JP2017073339A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置1では、マイクロ波生成部16とサーキュレータ25の第1ポート25aを接続する第1の導波管21に第1の方向性結合器80が設けられている。第1の方向性結合器80には第1の検出器82が接続されている。サーキュレータ25の第2ポート25bは第2の導波管22を介してプラズマ生成部に接続されている。また、サーキュレータ25の第3ポート25cとダミーロード24とを接続する第3の導波管23に第2の方向性結合器84が設けられている。第2の方向性結合器84には第2の検出器86が接続されている。
【選択図】図1
Description
Claims (2)
- 処理容器と、
マイクロ波を発生するマイクロ波生成部と、
前記マイクロ波を用いて前記処理容器内においてプラズマを生成するプラズマ生成部と、
第1ポート、第2ポート、及び第3ポートを有し、前記第1ポートに受けたマイクロ波を前記第2ポートから出力し、前記第2ポートに受けたマイクロ波を前記第3ポートから出力するよう構成されたサーキュレータと、
前記マイクロ波生成部と前記第1ポートとを接続する第1の導波管と、
前記第2ポートと前記プラズマ生成部とを接続する第2の導波管と、
前記第3ポートとダミーロードの間に設けられた第3の導波管と、
前記第1の導波管に設けられた第1の方向性結合器であり、前記マイクロ波生成部から前記第1ポートに伝搬するマイクロ波の一部を出力する該第1の方向性結合器と、
前記第1の方向性結合器に接続された第1の検出器であり、前記第1の方向性結合器から出力される前記マイクロ波の前記一部のパワーを検出する該第1の検出器と、
前記第3の導波管に設けられた第2の方向性結合器であり、前記第3ポートから前記ダミーロードに伝搬するマイクロ波の一部を出力する該第2の方向性結合器と、
前記第2の方向性結合器に接続された第2の検出器であり、前記第2の方向性結合器から出力される前記マイクロ波の前記一部のパワーを検出する該第2の検出器と、
を備えるプラズマ処理装置。 - 前記マイクロ波生成部は、前記マイクロ波として、所定の周波数帯域に属する周波数であって互いに異なる該周波数をそれぞれ有する複数の周波数成分を含むマイクロ波を発生する、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
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