JP2017032409A - 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及び薄膜計測装置 - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 72
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title abstract 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 151
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 122
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 96
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 26
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 15
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000001615 p wave Methods 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
以下、第1の実施形態に係る三次元形状計測装置について、図面を参照して説明する。
図1に示すように、第1の実施形態に係る三次元形状計測装置1は、計算処理部10と、照射部11と、撮像部12と、を備えている。
第1の実施形態に係る三次元形状計測装置1は、表面に既知の屈折率を有する薄膜(後述する薄膜層F)が形成された対象物Gの立体的形状(三次元形状)を、光学的手段を通じて計測可能とする三次元形状計測装置である。
光源110は、対象物Gの周囲に複数設けられ、分光分布がほぼ均一な白色光で無偏光の照射光α1を出射する。
拡散板111は、対象物Gを中心とする球状に形成された板である。拡散板111は、球体の外部に配される複数の光源110が出射する照射光α1を取り込んで板内部で拡散させ、照射光α1の強度分布を球面方向に均一化して球体内部に放射する。これにより、球体内部に配された対象物Gに対し、その全方位において強度が均一化された照射光α1が照射される。
例えば、照射部11は、一つの光源110から入射した照射光α1を球体の内部において均一に拡散可能な積分球光源を用いてもよい。また、照射部11は、一つ又は複数の光源110を、対象物Gを中心とする球面に沿って移動させながら、照射光α1の全方位からの照射を実現するものであってもよい。
また、上述の「全方位」との文言は、必ずしも、対象物Gの“全ての方位”から照射される意味に限定されず、三次元形状計測装置1による三次元形状の計測精度が許容される限度において一部の方位(例えば、撮像部12が配される方位、及びその対極の方位)からの照射光α1の照射がなされない態様であってもよい。
なお、本実施形態においては、本体部120は、一般的なカラーCCDカメラ等であってよい。
本実施形態においては、各撮像素子122には、一般的なRGBの三原色に対応する3種類のカラーフィルタ(不図示)が設けられている。これにより、各撮像素子122は、入射した反射光α2を、三原色に対応する異なる3つの周波数帯(波長帯)ごとに受光することができる。
以下、図2に示す反射の例を参照しながら、撮像部12の撮像素子122が受光可能な反射光α2について説明する。
図2に示すように、対象物Gの表面の一部である表面部位g1に対し、ある入射角θ1から入射した照射光α1は、当該表面部位g1において反射角θ1で反射し、反射光α2となって進行する(“反射光”についての説明は後述する)。
なお、この照射光α1と反射光α2とを含む面を入射面Qと称する。この場合、入射面Qは、反射面(表面部位g1)とは、互いに直交する関係にある。したがって、入射面Qには、表面部位g1の法線方向を示す法線ベクトルNも含まれる。
可変偏光部121の回転角度kが複数通りに変更されることで、反射光α2に含まれる複数の偏光成分ごとの受光強度を計測することができる。
なお、この場合、ある表面部位g1で反射した反射光α2は、当該表面部位g1に対応する一つの撮像素子122において受光される。
なお、撮像部12の構造は、図1、図2に示した態様に限定されない。例えば、撮像部12は、集光レンズ120aと可変偏光部121とが一体に設けられた態様をなしていてもよい。その他、撮像部12は、撮像素子122が反射光α2を異なる複数の偏光成分ごとに受光可能とするものであれば、他の如何なる態様であっても構わない。
図3に示すように、対象物Gの下地層には、膜厚dの薄膜層Fが積層されている。ここで想定する対象物Gとは、例えば、蒸着またはコーティングされた加飾材やセキリティ材等である。なお、本実施形態に係る三次元形状計測装置1の計測対象となる対象物Gにおいて、薄膜層Fの膜厚dは未知であってよい。
ただし、本実施形態においては、薄膜層Fの屈折率n2は、予め把握されている(既知である)ものとする。
撮像部12(撮像素子122)は、このように不均一な分光分布となった反射光α2の受光強度を、三原色(RGB)の各々に対応する周波数帯(波長帯)ごとに計測する。
撮像部12(撮像素子122)は、可変偏光部121の回転を通じて、上記のように偏光する反射光α2の受光強度を、複数の異なる偏光成分ごとに計測する。
図4に示すように、計算処理部10は、CPU(Central Processing Unit)100と、操作部107と、外部接続インターフェイス108と、記憶部109と、を備えている。計算処理部10は、汎用のパーソナルコンピュータ等であってよい。
操作部107は、例えばマウス、キーボード、タッチパネル等の入力インターフェイスであって、三次元形状計測装置1のオペレータによる各種操作の入力を受け付ける。
記憶部109は、RAM(Random Access Memory)やHDD(Hard Disk Drive)等の記憶デバイスである。記憶部109には、複数の撮像素子122ごとに取得された分光スペクトル等が撮像データとして記録される。
外部接続インターフェイス108は、外部装置との通信を行うための通信インターフェイスであり、外部接続インターフェイス108は、専用の通信ケーブル等を介して照射部11及び撮像部12に接続されている。
例えば、撮像制御部101は、照射部11に対し、対象物G(図1)への照射光α1の照射を実施させた状態で、撮像部12に対し、撮像データの取得(各撮像素子122における受光強度の計測)を実施させる。このとき、撮像制御部101は、所定の制御信号を通じて、撮像部12の可変偏光部121の回転角度を所定ステップごとに変化させながら、その都度、撮像データを取得させる。このようにすることで、撮像部12は、反射光α2のうち、上記所定ステップごとに異なる複数の偏光成分ごとの受光強度を、自動的に取得することができる。
天頂角演算部103は、偏光度演算部102によって撮像素子122ごとに算出された偏光度と、既知である薄膜(薄膜層F(図3))の屈折率(屈折率n2)と、に基づいて、当該撮像素子122に対応する対象物Gの表面部位ごとの法線の、基準軸Oに対する角度(以下、「天頂角」と称する。)を算出する。
方位角演算部104は、撮像素子122の各々において最大の受光強度を与える偏光成分の偏光方位(方位n(図2))に基づいて、当該撮像素子に対応する対象物Gの表面部位ごとの法線の、基準軸Oの周方向の角度(以下、「方位角」と称する。)を特定する。
三次元形状構築部105は、天頂角演算部103及び方位角演算部104によって特定された表面部位ごとの法線(法線ベクトル)の向く方位に基づいて、対象物Gを構成する表面部位ごとの面の向きを特定しながら、撮像データを有する各撮像素子122に対応する表面部位を全て繋ぎ合わせることで、対象物Gの三次元形状を構築する。
膜厚計測部106は、各撮像素子122において周波数帯ごとに取得された受光強度の組み合わせ(後述する「RGB値」)に基づいて、当該撮像素子122に対応する対象物Gの表面部位ごとに、薄膜層Fの膜厚d(図3)を計測する。
以下、計算処理部10(CPU100)の各機能構成による具体的な処理フローについて、図5、及び、以下に示す図6〜図10を参照しながら説明する。
まず、撮像制御部101は、操作部107を通じて三次元形状計測装置1のオペレータから計測開始の指示を受け付けると、照射部11による対象物Gへの照射処理、及び、撮像部12による撮像処理を実施し、撮像データを取得する(ステップS1)。このとき、撮像制御部101は、撮像部12の可変偏光部121の回転角度k(図2)を所定ステップごとに変更しながら連続的に撮像データを複数取得する。撮像制御部101は、撮像部12により取得された撮像データを、逐次、記憶部109に記録する。
次に、偏光度演算部102は、ステップS1で取得された撮像データから、複数の撮像素子122の各々が受光した反射光α2の偏光度ρを算出する(ステップS2)。ここで、偏光度演算部102によるステップS2の処理について、以下の図6を参照しながら詳細に説明する。
図6は、可変偏光部121の回転角度k(横軸)と、一つの撮像素子122において計測された反射光α2の受光強度I(縦軸)と、の関係を表したグラフである。なお、受光強度Iは、反射光α2のRGBに対応する分光成分ごとの受光強度の合計値である。
図6に示すように、可変偏光部121の回転角度k(図2参照)をある基準確度(k=0°)から所定のステップずつ180°回転させると、各撮像素子122において、反射光α2の受光強度Iの最大値(最大受光強度Imax)と、受光強度Iの最小値(最小受光強度Imin)と、が計測される。
ここで、最大受光強度Imaxは、撮像素子122が受光した反射光α2に含まれるs波偏光成分の強度を示すものであり、一方、最小受光強度Iminは、同反射光α2に含まれるp波偏光成分の強度を示すものである。
このように、偏光度演算部102は、撮像素子122が受光した複数の偏光成分ごとの受光強度Iのうち、最大受光強度Imaxと最小受光強度Iminとに基づいて、各撮像素子122についての偏光度ρを算出する。
次に、天頂角演算部103は、ステップS2で取得された各撮像素子122に対応する偏光度ρに基づいて、複数の撮像素子122の各々に対応する対象物Gの表面部位ごとの天頂角を算出する(ステップS3(図5))。ここで、天頂角演算部103によるステップS3の処理について、以下の図7〜図9を参照しながら詳細に説明する。
また、図8は、第1の実施形態に係る天頂角演算部の機能を説明する第2の図である。
また、図9は、第1の実施形態に係る天頂角演算部の機能を説明する第3の図である。
図7に示すように、天頂角演算部103は、対象物Gの各表面部位g1、g1’の各法線ベクトルN、N’の天頂角θ、θ’(法線ベクトルNの基準軸Oに対する角度)を特定する。
具体的には、天頂角演算部103は、対象物Gのある表面部位g1に対応する撮像素子122で受光された反射光α2の偏光度ρ(式(6))に基づいて、当該表面部位g1の法線ベクトルNの天頂角θを特定する。同様に、天頂角演算部103は、表面部位g1’に対応する撮像素子122で受光された反射光α2の偏光度ρに基づいて、法線ベクトルN’の天頂角θ’を特定する。
このようにして、天頂角演算部103は、対象物Gの全表面部位に対応する法線の天頂角を特定する。
天頂角演算部103は、図8に示すように、式(8)に対し、偏光度演算部102によって算出された偏光度ρを適用する。これにより、天頂角演算部103は、入射角θ1についての2つの解である候補値θ1a、θ1bを算出する。
図8に示すように、天頂角演算部103が式(8)に基づいて算出した2つの候補値θ1a、θ1bは、常に、θ1a<θB<θ1bの関係を満たす。
図9によれば、入射角θ1がブリュースター角θBよりも小さい場合、総和受光強度I’は、常に、判定閾値Ithよりも小さい値をとることがわかる。また、図9によれば、入射角θ1がブリュースター角θBよりも大きい場合、総和受光強度I’は、常に、判定閾値Ithよりも大きい値をとることがわかる。
そして、天頂角演算部103は、各撮像素子122によって計測された総和受光強度I’が判定閾値Ith以上となっていた場合には、ブリュースター角θBよりも大きい候補値θ1bを天頂角θの算出結果とする。一方、天頂角演算部103は、各撮像素子122によって計測された総和受光強度I’が判定閾値Ith未満となっていた場合には、ブリュースター角θBよりも小さい候補値θ1aを天頂角θの算出結果とする。
次に、方位角演算部104は、複数の撮像素子122の各々に対応する対象物Gの表面部位ごとの方位角を算出する(ステップS4(図5))。ここで、方位角演算部104によるステップS4の処理について、以下の図10及び前述した図6を参照しながら詳細に説明する。
図10は、対象物Gを撮像部12側(+Z方向側)から見た場合の図である。
方位角演算部104は、対象物Gの表面部位g1、g2、・・・ごとに、反射光α2の最大の受光強度Imaxを与える可変偏光部121の回転角度(即ち、反射光α2に含まれる最大の偏光成分の偏光方位)に基づいて、対象物Gの表面部位g1、g2、・・・ごとの法線の方位角φを特定する。
例えば、図10に示すように、方位角演算部104は、表面部位g1に対応する撮像素子122において受光した反射光α2の最大受光強度Imaxを与える可変偏光部121の回転角度kに基づいて、当該表面部位g1における法線ベクトルN1の方位角φ1を特定する。同様に、方位角演算部104は、表面部位g2、g3、g4、・・・の各々に対応する撮像素子122において受光した反射光α2の最大受光強度Imaxを与える回転角度に基づいて、当該表面部位g2、g3、g4、・・・の各々における法線ベクトルN2、N3、N4、・・・の方位角φ2、φ3、φ4、・・・を特定する。
ここで、表面部位g1(図10)に対応する撮像素子122において、当該表面部位g1で反射した反射光α2を最大限に受光可能となる条件は、可変偏光部121の方位nが当該反射光α2の最大偏光成分(即ち、s波偏光成分)の偏光方位に一致する場合である。そして、表面部位g1で反射した反射光α2のs波偏光成分の偏光方位は、当該表面部位g1の方位角φ1に依存する。
即ち、図6において、最大受光強度Imaxを与える可変偏光部121の回転角度kである最大強度回転角度kmaxが、反射光α2のs波偏光成分の偏光方位に対応する。したがって、方位角演算部104は、この最大強度回転角度kmaxに基づいて表面部位g1の法線ベクトルN1の方位角φ1を特定することができる。
このようにして、方位角演算部104は、各表面部位に対応する各撮像素子122において、最大受光強度Imaxを与える回転角度kを特定し、対象物Gの全表面部位における法線ベクトルの方位角を特定する。
したがって、本実施形態に係る方位角演算部104は、方位角φを、各表面部位の、対象物Gを撮像部12から見た場合における当該対象物Gの外縁との位置関係に基づいて一意に特定する。
具体的には、方位角演算部104は、図10に示すように、対象物Gの外縁を示す輪郭線Gcを抽出する。輪郭線Gcは、対象物Gの領域と、当該対象物Gが存在しない大気層Aの領域と、を区画する境界である。ここで、輪郭線Gcの各所における表面部位の法線ベクトルNが向く方位は、当該輪郭線Gcの各所において対象物Gの領域から大気層Aの領域に向かう方位に一致する。したがって、本実施形態に係る方位角演算部104は、輪郭線Gcの区画内に配される他の表面部位の法線ベクトルは、当該表面部位から近い側に配される輪郭線Gcの所定箇所における法線ベクトルと同じ方位を向いているものと仮定して、方位角φを一意に特定する。
例えば、方位角演算部104は、まず、図10における表面部位g1における方位角φ1が、最大強度回転角度kmax、又は、最大強度回転角度kmax+180°の何れかであるところまで特定する。次に、方位角演算部104は、表面部位g1の位置から方位角φ1=kmaxの方位に位置する輪郭線Gcまでの距離と、表面部位g1から方位角φ1=kmax+180°の方位に位置する輪郭線Gcまでの距離と、を比較する。そして、方位角演算部104は、比較の結果、上記距離が短かった方の輪郭線Gcを向く方位となるように方位角φ1を特定する。
天頂角演算部103により対象物Gの各表面部位における天頂角θを特定され、方位角演算部104により同表面部位における法線の方位角φを特定されたことで、各表面部位に対応する法線ベクトルNの三次元空間上の方位、即ち、撮像素子122ごとに対応する表面部位ごとの面の向きが特定される。三次元形状構築部105は、ステップS2〜S4の処理によって特定された表面部位ごとの面の向きを参照しながら各表面部位を連結して三次元形状を構築する(ステップS5(図5))。
以上の処理により、計算処理部10は、撮像部12により取得された複数の撮像データに基づいて、対象物Gの三次元形状の計測を完了する。
更に、本実施形態に係る計算処理部10は、膜厚計測部106の機能により、対象物Gの表面に形成された薄膜層F(図3)の膜厚dを推定することができる。膜厚計測部106は、ステップS2で天頂角演算部103により特定された表面部位ごとの天頂角θを利用して、当該表面部位の各々に形成された薄膜層Fの膜厚d(図3)を推定する(ステップS6(図5))。ここで、膜厚計測部106によるステップS6の処理について、以下の図11を参照しながら詳細に説明する。
ここで、式(4)(式(1)、(2)を含む)に対し、「cos2θ=1−sin2θ」及びスネルの法則を適用することで、式(4)は、薄膜層Fの屈折率n2、入射角θ1、波長λ、及び、膜厚dの関数となる。
膜厚計測部106は、既知の屈折率n2と、ステップS3で算出された天頂角θ(=入射角θ1)と、RGBの各分光成分に対応する波長λと、を代入する。これにより、膜厚計測部106は、式(4)に基づいて、撮像素子122ごとに膜厚dを算出できる。
即ち、式(4)によれば、薄膜層Fの屈折率n2が既知の場合、膜厚d(縦軸)及び入射角θ1(横軸)の各々に応じて、各撮像素子122において計測されると想定されるRGB値が、図11に示すように分布する。
膜厚計測部106は、撮像部12を通じて実際に取得された撮像データの画素(撮像素子122)ごとのRGB値を、図11に示すRGB値の分布に当てはめることで、対象物Gの表面部位ごとの膜厚dを算出することができる。
以上、第1の実施形態に係る三次元形状計測装置1は、まず、表面に薄膜(薄膜層F)が形成された対象物Gに対し、照射光α1を、当該対象物Gの全方位から照射する照射部11を備えている。
また、三次元形状計測装置1は、対象物Gの表面(表面部位g1等)で反射した反射光α2を、当該反射光α2に含まれる複数の偏光成分(s波、p波)ごとに受光する撮像素子122を複数配列してなる撮像部12を備えている。
また、三次元形状計測装置1は、一つの撮像素子122が受光した複数の偏光成分ごとの受光強度(受光強度I)に基づいて、当該撮像素子122が受光した反射光α2の偏光度(偏光度ρ)を算出する偏光度演算部102を備えている。
また、三次元形状計測装置1は、撮像素子122ごとに算出された偏光度ρと、薄膜の屈折率n2と、に基づいて、当該撮像素子122に対応する対象物Gの表面部位ごとの法線(法線N等)の天頂角θを算出する天頂角演算部103を備えている。
更に、三次元形状計測装置1は、撮像素子122の各々において最大の受光強度(最大受光強度Imax)を与える偏光成分の偏光方位(方位n)に基づいて、当該撮像素子122に対応する対象物Gの表面部位ごとの法線の方位角φを特定する方位角演算部104を備えている。
このようにすることで、反射光α2に含まれる異なる複数の偏光成分ごとの受光強度を、簡素に計測することができる。
このようにすることで、偏光度演算部102は、撮像素子122によって計測された偏光成分ごとの受光強度Iに基づいて、偏光度ρを算出することができる。
このようにすることで、算出された偏光度ρより絞り込まれた天頂角の2つの候補値の中から、精度良く、真の天頂角を特定することができる。
このようにすることで、三次元形状計測装置1は、複雑な三次元形状を有する対象物Gの表面に形成された薄膜の膜厚分布を精度良く、かつ、簡便に推定することができる。
例えば、他の実施形態に係る三次元形状計測装置1は、三次元形状を有する対象物Gの表面に形成された薄膜層Fの膜厚dを計測する「薄膜計測装置」として機能するものであってもよい。この場合、当該薄膜計測装置としての三次元形状計測装置1は、方位角φを特定する機能を有していなくともよく、したがって、方位角演算部104を具備しなくともよい。ただし、当該他の実施形態に係る三次元形状計測装置1の他の機能構成は、第1の実施形態(図1)と同様である。
一方、本実施形態に係る三次元形状計測装置1(薄膜計測装置)によれば、薄膜層Fの屈折率n2が既知でさえあれば、複雑な表面形状を有する対象物に対する1回の撮影だけで、下地層(対象物G)に積層された薄膜層Fの膜厚dの面内分布を全て計測することができる。したがって、複雑な三次元形状の表面上に形成された薄膜の膜厚分布を瞬時に簡素に把握することができる。
また、CPU100の各機能構成が、ネットワークで接続される複数の装置に渡って具備される態様であってもよい。
10 計算処理部
100 CPU
101 撮像制御部
102 偏光度演算部
103 天頂角演算部
104 方位角演算部
105 三次元形状構築部
106 膜厚計測部
107 操作部
108 外部接続インターフェイス
109 記憶部
11 照射部
110 光源
111 拡散板
112 固定偏光部
12 撮像部
120 本体部
121 可変偏光部
122 撮像素子
G 対象物
g1 表面部位
O 基準軸
A 大気層
F 薄膜層
α1 照射光
α2 反射光
Claims (8)
- 表面に薄膜が形成された対象物に対し、照射光を、当該対象物の全方位から照射する照射部と、
前記対象物の表面で反射した反射光を、当該反射光に含まれる複数の偏光成分ごとに受光する撮像素子を複数配列してなる撮像部と、
一つの前記撮像素子が受光した複数の前記偏光成分ごとの受光強度に基づいて、当該撮像素子が受光した前記反射光の偏光度を算出する偏光度演算部と、
前記撮像素子ごとに算出された前記偏光度と、前記薄膜の屈折率と、に基づいて、当該撮像素子に対応する前記対象物の表面部位ごとの法線の天頂角を算出する天頂角演算部と、
前記撮像素子の各々において最大の受光強度を与える前記偏光成分の偏光方位に基づいて、当該撮像素子に対応する前記対象物の表面部位ごとの法線の方位角を特定する方位角演算部と、
を備える三次元形状計測装置。 - 前記撮像部は、
受光する前記反射光と直交する面内で回転可能に設けられ、前記反射光のうち回転角度に応じた方位に平行な偏光成分を透過させる可変偏光部を有する
請求項1に記載の三次元形状計測装置。 - 前記偏光度演算部は、
前記撮像素子が受光した複数の前記偏光成分ごとの受光強度のうち、最大の受光強度と最小の受光強度とに基づいて、前記偏光度を算出する
請求項1又は請求項2に記載の三次元形状計測装置。 - 前記天頂角演算部は、
算出された前記偏光度に基づいて、複数の天頂角の候補を算出するとともに、前記撮像素子が受光した前記反射光の総和受光強度が、予め規定された判定閾値よりも大きいか否かの判定結果に基づいて、前記候補の中から天頂角を特定する
請求項3に記載の三次元形状計測装置。 - 前記撮像素子は、
前記反射光を、異なる複数の周波数帯ごとに受光可能とされ、
前記周波数帯ごとに取得された受光強度の組み合わせに基づいて、当該撮像素子に対応する前記対象物の表面部位ごとに、前記薄膜の膜厚を計測する膜厚計測部を更に備える
請求項1から請求項4の何れか一項に記載の三次元形状計測装置。 - 前記撮像素子は、
前記反射光を、RGBの三原色に対応する3つの周波数帯ごとに受光可能とされている
請求項5に記載の三次元形状計測装置。 - 表面に薄膜が形成された対象物に対し、照射光を、当該対象物の全方位から照射するステップと、
複数配列された撮像素子で、前記対象物の表面で反射した反射光を、当該反射光に含まれる複数の偏光成分ごとに受光するステップと、
一つの前記撮像素子が受光した複数の前記偏光成分ごとの受光強度に基づいて、当該撮像素子が受光した前記反射光の偏光度を算出するステップと、
前記撮像素子ごとに算出された前記偏光度と、前記薄膜の屈折率と、に基づいて、当該撮像素子に対応する前記対象物の表面部位ごとの法線の天頂角を算出するステップと、
前記撮像素子の各々において最大の受光強度を与える前記偏光成分の偏光方位に基づいて、当該撮像素子に対応する前記対象物の表面部位ごとの法線の方位角を特定するステップと、
を備える三次元形状計測方法。 - 表面に薄膜が形成された対象物に対し、照射光を、当該対象物の全方位から照射する照射部と、
前記対象物の表面で反射した反射光を、当該反射光に含まれる複数の偏光成分ごと、かつ、異なる複数の周波数帯ごとに受光する撮像素子を複数配列してなる撮像部と、
一つの前記撮像素子が受光した複数の前記偏光成分ごとの受光強度に基づいて、当該撮像素子が受光した前記反射光の偏光度を算出する偏光度演算部と、
前記撮像素子ごとに算出された前記偏光度と、前記薄膜の屈折率と、に基づいて、当該撮像素子に対応する前記対象物の表面部位ごとの法線の天頂角を算出する天頂角演算部と、
前記周波数帯ごとに取得された受光強度の組み合わせに基づいて、当該撮像素子に対応する前記対象物の表面部位ごとの前記薄膜の膜厚を計測する膜厚計測部と、
を備える薄膜計測装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015152664A JP6650633B2 (ja) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及び薄膜計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2015152664A JP6650633B2 (ja) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及び薄膜計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017032409A true JP2017032409A (ja) | 2017-02-09 |
JP6650633B2 JP6650633B2 (ja) | 2020-02-19 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015152664A Active JP6650633B2 (ja) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及び薄膜計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6650633B2 (ja) |
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