JP2017011239A - エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017011239A JP2017011239A JP2015128495A JP2015128495A JP2017011239A JP 2017011239 A JP2017011239 A JP 2017011239A JP 2015128495 A JP2015128495 A JP 2015128495A JP 2015128495 A JP2015128495 A JP 2015128495A JP 2017011239 A JP2017011239 A JP 2017011239A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon wafer
- susceptor
- epitaxial
- bottom wall
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 257
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 257
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 256
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 32
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 72
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 43
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 43
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 6
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims abstract description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 45
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 208
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 36
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 6
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 6
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 3
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 2
- SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N chlorosilicon Chemical compound Cl[Si] SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 2
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N diboron Chemical compound B#B ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUMGIEFFCMBQDG-UHFFFAOYSA-N dichlorosilicon Chemical compound Cl[Si]Cl BUMGIEFFCMBQDG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】サセプタ20に載置されたシリコンウェーハWに対し、水素を含むガス雰囲気下において熱処理を行う水素ベーク工程と、シリコンウェーハWの表面にエピタキシャル層を形成するエピタキシャル成長工程とを備えたエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法であって、サセプタ20は、底壁20aと側壁20bとにより形成されるポケット20cを有し、底壁20aには、平面視において、シリコンウェーハWと重なる領域内に複数の貫通孔20eが設けられ、シリコンウェーハWは、中央が外縁に対して一方の面側に突き出るように反りが付与されたウェーハであり、シリコンウェーハWの他方の面側が底壁20aと対向するようにシリコンウェーハWをサセプタ20に載置した状態で水素ベーク工程を実施する。
【選択図】図4
Description
エピタキシャルシリコンウェーハの裏面曇りは外観不良であり、製品ウェーハとして好ましくない。また、裏面に曇りがあると、裏面のパーティクル測定において誤検出が生じるおそれがある。
ここで、シリコンウェーハについて、中央が外縁に対して一方の面側に突き出るような反りとは、一方の面における外縁を基準とした高さ位置が、外縁から中央に向かうにしたがって高くなるような反り形状を意味する。本発明では、上記反りが付与されたシリコンウェーハが上凸状となるようにシリコンウェーハをサセプタに載置した状態で水素ベーク工程が行われる。
まず、エピタキシャル成長装置の反応室内が不活性ガスでパージされ、ハロゲンランプによる加熱により反応室内が昇温される(S1,S2)。次いで、シリコンウェーハをエピタキシャル成長装置の反応室に搬入する。搬入したシリコンウェーハは、反応室内に設置されたサセプタの上面に載置される。
また、サセプタ20のシリコンウェーハの載置面である底壁20aには、シリコンウェーハの外周部の表面に形成されるエピタキシャル層の膜厚低下の防止と、シリコンウェーハの裏面から放出されるドーパントの排出を目的として、複数の貫通孔20eが形成されている。複数の貫通孔20eは、サセプタ20の厚み方向に(底壁20a上面からサセプタ20下面に向けて)貫通する孔である。
サセプタ20とシリコンウェーハWとの線接触箇所には、微視的な隙間が形成されている。そのため、水素ガスの一部は、この微視的な隙間から、サセプタ20とシリコンウェーハWとの間に形成された空間に廻り込む。
そして、サセプタ20とシリコンウェーハWとの間に形成された空間に至った水素ガスは、サセプタ20の底壁20aに形成されている貫通孔20eから排出される。このとき、水素ガスにより、シリコンウェーハWの裏面の貫通孔20e近傍の自然酸化膜が除去される。
上凸状となるようにシリコンウェーハWをサセプタ20に載置することで、下凸状や平坦にシリコンウェーハWをサセプタ20に載置した場合に比べて、サセプタ20と、このサセプタ20に載置されたシリコンウェーハWとの間に形成される空間が拡がる。この状態で、水素ベーク工程を実施すると、サセプタ20とシリコンウェーハWとの間に形成された空間への水素ガスの廻り込み量が増加する。廻り込み量の増加によって、貫通孔20eが形成されていない領域にも、自然酸化膜を除去することが可能な量の水素ガスが到達する。したがって、シリコンウェーハWの裏面の全面に形成されている自然酸化膜が均一に除去される。結果として、自然酸化膜が残存することに起因するエピタキシャルシリコンウェーハの裏面の曇りの発生を防止できる。
本発明によれば、シリコンウェーハの外縁に対する中央の一方の面側への突出量が0μm超15μm以下である。上記範囲の突出量であれば、シリコンウェーハをサセプタに載置したときに、平坦となるようにシリコンウェーハをサセプタに載置した場合や、下凸状となるようにシリコンウェーハをサセプタに載置した場合に比べて、水素ベーク工程時のサセプタとシリコンウェーハとの間に形成された空間への水素ガスの廻り込み量が増加する。そのため、シリコンウェーハの裏面の全面に形成されている自然酸化膜を均一に除去できる。なお、突出量が15μmを超えると、エピタキシャル成長処理時にシリコンウェーハにスリップ転位が発生してしまうおそれがある。
本発明によれば、シリコンウェーハは、予め、裏面側が撥水面に処理されている。シリコンウェーハの裏面側を撥水面に処理しておくことで、水素ベーク工程、エピタキシャル成長工程に供するシリコンウェーハは、自然酸化膜が少ない、ベアに近い状態に保持される。このときの自然酸化膜の厚さは数nm程度のごくわずかな厚さであり、水素ベーク工程で、この自然酸化膜を除去できるため、エピタキシャルシリコンウェーハの裏面の曇りの発生を防止できる。
シリコンウェーハの裏面側の撥水面の処理は、例えば、HF溶液又はBHF溶液による洗浄が挙げられる。また、これらのHF系溶液にO3水(オゾン水)を組み合わせてもよい。
エピタキシャル成長装置では、サセプタからの金属汚染を防止するために、サセプタの少なくともシリコンウェーハが載置される面をシリコン膜でコーティングすることが一般的に行われている。このようなシリコンコートのサセプタを使用して、従来の製造方法と同様にエピタキシャルシリコンウェーハを製造した場合、エピタキシャルシリコンウェーハの裏面に曇りが発生することが知られている。
シリコンコートのサセプタを使用した場合に、エピタキシャルシリコンウェーハの裏面に曇りが発生する具体的なメカニズムは、以下の通りと考えられる。
図5(A)に示すように、サセプタ20は、シリコンウェーハWが載置される面側にシリコン膜20fがコーティングされている。
まず、図5(A)に示すように、エピタキシャル成長をするにあたって、エピタキシャル成長装置の反応室内に設置されているサセプタ20の載置面にシリコンウェーハWを載置する。なお、シリコンウェーハWの表裏面には、自然酸化膜W1が形成されている。
そして、サセプタ20とシリコンウェーハWとの間に形成された空間に至った水素ガスは、サセプタ20の底壁20aに形成されている貫通孔20eから排出される。このとき、水素ガスにより、シリコンウェーハWの裏面の貫通孔20e近傍の自然酸化膜W1が除去される。
一方、貫通孔20eが形成されていない領域の近傍には、水素ガスが到達し難く、到達したとしても少量である。そのため、シリコンウェーハWの裏面の、貫通孔20eが形成されていない領域の近傍の自然酸化膜W11は完全には除去されず、残存することになる。
サセプタ20に形成されたシリコン膜20fは、SiCなどのカーボン基材からなるサセプタの表面上に気相成長されたシリコン膜である。そのため、このシリコン膜は、単結晶シリコンではなく多結晶シリコンから構成されている。また、多結晶シリコン膜は、非常にポーラスであって、内部に他の成分が取り込まれやすい性質を有している。したがって、サセプタ20をコーティングしている多結晶シリコン膜には、シリコンコーティング時に使用された原料ガス(SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4など)中のCl基などが内部に取り込まれており、その他水分なども吸着されている可能性がある。
上述のように、水素ベーク工程を終えたシリコンウェーハには、その裏面の一部に自然酸化膜が残存しているため、残存する自然酸化膜の上にもサセプタのシリコン膜が転写される。残存した自然酸化膜の上に転写した領域が曇りとなる。このようなメカニズムにより、エピタキシャルシリコンウェーハの裏面に曇りが発生すると推察される。
そして、水素ベーク工程で、反応室内に水素を供給すると、サセプタとシリコンウェーハとの間に形成された空間の拡がりに応じて、サセプタとシリコンウェーハとの間に形成された空間への水素ガスの廻り込み量が増加する。廻り込み量の増加によって、貫通孔が形成されていない領域にも、自然酸化膜を除去することが可能な量の水素ガスが到達する。したがって、シリコンウェーハの裏面の全面に形成されている自然酸化膜が均一に除去される。結果として、水素ベーク工程後のエピタキシャル成長工程で、サセプタの載置面にコーティングされているシリコン膜がシリコンウェーハの裏面に転写されたとしても、裏面には自然酸化膜が残存していないため、エピタキシャルシリコンウェーハの裏面の曇りの発生を防止できる。
図6は、シリコンコート無しのサセプタを使用したときのウェーハの裏面にエッチングムラが発生するメカニズムを説明する図である。
シリコンコート無しのサセプタを使用した場合に、エピタキシャルシリコンウェーハの裏面にエッチングムラが発生する具体的なメカニズムは、以下の通りと考えられる。
まず、図6(A)に示すように、エピタキシャル成長をするにあたって、エピタキシャル成長装置の反応室内に設置されているサセプタ20の載置面にシリコンウェーハWを載置する。なお、シリコンウェーハWの表裏面には、自然酸化膜W1が形成されている。
そして、サセプタ20とシリコンウェーハWとの間に形成された空間に至った水素ガスは、サセプタ20の底壁20aに形成されている貫通孔20eから排出される。このとき、水素ガスにより、シリコンウェーハWの裏面の貫通孔20e近傍の自然酸化膜W1が除去される。
一方、貫通孔20eが形成されていない領域の近傍には、水素ガスが到達し難く、到達したとしても少量である。そのため、シリコンウェーハWの裏面の、貫通孔20eが形成されていない領域の近傍の自然酸化膜W11は除去されず、残存することになる。
シリコンコート無しのサセプタを使用する場合、上述のシリコンコートのサセプタを使用したメカニズムとは異なり、シリコン膜のコーティングがないため、シリコンウェーハWの裏面へのシリコン膜の転写が生じない。そのため、水素ベーク工程で残存した自然酸化膜がそのまま残った状態となる。このようなメカニズムにより、エピタキシャルシリコンウェーハの裏面にエッチングムラが発生すると推察される。
本発明によれば、図7に示すように、複数の貫通孔20eを、底壁20aにてその中心から半径の1/2の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設するので、上記問題を解決できる。
本発明によれば、少なくともシリコンウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔20eが含まれるように配設するので、上記問題を解決できる。
環状に一列の貫通孔は、貫通孔の形成領域と非形成領域との温度差による、シリコンウェーハの表面のナノトポグラフィの劣化を抑制することができる。
〔エピタキシャル成長装置の構成〕
まず、エピタキシャル成長装置の構成について説明する。
図8は、本実施形態に係る枚葉式のエピタキシャル成長装置の概略図である。
図8に示すように、枚葉式のエピタキシャル成長装置10は、凹面を有する円形の上側ドーム3と、同じく円形の下側ドーム4とを備える。上側ドーム3及び下側ドーム4は、石英などの透明な素材で形成されている。そして、上側ドーム3と下側ドーム4とを上下に対向して配設し、これらの端縁部は円環状のドーム取付体6の上下面にそれぞれ固定される。これにより、平面視で略円形の密閉された反応室2が形成される。反応室2の上方及び下方には、反応室2内を加熱するハロゲンランプ9が、円周方向に略均等間隔で離間して複数個それぞれ設けられる。
図2に示すように、サセプタ20は、シリコンウェーハWより若干大径な円形の底壁20aと、これを取り囲む円筒形状の側壁20bとにより形成されるポケット20cを有している。このポケット20cにシリコンウェーハWが収納、載置される。ポケット20cの深さ、すなわちサセプタ20の底壁20aの上面から側壁20bの上端面までの高さは、シリコンウェーハWの厚さと略同じに形成される。底壁20aには、外周側から内周側下方に向けて傾斜する支持部20dが設けられている。
また、底壁20aには、平面視においてシリコンウェーハWと重なる領域内には、複数の貫通孔20eが形成されている。具体的には、複数の貫通孔20eは、底壁20aにてその中心から半径の1/2の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設されている。また、複数の貫通孔20eは、少なくともシリコンウェーハWが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設されている。更に、複数の貫通孔20eは、少なくともシリコンウェーハWが上方に載置される底壁領域内に少なくとも環状に一列の貫通孔が含まれるように配設されていることが好ましい。
次に、図8の枚葉式のエピタキシャル成長装置10を用いた、本実施形態のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法を説明する。
まず、中央が外縁に対して一方の面側に突き出るように反りが付与されたシリコンウェーハを準備する。具体的には、外縁に対する中央の一方の面側への突出量が0μm超15μm以下の反りが付与されたシリコンウェーハを準備する。単結晶インゴットから切り出したシリコンウェーハに上記範囲の反りが付与されている場合には、それをそのまま使用してもよい。
また、上記範囲の反りが付与されたシリコンウェーハは、以下のような製造手順により得ることができる。
次に、シリコンウェーハの凸状に形成した裏面を保持テーブルに吸着保持することで、弾性変形により表面側の中央を突出させた状態とし、この表面に対して研削及び研磨のいずれかの処理を行う。この表面処理では、上記裏面処理とは異なり、シリコンウェーハを吸着保持した保持テーブルを所望の角度に傾けた状態から、水平に戻した状態でシリコンウェーハの表面の研削又は研磨を行い、表面を平坦にする。
表面処理を終えた後、シリコンウェーハの吸着保持を解除することで、シリコンウェーハは弾性により復元し、中央が外縁に対して当該シリコンウェーハの一方の面側に所望の突出量で突き出るように反りが付与されたシリコンウェーハが得られる。
パージ工程では、エピタキシャル成長装置10の反応室2内に不活性ガスを供給して、反応室を不活性雰囲気にする。
昇温工程では、ハロゲンランプ9を照射することで、エピタキシャル成長装置10の反応室2内の温度を室温から目的温度まで昇温させる。目的温度は、1050℃〜1280℃に設定される。
昇温工程で反応室2内を所望の温度にまで昇温した後、シリコンウェーハWをエピタキシャル成長装置10の反応室2に搬入する。搬入したシリコンウェーハWは、上凸状となるように、即ち、シリコンウェーハWの他方の面側が底壁と対向するように反応室2内のサセプタ20の上面に載置される。
次に、シリコンウェーハWの表面に存在する自然酸化膜やパーティクルを除去するために、水素ベーク工程を行う。この水素ベーク工程は、図示しないガス供給源により水素ガスのみをガス供給口31から反応室2内に供給するとともに、ハロゲンランプ9によりシリコンウェーハWを1100℃程度に加熱した状態を70秒間程度維持することにより行う。
本実施形態では、図4に示すように、シリコンウェーハWが上凸状となるように、シリコンウェーハWをサセプタ20に載置しているので、下凸状となるようにシリコンウェーハをサセプタに載置した場合や平坦となるようにシリコンウェーハをサセプタに載置した場合に比べて、サセプタ20とシリコンウェーハWとの間に形成された空間が拡がっている。そのため、サセプタ20とシリコンウェーハWとの間に形成された空間への水素ガスの廻り込み量が増加しているので、シリコンウェーハWの裏面の全面に形成されている自然酸化膜が均一に除去される。
次に、エピタキシャル層を形成するためのエピタキシャル成長工程を行う。まず、図示しないガス供給源により、キャリアガスや原料ソースガス、ドーパントガスなどを混合した反応ガスをガス供給口31から反応室2内に供給する。
キャリアガスとしては、H2ガス、N2ガス、Arガスなどが挙げられる。原料ソースガスとしては、4塩化ケイ素(SiCl4)、モノシラン(SiH4)、トリクロロシラン(SiHCl3)、ジクロルシラン(SiH2Cl2)などが挙げられる。ドーパントガスとしては、ジボラン(B2H6)、フォスフィン(PH3)などが挙げられる。
そして、反応室2の上方及び下方に設けられたハロゲンランプ9により、熱を輻射させてシリコンウェーハWの温度を1100℃程度に加熱する。これにより、シリコンウェーハWの表面で原料ソースガスなどが反応し、シリコンウェーハWの表面にエピタキシャル層を成長させることができる。
本実施形態では、前述の水素ベーク工程で、シリコンウェーハWの裏面の全面に形成されている自然酸化膜が均一に除去されている。そのため、エピタキシャル成長工程で、サセプタ20の載置面にコーティングされているシリコン膜20fがシリコンウェーハWの裏面に転写されたとしても、裏面には自然酸化膜が残存していないため、残存する自然酸化膜に起因するエピタキシャルシリコンウェーハの裏面の曇りの発生を防止できる。
所望の膜厚までエピタキシャル層を形成した後は、原料ソースガスの供給を停止し、反応室内が冷却される。そして、冷却後の反応室内からエピタキシャルシリコンウェーハが搬出される。
以上の方法により、裏面の曇りの発生が防止されたエピタキシャルシリコンウェーハを製造できる。
なお、本発明は上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の改良ならびに設計の変更などが可能である。
上記実施形態では、底壁の外周に複数の貫通孔が形成されたサセプタを使用したが、シリコンウェーハが上方に載置される底壁領域内に少なくとも環状に一列の貫通孔が含まれるように配設されたサセプタを使用してもよい。
また、上記実施形態では、底壁の外周に複数の貫通孔が形成されたサセプタを使用したが、底壁の略全面に複数の貫通孔が形成されたサセプタを使用してもよい。
また、上記実施形態では、シリコンコートのサセプタを使用したが、シリコンコート無しのサセプタを使用してもよい。
また、本発明の実施の際の具体的な手順、及び構造等は本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等としてもよい。
下記表1に示す形状の300mmシリコンウェーハを用意した。なお、表1において、突出量がプラス値は、シリコンウェーハWをサセプタ20に載置したときに、上凸状であることを示す。また、突出量がマイナス値は、シリコンウェーハWをサセプタ20に載置したときに、下凸状であることを示す。
そして、下記表1に示す各水準のシリコンウェーハをエピタキシャル成長装置(アプライドマテリアルズ社製)内に搬送し、装置内で1150℃の温度で30秒の水素ベーク処理を施した後、水素をキャリアガス、トリクロロシランをソースガス、フォスフィンをドーパントガスとし、1000〜1150℃の成長温度で、CVD法によりシリコンウェーハ上にシリコンのエピタキシャル層をエピタキシャル成長させ、本発明に従うシリコンエピタキシャルウェーハを作製した。
Claims (6)
- サセプタに載置されたシリコンウェーハに対し、水素を含むガス雰囲気下において熱処理を行う水素ベーク工程と、前記水素ベーク工程を終えた前記シリコンウェーハの表面にエピタキシャル層を形成するエピタキシャル成長工程とを備えたエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法であって、
前記サセプタは、略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケットを有し、
前記底壁には、平面視において、前記シリコンウェーハと重なる領域内に複数の貫通孔が設けられ、
前記シリコンウェーハは、中央が外縁に対して一方の面側に突き出るように反りが付与されたウェーハであり、
前記シリコンウェーハの他方の面側が前記底壁と対向するように前記シリコンウェーハを前記サセプタに載置した状態で前記水素ベーク工程を実施する
ことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記シリコンウェーハは、前記外縁に対する前記中央の一方の面側への突出量が0μm超15μm以下である
ことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記シリコンウェーハは、予め、裏面側が撥水面に処理されている
ことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記サセプタの少なくとも前記シリコンウェーハが載置される面にはシリコン膜が形成されている
ことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記複数の貫通孔は、前記底壁にてその中心から半径の1/2の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設され、かつ、少なくともシリコンウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設されている
ことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項5に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記複数の貫通孔は、少なくともシリコンウェーハが上方に載置される底壁領域内に少なくとも環状に一列の貫通孔が含まれるように配設されている
ことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015128495A JP6459801B2 (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
TW105119402A TWI611036B (zh) | 2015-06-26 | 2016-06-21 | 磊晶矽晶圓之製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015128495A JP6459801B2 (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017011239A true JP2017011239A (ja) | 2017-01-12 |
JP6459801B2 JP6459801B2 (ja) | 2019-01-30 |
Family
ID=57763879
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015128495A Active JP6459801B2 (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6459801B2 (ja) |
TW (1) | TWI611036B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113699586A (zh) * | 2021-08-27 | 2021-11-26 | 江苏第三代半导体研究院有限公司 | 一种带空气桥结构的托盘及外延生长方法 |
JP7296914B2 (ja) | 2020-04-17 | 2023-06-23 | 三菱電機株式会社 | サテライトおよび炭化珪素半導体装置の製造方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6525080B1 (ja) * | 2018-03-13 | 2019-06-05 | 信越半導体株式会社 | ウェーハの処理装置及び処理方法 |
US20220352006A1 (en) * | 2021-04-30 | 2022-11-03 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptors with film deposition control features |
TW202334490A (zh) * | 2021-10-21 | 2023-09-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撐件、基板支撐件總成、反應室及膜沉積方法 |
CN114481314A (zh) * | 2022-01-28 | 2022-05-13 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种外延设备冷却系统和方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003532612A (ja) * | 2000-11-29 | 2003-11-05 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | オートドーピングおよび後面ハローがないエピタキシャルシリコンウエハ |
JP2008140856A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Sumco Corp | エピタキシャルシリコンウェーハ及びその製造方法並びにエピタキシャル成長用シリコンウェーハ。 |
JP2008277795A (ja) * | 2001-12-21 | 2008-11-13 | Sumco Corp | エピタキシャル成長用サセプタ |
JP2013123004A (ja) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Sumco Corp | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5932123A (ja) * | 1982-08-18 | 1984-02-21 | Sony Corp | 気相成長法 |
US6448127B1 (en) * | 2000-01-14 | 2002-09-10 | Advanced Micro Devices, Inc. | Process for formation of ultra-thin base oxide in high k/oxide stack gate dielectrics of mosfets |
US8241423B2 (en) * | 2006-09-29 | 2012-08-14 | Sumco Techxiv Corporation | Silicon single crystal substrate and manufacture thereof |
JP4810416B2 (ja) * | 2006-12-19 | 2011-11-09 | Hoya株式会社 | 焦点調節装置を備えたカメラ |
-
2015
- 2015-06-26 JP JP2015128495A patent/JP6459801B2/ja active Active
-
2016
- 2016-06-21 TW TW105119402A patent/TWI611036B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003532612A (ja) * | 2000-11-29 | 2003-11-05 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | オートドーピングおよび後面ハローがないエピタキシャルシリコンウエハ |
JP2008277795A (ja) * | 2001-12-21 | 2008-11-13 | Sumco Corp | エピタキシャル成長用サセプタ |
JP2008140856A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Sumco Corp | エピタキシャルシリコンウェーハ及びその製造方法並びにエピタキシャル成長用シリコンウェーハ。 |
JP2013123004A (ja) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Sumco Corp | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7296914B2 (ja) | 2020-04-17 | 2023-06-23 | 三菱電機株式会社 | サテライトおよび炭化珪素半導体装置の製造方法 |
CN113699586A (zh) * | 2021-08-27 | 2021-11-26 | 江苏第三代半导体研究院有限公司 | 一种带空气桥结构的托盘及外延生长方法 |
CN113699586B (zh) * | 2021-08-27 | 2022-07-26 | 江苏第三代半导体研究院有限公司 | 一种带空气桥结构的托盘及外延生长方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201715068A (zh) | 2017-05-01 |
JP6459801B2 (ja) | 2019-01-30 |
TWI611036B (zh) | 2018-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6459801B2 (ja) | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 | |
JP4798163B2 (ja) | エピタキシャル成長用サセプタ | |
JP4492840B2 (ja) | 化学的蒸着処理に使用する改良された受容体 | |
TWI404125B (zh) | 製造經磊晶塗覆之矽晶圓的方法 | |
TWI420003B (zh) | 經磊晶塗覆的矽晶圓的製造方法 | |
JP2010530645A (ja) | スループットを改善しウェハダメージを低減するサセプタ | |
US10513797B2 (en) | Manufacturing method of epitaxial silicon wafer | |
JP2010016183A (ja) | 気相成長装置、エピタキシャルウェーハの製造方法 | |
TWI711114B (zh) | 晶座、磊晶成長裝置、磊晶矽晶圓的製造方法以及磊晶矽晶圓 | |
JP5347288B2 (ja) | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP5195370B2 (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP5849674B2 (ja) | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP2007273623A (ja) | エピタキシャルウェーハの製造方法及び製造装置 | |
TWI626730B (zh) | 外延晶片的製造方法 | |
JP5440589B2 (ja) | 気相成長装置及びエピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP7190894B2 (ja) | SiC化学気相成長装置 | |
US20160340799A1 (en) | Epitaxy reactor and susceptor system for improved epitaxial wafer flatness | |
KR20140092704A (ko) | 서셉터 및 이를 포함하는 에피텍셜 반응기 | |
JP2022534935A (ja) | ウェハの表面にエピタキシャル層を堆積させる方法、およびこの方法を実施するための装置 | |
KR101721166B1 (ko) | 웨이퍼 제조장치의 서셉터 | |
JP6587354B2 (ja) | サセプタ | |
JP2013191889A (ja) | シリコンエピタキシャルウェーハ | |
TWI775211B (zh) | 磊晶矽晶圓的製造方法 | |
KR20140083316A (ko) | 에피택셜 반응기 | |
JP5206613B2 (ja) | エピタキシャルウェーハ用サセプタ、およびその製造方法、並びにそれを用いたエピタキシャル成長装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180911 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180918 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181023 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6459801 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |