JP2017083509A - エンコーダ装置及びその使用方法、光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
エンコーダ装置及びその使用方法、光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017083509A JP2017083509A JP2015208685A JP2015208685A JP2017083509A JP 2017083509 A JP2017083509 A JP 2017083509A JP 2015208685 A JP2015208685 A JP 2015208685A JP 2015208685 A JP2015208685 A JP 2015208685A JP 2017083509 A JP2017083509 A JP 2017083509A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- diffracted light
- diffracted
- measurement
- diffraction grating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】第1部材6及び第2部材の相対移動量を計測するエンコーダであって、第1部材6に設けられた回折格子12と、計測光ML及び参照光を発生するレーザ光源と、第2部材に設けられるとともに、回折格子12から計測光MLによって発生する+1次回折光DX1を格子パターン面12bに入射させるコーナーキューブ24Aと、回折格子12から+1次回折光DX1によって発生する+1次回折光EX1と参照光RX1との干渉光を検出する光電センサ40XAと、回折格子12から+1次回折光DX1によって発生する−1次回折光EX3と参照光RX3との干渉光を検出する光電センサ40XCと、を備える。
【選択図】図2
Description
第4の態様によれば、第1又は第2の態様のエンコーダ装置と、そのエンコーダ装置の計測結果に基づいて対象物を移動する移動装置と、その対象物用の光学系と、を備える光学装置が提供される。
第6の様態によれば、リソグラフィ工程を含み、そのリソグラフィ工程で第5の態様の露光装置を用いて物体を露光するデバイス製造方法が提供される。
第1の実施形態につき図1〜図3を参照して説明する。図1は本実施形態に係る3軸のエンコーダ10の要部を示す斜視図である。図1において、一例として、第1部材6に対して第2部材7は3次元的に相対移動可能に配置され、第2部材7の互いに直交する相対移動可能な2つの方向に平行にX軸及びY軸を取り、X軸及びY軸によって規定される平面(XY面)に直交する相対移動方向に沿ってZ軸を取って説明する。また、X軸、Y軸、及びZ軸に平行な軸の回りの角度をそれぞれθx方向、θy方向、及びθz方向の角度とも称する。
コーナーキューブ24A〜24D、楔型プリズム26A〜26D、ミラー22G〜22J、ミラー23A〜23H、及びPBS40XC〜40YDも、第2部材7に固定された支持部材(不図示)によって支持されている。本実施形態では、コーナーキューブ24A〜24Dは、入射面がXY面に平行になるように、かつ回折格子12に入射する計測光MLの回りに90°間隔で配置されているため、複雑な形状のコーナーキューブ24A〜24Dを容易に正確な位置関係で支持できる。なお、コーナーキューブ24A〜24Dの代わりに、3つの互いに直交する反射面を持つ反射部材を組み合わせた反射部材(レトロリフレクター)等を使用してもよい。
この方法によれば、X方向の再回折光である回折光EX1及びEX3は格子パターン12a上の同じ位置から発生しており、回折光EX2及びEX4も格子パターン12a上の同じ位置から発生している。このため、格子パターン12aの表面の凹凸等の表面形状の誤差があっても、差分ΔXA,ΔXBを求める際の差分演算によって、その表面形状の誤差による計測誤差が相殺されて、第2部材7のX方向及びZ方向の相対移動量を高精度に計測できる。同様に、Y方向の再回折光である回折光EY1及びEY3は格子パターン12a上の同じ位置から発生しており、回折光EY2及びEY4も格子パターン12a上の同じ位置から発生している。このため、格子パターン12aの表面形状の誤差があっても、差分ΔYA,ΔYBを求める際の差分演算によって、その表面形状の誤差による計測誤差が相殺されて、第2部材7のY方向及びZ方向の相対移動量を高精度に計測できる。
図2(A)において、計測光MLが回折格子12の格子パターン12aに垂直に入射する(計測光MLがZ軸に平行に入射する)とき、計測光MLによるX方向の+1次回折光DX1の回折角φxは、格子パターン12aの周期p及び計測光MLの波長λを用いて次の関係を満たす。このとき、計測光MLによるX方向の−1次回折光DX2の回折角は−φxとなる。
一例として、周期pを1000nm(1μm)、計測光MLの波長λを633nmとすると、回折角φxはほぼ39°となる。
また、回折光DX1は、楔型プリズム26Aによって光路が計測光ML(ここではZ軸に平行)に平行になるように折り曲げられてコーナーキューブ24Aに入射する。従って、楔型プリズム26Aの入射光に対する振れ角をδとすると、次のように振れ角δはその回折角φxと同じであってもよい。
言い替えると、楔型プリズム26Aの頂角α、屈折率ng、及び回折光DX1の楔型プリズム26Aに対する入射角i(楔型プリズム26Aの回転角θy)は、振れ角δが回折角φxとなるように定められてもよい。さらに、本実施形態では、振れ角δの入射角iに関する変化率(dδ/di)は、次のようにcos(φx)に設定されてもよい。
この式(3)の条件は、楔型プリズム26Aの振れ角δの変化率(dδ/di)は、回折格子12に対する計測光MLの入射角が0から変化したときの回折光DX1の回折角の変化率を、楔型プリズム26Aで相殺することを意味している。これによって、格子パターン12aがθy方向に傾斜しても、回折光EX1の光路の横シフトが少なくなり、回折光EX1と参照光RX1との干渉光のSN比が高く維持されて、高精度に相対移動量を計測できる。
まず、図3のステップ302において、第1部材6に設けた回折格子12の格子パターン面12bに概ね垂直に、第2部材7に設けたミラー22Fを介して計測光MLを入射させる。そして、回折格子12から発生するX方向の±1次回折光DX1,DX2を、楔型プリズム26A,26Bを介してコーナーキューブ24A,24B(偏向部)に入射させ、コーナーキューブ24A,24Bで反射された回折光DX1,DX2を回折格子12の格子パターン面12bに概ね垂直に入射させる(ステップ304)。
また、エンコーダ10は、回折格子12から計測光MLによってX方向に発生する−1次回折光DX2(第2回折光)を格子パターン面12bに入射させるコーナーキューブ24B(第2反射部材)と、回折格子12から−1次回折光DX2によって発生する−1次回折光EX2(第3再回折光)と参照光RX2との干渉光を検出する光電センサ40XBと、回折格子12から−1次回折光DX2によって発生する+1次回折光EX4(第4再回折光)と参照光RX4との干渉光を検出する光電センサ40XDと、を備えている。このため、例えば光電センサ40XB,40XDの検出信号も用いることによって、第2部材7のX方向及びZ方向の相対移動量を高精度に計測できる。
まず、楔型プリズム26A〜26Dは、対応する回折光DX1〜DY2が回折格子12に入射するときの入射角が回折角φx,φyよりも小さくなるように回折光DX1〜DY2の方向を変更するようにしてもよい。この場合でも、格子パターン面12bの相対的な高さ(Z方向の位置)の変化に対して回折光EX1等と参照光RX等との横方向の相対的なシフト量が低減されるため、回折格子12の格子パターン面12bの高さの変化に対して干渉光のビート信号の強度の低下を抑制でき、第1部材6と第2部材7との相対移動量を高精度に計測できる。
さらに、例えば第1部材6と第2部材7とのZ方向の相対移動量が小さい場合には、楔型プリズム26A〜26Dを省略することも可能である。
また、上記の実施形態では、X軸及びY軸用のコーナーキューブ24A〜24D、楔型プリズム26A〜26D、及び光電センサ40XA〜40YDが設けられているが、第1部材6と第2部材7とのX方向及びZ方向の相対移動量を計測するときには、それらのうちのY軸用のコーナーキューブ24C,24D、楔型プリズム26C,26D、及び光電センサ40YA〜40YDを省略することが可能である。この場合には、回折格子12の代わりにX方向にのみ周期性を持つ1次元の回折格子を使用してもよい。
また、上記の実施形態では、回折光EX1〜EY4と参照光RX1〜RY4との干渉光を検出しているが、例えばX軸の第1の周波数の計測光の+1次回折光EX1及び−1次回折光EX3と、これらに対応する第2の周波数の計測光(上記の実施形態では参照光として使用されていた光)の−1次回折光及び+1次回折光との各干渉光、及びY軸の第1の周波数の計測光の+1次及び−1次の回折光と第2の周波数の計測光の−1次及び+1次の回折光との各干渉光を検出してもよい。この場合には、計測の分解能をさらに高めることができる。
第2の実施形態につき図4(A)及び(B)を参照して説明する。図4(A)は、この実施形態に係るエンコーダ60の概略構成を示し、図4(B)は本実施形態で使用されるレーザ光源16Aを示す。なお、図4(A)において図2(A)に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。本実施形態のエンコーダ60は、第1部材6に固定されて、XY平面にほぼ平行な格子パターン面12bを有する2次元の回折格子12と、第2部材7に固定された複数(図4(A)では2つ)の検出ヘッド62A,62Bと、これらの検出ヘッド62A,62Bで共通に使用される楔型プリズム74と、計測演算部64と、図4(B)のレーザ光源16Aとを備えている。なお、本実施形態では、回折格子12の代わりに平板状のミラーを使用してもよい。
また、PBS69Aに入射した参照光RL1は、PBS面69Aaを通過して、1/4波長板72Aを介してミラー73Aで反射される。反射された参照光RL1は、1/4波長板72Aを通過して、PBS面69Aaで反射されてコーナーキューブ71Aに入射する。コーナーキューブ71Aで反射された参照光RL1は、PBS面69Aaで反射され、1/4波長板72Aを通過して、ミラー73Aで反射される。反射された参照光RL1は、1/4波長板72Aを通過し、PBS面69Aaを通過して、計測光の反射光ML1Cと平行になり、かつほぼ重ね合わせられた状態でミラー75Aに入射する。ミラー75Aでほぼ+Z方向に反射された反射光ML1C及び参照光RL1は、偏光板76Aを介して干渉光となって光電センサ77Aで受光され、光電センサ77Aの検出信号が計測演算部64に供給される。計測演算部64では、その検出信号及び上述の基準信号を用いて、検出ヘッド62Aの位置における第1部材6に対する第2部材7のZ方向の相対移動量を求める。
同様に、第2の検出ヘッド62Bにおいて、PBS69Bに入射した計測光ML2は、PBS面69Baで反射され、1/4波長板70Bを通過し、楔型プリズム74の開口74bを通して回折格子12の格子パターン面12bに概ね垂直に入射する。そして、格子パターン12aからの反射光(0次光)ML2Aは、楔型プリズム74の開口74b、1/4波長板70B、及びPBS面69Baを通過して、コーナーキューブ71Bで反射される。反射された反射光ML2Aは、PBS面69Ba、1/4波長板70B、及び楔型プリズム74を通過して回折格子12の格子パターン面12bに傾斜して入射する。
また、PBS69Bに入射した参照光RL2は、PBS面69Baを通過して、1/4波長板72Bを介してミラー73Bで反射される。反射された参照光RL2は、1/4波長板72Bを通過して、PBS面69Baで反射されてコーナーキューブ71Bに入射する。コーナーキューブ71Bで反射された参照光RL2は、PBS面69Baで反射され、1/4波長板72Bを通過して、ミラー73Bで反射される。反射された参照光RL2は、1/4波長板72Bを通過し、PBS面69Baを通過して、計測光の反射光ML2Cと平行になり、かつほぼ重ね合わせられた状態でミラー75Bに入射する。ミラー75Bでほぼ+Z方向に反射された反射光ML2C及び参照光RL2は、偏光板76Bを介して干渉光となって光電センサ77Bで受光され、光電センサ77Bの検出信号が計測演算部64に供給される。計測演算部64では、その検出信号及び上述の基準信号を用いて、検出ヘッド62Bの位置における第1部材6に対する第2部材7のZ方向の相対移動量を求める。
なお、本実施形態では、検出ヘッド62A,62Bによって第2部材7のZ方向の相対移動量を計測しているが、複数の検出ヘッドから回折格子12に供給される計測光の±1次回折光等を検出して、第2部材7のX方向及び/又はY方向の相対移動量を計測する場合にも、それらの検出ヘッドと回折格子12との間に楔型プリズム74と同様の複数の開口が形成された楔型プリズムを配置することで、検出対象の回折光と参照光とを容易に平行にすることができる。
第3の実施形態につき図5〜図7を参照して説明する。図5は、この実施形態に係るエンコーダ装置を備えた露光装置EXの概略構成を示す。露光装置EXは、スキャニングステッパーよりなる走査露光型の投影露光装置である。露光装置EXは、投影光学系PL(投影ユニットPU)を備えており、以下、投影光学系PLの光軸AXと平行にZ軸を取り、これに直交する面(ほぼ水平面に平行な面)内でレチクルRとウエハWとが相対走査される方向にY軸を、Z軸及びY軸に直交する方向にX軸を取って説明する。
なお、上述の局所液浸装置108を設けたいわゆる液浸型の露光装置の構成にあっては、さらにプレート体128は、図6のウエハテーブルWTB(ウエハステージWST)の平面図に示されるように、その円形の開口を囲む、外形(輪郭)が矩形の表面に撥液化処理が施されたプレート部(撥液板)128aと、プレート部128aを囲む周辺部128eとを有する。周辺部128eの上面に、プレート部128aをY方向に挟むようにX方向に細長い1対の2次元の回折格子12A,12Bが配置され、プレート部128aをX方向に挟むようにY方向に細長い1対の2次元の回折格子12C,12Dが配置されている。回折格子12A〜12Dは、図1の回折格子12と同様にX方向、Y方向を周期方向とする2次元の格子パターンが形成された反射型の回折格子である。
ここで、図示無きフレームによって支持される投影ユニットPUを、ウエハWに露光光を照射する露光部とみなすことができる。
また、ウエハステージWST内に例えばY方向に沿って開口を設け、この開口の内面に回折格子12A〜12Dと同様の回折格子を設け、その開口に差し込み可能なロッド状部材の先端に検出ヘッド14と同様の検出ヘッドを設け、この検出ヘッド及びその開口内の回折格子を含むエンコーダによってウエハステージWSTの投影光学系PLに対する移動量を計測してもよい。
また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置への適用に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに形成される液晶表示素子、若しくはプラズマディスプレイ等のディスプレイ装置用の露光装置や、撮像素子(CCD等)、マイクロマシーン、薄膜磁気ヘッド、及びDNAチップ等の各種デバイスを製造するための露光装置にも広く適用できる。更に、本実施形態は、各種デバイスのマスクパターンが形成されたマスク(フォトマスク、レチクル等)をフォトリソグフィ工程を用いて製造する際の、露光装置にも適用することができる。
なお、本実施形態は上述の実施形態に限定されず、要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得ることは勿論である。
Claims (17)
- 少なくとも第1方向に相対移動する第1及び第2部材の相対移動量を計測するエンコーダ装置であって、
前記第1部材及び前記第2部材の一方の部材に設けられ、少なくとも前記第1方向を周期方向とする格子パターンを有する反射型の回折格子と、
計測光を発生する光源部と、
前記計測光を前記回折格子の格子パターンに入射させて回折光を発生させる第1光学部材と、
前記第1部材及び前記第2部材の他方の部材に設けられるとともに、前記回折格子の前記格子パターンで回折された前記回折光のうち第1回折光を前記格子パターンに入射させて第2回折光と前記第2回折光とは次数の異なる第3回折光とを発生させる第2光学部材と、
前記計測光を分岐して第1の参照光と第2の参照光とを生成する第3光学部材と、
前記格子パターンで回折された前記第2回折光と前記第1の参照光との干渉光を検出する第1検出器と、
前記格子パターンで回折された前記第3回折光と前記第2の参照光との干渉光を検出する第2検出器と、
前記第1検出器及び前記第2検出器の検出信号を用いて前記相対移動量を求める計測部と、
を備えるエンコーダ装置。 - 前記計測部は、前記第1検出器の検出信号と前記第2検出器の検出信号とを用いて、前記反射型の回折格子に起因する誤差を低減する、請求項1に記載のエンコーダ装置。
- 前記第2回折光は正の次数の回折光であり、前記第3回折光は負の次数の回折光である、請求項1又は2に記載のエンコーダ装置。
- 前記第2回折光は+n次の回折光であり(nは自然数)、前記第3回折光は−n次の回折光である、請求項1又は2に記載のエンコーダ装置。
- 前記第1光学部材は、前記計測光を前記回折格子の前記格子パターン面に概ね垂直に入射させ、
前記第2光学部材は、前記第1回折光を前記格子パターン面に概ね垂直に入射させ、
前記第2回折光と前記第3回折光とは、前記第1方向に関して対称に発生する回折光である請求項1乃至4のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記第1回折光は1次回折光であり、
前記第1再回折光は、前記第1回折光と同じ方向に発生する1次回折光であり、
前記第2再回折光は、前記第1回折光と異なる方向に発生する1次回折光である請求項1乃至5のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記計測部は、前記第1検出器の検出信号を用いて得られる第1の相対移動量と前記第2検出器の検出信号を用いて得られる第2の相対移動量との差分を求める請求項1乃至6のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記第3光学部材は、前記計測光を分岐して第3の参照光と第4の参照光とを生成し、
前記他方の部材に設けられるとともに、前記格子パターンで回折された前記回折光のうち前記第1回折光と次数の異なる第4回折光を前記格子パターンに入射させて第5回折光と該第5回折光とは次数の異なる第6回折光とを発生させる第4光学部材と、
前記格子パターンで回折された前記第5回折光と前記第3の参照光との干渉光を検出する第3検出器と、
前記格子パターンで回折された前記第6回折光と前記第4の参照光との干渉光を検出する第4検出器と、を備え、
前記計測部は、前記第1、第2、第3、及び第4検出器の検出信号を用いて前記相対移動量を求める請求項1乃至7のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記回折格子と前記第2光学部材との間に配置されて、前記第2回折光が前記回折格子に入射するときの入射角が回折角よりも小さくなるように前記第2回折光の方向を変更する第1方向変更部材を備える請求項1乃至8のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記回折格子は、前記第1方向及びこの第1方向に直交する第2方向を周期方向とする2次元の反射型の回折格子であり、
前記第3光学部材は、前記計測光を分岐して第5の参照光と第6の参照光とを生成し、
前記他方の部材に設けられるとともに、前記格子パターン面で回折された前記回折光のうち前記第2及び第3回折光の進行経路を含む面と交差する方向に発生する第7回折光を前記格子パターンに入射させて第8回折光と該第8回折光とは次数の異なる第9回折光とを発生する第5光学部材と、
前記格子パターンで回折された前記第8回折光と前記第5の参照光との干渉光を検出する第5検出器と、
前記格子パターンで回折された前記第9回折光と第6の参照光との干渉光を検出する第6検出器と、を備え、
前記計測部は、少なくとも前記第1、第2、第5、及び第6検出器の検出信号を用いて前記相対移動量を求める請求項1乃至9のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記第1光学部材はコーナーキューブを有する請求項1乃至10のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 少なくとも第1方向に相対移動する第1及び第2部材の相対移動量を計測するエンコーダ装置であって、
前記第1部材及び前記第2部材の一方の部材に設けられ、少なくとも前記第1方向を周期方向とする格子パターンを有する反射型の回折格子と、
計測光及び参照光を互いに非平行となるように射出する光源部と、
前記計測光から分岐された第1計測光を前記回折格子の格子パターン面に入射させる入射光学部材と、
前記第1部材及び前記第2部材の他方の部材に設けられるとともに、前記回折格子から前記第1計測光によって発生する第1回折光を、前記格子パターン面に入射させる第1光学部材と、
第1の開口が形成されるとともに、前記第1の開口を、前記第1回折光又は前記回折格子から前記第1回折光によって発生する第1再回折光よりなる第1光束が通過するように配置された楔形の光学部材と、
前記第1再回折光と前記参照光から分岐された第1参照光との干渉光を検出する第1光電検出器と、
前記第1光電検出器の検出信号を用いて前記相対移動量を求める計測部と、
を備え、
前記第1回折光又は前記第1再回折光のうち、前記第1光束と異なる第2光束が前記楔形の光学部材を通過して光路が偏向されるエンコーダ装置。 - 前記入射用光学部材は、前記計測光から分岐された第2計測光を前記回折格子の前記格子パターン面に入射させ、
前記他方の部材に設けられるとともに、前記回折格子から前記第2計測光によって発生する第2回折光を、前記格子パターン面に入射させる第2光学部材と、
前記回折格子から前記第2回折光によって発生する第2再回折光と前記参照光から分岐された第2参照光との干渉光を検出する第2光電検出器と、を備え、
前記楔形の光学部材には、前記第2回折光又は前記回折格子から前記第2再回折光よりなる第3光束が通過可能な、前記第1の開口と異なる第2の開口が形成され、
前記第2回折光又は前記第2再回折光のうち、前記第3光束と異なる第4光束が前記楔形の光学部材を通過して光路が偏向される請求項12に記載のエンコーダ装置。 - 請求項1乃至13のいずれか一項に記載のエンコーダ装置を用いて前記第1部材及び前記第2部材の相対移動量を求めることと、
前記相対移動量に応じて前記第1部材と前記第2部材との相対的な位置関係を制御することと、を含むエンコーダ装置の使用方法。 - 請求項1乃至13のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
前記エンコーダ装置の計測結果に基づいて対象物を移動する移動装置と、
前記対象物用の光学系と、を備える光学装置。 - パターンを被露光体に露光する露光装置であって、
前記被露光体に露光光を照射する露光部を少なくとも支持するフレームと、
前記被露光体を支持するとともに前記フレームに対して少なくとも第1方向に相対移動可能なステージと、
請求項1乃至13のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、を備え、
前記エンコーダ装置を用いて、前記第1方向への前記ステージの相対移動量を計測する露光装置。 - リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィ工程で、請求項16に記載の露光装置を用いて物体を露光するデバイス製造方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015208685A JP6607350B2 (ja) | 2015-10-23 | 2015-10-23 | エンコーダ装置及びその使用方法、光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015208685A JP6607350B2 (ja) | 2015-10-23 | 2015-10-23 | エンコーダ装置及びその使用方法、光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017083509A true JP2017083509A (ja) | 2017-05-18 |
JP6607350B2 JP6607350B2 (ja) | 2019-11-20 |
Family
ID=58710822
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015208685A Active JP6607350B2 (ja) | 2015-10-23 | 2015-10-23 | エンコーダ装置及びその使用方法、光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6607350B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116481435A (zh) * | 2023-03-20 | 2023-07-25 | 东北林业大学 | 一种紧凑型六自由度测量系统 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03148015A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-06-24 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置測定装置 |
WO2013073538A1 (ja) * | 2011-11-17 | 2013-05-23 | 株式会社ニコン | エンコーダ装置、移動量計測方法、光学装置、並びに露光方法及び装置 |
US20150160044A1 (en) * | 2012-04-26 | 2015-06-11 | Nikon Corporation | Measurement method and encoder device, and exposure method and device |
-
2015
- 2015-10-23 JP JP2015208685A patent/JP6607350B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03148015A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-06-24 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置測定装置 |
WO2013073538A1 (ja) * | 2011-11-17 | 2013-05-23 | 株式会社ニコン | エンコーダ装置、移動量計測方法、光学装置、並びに露光方法及び装置 |
US20150160044A1 (en) * | 2012-04-26 | 2015-06-11 | Nikon Corporation | Measurement method and encoder device, and exposure method and device |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116481435A (zh) * | 2023-03-20 | 2023-07-25 | 东北林业大学 | 一种紧凑型六自由度测量系统 |
CN116481435B (zh) * | 2023-03-20 | 2024-03-19 | 东北林业大学 | 一种紧凑型六自由度测量系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6607350B2 (ja) | 2019-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10697805B2 (en) | Encoder device, method for measuring moving amount, optical apparatus, exposure apparatus, exposure method and method for producing device | |
JP4948213B2 (ja) | 変位測定システムおよびリソグラフィ装置 | |
TWI568991B (zh) | 編碼器干涉術系統、微影系統,以及編碼器干涉術方法 | |
TWI748363B (zh) | 測量裝置及測量方法、曝光裝置及曝光方法、以及元件製造方法 | |
JP6767682B2 (ja) | エンコーダ装置及び露光装置 | |
JP7147738B2 (ja) | 計測装置及び計測方法、並びに露光装置 | |
JP2023022106A (ja) | 面位置検出装置、露光装置、デバイス製造方法、および基板処理システム | |
KR20140061499A (ko) | 고 콘트라스트 인코더 헤드 | |
JP6680997B2 (ja) | エンコーダ装置及びその使用方法、光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
JP6607350B2 (ja) | エンコーダ装置及びその使用方法、光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
JP2014029276A (ja) | エンコーダ装置、光学装置、及び露光装置 | |
JP2012049284A (ja) | エンコーダ装置、光学装置、露光装置、露光方法およびデバイス製造方法 | |
JP5862857B2 (ja) | エンコーダ装置、光学装置、及び露光装置 | |
JP2013101084A (ja) | 位置検出方法及び装置、エンコーダ装置、並びに露光装置 | |
JP2012008004A (ja) | エンコーダ装置、光学装置、露光装置、露光方法およびデバイス製造方法 | |
TWI479125B (zh) | 干涉式編碼器系統的密接式編碼頭 | |
JP2013234997A (ja) | エンコーダ装置、光学装置、及び露光装置 | |
JP2013026273A (ja) | エンコーダ装置、光学装置、及び露光装置 | |
JP2016024049A (ja) | 計測方法及びエンコーダ装置、並びに露光方法及び装置 | |
JP2013102099A (ja) | エンコーダ装置、光学装置、及び露光装置 | |
JP2011181851A (ja) | 変位検出装置、ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180925 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190724 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190925 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191008 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6607350 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |