JP2016216268A - 水酸化インジウム粉の製造方法及び酸化インジウム粉の製造方法、並びにスパッタリングターゲット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電解液として硝酸アンモニウム水溶液に、インジウムを含む陽極を用いた電解反応により水酸化インジウム粉を得る水酸化インジウム粉の製造方法であって、電解液のpHが2.5〜4.0、液温が20℃〜60℃の範囲で、所定時間電解して電解スラリーを作製する生成工程S1と、電解スラリーのpHが2.5〜4.0、液温が20℃〜60℃の条件下で、保持時間が3時間〜24時間の範囲で撹拌して、電解スラリーを溶解及び再結晶化させる溶解及び再結晶化工程S2とを備える。
【選択図】図1
Description
1.酸化インジウム粉の製造方法
1−1.水酸化インジウム粉の生成工程
1−2.水酸化インジウム粉の溶解及び再結晶化工程
1−3.水酸化インジウム粉の回収工程
1−4.水酸化インジウム粉の乾燥工程
1−5.酸化インジウム粉の生成工程
2.スパッタリングターゲットの製造方法
本実施の形態に係る酸化インジウム粉の製造方法は、図1に示すように、電解法により水酸化インジウム粉を生成する水酸化インジウム粉の生成工程S1(以下、「生成工程」ともいう。)と、生成された水酸化インジウム粉を溶解及び再結晶化する水酸化インジウム粉の溶解及び再結晶化工程S2(以下、「溶解及び再結晶化工程」ともいう。)と、溶解及び再結晶化された水酸化インジウム粉を回収する水酸化インジウム粉の回収工程S3(以下、「回収工程」ともいう。)と、回収した水酸化インジウム粉を乾燥する水酸化インジウム粉の乾燥工程S4(以下、「乾燥工程」ともいう。)と、乾燥した水酸化インジウム粉を仮焼して酸化インジウム粉を得る酸化インジウム粉の生成工程S5とを有する。
生成工程S1では、インジウムを含む陽極と、陰極とを電解液に浸漬させ、電解反応により水酸化インジウム粉を生成する。
溶解及び再結晶化工程S2では、水酸化インジウム粉の生成工程S1で生成された水酸化インジウム粉を固液分離せず、電解後の電解スラリーを所定の条件下で、溶解及び再結晶化させる。
回収工程S3は、溶解及び再結晶化工程S2で生成された溶解及び再結晶化スラリーに含まれる水酸化インジウム粉を電解液から固液分離し、分離した水酸化インジウム粉を純水で洗浄して再び固液分離して回収する。
乾燥工程S4では、回収工程S3において回収した水酸化インジウム粉の乾燥を所定の条件で行う。
酸化インジウム粉の生成工程S5では、乾燥工程S4による乾燥後の水酸化インジウム粉を仮焼して酸化インジウム粉を生成する。仮焼条件は、適宜決定するが、例えば仮焼温度を600℃〜800℃、仮焼時間を1時間〜10時間で行うことが好ましい。
スパッタリングターゲットの製造方法は、先ず、上述した酸化インジウム粉の製造方法により得られた酸化インジウム粉を酸化スズ粉等のターゲットの他の原料と所定の割合で混合し造粒粉を作製する。次に、造粒粉を用いて例えばコードプレス法により成型体を作製する。次に、成型体を大気圧下で例えば1300℃〜1600℃の温度範囲内で焼結を行う。次に、必要に応じて、焼結体の平面や側面を研磨する等の加工を行う。そして、焼結体をCu製のバッキングプレートにボンディングすることにより、酸化インジウムスズスパッタリングターゲット(ITOスパッタリングターゲット)を得ることができる。
電解槽(長さ50cm×幅40cm×高さ50cm)には、巾26cm、高さ40cm、厚み4mmのチタン金属板からなる陰極4枚と、純度99.999%のインジウム金属を巾26cm、高さ40cm、厚み8mmの板状に成型した陽極3枚を交互に配置し、pHを3.5に調整した液温40℃、1.0mol/Lの硝酸アンモニウム水溶液を90L入れたものを用意した。陰極と陽極の間の距離は2.0cmに調節した。生成工程では、アノード電流密度を15A/dm2(槽電流936A)に調節して6時間実施した。
実施例2乃至8では、電解条件を実施例1と同様にして電解スラリーを生成した。また、実施例2乃至8では、各実施例で得られた電解スラリーの溶解及び再結晶化工程の条件を表1に示すように調整して、水酸化インジウム粉及び酸化インジウム粉を作製した。さらに、実施例2乃至8では、各実施例で得られた酸化インジウム粉を用いること以外は実施例1と同様にして焼結体を作製した。
実施例9,10では、電解後の電解スラリーの固形分濃度が表1に示す値になるように、生成工程における電解時間を調整して、電解スラリーを生成した。また、実施例9,10では、各実施例で得られた電解スラリーの溶解及び再結晶化工程の条件を表1に示すように調整して、水酸化インジウム粉及び酸化インジウム粉を作製した。さらに、実施例9,10では、各実施例で得られた酸化インジウム粉を用いること以外は実施例1と同様にして焼結体を作製した。
比較例1乃至7では、電解条件を実施例1と同様にして電解スラリーを作製した。また、比較例1では、表1に示すように、溶解及び再結晶化工程を行わなかったこと以外実施例1と同様に、水酸化インジウム粉及び酸化インジウム粉を作成した。また、比較例2乃至7では、各比較例で得られた電解スラリーの溶解及び再結晶化工程の条件を表1に示すように調整して、水酸化インジウム粉及び酸化インジウム粉を作製した。さらに、比較例1乃至7では、各比較例で得られた酸化インジウム粉を用いること以外は実施例1と同様にして焼結体を作製した。
比較例8,9では、電解後の電解スラリーの固形分濃度が表1に示す値になるように、生成工程における電解時間を調整して、電解スラリーを作製した。また、比較例8,9では、各比較例で得られた電解スラリーの溶解及び再結晶化工程の条件を表1に示すように調整して、水酸化インジウム粉及び酸化インジウム粉を作製した。さらに、比較例8,9では、各比較例で得られた酸化インジウム粉を用いること以外は実施例1と同様にして焼結体を作製した。
Claims (6)
- 電解液として硝酸アンモニウム水溶液に、インジウムを含む陽極を用いた電解反応により水酸化インジウム粉を得る水酸化インジウム粉の製造方法であって、
上記電解液のpHが2.5〜4.0、液温が20℃〜60℃の範囲で、所定時間電解して電解スラリーを作製する生成工程と、
上記電解スラリーのpHが2.5〜4.0、液温が20℃〜60℃、保持時間が3時間〜24時間の範囲で撹拌して、該電解スラリーを溶解及び再結晶化させる溶解及び再結晶化工程とを有することを特徴とする水酸化インジウム粉の製造方法。 - 上記電解スラリーの固形分濃度が5重量%以上、20重量%以下に制御されることを特徴とする請求項1に記載の水酸化インジウム粉の製造方法。
- 上記生成工程では、上記所定時間が少なくとも3時間以上で電解することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の水酸化インジウム粉の製造方法。
- 上記溶解及び再結晶化工程では、上記電解スラリーが飽和状態から過飽和状態に変化することを、上記保持時間内に複数回繰り返すことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の水酸化インジウム粉の製造方法。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の水酸化インジウム粉の製造方法により得られた水酸化インジウム粉を用いることを特徴とする酸化インジウム粉の製造方法。
- 請求項5に記載の酸化インジウム粉の製造方法により得られた酸化インジウム粉を用いて作製したことを特徴とするスパッタリングターゲット。
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