場合に比べて実際の中央値の位置ひいては物体の測定距離にずれが生じる。
光学素子24は、センサの他の性能を損なうことなく、部分的瞳孔照明によるこれらの不所望な効果も最小限に抑える。なぜなら、受光スポット38が近接領域及び遠方領域においてもはるかに良好に収束されるからである。これにより、中央値のずれが測定に及ぼす影響がはるかに弱まる。
部分的瞳孔照明の際の光学素子24によるこの改善が図9に系統立てて示されている。シミュレーションにおいて、受光光学系22は、上下に重なった10本の縞の1本のみの中でその都度、図8に描かれたように照らされる。これらの縞又は部分領域はX軸上にプロットされている。Y軸はその都度の中央値の位置を表し、それも各曲線で異なる走査距離を表している。図9中の左図は光学素子24のない参照例であり、右図は本発明による改善を示している。
全ての曲線がX軸に平行に走っているのが理想的な状況である。それは即ち、中央値の位置が、受光器の瞳孔のどの部分が照らされるかに全く依存しないということである。そうなると各曲線のY軸上の位置は走査距離だけで決まる。左側の参照例はこれに該当するとはとても言えない。これは既に図7に基づいて説明した問題の単なる概略的な描写にすぎない。
本発明では、図9の右図から分かるように、曲線が少なくとも広い範囲で水平に走っている。つまり、光学素子24の使用により、とりわけ光沢のある物体36を検出する場合に生じる受光器の瞳孔の部分的な照明に対してスイッチングの挙動が著しく頑強になる、乃至は距離の測定精度が大幅に高まる。
要するに、光学素子24を用いた、走査距離に従属した光線成形により、部分瞳孔感度が効果的に均質化され、三角測量を行うエネルギー密度が改善され、三角測量曲線、つまり走査距離乃至物体距離に従属した受光スポット38の中央値の位置が少なくともある程度狭い幅に収まり、線形化される。以上から、物体の反射特性に対するセンサ10の走査距離依存性が弱まり、ユーザにとって有用な走査距離調整の容易化及び改善が成される。
図9と同様の参照例との比較により、三角測量の原理によるセンサ10の他の特性を調べることができる。1つは、既に何度も触れた中央値、つまりY方向又は三角測量の方向におけるエネルギー分布の中央値の位置である。また、三角測量の変動幅は走査距離に従属したY方向の中央値の差分変化を意味し、エネルギー密度は中央値における受光器26上の局所的なエネルギー密度を意味する。最後に、三角測量を行うエネルギー密度は三角測量の変動幅とエネルギー密度の積である。これらの特性の全てが少なくとも遠方領域で改善される。近接領域での僅かな損失はそれにより十分過ぎるほど補償される。なぜなら、近接領域ではいずれにせよ大きな蓄えがあるからである。
三角測量の原理によるセンサ10では、背景に対する前景の区別は三角測量を行うのエネルギー密度に強く依存しており、これをできる限り高くする必要がある。調節の範囲は中央値の最大位置と最小位置の間隔で決まり、これはできる限り圧縮する必要がある。最後に、調節の精度は三角測量の変動幅の線形性に依存する。3つの効果の全てが光学素子24により幅広い範囲で更に改善される。
前述の光線成形特性だけでなく、光学素子24を光学フィルタとして利用することもできる。反射光線20が近接領域にあり、それゆえ収束性の部分領域24aを通って粗面化、反射除去、吸収等により減衰されれば、近接領域における全体のエネルギーを低下させ、エネルギーの距離特性を適合化することができる。これにより受光器26の後段の評価回路で必要とされるダイナミックレンジが狭められ、コスト、熱損失及び雑音が低くなるという利点が得られる。
更に光学素子24に追加の機能を統合してもよい。透明な機能部品として自由形状レンズをプラスチック又はガラスで製造することにより、該レンズと前記材料又は追加の塗布層の機能的な表面特性又は表面下特性とを組み合わせることが原理的に可能である。例として、分光フィルタリング、空間フィルタリング(均質、非均質又は構造化されたもの)、表面下散乱又は表面散乱、蛍光又はルミネッセンス、偏光フィルタリング(例えばワイヤグリッド偏光子層と回折光学的な特性によるもの)が挙げられる。

Claims (14)

  1. 三角測量の原理により監視領域(18)内の物体(36)を検出するための光電センサ(10)であって、光線(16)を送出するための発光器(12)と、前記物体(36)からの反射光線(20)を検出するための空間分解能を有する受光器であって前記発光器(12)に対して基線間隔だけずらして配置された受光器(26)とを有し、該受光器(26)の手前に受光光学系(22)並びに前記発光器(12)と前記受光光学系(22)との間にある光学素子(24)が配置されているセンサにおいて、
    前記光学素子(24)は収束性の部分領域(24a)と発散性の部分領域(24c)を備え、更に該光学素子(24)は、前記監視領域(18)の近接領域にある物体(36)からの反射光線(20)が前記収束性の部分領域(24a)を通って入射し、前記監視領域(18)の遠方領域からの反射光線(20)が前記発散性の部分領域(24c)を通って入射するように配置されていることを特徴とするセンサ。
  2. 前記光学素子(24)が前記収束性の部分領域(24a)と前記発散性の部分領域(24c)の間に中性の部分領域(24b)を備えていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ(10)。
  3. 前記光学素子(24)が前記収束性の部分領域(24a)と前記発散性の部分領域(24c)を有する自由形状面(34a〜b)を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載のセンサ(10)。
  4. 前記自由形状面(34a〜b)が局所的な湾曲部及び/又は曲率の局所的な勾配を有し、それにより前記反射光線(20)の部分瞳孔光線(20a)を収束させる及び/又は混合することを特徴とする請求項3に記載のセンサ(10)。
  5. 前記光学素子(24)が前記基線間隔に沿った断面上において単一の波の基本形状を有していることを特徴とする請求項3又は4に記載のセンサ(10)。
  6. 前記光学素子(24)が前記波から横方向に押し出し成形された物体の基本形状を有していることを特徴とする請求項5に記載のセンサ(10)。
  7. 前記光学素子(24)が、前記波に対して横方向に収束性の湾曲を追加的に呈していることを特徴とする請求項5又は6に記載のセンサ(10)。
  8. 前記自由形状面(34a〜b)が、斜めに入射する光線を考慮に入れるために、前記基本形状から更に最適化されていることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載のセンサ(10)。
  9. 前記光学素子(24)がプリズム的な作用による前記反射光線(20)の傾斜を追加的に生じさせることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のセンサ(10)。
  10. 前記光学素子(24)が長方形状又は台形状の枠に合わせて切断されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載のセンサ(10)。
  11. 前記発散性の部分領域(24c)が前記反射光線(20)に対する減衰特性を有していることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載のセンサ(10)。
  12. 前記光学素子(24)が同時に光学フィルタとして構成されていることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載のセンサ(10)。
  13. 前記受光器(26)が近接領域(26a)及び遠方領域(26b)並びにその間の分離帯(32)を備え、且つ、近接領域において物体(36)が検出されたか否かに応じてスイッチ状態が変わるスイッチ出力(30)を備える、背景隠蔽型光センサとして構成されていることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載のセンサ(10)。
  14. 三角測量の原理により監視領域(18)内の物体(36)を検出するための方法であって、光線(16)が送出され、前記物体(36)上で反射された光線(20)の受光位置が特定され、前記反射光線(20)がまず受光光学系(22)内で束ねられた後、光学素子(24)内で追加的に光線成形される方法において、
    前記監視領域(18)の近接領域内にある物体(36)からの反射光線(20)は前記光学素子(24)の収束性の部分領域(24a)において光線成形され、前記監視領域(18)の遠方領域内にある物体(36)からの反射光線(20)は前記光学素子(24)の発散性の部分領域(24c)において光線成形されること
    を特徴とする方法。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102693894B1 (ko) * 2019-03-29 2024-08-12 삼성전자주식회사 광각 고해상도 거리 측정 장치
JP7354716B2 (ja) * 2019-09-20 2023-10-03 株式会社デンソーウェーブ レーザレーダ装置及びレーザレーダ装置用レンズ
CN112859090A (zh) * 2019-11-12 2021-05-28 宁波舜宇车载光学技术有限公司 光学探测系统及其探测方法
CN113030910A (zh) * 2019-12-09 2021-06-25 觉芯电子(无锡)有限公司 一种激光雷达系统
DE102020112091B4 (de) * 2020-05-05 2024-05-08 Sick Ag Optoelektronischer Sensor
DE102021119423A1 (de) 2021-07-27 2023-02-02 Sick Ag Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Erfassung eines Objekts nach dem Prinzip der Triangulation
EP4310443A1 (de) * 2022-07-21 2024-01-24 Leuze electronic GmbH + Co. KG Optischer triangulationstaster

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1062159A (ja) * 1996-08-14 1998-03-06 Matsushita Electric Works Ltd 光学センサの受光レンズ位置調整方法
US6624899B1 (en) * 2000-06-29 2003-09-23 Schmitt Measurement Systems, Inc. Triangulation displacement sensor
DE10220037A1 (de) * 2002-05-04 2003-11-20 Sick Ag Vorrichtung zum Detektieren von Objekten
JP2007010556A (ja) * 2005-07-01 2007-01-18 Sharp Corp 光学式測距センサ及びこれを備えた機器
JP2008033245A (ja) * 2006-06-26 2008-02-14 Dainippon Printing Co Ltd フレネルレンズシート、透過型スクリーン、背面投射型表示装置
JP2009229458A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Vorwerk & Co Interholding Gmbh センサーユニットを備え自立走行可能な床用集塵装置及び対象
DE102010038186A1 (de) * 2010-10-14 2012-04-19 Sick Ag Optoelektronischer Sensor mit Linienanordnung von Einzelemittern

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3702691C2 (de) * 1986-06-14 1995-11-30 Zeiss Carl Fa Berührungsloser Abstandssensor
JP2855744B2 (ja) * 1989-02-20 1999-02-10 オムロン株式会社 反射形光電スイッチ
GB9020285D0 (en) * 1990-09-17 1990-10-31 Imatronic Ltd Optical apparatus
DE19721105C5 (de) * 1997-05-20 2008-07-10 Sick Ag Opto-eletronischer Sensor
WO1998055798A2 (en) * 1997-06-04 1998-12-10 Simon Jerome H Reflective and refractive wave lens for light shaping
DE19962701A1 (de) * 1999-12-23 2001-06-28 Sick Ag Verfahren zur Ermittlung der Position eines Lichtspots auf einer Fotodioden-Zeile
US6756577B2 (en) * 2000-11-27 2004-06-29 Omron Corporation Light detector and light detecting IC therefor
CN2779424Y (zh) * 2005-03-24 2006-05-10 南京德朔实业有限公司 测距装置
DE102005043418A1 (de) * 2005-09-13 2007-03-22 Robert Bosch Gmbh Elektro-optisches Messgerät
DE102008049882B4 (de) * 2008-09-30 2011-09-15 Analytik Jena Ag Koaxial angeordnetes, außeraxiales optisches System für eine Visier- oder Zieleinrichtung
WO2012051700A1 (en) * 2010-10-22 2012-04-26 Neptec Design Group Ltd. Wide angle bistatic scanning optical ranging sensor
CN102313882B (zh) * 2011-07-22 2015-07-29 江苏徕兹光电科技有限公司 激光测距仪的光学系统结构
WO2013013349A1 (zh) 2011-07-22 2013-01-31 江苏徕兹光电科技有限公司 激光测距仪的光学系统结构
EP2629050B2 (de) * 2012-02-16 2017-02-15 Sick AG Triangulationslichttaster
CN103293529B (zh) * 2012-06-04 2015-04-08 南京德朔实业有限公司 激光测距装置
EP3339820B1 (de) * 2016-12-22 2018-12-12 Sick AG Lichtempfänger und verfahren zum auslesen von lawinenphotodioden

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1062159A (ja) * 1996-08-14 1998-03-06 Matsushita Electric Works Ltd 光学センサの受光レンズ位置調整方法
US6624899B1 (en) * 2000-06-29 2003-09-23 Schmitt Measurement Systems, Inc. Triangulation displacement sensor
DE10220037A1 (de) * 2002-05-04 2003-11-20 Sick Ag Vorrichtung zum Detektieren von Objekten
JP2007010556A (ja) * 2005-07-01 2007-01-18 Sharp Corp 光学式測距センサ及びこれを備えた機器
JP2008033245A (ja) * 2006-06-26 2008-02-14 Dainippon Printing Co Ltd フレネルレンズシート、透過型スクリーン、背面投射型表示装置
JP2009229458A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Vorwerk & Co Interholding Gmbh センサーユニットを備え自立走行可能な床用集塵装置及び対象
DE102010038186A1 (de) * 2010-10-14 2012-04-19 Sick Ag Optoelektronischer Sensor mit Linienanordnung von Einzelemittern

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