JP2017009566A - センサ装置及びセンサ装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】MEMS素子およびセンサ部を備える小型のセンサ装置を提供する。【解決手段】第1面及び第2面を有し、第2面に形成される電極を有する集積回路と、集積回路の第2面側に形成され、集積回路の電極と電気的に接続されるMEMS素子と、集積回路に配置されるセンサ部とを備えるセンサ装置を提供する。例えばセンサ部は、集積回路の第1面側に配置される。またセンサ部は、例えば磁気センサ部である。集積回路の第1面側に磁気収束部材が形成されてもよい。【選択図】図1
Description
本発明は、センサ装置及びセンサ装置の製造方法に関する。
従来、地磁気検出器に加え、加速度、角速度、気圧等の特性を検出する複数の検出器を備え、複数の軸方向の動きおよび/または位置を検出する多軸センサ装置とその周辺技術が知られていた(例えば、特許文献1から11参照)。
[先行技術文献]
[特許文献]
特許文献1 特開2010−237058号公報
特許文献2 特開2002−71381号公報
特許文献3 特開2008−20308号公報
特許文献4 特開2000−340856号公報
特許文献5 米国特許第5883567号明細書
特許文献6 米国特許第7358724号明細書
特許文献7 特開2006−173599号公報
特許文献8 特表2007−509346号公報
特許文献9 特開2013−003067号公報
特許文献10 特開2012−242223号公報
特許文献11 特開2014−128842号公報
[先行技術文献]
[特許文献]
特許文献1 特開2010−237058号公報
特許文献2 特開2002−71381号公報
特許文献3 特開2008−20308号公報
特許文献4 特開2000−340856号公報
特許文献5 米国特許第5883567号明細書
特許文献6 米国特許第7358724号明細書
特許文献7 特開2006−173599号公報
特許文献8 特表2007−509346号公報
特許文献9 特開2013−003067号公報
特許文献10 特開2012−242223号公報
特許文献11 特開2014−128842号公報
複数の検出器は、検出器毎に準備した基板に形成される。複数の検出器を備える多軸センサ装置は、それぞれの検出器の基板を並べて配置して、1つのパッケージに組み立てている。このため、パッケージを小型化することが困難であった。
本発明の第1の態様においては、第1面及び第2面を有し、第2面に形成される電極を有する集積回路と、集積回路の第2面側に形成され、集積回路の電極と電気的に接続されるMEMS素子と、集積回路に配置されるセンサ部とを備えるセンサ装置を提供する。
本発明の第2の態様においては、半導体ウェハに能動素子を形成する工程と、半導体ウェハの第1面にメタル配線層及びパッドを形成し、半導体ウェハの第2面に電極を形成する工程と、半導体ウェハの第2面側に、電極と電気的に接続するMEMS素子を形成する工程と、メタル配線層上に再配線部を形成する工程と、半導体ウェハ内の第1面側、メタル配線層内部、又は、再配線部内にセンサ部を形成する工程と、再配線部を形成した後に、ウェハをダイシングする工程とを備えるセンサ装置の製造方法を提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、第1の実施形態に係るセンサ装置100の断面模式図である。センサ装置100は、集積回路10、MEMS素子50およびMEMS封止部52を備える。集積回路10には、磁気センサ等のセンサ部26が設けられる。
集積回路10は、互いに対向する第1面及び第2面を有する。第1面には、外部と接続する1以上の外部接続端子12が設けられる。集積回路10の第2面には電極が設けられる。本例では、第1貫通電極24の一端が第2面に露出して、当該電極として機能する。本明細書では、各部材の面のうち、外部接続端子12側の面を第1面とし、第1面とは逆側の面を第2面として説明する。外部接続端子12は、例えば、ソルダーバンプ等である。外部接続端子12は、再配線部14、特に、再配線20と接続するように配置される。
集積回路10は、半導体基板28、メタル配線層30および再配線部14を有する。半導体基板28として、シリコン基板、ゲルマニウム基板、GaAs基板等が挙げられるが、これらに限定されない。半導体基板28には、トランジスタ等の能動素子、抵抗及び容量等の受動素子、並びに、その他の回路素子を有する電気回路が形成される。能動素子は、集積回路の第1面側に形成される。
半導体基板28に形成された電気回路は、MEMS素子50およびセンサ部26の少なくとも一方と電気的に接続される。当該電気回路は、MEMS素子50およびセンサ部26の少なくとも一方を駆動する駆動信号を供給してよい。また、当該電気回路は、MEMS素子50およびセンサ部26の少なくとも一方が出力する検出信号に対して所定の演算等の処理を行ってよい。本例の電気回路は、第1貫通電極24を介してMEMS素子50と電気的に接続される。電気回路は、集積回路の第1面側に形成される。
当該電気回路は、外部接続端子12を介して外部機器と接続される。当該電気回路は、外部機器からの信号に応じて上述した制御信号を生成してよく、MEMS素子50およびセンサ部26の検出信号の処理結果に応じた出力信号を外部機器に通知してもよい。また、当該電気回路には、外部接続端子12を介して電源電力、接地電位等が入力されてよい。
本例の第1貫通電極24は、半導体基板28の第1面から第2面まで貫通して形成される。第1貫通電極24は、MEMS素子50を、外部接続端子12または半導体基板28の電気回路に電気的に接続する。
メタル配線層30は、半導体基板28の第1面上に形成される。メタル配線層30は、半導体基板28に形成された電気回路と接続する配線、第1貫通電極24と接続する配線、センサ部26と接続する配線、および、パッド22と接続する配線等が形成される。
本例のメタル配線層30は、多層配線層であり、メタル配線と、SiO2やBPSG等の層間絶縁膜とが積層され、層間絶縁膜を貫通するビアを介して上層のメタル配線と下層のメタル配線とを電気的に接続する。メタル配線は、例えば、Al等で構成され、ビアはタングステン等で構成される。
パッド22は、メタル配線層30の第1面側に露出して形成され、外部接続端子12と電気的に接続される。パッド22は、メタル配線層30における最上層のメタル配線を含んで形成される。パッド22は、例えばAl等で構成されたAlパッドである。メタル配線層30により、外部接続端子12、センサ部26、MEMS素子50および電気回路の間を電気的に接続する。
再配線部14は、パッド22と、外部接続端子12との間に形成される。本例の再配線部14は、メタル配線層30の第1面上に形成される。再配線部14は、メタル配線層30を保護するとともに、パッド22と外部接続端子12とを電気的に接続する。
本例の再配線部14は、メタル配線層30の第1面上に形成される保護層18、及び、保護層18の第1面上に形成される再配線20、外部接続端子12と接続する部分を除いて再配線20等を封止する封止層16を有する。保護層18は、パッド22の一部表面を除いたメタル配線層30の第1面上に形成される。つまり、保護層18には、パッド22の表面の少なくとも一部を露出させる開口が形成される。保護層18としては、SiN等のパッシベーション膜、パッシベーション膜上に形成されたポリイミド等の絶縁膜が積層した形態等が挙げられる。
再配線20は、パッド22から外部接続端子まで延出して接続する。再配線20は、保護層18上に延出して形成され、外部接続端子12の下で配線20と接続されるランド部分と、ランド部分上に形成されるポストと、を有する形態であってもよい。また、再配線は、Cu等で構成される。封止層16は、エポキシ樹脂またはポリイミド樹脂等で構成される。
第1貫通電極24は、例えば、Cu等で構成されたCu電極である。半導体基板28と第1貫通電極24との間に、多層膜構造が形成されることが好ましい。例えば、半導体基板28に形成した貫通孔内の表面に、SiO2又はSiN等の絶縁酸化膜が形成される。絶縁酸化膜で囲まれる領域に、第1貫通電極24として機能する銅等の導電材料が充填される。これにより、第1貫通電極24と半導体基板28とを電気的に絶縁することができる。また、貫通孔内の絶縁酸化膜の表面に、Ti、TiN、TaN等のバリア金属層が形成される。それにより、第1貫通電極24の材料であるCu等が半導体基板28へ拡散するのを抑制することができる。
本例のセンサ部26は、集積回路10の第1面側に設けられる。第1面側とは、第1面および第2面の間において、中央よりも第1面に近い領域を指す。センサ部26は、半導体基板28の第1面側、再配線部14およびメタル配線層30のいずれかに設けられてよい。図1の例では、センサ部26が半導体基板28の第1面側に設けられる。センサ部26は、半導体基板28の第1面に露出していてもよい。
センサ部26は、例えば磁気センサ、受光センサ、化合物半導体センサ等を含む。磁気センサとしては、ホール素子、磁気抵抗素子等が挙げられる。ホール素子としては、半導体基板28内に形成するシリコンホール素子や、GaAs、InAs、InSb等の化合物ホール素子であってもよい。センサ部26は、例えば、半導体基板28内部においてメタル配線層30に近い領域、メタル配線層30の層間絶縁膜の内部、または、保護層18内又は保護層18の第1面上などに形成される。
センサ部26は、メタル配線層30や再配線部14を介して、半導体基板28の電気回路等へ検出信号を出力する。集積回路10に形成されるセンサ部26は、1つであってよく、複数であってもよい。また、複数種類のセンサ部26が、集積回路10に形成されてもよい。複数のセンサ部26は、同一の層に形成されてよく、異なる層に形成されてもよい。
MEMS素子50は、集積回路10の第2面側に形成される。本例のMEMS素子50は、集積回路10の第2面上に形成される。MEMS素子50としては、外力に応じて変位する可動部を有するピエゾ素子、静電容量や圧電素子等を利用した加速度センサ、角速度センサ(ジャイロセンサ、ヨーレートセンサ)、姿勢(傾斜角)センサ、振動センサ、隔膜構造の圧力センサ等が挙げられる。MEMS素子50は、集積回路10の第2面に形成された電極(本例では第1貫通電極24)と、電気的に接続される。MEMS素子50は、集積回路10の第2面側に積層して形成される。
MEMS素子50は、外壁部54、固定部58、可動部60およびMEMSパッド56を有する。MEMSパッド56は、第1貫通電極24と電気的に接続する。本例のMEMSパッド56は、集積回路10側に設けられる。MEMSパッド56は、集積回路10の第2面に接して設けられてよい。本例のMEMSパッド56は、第1貫通電極24と接して設けられる。固定部58は、集積回路10に対して固定される。固定部58は、基板、電極、配線等を含む。固定部58と、集積回路10とは、ウェハ直接接合等で接合される。
可動部60は、集積回路10に対して可動に設けられる。本例の可動部60は、集積回路10の第2面と平行な面内における所定の検出方向に、変位可能に設けられる。可動部60は、当該検出方向に弾性を有するばね等の弾性部材を介して固定部58に支持される。
例えば、MEMS素子50が加速度センサの場合、固定部58に固定電極が櫛歯状に配置され、その固定電極に対向するように可動電極が配置される。可動電極は検出方向に変位可能な錘等の可動部60に形成される。固定電極や可動電極は、それぞれ対応するMEMSパッド56に電気的に接続される。
外壁部54は、枠体形状を有する。外壁部54の外形は、集積回路10の外形と同一であってよい。外壁部54に囲まれる領域に、MEMS素子50の他の構成要素が配置される。外壁部54、集積回路10およびMEMS封止部52により、固定部58、可動部60、MEMSパッド56、および、その他のMEMS素子50の構成要素が密閉される。
MEMS封止部52は、MEMS素子50に対して、集積回路10とは反対側に形成される。本例のMEMS封止部52は、外壁部54の第2面に接して設けられる。MEMS封止部52は、外壁部54に囲まれる領域を覆う基板を有してよい。これにより、MEMS素子50の可動部60等を密閉することができ、可動部60等が設けられる領域への異物の混入、可動部60等の破損を防ぐことができる。MEMS封止部52と外壁部54とは共晶結合等で接合される。
MEMS封止部52は、シリコン等の半導体基板を有してよい。当該半導体基板は、単なる基板であってよく、配線層が設けられた基板であってよく、集積回路が設けられた基板であってもよい。
MEMS封止部52の第1面(MEMS素子50側の面)には、少なくとも可動部60と対向する領域に空洞部62が設けられる。空洞部62は、第1面に設けられた窪みであってよい。空洞部62は、固定部58および可動部60と対向する領域を含んで形成されてもよい。空洞部62は、可動部60が変位可能な領域に比べて十分大きいことが好ましい。これにより、MEMS素子50の動作が妨害されることを防げる。なお、MEMS素子50は、MEMS封止部52に固定されていてもよい。この場合、集積回路10の第2面に空洞部62が設けられる。
本実施形態によれば、集積回路10に形成した電極(第1貫通電極24)が、MEMSパッド56と直接接続する。そして、集積回路10に積層した再配線部14で、センサ部26及び第1貫通電極24と、外部接続端子12とを接続する。このため、MEMS素子50(例えば慣性センサ)と、センサ部26(例えば磁気センサ)、及び、集積回路10とを1チップにパッケージングした小型のMEMSデバイスを実現できる。また、ワイヤーボンディングを不要とすることができ、ほぼチップサイズのパッケージ構造にできる。
図2は、MEMS素子50の上面(第1面)模式図である。つまり図2は、集積回路10側から見たMEMS素子50の模式図である。本例のMEMS素子50は、当該上面において、可動部60、固定部58および外壁部54を有する。
上述したように、外壁部54で囲まれる領域に、固定部58および可動部60が配置される。固定部58には、複数の第1MEMSパッド56−1、複数の第2MEMSパッド56−2、複数の第3MEMSパッド56−3、および、複数の固定電極68が配置される。また、固定部58は、上述した各構成要素が形成される基板を有してもよい。ただし図2では当該基板を省略している。また、可動部60には複数のストッパ74が形成される。
可動部60は、複数のばね72により、固定部58に支持される。可動部60の位置は、センサ装置100の加速度に応じて変位する。ばね72は、可動部60が所定の加速度検出軸に沿って変位可能なように、可動部60を支持する。ばね72は、当該検出軸の方向に弾性を有する。
また、ばね72は導電性の材料で形成され、可動部60と第1MEMSパッド56−1とを電気的に接続してよい。第1MEMSパッド56−1には、可動部60に印加すべき基準電位が第1貫通電極24を介して与えられる。
複数の第2MEMSパッド56−2、および、複数の第3MEMSパッド56−3は、加速度検出軸の両側において可動部60を挟むように配列される。複数の第2MEMSパッド56−2、および、複数の第3MEMSパッド56−3は櫛歯状に配置される。可動部60は、複数の第2MEMSパッド56−2、および、複数の第3MEMSパッド56−3と対向するように可動電極55を有する。
可動部60が加速度検出軸の方向に変位することで、可動電極55と、各MEMSパッド56との距離が変化する。複数の第2MEMSパッド56−2、および、複数の第3MEMSパッド56−3と、可動電極55との間の容量変化を検出することで、可動部60の変位量を検出することができる。これにより、センサ装置100の加速度を検出できる。
ストッパ74は、可動部60の変位量を所定量以下に抑制する。本例のストッパ74は、可動部60において第1MEMSパッド56−1と対向する位置に設けられ、可動部60が所定量だけ変位すると第1MEMSパッド56−1と接触する。これにより、可動部60の変位量を所定量以下に制限する。
図2に示す加速度検出軸の方向に加速度が生じた場合を考える。変位可能な可動部60は、当該加速度に応じて検出軸上の位置が変位する。これにより、第2MEMSパッド56−2と可動電極55との距離、および、第3MEMSパッド56−3と可動電極55との距離のうち、一方は増大し、一方は減少する。これにより、電極とパッド間の容量が変化して、加速度を検出することができる。
図3は、集積回路10の断面模式図である。集積回路10は、フォトリソグラフィ技術により形成される。本例の集積回路10は、図1に示した構成に加え、半導体回路部80、および、メタル配線90を有する。また、本例のセンサ部26はホール素子76および複数の配線78を有する。
ホール素子76は、例えば半導体基板28の第1面側をp型またはn型にドープした領域を有する。複数の配線78は、ホール素子76に接続される。一例として4つの配線78が、ホール素子76に接続される。2つの配線78により、ホール素子76に電流が印加される。他の2つの配線78間の電圧を測定することで、ホール素子76にかかっている磁界を検出できる。
半導体回路部80は、ソース領域84、ドレイン領域86、ゲート電極82、および、配線88を有する。半導体回路部80は、センサ部26と重ならない領域に形成してよい。ソース領域84、ドレイン領域86およびゲート電極82は、MOSトランジスタの一部である。ソース領域84およびドレイン領域86は、半導体基板28の第1面側をp型またはn型にドープして形成される。また、MOSトランジスタのゲート絶縁膜をCVD等で形成する。
配線78、配線88および配線90は、多層のメタル配線であってよい。異なる層のメタル配線は、ビアにより電気的に接続される。第1貫通電極24は、配線90に接続される。また、第1貫通電極24は、メタル配線層30の第2面側に設けたビアに接続してもよい。
本例によれば、ホール素子76を有し、集積回路10に形成した第1貫通電極24でMEMS素子50と集積回路10とを接続する。また、再配線部14で集積回路10を外部接続端子12へ接続するので、MEMS素子50と集積回路10とを1チップにパッケージングした小型のMEMSデバイスとすることができる。
また、ワイヤーボンディングを不要とすることができ、ほぼチップサイズのパッケージにすることができる。また、磁気センサであるホール素子76と、MEMS素子50と、両者の信号処理を行う集積回路10とを1チップとしているため、小型の複合センサを実現できる。例えば、MEMS素子50を加速度センサとして構成すれば、加速度センサと磁気センサとを1チップ化した、小型のセンサ装置を実現できる。
図4は、第2実施形態のセンサ装置100の断面模式図である。本例のセンサ装置100は、図1から図3において説明したいずれかのセンサ装置100の構成に加え、磁気収束部材92を更に備える。また図4では、2以上のセンサ部26を有するセンサ装置100を示している。
磁気収束部材92は、集積回路10の第1面側に形成される。本例の磁気収束部材92は、再配線部14内に形成される。より具体的には、磁気収束部材92は、保護層18内に形成されてよい。
磁気収束部材92は、センサ部26のホール素子76と対応する位置に設けられる。対応する位置とは、検出すべき磁界をホール素子76に供給可能な位置を指す。磁気収束部材92の一部は、ホール素子76の上方に形成されてよい。本例のホール素子76は、所定の第1軸に沿った磁界に感度を有する。磁気収束部材92は、例えば軟磁性体薄膜であって、第1軸とは異なる軸に沿った磁界の方向を第1軸の方向に曲げて、ホール素子76を通過させる。
磁気収束部材92は、第1軸と直交する第2及び第3軸に沿った磁界を、第1軸の方向に曲げてよい。磁気収束部材92は、複数のセンサ部26を、異なる方向成分の磁界が通過するように磁界を曲げてよい。
例えば磁気収束部材92は、第1のセンサ部26および第2のセンサ部26のそれぞれに、第1軸に沿った磁界と、第2軸に沿った磁界とを供給する。ただし、第1のセンサ部26と、第2のセンサ部26には、第2軸に沿った磁界の向きを逆転させて供給する。これにより、第1のセンサ部26および第2のセンサ部26の出力を加算すれば第1軸の磁界が検出でき、減算すれば第2軸の磁界が検出できる。より多くのセンサ部26を設けることで、より多くの軸の磁界を検出できる。このような構成により、多軸の磁気センサ、MEMS素子50、および集積回路10を1チップに搭載したセンサ装置100を実現することができる。
図5Aから図5Gは、第2実施形態におけるセンサ装置100の製造方法の一例を示す図である。図5Aから図5Gは、ダイシングする前のウェハレベルの状態の一部を抜き出して図示している。
図5Aは、集積回路10を製造するフローのうち、メタル配線層30を形成する前までの工程を示す。半導体基板28(本例では半導体ウェハ)に、センサ部26および第1貫通電極24を形成する。この段階における半導体基板28は、センサ装置100が完成した場合の半導体基板28よりも厚くてよい。これにより、半導体基板28の割れ等を防ぐことができる。第1貫通電極24は、半導体基板28の第1面側から、半導体基板28の途中まで形成されてよい。
また、半導体基板28には、図3に示したような半導体回路部80の一部(例えばソース領域84、ドレイン領域86、チャネル領域等)、抵抗、容量等の回路素子が形成される。次に第1貫通電極24の形成方法を説明する。まず、ドライエッチング法であるDEEP―RIE(DEEP−Reactive Ion Etching、以下DRIE)により、半導体基板28の第1面から所定の深さまで穴をあける。
その後、半導体基板28に形成した穴の側壁にSiO2、または、SiN等の絶縁膜を形成する。その後、絶縁膜の表面にTi、TiN、TaN等のバリア層を形成して、更に、当該穴にCu等のプラグを充填する。このステップで形成される第1貫通電極24の深さは、半導体基板28の途中までであり、貫通する深さでなくてもよい。DRIEの形成方法は数種類存在し、ここで紹介した例はビアミドルと呼ばれる方法であるが、DRIEの形成方法自体は限定されない。
図5Bは、メタル配線層30の形成の工程を示す。この工程で、第1貫通電極24の上端は、メタル配線層30内のメタル配線に接続される。また、メタル配線層30の最上層には、パッド22が形成される。
図5Cは、半導体基板28の第2面まで貫通電極を貫通させる工程を示す。半導体基板28の第2面側を、バックグラインドにより所望の厚さに削る。これにより第1貫通電極24の下端が、半導体基板28の第2面(裏面)に露出する。
図5Dは、MEMS素子50の形成工程を示す。半導体基板28の第2面上に、新たにシリコンウェハをウェハ直接接合により接合する。DRIEによるエッチングで所望の可動部分や固定部分、電極、外壁部となる部分を形成する。ウェハどうしの接合は、高温の熱処理により行う。接合温度は数百℃から千℃程度である。本例の外壁部54は、可動部60および固定部58よりも、深さ方向において長い。
第1貫通電極24にはMEMSパッド56が接続され、MEMS素子50と集積回路10とが導通する。MEMSパッド56は、半導体基板28に形成されてよい。また、MEMSパッド56を形成したシリコンウェハを、半導体基板28の第2面に接合してもよい。
図5Eは、MEMS封止部52を接合する工程を示す。MEMS封止部52は、シリコン基板であってよい。MEMS封止部52を固定部58に接合する方法は、共晶接合等である。接合温度は数百℃程度である。
MEMS封止部52には、固定部58に接合した状態で可動部60の可動領域を確保できる適切な空洞部62が形成される。空洞部62は、MEMS封止部52のシリコン基板の表面を、DRIEによって凹状に予めエッチングすることで形成できる。
図5Fは、磁気収束部材92の形成工程を示す。まず、集積回路10のメタル配線層30の第1面上に下地金属層を形成する。下地金属層の上に、軟磁性体材料を電解めっきにより形成して、磁気増幅機能を有する磁気収束部材92を形成する。
図5Gは、再配線部14を形成する工程を示す。当該工程まで、ウェハ状態で行う。つまり、ウェハ状態でパッケージまで行うウェハレベルチップサイズパッケージ工程で行う。集積回路10のパッド22が露出する領域を除いて保護層18を形成し、パッド22から外部接続端子12が接続される領域まで延出する再配線20を形成する。外部接続端子12との接続部分を除いて再配線20を樹脂等の封止層16で封止し、外部接続端子12を形成する。
そして、ウェハを所定の大きさのダイシングすることで、1チップのセンサ装置100を得ることができる。本例は、1方向の磁気センサであるホール素子と磁気収束部材92を組み合わせて3軸の磁気センサを構成している。これにより、3軸の磁気を検知可能なセンサ部26と、MEMS素子50と、集積回路10とを1チップに集積できる。
なお、磁気収束部材92の代わりに、磁気抵抗素子を用いて磁気センサを実現してもよい。この場合、図5Fに示した工程において、磁気収束部材92の代わりに磁気抵抗素子をメタル配線層30上に形成する。また、図5Gに示した再配線部14の形成工程において、磁気抵抗素子と集積回路10とを電気的に接続する。磁気抵抗素子は、少なくとも2つの電極と、電極に挟まれた薄膜を有する。薄膜は、例えばInSb等の半導体で形成されており、印加される磁束密度に応じて抵抗値が変化する。電極間に電流を流したときの抵抗値から磁界を測定できる。
本例の製造工程によれば、半導体基板28とMEMS素子50、MEMS素子50とMEMS封止部52とを高温プロセスで接合した後に、軟磁性体である磁気収束部材92(または磁気抵抗素子)を形成する。また、センサ部26を再配線部14に形成する場合には、センサ部26も、接合工程の後に形成できる。当該センサ部26は、例えば化合物半導体のホール素子を有してよい。
このため、磁気収束部材92、磁気抵抗素子、または、センサ部26の磁気的な特性を変化させることなく、これらの部材を実装できる。特に、磁気収束部材92の磁気的な特性は、温度による影響を受けやすいため、本例の製造工程が好適である。
また、磁気抵抗素子を有するセンサ装置100においては、磁気抵抗素子の温度が、磁気抵抗素子の素材に応じたキュリー点を超えてしまい、磁性が消滅するのを防ぐことができる。また、磁気収束部材92を有するセンサ装置100においては、磁気収束部材92の保磁力およびオフセットが変化してしまい、所望の磁気収束効果が得られないことを防ぐことができる。
また、磁気収束部材92と半導体基板28の第1面側に形成されるセンサ部26とを近接して配置できるので、センサ部26の感度を低下させることなく、小型の複合センサ装置を実現できる。また、本例の製造方法によれば、MEMS素子50、集積回路10、および、センサ部26を1パッケージとするセンサ装置をウェハ上に複数形成して、ウェハ状態でパッケージ工程まで行い、最後にダイシングするため、安価で生産効率良く、複数の複合センサ装置を製造することができる。
図6は、第3実施形態に係るセンサ装置100の断面模式図である。本例のセンサ装置100においては、MEMS素子50のMEMSパッド56、固定部58および可動部60が、MEMS封止部52側に形成される。また、外壁部54内に、外壁部54を貫通する第2貫通電極94が設けられる。第2貫通電極94の上端は、第1貫通電極24の下端に接続される。また、集積回路10の第2面側に空洞部62が形成される。空洞部62を設けるべく、半導体基板28の第2面に窪みが形成されている。
本例のMEMS封止部52は、シリコン基板等の封止基板40およびMEMS配線層42を有する。MEMS配線層42は、封止基板40の第1面上に形成される。MEMS配線層42は、MEMS素子50の外壁部54の第2面と接触して、可動部60等を密閉する。
MEMS配線層42は、第2貫通電極94と接続するパッド44を有する。また、MEMS配線層42の第1面上にはMEMSパッド56および固定部58が配置される。MEMS配線層42は、MEMSパッド56とパッド44とを電気的に接続するメタル配線が形成される。このような構造により、MEMSパッド56は、MEMS配線層42、第2貫通電極94、第1貫通電極24を介して、半導体基板28の電気回路または外部接続端子12に電気的に接続する。
なお、封止基板40には、電気回路が形成されてよい。封止基板40の電気回路は、MEMS素子50を駆動する駆動信号を生成してよく、MEMS素子50の検出信号を処理してもよい。また、第2貫通電極94は、固定部58に形成されてもよい。この場合、固定部58は、MEMS配線層42の第1面から、半導体基板28の第2面まで延伸して設けられる。
図7Aから図7Iは、第3実施形態におけるセンサ装置100の製造方法の一例を示す図である。図7Aから図7Iは、ダイシングする前のウェハレベルの状態の一部を抜き出して図示している。
図7Aは、MEMS封止部52を形成する工程を示す。封止基板40の第1面上に、層間絶縁膜とメタル配線を形成してMEMS配線層42を形成する。また、MEMS配線層42の最上層にパッド44を形成する。なお、MEMS配線層42には、MEMSパッド56と、パッド44とを電気的に接続するメタル配線が形成される。
図7Bは、MEMS素子50を形成する工程を示す。MEMS配線層42の第1面上に、シリコンウェハ等の半導体ウェハをウェハ直接接合により接合する。そして、当該半導体ウェハをDRIE等でエッチングして、外壁部54、所望の可動部60、固定部58、および、電極またはパッドとなる部分を形成する。ウェハ直接接合においては、数百℃から千℃程度での熱処理が行われる。外壁部54は、可動部60および固定部58に比べて、深さ方向において長くてよく、短くてもよい。
図7Cは、第2貫通電極94を形成する工程を示す。外壁部54の内部に第2貫通電極94を形成する。第2貫通電極94は、MEMS素子50と、集積回路10とを電気的に接続する。
図7Dは、集積回路10を製造するフローのうち、メタル配線層30を形成する前までの工程を示す。図7Dの工程は、図5Aの工程と同様である。図7Eは、メタル配線層30を形成する工程を示す。図7Eの工程は、図5Bの工程と同様である。
図7Fは、半導体基板28の第2面まで貫通電極を貫通させる工程を示す。半導体基板28の第2面側を、バックグラインドにより所望の厚さに削る。これにより第1貫通電極24の下端が、半導体基板28の第2面(裏面)に露出する。更に、空洞部62を形成するために、半導体基板28の第2面の中央領域を凹状にエッチングする。
図7Gは、集積回路10とMEMS素子50とを接合する工程を示す。本例では、集積回路10が、MEMS素子50を保護するための蓋部としての機能を持つ。集積回路10とMEMS素子50との接合方法は共晶接合等であり、接合温度は数百℃程度である。第1貫通電極24および第2貫通電極94が電気的に接続され、集積回路10と、MEMS素子50との間で、電気信号の送受信が可能となる。
図7Hは、磁気収束部材92の形成工程を示す。図7Hの工程は、図5Fの工程と同様である。図7Iは、再配線部14を形成する工程を示す。図7Iの工程は、図5Gの工程と同様である。このような工程により、第3実施形態のセンサ装置100を製造することができる。
図8は、第4実施形態に係るセンサ装置100の断面模式図である。第4実施形態に係るセンサ装置100は、MEMS封止部52の構成が、図6に示した第3実施形態のセンサ装置100と異なる。他の構成は、第3実施形態のセンサ装置100と同一であってよい。
本例のMEMS封止部52は、半導体基板32およびMEMS配線層34を有する。半導体基板32は、電気回路が形成される。一例として、半導体基板32に形成した電気回路は、MEMS素子50を駆動する駆動信号を生成し、MEMS素子50の検出信号を処理する。また、半導体基板28に形成した電気回路は、センサ部26を駆動する駆動信号を生成し、センサ部26の検出信号を処理する。
MEMS配線層34は、半導体基板32の第1面上に形成される。MEMS配線層34は、MEMS素子50の外壁部54の第2面と接触して、可動部60等を密閉する。MEMS配線層34は、第2貫通電極94と接続するパッド36を有する。また、MEMS配線層34の第1面上にはMEMSパッド56および固定部58が配置される。
MEMS配線層34は、MEMSパッド56と、半導体基板32の電気回路とを接続するメタル配線、および、半導体基板32の電気回路とパッド36とを電気的に接続するメタル配線が形成される。これにより、MEMS素子50の検出信号を電気回路で処理した出力信号を、第2貫通電極94を介して集積回路10へ伝送することができる。
図9は、第5実施形態に係るセンサ装置100の断面模式図である。本例のセンサ装置100は、図1から図8において説明したセンサ装置100において、センサ部26に代えてセンサ部27を有する。また、磁気収束部材92は有さない。センサ部27は、磁気抵抗素子を含む。第5実施形態に係るセンサ装置100は、第1面に形成されるAlパッド22、及び、第2面に形成されるCu電極24を有する半導体基板部28、30と、半導体基板部28,30の第2面側に形成され、Cu電極24と接続されるMEMSパッド56を有するMEMS素子50と、半導体基板部28、30の第1面上に配置される磁気抵抗素子27と、を備える。
本例のセンサ部27は、再配線部14に設けられる。図9の例では、センサ部27は保護層18に設けられる。磁気抵抗素子を含むセンサ部27からの検出信号は、センサ部27から直接、半導体基板28の電気回路に入力してよく、再配線部14の再配線20を経由して電気回路に入力してもよい。
第5実施形態に係るセンサ装置100を製造する場合、図5Aに示した工程において、センサ部26を形成しない。そして、図5Fの工程において、磁気収束部材92に代えてセンサ部27を形成する。
センサ部27を形成する工程は、MEMS素子50を形成する工程及びMEMS封止部52を形成する工程の後である。このため、センサ部27が高温状態になることを避けることができる。また、センサ部27を形成する工程は、ウェハをダイシングする工程の前である。ウェハレベルでパッケージを形成した後にウェハをダイシングすることで、複数のセンサ装置100を容易に形成することができる。
なお、いずれの実施形態においても、半導体基板28と再配線部14との間に、別の層および部材を設けてもよい。以上説明したセンサ装置100によれば、センサ部、集積回路、MEMS素子を1チップに集積した小型のセンサ装置を実現できる。また、MEMS素子とは異なる層にセンサ部を設けるので、MEMS素子の可動部とセンサ部とが接触することを防ぐことができる。このため、設計の自由度を高めながら、小型のセンサ装置を実現することができる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
10・・・集積回路、12・・・外部接続端子、14・・・再配線部、16・・・封止層、18・・・保護層、20・・・再配線、22・・・パッド、24・・・第1貫通電極、26・・・センサ部、27・・・センサ部、28・・・半導体基板、30・・・メタル配線層、32・・・半導体基板、34・・・MEMS配線層、36・・・パッド、40・・・封止基板、42・・・MEMS配線層、44・・・パッド、50・・・MEMS素子、52・・・MEMS封止部、54・・・外壁部、55・・・可動電極、56・・・MEMSパッド、58・・・固定部、60・・・可動部、62・・・空洞部、68・・・固定電極、72・・・ばね、74・・・ストッパ、76・・・ホール素子、78・・・配線、80・・・半導体回路部、82・・・ゲート電極、84・・・ソース領域、86・・・ドレイン領域、88・・・配線、90・・・配線、92・・・磁気収束部材、94・・・第2貫通電極、100・・・センサ装置
Claims (17)
- 第1面及び第2面を有し、前記第2面に形成される電極を有する集積回路と、
前記集積回路の第2面側に形成され、前記集積回路の前記電極と電気的に接続されるMEMS素子と、
前記集積回路の第1面側に配置されるセンサ部と、
を備えるセンサ装置。 - 前記センサ部は、磁気センサ部である請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記集積回路の第1面側に磁気収束部材が形成される請求項2に記載のセンサ装置。
- 前記集積回路は、第1面側に、パッド、及び、再配線部を有し、
前記センサ装置は、前記集積回路の第1面側に外部接続端子をさらに備え、
前記再配線部は、前記パッドと前記外部接続端子との間に形成される請求項1から3のいずれか一項に記載のセンサ装置。 - 前記集積回路は、半導体基板、及び、前記半導体基板上に形成されたメタル配線層を有し、
前記再配線部は、前記メタル配線層に形成される前記パッドから前記外部接続端子まで延出する再配線を有する請求項4に記載のセンサ装置。 - 前記センサ部は、前記半導体基板内の第1面側、前記メタル配線層内部、又は、前記再配線部内に配置される請求項5に記載のセンサ装置。
- 前記再配線部内に磁気収束部材が形成される請求項4から6のいずれか一項に記載のセンサ装置。
- 前記集積回路は、半導体基板、及び、前記半導体基板上に形成されたメタル配線層を有し、
前記集積回路の前記電極は、前記メタル配線層から前記集積回路の第2面側まで貫通する第1貫通電極である請求項1から4のいずれか一項に記載のセンサ装置。 - 前記MEMS素子に対して、前記集積回路とは反対側に形成されるMEMS封止部をさらに備える請求項1から8のいずれか一項に記載のセンサ装置。
- 前記MEMS素子は、前記集積回路側にMEMSパッドを有し、
前記集積回路の電極は、前記MEMSパッドと接続され、
前記MEMS封止部は、前記MEMS素子側の面に空洞部が形成された基板を有する請求項9に記載のセンサ装置。 - 前記MEMS素子は、前記MEMS封止部側に形成されるMEMSパッド、外壁部、及び、前記外壁部に形成され、前記集積回路の前記電極と接続される第2貫通電極を有し、
前記MEMS封止部は、前記MEMSパッドと前記第2貫通電極とを電気的に接続するMEMS配線層が形成された基板を有し、
前記集積回路の第2面側に空洞部が形成される請求項9に記載のセンサ装置。 - 前記MEMS素子は、前記MEMS封止部側に形成されるMEMSパッド、外壁部、及び、前記外壁部に形成され、前記集積回路の前記電極と接続される第2貫通電極を有し、
前記MEMS封止部は、MEMS配線層及び電気回路が形成された基板を含む第2の集積回路を有し、
前記MEMS配線層は、前記MEMSパッド及び前記第2貫通電極と電気的に接続し、
前記電気回路は、前記MEMS配線層と電気的に接続し、
前記集積回路の第2面側に空洞部が形成される請求項9に記載のセンサ装置。 - 能動素子が形成された半導体ウェハの第1面にメタル配線層及びパッドを形成し、前記半導体ウェハの第2面に電極を形成する工程と、
前記半導体ウェハの第2面側に、前記電極と電気的に接続するMEMS素子を形成する工程と、
前記メタル配線層上に再配線部を形成する工程と、
前記半導体ウェハ内の第1面側、前記メタル配線層内部、又は、前記再配線部内にセンサ部を形成する工程と、
を備えるセンサ装置の製造方法。 - 前記MEMS素子に対して、前記半導体ウェハとは反対側にMEMS封止部を形成する工程をさらに備える請求項13に記載のセンサ装置の製造方法。
- 前記再配線部を形成した後に、前記ウェハをダイシングする工程をさらに備え、
前記MEMS素子を形成する工程及び前記MEMS封止部を形成する工程より後であり、且つ、前記ダイシングする工程より前に、前記メタル配線層上に軟磁性体を形成する工程を備える請求項14に記載のセンサ装置の製造方法。 - 前記再配線部を形成した後に、前記ウェハをダイシングする工程をさらに備え、
前記センサ部を形成する工程は、前記MEMS素子を形成する工程及び前記MEMS封止部を形成する工程の後であり、且つ、前記ダイシングする工程の前であり、
前記センサ部を形成する工程において、前記センサ部の少なくとも一部である磁気抵抗素子を、前記メタル配線層上に形成する請求項14に記載のセンサ装置の製造方法。 - 第1面にメタル配線層及びパッドが形成され、第2面に電極が形成された半導体ウェハを準備する工程と、
前記半導体ウェハの第2面側に、前記電極と電気的に接続するMEMS素子を形成する工程と、
前記メタル配線層上に再配線部を形成し、かつ、前記再配線部に磁気センサ部を形成する工程と、
を備えるセンサ装置の製造方法。
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-
2015
- 2015-06-26 JP JP2015128620A patent/JP2017009566A/ja active Pending
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