JP2017112231A - インプリント装置、及び物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インプリント装置は、型4の周囲に配置される、基板2に対向する対向部材15と、型4と対向部材15との間に配置された第1供給口12から、型4と基板2との間に第1気体を供給する第1供給部と、対向部材の中に配置された第2供給口9から、対向部材15と基板2との間に第2気体を供給する第2供給部とを有する。対向部材15は、第1供給口12と第2供給口9との間に、第2供給口9から型4に向かって流れた第2気体を、型4と基板2との間の空間を迂回するように案内する流路を有する。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板上のインプリント材に上記インプリント装置を用いてパターン形成を行う工程(インプリント処理を基板に行う工程)と、かかる工程でパターンを形成された基板(インプリント処理を行われた基板)を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (11)
- 基板の上のインプリント材に型を用いてパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型の周囲に配置される、前記基板に対向する対向部材と、
前記型と前記対向部材との間に配置された第1供給口から、前記型と前記基板との間に第1気体を供給する第1供給部と、
前記対向部材の中に配置された第2供給口から、前記対向部材と前記基板との間に第2気体を供給する第2供給部と、
を有し、
前記対向部材は、前記第1供給口と前記第2供給口との間に、前記第2供給口から前記型に向かって流れた前記第2気体を、前記型と前記基板との間の空間を迂回するように案内する流路を有することを特徴とするインプリント装置。 - 前記流路は、前記対向部材の前記基板に対向する面に形成される溝であることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記溝は、前記型及び前記第1供給口を取り囲むように形成されていることを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記溝の開口幅が、前記対向部材と前記基板との間の距離よりも広いことを特徴とする請求項2又は3に記載のインプリント装置。
- 前記溝の開口幅が、前記対向部材と前記基板との間の距離の10倍以下であることを特徴とする請求項4に記載のインプリント装置。
- 前記溝の開口幅が、前記対向部材と前記基板との間の距離の2倍以下であることを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。
- 前記溝の断面が、前記開口幅よりも広い幅を持つ形状に形成されていることを特徴とする請求項4乃至6のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記溝の開口部の外周側の端部が内周側に向かって傾斜していることを特徴とする請求項4乃至7のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記流路の中に気体を噴射する噴射部を更に有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記第1気体は、前記型と前記基板との間の空間の圧力上昇により液化する凝縮性気体であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 請求項1乃至10のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターン形成を基板に行う工程と、
前記工程で前記パターン形成を行われた前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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