JP2021065143A - 生体粒子捕集装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態に係る生体粒子捕集装置1aについて、図1から図6に基づいて説明すれば以下のとおりである。本明細書において、「生体粒子捕集装置」とは、半導体基板10上に流れてきた溶媒34中の細胞15を捕集する装置である。
本実施形態に係る生体粒子捕集装置1cについて図7に基づいて説明すれば以下のとおりである。図7は、本実施形態に係る生体粒子捕集装置1cの構成を示す断面図である。図7に示す通り、本実施形態に係る生体粒子捕集装置1cは、電極11の直下の箇所に、細胞15から放射される光を受光するフォトダイオード40が埋設される。前記構成によれば、フォトダイオード40が細胞15から受光した光を評価することにより、細胞15の特徴を分析できる。
本実施形態に係る生体粒子捕集装置1dについて、図8および図9に基づいて説明すれば以下のとおりである。まずは、図8を用いて、本実施形態に係る生体粒子捕集装置1dの構成を説明する。図8の符号581で示す図は、生体粒子捕集装置1dの上面図である。図8の符号582で示す図は、符号581で示す図におけるB−B’断面図である。図8の符号583で示す図は、生体粒子捕集装置1dの上面図である。図8の符号584で示す図は、図8の符号583で示す図におけるC−C’縦断面図である。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
本発明の態様1に係る生体粒子捕集装置(1a、1b、1c、1d)は、半導体基板(10)に埋設された、前記半導体基板上に流れてきた溶媒(34)中の生体粒子(細胞15)に誘電泳動力(FDEP)を作用させるための信号を出力する電極(11)と、前記半導体基板上に形成された、前記半導体基板が前記溶媒と接触するのを防ぐための第1保護膜(16)と、を備えており、前記第1保護膜には、前記誘電泳動力が作用した前記生体粒子を保持するための窪み(12)が、前記第1保護膜における前記電極の配置位置と対応する箇所に形成されており、前記第1保護膜上には、前記誘電泳動力が作用した前記生体粒子を前記窪みに保持させるための第1壁(13)が形成されており、前記窪みの側面(12a)と、前記第1壁における前記窪み側の壁面(13a)との水平方向の距離が、ゼロまたは前記窪みによる前記生体粒子の保持が継続する程度まで離れている。
10 半導体基板
11 電極
12 窪み
12a 側面
13、131 第1壁
13a、132a 壁面
15 細胞(生体粒子)
16 第1保護膜
18 第2保護膜
21、21a、21b、21c ユニット
34 溶媒
132 最上位配線層(電極の配置位置よりも基板の底面側の反対側に形成された配線層)
FDEP 誘電泳動力
Claims (12)
- 半導体基板に埋設された、前記半導体基板上に流れてきた溶媒中の生体粒子に誘電泳動力を作用させるための信号を出力する電極と、
前記半導体基板上に形成された、前記半導体基板が前記溶媒と接触するのを防ぐための第1保護膜と、を備えており、
前記第1保護膜には、前記誘電泳動力が作用した前記生体粒子を保持するための窪みが、前記第1保護膜における前記電極の配置位置と対応する箇所に形成されており、
前記第1保護膜上には、前記誘電泳動力が作用した前記生体粒子を前記窪みに保持させるための第1壁が形成されており、
前記窪みの側面と、前記第1壁における前記窪み側の壁面との水平方向の距離が、ゼロまたは前記窪みによる前記生体粒子の保持が継続する程度まで離れている、生体粒子捕集装置。 - 前記電極と前記窪みと前記第1壁とで1つのユニットが形成されており、
前記半導体基板には、複数の前記ユニットがアレイ状に配置されており、
前記電極による前記信号の出力を、複数の前記ユニットのそれぞれに含まれる前記電極ごとに制御する制御回路をさらに備えている、請求項1に記載の生体粒子捕集装置。 - 前記生体粒子が流れる方向において互いに隣り合う2つの前記ユニットは、前記生体粒子が流れる方向から該2つの前記ユニットを見た場合に、手前に見える一方の前記ユニットの後に配置された他方の前記ユニットについて、該他方のユニットの少なくとも一部が見える、請求項2に記載の生体粒子捕集装置。
- アレイ状に配置された複数の前記ユニットは、複数のユニット群で構成されており、
前記ユニット群は、前記生体粒子が流れる方向と交差する方向に並んで配置された複数の前記ユニットで構成されており、
互いに隣り合う2つの前記ユニット群は、
前記生体粒子が流れる方向から該2つの前記ユニット群を見た場合に、手前に見える一方の前記ユニット群の配置位置と、該一方の前記ユニット群の後に配置された他方の前記ユニット群の配置位置とが、前記生体粒子が流れる方向と交差する方向において異なっている、請求項2に記載の生体粒子捕集装置。 - 前記1つのユニットの周囲には、前記誘電泳動力が作用した前記生体粒子を前記窪みに保持させるための第2壁が形成されている、請求項2から4のいずれか1項に記載の生体粒子捕集装置。
- 前記第1壁と前記第2壁とは、同一の材料で一体的に形成されている、請求項5に記載の生体粒子捕集装置。
- 前記第1壁は、前記生体粒子が流れる方向から見て、前記窪みよりも下流側に形成されており、
前記第1壁には、前記生体粒子よりも粒径が小さい他の生体粒子が通過できる空間が形成されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の生体粒子捕集装置。 - 前記電極は、前記半導体基板内における前記窪みの底面の直下の箇所に配置されており、
前記窪みの底面上には、厚さが1μm以下である、前記電極が前記溶媒と接触するのを防ぐための第2保護膜が形成されている、請求項1から5のいずれか1項に記載の生体粒子捕集装置。 - 前記第1壁は、前記電極の配置位置よりも前記半導体基板の底面側の反対側に形成された配線層にて構成され、かつ、前記半導体基板と対向する面以外の表面が、前記第2保護膜を形成する材料と同じ材料で形成された膜で覆われている、請求項8に記載の生体粒子捕集装置。
- 前記第2保護膜は、二酸化シリコンにて形成される、請求項8または9に記載の生体粒子捕集装置。
- 前記第1壁は、感光性の樹脂材料で形成されている、請求項1から6のいずれか1項に記載の生体粒子捕集装置。
- 前記半導体基板内における前記電極の直下の箇所には、前記生体粒子から放射される光を受光するフォトダイオードが埋設されている、請求項1から11のいずれか1項に記載の生体粒子捕集装置。
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