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Abstract
Description
本発明は、回路基板に装着される部品の検査を行う検査装置に関するものである。 The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting components mounted on a circuit board.
特許文献2,3には、プローブを備え、そのプローブの接触により部品の電気的特性を測定する検査装置が記載されている。特許文献1には、保持台に載置させられた部品を両端から挟んで電気的特性を測定する検査装置が記載されている。この検査装置において、送風口部28から保持台のV溝に沿ってエアが供給され、そのV溝上にある測定後の部品が導入口部7´へ送られる。そして、不良品は廃棄され、良品は回路基板への装着に用いられる。
また、特許文献4に記載の検査装置においては、アース線が接続されたアース用プローブピン122が、ハウジング120にソケット123を介して、換言すれば、絶縁されて設けられる。アース用プローブピン122の先端に回路基板が接触させられると、回路基板が接地される。
In the inspection apparatus described in
本発明の課題は、部品の電気的特性を自動で測定可能な検査装置において、電気的特性の測定精度の向上を図ることである。 An object of the present invention is to improve the measurement accuracy of electrical characteristics in an inspection apparatus capable of automatically measuring electrical characteristics of parts.
本発明に係る検査装置は、ハウジングと、ハウジングに対して移動可能な保持台と、その保持台に保持された部品を把持して電気的特性を測定可能な一対の測定子と、ハウジングの表面に接続されたアース線とを含む。ハウジングにアース線が接続されるため、検出装置のアースが良好に行われ、部品sの除電が良好に行われ得る。その結果、部品の天気的特性の測定精度の向上を図ることができる。 An inspection apparatus according to the present invention includes a housing, a holding base movable with respect to the housing, a pair of measuring elements capable of measuring electrical characteristics by gripping components held on the holding base, and a surface of the housing And a ground wire connected to the. Since the ground wire is connected to the housing, the detection device can be grounded well, and the charge removal of the component s can be performed well. As a result, it is possible to improve the measurement accuracy of the weather characteristics of the parts.
以下、本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。
図1に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、装置本体2,回路基板搬送保持装置4,部品供給装置6,ヘッド移動装置8等を含む。
回路基板搬送保持装置4は、回路基板P(以下、基板Pと略称する)を水平な姿勢で搬送して保持するものであり、図1において、基板Pの搬送方向をx方向、基板Pの幅方向をy方向、基板Pの厚み方向をz方向とする。y方向、z方向は、それぞれ、装着機の前後方向、上下方向である。これら、x方向、y方向、z方向は互いに直交する。部品供給装置6は、基板Pに装着される電子部品(以下、部品と略称する)sを供給するものであり、複数のテープフィーダ14等を含む。ヘッド移動装置8は、装着ヘッド16を保持してx、y、z方向へ移動させるものであり、装着ヘッド16は、部品sを吸着して保持する吸着ノズル18を有する。
Hereinafter, a mounting machine including an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The mounting machine shown in FIG. 1 mounts components on a circuit board, and includes an apparatus
The circuit board transport and
また、符号20はカメラを示す。カメラ20は、吸着ノズル18によって保持された部品sを撮像するものであり、カメラ20によって撮像された画像に基づいて、部品sが回路基板Pに装着される予定のものであるか否かが判定される。符号22は検査装置を示す。検査装置22は、部品sの電気的特性を測定して、検査するものである。部品sの電気的特性が測定され、測定された電気的特性が、JOB情報に含まれる部品sに関する情報(電気的特性)と一致するか否か、すなわち、次の作業に用いられる予定の部品sが備えた電気的特性と一致するか否かが判定されるのである。
部品sの電気的特性としては、L(インダクタンス)、C(キャパシタンス)、R(レジスタンス)、Z′(インピーダンス)等が該当し、検査装置22によってこれらのうちの1つ以上が測定される。
The electrical characteristics of the component s include L (inductance), C (capacitance), R (resistance), Z ′ (impedance), and the like, and one or more of these are measured by the
検査装置22は、ごみ箱26を介して回路基板搬送保持装置4の本体に設けられる。ごみ箱26と検査装置22とは廃棄通路28によって接続されるが、電気的特性が測定された部品sが、廃棄通路28を経てごみ箱26に収容される。検査装置22は、ごみ箱26に高さ調整可能に設けられる。図2,10に示すように、ごみ箱26には、昇降可能にベース部30が係合させられ、ベース部30に本体29がボルトおよびナットを含む締結部31(図3,4(a),10参照)によって固定され、これらベース部30および本体29が一体的に昇降可能に保持される。また、本体29、ベース部30には、それぞれ、廃棄通路28と連通可能な開口29a、30aが設けられる(図3,4参照)。
検査装置22は、図2〜4(a),10に示すように、(i)上記本体29およびベース部30、(ii)部品sを保持可能な保持台32、(iii)固定子34および可動子36から成る一対の測定子37、(iv)保持台32を移動させる保持台移動装置40、(v)可動子36を固定子34に対して接近・離間させる可動子移動装置41、(vi)電気的特性検出部としてのLCR検出部42等を含む。本実施例において、部品sは、両端部に電極を有し、一対の測定子37によって把持可能なものとすることができる。部品sとしては、例えば、角チップと称するものが該当する。
The
2-4 (a) and 10, the
保持台32は、部品載置部44と、部品載置部44を保持する載置部保持体46とを含む。部品載置部44の上面にはV溝44cが形成され、部品sが載せられる。V形状とされているため、部品sの位置が精度よく決まる。
部品載置部44は、導電性、耐摩耗性を有し、かつ、酸化が進み難い材料で製造されたものとすることができる。部品載置部44は、複数の導電性を有する部材を介してベース部30に電気的に接続されるが、ベース部30が接地されることにより、部品載置部44も接地される。本実施例においては、部品載置部44が載置部保持体46に当接し、かつ、締結部47によって固定されるとともに、載置部保持体46が本体29にストッパ80(図3参照)を介して当接し、本体29がベース部30に締結部31によって固定される。そして、載置部保持体46、ストッパ80、本体29、ベース部30、締結部31、47等は導電性を有するものである。したがって、部品載置部44は接地されるのである。
このように、部品載置部44が導電性を有する材料で製造され、かつ、接地されることにより、部品載置部44に載置させられた部品sの除電を行うことができる。また、部品載置部44が、耐摩耗性を有する材料で製造されることにより、部品載置部44の摩耗を抑制し、耐久性を向上させることができる。さらに、酸化が進み難い材料、すなわち、金属の酸化被膜である不動態皮膜が形成され得る材料で製造されることにより、部品載置部44が錆び難くすることができる。錆が部品sに付き難くすること等ができ、部品sの電気的特性の測定精度の低下を抑制することができる。例えば、部品載置部44は、アルミニウム合金またはステンレス材料等によって製造されたものとすることができる。
The
The
As described above, the
固定子34、可動子36は、それぞれ、互いに対向する対向面34f、36fを有し、これら一対の対向面34f、36fによって部品sが把持される。固定子34は固定子保持体55を介して本体29に固定される。可動子36は、可動子保持体56に一体的に移動可能に保持されたものであり、固定子34に対して接近・離間可能とされる。本実施例において、対向面36fは、断面が三角形状を成し、V溝44cに沿って移動可能とされる。換言すれば、可動子36の対向面36fの形状は、ほぼV溝44cに対応する形状とされ、可動子36の対向面36f、固定子34の対向面34fおよび保持台32のV溝44cは、ほぼ同一高さに位置する。そのため、部品sがV溝44c内のいずれにあっても、一対の対向面34f、36fによって部品sが把持可能とされる。
また、可動子36は、本実施例において、y方向(移動方向)に伸びた長手部材であり、後退端において可動子保持体56に保持される。さらに、対向面36fを含む先端部より後部は、先端部よりx方向にはみ出す部分を有さない形状を成す。その結果、保持台32と可動子36とは互いに相対移動可能とされ、保持台32は可動子36の対向面36fの前方へ移動したり後方へ移動したりすることが可能である。
さらに、可動子36と固定子34とから成る一対の測定子37、LCR検出部42、図示を省略する電源装置等を含む電気回路58が形成される。これら固定子34と可動子36との間に電流が供給されるとともに流れた電流が検出され、これらの関係に基づいて部品sの電気的特性がLCR検出部42によって測定される。LCR検出部42は、L,C,Rを検出する検出部に限らず、L,C,R,Z´等の電気的特性を表す物理量の1つ以上を検出するものとすることができる。なお、図2〜4の符号58a、bは、一対の測定子37の電気回路58への接続部である。
The
In the present embodiment, the
Furthermore, an
保持台32にはカバー部50が取り付けられる。カバー部50は、互いにx方向に隔たって、V溝44cの両側にそれぞれ設けられた一対のカバー用板部52,54を含む。カバー用板部52,54は、それぞれ、保持台32の固定子34側に設けられ、y方向およびz方向、すなわち、保持台32、可動子36の移動方向および上下方向に伸びたものであり、板状部材が曲げられた形状を成す。カバー用板部52は、平面視において溝形を成し、底板部52aと、それの両側に、x方向に隔たって設けられた側板部52b、52cとを含む。底板部52aは、下部が曲げられた形状を成し、側面視においてL字形を成し、上部において部品載置部44の固定子34側の側面に取り付けられる。また、保持台32の前進端位置において、底板部52の下部が固定子保持体55の上方に位置し、側板部52bが固定子34の外側、かつ、固定子保持体55の上方に位置し、側板部52cが側板部52bより外側であって、固定子保持体55の外側に位置する。側板部52cは、側板部52bより上下方向の寸法が大きいものであり、下端部が本体29の開口29a付近まで伸びる。カバー用板部54は、V溝44cに対してカバー用板部52の反対側の載置部保持体46に取り付けられる。カバー用板部54は、保持台32の前進端位置において、固定子保持体55の外側に位置する。カバー用板部54は、上下方向に曲げられた形状を成し、下端部が本体29の開口29a付近まで伸びたものである。
また、側板部52c、カバー用板部54のy方向の寸法は、固定子34と可動子36とが互いに離間させられる場合の少なくとも一時期に一対の対向面34f、36fの間の空間のほぼ全体をx方向から覆い得る大きさとされる。
なお、カバー部50は、後述するように、エアの拡散を防止するとともに、エアの噴出によって落下させられた部品sの飛散を防止する機能を果たす。
A
Further, the dimension in the y direction of the
In addition, the
固定子側の部材{例えば、固定子34の上部または固定子保持体55の固定子34の上方の部分または本体29}には、可動子36の対向面36fに対向するエア通路60の開口60aが形成される。エア通路60は、図3に示すように概してy方向に伸びたエア噴出通路60s、本体29に形成された内部通路60h等を含む。エア噴出通路60sは、可動子36に近づくにつれて下方へいく向きに傾斜して伸び、可動子36が固定子34から離間した位置にある場合に、延長線kが可動子36の対向面36fの部分Rの上方または部分R内に達する状態で伸びたものである。部分Rは、可動子36の対向面36fの部品sを把持する頻度が高い部分であり、把持部と称することができる。エアは、対向面36fの延長線kが交差する部分に、斜め上方から当たる。
エア通路60には、エアシリンダ64,70が接続される。また、エア通路60のエアシリンダ64,70の下流側の部分にはイオナイザ62が設けられる。イオナイザ62は、コロナ放電を生起させて空気をイオン化するものであり、対向面36fにイオン化された空気が供給され得る。
An
保持台移動装置40は、本体29またはベース部30に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ64を含む。エアシリンダ64のピストンロッド66(図5参照)には載置部保持体46が連結される。エアシリンダ64は、シリンダハウジングの内部にピストンによって仕切られた2つのエア室64a、64bを含み、2つのエア室64a、64bとエア源68、エア通路60、フィルタ(大気)との間に電磁弁装置69が設けられる。電磁弁装置69は、1つ以上の電磁弁、例えば、図5に示すように、方向切換弁、可変絞りを含むものとすることができる。方向切換弁により、載置部保持体46の移動方向が制御され、可変絞りにより載置部保持体46の移動・停止が制御される。電磁弁装置69によって、エア室64bがエア源68に連通させられエア室64aがエア通路60に連通させられることにより、保持台32が前進(図3の矢印F方向の移動)させられ、エア室64bが大気に開放されエア室64aがエア源68に連通させられることにより、保持台32が後退(図3の矢印B方向の移動)させられる。
The holding
可動子移動装置41は、本体29に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ70を含む。エアシリンダ70のピストンロッド71には可動子と一体的に移動可能な可動子保持体56が連結される。エアシリンダ70のハウジングの内部にピストンによって仕切られた2つのエア室70a、70bには、電磁弁装置72を介して、エア源68、エア通路60、フィルタ(大気)に接続される。電磁弁装置72は、1つ以上の電磁弁を含むものであり、例えば、方向切換弁、可変絞り等を含むものとすることができる。電磁弁装置72により、エア室70bがエア通路60に連通させられエア室70aがエア源68に連通させられることにより、可動子36が後退させられ、エア室70aが大気に開放されエア室70bがエア源68に連通させられることにより、可動子36が前進させられる。
本実施例においては、エアシリンダ64,70、エア通路60(エア噴出通路60sを含む)、開口60a、カバー部50、イオナイザ62等によりエア供給装置73が構成される。エア供給装置73は、可動子供給部、駆動源連動型供給部でもある。また、対向面36fが供給対象面に対応する。
なお、電磁弁装置69,72の構造は、本実施例のそれに限らない。例えば、1つの3位置弁を含むものとしたり、複数の開閉弁を含むものとしたりすること等ができる。また、イオナイザ62を設けることは不可欠ではない。
The
In the present embodiment, an
The structure of the
可動子保持体56と本体29との間には、y方向に伸びた一対のガイドロッド74,75が設けられ、保持台32と可動子保持体56との間には、y方向に伸びた一対のガイドロッド76,77が設けられる。ガイドロッド74,75の一端部は、可動子保持体56に連結され、他端部は、本体29に摺動可能に係合させられる。ガイドロッド76,77は、一端部において載置部保持体46に連結されるとともに、可動子保持体56に摺動可能に係合させられる。これらガイドロッド74,75、76,77により保持台32と可動子36とは本体29に対して、y方向に互いに相対移動可能とされるとともに、保持台32と可動子36とは互いにy方向に相対移動可能とされる。
また、図3に示すように、可動子保持体56の固定子側にはストッパ82が設けられ、本体29の固定子保持体55を保持する部分にはストッパ80が設けられる。ストッパ82は、可動子保持体56と保持台32(載置部保持体46)との接近限度を規定するものであり、ストッパ80は、固定子34(本体29)と保持台32(載置部保持体46)との接近限度を規定するものである。
本実施例において、ガイドロッド74〜77は、保持台移動装置40、可動子移動装置41に共有され、ストッパ80,82は保持台移動装置40の構成要素であると考えることができる。
なお、図3に示すように、可動子36が後退端位置にある場合のストッパ82の前端部と、保持台32が前進端位置にある場合の載置部保持体46との間の隙間Ldが、可動子36と保持台32との相対移動が許容される距離である。
A pair of
Further, as shown in FIG. 3, a
In this embodiment, the
As shown in FIG. 3, the gap Ld between the front end portion of the
当該装着機は制御装置100を含む。制御装置100は、図6に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ102と、複数の駆動回路104とを含む。コントローラ102は、実行部110、記憶部112、入出力部114等を含み、入出力部114には、基板搬送保持装置4、部品供給装置6、ヘッド移動装置8が、それぞれ、駆動回路104を介して接続されるとともに、可動子移動装置41、保持台移動装置40の電磁弁装置69,72等が接続される。また、LCR検出部42、ディスプレイ116、可動子位置センサ118、保持台位置センサ120、ノズル18の高さを検出するノズル高さセンサ122等が接続される。記憶部112には、図7(a)のフローチャートで表されるLCR検出プログラム等の複数のプログラム、テーブルが記憶されている。また、コントローラ102に設けられたタイマ124によって時間の計測が行われる。
なお、本実施例においては、制御装置100によって装着機全体が制御される場合について説明したが、基板搬送保持装置4、部品供給装置6、ヘッド移動装置8等がそれぞれ互いに個別の制御装置によって制御されるようにすることもできる。
The mounting machine includes a
In the present embodiment, the case where the entire mounting machine is controlled by the
また、図4(a)、(b)、10に示すように、本体29の表面29fとベース部30の表面30fとは、アース線132によって接続される。その結果、本体29とベース部30とは、締結部31による内部導通とアース線132による表面導通との両方によって導通させられる。
アース線132の一端部132hは、本体29のストッパ80が取り付けられた部分の近傍の上面29fに設けられる。この部分は、電気回路58の接続部58aからも近い部分である。換言すれば、一端部132hは、部品載置部44のV溝44cからの電気が流れる経路{44c→44→46→80→29→132h(29f)}の長さLc(例えば、経路内の部材の表面に沿った長さとすることができる。以下、同様とする)も、接続部58aからの電気の流れる経路{58a→55→29→132h(29f)}の長さLaも設定長さLth(=第1設定長さ=第2設定長さ)以下の部分に設けられる。
また、アース線132の他端部132bは、ベース部30の上面30fに取り付けられる。ベース部30の他端部132bが接続された部分は、本体29の一端部132hが取り付けられた部分より、部品載置部のV溝44c、接続部58aからの電気の流れる経路Lcb{44c→44→46→80→29→30→132b(30f)}、Lab{58a→55→29→30→132b(30f)}が長い部分である。
Lcb>Lc
Lab>La
さらに、アース線132の長さLeはアース線設定長さLs以下とされるため、速やかに本体29からベース部30へ電気を流すことができる。
また、ベース部30の下端部30dにもアース線136が接続される。それにより、大気中のイオン等が逃がされるのであり、検査装置22の全体の除電が図られる。
4A, 4B, and 10, the
One
Further, the
Lcb> Lc
Lab> La
Furthermore, since the length Le of the
The
また、保持台32からベース部30へ向かってスムーズに電流が流れるように、部品載置部44、載置部保持体46、ストッパ80、本体29、ベース部30に導電性を有する同じ材料で表面処理がされるようにしたり、これらと締結部31とが同じ材料で表面処理がされるようにしたりすることが望ましい。導電性を有する同じ材料で表面処理がされることにより、電位差を小さくし、接地されるまでの間の電気の流れを良好にすることができる。例えば、無電解ニッケルにより表面処理を行うことができる。
なお、部品載置部44とベース部30との間に介在する複数の部材のすべてに、同じ材料で表面処理することは不可欠ではない。例えば、部品載置部44とベース部30との間に介在する複数の部材に、部品載置部44からベース部30に向かって電位が低くなるように表面処理を施すことができる。この場合には、部品sに帯電させられた電気を速やかに逃がすことができる。一方、部品載置部44からベース部30に向かって、電位が低くなったり、高くなったりすると、電気が流れ難くなり、望ましくない。それに対して、電位差が小さくされれば、スムーズに電流を流すことができるのである。
In addition, the
In addition, it is not indispensable to perform the surface treatment with the same material on all of the plurality of members interposed between the
以下、装着機の作動について説明する。
段取り替えが行われる場合等、新たなテープフィーダ14のセット、テープフィーダ14の交換等が行われた場合等に、そのテープフィーダ14に保持された部品sの電気的特性が測定され、そのテープフィーダ14(または部品s)が適切なものであるか否かが検査される。また、その検査結果がディスプレイ116に表示される。不適切である場合には、テープフィーダ14が取り替えられる。
Hereinafter, the operation of the mounting machine will be described.
When a
部品sの電気的特性は、図7(a)のフローチャートで表されるLCR測定プログラムの実行により測定される。また、保持台32、可動子36の動き、保持台位置センサ118、可動子位置センサ120の状態を図7(b)に示す。
検査装置22は、常には、図9(a)に示す初期状態にある。可動子36は後退端位置にあり、保持台32は前進端位置、すなわち、ストッパ80に当接した位置にある。この状態において、保持台32は、内部導通等によりアースされた状態にある。内部導通とアース線132等による表面導通とにより、アースされた状態にある。保持台32のV溝44cの上方に可動子36が存在せず、部品sを載置可能な状態にある。また、カバー部50は固定子34の両側(x方向に隔たって)に位置する。可動子位置センサ120、保持台位置センサ118は、いずれもON状態にある。
ステップ1(以下、S1と略称する。他のステップについても同様とする)において、部品sの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。段取り替えが行われる場合等には、LCR等の電気的特性の測定指令が出される。測定指令が出されると、S2において、装着ヘッド16が移動させられ、例えば、新たに取り付けられたテープフィーダ14に保持された部品sが吸着ノズル18によってピックアップされて、保持台32のV溝44c上に載せられる。吸着ノズル18が下降させられ、部品sが開放されることにより、部品sがV溝44cに載置させられたことがわかる。
The electrical characteristics of the component s are measured by executing the LCR measurement program represented by the flowchart of FIG. FIG. 7B shows the movements of the holding table 32 and the
The
In step 1 (hereinafter abbreviated as S1. The same applies to other steps), it is determined whether or not a measurement command for the electrical characteristics of the component s has been issued. When setup change is performed, a measurement command for electrical characteristics such as LCR is issued. When the measurement command is issued, the mounting
そして、吸着ノズル18が部品sをV溝44c上に載置させて上昇端に達したことがノズル高さセンサ122によって検出されると、S3において、電磁弁装置72の制御により、可動子36が前進させられる。可動子36の先端の対向面36fは、部品載置部44のV溝44cに沿って前進させられ、対向面36fと固定子34の対向面34fとによって部品sがクランプされる。{図9(b)}。本実施例においては、後退端位置から部品sをクランプするまでの可動子36のストロークL1(図3参照)は、クランプされる部品sの大きさ等で決まり、予め決められている。可動子36の前進開始時から、可動子36がストロークL1前進するのに要する時間である前進時間が経過した後に、可変絞りの制御等により、可動子36の前進が停止させられる。前進時間は、タイマ124によって計測される。可動子36の前進により可動子位置センサ120がOFFになる。この保持台32が前進端位置にあり、可動子36が前進させられ、一対の対向面34f、36fにより部品sがクランプされた状態がクランプ状態である。
Then, when the
S4において、電磁弁装置69の制御により、保持台32がストッパ82に当接するまで後退させられる{図9(c)}。保持台32は、ストロークL2(図3参照)後退させられ、保持台位置センサ118がONからOFFに切り換えられる(L2=Ld−L1)。電磁弁装置69の制御により、保持台32の後退が停止させられる。本実施例においては、ストロークL2は設定値Lx以上の大きさとされていて(L2≧Lx)、部品載置部44が部品sから設定値Lx以上離間させられる。導電性を有する部材(部品載置部44)が電気的特性の測定時に部品sの近傍に位置すると静電誘導が起きたり、渦電流が生じたりする等、電気的特性を正確に検出することができない。それに対して、部品載置部44を部品sから設定値Lx以上離間させれば(部品載置部44と部品sとの最短距離が設定値Lx以上とすれば)、部品載置部44が部品sの近傍に位置することに起因して生じる電気的特性の測定誤差を小さくすることができる。このように、設定値Lxは、部品載置部44が部品sの電気的特性の測定に影響を及ぼし難い距離であり、予め実験等により取得された値である。この状態が測定状態である。
In S4, the holding
S5において、吸着ノズル18により部品sが開放され、V溝44cに載せられた時から、設定時間である除電時間が経過するのが待たれる。テープフィーダ14に保持された部品sの各々は、テープフィーダ14の運搬に伴う振動、物との接触等に起因して生じた静電気により帯電した状態にある。この帯電された部品sが、導電性を有する材料で製造され、かつ、アースされた部品載置部44に載置されることにより除電されたり、空気中への放電により除電されたりする。除電時間は、部品sが有していると推定される容量の静電気を除去するのに要する時間であり、予め実験等により求めたり、部品sの大きさ、特性等に基づいて理論的に求めたりすること等ができる。部品sが部品保持台44に載せられてからの経過時間が除電時間に達すると、S5の判定がYESとなり、S6において部品sの電気的特性が測定される。
そして、電気的特性の測定に要する時間である測定時間が経過すると、S7が実行されるのであるが、測定時間は部品sの種類等によって決まる時間としても、一定の時間としてもよい。いずれにしても予め取得されて記憶されている。
In S5, the part s is opened by the
When the measurement time, which is the time required for measuring the electrical characteristics, elapses, S7 is executed. However, the measurement time may be determined by the type of the part s or the like, or may be a fixed time. In any case, it is acquired and stored in advance.
測定時間が経過し、部品sの電気的特性の測定が終了すると、S7において、電磁弁装置72の制御により可動子36が後退させられる。後退端に達すると、可動子位置センサ120がONとなる。S8において、電磁弁装置69の制御により、保持台32が後退させられる{図9(d)}。保持台32が測定状態から後退端位置にある可動子36のストッパ82に当接するまでのストロークはL1である。そのため、保持台32がストロークL1後退するのに要する時間である後退時間が経過した後に、ストッパ82に当接したとわかる。この状態が廃棄状態である。
保持台32がストッパ82に当接するまで後退させられると、S9において、電磁弁装置69の制御により、エアシリンダ64においてエア室64bがエア源68に連通させられ、エア室64aがエア通路60に連通させられる。保持台32が前進させられ、ストッパ80に当たると保持台位置センサ118がONとなる。保持台32は、一対の対向面34f、36fの間に位置し上方が空間とされている。そのため、部品sが載置可能とされる。この状態が初期状態である。
When the measurement time has elapsed and the measurement of the electrical characteristics of the component s is completed, the
When the holding
可動子36の対向面36fが固定子34の対向面34fから離間することにより、これらの間に把持されていた部品sが落下し、開口29a、30a、廃棄通路28を経てごみ箱26に収容される。また、可動子36の後退時には、エアシリンダ70のエア室70aがエア通路60に連通させられ、カバー用板部52,54は、それぞれ、一対の対向面34f、36fの間の空間のx方向の両側に位置する。
可動子36の後退に伴って、エア室70aから流出させられたエアが開口60aから可動子36の対向面36fに向かって斜め上方から供給されるが、エアが供給される空間、換言すれば、一対の対向面34f、36fの間の空間が、カバー部50によってx方向から覆われる。エアは、主として対向面36fに当たった後、対向面36fに沿って下方へ流れる。そのため、仮に、対向面36fから部品sが落下せず、部分Rに付着していても、それを良好に落下させることができる。また、エアは、カバー部50の内部を渦状に流れるため、仮に、固定子34の対向面34fに部品sが付着していたとしても、保持台32の上に部品sがある場合であっても、良好に廃棄通路38へ落下させることができる。なお、V溝44cの上にある部品sは、保持台32の後退時に可動子36の対向面36fが相対的に前進させられることにより、保持台32から落下させられる。以上のことから、廃棄状態は、部品sが良好に落下させられた状態と考えることができる。
When the facing
As the
また、カバー部50を設けることにより、落下した部品sが飛び散らないようにすることもできる。カバー用板部52の側板部52c、カバー用板部54の下端部は本体29の開口29aの近傍まで伸びているため、部品sを良好に開口29aから廃棄通路28を経てごみ箱へ収容させることができる。一方、イオン化されたエアが供給される場合には可動子36、固定子34の対向面36f、34fを電気的に中和することが可能となり、次の部品sの電気的特性の測定精度を向上させることができる。
さらに、エアシリンダ64において、保持台32の前進時(S9)にエア室64aがエア噴出通路60sに連通させられる。廃棄状態から初期状態へ移行する場合にも、可動子36の対向面36fにエアを供給することができる。その結果、可動子36の対向面36fの除電を良好に行うことも可能となる。
Further, by providing the
Further, in the
一方、測定された電気的特性とJOB情報に含まれる電気的特性とが比較され、当該部品sが、これから行われる作業(JOB)に用いられるべきものであるかどうかが判定され、その判定結果がディスプレイ116に表示される。
S21において、当該部品sの電気的特性の測定値が取得され、S22において、次のJOBのJOB情報から対応する情報が読み込まれる。S23において、これらが比較され、一致するかどうかが判定される。一致する場合であっても不一致の場合であっても、判定結果はディスプレイ116に表示される。仮に、不一致の場合には、適切なテープフィーダと交換される等の作業が行われる。
On the other hand, the measured electrical characteristics are compared with the electrical characteristics included in the job information, and it is determined whether or not the part s is to be used for work (JOB) to be performed from now on. Is displayed on the
In S21, the measured value of the electrical characteristic of the part s is acquired, and in S22, corresponding information is read from the job information of the next job. In S23, these are compared to determine whether or not they match. Whether they match or not, the determination result is displayed on the
以上のように、本実施例においては、部品載置部44が導電性を有する材料で製造されるとともに接地される。その結果、電気的特性の測定前に部品載置部44に載せられた部品sの除電を良好に行うことができる。一方、部品sが帯電していると、部品sのインピーダンスを測定することが困難であった。それに対して、本実施例においては、部品sの除電が良好に行われるため、部品sのインピーダンスを良好に測定することができる。
また、本体29とベース部30とがアース線132によって接続されるため、保持台32が初期位置にある間、部品載置部44は、内部導通と表面導通との両方で常にアースされた状態とされる。その結果、部品載置部44に保持された部品sを速やかに、かつ、確実に除電することができる。また、ベース部30の下端部30dにはアース線136が接続されている。その結果、大気中のイオン等を良好に逃がすことが可能となり、検査装置22全体の除電を図ることができる。その結果、より一層、部品sの電気的特性の測定精度を向上させることができる。具体的には、低インピーダンス部品であっても、部品sのインピーダンスを精度よく測定できる等の効果が得られる。また、部品載置部44とベース部30との間に介在させられる部材、締結部等に、導電性を有する同じ材料で表面処理が施されるようにすれば、部品sの除電を速やかに行うことができる。
さらに、可動子36の後退と並行して部品sを廃棄通路38に落下させることができるのであり、可動子の後退と、部品sの送出とを別の工程で行われる場合に比較して、電気的特性の測定に要する時間を短くすることができる。
As described above, in this embodiment, the
Further, since the
Further, the part s can be dropped into the disposal passage 38 in parallel with the retreat of the
以上のように、本実施例においては、本体29が第1ハウジングに対応し、ベース部30が第2ハウジングに対応し、これら本体29、ベース部30等によってハウジングが構成される。また、検査装置22の初期状態における保持台32の位置(前進端位置)が初期位置であり、保持台32がストッパ80から離間した位置が退避位置である。
As described above, in this embodiment, the
なお、一対の測定子の両方を移動可能とし、保持台を本体に固定とすることもできる。その場合であっても、保持台上に載せられた部品sを一対の測定子が把持し、一対の測定子が移動させられることにより、部品sから保持台を設定値以上離間させることができる。
また、保持台は、上下方向へ移動可能とすることもできる。その場合であっても、部品sが一対の測定子によってクランプされた状態で、保持台を部品sから設定値以上離間させることができる。
さらに、エア噴出通路を検査装置22の本体29の側部に、概してx方向に開く開口を有する状態で設けることもできる。換言すれば、カバー用板部52,54のいずれか一方をなくし(例えば、カバー用板部54をなくし)、そのなくした側に、x方向に開口を有するエア噴出通路を設けることができる。その結果、エアは、対向面34f、36f(xz方向に伸びた面)に沿って、カバー用板部52に向かって供給されることになり、それにより、一対の対向面34f、36fに付着した部品sを落とすことが可能となる。
また、本体29の表面に接続されたアース線132が直接接地されるようにすることもできる。
さらに、部品sの電気的特性の測定後に、可動子36および保持台32を同時に後退させることも可能である。
また、可動子位置センサ120、保持台位置センサ118は不可欠ではない。例えば、タイマ124による計測により電磁弁装置69,72を制御することもできる等、本発明は、前記実施形態に記載の態様の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
In addition, both of a pair of measuring elements can be moved, and a holding stand can also be fixed to a main body. Even in such a case, the pair of measuring elements grips the component s placed on the holding table, and the pair of measuring elements are moved, so that the holding table can be separated from the component s by a set value or more. .
Further, the holding table can be moved in the vertical direction. Even in this case, the holding base can be separated from the component s by a set value or more in a state where the component s is clamped by the pair of measuring elements.
Further, the air ejection passage may be provided in the side portion of the
Further, the
Furthermore, after the measurement of the electrical characteristics of the component s, the
Further, the
22:検査装置 26:ごみ箱 28:廃棄通路 29:本体 29a:開口 30:ベース部 30a:開口 31:締結部 32:保持台 34:固定子 36:可動子 34f,36f:対向面 40:保持台移動装置 41:可動子移動装置 42:LCR検出部 44:部品載置部 44c:V溝 50:カバー部 72:エア供給装置 100:制御装置 118:可動子位置センサ 120:保持台位置センサ 124:タイマ
22: Inspection device 26: Waste bin 28: Waste passage 29:
(1)部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされるとともに、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子と、
前記保持台を移動させる保持台移動装置と、
その保持台移動装置を制御する保持台移動制御装置と
を含み、かつ、前記保持台移動制御装置が、前記一対の測定子が前記保持台に保持された前記部品を把持するクランプ状態から、前記保持台を前記部品から設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定可能な測定状態とする測定時制御部を含むことを特徴とする検査装置。
保持台は、一対の測定子の接近・離間方向と平行な方向に移動可能としても、交差する方向に移動可能としてもよい。設定値は、例えば、保持台が導電性を有するものである場合において、保持台の影響が部品の電気的特性の測定に及び難い距離とすることができる。
(2)前記保持台を、導電性を有するものとした(1)項に記載の検査装置。
(3)前記一対の測定子が、互いに対向し、前記部品に接触可能な一対の対向面を含み、それら一対の対向面が互いに接近させられることにより前記部品を保持し、互いに離間させられることにより前記部品を放すものであり、
前記保持台移動装置が、前記測定状態から、前記保持台を移動させることにより、前記互いに離間させられた一対の対向面の間の下方領域に前記保持台が存在しない廃棄状態とする廃棄時制御部を含む(1)項または(2)項に記載の検査装置。
(4)前記保持台移動制御装置が、前記廃棄状態から、前記下方領域の内へ前記保持台を移動させて、前記保持台が前記部品を保持可能な初期状態とする準備時制御部を含む(3)項に記載の検査装置。
(5)前記装着機が、前記検査装置に接続された廃棄通路を含み、当該検査装置の本体が、前記廃棄通路に連通可能な開口を有する(3)項または(4)項に記載の検査装置。
開口の位置、大きさは、少なくとも、廃棄状態において一対の対向面の間の下方に開口状態にあるように決めることができる。
(6)当該検査装置が、前記一対の測定子の間に電流を供給するとともに前記一対の測定子の間に流れる電流を検出して、前記部品の前記電気的特性を取得する電気的特性取得装置を含み、その電気的特性取得装置が、前記保持台に前記部品が載置させられた時点から設定時間以上が経過した場合に、前記部品の前記電気的特性の測定を開始する遅延型測定部を含む(1)項ないし(5)項のいずれか1つに記載の検査装置。
設定時間は、例えば、部品の除電に要する時間である除電時間とすることができる。除電時間は、部品によって決まる時間であっても、部品に関係なく予め定められた時間であってもよい。
なお、保持台に部品が載置させられている時間を除電時間とすることもできる。
(7)前記一対の測定子が、本体に固定の固定子と、前記固定子に対して相対移動可能な可動子とを含み、
当該検査装置が、前記可動子を前記固定子に対して移動させる可動子移動装置と、その可動子移動装置を制御することにより前記一対の測定子を互いに接近・離間させる可動子移動制御部とを含む(1)項ないし(6)項のいずれか1つに記載の検査装置。
(8)当該検査装置が、前記可動子と前記保持台とを互いに相対移動可能に連結する連結機構を含む(7)項に記載の検査装置。
例えば、可動子は、その可動子の移動方向と平行に伸びた長手形状を成すものとすることができる。また、保持台は、可動子の先端の前方に位置する場合、後方に位置する場合がある。
(9)前記保持台が、横断面がV字状を成す溝であるV溝を有し、前記一対の測定子の少なくとも一方の先端部の横断面が前記V溝に対応する三角形状を成す(1)項ないし(8)項のいずれか1つに記載の検査装置。
(1) An inspection device included in a mounting machine that picks up a component supplied by a component supply device and mounts the component on a circuit board,
A holding table capable of holding parts;
A pair of measuring elements that can be approached and separated from each other, and that can measure the electrical characteristics of the part with the part interposed therebetween,
A holding table moving device for moving the holding table;
A holding table movement control device that controls the holding table movement device, and the holding table movement control device is in a clamped state where the pair of measuring elements hold the parts held by the holding table, An inspection apparatus comprising: a measurement control unit that sets a measurement state in which the holding table is separated from the component by a set value or more so that the electrical characteristics of the component can be measured.
The holding table may be movable in a direction parallel to the approaching / separating direction of the pair of measuring elements, or may be movable in the intersecting direction. For example, when the holding table is conductive, the set value can be a distance at which the influence of the holding table is difficult to measure the electrical characteristics of the component.
(2) The inspection apparatus according to item (1), wherein the holding table has conductivity.
(3) The pair of measuring elements includes a pair of facing surfaces that are opposed to each other and are capable of contacting the component, and the pair of facing surfaces are held close to each other to be separated from each other. To release the part,
When the holding table moving device moves the holding table from the measurement state, the discarding control is performed so that the holding table does not exist in a lower region between the pair of opposed surfaces separated from each other. The inspection apparatus according to (1) or (2), including a section.
(4) The holding table movement control device includes a preparation control unit that moves the holding table from the discarded state into the lower region so that the holding table can hold the component in an initial state. Inspection device as described in (3).
(5) The inspection according to (3) or (4), wherein the mounting machine includes a disposal passage connected to the inspection device, and the main body of the inspection device has an opening capable of communicating with the disposal passage. apparatus.
The position and size of the opening can be determined so as to be in an open state below at least between the pair of opposed surfaces in the discarded state.
(6) Electrical characteristic acquisition in which the inspection apparatus supplies current between the pair of measuring elements and detects the current flowing between the pair of measuring elements to acquire the electrical characteristics of the component A delay type measurement that starts measurement of the electrical characteristics of the component when a set time has elapsed since the component was placed on the holding table. The inspection apparatus according to any one of (1) to (5), including a section.
The set time can be, for example, a static elimination time that is a time required for static elimination of a component. The static elimination time may be a time determined by a part or a predetermined time regardless of the part.
It should be noted that the time during which the component is placed on the holding table can be set as the static elimination time.
(7) The pair of measuring elements includes a stator fixed to the main body and a movable element movable relative to the stator,
The inspection apparatus includes a mover moving device that moves the mover relative to the stator, and a mover movement control unit that controls the mover moving device to move the pair of measuring elements closer to or away from each other. The inspection apparatus according to any one of items (1) to (6).
(8) The inspection apparatus according to (7), wherein the inspection apparatus includes a coupling mechanism that couples the mover and the holding base so as to be movable relative to each other.
For example, the mover may have a longitudinal shape extending in parallel with the moving direction of the mover. Further, when the holding base is located in front of the tip of the mover, it may be located behind.
(9) The holding table has a V-groove which is a groove having a V-shaped cross section, and a cross section of at least one tip of the pair of measuring elements has a triangular shape corresponding to the V-groove. The inspection apparatus according to any one of items (1) to (8).
(10)部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子と、
前記一対の測定子と前記保持台とを互いに相対移動させる相対移動装置と、
その相対移動装置を制御する相対移動制御装置と
を含み、かつ、前記相対移動制御装置が、前記一対の測定子が前記保持台に保持された前記部品を把持するクランプ状態から、前記部品と前記保持台とを設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定可能な測定状態とする測定時制御部を含むことを特徴とする検査装置。
本項に記載の検査装置には、(1)項ないし(9)項のいずれかに記載の技術的特徴を採用することができる。
相対移動装置は、(a)保持台を固定、一対の測定子を移動させる装置としたり、(b)一対の測定子のうちの一方を固定、一対の測定子の他方と保持台とを移動させる装置としたりすること等ができる。(a)の場合として、例えば、保持台に保持された部品が一対の測定子によってクランプされた状態で、一対の測定子が保持台に対して相対移動させられ、部品と保持台とが設定値以上離間させられる場合が該当する。
(10) An inspection device included in a mounting machine that picks up a component supplied by a component supply device and mounts the component on a circuit board,
A holding table capable of holding parts;
A pair of measuring elements that can be approached and separated from each other, and can measure the electrical characteristics of the parts with the parts interposed therebetween;
A relative movement device for moving the pair of measuring elements and the holding table relative to each other;
A relative movement control device that controls the relative movement device, and the relative movement control device is configured such that the pair of measuring elements grips the component held by the holding base, and the component and the component An inspection apparatus comprising: a measurement control unit that sets a measurement state in which the electrical characteristics of the component can be measured by separating the holding table by a set value or more.
The technical features described in any one of items (1) to (9) can be employed in the inspection apparatus described in this section.
Relative movement device can be (a) a device that fixes a holding base and moves a pair of measuring elements, or (b) one of a pair of measuring elements that is fixed, and moves the other of the pair of measuring elements and the holding table. It can be used as a device to be used. In the case of (a), for example, in a state where the parts held on the holding table are clamped by the pair of measuring elements, the pair of measuring elements are moved relative to the holding table, and the parts and the holding table are set. This corresponds to the case where the distance is more than the value.
(11)部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に設けられ、(i)部品を保持可能な保持台と、(ii)互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子とを含む検査装置において前記部品の電気的特性に関する検査を行う検査方法であって、
前記保持台に保持された部品を、一対の測定子が把持するクランプ工程と、
前記一対の測定子によって把持された前記部品から前記保持台を設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定する測定工程と
を含むことを特徴とする検査方法。
本項に記載の検査方法は、(1)項ないし(10)項のいずれかに記載の検査装置において実行され得る。
(12)前記測定工程の実行後に、前記一対の測定子を互いに離間させ、前記保持台を前記一対の測定子の互いに対向する対向面の間の下方領域から退避させて、前記部品を下方へ落とす廃棄工程と、
前記保持台を、前記一対の測定子の互いに対向する対向面の間の間隔の下方領域へ侵入させて、前記部品を保持可能な初期状態とする準備工程と
を含む(11)項に記載の検査方法。
廃棄工程において、一対の測定子の離間と保持台の退避とを順番に行っても、並行しておこなってもよい。
(11) Picked up components supplied by the component supply device and provided in a mounting machine for mounting on the circuit board, (i) a holding table capable of holding the components, and (ii) being able to approach and separate from each other, An inspection method for inspecting the electrical characteristics of the part in an inspection apparatus including a pair of measuring elements capable of measuring the electrical characteristics of the part across the part,
A clamping step in which a pair of probe grips the component held on the holding table;
And a measuring step of measuring the electrical characteristics of the component by separating the holding table from the component held by the pair of measuring elements by a predetermined value or more.
The inspection method described in this section can be executed in the inspection apparatus described in any one of (1) to (10).
(12) After execution of the measuring step, the pair of measuring elements are separated from each other, the holding table is retracted from a lower region between the opposing surfaces of the pair of measuring elements, and the component is moved downward. The disposal process to drop,
(11) including a preparatory step in which the holding table is intruded into a lower region of the space between the opposed surfaces of the pair of measuring elements facing each other to hold the component in an initial state. Inspection method.
In the discarding step, the pair of measuring elements may be separated and the holding table retracted in order or in parallel.
(13)部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
導電性を有し、部品を保持する保持台と、
前記保持台に保持された前記部品を把持するとともに、前記部品が前記保持台から離間した状態で前記部品の電気的特性を取得する電気的特性取得装置と
を含むことを特徴とする検査装置。
本項に記載の検査装置は、(1)項ないし(12)項のいずれか1つに記載の技術的特徴を採用することができる。
(13) An inspection device included in a mounting machine that picks up a component supplied by a component supply device and mounts the component on a circuit board,
A holding base that has conductivity and holds parts;
An inspection apparatus comprising: an electrical property acquisition device that grips the component held on the holding table and acquires an electrical property of the component in a state where the component is separated from the holding table.
The inspection device described in this section can employ the technical feature described in any one of the items (1) to (12).
(14)前記一対の測定子が、互いに接近させられることにより、一対の対向面が前記部品を挟んで、その部品の電気的特性を測定し、互いに離間させられることにより、前記一対の対向面から前記部品を放すものであり、
当該検査装置が、それら一対の測定子が離間させられる場合に、前記一対の対向面のうちの少なくとも一方である供給対象面に、エアを供給するエア供給装置を含む(1)項ないし(13)項のいずれか1つに記載の検査装置。
一対の測定子が離間させられる場合とは、互いに離間している間、離間している間の一部または全行程、離間開始時、離間終了時等が該当する。
(15)前記エア供給装置が、前記エアをイオン化するイオナイザを含み、前記イオン化されたエアを前記供給対象面に供給する(14)項に記載の検査装置。
(16)前記エア供給装置が、前記供給対象面に対向する開口を有するエア通路を含む(14)項または(15)項に記載の検査装置。
(17)前記エア通路が、前記供給対象面に近づくにつれて下方へ行く向きに傾斜したエア噴出通路を含む(16)項に記載の検査装置。
(18)前記エア噴出通路の傾斜角度が、前記エアが前記供給対象面の前記部品を把持する部分の上方に当たる角度とされた(17)項に記載の検査装置。
(19)前記一対の測定子が、本体に固定の固定子と、その固定子に接近・離間可能な可動子とを含み、
前記エア供給装置が、前記可動子が前記固定子から離間させられる場合に、前記供給対象面である前記可動子の対向面に前記エアを供給する可動子供給部を含む(14)項ないし(18)項のいずれか1つに記載の検査装置。
(20)当該検査装置が、可動子用シリンダを備え、その可動機用シリンダの作動により前記可動子を前記固定子に対して接近・離間させる可動子移動装置を含み、
前記エア供給装置が、前記可動子の前記固定子からの離間に伴って前記可動子用シリンダから流出させられるエアを前記可動子の対向面に供給する駆動源連動型供給部を含む(19)項に記載の検査装置。
(21)当該検査装置が、前記一対の対向面が離間した状態で、これらの間を覆うカバー部を含む(1)項ないし(20)項のいずれか1つに記載の検査装置。
カバー部は、一対の対向面の間の大部分を覆うものであり、一対の対向面の間の全体を覆うものとする必要は必ずしもなく、多少の隙間がある状態で覆うものであってもよい。一対の対向面が互いに離間させられる場合の少なくとも一時期に一対の対向面の間の全体を両側から覆うものとすることが望ましい。
(22)前記カバー部が、前記保持台に取り付けられ、前記保持台が後退端位置にある状態で、前記一対の対向面の間の大部分を側から覆うものである(1)項ないし(21)項のいずれか1つに記載の検査装置。
(14) When the pair of measuring elements are brought close to each other, the pair of opposed surfaces sandwich the component, measure the electrical characteristics of the component, and separated from each other, whereby the pair of opposed surfaces To release the parts from
Items (1) to (13) include an air supply device that supplies air to a supply target surface that is at least one of the pair of opposed surfaces when the pair of measuring elements are separated from each other. The inspection device according to any one of the items).
The case where the pair of measuring elements are separated corresponds to a part or the whole process during the separation, a separation start time, a separation end time, and the like while they are separated from each other.
(15) The inspection apparatus according to (14), wherein the air supply device includes an ionizer that ionizes the air, and supplies the ionized air to the supply target surface.
(16) The inspection device according to (14) or (15), wherein the air supply device includes an air passage having an opening facing the supply target surface.
(17) The inspection apparatus according to (16), wherein the air passage includes an air ejection passage that is inclined in a downward direction as it approaches the supply target surface.
(18) The inspection apparatus according to (17), wherein an inclination angle of the air ejection passage is an angle at which the air hits a portion of the supply target surface that grips the component.
(19) The pair of measuring elements includes a stator fixed to the main body and a movable element capable of approaching and separating from the stator,
Item (14) to (14), wherein the air supply device includes a mover supply unit that supplies the air to the opposed surface of the mover that is the supply target surface when the mover is separated from the stator. The inspection apparatus according to any one of items 18).
(20) The inspection device includes a mover moving device that includes a mover cylinder, and moves the mover toward and away from the stator by operation of the mover cylinder;
The air supply device includes a drive source interlocking type supply unit that supplies air that is allowed to flow out of the cylinder for the mover to the opposing surface of the mover as the mover is separated from the stator (19). Inspection device according to item.
(21) The inspection apparatus according to any one of (1) to (20), wherein the inspection apparatus includes a cover portion that covers a space between the pair of facing surfaces separated from each other.
The cover portion covers most of the space between the pair of facing surfaces, and does not necessarily cover the entire space between the pair of facing surfaces. Good. It is desirable to cover the entire surface between the pair of facing surfaces from both sides at least once when the pair of facing surfaces are separated from each other.
(22) Item (1) to (22), wherein the cover is attached to the holding table, and covers most of the pair of opposed surfaces from the side in a state where the holding table is at the retracted end position. The inspection apparatus according to any one of items 21).
(23)当該検査装置が、ハウジングと、そのハウジングの表面に電気的に接続されたアース線とを含む(1)項ないし(22)項のいずれか1つに記載の検査装置。
(24)前記ハウジングが、前記保持台と電気的に導通可能な第1ハウジングと、前記第1ハウジングとは別部材であって、前記第1ハウジングより前記保持台から離れた第2ハウジングとを含み、
前記アース線の一端部が前記第1ハウジングの表面に接続され、他端部が前記第2ハウジングの表面に接続された(23)項に記載の検査装置。
(25)前記保持台が、前記部品を保持可能な初期位置と、前記初期位置から退避した退避位置とに移動可能とされ、前記初期位置において、前記第1ハウジングに電気的に導通状態にある(24)項に記載の検査装置。
保持台の初期位置は、検査装置が初期状態にある場合の保持台の位置をいう。退避位置は、第1ハウジングと電気的に導通状態にない位置であり、例えば、検査装置が測定状態、廃棄状態にある場合の保持台の位置等が該当する。
(26)前記第1ハウジングと前記第2ハウジングとが、導電材料から成る締結部によって互いに連結された(24)項または(25)項に記載の検査装置。
(27)前記第1ハウジング、前記第2ハウジングおよび前記締結部の各々の表面が、互いに同じ材料で処理された(26)項に記載の検査装置。
(28)前記保持台が、前記部品が載置させられる部品載置部を含み、
前記アース線が、前記前記ハウジングの、前記部品載置部から流れる電流の経路が第1設定長さ以下の部分に接続された(23)項ないし(27)項のいずれか1つに記載の検査装置。
(29)前記ハウジングが、前記一対の測定子を電気回路に接続する回路接続部を有し、
前記アース線が、前記ハウジングの、前記回路接続部から流れる電流の経路が第2設定長さ以下の部分に接続された(23)項ないし(28)項のいずれか1つに記載の検査装置。
第1設定長さと第2設定長さとは同じ長さとすることができる。
(30)前記アース線の長さがアース線用設定長さ以下とされた(23)項ないし(29)項のいずれか1つに記載の検査装置。
(23) The inspection apparatus according to any one of (1) to (22), wherein the inspection apparatus includes a housing and a ground wire electrically connected to a surface of the housing.
(24) The housing includes a first housing that can be electrically connected to the holding table, and a second housing that is a separate member from the first housing and is separated from the holding table by the first housing. Including
The inspection apparatus according to item (23), wherein one end of the ground wire is connected to the surface of the first housing, and the other end is connected to the surface of the second housing.
(25) The holding table is movable between an initial position where the component can be held and a retracted position retracted from the initial position, and is electrically connected to the first housing at the initial position. The inspection apparatus according to item (24).
The initial position of the holding table refers to the position of the holding table when the inspection apparatus is in the initial state. The retracted position is a position that is not electrically connected to the first housing, and corresponds to, for example, the position of the holding base when the inspection apparatus is in the measurement state or the discarding state.
(26) The inspection device according to (24) or (25), wherein the first housing and the second housing are connected to each other by a fastening portion made of a conductive material.
(27) The inspection device according to (26), wherein the surfaces of the first housing, the second housing, and the fastening portion are treated with the same material.
(28) The holding table includes a component placement unit on which the component is placed,
The ground wire is connected to a portion of the housing in which a path of a current flowing from the component mounting portion is equal to or shorter than a first set length, according to any one of (23) to (27). Inspection device.
(29) The housing has a circuit connecting portion for connecting the pair of measuring elements to an electric circuit,
The inspection device according to any one of (23) to (28), wherein the ground wire is connected to a portion of the housing in which a path of a current flowing from the circuit connection portion is equal to or shorter than a second set length. .
The first set length and the second set length can be the same length.
(30) The inspection device according to any one of items (23) to (29), wherein a length of the ground wire is equal to or less than a set length for the ground wire.
Claims (8)
ハウジングと、
そのハウジングに対して移動可能であって、前記部品を保持する保持台と、
互いに接近・離間可能とされ、その保持台に保持された部品を把持して、その部品の電気的特性を測定する一対の測定子と、
前記ハウジングの表面に電気的に接続されたアース線と
を含む検査装置。 Pick up the components supplied by the component supply device and attach them to the mounting machine to be mounted on the circuit board.
A housing;
A holding base that is movable relative to the housing and holds the part;
A pair of measuring elements that can be approached and separated from each other, grip the parts held on the holding table, and measure the electrical characteristics of the parts;
An inspection apparatus including a ground wire electrically connected to a surface of the housing.
前記アース線の一端部が前記第1ハウジングの表面に接続され、他端部が前記第2ハウジングの表面に接続された請求項1に記載の検査装置。 The housing includes a first housing that can be electrically connected to the holding table, and a second housing that is a separate member from the first housing and is separated from the holding table by the first housing,
The inspection apparatus according to claim 1, wherein one end of the ground wire is connected to the surface of the first housing and the other end is connected to the surface of the second housing.
前記アース線が、前記前記ハウジングの、前記部品載置部から流れる電流の経路が第1設定長さ以下の部分に接続された請求項1ないし5のいずれか1つに記載の検査装置。 The holding table includes a component placement unit on which the component is placed,
The inspection device according to any one of claims 1 to 5, wherein the ground wire is connected to a portion of the housing in which a path of a current flowing from the component mounting portion is not longer than a first set length.
前記アース線が、前記ハウジングの、前記回路接続部から流れる電流の経路が第2設定長さ以下の部分に接続された請求項1ないし6のいずれか1つに記載の検査装置。 The housing has a circuit connecting portion for connecting the pair of measuring elements to an electric circuit;
The inspection device according to any one of claims 1 to 6, wherein the ground wire is connected to a portion of the housing where a path of a current flowing from the circuit connection portion is equal to or shorter than a second set length.
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