JP2017082104A - Pressure-sensitive adhesive sheet, and production method of semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、粘着シート及び半導体装置製造方法に関する。 The present invention relates to an adhesive sheet and a semiconductor device manufacturing method.
近年、ＬＳＩの実装技術において、ウエハーレベルＣＳＰ(Wafer level Chip Size Package)が注目されている。ウエハーレベルＣＳＰは、半導体部品のパッケージ形態の１つであり、小型化及び高集積の面で特に注目される。ウエハーレベルＣＳＰの製造方法では、基板を用いずに、配列した複数の半導体チップを封止樹脂にて一括封止した後、切断によって個別の構造物に切り分ける。そのため、ウエハーレベルＣＳＰの製造方法によれば、チップサイズのパッケージを効率的に生産することが出来る。 In recent years, a wafer level CSP (Wafer level Chip Size Package) has attracted attention in LSI mounting technology. The wafer level CSP is one of the package forms of semiconductor components, and is particularly noted in terms of miniaturization and high integration. In the wafer level CSP manufacturing method, a plurality of arranged semiconductor chips are collectively sealed with a sealing resin without using a substrate, and then separated into individual structures by cutting. Therefore, according to the wafer level CSP manufacturing method, a chip size package can be efficiently produced.
このようなウエハーレベルＣＳＰの製造方法においては、チップを仮固定用支持体としての粘着テープに固定し、更に樹脂封止を行い、個別のパッケージに成型された後に粘着テープを剥離する手法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１には、ガラス転移温度が１８０℃を超える基材層の片面または両面に、白金系触媒により硬化された付加重合型シリコーン樹脂を含有し、１８０℃での弾性率が１．０×１０５Ｐａ以上の粘着剤層を設けてなる半導体装置製造用耐熱性粘着テープを用いることにより、一連の工程で支障を来たしにくい半導体装置の製造方法が開示されている。
In such a wafer level CSP manufacturing method, a technique is known in which a chip is fixed to an adhesive tape as a temporary fixing support, further sealed with a resin, and after being molded into individual packages, the adhesive tape is peeled off. (For example, refer to Patent Document 1).
Patent Document 1 contains an addition polymerization type silicone resin cured with a platinum-based catalyst on one side or both sides of a base material layer having a glass transition temperature exceeding 180 ° C., and an elastic modulus at 180 ° C. is 1.0 ×. There has been disclosed a method for manufacturing a semiconductor device that is less likely to cause trouble in a series of steps by using a heat-resistant adhesive tape for manufacturing a semiconductor device provided with an adhesive layer of 10 5 Pa or more.
しかしながら、特許文献１に記載の半導体装置製造用耐熱性粘着テープは、シリコーン系粘着剤を用いるため、半導体装置製造用耐熱性粘着テープを剥離した後にシリコーン系粘着剤中の低分子量シロキサンが半導体チップ表面に残留し、電気接続部のめっき適性が低下し、電気抵抗が増大したりするなど、パッケージ信頼性が低下するおそれがあった。 However, since the heat-resistant adhesive tape for manufacturing semiconductor devices described in Patent Document 1 uses a silicone-based adhesive, the low-molecular weight siloxane in the silicone-based adhesive is removed from the semiconductor chip after the heat-resistant adhesive tape for manufacturing semiconductor devices is peeled off. There is a possibility that the package reliability may be lowered, such as remaining on the surface, reducing the plating suitability of the electrical connection portion, and increasing the electrical resistance.
本発明の目的は、ウエハーレベルＣＳＰの製造方法において、樹脂封止の際にはチップを確実に保持し、封止工程後の剥離の際にはチップ面から容易に剥離することができ、電子デバイスに悪影響を及ぼす糊残りが少なく、一連の工程で支障を来たし難い粘着シート及び半導体装置製造方法を提供することである。 It is an object of the present invention to securely hold a chip at the time of resin sealing in a wafer level CSP manufacturing method, and can be easily peeled off from the chip surface at the time of peeling after the sealing process. It is an object of the present invention to provide a pressure-sensitive adhesive sheet and a semiconductor device manufacturing method that have little adhesive residue that adversely affects a device and are less likely to cause problems in a series of processes.
本発明の一態様によれば、粘着シートを半導体素子の回路面に貼付する工程と、前記粘着シートに貼付された前記半導体素子を封止樹脂で覆う工程と、前記封止樹脂を硬化させる工程と、前記粘着シートにエネルギー線を照射する工程と、前記粘着シートを前記半導体素子から剥離する工程と、を有する半導体装置製造プロセスにおいて使用される粘着シートであって、基材と、前記基材に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤を含む粘着剤層と、を有する粘着シートが提供される。 According to one aspect of the present invention, a step of attaching an adhesive sheet to a circuit surface of a semiconductor element, a step of covering the semiconductor element attached to the adhesive sheet with a sealing resin, and a step of curing the sealing resin And a step of irradiating the pressure-sensitive adhesive sheet with energy rays, and a step of peeling the pressure-sensitive adhesive sheet from the semiconductor element. There is provided a pressure-sensitive adhesive sheet having a pressure-sensitive adhesive layer containing the energy ray-curable pressure-sensitive adhesive formed on the surface.
本発明の一態様に係る粘着シートにおいて、エネルギー線を照射する前であって２３℃における前記粘着剤層の貯蔵弾性率Ｇ’は、１．０×１０７Ｐａ以下であることが好ましい。
本発明の一態様に係る粘着シートにおいて、エネルギー線を照射した後であって２３℃における前記粘着剤層の引張弾性率Ｅ’は、１．０×１０７Ｐａ以上であることが好ましい。
In the pressure-sensitive adhesive sheet according to one embodiment of the present invention, the storage elastic modulus G ′ of the pressure-sensitive adhesive layer at 23 ° C. before irradiation with energy rays is preferably 1.0 × 10 7 Pa or less.
In the pressure-sensitive adhesive sheet according to one embodiment of the present invention, the tensile elastic modulus E ′ of the pressure-sensitive adhesive layer at 23 ° C. after irradiation with energy rays is preferably 1.0 × 10 7 Pa or more.
本発明の一態様に係る粘着シートにおいて、前記エネルギー線硬化型粘着剤は、紫外線硬化型粘着剤であることが好ましい。 In the pressure-sensitive adhesive sheet according to one aspect of the present invention, the energy ray curable pressure-sensitive adhesive is preferably an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive.
本発明の一態様に係る粘着シートにおいて、前記エネルギー線硬化型粘着剤は、アクリル系粘着剤を含有することが好ましい。 In the pressure-sensitive adhesive sheet according to one aspect of the present invention, the energy ray-curable pressure-sensitive adhesive preferably contains an acrylic pressure-sensitive adhesive.
また、本発明の一態様によれば、基材と前記基材に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤を含む粘着剤層とを有する粘着シートを、半導体素子の回路面に貼付する工程と、前記粘着シートに貼付された前記半導体素子を封止樹脂で覆う工程と、前記封止樹脂を硬化させる工程と、前記粘着剤層にエネルギー線を照射する工程と、前記粘着シートを前記半導体素子から剥離する工程と、を有する半導体装置製造方法が提供される。 Moreover, according to one aspect of the present invention, a step of attaching an adhesive sheet having a base material and an adhesive layer containing an energy ray-curable adhesive formed on the base material to a circuit surface of a semiconductor element; A step of covering the semiconductor element attached to the pressure-sensitive adhesive sheet with a sealing resin, a step of curing the sealing resin, a step of irradiating the pressure-sensitive adhesive layer with energy rays, and the pressure-sensitive adhesive sheet from the semiconductor element. A method of manufacturing a semiconductor device.
本発明によれば、ウエハーレベルＣＳＰの製造方法において、樹脂封止の際にはチップを確実に保持し、封止工程後の剥離の際にはチップ面から容易に剥離することができ、電子デバイスに悪影響を及ぼす糊残りが少なく、一連の工程で支障を来たし難い粘着シート及び半導体装置製造方法を提供することができる。 According to the present invention, in the wafer level CSP manufacturing method, the chip can be securely held during resin sealing, and can be easily peeled off from the chip surface during peeling after the sealing step. It is possible to provide a pressure-sensitive adhesive sheet and a semiconductor device manufacturing method that have little adhesive residue that adversely affects the device and are less likely to cause problems in a series of processes.
（粘着シート）
図１には、本実施形態の粘着シート１０の断面概略図が示されている。
粘着シート１０は、基材１１及び粘着剤層１２を有する。粘着剤層１２の上には、図１に示されているように、剥離シートＲＬが積層されている。粘着シート１０の形状は、例えば、シート状、テープ状、又はラベル状などのあらゆる形状をとり得る。
(Adhesive sheet)
FIG. 1 shows a schematic cross-sectional view of the pressure-sensitive
The pressure-sensitive
（粘着剤層）
本実施形態に係る粘着剤層１２は、エネルギー線硬化型粘着剤を含んでいる。エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線を照射することにより、架橋及び硬化する重合性化合物を含有する。エネルギー線としては、例えば、紫外線もしくは電子線等の電磁波、又はエネルギー量子を有する荷電粒子線等が挙げられる。
(Adhesive layer)
The pressure-sensitive
・貯蔵弾性率
エネルギー線を照射する前であって２３℃における粘着剤層１２の貯蔵弾性率Ｇ’は、１．０×１０７Ｐａ以下であることが好ましく、１．０×１０３Ｐａ以上１．０×１０７Ｐａ以下であることがより好ましく、１．０×１０４Ｐａ以上１．０×１０６Ｐａ以下であることがさらに好ましい。なお、貯蔵弾性率Ｇ’の測定周波数は、１Ｈｚである。
エネルギー線を照射する前、すなわち、エネルギー線硬化前の粘着剤層１２の貯蔵弾性率が上記範囲であれば、樹脂封止の際に半導体素子（例えば、チップ）を確実に保持し、半導体素子を粘着シート１０に貼り付ける時の圧力や樹脂封止する時の圧力により、半導体素子の位置がずれたり、半導体素子が粘着剤層１２へ埋まり込んだりすることを防止できる。
Storage modulus Before storage with energy rays, the storage modulus G ′ of the pressure-sensitive
If the storage elastic modulus of the pressure-sensitive
・引張弾性率
エネルギー線を照射した後であって２３℃における粘着剤層１２の引張弾性率Ｅ’は、１．０×１０７Ｐａ以上であることが好ましく、１．０×１０７Ｐａ以上１．０×１０９Ｐａ以下がより好ましく、１．０×１０７Ｐａ以上５．０×１０８Ｐａ以下がさらに好ましい。なお、引張弾性率Ｅ’の測定周波数は、１１Ｈｚである。
エネルギー線を照射した後、すなわち、エネルギー線硬化後の粘着剤層１２の貯蔵弾性率が上記範囲であれば、封止工程後に、チップ面に粘着剤が残存することがなく、粘着シート１０をチップ面から容易に剥離することができる。
Tensile tensile elastic modulus of the
If the storage elastic modulus of the pressure-sensitive
エネルギー線を照射する前であって２３℃における粘着剤層１２の貯蔵弾性率Ｇ’と、エネルギー線を照射した後であって２３℃における粘着剤層１２の引張弾性率Ｅ’とが、上記範囲を兼ね備えることがより好ましい。例えば、貯蔵弾性率Ｇ’が１．０×１０７Ｐａ以下であり、かつ、引張弾性率Ｅ’が１．０×１０７Ｐａ以上であることや、貯蔵弾性率Ｇ’が１．０×１０３Ｐａ以上１．０×１０７Ｐａ以下であり、かつ、引張弾性率Ｅ’が１．０×１０７Ｐａ以上１．０×１０９Ｐａ以下であることや、又は貯蔵弾性率Ｇ’が１．０×１０４Ｐａ以上１．０×１０６Ｐａ以下であり、かつ、引張弾性率Ｅ’が１．０×１０７Ｐａ以上５．０×１０８Ｐａ以下であることがより好ましい。
なお、本明細書において、貯蔵弾性率及び引張弾性率は、後述する実施例に記載の方法により測定した値である。
The storage elastic modulus G ′ of the pressure-sensitive
In addition, in this specification, a storage elastic modulus and a tensile elastic modulus are the values measured by the method as described in the Example mentioned later.
・粘着力
粘着剤層１２は、次に示すような粘着力を有していることが好ましい。
２００℃の加熱を１時間程実施した後、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じて測定される粘着剤層１２の粘着力は、５Ｎ／１９ｍｍ幅以下であることが好ましく、０．１Ｎ／１９ｍｍ幅以上３．０Ｎ／１９ｍｍ幅以下であることがより好ましい。
当該粘着力が５Ｎ／１９ｍｍ幅以下であれば、粘着シート１０を剥離する際に半導体素子に粘着剤層の一部が付着する不具合（いわゆる糊残り）の発生を抑制でき、その結果、良好なパッケージを製造し易くなる。
当該粘着力が０．１Ｎ／１９ｍｍ幅以上であれば、半導体素子に粘着シート１０を貼り付け易くなる。また、当該粘着力が０．１Ｎ／１９ｍｍ幅以上であれば、貼付後の搬送を含む工程中で粘着シート１０が半導体素子から剥離し難くなる。
-Adhesive strength It is preferable that the
After carrying out the heating at 200 ° C. for about 1 hour, the adhesive strength of the
If the adhesive force is 5 N / 19 mm width or less, it is possible to suppress the occurrence of a problem (so-called adhesive residue) in which a part of the adhesive layer adheres to the semiconductor element when the
If the said adhesive force is 0.1 N / 19mm width or more, it will become easy to affix the
また、エネルギー線照射後に２００℃の加熱を１時間程実施した後、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じて測定される粘着剤層１２の粘着力は、１Ｎ／１９ｍｍ幅以下であることが好ましく、０．５Ｎ／１９ｍｍ幅以下であることがより好ましい。
当該粘着力が１Ｎ／１９ｍｍ幅以下であれば、粘着シート１０を剥離する際に封止樹脂に粘着剤層の一部が付着する不具合（いわゆる糊残り）の発生を抑制でき、その結果、良好なパッケージを製造し易くなる。
Further, after heating at 200 ° C. for about 1 hour after irradiation with energy rays, the adhesive strength of the
If the adhesive force is 1 N / 19 mm width or less, it is possible to suppress the occurrence of a problem (so-called adhesive residue) in which a part of the adhesive layer adheres to the sealing resin when the
・破断伸度
粘着剤層１２のエネルギー線硬化後の破断伸度は、１０％以上であることが好ましく、１０％以上１５０％以下であることがより好ましく、１０％以上１００％以下が特に好ましい。エネルギー線硬化後の粘着剤層１２の破断伸度が１０％以上であれば、粘着シート１０を剥離する際に、半導体素子や封止樹脂に粘着剤層の一部が付着する不具合（糊残り）が発生し難くなり、その結果、良好なパッケージを製造し易くなる。
本明細書において、粘着剤層の破断伸度は、後述する実施例に記載の方法により測定した値である。
-Breaking elongation The breaking elongation of the pressure-sensitive
In this specification, the elongation at break of the pressure-sensitive adhesive layer is a value measured by the method described in Examples described later.
・エネルギー線硬化型粘着剤
本実施形態に係る粘着剤層１２は、エネルギー線硬化型粘着剤を含んでいれば特に限定されず、種々のエネルギー線硬化型粘着剤を用いることができる。
-Energy ray curable pressure sensitive adhesive The pressure sensitive
本実施形態の粘着剤層１２に用いるエネルギー線硬化型粘着剤は、紫外線硬化型粘着剤であることも好ましい。
エネルギー線硬化型粘着剤は、例えばアクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ゴム系粘着剤、エポキシ系粘着剤等の各種粘着剤が用いられるが、これらの中でも、アクリル系粘着剤を含有することも好ましい。エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線照射前には被加工物に対して充分な粘着力を有し、エネルギー線照射後には粘着力が著しく減少する。すなわち、エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線照射前には、被加工物を充分な粘着力で保持するが、エネルギー線照射後には、得られた加工物を容易に剥離することができる。また、エネルギー線硬化型粘着剤がアクリル系粘着剤を含有していれば、糊残りの発生を防止することができ、その結果、パッケージ信頼性の低下や電子デバイスへの悪影響を防止できる。
The energy ray curable pressure sensitive adhesive used for the pressure sensitive
As the energy ray curable pressure sensitive adhesive, various pressure sensitive adhesives such as an acrylic pressure sensitive adhesive, a silicone pressure sensitive adhesive, a rubber pressure sensitive adhesive, and an epoxy pressure sensitive adhesive are used, and among these, an acrylic pressure sensitive adhesive should be contained. Is also preferable. The energy ray curable pressure-sensitive adhesive has a sufficient adhesive force to the workpiece before irradiation with energy rays, and the adhesive force is remarkably reduced after irradiation with energy rays. That is, the energy beam curable pressure-sensitive adhesive holds the workpiece with sufficient adhesive force before irradiation with the energy beam, but can easily peel off the obtained workpiece after irradiation with the energy beam. Further, if the energy ray curable pressure-sensitive adhesive contains an acrylic pressure-sensitive adhesive, it is possible to prevent generation of adhesive residue, and as a result, it is possible to prevent a decrease in package reliability and an adverse effect on an electronic device.
アクリル系粘着剤を含有するエネルギー線硬化型粘着剤（アクリル系エネルギー線硬化型粘着剤と称する場合がある。）としては、例えば、下記［１］、［２］、又は［３］に記載の粘着剤が挙げられる。 Examples of the energy ray-curable pressure-sensitive adhesive containing an acrylic pressure-sensitive adhesive (sometimes referred to as an acrylic energy ray-curable pressure-sensitive adhesive) are described in [1], [2], or [3] below. An adhesive is mentioned.
［１］（メタ）アクリル酸エステル系共重合体を主成分とし、さらにエネルギー線重合性オリゴマー及びエネルギー線重合性モノマーのうち少なくともいずれか、並びに所望によりエネルギー線重合開始剤を含む粘着剤 [1] A pressure-sensitive adhesive containing a (meth) acrylic acid ester copolymer as a main component, and further containing at least one of an energy beam polymerizable oligomer and an energy beam polymerizable monomer, and an energy beam polymerization initiator as required.
［２］側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体を主成分とし、所望によりエネルギー線重合開始剤を含む粘着剤 [2] A pressure-sensitive adhesive mainly comprising a (meth) acrylic acid ester-based copolymer having an energy beam crosslinkable functional group in a side chain, and optionally containing an energy beam polymerization initiator
［３］活性水素をもつ官能基を少なくとも有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体と、側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体と、活性水素をもつ官能基と反応し得る架橋剤とを含む組成物を主成分とし、所望によりエネルギー線重合開始剤を含む粘着剤 [3] A (meth) acrylate copolymer having at least a functional group having active hydrogen, a (meth) acrylate copolymer having an energy ray crosslinkable functional group in the side chain, and active hydrogen A pressure-sensitive adhesive comprising as a main component a composition containing a cross-linking agent capable of reacting with a functional group having an energy, and optionally containing an energy ray polymerization initiator
前記［１］の粘着剤において、（メタ）アクリル酸エステル系共重合体としては、エステル部分のアルキル基の炭素数が１〜２０の（メタ）アクリル酸エステルと、所望により用いられる他の単量体との質量平均分子量３０万以上の共重合体を好ましく挙げることができる。なお、本明細書において、質量平均分子量は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により測定される標準ポリメチルメタクリレート換算の値である。 In the pressure-sensitive adhesive of [1], the (meth) acrylic acid ester-based copolymer includes (meth) acrylic acid ester having 1 to 20 carbon atoms in the alkyl group of the ester moiety, and other units used as desired. Preferred is a copolymer having a mass average molecular weight of 300,000 or more with a polymer. In addition, in this specification, a mass average molecular weight is the value of standard polymethylmethacrylate conversion measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.
エステル部分のアルキル基の炭素数が１〜２０の（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸ミリスチル、及び（メタ）アクリル酸パルミチル、（メタ）アクリル酸ステアリルなどが挙げられる。これら（メタ）アクリル酸エステルは、単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、所望により用いられる他の単量体としては、活性水素をもつ官能基を有する単量体、さらには、ビニルエステル類、オレフィン類、ハロゲン化オレフィン類、スチレン系単量体、ジエン系単量体、ニトリル系単量体、及びＮ，Ｎ−ジアルキル置換アクリルアミド類などを挙げることができる。
Examples of the (meth) acrylic acid ester having 1 to 20 carbon atoms in the alkyl group of the ester moiety include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid. Butyl, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, (meth) acryl Examples include dodecyl acid, myristyl (meth) acrylate, palmityl (meth) acrylate, and stearyl (meth) acrylate. These (meth) acrylic acid esters may be used alone or in combination of two or more.
Other monomers used as desired include monomers having a functional group having active hydrogen, vinyl esters, olefins, halogenated olefins, styrene monomers, diene monomers. Examples include monomers, nitrile monomers, and N, N-dialkyl-substituted acrylamides.
ここで、活性水素をもつ官能基を有する単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル、（メタ）アクリル酸モノアルキルアミノアルキル、及びエチレン性不飽和カルボン酸などが挙げられる。
（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシブチル、及び（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチルなどが挙げられる。
（メタ）アクリル酸モノアルキルアミノアルキルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸モノメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸モノエチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸モノメチルアミノプロピル、及び（メタ）アクリル酸モノエチルアミノプロピルなどが挙げられる。
エチレン性不飽和カルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、及びシトラコン酸などが挙げられる。
Here, examples of the monomer having a functional group having active hydrogen include (meth) acrylic acid hydroxyalkyl ester, (meth) acrylic acid monoalkylaminoalkyl, and ethylenically unsaturated carboxylic acid.
Examples of the (meth) acrylic acid hydroxyalkyl ester include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid 2- Examples include hydroxybutyl, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, and 4-hydroxybutyl (meth) acrylate.
Examples of monoalkylaminoalkyl (meth) acrylate include, for example, monomethylaminoethyl (meth) acrylate, monoethylaminoethyl (meth) acrylate, monomethylaminopropyl (meth) acrylate, and monoethyl (meth) acrylate Examples include aminopropyl.
Examples of the ethylenically unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, maleic acid, itaconic acid, and citraconic acid.
ビニルエステル類としては、例えば、酢酸ビニル、及びプロピオン酸ビニルなどが挙げられる。
オレフィン類としては、例えば、エチレン、プロピレン、及びイソブチレンなどが挙げられる。
ハロゲン化オレフィン類としては、例えば、塩化ビニル、及びビニリデンクロリドなどが挙げられる。
スチレン系単量体としては、例えば、スチレン、及びα−メチルスチレンなどが挙げられる。
ジエン系単量体としては、例えば、ブタジエン、イソプレン、及びクロロプレンなどが挙げられる。
ニトリル系単量体としては、例えば、アクリロニトリル、及びメタクリロニトリルなどが挙げられる。
Ｎ，Ｎ−ジアルキル置換アクリルアミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、及びＮ，Ｎ−ジエチルアクリルアミドなどが挙げられる。
これらの所望により用いられる他の単量体は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
Examples of vinyl esters include vinyl acetate and vinyl propionate.
Examples of olefins include ethylene, propylene, and isobutylene.
Examples of the halogenated olefins include vinyl chloride and vinylidene chloride.
Examples of the styrene monomer include styrene and α-methylstyrene.
Examples of the diene monomer include butadiene, isoprene, and chloroprene.
Examples of the nitrile monomer include acrylonitrile and methacrylonitrile.
Examples of N, N-dialkyl-substituted acrylamides include N, N-dimethylacrylamide and N, N-diethylacrylamide.
These other monomers used as desired may be used alone or in combination of two or more.
また、エネルギー線重合性オリゴマーとしては、例えば、ポリエステルアクリレート系オリゴマー、エポキシアクリレート系オリゴマー、ウレタンアクリレート系オリゴマー、ポリエーテルアクリレート系オリゴマー、ポリブタジエンアクリレート系オリゴマー、及びシリコーンアクリレート系オリゴマーなどが挙げられる。
ここで、ポリエステルアクリレート系オリゴマーは、例えば、多価カルボン酸と多価アルコールの縮合によって得られる両末端に水酸基を有するポリエステルオリゴマーの水酸基を（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。あるいは、ポリエステルアクリレート系オリゴマーは、多価カルボン酸にアルキレンオキシドを付加して得られるオリゴマーの末端の水酸基を（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。
エポキシアクリレート系オリゴマーは、例えば、比較的低分子量のビスフェノール型エポキシ樹脂やノボラック型エポキシ樹脂のオキシラン環に、（メタ）アクリル酸を反応させてエステル化することにより得ることができる。また、このエポキシアクリレート系オリゴマーを部分的に二塩基性カルボン酸無水物で変性したカルボキシル変性型のエポキシアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。
ウレタンアクリレート系オリゴマーは、例えば、ポリエーテルポリオールやポリエステルポリオールと、ポリイソシアネートとの反応によって得られるポリウレタンオリゴマーを、（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。
ポリオールアクリレート系オリゴマーは、例えば、ポリエーテルポリオールの水酸基を（メタ）アクリル酸でエステル化することにより得ることができる。
前記エネルギー線重合性オリゴマーの質量平均分子量は、５００以上１００，０００以下であることが好ましく、１，０００以上７０，０００以下であることがより好ましく、３，０００以上４０，０００以下であることがさらに好ましい。
前記エネルギー線重合性オリゴマーは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
Examples of the energy beam polymerizable oligomer include polyester acrylate oligomers, epoxy acrylate oligomers, urethane acrylate oligomers, polyether acrylate oligomers, polybutadiene acrylate oligomers, and silicone acrylate oligomers.
Here, the polyester acrylate oligomer can be obtained, for example, by esterifying the hydroxyl group of a polyester oligomer having hydroxyl groups at both ends obtained by condensation of a polyvalent carboxylic acid and a polyhydric alcohol with (meth) acrylic acid. . Alternatively, the polyester acrylate oligomer can be obtained by esterifying a hydroxyl group at the terminal of an oligomer obtained by adding an alkylene oxide to a polyvalent carboxylic acid with (meth) acrylic acid.
The epoxy acrylate oligomer can be obtained, for example, by reacting an oxirane ring of a relatively low molecular weight bisphenol type epoxy resin or novolac type epoxy resin with (meth) acrylic acid for esterification. In addition, a carboxyl-modified epoxy acrylate oligomer obtained by partially modifying this epoxy acrylate oligomer with a dibasic carboxylic acid anhydride can also be used.
The urethane acrylate oligomer can be obtained, for example, by esterifying, with (meth) acrylic acid, a polyurethane oligomer obtained by reaction of polyether polyol or polyester polyol with polyisocyanate.
The polyol acrylate oligomer can be obtained, for example, by esterifying the hydroxyl group of the polyether polyol with (meth) acrylic acid.
The mass average molecular weight of the energy beam polymerizable oligomer is preferably 500 or more and 100,000 or less, more preferably 1,000 or more and 70,000 or less, and 3,000 or more and 40,000 or less. Is more preferable.
The energy beam polymerizable oligomers may be used alone or in combination of two or more.
エネルギー線重合性モノマーとしては、例えば、単官能性アクリレート類が挙げられる。単官能性アクリレート類としては、例えば、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、及びイソボニル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
その他のエネルギー線重合性モノマーとしては、例えば、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンテニルジ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド変性リン酸ジ（メタ）アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ（メタ）アクリレート、イソシアヌレートジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、及びカプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。これらのエネルギー線重合性モノマーは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
これらのエネルギー線重合性オリゴマーやエネルギー線重合性モノマーの使用量は、エネルギー線の照射により、前述の性状を有する粘着剤層が得られるように選定される。
Examples of the energy ray polymerizable monomer include monofunctional acrylates. Examples of monofunctional acrylates include cyclohexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, and isobornyl (meth) acrylate.
Examples of other energy ray polymerizable monomers include 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, and polyethylene glycol di (meth). ) Acrylate, neopentyl glycol adipate di (meth) acrylate, hydroxypivalic acid neopentyl glycol di (meth) acrylate, dicyclopentanyl di (meth) acrylate, caprolactone modified dicyclopentenyl di (meth) acrylate, ethylene oxide modified phosphoric acid Di (meth) acrylate, allylated cyclohexyl di (meth) acrylate, isocyanurate di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol Tri (meth) acrylate, propionic acid modified dipentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, propylene oxide modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tris (acryloxyethyl) isocyanurate, propionic acid modified Examples thereof include dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. These energy beam polymerizable monomers may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
The amount of these energy ray polymerizable oligomers and energy ray polymerizable monomers used is selected so that a pressure-sensitive adhesive layer having the above-mentioned properties can be obtained by irradiation with energy rays.
また、所望により用いられるエネルギー線重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−ｎ−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパン−１−オン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−２（ヒドロキシ−２−プロプル）ケトン、ベンゾフェノン、ｐ−フェニルベンゾフェノン、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロロベンゾフェノン、２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ターシャリーブチルアントラキノン、２−アミノアントラキノン、２−メチルチオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、及びｐ−ジメチルアミン安息香酸エステルなどが挙げられる。これらエネルギー線重合開始剤は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。エネルギー線重合開始剤の配合量は、前記エネルギー線重合性オリゴマー及びエネルギー線重合性モノマーの合計質量部を１００質量部とした場合に、この１００質量部に対して、通常、０.２質量部以上２０質量部以下の範囲で選ばれる。 Examples of the energy ray polymerization initiator used as desired include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, acetophenone, dimethylaminoacetophenone, 2,2- Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4 -(Methylthio) phenyl] -2-morpholino-propan-1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl-2 (hydroxy-2-propyl) ketone, benzophenone, p-phenylben Phenone, 4,4′-diethylaminobenzophenone, dichlorobenzophenone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tertiarybutylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, 2-methylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, Examples include 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, benzyldimethyl ketal, acetophenone dimethyl ketal, and p-dimethylamine benzoate. One of these energy beam polymerization initiators may be used alone, or two or more thereof may be used in combination. The amount of the energy ray polymerization initiator is usually 0.2 parts by mass with respect to 100 parts by mass when the total mass part of the energy ray polymerizable oligomer and the energy ray polymerizable monomer is 100 parts by mass. It is selected in the range of 20 parts by mass or less.
このアクリル系エネルギー線硬化型粘着剤には、架橋剤が含有されていてもよい。この架橋剤としては特に制限はなく、従来、アクリル系粘着剤において架橋剤として慣用されている架橋剤の中から、任意の架橋剤を適宜選択して用いることができる。
このような架橋剤としては、例えば、ポリイソシアネート化合物、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、ジアルデヒド類、メチロールポリマー、アジリジン系化合物、金属キレート化合物、金属アルコキシド、及び金属塩などが挙げられる。
This acrylic energy ray-curable pressure-sensitive adhesive may contain a crosslinking agent. There is no restriction | limiting in particular as this crosslinking agent, Arbitrary crosslinking agents can be suitably selected and used from the crosslinking agents conventionally used as a crosslinking agent in an acrylic adhesive.
Examples of such a cross-linking agent include polyisocyanate compounds, epoxy resins, melamine resins, urea resins, dialdehydes, methylol polymers, aziridine compounds, metal chelate compounds, metal alkoxides, and metal salts.
アクリル系エネルギー線硬化型粘着剤に含有される架橋剤としては、ポリイソシアネート化合物が好ましい。
ここで、ポリイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート、及び脂環式ポリイソシアネートなどが挙げられる。
芳香族ポリイソシアネートとしては、例えば、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネートなどが挙げられる。
脂肪族ポリイソシアネートとしては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネートなどが挙げられる。
脂環式ポリイソシアネートとしては、例えば、イソホロンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネートなどが挙げられる。
また、ポリイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート、及び脂環式ポリイソシアネートなどのビウレット体、イソシアヌレート体、又は低分子活性水素含有化合物との反応物であるアダクト体などが挙げられる。低分子活性水素含有化合物としては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、及びヒマシ油などが挙げられる。
A polyisocyanate compound is preferable as the crosslinking agent contained in the acrylic energy ray-curable pressure-sensitive adhesive.
Here, as a polyisocyanate compound, aromatic polyisocyanate, aliphatic polyisocyanate, alicyclic polyisocyanate, etc. are mentioned, for example.
Examples of the aromatic polyisocyanate include tolylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, and xylylene diisocyanate.
Examples of the aliphatic polyisocyanate include hexamethylene diisocyanate.
Examples of the alicyclic polyisocyanate include isophorone diisocyanate and hydrogenated diphenylmethane diisocyanate.
In addition, as the polyisocyanate compound, for example, an adduct that is a reaction product with a biuret, isocyanurate, or low-molecular active hydrogen-containing compound such as aromatic polyisocyanate, aliphatic polyisocyanate, and alicyclic polyisocyanate. Etc. Examples of the low molecular active hydrogen-containing compound include ethylene glycol, propylene glycol, neopentyl glycol, trimethylolpropane, and castor oil.
架橋剤は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
架橋剤の使用量は、架橋剤の種類にもよるが、前記（メタ）アクリル酸エステル系共重合体１００質量部に対し、通常、０.０１質量部以上２０質量部以下であり、０.１質量部以上１０質量部以下であることが好ましい。架橋剤の使用量は、前述の性状を有する粘着剤層が得られるように選定される。
A crosslinking agent may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
Although the amount of the crosslinking agent used depends on the type of the crosslinking agent, it is usually 0.01 parts by mass or more and 20 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the (meth) acrylic ester copolymer. It is preferable that they are 1 mass part or more and 10 mass parts or less. The amount of the crosslinking agent used is selected so that a pressure-sensitive adhesive layer having the above-described properties can be obtained.
次に、前記［２］の粘着剤において、側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体としては、例えば、次のような方法で得ることができる。まず、前述の［１］の粘着剤において説明した（メタ）アクリル酸エステル系共重合体のポリマー鎖に、活性点を導入する。次に、この活性点とエネルギー線架橋性の官能基を有する化合物とを反応させて、当該（メタ）アクリル酸エステル系共重合体の側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を導入することにより、側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体を得ることができる。ここで、活性点としては、例えば、−ＣＯＯＨ基、−ＮＣＯ基、エポキシ基、−ＯＨ基、及び−ＮＨ２基からなる群から選択される少なくともいずれかの官能基が挙げられる。
（メタ）アクリル酸エステル系共重合体に前記活性点を導入するには、当該（メタ）アクリル酸エステル系共重合体を重合する際に、−ＣＯＯＨ基、−ＮＣＯ基、エポキシ基、−ＯＨ基、及び−ＮＨ２基からなる群から選択される少なくともいずれかの官能基を有する単量体を共存させればよい。
−ＣＯＯＨ基を導入する場合には、（メタ）アクリル酸などを用いればよい。
−ＮＣＯ基を導入する場合には、（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネートなどを用いればよい。
エポキシ基を導入する場合には、グリシジル（メタ）アクリレートなどを用いればよい。
−ＯＨ基を導入する場合には、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートなどを用いればよい。
−ＮＨ２基を導入する場合には、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミドなどを用いればよい。
Next, in the pressure-sensitive adhesive of [2], the (meth) acrylic ester copolymer having an energy ray crosslinkable functional group in the side chain can be obtained, for example, by the following method. First, active sites are introduced into the polymer chain of the (meth) acrylic acid ester copolymer described in the above-mentioned pressure-sensitive adhesive [1]. Next, by reacting this active site with a compound having an energy ray crosslinkable functional group, an energy ray crosslinkable functional group is introduced into the side chain of the (meth) acrylic acid ester copolymer. A (meth) acrylic acid ester copolymer having an energy ray crosslinkable functional group in the side chain can be obtained. Here, examples of the active site include at least one functional group selected from the group consisting of —COOH group, —NCO group, epoxy group, —OH group, and —NH 2 group.
In order to introduce the active site into the (meth) acrylic acid ester copolymer, when the (meth) acrylic acid ester copolymer is polymerized, -COOH group, -NCO group, epoxy group, -OH A monomer having at least one functional group selected from the group consisting of a group and a —NH 2 group may be present together.
When a —COOH group is introduced, (meth) acrylic acid or the like may be used.
When a -NCO group is introduced, (meth) acryloyloxyethyl isocyanate or the like may be used.
When introducing an epoxy group, glycidyl (meth) acrylate or the like may be used.
When introducing an —OH group, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate or the like may be used.
When introducing —NH 2 group, N-methyl (meth) acrylamide or the like may be used.
これら活性点と反応させるエネルギー線架橋性の官能基を有する化合物としては、例えば、重合性二重結合を有する化合物の中から、活性点の種類に応じて、適宜選択して用いることができる。重合性二重結合を有する化合物としては、例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、グリシジル（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールモノ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノ（メタ）アクリレート、及びトリメチロールプロパンモノ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
このようにして、側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体が得られる。
As a compound having an energy ray crosslinkable functional group to be reacted with these active sites, for example, a compound having a polymerizable double bond can be appropriately selected and used depending on the type of the active site. Examples of the compound having a polymerizable double bond include (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, glycidyl (meth) acrylate, pentaerythritol mono (meth) acrylate, dipentaerythritol mono (meth) acrylate, and trimethylolpropane mono ( And (meth) acrylate.
In this way, a (meth) acrylic acid ester copolymer having an energy ray crosslinkable functional group in the side chain is obtained.
次に、前記［３］の粘着剤における、活性水素をもつ官能基を少なくとも有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体は、例えば前述の［１］の粘着剤において説明した（メタ）アクリル酸エステルと、活性水素をもつ官能基を有する単量体とを用いて共重合させることにより得ることができる。
側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体としては、前記［２］の粘着剤において述べたものを用いることができる。
また、側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体の使用量は、前記活性水素をもつ官能基を少なくとも有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体１００質量部に対し、通常、５質量部以上１００質量部以下であり、１０質量部以上５０質量部以下の範囲であることが好ましい。
活性水素をもつ官能基と反応し得る架橋剤としては、前記［１］の粘着剤において述べた架橋剤を用いることができる。
活性水素をもつ官能基を少なくとも有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体と、側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を有する（メタ）アクリル酸エステル系共重合体と、活性水素をもつ官能基と反応し得る架橋剤とを含む組成物は、加熱架橋、及びエネルギー線架橋の両方が可能なので、耐熱性を飛躍的に向上させることができる。
Next, the (meth) acrylic acid ester copolymer having at least a functional group having active hydrogen in the pressure-sensitive adhesive of [3] is, for example, (meth) acrylic acid described in the pressure-sensitive adhesive of [1] above. It can be obtained by copolymerization using an ester and a monomer having a functional group having active hydrogen.
As the (meth) acrylic acid ester-based copolymer having an energy ray crosslinkable functional group in the side chain, those described in the pressure-sensitive adhesive of [2] can be used.
The amount of the (meth) acrylic acid ester copolymer having an energy ray crosslinkable functional group in the side chain is the (meth) acrylic acid ester copolymer 100 having at least the functional group having active hydrogen. It is usually 5 parts by mass or more and 100 parts by mass or less, and preferably 10 parts by mass or more and 50 parts by mass or less with respect to parts by mass.
As the crosslinking agent capable of reacting with a functional group having active hydrogen, the crosslinking agent described in the pressure-sensitive adhesive of [1] can be used.
A (meth) acrylate copolymer having at least a functional group having active hydrogen, a (meth) acrylate copolymer having an energy ray crosslinkable functional group in the side chain, and a function having active hydrogen Since the composition containing a crosslinking agent capable of reacting with a group can perform both heat crosslinking and energy ray crosslinking, the heat resistance can be drastically improved.
このアクリル系エネルギー線硬化型粘着剤には、本発明の目的が損なわれない範囲で、所望によりアクリル系粘着剤に通常使用されている各種添加剤を添加することができる。この添加剤としては、例えば、粘着付与剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、軟化剤、及び充填剤などが挙げられる。 To this acrylic energy ray-curable pressure-sensitive adhesive, various additives usually used in acrylic pressure-sensitive adhesives can be added as desired within a range that does not impair the object of the present invention. Examples of the additive include a tackifier, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a softener, and a filler.
粘着剤層１２がアクリル系エネルギー線硬化型粘着剤を含有する場合の厚さは、５μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以上８０μｍ以下がより好ましく、１０μｍ以上５０μｍ以下がさらに好ましい。粘着剤層１２の厚みが１００μｍ以下であれば、剥離時の粘着力の増加を抑制できる。剥離時の粘着力の増加を抑制することにより、粘着シート１０の剥離の際に、封止樹脂の剥離、若しくは破損、又は粘着剤層の一部が封止樹脂面に付着する等の問題の発生を抑制できる。一方、厚みが５μｍ以上であれば、封止工程において、粘着シート１０は、被加工物を充分な粘着力で保持することができる。
When the pressure-
（基材）
基材１１は、粘着剤層１２を支持する部材である。
基材１１は、第一面１１ａ、及び第一面１１ａとは反対側の第二面１１ｂを有する。本実施形態の粘着シート１０においては、第一面１１ａに粘着剤層１２が積層されている。
(Base material)
The
The
基材１１としては、エネルギー線を透過させることができれば、特に限定されない。基材１１の材質は、粘着剤層に含まれる粘着剤の硬化機構及び透過させるエネルギー線に応じて適宜選択することができる。
The
基材１１としては、例えば、合成樹脂フィルムなどのシート材料などを用いることができる。合成樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、及びポリイミドフィルム等が挙げられる。その他、基材１１としては、これらの架橋フィルムや積層フィルム等が挙げられる。
As the
基材１１は、ポリエステル系樹脂を含むことが好ましく、ポリエステル系樹脂を主成分とする材料からなることがより好ましい。ポリエステル系樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリブチレンナフタレート樹脂、またはこれらの樹脂の共重合樹脂からなる群から選択されるいずれかの樹脂であることが好ましく、ポリエチレンテレフタレート樹脂がより好ましい。
基材１１としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、及びポリエチレンナフタレートフィルムが好ましく、ポリエチレンテレフタレートフィルムがより好ましい。
The
As the
基材１１と粘着剤層１２との密着性を高めるために、第一面１１ａは、プライマー処理、コロナ処理、及びプラズマ処理等の少なくともいずれかの表面処理が施されてもよい。基材１１の第一面１１ａには、粘着剤が塗布されて粘着処理が施されていてもよい。基材の粘着処理に用いられる粘着剤としては、例えば、アクリル系、ゴム系、シリコーン系、及びウレタン系等の粘着剤が挙げられる。
In order to improve the adhesion between the
基材１１の厚さは、１０μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましく、１５μｍ以上３００μｍ以下であることがより好ましく、２０μｍ以上２５０μｍ以下であることがさらに好ましい。
The thickness of the
基材１１は、ガラス転移温度５０℃以上である樹脂フィルムであることが好ましい。基材１１のガラス転移温度が５０℃以上であれば、封止樹脂を熱硬化させる工程でも、形状を維持できる。基材１１のガラス転移温度の上限は、封止樹脂を熱硬化させる工程で形状を維持できれば特に限定されないが、通常、５００℃以下である。ガラス転移温度は、ＤＭＡ法（引っ張り法）において、昇温速度５℃／ｍｉｎ、サンプル幅５ｍｍ、チャック間距離２０ｍｍ、周波数１０Ｈｚの条件において確認される損失正接（ｔａｎδ）のピークを示す温度を意味する。
The
（剥離シート）
剥離シートＲＬとしては、特に限定されない。例えば、取り扱い易さの観点から、剥離シートＲＬは、剥離基材と、剥離基材の上に剥離剤が塗布されて形成された剥離剤層とを備えることが好ましい。また、剥離シートＲＬは、剥離基材の片面のみに剥離剤層を備えていてもよいし、剥離基材の両面に剥離剤層を備えていてもよい。剥離基材としては、例えば、紙基材、この紙基材にポリエチレン等の熱可塑性樹脂をラミネートしたラミネート紙、並びにプラスチックフィルム等が挙げられる。紙基材としては、グラシン紙、コート紙、及びキャストコート紙等が挙げられる。プラスチックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、並びにポリプロピレンやポリエチレン等のポリオレフィンフィルム等が挙げられる。剥離剤としては、例えば、オレフィン系樹脂、ゴム系エラストマー（例えば、ブタジエン系樹脂、イソプレン系樹脂等）、長鎖アルキル系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂、及びシリコーン系樹脂が挙げられる。
(Peeling sheet)
The release sheet RL is not particularly limited. For example, from the viewpoint of ease of handling, the release sheet RL preferably includes a release substrate and a release agent layer formed by applying a release agent on the release substrate. Moreover, the release sheet RL may include a release agent layer only on one side of the release substrate, or may include a release agent layer on both sides of the release substrate. Examples of the release substrate include a paper substrate, a laminated paper obtained by laminating a thermoplastic resin such as polyethylene on the paper substrate, and a plastic film. Examples of the paper substrate include glassine paper, coated paper, and cast coated paper. Examples of the plastic film include polyester films such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, and polyethylene naphthalate, and polyolefin films such as polypropylene and polyethylene. Examples of the release agent include olefin resins, rubber elastomers (eg, butadiene resins, isoprene resins, etc.), long chain alkyl resins, alkyd resins, fluorine resins, and silicone resins.
剥離シートＲＬの厚さは、特に限定されない。通常、２０μｍ以上２００μｍ以下であり、２５μｍ以上１５０μｍ以下であることが好ましい。
剥離剤層の厚さは、特に限定されない。剥離剤を含む溶液を塗布して剥離剤層を形成する場合、剥離剤層の厚さは、０．０１μｍ以上２．０μｍ以下であることが好ましく、０．０３μｍ以上１．０μｍ以下であることがより好ましい。
剥離基材としてプラスチックフィルムを用いる場合、当該プラスチックフィルムの厚さは、３μｍ以上５０μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以上４０μｍ以下であることがより好ましい。
The thickness of the release sheet RL is not particularly limited. Usually, it is 20 μm or more and 200 μm or less, and preferably 25 μm or more and 150 μm or less.
The thickness of the release agent layer is not particularly limited. When a release agent layer is formed by applying a solution containing a release agent, the thickness of the release agent layer is preferably 0.01 μm or more and 2.0 μm or less, and 0.03 μm or more and 1.0 μm or less. Is more preferable.
When a plastic film is used as the release substrate, the thickness of the plastic film is preferably 3 μm or more and 50 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 40 μm or less.
（粘着シートの製造方法）
粘着シート１０の製造方法は、特に限定されない。
例えば、粘着シート１０は、次のような工程を経て製造される。まず、基材１１の第一面１１ａの上に粘着剤を塗布し、塗膜を形成する。次に、この塗膜を乾燥させて、粘着剤層１２を形成する。その後、粘着剤層１２を覆うように剥離シートＲＬを貼着する。
また、粘着シート１０の別の製造方法としては、次のような工程を経て製造される。まず、剥離シートＲＬの上に粘着剤を塗布し、塗膜を形成する。次に、塗膜を乾燥させて、粘着剤層１２を形成し、この粘着剤層１２に基材１１の第一面１１ａを貼り合わせる。
(Method for producing adhesive sheet)
The manufacturing method of the
For example, the
Moreover, as another manufacturing method of the
粘着剤組成物を塗布して粘着剤層１２を形成する場合、有機溶媒で粘着剤組成物を希釈してコーティング液を調製して用いることが好ましい。有機溶媒としては、例えば、トルエン、酢酸エチル、及びメチルエチルケトン等が挙げられる。コーティング液を塗布する方法は、特に限定されない。塗布方法としては、例えば、スピンコート法、スプレーコート法、バーコート法、ナイフコート法、ロールナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、及びグラビアコート法等が挙げられる。
有機溶媒や低沸点成分が粘着剤層１２に残留することを防ぐため、コーティング液を基材１１や剥離シートＲＬに塗布した後、塗膜を加熱して乾燥させることが好ましい。また、粘着剤組成物に架橋剤が配合されている場合には、架橋反応を進行させて凝集力を向上させるためにも、塗膜を加熱することが好ましい。
When the pressure-sensitive adhesive composition is applied to form the pressure-
In order to prevent the organic solvent and low-boiling components from remaining in the pressure-
（粘着シートの使用）
粘着シート１０は、半導体素子を封止する際に使用される。粘着シート１０は、金属製リードフレームに実装されておらず粘着シート１０上に貼着された状態の半導体素子、具体的には粘着剤層１２に貼着された状態の半導体素子を封止する際に使用されることが好ましい。金属製リードフレームを用いずに半導体素子をパッケージングする形態としては、パネルスケールパッケージ（ＰＳＰ）やウエハレベルパッケージ（Ｗａｆｅｒ Ｌｅｖｅｌ Ｐａｃｋａｇｅ；ＷＬＰ）が挙げられる。
粘着シート１０は、粘着シート１０を半導体素子の回路面に貼付する工程と、前記粘着シートに貼付された前記半導体素子を封止樹脂で覆う工程と、前記封止樹脂を硬化させる工程と、粘着シート１０にエネルギー線を照射する工程と、粘着シート１０を前記半導体素子から剥離する工程と、を有する半導体装置製造プロセスにおいて使用されることが好ましい。
(Use of adhesive sheet)
The pressure-
The
（半導体装置の製造方法）
本実施形態に係る粘着シート１０を用いて半導体装置を製造する方法を説明する。
図２には、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明する概略図が示されている。
ここでは、粘着シート１０の粘着剤層１２が、エネルギー線硬化型粘着剤としての紫外線硬化型粘着剤を含んでいる態様を例に挙げて説明する。
(Method for manufacturing semiconductor device)
A method for manufacturing a semiconductor device using the pressure-
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a method for manufacturing a semiconductor device according to the present embodiment.
Here, a mode in which the pressure-
本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、粘着シート１０を半導体素子としての半導体チップＣＰの回路面に貼付する工程（粘着シート貼付工程）、粘着シート１０に貼付された半導体チップＣＰを封止樹脂３０で覆う工程（封止工程）と、封止樹脂３０を熱硬化させる工程（熱硬化工程）と、粘着シートにエネルギー線としての紫外線を照射する工程と（紫外線照射工程）と、紫外線照射後、粘着シート１０を剥離する工程（剥離工程）と、を実施する。
必要に応じて、粘着シート１０に複数の開口部２１が形成された枠部材２０を貼着させる工程（枠部材貼着工程）や熱硬化工程の後に、封止樹脂３０で封止された封止体５０に補強部材４０を貼着させる工程（補強部材貼着工程）等を実施してもよい。以下に各工程について説明する。
The manufacturing method of the semiconductor device according to the present embodiment includes a step of sticking the
Sealing sealed with the sealing
・枠部材貼着工程
図２（Ａ）には、粘着シート１０の粘着剤層１２に枠部材２０を貼着させる工程を説明する概略図が示されている。なお、粘着シート１０に剥離シートＲＬが貼着されている場合には、予め剥離シートＲＬを剥離する。
本実施形態に係る枠部材２０は、格子状に形成され、複数の開口部２１を有する。枠部材２０は、耐熱性を有する材質で形成されていることが好ましい。枠部材２０の材質としては、例えば、銅やステンレス等の金属や、ポリイミド樹脂やガラスエポキシ樹脂等の耐熱性樹脂などが挙げられる。
開口部２１は、枠部材２０の表裏面を貫通する孔である。開口部２１の形状は、半導体チップＣＰを枠内に収容可能であれば、特に限定されない。開口部２１の孔の深さも、半導体チップＣＰを収容可能であれば、特に限定されない。
半導体装置の製造方法において、枠部材貼着工程を実施することが好ましい。粘着シート１０の粘着剤層１２に枠部材２０を貼着させることで、熱硬化工程における封止樹脂の硬化収縮に起因して発生する半導体パッケージの反りを抑制できる。
-Frame member sticking process The schematic diagram explaining the process of sticking the
The
The
In the method for manufacturing a semiconductor device, it is preferable to perform a frame member attaching step. By sticking the
・粘着シート貼付工程
図２（Ｂ）には、半導体チップＣＰの回路面に粘着シート１０を貼付する工程を説明する概略図が示されている。
本工程では、前述のように粘着シート１０の粘着剤層１２に枠部材２０が貼着されているため、複数の開口部２１それぞれにおいて開口部２１の形状に応じて粘着剤層１２が露出する。粘着シート貼付工程では、半導体チップＣＰの回路面が各開口部２１の粘着剤層１２で覆われるように、粘着シート１０を貼付する。本工程により、複数の半導体チップＣＰは、粘着シート１０によって仮固定された状態で支持される。
-Adhesive sheet sticking process The schematic explaining the process of sticking the
In this step, since the
・封止工程及び熱硬化工程
図２（Ｃ）には、粘着シート１０に貼着された半導体チップＣＰ及び枠部材２０を封止する工程を説明する概略図が示されている。
封止樹脂３０の材質は、熱硬化性樹脂であり、例えば、エポキシ樹脂などが挙げられる。封止樹脂３０として用いられるエポキシ樹脂には、例えば、フェノール樹脂、エラストマー、無機充填材、及び硬化促進剤などが含まれていてもよい。
封止樹脂３０で半導体チップＣＰ及び枠部材２０を覆う方法は、特に限定されない。
本実施形態では、シート状の封止樹脂３０を用いた態様を例に挙げて説明する。シート状の封止樹脂３０を半導体チップＣＰ及び枠部材２０を覆うように載置し、封止樹脂３０を加熱硬化させて、封止樹脂層３０Ａを形成する。このようにして、半導体チップＣＰ及び枠部材２０が封止樹脂層３０Ａに埋め込まれる。シート状の封止樹脂３０を用いる場合には、真空ラミネート法により半導体チップＣＰ及び枠部材２０を封止することが好ましい。この真空ラミネート法により、半導体チップＣＰと枠部材２０との間に空隙が生じることを防止できる。真空ラミネート法による加熱の温度条件範囲は、例えば、８０℃以上１２０℃以下である。
-Sealing process and thermosetting process In FIG.2 (C), the schematic explaining the process of sealing semiconductor chip CP stuck to the
The material of the sealing
The method for covering the semiconductor chip CP and the
In the present embodiment, an embodiment using a sheet-
封止工程では、シート状の封止樹脂３０がポリエチレンテレフタレート等の樹脂シートに支持された積層シートを用いてもよい。この場合、半導体チップＣＰ及び枠部材２０を覆うように積層シートを載置した後、樹脂シートを封止樹脂３０から剥離して、封止樹脂３０を加熱硬化させてもよい。このような積層シートとしては、例えば、ＡＢＦフィルム（味の素ファインテクノ株式会社製）が挙げられる。
In the sealing step, a laminated sheet in which the sheet-shaped sealing
半導体チップＣＰ及び枠部材２０を封止する方法としては、トランスファーモールド法を採用してもよい。この場合、例えば、封止装置の金型の内部に、粘着シート１０に貼着された半導体チップＣＰ及び枠部材２０を収容する。この金型の内部に流動性の樹脂材料を注入し、樹脂材料を硬化させる。トランスファーモールド法の場合、加えられる熱及び圧力は、特に限定されないが、通常の条件の一例として、１５０℃以上の温度と、４ＭＰａ以上１５ＭＰａ以下の圧力を３０秒以上３００秒以下の間維持して行われた後、圧力を解き、封止装置から取り出してオーブン内に静置して、１５０℃以上の温度環境の下、２時間以上１５時間以下、維持することで行われる。
As a method for sealing the semiconductor chip CP and the
前述の封止工程においてシート状の封止樹脂３０を用いる場合、封止樹脂３０を熱硬化させる工程（熱硬化工程）の前に、第一加熱プレス工程を実施してもよい。第一加熱プレス工程においては、封止樹脂３０で被覆された半導体チップＣＰ及び枠部材２０付き粘着シート１０を両面から板状部材で挟み込み、所定の温度、時間、及び圧力の条件下でプレスする。第一加熱プレス工程を実施することにより、封止樹脂３０が半導体チップＣＰと枠部材２０との空隙にも充填され易くなる。また、加熱プレス工程を実施することにより、封止樹脂３０により構成される封止樹脂層３０Ａの凹凸を平坦化することもできる。板状部材としては、例えば、ステンレス等の金属板を用いることができる。
When using the sheet-
熱硬化工程の後、粘着シート１０を剥離すると、封止樹脂３０で封止された半導体チップＣＰ及び枠部材２０が得られる。以下、これを封止体５０と称する場合がある。
When the pressure-
・補強部材貼着工程
図２（Ｄ）には、封止体５０に補強部材４０を貼着させる工程を説明する概略図が示されている。
粘着シート１０を剥離した後、露出した半導体チップＣＰの回路面に対して再配線層を形成する工程やバンプ付け工程が実施される。このような再配線工程やバンプ付け工程における封止体５０の取り扱い性を向上させるため、必要に応じて、封止体５０に補強部材４０を貼着させる工程（補強部材貼着工程）を実施してもよい。補強部材貼着工程を実施する場合には、粘着シート１０を剥離する前に実施することが好ましい。図２（Ｄ）に示すように、封止体５０が粘着シート１０及び補強部材４０によって挟まれた状態で支持されている。
-Reinforcing member sticking process The schematic explaining the process of sticking the reinforcing
After peeling off the
本実施形態では、補強部材４０は、耐熱性の補強板４１と、耐熱性の接着層４２とを備える。補強板４１としては、例えば、ガラスエポキシ樹脂等の耐熱性樹脂を含む板状の部材が挙げられる。接着層４２は、補強板４１と封止体５０とを接着させる。接着層４２としては、補強板４１及び封止樹脂層３０Ａの材質に応じて適宜選択される。
In the present embodiment, the reinforcing
補強部材貼着工程では、封止体５０の封止樹脂層３０Ａと補強板４１との間に接着層４２を挟み込み、さらに補強板４１側及び粘着シート１０側からそれぞれ板状部材で挟み込み、所定の温度、時間、及び圧力の条件下でプレスする第二加熱プレス工程を実施することが好ましい。第二加熱プレス工程により、封止体５０と補強部材４０とを仮固定する。第二加熱プレス工程の後に、接着層４２を硬化させるために、仮固定された封止体５０と補強部材４０とを所定の温度及び時間の条件下で加熱することが好ましい。加熱硬化の条件は、接着層４２の材質に応じて適宜設定され、例えば、１８５℃、８０分間、及び２．４ＭＰａの条件である。第二加熱プレス工程においても、板状部材としては、例えば、ステンレス等の金属板を用いることができる。
In the reinforcing member sticking step, the
・紫外線照射工程
図２（Ｆ）には、粘着シート１０に紫外線を照射する工程を説明する概略図が示されている。
本実施形態では、粘着シート１０及び補強部材４０で挟まれた状態の封止体５０に対し、粘着シート１０の基材１１側から紫外線を照射する。基材１１は紫外線透過可能な材質である。本工程において紫外線を照射することにより、粘着剤層１２を硬化させて粘着力を低下させ、後述の剥離工程において、粘着シート１０の剥離を容易にすることができる。
-Ultraviolet irradiation process The schematic explaining the process of irradiating the
In the present embodiment, the sealing
紫外線を発生させる方式は、特に限定されず、従来公知の発生方式を採用できる。紫外線の発生方式としては、例えば、放電ランプ方式（アークランプ）、フラッシュ方式、及びレーザー方式等が挙げられる。これらの紫外線の発生方式の内、工業的な生産性の観点から、放電ランプ方式が好ましい。さらに、放電ランプ方式の中でも、紫外線の照射効率の観点から、高圧水銀ランプやメタルハライドランプを使用した照射方法が特に好ましい。 The method for generating ultraviolet rays is not particularly limited, and a conventionally known generation method can be adopted. Examples of the method for generating ultraviolet rays include a discharge lamp method (arc lamp), a flash method, and a laser method. Of these ultraviolet ray generation methods, the discharge lamp method is preferred from the viewpoint of industrial productivity. Further, among the discharge lamp methods, an irradiation method using a high-pressure mercury lamp or a metal halide lamp is particularly preferable from the viewpoint of ultraviolet irradiation efficiency.
紫外線照射工程において照射する紫外線の波長は、特に限定されない。なお、一般的な光重合に用いられる波長及び前述の紫外線発生方式にて使用する紫外線発生源の波長を考慮すると、紫外線の波長は、２５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下の範囲内であることが好ましい。 The wavelength of the ultraviolet rays irradiated in the ultraviolet irradiation step is not particularly limited. In consideration of the wavelength used for general photopolymerization and the wavelength of the ultraviolet ray generation source used in the aforementioned ultraviolet ray generation method, the wavelength of the ultraviolet ray is preferably in the range of 250 nm to 400 nm.
紫外線照射工程において照射する紫外線の照射量は、光重合開始剤の効果を生じさせることができれば特に限定されない。紫外線の照射量としては、例えば、１０ｍＪ／ｃｍ２以上１０００ｍＪ／ｃｍ２以下程度が好ましく、５０ｍＪ／ｃｍ２以上６００ｍＪ／ｃｍ２以下であることがより好ましい。紫外線の照射量が１０ｍＪ／ｃｍ２以上であれば、粘着剤層１２の硬化不良を防止できる。紫外線の照射量が１０００ｍＪ／ｃｍ２以下であれば、粘着剤層１２が硬化し過ぎることを防止し、粘着剤層１２の割れを防止できる。
The irradiation amount of the ultraviolet rays irradiated in the ultraviolet irradiation step is not particularly limited as long as the effect of the photopolymerization initiator can be produced. The irradiation dose of ultraviolet rays, for example, preferably the
・剥離工程
図２（Ｅ）には、粘着シート１０を剥離する工程を説明する概略図が示されている。
本実施形態では、粘着シート１０の基材１１が屈曲可能である場合、粘着シート１０を屈曲させながら、枠部材２０、半導体チップＣＰ及び封止樹脂層３０Ａから容易に剥離することができる。剥離角度は、特に限定されないが、９０度以上の剥離角度で粘着シート１０を剥離することが好ましい。剥離角度が９０度以上であれば、粘着シート１０を、枠部材２０、半導体チップＣＰ及び封止樹脂層３０Ａから容易に剥離することができる。剥離角度は、９０度以上１８０度以下が好ましく、１３５度以上１８０度以下がより好ましい。このように粘着シート１０を屈曲させながら剥離を行うことで、枠部材２０、半導体チップＣＰ及び封止樹脂層３０Ａにかかる負荷を低減しながらの剥離することができ、粘着シート１０の剥離による、半導体チップＣＰ及び封止樹脂層３０Ａの損傷を抑制することができる。粘着シート１０を剥離した後、前述の再配線工程やバンプ付け工程等が実施される。粘着シート１０の剥離後、再配線工程やバンプ付け工程等の実施前に、必要に応じて、前述の補強部材貼着工程を実施してもよい。
-Peeling process The schematic explaining the process of peeling the
In this embodiment, when the
剥離工程を実施する時点において、エネルギー線を照射した後（本実施形態では、紫外線照射後）であって２３℃における粘着剤層１２の引張弾性率Ｅ’が、１．０×１０７Ｐａ以上であることが好ましく、１．０×１０７Ｐａ以上１．０×１０９Ｐａ以下であることがより好ましく、１．０×１０７Ｐａ以上５．０×１０８Ｐａ以下であることがさらに好ましい。剥離工程を実施する時点における当該引張弾性率Ｅ’が、当該範囲内であれば、エネルギー線照射前に比べて粘着剤層１２の粘着力が低下しているので、粘着シート１０を容易に剥離することができる。
At the time of carrying out the peeling step, after the irradiation with energy rays (in this embodiment, after the ultraviolet irradiation), the tensile elastic modulus E ′ of the pressure-
補強部材４０を貼着させた場合、再配線工程やバンプ付け工程等が実施された後、補強部材４０による支持が不要になった段階で、補強部材４０を封止体５０から剥離する。
その後、封止体５０を半導体チップＣＰ単位で個片化する（個片化工程）。封止体５０を個片化させる方法は特に限定されない。例えば、半導体ウエハをダイシングする際に使用する方法と同様の方法で個片化させることができる。封止体５０を個片化させる工程は、封止体５０をダイシングシート等に貼着させた状態で実施してもよい。封止体５０を個片化することで、半導体チップＣＰ単位の半導体パッケージが製造され、この半導体パッケージは、実装工程においてプリント配線基板等に実装される。
When the reinforcing
Thereafter, the sealing
本実施形態に係る粘着シート１０によれば、エネルギー線硬化型粘着剤を含む粘着剤層１２を備えるので、半導体装置の製造方法において、樹脂封止の際にはチップを確実に保持し、封止工程後の剥離工程の際には、糊残り少なく、半導体素子のチップ面から容易に剥離することができる。ゆえに、粘着シート１０によれば、半導体装置の製造方法における一連の工程で支障を来たし難い。
According to the pressure-
〔実施形態の変形〕
本発明は、前記実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形や改良等は、本発明に含まれる。なお、以下の説明では、前記実施形態で説明した部材等と同一であれば、同一符号を付してその説明を省略または簡略化する。
[Modification of Embodiment]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and modifications and improvements as long as the object of the present invention can be achieved are included in the present invention. In the following description, if it is the same as the member described in the above embodiment, the same reference numeral is given and the description is omitted or simplified.
前記実施形態では、半導体装置製造方法の説明において、補強部材貼着工程と剥離工程との間に紫外線照射工程を実施する態様を例に挙げて説明したが、本発明はこのような態様に限定されない。紫外線照射工程は、粘着シートを半導体素子（半導体チップ）に貼付した後から、半導体素子から粘着シートを剥離する工程までの間であれば、どの段階で実施してもよい。 In the above-described embodiment, in the description of the semiconductor device manufacturing method, the embodiment in which the ultraviolet irradiation step is performed between the reinforcing member attaching step and the peeling step has been described as an example. However, the present invention is limited to such an embodiment. Not. The ultraviolet irradiation step may be performed at any stage as long as it is between the time when the pressure-sensitive adhesive sheet is attached to the semiconductor element (semiconductor chip) and the time when the pressure-sensitive adhesive sheet is peeled from the semiconductor element.
例えば、半導体装置の製造方法の別の態様においては、紫外線照射工程（エネルギー線照射工程）を、熱硬化工程を実施する前までに実施してもよい。また、半導体装置の製造方法の別の態様においては、封止工程を実施する前までに紫外線照射工程（エネルギー線照射工程）を実施してもよい。封止工程を実施する時点、又は熱硬化工程を実施する時点において、エネルギー線を照射した後（例えば、紫外線照射後）であって２３℃における粘着剤層１２の引張弾性率Ｅ’が、１．０×１０７Ｐａ以上であることが好ましく、１．０×１０７Ｐａ以上１．０×１０９Ｐａ以下であることがより好ましく、１．０×１０７Ｐａ以上５．０×１０８Ｐａ以下であることがさらに好ましい。
封止工程を実施する時点、又は熱硬化工程を実施する時点における当該引張弾性率Ｅ’が、当該範囲内であれば、封止樹脂が熱硬化する時の熱で粘着剤層が軟化しすぎず、半導体チップを粘着シートにて確実に保持し、封止樹脂がチップ裏面に回り込んだりすることを抑制できる。
For example, in another aspect of the method for manufacturing a semiconductor device, the ultraviolet irradiation step (energy ray irradiation step) may be performed before the thermosetting step. In another aspect of the semiconductor device manufacturing method, the ultraviolet irradiation step (energy ray irradiation step) may be performed before the sealing step. At the time of carrying out the sealing step or the time of carrying out the thermosetting step, the tensile elastic modulus E ′ of the pressure-
If the tensile elastic modulus E ′ at the time of carrying out the sealing step or the time of carrying out the thermosetting step is within the range, the pressure-sensitive adhesive layer is too soft due to the heat when the sealing resin is thermoset. Therefore, the semiconductor chip can be securely held by the adhesive sheet, and the encapsulating resin can be prevented from wrapping around the back surface of the chip.
前記実施形態では、エネルギー線硬化型粘着剤として紫外線の照射により硬化する態様を例に挙げて説明したが、本発明はこのような態様に限定されない。エネルギー線硬化型粘着剤として、電子線の照射により硬化する粘着剤などを用いることができる。
また、紫外線とは異なるエネルギー線により硬化する粘着剤の場合においても、エネルギー線を照射する前の２３℃における粘着剤層の貯蔵弾性率Ｇ’や、照射後の２３℃における粘着剤層の引張弾性率Ｅ’も、前記実施形態で説明した範囲を満たすことが好ましい。
In the said embodiment, although the aspect hardened | cured by irradiation of an ultraviolet-ray was mentioned as an example as an energy-beam curable adhesive, this invention is not limited to such an aspect. As the energy ray-curable pressure-sensitive adhesive, a pressure-sensitive adhesive that is cured by irradiation with an electron beam can be used.
In the case of an adhesive that is cured by energy rays different from ultraviolet rays, the storage elastic modulus G ′ of the adhesive layer at 23 ° C. before irradiation with energy rays and the tensile strength of the adhesive layer at 23 ° C. after irradiation. It is preferable that the elastic modulus E ′ also satisfies the range described in the above embodiment.
前記実施形態では、粘着剤層に紫外線硬化型粘着剤を含むため、紫外線を透過可能な材質からなる基材を例に挙げて説明したが、本発明はこのような態様に限定されない。基材の材質は、照射されるエネルギー線が粘着剤層に到達することができれば特に限定されない。 In the said embodiment, since the ultraviolet curable adhesive was included in the adhesive layer, it demonstrated taking the case of the base material which consists of a material which can permeate | transmit an ultraviolet-ray, However, This invention is not limited to such an aspect. The material of the base material is not particularly limited as long as the irradiated energy rays can reach the pressure-sensitive adhesive layer.
前記実施形態では、枠部材貼着工程、及び補強部材貼着工程を含んで実施する半導体装置の製造方法の例を挙げて説明したが、本発明はこのような態様に限定されない。枠部材貼着工程及び補強部材貼着工程を含まず、粘着シート貼付工程、封止工程、熱硬化工程、紫外線照射工程、及び剥離工程を有する半導体装置の製造方法であってもよい。 Although the said embodiment gave and demonstrated the example of the manufacturing method of the semiconductor device implemented including a frame member sticking process and a reinforcement member sticking process, this invention is not limited to such an aspect. The manufacturing method of the semiconductor device which does not include a frame member sticking process and a reinforcing member sticking process, and has a pressure sensitive adhesive sheet sticking process, a sealing process, a thermosetting process, an ultraviolet irradiation process, and a peeling process may be used.
また、前記実施形態では、紫外線照射工程を熱硬化工程の後に行っているが、本発明はこのような態様に限定されない。紫外線照射工程は、剥離工程の前であれば任意の段階で行うことができる。
半導体装置の製造方法の別の態様としては、例えば、粘着シート貼付工程、封止工程、エネルギー線照射工程（例えば、紫外線照射工程）、熱硬化工程、及び剥離工程の順に行うことも好ましい。半導体装置の製造方法のさらに別の態様としては、粘着シート貼付工程、エネルギー線照射工程（例えば、紫外線照射工程）、封止工程、熱硬化工程、及び剥離工程の順に行うことも好ましい。これらの態様においても、さらに、枠部材貼着工程及び補強部材貼着工程を含んでいてもよいし、含んでいなくてもよい。
エネルギー線照射工程を熱硬化工程の前に行う場合、硬化前の粘着剤層１２が熱硬化工程の熱で高温に曝されることがないため、粘着剤層１２の一部がパッケージ裏面に付着するのを防止しやすくなるため、より好ましい。
Moreover, in the said embodiment, although an ultraviolet irradiation process is performed after a thermosetting process, this invention is not limited to such an aspect. The ultraviolet irradiation step can be performed at any stage as long as it is before the peeling step.
As another aspect of the manufacturing method of a semiconductor device, it is also preferable to perform in order of an adhesive sheet sticking process, a sealing process, an energy ray irradiation process (for example, ultraviolet irradiation process), a thermosetting process, and a peeling process, for example. As still another aspect of the method for manufacturing a semiconductor device, it is also preferable to perform an adhesive sheet attaching step, an energy ray irradiation step (for example, an ultraviolet ray irradiation step), a sealing step, a thermosetting step, and a peeling step in this order. Also in these aspects, the frame member sticking process and the reinforcing member sticking process may or may not be included.
When the energy ray irradiation step is performed before the heat curing step, the pressure-
前記実施形態では、粘着シート１０の粘着剤層１２が剥離シートＲＬによって覆われている態様を例に挙げて説明したが、本発明は、このような態様に限定されない。
また、粘着シート１０は、枚葉であってもよく、複数枚の粘着シート１０が積層された状態で提供されてもよい。この場合、例えば、粘着剤層１２は、積層される別の粘着シートの基材１１によって覆われていてもよい。
また、粘着シート１０は、長尺状のシートであってもよく、ロール状に巻き取られた状態で提供されてもよい。ロール状に巻き取られた粘着シート１０は、ロールから繰り出されて所望のサイズに切断するなどして使用することができる。
In the said embodiment, although the aspect in which the
Moreover, the
Moreover, the
前記実施形態では、封止樹脂３０の材質として熱硬化性樹脂である場合を例に挙げて説明したが、本発明はこのような態様に限定されない。例えば、封止樹脂３０は、紫外線等のエネルギー線で硬化するエネルギー線硬化性樹脂でもよい。
In the said embodiment, although the case where it was a thermosetting resin as an example was demonstrated and demonstrated as a material of the sealing
以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。本発明はこれら実施例に何ら限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. The present invention is not limited to these examples.
〔評価方法〕
粘着シートの評価は、以下に示す方法に従って行った。
〔Evaluation method〕
Evaluation of the pressure-sensitive adhesive sheet was performed according to the following method.
（貯蔵弾性率）
実施例または比較例にて使用する粘着剤を、剥離シート上に製膜し、厚さ３ｍｍ程度の厚さまで積層して粘着剤層を形成し、積層体を得た。この積層体を直径８ｍｍのサイズに加工し、試験片を得た。粘弾性測定装置（Ｒｈｅｏｍｅｔｒｉｃｓ社製、装置名「ＤＹＮＡＭＩＣ ＡＮＡＬＹＺＥＲ ＲＤＡII」）を用いて、得られた試験片（厚さ３ｍｍ程度、直径８ｍｍ）の紫外線硬化前の粘着剤層の貯蔵弾性率Ｇ’を、測定周波数１Ｈｚ及び２３℃の環境下で、ねじりせん断法により測定した。
(Storage modulus)
The pressure-sensitive adhesive used in Examples or Comparative Examples was formed on a release sheet and laminated to a thickness of about 3 mm to form a pressure-sensitive adhesive layer to obtain a laminate. This laminate was processed into a size of 8 mm in diameter to obtain a test piece. Using a viscoelasticity measuring device (manufactured by Rheometrics, device name “DYNAMIC ANALYZER RDAII”), the storage elastic modulus G ′ of the adhesive layer of the obtained test piece (thickness of about 3 mm, diameter 8 mm) before UV curing is obtained. The measurement was performed by the torsional shear method in an environment with a measurement frequency of 1 Hz and 23 ° C.
（引張弾性率）
実施例または比較例にて使用する粘着剤を、剥離シート上に製膜し、厚さ３００μｍ程度の厚さまで積層して粘着剤層を形成し、積層体を得た。この積層体を幅４ｍｍ、長さ（チャック間距離）３０ｍｍのサイズに加工し、試験片を得た。
試験片に紫外線を照射して紫外線硬化した粘着剤層を作製し、紫外線硬化した粘着剤層について、動的粘弾性測定装置（（株）オリエンテック製、装置名「ＲＨＥＯＶＩＢＲＯＮ ＤＤＶ−ＩＩ−ＥＰ」）を用いて、測定周波数１１Ｈｚで２３℃における引張弾性率Ｅ’を測定した。紫外線の照射装置としてリンテック（株）製の装置名：ＲＡＤ−２０００／ｍ８を用いた。紫外線の照射条件としては、照度を２２０ｍＷ／ｃｍ２とし、光量を１６０ｍＪ／ｃｍ２とした。
(Tensile modulus)
The pressure-sensitive adhesive used in Examples or Comparative Examples was formed on a release sheet and laminated to a thickness of about 300 μm to form a pressure-sensitive adhesive layer to obtain a laminate. This laminate was processed into a size of 4 mm in width and 30 mm in length (distance between chucks) to obtain a test piece.
A UV-cured pressure-sensitive adhesive layer was produced by irradiating the test piece with ultraviolet light. A dynamic viscoelasticity measuring device (manufactured by Orientec Co., Ltd., device name “RHEOVIBRON DDV-II-EP”) was prepared. ) Was used to measure the tensile elastic modulus E ′ at 23 ° C. at a measurement frequency of 11 Hz. A device name: RAD-2000 / m8 manufactured by Lintec Corporation was used as an ultraviolet irradiation device. As irradiation conditions of ultraviolet rays, the illuminance was 220 mW / cm 2 and the light intensity was 160 mJ / cm 2 .
（破断伸度）
実施例または比較例にて使用する粘着剤を、剥離シート上に製膜し、厚さ４０μｍの厚さまで積層して粘着剤層を形成し、積層体を得た。この積層体の粘着剤層に紫外線を照射して、紫外線硬化した粘着剤層を作製した。紫外線の照射装置としてリンテック（株）製の装置名：ＲＡＤ−２０００／ｍ８を用いた。紫外線の照射条件としては、照度を２２０ｍＷ／ｃｍ２とし、光量を１６０ｍＪ／ｃｍ２とした。紫外線硬化した粘着剤層について、ＪＩＳ Ｋ７１６１に基づき引張試験を行って、破断伸度を測定した。
(Elongation at break)
The pressure-sensitive adhesive used in Examples or Comparative Examples was formed on a release sheet and laminated to a thickness of 40 μm to form a pressure-sensitive adhesive layer to obtain a laminate. The pressure-sensitive adhesive layer of this laminate was irradiated with ultraviolet rays to produce a UV-cured pressure-sensitive adhesive layer. A device name: RAD-2000 / m8 manufactured by Lintec Corporation was used as an ultraviolet irradiation device. As irradiation conditions of ultraviolet rays, the illuminance was 220 mW / cm 2 and the light intensity was 160 mJ / cm 2 . The UV-cured pressure-sensitive adhesive layer was subjected to a tensile test based on JIS K7161, and the elongation at break was measured.
（ＣＳＰ工程適性評価）
５ｍｍ×５ｍｍサイズのシリコンウェハーチップを、実施例または比較例に係る粘着シートの粘着剤層上の所定位置に配置した。次いで、シート状の封止樹脂を、シリコンウェハーチップを覆うように載置し、加熱硬化させて、封止樹脂層を形成した。その後、加熱により樹脂の硬化を促進（ポストモールドキュア）させ、シリコンウェハーチップを封止樹脂で封止した。次いで、粘着シートの基材側より紫外線を照射した。紫外線の照射装置としては前述と同様の装置を用いた。紫外線の照射条件としては、照度を２２０ｍＷ／ｃｍ２とし、光量を１６０ｍＪ／ｃｍ２とした。紫外線照射後、粘着シートを剥離し、半導体パッケージを得た。
(CSP process suitability evaluation)
A silicon wafer chip having a size of 5 mm × 5 mm was disposed at a predetermined position on the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive sheet according to the example or the comparative example. Next, a sheet-shaped sealing resin was placed so as to cover the silicon wafer chip, and was cured by heating to form a sealing resin layer. Thereafter, curing of the resin was accelerated by heating (post mold cure), and the silicon wafer chip was sealed with a sealing resin. Next, ultraviolet rays were irradiated from the base material side of the pressure-sensitive adhesive sheet. As the ultraviolet irradiation device, the same device as described above was used. As irradiation conditions of ultraviolet rays, the illuminance was 220 mW / cm 2 and the light intensity was 160 mJ / cm 2 . After the ultraviolet irradiation, the adhesive sheet was peeled off to obtain a semiconductor package.
樹脂封止後に、粘着シート上のシリコンウェハーチップを光学顕微鏡により観察して、チップの位置ずれの有無を確認した。
また、粘着シートを剥離した後、シリコンウェハーチップの粘着シートに貼着されていた面を光学顕微鏡により観察して、糊残りの有無を確認した。
After resin sealing, the silicon wafer chip on the pressure-sensitive adhesive sheet was observed with an optical microscope to confirm the presence / absence of chip displacement.
Moreover, after peeling an adhesive sheet, the surface currently affixed on the adhesive sheet of a silicon wafer chip was observed with the optical microscope, and the presence or absence of the adhesive residue was confirmed.
下記の基準でＣＳＰ工程適性を評価した。
Ａ：チップのずれ、及び半導体チップの糊残りのいずれも、工程上、問題とならないレベルだった。
Ｂ：チップのずれ及び糊残りが、工程上、問題となるおそれがあるレベルだった。
CSP process suitability was evaluated according to the following criteria.
A: Neither chip displacement nor adhesive residue on the semiconductor chip was at a level that does not cause a problem in the process.
B: Chip displacement and adhesive residue were at a level that could cause problems in the process.
〔粘着シートの作製〕
（実施例１）
[Preparation of adhesive sheet]
Example 1
（１）粘着剤組成物の作製
以下の材料を配合し、十分に撹拌して、実施例１に係る塗布用粘着剤液（粘着剤組成物）を調製した。
(1) Preparation of pressure-sensitive adhesive composition The following materials were blended and stirred sufficiently to prepare a pressure-sensitive adhesive liquid for application (pressure-sensitive adhesive composition) according to Example 1.
アクリル酸ブチル８０質量部及びアクリル酸２０質量部からなる共重合体に対し、メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを反応させて、側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を有するアクリル酸エステル共重合体を得た。この反応により得られた質量平均分子量６００，０００の共重合体のトルエン溶液（固形分３０質量％）１００質量部に対し、多価イソシアネート化合物のトルエン溶液（オリバインＢＨＳ８５１５（東洋インキ製造（株）製）、固形分３７．５質量％）１質量部、及び光重合開始剤を混合し、粘着剤組成物（粘着剤Ａ）を得た。 A copolymer consisting of 80 parts by mass of butyl acrylate and 20 parts by mass of acrylic acid was reacted with methacryloyloxyethyl isocyanate to obtain an acrylate ester copolymer having an energy ray crosslinkable functional group in the side chain. . The toluene solution of the polyisocyanate compound (Olivein BHS8515 (Toyo Ink Mfg. ), Solid content 37.5% by mass) 1 part by mass and a photopolymerization initiator were mixed to obtain an adhesive composition (adhesive A).
（２）粘着剤層の作製
調製した粘着剤組成物（粘着剤Ａ）を、ロールコーターを用いて乾燥後の膜厚が５０μｍになるように、シリコーン系剥離層を設けた３８μｍの透明ポリエチレンテレフタレートフィルムからなる剥離フィルム〔リンテック（株）製；ＳＰ−ＰＥＴ３８２１５０〕の剥離層面側に塗布し、塗膜を乾燥させ、粘着剤層を作製した。
(2) Production of pressure-sensitive adhesive layer 38 μm transparent polyethylene terephthalate provided with a silicone-based release layer so that the prepared pressure-sensitive adhesive composition (pressure-sensitive adhesive A) was dried using a roll coater to a film thickness of 50 μm. It applied to the peeling layer surface side of the peeling film [Lintec Co., Ltd. product; SP-PET382150] which consists of a film, the coating film was dried, and the adhesive layer was produced.
（３）粘着シートの作製
粘着剤組成物（粘着剤Ａ）の塗膜を乾燥させた後、粘着剤層と、基材とを貼り合わせて実施例１に係る粘着シートを得た。なお、基材として、透明ポリエチレンテレフタレートフィルム〔東洋紡（株）製；ＰＥＴ５０Ａ−４３００、厚さ５０μｍ、ガラス転移温度Ｔｇ６７℃〕を用い、基材のプライマー処理面に粘着剤層を貼り合わせた。
(3) Preparation of pressure-sensitive adhesive sheet After drying the coating film of the pressure-sensitive adhesive composition (pressure-sensitive adhesive A), the pressure-sensitive adhesive layer and the base material were bonded together to obtain a pressure-sensitive adhesive sheet according to Example 1. In addition, the transparent polyethylene terephthalate film [Toyobo Co., Ltd. product; PET50A-4300, thickness 50micrometer, glass transition temperature Tg67 degreeC] was used as a base material, and the adhesive layer was bonded together to the primer processing surface of the base material.
（実施例２）
実施例２の粘着シートは、実施例１における基材を、ポリイミドフィルム〔東レ・デュポン（株）製；カプトン２００Ｈ、厚さ５０μｍ〕に変更したこと以外は、実施例１と同様にして作製した。
(Example 2)
The pressure-sensitive adhesive sheet of Example 2 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the base material in Example 1 was changed to a polyimide film [manufactured by Toray DuPont Co., Ltd .; Kapton 200H,
（実施例３）
実施例３の粘着シートは、実施例２における粘着剤組成物を下記の粘着剤組成物（粘着剤Ｂ）に変更したこと以外は、実施例２と同様にして作製した。
アクリル酸ブチル８０質量部及びアクリル酸２−ヒドロキシエチル２０質量部からなる共重合体に対し、メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを反応させて、側鎖にエネルギー線架橋性の官能基を有するアクリル酸エステル共重合体を得た。この反応により得られた質量平均分子量６００，０００の共重合体のトルエン溶液（固形分３０質量％）１００質量部に対し、多価イソシアネート化合物のトルエン溶液（オリバインＢＨＳ８５１５（東洋インキ製造（株）製）、固形分３７．５質量％）０．４質量部、及び光重合開始剤を混合し、粘着剤組成物（粘着剤Ｂ）を得た。
(Example 3)
The pressure-sensitive adhesive sheet of Example 3 was produced in the same manner as Example 2 except that the pressure-sensitive adhesive composition in Example 2 was changed to the following pressure-sensitive adhesive composition (pressure-sensitive adhesive B).
A copolymer consisting of 80 parts by mass of butyl acrylate and 20 parts by mass of 2-hydroxyethyl acrylate is reacted with methacryloyloxyethyl isocyanate to produce an acrylic ester copolymer having an energy ray crosslinkable functional group in the side chain. Coalescence was obtained. A toluene solution of a polyvalent isocyanate compound (Olivein BHS8515 (manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.) with respect to 100 parts by mass of a copolymer solution having a mass average molecular weight of 600,000 obtained by this reaction (solid content: 30% by mass). ), Solid content 37.5% by mass) 0.4 part by mass and a photopolymerization initiator were mixed to obtain an adhesive composition (adhesive B).
（実施例４）
実施例４の粘着シートは、実施例２における粘着剤組成物を下記の粘着剤組成物（粘着剤Ｃ）に変更したこと以外は、実施例２と同様にして作製した。
アクリル酸ブチル９１質量部及びアクリル酸９質量部からなる質量平均分子量６００，０００のアクリル酸エステル共重合体のトルエン溶液（固形分３５質量％）１００質量部に対し、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（カラヤッドＤＰＨＡ、ＭＡＸ−３５１０（日本化薬（株）製））のトルエン溶液（固形分６０質量％）７０質量部、多価イソシアネート化合物のトルエン溶液（オリバインＢＨＳ８５１５（東洋インキ製造（株）製）、固形分３７．５質量％）１０質量部、及び光重合開始剤を混合し、粘着剤組成物（粘着剤Ｃ）を得た。
Example 4
The pressure-sensitive adhesive sheet of Example 4 was produced in the same manner as in Example 2 except that the pressure-sensitive adhesive composition in Example 2 was changed to the following pressure-sensitive adhesive composition (pressure-sensitive adhesive C).
Dipentaerythritol hexaacrylate (Kalayad) with respect to 100 parts by mass of a toluene solution (solid content 35% by mass) of an acrylic ester copolymer having a mass average molecular weight of 600,000 consisting of 91 parts by mass of butyl acrylate and 9 parts by mass of acrylic acid. DPHA, MAX-3510 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)) 70 parts by mass of toluene solution (solid content 60 mass%), toluene solution of polyisocyanate compound (Olivein BHS8515 (manufactured by Toyo Ink Co., Ltd.), solid 10 parts by mass of 37.5% by mass) and a photopolymerization initiator were mixed to obtain an adhesive composition (adhesive C).
（比較例１）
比較例１の粘着シートは、実施例１における粘着シートを用いて、粘着シートの基材側より紫外線照射を行わずにＣＳＰ工程適性評価をした。
(Comparative Example 1)
The pressure-sensitive adhesive sheet of Comparative Example 1 was subjected to CSP process suitability evaluation without performing ultraviolet irradiation from the base material side of the pressure-sensitive adhesive sheet using the pressure-sensitive adhesive sheet in Example 1.
実施例１〜４並びに比較例１に係る粘着シートについて、前述の評価方法に従って、評価した。評価結果を表１に示す。本明細書において、ポリエチレンテレフタレートをＰＥＴと略記する場合がある。 About the adhesive sheet which concerns on Examples 1-4 and Comparative Example 1, it evaluated according to the above-mentioned evaluation method. The evaluation results are shown in Table 1. In this specification, polyethylene terephthalate may be abbreviated as PET.
実施例に係る粘着シートによれば、樹脂封止の際にはチップを確実に保持し、封止工程後の剥離の際にはチップ面から容易に剥離することができ、電子デバイスに悪影響を及ぼす糊残りが少なく、半導体装置製造方法の一連の工程で問題なく使用可能だった。 According to the pressure-sensitive adhesive sheet according to the example, the chip can be securely held at the time of resin sealing, and can be easily peeled off from the chip surface at the time of peeling after the sealing process, which adversely affects the electronic device. It has little adhesive residue and can be used without any problems in a series of steps of the semiconductor device manufacturing method.
本発明に係る粘着シートは、例えば、半導体装置製造用の耐熱性粘着シートとして利用できる。 The pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention can be used, for example, as a heat-resistant pressure-sensitive adhesive sheet for manufacturing semiconductor devices.
１０…粘着シート、１１…基材、１２…粘着剤層。
DESCRIPTION OF
Claims (6)
基材と、
前記基材に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤を含む粘着剤層と、を有する、
粘着シート。 Applying an adhesive sheet to the circuit surface of the semiconductor element, covering the semiconductor element attached to the adhesive sheet with a sealing resin, curing the sealing resin, and applying energy rays to the adhesive sheet A step of irradiating and a step of peeling the pressure-sensitive adhesive sheet from the semiconductor element.
A substrate;
A pressure-sensitive adhesive layer containing an energy ray-curable pressure-sensitive adhesive formed on the substrate,
Adhesive sheet.
請求項１または請求項２に記載の粘着シート。 After irradiating the energy ray, the tensile elastic modulus E ′ of the pressure-sensitive adhesive layer at 23 ° C. is 1.0 × 10 7 Pa or more.
The pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1 or claim 2.
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の粘着シート。 The energy beam curable adhesive is an ultraviolet curable adhesive.
The pressure-sensitive adhesive sheet according to any one of claims 1 to 3.
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の粘着シート。 The energy ray curable pressure-sensitive adhesive contains an acrylic pressure-sensitive adhesive,
The pressure-sensitive adhesive sheet according to any one of claims 1 to 4.
前記粘着シートに貼付された前記半導体素子を封止樹脂で覆う工程と、
前記封止樹脂を硬化させる工程と、
前記粘着剤層にエネルギー線を照射する工程と、
前記粘着シートを前記半導体素子から剥離する工程と、を有する、
半導体装置製造方法。 Adhering an adhesive sheet having a base material and an adhesive layer containing an energy ray curable adhesive formed on the base material to a circuit surface of a semiconductor element;
Covering the semiconductor element attached to the adhesive sheet with a sealing resin;
Curing the sealing resin;
Irradiating the adhesive layer with energy rays;
Peeling the pressure-sensitive adhesive sheet from the semiconductor element,
Semiconductor device manufacturing method.
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