JP2016219199A - Method for manufacturing organic EL device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機EL装置の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an organic EL device.
上記有機EL(エレクトロルミネッセンス)装置は、陽極(画素電極)と陰極(対向電極)との間に有機発光材料からなる発光層(機能層)が挟持された発光素子を有している。有機EL装置は、例えば、特許文献1に記載のように、基板側から発光層、陰極、陰極保護層(第1封止層)、有機緩衝層(平坦化層)、ガスバリア層(第2封止層)の順に配置されている。 The organic EL (electroluminescence) device has a light emitting element in which a light emitting layer (functional layer) made of an organic light emitting material is sandwiched between an anode (pixel electrode) and a cathode (counter electrode). For example, as described in Patent Document 1, the organic EL device includes a light emitting layer, a cathode, a cathode protective layer (first sealing layer), an organic buffer layer (flattening layer), a gas barrier layer (second sealing layer) from the substrate side. (Stopping layer) are arranged in this order.
上記有機EL装置の製造方法は、基板上に陰極まで形成し、陰極の上に陰極保護層、有機緩衝層、及びガスバリア層(及びカラーフィルター)を順に形成する。次に、ガスバリア層まで形成した素子基板と、ガラス基板などからなる保護基板とを、接着層を介して貼り合わせることにより有機EL装置が完成する。 In the method of manufacturing the organic EL device, a cathode is formed on a substrate, and a cathode protective layer, an organic buffer layer, and a gas barrier layer (and a color filter) are sequentially formed on the cathode. Next, the organic EL device is completed by bonding the element substrate formed up to the gas barrier layer and a protective substrate made of a glass substrate or the like through an adhesive layer.
しかしながら、素子基板と保護基板とを貼り合わせた際に、保護基板に付着した異物(例えば、ガラス破片など)が挟み込まれ、ガスバリア層にダメージを与える場合がある。これにより、ガスバリア層から水分が侵入して陰極が腐食し、ダークスポットが発生するなど表示品質が劣化するという課題がある。また、異物が混入することにより、透過する際に異物と接触した光が散乱し、表示不良になるという課題がある。 However, when the element substrate and the protective substrate are bonded to each other, foreign substances (for example, glass fragments) attached to the protective substrate may be sandwiched and damage the gas barrier layer. Accordingly, there is a problem that display quality deteriorates such that moisture enters from the gas barrier layer, the cathode is corroded, and dark spots are generated. In addition, when foreign matter is mixed, there is a problem in that light that comes into contact with the foreign matter during transmission is scattered, resulting in poor display.
本発明の態様は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。 An aspect of the present invention has been made to solve at least a part of the above problems, and can be realized as the following forms or application examples.
[適用例1]本適用例に係る有機EL装置の製造方法は、基板上に有機EL素子を形成する工程と、前記有機EL素子を覆うように封止層を形成する工程と、前記封止層を覆うように積層造形法を用いて保護膜を形成する工程と、を有することを特徴とする。 Application Example 1 An organic EL device manufacturing method according to this application example includes a step of forming an organic EL element on a substrate, a step of forming a sealing layer so as to cover the organic EL element, and the sealing And a step of forming a protective film using an additive manufacturing method so as to cover the layer.
本適用例によれば、封止層を形成した後、積層造形法を用いて、封止層を覆うように保護膜を形成して封止層を保護するので、例えば、従来のように、封止層が形成された基板と保護ガラスとを貼り合せるような貼り合せ工程を省略することができる。よって、貼り合せる際に、封止層が形成された基板に異物(例えば、保護ガラスの破片)が付着することを防ぐことができる。これにより、異物を挟み込むことに起因して封止層にダメージが加わり、そこから水分などが侵入することを防ぐことが可能となり、高い表示品質を維持することができる。また、異物が混入することにより光が散乱するなど表示不良になることを抑えることができる。 According to this application example, after forming the sealing layer, the layered manufacturing method is used to form the protective film so as to cover the sealing layer and protect the sealing layer. A bonding step of bonding the substrate on which the sealing layer is formed and the protective glass can be omitted. Therefore, when bonding, a foreign material (for example, broken piece of protective glass) can be prevented from adhering to the substrate on which the sealing layer is formed. Thereby, it is possible to prevent the sealing layer from being damaged due to the inclusion of the foreign matter and prevent moisture and the like from entering from the damage, and high display quality can be maintained. In addition, it is possible to prevent display defects such as light scattering due to the inclusion of foreign matter.
[適用例2]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法において、前記封止層を形成する工程の後に、前記封止層の上にカラーフィルターを形成する工程を有し、前記保護膜を形成する工程は、前記封止層及び前記カラーフィルターを覆うように前記保護膜を形成することが好ましい。 Application Example 2 In the method for manufacturing an organic EL device according to the application example, the method includes a step of forming a color filter on the sealing layer after the step of forming the sealing layer, In the forming step, the protective film is preferably formed so as to cover the sealing layer and the color filter.
本適用例によれば、封止層の上にカラーフィルターを形成するので、例えば、白色発光が得られる有機EL素子と、赤(R)、緑(G)、青(B)の着色層を含むカラーフィルターとを組み合わせることにより、カラー表示を行うことができる。 According to this application example, since the color filter is formed on the sealing layer, for example, an organic EL element capable of obtaining white light emission and a colored layer of red (R), green (G), and blue (B) are provided. Color display can be performed by combining with a color filter including the color filter.
[適用例3]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法において、前記保護膜の厚みは、0.05mm〜5mmであることが好ましい。 Application Example 3 In the method for manufacturing an organic EL device according to the application example, the thickness of the protective film is preferably 0.05 mm to 5 mm.
本適用例によれば、0.05mm〜5mmの厚みの保護膜を形成するので、封止層を外的要因などから守ることが可能となり、封止層にダメージが加わることを抑えることができる。その結果、封止層から水分などが侵入することによる表示品質が劣化することを抑えることができる。 According to this application example, since the protective film having a thickness of 0.05 mm to 5 mm is formed, the sealing layer can be protected from external factors, and damage to the sealing layer can be suppressed. . As a result, it is possible to prevent display quality from being deteriorated due to intrusion of moisture or the like from the sealing layer.
[適用例4]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法において、前記積層造形法は、光造形法であることが好ましい。 Application Example 4 In the method for manufacturing an organic EL device according to the application example, the layered modeling method is preferably an optical modeling method.
本適用例によれば、光造形法を用いて保護膜を形成するので、例えば、紫外線を照射して保護膜となる樹脂を硬化させて形成するなど、比較的簡単な方法で形成することができる。 According to this application example, since the protective film is formed using the stereolithography, the protective film can be formed by a relatively simple method, for example, by curing the resin that becomes the protective film by irradiating ultraviolet rays. it can.
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。 DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings. Note that the drawings to be used are appropriately enlarged or reduced so that the part to be described can be recognized.
なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載され、特別な記載がなければ、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を含んでいるものとする。 In the following forms, for example, “on the substrate” is described, and unless otherwise specified, when arranged so as to be in contact with the substrate, or disposed on the substrate via other components. Or a case where a part is disposed on the substrate and a part is disposed via another component.
<有機EL装置>
まず、本実施形態の有機EL装置について、図1〜図3を参照して説明する。図1は本実施形態の有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図、図2は本実施形態の有機EL装置の構成を示す概略平面図、図3は有機EL装置の全体構造を示す概略断面図である。
<Organic EL device>
First, the organic EL device of the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is an equivalent circuit diagram showing the electrical configuration of the organic EL device of the present embodiment, FIG. 2 is a schematic plan view showing the configuration of the organic EL device of the present embodiment, and FIG. 3 shows the overall structure of the organic EL device. It is a schematic sectional drawing.
図1に示すように、本実施形態の有機EL装置100は、互いに交差する複数の走査線12及び複数のデータ線13と、複数のデータ線13のそれぞれに対して並列する複数の電源線14とを有している。複数の走査線12が接続される走査線駆動回路16と、複数のデータ線13が接続されるデータ線駆動回路15とを有している。また、複数の走査線12と複数のデータ線13との各交差部に対応してマトリックス状に配置された複数のサブ画素18を有している。
As shown in FIG. 1, the
サブ画素18は、発光素子としての有機EL素子30と、有機EL素子30の駆動を制御する画素回路20とを有している。
The
有機EL素子30は、画素電極31と、共通電極としての対向電極33と、画素電極31と対向電極33との間に設けられた有機発光層としての機能層32とを有している。このような有機EL素子30は電気的にダイオードとして表記することができる。なお、詳しくは後述するが、対向電極33は複数のサブ画素18に亘る共通陰極として形成されている。
The
画素回路20は、スイッチング用トランジスター21と、蓄積容量22と、駆動用トランジスター23とを含んでいる。2つのトランジスター21,23は、例えばnチャネル型もしくはpチャネル型の薄膜トランジスター(TFT:Thin Film transistor)やMOSトランジスターを用いて構成することができる。
The
スイッチング用トランジスター21のゲートは走査線12に接続され、ソースまたはドレインのうち一方がデータ線13に接続され、ソースまたはドレインのうち他方が駆動用トランジスター23のゲートに接続されている。
The gate of the
駆動用トランジスター23のソースまたはドレインのうち一方が有機EL素子30の画素電極31に接続され、ソースまたはドレインのうち他方が電源線14に接続されている。駆動用トランジスター23のゲートと電源線14との間に蓄積容量22が接続されている。
One of the source and drain of the
走査線12が駆動されてスイッチング用トランジスター21がオン状態になると、そのときにデータ線13から供給される画像信号に基づく電位がスイッチング用トランジスター21を介して蓄積容量22に保持される。
When the
該蓄積容量22の電位すなわち駆動用トランジスター23のゲート電位に応じて、駆動用トランジスター23のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用トランジスター23がオン状態になると、電源線14から駆動用トランジスター23を介して画素電極31と対向電極33とに挟まれた機能層32にゲート電位に応じた量の電流が流れる。有機EL素子30は、機能層32を流れる電流量に応じて発光する。
The on / off state of the driving
図2に示すように、有機EL装置100は、素子基板10を有している。素子基板10には、表示領域E0(図中、一点鎖線で表示)と、表示領域E0の外側に非表示領域E3とが設けられている。表示領域E0は、実表示領域E1(図中、二点鎖線で表示)と、実表示領域E1を囲むダミー領域E2とを有している。
As shown in FIG. 2, the
実表示領域E1には、発光画素としてのサブ画素18がマトリックス状に配置されている。サブ画素18は、前述したように有機EL素子30を備えており、スイッチング用トランジスター21及び駆動用トランジスター23の動作に伴って、青(B)、緑(G)、赤(R)のうちいずれかの色の発光が得られる構成となっている。
In the actual display area E1,
本実施形態では、同色の発光が得られるサブ画素18が第1の方向に配列し、異なる色の発光が得られるサブ画素18が第1の方向に対して交差(直交)する第2の方向に配列した、所謂ストライプ方式のサブ画素18の配置となっている。以降、上記第1の方向をY方向とし、上記第2の方向をX方向として説明する。なお、素子基板10におけるサブ画素18の配置はストライプ方式に限定されず、モザイク方式、デルタ方式であってもよい。
In the present embodiment, the sub-pixels 18 that can emit light of the same color are arranged in the first direction, and the second direction in which the sub-pixels 18 that can emit light of different colors intersect (orthogonal) the first direction. The so-called stripe-
ダミー領域E2には、主として各サブ画素18の有機EL素子30を発光させるための周辺回路が設けられている。例えば、図2に示すように、X方向において実表示領域E1を挟んだ位置にY方向に延在して一対の走査線駆動回路16が設けられている。一対の走査線駆動回路16の間で実表示領域E1に沿った位置に検査回路17が設けられている。
The dummy area E2 is provided with a peripheral circuit mainly for causing the
素子基板10のX方向に平行な一辺部(図中の下方の辺部)に、外部駆動回路との電気的な接続を図るためのフレキシブル回路基板(FPC)43が接続されている。FPC43には、FPC43の配線を介して素子基板10側の周辺回路と接続される駆動用IC44が実装されている。駆動用IC44は前述したデータ線駆動回路15を含むものであり、素子基板10側のデータ線13や電源線14は、FPC43を介して駆動用IC44に電気的に接続されている。
A flexible circuit board (FPC) 43 for electrical connection with an external drive circuit is connected to one side (the lower side in the figure) parallel to the X direction of the
表示領域E0と素子基板10の外縁との間、つまり非表示領域E3には、例えば各サブ画素18の有機EL素子30の対向電極33に電位を与えるための配線29などが形成されている。配線29は、FPC43が接続される素子基板10の辺部を除いて、表示領域E0を囲むように素子基板10に設けられている。
Between the display area E0 and the outer edge of the
次に、有機EL装置の構造について、図3を参照して説明する。図3は、有機EL装置の構造を模式的に示す概略断面図である。本実施形態における有機EL装置は、いわゆる「トップエミッション構造」の有機EL装置である。 Next, the structure of the organic EL device will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view schematically showing the structure of the organic EL device. The organic EL device in the present embodiment is a so-called “top emission structure” organic EL device.
図3に示すように、有機EL装置100は、基板としての基材11上に、配線や駆動用トランジスター23(図1参照)などが設けられ、その上に画素電極31が設けられている。更に、画素電極上に有機発光層などを有する機能層32が設けられている。機能層32は、陰極として機能する対向電極33によって覆われている。
As shown in FIG. 3, in the
なお、画素電極31と対向電極33とによって機能層32が挟持された部分が有機EL素子30となる。
The portion where the
対向電極33の上には、対向電極33及び基材11の上の全体に亘って、封止層34が形成されている。封止層34の上には、平面視で機能層32の領域と略重なるようにカラーフィルター36が形成されている。なお、平面視とは、基材11の表面に対して垂直方向から有機EL装置100を見た場合をいう。カラーフィルター36上には、保護膜としての封止層保護膜41が設けられている。
On the
基材11は、有機EL装置100がトップエミッション型のため、ガラスなどの透明基板や、シリコンやセラミックスなどの不透明な基板を用いることができる。
Since the
基材11上に形成された配線や駆動用トランジスター23は、絶縁層26によって覆われている。絶縁層26には、図示しないコンタクトホールが形成され、画素電極31が駆動用トランジスター23に電気的に接続されている。絶縁層26の上には、アルミ合金等からなる反射層25が内装された平坦化絶縁層27が形成されている。
The wiring and the driving
機能層32からの発光は、反射層25で反射されると共に、カラーフィルター36を透過して封止層保護膜41側(基材11と反対側)から取り出される。
Light emitted from the
平坦化絶縁層27上には、画素電極31と機能層32と対向電極33とによって構成された有機EL素子30が形成されている。また、この有機EL素子30を区分するように絶縁性の画素隔壁28が配置されている。
On the
画素電極31は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電膜を用いて形成される。なお、サブ画素18ごとに反射層25を設けない場合は、画素電極31を、光反射性を有するアルミニムやその合金を用いて形成してもよい。
The
機能層32は、各画素電極31に接するように、真空蒸着法やイオンプレーティング法などの気相プロセスを用いて形成される。
The
機能層32は、例えば、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層を有する。本実施形態では、画素電極31に対して、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層を、それぞれ気相プロセスを用いて成膜し、順に積層することによって機能層32が形成されている。なお、機能層32の層構成は、これに限定されず、キャリアである正孔や電子の移動を制御する中間層を含んでいてもよい。
The
有機発光層は、白色発光が得られる構成であればよく、例えば、赤色の発光が得られる有機発光層と、緑色の発光が得られる有機発光層と、青色の発光が得られる有機発光層とを組み合わせた構成を採用することができる。 The organic light emitting layer may be configured to obtain white light emission. For example, an organic light emitting layer capable of obtaining red light emission, an organic light emitting layer capable of obtaining green light emission, and an organic light emitting layer capable of obtaining blue light emission; It is possible to adopt a combination of the above.
機能層32を覆って対向電極33が形成される。対向電極33は、例えばMgとAgとの合金を光透過性と光反射性とが得られる程度の膜厚で成膜することによって形成される。これによって、複数の有機EL素子30が出来上がる。
A
なお、対向電極33を光透過性と光反射性とを有する状態に形成することによって、サブ画素18R,18G,18Bごとの反射層25と対向電極33との間で光共振器を構成してもよい。
In addition, an optical resonator is configured between the
次に、水や酸素などが浸入しないように複数の有機EL素子30を覆う封止層34が形成される。本実施形態の封止層34は、対向電極33側から順に、陰極保護層34a、有機緩衝層34b、及びガスバリア層34cが積層されたものである。
Next, a
有機緩衝層34bの端部は、平面視で、機能層32の端部より外側、かつ、陰極保護層34a及びガスバリア層34cの端部より内側になるように形成されている。カラーフィルター36の端部は、平面視で、機能層32の端部より外側、かつ、ガスバリア層34cの端部より内側になるように形成されている。封止層保護膜41の端部は、平面視で、ガスバリア層34cの端部より外側になるように形成されている。
The end portion of the
この陰極保護層34aは、光透過性を有すると共に優れたガスバリア性を有するシリコン系の材料、例えば、酸窒化シリコン(SiON)などを用いることが好ましい。なお、SiO2を用いるようにしてもよい。また、陰極保護層34aの膜厚は、例えば、200nm程度である。
The cathode
陰極保護層34aの上には、有機緩衝層34bが設けられている。有機緩衝層34bは、画素隔壁28などの形状の影響により、凹凸状に形成された陰極保護層34aの凹凸部分を埋めるように配置され、さらに、その上面は略平坦に形成される。有機緩衝層34bは、素子基板10の反りや体積膨張により発生する応力を緩和し、不安定な形状の画素隔壁28からの陰極保護層34aの剥離を防止する機能を有する。
An
また、有機緩衝層34bの上面が略平坦化されるので、有機緩衝層34b上に形成される硬い被膜からなるガスバリア層34cも平坦化される。したがって、応力が集中する部位がなくなり、ガスバリア層34cでのクラックの発生を防止する。さらに、画素隔壁28を被覆して凹凸が埋められることで、ガスバリア層34c上に形成されるブラックマトリクス36aや着色層36R,36G,36Bの膜厚均一性を向上させることにも有効である。
Further, since the upper surface of the
有機緩衝層34bは、熱安定性に優れた例えばエポキシ系樹脂や塗布型の無機材料(酸化シリコンなど)を用いて形成することができる。また、有機緩衝層34bをスクリーン印刷法により塗布形成すれば、有機緩衝層34bの表面を平坦化することができる。つまり、有機緩衝層34bは、陰極保護層34aの表面の凹凸を緩和する平坦化層としても機能させることができる。有機緩衝層34bの厚みは、2μm程度である。
The
ガスバリア層34cは、酸素や水分が浸入するのを防止するためのもので、これにより酸素や水分による有機EL素子30の劣化等を抑えることができる。ガスバリア層34cとしては、光透過性を有すると共に優れたガスバリア性を有するシリコン系の材料、例えば、酸窒化シリコン(SiON)などを用いることが好ましい。
The
ガスバリア層34cの上には、カラーフィルター36が形成されている。具体的には、カラーフィルター36を構成する各色着色層36(赤色着色層36R、緑色着色層36G、青色着色層36B)と、各色着色層の間にブラックマトリクス36aとが形成されている。
A
ブラックマトリクス36aは、例えば、カーボンブラック等の顔料が混入された樹脂からなる遮光層であり、適切な色変換を行うため、前述した各着色層36R,36G,36Bの隣接する画素領域間の光漏れを防止するものである。
The
カラーフィルター36、ガスバリア層34c、及び基材11上の全体には、封止層保護膜41が形成されている。封止層保護膜41は、例えば、透明樹脂で形成されている。透明樹脂としては、例えば、紫外線などで硬化するエポキシ樹脂やアクリル樹脂などである。
A sealing layer
封止層保護膜41は、従来の接着層、シール材、及び対向基板に代わるものである。つまり、対向基板レスである。そして、封止層保護膜41を形成した段階(分断工程などを含む)で有機EL装置100が完成となる。
The sealing layer
封止層保護膜41の形成範囲としては、上記したように、ガスバリア層34c(陰極保護層34a)の端部より外側である。封止層保護膜41の形成方法としては、詳細は後述するが、光造形法など積層造形法を用いることができる。封止層保護膜41の膜厚は、例えば、0.05mm〜5mmの範囲である。
As described above, the formation range of the sealing layer
このように、保護ガラス(対向基板)を用いることなく有機EL装置100を完成させるので、従来のように、保護ガラスと基材11側とを貼り合わせるときに付着した異物に起因して発生する散乱光など表示不良になることを防ぐことができる。更に、ガスバリア層34cにダメージが加わることによる表示不良の発生を防ぐことができる。その結果、初期の表示不良を低減させることが可能となり、歩留り及び信頼性を向上させることができる。
Thus, since the
<有機EL装置の製造方法>
次に、本実施形態の有機EL装置の製造方法について、図4〜図7を参照して説明する。図4は、有機EL装置の製造方法を示すフローチャートである。図5〜図7は、有機EL装置の製造方法のうち一部の製造工程を示す概略断面図である。
<Method for manufacturing organic EL device>
Next, a method for manufacturing the organic EL device of this embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a flowchart showing a method for manufacturing the organic EL device. 5 to 7 are schematic cross-sectional views illustrating some of the manufacturing steps in the method for manufacturing the organic EL device.
図4に示すように、本実施形態の有機EL装置100の製造方法は、陰極保護層形成工程(ステップS11)と、有機緩衝層形成工程(ステップS12)と、ガスバリア層形成工程(ステップS13)と、カラーフィルター形成工程(ステップS14)と、封止層保護膜形成工程(ステップS15)とを備えている。なお、基材11上に駆動用トランジスター23や有機EL素子30などを形成する方法は、公知の方法を採用することができる。
As shown in FIG. 4, the manufacturing method of the
したがって、図5〜図7では、基材11上における駆動用トランジスター23や有機EL素子30などの構成の表示を省略している。以降、本発明の特徴部分の製造方法を中心に説明する。
Therefore, in FIGS. 5 to 7, the display of the configuration of the driving
まず、図4に示すように、ステップS11では、対向電極33を覆うように陰極保護層34aを形成する。具体的には、図5(a)に示すように、対向電極33までが形成された基材11上に、酸窒化シリコン(SiON)などからなる陰極保護層34aを形成する。
First, as shown in FIG. 4, in step S <b> 11, the cathode
陰極保護層34aの形成方法としては、例えば、真空蒸着法やスパッタ法などが挙げられる。陰極保護層34aの膜厚は、例えば、200nm程度である。
Examples of the method for forming the cathode
ステップS12では、有機緩衝層34bを形成する。具体的には、図5(b)に示すように、例えば、スクリーン印刷法を用いて、陰極保護層34aの上に有機緩衝層34bを形成する。有機緩衝層34bは、例えば、エポキシ樹脂である。有機緩衝層34bの膜厚は、例えば、2μm程度である。
In step S12, the
ステップS13では、ガスバリア層34cを形成する。具体的には、図5(c)に示すように、有機緩衝層34bの上に、例えば、真空蒸着法やスパッタ法を用いてガスバリア層34cを形成する。ガスバリア層34cの材料は、例えば、酸窒化シリコン(SiON)である。ガスバリア層34cの膜厚は、例えば、およそ200nm〜400nmである。
In step S13, the
なお、陰極保護層34a及びガスバリア層34cの膜厚を厚くすることで高いガスバリア性を実現できるが、その一方で膨張や収縮によってクラックが生じ易い。したがって、200nm〜400nm程度の膜厚に制御することが好ましい。
In addition, although the high gas barrier property is realizable by making the film thickness of the cathode
ステップS14では、カラーフィルター36を形成する。具体的には、図6(d)に示すように、まず、ガスバリア層34cの上に、ブラックマトリクス36aを形成する。ブラックマトリクス36aの製造方法としては、大気雰囲気下でブラックマトリクス36aの材料液を、例えば、インクジェット法によりガスバリア層34cの表面に塗布していく。次に、ブラックマトリクス36aの材料液を、乾燥硬化させる。
In step S14, the
次に、図6(e)に示すように、ブラックマトリクス36aが形成された素子基板10に、着色層36R,36G,36Bを形成する。具体的には、大気雰囲気下でガスバリア層34cの表面のブラックマトリクス36aが形成された領域の間に各着色層36R,36G,36Bの材料液をインクジェット法により塗布していく。次に、着色層36R,36G,36Bの材料液が塗布された素子基板10を乾燥硬化させることで、各色のサブ画素18R,18G,18Bに対応した着色層36R,36G,36Bが形成されたカラーフィルター36が完成する。
Next, as shown in FIG. 6E,
ステップS15では、封止層保護膜41を形成する。具体的には、図7を参照しながら説明する。封止層保護膜41は、上記したように、積層造形法の一つである光造形法を用いて形成する。なお、図7に示す図は、複数の有機EL装置100が複数面付けされた大型基板100aに処理を施す場合を示している。
In step S15, the sealing layer
図7(a)に示す工程では、1回目の紫外線照射を行う。まず、カラーフィルター36まで形成された大型基板100aを、造形ステージ51上に載置し、固定治具52を用いて大型基板100aを固定する。次に、紫外線照射型の液体樹脂53が溜められた液槽に、大型基板100aを入れる。
In the step shown in FIG. 7A, the first ultraviolet irradiation is performed. First, the
次に、大型基板100aの上面が液体樹脂53に浸る程度の高さになるように造形ステージ51の高さを調整する。その後、有機EL装置100となる場所に紫外線レーザーを照射して、液体樹脂53を硬化させる。これにより、1層目の封止層保護膜41aが形成される。
Next, the height of the
図7(b)に示す工程では、1層目の封止層保護膜41aの高さ分が下がるように、造形ステージ51の高さを降下させる。次に、上記したように、有機EL装置100となる場所に紫外線レーザーを照射する。これにより、2層目の封止層保護膜41aが形成される。以降、上記と同様の要領で、2層目以降を形成する。これにより、図7(c)に示すように、積層して形成された封止層保護膜41が完成する。
In the step shown in FIG. 7B, the height of the
なお、紫外線レーザーによる有機EL素子30へのダメージを防止するために、例えば、対向電極33(陰極)とガスバリア層34cとの間のいずれかの層間に、紫外線吸収層を予め形成しておくことが望ましい。
In order to prevent damage to the
紫外線吸収層としては、例えば、酸化亜鉛(ZnO)、酸化チタン(TiO2)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)、酸化タングステン(WO3)、酸化錫(SnO2)、酸化ニオブ(Nb2O6)、タンタル酸カリウム(KTaO3)、酸化鉄(FeO3)などが挙げられる。 Examples of the ultraviolet absorbing layer include zinc oxide (ZnO), titanium oxide (TiO 2 ), strontium titanate (SrTiO 3 ), tungsten oxide (WO 3 ), tin oxide (SnO 2 ), and niobium oxide (Nb 2 O 6). ), Potassium tantalate (KTaO 3 ), iron oxide (FeO 3 ) and the like.
紫外線吸収層の厚みとしては、10nm以上であることが好ましい。ただ、膜厚が厚くなると、光の透過性が悪くなるので、要求される品質に応じて膜厚を設定することが好ましい。 The thickness of the ultraviolet absorbing layer is preferably 10 nm or more. However, as the film thickness increases, the light transmittance deteriorates. Therefore, it is preferable to set the film thickness according to the required quality.
その後、大型基板100aを各有機EL装置100の大きさに切断することにより、図6(f)に示すような有機EL装置100が完成する。
Thereafter, the
このように、保護ガラス(対向基板)を用いることなく有機EL装置100を完成させるので、従来のように、保護ガラスと基材11側とを貼り合わせるときに付着している異物に起因して発生する散乱光など表示不良になることを防ぐことができる。更に、ガスバリア層34cにダメージが加わることによる表示不良の発生を防ぐことができる。その結果、初期の表示不良を低減させることが可能となり、歩留り及び信頼性を向上させることができる。
Thus, since the
<電子機器>
次に、本実施形態の電子機器について、図8を参照して説明する。図8は、電子機器としてのヘッドマウントディスプレイ(HMD)の構成を示す概略図である。
<Electronic equipment>
Next, the electronic apparatus of this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a configuration of a head mounted display (HMD) as an electronic apparatus.
図8に示すように、ヘッドマウントディスプレイ1000は、上記有機EL装置100を備えたものであり、眼鏡のような形状を有する本体部115と、使用者の手で持つことが可能な程度の大きさを有する制御部200と、を備える。
As shown in FIG. 8, the head mounted
本体部115と制御部200とは、有線または無線で、通信可能に接続される。本実施形態では、本体部115と制御部200とがケーブル300で通信可能に接続されている。そして、本体部115と制御部200とは、このケーブル300を介して、画像信号や制御信号を通信する。
The
本体部115は、右目用表示部115Aと、左目用表示部115Bとを備えている。右目用表示部115Aは、右目用画像の画像光を形成する画像形成部120Aを備える。左目用表示部115Bは、左目用画像の画像光を形成する画像形成部120Bを備える。
The
画像形成部120Aは、眼鏡型の本体部115において眼鏡のつる部分(右側)に収容されている。一方、画像形成部120Bは、眼鏡型の本体部115において眼鏡のつる部分(左側)に収容されている。
The image forming unit 120 </ b> A is housed in the eyeglass-shaped
本体部115には、光透過性を有する視認部131Aが設けられている。視認部131Aは、右目用画像の画像光を使用者の右目に向けて射出する。また、ヘッドマウントディスプレイ1000においては、視認部131Aが光透過性を有し、視認部131Aを介して周囲を視認可能となっている。
The
また、本体部115には、光透過性を有する視認部131Bが設けられている。視認部131Bは、左目用画像の画像光を使用者の左目に向けて射出する。また、ヘッドマウントディスプレイ1000においては、視認部131Bが光透過性を有し、視認部131Bを介して周囲を視認可能となっている。
The
制御部200は、操作部210と、操作ボタン部220、を備える。使用者は、制御部200の操作部210や操作ボタン部220に対して操作入力を行い、本体部115に対する指示を行う。
The
このような電子機器によれば、上記有機EL装置100を備えているので、信頼性の高い電子機器を提供することができる。
According to such an electronic device, since the
なお、上記有機EL装置100が搭載される電子機器としては、ヘッドマウントディスプレイ1000の他、例えば、ヘッドアップディスプレイ(HUD)、プロジェクター、スマートフォン、EVF(Electrical View Finder)、携帯電話、モバイルコンピューター、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、車載機器、照明機器など各種電子機器に用いることができる。
In addition to the head-mounted
以上詳述したように、本実施形態の有機EL装置100の製造方法によれば、以下に示す効果が得られる。
As described above in detail, according to the method for manufacturing the
(1)本実施形態の有機EL装置100の製造方法によれば、封止層34及びカラーフィルター36を形成した後、光造形法を用いて、封止層34を覆うように封止層保護膜41を形成して封止層34を保護するので、例えば、従来のように、封止層34が形成された基材11と保護ガラスとを貼り合せる場合のような貼り合せ工程を省略することができる。よって、貼り合せる際に、封止層34が形成された基材11に異物(例えば、保護ガラスの破片)が付着することを防ぐことができる。これにより、異物を挟み込むことに起因して封止層34にダメージが加わり、そこから水分などが侵入することを防ぐことが可能となり、高い表示品質を維持することができる。また、異物が混入することにより光が散乱するなど表示不良になることを抑えることができる。
(1) According to the manufacturing method of the
(2)本実施形態の有機EL装置100の製造方法によれば、0.05mm〜5mmの厚みの封止層保護膜41を形成するので、封止層34を外的要因などから守ることが可能となり、封止層34にダメージが加わることを抑えることができる。その結果、封止層34から水分などが侵入することによる表示品質が劣化することを抑えることができる。
(2) According to the manufacturing method of the
なお、本発明の態様は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、本発明の態様の技術範囲に含まれるものである。また、以下のような形態で実施することもできる。 The aspect of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the spirit or idea of the invention that can be read from the claims and the entire specification. It is included in the range. Moreover, it can also implement with the following forms.
(変形例1)
上記したように、封止層保護膜41を形成する方法として、光造形法を用いたが、これに限定されず、積層造形法のうちその他の方法を用いるようにしてもよい。
(Modification 1)
As described above, the optical modeling method is used as a method of forming the sealing layer
10…素子基板、11…基板としての基材、12…走査線、13…データ線、14…電源線、15…データ線駆動回路、16…走査線駆動回路、17…検査回路、18,18R,18G,18B…サブ画素、20…画素回路、21…トランジスター、22…蓄積容量、23…駆動用トランジスター、25…反射層、26…絶縁層、27…平坦化絶縁層、28…画素隔壁、29…配線、30…有機EL素子、31…画素電極、32…機能層、33…対向電極、34…封止層、34a…陰極保護層、34b…有機緩衝層、34c…ガスバリア層、36…着色層、36B…青色着色層、36G…緑色着色層、36R…赤色着色層、36a…ブラックマトリクス、41,41a…保護膜としての封止層保護膜、43…FPC、44…駆動用IC、51…造形ステージ、52…固定治具、100…有機EL装置、100a…大型基板、115…本体部、115A…右目用表示部、115B…左目用表示部、120A,120B…画像形成部、131A,131B…視認部、200…制御部、210…操作部、220…操作ボタン部、300…ケーブル、1000…ヘッドマウントディスプレイ。
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記有機EL素子を覆うように封止層を形成する工程と、
前記封止層を覆うように積層造形法を用いて保護膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 Forming an organic EL element on the substrate;
Forming a sealing layer so as to cover the organic EL element;
Forming a protective film using an additive manufacturing method so as to cover the sealing layer;
A method for producing an organic EL device, comprising:
前記封止層を形成する工程の後に、前記封止層の上にカラーフィルターを形成する工程を有し、
前記保護膜を形成する工程は、前記封止層及び前記カラーフィルターを覆うように前記保護膜を形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 It is a manufacturing method of the organic EL device according to claim 1,
After the step of forming the sealing layer, the step of forming a color filter on the sealing layer,
The step of forming the protective film includes forming the protective film so as to cover the sealing layer and the color filter.
前記保護膜の厚みは、0.05mm〜5mmであることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 It is a manufacturing method of the organic EL device according to claim 1 or 2,
The thickness of the said protective film is 0.05 mm-5 mm, The manufacturing method of the organic EL apparatus characterized by the above-mentioned.
前記積層造形法は、光造形法であることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 It is a manufacturing method of the organic EL device according to any one of claims 1 to 3,
The method for manufacturing an organic EL device is characterized in that the layered manufacturing method is an optical modeling method.
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Cited By (1)
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JP2018147812A (en) * | 2017-03-08 | 2018-09-20 | Jsr株式会社 | Organic el display device and manufacturing method of the same, and curable composition for forming ultraviolet absorbing layer |
-
2015
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