JP2017003273A - 防湿体、および放射線検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る防湿体は、平面形状が長方形の表面部と、筒状を呈し、一方の端部が前記表面部の周縁に設けられた周面部と、を有している。
前記表面部の長辺が延びる方向は、前記表面部における材料の圧延方向と交差している。
【選択図】図2
Description
また、蛍光の利用効率を高めて感度特性を改善するために、シンチレータ層の上に反射層をさらに設ける場合もある。
ここで、水蒸気などに起因する解像度特性の劣化を抑制するために、シンチレータ層と反射層は、外部雰囲気から隔離する必要がある。特に、シンチレータ層が、CsI(ヨウ化セシウム):Tl(タリウム)や、CsI:Na(ナトリウム)などからなる場合には、湿度などによる解像度特性の劣化が大きくなるおそれがある。
そのため、高い防湿性能を得られる構造として、ハット形状を呈し、シンチレータ層と反射層を覆う金属製の防湿体が提案されている。
シンチレータ層と反射層をハット形状の防湿体で覆い、防湿体のつば(鍔)部をアレイ基板の基板と接着すれば、高い防湿性能を得ることができる。
そのため、金属製の防湿体とガラス製の基板とが接着された状態で、環境温度などが変化すると、材料の熱膨張率の差に応じて熱応力が発生する。
熱応力が発生すると、アレイ基板と防湿体の接合体が反る場合がある。アレイ基板と防湿体の接合体が反ると、アレイ基板への配線作業や、筐体内部への取り付け作業などが困難となるおそれがある。また、アレイ基板と防湿体の接合体が反ると、防湿体と基板との接着部分が剥がれるなどして、防湿性能が著しく低下するおそれもある。
この場合、アレイ基板と防湿体が大きくなる程、熱応力による反りが大きくなる。
そのため、熱応力による反りの発生を抑制することができる防湿体、および放射線検出器の開発が望まれていた。
前記表面部の長辺が延びる方向は、前記表面部における材料の圧延方向と交差している。
また、本発明の実施形態に係る放射線検出器は、X線のほかにもγ線などの各種放射線に適用させることができる。ここでは、一例として、放射線の中の代表的なものとしてX線に係る場合を例にとり説明をする。したがって、以下の実施形態の「X線」を「他の放射線」に置き換えることにより、他の放射線にも適用させることができる。
なお、煩雑となるのを避けるために、図1においては、反射層6、防湿体7などを省いて描いている。
図2は、X線検出器1の模式平面図である。
図3は、アレイ基板2および防湿体7の模式側面図である。
図4は、図3におけるA部の模式断面図である。
図5は、X線検出器1のブロック図である。
図6は、X線検出器1の回路図である。
アレイ基板2は、X線検出器1が収納される筐体に設けられた支持板101の一方の面に取り付けられている。
アレイ基板2のシンチレータ層5が設けられる側とは反対側の面は、支持板101に接触している。
信号処理部3および画像伝送部4は、支持板101のアレイ基板2が取り付けられる側とは反対側に取り付けられている。
基板2aは、板状を呈し、無アルカリガラスなどの透光性材料から形成されている。
光電変換部2bは、基板2aの一方の表面に複数設けられている。
光電変換部2bは、長方形状を呈し、制御ライン2c1とデータライン2c2とで画された領域に設けられている。複数の光電変換部2bは、マトリクス状に並べられている。 なお、1つの光電変換部2bは、1つの画素(pixel)に対応する。
また、光電変換素子2b1において変換した信号電荷を蓄積する蓄積キャパシタ2b3を設けることができる(図6を参照)。蓄積キャパシタ2b3は、例えば、長方形状を呈し、薄膜トランジスタ2b2の下に設けることができる。ただし、光電変換素子2b1の容量によっては、光電変換素子2b1が蓄積キャパシタ2b3を兼ねることができる。
薄膜トランジスタ2b2は、光電変換素子2b1により蛍光から変換された電荷の蓄積および放出のスイッチングを行う。薄膜トランジスタ2b2は、アモルファスシリコン(a−Si)やポリシリコン(P−Si)などの半導体材料を含むものとすることができる。
図6に示すように、薄膜トランジスタ2b2は、ゲート電極2b2a、ソース電極2b2b及びドレイン電極2b2cを有している。薄膜トランジスタ2b2のゲート電極2b2aは、対応する制御ライン2c1と電気的に接続される。薄膜トランジスタ2b2のソース電極2b2bは、対応するデータライン2c2と電気的に接続される。薄膜トランジスタ2b2のドレイン電極2b2cは、対応する光電変換素子2b1と蓄積キャパシタ2b3とに電気的に接続される。
1本の制御ライン2c1は、基板2aの周縁近傍に設けられた複数の配線パッド2d1のうちの1つと電気的に接続されている。1つの配線パッド2d1には、フレキシブルプリント基板2e1に設けられた複数の配線のうちの1本の配線の一端が電気的に接続されている。この配線の他端は、信号処理部3に設けられた制御回路31と電気的に接続されている。
1本のデータライン2c2は、基板2aの周縁近傍に設けられた複数の配線パッド2d2のうちの1つと電気的に接続されている。1つの配線パッド2d2には、フレキシブルプリント基板2e2に設けられた複数の配線のうちの1本の配線の一端が電気的に接続されている。この配線の他端は、信号処理部3に設けられた増幅・変換回路32と電気的に接続されている。
制御ライン2c1とデータライン2c2は、アルミニウムやクロムなどの低抵抗金属を用いて形成することができる。
図示しないバイアスラインは、例えば、データライン2c2と同じ方向に延びるものとすることができる。
保護層2fは、窒化ケイ素(SiN)やアクリル系樹脂などの絶縁性材料から形成することができる。
制御回路31は、複数のゲートドライバ31aと行選択回路31bとを有する。
ゲートドライバ31aは、対応する制御ライン2c1に制御信号S1を印加する。
行選択回路31bは、X線画像の走査方向に従って、対応するゲートドライバ31aに外部からの制御信号S1を送る。
例えば、制御回路31は、フレキシブルプリント基板2e1と制御ライン2c1とを介して、制御信号S1を各制御ライン2c1毎に順次印加する。制御ライン2c1に印加された制御信号S1により薄膜トランジスタ2b2がオン状態となり、光電変換素子2b1からの信号電荷(画像データ信号S2)が受信できるようになる。
電荷増幅器32aは、フレキシブルプリント基板2e2と配線パッド2d2とを介してデータライン2c2と電気的に接続されている。
並列−直列変換器32bは、切り換えスイッチを介して電荷増幅器32aに電気的に接続されている。
図示しないアナログ−デジタル変換器は、並列−直列変換器32bに電気的に接続されている。
そして、電荷増幅器32aは、受信した画像データ信号S2を順次増幅する。
並列−直列変換器32bは、増幅された画像データ信号S2を順次直列信号に変換する。
図示しないアナログ−デジタル変換器は、直列信号に変換された画像データ信号S2をデジタル信号に順次変換する。
画像伝送部4は、図示しない複数のアナログ−デジタル変換器によりデジタル信号に変換された画像データ信号S2に基づいて、X線画像を構成する。構成されたX線画像のデータは、画像伝送部4から外部の機器に向けて出力される。
シンチレータ層5は、例えば、ヨウ化セシウム(CsI):タリウム(Tl)、あるいはヨウ化ナトリウム(NaI):タリウム(Tl)などを用いて形成することができる。
柱状結晶の集合体からなるシンチレータ層5は、例えば、真空蒸着法などを用いて形成することができる。
シンチレータ層5の厚み寸法は、例えば、600μm程度とすることができる。柱状結晶の柱(ピラー)の太さ寸法は、例えば、最表面で8μm〜12μm程度とすることができる。
反射層6は、例えば、酸化チタン(TiO2)などの光散乱性粒子を含む樹脂をシンチレータ層5上に塗布することで形成することができる。また、反射層6は、例えば、銀合金やアルミニウムなどの光反射率の高い金属からなる層をシンチレータ層5上に成膜することで形成することもできる。
また、反射層6は、例えば、表面が銀合金やアルミニウムなどの光反射率の高い金属からなる板を用いて形成することもできる。
この場合、反射層6の厚み寸法は、120μm程度とすることができる。
なお、反射層6は、必ずしも必要ではなく、必要に応じて設けるようにすればよい。
防湿体7は、ハット形状を呈し、表面部7a、周面部7b、および、つば(鍔)部7cを有する。
防湿体7は、表面部7a、周面部7b、および、つば部7cが一体成形されたものとすることができる。
防湿体7は、例えば、アルミニウムやアルミニウム合金などの金属から形成することができる。
この場合、実効的な透湿係数がほとんどゼロであるアルミニウムやアルミニウム合金などの金属を用いて防湿体7を形成すれば、防湿体7を透過する水蒸気をほぼ完全になくすことができる。
防湿体7の材料は金属であれば特に限定はない。ただし、アルミニウムやアルミニウム合金はX線吸収係数が小さいため、X線吸収ロスを抑制することができる。また、アルミニウムやアルミニウム合金は、プレス成形における加工性に優れている。
そのため、防湿体7の材料は、アルミニウム、およびアルミニウム合金の少なくともいずれかとすることが好ましい。
防湿体7は、例えば、厚み寸法が0.1mmのアルミニウム箔をプレス成形して形成することができる。
表面部7aは、シンチレータ層5の上方に設けられている。
表面部7aは、シンチレータ層5の表面側(X線の入射面側)に対峙している。
周面部7bは、筒状を呈し、一方の端部が表面部7aの周縁に設けられている。
周面部7bは、表面部7aの周縁を囲むように設けられている。周面部7bは、表面部7aの周縁から基板2a側に向けて延びている。
周面部7bは、シンチレータ層5の側方に設けられている。
つば部7cは、環状を呈している。
つば部7cは、周面部7bの、表面部7a側とは反対側の端部を囲むように設けられている。つば部7cは、周面部7bの端部から外側に向けて延びている。
つば部7cは、接着層8を介してアレイ基板2(基板2a)と接着されている。
つば部7cは、必ずしも必要ではないが、つば部7cを設けるようにすれば、アレイ基板2との接着に対する信頼性を向上させることができる。また、つば部7cを設けるようにすれば、接着層8の幅寸法を長くすることができるので、防湿性能を向上させることができる。
例えば、大気圧よりも減圧された環境において、防湿体7とアレイ基板2とを接着すれば、大気圧により表面部7aと反射層6とを接触させることができる。
そのため、大気圧よりも減圧された環境において、防湿体7とアレイ基板2とを接着すれば、飛行機輸送中における減圧による破損などを防止することができる。
また、大気圧よりも減圧された環境において、防湿体7とアレイ基板2とを接着すれば、防湿体7が大気圧により加圧されるので、つば部7cの周縁にあるバリのスプリングバックにより接着層8が損傷するのを防止することができる。すなわち、接着層8の信頼性を向上させることができる。
また、接着層8の透湿率(水蒸気の透過率)は、できるだけ小さくなるようにすることが好ましい。この場合、紫外線硬化型の接着剤に無機材質のタルク(滑石:Mg3Si4O10(OH)2)を70重量%以上添加すれば、接着層8の透湿係数を大幅に低減させることができる。
前述したように、アレイ基板2の基板2aは無アルカリガラスなどから形成されている。
一方、防湿体7は、アルミニウムなどの金属から形成されている。
そのため、金属製の防湿体7とガラス製の基板2aとが接着された状態で、環境温度などが変化すると、材料の熱膨張率の差に応じて熱応力が発生する。
熱応力が発生すると、アレイ基板2と防湿体7の接合体が反る場合がある。アレイ基板2と防湿体7の接合体が反ると、アレイ基板2にフレキシブルプリント基板2e1、2e2などを電気的に接続したり、X線検出器1を筐体の内部に取り付けたりするのが困難となるおそれがある。また、アレイ基板2と防湿体7の接合体が反ると、接着層8が剥がれるなどして、防湿性能が著しく低下するおそれもある。
この場合、アレイ基板2と防湿体7が大きくなる程、熱応力による反りが大きくなる。
防湿体7の剛性が大きくなれば、外力に対して延び難くなるので、熱応力を緩和させることが難しくなる。
そのため、ハット形状を呈し、金属からなる防湿体7とすれば、高い防湿性能を得ることができるが、熱応力によりアレイ基板2と防湿体7の接合体が反りやすくなるという新たな課題が生じることになる。
そのため、防湿体7には、短手方向側7dと、短手方向側7dよりも長さの長い長手方向側7eがある。例えば、図2に例示をした防湿体7は、X方向に延びる側が短手方向側7dとなり、Y方向に延びる側が長手方向側7eとなる。
そのため、防湿体7の長手方向側7eにおける反りを小さくすれば、アレイ基板2と防湿体7の接合体における反りを小さくすることができる。
この場合、剛性を小さくすれば、外力に対して延びやすくなるので熱応力を緩和させることができる。
そのため、防湿体7の長手方向側7eにおける剛性が小さくなるようにすれば、防湿体7の長手方向側7eにおける反り、ひいてはアレイ基板2と防湿体7の接合体における反りを小さくすることができる。
例えば、アルミニウム合金などを圧延すると、材料の延びなどにより、圧延方向に平行な方向と、圧延方向に交差する方向とで剛性に違いが生ずる。そのため、この剛性の異方性を利用すれば、防湿体7の長手方向側7eにおける剛性を小さくすることができる。
そのため、防湿体7の長手方向側7eが延びる方向が、材料の圧延方向100と交差するようにすれば、防湿体7の長手方向側7eにおける剛性を小さくすることができる。
例えば、表面部7aの長辺が延びる方向は、表面部7aにおける材料の圧延方向100と交差しているようにすればよい。
防湿体7の長手方向側7eにおける剛性が小さくなれば、熱応力を緩和させることができるので、防湿体7の長手方向側7eにおける反り、ひいてはアレイ基板2と防湿体7の接合体における反りを小さくすることができる。
例えば、図2に示すように、表面部7aの長辺が延びる方向が、表面部7aにおける材料の圧延方向100と直交していれば、防湿体7の長手方向側7eにおける剛性を最小にすることができる。
すなわち、防湿体7の長手方向側7eにおける剛性を変化させれば、それに応じて、防湿体7の短手方向側7dにおける剛性、ひいては、防湿体7の短手方向側7dにおける反りが変化する。
そのため、防湿体7の長手方向側7eにおける反りと、防湿体7の短手方向側7dにおける反りとのバランスを考慮して、アレイ基板2と防湿体7の接合体における反りがより小さくなるようにすることもできる。
例えば、実験やシミュレーションを行い、アレイ基板2と防湿体7の接合体における反りが最も小さくなるような「防湿体7の長手方向側7eが延びる方向と、材料の圧延方向100との間の角度」を求めることもできる。
防湿体7は、例えば、アルミニウム合金などの軽金属を圧延して形成した箔状のロール材から製造することができる。
防湿体7の製造では、まず、このロール材を所定の大きさに裁断し、長方形の金属板73を作成する。
この際、有効画素エリア(複数の光電変換部2bが設けられた領域)の寸法を考慮して金属板73の寸法が決定される。
また、金属板73の長辺が延びる方向と、材料の圧延方向100との間の角度が、予め求められた「防湿体7の長手方向側7eが延びる方向と、材料の圧延方向100との間の角度」となるようにする。
図7は、プレス成形を例示するための模式断面図である。
図7に示すように、第1面71側から部分17c側に押し込む方向に金属板73をプレスして、表面部7a、周面部7b、および、つば部7cとなる部分17cを一体成形する。
その後、つば部7cとなる部分17cを裁断してつば部7cを形成する。
以上の様にして、防湿体7を製造することができる。
Claims (6)
- 平面形状が長方形の表面部と、
筒状を呈し、一方の端部が前記表面部の周縁に設けられた周面部と、
を有し、
前記表面部の長辺が延びる方向は、前記表面部における材料の圧延方向と交差している防湿体。 - 前記表面部の長辺が延びる方向は、前記表面部における材料の圧延方向と直交している請求項1記載の防湿体。
- 前記表面部と、前記周面部と、が一体に形成されている請求項1または2に記載の防湿体。
- 前記表面部および前記周面部は、アルミニウム、およびアルミニウム合金の少なくともいずれかを含む請求項1〜3のいずれか1つに記載の防湿体。
- 環状を呈し、前記周面部の他方の端部に設けられたつば部をさらに有し、
前記表面部と、前記周面部と、前記つば部と、が一体に形成されている請求項1〜4のいずれか1つに記載の防湿体。 - 基板と、前記基板の一方の面側に設けられた複数の光電変換素子と、を有するアレイ基板と、
前記複数の光電変換素子の上に設けられ、放射線を蛍光に変換するシンチレータ層と、
請求項1〜5のいずれか1つに記載の防湿体と、
を備え、
前記防湿体の表面部は、前記シンチレータ層の上方に設けられ、
前記防湿体の周面部は、前記シンチレータ層の側方に設けられている放射線検出器。
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