JP2016513828A - マスフローコントローラの改善された表示流量のためのシステム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
TCmax = A * error / rate_of_change
ここで、Aはスケーリング係数であり、システムのサンプリングレート、並びにTCmax、エラー(error )及び変化率(rate_of_change)の値の単位に依存する。
本特許出願は、2013年3月8日出願、タイトル「マスフローコントローラのリードバックシステム及び方法」であって、本明細書に明示的に援用され、本出願の譲受人へ譲受されている特許仮出願第61/775,094号明細書の優先権を主張する。
Claims (15)
- マスフローコントローラから表示流量を提供する方法において、
前記マスフローコントローラで制御されている流体の質量流量を示す測定流量信号を取得し、
前記流体の実際の質量流量を表す表示流量を生成するために、前記測定流量信号のフィルタリングを行い、
前記マスフローコントローラのオペレータへ前記表示流量を提供し、
前記測定流量信号をサンプリングし、前記測定流量信号のサンプルに基づいて前記流体の前記質量流量の変化率を決定し、
前記質量流量の前記変化率に基づいて、前記フィルタリングに関連して用いられる時定数を調整すること
を特徴とする方法。 - 前記時定数を、最大値に達するか、又は前記質量流量の前記変化率が閾値を超過するまで、増大させること
を特徴とする請求項1に記載の方法。 - 設定値が新たな設定値へ変化した場合に、
前記時定数を減少させ、
前記時定数が減少してから経過した時間を観測するタイマを初期化し、
経過した前記時間が時間閾値に達するまで、又は、前記新たな設定値が前記設定値の増大した値である場合に測定流量が前記設定値を超過するか、若しくは前記新たな設定値が前記設定値の減少した値である場合に前記測定流量が前記設定値未満に低下するまで、前記時定数を減少後のレベルに維持すること
を特徴とする請求項2に記載の方法。 - 前記新たな設定値が前記設定値の増大した値である場合に前記測定流量が前記設定値を超過しその後前記設定値未満に低下するまで、又は前記新たな設定値が前記設定値の減少した値である場合に前記測定流量が前記設定値未満に低下しその後前記設定値を超過するまで、前記時定数を減少後のレベルに維持すること
を特徴とする請求項3に記載の方法。 - 設定値が新たな設定値へ変化した場合に、
前記表示流量を提供された質量流量である前記表示流量の最終値を参照値としてメモリに保持し、
測定流量が前記新たな設定値へ到達していない間、円滑化処理を実行し、
該円滑化処理は、
前記測定流量が前記参照値未満である場合に、オペレータへの前記参照値に前記表示流量を提供し、
前記測定流量が前記参照値以上である場合に、前記参照値を前記測定流量に設定し、オペレータへの前記参照値に前記表示流量を提供することを含むこと
を特徴とする請求項1に記載の方法。 - 流体の質量流量を示す測定流量信号を提供する質量流量センサと、
前記測定流量信号を受け付け、表示流量出力を提供するプロセッサと、
該プロセッサに連結されており、前記測定流量信号のフィルタリングを行って前記表示流量出力を提供するためのプロセッサによる読み取りが可能な命令がコード化された、有体のプロセッサによる読み取りが可能な非一時的な記憶媒体とを備え、
前記命令は、
前記測定流量信号に基づいて前記流体の前記質量流量の変化率を決定する命令と、
前記質量流量の前記変化率に基づいて前記フィルタリングに関連して使用される時定数を調整する命令とを含むこと
を特徴とするマスフローコントローラ。 - 前記有体のプロセッサによる読み取りが可能な非一時的な記憶媒体は、前記時定数を、最大値に達するか又は前記質量流量の前記変化率が閾値を超過するまで増大させるための命令を含む、プロセッサによる読み取りが可能な命令がコード化されていること
を特徴とする請求項6に記載のマスフローコントローラ。 - 前記有体のプロセッサによる読み取りが可能な非一時的な記憶媒体は、プロセッサによる読み取りが可能な命令がコード化されており、
該命令は、
設定値が新たな設定値へ変化した場合に、
前記時定数を減少させる命令と、
前記時定数が減少してから経過した時間を観測するタイマを初期化する命令と、
経過した前記時間が時間閾値に達するまで、又は、前記新たな設定値が前記設定値の増大した値である場合に前記測定流量が前記設定値を超過するか、若しくは前記新たな設定値が前記設定値の減少した値である場合に前記測定流量が前記設定値未満に低下するまで、前記時定数を減少後のレベルに維持する命令とを含むこと
を特徴とする請求項7に記載のマスフローコントローラ。 - 前記有体のプロセッサによる読み取りが可能な非一時的な記憶媒体は、プロセッサによる読み取りが可能な命令がコード化されており、
該命令は、
前記新たな設定値が前記設定値の増大した値である場合に前記測定流量が前記設定値を超過しその後前記設定値未満に低下するまで、又は前記新たな設定値が前記設定値の減少した値である場合に前記測定流量が前記設定値未満に低下しその後前記設定値を超過するまで、前記時定数を減少後のレベルに維持する命令を含むこと
を特徴とする請求項8に記載のマスフローコントローラ。 - 前記有体のプロセッサによる読み取りが可能な非一時的な記憶媒体は、プロセッサによる読み取りが可能な命令がコード化されており、
該命令は、
前記表示流量出力として提供された質量流量値である最終表示流量値を参照値としてメモリに記憶する命令と、
測定流量が前記新たな設定値へ到達していない間、円滑化処理を実行する命令とを含んでおり、
前記円滑化処理は、
前記測定流量が前記参照値未満である場合に、前記参照値を前記表示流量出力として提供する処理と、
前記測定流量が前記参照値以上である場合に、前記参照値を前記測定流量に設定し、前記参照値を前記表示流量出力として提供する処理とを含むこと
を特徴とする請求項6に記載のマスフローコントローラ。 - マスフローコントローラに制御されている流体の質量流量を示す測定流量信号を取得する手段と、
前記流体の実際の質量流量を表す表示流量を生成するために、前記測定流量信号のフィルタリングを行う手段と、
前記マスフローコントローラのオペレータへ前記表示流量を提供する手段と、
前記測定流量信号をサンプリングし、前記測定流量信号のサンプルに基づいて前記流体の前記質量流量の変化率を決定する手段と、
前記質量流量の前記変化率に基づいて、前記フィルタリングに関連して用いられる時定数を調整する手段と
を備えることを特徴とするマスフローコントローラ。 - 前記時定数を、最大値に達するか、又は前記質量流量の前記変化率が閾値を超過するまで、増大させる手段を含むこと
を特徴とする請求項11に記載のマスフローコントローラ。 - 設定値が新たな設定値へ変化した場合に、
前記時定数を減少させる手段と、
前記時定数が減少してから経過した時間を観測するタイマを初期化する手段と、
経過した前記時間が時間閾値に達するまで、又は、前記新たな設定値が前記設定値の増大した値である場合に前記測定流量が前記設定値を超過するか、若しくは前記新たな設定値が前記設定値の減少した値である場合に前記測定流量が前記設定値未満に低下するまで、前記時定数を減少後のレベルに維持する手段と
を含むことを特徴とする請求項12に記載のマスフローコントローラ。 - 前記新たな設定値が前記設定値の増大した値である場合に前記測定流量が前記設定値を超過しその後前記設定値未満に低下するまで、又は前記新たな設定値が前記設定値の減少した値である場合に前記測定流量が前記設定値未満に低下しその後前記設定値を超過するまで、前記時定数を減少後のレベルに維持する手段を含むこと
を特徴とする請求項13に記載のマスフローコントローラ。 - 設定値が変化した場合に、
前記表示流量出力を提供された質量流量値である最終表示流量値を参照値としてメモリに記憶する手段と、
測定流量が前記新たな設定値へ到達していない間、円滑化処理を実行する手段とを含んでおり、
該手段は、
前記測定流量が前記参照値未満である場合に、前記参照値に前記表示流量を提供する手段と、
前記測定流量が前記参照値以上である場合に、前記参照値を前記測定流量に設定し、前記参照値に前記表示流量を提供する手段とを含むこと
を特徴とする請求項14に記載のマスフローコントローラ。
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