JP2017009185A - 異物除去装置 - Google Patents

Abstract

【課題】対象物から除去された異物が装置周辺に飛散してしまうことなく当該対象物の清浄化を行うことができる異物除去装置を提供する。【解決手段】異物除去装置１０は、気体の循環密閉経路（例えば、ダクト３０）と、循環密閉経路に介設され、循環密閉経路への気体の吐出および循環密閉経路からの気体の吸引を行う気体吐出吸引部（例えば、ジェットファン２０）と、循環密閉経路に介設され、異物が除去されるべき対象物が収容される収容部（例えば、収容箱１２）と、循環密閉経路に介設され、異物の回収を行う異物回収部（例えば、集塵フィルター１４、１５）とを備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルームの外部から内部に持ち込む文房具やクリーン服等の対象物からパーティクル等の異物を除去するための異物除去装置に関する。

クリーンルームの外部から内部に持ち込む文房具やクリーン服等の対象物からパーティクル等の異物を除去する装置として従来から様々なタイプのものが知られている。例えば、特許文献１には、ドーム型の空気膜を設置して、この空気膜の内部だけを清浄環境に保つような簡易的なクリーンドームが開示されている。

実用新案登録第３０９７９３３号

しかしながら、特許文献１等に開示されるような従来のクリーンドームでは、ドーム内の物品からの発塵物をドームの周辺に飛散させてしまうおそれがあった。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、異物が除去されるべき対象物が収容される収容部を気体の循環密閉経路に介設することにより、対象物から除去された異物が装置周辺に飛散してしまうことなく当該対象物の清浄化を行うことができる異物除去装置を提供することを目的とする。

本発明の異物除去装置は、気体の循環密閉経路と、前記循環密閉経路に介設され、前記循環密閉経路への気体の吐出および前記循環密閉経路からの気体の吸引を行う気体吐出吸引部と、前記循環密閉経路に介設され、異物が除去されるべき対象物が収容される収容部と、前記循環密閉経路に介設され、異物の回収を行う異物回収部と、を備えたことを特徴とする。

このような異物除去装置によれば、気体の循環密閉経路に、当該循環密閉経路への気体の吐出および循環密閉経路からの気体の吸引を行う気体吐出吸引部が介設されているとともに、異物が除去されるべき対象物が収容される収容部が当該循環密閉経路に介設されているため、対象物から除去された異物が装置周辺に飛散してしまうことなく当該対象物の清浄化を行うことができる。

本発明の異物除去装置においては、前記異物回収部はフィルターを含んでいてもよい。

本発明の異物除去装置においては、前記異物回収部は、前記収容部における前記循環密閉経路からの気体の入口側および前記循環密閉経路への気体の出口側のうち少なくとも一方に設けられていてもよい。

本発明の異物除去装置においては、前記循環密閉経路における前記異物回収部よりも下流側には、気体に含まれる異物を測定する異物測定部が設けられていてもよい。

この場合、前記異物測定部はパーティクルカウンターを含んでいてもよい。

本発明の異物除去装置においては、前記収容部には開閉可能な扉が設けられており、前記扉を開いたときに前記収容部の内部にアクセスすることができるようになっていてもよい。

この場合、前記収容部には、異物が除去されるべき対象物が収容されるカゴを収容することができるようになっていてもよい。

本発明の異物除去装置によれば、対象物から除去された異物が装置周辺に飛散してしまうことなく当該対象物の清浄化を行うことができる。

本発明の実施の形態による異物除去装置の構成の一例を概略的に示す概略構成図である。 図１に示す異物除去装置における収容箱の扉を開いたときの状態を示す斜視図である。 本発明の実施の形態による異物除去装置の構成の他の例を概略的に示す概略構成図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図３は、本実施の形態による異物除去装置の様々な構成例を示す図である。

本実施の形態による異物除去装置の構成の一例を図１に示す。図１に示すように、本実施の形態による異物除去装置１０は、気体（具体的には、エアー）の循環密閉経路であるダクト３０と、ダクト３０に介設され、当該ダクト３０への気体の吐出およびこのダクト３０からの気体の吸引を行うジェットファン２０と、ダクト３０に介設され、異物が除去されるべき対象物（具体的には、クリーンルームの外部から内部に持ち込む文房具やクリーン服等）が収容される収容箱１２とを備えている。本実施の形態では、ジェットファン２０から図１における右側にエアー等の気体がダクト３０に吐出され、この吐出された気体はダクト３０内を通って収容箱１２の内部に送られるようになっている。また、収容箱１２の内部に送られたエアー等の気体はこの収容箱１２から排出された後、ダクト３０内を通ってジェットファン２０に戻されるようになる。このように、ジェットファン２０から吐出されたエアー等の気体はダクト３０内で循環するようになっており、この際に当該気体は収容箱１２の内部を通過するようになっている。図１において、ダクト３０内で循環するエアー等の気体の流れを矢印で示す。

また、収容箱１２におけるダクト３０からの気体の入口側には集塵フィルター１４が設けられているとともに、収容箱１２におけるダクト３０への気体の出口側には集塵フィルター１５が設けられている。このことにより、ダクト３０内でエアー等の気体が循環する際に、ジェットファン２０から吐出された気体に含まれるパーティクル等の異物は集塵フィルター１４により回収されるようになっている。また、収容箱１２の内部に収容された対象物から生じたパーティクル等の異物は集塵フィルター１５により回収されるようになっている。

異物が除去されるべき対象物が収容される収容箱１２には開閉可能な扉１６が設けられており、この扉１６を開いたときに収容箱１２の内部にアクセスして対象物を収容箱１２の内部に入れたり収容箱１２から対象物を取り出したりすることができるようになっている。また、図２に示すように、収容箱１２には、異物が除去されるべき対象物が収容されるカゴ１８を収容することができるようになっている。この場合には、クリーンルームの外部から内部に持ち込む文房具やクリーン服等の対象物をカゴ１８に収容した後、収容箱１２の扉１６を開いてこのカゴ１８を収容箱１２の内部に収容することにより、カゴ１８に収容されている対象物からパーティクル等の異物を除去することができるようになる。

また、図１に示すように、ダクト３０における集塵フィルター１５の下流側には、気体に含まれる異物を測定する異物測定部としてパーティクルカウンター４０が設けられている。このようなパーティクルカウンター４０が設けられていることにより、集塵フィルター１５によって異物が完全に回収されたか否かを検知することができるようになる。

なお、本実施の形態による異物除去装置１０は、クリーンルームの内部に設置してもよく、あるいはクリーンルームの外部に設置してもよい。

次に、このような異物除去装置１０による対象物の異物除去方法について説明する。

まず、作業者は収容箱１２の扉１６を開け、この収容箱１２の内部に対象物を収容する。この際に、対象物をまずカゴ１８に収容し、このカゴ１８ごと対象物を収容箱１２の内部に収容してもよい。そして、収容箱１２の内部に対象物を収容し、扉１６を閉じた後、ジェットファン２０を作動させる。このことにより、ジェットファン２０からエアー等の気体がダクト３０内に吐出され、当該気体はダクト３０内で循環するようになる。この際に、ジェットファン２０から吐出された気体に含まれるパーティクル等の異物は集塵フィルター１４により回収される。また、ダクト３０内で循環する気体により、収容箱１２の内部に収容された対象物からパーティクル等の異物が除去され、この除去された異物は集塵フィルター１５により回収される。また、パーティクルカウンター４０による測定結果に基づいて、集塵フィルター１５によって異物が完全に回収されたか否かが検知される。このようにして、収容箱１２の内部に収容された対象物からパーティクル等の異物を除去することができるようになる。

以上のような構成からなる本実施の形態の異物除去装置１０によれば、気体の循環密閉経路としてのダクト３０に、当該ダクト３０への気体の吐出およびダクト３０からの気体の吸引を行う気体吐出吸引部としてジェットファン２０が介設されているとともに、異物が除去されるべき対象物が収容される収容部としての収容箱１２が当該ダクト３０に介設されているため、対象物から除去された異物が装置周辺に飛散してしまうことなく当該対象物の清浄化を行うことができる。

また、本実施の形態の異物除去装置１０においては、上述したように、循環密閉経路としてのダクト３０に介設され、異物の回収を行う異物回収部として、集塵フィルター１４、１５が用いられるようになっている。

また、本実施の形態の異物除去装置１０においては、上述したように、異物回収部としての集塵フィルター１４、１５は、収容箱１２におけるダクト３０からの気体の入口側およびダクト３０への気体の出口側にそれぞれ設けられている。なお、本実施の形態による異物除去装置は、このような構成のものに限定されることはなく、収容箱１２におけるダクト３０からの気体の入口側およびダクト３０への気体の出口側のうちいずれか一方にのみ異物回収部としての集塵フィルターが設けられていてもよい。

また、本実施の形態の異物除去装置１０においては、上述したように、ダクト３０における集塵フィルター１５よりも下流側には、気体に含まれる異物を測定する異物測定部としてパーティクルカウンター４０が設けられている。この場合には、集塵フィルター１５によって異物が完全に回収されたか否かを検知することができる。

また、本実施の形態の異物除去装置１０においては、上述したように、収容箱１２には開閉可能な扉１６が設けられており、この扉１６を開いたときに収容箱１２の内部にアクセスすることができるようになっている。また、収容箱１２には、異物が除去されるべき対象物が収容されるカゴ１８を収容することができるようになっている。

なお、本実施の形態による異物除去装置は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。

本実施の形態による異物除去装置の他の構成例を図３に示す。図３に示すように、他の構成例に係る異物除去装置１０ａは、１つの収容箱１２に対して気体（具体的には、エアー）の循環密閉経路が２つ設けられている。具体的には、上記の異物除去装置１０で用いられるダクト３０に加えて、循環形状となっている別のダクト３２が設けられており、このダクト３２には、当該ダクト３２への気体の吐出およびこのダクト３２からの気体の吸引を行うジェットファン２２が設けられている。なお、図３に示す異物除去装置１０ａを説明するにあたり、図１および図２に示す異物除去装置１０と同じ構成部材については同じ参照符号を付けてその説明を省略する。

図３に示す異物除去装置１０ａでは、ジェットファン２０から図３における右側にエアー等の気体がダクト３０に吐出され、この吐出された気体はダクト３０内を通って収容箱１２の内部に送られるようになっている。また、収容箱１２の内部に送られたエアー等の気体はこの収容箱１２から排出された後、ダクト３０内を通ってジェットファン２０に戻されるようになる。このように、ジェットファン２０から吐出されたエアー等の気体はダクト３０内で循環するようになっている。さらに、図３に示す異物除去装置１０ａでは、ジェットファン２２から図３における左側にエアー等の気体がダクト３２に吐出され、この吐出された気体はダクト３２内を通って収容箱１２の内部に送られるようになっている。また、収容箱１２の内部に送られたエアー等の気体はこの収容箱１２から排出された後、ダクト３２内を通ってジェットファン２２に戻されるようになる。このように、ジェットファン２２から吐出されたエアー等の気体はダクト３２内で循環するようになっている。

また、図３に示す異物除去装置１０ａでは、上記の集塵フィルター１４、１５に加えて、収容箱１２におけるダクト３２からの気体の入口側には集塵フィルター１９が設けられているとともに、収容箱１２におけるダクト３２への気体の出口側には集塵フィルター（図示せず）が設けられている。

図３に示す異物除去装置１０ａでは、１つの収容箱１２に対して気体（具体的には、エアー）の循環密閉経路が２つ設けられているため、収容箱１２に収容されている対象物からパーティクル等の異物をより確実に除去することができるようになる。また、２つのジェットファン２０、２２や２つのダクト３０、３２のうちどちらかの構成部材で故障等が発生して使用することができなくなった場合でも、他方の構成部材を用いることにより収容箱１２の内部にエアー等の気体を供給することができるようになる。

また、図１に示す異物除去装置１０では、収容箱１２におけるダクト３０からの気体の入口側およびダクト３０への気体の出口側にそれぞれ集塵フィルター１４、１５が設けられているが、本実施の形態による異物除去装置における集塵フィルターの設置場所は図１に示すような場所に限定されることはない。本実施の形態による異物除去装置では、ダクト３０における任意の箇所に集塵フィルターを設置することができる。なお、対象物から除去されたパーティクル等の異物がジェットファン２０に入ってしまうことを防止するために、集塵フィルターはジェットファン２０よりも上流側かつ収容箱１２よりも下流側におけるダクト３０の任意の箇所に設置することが望ましい。

また、本実施の形態による異物除去装置における、異物が除去されるべき対象物が収容される収容部は、図１等に示すような構成の収容箱１２に限定されることはない。異物が除去されるべき対象物を収容することができるものであれば、図１等に示すような収容箱１２以外の構成のものを収容部として用いてもよい。また、対象物から除去された異物を回収する異物回収部は集塵フィルター１４、１５に限定されることはない。対象物から除去された異物を回収することができるものであれば集塵フィルター１４、１５以外の部材を異物回収部として用いてもよい。また、ダクト３０内でエアー等の気体を循環させることができるのであれば、ジェットファン２０以外の構成部材を本発明に係る気体吐出吸引部として用いてもよい。

１０、１０ａ 異物除去装置
１２ 収容箱
１４、１５ 集塵フィルター
１６ 扉
１８ カゴ
１９ 集塵フィルター
２０、２２ ジェットファン
３０、３２ ダクト
４０ パーティクルカウンター

Claims (7)

1. 気体の循環密閉経路と、
   前記循環密閉経路に介設され、前記循環密閉経路への気体の吐出および前記循環密閉経路からの気体の吸引を行う気体吐出吸引部と、
   前記循環密閉経路に介設され、異物が除去されるべき対象物が収容される収容部と、
   前記循環密閉経路に介設され、異物の回収を行う異物回収部と、
   を備えた、異物除去装置。
2. 前記異物回収部はフィルターを含む、請求項１記載の異物除去装置。
3. 前記異物回収部は、前記収容部における前記循環密閉経路からの気体の入口側および前記循環密閉経路への気体の出口側のうち少なくとも一方に設けられている、請求項１または２記載の異物除去装置。
4. 前記循環密閉経路における前記異物回収部よりも下流側には、気体に含まれる異物を測定する異物測定部が設けられている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の異物除去装置。
5. 前記異物測定部はパーティクルカウンターを含む、請求項４記載の異物除去装置。
6. 前記収容部には開閉可能な扉が設けられており、前記扉を開いたときに前記収容部の内部にアクセスすることができるようになっている、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の異物除去装置。
7. 前記収容部には、異物が除去されるべき対象物が収容されるカゴを収容することができるようになっている、請求項６記載の異物除去装置。

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