JP2017017203A - 真空処理装置およびそれに用いる分電ユニット - Google Patents
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Abstract
Description
前記真空ユニットは、上から順に配置されたプラズマ形成部と処理部とベッド部とを備え、分電ユニットを含む真空処理ユニットを有し、
前記分電ユニットは、分電盤より給電される電力を受電し、負荷容量に適合した過電流保護機能を持つ遮断機と電磁接触器を介し、前記真空処理装置内で使用する各機器に前記電力を分配するものであり、
前記遮断機のうちメンテナンス時に操作を行う遮断機は、前記ベッド部より上方に配置され、メンテナンス時に操作を行う必要ない遮断機や電磁接触器は前記ベッド部より下方に配置されていることを特徴とする真空処理装置とする。
前記分電ユニットは遮断機と電磁接触器とを介して前記真空処理装置内で使用する各機器に電力を分配するものであり、メンテナンス時に操作を行う遮断機は前記ベッド部より上方に配置され、メンテナンス時に操作を行う必要ない遮断機や電磁接触器は前記ベッド部より下方に配置されることを特徴とする分電ユニットとする。
(1)1つは内部に処理室(真空処理室)を有する真空チャンバ512および真空チャンバ512の下方に配置され、処理室内を排気するターボ分子ポンプを含む真空ポンプ508を含む処理部5200である。
(2)他の1つは、真空チャンバ512の上方に配置され、処理室内に供給する電界または磁界を形成して伝播させる部分であるプラズマ形成部5100である。
(3)残りの1つは、処理部5200の下方に配置され、該当処理部で用いられる電力およびガス等の流体の供給を調節する調節ユニット(ガス供給ユニット510)が直方体、あるいはこれと見做せる程度に近似した形状を備える筺体の内部と上面とに配置され処理部5200およびこの上方のプラズマ形成部5100とを下方から指示する台となっているベッド部5300である。
Claims (6)
- 大気雰囲気側で基板を収納し該基板を搬送する大気ユニットと、前記大気ユニットから搬送されてきた前記基板を真空雰囲気内で搬送・処理する真空ユニットとを備えた真空処理装置において、
前記真空ユニットは、上から順に配置されたプラズマ形成部と処理部とベッド部とを備え、分電ユニットを含む真空処理ユニットを有し、
前記分電ユニットは、分電盤より給電される電力を受電し、負荷容量に適合した過電流保護機能を持つ遮断機と電磁接触器を介し、前記真空処理装置内で使用する各機器に前記電力を分配するものであり、
前記遮断機のうちメンテナンス時に操作を行う遮断機は、前記ベッド部より上方に配置され、メンテナンス時に操作を行う必要ない遮断機や電磁接触器は前記ベッド部より下方に配置されていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記分電ユニットと前記各機器とを配線するためのコネクタは前記分電ユニットの背面に配置され、前記分電ユニットを収納する部分は前方に引き出し可能であることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記分電ユニットはL字型を有し、
前記メンテナンス時に操作を行う遮断機は、前記L字型の縦上部に配置されていることを特徴とする真空処理装置。 - 上から順に配置されたプラズマ形成部と、処理部と、ベッド部とを備えた真空処理ユニットを有する真空処理装置で用いる分電ユニットにおいて、
前記分電ユニットは遮断機と電磁接触器とを介して前記真空処理装置内で使用する各機器に電力を分配するものであり、メンテナンス時に操作を行う遮断機は前記ベッド部より上方に配置され、メンテナンス時に操作を行う必要ない遮断機や電磁接触器は前記ベッド部より下方に配置されることを特徴とする分電ユニット。 - 請求項4に記載の分電ユニットにおいて、
前記分電ユニットと前記各機器とを配線するためのコネクタは前記分電ユニットの背面に配置され、前記分電ユニットを収納する部分は前方に引き出し可能であることを特徴とする分電ユニット。 - 請求項4に記載の分電ユニットにおいて、
前記分電ユニットはL字型を有し、
前記メンテナンス時に操作を行う遮断機は、前記L字型の縦上部に配置されていることを特徴とする分電ユニット。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000514995A (ja) * | 1996-07-16 | 2000-11-07 | シュネーデル、エレクトリック、ソシエテ、アノニム | 引出し電気開閉装置 |
JP2004527993A (ja) * | 2001-04-20 | 2004-09-09 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 負荷用の開閉機器ユニット、特に電動機始動器 |
JP2015008243A (ja) * | 2013-06-26 | 2015-01-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 真空処理装置 |
JP2015162953A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 日本電信電話株式会社 | 分電盤 |
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- 2015-07-02 JP JP2015133192A patent/JP6522447B2/ja active Active
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