JP2017101655A - ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポンプ10、特に真空ポンプであって、互いに相対的に可動の少なくとも二つの搬送要素13,16を有し、少なくとも一つの搬送室24を形成しつつ密に構成されているよう設けられており、両方の搬送要素の一方に設けられた少なくとも一つのシール20を有し、搬送要素の少なくとも一つに少なくとも領域的に取り付けられた、各シール20と協働する滑り層21を有するポンプにおいて、シール20が、ポリイミド粒子を含み、熱間成形プレス及び焼結によって製造されるポリテトラフルオロエチレン材料を有すること、及び滑り層21が、蓚酸を含む電解液内のアノード酸化によって形成される酸化物層を有することを特徴とするポンプによって解決される。
【選択図】図1
Description
互いに相対的に移動可能な少なくとも二つの搬送要素を有し、これらは、少なくとも一つの搬送室を形成しつつ密に構成されるよう設けられており、
両方の搬送要素に設けられた少なくとも一つのシールを有し、そして、
複数の搬送要素の少なくとも一つに少なくとも領域的に取り付けられた、各シールと協働する滑り層を有する。
11 インレット
12 ハウジング
13 固定的なスパイラル要素
14 固定的なスパイラル要素のキャリア
15 固定的なスパイラル要素のスパイラル形状の壁部
16 回転するスパイラル要素(オービター(独語:Orbiter))
17 回転するスパイラル要素のキャリア
18 回転するスパイラル要素のスパイラル形状の壁部
19 正面側
20 シール
21 滑り層
22 アウトレット
23 作動室
24 搬送室
26 作動領域
30 モーターステーター
31 電動モーター
32 モーターローター
33 シャフト
34 支承部
35 偏心部
36 バランス重り
AW シャフトの軸
AE 偏心軸
100 ピストンポンプ
102 シリンダー
103 シリンダー内壁部
104 ピストン
105 ピストンロッド
106 下方の縁部
108 上方の縁部
109 溝
120 シール
120a 自由なシール脚部
120b 内側のシール脚部
121 滑り層
124 搬送室
Claims (14)
- ポンプ(10,100)、特に真空ポンプであって、
互いに相対的に可動の少なくとも二つの搬送要素(13,16,102,104)を有し、これらが、少なくとも一つの搬送室(24,124)を形成しつつ密に構成されているよう設けられており、
両方の搬送要素(13,16,102,104)の一方に設けられた少なくとも一つのシール(20,120)を有し、そして、
搬送要素(13,16,102,104)の少なくとも一つに少なくとも領域的に取り付けられた、各シール(20,120)と協働する滑り層(21,121)を有するポンプにおいて、
シール(20,120)が、ポリイミド粒子を含み、熱間成形プレス及び焼結によって製造されるポリテトラフルオロエチレン材料を有すること、及び
滑り層(21,121)が、蓚酸を含む電解液内のアノード酸化によって形成される酸化物層を有することを特徴とするポンプ。 - ポンプが、スパイラルポンプ又はスクロールポンプ(10)、特にスパイラル真空ポンプ又はスクロール真空ポンプであり、
その際、搬送要素が、互いに相対的に移動可能な二つのスパイラル要素(13,16)であり、これらが其々キャリア(14,17)上に、一つの自由な正面側(19)を有しかつ軸の周りに推移するスパイラル形状の壁部(15,18)を有し、そして壁部(15,18)が、搬送室(24)を形成しつつ互いに密に係合し合うよう設けられており、
その際、シール(20)が、壁部(15,18)の自由な正面側(19)に設けられており、そして、
滑り層(21)が、少なくとも領域的に、スパイラル要素(13,16)に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - ポンプが、ピストンポンプ(100)、特にピストン真空ポンプであり、
その際、搬送要素が、シリンダー(102)及びこの中を移動可能なピストン(104)であり、
その際、シール(120)がピストン(104)及び/又はシリンダーネイ壁部(103)に設けられており、及び、
その際、滑り層(121)が、シリンダー内壁部(103)及び/又はピストン(104)に少なくとも領域的に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のポンプ。 - ポリテトラフルオロエチレン材料が、材料の乾燥重量に関し、1から25重量%、好ましくは5から20重量%、特に好ましくは7から17重量%、特に8から12重量%のポリイミド粒子の部分を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のポンプ。
- ポリイミド粒子が、1から50μm、好ましくは、5から40μm、特に好ましくは10から30μm、特に15から25μmの平均粒子サイズを有することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のポンプ。
- ポリイミド粒子が、細かく分散された、基本的に集塊されていない形式でポリテトラフルオロエチレン材料に含まれていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のポンプ。
- ポリテトラフルオロエチレン材料が、0.1から5%、好ましくは0.1から2%、特に好ましくは1%よりも低い空孔率を有することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のポンプ。
- 滑り層(21,121)が、10から50μm、好ましくは15から40μm、特に好ましくは20から30μmの層厚さを有することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のポンプ。
- 滑り層(21,121)がポリテトラフルオロエチレンによってコーティング又は防水加工されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のポンプ。
- 滑り層(21,121)が、400から600HV0.025、好ましくは500から550HV0.025の見かけ硬さを有することを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のポンプ。
- 棒・円板・トライボメータによって検出した、滑り層(21,121)の摩擦係数が、0.9より低く、好ましくは0.8より低く、特に好ましくは約0.73であることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載のポンプ。
- 搬送要素(13,16,102,104)が、ベース材料を有し、このベース材料が、少なくとも部分的にアルミニウムから、又はアルミニウム合金から形成されており、かつこのベース材料に滑り層(21,121)が取り付けられていることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載のポンプ。
- ベース材料が、AlMgSiの形式のアルミニウム合金であることを特徴とする請求項12に記載のポンプ。
- ポリイミド粒子を含み、熱間成形プレス及び焼結によって製造されるポリテトラフルオロエチレン材料からなる一または複数のシール(20,120)と、
少なくとも領域的に、蓚酸を含む電解液内のアノード酸化によって形成される滑り層によってコーティングされている部材の、
請求項1から13のいずれか一項に記載のポンプ(10,100)、特に真空ポンプの為の密に協働する複数の搬送要素(13,16,102,104)の製造のための使用。
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