JP2017075955A - 力検出装置およびロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】凹部を有するパッケージ202と、凹部に配置され、圧電体を有するセンサー素子214と、パッケージ202に接合され、パッケージ202の凹部を封止するリッド204とを備え、パッケージ202は、凹部の内側底面にセンサー素子214の底部が嵌合する第1の窪み部931を有し、リッド204は、センサー素子214の上部が嵌合する第2の窪み部932を有する。
【選択図】図1
Description
そして水晶板216の上面がセンサー素子214の接触面222となり、リッド204に接触している。
本適用例によれば、使用目的に応じて任意の方向の力を検出することができる。
本適用例によれば、適用例1と同様の理由により、第1部材に収容されたセンサー素子の検出特性を長期に亘り安定して維持できる力検出装置となる。
図1に、第1実施形態のセンサーデバイスの模式図を示し、図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)のA−A線断面図を示す。図2は本実施形態のリッドの変形例の断面図である。第1実施形態のセンサーデバイス1の基本構成は、従来技術のセンサーデバイス200と共通するので、同一の構成要素には同一の番号を付し、必要な場合を除いてその説明を省略する。
図3に、第2実施形態のセンサーデバイスの断面図を示し、図4に、第2実施形態のセンサーデバイスの平面図(リッドを省略)を示し、図5に、本実施形態のパッケージベースの平面図を示す。ここで、図3は、図4、図5のA−A線断面図に対応する。また、第2実施形態のセンサーデバイス10は、直交3軸方向の力を検出するデバイスであるが、第1実施形態のセンサーデバイス1と共通の作用効果を有する。
図7に本実施形態のセンサーモジュールの断面図を示す。本実施形態のセンサーモジュール80は、第2実施形態のセンサーデバイス10(第1実施形態のセンサーデバイス1でもよい)を与圧プレート82により挟み込み、締結部により与圧プレート82同士を締結させるとともにセンサーデバイス10に与圧を付加する構成を有している。
図8に本実施形態の力検出装置を示す。本実施形態の力検出装置90は、4つのセンサーデバイス10を2つの与圧プレート92により挟み込んだ構成を有している。センサーデバイス10とワイヤー等を介して電気的に接続する電子回路(不図示)が配置されている。そして、力検出装置90において、4つのセンサーデバイス10が全て同じ方向に向いた状態で与圧プレート92に挟み込まれ、与圧が付加される。例えば、センサーデバイス10において、第1センサー素子46(図6)の検出軸をFxに平行な方向に向け、第2センサー素子52(図6)の検出軸をFyに平行な方向に向け、第3センサー素子58(図6)の検出軸をFzに平行な方向に向けた状態となっている。
図9に、本実施形態の力検出装置を搭載したロボットを示す。図9に示すように、ロボット100は、本体部102、アーム部104、ロボットハンド部116などから構成されている。本体部102は、例えば床、壁、天井、移動可能な台車の上などに固定される。アーム部104は、本体部102に対して可動となるように設けられており、本体部102にはアーム部104を回転させるための動力を発生するアクチュエーター(不図示)や、アクチュエーターを制御する制御部等(不図示)が内蔵されている。
Claims (8)
- 凹部を有する第1部材と、
前記凹部に配置され、圧電体を有するセンサー素子と、
前記第1部材に接合され、前記第1部材の凹部を封止する第2部材と、を備え、
前記第1部材は、
前記凹部の内側底面に前記センサー素子の底部が嵌合する第1の窪み部を有し、
前記第2部材は、
前記センサー素子の上部が嵌合する第2の窪み部を有する
ことを特徴とするセンサーデバイス。 - 前記センサー素子は、前記第1部材が接触する第1接触面と、
前記第2部材が接触する第2接触面と、を有し、
前記第1部材は、
前記第1接触面と接触する平坦面を有する第1平坦部を備え、
前記第2部材は、
前記第2接触面と接触する平坦面を有する第2平坦部を備えている
ことを特徴とする請求項1に記載のセンサーデバイス。 - 前記センサー素子の前記第2接触面の法線方向をZ軸方向とし、前記Z軸方向に直交し且つ互いに直交する方向をそれぞれX軸方向、Y軸方向とした場合、
前記センサー素子は、
前記X軸方向の力を検出する第1センサー素子、前記Y軸方向の力を検出する第2センサー素子、前記Z軸方向の力を検出する第3センサー素子、のうち少なくともいずれか1つ以上を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のセンサーデバイス。 - 凹部を有する第1部材と、
前記凹部に配置され、圧電体を有するセンサー素子と、
前記第1部材に接合され、前記第1部材の凹部を封止する第2部材と、
前記第1部材と接触する第1プレートと、
前記第2部材と接触する第2プレートと、
前記第1プレートおよび前記第2プレートを締結する締結部と、を備え、
前記センサー素子は、前記第1部材が接触する第1接触面と、
前記第2部材が接触する第2接触面と、を有し、
前記第1部材は、前記凹部の内側底面に前記第1接触面が嵌合する第1の窪み部を有し、
前記第2部材は、前記第2接触面が嵌合する第2の窪み部を有する
ことを特徴とするセンサーモジュール。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のセンサーデバイスを備えることを特徴とする力検出装置。
- 凹部を有する第1部材と、
前記凹部に配置され、圧電体を有するセンサー素子と、
前記第1部材に接合され、前記第1部材の凹部を封止する第2部材と、
前記センサー素子に電気的に接続する電子回路と、を備え、
前記センサー素子は、前記第1部材が接触する第1接触面と、
前記第2部材が接触する第2接触面と、を有し、
前記第1部材は、前記凹部の内側底面に前記第1接触面が嵌合する第1の窪み部を有し、
前記第2部材は、前記第2接触面が嵌合する第2の窪み部を有する
ことを特徴とする力検出装置。 - 請求項5に記載の力検出装置を備えることを特徴とするロボット。
- 本体部と、
前記本体部に接続するアーム部と、
前記アーム部に接続するハンド部と、を備えるロボットであって、
前記アーム部と前記ハンド部との接続部にセンサーデバイスを有し、
前記センサーデバイスは、
凹部を有する第1部材と、
前記凹部に配置され、圧電体を有するセンサー素子と、
前記第1部材に接合され、前記第1部材の凹部を封止する第2部材と、を備え、
前記センサー素子は、前記第1部材が接触する第1接触面と、
前記第2部材が接触する第2接触面と、を有し、
前記第1部材は、前記凹部の内側底面に前記第1接触面が嵌合する第1の窪み部を有し、
前記第2部材は、前記第2接触面が嵌合する第2の窪み部を有する
ことを特徴とするロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016229800A JP6274296B2 (ja) | 2016-11-28 | 2016-11-28 | 力検出装置およびロボット |
Applications Claiming Priority (1)
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Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012182987A Division JP6051678B2 (ja) | 2012-08-22 | 2012-08-22 | センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置およびロボット |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018001690A Division JP2018077248A (ja) | 2018-01-10 | 2018-01-10 | センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置およびロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017075955A true JP2017075955A (ja) | 2017-04-20 |
JP6274296B2 JP6274296B2 (ja) | 2018-02-07 |
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ID=58550247
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JP2016229800A Active JP6274296B2 (ja) | 2016-11-28 | 2016-11-28 | 力検出装置およびロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6274296B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0954111A (ja) * | 1995-08-17 | 1997-02-25 | Tdk Corp | 圧電センサ |
WO2001077633A1 (en) * | 2000-04-12 | 2001-10-18 | Marconi Optical Components Limited | Surface acoustic wave type strain sensor |
JP2005143042A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
JP2011080586A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-04-21 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 電動式ディスクブレーキ |
JP2011240468A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Toyota Motor Corp | ロボットの接触種類判別システム |
-
2016
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0954111A (ja) * | 1995-08-17 | 1997-02-25 | Tdk Corp | 圧電センサ |
WO2001077633A1 (en) * | 2000-04-12 | 2001-10-18 | Marconi Optical Components Limited | Surface acoustic wave type strain sensor |
JP2005143042A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
JP2011080586A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-04-21 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 電動式ディスクブレーキ |
JP2011240468A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Toyota Motor Corp | ロボットの接触種類判別システム |
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