JP2017096646A - 検査プローブおよびプローブカード - Google Patents

Abstract

【課題】高周波数の電気信号を用いる電気的試験および精密な電気的試験に有効な検査プローブおよびプローブカードを提供する。【解決手段】検査プローブ１は、スプリング構造５を有する両端開口の筒状部６と、筒状部６の端部１１に取り付けられた第１のプランジャ７と、筒状部６の端部１２に取り付けられた第２のプランジャ８とを有して、それらを外部方向に付勢するスプリングプローブ２と、らせん構造の伸縮部９を有してスプリングプローブ２の筒状部６を囲むように配置された筒状の絶縁性の絶縁体部３と、スプリング構造１０を有して絶縁体部３を囲むように配置された筒状の導電性のバレル４とを有する。検査プローブ１を用いてプローブカードを構成する。【選択図】図１

Description

本発明は、検査プローブおよびプローブカードに関する。

半導体ウエハに作り込まれたＩＣ等の多数の半導体チップは、半導体ウエハから切断、分離されるのに先立ち、仕様書通りの性能を有するか否かの電気的試験を受ける。

従来から、半導体ウエハにおける半導体チップの電気的試験においては、被検査体である半導体チップの電極と、離間配置された試験用の配線基板の電気回路等との間の電気的な接続のために、プローブカード等の電気的接続装置が用いられている。このプローブカード等の電気的接続装置は、例えば、検査プローブを用いて構成される。

図１１は、従来のコンタクトピンの正面図である。

図１１に示されたコンタクトピン２０００は、特許文献１に記載されたように、従来の検査プローブの一例である。コンタクトピン２０００は、プランジャ２００１とコイルバネユニット２００２とからなる。また、コンタクトピン２０００は複数が、図示されない電気的接続装置の絶縁基板の複数の貫通孔内にそれぞれ収納されて使用される。

コンタクトピン２０００では、プランジャ２００１が板状の形状を有し、端子部２００４と、幅広部２００５と、心棒部２００７とを含んで構成される。プランジャ２００１の端子部２００４は、半導体チップの半田ボール（図示されない）のような外部接点と接触する接触片となる。また、幅広部２００５は、プランジャ２００１が電気的接続装置の絶縁基板の貫通孔から飛び出すことを防止するための上段部２００５ａと、コイルバネユニット２００２を係止させるための下段部２００５ｂとを有する。心棒部２００７は、コイルバネユニット２００２内で、図１１における上下方向の移動である上下動自在に配備される。

上記した構造のコンタクトピン２０００において、プランジャ２００１は、被検査体の外部接点と電気的に接触するよう、外部接点とは垂直となる方向、すなわち、上下方向の移動が可能である。電気的接続装置では、コンタクトピン２０００が、半導体チップの外部接点と同じ数か、または、それ以上の数で用いられ、絶縁基板に形成された貫通孔内に配置される。そして、多数のコンタクトピン２０００は、外部接点となる、マトリクス状の配列パターンに対応して配列される。

特開２００４−１５２４９５号公報

近年、半導体デバイスの動作速度がますます高速化しており、半導体ウエハにおける半導体チップの電気的試験においても、高周波数の電気信号（テスト信号）を用いた電気的試験の実施が求められている。これに伴って、電気的接続装置の例であるプローブカードにおいても、例えば、数百ＭＨｚという高周波数の電気信号（テスト信号）に適用できることが求められている。

しかしながら、図１１のコンタクトピン２０００のような従来の検査プローブでは、被検査体の電極との十分な接触を確保するために、プランジャの上下動を可能にする所定の長さを有することが求められる。したがって、その検査プローブ自身の長さによって、検査に使用する電気信号の品質を低下させることがある。そのため、従来の検査プローブを用いたプローブカードでは、高周波数の電気信号を用いた半導体チップの検査を実現するのは困難である。

また、被検査体の電気的試験において、被検査体の電極に送られる電気信号は、検査プローブや、プローブカード内の配線を通ることで徐々に劣化が生じている。そのため、精密な測定が必要とされる被検査体の電気的試験では、補正が必要とされることがある。

このような電気的試験においては、多数の検査プローブを有するプローブカードを用い、被検査体における４端子接続（ケルビン接続）を採用することが有効となる。そして、電気的試験において、被検査体の精密な測定を実現する。

しかしながら、従来の検査プローブを用いたプローブカードでは、４端子接続（ケルビン接続）を実現しようとすると、使用される検査プローブの本数が増大してしまう。すなわち、４端子接続（ケルビン接続）においては、測定する電気信号（テスト信号）用の２経路（所謂、Ｆｏｒｃｅ線）に対し、その電気信号をモニタするための２経路（所謂、Ｓｅｎｓｅ線）が必要となる。そのため、従来の検査プローブを用いたプローブカードでは、上述の４経路をそれぞれ別の検査プローブを用いて構成する必要があり、検査プローブの配置スペースを確保するのが困難になるという問題を有する。

本発明は、こうした従来の検査プローブと、それを用いたプローブカードにおける問題に鑑みてなされたものである。

すなわち、本発明の目的は、高周波数の電気信号を用いる電気的試験に有効な検査プローブおよびプローブカードを提供することにある。

また、本発明の目的は、精密な電気的試験に有効な検査プローブおよびプローブカードを提供することにある。

本発明の他の目的および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。

本発明の第１の態様は、導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有する両端開口の筒状部と、前記筒状部の一端部から外部へ突出するように取り付けられた第１のプランジャと、前記筒状部の他端部から外部へ突出するように取り付けられた第２のプランジャとを有し、前記スプリング構造によって前記第１および第２のプランジャを外部方向に付勢するように構成されたスプリングプローブと、
絶縁性の材料からなり、らせん構造の伸縮部を一部に有して、前記筒状部を囲むように配置された、前記筒状部より大径の筒状の絶縁体部と、
導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有して、前記絶縁体部を囲むように配置された、前記絶縁体部より大径の筒状のバレルと
を有することを特徴とする検査プローブに関する。

本発明の第１の態様において、前記絶縁体部は、前記筒状部の外周面を囲むように前記筒状部の外周面と接触する内周面を有し、
前記バレルは、前記絶縁体部の外周面を囲むように前記絶縁体部の外周面と接触する内周面を有することが好ましい。

本発明の第１の態様において、前記筒状部のスプリング構造は、らせん形状を有することが好ましい。

本発明の第１の態様において、前記筒状のバレルのスプリング構造は、らせん形状を有することが好ましい。

本発明の第２の態様は、導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有する両端開口の筒状部と、前記筒状部の一端部から外部へ突出するように取り付けられた第１のプランジャと、前記筒状部の他端部から外部へ突出するように取り付けられた第２のプランジャとを有し、前記スプリング構造によって前記第１および第２のプランジャを外部方向に付勢するように構成されたスプリングプローブと、
絶縁性の材料からなり、らせん構造の伸縮部を一部に有して、前記筒状部を囲むように配置された、前記筒状部より大径の筒状の絶縁体部と、
導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有して、前記絶縁体部を囲むように配置された、前記絶縁体部より大径の筒状のバレルとを有し、
前記第１および第２のプランジャのいずれか一方と、前記バレルとの間が電気的に接続するように構成されることを特徴とする検査プローブに関する。

本発明の第２の態様において、前記絶縁体部は、前記筒状部の外周面を囲むように前記筒状部の外周面と接触する内周面を有し、
前記バレルは、前記絶縁体部の外周面を囲むように前記絶縁体部の外周面と接触する内周面を有することが好ましい。

本発明の第２の態様において、前記バレルの一端部に配置されて前記第１のプランジャと前記バレルとの間を電気的に接続する導電性の第１の接続部材、または、前記バレルの他端部に配置されて前記第２のプランジャと前記バレルとの間を電気的に接続する導電性の第２の接続部材を有することが好ましい。

本発明の第２の態様において、前記筒状部と前記バレルとの間を電気的に接続するように、前記バレルの一部が前記筒状部と接触するように構成されることが好ましい。

本発明の第２の態様において、前記筒状部のスプリング構造は、らせん形状を有することが好ましい。

本発明の第２の態様において、前記バレルのスプリング構造は、らせん形状を有することが好ましい。

本発明の第３の態様は、導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有する両端開口の第１の筒状部と、前記第１の筒状部の一端部である第１の一端部から外部へ突出するように取り付けられた第１のプランジャとを有する第１のスプリングプローブと、
導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有する両端開口の第２の筒状部と、前記第２の筒状部の一端部である第２の一端部から外部へ突出するように取り付けられた第２のプランジャとを有し、前記第２のプランジャが、前記第１のプランジャと同じ方向に突出するように、前記第１のスプリングプローブと平行に配列された第２のスプリングプローブと、
前記第１の筒状部の他端部である第１の他端部と、前記第２の筒状部の他端部である第２の他端部との間に挟持され、前記第１および第２のプランジャが突出する方向と逆方向の外部に突出するよう配置された第３のプランジャと、
絶縁性の材料からなり、らせん構造の伸縮部を一部に有し、前記第１の筒状部が前記第３のプランジャと接触する部分を除いて前記第１の筒状部を囲むように配置された、前記第１の筒状部より大径の筒状の第１の絶縁体部と、
絶縁性の材料からなり、らせん構造の伸縮部を一部に有し、前記第２の筒状部が前記第３のプランジャと接触する部分を除いて前記第２の筒状部を囲むように配置された、前記第２の筒状部より大径の筒状の第２の絶縁体部と、
導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有する両端開口の筒状のバレルであって、前記第３のプランジャを挟持する前記第１のスプリングプローブおよび前記第２のスプリングプローブを、前記第１の絶縁体部または前記第２の絶縁体部を介して、一体的に囲むように配置された１つのバレルと、
前記第３のプランジャと前記バレルとの間を電気的に接続するように、前記バレルの端部に設けられた導電性の接続部材と
を有することを特徴とする検査プローブに関する。

本発明の第３の態様において、前記第１の絶縁体部は、前記第１の筒状部の外周面を囲むように前記第１の筒状部の外周面と接触する内周面を有し、
前記第２の絶縁体部は、前記第２の筒状部の外周面を囲むように前記第２の筒状部の外周面と接触する内周面を有することが好ましい。

本発明の第３の態様において、前記第１の筒状部のスプリング構造および前記第２の筒状部のスプリング構造はいずれも、らせん形状を有することが好ましい。

本発明の第３の態様において、前記バレルのスプリング構造は、らせん形状を有することが好ましい。

本発明の第４の態様は、本発明の第１の態様の検査プローブを有することを特徴とするプローブカードに関する。

本発明の第５の態様は、本発明の第２の態様の検査プローブおよび本発明の第３の態様の検査プローブのいずれかを有することを特徴とするプローブカードに関する。

本発明の第１の態様によれば、高周波数の電気信号を用いる電気的試験に有効な検査プローブが提供される。

本発明の第２の態様によれば、精密な電気的試験に有効な検査プローブが提供される。

本発明の第３の態様によれば、精密な電気的試験に有効な検査プローブが提供される。

本発明の第４の態様によれば、高周波数の電気信号を用いる電気的試験に有効なプローブカードが提供される。

本発明の第５の態様によれば、精密な電気的試験に有効なプローブカードが提供される。

本発明の第１実施形態の検査プローブの構造を模式的に示す断面図である。 本発明の第１実施形態の検査プローブを構成するスプリングプローブの構造を模式的に示す断面図である。 本発明の第１実施形態の検査プローブを構成する絶縁体部の構造を模式的に示す断面図である。 本発明の第１実施形態の検査プローブを構成するバレルの構造を模式的に示す断面図である。 本発明の第２実施形態の検査プローブの構造を模式的に示す断面図である。 本発明の第２実施形態の検査プローブを用いた被検査体との接続方法を模式的に説明する図である。 本発明の第３実施形態の検査プローブの構造を模式的に示す断面図である。 本発明の第４実施形態の検査プローブの構造を模式的に示す断面図である。 本発明の第５実施形態のプローブ組立体の構造を模式的に示す断面図である。 本発明の第６実施形態のプローブカードを模式的に説明する図である。 従来のコンタクトピンの正面図である。

以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照しながら説明する。

実施の形態１．
＜検査プローブ１＞
図１は、本発明の第１実施形態の検査プローブの構造を模式的に示す断面図である。

図２は、本発明の第１実施形態の検査プローブを構成するスプリングプローブの構造を模式的に示す断面図である。

図３は、本発明の第１実施形態の検査プローブを構成する絶縁体部の構造を模式的に示す断面図である。

図４は、本発明の第１実施形態の検査プローブを構成するバレルの構造を模式的に示す断面図である。

図１および図２に示すように、本発明の第１実施形態の検査プローブ１は、スプリング構造５を一部に有してなる筒状部６と、筒状部６の一端部である端部１１に、端部１１から外部へ突出するように取り付けられた第１のプランジャ７と、筒状部６の他端部である端部１２に、端部１２から外部へ突出するように取り付けられた第２のプランジャ８とを有するスプリングプローブ２を有する。筒状部６は、導電性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

スプリングプローブ２は、図２に示すように、一端部である上部側の端部１１と他端部である下部側の端部１２との間の略中央部にスプリング構造５を有する。そのスプリング構造５は、後述する製造方法にしたがって形成されたらせん形状を有する。

スプリングプローブ２は、筒状部６の略中央部に設けられたスプリング構造５によるバネ作用によって、第１のプランジャ７および第２のプランジャ８を外部方向に付勢するように構成されている。

そして、検査プローブ１は、図１および図３に示すように、らせん構造の伸縮部９を一部に有してスプリングプローブ２の筒状部６を囲むように配置された、筒状部６より大径の筒状の絶縁体部３を有する。絶縁体部３は、絶縁性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

絶縁体部３は、図３に示すように、上部側の端部１３と下部側の端部１４との間の略中央部にらせん構造の伸縮部９を有し、その伸縮部９は、後述する製造方法にしたがって形成されたものである。

そして、図１に示す検査プローブ１において、絶縁体部３は、筒状部６の外周面を囲むように、筒状部６の外周面と接触する内周面を有する。

さらに、検査プローブ１は、図１および図４に示すように、スプリング構造１０を一部に有して絶縁体部３を囲むように配置された、絶縁体部３より大径の筒状のバレル４を有する。バレル４は、導電性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

バレル４は、図４に示すように、上部側の端部１５と下部側の端部１６との間の略中央部にスプリング構造１０を有する。そのスプリング構造１０は、後述する製造方法にしたがって形成されたらせん形状を有する。

尚、図１等に示す検査プローブ１において、スプリングプローブ２のスプリング構造５と、絶縁体部３のらせん構造の伸縮部９と、バレル４のスプリング構造１０とは、同じらせんピッチを有するように示されているが、そのような構造に限定されるわけではない。検査プローブ１において、スプリングプローブ２のスプリング構造５と、絶縁体部３のらせん構造の伸縮部９と、バレル４のスプリング構造１０のらせんピッチはそれぞれ異なるものとすることができる。後述する本発明の第２実施形態の検査プローブ１００、本発明の第３実施形態の検査プローブ２００、本発明の第４実施形態の検査プローブ３００についても同様である。

そして、図１に示す検査プローブ１において、バレル４は、絶縁体部３の外周面を囲むように、絶縁体部３の外周面と接触する内周面を有する。

本発明の第１実施形態の検査プローブ１では、図１および図２に示すように、第１のプランジャ７がスプリングプローブ２の筒状部６の一端部である上部側の端部１１にある開口部に取り付けられる。そして、第２のプランジャ８が筒状部６の他端部である下部側の端部１２にある開口部に取り付けられる。その結果、検査プローブ１では、図１の上部側となる外部に向かって突出する第１のプランジャ７および図１の下部側となる外部に向かって突出する第２のプランジャ８がそれぞれ上下動自在となるようにされる。

そして、検査プローブ１では、図１に示すように、スプリングプローブ２の導電性の筒状部６と、導電性のバレル４とが、絶縁性の絶縁体部３を介して積層される構造を有する。すなわち、検査プローブ１において、スプリングプローブ２の筒状部６とバレル４とは、絶縁体部３によって電気的に絶縁される。その結果、検査プローブ１は、スプリングプローブ２の筒状部６と、絶縁体部３と、バレル４とによって、導電体層／絶縁体層／導電体層からなる３層の積層構造を実現している。

このとき、絶縁体部３は、上述したように、らせん構造の伸縮部９を、絶縁体部３の一部である略中央部に有している。そして、絶縁体部３の端部１３が筒状部６の端部１１に固定され、絶縁体部３の端部が、筒状部６の端部１１に固定されている。

また、バレル４は、上述したように、スプリング構造１０を、バレル４の一部である略中央部に有している。そして、バレル４の端部１５が、絶縁体部３の端部１３に固定され、バレル４の端部１６が、絶縁体部３の端部１４に固定されている。そのため、バレル４は、両方の端部１５，１６がそれぞれ絶縁体部３に固定されることによって、スプリングプローブ２の筒状部６の両方の端部１１，１２に固定されている。

したがって、検査プローブ１では、スプリングプローブ２における第１のプランジャ７および第２のプランジャ８のそれぞれの上下動が、それらを固定する筒状部６のスプリング構造５によって自在とされる。その一方で、検査プローブ１では、その筒状部６を囲むように周設された絶縁体部３およびバレル４によって、第１のプランジャ７および第２のプランジャ８のそれぞれの上下動が阻害されることはない。

すなわち、検査プローブ１では、スプリングプローブ２における第１のプランジャ７および第２のプランジャ８それぞれの上下動に対応して、スプリングプローブ２の筒状部６を囲むように周設された絶縁体部３およびバレル４が同様に伸縮することができる。その結果、検査プローブ１は、スプリングプローブ２における第１のプランジャ７および第２のプランジャ８それぞれの所望とされるスムーズな上下動を可能とする。

以上の構造の本発明の第１実施形態の検査プローブ１において、第２のプランジャ８は、上述したように、スプリングプローブ２の筒状部６の端部１２に設けられる。そして、第２のプランジャ８は、被検査体である、例えば、半導体チップ（図示されない）の電極をなす半田ボール（図示されない）のような、被検査体の外部接点と電気的に接触する端子として機能することができる。また、筒状部６の端部１１に設けられた第１のプランジャ７は、プローブカード（図示されない）の配線基板（図示されない）の電気回路と電気的に接触する端子として機能することができる。

上述した構造の検査プローブ１において、第１のプランジャ７は、配線基板の電気回路と電気的に接触するよう、その電気回路とは垂直となる方向、すなわち、図１の上下方向の移動が可能である。同様に、第２のプランジャ８は、被検査体の外部接点と電気的に接触するよう、外部接点とは垂直となる方向、すなわち、図１の上下方向の移動が可能である。

したがって、本発明の第１実施形態の検査プローブ１は、第１のプランジャ７とプローブカードの配線基板の電気回路との間の十分な接触を実現することができる。また、検査プローブ１は、第２のプランジャ８と被検査体の外部接点との間の十分な接触を実現することができる。その結果、検査プローブ１は、第１のプランジャ７とプローブカードの配線基板の電気回路との間および第２のプランジャ８と被検査体の外部接点との間の十分な電気的接続を実現することができる。

さらに、本発明の第１実施形態の検査プローブ１は、上述したように、導電性の筒状部６が、スプリングプローブ２の第１のプランジャ７および第２のプランジャ８を保持してそれらの上下動を可能にする。そして、図１に示すように、その導電性の筒状部６と、導電性のバレル４とが、絶縁性の絶縁体部３を介して積層される３層構造を有している。

したがって、検査プローブ１は、スプリングプローブ２の外周に、グラウンド接続可能な導電体層として、スプリングプローブ２と絶縁された導電性のバレル４が存在する。そのため、検査プローブ１は、同軸配置として知られた構造を有し、高周波における伝送損失が小さいこと、伝送信号に入り込むノイズが少ないこと、そして、特性インピーダンスが安定していること等を実現することができる。

すなわち、本発明の第１実施形態の検査プローブ１は、高周波数の電気信号を用いる電気的試験に有効な検査プローブとなる。

ここで、従来のプローブカードでは、上述したような高周波における伝送損失が小さいこと等の効果を得るために、例えば、平行な２本の従来の検査プローブを用いてきた。すなわち、従来のプローブカードでは、信号用プローブと接地用プローブとを所定間隔を隔てて平行に配設したものを一組として用いる。そして、従来のプローブカードは、その組にされた２本の検査プローブを平行２本線路構造に近付けるようにして、被検査体の電気的試験に用いてきた。

このような従来技術に対し、本発明の第１実施形態の検査プローブ１は、１つで、平行な２本の検査プローブの機能、すなわち、所定間隔を隔てて平行に配設された信号用プローブと接地用プローブの機能を有することができる。そのため、検査プローブ１は、プローブカードの構成に用いられた場合、プローブカード内で、検査プローブ１の配置スペースを確保するのを容易にすることができる。

本発明の第１実施形態の検査プローブ１は、上述したように、電気的接続装置であるプローブカードの構成要素として用いることができる。その場合、そのプローブカードは、検査プローブ１を、例えば、プローブカードの絶縁基板（図示されない）に形成された貫通孔（図示されない）内に配置することができる。また、そのプローブカードは、検査プローブ１を、内部に検査プローブ１の収納スペースを形成したケーシング内に収納することによって使用することができる。

上述したような、検査プローブ１を用いるプローブカードでは、被検査体となる半導体チップの外部接点と同じ数か、または、それ以上の多数の検査プローブ１が、外部接点となるマトリクス状の配列パターンに対応して配列されている。そして、検査プローブ１は、高周波数の電気信号を用いる電気的試験に有効なプローブカードを提供することができる。

尚、本発明の第１実施形態の検査プローブ１は、電気的接続装置である検査ソケットの構成要素としても用いることができる。後述する本発明の第２実施形態から第４実施形態の検査プローブについても同様である。

上述の検査ソケットは、切断した半導体チップを実装組立（パッケージ）した完成後に行う最終検査工程で使用される電気的接続装置であり、完成後のＩＣ等を載置して用いられる。そして、検査ソケットは、このＩＣ等の電極と試験装置（テスター）に接続された配線基板の電極とを、接触子を用いて電気的に接続させることができ、ＩＣ等を検査することができる。検査プローブ１および後述する本発明の第２実施形態から第４実施形態の検査プローブは、検査ソケットの接触子として用いられ、高周波数の電気信号を用いる電気的試験に有効な検査ソケットおよび精密な電気的試験に有効な検査ソケットを提供することができる。

以上の構造の本発明の第１実施形態の検査プローブ１において、その製造方法については、例えば、スプリングプローブ２、絶縁体部３およびバレル４をそれぞれ別個に製造することができる。その後、それらを組み合わせて一体的に組み立てて、検査プローブ１を製造することができる。

その場合、例えば、検査プローブ１の製造において、スプリングプローブ２の製造では、略中央部にスプリング構造を有する両端開口の筒状部６を作製する。その後、被検査体（図示されない）の有する電極等の外部接点と接触するための第１のプランジャ７を筒状部６の上部側の端部１１にある開口部に取り付ける。次いで、第２のプランジャ８を筒状部６の下部側の端部１２にある開口部に取り付ける。以上によって、スプリングプローブ２を製造することができる。

スプリングプローブ２の筒状部６は、例えば、電鋳技術を用いて作製された両端開口の筒状（パイプ状）の部材をその前駆体とすることができる。そして、その前駆体を用い、フォトリソグラフィ技術を利用して、エッチング処理によって、略中央部にらせん形状のスリットを設ける。これによって、筒状部６は、両端が開口し、略中央部にスプリング構造を有する構造を備えることができる。

以下で、スプリングプローブ２の製造方法をより詳しく説明する。その後、製造されたスプリングプローブ２を用い、また別に製造された絶縁体部３およびバレル４をそれぞれ用い、本発明の第１実施形態の検査プローブ１を製造する方法について説明する。

図２に示したスプリングプローブ２を製造するにあたっては、初めに、筒状部６の前駆体となる部材を準備することが好ましい。この筒状部６の前駆体となる部材としては、例えば、円柱状の芯材の外周面金めっき層を形成し、さらにその上にニッケルめっき層を形成して製造した電鋳管（円筒形状管）を用いることができる。

上述の芯材としては、例えば、外径が５μｍから３００μｍの金属線や樹脂線を用いることができる。その金属線としては、例えば、ＳＵＳ線を用いることができ、樹脂線としては、例えば、ナイロン樹脂やポリエチレン樹脂等の合成樹脂線を用いることができる。

また、上述の金めっき層の厚さは約０．１μｍから１μｍとすることができ、ニッケルめっき層の厚さは、約５μｍから５０μｍとすることができる。

次いで、電鋳管のニッケルめっき層の外周面上に絶縁膜としてレジスト層を形成する。レジスト層の厚さは、例えば、２μｍから５０μｍとすることができる。

次に、電鋳管の芯材を周方向に回転させながら、レーザービームを直接照射し、その照射によりレジスト層の一部を除去する加工を行う。すなわち、レジスト層を、例えば、３ｍｍから３０ｍｍの間隔を置いて所定の幅だけ周回して除去して、レジスト層にらせん状の溝を形成する。その溝が形成された部分では、レジスト層の下層にあるニッケルめっき層が露出する。

次に、溝の形成されたレジスト層をマスクとして用いて、溝から露出したニッケルめっき層をエッチング除去して、ニッケルめっき層の下層にある金めっき層を露出させる。その際、ニッケルめっき層と芯材との間に金めっき層が存在するため、エッチングの際にニッケルエッチング液が芯材まで到達するのを防止することができる。

次に、ニッケルめっき層上のレジスト層を剥離除去する。その結果、ニッケルめっき層には、上記のレジスト層のらせん状の溝に対応するスリットが形成されている。その結果、ニッケルめっき層は、略中央部に、らせん形状を有するスプリング構造の形成されたものとなる。

次に、芯材を伸ばすように、すなわち、その両端を離れる方向に引っ張って断面積が小さくなるように変形させる。芯材が延伸してその断面積が小さくなると、芯材の外周面を被覆していた金めっき層がその外周面から剥離して電鋳管の内側に残り、芯材と金めっき層との間に空間が形成される。

次いで、超音波洗浄を行って、溝から露出した金めっき層を除去する。その後、芯材を抜き取る。これによって、導電性の材料であるニッケル合金からなり、図２に示すように、端部１１と端部１２との間の略中央部にらせん形状を有するスプリング構造５の形成された、両端開口の筒状部６が製造される。

第１のプランジャ７および第２のプランジャ８は、同様の形状を有することができる。そして、第１のプランジャ７および第２のプランジャ８は、例えば、板状の形状のほか、図２に示すように、一方の先端が先細に形成された棒状の形状を有することができる。

第１のプランジャ７および第２のプランジャ８は、それぞれ同様に、導電性の材料を用い、切削加工、プレス加工等により、または、フォトリソグラフィ技術を用いためっき等により製造することができる。第１のプランジャ７および第２のプランジャ８は、例えば、タングステン、炭素鋼（ＳＫ材）、ベリリウム銅等の導電性の材料から製造することができる。

そして、スプリングプローブ２においては、例えば、図２に示すように、筒状部６の上部側の端部１１の開口部から、第１のプランジャ７の一部が、先細の先端とは反対の先端の側から挿入される。そして、例えば、第１のプランジャ７が図２の上部側となる外部に向かって先細の先端を突出させるように、端部１１の開口部に溶接技術等を用いて固定的に取り付けられる。

また、図２に示すように、筒状部６の下部側の端部１２の開口部から、第２のプランジャ８の一部が、先細の先端とは反対の先端の側から挿入される。そして、例えば、第２のプランジャ８が図２の下部側となる外部に向かって先細の先端を突出させるように、端部１２の開口部に溶接技術等を用いて固定的に取り付けられる。

以上のようにして製造されたスプリングプローブ２に対し、絶縁性の材料からなる両端開口の筒状の絶縁体部３であって、らせん構造の伸縮部９を一部に有して筒状部６より大径の筒状の絶縁体部３を準備する。そして、その筒状の絶縁体部３を用い、スプリングプローブ２の筒状部６を外周面から囲むように配置する。

絶縁体部３を構成する材料としては、絶縁性を有する材料であれば多様なものの使用が可能である。絶縁体部３を構成する材料としては、例えば、ポリイミドやフッ素樹脂（例えば、ポリテトラフルオロエチレン）等の樹脂材料や、ガラス材料を使用することができる。

そして、絶縁体部３の製造方法については、上述したスプリングプローブ２の筒状部６と同様の製造方法とすることができる。すなわち、筒状部６の製造方法における、レジスト膜の一部をらせん状に除去するレーザ加工と同様の方法で行うことができる。

その場合、絶縁体部３を製造するにあたっては、例えば、絶縁性の材料からなり、スプリングプローブ２の筒状部６より大径であって、両端開口の筒状（パイプ状）の部材を前駆体として準備する。

次に、その筒状の前駆体を周方向に回転させながら、レーザービームを直接照射し、その照射によって、絶縁性の材料からなる前駆体の一部を除去する加工を行う。すなわち、前駆体の一部を、例えば、３ｍｍから３０ｍｍの間隔を置いて所定の幅だけ周回して除去して、前駆体にらせん状のスリットを形成する。こうして、絶縁性の材料からなる両端開口の筒状の絶縁体部３であって、らせん構造の伸縮部９を略中央部に有して筒状部６より大径の筒状の絶縁体部３を製造することができる。

尚、絶縁体部３を製造するにあたり、レーザービームに代えて、ドリル等の刃物を用い、らせん形状のスリットを形成してもよい。

また、上述した絶縁体部３の製造方法では、絶縁体部３の前駆体を周方向に回転させて、レーザービーム等による加工を行ったが、絶縁体部３の前駆体を固定し、レーザービーム等の加工手段を適当な回転移動をさせることによって、絶縁体部３を製造することも可能である。

そして、絶縁体部３の内部に、両端の開口部のいずれかから上述したスプリングプローブ２を挿入する。それによって、絶縁体部３を、スプリングプローブ２の筒状部６を外周面から囲むように配置することができる。

以上のようにして製造されたスプリングプローブ２および絶縁体部３に対し、導電性の材料からなる両端開口の筒状のバレル４であって、スプリング構造１０を一部に有した絶縁体部３より大径の筒状のバレル４を準備する。そして、その筒状のバレル４を、スプリングプローブ２の筒状部６を囲む絶縁体部３をさらに外周面から囲むように配置する。そして、図１に示すように、バレル４が、スプリングプローブ２の筒状部６と絶縁体部３とを囲むようにする。

絶縁体部３を構成する材料としては、スプリングプローブ２の筒状部６と同様に、例えば、ニッケル合金を用いることができる。

そして、バレル４の製造方法については、上述したスプリングプローブ２の筒状部６の製造方法と同様の方法で行うことができる。

その場合、例えば、電鋳技術を用いて作製された両端開口の筒状（パイプ状）の部材であって、筒状の絶縁体部３より大径の筒状の部材を前駆体とすることができる。そして、上述したのと同様のレーザービームを用いたフォトリソグラフィ技術を利用して、前駆体上に形成されたレジスト層の一部を、例えば、３ｍｍから３０ｍｍの間隔を置いて所定の幅だけ周回して除去する。次いで、エッチング処理を行って、前駆体の略中央部にらせん形状のスリットを設けることができる。その結果、両端が開口し、略中央部にスプリング構造を有するバレル４を製造することができる。

その後、バレル４の内部に、両端の開口部のいずれかから、上述のスプリングプローブ２および絶縁体部３の一体化されたものを挿入する。そうすることによって、スプリングプローブ２の筒状部６を囲む絶縁体部３を、さらに外周面から囲むようにバレル４を配置することができる。

以上の方法によって、本発明の第１実施形態の検査プローブ１を製造することができる。そして、以上の方法によって製造された検査プローブ１は、上述したように、高周波数の電気信号を用いる電気的試験に有効な検査プローブとなる。

実施の形態２．
＜検査プローブ２＞
図５は、本発明の第２実施形態の検査プローブの構造を模式的に示す断面図である。

図５に示すように、本発明の第２実施形態の検査プローブ１００は、スプリング構造５を一部に有してなる筒状部６と、筒状部６の一端部である端部１１に、端部１１から外部へ突出するように取り付けられた第１のプランジャ７と、筒状部６の他端部である端部１２に、端部１２から外部へ突出するように取り付けられた第２のプランジャ８とを有するスプリングプローブ２を有する。筒状部６は、導電性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

そして、検査プローブ１００は、図５に示すように、らせん構造の伸縮部９を一部に有してスプリングプローブ２の筒状部６を囲むように配置された、筒状部６より大径の筒状の絶縁体部３を有する。絶縁体部３は、絶縁性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

そして、図５に示す検査プローブ１００において、絶縁体部３は、筒状部６の外周面を囲むように、筒状部６の外周面と接触する内周面を有する。

また、検査プローブ１００は、図５に示すように、スプリング構造１０を一部に有して絶縁体部３を囲むように配置された、絶縁体部３より大径の筒状のバレル４を有する。バレル４は、導電性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

そして、図５に示す検査プローブ１００において、バレル４は、絶縁体部３の外周面を囲むように、絶縁体部３の外周面と接触する内周面を有する。

さらに、検査プローブ１００は、図５に示すように、バレル４の他端部である下部側の端部１６に、第２のプランジャ８とバレル４との間を電気的に接続する導電性の接続部材１２１を有する。したがって、検査プローブ１００は、スプリングプローブ２の第２のプランジャ８とバレル４との間が接続部材１２１を介して電気的に接続するように構成される。

ここで、検査プローブ１００では、接続部材１２１を有すること以外、本発明の第１実施形態の検査プローブ１と同様の構造を有する。すなわち、検査プローブ１００のスプリングプローブ２、絶縁体部３およびバレル４は、本発明の第１実施形態の検査プローブ１の対応する構成要素と同様の構造を有する。そして、検査プローブ１００は本発明の第１実施形態の検査プローブ１に接続部材１２１を設けたのと同様の構造を有している。したがって、検査プローブ１００は、その製造方法も、検査プローブ１の製造方法と共通する。したがって、図５に示すように、検査プローブ１００において、図１から図４に示した本発明の第１実施形態の検査プローブ１と共通する構成要素については、同じ符号を付し、重複する説明は省略することにする。

本発明の第２実施形態の検査プローブ１００において、上述したように、バレル４の下部側の端部１６に、第２のプランジャ８とバレル４との間を電気的に接続する接続部材１２１が設けられている。

接続部材１２１は、例えば、図５に示すように、バレル４の端部１６を覆って第２のプランジャ８が外部に向かって突出するための貫通孔１２２を備えたキャップ状の形状を有する。そして、接続部材１２１は、半田溶接等の技術によって、第２のプランジャ８の側部との間で導通可能に固定され、また、バレル４の端部１６とも導通可能に固定されている。したがって、接続部材１２１は、第２のプランジャ８の側部およびバレル４の端部１６にそれぞれ接してそれらの間を電気的に接続させることができる。

ここで、検査プローブ１００において、第２のプランジャ８は、スプリングプローブ２の筒状部６の端部１２に設けられる。そして、第２のプランジャ８は、被検査体である、例えば、半導体チップ（図示されない）の電極をなす半田ボール（図示されない）のような、被検査体の外部接点と電気的に接触する端子として用いられることが好ましい。また、筒状部６の端部１１に設けられた第１のプランジャ７は、プローブカード（図示されない）の配線基板（図示されない）の電気回路と電気的に接触する端子として用いられることが好ましい。

このような構成とすることで、検査プローブ１００は、接続部材１２１を用い、被検査体の電極の直近で、それに接触する端子となる第２のプランジャ８と、絶縁体部３を介してスプリングプローブ２を囲むバレル４とを接続することができる。その結果、検査プローブ１００は、後述するように、４端子接続（ケルビン接続）の実現に有効であって、被検査体の精密な電気的試験を可能にする検査プローブとなる。

尚、検査プローブ１００においては、スプリングプローブ２の筒状部６の一端部である端部１１に設けられた第１のプランジャ７が、被検査体の外部接点と電気的に接触する端子として用いられる場合もある。その場合、筒状部６の他端部である端部１２に設けられた第２のプランジャ８が、プローブカードの配線基板の電気回路と電気的に接触する端子として用いられることになる。

そのような場合、検査プローブ１００は、バレル４の一端部である上部側の端部１５に、第１のプランジャ７とバレル４との間を電気的に接続する接続部材を設けることが好ましい。そして、その場合の接続部材は、接続部材１２１と同様に、バレル４の端部１５を覆うキャップ状の形状とすることができる。

ここで、本発明の第２実施形態の検査プローブ１００において、バレル４の一端部である上部側の端部１５に設けられる接続部材を第１の接続部材と称する。そして、図５のように、バレル４の他端部である下部側の端部１６に設けられる接続部材１２１を第２の接続部材と称する。

上述の定義にしたがい、本発明の第２実施形態の検査プローブ１００は、バレル４の一端部である端部１５に配置されて第１のプランジャ７とバレル４との間を電気的に接続する導電性の第１の接続部材を有することができる。または、上述の第１の接続部材に代えて、検査プローブ１００は、バレル４の他端部である端部１６に配置されて第２のプランジャ８とバレル４との間を電気的に接続する導電性の第２の接続部材を有することができる。そして、検査プローブ１００は、第１のプランジャ７および第２のプランジャ８のいずれか一方とバレル４との間を電気的に接続するように構成することができる。

以上のような構造の検査プローブ１００を用い、被検査体の精密な電気的試験を行うための４端子接続（ケルビン接続）を実現する方法について、以下で説明する。

図６は、本発明の第２実施形態の検査プローブを用いた被検査体との接続方法を模式的に説明する図である。

尚、図６では、使用する検査プローブ１００−１，１００−２の作用の説明に好適となるように、検査プローブ１００−１，１００−２について、その模式的な断面構造を示している。尚、検査プローブ１００−１，１００−２は、上述した図５の検査プローブ１００と同様の構造を有する。

図６に示すように、検査プローブ１００を用い、電気的試験の対象となる被検査体１３０の４端子接続（ケルビン接続）を実現しようとする場合、２つの検査プローブ１００−１，１００−２を一組にして用いる。

そして、２つの検査プローブ１００−１，１００−２はそれぞれ、被検査体１３０にスプリングプローブ２−１，２−２の第２のプランジャ８−１，８−２を接触させることができる。

このとき、２つの検査プローブ１００−１，１００−２はそれぞれ、それらを構成するスプリングプローブ２−１，２−２のスプリング構造５−１，５−２およびバレル４−１，４−２のスプリング構造１０−１，１０−２の示すバネ作用によって、被検査体１３０との間の十分な電気的接続を実現することができる。

そして、４端子接続（ケルビン接続）を実現するため、電気的試験で測定する電気信号用の２経路（所謂、Ｆｏｒｃｅ線）を、２つの検査プローブ１００−１，１００−２のそれぞれのスプリングプローブ２−１，２−２によって構成することができる。

また、その電気信号をモニタするための２経路（所謂、Ｓｅｎｓｅ線）を、２つの検査プローブ１００−１，１００−２のそれぞれのバレル４−１，４−２によって構成することができる。

上述したように、２つの検査プローブ１００−１，１００−２においては、それぞれバレル４−１，４−２の端部１５−１，１５−２に、導電性の接続部材１２１−１，１２１−２が設けられている。接続部材１２１−１は、検査プローブ１００−１において、スプリングプローブ２−１の第２のプランジャ８−１とバレル４−１との間を電気的に接続する。また、接続部材１２１−２は、検査プローブ１００−２において、スプリングプローブ２−２の第２のプランジャ８−２とバレル４−２との間を電気的に接続している。

そのため、第２のプランジャ８−１，８−２に電気的に接続するとバレル４−１，４−２をそれぞれ、電気的試験で測定する電気信号をモニタするための２つのＳｅｎｓｅ線として用いることができる。

このとき、検査プローブ１００−１，１００−２では、接続部材１２１−１，１２１−２によって、被検査体１３０に接触する第２のプランジャ８−１，８−２と、バレル４−１，４−２とが接続されている。したがって、検査プローブ１００−１，１００−２ではそれぞれ被検査体１３０の直近でのＳｅｎｓｅ線接続が可能となり、より正確な電気信号のモニタが可能となる。

そして、本発明の第２実施形態の検査プローブ１００は、４端子接続（ケルビン接続）を実現することができ、被検査体１３０の精密な電気的試験に有効な検査プローブとなる。

実施の形態３．
＜検査プローブ３＞
図７は、本発明の第３実施形態の検査プローブの構造を模式的に示す断面図である。

図７に示すように、本発明の第３実施形態の検査プローブ２００は、スプリング構造５を一部に有してなる筒状部６と、筒状部６の一端部である端部１１に、端部１１から外部へ突出するように取り付けられた第１のプランジャ７と、筒状部６の他端部である端部１２に、端部１２から外部へ突出するように取り付けられた第２のプランジャ８とを有するスプリングプローブ２を有する。スプリングプローブ２の筒状部６は、導電性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

そして、検査プローブ２００は、図７に示すように、らせん構造の伸縮部２０９を一部に有してスプリングプローブ２の筒状部６を囲むように配置された、筒状部６より大径の筒状の絶縁体部２０３を有する。絶縁体部２０３は、絶縁性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

そして、図７に示す検査プローブ２００において、絶縁体部２０３は、筒状部６の外周面を囲むように、筒状部６の外周面と接触する内周面を有する。

また、検査プローブ２００は、図７に示すように、スプリング構造２１０を一部に有して絶縁体部２０３およびスプリングプローブ２の筒状部６を囲むように配置された、絶縁体部２０３より大径の筒状のバレル２０４を有する。バレル２０４は、導電性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

そして、図７に示す検査プローブ２００において、バレル２０４は、絶縁体部２０３の外周面を囲むように、絶縁体部２０３の外周面と接触する内周面を有する。

検査プローブ２００において、バレル２０４は、他端部である端部２１６が先端に向かって絞られて先端の径が小さくなる形状を有している。また、絶縁体部２０３は、スプリングプローブ２の筒状部６に比べて長手方向の寸法が小さくなるように構成されて、筒状部６の端部１２の第２のプランジャ８側の一部が絶縁体部２０３から露出している。その結果、検査プローブ２００では、バレル２０４の端部２１６の第２のプランジャ８側の一部が、筒状部６の端部１２の第２のプランジャ８側の一部と接触するように構成されている。

ここで、検査プローブ２００では、絶縁体部２０３の形状およびバレル２０４の一部の形状が異なる以外、本発明の第１実施形態の検査プローブ１と同様の構造を有する。すなわち、検査プローブ２００のスプリングプローブ２等は、本発明の第１実施形態の検査プローブ１の対応する構成要素と同様の構造を有している。そして、それらの製造方法も共通する。したがって、図７に示すように、検査プローブ２００において、図１から図４に示した本発明の第１実施形態の検査プローブ１と共通する構成要素については、同じ符号を付し、重複する説明は省略することにする。

本発明の第３実施形態の検査プローブ２００において、バレル２０４の製造には、上述した製造方法によって製造された本発明の第１実施形態の検査プローブ１のバレル４を用いることができる。そして、バレル４の端部１６に絞り加工を施すことによってバレル２０４を製造することができる。

また、絶縁体部２０３は、上述した本発明の第１実施形態の検査プローブ１の絶縁体部３と同様に、上部側の端部２１３と下部側の端部２１４との間の略中央部にらせん構造の伸縮部２０９を有する。その伸縮部２０９は、上述した検査プローブ１の絶縁体部３の伸縮部９と同様の製造方法にしたがって形成されたものとすることができる。

以上により、バレル２０４は、他端部である端部２１６が先端に向かって絞られた形状を有し、絶縁体部２０３を介することなく直接に、スプリングプローブ２の筒状部６の端部１２と接触することができる。すなわち、検査プローブ２００では、バレル２０４の一部がスプリングプローブ２の筒状部６の一部と接触するように構成されている。したがって、検査プローブ２００は、スプリングプローブ２の第２のプランジャ８と、バレル２０４との間が電気的に接続するように構成されている。

ここで、検査プローブ２００において、第２のプランジャ８は、スプリングプローブ２の筒状部６の他端部である端部１２に設けられる。そして、第２のプランジャ８は、被検査体である、例えば、半導体チップ（図示されない）の電極をなす半田ボール（図示されない）のような、被検査体の外部接点と電気的に接触する端子として用いられることが好ましい。また、筒状部６の一端部である端部１１に設けられた第１のプランジャ７は、プローブカード（図示されない）の配線基板（図示されない）の電気回路と電気的に接触する端子として用いられることが好ましい。

このような構成とすることで、検査プローブ２００は、バレル２０４とスプリングプローブ２の筒状部６の端部１２とを接触させ、被検査体の電極の直近で、それに接触する端子となる第２のプランジャ８と、バレル２０４とを電気的に接続することができる。その結果、検査プローブ２００は、後述するように、４端子接続（ケルビン接続）の実現に有効であって、被検査体の精密な電気的試験を可能にする検査プローブとなる。

尚、検査プローブ２００においては、スプリングプローブ２の筒状部６の一端部である端部１１に設けられた第１のプランジャ７が、被検査体の外部接点と電気的に接触する端子として用いられる場合もある。その場合、筒状部６の他端部である端部１２に設けられた第２のプランジャ８が、プローブカードの配線基板の電気回路と電気的に接触する端子として用いられることになる。

そのような場合、検査プローブ２００のバレル２０４においては、他端部である下部側の端部２１６ではなく、一端部である上部側の端部２１５が先端に向かって絞られた形状を有することが好ましい。そして、検査プローブ２００では、バレル２０４が、絶縁体部２０３を介することなく直接に、スプリングプローブ２の筒状部６の一端部である端部１１と接触する構造を有することが好ましい。すなわち、第１のプランジャ７とバレル２０４との間を電気的に接続するように構成することが好ましい。

すなわち、本発明の第３実施形態の検査プローブ２００において、バレル２０４は、一端部である上部側の端部２１５が先端に向かって絞られた形状を有するか、または、他端部である下部側の端部２１６が先端に向かって絞られた形状を有することができる。そして、バレル２０４が、スプリングプローブ２の筒状部６の一端部である端部１１と接触する構造を有するか、または、筒状部６の他端部である端部１２と接触する構造を有することができる。その結果、検査プローブ２００は、第１のプランジャ７および第２のプランジャ８のいずれか一方とバレル２０４との間を電気的に接続するように構成することができる。

以上のような構造の検査プローブ２００を用いることにより、上述した本発明の第２実施形態の検査プローブ１００と同様に、被検査体の精密な電気的試験を行うための４端子接続（ケルビン接続）を実現することができる。

すなわち、検査プローブ２００を用いて、電気的試験の対象となる被検査体（図示されない）の４端子接続（ケルビン接続）を実現する場合、上述した本発明の第２実施形態の検査プローブ１００の場合と同様に、２つの検査プローブ２００を一組にして用いる。

そして、電気的試験で測定する電気信号用の２経路（所謂、Ｆｏｒｃｅ線）を、２つの検査プローブ２００のそれぞれのスプリングプローブ２によって構成する。

また、その電気信号をモニタするための２経路（所謂、Ｓｅｎｓｅ線）を、２つの検査プローブ２００のそれぞれのバレル２０４によって構成する。

上述したように、２つの検査プローブ２００のそれぞれにおいて、バレル２０４の端部２１６で、スプリングプローブ２の第２のプランジャ８とバレル２０４との間が電気的に接続されている。

そのため、２つの検査プローブ２００では、２つの第２のプランジャ８のそれぞれに電気的に接続する２つのバレル２０４を、電気的試験で測定する電気信号をモニタするためのＳｅｎｓｅ線として用いることができる。

このとき、２つの検査プローブ２００では、被検査体の直近でのＳｅｎｓｅ線接続が可能となり、より正確な電気信号のモニタが可能となる。

そして、本発明の第３実施形態の検査プローブ２００は、４端子接続（ケルビン接続）を実現し、被検査体の精密な電気的試験に有効な検査プローブとなる。

実施の形態４．
＜検査プローブ４＞
図８は、本発明の第４実施形態の検査プローブの構造を模式的に示す断面図である。

図８に示すように、本発明の第４実施形態の検査プローブ３００は、スプリング構造３０５を一部に有してなる第１の筒状部３０６と、第１の筒状部３０６の一端部である第１の一端部３１１に、第１の一端部３１１から外部（図の上方側）へ突出するように取り付けられた第１のプランジャ３０７とを有する第１のスプリングプローブ３０２を有する。第１のスプリングプローブ３０２において、第１の筒状部３０６は、導電性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

第１のスプリングプローブ３０２は、図８に示すように、上部側の第１の一端部３１１と他端部である下部側の第１の他端部３１２との間の略中央部にスプリング構造３０５を有する。そして、スプリング構造３０５は、上述した本発明の第１実施形態の検査プローブ１のスプリングプローブ２のスプリング構造５と同様の製造方法にしたがって形成されて、らせん形状を有する。

第１のスプリングプローブ３０２は、第１の筒状部３０６の略中央部に設けられたスプリング構造３０５によるバネ作用によって、第１のプランジャ３０７を図の上部側となる外部方向に付勢するように構成されている。

そして、検査プローブ３００は、図８に示すように、スプリング構造３５５を一部に有してなる第２の筒状部３５６と、第２の筒状部３５６の一端部である第２の一端部３６１に、第２の一端部３６１から外部（図の上方側）へ突出するように取り付けられた第２のプランジャ３５７とを有する第２のスプリングプローブ３５２を有する。第２のスプリングプローブ３５２において、第２の筒状部３５６は、導電性の材料からなり、両端開口の形状を有する。

第２のスプリングプローブ３５２は、第２のプランジャ３５７が、第１のスプリングプローブ３０２の第１のプランジャ３０７と同じ方向（図の上方側）に突出するように、第１のスプリングプローブ３０２と平行に配列されている。

第２のスプリングプローブ３５２は、図８に示すように、上部側の第２の一端部３６１と他端部である下部側の第２の他端部３６２との間の略中央部にスプリング構造３５５を有する。そして、スプリング構造３５５は、上述した本発明の第１実施形態の検査プローブ１のスプリングプローブ２のスプリング構造５と同様の製造方法にしたがって形成されて、らせん形状を有する。

第２のスプリングプローブ３５２は、第２の筒状部３５６の略中央部に設けられたスプリング構造３５５によるバネ作用によって、第２のプランジャ３５７を図の上部側となる外部方向に付勢するように構成されている。

また、検査プローブ３００は、図８に示すように、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６の他端部である第１の他端部３１２と、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６の他端部である第２の他端部３６２との間に挟持され、第１のプランジャ３０７および第２のプランジャ３５７が突出する方向（図の上方側）と逆方向（図の下方側）の外部に突出するよう配置された第３のプランジャ３７０を有する。

第３のプランジャ３７０は、後述するように、第１のプランジャ３０７および第２のプランジャ３５７と同様の形状を有し、それらと同様の導電性の材料からなる。

したがって、第３のプランジャ３７０は、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６を介して、第１のプランジャ３０７と電気的に接続する。同様に、第３のプランジャ３７０は、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６を介して、第２のプランジャ３５７とも電気的に接続する。

そして、第３のプランジャ３７０は、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６のスプリング構造３０５および第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６のスプリング構造３５５によるバネ作用によって、図の下部側となる外部方向に付勢されるように構成されている。

また、検査プローブ３００は、図８に示すように、らせん構造の伸縮部３０９を一部に有する筒状の第１の絶縁体部３０３を有する。第１の絶縁体部３０３は、第１の筒状部３０６より大径の筒状の形状を有し、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６を、第３のプランジャ３７０と接触する部分を除いて囲むように設けられている。第１の絶縁体部３０３は、絶縁性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

また、検査プローブ３００は、図８に示すように、らせん構造の伸縮部３５９を一部に有する筒状の第２の絶縁体部３５３を有する。第２の絶縁体部３５３は、第３の筒状部３５６より大径の筒状の形状を有し、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６を、第３のプランジャ３７０と接触する部分を除いて囲むように設けられている。第２の絶縁体部３５３は、絶縁性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

また、検査プローブ３００は、図８に示すように、スプリング構造３１０を一部に有するとともに、第３のプランジャ３７０を挟持する第１のスプリングプローブ３０２および第２のスプリングプローブ３５２を、第１の絶縁体部３０３または第２の絶縁体部３５３を介して、一体的に囲むように配置された１つの筒状のバレル３０４を有する。バレル３０４は、導電性の材料からなり、両端開口の筒状の形状を有する。

バレル３０４は、図８に示すように、一端部である上部側の第１の端部３１５と他端部である下部側の第２の端部３１６との間の略中央部にスプリング構造３１０を有する。そのスプリング構造３１０は、上述した本発明の第１実施形態の検査プローブ１のバレル５のスプリング構造１０と同様の製造方法にしたがって形成されて、らせん形状を有する。

さらに、検査プローブ３００は、図８に示すように、バレル３０４の他端部である第２の端部３１６に、導電性の接続部材３７１を有する。接続部材３７１は、第３のプランジャ３７０を挟持する第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６および第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６の配列構造を強固に保持するように設けられる。

接続部材３７１は、例えば、図８に示すように、バレル３０４の下部側の第２の端部３１６を覆って第３のプランジャ３７０が外部に向かって突出するための貫通孔３７２を備えたキャップ状の形状を有することができる。そして、接続部材３７１は、半田溶接等の技術によって、第３のプランジャ３７０の側部との間で電気的な接続が可能となるように固定されている。また、接続部材３７１は、バレル３０４の第２の端部３１６とも電気的な接続が可能となるように固定されている。したがって、接続部材３７１は、第３のプランジャ３７０の側部およびバレル３０４の下部側の第２の端部３１６にそれぞれ接してそれらの間を電気的に接続させることができる。

すなわち、検査プローブ３００では、第１のスプリングプローブ３０２および第２のスプリングプローブ３５２に挟持された第３のプランジャ３７０とバレル３０４との間が接続部材３７１を介して電気的に接続するように構成される。

本発明の第４実施形態の検査プローブ３００では、第１のプランジャ３０７が第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６の上部側の第１の一端部３１１にある開口部に取り付けられる。また、第２のプランジャ３５７が、第２の筒状部３５６の上部側の第２の一端部３６１にある開口部に取り付けられる。そして、検査プローブ３００では、図８の上部側となる外部に向かってそれぞれ突出する第１のプランジャ３０７および第２のプランジャ３５７が、上下動自在となるように構成されている。

また、本発明の第４実施形態の検査プローブ３００では、上述したように、第３のプランジャ３７０が第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６の第１の他端部３１２と、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６の第２の他端部３６２との間に挟持されて設けられる。検査プローブ３００では、図８の下部側となる外部に向かって突出する第３のプランジャ３７０が上下動自在となるように構成される。

そして、検査プローブ３００では、図８に示すように、第１のスプリングプローブ３０２の導電性の第１の筒状部３０６と、導電性のバレル３０４とが、絶縁性の第１の絶縁体部３０３を介して積層される構造を有する。同様に、第２のスプリングプローブ３５２の導電性の第２の筒状部３５６と、導電性のバレル３０４とが、絶縁性の第２の絶縁体部３５３を介して積層される構造を有する。

すなわち、検査プローブ３００は、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６と、第１の絶縁体部３０３と、バレル３０４とによって、導電体層／絶縁体層／導電体層からなる３層の積層構造を実現している。同様に、検査プローブ３００では、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６と、第２の絶縁体部３５３と、バレル３０４とによって、導電体層／絶縁体層／導電体層からなる３層の積層構造を実現している。

このとき、第１の絶縁体部３０３は、上述したように、らせん構造の伸縮部３０９を、第１の絶縁体部３０３の一部である略中央部に有している。さらに、第１の絶縁体部３０３の一端部である上部側の第１の一端部３１３は、第１の筒状部３０６の第１の一端部３１１に固定され、第１の絶縁体部３０３の他端部である下部側の第１の他端部３１４は、第１の筒状部３０６の第１の他端部３１２に固定されている。

同様に、第２の絶縁体部３５３は、上述したように、らせん構造の伸縮部３５９を、第２の絶縁体部３５３の一部である略中央部に有している。そして、第２の絶縁体部３５３の一端部である上部側の第２の一端部３６３が、第２の筒状部３５６の他端部である下部側の第２の一端部３６１に固定され、第２の絶縁体部３５３の他端部である第２の他端部３６４が、第２の筒状部３５６の第２の他端部３６２に固定されている。

また、バレル３０４は、上述したように、スプリング構造３１０を、バレル３０４の一部である略中央部に有している。そしてさらに、バレル３０４の上部側の第１の端部３１５が、第１の絶縁体部３０３の第１の一端部３１３および第２の絶縁体部３５３の第２の一端部３６３にそれぞれ固定されている。同様に、バレル３０４の下部側の第２の端部３１６が、第１の絶縁体部３０３の第１の他端部３１４および第２の絶縁体部３５３の第２の他端部３６４にそれぞれ固定されている。

そのため、バレル３０４では、上部側の第１の端部３１５が、第１の絶縁体部３０３および第２の絶縁体部３５３を介して、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６の第１の一端部３１１および第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６の第２の一端部３６１に固定されている。同様に、バレル３０４では、下部側の第２の端部３１６が、第１の絶縁体部３０３および第２の絶縁体部３５３を介して、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６の第１の他端部３１２および第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６の第２の他端部３６２に固定されている。

また、バレル３０４の下部側の第２の端部３１６に設けられた接続部材３７１は、そこで第２の端部３１６に固定されている。

したがって、検査プローブ３００では、上述したように、第１のプランジャ３０７および第２のプランジャ３５７の上下動が、それらを固定する第１の筒状部３０６のスプリング構造３０５および第２の筒状部３５６のスプリング構造３５５によってそれぞれ自在とされる。このとき、検査プローブ３００では、それらを囲むように周設された第１の絶縁体部３０３および第２の絶縁体部３５３並びにバレル３０４によって、第１のプランジャ３０７および第２のプランジャ３５７の上下動が阻害されることがない。

同様に、検査プローブ３００では、第３のプランジャ３７０の上下動が、それを挟持して固定する第１の筒状部３０６のスプリング構造３０５および第２の筒状部３５６のスプリング構造３５５によって自在とされる。このとき、検査プローブ３００では、第１の絶縁体部３０３および第２の絶縁体部３５３並びにバレル３０４によって、第３のプランジャ３７０の上下動が阻害されることはない。

すなわち、検査プローブ３００では、第１のプランジャ３０７および第２のプランジャ３５７並びに第３のプランジャ３７０の上下動に対応して、第１の絶縁体部３０３、第２の絶縁体部３５３およびバレル３０４を同様に伸縮させることができる。すなわち、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６を囲むように周設された第１の絶縁体部３０３、第３のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６を囲むように周設された第２の絶縁体部３５３およびバレル３０４は、第１のプランジャ３０７および第２のプランジャ３５７並びに第３のプランジャ３７０の上下動に対応して同様に伸縮する。その結果、検査プローブ３００は、第１のプランジャ３０７および第２のプランジャ３５７並びに第３のプランジャ３７０それぞれの所望とされるスムーズな上下動を可能とする。

以上の構造の本発明の第４実施形態の検査プローブ３００の製造方法については、例えば、次のように行うことができる。すなわち、第１のスプリングプローブ３０２、第２のスプリングプローブ３５２、第３のプランジャ３７０、第１の絶縁体部３０３、第２の絶縁体部３５３、バレル３０４および接続部材３７１をそれぞれ別個に製造する。その後、それらを組み合わせて一体的に組み立てることによって検査プローブ３００を製造することができる。

そして、第１のスプリングプローブ３０２等の検査プローブ３００の各構成要素の製造方法については、上述した本発明の第１実施形態の検査プローブ１の製造方法を参考にすることができる。

例えば、図８に示すように、第１のスプリングプローブ３０２は、図１の本発明の第１実施形態の検査プローブ１のスプリングプローブ２と比べると、第１の一端部３１１に第１のプランジャ３０７を１つのみ有している。そして、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６は、スプリングプローブ２の筒状部６と同様の構造を有し、同様の製造方法によって製造することができる。

また、第１のスプリングプローブ３０２の第１のプランジャ３０７も、スプリングプローブ２の第１のプランジャ７と同様の構造を有し、同様の製造方法によって製造することができる。そして、検査プローブ１の場合と同様の方法で、第１の筒状部３０６の第１の一端部３１１に取り付けることができる。

また、第２のスプリングプローブ３５２についても、図１の本発明の第１実施形態の検査プローブ１のスプリングプローブ２と比べると、第２の一端部３６１に第２のプランジャ３５７を１つのみ有している。そして、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６は、スプリングプローブ２の筒状部６と同様の構造を有し、同様の製造方法によって製造することができる。

また、第２のスプリングプローブ３５２の第２のプランジャ３５７も、スプリングプローブ２の第１のプランジャ７と同様の構造を有する。そして、第１のプランジャ７と同様の製造方法によって第２のプランジャ３５７を製造することができる。そして、検査プローブ１の場合と同様の方法で、第２の筒状部３５６の第２の一端部３６１に取り付けることができる。

また、第３のプランジャ３７０については、図１の本発明の第１実施形態の検査プローブ１のスプリングプローブ２の第２のプランジャ８と同様の構造を有し、同様の製造方法によって製造することができる。

そして、第３のプランジャ３７０は、上述したように、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６の第１の他端部３１２と、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６の第２の他端部３６２との間に挟持されている。そして、第３のプランジャ３７０は、溶接技術等を用いて、第１の筒状部３０６の第１の他端部３１２および第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６の第２の他端部３６２のそれぞれに固定される。

その結果、第３のプランジャ３７０は、第１のプランジャ３０７および第２のプランジャ３５７が突出する方向（図の上方側）と逆方向（図の下方側）となる外部に突出するよう配置される。

また、第１の絶縁体部３０３は、図１の本発明の第１実施形態の検査プローブ１の絶縁体部３と同様の製造方法によって製造することができる。そして、検査プローブ１の絶縁体部３において、らせん構造の伸縮部９を形成するのと同様の方法を用い、第１の絶縁体部３０３が所望の形状を有するように加工することができる。すなわち、第１の絶縁体部３０３が、らせん構造の伸縮部３０９を有するようにその形状を加工することができる。さらに、第１の絶縁体部３０３が、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６と第３のプランジャ３７０との接触部分を除いて、その第１の筒状部３０６を囲むことができるように、その形状を加工することができる。

同様に、第２の絶縁体部３５３は、図１の本発明の第１実施形態の検査プローブ１の絶縁体部３と同様の製造方法によって製造することができる。そして、第２の絶縁体部３０３が、らせん構造の伸縮部３５９を有するようにその形状を加工することができる。さらに、第２の絶縁体部３５３が、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６と第３のプランジャ３７０との接触部分を除いて、その第２の筒状部３５６を囲むことができるように、その形状を加工することができる。

そして、第１の絶縁体部３０３の内部に、上述した第１のスプリングプローブ３０２を挿入することによって、第１の絶縁体部３０３を、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６を外周面から囲むように配置することができる。

同様に、第２の絶縁体部３５３の内部に、上述した第２のスプリングプローブ３５２を挿入することによって、第２の絶縁体部３５３を、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６を外周面から囲むように配置することができる。

また、バレル３０４は、図１の本発明の第１実施形態の検査プローブ１のバレル４の製造方法と同様の方法で製造することができる。

そして、バレル３０４の内部に、上述の第１のスプリングプローブ３０２、第２のスプリングプローブ３５２、第３のプランジャ３７０、第１の絶縁体部３０３および第２の絶縁体部３５３の一体的に組み立てられたものを挿入することができる。そうすることによって、バレル３０４を、第１の絶縁体部３０３および第２の絶縁体部３５３を外周面から囲むように配置することができる。

また、バレル３０４の下部側となる第２の端部３１６には、接続部材３７１が設けられる。接続部材３７１は、第３のプランジャ３７０が、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６の第１の他端部３１２と、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６の第２の他端部３６２との間に挟持される構造を保持する。

接続部材３７１は導電性の材料からなり、第３のプランジャ３７０とバレル３０４との間を電気的に接続することができる。

接続部材３７１は、上述したように、バレル３０４の下部側の第２の端部３１６を覆って第３のプランジャ３７０が外部に向かって突出するための貫通孔３７２を備えたキャップ状の形状を有することができる。そして、接続部材３７１は、半田溶接等の技術によって第３のプランジャ３７０の側部との間で電気的接続が可能となるように固定される。また、接続部材３７１は、バレル３０４の下部側の第２の端部３１６とも電気的接続が可能となるように固定されている。

したがって、接続部材３７１は、上述したように、第３のプランジャ３７０の側部およびバレル３０４の第２の端部３１６にそれぞれに固定される。そして、接続部材３７１は、第３のプランジャ３７０の配置構造を保持するとともに、第３のプランジャ３７０の側部およびバレル３０４の第２の端部３１６の間を導通させることができる。

以上のようにして、本発明の第４実施形態の検査プローブ３００を製造することができる。

ここで、検査プローブ３００において、第３のプランジャ３７０は、例えば、被検査体（図示されない）となる半導体チップ（図示されない）の電極をなす半田ボール（図示されない）のような、被検査体の外部接点と電気的に接触する端子として用いられることが好ましい。

また、第１のプランジャ３０７は、第１のスプリングプローブ３０２の第１の筒状部３０６の第１の一端部３１１に設けられ、プローブカード（図示されない）の配線基板（図示されない）の電気回路と電気的に接触する端子として用いられることが好ましい。同様に、第２のプランジャ３５７は、第２のスプリングプローブ３５２の第２の筒状部３５６の第２の一端部３６１に設けられ、プローブカードの配線基板の電気回路と電気的に接触する端子として用いられることが好ましい。

このような構成とすることで、検査プローブ３００は、接続部材３７１を用い、被検査体の電極の直近で、それに接触する端子となる第３のプランジャ３７０とバレル３０４とを接続することができる。バレル３０４は、上述したように、第１の絶縁体部３０３または第２の絶縁体部３５３を介して第１のスプリングプローブ３０２および第２のスプリングプローブ３５２を囲むように構成されている。その結果、検査プローブ３００は、４端子接続（ケルビン接続）の実現に有効であって、被検査体の精密な電気的試験を可能にする検査プローブとなる。

すなわち、検査プローブ３００を用いて、電気的試験の対象となる被検査体（図示されない）の４端子接続（ケルビン接続）を実現する場合、上述した本発明の第２実施形態の検査プローブ１００の場合と同様に、２つの検査プローブ３００を一組にして用いる。

そして、電気的試験で測定する電気信号用の２経路（所謂、Ｆｏｒｃｅ線）を、２つの検査プローブ３００のそれぞれの第１のスプリングプローブ３０２の第１のプランジャ３０７によって構成する。

また、その電気信号をモニタするための２経路（所謂、Ｓｅｎｓｅ線）を、２つの検査プローブ３００それぞれの第２のスプリングプローブ３５２の第２のプランジャ３５７によって構成する。

上述したように、２つの検査プローブ３００のそれぞれにおいて、第１のスプリングプローブ３０２の第１のプランジャ３０７と第２のスプリングプローブ３５２の第２のプランジャ３５７とは、第３のプランジャ３７０を介して、電気的に接続されている。

そのため、２つの検査プローブ３００では、２つの第２のプランジャ３５７を、電気的試験で測定する電気信号をモニタするためのＳｅｎｓｅ線として用いることができる。

このとき、２つの検査プローブ３００では、被検査体の直近でのＳｅｎｓｅ線接続が可能となり、より正確な電気信号のモニタが可能となる。

そして、本発明の第４実施形態の検査プローブ３００は、４端子接続（ケルビン接続）を実現し、被検査体の精密な電気的試験に有効な検査プローブとなる。

実施の形態５．
＜プローブ組立体＞
上述した本発明の第１実施形態から第４実施形態の検査プローブ１，１００，２００，３００を適宜選択して用いることにより、本発明の第５実施形態のプローブ組立体を構成することができる。

本発明の第５実施形態のプローブ組立体は、上述した本発明の第１実施形態から第４実施形態の検査プローブ１，１００，２００，３００のいずれの検査プローブを組込むことも可能である。以下では、図１等に示した本発明の第１実施形態の検査プローブ１を用いたプローブ組立体を例として、本発明の第５実施形態のプローブ組立体の構造について説明する。

図９は、本発明の第５実施形態のプローブ組立体の構造を模式的に示す断面図である。

図９に示すように、本発明の第５実施形態のプローブ組立体４００は、ケーシング４０１と、このケーシング４０１の下部側となる第１の面を覆う第１のガイド板４０２と、このケーシング４０１の上部側となる第２の面を覆う第２のガイド板４０３とを有する。そして、プローブ組立体４００は、本発明の第１実施形態の検査プローブ１をケーシング４０１に収納することによって構成される。

図の下部側に設けられた第１のガイド板４０２には、第１の開口４０５が開設されている。この第１の開口４０５は、被検査体（図示されない）の外部接点の配置に対応して設けられる。被検査体が、例えば、半導体チップである場合、その半導体チップの電極をなす半田ボール（図示されない）の配置に対応して、第１の開口４０５は設けられる。

また、図の上部側に設けられた第２のガイド板４０３には、上述した第１のガイド板４０２の第１の開口４０５の真上に第２の開口４０６が開設されている。第２の開口４０６は、被検査体の外部接点の配置に対応した配置を有する。

そして、ケーシング４０１には、そこに収納された複数の検査プローブ１のうち、隣接する検査プローブ１同士の間に介在される隔壁４０７が設けられている。

したがって、ケーシング４０１に収納された検査プローブ１は、隔壁４０７によって隣接された検査プローブ１同士の短絡が防止されている。

ここで、検査プローブ１は、このケーシング４０１に収納されると、長手方向（図の上下方向）の寸法が小さくなるように、若干圧縮された状態になっている。すなわち、ケーシング４０１に収納された検査プローブ１は、それを構成するスプリングプローブ２の筒状部６のスプリング構造５およびバレル４のスプリング構造１０等の作用によって、若干圧縮された状態となる。

そして、第１のガイド板４０２の第１の開口４０５からは、検査プローブ１のスプリングプローブ２の第２のプランジャ８が突出した状態となっている。また、第２のガイド板４０３の第２の開口４０６からは、検査プローブ１のスプリングプローブ２の第１のプランジャ７が突出した状態となっている。

そのため、プローブ組立体４００は、例えば、被検査体の外部接点に検査プローブ１のスプリングプローブ２の第２のプランジャ８を接触させることができる。また、プローブ組立体４００は、その被検査体と離間して対向配置された配線基板の電気回路と検査プローブ１のスプリングプローブ２の第１のプランジャ７とを接触させることができる。

その結果、プローブ組立体４００は、被検査体の外部接点と配線基板の電気回路とを電気的に接続することができる。そして、プローブ組立体４００は、検査プローブ１を構成するスプリングプローブ２の筒状部６のスプリング構造５およびバレル４のスプリング構造１０のバネ作用によって、被検査体の外部接点と配線基板の電気回路との間の十分な電気的接続を実現することができる。

以上の構成を備えたプローブ組立体４００は、後述するように、中間基板およびメイン基板と組み合わせられ、本発明の第６実施形態のプローブカードを構成することができる。

実施の形態６．
＜プローブカード＞
上述した本発明の第５実施形態のプローブ組立体４００を用いることにより、本発明の第６実施形態のプローブカードを構成することができる。

本発明の第５実施形態のプローブ組立体は、上述したように、本発明の第１実施形態から第４実施形態の検査プローブ１，１００，２００，３００のいずれの検査プローブを組込むことも可能である。したがって、本発明の第６実施形態のプローブカードは、本発明の第１実施形態から第４実施形態の検査プローブ１，１００，２００，３００のいずれの検査プローブを有することも可能である。

以下では、図９に示した本発明の第５実施形態のプローブ組立体４００を用いたプローブカードを例として、本発明の第６実施形態のプローブカードについて説明する。

図１０は、本発明の第６実施形態のプローブカードを模式的に説明する図である。

図１０に示すように、本発明の第６実施形態のプローブカード５００は、上述した図９の本発明の第５実施形態のプローブ組立体４００と、中間基板５０１と、メイン基板５０２とを組み合わせて構成される。

中間基板５０１は、中間導電パターン５１０を有する配線基板である。中間導電パターン５１０では、中間基板５０１のプローブ組立体４００側の表面に、電極５１１が形成されている。中間導電パターン５１０の電極５１１は、プローブ組立体４００の第２の開口４０６（図１０では図示されない）から突出する検査プローブ１の第１のプランジャ７の先端に接触して電気的に接続される。

また、メイン基板５０２も配線基板であって、中間基板５０１の中間導電パターン５１０に接続される導電パターン５１２を有している。

すなわち、プローブカード５００は、検査プローブ１、中間基板５０１の中間導電パターン５１０、メイン基板５０２の導電パターン５１２の順に電気的に接続されていることになる。

そして、プローブカード５００においては、例えば、被検査体の外部接点（図示されない）に検査プローブ１のスプリングプローブ２（図１０では図示されない）の第２のプランジャ８を接触させる。それによって、プローブカード５００は、その被検査体の外部接点と中間基板５０１の中間導電パターン５１０とを電気的に接続することができる。さらに、プローブカード５００は、その被検査体の外部接点とメイン基板５０２の導電パターン５１２とを電気的に接続することができる。

本発明の第６実施形態のプローブカード５００は、上述した本発明の第５実施形態のプローブ組立体４００を用いて構成されており、本発明の第１実施形態の検査プローブ１を有して構成される。プローブカード５００は、本発明の第１実施形態の検査プローブ１を、中間基板５０１およびメイン基板５０２に対して垂直に支持する構造を有する。

本発明の第１実施形態の検査プローブ１を有するプローブカード５００は、高周波数の電気信号を用いる電気的試験に有効なプローブカードとなる。

尚、上述したように、本発明の第６実施形態のプローブカードは、本発明の第１実施形態の検査プローブ１のほか、本発明の第２実施形態から第４実施形態の検査プローブ１００，２００，３００のいずれの検査プローブを有することも可能である。

したがって、本発明の第６実施形態のプローブカードは、本発明の第２実施形態から第４実施形態の検査プローブ１００，２００，３００のいずれかの検査プローブを有することによって、被検査体の精密な電気的試験に有効なプローブカードとなる。

尚、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々変形して実施することができる。

例えば、本発明の第１実施形態から第４実施形態の検査プローブ１，１００，２００，３００は、上述したように、本発明の第５実施形態のプローブ組立体４００および第６実施形態のプローブカード５００の他、検査ソケットの構成要素としても使用することが可能である。

検査ソケットは、上述したように、切断した半導体チップを実装組立（パッケージ）した完成後に行う最終検査工程で使用される電気的接続装置である。

このような検査ソケットの例としては、特開２００６−３５１４７４号公報に記載のものがある。この従来の検査ソケットは、ＩＣ等の被検査体が挿入される案内開口を備えたガイド板と、被検査体の電極と配線基板とを電気的に接続する接触子と、接触子を回動可能に支持するハウジングと、接触子を介して被検査体と試験用の電気信号および検出信号をやり取りする配線基板とを備えて構成されている。被検査体はガイド板の案内開口に挿入され、この被検査体の電極と接触子とが互いに接触することで、電気信号が被検査体に送信されて試験が行われる。

したがって、本発明の第１実施形態から第４実施形態の検査プローブ１，１００，２００，３００は、上述した検査ソケットの接触子として使用することができる。すなわち、検査プローブ１，１００，２００，３００は、接触子として使用されて検査ソケットの構成に用いることができ、高周波数の電気信号を用いる電気的試験に有効な検査ソケットおよび精密な電気的試験に有効な検査ソケットを提供することができる。

本発明の検査プローブは、同軸構造を備えたプローブとして、そのプローブを垂直に支持する構造のプローブカードに広く適用することができる。また、検査ソケットにも広く適用することができる。

１，１００，１００−１，１００−２，２００，３００ 検査プローブ
２，２−１，２−２ スプリングプローブ
３，２０３ 絶縁体部
４，４−１，４−２，２０４，３０４ バレル
５，１０，１０−１，１０−２，２１０，３０５，３１０，３５５ スプリング構造
６ 筒状部
７，３０７ 第１のプランジャ
８，８−１，８−２，３５７ 第２のプランジャ
９，２０９，３０９，３５９ 伸縮部
１１，１２，１３，１４，１５，１５−１，１５−２，１６，２１３，２１４，２１５，２１６ 端部
１２１，１２１−１，１２１−２，３７１ 接続部材
１２２，３７２ 貫通孔
１３０ 被検査体
３０２ 第１のスプリングプローブ
３０３ 第１の絶縁体部
３０６ 第１の筒状部
３１１，３１３ 第１の一端部
３１２，３１４ 第１の他端部
３１５ 第１の端部
３１６ 第２の端部
３５２ 第２のスプリングプローブ
３５３ 第２の絶縁体部
３５６ 第２の筒状部
３６１，３６３ 第２の一端部
３６２，３６４ 第２の他端部
３７０ 第３のプランジャ
４００ プローブ組立体
４０１ ケーシング
４０２ 第１のガイド板
４０３ 第２のガイド板
４０５ 第１の開口
４０６ 第２の開口
４０７ 隔壁
５００ プローブカード
５０１ 中間基板
５０２ メイン基板
５１０ 中間導電パターン
５１１ 電極
５１２ 導電パターン
２０００ コンタクトピン
２００１ プランジャ
２００２ コイルバネユニット
２００４ 端子部
２００５ 幅広部
２００５ａ 上段部
２００５ｂ 下段部
２００７ 心棒部

Claims (16)

1. 導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有する両端開口の筒状部と、前記筒状部の一端部から外部へ突出するように取り付けられた第１のプランジャと、前記筒状部の他端部から外部へ突出するように取り付けられた第２のプランジャとを有し、前記スプリング構造によって前記第１および第２のプランジャを外部方向に付勢するように構成されたスプリングプローブと、
   絶縁性の材料からなり、らせん構造の伸縮部を一部に有して、前記筒状部を囲むように配置された、前記筒状部より大径の筒状の絶縁体部と、
   導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有して、前記絶縁体部を囲むように配置された、前記絶縁体部より大径の筒状のバレルと
   を有することを特徴とする検査プローブ。
2. 前記絶縁体部は、前記筒状部の外周面を囲むように前記筒状部の外周面と接触する内周面を有し、
   前記バレルは、前記絶縁体部の外周面を囲むように前記絶縁体部の外周面と接触する内周面を有することを特徴とする請求項１に記載の検査プローブ。
3. 前記筒状部のスプリング構造は、らせん形状を有することを特徴とする請求項１または２に記載の検査プローブ。
4. 前記筒状のバレルのスプリング構造は、らせん形状を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の検査プローブ。
5. 導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有する両端開口の筒状部と、前記筒状部の一端部から外部へ突出するように取り付けられた第１のプランジャと、前記筒状部の他端部から外部へ突出するように取り付けられた第２のプランジャとを有し、前記スプリング構造によって前記第１および第２のプランジャを外部方向に付勢するように構成されたスプリングプローブと、
   絶縁性の材料からなり、らせん構造の伸縮部を一部に有して、前記筒状部を囲むように配置された、前記筒状部より大径の筒状の絶縁体部と、
   導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有して、前記絶縁体部を囲むように配置された、前記絶縁体部より大径の筒状のバレルとを有し、
   前記第１および第２のプランジャのいずれか一方と、前記バレルとの間が電気的に接続するように構成されることを特徴とする検査プローブ。
6. 前記絶縁体部は、前記筒状部の外周面を囲むように前記筒状部の外周面と接触する内周面を有し、
   前記バレルは、前記絶縁体部の外周面を囲むように前記絶縁体部の外周面と接触する内周面を有することを特徴とする請求項５に記載の検査プローブ。
7. 前記バレルの一端部に配置されて前記第１のプランジャと前記バレルとの間を電気的に接続する導電性の第１の接続部材、または、前記バレルの他端部に配置されて前記第２のプランジャと前記バレルとの間を電気的に接続する導電性の第２の接続部材を有することを特徴とする請求項５または６に記載の検査プローブ。
8. 前記筒状部と前記バレルとの間を電気的に接続するように、前記バレルの一部が前記筒状部と接触するように構成されることを特徴とする請求項５に記載の検査プローブ。
9. 前記筒状部のスプリング構造は、らせん形状を有することを特徴とする請求項５〜８のいずれか１項に記載の検査プローブ。
10. 前記バレルのスプリング構造は、らせん形状を有することを特徴とする請求項５〜９のいずれか１項に記載の検査プローブ。
11. 導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有する両端開口の第１の筒状部と、前記第１の筒状部の一端部である第１の一端部から外部へ突出するように取り付けられた第１のプランジャとを有する第１のスプリングプローブと、
    導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有する両端開口の第２の筒状部と、前記第２の筒状部の一端部である第２の一端部から外部へ突出するように取り付けられた第２のプランジャとを有し、前記第２のプランジャが、前記第１のプランジャと同じ方向に突出するように、前記第１のスプリングプローブと平行に配列された第２のスプリングプローブと、
    前記第１の筒状部の他端部である第１の他端部と、前記第２の筒状部の他端部である第２の他端部との間に挟持され、前記第１および第２のプランジャが突出する方向と逆方向の外部に突出するよう配置された第３のプランジャと、
    絶縁性の材料からなり、らせん構造の伸縮部を一部に有し、前記第１の筒状部が前記第３のプランジャと接触する部分を除いて前記第１の筒状部を囲むように配置された、前記第１の筒状部より大径の筒状の第１の絶縁体部と、
    絶縁性の材料からなり、らせん構造の伸縮部を一部に有し、前記第２の筒状部が前記第３のプランジャと接触する部分を除いて前記第２の筒状部を囲むように配置された、前記第２の筒状部より大径の筒状の第２の絶縁体部と、
    導電性の材料からなり、スプリング構造を一部に有する両端開口の筒状のバレルであって、前記第３のプランジャを挟持する前記第１のスプリングプローブおよび前記第２のスプリングプローブを、前記第１の絶縁体部または前記第２の絶縁体部を介して、一体的に囲むように配置された１つのバレルと、
    前記第３のプランジャと前記バレルとの間を電気的に接続するように、前記バレルの端部に設けられた導電性の接続部材と
    を有することを特徴とする検査プローブ。
12. 前記第１の絶縁体部は、前記第１の筒状部の外周面を囲むように前記第１の筒状部の外周面と接触する内周面を有し、
    前記第２の絶縁体部は、前記第２の筒状部の外周面を囲むように前記第２の筒状部の外周面と接触する内周面を有することを特徴とする請求項１１に記載の検査プローブ。
13. 前記第１の筒状部のスプリング構造および前記第２の筒状部のスプリング構造はいずれも、らせん形状を有することを特徴とする請求項１１または１２に記載の検査プローブ。
14. 前記バレルのスプリング構造は、らせん形状を有することを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の検査プローブ。
15. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査プローブを有することを特徴とするプローブカード。
16. 請求項５〜１４のいずれか１項に記載の検査プローブを有することを特徴とするプローブカード。

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