JP2017049613A - Lens array and optical module provided with the same - Google Patents

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和孝 渋谷
Kazutaka Shibuya
和孝 渋谷
心平 森岡
Shinpei Morioka
心平 森岡
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lens array capable of relaxing influence exerted by a foreign matter and a scar on a lens surface upon optical performance and reducing cost accordingly by relaxing external appearance reference of the lens surface and improving a yield, and an optical module provided with the lens array.SOLUTION: A first lens surface 11 or a second lens surface 12 is formed in a surface shape such that a spot diameter of light on the second lens surface 12 is larger than a spot diameter of light on the first lens surface 11 by expanding a luminous flux diameter of light more as the light goes from the first lens surface 11 side to the second lens surface 12 side.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、レンズアレイおよびこれを備えた光モジュールに係り、特に、光電変換素子と光伝送体とを光学的に結合するのに好適なレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールに関する。   The present invention relates to a lens array and an optical module including the same, and more particularly to a lens array suitable for optically coupling a photoelectric conversion element and an optical transmission body and an optical module including the same.

近年、システム装置内または装置間もしくは光モジュール間において信号を高速に伝送する技術として、いわゆる光インターコネクションの適用が広まっている。ここで、光インターコネクションとは、光部品をあたかも電気部品のように扱って、パソコン、車両または光トランシーバなどに用いられるマザーボードや回路基板等に実装する技術をいう。   In recent years, application of so-called optical interconnection has become widespread as a technique for transmitting signals at high speed within a system apparatus or between apparatuses or between optical modules. Here, the optical interconnection refers to a technology in which an optical component is handled as if it were an electrical component and mounted on a mother board or a circuit board used for a personal computer, a vehicle, an optical transceiver, or the like.

このような光インターコネクションに用いられる光モジュールには、例えば、メディアコンバータやスイッチングハブの内部接続、光トランシーバ、医療機器、テスト装置、ビデオシステム、高速コンピュータクラスタなどの装置内や装置間の部品接続等の様々な用途がある。   Optical modules used for such optical interconnections include, for example, internal connections between media converters and switching hubs, optical transceivers, medical equipment, test equipment, video systems, high-speed computer clusters, and other parts within equipment. There are various uses such as.

そして、この種の光モジュールに適用される光学部品としては、マルチチャンネルの光通信をコンパクトな構成で実現するのに有効なものとして、複数の小径のレンズが並列配置されたレンズアレイ(例えば、特許文献１参照）の需要が益々高まりつつある。   As an optical component applied to this type of optical module, a lens array in which a plurality of small-diameter lenses are arranged in parallel is effective for realizing multi-channel optical communication with a compact configuration (for example, The demand for the patent document 1) is increasing.

ここで、従来から、レンズアレイには、複数の発光素子（例えば、ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting Laser）または受光素子（例えば、フォトディテクタ）を備えた光電変換装置が取り付けられるとともに、光伝送体としての複数の光ファイバが取り付けられるようになっていた。   Here, conventionally, a photoelectric conversion device including a plurality of light emitting elements (for example, VCSEL: Vertical Cavity Surface Emitting Laser) or a light receiving element (for example, a photodetector) is attached to the lens array, and as a light transmission body Multiple optical fibers could be attached.

そして、レンズアレイは、このようにして光電変換装置と複数の光ファイバとの間に配置された状態で、光電変換装置の各発光素子から出射された光を、各光ファイバの端面に光学的に結合させることにより、マルチチャンネルの光送信を行うことや、各光ファイバの端面から出射された光を、各受光素子に光学的に結合させることにより、マルチチャンネルの光受信を行うことが可能とされていた。   The lens array is thus arranged between the photoelectric conversion device and the plurality of optical fibers, and the light emitted from each light emitting element of the photoelectric conversion device is optically applied to the end face of each optical fiber. It is possible to perform multi-channel optical transmission by coupling to, and to receive multi-channel optical reception by optically coupling light emitted from the end face of each optical fiber to each light receiving element. It was said.

ここで、この種のレンズアレイは、光電変換装置としての光電変換素子（発光素子、受光素子）が搭載された回路基板(ＣＯＢ：Chip On Board)に取り付けられることによってサブアセンブリを構成するようになっていた。   Here, this type of lens array is configured to constitute a subassembly by being attached to a circuit board (COB: Chip On Board) on which photoelectric conversion elements (light emitting elements, light receiving elements) as photoelectric conversion devices are mounted. It was.

そして、このようなサブアセンブリは、ＭＴコネクタ等の光ファイバが収容された光コネクタが取り付けられることによってフルアセンブリを構成するようになっていた。このとき、ＡＯＣ(Active Optical Cable)を構成する場合には、光コネクタが取り外し不可能な状態に取り付けられ、一方、光トランシーバを構成する場合には、光コネクタが着脱可能に取り付けられるようになっていた。   And such a subassembly comprised a full assembly by attaching the optical connector in which optical fibers, such as MT connector, were accommodated. At this time, when configuring an AOC (Active Optical Cable), the optical connector is attached in a non-detachable state, whereas when configuring an optical transceiver, the optical connector is detachably attached. It was.

特開２００４−１９８４７０号公報JP 2004-198470 A

ところで、サブアセンブリの状態におけるレンズアレイは、光電変換装置側のレンズ面については、サブアセンブリの構造によって外部から遮蔽されるため、このレンズ面に塵埃等の異物が付着したり、傷が形成されることは殆ど無かった。これに対して、光ファイバ側のレンズ面については、光コネクタが未装着であることによって外部から遮蔽されてはいないため、光コネクタの取り付けの際等において、異物の付着や傷の形成が生じ易かった。   By the way, in the lens array in the sub-assembly state, the lens surface on the photoelectric conversion device side is shielded from the outside by the structure of the sub-assembly, so that foreign matters such as dust adhere to the lens surface or scratches are formed. There was hardly anything. On the other hand, the lens surface on the optical fiber side is not shielded from the outside because the optical connector is not attached, and therefore, when attaching the optical connector, foreign matter adheres and scratches are formed. It was easy.

そして、レンズアレイは、マルチチャンネルの光通信を小型な構成で実現する必要上、各レンズ面の径寸法に一定の制約が課されていたため、レンズ面に対する異物や傷の面積占有率は自ずと高くなることを避けられなかった。   In addition, since the lens array is required to realize multichannel optical communication with a small configuration, a certain restriction is imposed on the diameter of each lens surface, so the area occupancy rate of foreign matter and scratches on the lens surface is naturally high. I couldn't avoid it.

この結果、従来は、レンズ面上の異物や傷によって、光電変換素子と光ファイバとの結合効率が設計値に対して著しく悪化してしまうといった問題が生じていた。   As a result, conventionally, there has been a problem that the coupling efficiency between the photoelectric conversion element and the optical fiber is significantly deteriorated with respect to the design value due to foreign matters or scratches on the lens surface.

そこで、本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであり、レンズ面上の異物や傷が及ぼす光学性能への影響を緩和することができ、ひいては、レンズ面の外観基準を緩和するとともに歩留まりを向上させて、コストの削減を図ることができるレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールを提供することを目的とするものである。   Therefore, the present invention has been made in view of such a problem, and can reduce the influence on the optical performance caused by foreign matters and scratches on the lens surface, and hence, the appearance standard of the lens surface. At the same time, it is an object of the present invention to provide a lens array capable of improving the yield and reducing the cost, and an optical module including the lens array.

前述した目的を達成するため、本発明の請求項１に係るレンズアレイの特徴は、複数の発光素子からなる光電変換素子が整列配置された光電変換装置と、光伝送体との間に配置され、前記複数の光電変換素子と前記光伝送体とを光学的に結合可能とされたレンズアレイであって、レンズアレイ本体における前記光電変換装置側の第１の面に、前記複数の光電変換素子に対応する所定の整列方向に整列するように配置され、前記複数の光電変換素子と前記光伝送体とを結合する各光電変換素子ごとの光が通過する複数の第１のレンズ面と、前記レンズアレイ本体における前記光伝送体側の第２の面に、前記整列方向に沿って整列するように配置され、前記光が通過する複数の第２のレンズ面とを有し、前記第１のレンズ面または前記第２のレンズ面は、前記第１のレンズ面側から前記第２のレンズ面側に向かうにしたがって前記光の光束径を拡径させることによって、前記第２のレンズ面上における前記光のスポット径を前記第１のレンズ面上における前記光のスポット径よりも大径にするような面形状に形成されており、前記第１のレンズ面は、前記光電変換素子から出射された前記光をコリメートの場合よりも弱い屈折力を以て収束させる凸レンズ面に形成されている点にある。   In order to achieve the above-described object, the lens array according to claim 1 of the present invention is characterized in that it is disposed between a photoelectric conversion device in which photoelectric conversion elements made up of a plurality of light-emitting elements are aligned and an optical transmission body. A lens array capable of optically coupling the plurality of photoelectric conversion elements and the optical transmission body, wherein the plurality of photoelectric conversion elements are disposed on a first surface of the lens array body on the photoelectric conversion device side. A plurality of first lens surfaces that are arranged so as to be aligned in a predetermined alignment direction corresponding to the plurality of photoelectric conversion elements and the light transmitting body and that pass through the light of each photoelectric conversion element; A plurality of second lens surfaces arranged on the second surface of the lens array body on the light transmission body side so as to align along the alignment direction, and through which the light passes, and the first lens Surface or said second len The surface expands the beam diameter of the light from the first lens surface side toward the second lens surface side, thereby reducing the spot diameter of the light on the second lens surface. The first lens surface is formed to have a surface shape larger than the spot diameter of the light on the lens surface of the first lens, and the first lens surface emits the light emitted from the photoelectric conversion element as compared with the case of collimation. Is formed on a convex lens surface that converges with a weak refractive power.

そして、この請求項１に係る発明によれば、第２のレンズ面上における光スポットに対する異物／傷の面積占有率を低減することができるので、第２のレンズ面に径寸法の制約が課される中で、第２のレンズ面上の異物／傷が結合効率に与える影響を有効に緩和することができる。しかも、発光素子からの光を光伝送体に結合させる場合に、第１のレンズ面側から第２のレンズ面側に向かうにしたがって拡径するような光束を確実に得ることができるので、第２のレンズ面上の異物／傷が光伝送体に結合すべき光の結合効率に与える影響を確実に緩和することができる。   According to the first aspect of the present invention, the area occupancy rate of the foreign matter / scratches with respect to the light spot on the second lens surface can be reduced. As a result, the influence of foreign matter / scratches on the second lens surface on the coupling efficiency can be effectively mitigated. In addition, when the light from the light emitting element is coupled to the optical transmission body, it is possible to reliably obtain a light beam that expands in diameter from the first lens surface side toward the second lens surface side. Thus, the influence of foreign matter / scratches on the lens surface 2 on the coupling efficiency of light to be coupled to the optical transmission body can be reliably alleviated.

さらに、請求項２に係るレンズアレイの特徴は、請求項１において、更に、前記第２の面は、前記第１の面に直交配置された面であり、前記第１のレンズ面と前記第２のレンズ面との間に、これら両レンズ面の一方側から入射した前記光を他方側に向けて反射させる反射面が配置されている点にある。   The lens array according to claim 2 is characterized in that, in claim 1, the second surface is a surface orthogonal to the first surface, and the first lens surface and the first surface Between the two lens surfaces, there is a reflecting surface that reflects the light incident from one side of both lens surfaces toward the other side.

そして、この請求項２に係る発明によれば、基板上に実装された発光素子から出射された光（送信光）を光伝送体において基板に平行な方向から取り出す、または、光伝送体から出射された基板に平行な光（受信光）を基板上に実装された受光素子に取り込むのに好適な構成において、第２のレンズ面上の異物／傷が結合効率に与える影響を有効に緩和することができる。   According to the second aspect of the present invention, light (transmitted light) emitted from the light emitting element mounted on the substrate is taken out from the direction parallel to the substrate in the optical transmission body, or emitted from the optical transmission body. In a configuration suitable for taking in light (received light) parallel to the formed substrate into the light receiving element mounted on the substrate, the influence of foreign matter / scratches on the second lens surface on the coupling efficiency is effectively reduced. be able to.

さらにまた、請求項３に係るレンズアレイの特徴は、請求項２において、更に、前記光電変換装置は、前記光電変換素子としての複数の発光素子の少なくとも１つから発光された前記光をモニタするためのモニタ光を受光する少なくとも１つの受光素子が配置されたものであり、前記第１の面に配置され、前記レンズアレイ本体の内部側から入射した前記モニタ光を前記受光素子に向けて出射させる少なくとも１つの第３のレンズ面と、前記レンズアレイ本体における前記反射面と前記第２のレンズ面との間の光路上に配置され、前記反射面によって前記第２のレンズ面側に向けて反射された前記複数の発光素子ごとの光が入射し、この入射した複数の発光素子ごとの光を、所定の反射率で反射させて前記第３のレンズ面側に進行させるとともに所定の透過率で透過させて前記第２のレンズ面側に進行させるように制御し、その際に、前記複数の発光素子ごとの光の少なくとも１つを前記モニタ光として反射させる光制御部とを備えた点にある。   Still further, the lens array according to claim 3 is characterized in that, in claim 2, the photoelectric conversion device monitors the light emitted from at least one of a plurality of light emitting elements as the photoelectric conversion element. And at least one light receiving element for receiving the monitor light for receiving the monitor light, which is disposed on the first surface and is incident from the inside of the lens array body toward the light receiving element. And at least one third lens surface to be disposed on an optical path between the reflecting surface and the second lens surface in the lens array body, and toward the second lens surface by the reflecting surface. When the reflected light of each of the plurality of light emitting elements is incident, and the incident light of each of the plurality of light emitting elements is reflected at a predetermined reflectance and proceeds to the third lens surface side, A light control unit that controls the light to transmit to the second lens surface side at a predetermined transmittance and reflect at least one of the light for each of the plurality of light emitting elements as the monitor light. It is in the point with and.

そして、この請求項３に係る発明によれば、発光素子の光の出力の調整に好適な構成において、第２のレンズ面上の異物／傷が結合効率に与える影響を有効に緩和することができる。   According to the third aspect of the present invention, in a configuration suitable for adjusting the light output of the light emitting element, it is possible to effectively mitigate the influence of foreign matter / scratches on the second lens surface on the coupling efficiency. it can.

また、請求項４に係るレンズアレイの特徴は、請求項１において、更に、前記第２の面は、前記第１の面に対向するように配置された面であり、前記第１のレンズ面上の光軸と前記第２のレンズ面上の光軸とは、同一直線上に配置されている点にある。   The lens array according to claim 4 is characterized in that, in claim 1, the second surface is a surface disposed so as to face the first surface, and the first lens surface is provided. The upper optical axis and the optical axis on the second lens surface are located on the same straight line.

そして、この請求項４に係る発明によれば、第１のレンズ面の裏側に第２のレンズ面を配置する構成において、第２のレンズ面上の異物／傷が結合効率に与える影響を有効に緩和することができる。   According to the fourth aspect of the present invention, in the configuration in which the second lens surface is disposed on the back side of the first lens surface, the effect of foreign matter / scratches on the second lens surface on the coupling efficiency is effective. Can be relaxed.

さらに、請求項５に係る光モジュールの特徴は、請求項１〜４のいずれか１項に記載のレンズアレイ４と、請求項１または３に記載の光電変換装置とを備えた点にある。   Furthermore, the optical module according to claim 5 is characterized in that the lens array 4 according to any one of claims 1 to 4 and the photoelectric conversion device according to claim 1 or 3 are provided.

そして、この請求項５に係る発明によれば、第２のレンズ面上の異物／傷が結合効率に与える影響を緩和することができる。   According to the fifth aspect of the present invention, the influence of foreign matter / scratches on the second lens surface on the coupling efficiency can be reduced.

本発明によれば、レンズ面上の異物や傷が及ぼす光学性能への影響を緩和することができ、ひいては、レンズ面の外観基準を緩和するとともに歩留まりを向上させて、コストの削減を図ることができる。   According to the present invention, it is possible to alleviate the influence on the optical performance caused by foreign matters and scratches on the lens surface, and consequently, reduce the cost by reducing the appearance standard of the lens surface and improving the yield. Can do.

本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第１実施形態を示す概略構成図1 is a schematic configuration diagram illustrating a first embodiment of a lens array and an optical module including the same according to the present invention. 図１に示すレンズアレイの下面図Bottom view of the lens array shown in FIG. 図１に示すレンズアレイの平面図Plan view of the lens array shown in FIG. 第１実施形態の第１変形例を示すレンズアレイの縦断面図The longitudinal cross-sectional view of the lens array which shows the 1st modification of 1st Embodiment. 第１実施形態の第２変形例を示すレンズアレイの縦断面図A longitudinal sectional view of a lens array showing a second modification of the first embodiment 図５の下面図Bottom view of FIG. 第１実施形態の第３変形例を示すレンズアレイの縦断面図A longitudinal sectional view of a lens array showing a third modification of the first embodiment 図７の下面図Bottom view of FIG. 図７の平面図Plan view of FIG. 第１実施形態の第４変形例を示すレンズアレイの縦断面図The longitudinal cross-sectional view of the lens array which shows the 4th modification of 1st Embodiment 第１実施形態の第５変形例を示すレンズアレイの縦断面図A longitudinal sectional view of a lens array showing a fifth modification of the first embodiment 本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第２実施形態を示す概略構成図Schematic configuration diagram showing a second embodiment of a lens array and an optical module including the same according to the present invention 図１２に示すレンズアレイの下面図The bottom view of the lens array shown in FIG. 図１２に示すレンズアレイの右側面図Right side view of the lens array shown in FIG. 第２実施形態の第１変形例を示すレンズアレイの縦断面図A longitudinal sectional view of a lens array showing a first modification of the second embodiment 第２実施形態の第２変形例を示すレンズアレイの縦断面図A longitudinal sectional view of a lens array showing a second modification of the second embodiment 図１６の下面図Bottom view of FIG. 第２実施形態の第３変形例を示すレンズアレイの縦断面図Longitudinal sectional view of a lens array showing a third modification of the second embodiment 図１８の下面図18 is a bottom view of FIG. 図１８の右側面図Right side view of FIG. 第２実施形態の第４変形例を示すレンズアレイの縦断面図Longitudinal sectional view of a lens array showing a fourth modification of the second embodiment 第２実施形態の第５変形例を示すレンズアレイの縦断面図Longitudinal sectional view of a lens array showing a fifth modification of the second embodiment 本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第３実施形態を示す概略構成図Schematic configuration diagram showing a third embodiment of a lens array and an optical module including the same according to the present invention 図２３に示すレンズアレイの下面図23 is a bottom view of the lens array shown in FIG. 図２３に示すレンズアレイの右側面図Right side view of the lens array shown in FIG. 光制御部の拡大縦断面図Expanded longitudinal section of the light control unit 実施例１のシミュレーションを説明するための説明図Explanatory drawing for demonstrating the simulation of Example 1. FIG. 実施例１のシミュレーションの結果を示す結合効率特性グラフCoupling efficiency characteristic graph showing results of simulation of Example 1 実施例１のシミュレーションの結果を示す透過率特性グラフTransmission characteristic graph showing simulation results of Example 1 実施例２のシミュレーションを説明するための説明図Explanatory drawing for demonstrating the simulation of Example 2. FIG. 実施例２のシミュレーションの結果を示す結合効率特性グラフCoupling efficiency characteristic graph showing results of simulation of Example 2 実施例２のシミュレーションの結果を示す透過率特性グラフTransmission characteristic graph showing simulation results of Example 2

（第１実施形態）
以下、本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第１実施形態について、図１〜図１１を参照して説明する。 (First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of a lens array and an optical module including the same according to the present invention will be described with reference to FIGS.

図１は、本実施形態における光モジュールとしてのサブアセンブリ１の概要を本実施形態におけるレンズアレイ２の縦断面図とともに示した概略構成図である。また、図２は、図１に示すレンズアレイ２の下面図である。さらに、図３は、図１に示すレンズアレイ２の平面図である。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an outline of a subassembly 1 as an optical module in the present embodiment together with a longitudinal sectional view of a lens array 2 in the present embodiment. FIG. 2 is a bottom view of the lens array 2 shown in FIG. FIG. 3 is a plan view of the lens array 2 shown in FIG.

図１に示すように、本実施形態におけるレンズアレイ２は、光電変換装置３と光ファイバ５との間に配置されるようになっている。   As shown in FIG. 1, the lens array 2 in the present embodiment is arranged between a photoelectric conversion device 3 and an optical fiber 5.

ここで、光電変換装置３は、半導体基板６におけるレンズアレイ２に臨む面に、この面に対して垂直方向（図１における上方向）にレーザ光Ｌａを出射（発光）する複数の発光素子７を有しており、これらの発光素子７は、前述したＶＣＳＥＬ（垂直共振器面発光レーザ）を構成している。なお、図１において、各発光素子７は、図１における紙面垂直方向に沿って整列配置されている。このような光電変換装置３は、例えば、半導体基板６をレンズアレイ２に当接させた状態で、レンズアレイ２に対して対向配置されるようになっている。そして、この光電変換装置３は、例えば、クランプバネ等の不図示の公知の固定手段によってレンズアレイ２に取付けられることにより、レンズアレイ２とともにサブアセンブリ１を構成するようになっている。   Here, the photoelectric conversion device 3 has a plurality of light emitting elements 7 that emit (emit) laser light La on a surface facing the lens array 2 in the semiconductor substrate 6 in a direction perpendicular to the surface (upward in FIG. 1). These light emitting elements 7 constitute the VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) described above. In FIG. 1, the light emitting elements 7 are arranged in alignment along the direction perpendicular to the paper surface in FIG. Such a photoelectric conversion device 3 is arranged to face the lens array 2 with the semiconductor substrate 6 in contact with the lens array 2, for example. The photoelectric conversion device 3 is attached to the lens array 2 by a known fixing means (not shown) such as a clamp spring, so that the subassembly 1 is configured together with the lens array 2.

また、本実施形態における光ファイバ５は、発光素子７と同数配設されており、図１における紙面垂直方向に沿って発光素子７と同一ピッチで整列配置されている。各光ファイバ５は、互いに同寸法の例えばマルチモード方式の光ファイバ５とされているとともに、その端面５ａ側の部位が前述したＭＴコネクタ等の多心一括型の光コネクタ１０内に保持されている。このような光ファイバ５は、例えば、光コネクタ１０におけるレンズアレイ２側の端面をレンズアレイ２に当接させた状態で、不図示の公知の固定手段（例えば、クランプバネ等）によってレンズアレイ２に取付けられるようになっている。   The number of the optical fibers 5 in the present embodiment is the same as the number of the light emitting elements 7 and is arranged at the same pitch as the light emitting elements 7 along the direction perpendicular to the paper surface in FIG. Each optical fiber 5 is, for example, a multimode optical fiber 5 having the same dimensions, and a portion on the end face 5a side is held in a multi-fiber optical connector 10 such as an MT connector described above. Yes. Such an optical fiber 5 is, for example, in a state in which the end surface on the lens array 2 side of the optical connector 10 is in contact with the lens array 2 by a known fixing means (for example, a clamp spring) (not shown). It can be mounted on.

そして、レンズアレイ２は、このような光電変換装置３と光ファイバ５との間に配置された状態で、各発光素子７と各光ファイバ５の端面５ａとを光学的に結合させるようになっている。   The lens array 2 optically couples each light emitting element 7 and the end face 5a of each optical fiber 5 in a state of being arranged between the photoelectric conversion device 3 and the optical fiber 5 as described above. ing.

このレンズアレイ２についてさらに詳述すると、図１に示すように、レンズアレイ２（レンズアレイ本体）は、透光性材料（例えば、ポリエーテルイミド等の樹脂材料）によって外形が略平板状に形成されている。   The lens array 2 will be described in further detail. As shown in FIG. 1, the lens array 2 (lens array main body) is formed in a substantially flat plate shape by a translucent material (for example, a resin material such as polyetherimide). Has been.

このようなレンズアレイ２の下端面２ａは、光電変換装置３が取り付けられる第１の面として機能するようになっており、この下端面２ａには、図１および図２に示すように、発光素子７と同数の複数（１２個）の平面円形状の第１のレンズ面１１が形成されている。ここで、図１および図２に示すように、下端面２ａは、中央側の所定範囲の平面略矩形状の部位２ａ’が、ザグリ部２Ａを介して周辺の部位２ａ”よりも上方に凹入された凹入平面（以下、レンズ形成面２ａ’と称する）に形成されており、複数の第１のレンズ面１１は、このようなレンズ形成面２ａ’上に形成されている。ただし、レンズ形成面２ａ’は、周辺の部位２ａ”に対して平行に形成されている。また、各第１のレンズ面１１は、発光素子７に対応する所定の整列方向（図１における紙面垂直方向、図２における縦方向）に整列するように配置されている。さらに、各第１のレンズ面１１は、互いに同寸法に形成されているとともに、発光素子７と同一ピッチで形成されている。なお、整列方向において互いに隣位する第１のレンズ面１１同士は、それぞれの周端部を互いに接触させた隣接状態に形成されていてもよい。また、図１に示すように、各第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）は、各第１のレンズ面１１にそれぞれ対応する各発光素子７から出射されるレーザ光Ｌａの中心軸に一致することが望ましい。より好ましくは、各第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）は、下端面２ａに対して垂直になるようにする。   The lower end surface 2a of such a lens array 2 functions as a first surface to which the photoelectric conversion device 3 is attached. As shown in FIGS. 1 and 2, the lower end surface 2a emits light. A plurality of (12) planar circular first lens surfaces 11 equal in number to the elements 7 are formed. Here, as shown in FIGS. 1 and 2, the lower end surface 2a has a substantially rectangular planar portion 2a ′ in a predetermined range on the center side, and is recessed upward from the peripheral portion 2a ″ via the counterbore 2A. A plurality of first lens surfaces 11 are formed on such a lens forming surface 2a ′, provided that they are formed on an indented flat surface (hereinafter referred to as lens forming surface 2a ′). The lens forming surface 2a ′ is formed in parallel to the peripheral portion 2a ″. The first lens surfaces 11 are arranged so as to be aligned in a predetermined alignment direction corresponding to the light emitting elements 7 (the vertical direction in FIG. 1 and the vertical direction in FIG. 2). Furthermore, the first lens surfaces 11 are formed to have the same dimensions as each other and are formed at the same pitch as the light emitting elements 7. Note that the first lens surfaces 11 that are adjacent to each other in the alignment direction may be formed in an adjacent state in which their peripheral ends are in contact with each other. As shown in FIG. 1, the optical axis OA (1) on each first lens surface 11 is the center of the laser light La emitted from each light emitting element 7 corresponding to each first lens surface 11. It is desirable to match the axis. More preferably, the optical axis OA (1) on each first lens surface 11 is perpendicular to the lower end surface 2a.

一方、下端面２ａに対向するレンズアレイ２の上端面２ｂは、複数の光ファイバ５が取り付けられる第２の面として機能するようになっており、この上端面２ｂには、図１および図３に示すように、第１のレンズ面１１と同数の平面円形状の複数の第２のレンズ面１２が形成されている。ここで、図１および図３に示すように、上端面２ｂは、中央側の所定範囲の平面略矩形状の部位２ｂ’が、この部位２ｂ’を囲む周辺側の部位２ｂ”に対してザグリ部２Ｂを介して図１における下方に凹入された凹入平面（以下、レンズ形成面２ｂ’と称する）に形成されており、複数の第２のレンズ面１２は、このようなレンズ形成面２ｂ’上に形成されている。ただし、レンズ形成面２ｂ’は、周辺の部位２ｂ”に対して平行に形成されている。また、各第２のレンズ面１２は、各光ファイバ５の端面５ａの整列方向すなわち第１のレンズ面１１の整列方向と同方向に整列するように配置されている。さらに、各第２のレンズ面１２は、互いに同寸法に形成されているとともに、第１のレンズ面１１と同一ピッチで形成されている。なお、整列方向において互いに隣位する第２のレンズ面１２同士は、それぞれの周端部を互いに接触させた隣接状態に形成されていてもよい。また、各第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）は、各第２のレンズ面１２に対応する各光ファイバ５の端面５ａの中心軸と同軸上に位置することが望ましい。より好ましくは、各第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）は、上端面２ｂに対して垂直になるようにする。さらに、各第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）は、各第２のレンズ面１２に対応する各第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と同一直線上に配置されている。   On the other hand, the upper end surface 2b of the lens array 2 facing the lower end surface 2a functions as a second surface to which a plurality of optical fibers 5 are attached. As shown in FIG. 2, a plurality of second lens surfaces 12 having the same number of planar circles as the first lens surfaces 11 are formed. Here, as shown in FIG. 1 and FIG. 3, the upper end surface 2b has a counterbored portion 2b ′ in a predetermined area on the center side with a counterbore 2b ″ surrounding the portion 2b ′. 1 is formed in a recessed plane (hereinafter referred to as a lens forming surface 2b ′) recessed downward in FIG. 1 via the portion 2B, and the plurality of second lens surfaces 12 are such lens forming surfaces. However, the lens forming surface 2b ′ is formed in parallel to the peripheral portion 2b ″. The second lens surfaces 12 are arranged so as to be aligned in the same direction as the alignment direction of the end surfaces 5 a of the optical fibers 5, that is, the alignment direction of the first lens surfaces 11. Further, the second lens surfaces 12 are formed to have the same dimensions as each other and are formed at the same pitch as the first lens surfaces 11. Note that the second lens surfaces 12 that are adjacent to each other in the alignment direction may be formed in an adjacent state in which their peripheral ends are in contact with each other. In addition, the optical axis OA (2) on each second lens surface 12 is preferably positioned coaxially with the central axis of the end surface 5a of each optical fiber 5 corresponding to each second lens surface 12. More preferably, the optical axis OA (2) on each second lens surface 12 is perpendicular to the upper end surface 2b. Further, the optical axis OA (2) on each second lens surface 12 is arranged on the same straight line as the optical axis OA (1) on each first lens surface 11 corresponding to each second lens surface 12. Has been.

そして、本実施形態において、各第１のレンズ面１１は、第１のレンズ面１１側から第２のレンズ面１２側に向かうにしたがってレーザ光Ｌａの光束径を拡径させることによって、第２のレンズ面１２上におけるレーザ光Ｌａのスポット径（レーザ光Ｌａの投影領域の外周端の直径、以下同様）を第１のレンズ面１１上におけるレーザ光Ｌａのスポット径よりも大径にするような面形状に形成されている。具体的には、各第１のレンズ面１１は、コリメートレンズ面よりも屈折力が弱い（換言すれば、曲率半径が大きい）凸レンズ面に形成されている。凸レンズ面は、球面であってもよく、または、非球面であってもよい。ただし、各第１のレンズ面１１の面形状は、各第２のレンズ面１２上におけるレーザ光Ｌａのスポット（投影領域）を、各第２のレンズ面１２の有効径内に収めることができるような面形状に設計されている。このような面形状の設計にあたっては、第２のレンズ面１２の有効径だけでなく、第１のレンズ面１１と第２のレンズ面１２との間の距離（レンズ厚）、発光素子７と第１のレンズ面１１との距離および発光素子７から出射されるレーザ光Ｌａのビーム発散角（換言すれば、ＮＡ）等が加味されていてもよいことは勿論である。   And in this embodiment, each 1st lens surface 11 expands the light beam diameter of the laser beam La as it goes to the 2nd lens surface 12 side from the 1st lens surface 11 side, and is 2nd. The spot diameter of the laser beam La on the lens surface 12 (the diameter of the outer peripheral end of the projection area of the laser beam La, hereinafter the same) is made larger than the spot diameter of the laser beam La on the first lens surface 11. It is formed in a simple surface shape. Specifically, each first lens surface 11 is formed on a convex lens surface having a refractive power weaker than that of the collimating lens surface (in other words, having a large radius of curvature). The convex lens surface may be a spherical surface or an aspherical surface. However, the surface shape of each first lens surface 11 can fit the spot (projection region) of the laser light La on each second lens surface 12 within the effective diameter of each second lens surface 12. It is designed in such a surface shape. In designing such a surface shape, not only the effective diameter of the second lens surface 12 but also the distance (lens thickness) between the first lens surface 11 and the second lens surface 12, the light emitting element 7 and Of course, the distance from the first lens surface 11 and the beam divergence angle (in other words, NA) of the laser light La emitted from the light emitting element 7 may be taken into consideration.

このような各第１のレンズ面１１には、図１に示すように、各第１のレンズ面１１にそれぞれ対応する各発光素子７ごとに出射されたレーザ光Ｌａが入射する。そして、各第１のレンズ面１１は、入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａをレンズアレイ２の内部へと進行させる。このとき、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、各第１のレンズ面１１の面形状によって、コリメートの場合よりも弱い屈折力を以て収束される。これにより、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、第１のレンズ面１１側から第２のレンズ面１２側に向かうにしたがって光束径を拡径させる。   As shown in FIG. 1, laser light La emitted from each light emitting element 7 corresponding to each first lens surface 11 is incident on each first lens surface 11. Each first lens surface 11 advances the laser beam La for each incident light emitting element 7 to the inside of the lens array 2. At this time, the laser light La for each light emitting element 7 is converged with a refractive power weaker than that in the case of collimation due to the surface shape of each first lens surface 11. As a result, the laser beam La for each light emitting element 7 increases the diameter of the light beam from the first lens surface 11 side toward the second lens surface 12 side.

一方、各第２のレンズ面１２は、球面または非球面の凸レンズ面に形成されており、このような各第２のレンズ面１２には、図１に示すように、各第２のレンズ面１２に対応する各第１のレンズ面１１によって収束された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａがそれぞれ入射する。このとき、各第２のレンズ面１２上におけるレーザ光Ｌａのスポット径は、各第１のレンズ面１１上におけるレーザ光Ｌａのスポット径よりも大径となる。そして、各第２のレンズ面１２は、入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａを収束させて各第２のレンズ面１２に対応する各光ファイバ５の端面５ａに向けてそれぞれ出射させる。   On the other hand, each second lens surface 12 is formed as a spherical or aspherical convex lens surface, and each second lens surface 12 has such a second lens surface as shown in FIG. Laser light La for each light emitting element 7 converged by each first lens surface 11 corresponding to 12 is incident. At this time, the spot diameter of the laser light La on each second lens surface 12 is larger than the spot diameter of the laser light La on each first lens surface 11. Then, each second lens surface 12 converges the incident laser light La for each light emitting element 7 and emits it toward the end surface 5a of each optical fiber 5 corresponding to each second lens surface 12.

このようにして、各発光素子７と各光ファイバ５の端面５ａとが第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２を介して光学的に結合される。   In this way, each light emitting element 7 and the end face 5 a of each optical fiber 5 are optically coupled via the first lens surface 11 and the second lens surface 12.

このような構成によれば、第１のレンズ面１１の裏側に第２のレンズ面１２を配置する構成において、第２のレンズ面１２上における光スポットに対する異物／傷の面積占有率を低減することができる。これにより、各第２のレンズ面１２に径寸法の制約が課される中で、第２のレンズ面１２上の異物／傷が結合効率に与える影響を有効に緩和することができる。   According to such a configuration, in the configuration in which the second lens surface 12 is disposed on the back side of the first lens surface 11, the area occupancy rate of foreign matter / scratches with respect to the light spot on the second lens surface 12 is reduced. be able to. As a result, the influence of the foreign matter / scratches on the second lens surface 12 on the coupling efficiency can be effectively mitigated while the restriction on the diameter is imposed on each second lens surface 12.

この他にも、図２に示すように、下端面２ａの周辺部位２ａ”におけるレンズ形成面２ａ’に対するレンズ面１１の整列方向の両外側位置には、下端面２ａと上端面２ｂとを貫通する一対の貫通孔１４が穿設されている。これらの貫通孔１４は、光電変換装置３およびコネクタ１０にそれぞれ配設された不図示のピンが挿入されることによって、光電変換装置３および光ファイバ５を取り付ける際の機械的な位置決めに用いられるようになっている。ただし、貫通孔１４の代わりにピンを設けて、光電変換装置３側およびコネクタ１０側を貫通孔もしくは有底穴としてもよいことは勿論である。   In addition, as shown in FIG. 2, the lower end surface 2a and the upper end surface 2b are penetrated at both outer positions in the alignment direction of the lens surface 11 with respect to the lens forming surface 2a ′ in the peripheral portion 2a ″ of the lower end surface 2a. A pair of through-holes 14 is formed in the through-holes 14. The through-holes 14 are inserted into the photoelectric conversion device 3 and the connector 10 by inserting pins (not shown), respectively. It is used for mechanical positioning when attaching the fiber 5. However, a pin is provided instead of the through hole 14, and the photoelectric conversion device 3 side and the connector 10 side may be used as a through hole or a bottomed hole. Of course it is good.

なお、本実施形態においては、図１〜図３に示した基本構成に対して以下に示すような種々の変形例を適用することができる。   In the present embodiment, various modifications as described below can be applied to the basic configuration shown in FIGS.

（第１変形例）
例えば、図４に示すように、各第１のレンズ面１１を球面または非球面の凹レンズ面に形成してもよい。この場合には、各第１のレンズ面１１に入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、各第１のレンズ面１１によって発散されることにより、各第２のレンズ面１２側に向かうにしたがって光束径が拡径されることになる。このため、本変形例においても、基本構成と同様に、各第２のレンズ面１２上におけるレーザ光Ｌａのスポット径を、各第１のレンズ面１１上におけるレーザ光Ｌａのスポット径よりも大径にすることができるので、第２のレンズ面１２上の異物／傷が結合効率に与える影響を有効に緩和することができる。 (First modification)
For example, as shown in FIG. 4, each first lens surface 11 may be formed as a spherical or aspheric concave lens surface. In this case, the laser light La for each light emitting element 7 incident on each first lens surface 11 is diverged by each first lens surface 11, and thus travels toward each second lens surface 12. Accordingly, the beam diameter is expanded. For this reason, also in this modification, the spot diameter of the laser light La on each second lens surface 12 is larger than the spot diameter of the laser light La on each first lens surface 11 as in the basic configuration. Since the diameter can be set, the influence of foreign matter / scratches on the second lens surface 12 on the coupling efficiency can be effectively reduced.

（第２変形例）
また、図５の縦断面図および図６の下面図に示すように、各第１のレンズ面１１を平レンズ面に形成してもよい。なお、この場合に、各第１のレンズ面１１は、外観上区別できない場合もあるが、設計上においては、それぞれの領域（図６破線部）を以て明確に区別されたものである。 (Second modification)
Further, as shown in the longitudinal sectional view of FIG. 5 and the bottom view of FIG. 6, each first lens surface 11 may be formed on a flat lens surface. In this case, the first lens surfaces 11 may be indistinguishable in appearance, but are clearly distinguished by their respective areas (dashed lines in FIG. 6) in design.

本変形例の場合には、各第１のレンズ面１１に入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、各第１のレンズ面１１によってコリメートの場合よりも弱い屈折力を以て収束されることにより、各第２のレンズ面１２側に向かうにしたがって光束径が拡径されることになる。このため、本変形例においても、基本構成と同様の作用効果を奏することができる。   In the case of this modification, the laser light La of each light emitting element 7 incident on each first lens surface 11 is converged by each first lens surface 11 with a weaker refractive power than in the case of collimation. Thus, the diameter of the light beam is increased toward the second lens surface 12 side. For this reason, also in this modification, the same effect as a basic composition can be produced.

（第３変形例）
また、図７の縦断面図、図８の下面図および図９の平面図に示すように、基本構成に対して、第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２の個数を増やしてもよい。具体的には、本変形例においては、第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２を、それぞれ１２個×２列配置することによって、２４ｃｈの光通信を実現するようになっている。 (Third Modification)
Further, as shown in the longitudinal sectional view of FIG. 7, the bottom view of FIG. 8, and the plan view of FIG. 9, the number of the first lens surfaces 11 and the second lens surfaces 12 can be increased with respect to the basic configuration. Good. Specifically, in this modification, 24 ch optical communication is realized by disposing 12 × 2 rows of the first lens surface 11 and the second lens surface 12 respectively.

（第４変形例）
さらに、図１０に示すように、第１変形例に対して、第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２の個数を１２個×２列（２４個）に増やしてもよい。 (Fourth modification)
Furthermore, as shown in FIG. 10, the number of the first lens surfaces 11 and the second lens surfaces 12 may be increased to 12 × 2 rows (24) with respect to the first modification.

（第５変形例）
さらにまた、図１１に示すように、第２変形例に対して、第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２の個数を１２個×２列に増やしてもよい。 (5th modification)
Furthermore, as shown in FIG. 11, the number of the first lens surfaces 11 and the second lens surfaces 12 may be increased to 12 × 2 rows with respect to the second modification.

（第２実施形態）
次に、本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第２実施形態について、図１２〜図２２を参照して説明する。 (Second Embodiment)
Next, a lens array according to a second embodiment of the present invention and an optical module including the lens array will be described with reference to FIGS.

なお、第１実施形態と基本的構成が同一もしくはこれに類する箇所については、同一の符号を用いて説明する。   Note that portions having the same or similar basic configuration as the first embodiment will be described using the same reference numerals.

図１２は、本実施形態におけるサブアセンブリ２１の概要を本実施形態におけるレンズアレイ２２の縦断面図とともに示した概略構成図である。また、図１３は、図１２に示すレンズアレイ２２の下面図である。さらに、図１４は、図１２に示すレンズアレイ２２の右側面図である。   FIG. 12 is a schematic configuration diagram showing an outline of the subassembly 21 in the present embodiment together with a longitudinal sectional view of the lens array 22 in the present embodiment. FIG. 13 is a bottom view of the lens array 22 shown in FIG. Further, FIG. 14 is a right side view of the lens array 22 shown in FIG.

図１２に示すように、本実施形態におけるレンズアレイ２２は、第１実施形態と同様に、光電変換装置３と光ファイバ５との間に配置されるようになっており、また、光電変換装置３および光ファイバ５の基本的な構成は、第１実施形態と同様である。   As shown in FIG. 12, the lens array 22 in the present embodiment is arranged between the photoelectric conversion device 3 and the optical fiber 5 as in the first embodiment, and the photoelectric conversion device. The basic configuration of 3 and the optical fiber 5 is the same as that of the first embodiment.

ただし、本実施形態におけるサブアセンブリ２１は、基板６上に実装された発光素子７から出射されたレーザ光Ｌａを、光ファイバ５の端面５ａにおいて基板６に平行な方向から取り出すように構成されている。   However, the subassembly 21 in the present embodiment is configured to extract the laser light La emitted from the light emitting element 7 mounted on the substrate 6 from a direction parallel to the substrate 6 at the end face 5a of the optical fiber 5. Yes.

具体的な構成は以下の通りである。   The specific configuration is as follows.

すなわち、図１２に示すように、レンズアレイ２２（レンズアレイ本体）は、透光性材料（例えば、ポリエーテルイミド等の樹脂材料）によって外形が略直方体形状に形成されている。   That is, as shown in FIG. 12, the outer shape of the lens array 22 (lens array main body) is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape by a translucent material (for example, a resin material such as polyetherimide).

このようなレンズアレイ２２の下端面２２ａは、光電変換装置３が取り付けられる第１の面として機能するようになっており、この下端面２２ａには、図１２および図１３に示すように、発光素子７と同数の複数（１２個）の平面円形状の第１のレンズ面１１が、発光素子７に沿って整列配置されている。なお、第１実施形態と同様に、第１のレンズ面１１は、下端面２２ａにおける中央側の所定範囲の凹入平面であるレンズ形成面２２ａ’上に形成されている。   The lower end surface 22a of such a lens array 22 functions as a first surface to which the photoelectric conversion device 3 is attached. As shown in FIGS. 12 and 13, the lower end surface 22a emits light. The same number of (12) planar lens surfaces 11 having the same number as the element 7 are arranged along the light emitting element 7. As in the first embodiment, the first lens surface 11 is formed on a lens forming surface 22a 'that is a concave surface in a predetermined range on the center side of the lower end surface 22a.

一方、本実施形態においては、下端面２２ａに対して直交配置されたレンズアレイ２２の右端面２２ｃが、複数の光ファイバ５が取り付けられる第２の面として機能するようになっている。すなわち、図１２および図１４に示すように、右端面２２ｃには、第１のレンズ面１１と同数の平面円形状の複数の第２のレンズ面１２が形成されている。なお、第１実施形態と同様に、第２のレンズ面１２は、右端面２２ｃにおける中央側の所定範囲の凹入平面であるレンズ形成面２２ｃ’上に形成されている。   On the other hand, in the present embodiment, the right end surface 22c of the lens array 22 arranged orthogonal to the lower end surface 22a functions as a second surface to which the plurality of optical fibers 5 are attached. That is, as shown in FIGS. 12 and 14, a plurality of second lens surfaces 12 having the same number of planar circles as the first lens surfaces 11 are formed on the right end surface 22 c. Similar to the first embodiment, the second lens surface 12 is formed on a lens forming surface 22c 'that is a concave plane within a predetermined range on the center side of the right end surface 22c.

さらに、図１２に示すように、レンズアレイ２２の上端面２２ｂには、下端面２２ａおよび右端面２２ｃに対して所定の傾斜角を有する傾斜平面からなる反射面２３が凹入形成されている。なお、反射面２３の傾斜角は、下端面２２ａおよび右端面２２ｃのいずれに対しても４５°であってもよい。   Further, as shown in FIG. 12, the upper end surface 22b of the lens array 22 has a reflecting surface 23 formed of an inclined plane having a predetermined inclination angle with respect to the lower end surface 22a and the right end surface 22c. The inclination angle of the reflecting surface 23 may be 45 ° with respect to both the lower end surface 22a and the right end surface 22c.

そして、第１実施形態の基本構成と同様に、各第１のレンズ面１１は、第１のレンズ面１１側から第２のレンズ面１２側に向かうにしたがってレーザ光Ｌａの光束径を拡径させることによって、第２のレンズ面１２上におけるレーザ光Ｌａのスポット径を第１のレンズ面１１上におけるレーザ光Ｌａのスポット径よりも大径にするような凸レンズ面に形成されている。   As in the basic configuration of the first embodiment, each first lens surface 11 increases the beam diameter of the laser light La from the first lens surface 11 side toward the second lens surface 12 side. Thus, the spot diameter of the laser beam La on the second lens surface 12 is formed to be a convex lens surface that is larger than the spot diameter of the laser beam La on the first lens surface 11.

このような本実施形態の構成においては、図１２に示すように、各発光素子７から上方に向かって出射された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａが、各第１のレンズ面１１に入射して、各第１のレンズ面１１の面形状によって、コリメートの場合よりも弱い屈折力を以て収束される。これにより、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、第１のレンズ面１１側から第２のレンズ面１２側に向かうにしたがって光束径を拡径させて、各第２のレンズ面１２の有効径内に大きなスポット径で投影された上で、各第２のレンズ面１２から各光ファイバ５の端面５ａに向けて出射される。この過程で、図１２に示すように、反射面２３には、各第１のレンズ面１１によって収束された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａが、下方から臨界角よりも大きな入射角で入射する。そして、入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、反射面２３によって各第２のレンズ面１２に向けて全反射される。   In such a configuration of the present embodiment, as shown in FIG. 12, the laser light La of each light emitting element 7 emitted upward from each light emitting element 7 is incident on each first lens surface 11. Then, the surface shape of each first lens surface 11 is converged with a weaker refractive power than in the case of collimation. As a result, the laser light La for each light emitting element 7 increases the diameter of the light beam from the first lens surface 11 side toward the second lens surface 12 side, and the effective of each second lens surface 12. The light is projected from the second lens surface 12 toward the end surface 5a of each optical fiber 5 after being projected with a large spot diameter within the diameter. In this process, as shown in FIG. 12, the laser beam La for each light emitting element 7 converged by each first lens surface 11 is incident on the reflecting surface 23 from below with an incident angle larger than the critical angle. To do. Then, the incident laser light La for each light emitting element 7 is totally reflected by the reflecting surface 23 toward each second lens surface 12.

本実施形態によれば、基板６上に実装された発光素子７から出射されたレーザ光Ｌａを光ファイバ５の端面５ａにおいて基板６に平行な方向から取り出すのに好適な構成において、第２のレンズ面１２上の異物／傷が結合効率に与える影響を有効に緩和することができる。   According to the present embodiment, in the configuration suitable for taking out the laser light La emitted from the light emitting element 7 mounted on the substrate 6 from the direction parallel to the substrate 6 at the end face 5a of the optical fiber 5, The influence of foreign matter / scratches on the lens surface 12 on the coupling efficiency can be effectively reduced.

なお、本実施形態においては、光ファイバ５の機械的な位置決めのために、図１２〜図１４に示すように、右端面２２ｃ上にピン１４’が立設されている。このピン１４’は、コネクタ１０側に設けられた不図示の貫通孔または有底穴に挿入されることによって、光ファイバ５の位置決めに用いられることになる。   In the present embodiment, for mechanical positioning of the optical fiber 5, a pin 14 'is erected on the right end surface 22c as shown in FIGS. The pin 14 ′ is used for positioning the optical fiber 5 by being inserted into a not-shown through hole or bottomed hole provided on the connector 10 side.

なお、第１実施形態と同様に、本実施形態においても、図１２〜図１４に示した基本構成に対して以下に示すような種々の変形例を適用することができる。   Similar to the first embodiment, in the present embodiment, various modifications as described below can be applied to the basic configurations shown in FIGS.

（第１変形例）
例えば、図１５に示すように、各第１のレンズ面１１を球面または非球面の凹レンズ面に形成してもよい。 (First modification)
For example, as shown in FIG. 15, each first lens surface 11 may be formed as a spherical or aspheric concave lens surface.

（第２変形例）
また、図１６の縦断面図および図１７の下面図に示すように、各第１のレンズ面１１を平レンズ面に形成してもよい。 (Second modification)
Further, as shown in the longitudinal sectional view of FIG. 16 and the bottom view of FIG. 17, each first lens surface 11 may be formed as a flat lens surface.

（第３変形例）
さらに、図１８の縦断面図、図１９の下面図および図２０の右側面図に示すように、基本構成に対して、第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２の個数を１２個×２列（２４個）に増やしてもよい。 (Third Modification)
Further, as shown in the longitudinal sectional view of FIG. 18, the bottom view of FIG. 19, and the right side view of FIG. 20, the number of the first lens surfaces 11 and the second lens surfaces 12 is 12 with respect to the basic configuration. You may increase in x2 rows (24 pieces).

（第４変形例）
さらにまた、図２１に示すように、第１変形例に対して、第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２の個数を１２個×２列に増やしてもよい。 (Fourth modification)
Furthermore, as shown in FIG. 21, the number of the first lens surfaces 11 and the second lens surfaces 12 may be increased to 12 × 2 rows with respect to the first modification.

（第５変形例）
また、図２２に示すように、第２変形例に対して、第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２の個数を１２個×２列に増やしてもよい。 (5th modification)
Further, as shown in FIG. 22, the number of the first lens surfaces 11 and the second lens surfaces 12 may be increased to 12 × 2 rows with respect to the second modification.

（第３実施形態）
次に、本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第３実施形態について、図２３〜図２６を参照して説明する。 (Third embodiment)
Next, a third embodiment of the lens array and the optical module including the lens array according to the present invention will be described with reference to FIGS.

なお、第１実施形態と基本的構成が同一もしくはこれに類する箇所については、同一の符号を用いて説明する。   Note that portions having the same or similar basic configuration as the first embodiment will be described using the same reference numerals.

図２３は、本実施形態におけるサブアセンブリ３１の概要を本実施形態におけるレンズアレイ３２の縦断面図とともに示した概略構成図である。また、図２４は、図２３に示すレンズアレイ３２の下面図である。さらに、図２５は、図２３に示すレンズアレイ３２の右側面図である。   FIG. 23 is a schematic configuration diagram showing an outline of the subassembly 31 in the present embodiment together with a longitudinal sectional view of the lens array 32 in the present embodiment. FIG. 24 is a bottom view of the lens array 32 shown in FIG. 25 is a right side view of the lens array 32 shown in FIG.

図２３に示すように、本実施形態におけるレンズアレイ３２は、第１実施形態および第２実施形態と同様に、光電変換装置３と光ファイバ５との間に配置されるようになっており、また、光ファイバ５の基本的な構成は、第１実施形態および第２実施形態と同様である。   As shown in FIG. 23, the lens array 32 in the present embodiment is arranged between the photoelectric conversion device 3 and the optical fiber 5 as in the first embodiment and the second embodiment. The basic configuration of the optical fiber 5 is the same as that of the first embodiment and the second embodiment.

また、本実施形態におけるサブアセンブリ３１は、第２実施形態と同様に、基板６上に実装された発光素子７から出射されたレーザ光Ｌａを、光ファイバ５の端面５ａにおいて基板６に平行な方向から取り出すように構成されている。   Further, the subassembly 31 in the present embodiment is configured so that the laser light La emitted from the light emitting element 7 mounted on the substrate 6 is parallel to the substrate 6 at the end face 5a of the optical fiber 5, as in the second embodiment. It is configured to take out from the direction.

ただし、本実施形態におけるサブアセンブリ３１は、第１実施形態および第２実施形態とは異なり、発光素子７から出射されたレーザ光Ｌａの一部をフィードバックしてレーザ光Ｌａの出力（例えば、強度や光量）を調整することが可能に構成されている。   However, unlike the first and second embodiments, the subassembly 31 in the present embodiment feeds back a part of the laser light La emitted from the light emitting element 7 to output the laser light La (for example, intensity). And the amount of light) can be adjusted.

具体的な構成は以下の通りである。   The specific configuration is as follows.

すなわち、図２３に示すように、 光電変換装置３は、半導体基板６におけるレンズアレイ３２側の面上であって、発光素子７に対する図２３における右方位置に、発光素子７から出射されたレーザ光Ｌａの出力をモニタするためのモニタ光Ｍを受光する発光素子７と同数の複数の受光素子８を有している。この受光素子８は、フォトディテクタであってもよい。さらに、図示はしないが、半導体基板６におけるレンズアレイ３２側の面上には、受光素子８によって受光されたモニタ光Ｍの強度や光量に基づいて発光素子７から発光されるレーザ光Ｌａの出力を制御する制御回路等の電子部品が実装されており、この電子部品は、配線を介して発光素子７および受光素子８に電気的に接続されている。   That is, as shown in FIG. 23, the photoelectric conversion device 3 includes a laser emitted from the light emitting element 7 on the surface of the semiconductor substrate 6 on the lens array 32 side and on the right side in FIG. It has a plurality of light receiving elements 8 as many as the light emitting elements 7 that receive the monitor light M for monitoring the output of the light La. The light receiving element 8 may be a photo detector. Further, although not shown, on the surface of the semiconductor substrate 6 on the lens array 32 side, the output of the laser light La emitted from the light emitting element 7 based on the intensity and the amount of light of the monitor light M received by the light receiving element 8 is output. An electronic component such as a control circuit for controlling the electronic component is mounted, and the electronic component is electrically connected to the light emitting element 7 and the light receiving element 8 through wiring.

また、図２３に示すように、レンズアレイ３２は、透光性材料からなるレンズアレイ本体３４を有しており、このレンズアレイ本体３４は、外形が略直方体形状に形成されている。   As shown in FIG. 23, the lens array 32 has a lens array body 34 made of a translucent material, and the outer shape of the lens array body 34 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape.

図２３および図２４に示すように、レンズアレイ本体３４は、第１の面としての光電変換素装置３が取り付けられる下端面３４ａに、発光素子７と同数の複数（１２個）の平面円形状の第１のレンズ面１１を有している。なお、第１実施形態と同様に、第１のレンズ面１１は、下端面３４ａにおける中央側の所定範囲の凹入平面であるレンズ形成面３４ａ’上に、発光素子７に沿って整列形成されている。   As shown in FIGS. 23 and 24, the lens array main body 34 has a plurality (12) of planar circular shapes of the same number as the light emitting elements 7 on the lower end surface 34a to which the photoelectric conversion device 3 as the first surface is attached. The first lens surface 11 is provided. As in the first embodiment, the first lens surface 11 is aligned and formed along the light emitting element 7 on the lens forming surface 34a ′, which is a concave surface in a predetermined range on the center side of the lower end surface 34a. ing.

また、図２３および図２５に示すように、レンズアレイ本体３４は、これの第２の面としての光ファイバ５が取り付けられる図１の右端面３４ｃに、第１のレンズ面１１と同数の複数の第２のレンズ面１２を有している。なお、第１実施形態と同様に、第２のレンズ面１２は、右端面３４ｃにおける中央側の所定範囲の凹入平面であるレンズ形成面３４ｃ’上に整列形成されている。   Further, as shown in FIGS. 23 and 25, the lens array main body 34 has a plurality of same numbers as the first lens surfaces 11 on the right end surface 34c of FIG. 1 to which the optical fiber 5 as the second surface is attached. The second lens surface 12 is provided. As in the first embodiment, the second lens surface 12 is aligned and formed on a lens forming surface 34c 'that is a concave plane within a predetermined range on the center side of the right end surface 34c.

さらに、図２３に示すように、レンズアレイ本体３４の上端面３４ｂには、第１実施形態と同様に、下端面３４ａおよび右端面３４ｃに対して所定の傾斜角を有する傾斜平面からなる反射面２３が凹入形成されている。なお、反射面２３の傾斜角は、下端面３４ａおよび右端面３４ｃのいずれに対しても４５°であってもよい。   Furthermore, as shown in FIG. 23, the upper end surface 34b of the lens array main body 34 is a reflecting surface composed of an inclined plane having a predetermined inclination angle with respect to the lower end surface 34a and the right end surface 34c, as in the first embodiment. 23 is recessed. The inclination angle of the reflecting surface 23 may be 45 ° with respect to both the lower end surface 34a and the right end surface 34c.

さらにまた、図２３および図２４に示すように、下端面３４ａのレンズ形成面３４ａ’上における第１のレンズ面１１に対する右方近傍位置には、受光素子８と同数（本実施形態においては、発光素子７、光ファイバ５、第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２とも同数）の第３のレンズ面１３が形成されている。各第３のレンズ面１３は、受光素子８に対応する所定の整列方向すなわちレンズ整列方向と同方向に整列するように配置されている。また、各第３のレンズ面１３は、各受光素子８と同一ピッチで形成されている。なお、各第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）は、各第３のレンズ面１３にそれぞれ対応する各受光素子８の受光面の中心軸に一致することが望ましい。   Furthermore, as shown in FIGS. 23 and 24, the same number as the light receiving elements 8 (in the present embodiment, in the vicinity of the right side of the first lens surface 11 on the lens forming surface 34a ′ of the lower end surface 34a). The same number of light emitting elements 7, optical fibers 5, first lens surfaces 11 and second lens surfaces 12 as the third lens surfaces 13 are formed. Each third lens surface 13 is arranged so as to be aligned in a predetermined alignment direction corresponding to the light receiving element 8, that is, in the same direction as the lens alignment direction. Each third lens surface 13 is formed at the same pitch as each light receiving element 8. It is desirable that the optical axis OA (3) on each third lens surface 13 coincides with the central axis of the light receiving surface of each light receiving element 8 corresponding to each third lens surface 13.

また、図２３に示すように、反射面２３と第２のレンズ面１２との間の光路上には、光制御部４が配置されている。   Further, as shown in FIG. 23, the light control unit 4 is disposed on the optical path between the reflecting surface 23 and the second lens surface 12.

この光制御部４は、レンズアレイ本体３４の上端面３４ｂにおける全反射面２３に対する右方位置であって、各第３のレンズ面１３に対向する位置に凹入形成されたプリズム配置用凹部４１と、この凹部４１内に配置されたプリズム４２と、このプリズム４２上に配置された反射／透過層４３と、凹部４１とプリズム４２との間に充填された充填材４４とによって構成されている。   The light control unit 4 is a prism placement concave portion 41 which is recessed at a position on the right side of the upper end surface 34 b of the lens array body 34 with respect to the total reflection surface 23 and facing each third lens surface 13. And a prism 42 disposed in the recess 41, a reflection / transmission layer 43 disposed on the prism 42, and a filler 44 filled between the recess 41 and the prism 42. .

より具体的には、図２３に示すように、プリズム配置用凹部４１における左右の内側面４１ａ、４１ｂは、右端面３４ｃのレンズ形成面３４ｃ’に平行に形成されている。   More specifically, as shown in FIG. 23, the left and right inner surfaces 41a and 41b of the prism placement recess 41 are formed in parallel to the lens forming surface 34c 'of the right end surface 34c.

また、図２３に示すように、プリズム４２は、プリズム配置用凹部４１の左内側面４１ａに右方から臨む位置に、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａの入射面４２ａを有している。この入射面４２ａは、図２３に示すように、その下端部がその上端部よりも右側に位置するような傾斜面に形成されている。なお、入射面４２ａの傾斜角は、下端面３４ａを基準として図２３の時計回りに４５°であることが望ましい。さらに、図２３に示すように、プリズム４２は、入射面４２ａに右方において対向する位置に、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａの出射面４２ｂを有している。この出射面４２ｂは、図２３に示すように、プリズム配置用凹部４１の右内側面４１ｂに所定の間隙を以て平行に臨んでいる。ただし、プリズム４２の右端面のうちの出射面４２ｂよりも上方の部位は、プリズム配置用凹部４１の右内側面４１ｂに密接配置されていてもよい。さらにまた、図２３に示すように、プリズム４２の上部には、板状の鍔部４５が一体形成されているが、この鍔部４５は、小型のプリズム４２の取り扱い（プリズム配置用凹部４１内への配置）やプリズム配置用凹部４１内への異物（埃等）の混入防止等の便宜のために設けられている。また、図２３に示すように入射面４２ａの下端部と出射面４２ｂの下端部との間に接続されたプリズム４２の底面４２ｃは、プリズム配置用凹部４１の内底面４１ｃよりも上方の位置に配置されている。   Further, as shown in FIG. 23, the prism 42 has an incident surface 42a for the laser light La for each light emitting element 7 at a position facing the left inner side surface 41a of the prism placement recess 41 from the right side. As shown in FIG. 23, the incident surface 42a is formed in an inclined surface such that the lower end portion is located on the right side of the upper end portion. Note that the inclination angle of the incident surface 42a is desirably 45 ° clockwise in FIG. 23 with the lower end surface 34a as a reference. Further, as shown in FIG. 23, the prism 42 has an emission surface 42b of the laser light La for each light emitting element 7 at a position facing the incident surface 42a on the right side. As shown in FIG. 23, the emission surface 42b faces the right inner side surface 41b of the prism placement recess 41 in parallel with a predetermined gap. However, the portion of the right end surface of the prism 42 above the emission surface 42b may be closely disposed on the right inner surface 41b of the prism placement recess 41. Furthermore, as shown in FIG. 23, a plate-like collar portion 45 is integrally formed on the upper portion of the prism 42. The collar portion 45 is handled by a small prism 42 (inside the prism arrangement recess 41). For the prevention of mixing of foreign matters (such as dust) into the prism placement concave portion 41. Further, as shown in FIG. 23, the bottom surface 42c of the prism 42 connected between the lower end portion of the incident surface 42a and the lower end portion of the output surface 42b is positioned above the inner bottom surface 41c of the prism placement recess 41. Has been placed.

さらに、図２３に示すように、前述した反射／透過層４３は、プリズム４２の入射面４２ａ上に配置されている。この反射／透過層４３は、Ｎｉ、ＣｒまたはＡｌ等の単一の金属からなる単層膜によって形成してもよく、また、互いに誘電率が異なる複数の誘電体（例えば、ＴｉＯ２とＳｉＯ２）を交互に積層した誘電体多層膜によって形成してもよい。さらに、反射／透過層４３は、前述した金属の単層膜や誘電体多層膜を、入射面４２ａ上にコーティングすることによって形成してもよい。コーティングには、インコーネル蒸着等の公知のコーティング技術を用いることができる。このようにすれば、反射／透過層４３を極めて薄く（例えば、１μｍ以下に）形成することができる。 Further, as shown in FIG. 23, the above-described reflection / transmission layer 43 is disposed on the incident surface 42 a of the prism 42. The reflection / transmission layer 43 may be formed of a single layer film made of a single metal such as Ni, Cr, or Al, and a plurality of dielectrics having different dielectric constants (for example, TiO 2 and SiO 2). ) May be formed of dielectric multilayer films alternately stacked. Further, the reflection / transmission layer 43 may be formed by coating the above-described metal single layer film or dielectric multilayer film on the incident surface 42a. For coating, a known coating technique such as Inconel vapor deposition can be used. In this way, the reflection / transmission layer 43 can be formed extremely thin (for example, 1 μm or less).

さらにまた、図２３に示すように、前述した充填材４４は、プリズム配置用凹部４１の左内側面４１ａと反射／透過層４３との間の空間およびプリズム配置用凹部４１の右内側面４１ｂとプリズム４２の出射面４２ｂとの間の空間を隙間無く埋めるように充填されている。また、充填材４４は、紫外線硬化樹脂としてのアクリレート系接着剤やエポキシ系接着剤等の接着剤からなり、プリズム４２をプリズム配置用凹部４１内に安定的に接着するようになっている。   Furthermore, as shown in FIG. 23, the filler 44 described above includes the space between the left inner side surface 41 a of the prism placement recess 41 and the reflection / transmission layer 43 and the right inner side surface 41 b of the prism placement recess 41. It fills up so that the space between the output surfaces 42b of the prism 42 may be filled without a gap. The filler 44 is made of an adhesive such as an acrylate adhesive or an epoxy adhesive as an ultraviolet curable resin, and stably adheres the prism 42 in the prism placement recess 41.

また、レンズアレイ本体３４、プリズム４２および充填材４４は、互いの屈折率差が所定値（例えば、０．０５）以下に形成されている。例えば、レンズアレイ本体３４とプリズム４２とをポリエーテルイミドとしてのSABIC社製Ultem（登録商標）によって形成した場合には、レンズアレイ本体３４およびプリズム４２の屈折率は、波長８５０nmの光について１．６４となる。そして、これに対応する充填材４４としては、例えば、三菱ガス化学社製ＬＰＣ１１０１を用いることができる。この製品は、メーカ公表値のｄ線に対する屈折率およびアッベ数を下に計算された波長８５０ｎｍの光の屈折率が１．６６とされている。   Further, the lens array main body 34, the prism 42, and the filler 44 are formed such that a difference in refractive index between them is a predetermined value (for example, 0.05) or less. For example, when the lens array main body 34 and the prism 42 are formed by Ultem (registered trademark) manufactured by SABIC as polyetherimide, the refractive indexes of the lens array main body 34 and the prism 42 are 1. 64. And as the filler 44 corresponding to this, LPC1101 by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. can be used, for example. In this product, the refractive index of light with a wavelength of 850 nm calculated based on the refractive index and Abbe number for the d-line of the manufacturer's published value is 1.66.

さらに、第１実施形態の基本構成と同様に、各第１のレンズ面１１は、第１のレンズ面１１側から第２のレンズ面１２側に向かうにしたがってレーザ光Ｌａの光束径を拡径させることによって、第２のレンズ面１２上におけるレーザ光Ｌａのスポット径を第１のレンズ面１１上におけるレーザ光Ｌａのスポット径よりも大径にするような凸レンズ面に形成されている。   Further, similarly to the basic configuration of the first embodiment, each first lens surface 11 increases the beam diameter of the laser light La from the first lens surface 11 side toward the second lens surface 12 side. Thus, the spot diameter of the laser beam La on the second lens surface 12 is formed to be a convex lens surface that is larger than the spot diameter of the laser beam La on the first lens surface 11.

このような本実施形態の構成においては、図２３に示すように、まず、各発光素子７から上方に向かって出射された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａが、各第１のレンズ面１１に入射して、各第１のレンズ面１１の面形状によって、コリメートの場合よりも弱い屈折力を以て収束される。これにより、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、第１のレンズ面１１側から進行方向に向かうにしたがって光束径を拡径させる。   In such a configuration of the present embodiment, as shown in FIG. 23, first, the laser light La for each light emitting element 7 emitted upward from each light emitting element 7 is converted into each first lens surface 11. And is converged with a refractive power weaker than that in the case of collimation due to the surface shape of each first lens surface 11. Thereby, the laser beam La for each light-emitting element 7 increases the diameter of the light beam from the first lens surface 11 side toward the traveling direction.

次いで、各第１のレンズ面１１によって収束された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、反射面２３に臨界角よりも大きな入射角で入射する。そして、反射面２３は、入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａを、光制御部４に向けて全反射させる。   Next, the laser light La for each light emitting element 7 converged by each first lens surface 11 is incident on the reflecting surface 23 at an incident angle larger than the critical angle. The reflecting surface 23 totally reflects the incident laser light La for each light emitting element 7 toward the light control unit 4.

次いで、反射面２３によって全反射された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、進行方向に向かうにしたがって光束径を拡径させながら、光制御部４に入射する。このとき、レンズアレイ本体３４と充填材４４との屈折率差が小さいことによって、図２６に示すように、プリズム配置用凹部４１における左内側面４１ａと充填材４４との界面への入射時におけるレーザ光Ｌａの屈折は生じない。   Next, the laser light La for each light emitting element 7 totally reflected by the reflecting surface 23 enters the light control unit 4 while increasing the diameter of the light beam in the traveling direction. At this time, since the difference in refractive index between the lens array main body 34 and the filler 44 is small, as shown in FIG. 26, the incident light is incident on the interface between the left inner surface 41 a and the filler 44 in the prism placement concave portion 41. The refraction of the laser beam La does not occur.

次いで、充填材４４の内部を進行した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、進行方向に向かうにしたがって光束径を拡径させながら、反射／透過層４３に入射する。そして、反射／透過層４３は、このようにして入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａを、所定の反射率で第３のレンズ面１３側に反射させるとともに、所定の透過率でプリズム４２の入射面４２ａ側に透過させる。なお、反射／透過層４３の反射率および透過率としては、レーザ光Ｌａの出力をモニタするために十分とみなされる光量のモニタ光Ｍを得ることができる限度において、反射／透過層４３の材質や厚み等に応じた所望の値を設定することができる。そして、このような反射または透過の際に、反射／透過層４３は、図２３に示すように、反射／透過層４３に入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａのそれぞれの一部（反射率分の光）を、各発光素子７にそれぞれ対応する各発光素子７ごとのモニタ光Ｍとして各モニタ光Ｍに対応する各第３のレンズ面１３側に向かって反射させる。   Next, the laser light La for each light emitting element 7 that has traveled inside the filler 44 enters the reflection / transmission layer 43 while increasing the diameter of the light beam in the traveling direction. Then, the reflection / transmission layer 43 reflects the laser beam La for each light emitting element 7 incident in this way to the third lens surface 13 side with a predetermined reflectance, and also with the prism 42 with a predetermined transmittance. Is transmitted to the incident surface 42a side. The reflectivity / transmittance of the reflection / transmission layer 43 is made of a material of the reflection / transmission layer 43 as long as the monitor light M having an amount of light that is considered sufficient for monitoring the output of the laser beam La can be obtained. It is possible to set a desired value according to the thickness or the like. Then, at the time of such reflection or transmission, the reflection / transmission layer 43 causes each part (reflection) of the laser beam La for each light emitting element 7 incident on the reflection / transmission layer 43 as shown in FIG. Light corresponding to each light emitting element 7 is reflected toward the third lens surface 13 corresponding to each monitor light M as the monitor light M corresponding to each light emitting element 7.

そして、このようにして反射／透過層４３によって反射された各発光素子７ごとのモニタ光Ｍは、各第３のレンズ面１３側に向かって充填材４４の内部を進行した後に、プリズム配置用凹部４１の内底面４１ｃに入射する。そして、内底面４１ｃに入射した各発光素子７ごとのモニタ光Ｍは、レンズアレイ本体３４の内部を進行した後に、各第３のレンズ面１３からこれらに対応する各受光素子８に向けてそれぞれ出射される。   The monitor light M for each light emitting element 7 reflected by the reflection / transmission layer 43 in this way travels through the filler 44 toward the third lens surface 13 side, and then is used for prism placement. The light enters the inner bottom surface 41 c of the recess 41. The monitor light M for each light emitting element 7 incident on the inner bottom surface 41 c travels through the lens array body 34 and then travels from the third lens surface 13 toward the corresponding light receiving element 8. Emitted.

一方、反射／透過層４３によって透過された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、透過の直後にプリズム４２の入射面４２ａに入射して、プリズム４２の内部の光路上を、各第２のレンズ面１２側に向かって進行するとともに、進行方向に向かうにしたがって光束径を拡径させる。   On the other hand, the laser light La of each light emitting element 7 transmitted by the reflection / transmission layer 43 is incident on the incident surface 42a of the prism 42 immediately after the transmission, and the second light is incident on the optical path inside the prism 42. While proceeding toward the lens surface 12 side, the light beam diameter is increased as it proceeds in the traveling direction.

このとき、反射／透過層４３の厚みが極めて薄いことによって、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌが反射／透過層４３を透過する際における屈折は、無視できる程小さい。   At this time, since the thickness of the reflection / transmission layer 43 is extremely thin, the refraction when the laser light L for each light emitting element 7 is transmitted through the reflection / transmission layer 43 is negligibly small.

次いで、プリズム４２の内部を進行した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、プリズム４２の出射面４２ｂからプリズム４２の外部に出射され、充填材４４を経た後にプリズム配置用凹部４１の右内側面４１ｂに入射する。このとき、プリズム４２、充填材４４およびレンズアレイ本体３４の屈折率差が小さいことによって、図２６に示すように、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａに屈折およびフレネル反射は生じない。   Next, the laser light La for each light emitting element 7 traveling inside the prism 42 is emitted from the emission surface 42 b of the prism 42 to the outside of the prism 42, passes through the filler 44, and then the right inner surface of the prism placement recess 41. It is incident on 41b. At this time, since the refractive index difference between the prism 42, the filler 44, and the lens array body 34 is small, refraction and Fresnel reflection do not occur in the laser light La for each light emitting element 7, as shown in FIG.

次いで、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、右内側面４１ｂ以後のレンズアレイ本体３４の内部の光路上を各第２のレンズ面１２側に向かって進行するとともに、進行方向に向かうにしたがって光束径を拡径させる。   Next, the laser light La for each light-emitting element 7 travels toward the second lens surface 12 side on the optical path inside the lens array body 34 after the right inner surface 41b, and as it travels in the traveling direction. Increase the beam diameter.

そして、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌａは、各第２のレンズ面１２の有効径内に大きなスポット径で投影された上で、各第２のレンズ面１２から各光ファイバ５の端面５ａに向けて出射される。   The laser light La for each light emitting element 7 is projected with a large spot diameter within the effective diameter of each second lens surface 12, and then the end surface 5a of each optical fiber 5 from each second lens surface 12. It is emitted toward

本実施形態によれば、発光素子７のレーザ光Ｌａの出力の調整に好適な構成において、第２のレンズ面１２上の異物／傷が結合効率に与える影響を有効に緩和することができる。   According to the present embodiment, in a configuration suitable for adjusting the output of the laser light La of the light emitting element 7, it is possible to effectively mitigate the influence of foreign matter / scratches on the second lens surface 12 on the coupling efficiency.

なお、第１実施形態および第２実施形態に適用した各変形例は、本実施形態においても適宜適用することができる。   In addition, each modification applied to 1st Embodiment and 2nd Embodiment can be applied suitably also in this embodiment.

次に、本実施例においては、第２のレンズ面１２上の異物がＶＣＳＥＬ−光ファイバ間の結合効率に与える影響を、第１のレンズ面１１の曲率半径（中心曲率半径）Ｒを変化させながらシミュレーションした。   Next, in the present embodiment, the influence of the foreign matter on the second lens surface 12 on the coupling efficiency between the VCSEL and the optical fiber is changed by changing the curvature radius (center curvature radius) R of the first lens surface 11. While simulating.

なお、本シミュレーションには、第１実施形態に示したような第１レンズ面１１の裏側に第２のレンズ面１２が配置されたタイプのレンズアレイを用いた。   In this simulation, a lens array of the type in which the second lens surface 12 is arranged on the back side of the first lens surface 11 as shown in the first embodiment is used.

また、ＶＣＳＥＬは、φ０．０１ｍｍ、ＮＡ０．１５（ただし、光束径は、強度が最大強度の１／ｅ２に低下する周縁部の径とした）、使用波長８５０ｎｍのものとし、光ファイバ５は、φ０．０５ｍｍ、ＮＡ０．２０のものとした。 The VCSEL has a diameter of 0.01 mm, NA of 0.15 (however, the light beam diameter is the diameter of the peripheral portion where the intensity is reduced to 1 / e 2 of the maximum intensity), the wavelength used is 850 nm, and the optical fiber 5 , Φ0.05 mm, NA0.20.

さらに、ＶＣＳＥＬと第１のレンズ面１１との距離は、０．１４ｍｍとした。   Further, the distance between the VCSEL and the first lens surface 11 was 0.14 mm.

さらにまた、本シミュレーションにおいては、図２７に示すように、第２のレンズ面１２の中心（ｘ＝０．００ｍｍ、ｙ＝０．００ｍｍ）から０．０１５ｍｍの位置Ｐ１（ｘ＝０．００ｍｍ、ｙ＝０．０１５ｍｍ）に、大きさがφ０．０２ｍｍの異物を仮定した。 Furthermore, in this simulation, as shown in FIG. 27, a position P 1 (x = 0.00 mm) 0.015 mm from the center (x = 0.00 mm, y = 0.00 mm) of the second lens surface 12. , Y = 0.015 mm) and a foreign matter having a size of φ0.02 mm was assumed.

また、光ファイバ５側のデフォーカス位置は、異物が無い状況において結合効率が最良となる位置とした。   Further, the defocus position on the optical fiber 5 side was set to a position where the coupling efficiency was the best in a situation where there was no foreign matter.

このような条件の下で行われた本シミュレーションの結果を、以下の表１、図２８および図２９に示す。   The results of this simulation performed under such conditions are shown in Table 1, FIG. 28 and FIG. 29 below.

Figure 2017049613
ただし、図２８において、横軸は、第１のレンズ面１１の曲率半径Ｒであり、縦軸は、結合効率である。また、図２９において、横軸は、第１のレンズ面１１の曲率半径Ｒであり、縦軸は、透過率である。
Figure 2017049613
 However, in FIG. 28, the horizontal axis is the radius of curvature R of the first lens surface 11, and the vertical axis is the coupling efficiency. In FIG. 29, the horizontal axis represents the radius of curvature R of the first lens surface 11, and the vertical axis represents the transmittance.

表１、図２８および図２９に示すように、第１のレンズ面１１の曲率半径が０．０８ｍｍの場合には、第１のレンズ面１１によって得られる光束が、本発明の範疇から逸脱するコリメート光となり、第２のレンズ面１２におけるレーザ光Ｌａの透過率および光ファイバ５へのレーザ光Ｌａの結合効率は、異物が無い場合に比較してシミュレーション中最も悪化する値となった。これは、コリメート光では、第２のレンズ面１２上における光スポットに対する異物の面積占有率が高くなることによるものと考えられる。   As shown in Table 1, FIG. 28 and FIG. 29, when the radius of curvature of the first lens surface 11 is 0.08 mm, the luminous flux obtained by the first lens surface 11 deviates from the scope of the present invention. It became collimated light, and the transmittance of the laser light La on the second lens surface 12 and the coupling efficiency of the laser light La to the optical fiber 5 were values that deteriorated most during the simulation as compared with the case where there was no foreign matter. This is considered to be due to an increase in the area occupancy rate of the foreign matter with respect to the light spot on the second lens surface 12 in the collimated light.

一方、曲率半径が０．１０ｍｍ、０．１２ｍｍ、０．１４ｍｍの場合には、第１のレンズ面１１によって得られる光束が、コリメート光よりも拡開した収束光すなわち、本発明において意図する光となり、第２のレンズ面１２におけるレーザ光Ｌａの透過率および光ファイバ５へのレーザ光Ｌａの結合効率は、コリメート光の場合よりも高く（異物がない場合に比べた悪化が少なく）なった。特に、曲率半径０．１４ｍｍの場合には、透過率および結合効率が最も高い値となった。これは、コリメート光よりも拡開した収束光が得られることによって、第２のレンズ面１２上における光スポットに対する異物の面積占有率を十分低減できることによるものと考えられる。   On the other hand, when the radii of curvature are 0.10 mm, 0.12 mm, and 0.14 mm, the light flux obtained by the first lens surface 11 is converged light that is spread more than collimated light, that is, light intended in the present invention. Thus, the transmittance of the laser light La on the second lens surface 12 and the coupling efficiency of the laser light La to the optical fiber 5 are higher than those of the collimated light (less deteriorated compared to the case where there is no foreign matter). . In particular, when the radius of curvature was 0.14 mm, the transmittance and the coupling efficiency were the highest values. This is considered to be due to the fact that the area occupancy rate of the foreign matter with respect to the light spot on the second lens surface 12 can be sufficiently reduced by obtaining the converging light that is expanded more than the collimated light.

次に、本実施例においては、第２実施形態に示した反射面２３を備えたタイプのレンズアレイに対して、実施例１と同様のシミュレーションを行った。   Next, in this example, the same simulation as that of Example 1 was performed on the type of lens array having the reflecting surface 23 shown in the second embodiment.

なお、本シミュレーションにおいては、ＶＣＳＥＬと第１のレンズ面１１との距離を、０．２８ｍｍとした。   In this simulation, the distance between the VCSEL and the first lens surface 11 is 0.28 mm.

また、本シミュレーションにおいては、図３０に示すように、第２のレンズ面１２の中心（ｘ＝０．００ｍｍ、ｙ＝０．００ｍｍ）から０．０３ｍｍの位置Ｐ２（ｘ＝０．００ｍｍ、ｙ＝０．０３ｍｍ）に、大きさがφ０．０４ｍｍの異物を仮定した。 In this simulation, as shown in FIG. 30, a position P 2 (x = 0.00 mm, 0.03 mm from the center (x = 0.00 mm, y = 0.00 mm) of the second lens surface 12. (y = 0.03 mm) and a foreign substance having a size of φ0.04 mm was assumed.

その他のシミュレーションの条件は、実施例１と同様である。   Other simulation conditions are the same as those in the first embodiment.

本シミュレーションの結果を、以下の表２、図３１および図３２に示す。   The results of this simulation are shown in Table 2, FIG. 31 and FIG. 32 below.

Figure 2017049613
表２、図３１および図３２に示すように、第１のレンズ面１１の曲率半径が０．１７ｍｍの場合には、第１のレンズ面１１によって得られる光束が、本発明の範疇から逸脱するコリメート光となり、第２のレンズ面１２におけるレーザ光Ｌａの透過率および光ファイバ５へのレーザ光Ｌａの結合効率は、シミュレーション中最も低い値となった。
Figure 2017049613
 As shown in Table 2, FIG. 31 and FIG. 32, when the radius of curvature of the first lens surface 11 is 0.17 mm, the luminous flux obtained by the first lens surface 11 deviates from the scope of the present invention. It became collimated light, and the transmittance of the laser light La on the second lens surface 12 and the coupling efficiency of the laser light La to the optical fiber 5 were the lowest values during the simulation.

一方、曲率半径が０．１９ｍｍ、０．２１ｍｍ、０．２３ｍｍの場合には、第１のレンズ面１１によって得られる光束が、コリメート光よりも拡開した収束光すなわち、本発明において意図する光となり、第２のレンズ面１２におけるレーザ光Ｌａの透過率および光ファイバ５へのレーザ光Ｌａの結合効率は、コリメート光の場合よりも高くなった。   On the other hand, when the radii of curvature are 0.19 mm, 0.21 mm, and 0.23 mm, the light flux obtained by the first lens surface 11 is converged light that is spread more than collimated light, that is, light intended in the present invention. Thus, the transmittance of the laser light La on the second lens surface 12 and the coupling efficiency of the laser light La to the optical fiber 5 were higher than those of the collimated light.

このような傾向は、第３実施形態のレンズアレイを適用した場合においても同様となるであろう。   Such a tendency will be the same when the lens array of the third embodiment is applied.

なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の特徴を損なわない限度において種々変更することができる。   In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A various change can be made in the limit which does not impair the characteristic of this invention.

例えば、前述した実施の形態は、光通信として光送信に適用されるものであるが、本発明は、光受信にも有効に適用できるものである。光受信に適用する場合には、発光素子７に該当する位置に、発光素子７の代わりにフォトディテクタ等の受光素子を配置して、光ファイバ５の端面５ａから第２のレンズ面１２に向けて受信用のレーザ光を出射させるように構成すればよい。また、この場合には、第２のレンズ面１２を、光ファイバ５の端面５ａから出射されたレーザ光をコリメートの場合よりも強い屈折力を以て収束させる凸レンズ面に形成すればよい。このようにすれば、光受信の場合においても、第２のレンズ面１２上における光スポット径を第１のレンズ面１１上における光スポット径よりも大きくして、第２のレンズ面１２上の光スポットに対する異物／傷の面積占有率を低減することができるので、異物／傷が受光素子への結合効率に与える影響を緩和することができる。   For example, the above-described embodiment is applied to optical transmission as optical communication, but the present invention can also be effectively applied to optical reception. In the case of application to light reception, a light receiving element such as a photodetector is disposed instead of the light emitting element 7 at a position corresponding to the light emitting element 7, and is directed from the end surface 5 a of the optical fiber 5 toward the second lens surface 12. What is necessary is just to comprise so that the laser beam for reception may be radiate | emitted. In this case, the second lens surface 12 may be formed as a convex lens surface that converges the laser light emitted from the end surface 5a of the optical fiber 5 with a stronger refractive power than in the case of collimation. In this way, even in the case of optical reception, the light spot diameter on the second lens surface 12 is made larger than the light spot diameter on the first lens surface 11, so Since the area occupation ratio of the foreign matter / scratch to the light spot can be reduced, the influence of the foreign matter / scratch on the coupling efficiency to the light receiving element can be reduced.

また、本発明は、光導波路等の光ファイバ５以外の光伝送体に適用してもよい。   Further, the present invention may be applied to an optical transmission body other than the optical fiber 5 such as an optical waveguide.

１ サブアセンブリ
２ レンズアレイ
３ 光電変換装置
５ 光ファイバ
７ 発光素子
１１ 第１のレンズ面
１２ 第２のレンズ面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Subassembly 2 Lens array 3 Photoelectric conversion apparatus 5 Optical fiber 7 Light emitting element 11 1st lens surface 12 2nd lens surface

前述した目的を達成するため、本発明の請求項１に係るレンズアレイの特徴は、複数の発光素子からなる光電変換素子が整列配置された光電変換装置と、光伝送体との間に配置され、前記複数の光電変換素子と前記光伝送体とを光学的に結合可能とされたレンズアレイであって、レンズアレイ本体における前記光電変換装置側の第１の面に、前記複数の光電変換素子に対応する所定の整列方向に整列するように配置され、前記複数の光電変換素子と前記光伝送体とを結合する各光電変換素子ごとの光が通過する複数の第１のレンズ面と、前記レンズアレイ本体における前記光伝送体側の第２の面に、前記整列方向に沿って整列するように配置され、前記光が通過する複数の第２のレンズ面とを有し、前記第１のレンズ面は、前記第１のレンズ面側から前記第２のレンズ面側に向かうにしたがって前記光の光束径を拡径させることによって、前記第２のレンズ面上における前記光のスポット径を前記第１のレンズ面上における前記光のスポット径よりも大径の有効径内に納めるような面形状に形成されており、前記第１のレンズ面は、前記光電変換素子から出射された前記光をコリメートの場合よりも弱い屈折力を以て収束させる凸レンズ面に形成されている点にある。 In order to achieve the above-described object, the lens array according to claim 1 of the present invention is characterized in that it is disposed between a photoelectric conversion device in which photoelectric conversion elements made up of a plurality of light-emitting elements are aligned and an optical transmission body. A lens array capable of optically coupling the plurality of photoelectric conversion elements and the optical transmission body, wherein the plurality of photoelectric conversion elements are disposed on a first surface of the lens array body on the photoelectric conversion device side. A plurality of first lens surfaces that are arranged so as to be aligned in a predetermined alignment direction corresponding to the plurality of photoelectric conversion elements and the light transmitting body and that pass through the light of each photoelectric conversion element; A plurality of second lens surfaces arranged on the second surface of the lens array body on the light transmission body side so as to align along the alignment direction, and through which the light passes, and the first lens surface, said first lens By expanding the light beam diameter of the light from the side toward the second lens surface side, the spot diameter of the light on the second lens surface can be changed to the light spot diameter on the first lens surface. The first lens surface is formed with a surface shape that can be accommodated within an effective diameter larger than the spot diameter, and the light emitted from the photoelectric conversion element has a refractive power weaker than that of a collimator. It is in the point formed in the convex lens surface made to converge.

Claims (5)

複数の発光素子からなる光電変換素子が整列配置された光電変換装置と、光伝送体との間に配置され、前記複数の光電変換素子と前記光伝送体とを光学的に結合可能とされたレンズアレイであって、
レンズアレイ本体における前記光電変換装置側の第１の面に、前記複数の光電変換素子に対応する所定の整列方向に整列するように配置され、前記複数の光電変換素子と前記光伝送体とを結合する各光電変換素子ごとの光が通過する複数の第１のレンズ面と、
前記レンズアレイ本体における前記光伝送体側の第２の面に、前記整列方向に沿って整列するように配置され、前記光が通過する複数の第２のレンズ面と
を有し、
前記第１のレンズ面または前記第２のレンズ面は、前記第１のレンズ面側から前記第２のレンズ面側に向かうにしたがって前記光の光束径を拡径させることによって、前記第２のレンズ面上における前記光のスポット径を前記第１のレンズ面上における前記光のスポット径よりも大径にするような面形状に形成されており、
前記第１のレンズ面は、前記光電変換素子から出射された前記光をコリメートの場合よりも弱い屈折力を以て収束させる凸レンズ面に形成されていること
を特徴とするレンズアレイ。 Arranged between a photoelectric conversion device in which photoelectric conversion elements composed of a plurality of light emitting elements are aligned and an optical transmission body, the plurality of photoelectric conversion elements and the optical transmission body can be optically coupled. A lens array,
The lens array body is arranged on the first surface on the photoelectric conversion device side so as to be aligned in a predetermined alignment direction corresponding to the plurality of photoelectric conversion elements, and the plurality of photoelectric conversion elements and the optical transmission body are arranged. A plurality of first lens surfaces through which light for each photoelectric conversion element to be coupled passes;
A plurality of second lens surfaces arranged on the second surface of the lens array body on the light transmission body side so as to be aligned along the alignment direction, and through which the light passes,
The first lens surface or the second lens surface expands the light beam diameter of the light from the first lens surface side toward the second lens surface side, thereby increasing the second lens surface. It is formed in a surface shape such that the spot diameter of the light on the lens surface is larger than the spot diameter of the light on the first lens surface,
The lens array, wherein the first lens surface is formed on a convex lens surface that converges the light emitted from the photoelectric conversion element with a refractive power weaker than that of a collimator. 前記第２の面は、前記第１の面に直交するように配置された面であり、
前記第１のレンズ面と前記第２のレンズ面との間に、これら両レンズ面の一方側から入射した前記光を他方側に向けて反射させる反射面が配置されていること
を特徴とする請求項１に記載のレンズアレイ。 The second surface is a surface arranged to be orthogonal to the first surface,
A reflection surface is disposed between the first lens surface and the second lens surface to reflect the light incident from one side of both lens surfaces toward the other side. The lens array according to claim 1. 前記光電変換装置は、前記光電変換素子としての複数の発光素子の少なくとも１つから発光された前記光をモニタするためのモニタ光を受光する少なくとも１つの受光素子が配置されたものであり、
前記第１の面に配置され、前記レンズアレイ本体の内部側から入射した前記モニタ光を前記受光素子に向けて出射させる少なくとも１つの第３のレンズ面と、
前記レンズアレイ本体における前記反射面と前記第２のレンズ面との間の光路上に配置され、前記反射面によって前記第２のレンズ面側に向けて反射された前記複数の発光素子ごとの光が入射し、この入射した複数の発光素子ごとの光を、所定の反射率で反射させて前記第３のレンズ面側に進行させるとともに所定の透過率で透過させて前記第２のレンズ面側に進行させるように制御し、その際に、前記複数の発光素子ごとの光の少なくとも１つを前記モニタ光として反射させる光制御部と
を備えたことを特徴とする請求項２に記載のレンズアレイ。 The photoelectric conversion device includes at least one light receiving element that receives monitor light for monitoring the light emitted from at least one of a plurality of light emitting elements as the photoelectric conversion element,
At least one third lens surface disposed on the first surface and emitting the monitor light incident from the inside of the lens array body toward the light receiving element;
Light for each of the plurality of light emitting elements disposed on the optical path between the reflection surface and the second lens surface in the lens array body and reflected toward the second lens surface by the reflection surface Is incident, and the incident light of each of the plurality of light emitting elements is reflected with a predetermined reflectance and travels to the third lens surface side and is transmitted with a predetermined transmittance to the second lens surface side. And a light control unit configured to reflect at least one of the light of each of the plurality of light emitting elements as the monitor light. array. 前記第２の面は、前記第１の面に対向するように配置された面であり、
前記第１のレンズ面上の光軸と前記第２のレンズ面上の光軸とは、同一直線上に配置されていること
を特徴とする請求項１に記載のレンズアレイ。 The second surface is a surface arranged to face the first surface,
The lens array according to claim 1, wherein the optical axis on the first lens surface and the optical axis on the second lens surface are arranged on the same straight line. 請求項１〜４のいずれか１項に記載のレンズアレイと、
請求項１または３に記載の光電変換装置と
を備えたことを特徴とする光モジュール。 The lens array according to any one of claims 1 to 4,
An optical module comprising: the photoelectric conversion device according to claim 1.
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