JP2016217347A - 真空ポンプのローター - Google Patents
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Abstract
Description
其々、ローター軸に少なくとも基本的に直角であるローター面に対するその調整角度は、このローター面の領域のねじ80のピッチ(独語:Steigung)によって決定される。
12 インレットフランジ
14 ポンプインレット
16 ハウジング
18 ローターシャフト
20 ローターシャフト
22 ローターディスク
24 ステーターディスク
26 スペーサーリング
28 吸い込み領域
30 矢印
32 ローターハブ
34 ホルベックロータースリーブ
36 ホルベックロータースリーブ
38 ホルベックステータースリーブ
40 ホルベックステータースリーブ
42 ローラー支承部
44 永久磁石支承部
46 ローター側の支承半部
48 ステーター側の支承半部
50 永久磁石リング
52 永久磁石リング
54 半径方向の支承間隙
56 緊急用又は安全用支承部
58 円すい形のスプラッシュナット
60 吸収性のディスク
62 駆動モーター
64 制御ユニット
66 ローター
68 ローター軸
70 ローターシャフト
72 ローター羽根
72’ ローター羽根
74 高真空領域
76 予真空又は低真空領域
78 シリンダー状のベースボディ
80 ねじ
82 環状溝
84 中真空領域
86 鋸パス
Claims (15)
- 真空ポンプ、特にターボ分子ポンプのローター(66)であって、ローター軸(68)を中心として回転可能に支承されたローターシャフト(70)と、該ローターシャフト(70)に設けられ、軸方向に連続し、其々複数のローター羽根(72)を有する複数のローター面を有し、その際、真空ポンプの吸入側の高真空領域(74)内の各ローター面内のローター羽根(72)の数量が、真空ポンプの予真空又は低真空領域(76)の各ローター面内におけるそれよりも、特に2倍から4倍だけ少ないことを特徴とするローター。
- ローター(66)は、軸方向に連続し、各ローター面内のローター羽根(72)の数量が異なる少なくとも二つの領域に区分されており、そして各ローター面内のローター羽根(72)の数量は、軸方向でみて、真空ポンプの高真空領域(74)から真空ポンプの予真空又は低真空領域(76)の方に向かって増加することを特徴とする請求項1に記載のローター。
- ローター(66)が、軸方向に連続し、各ローター面内のローター羽根(72)の数量が異なる二つの領域に区分されており、そして高真空領域(74)内における各ローター面内のローター羽根の数量が、真空ポンプのこれに続く領域内における各ローター面内のローター羽根(72)の数量よりも、2倍分だけ少ないことを特徴とする請求項1または2に記載のローター。
- ローター(66)が、軸方向に連続し、各ローター面内のローター羽根(72)の数量が異なる三つの領域に区分されており、そして高真空領域(74)内における各ローター面内のローター羽根(72)の数量が、真空ポンプのこれに続く領域内、特に中真空領域内における各ローター面内のローター羽根(72)の数量よりも2倍分だけ少なく、そして、真空ポンプの予真空又は低真空領域(76)内における各ローター面内のローター羽根(72)の数量よりも3倍又は4倍分だけ少ないことを特徴とする請求項1または2に記載のローター。
- ローターが(66)が、軸方向に連続し、各ローター面内におけるローター羽根(72)の数量が異なる四つの領域に区分されており、そして各ローター面内のローター羽根(72)の数量が、高真空領域(74)から出発して、真空ポンプの予真空又は低真空領域(76)に向かって1:2:3:4の比率で増加することを特徴とする請求項1または2に記載のローター。
- ローター羽根構造が、予真空又は低真空領域(76)から出発して、真空ポンプの高真空領域(74)に向かって開かれることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のローター。
- ローター(66)が、傾斜したローター羽根(72)を有し、その調整角度が、ローター軸(68)に少なくとも基本的に直角である各ローター面に対して20°から35°の領域にあることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のローター。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載少なくとも一つのローター(66)を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ。
- 真空ポンプ、特にターボ分子ポンプのローター(66)の製造方法、特に請求項1から7のいずれか一項に記載の真空ポンプのローター(66)の製造方法であって、
当該方法において、ローターシャフト(70)と該ローターシャフト(70)に設けられた複数のローター羽根(72)を有するローター(66)が、一体に、中実材料から成るシリンダー状の一つのベースボディ(78)から製造されており、
これは、ローターシャフト(70)に設けられ、軸方向に連続し、其々複数のローター羽根を有する複数のローター面の製造の為に、ねじ(80)がシリンダー状のベースボディ(78)内に切り込まれ、そして、ローター軸(68)に少なくとも基本的に直角な異なる面内において、複数の環状溝(82)がベースボディ(78)内に設けられることによって製造され、そして、
引き続いて、軸方向でみて真空ポンプの高真空領域(74)の方に開かれたローター羽根構造の製造の為に、真空ポンプの高真空領域(74)内における少なくとも一つのローター面の製造されるローター羽根(72)の一部がとりのぞかれることを特徴とする方法。 - 其々、複数のローター羽根(72)を有する複数のローター面の製造の為に、まずねじ(80)がシリンダー状のベースボディ(78)内に切り込まれ、そして引き続いて環状右(82)が、ローター軸(68)に対して其々少なくとも基本的に直角な異なる面内に設けられるか、またはその逆が行われることを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 1条または多条のねじ(80)がシリンダー状のベースボディ(78)内に切り込まれることを特徴とする請求項9または10に記載の方法。
- ねじ(80)が、円形状の鋸ディスク又は側フライスによってシリンダー状のベースボディ(78)内に切り込まれることを特徴とする請求項9から11に記載の方法。
- 環状溝(82)が旋盤上で、又は鋸ディスク又は側フライスによってシリンダー状のベーブボディ(78)に設けられることを特徴とする請求項9から12のいずれか一項に記載の方法。
- 複数の環状溝(82)の間の異なる軸方向の間隔によって、相応して異なる軸方向高さのローター羽根(72)が製造されることを特徴とする請求項9から13のいずれか一項に記載の方法。
- 傾斜したローター羽根(72)が製造され、ローター軸(68)に少なくとも基本的に直角なローター面に対するその調整角度が、このローター面の領域におけるねじ(80)のピッチによって決定されることを特徴とする請求項9から14のいずれか一項に記載の方法。
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