JP2016213317A - 薄膜太陽電池の加工装置、および、薄膜太陽電池の加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
この加工装置によれば、押付力が強められる部分が第2のスクライブラインの加工終了点を含む狭い範囲に限定されるため、第2のスクライブラインの形成時に刃物にかかる負荷が一層軽減される。
この加工装置によれば、第2のスクライブラインの形成時において刃物が往復する部分の薄膜または積層途中の薄膜が確実に除去され、引き続き加工される第1のスクライブラインの加工開始点においても薄膜または積層途中の薄膜が確実に除去され、第1のスクライブラインが安定して形成される。
この加工装置によれば、刃先の断面が角を含む場合と比較して、刃先が摩耗した場合における刃先の初期の形状からの変化の度合が小さいため、同一の刃物が長期間にわたって使用される場合においてスクライブラインの仕上がり品質がばらつきにくい。
図1は薄膜太陽電池1を製造する機能を備えた加工装置100の斜視図である。加工装置100は各種の構成要素を収容する本体110、製造途中の薄膜太陽電池1が載せられるステージ130、その薄膜太陽電池1を加工するヘッド150、ヘッド150をステージ130に対して相対的に移動させるヘッドガイド170、ステージ130の様子を撮影するカメラ140、および、ヘッド150等の動作を制御する制御装置120を備える。
(1)加工装置100は、互いに平行でありX方向に隣り合う一方の第1のスクライブライン31の加工終了点30Yから他方の第1のスクライブライン31の加工開始点30Xまで刃物160を薄膜20または積層途中の薄膜に押し付けながら走査する。この構成によれば、刃物160が押し付けられた状態が維持されながら各スクライブライン31、32が形成されるため、スクライブライン30の加工工程の前に開口部が形成される場合、および、スクライブライン30を形成する過程において刃物160の昇降が実施される場合と比較して、工程の内容および刃物160の動作が簡素化される。このため、スクライブライン30の形成に要する時間が短縮される。
上記実施の形態に関する説明は本発明に従う薄膜太陽電池の加工装置、および、薄膜太陽電池の加工方法が取り得る形態の例示であり、その形態を制限することを意図していない。本発明に従う薄膜太陽電池の加工装置、および、薄膜太陽電池の加工方法は実施の形態以外に例えば以下に示される上記実施の形態の変形例、および、相互に矛盾しない少なくとも2つの変形例が組み合わせられた形態を取り得る。
・第1の押付力と第2の押付力との大小関係は任意に変更可能である。一例では、第1の押付力が第2の押付力よりも弱い。この変形例によれば、第2のスクライブライン32よりも長い第1のスクライブライン31の形成時における刃物160の押付力が弱い力に設定されるため、スクライブライン30の形成にともなう刃物160の摩耗が低減される。別の一例では、第1の押付力と第2の押付力とが互いに等しい。
10 :基板
20 :薄膜
30 :スクライブライン
31 :第1のスクライブライン
31X:加工開始点
31Y:加工終了点
32 :第2のスクライブライン
100:加工装置
120:制御装置
130:ステージ
160:刃物
161:刃先
Claims (10)
- 薄膜が形成された基板が載せられるステージと、
前記薄膜にスクライブラインを形成する刃物と、
前記刃物を前記薄膜に押し付けるヘッドと、
前記ヘッドを前記ステージに対して相対的に移動させることにより、互いに平行な少なくとも2本の第1のスクライブラインが前記薄膜に形成されるように前記刃物を走査する走査手段と、
前記ヘッドおよび前記走査手段の動作を制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記少なくとも2本の第1のスクライブラインの一方の加工終了点から前記少なくとも2本の第1のスクライブラインの他方の加工開始点まで前記刃物を前記薄膜に押し付けながら走査することにより前記加工終了点と前記加工開始点とを繋げる第2のスクライブラインを前記薄膜に形成する
薄膜太陽電池の加工装置。 - 前記制御装置は、前記第2のスクライブラインの形成時における前記刃物の走査速度を前記第1のスクライブラインの形成時における前記刃物の走査速度よりも遅くする
請求項1に記載の薄膜太陽電池の加工装置。 - 前記制御装置は、前記第2のスクライブラインの形成時において前記刃物を前記薄膜に押し付ける力である押付力を前記第1のスクライブラインの形成時における前記押付力よりも弱くする
請求項1または2に記載の薄膜太陽電池の加工装置。 - 前記制御装置は、前記第1のスクライブラインの形成時において前記刃物を前記薄膜に押し付ける力である押付力を前記第2のスクライブラインの形成時における前記押付力よりも弱くする
請求項1または2に記載の薄膜太陽電池の加工装置。 - 前記制御装置は、前記第2のスクライブラインの加工開始点から所定の位置までの部分の形成時において前記刃物を前記薄膜に押し付ける力である押付力を前記第1のスクライブラインの形成時における前記押付力よりも弱くし、前記所定の位置から前記第2のスクライブラインの加工終了点までの部分の形成時における前記押付力を前記第1のスクライブラインの形成時における前記押付力よりも強くする
請求項1または2に記載の薄膜太陽電池の加工装置。 - 前記所定の位置は前記第2のスクライブラインの加工終了点の直前の位置である
請求項5に記載の薄膜太陽電池の加工装置。 - 前記制御装置は円弧状の形状を有する前記第2のスクライブラインが前記薄膜に形成されるように前記走査手段の動作を制御する
請求項1〜6のいずれか一項に記載の薄膜太陽電池の加工装置。 - 前記制御装置は前記第2のスクライブライン上の同一の部分を前記刃物が往復するように前記走査手段の動作を制御する
請求項1〜7のいずれか一項に記載の薄膜太陽電池の加工装置。 - 前記刃物の長手方向に交差する断面における前記刃物の刃先の形状が円形である
請求項1〜8のいずれか一項に記載の薄膜太陽電池の加工装置。 - 基板に形成された薄膜に刃物を押し付けた状態において前記刃物を走査することにより互いに平行な少なくとも2本の第1のスクライブラインを前記薄膜に形成する薄膜太陽電池の加工方法であって、
前記少なくとも2本の第1のスクライブラインの一方が前記薄膜に形成されるように前記刃物を走査する第1の工程と、
前記少なくとも2本の第1のスクライブラインの一方の加工終了点から前記少なくとも2本の第1のスクライブラインの他方の加工開始点まで前記刃物を前記薄膜に押し付けながら走査することにより前記加工終了点と前記加工開始点とを繋げる第2のスクライブラインを前記薄膜に形成する第2の工程と、
前記少なくとも2本の第1のスクライブラインの他方が前記薄膜に形成されるように前記刃物を走査する第3の工程とを備える
薄膜太陽電池の加工方法。
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