JP2016523187A - マイクロチャネル壁と同じ面高さの電極を有するマイクロ流体チップの作製方法 - Google Patents
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Abstract
Description
或る面が電気絶縁層で覆われた基板を用意することと、
該電気絶縁層の1つ以上の選択された部分を被覆するレジスト層を得ることであって、前記電気絶縁層の少なくとも残りの部分はレジスト層で被覆されないことと、
レジスト層の下に凹部もしくはアンダーカットまたはその両方を生成するために、電気絶縁層の該残りの部分の表面をエッチング液で部分的にエッチングすることと、
生成された凹部もしくはアンダーカットまたはその両方に導電層が到達するように、エッチングされた表面に該導電層を堆積することと、
導電層の接在部分に隣接する電気絶縁層の部分を露出するために、レジスト層を除去することと、
を含む。
基板を用意することと、
基板の前記面を覆う初期の電気絶縁層を得ることと、
前記初期の電気絶縁層の選択された領域を被覆するレジスト層を得ることであって、前記初期の電気絶縁層の残りの領域はレジスト層で被覆されない、該レジスト層を得ることと、
基板の前記面に作溝された前記マイクロ流体マイクロチャネルを得るために、残りの領域中の初期の電気絶縁層および基板をエッチングすることと、
によって、マイクロ流体マイクロチャネルを生成すること
を含む。
SiO2絶縁層を得るために、シリコンの基板を熱酸化によって酸化することと、
傾斜側壁を有するマイクロ流体マイクロチャネルであって、基板の該面に作溝されたマイクロチャネルを得るために、緩衝フッ化水素水溶液などのエッチング液を用いて、SiO2絶縁層をエッチングすること、および望ましくは水酸化テトラメチルアンモニウムを使って異方性シリコン・エッチングを実施することと、
を含む。
基板の或る面上に、マイクロ流体マイクロチャネルなど、機械加工された1つ以上のマイクロ構造体を呈する該基板と、
前記面を少なくとも部分的に覆う電気絶縁層と、
電気絶縁層を少なくとも部分的に覆い、望ましくは、該1つ以上のマイクロ構造体の上に少なくとも部分的に延びる領域上の電気絶縁層を覆う導電層と、
を含み、
導電層の露出表面は、望ましくは同じ面高さで、電気絶縁層の接在部分の露出表面と隣接し、前記両露出表面の間の位置不整合は、より望ましくは20nmより小さく、さらにまた望ましくは10nmより小さい。
本発明者らの認識によれば、マイクロ流体チップの作製のための厚膜レジストの使用には、とりわけ、これらレジストの限定された温度および化学的安定性に起因する不便さがある。これらレジストの界面化学を(例えば、生体分子および細胞の湿潤性または接着性を制御するために)調整するのはさらに困難である。さらに、厚膜レジストの処理には、より多くのレジスト、より長いベーキング、露光、および現像ステップが必要であり、また、時によって、複数回のスピン・コーティング・ステップも必要となる。また、マイクロ流体チップの作製および使用の過程における、かかるレジストの機械的特性および内部応力も問題である。
それぞれがステップS1〜S11に対応している図1〜11を参照しながら、本発明の或る態様を最初に説明するものとし、これは、半導体ウエハ処理技法が使えるマイクロ流体チップの作製の方法に関する。
− 初期の基板10を用意するステップS1と、
− 基板の面Fを覆う初期の電気絶縁層12を得るステップS2と、
− 初期の電気絶縁層12の選択された領域R1を、前記初期の電気絶縁層12の残りの領域R2がレジスト層14で被覆されないようにして被覆する、レジスト層14を得るステップS3と、
− 基板の面F上に作溝されたマイクロ流体マイクロチャネルが得られるように、残りの領域R2中の初期の電気絶縁層12および基板10をエッチングするステップS4〜S5と、
によって達成することができる。
− 絶縁層12としてSiO2を得るために、熱酸化によってシリコンのSi基板10を酸化するステップS2と、
− 例えば緩衝フッ化水素水溶液などのエッチング液を使ってSiO2層をエッチングするステップS4と、
− ステップS5で、望ましくは水酸化テトラメチルアンモニウム(またはTMAH)を使って、異方性シリコン・エッチングS5が実施され、これにより傾斜側壁を有するマイクロチャネル20を得るステップと、
を含めることができる。
− 例えば基板の表面中に作溝されまたは該表面の上に構造化された、基板の面F上の搭載パッド、パッシブ毛細管ポンプ、またはマイクロ流体マイクロチャネル20などの1つ以上のマイクロ構造体を呈する、例えばSiウエハの該基板10と、
− 該基板を少なくとも部分的に覆う電気絶縁層30(例えばSiO2)と、
− 例えば、できる限り部分的にだけマイクロチャネル20上に延びる領域の上の被覆層30など、電気絶縁層30を少なくとも部分的に覆う、導電層50(例えば、AlまたはTi/Al)と、
を含む。
− EHTは、キロボルト(kV)単位でのElectron High Tension(電子高電圧)を表し、
− WDは、サンプル表面とレンズ低部との間のworking distance(作動距離)を示し、
− Magは、magnification(倍率)であり、
− Tilt Angle(傾斜角)は、サンプル台の垂線の電子銃の軸に対する角度を示し、
− SignalA=SE2は、二次電子の検出器が使われたことを表す。
− 大きい電極の幅a:40μm、
− 小さい電極の幅b:10μm、
− (ペアにされた)電極の間の最小ギャップc:10μm、
− 小さい電極と次の大きな電極との間のギャップd:40μm
− ピッチe(パターンの長手方向の長さ):100μm、
− 底部壁面を越えた電極の横方向への延びf:20μm、
− チャネルの幅g:200μm、および
− チャネルのエッジから直交する接続ライン(くし状部)の間のギャップh:50μm。
3.1 図1〜11の時系列的説明
以下に、ステップS1〜S11それぞれに対応する図1〜11を参照しながら、好適な実施形態によって、全体的作製方法の時系列的説明を提示する。
− ステップS1:<100>の結晶方位を呈するシリコン・ウエハ10が用意される。
− ステップS2:熱酸化が実施される(SiO2成長):SiO2層12が得られる。
− ステップS3:フォトリソグラフィ・ステップが実行され、層12の残りの領域R2がレジスト層14で被覆されないようにしながら、層12の選択された領域R1を被覆するレジスト層14が得られる。フォトリソグラフィには、通常のように、HDMSプライミング、フォトレジスト・スピン・コーティング、ソフトベーク、露光、現像などを含めればよい。露光量、現像時間、および電極パターンの最適化が必要となることがあり、フォトリソグラフィで本来周知のように、後での問題を最小化するため、マスク・レベルでのパターン修正が望まれる。
− ステップS4:ドライ(プラズマ)またはウェット・エッチングによって、SiO2のマスク・エッチングを行うことができる。前のセクションで説明した理由により、ウェット・エッチング(BHF)が推奨される。
− ステップS4a:ウエハの準備には、フォトレジストの除去(ウェットまたはドライ)のステップと、自然酸化物(ステップS4ですでにエッチングされた酸化物以外)を除去するための短時間BHF浸漬と、その後の脱イオン水によるリンスとが含まれる。
− ステップS5:次いで、TMAH、KOHまたはEDPを使って、異方性シリコン・エッチングが実行される。TMAHは、SiO2マスク上でより高い選択性を有し、またウエハを汚染しないので、これが推奨される。
− ステップS6:ドライ(プラズマ)またはウェット・エッチングによって、SiO2のマスク除去を行うことができる。前のセクションで説明した理由により、ウェット・エッチング(BHF)が推奨される。
− ステップS7:今回は、とりわけマイクロ構造体20を覆う均一な親水性の層30を得るために、再度の熱酸化が実施される(酸化の前に、ウエハは、金属および有機汚染物を洗浄される)。
− ステップS8:今回は、SiO230の選択された部分P1を被覆するレジスト層40を得るために、再度のフォトリソグラフィ・ステップが実施される。より共形なフォトレジスト被覆を得るためにクローズド・チャンバ・コーティング・システムが推奨される。
− ステップS9:層30の残りの部分P2の表面を部分的にエッチングし、レジスト40の下に凹部/アンダーカット40r、40uを生成するために、BHF中で部分的SiO2エッチングが行われる。これにより、SiO2層上にアンダーカットおよび凹部が生成される。このエッチング深さは、次のステップで堆積される金属の厚さにほぼ一致する。
− ステップS10:続いて金属堆積が行われる。
− ステップS11:有機溶剤中でフォトレジストがエッチング(リフトオフ)され、フォトレジスト上の金属はリフトオフされ、パターン形成された領域P2内部の金属だけが残る。
ステップS11の後、ダイシングのため、ウエハを支持テープ上にセットすることができ、その表側は、フォトレジスト層またはテープによって保護することができる。この時点においても、まだ、マイクロ構造体をリンスし、洗浄し、乾燥することが可能である。
− カバーフィルム62を貼付するステップであって、貼付されるカバーフィルムはチップ1、とりわけ、導電層50の接在部分P2に隣接する電気絶縁層の前記部分P1を覆う、該貼付するステップ。
− チップはいくつかのブロックを有することができ、その各々は、基板の面F上の1つ以上のマイクロ流体構造体を含む。
− 貼付されるカバーフィルム62は、前記いくつかのブロックの全てを覆うことが可能である。
− 貼付されるカバーフィルムは、乾燥膜レジスト62であり、望ましくは、該カバーフィルムは、エポキシ樹脂を含む;積層シートである;および3から5ギガパスカルのヤング率を有する;のうちの1つ以上の条件を満たす。
− 貼付される乾燥膜レジスト62の厚さは、10から100μmの間であり、望ましくは、30から70μmの間である。
− カバーフィルム62を貼付するステップには、
○ カバーフィルム62および裏打ちフィルムを含め、少なくとも2つの層を含むフィルムを用意するステップと、
○ 裏打ちフィルムをプレスすることによって、望ましくは裏打ちフィルムを積層することによって、基板の前記面F上の露出表面に対しカバーフィルム62を貼付するステップと、
○ 裏打ちフィルムを除去するステップと、
を含めることができる。
− このフィルムを用意するステップには、パターン形成されたカバーフィルム62を貼付する前に、望ましくは、フォトリソグラフィ、カッティング、パンチング、レーザ切断の1つによって、カバーフィルム62にパターンを形成し、既に存在するまたは後で作製されるマイクロ流体チップ・アセンブリの構造体に対応するパターンを形成する開口部62O(図12参照)を含むカバーフィルム62を得るステップをさらに含めることが可能である。
以下は、作製および応用の具体的例に関するさらなる技術的詳細である。
本明細書で説明した方法は、ウエハ・ベースのマイクロ流体チップの作製に用いることができる。これにより得られたチップは、とりわけ、作製者によって生ウエハの形で(すなわち、複数の未パッケージ・チップを有する単一のウエハとして)、ベア・ダイとして、またはパッケージされた形で流通させることが可能である。後者の場合は、チップは、(例えばプラスチック・キャリヤなどの)単一のチップ・パッケージ中に、または多重パッケージ中に搭載される。いずれの場合も、その後、当該チップは、自律チップへの用途が望ましい場合にあっても、(a)中間製品、もしくは(b)最終製品の一部として、他のチップまたは他のマイクロ流体エレメント(配管ポート、ポンプなど)とともに一体化されることになろう。
Claims (15)
- マイクロ流体チップの作製方法であって、前記方法は、
或る面が電気絶縁層で覆われた基板を用意することと、
前記電気絶縁層の1つ以上の選択された部分を被覆するレジスト層を得ることであって、前記電気絶縁層の少なくとも残りの部分は前記レジスト層で被覆されないことと、
前記レジスト層の下に凹部もしくはアンダーカットまたはその両方を生成するために、前記電気絶縁層の前記残りの部分の表面をエッチング液で部分的にエッチングすることと、
前記生成された凹部もしくはアンダーカットまたはその両方に導電層が到達するように、前記エッチングされた表面に前記導電層を堆積することと、
前記導電層の接在部分に隣接する前記電気絶縁層の部分を露出するために、前記レジスト層を除去することと、
を含む方法。 - 前記用意された基板は、前記面上に作溝されたマイクロ流体マイクロチャネルなど、前記面上に機械加工されたマイクロ構造体を呈し、前記レジスト層を得ることは、前記残りの部分が少なくとも部分的に、望ましくは部分的にだけ、前記マイクロ構造体上に延びるように実施され、これにより、次に堆積される前記導電層は、前記マイクロ構造体を少なくとも部分的に被覆する、請求項1に記載の方法。
- 前記電気絶縁層の前記表面の部分的エッチングにおいて、前記エッチング液は、エッチング深さが次に堆積される導電層の望ましい厚さに対応するように、そして前記生成された凹部もしくはアンダーカットまたはその両方の平均深さが、前記堆積された導電層の深さと同じオーダーとなるように適用され、前記エッチング液と前記電気絶縁層とは、部分的エッチングでの前記エッチング・プロセスが等方性エッチング・プロセスとなるようにされる、請求項1または2に記載の方法。
- 用意された前記基板を覆う前記電気絶縁層は、SiO2などの酸化物またはSi3N4などの窒化物であり、前記電気絶縁層の前記残りの部分の前記表面の部分的エッチングに用いられる前記エッチング液は、緩衝酸化エッチング剤である、請求項1、2、または3に記載の方法。
- 前記堆積される導電層の前記厚さは、20から200nmまでの間にあり、さらに望ましくは30から100nmまでの間にあり、そしてさらにまた望ましくは、40から60nmまでの間にあって、前記堆積される導電層は、望ましくは、金属、金属合金、または有機層のうちの1つである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記導電層は、指向性蒸着技法を用いて堆積され、これにより、前記導電層は、前記導電層の平均面に対し垂直方向に蒸着される、請求項5に記載の方法。
- 用意された前記基板は、前記面上に作溝されたマイクロ流体マイクロチャネルを呈し、前記マイクロチャネルの平均深さは、5から50マイクロメートルの間にある、請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 用意された前記基板の前記マイクロチャネルの前記平均深さは10から20マイクロメートルの間にある、請求項7に記載の方法。
- 用意された前記基板の前記マイクロチャネルは傾斜した側壁を有する、請求項7または8に記載の方法。
- 前記基板を用意することは、
基板を用意することと、
前記基板の前記面を覆う初期の電気絶縁層を得ることと、
前記初期の電気絶縁層の選択された領域を被覆するレジスト層を得ることであって、前記初期の電気絶縁層の残りの領域は前記レジスト層で被覆されないことと、
前記基板の前記面上に作溝された前記マイクロ流体マイクロチャネルを得るために、前記残りの領域中の前記初期の電気絶縁層および前記基板をエッチングすることと、
によって、前記マイクロ流体マイクロチャネルを生成すること
を含む、請求項9に記載の方法。 - 前記基板を用意することは、電気絶縁層によって覆われた前記面を得るために、望ましくは熱酸化によって、前記基板を少なくとも1回、望ましくは2回酸化することをさらに含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法。
- 用意される前記基板はシリコン・ウエハであり、前記基板の前記面は、一般に前記シリコン・ウエハの面に平行である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法。
- 前記方法が、
SiO2絶縁層を得るために、シリコンの前記基板を熱酸化によって酸化することと、
傾斜側壁を有するマイクロ流体マイクロチャネルであって、前記基板の前記面に作溝された前記マイクロチャネルを得るために、緩衝フッ化水素水溶液などのエッチング液を用いて、前記SiO2絶縁層をエッチングすること、および望ましくは水酸化テトラメチルアンモニウムを使って異方性シリコン・エッチングを実施することと、
をさらに含む、請求項12に記載の方法。 - 請求項1〜13のいずれか1項に記載の前記方法によって得ることができるマイクロ流体チップであって、前記マイクロ流体チップは、
基板の或る面上に、マイクロ流体マイクロチャネルなど、機械加工された1つ以上のマイクロ構造体を呈する前記基板と、
前記面を少なくとも部分的に覆う電気絶縁層と、
前記電気絶縁層を少なくとも部分的に覆い、望ましくは、前記1つ以上のマイクロ構造体の上に少なくとも部分的に延びる領域上の前記電気絶縁層を覆う導電層と、
を含み、
前記導電層の露出表面は、望ましくは同じ面高さで、前記電気絶縁層の接在部分の露出表面と隣接し、前記両露出表面の間の位置不整合は、より望ましくは20nmより小さく、さらにまた望ましくは10nmより小さい、
マイクロ流体チップ。 - 前記導電層は前記電気絶縁層の接在部分に隣接し、これは、請求項1〜13のいずれか1項に記載の前記方法による、前記チップの前記作製の過程で生成された凹部もしくはアンダーカットまたはその両方に起因する残留空隙の影響を受ける、請求項14に記載のマイクロ流体チップ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB1311676.9 | 2013-06-28 | ||
GB1311676.9A GB2515571A (en) | 2013-06-28 | 2013-06-28 | Fabrication of microfluidic chips having electrodes level with microchannel walls |
PCT/IB2014/062343 WO2014207617A1 (en) | 2013-06-28 | 2014-06-18 | Fabrication of microfluidic chips having electrodes level with microchannel walls |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016523187A true JP2016523187A (ja) | 2016-08-08 |
JP6525163B2 JP6525163B2 (ja) | 2019-06-05 |
Family
ID=48999255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016522907A Active JP6525163B2 (ja) | 2013-06-28 | 2014-06-18 | マイクロチャネル壁と同じ面高さの電極を有するマイクロ流体チップの作製方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10159976B2 (ja) |
JP (1) | JP6525163B2 (ja) |
DE (1) | DE112014001600B4 (ja) |
GB (1) | GB2515571A (ja) |
WO (1) | WO2014207617A1 (ja) |
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- 2014-06-18 WO PCT/IB2014/062343 patent/WO2014207617A1/en active Application Filing
- 2014-06-18 JP JP2016522907A patent/JP6525163B2/ja active Active
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DE112014001600B4 (de) | 2016-11-03 |
GB201311676D0 (en) | 2013-08-14 |
US10675620B2 (en) | 2020-06-09 |
GB2515571A (en) | 2014-12-31 |
WO2014207617A1 (en) | 2014-12-31 |
US20190143321A1 (en) | 2019-05-16 |
JP6525163B2 (ja) | 2019-06-05 |
US20160367985A1 (en) | 2016-12-22 |
DE112014001600T5 (de) | 2016-01-21 |
US10159976B2 (en) | 2018-12-25 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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