JP2016206462A - Dot matrix type display device - Google Patents

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森川 慎一郎
Shinichiro Morikawa
慎一郎 森川
横山 良一
Ryoichi Yokoyama
良一 横山
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To allow extremely low power consumption to attain a display formed by combining a still image display and a rewriting display.SOLUTION: A dot matrix type display device includes: pixel electrode sections P11 to Pmn that are formed at a crossing section of a gate signal line GLn and an image signal line DLn, and include a drive section circuit 64 selecting any of a rewriting drive and a still image drive; a gate signal line drive circuit 3 that arbitrarily selects one line of a plurality of gate signal lines GL1 to GL128 to turn on the selected signal line; and an image signal line drive circuit 4 that arbitrarily selects one line of a plurality of image signal lines DL1 to DL128 to turn on the selected signal line. The drive selection circuit 64 includes a holding circuit 62 for subjecting the non-selected pixel electrode part Pmn, to the still image drive. The holding circuit 62 is an SRAM, and n-channel TFT element and p-channel TFT element of the holding circuit 62 are controlled so that an off-leak current value is low.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、基板上に薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor :TFT)素子を含む画素電極部が多数形成されているドットマトリクス型表示装置に関する。   The present invention relates to a dot matrix display device in which a large number of pixel electrode portions including thin film transistor (TFT) elements are formed on a substrate.

従来、例えば液晶表示装置(Liquid Crystal Display :LCD)は、TFT素子を含む画素電極部が多数形成されたTFTアレイ側基板と、カラーフィルタ及びブラックマトリクスが形成されたカラーフィルタ側基板とを互いに対向させて、それらの基板を所定の間隔でもって貼り合わせ、それらの基板間に液晶を充填、封入させることによって作製される。   Conventionally, for example, a liquid crystal display (LCD) has a TFT array side substrate on which a large number of pixel electrode portions including TFT elements are formed and a color filter side substrate on which a color filter and a black matrix are formed. Then, the substrates are bonded together at a predetermined interval, and liquid crystal is filled and sealed between the substrates.

従来のアクティブマトリクス型の液晶表示装置の基本構成の一例を図12に示す。例えば、TFTアレイ側基板は、その上の第1の方向(行方向)に形成された複数本のゲート信号線G1,G2,G3,・・・Gmと、第1の方向と交差する第2の方向(列方向)にゲート信号線と交差させて形成された複数本の画像信号線S1,S2,S3,・・・Snと、ゲート信号線と画像信号線の交差部に形成された、TFT素子101、画素電極 (図示せず)を含む画素電極部P11,P12,P13,・・・Pmnと、を有する構成である。また、共通電極(基準電極ともいう。図示せず。)と、その共通電極に共通電圧(Vcom)を供給する共通電圧線102は、画素電極との間で液晶に印加する垂直的な電界を形成するために、カラーフィルタ側基板上に設けられている。なお、図12において、103はゲート信号駆動回路、104は画像信号(ソース信号)駆動回路、110は表示部、111は液晶表示パネルである。   An example of a basic configuration of a conventional active matrix liquid crystal display device is shown in FIG. For example, the TFT array side substrate has a plurality of gate signal lines G1, G2, G3,... Gm formed in a first direction (row direction) thereon and a second crossing the first direction. A plurality of image signal lines S1, S2, S3,... Sn formed to intersect the gate signal line in the direction (column direction), and formed at the intersection of the gate signal line and the image signal line, This includes a TFT element 101 and pixel electrode portions P11, P12, P13,... Pmn including pixel electrodes (not shown). Further, a common electrode (also referred to as a reference electrode; not shown) and a common voltage line 102 that supplies a common voltage (Vcom) to the common electrode generate a vertical electric field applied to the liquid crystal between the pixel electrode. In order to form, it is provided on the color filter side substrate. In FIG. 12, 103 is a gate signal driving circuit, 104 is an image signal (source signal) driving circuit, 110 is a display unit, and 111 is a liquid crystal display panel.

TFT素子101は、例えば、アモルファスシリコン(a-Si)等から成る半導体膜を有し、ゲート電極部、ソース電極部、ドレイン電極部の3端子部を有する構成である。そして、ゲート電極部に所定電位の電圧(例えば、3V,6V)を印加することにより、ソース電極部とドレイン電極部の間の半導体膜(チャンネル)に電流を流す、スイッチング素子(ゲートトランスファ素子)として機能する。また、画素電極は、一般に酸化インジウムスズ(Indium Tin Oxide :ITO)等から成る透明導電体層から構成されている。   The TFT element 101 includes a semiconductor film made of, for example, amorphous silicon (a-Si), and has a three-terminal portion including a gate electrode portion, a source electrode portion, and a drain electrode portion. Then, a switching element (gate transfer element) that causes a current to flow through the semiconductor film (channel) between the source electrode part and the drain electrode part by applying a voltage of a predetermined potential (for example, 3V, 6V) to the gate electrode part. Function as. The pixel electrode is generally composed of a transparent conductor layer made of indium tin oxide (ITO) or the like.

また、カラーフィルタ側基板は、共通電極及び共通電圧線が形成された面に、それぞれの画素に対応する赤(R)、緑(G)、青(B)のカラーフィルタが形成されており、それぞれの画素を通過する光が相互に干渉することを防ぐブラックマトリクスがカラーフィルタの外周を囲むように形成されている。尚、カラーフィルタ及びブラックマトリクスは、カラー表示を行わない場合はなくてもよい。また、透過型LCDの場合はバックライトが設けられており、反射型LCDの場合はバックライトはなくてもよい。   Further, the color filter side substrate is formed with red (R), green (G), and blue (B) color filters corresponding to the respective pixels on the surface on which the common electrode and the common voltage line are formed. A black matrix that prevents light passing through each pixel from interfering with each other is formed so as to surround the outer periphery of the color filter. Note that the color filter and the black matrix may be omitted if color display is not performed. In the case of a transmissive LCD, a backlight is provided, and in the case of a reflective LCD, there is no need for a backlight.

このようなLCDにおいて、静止画像を表示させる際に外部回路、信号線駆動回路などの消費電力を低減するために、画素がそれぞれスタティック型メモリ(Static Random Access Memory :SRAM)等の記憶回路とD/A(Digital/Analog)変換回路を有する構成が提案されている(例えば、下記特許文献1,2を参照)。即ち、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor:相補型金属酸化膜半導体)インバータ等のインバータ(反転論理回路)をループ状に接続したSRAMと、nビット(nは自然数)のデジタル信号を階調表示が可能なアナログ信号に変換するD/A変換回路とを有し、静止画像の表示期間においては、DAC(Digital to Analog Converter)コントローラのみを駆動して、記憶回路に記憶されたデジタル映像信号を繰り返し読み出し、D/A変換を行ってアナログ信号階調信号を得て、そのアナログ信号階調信号によって静止画像の表示を行う。そして、静止画像の表示を行う際にソース信号線駆動回路及びゲート信号線駆動回路を停止する、という構成である。この構成により、静止画像の表示時における外部回路、信号線駆動回路などの消費電力を低減することができる。   In such an LCD, in order to reduce power consumption of external circuits, signal line drive circuits, etc. when displaying still images, each pixel has a storage circuit such as a static random access memory (SRAM) and a D circuit. A configuration having a / A (Digital / Analog) conversion circuit has been proposed (see, for example, Patent Documents 1 and 2 below). In other words, an SRAM (inverted logic circuit) such as a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) inverter connected in a loop and a digital signal of n bits (n is a natural number) can be displayed in grayscale. D / A converter circuit that converts the signal to a simple analog signal. During the still image display period, only the DAC (Digital to Analog Converter) controller is driven to repeatedly read the digital video signal stored in the memory circuit. The analog signal gradation signal is obtained by performing D / A conversion, and a still image is displayed by the analog signal gradation signal. Then, the source signal line driver circuit and the gate signal line driver circuit are stopped when a still image is displayed. With this configuration, power consumption of an external circuit, a signal line driver circuit, and the like when displaying a still image can be reduced.

特開2002-162947号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-162947 特開2002-196306号公報JP 2002-196306 JP

しかしながら、上記従来の構成のLCDにおいては、動画表示をさせるための通常動作モード (アナログ動作モード)と、静止画表示させるためのデジタル表示モード(メモリ動作モード)とを切り替える構成について記載されているが、静止画表示と動画表示を組み合わせて成る表示をより低消費電力で行う点については何等開示されていない。   However, the LCD having the conventional configuration describes a configuration for switching between a normal operation mode (analog operation mode) for displaying a moving image and a digital display mode (memory operation mode) for displaying a still image. However, there is no disclosure about the point of performing display that combines still image display and moving image display with lower power consumption.

また、上記従来のLCD等に使用される記憶回路としてのSRAMは、pチャンネルTFT素子とnチャンネルTFT素子をドレイン共通接続して成るインバータを2個直列に接続して構成されている。そして、図13に示すように、pチャンネルTFT素子のゲート電圧−ドレイン電流(Vgs-Ids)曲線113におけるオフリーク電流値(ゲート電圧が0Vのときのドレイン電流値)、及びnチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線112におけるオフリーク電流値は、それぞれ1×10-11A〜1×10-10A(10ピコアンペア〜100ピコアンペア)程度と比較的大きいために、ゲート電圧が0Vである場合、例えば静止画駆動の場合にも、pチャンネルTFT素子及びnチャンネルTFT素子のバイアス電源(例えば3V)の電力が消費される。そして、このことがLCDの消費電力を極めて低いものとすることの阻害要因の一つとなっていた。 An SRAM as a storage circuit used in the conventional LCD or the like is configured by connecting in series two inverters each having a drain connected to a p-channel TFT element and an n-channel TFT element. As shown in FIG. 13, the off-leakage current value (drain current value when the gate voltage is 0 V) in the gate voltage-drain current (Vgs-Ids) curve 113 of the p-channel TFT element and the Vgs of the n-channel TFT element. -Ids curve 112 has a relatively large off-leakage current value of about 1 × 10 −11 A to 1 × 10 −10 A (10 picoamperes to 100 picoamperes), respectively, so that when the gate voltage is 0 V, for example, a still image Also in the case of driving, the power of the bias power supply (for example, 3 V) of the p-channel TFT element and the n-channel TFT element is consumed. This has been one of the obstacles to making the power consumption of the LCD extremely low.

従って、本発明は、上記従来の問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、静止画表示と動画表示を組み合わせて成る表示を極めて低い消費電力でもって実行できるドットマトリクス型表示装置とすることである。   Accordingly, the present invention has been completed in view of the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a dot matrix display device capable of executing display with a combination of still image display and moving image display with extremely low power consumption. It is to do.

本発明のドットマトリクス型表示装置は、基板上の所定の方向に形成された複数本のゲート信号線と、前記所定の方向に交差する方向に前記ゲート信号線と交差させて形成された複数本の画像信号線と、前記ゲート信号線と前記画像信号線の交差部に形成された、書き換え駆動と静止画駆動のいずれかを選択する駆動選択回路を含む画素電極部と、複数本の前記ゲート信号線の一本を任意に選択してオンするゲート信号線駆動回路と、複数本の前記画像信号線の一本を任意に選択してオンする画像信号線駆動回路と、を有するドットマトリクス型表示装置であって、前記駆動選択回路は、オン状態の前記ゲート信号線とオン状態の前記画像信号線との交差部にある選択された前記画素電極部を書き換える画素電極制御回路と、非選択の前記画素電極部を静止画駆動するため保持回路と、を有しており、前記保持回路は、nチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子から構成されたスタティック型メモリであり、前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがオフリーク電流値を低減させるp型不純物を含有しており、前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがオフリーク電流値を低減させるn型不純物を含有している構成である。   The dot matrix type display device of the present invention includes a plurality of gate signal lines formed in a predetermined direction on a substrate and a plurality of gate signal lines formed so as to cross the gate signal lines in a direction crossing the predetermined direction. An image signal line, a pixel electrode unit that includes a drive selection circuit that is formed at an intersection of the gate signal line and the image signal line and selects either rewrite driving or still image driving, and a plurality of the gates A dot matrix type having a gate signal line driving circuit that arbitrarily turns on one of the signal lines and an image signal line driving circuit that arbitrarily turns on one of the plurality of image signal lines In the display device, the drive selection circuit includes a pixel electrode control circuit that rewrites the selected pixel electrode portion at an intersection between the gate signal line in the on state and the image signal line in the on state, and a non-selection circuit The picture of A holding circuit for driving the electrode portion to a still image, and the holding circuit is a static memory including an n-channel thin film transistor element and a p-channel thin film transistor element. The channel contains a p-type impurity that reduces the off-leakage current value, and the p-channel thin film transistor element has an n-type impurity that reduces the off-leakage current value.

本発明のドットマトリクス型表示装置は、好ましくは、前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがp型不純物を1×1011cm-2〜3×1012cm-2含有し、前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがn型不純物を1×1011cm-2〜1×1012cm-2含有している。 In the dot matrix type display device according to the present invention, preferably, the n-channel thin film transistor element includes a p-type impurity in a channel of 1 × 10 11 cm −2 to 3 × 10 12 cm −2, and the p-channel thin film transistor element. The channel contains 1 × 10 11 cm −2 to 1 × 10 12 cm −2 of n-type impurities.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、好ましくは、前記p型不純物はホウ素であり、前記n型不純物はリンである。   In the dot matrix display device of the present invention, preferably, the p-type impurity is boron and the n-type impurity is phosphorus.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、好ましくは、前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子及び前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、それぞれオフリーク電流値が10-11A以下の低温多結晶シリコンから成るチャンネルを有している。 In the dot matrix type display device of the present invention, preferably, each of the n-channel thin film transistor element and the p-channel thin film transistor element has a channel made of low-temperature polycrystalline silicon having an off-leakage current value of 10 −11 A or less. .

また、本発明のドットマトリクス型表示装置は、基板上の所定の方向に形成された複数本のゲート信号線と、前記所定の方向に交差する方向に前記ゲート信号線と交差させて形成された複数本の画像信号線と、前記ゲート信号線と前記画像信号線の交差部に形成された、書き換え駆動と静止画駆動のいずれかを選択する駆動選択回路を含む画素電極部と、複数本の前記ゲート信号線の一本を任意に選択してオンするゲート信号駆動回路と、複数本の前記画像信号線の一本を任意に選択してオンする画像信号駆動回路と、を有するドットマトリクス型表示装置であって、前記駆動選択回路は、オン状態の前記ゲート信号線とオン状態の前記画像信号線との交差部にある選択された前記画素電極部を書き換える画素電極制御回路と、非選択の前記画素電極部を静止画駆動するための保持回路と、を有しており、前記保持回路は、nチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子から構成されたスタティック型メモリであり、前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルが第1の閾値電圧を高くするp型不純物を含有しており、前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルが第2の閾値電圧を低くするn型不純物を含有している構成である。   The dot matrix type display device of the present invention is formed by crossing a plurality of gate signal lines formed in a predetermined direction on the substrate and the gate signal lines in a direction crossing the predetermined direction. A plurality of image signal lines; a pixel electrode unit including a drive selection circuit formed at an intersection of the gate signal line and the image signal line, for selecting either rewrite driving or still image driving; and A dot matrix type having a gate signal driving circuit that arbitrarily turns on one of the gate signal lines and an image signal driving circuit that arbitrarily turns on one of the plurality of image signal lines In the display device, the drive selection circuit includes a pixel electrode control circuit that rewrites the selected pixel electrode portion at an intersection between the gate signal line in the on state and the image signal line in the on state, and a non-selection circuit Of the above A holding circuit for driving the element electrode portion to a still image, and the holding circuit is a static memory including an n-channel thin film transistor element and a p-channel thin film transistor element. The channel contains a p-type impurity that raises the first threshold voltage, and the p-channel thin film transistor element contains an n-type impurity that lowers the second threshold voltage. .

本発明のドットマトリクス型表示装置は、好ましくは、前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがp型不純物を1×1011cm-2〜3×1012cm-2含有し、前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがn型不純物を1×1011cm-2〜1×1012cm-2含有している。 In the dot matrix type display device according to the present invention, preferably, the n-channel thin film transistor element includes a p-type impurity in a channel of 1 × 10 11 cm −2 to 3 × 10 12 cm −2, and the p-channel thin film transistor element. The channel contains 1 × 10 11 cm −2 to 1 × 10 12 cm −2 of n-type impurities.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、好ましくは、前記p型不純物はホウ素であり、前記n型不純物はリンである。   In the dot matrix display device of the present invention, preferably, the p-type impurity is boron and the n-type impurity is phosphorus.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、好ましくは、前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子の前記第1の閾値電圧と前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子の前記第2の閾値電圧との電圧差が2.0V〜3.5Vである。   In the dot matrix type display device of the present invention, it is preferable that a voltage difference between the first threshold voltage of the n-channel thin film transistor element and the second threshold voltage of the p-channel thin film transistor element is 2.0V-3. 5V.

本発明のドットマトリクス型表示装置は、基板上の所定の方向に形成された複数本のゲート信号線と、所定の方向に交差する方向にゲート信号線と交差させて形成された複数本の画像信号線と、ゲート信号線と画像信号線の交差部に形成された、書き換え駆動と静止画駆動のいずれかを選択する駆動選択回路を含む画素電極部と、複数本のゲート信号線の一本を任意に選択してオンするゲート信号線駆動回路と、複数本の画像信号線の一本を任意に選択してオンする画像信号線駆動回路と、を有するドットマトリクス型表示装置であって、駆動選択回路は、オン状態のゲート信号線とオン状態の画像信号線との交差部にある選択された画素電極部を書き換える画素電極制御回路と、非選択の画素電極部を静止画駆動するため保持回路と、を有しており、保持回路は、nチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子から構成されたスタティック型メモリであり、nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがオフリーク電流値を低減させるp型不純物を含有しており、pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがオフリーク電流値を低減させるn型不純物を含有している構成である。この構成により、静止画駆動させる画素電極部においてはゲート信号線及び画像信号線をオフ状態とし、書き換え駆動させる画素電極部においてのみ選択的にゲート信号線及び画像信号線をオン状態とするので、消費電力を極めて低く抑えることができる。また、保持回路を構成するnチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子は、それらのオフリーク電流値が低くなるように制御されていることから、ゲート電圧が0Vである場合、例えば静止画駆動の場合に、pチャンネル薄膜トランジスタ素子及びnチャンネル薄膜トランジスタ素子のバイアス電源(例えば、電源電圧3V)の電力消費量を小さく抑えることができる。その結果、ドットマトリクス型表示装置の消費電力をより低減させることができる。   The dot matrix type display device of the present invention includes a plurality of gate signal lines formed in a predetermined direction on a substrate and a plurality of images formed by crossing the gate signal lines in a direction crossing the predetermined direction. A pixel electrode portion including a signal selection line, a drive selection circuit for selecting either rewrite driving or still image driving, formed at an intersection of the gate signal line and the image signal line, and one gate signal line A dot signal display device having a gate signal line driving circuit that arbitrarily turns on and an image signal line driving circuit that arbitrarily turns on one of a plurality of image signal lines, The drive selection circuit includes a pixel electrode control circuit that rewrites a selected pixel electrode portion at an intersection of an on-state gate signal line and an on-state image signal line, and a non-selected pixel electrode portion for driving a still image Holding circuit The holding circuit is a static memory composed of an n-channel thin film transistor element and a p-channel thin film transistor element, and the n-channel thin film transistor element contains a p-type impurity whose channel reduces an off-leakage current value. The p-channel thin film transistor element has a configuration in which the channel contains an n-type impurity that reduces the off-leakage current value. With this configuration, the gate signal line and the image signal line are turned off in the pixel electrode portion that is driven for still image, and the gate signal line and the image signal line are selectively turned on only in the pixel electrode portion that is driven for rewriting. Power consumption can be kept extremely low. In addition, since the n-channel thin film transistor element and the p-channel thin film transistor element constituting the holding circuit are controlled so that their off-leakage current values are low, when the gate voltage is 0 V, for example, in the case of still image driving. The power consumption of the bias power supply (for example, the power supply voltage 3 V) of the p-channel thin film transistor element and the n-channel thin film transistor element can be kept small. As a result, the power consumption of the dot matrix display device can be further reduced.

本発明のドットマトリクス型表示装置は、nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがp型不純物を1×1011cm-2〜3×1012cm-2含有し、pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがn型不純物を1×1011cm-2〜1×1012cm-2含有している場合、保持回路を構成するnチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子のそれぞれのオフリーク電流値を、従来の10分の1程度以下と所望の低いものとすることができる。 In the dot matrix type display device of the present invention, the channel of the n-channel thin film transistor element contains 1 × 10 11 cm −2 to 3 × 10 12 cm −2 of p-type impurities, and the channel of the p-channel thin film transistor element is When n-type impurities are contained in an amount of 1 × 10 11 cm −2 to 1 × 10 12 cm −2 , the respective off-leakage current values of the n-channel thin film transistor element and the p-channel thin film transistor element constituting the holding circuit are 10 It can be set to a desired low value of about 1 / min or less.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、p型不純物はホウ素であり、n型不純物はリンである場合、イオン注入法によってチャンネルに注入し含有させる際に、ホウ素、リンは毒性がなく不純物として最も軽い元素であることから、イオン注入の効率が良く、取扱いの作業性もよいため、製造のし易さの点で有利である。   In the dot matrix type display device of the present invention, when the p-type impurity is boron and the n-type impurity is phosphorus, boron and phosphorus are not toxic as impurities when implanted into the channel by an ion implantation method. Since it is the lightest element, the efficiency of ion implantation is good, and the handling workability is also good, which is advantageous in terms of ease of manufacture.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、nチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子は、それぞれオフリーク電流値が10-11A以下の低温多結晶シリコンから成るチャンネルを有している場合、保持回路を構成するnチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子のそれぞれのオフリーク電流値が、従来の10分の1程度以下の極めて低いものとなる。また、低温多結晶シリコンはキャリア移動度が100〜200cm2/Vs以上であり、アモルファスシリコンの0.5cm2/Vsよりも高いため、低い駆動電圧でもチャンネルに電流を流すことができる。従って、保持回路の消費電力をさらに低く抑えることができ、その結果、ドットマトリクス型表示装置の消費電力をさらに低減させることができる。 In the dot matrix type display device of the present invention, when the n-channel thin film transistor element and the p-channel thin film transistor element each have a channel made of low-temperature polycrystalline silicon having an off-leakage current value of 10 −11 A or less, a holding circuit is provided. The off-leakage current value of each of the n-channel thin film transistor element and the p-channel thin film transistor element to be configured becomes extremely low, which is about 1/10 or less of the conventional one. In addition, low-temperature polycrystalline silicon has a carrier mobility of 100 to 200 cm 2 / Vs or higher and higher than 0.5 cm 2 / Vs of amorphous silicon, so that a current can flow through the channel even with a low driving voltage. Accordingly, the power consumption of the holding circuit can be further reduced, and as a result, the power consumption of the dot matrix display device can be further reduced.

また、本発明のドットマトリクス型表示装置は、基板上の所定の方向に形成された複数本のゲート信号線と、所定の方向に交差する方向にゲート信号線と交差させて形成された複数本の画像信号線と、ゲート信号線と画像信号線の交差部に形成された、書き換え駆動と静止画駆動のいずれかを選択する駆動選択回路を含む画素電極部と、複数本のゲート信号線の一本を任意に選択してオンするゲート信号駆動回路と、複数本の画像信号線の一本を任意に選択してオンする画像信号駆動回路と、を有するドットマトリクス型表示装置であって、駆動選択回路は、オン状態のゲート信号線とオン状態の画像信号線との交差部にある選択された画素電極部を書き換える画素電極制御回路と、非選択の画素電極部を静止画駆動するための保持回路と、を有しており、保持回路は、nチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子から構成されたスタティック型メモリであり、nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルが第1の閾値電圧を高くするp型不純物を含有しており、pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルが第2の閾値電圧を低くするn型不純物を含有している構成である。この構成により、静止画駆動させる画素電極部においてはゲート信号線及び画像信号線をオフ状態とし、書き換え駆動させる画素電極部においてのみ選択的にゲート信号線及び画像信号線をオン状態とするので、消費電力を極めて低く抑えることができる。また、保持回路を構成するnチャンネル薄膜トランジスタ素子はその第1の閾値電圧が高くなるように制御されており、pチャンネル薄膜トランジスタ素子はその第2の閾値電圧が低くなるように制御されていることから、nチャンネル薄膜トランジスタ素子のチャンネル及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子のチャンネルに流れる電流値を、全動作電圧範囲内で不純物含有前よりも低くすることができる。その結果、ドットマトリクス型表示装置の消費電力をより低減させることができる。さらに、保持回路を構成するnチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子は、それらのオフリーク電流値が低くなるので、ゲート電圧が0Vである場合、例えば静止画駆動の場合に、pチャンネル薄膜トランジスタ素子及びnチャンネル薄膜トランジスタ素子のバイアス電源(例えば、電源電圧3V)の電力消費量を小さく抑えることができる。その結果、ドットマトリクス型表示装置の消費電力をさらに低減させることができる。   The dot matrix display device of the present invention includes a plurality of gate signal lines formed in a predetermined direction on a substrate and a plurality of gate signal lines formed so as to intersect with the gate signal lines in a direction crossing the predetermined direction. An image signal line, a pixel electrode portion formed at an intersection of the gate signal line and the image signal line, including a drive selection circuit for selecting either rewrite driving or still image driving, and a plurality of gate signal lines A dot matrix type display device comprising: a gate signal driving circuit that arbitrarily selects one to turn on; and an image signal driving circuit that arbitrarily turns on one of a plurality of image signal lines, The drive selection circuit includes a pixel electrode control circuit that rewrites a selected pixel electrode portion at an intersection of an on-state gate signal line and an on-state image signal line, and a non-selected pixel electrode portion for driving a still image A holding circuit of The holding circuit is a static memory composed of an n-channel thin film transistor element and a p-channel thin film transistor element, and the n-channel thin film transistor element contains a p-type impurity that increases the first threshold voltage of the channel. In addition, the p-channel thin film transistor element has a configuration in which the channel contains an n-type impurity that lowers the second threshold voltage. With this configuration, the gate signal line and the image signal line are turned off in the pixel electrode portion that is driven for still image, and the gate signal line and the image signal line are selectively turned on only in the pixel electrode portion that is driven for rewriting. Power consumption can be kept extremely low. Further, the n-channel thin film transistor element constituting the holding circuit is controlled so that the first threshold voltage is increased, and the p-channel thin film transistor element is controlled so that the second threshold voltage is decreased. The value of the current flowing through the channel of the n-channel thin film transistor element and the channel of the p-channel thin film transistor element can be made lower than that before impurities in the entire operating voltage range. As a result, the power consumption of the dot matrix display device can be further reduced. Further, since the n-channel thin film transistor element and the p-channel thin film transistor element constituting the holding circuit have a low off-leakage current value, when the gate voltage is 0 V, for example, in the case of still image driving, The power consumption of the bias power supply (for example, power supply voltage 3V) of the channel thin film transistor element can be suppressed. As a result, the power consumption of the dot matrix display device can be further reduced.

本発明のドットマトリクス型表示装置は、nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがp型不純物を1×1011cm-2〜3×1012cm-2含有し、pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがn型不純物を1×1011cm-2〜1×1012cm-2含有している場合、保持回路を構成するnチャンネル薄膜トランジスタ素子は第1の閾値電圧が高くなるように制御されており、pチャンネル薄膜トランジスタ素子は第2の閾値電圧が低くなるように制御されているとともに、それらの閾値電圧間の電圧差が2.0V〜3.5V程度と従来よりも大きな所望のものとなる。 In the dot matrix type display device of the present invention, the channel of the n-channel thin film transistor element contains 1 × 10 11 cm −2 to 3 × 10 12 cm −2 of p-type impurities, and the channel of the p-channel thin film transistor element is When n-type impurities are contained in an amount of 1 × 10 11 cm −2 to 1 × 10 12 cm −2 , the n-channel thin film transistor element constituting the holding circuit is controlled so as to increase the first threshold voltage. The p-channel thin film transistor element is controlled so that the second threshold voltage is lowered, and the voltage difference between the threshold voltages is about 2.0 V to 3.5 V, which is larger than the conventional one.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、p型不純物はホウ素であり、n型不純物はリンである場合、イオン注入法によってチャンネルに注入し含有させる際に、ホウ素、リンは毒性がなく不純物として最も軽い元素であることから、イオン注入の効率が良く、取扱いの作業性もよいため、製造のし易さの点で有利である。   In the dot matrix type display device of the present invention, when the p-type impurity is boron and the n-type impurity is phosphorus, boron and phosphorus are not toxic as impurities when implanted into the channel by an ion implantation method. Since it is the lightest element, the efficiency of ion implantation is good, and the handling workability is also good, which is advantageous in terms of ease of manufacture.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、nチャンネル薄膜トランジスタ素子の第1の閾値電圧とpチャンネル薄膜トランジスタ素子の第2の閾値電圧との電圧差が2.0V〜3.5Vである場合、nチャンネル薄膜トランジスタ素子のチャンネル及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子のチャンネルに流れる電流値を、全動作電圧範囲内で不純物含有前よりも低くすることが確実にできるものとなる。また、保持回路を構成するnチャンネル薄膜トランジスタ素子のオフリーク電流値及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子のオフリーク電流値を、従来の10分の1程度以下と低くすることが確実にできるものとなる。   The dot matrix type display device according to the present invention has an n-channel when the voltage difference between the first threshold voltage of the n-channel thin film transistor element and the second threshold voltage of the p-channel thin film transistor element is 2.0V to 3.5V. It is possible to ensure that the value of the current flowing through the channel of the thin film transistor element and the channel of the p channel thin film transistor element is lower than that before the impurities are contained within the entire operating voltage range. In addition, the off-leakage current value of the n-channel thin film transistor element and the off-leakage current value of the p-channel thin film transistor element constituting the holding circuit can be reliably reduced to about 1/10 or less of the conventional one.

図1は、本発明のドットマトリクス型表示装置について実施の形態の一例を示す図であり、ドットマトリクス型表示装置の基本構成のブロック回路図である。FIG. 1 is a diagram showing an example of an embodiment of a dot matrix type display device of the present invention, and is a block circuit diagram of a basic configuration of the dot matrix type display device. 図2は、本発明のドットマトリクス型表示装置について実施の形態の一例を示す図であり、ドットマトリクス型表示装置の画素電極部に含まれる保持回路を構成するpチャンネルTFT素子及びnチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線を示すグラフである。FIG. 2 is a diagram showing an example of an embodiment of the dot matrix type display device of the present invention, and a p-channel TFT element and an n-channel TFT element constituting a holding circuit included in a pixel electrode portion of the dot matrix type display device. It is a graph which shows a Vgs-Ids curve. 図3は、本発明のドットマトリクス型表示装置におけるゲート信号線駆動回路の詳細な構成を示す回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram showing a detailed configuration of the gate signal line driving circuit in the dot matrix type display device of the present invention. 図4は、本発明のドットマトリクス型表示装置における画像信号線駆動回路の詳細な構成を示す回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram showing a detailed configuration of the image signal line driving circuit in the dot matrix type display device of the present invention. 図5の(a)は、ゲート信号線駆動回路における1本のゲート信号線をオンオフさせる駆動回路部のブロック回路図、(b)は(a)の詳細を示す回路図である。FIG. 5A is a block circuit diagram of a drive circuit unit for turning on and off one gate signal line in the gate signal line drive circuit, and FIG. 5B is a circuit diagram showing details of FIG. 図6の(a)は、画像信号線駆動回路における1本の画像信号線をオンオフさせる駆動回路部のブロック回路図、(b)は(a)の詳細を示す回路図である。FIG. 6A is a block circuit diagram of a drive circuit unit for turning on / off one image signal line in the image signal line drive circuit, and FIG. 6B is a circuit diagram showing details of FIG. 図7は、保持回路と画素電極制御回路を有する駆動選択回路を含む画素電極部の1実施の形態を示すブロック回路図である。FIG. 7 is a block circuit diagram showing an embodiment of a pixel electrode unit including a drive selection circuit having a holding circuit and a pixel electrode control circuit. 図8は図7の各ブロック回路を構成するTFT素子群の接続関係を措いた詳細な回路図である。FIG. 8 is a detailed circuit diagram taking into account the connection relation of the TFT element groups constituting each block circuit of FIG. 図9は、画素電極制御回路を構成するTFT素子群の接続関係を描いた詳細な回路図である。FIG. 9 is a detailed circuit diagram illustrating the connection relationship of the TFT element groups constituting the pixel electrode control circuit. 図10は、共通電圧Vcom(A)と画像信号data(B)を2値入力とする、排他的論理和の論理ゲート回路の出力(Y)を記載した真理値表である。FIG. 10 is a truth table describing an output (Y) of an exclusive OR logic gate circuit in which the common voltage Vcom (A) and the image signal data (B) are binary input. 図11は、本発明のドットマトリクス型表示装置を適用したデジタル表示式腕時計の表示パネルの平面図である。FIG. 11 is a plan view of a display panel of a digital display wristwatch to which the dot matrix display device of the present invention is applied. 図12は、従来のドットマトリクス型表示装置の基本構成を示すブロック回路図である。FIG. 12 is a block circuit diagram showing a basic configuration of a conventional dot matrix display device. 図13は、従来の液晶表示装置等の画素電極部に含まれる記憶回路のpチャンネルTFT素子及びnチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線を示すグラフである。FIG. 13 is a graph showing Vgs-Ids curves of a p-channel TFT element and an n-channel TFT element of a memory circuit included in a pixel electrode portion of a conventional liquid crystal display device or the like.

以下、本発明のドットマトリクス型表示装置の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。但し、以下で参照する各図は、本発明のドットマトリクス型表示装置の構成部材のうち、本発明の構成を説明するために必要な主要な部材を示している。従って、本発明に係るドットマトリクス型表示装置は、各図に示されていない、配線導体、回路基板、制御IC、制御LSI等の周知の構成部材を備えていてもよい。   Hereinafter, embodiments of a dot matrix display device of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the drawings referred to below show the main members necessary for explaining the configuration of the present invention among the components of the dot matrix display device of the present invention. Therefore, the dot matrix display device according to the present invention may include well-known components such as wiring conductors, circuit boards, control ICs, and control LSIs that are not shown in the drawings.

図1〜図11を参照して、本発明のドットマトリクス型表示装置の実施の形態について説明する。本発明のドットマトリクス型表示装置は、ガラス基板等の基板上の所定の方向(例えば、行方向)に形成された複数本のゲート信号線GL1〜GL128と、所定の方向に交差する方向(例えば、列方向)にゲート信号線GL1〜GL128と交差させて形成された複数本の画像信号線DL1〜DL128と、ゲート信号線GL1〜GL128と画像信号線DL1〜DL128の交差部に形成された、書き換え駆動と静止画駆動のいずれかを選択する駆動選択回路を含む画素電極部P11〜Pmnと、複数本のゲート信号線GL1〜GL128の一本を任意に選択してオンするゲート信号線駆動回路3と、複数本の画像信号線DL1〜DL128の一本を任意に選択してオンする画像信号線駆動回路4と、を有するドットマトリクス型表示装置であって、駆動選択回路は、オン状態のゲート信号線GLn(on)とオン状態の画像信号線DLn(on)との交差部にある選択された画素電極部Pmn(select)を書き換える画素電極制御回路と、非選択の画素電極部Pmn(non-select)を静止画駆動するため保持回路と、を有しており、保持回路は、nチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子から構成されたスタティック型メモリ(SRAM)であり、nチャンネルTFT素子は、そのチャンネルがオフリーク電流値を低減させるp型不純物を含有しており、pチャンネルTFT素子は、そのチャンネルがオフリーク電流値を低減させるn型不純物を含有している構成である。この構成により、静止画駆動させる画素電極部Pmn(non-select)においてはゲート信号線GLn及び画像信号線DLnをオフ状態とし、書き換え駆動させる画素電極部Pmn(select)においてのみ選択的にゲート信号線GLn及び画像信号線DLnをオン状態とするので、消費電力を極めて低く抑えることができる。また、保持回路を構成するnチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子は、それらのオフリーク電流値が低くなるように制御されていることから、ゲート電圧が0Vである場合、例えば静止画駆動の場合に、pチャンネルTFT素子及びnチャンネルTFT素子のバイアス電源(例えば、電源電圧3V)の電力消費量を小さく抑えることができる。その結果、ドットマトリクス型表示装置の消費電力をより低減させることができる。なお、保持回路は、例えばnチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子をドレイン共通接続して成る反転論理回路(CMOSインバータ)を2個直列に接続するとともにループ状に接続して構成されたスタティック型メモリ(SRAM)である。   An embodiment of a dot matrix type display device of the present invention will be described with reference to FIGS. The dot matrix type display device of the present invention has a plurality of gate signal lines GL1 to GL128 formed in a predetermined direction (for example, row direction) on a substrate such as a glass substrate and a direction (for example, crossing the predetermined direction) , In the column direction) formed by intersecting the gate signal lines GL1 to GL128 with a plurality of image signal lines DL1 to DL128 and the gate signal lines GL1 to GL128 and the image signal lines DL1 to DL128, Pixel electrode portions P11 to Pmn including a drive selection circuit for selecting either rewrite driving or still image driving, and a gate signal line driving circuit for arbitrarily selecting one of a plurality of gate signal lines GL1 to GL128 and turning them on 3 and an image signal line driving circuit 4 that arbitrarily turns on one of the plurality of image signal lines DL1 to DL128, and the drive selection circuit is in an on state. Gate signal line GLn (on) and on-state image signal line DLn (on) A pixel electrode control circuit that rewrites the selected pixel electrode portion Pmn (select) at the intersection of the two and a holding circuit for driving a non-selected pixel electrode portion Pmn (non-select) to a still image The holding circuit is a static memory (SRAM) composed of an n-channel TFT element and a p-channel TFT element, and the n-channel TFT element contains a p-type impurity that reduces the off-leakage current value. The p-channel TFT element has an n-type impurity that reduces the off-leakage current value. With this configuration, in the pixel electrode portion Pmn (non-select) for driving a still image, the gate signal line GLn and the image signal line DLn are turned off, and the gate signal is selectively applied only in the pixel electrode portion Pmn (select) to be driven for rewriting. Since the line GLn and the image signal line DLn are turned on, the power consumption can be kept extremely low. Further, since the n-channel TFT element and the p-channel TFT element constituting the holding circuit are controlled so that their off-leakage current values are low, when the gate voltage is 0 V, for example, in the case of still image driving. The power consumption of the bias power supply (for example, power supply voltage 3V) of the p-channel TFT element and the n-channel TFT element can be suppressed to a small value. As a result, the power consumption of the dot matrix display device can be further reduced. The holding circuit is, for example, a static memory configured by connecting two inverting logic circuits (CMOS inverters) each having an n-channel TFT element and a p-channel TFT element connected in common to each other in series and connected in a loop. (SRAM).

図2は、本発明のドットマトリクス型表示装置について実施の形態の一例を示す図であり、ドットマトリクス型表示装置の画素電極部に含まれる保持回路(図8の符号62で示す)であるSRAMを構成するnチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線12、及びpチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線13を示すグラフである。nチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線12について、そのチャンネルがp型不純物であるホウ素等を所定量(例えば、1×1011atomscm-2乃至3×1012atomscm-2)(以下、atomsは略す)含有することによって、オフリーク電流値が含有前のVgs-Ids曲線112における値約9×10-11A(90ピコアンペア)よりも低い値約6×10-12A(6ピコアンペア)になるように制御されている。なお、図2において、12aはnチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線112におけるオフリーク電流値に対するVgs-Ids曲線12におけるオフリーク電流値の低下量である。また、pチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線13について、そのチャンネルがn型不純物であるリン等を所定量(例えば、1×1011cm-2乃至1×1012cm-2)含有することによって、オフリーク電流値が含有前のVgs-Ids曲線113における値約3×10-11A(30ピコアンペア)よりも低い値約3×10-13A(0.3ピコアンペア)になるように制御されている。なお、図2において、13aはpチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線113におけるオフリーク電流値に対するVgs-Ids曲線13におけるオフリーク電流値の低下量である。また、オフリーク電流値は、TFT素子のゲート電極部に印加するゲート電圧が0Vである場合にチャンネルに流れる電流値である。 FIG. 2 is a diagram showing an example of an embodiment of the dot matrix type display device of the present invention, and is an SRAM which is a holding circuit (indicated by reference numeral 62 in FIG. 8) included in the pixel electrode portion of the dot matrix type display device. 5 is a graph showing a Vgs-Ids curve 12 of an n-channel TFT element and a Vgs-Ids curve 13 of a p-channel TFT element. For the Vgs-Ids curve 12 of the n-channel TFT element, a predetermined amount (for example, 1 × 10 11 atoms cm −2 to 3 × 10 12 atoms cm −2 ) of boron or the like whose channel is p-type impurity (hereinafter, “atoms” is omitted). ) By including, the off-leakage current value is about 6 × 10 −12 A (6 picoamperes) lower than the value of about 9 × 10 −11 A (90 picoamperes) in the pre-contained Vgs-Ids curve 112 It is controlled. In FIG. 2, 12a is the amount of decrease in the off-leakage current value in the Vgs-Ids curve 12 with respect to the off-leakage current value in the Vgs-Ids curve 112 of the n-channel TFT element. Further, with respect to the Vgs-Ids curve 13 of the p-channel TFT element, by containing a predetermined amount (for example, 1 × 10 11 cm −2 to 1 × 10 12 cm −2 ) of phosphorus or the like whose channel is an n-type impurity. The off-leakage current value is controlled to be a value of about 3 × 10 −13 A (0.3 picoamperes) lower than the value of about 3 × 10 −11 A (30 picoamperes) in the Vgs-Ids curve 113 before containing. In FIG. 2, 13a is the amount of decrease in the off-leakage current value in the Vgs-Ids curve 13 with respect to the off-leakage current value in the Vgs-Ids curve 113 of the p-channel TFT element. The off-leakage current value is a current value that flows through the channel when the gate voltage applied to the gate electrode portion of the TFT element is 0V.

本発明のドットマトリクス型表示装置は、保持回路62を構成するnチャンネルTFT素子は、そのチャンネルがp型不純物を1×1011cm-2〜3×1012cm-2含有し、保持回路62を構成するpチャンネルTFT素子は、そのチャンネルがn型不純物を1×1011cm-2〜1×1012cm-2含有していることが好ましい。この場合、保持回路62を構成するnチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子のそれぞれのオフリーク電流値を、従来の10分の1程度以下と低いものとすることができる。 In the dot matrix type display device of the present invention, the n-channel TFT element constituting the holding circuit 62 has a channel containing 1 × 10 11 cm −2 to 3 × 10 12 cm −2 of p-type impurities. In the p-channel TFT element constituting n, it is preferable that the channel contains an n-type impurity in the range of 1 × 10 11 cm −2 to 1 × 10 12 cm −2 . In this case, the off-leakage current values of the n-channel TFT element and the p-channel TFT element constituting the holding circuit 62 can be made as low as about 1/10 or less of the conventional one.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、p型不純物はホウ素(B)であり、n型不純物はリン(P)であることが好ましい。この場合、イオン注入法によってチャンネルに注入し含有させる際に、ホウ素、リンは毒性がなく不純物として最も軽い元素であることから、イオン注入の効率が良く、取扱いの作業性もよいため、製造のし易さの点で有利である。p型不純物としては、ホウ素の他にアルミニウム(Al),ガリウム(Ga),インジウム(In)がある。n型不純物としては、リンの他に砒素(As),アンチモン(Sb),ビスマス(Bi)がある。   In the dot matrix display device of the present invention, it is preferable that the p-type impurity is boron (B) and the n-type impurity is phosphorus (P). In this case, since boron and phosphorus are the lightest impurities as impurities when they are implanted and contained in the channel by ion implantation, the efficiency of ion implantation is good and the handling workability is also good. This is advantageous in terms of ease of operation. Examples of p-type impurities include aluminum (Al), gallium (Ga), and indium (In) in addition to boron. Examples of n-type impurities include arsenic (As), antimony (Sb), and bismuth (Bi) in addition to phosphorus.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、nチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子は、それぞれオフリーク電流値が10-11A以下の低温多結晶シリコン(Low-Temperature Poly Silicon :LTPS)から成るチャンネルを有していることが好ましい。この場合、保持回路62を構成するnチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子のそれぞれのオフリーク電流値が、従来の10分の1程度以下の極めて低いものとなる。また、LTPSはキャリア移動度が100〜200cm2/Vs以上であり、アモルファスシリコンの0.5cm2/Vsよりも高いため、低い駆動電圧でもチャンネルに電流を流すことができる。従って、保持回路62の消費電力をさらに低く抑えることができ、その結果、ドットマトリクス型表示装置の消費電力をさらに低減させることができる。 In the dot matrix type display device of the present invention, each of the n-channel TFT element and the p-channel TFT element has a channel made of low-temperature polycrystalline silicon (LTPS) having an off-leakage current value of 10 −11 A or less. It is preferable to have. In this case, each of the n-channel TFT element and the p-channel TFT element constituting the holding circuit 62 has an extremely low off-leakage current value of about 1/10 or less. Further, since LTPS has a carrier mobility of 100 to 200 cm 2 / Vs or higher and higher than 0.5 cm 2 / Vs of amorphous silicon, a current can flow through the channel even with a low driving voltage. Accordingly, the power consumption of the holding circuit 62 can be further reduced, and as a result, the power consumption of the dot matrix display device can be further reduced.

また、LTPSを用いてnチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子を形成できるので、CMOS回路を基礎とした駆動回路、SRAM回路、D/A変換器、画像表示部等をガラス基板上に一体的に集積化することができる。従って、音声処理回路、マイクロプロセッサを搭載したLCDをも、LTPSを用いて作製することができる。ガラス基板上に液晶表示パネルとその周辺駆動回路を一体的に形成できるので、電気的な信頼性が向上する。即ち、液晶表示パネルと駆動回路との電気的接続数を大幅に低減させることができ、振動に強く、軽量化がなされるので、携帯情報端末にとって好適なものとなる。また、電流駆動能力が高いので、高精細な画素、開口率の高い画素を有するLCDを作製することができる。   In addition, since n-channel TFT elements and p-channel TFT elements can be formed using LTPS, a drive circuit based on a CMOS circuit, an SRAM circuit, a D / A converter, an image display unit, etc. are integrated on a glass substrate. It can be integrated. Therefore, an LCD equipped with an audio processing circuit and a microprocessor can also be manufactured using LTPS. Since the liquid crystal display panel and its peripheral drive circuit can be integrally formed on the glass substrate, the electrical reliability is improved. In other words, the number of electrical connections between the liquid crystal display panel and the driving circuit can be greatly reduced, and it is resistant to vibrations and light in weight, which is suitable for a portable information terminal. In addition, since the current driving capability is high, an LCD having high-definition pixels and pixels with a high aperture ratio can be manufactured.

LTPSの製造方法を以下に示す。まず、ガラス基板上に、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法によって、アモルファスシリコン膜を形成する。次に、アモルファスシリコン膜を多結晶化するために、450℃以下のガラス基板の温度でアモルファスシリコン膜にエキシマレーザ光を照射する。エキシマレーザ装置としては、例えば、ガスレーザ光源にArF(波長193nm),KrF(波長248nm)等を用いた、アモルファスシリコン膜の吸収が大きい紫外光を発振するものが使用できる。レーザ発振周波数約300Hz、レーザ光エネルギー約300W、パルス幅約20ns〜約60ns、照射エネルギー密度500mJ/cm2〜1J/cm2程度のパルスレーザ光をアモルファスシリコン膜に照射し、アモルファスシリコン膜を瞬間的に溶融し過冷却状態にした後に凝固させる。その結果、平均粒径0.3μm程度の結晶粒径を有する多結晶シリコンの膜に変化する。 The manufacturing method of LTPS is shown below. First, an amorphous silicon film is formed on a glass substrate by a plasma CVD (Chemical Vapor Deposition) method. Next, in order to polycrystallize the amorphous silicon film, the amorphous silicon film is irradiated with excimer laser light at a temperature of a glass substrate of 450 ° C. or lower. As the excimer laser device, for example, a gas laser light source that uses ArF (wavelength 193 nm), KrF (wavelength 248 nm), or the like, which oscillates ultraviolet light having a large absorption of the amorphous silicon film can be used. Amorphous silicon film is irradiated with pulsed laser light with a laser oscillation frequency of about 300 Hz, laser light energy of about 300 W, pulse width of about 20 ns to about 60 ns, and irradiation energy density of about 500 mJ / cm 2 to 1 J / cm 2. It is solidified after being melted and supercooled. As a result, the film changes to a polycrystalline silicon film having an average grain size of about 0.3 μm.

本発明のドットマトリクス型表示装置において、nチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子のソース電極部はリンを1×1014cm-2〜1×1015cm-2程度、ドレイン電極部はホウ素を1×1014cm-2〜1×1015cm-2程度、イオン注入されている。また、保持回路62のnチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子はCMOSインバータを構成しており、保持回路62はそのCMOSインバータを2個直列かつループ状に接続した構成である。そして、CMOSインバータを構成するnチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子において、それらのソース電極部及びドレイン電極部はトランジスタの動作信頼性を高めるために、LDD(Lightly Doped Drain)部を有していてもよい。さらに、nチャンネルTFT素子は、逆バイアス印加時のリーク電流を低減するために、チャンネルのドレイン側端部にLDD部を有していることがよい。リーク電流は、逆バイアス印加時にドレイン電極部近傍の空乏層にある欠陥準位で電子と正孔が生成される速度で決まるが、この速度をLDD部を形成することによって減速させることができる。LDD部は、リンを1×1012cm-2〜1×1013cm-2程度、イオン注入することによって形成できる。イオン注入のイオンエネルギーは5keV〜400keV程度である。 In the dot matrix type display device of the present invention, the source electrode portion of the n-channel TFT element and the p-channel TFT element is about 1 × 10 14 cm −2 to 1 × 10 15 cm −2 of phosphorus, and the drain electrode portion is 1 of boron. Ion implantation is performed at about × 10 14 cm −2 to 1 × 10 15 cm −2 . Further, the n-channel TFT element and the p-channel TFT element of the holding circuit 62 constitute a CMOS inverter, and the holding circuit 62 has a configuration in which two CMOS inverters are connected in series and in a loop. In the n-channel TFT element and the p-channel TFT element constituting the CMOS inverter, the source electrode portion and the drain electrode portion have an LDD (Lightly Doped Drain) portion in order to improve the operation reliability of the transistor. Also good. Furthermore, the n-channel TFT element preferably has an LDD portion at the end on the drain side of the channel in order to reduce leakage current when reverse bias is applied. The leak current is determined by the rate at which electrons and holes are generated at the defect level in the depletion layer near the drain electrode when a reverse bias is applied, and this rate can be reduced by forming the LDD portion. The LDD portion can be formed by ion implantation of phosphorus at about 1 × 10 12 cm −2 to 1 × 10 13 cm −2 . The ion energy of ion implantation is about 5 keV to 400 keV.

イオン注入装置としては、質量分離型のものが好適に用いられる。この質量分離型のイオン注入装置は、低真空領域でのイオン注入で生じるイオン中性化及び水素イオンの混入によってドーズ量制御が困難になるという問題、水素イオン及び他の不純物イオンの混入による基板温度の上昇及びレジスト損焼の問題といった、非質量分離型のイオン注入装置の問題点を解消することができる。質量分離型のイオン注入装置の基本構成は、例えば、プラズマイオン源を内部に含むイオンチャンバーと、イオンチャンバーのイオン種出力口側に設置されたイオン種の引出し電極と、イオンチャンバーのイオン種出力口に接続された、イオン種に曲線状の軌道を描いて進行させるマグネットユニットと、マグネットユニットのイオン種出力口付近に設置された加速電極とを有する構成である。   As the ion implantation apparatus, a mass separation type is preferably used. This mass separation type ion implantation apparatus has a problem in that dose control becomes difficult due to ion neutralization and hydrogen ion mixing caused by ion implantation in a low vacuum region, and a substrate caused by mixing hydrogen ions and other impurity ions. Problems of the non-mass-separated ion implantation apparatus, such as temperature rise and resist burnout, can be solved. The basic configuration of the mass separation type ion implantation apparatus includes, for example, an ion chamber including a plasma ion source, an ion species extraction electrode installed on the ion species output port side of the ion chamber, and an ion species output of the ion chamber. The magnet unit is connected to the mouth and travels in a curved orbit on the ion species, and the acceleration electrode is installed near the ion species output port of the magnet unit.

本発明の他の発明によるドットマトリクス型表示装置は、ガラス基板等の基板上の所定の方向(例えば、行方向)に形成された複数本のゲート信号線GL1〜GL128と、所定の方向に交差する方向(例えば、列方向)にゲート信号線GL1〜GL128と交差させて形成された複数本の画像信号線DL1〜DL128と、ゲート信号線GL1〜GL128と画像信号線DL1〜DL128の交差部に形成された、書き換え駆動と静止画駆動のいずれかを選択する駆動選択回路を含む画素電極部P11〜Pmnと、複数本のゲート信号線GL1〜GL128の一本を任意に選択してオンするゲート信号線駆動回路3と、複数本の画像信号線DL1〜DL128の一本を任意に選択してオンする画像信号線駆動回路4と、を有するドットマトリクス型表示装置であって、駆動選択回路は、オン状態のゲート信号線GLn(on)とオン状態の画像信号線DLn(on)との交差部にある選択された画素電極部Pmn(select)を書き換える画素電極制御回路と、非選択の画素電極部Pmn(non-select)を静止画駆動するため保持回路62と、を有しており、保持回路62は、nチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子から構成されたスタティック型メモリ(SRAM)であり、nチャンネルTFT素子は、そのチャンネルが第1の閾値電圧を高くするp型不純物を含有しており、pチャンネルTFT素子は、そのチャンネルが第2の閾値電圧を低くするn型不純物を含有している構成である。この構成により、静止画駆動させる画素電極部Pmn(non-select)においてはゲート信号線GLn及び画像信号線DLnをオフ状態とし、書き換え駆動させる画素電極部Pmn(select)においてのみ選択的にゲート信号線GLn及び画像信号線DLnをオン状態とするので、消費電力を極めて低く抑えることができる。また、保持回路62を構成するnチャンネルTFT素子はその第1の閾値電圧が高くなるように制御されており、pチャンネルTFT素子はその第2の閾値電圧が低くなるように制御されていることから、nチャンネルTFT素子のチャンネル及びpチャンネルTFT素子のチャンネルに流れる電流値を、全動作電圧範囲内で不純物含有前よりも低くすることができる。その結果、ドットマトリクス型表示装置の消費電力をより低減させることができる。さらに、保持回路62を構成するnチャンネルTFT素子及びpチャンネルTFT素子は、それらのオフリーク電流値が低くなるので、ゲート電圧が0Vである場合、例えば静止画駆動の場合に、pチャンネルTFT素子及びnチャンネルTFT素子のバイアス電源(例えば、電源電圧3V)の電力消費量を小さく抑えることができる。その結果、ドットマトリクス型表示装置の消費電力をさらに低減させることができる。   A dot matrix type display device according to another invention of the present invention crosses a plurality of gate signal lines GL1 to GL128 formed in a predetermined direction (for example, a row direction) on a substrate such as a glass substrate in a predetermined direction. A plurality of image signal lines DL1 to DL128 formed to intersect with the gate signal lines GL1 to GL128 in the direction (for example, the column direction), and the intersection of the gate signal lines GL1 to GL128 and the image signal lines DL1 to DL128 The formed pixel electrode portions P11 to Pmn including a drive selection circuit for selecting either rewrite driving or still image driving, and a gate for arbitrarily selecting one of the plurality of gate signal lines GL1 to GL128 and turning them on A dot matrix type display device having a signal line driving circuit 3 and an image signal line driving circuit 4 that arbitrarily turns on one of a plurality of image signal lines DL1 to DL128. The gate signal line GLn (on) in the on state and the image in the on state A pixel electrode control circuit that rewrites the selected pixel electrode portion Pmn (select) at the intersection with the signal line DLn (on) and a holding circuit for driving a non-selected pixel electrode portion Pmn (non-select) in a still image The holding circuit 62 is a static memory (SRAM) composed of an n-channel TFT element and a p-channel TFT element, and the channel of the n-channel TFT element has a first threshold voltage. The p-channel TFT element is configured to contain an n-type impurity that lowers the second threshold voltage. With this configuration, in the pixel electrode portion Pmn (non-select) for driving a still image, the gate signal line GLn and the image signal line DLn are turned off, and the gate signal is selectively applied only in the pixel electrode portion Pmn (select) to be rewritten. Since the line GLn and the image signal line DLn are turned on, the power consumption can be kept extremely low. Further, the n-channel TFT element constituting the holding circuit 62 is controlled so that the first threshold voltage is increased, and the p-channel TFT element is controlled so that the second threshold voltage is decreased. Thus, the value of the current flowing through the channel of the n-channel TFT element and the channel of the p-channel TFT element can be made lower than that before the impurities are contained within the entire operating voltage range. As a result, the power consumption of the dot matrix display device can be further reduced. Further, since the n-channel TFT element and the p-channel TFT element constituting the holding circuit 62 have a low off-leakage current value, when the gate voltage is 0 V, for example, in the case of still image driving, the p-channel TFT element and The power consumption of the bias power supply (for example, power supply voltage 3 V) of the n-channel TFT element can be kept small. As a result, the power consumption of the dot matrix display device can be further reduced.

図2に示すように、nチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線12について、そのチャンネルがp型不純物であるホウ素等を所定量(例えば、1×1011cm-2乃至3×1012cm-2)含有することによって、第1の閾値電圧(Vthn)が含有前のVgs-Ids曲線112における値約0.8Vよりも高い値約1.3Vになるように制御されている。また、pチャンネルTFT素子のVgs-Ids曲線13について、そのチャンネルがn型不純物であるリン等を所定量(例えば、1×1011cm-2乃至1×1012cm-2)含有することによって、第2の閾値電圧(Vthp)が含有前のVgs-Ids曲線113における値約−0.8Vよりも低い値約−1.4Vになるように制御されている。これにより、第1の閾値電圧(Vthn)と第2の閾値電圧(Vthp)の電圧差(ΔVth)が約2.7Vとなり、不純物含有前の電圧差(ΔVth)約1.6Vよりも大きくなる。なお、Vthnは、nチャンネルTFT素子がオン状態になるゲート電圧、すなわちチャンネルに所定の大きさの電流が流れてスイッチング素子として機能するゲート電圧であり、例えばチャンネルに0.5μA〜0.6μA程度の電流が流れる場合のゲート電圧である。Vthnにおけるチャンネル電流値はTFT素子の構成によって適宜設定される。Vthpについても同様に決定される。 As shown in FIG. 2, with respect to the Vgs-Ids curve 12 of the n-channel TFT element, a predetermined amount (for example, 1 × 10 11 cm −2 to 3 × 10 12 cm −2 ) of boron or the like whose channel is a p-type impurity. ), The first threshold voltage (Vthn) is controlled to be about 1.3 V, which is higher than the value about 0.8 V in the Vgs-Ids curve 112 before the inclusion. Further, with respect to the Vgs-Ids curve 13 of the p-channel TFT element, by containing a predetermined amount (for example, 1 × 10 11 cm −2 to 1 × 10 12 cm −2 ) of phosphorus or the like whose channel is an n-type impurity. The second threshold voltage (Vthp) is controlled to be a value of about -1.4 V, which is lower than the value of about -0.8 V in the Vgs-Ids curve 113 before containing. As a result, the voltage difference (ΔVth) between the first threshold voltage (Vthn) and the second threshold voltage (Vthp) is about 2.7 V, which is larger than the voltage difference (ΔVth) before impurity inclusion (about 1.6 V). Vthn is a gate voltage at which the n-channel TFT element is turned on, that is, a gate voltage that functions as a switching element when a predetermined amount of current flows through the channel. For example, a current of about 0.5 μA to 0.6 μA flows through the channel. Is the gate voltage when. The channel current value at Vthn is appropriately set depending on the configuration of the TFT element. Vthp is similarly determined.

本発明のドットマトリクス型表示装置は、保持回路62を構成するnチャンネルTFT素子は、そのチャンネルがp型不純物を1×1011cm-2〜3×1012cm-2含有し、保持回路62を構成するpチャンネルTFT素子は、そのチャンネルがn型不純物を1×1011cm-2〜1×1012cm-2含有していることが好ましい。この場合、保持回路62を構成するnチャンネルTFT素子は第1の閾値電圧(Vthn)が高くなるように制御されており、pチャンネルTFT素子は第2の閾値電圧(Vthp)が低くなるように制御されているとともに、それらの閾値電圧間の電圧差(ΔVth)が2.0V〜3.5V程度と従来よりも大きな所望のものとなる。 In the dot matrix type display device of the present invention, the n-channel TFT element constituting the holding circuit 62 has a channel containing 1 × 10 11 cm −2 to 3 × 10 12 cm −2 of p-type impurities. In the p-channel TFT element constituting n, it is preferable that the channel contains an n-type impurity in the range of 1 × 10 11 cm −2 to 1 × 10 12 cm −2 . In this case, the n-channel TFT elements constituting the holding circuit 62 are controlled so that the first threshold voltage (Vthn) is high, and the p-channel TFT elements are low so that the second threshold voltage (Vthp) is low. In addition to being controlled, the voltage difference (ΔVth) between the threshold voltages is about 2.0 V to 3.5 V, which is larger than the conventional one.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、上述した理由で、p型不純物はホウ素(B)であり、n型不純物はリン(P)であることが好ましい。   In the dot matrix display device of the present invention, it is preferable that the p-type impurity is boron (B) and the n-type impurity is phosphorus (P) for the reasons described above.

また本発明のドットマトリクス型表示装置は、保持回路62を構成するnチャンネルTFT素子の第1の閾値電圧(Vthn)とpチャンネルTFT素子の第2の閾値電圧(Vthp)との電圧差(ΔVth)が2.0V〜3.5Vであることが好ましい。この場合、nチャンネルTFT素子のチャンネル及びpチャンネルTFT素子のチャンネルに流れる電流値を、全動作電圧範囲内(例えば、−3V〜3V)で不純物含有前よりも低くすることが確実にできるものとなる。また、保持回路62を構成するnチャンネルTFT素子のオフリーク電流値及びpチャンネルTFT素子のオフリーク電流値を、従来の10分の1程度以下と低くすることが確実にできるものとなる。   Further, the dot matrix type display device of the present invention has a voltage difference (ΔVth) between the first threshold voltage (Vthn) of the n-channel TFT element constituting the holding circuit 62 and the second threshold voltage (Vthp) of the p-channel TFT element. ) Is preferably 2.0V to 3.5V. In this case, the value of the current flowing through the channel of the n-channel TFT element and the channel of the p-channel TFT element can be reliably reduced within the entire operating voltage range (for example, −3 V to 3 V) than before the impurity inclusion. Become. In addition, the off-leakage current value of the n-channel TFT element and the off-leakage current value of the p-channel TFT element constituting the holding circuit 62 can be reliably reduced to about 1/10 or less of the conventional one.

本発明のドットマトリクス型表示装置は、1つの表示パネルにおいて、書き換え周期をそれぞれに最適なものとした表示領域を複数設けることができる。この場合、ある表示領域では書き換えと次の書き換えとの間の期間を非常に長く設定し、他の表示領域では書き換えと次の書き換えとの間の期間を短く設定することにより、消費電力の制御を高い精度で行うことができる。その結果、消費電力をより低減させることができる。   The dot matrix display device of the present invention can provide a plurality of display regions each having an optimum rewrite cycle in one display panel. In this case, the power consumption can be controlled by setting a very long period between rewriting in one display area and setting a short period between rewriting in the other display area. Can be performed with high accuracy. As a result, power consumption can be further reduced.

本発明のドットマトリクス型表示装置の全体構成について以下に説明する。図1は、ドットマトリクス型表示装置の基本構成のブロック回路図であり、表示パネルは16384ドット(縦128ドット×横128ドット)の画素数を有する白黒表示のLCDである。図1において、LCDパネルの一方の横側にゲート信号線駆動回路3が設けられ、LCDパネルの下側に画像信号(ソース信号)線駆動回路4が設けられている。なお、図1において、1はTFT素子、2は共通電圧Vcomを画素電極部の共通電極に供給する共通電圧線、10は表示部、11はLCDパネルである。   The overall configuration of the dot matrix display device of the present invention will be described below. FIG. 1 is a block circuit diagram of a basic configuration of a dot matrix type display device, and a display panel is a monochrome display LCD having a number of pixels of 16384 dots (vertical 128 dots × horizontal 128 dots). In FIG. 1, a gate signal line drive circuit 3 is provided on one side of the LCD panel, and an image signal (source signal) line drive circuit 4 is provided on the lower side of the LCD panel. In FIG. 1, 1 is a TFT element, 2 is a common voltage line for supplying a common voltage Vcom to the common electrode of the pixel electrode section, 10 is a display section, and 11 is an LCD panel.

図3は、ゲート信号線駆動回路3の詳細な構成を示す回路図である。ゲート信号線駆動回路3は、ゲート選択信号線GS1〜GS7、ゲート選択信号線GS1〜GS7のそれぞれの反転信号を生成するCMOSインバータ等から成るインバータ21からの反転出力を伝送する反転ゲート選択信号線iGS1〜iGS7(図3では符号に上付きバーの反転記号を付している)、ゲート選択信号線GS1〜GS7及び反転ゲート選択信号線iGS1〜iGS7から成る14個の信号のうち7個の信号が入力される論理和否定(NOR)の論理ゲート回路22、論理ゲート回路22の出力の電圧振幅を昇圧させて画素電極部のゲート信号線GLn側のTFT素子を動作させるための昇圧回路(レベルシフタ(Level/Shifter :L/S))23、昇圧回路23の出力を反転させるCMOSインバータ等から成るインバータ24、を有している。尚、図2において10は表示部である。   FIG. 3 is a circuit diagram showing a detailed configuration of the gate signal line driving circuit 3. The gate signal line driving circuit 3 is an inverted gate selection signal line for transmitting an inverted output from an inverter 21 composed of a CMOS inverter or the like for generating inverted signals of the gate selection signal lines GS1 to GS7 and the gate selection signal lines GS1 to GS7. 7 signals out of 14 signals consisting of iGS1 to iGS7 (in FIG. 3, the inverted symbol of the superscript bar is attached), gate selection signal lines GS1 to GS7 and inverted gate selection signal lines iGS1 to iGS7 NOR gate (NOR) logic gate circuit 22 and the booster circuit (level shifter) for operating the TFT element on the gate signal line GLn side of the pixel electrode section by boosting the voltage amplitude of the output of the logic gate circuit 22 (Level / Shifter: L / S)) 23, and an inverter 24 composed of a CMOS inverter or the like for inverting the output of the booster circuit 23. In FIG. 2, reference numeral 10 denotes a display unit.

このゲート信号線駆動回路3において、論理ゲート回路22は、それに入力される7個の信号の全てがロー(「L」で表し、例えば0Vの信号)である場合に、ハイ(「H」で表し、例えば3Vの信号)を出力する。そして、論理ゲート回路22に入力される、ゲート選択信号線GS1〜GS7及び反転ゲート選択信号線iGS1〜iGS7の配線の組合せは27=128通りあり、ゲート選択信号線GS1〜GS7に入力する7個で1組の信号によって、1つの論理ゲート回路22を選択することができる。これにより、ゲート信号線GL1〜GL128のうちの1本を任意に選択してオンすることができる。尚、ゲート選択信号線GS1〜GS7に入力する7個で1組の信号の制御は、LCDパネル11上または外部に設けられた制御LSI(Large Scale lntegrated circuit)等によって行うことができる。 In this gate signal line driving circuit 3, the logic gate circuit 22 is high (“H”) when all of the seven signals input thereto are low (represented by “L”, for example, a signal of 0V). For example, 3V signal). There are 2 7 = 128 combinations of wirings of the gate selection signal lines GS1 to GS7 and the inverted gate selection signal lines iGS1 to iGS7, which are input to the logic gate circuit 22, and are input to the gate selection signal lines GS1 to GS7 7 One logic gate circuit 22 can be selected by one set of signals. Thereby, one of the gate signal lines GL1 to GL128 can be arbitrarily selected and turned on. Note that control of a set of seven signals input to the gate selection signal lines GS1 to GS7 can be performed by a control LSI (Large Scale Integrated Circuit) provided on the LCD panel 11 or externally.

図4は、画像信号線駆動回路4の詳細な構成を示す回路図である。画像信号線駆動回路4は、画像選択信号線SS1〜SS7、画像選択信号線SS1〜SS7のそれぞれの反転信号を生成するCMOSインバータ等から成るインバータ31、インバータ31からの反転出力を伝送する反転画像選択信号線iSS1〜iSS7、画像選択信号線SS1〜SS7及び反転画像選択信号線iSS1〜iSS7から成る14個の信号のうち7個の信号が入力される論理和否定(NOR)の論理ゲート回路32、論理ゲート回路32の出力の電圧振幅を昇圧させて画素電極部の画像信号線DLn側のTFT素子を動作させるための昇圧回路(L/S)33、昇圧回路33の出力を反転させるCMOSインバータ等から成るインバータ34、を有している。さらに、画像信号(Data)を伝送させる画像信号線36、インバータ34からの出力によってオンされ、画像信号線36からの画像信号Dataを画素電極部に出力するトランスファゲート素子であるTFT素子35、を有している。   FIG. 4 is a circuit diagram showing a detailed configuration of the image signal line driving circuit 4. The image signal line driving circuit 4 includes an image selection signal line SS1 to SS7, an inverter 31 including a CMOS inverter that generates an inverted signal of each of the image selection signal lines SS1 to SS7, and an inverted image that transmits an inverted output from the inverter 31. A logic gate circuit 32 of a logical sum negation (NOR) to which seven signals out of 14 signals composed of the selection signal lines iSS1 to iSS7, the image selection signal lines SS1 to SS7, and the inverted image selection signal lines iSS1 to iSS7 are input. A booster circuit (L / S) 33 for operating the TFT element on the image signal line DLn side of the pixel electrode section by boosting the voltage amplitude of the output of the logic gate circuit 32, and a CMOS inverter for inverting the output of the booster circuit 33 And so on. Further, an image signal line 36 that transmits an image signal (Data), a TFT element 35 that is turned on by the output from the inverter 34 and is a transfer gate element that outputs the image signal Data from the image signal line 36 to the pixel electrode unit. Have.

この画像信号線駆動回路4において、論理ゲート回路32は、それに入力される7個の信号の全てがL(例えば0Vの信号)である場合に、H(例えば3Vの信号)を出力する。そして、論理ゲート回路32に入力される、画像選択信号線SS1〜SS7及び反転画像選択信号線iSS1〜iSS7の配線の組合せは27=128通りあり、画像選択信号線SS1〜SS7に入力する7個で1組の信号によって、1つの論理ゲート回路32を選択することができる。これにより、画像信号起動線SL1〜SL128のうちの1本を任意に選択してオンすることができる。尚、画像選択信号線SS1〜SS7に入力する7個で1組の信号の制御は、LCDパネル11上または外部に設けられた制御LSI等によって行うことができる。 In the image signal line driving circuit 4, the logic gate circuit 32 outputs H (for example, a 3V signal) when all of the seven signals input thereto are L (for example, a 0V signal). Then, there are 2 7 = 128 combinations of wirings of the image selection signal lines SS1 to SS7 and the inverted image selection signal lines iSS1 to iSS7, which are input to the logic gate circuit 32, and are input to the image selection signal lines SS1 to SS7 7 One logic gate circuit 32 can be selected by one set of signals. Thereby, one of the image signal activation lines SL1 to SL128 can be arbitrarily selected and turned on. The control of a set of seven signals input to the image selection signal lines SS1 to SS7 can be performed by a control LSI or the like provided on the LCD panel 11 or outside.

さらに、任意に選択された1本の画像信号起動線SLnが1個のTFT素子35をオンし、そのTFT素子35が1つの画像信号Dataを画像信号線36上を伝送させて画素電極部に伝達させる。このような画像信号Dataの入力の制御は、上記の制御LSI等によって行うことができる。   Further, one arbitrarily selected image signal activation line SLn turns on one TFT element 35, and the TFT element 35 transmits one image signal Data on the image signal line 36 to the pixel electrode unit. Communicate. Such input control of the image signal Data can be controlled by the control LSI or the like.

図5(a),(b)は、ゲート信号線駆動回路3における1本のゲート信号線GL128をオンオフさせる駆動回路部の1実施の形態を示す回路図である。反転ゲート選択信号線iGS1〜iGS6(図5(a),(b)では符号に上付きバーの反転記号を付している)及びゲート選択信号線GS7のそれぞれに、pチャンネルTFT素子41とnチャンネルTFT素子42とから成るインバータが接続されている。   FIGS. 5A and 5B are circuit diagrams showing an embodiment of a drive circuit unit for turning on and off one gate signal line GL128 in the gate signal line drive circuit 3. FIG. Each of the inverted gate selection signal lines iGS1 to iGS6 (in FIG. 5A and FIG. 5B, the symbol is indicated by the inverted symbol of the superscript bar) and the gate selection signal line GS7 are respectively connected to the p-channel TFT element 41 and n. An inverter composed of a channel TFT element 42 is connected.

これらの7個のインバータは、それぞれのゲート共通接続点は、反転ゲート選択信号線iGS1〜iGS6及びゲート選択信号線GS7の1本々に接続され、7つのドレイン共通接続点は、共通接続されている。これにより、反転ゲート選択信号線iGS1〜iGS6及びゲート選択信号線GS7の全てにLの信号が入力されたときにのみ、共通接続された7つのドレイン共通接続点からHの信号が出力される。即ち、論理和否定(NOR)の論理ゲート回路22として機能する。   Each of these seven inverters has a common gate connection point connected to one of the inverted gate selection signal lines iGS1 to iGS6 and the gate selection signal line GS7, and the seven common drain connection points are connected in common. Yes. Accordingly, only when the L signal is input to all of the inverted gate selection signal lines iGS1 to iGS6 and the gate selection signal line GS7, the H signal is output from the seven commonly connected drain connection points. In other words, it functions as a logical gate circuit 22 for logical sum negation (NOR).

NORの論理ゲート回路22の出力(Hの信号)は、インバータ43と、pチャンネルTFT素子とnチャンネルTFT素子をドレイン電極部を共通接続して直列的に接続したトランスファゲート回路44と、pチャンネルTFT素子とnチャンネルTFT素子をドレイン電極部を共通接続して直列的に接続したトランスファゲート回路45とから成る昇圧回路(L/S)23に入力される。一方のトランスファゲート回路44のドレイン共通接続点は、他方のトランスファゲート回路45のpチャンネルTFT素子のゲート電極部に接続されている。また、他方のトランスファゲート回路45のドレイン共通接続点は、一方のトランスファゲート回路44のpチャンネルTFT素子のゲート電極部に接続されている。   The output (H signal) of the NOR logic gate circuit 22 includes an inverter 43, a transfer gate circuit 44 in which a p-channel TFT element and an n-channel TFT element are connected in series with a common drain electrode, and a p-channel circuit. The voltage is input to a booster circuit (L / S) 23 comprising a transfer gate circuit 45 in which a TFT element and an n-channel TFT element are connected in series with a common drain electrode. The common drain connection point of one transfer gate circuit 44 is connected to the gate electrode portion of the p-channel TFT element of the other transfer gate circuit 45. The common drain connection point of the other transfer gate circuit 45 is connected to the gate electrode portion of the p-channel TFT element of the one transfer gate circuit 44.

そして、一方のトランスファゲート回路44のnチャンネルTFT素子のゲート電極部にHの信号が入力されると、nチャンネルTFT素子に電流が流れて、一方のトランスファゲート回路44のドレイン共通接続点が0Vの電位(L)となる。この0Vの電位が、インバータ24のゲート共通接続点に入力される。これにより、インバータ24のドレイン共通接続点からゲート信号線GL128にHの信号(6V)が入力される。このとき、他方のトランスファゲート回路45のpチャンネルTFT素子のゲート電極部に0Vの電位(L)が印加され、pチャンネルTFT素子がオンとなり、pチャンネルTFT素子のドレイン電極部が6Vの電位になるが、この電位はインバータ24へは伝達されない。また、他方のトランスファゲート回路45のnチャンネルTFT素子のゲート電極部には、インバータ43のドレイン共通接続点からLの信号が入力されるため、そのnチャンネルTFT素子はオフとなる。   When an H signal is input to the gate electrode portion of the n-channel TFT element of one transfer gate circuit 44, a current flows through the n-channel TFT element, and the common drain connection point of one transfer gate circuit 44 is 0V. Potential (L). This potential of 0V is input to the gate common connection point of the inverter 24. As a result, an H signal (6 V) is input from the drain common connection point of the inverter 24 to the gate signal line GL128. At this time, a potential (L) of 0V is applied to the gate electrode portion of the p-channel TFT element of the other transfer gate circuit 45, the p-channel TFT element is turned on, and the drain electrode portion of the p-channel TFT element is set to a potential of 6V. However, this potential is not transmitted to the inverter 24. Further, since the L signal is input to the gate electrode portion of the n-channel TFT element of the other transfer gate circuit 45 from the drain common connection point of the inverter 43, the n-channel TFT element is turned off.

図6(a),(b)は、画像信号線駆動回路4における1本の画像信号起動線SL128をオンオフさせる駆動回路部の1実施の形態を示す回路図である。反転画像選択信号線iSS1〜iSS6及び画像選択信号線SS7のそれぞれに、pチャンネルTFT素子51とnチャンネルTFT素子52とから成るインバータが接続されている。   6A and 6B are circuit diagrams showing an embodiment of a drive circuit unit for turning on / off one image signal activation line SL128 in the image signal line drive circuit 4. FIG. An inverter composed of a p-channel TFT element 51 and an n-channel TFT element 52 is connected to each of the inverted image selection signal lines iSS1 to iSS6 and the image selection signal line SS7.

これらの7個のインバータは、それぞれのゲート共通接続点は、反転画像選択信号線iSS1〜iSS6及び画像選択信号線SS7の1本々に接続され、7つのドレイン共通接続点は、共通接続されている。これにより、反転画像選択信号線iSS1〜iSS6及び画像選択信号線SS7の全てにLの信号が入力されたときにのみ、共通接続された7つのドレイン共通接続点からHの信号が出力される。即ち、論理和否定(NOR)の論理ゲート回路32として機能する。   Each of these seven inverters has a common gate connection point connected to each of the inverted image selection signal lines iSS1 to iSS6 and the image selection signal line SS7, and the seven drain common connection points are commonly connected. Yes. Thereby, only when the L signal is input to all of the inverted image selection signal lines iSS1 to iSS6 and the image selection signal line SS7, the H signal is output from the seven commonly connected drain connection points. In other words, it functions as a logical gate circuit 32 of a logical sum negation (NOR).

NORの論理ゲート回路32の出力(Hの信号)は、インバータ53と、pチャンネルTFT素子とnチャンネルTFT素子をドレイン電極部を共通接続して直列的に接続したトランスファゲート回路54と、pチャンネルTFT素子とnチャンネルTFT素子をドレイン電極部を共通接続して直列的に接続したトランスファゲート回路55とから成る昇圧回路(L/B)33に入力される。一方のトランスファゲート回路54のドレイン共通接続点は、他方のトランスファゲート回路55のpチャンネルTFT素子のゲート電極部に接続されている。また、他方のトランスファゲート回路55のドレイン共通接続点は、一方のトランスファゲート回路54のpチャンネルTFT素子のゲート電極部に接続されている。   The output (H signal) of the NOR logic gate circuit 32 includes an inverter 53, a transfer gate circuit 54 in which a p-channel TFT element and an n-channel TFT element are connected in series with a common drain electrode, and a p-channel. The voltage is input to a booster circuit (L / B) 33 including a transfer gate circuit 55 in which a TFT element and an n-channel TFT element are connected in series with a common drain electrode portion. The common drain connection point of one transfer gate circuit 54 is connected to the gate electrode portion of the p-channel TFT element of the other transfer gate circuit 55. The common drain connection point of the other transfer gate circuit 55 is connected to the gate electrode portion of the p-channel TFT element of the one transfer gate circuit 54.

そして、一方のトランスファゲート回路54のnチャンネルTFT素子のゲート電極部にHの信号が入力されると、nチャンネルTFT素子に電流が流れて、一方のトランスファゲート回路54のドレイン共通接続点が0Vの電位(L)となる。この0Vの電位が、インバータ34のゲート共通接続点に入力される。これにより、インバータ34のドレイン共通接続点から画像信号起動線SL128にHの信号(6V)が入力される。このとき、他方のトランスファゲート回路55のpチャンネルTFT素子のゲート電極部に0Vの電位(L)が印加され、pチャンネルTFT素子がオンとなり、pチャンネルTFT素子のドレイン電極部が6Vの電位になるが、この電位はインバータ34へは伝達されない。また、他方のトランスファゲート回路55のnチャンネルTFT素子のゲート電極部には、インバータ53のドレイン共通接続点からLの信号が入力されるため、そのnチャンネルTFT素子はオフとなる。   When an H signal is input to the gate electrode portion of the n-channel TFT element of one transfer gate circuit 54, a current flows through the n-channel TFT element, and the common drain connection point of one transfer gate circuit 54 is 0V. Potential (L). This 0 V potential is input to the common gate connection point of the inverter 34. As a result, an H signal (6 V) is input from the common drain connection point of the inverter 34 to the image signal activation line SL128. At this time, a potential (L) of 0V is applied to the gate electrode portion of the p-channel TFT element of the other transfer gate circuit 55, the p-channel TFT element is turned on, and the drain electrode portion of the p-channel TFT element is set to a potential of 6V. However, this potential is not transmitted to the inverter 34. Further, since the L signal is input to the gate electrode portion of the n-channel TFT element of the other transfer gate circuit 55 from the common drain connection point of the inverter 53, the n-channel TFT element is turned off.

さらに、画像信号起動線SL128には、画像信号起動線SL128を伝送する信号をゲート電極部への制御入力とするnチャンネルTFT素子35が接続されており、そのnチャンネルTFT素子35のソース電極部には画像信号線36が接続されている。これにより、画像信号起動線SL128を伝送する信号がHのときにnチャンネルTFT素子35がオンとなり、画像信号線DL128によって画像信号Dataが画素電極部に伝達される。   Further, an n-channel TFT element 35 is connected to the image signal activation line SL128, and a signal transmitted through the image signal activation line SL128 is used as a control input to the gate electrode portion. The source electrode portion of the n-channel TFT element 35 is connected to the image signal activation line SL128. Is connected with an image signal line 36. Thus, when the signal transmitted through the image signal activation line SL128 is H, the n-channel TFT element 35 is turned on, and the image signal Data is transmitted to the pixel electrode portion through the image signal line DL128.

図7及び図8は、保持回路62と画素電極制御回路63を有する駆動選択回路64を含む画素電極部の1実施の形態を示す回路図である。図7はブロック回路図、図8は各ブロック回路を構成するTFT素子群を措いた詳細な回路図である。駆動選択回路64は、静止画駆動と書き換え駆動のいずれかを選択する回路であり、保持回路62、画素電極制御回路63を有している。   7 and 8 are circuit diagrams showing an embodiment of a pixel electrode unit including a drive selection circuit 64 having a holding circuit 62 and a pixel electrode control circuit 63. FIG. FIG. 7 is a block circuit diagram, and FIG. 8 is a detailed circuit diagram in which TFT element groups constituting each block circuit are taken. The drive selection circuit 64 is a circuit that selects either still image drive or rewrite drive, and includes a holding circuit 62 and a pixel electrode control circuit 63.

図7及び図8に示すように、駆動選択回路64の前段の入力部61には、2つのnチャンネルTFT素子61a,61bを直列的に接続させて成るトランスファゲート回路が設けられている。画像信号線DLn側のnチャンネルTFT素子61aは、そのゲート電極部に画像信号起動線SLnを伝送されてきた信号が制御入力される。その信号がHの場合にnチャンネルTFT素子61aはオンとなり、Lの場合にnチャンネルTFT素子61aはオフとなる。もう一つのゲート信号線GLn側のnチャンネルTFT素子61bは、そのゲート電極部にゲート信号線GLnを伝送されてきた信号が制御入力される。その信号がHの場合にnチャンネルTFT素子61bはオンとなり、Lの場合にnチャンネルTFT素子61bはオフとなる。従って、ゲート信号線GLnを伝送されてきた信号がHであり、かつ画像信号起動線SLnを伝送されてきた信号がHである場合にのみ、トランスファゲート回路は等価回路的に閉(クローズ)状態となり、画像信号線37を伝送されてきた信号が保持回路62へ伝送される。   As shown in FIGS. 7 and 8, the input unit 61 at the front stage of the drive selection circuit 64 is provided with a transfer gate circuit formed by connecting two n-channel TFT elements 61a and 61b in series. In the n-channel TFT element 61a on the image signal line DLn side, a signal transmitted through the image signal activation line SLn is controlled and input to the gate electrode portion. When the signal is H, the n-channel TFT element 61a is turned on, and when the signal is L, the n-channel TFT element 61a is turned off. In another n-channel TFT element 61b on the gate signal line GLn side, a signal transmitted through the gate signal line GLn is controlled and input to the gate electrode portion. When the signal is H, the n-channel TFT element 61b is turned on, and when the signal is L, the n-channel TFT element 61b is turned off. Therefore, the transfer gate circuit is closed in an equivalent circuit state only when the signal transmitted through the gate signal line GLn is H and the signal transmitted through the image signal activation line SLn is H. Thus, the signal transmitted through the image signal line 37 is transmitted to the holding circuit 62.

本発明のドットマトリクス型表示装置において、画素電極部は、駆動選択回路64の前段に、画像信号起動線SLnにゲート電極部が電気的に接続されている第1のnチャンネルTFT素子61aと、ゲート信号線GLnにゲート電極部が電気的に接続されている第2のnチャンネルTFT素子61bとを直列的に接続して成る入力部61を有しており、第1及び第2のnチャンネルTFT素子61a,61bは、それぞれオフリーク電流値が10-11A以下の低温多結晶シリコンから成るチャンネルを有していることが好ましい。この場合、第1及び第2のnチャンネルTFT素子61a,61bのオフリーク電流値が、従来の10分の1程度以下の極めて低いものとなる。また、低温多結晶シリコンはキャリア移動度が100〜200cm2/Vs以上であり、アモルファスシリコンの0.5cm2/Vsよりも高いため、低い駆動電圧でもチャンネルに電流を流すことができる。従って、画素電極部の入力部の消費電力を低く抑えることができ、その結果、ドットマトリクス型表示装置の消費電力をさらに低減させることができる。 In the dot matrix type display device of the present invention, the pixel electrode section includes a first n-channel TFT element 61a in which the gate electrode section is electrically connected to the image signal activation line SLn before the drive selection circuit 64; The first and second n-channels have an input unit 61 formed by serially connecting a second n-channel TFT element 61b whose gate electrode part is electrically connected to the gate signal line GLn. The TFT elements 61a and 61b preferably each have a channel made of low-temperature polycrystalline silicon having an off-leakage current value of 10 −11 A or less. In this case, the off-leakage current values of the first and second n-channel TFT elements 61a and 61b are extremely low, about 1/10 or less of the conventional one. In addition, low-temperature polycrystalline silicon has a carrier mobility of 100 to 200 cm 2 / Vs or higher and higher than 0.5 cm 2 / Vs of amorphous silicon, so that a current can flow through the channel even with a low driving voltage. Accordingly, the power consumption of the input portion of the pixel electrode portion can be kept low, and as a result, the power consumption of the dot matrix display device can be further reduced.

保持回路62は、例えば、CMOSインバータ等から成るインバータの2つをループ状に接続して成るスタティック型メモリ(SRAM)などから構成される。図8は、そのスタティック型メモリの構成を示している。保持回路62は、2つの第1、第2のインバータ62a,62bを直列に接続し、第2(後段側)のインバータ62bのドレイン共通接続点からの出力を、第1(前段側)のインバータ62aのゲート共通接続点に帰還入力させている。これにより、第1のインバータ62aのゲート共通接続点にHの信号が入力されると、次に第1のインバータ62aのドレイン共通接続点からLの信号が出力され、次にそのLの信号が第2のインバータ62bのゲート共通接続点に入力され、次に第2のインバータ62bのドレイン共通接続点からHの信号が出力され、次にそのHの信号が第1のインバータ62aのゲート共通接続点に帰還入力される。その結果、常時H,L,Hの信号がループ状の伝送線上において保持される。即ち、保持回路62は記憶回路として機能する。   The holding circuit 62 is configured by, for example, a static memory (SRAM) formed by connecting two inverters each including a CMOS inverter or the like in a loop shape. FIG. 8 shows the configuration of the static memory. The holding circuit 62 connects two first and second inverters 62a and 62b in series, and outputs the output from the common drain connection point of the second (rear stage) inverter 62b to the first (previous stage) inverter. Feedback input is made to the gate common connection point of 62a. Thus, when an H signal is input to the gate common connection point of the first inverter 62a, an L signal is then output from the drain common connection point of the first inverter 62a, and the L signal is then output. The signal is input to the common gate connection point of the second inverter 62b, then the H signal is output from the common drain connection point of the second inverter 62b, and then the H signal is connected to the common gate connection of the first inverter 62a. Feedback input to point. As a result, H, L, and H signals are always held on the loop-shaped transmission line. That is, the holding circuit 62 functions as a memory circuit.

図9は、画素電極制御回路63を構成するTFT素子群の接続関係を描いた回路図である。画素電極制御回路63は、保持回路62の第1のインバータ62aを共用しており、画像信号Bの反転信号iB(図では符号に上付きバーの反転記号を付している)を出力する第1のインバータ62aと、pチャンネルTFT素子81aとnチャンネルTFT素子81bとから成り、共通電圧Vcom(A)と画像信号data(B)と第1のインバータ62aの出力(iB)が参照入力されることによって2値データを出力する第1の2値選択回路81と、pチャンネルTFT素子82aとnチャンネルTFT素子82bとから成り、共通電圧Vcom(A)と画像信号data(B)と第1のインバータ62aの出力(iB)が参照入力されることによって2値データを出力する、出力線が第1の2値選択回路81の出力線に並列的に接続されている第2の2値選択回路82と、を有している。そして、第1の2値選択回路81の出力及び第2の2値選択回路82の出力が、共通電圧Vcom(A)と画像信号data(B)について排他的論理和(Exclusive OR :EXOR)の論理ゲート出力を構成している。   FIG. 9 is a circuit diagram depicting the connection relationship of the TFT element groups constituting the pixel electrode control circuit 63. As shown in FIG. The pixel electrode control circuit 63 shares the first inverter 62a of the holding circuit 62, and outputs the inverted signal iB of the image signal B (in the figure, the inverted symbol of the superscript bar is added). 1 inverter 62a, a p-channel TFT element 81a, and an n-channel TFT element 81b. The common voltage Vcom (A), the image signal data (B), and the output (iB) of the first inverter 62a are input for reference. This comprises a first binary selection circuit 81 for outputting binary data, a p-channel TFT element 82a and an n-channel TFT element 82b, and a common voltage Vcom (A), image signal data (B) and first A second binary selection circuit that outputs binary data when the output (iB) of the inverter 62a is referred to and is connected in parallel to the output line of the first binary selection circuit 81. 82. The output of the first binary selection circuit 81 and the output of the second binary selection circuit 82 are the exclusive OR (EXOR) of the common voltage Vcom (A) and the image signal data (B). Configures the logic gate output.

第1の2値選択回路81は、pチャンネルTFT素子81aとnチャンネルTFT素子81bを、ゲート電極部を共通接続するとともにドレイン電極部を共通接続したインバータであり、画像信号data(B)がH(1)の信号である場合にのみ、2値データ(Y)を出力する。逆に、画像信号data(B)がL(0)の信号である場合、第1の2値選択回路81はインバータとして機能せず、ハイインピーダンスの状態、即ち等価回路的に開(オープン)状態となり、2値データ(Y)を出力しない。   The first binary selection circuit 81 is an inverter in which a p-channel TFT element 81a and an n-channel TFT element 81b are connected in common to the gate electrode portion and the drain electrode portion, and the image signal data (B) is H. Only when the signal is (1), binary data (Y) is output. On the other hand, when the image signal data (B) is a signal of L (0), the first binary selection circuit 81 does not function as an inverter and is in a high impedance state, that is, in an open state in terms of an equivalent circuit. Therefore, binary data (Y) is not output.

第2の2値選択回路82は、pチャンネルTFT素子82aとnチャンネルTFT素子82bを、ソース電極部同士及びドレイン電極部同士を接続した4端子型のトランスファゲート回路であり、nチャンネルTFT素子82bのゲート電極部に入力される第1のインバータ62aの出力(iB)を制御入力としている。そして、第1のインバータ62aの出力(iB)がHの信号(1)である場合、即ち画像信号data(B)がLの信号(0)である場合にのみ、2値データ(Y)を出力する。逆に、第1のインバータ62aの出力(iB)がLの信号(0)である場合、第2の2値選択回路82はトランスファゲート回路として機能せず、ハイインピーダンスの状態、即ち等価回路的に開(オープン)状態となり、2値データ(Y)を出力しない。   The second binary selection circuit 82 is a four-terminal transfer gate circuit in which a p-channel TFT element 82a and an n-channel TFT element 82b are connected to each other between source electrode portions and drain electrode portions, and an n-channel TFT element 82b. The output (iB) of the first inverter 62a input to the gate electrode portion is used as a control input. Only when the output (iB) of the first inverter 62a is the H signal (1), that is, when the image signal data (B) is the L signal (0), the binary data (Y) is obtained. Output. On the other hand, when the output (iB) of the first inverter 62a is the L signal (0), the second binary selection circuit 82 does not function as a transfer gate circuit and is in a high impedance state, that is, equivalent circuit-like. Open (open) state, and binary data (Y) is not output.

このように、第2の2値選択回路82の出力線が第1の2値選択回路81の出力線に並列的に接続されているので、第1の2値選択回路81の出力及び第2の2値選択回路82の出力が、共通電圧Vcom(A)と画像信号data(B)について排他的論理和の論理ゲート出力を構成することになる。即ち、画素電極制御回路63は、共通電圧Vcom(A)と画像信号data(B)について排他的論理和の論理ゲート回路となっている。   Since the output line of the second binary selection circuit 82 is connected in parallel to the output line of the first binary selection circuit 81 in this way, the output of the first binary selection circuit 81 and the second The output of the binary selection circuit 82 constitutes an exclusive OR logic gate output for the common voltage Vcom (A) and the image signal data (B). That is, the pixel electrode control circuit 63 is a logic gate circuit that performs an exclusive OR operation on the common voltage Vcom (A) and the image signal data (B).

本発明のドットマトリクス型表示装置は、画素電極制御回路63は、図9に示すように、オフリーク電流値が10-11A以下のLTPSから成るチャンネルを有する複数のTFT素子から構成された排他的論理和の論理ゲート回路であることが好ましい。この場合、TFT素子のオフリーク電流値が、従来の10分の1程度以下の極めて低いものとなる。また、LTPSはキャリア移動度が100〜200cm2/Vs以上であり、アモルファスシリコンの0.5cm2/Vsよりも高いため、低い駆動電圧でもチャンネルに電流を流すことができる。従って、画素電極制御回路63の消費電力を低く抑えることができ、その結果、ドットマトリクス型表示装置の消費電力をさらに低減させることができる。 In the dot matrix type display device of the present invention, as shown in FIG. 9, the pixel electrode control circuit 63 is exclusively composed of a plurality of TFT elements having channels composed of LTPS having an off-leakage current value of 10 −11 A or less. It is preferable that the logical gate circuit is a logical sum. In this case, the off-leakage current value of the TFT element is extremely low, about 1/10 or less of the conventional one. Further, since LTPS has a carrier mobility of 100 to 200 cm 2 / Vs or higher and higher than 0.5 cm 2 / Vs of amorphous silicon, a current can flow through the channel even with a low driving voltage. Accordingly, the power consumption of the pixel electrode control circuit 63 can be kept low, and as a result, the power consumption of the dot matrix display device can be further reduced.

図10は、共通電圧Vcom(A)と画像信号data(B)を2値入力とする、排他的論理和の論理ゲート回路の出力(Y)を記載した真理値表である。画像信号data(B)が画素電極部に入力された場合、即ち画像信号data(B)がH(3V:「1」)の信号である場合に、画素電圧Pixelと共通電圧Vcom(A)との間に電位差が生じて、ノーマリホワイトモードであれば黒表示、ノーマリブラックモードであれば白表示となる。このように共通電圧Vcom(A)を反転駆動させても、画素電圧Pixelと共通電圧Vcom(A)との間の電位差は保持されるので、画素電極部における表示を保持した状態で、液晶の劣化を防ぐための、液晶に対する交流駆動が実現する。一方、画像信号data(B)が画素電極部に入力されない場合、即ち画像信号data(B)がL(0V:「0」)の信号である場合に、画素電圧Pixelと共通電圧Vcom(A)との間には電位差が生じず、ノーマリホワイトモードであれば白表示、ノーマリブラックモードであれば黒表示となる。このように共通電圧Vcom(A)を反転駆動させても、画素電圧Pixelと共通電圧Vcom(A)との間の電位差がない状態が保持されるので、画素電極部における表示を保持した状態で、液晶の劣化を防ぐための、液晶に対する交流駆動が実現する。   FIG. 10 is a truth table describing the output (Y) of an exclusive-OR logic gate circuit in which the common voltage Vcom (A) and the image signal data (B) are binary input. When the image signal data (B) is input to the pixel electrode portion, that is, when the image signal data (B) is a signal of H (3V: “1”), the pixel voltage Pixel and the common voltage Vcom (A) In the normally white mode, black is displayed, and in the normally black mode, white is displayed. Thus, even if the common voltage Vcom (A) is driven to be inverted, the potential difference between the pixel voltage Pixel and the common voltage Vcom (A) is maintained. AC drive for liquid crystal to prevent deterioration is realized. On the other hand, when the image signal data (B) is not input to the pixel electrode portion, that is, when the image signal data (B) is a signal of L (0 V: “0”), the pixel voltage Pixel and the common voltage Vcom (A). There is no potential difference between the two and the white display in the normally white mode, and the black display in the normally black mode. Thus, even if the common voltage Vcom (A) is inverted and driven, a state in which there is no potential difference between the pixel voltage Pixel and the common voltage Vcom (A) is maintained, so that display in the pixel electrode portion is maintained. This realizes AC driving for the liquid crystal to prevent deterioration of the liquid crystal.

また、画素電極部における表示を書き換える場合、図7に示す駆動選択回路64の前段の入力部61における、2つのnチャンネルTFT素子61a,61bを直列的に接続させて成るトランスファゲート回路をオンにする。即ち、ゲート信号線GLnを伝送されてきた信号をHとし、画像信号起動線SLnを伝送されてきた信号をHとする。この状態で、画像信号線37を伝送されてきた信号(data)を保持回路62へ伝送させる。例えば、信号(data)がHである場合、保持回路62はHの信号(data)を保持する。そして、図10におけるdata(B)がHの場合に相当する表示が画素電極部で実行される。即ち、画素電極部の表示は、ノーマリホワイトモードであれば黒表示、ノーマリブラックモードであれば白表示となる。一方、信号(data)がLである場合、保持回路62はLの信号(data)を保持する。そして、図10におけるdata(B)がLの場合に相当する表示が画素電極部で実行される。即ち、画素電極部の表示は、ノーマリホワイトモードであれば白表示、ノーマリブラックモードであれば黒表示となるように、書き換えられる。   Further, when rewriting the display in the pixel electrode section, a transfer gate circuit formed by connecting two n-channel TFT elements 61a and 61b in series in the input section 61 in the previous stage of the drive selection circuit 64 shown in FIG. 7 is turned on. To do. That is, the signal transmitted through the gate signal line GLn is set to H, and the signal transmitted through the image signal activation line SLn is set to H. In this state, the signal (data) transmitted through the image signal line 37 is transmitted to the holding circuit 62. For example, when the signal (data) is H, the holding circuit 62 holds the H signal (data). Then, a display corresponding to the case where data (B) in FIG. That is, the display of the pixel electrode portion is black in the normally white mode and white in the normally black mode. On the other hand, when the signal (data) is L, the holding circuit 62 holds the L signal (data). Then, a display corresponding to the case where data (B) in FIG. 10 is L is executed on the pixel electrode portion. That is, the display of the pixel electrode portion is rewritten so that white display is performed in the normally white mode and black display is performed in the normally black mode.

上述した構成により、本発明のドットマトリクス型表示装置は、表示領域における書き換え駆動を1画素(ドット)毎に行うことができ、それ以外の全ての画素を静止画駆動させることができるので、消費電力を極めて低いものとすることができる。例えば、従来の腕時計用の白黒表示のLCDにおいて、静止画駆動及び書き換え駆動を全画面走査して行う場合に100μW程度の消費電力であったものが、本発明のドットマトリクス型表示装置においては10μW程度以下、さらには3μW程度以下にまで抑えることができる。これにより、複雑な表示構成のLCDであっても、例えば、1回の電池交換で駆動可能な期間を10倍以上に伸ばすことが可能となる。さらに本発明のドットマトリクス型表示装置は、保持回路62を構成するnチャンネルTFT素子は、そのチャンネルがオフリーク電流値が低くなるように制御されており、保持回路62を構成するpチャンネルTFT素子は、そのチャンネルがオフリーク電流値が低くなるように制御されていることから、消費電力を0.3μW程度以下に低減させることができる。   With the above-described configuration, the dot matrix display device of the present invention can perform rewrite driving in the display area for each pixel (dot), and can drive all other pixels as still images. The power can be very low. For example, in a conventional black and white display LCD for a wristwatch, the power consumption of about 100 μW when performing still image driving and rewriting driving by full screen scanning is 10 μW in the dot matrix type display device of the present invention. It can be suppressed to about less than or equal to about 3 μW. As a result, even with an LCD having a complicated display configuration, for example, it is possible to extend the drivable period by 10 times or more by replacing the battery once. Further, in the dot matrix type display device of the present invention, the n-channel TFT element constituting the holding circuit 62 is controlled so that the off-leakage current value of the channel is low, and the p-channel TFT element constituting the holding circuit 62 is Since the channel is controlled to have a low off-leakage current value, the power consumption can be reduced to about 0.3 μW or less.

さらに、本発明のドットマトリクス型表示装置は、好ましくは、書き換え駆動を適用する表示領域を書き換え周期を相違させて複数設け、相違する書き換え周期の比を10倍以上とする。この構成により、ある表示領域では書き換えと次の書き換えとの間の期間を非常に長く設定し、他の表示領域では書き換えと次の書き換えとの間の期間を短く設定することにより、消費電力の制御をきめ細かく高い精度で行うことができる。その結果、消費電力をより低減させることができる。さらに、相違する書き換え周期の比を10倍以上とすることにより、消費電力をより低減させる効果が高まる。   Furthermore, the dot matrix type display device of the present invention is preferably provided with a plurality of display regions to which the rewrite drive is applied with different rewrite cycles, and the ratio of the different rewrite cycles is 10 times or more. With this configuration, the power consumption can be reduced by setting the period between rewriting and the next rewriting to be very long in one display area and setting the period between the rewriting and the next rewriting to be short in other display areas. The control can be performed with fine and high accuracy. As a result, power consumption can be further reduced. Furthermore, the effect of further reducing power consumption is enhanced by setting the ratio of different rewrite cycles to 10 times or more.

図11は、本発明のドットマトリクス型表示装置を適用したデジタル表示式腕時計の表示パネルを示すものであり、図11に示すように、例えば、表示パネルにおいて、時間を表示させる表示領域91と、分を表示させる表示領域92と、秒を表示させる表示領域93とで、書き換え周期を大きく相違させることができる。秒を表示させる表示領域93では、1秒毎に書き換え駆動するのに対して、分を表示させる表示領域92では、1分毎に書き換え駆動し、時間を表示させる表示領域91では、1時間毎に書き換え駆動すればよい。従って、表示領域91〜93以外の表示領域は静止画の表示領域94である。好適な実施形態として、分を表示させる表示領域92と秒を表示させる表示領域93の書き換え駆動の周期の比は60倍となる。換言すれば、1/60になるともいえる。また、時間を表示させる表示領域91では、1時間毎に書き換え駆動すればよいので、秒を表示させる表示領域93と時間を表示させる表示領域91との書き換え駆動の周期の比は3600倍となる。換言すれば、1/3600になるともいえる。また、表示領域91〜93において、書き換え駆動を1画素(ドット)毎に行うことができるが、複数画素毎に書き換え駆動してもよい。また、表示領域91〜93において、全ての画素を書き換えてもよいし、書き換えに必要な画素のみを書き換えてもよい。例えば、1つの表示領域において、「5」の表示を「6」に書き換える場合、書き換え不要な画素と書き換え必要な画素を区別することができるので、書き換えが必要な画素のみを書き換えることができる。   FIG. 11 shows a display panel of a digital display wristwatch to which the dot matrix type display device of the present invention is applied.As shown in FIG. 11, for example, in the display panel, a display area 91 for displaying time, The rewrite cycle can be greatly different between the display area 92 for displaying the minute and the display area 93 for displaying the second. In the display area 93 for displaying seconds, rewriting is driven every second, whereas in the display area 92 for displaying minutes, rewriting is driven every minute and in the display area 91 for displaying time, every hour. The rewriting drive may be performed. Accordingly, the display area other than the display areas 91 to 93 is a still image display area 94. As a preferred embodiment, the ratio of the rewrite drive cycle of the display area 92 for displaying minutes and the display area 93 for displaying seconds is 60 times. In other words, it can be said to be 1/60. Further, in the display area 91 for displaying the time, the rewriting drive may be performed every hour, so the ratio of the rewriting driving cycle of the display area 93 for displaying the second and the display area 91 for displaying the time is 3600 times. . In other words, it can be said to be 1/3600. In the display areas 91 to 93, the rewrite drive can be performed for each pixel (dot), but the rewrite drive may be performed for each of a plurality of pixels. In the display areas 91 to 93, all the pixels may be rewritten, or only the pixels necessary for rewriting may be rewritten. For example, in the case where the display of “5” is rewritten to “6” in one display region, it is possible to distinguish between pixels that do not need to be rewritten and pixels that need to be rewritten, so that only the pixels that need to be rewritten can be rewritten.

また、携帯電話、スマートフォン、タブレット端末、パーソナルコンピュータ等からのメール着信の電波信号を腕時計で受信した際に、その腕時計のLCD等から成る表示パネルに、メール受信の表示を上述した画素選択駆動方式の書き換え駆動によって行わせることができる。このような複雑な表示機能を極めて低い消費電力でもって行うことができる。例えば、気温、湿度、高度、方位、照度、気圧、水深、水圧、天気予報、外国との時差、歩数計、潮汐時間、日の出・日没の時間、血圧、脈拍、メールの内容、ニュース速報、緊急地震速報等の告知などの表示を、それらの最適な書き換え周期または任意のタイミングでもって表示することができる。また、それらの書き換え周期または表示のタイミングを、外部から人が入力、変更等して制御することもできる。書き換え周期の変更、制御または表示のタイミングの制御は、ドットマトリクス型表示装置の周辺に設けられた制御LSI等によって行うことができる。   In addition, when a wristwatch receives a radio signal for incoming mail from a mobile phone, smartphone, tablet terminal, personal computer, etc., the pixel selection drive system described above displays the mail reception on the display panel consisting of the wristwatch's LCD, etc. This can be done by rewriting driving. Such a complicated display function can be performed with extremely low power consumption. For example, temperature, humidity, altitude, direction, illuminance, barometric pressure, water depth, water pressure, weather forecast, time difference with foreign countries, pedometer, tide time, sunrise / sunset time, blood pressure, pulse, email content, breaking news, Notifications such as earthquake early warnings can be displayed at their optimum rewriting cycle or at an arbitrary timing. In addition, the rewrite cycle or display timing can be controlled by an external input or change by a person. The rewrite cycle change, control, or display timing control can be performed by a control LSI or the like provided around the dot matrix display device.

本発明のドットマトリクス型表示装置において、表示領域の書き換え周期に対応する書き換え期間は、書き換えを実行する動作期間及びそれ以外の書き換え休止期間を含んでおり、書き換え休止期間が動作期間よりも長いことが好ましい。この構成により、書き換えによる表示の切り換え動作が素早くなり、表示の切り換えプロセスが視認されなくなるので、表示の切り換えが見やすくなる。例えば、時計の秒の表示を書き換える場合、書き換え期間を1秒とし、書き換えを実行する動作期間を0.1〜0.3秒(10%〜30%)程度とし、それ以外の0.7〜0.9秒程度の期間を書き換え休止期間とすれば良い。   In the dot matrix type display device of the present invention, the rewriting period corresponding to the rewriting cycle of the display area includes an operation period in which rewriting is performed and other rewriting suspension periods, and the rewriting suspension period is longer than the operation period. Is preferred. With this configuration, the display switching operation by rewriting becomes quick and the display switching process is not visually recognized, so that the display switching is easy to see. For example, when rewriting the clock seconds display, the rewrite period is 1 second, the rewrite operation period is about 0.1 to 0.3 seconds (10% to 30%), and the other period is about 0.7 to 0.9 seconds. A rewriting suspension period may be used.

また、時計の秒を表示する表示領域のように書き換え周期が短い表示領域の画素数を、時計の分、時間を表示する表示領域のように書き換え周期が長い表示領域の画素数よりも少なくすることが好ましい。これにより、消費電力をさらに低減させることができる。例えば、好ましくは、書き換え周期が短い表示領域の画素数を、書き換え周期が長い表示領域の画素数の30%以下、より好ましくは、10%以下とすることが良い。   Also, the number of pixels in a display area with a short rewrite cycle, such as a display area that displays the seconds of a clock, is made smaller than the number of pixels in a display area with a long rewrite cycle, such as a display area that displays the time for the clock It is preferable. Thereby, power consumption can be further reduced. For example, the number of pixels in the display region with a short rewrite cycle is preferably 30% or less, more preferably 10% or less, of the number of pixels in the display region with a long rewrite cycle.

上述したように、好適な実施形態として、画素電極制御回路63は保持回路62の第1のインバータ62aを共用しているため、TFT素子の数が低減されており、その結果、消費電力の低減効果が高まるとともに、画素電極部の開口率が高くなる。   As described above, as a preferred embodiment, since the pixel electrode control circuit 63 shares the first inverter 62a of the holding circuit 62, the number of TFT elements is reduced, resulting in a reduction in power consumption. As the effect increases, the aperture ratio of the pixel electrode portion increases.

また、本発明のドットマトリクス型表示装置は、画素電極を反射型電極とした反射型LCDであることが好ましい。この場合、保持回路62等を画素電極の下方に配置することができ、保持回路62等による光反射率の低下をなくすことができる。一方、透過型LCDにおいて、透明な画素電極と保持回路62とを重ねて配置すると、透過光によって保持回路62等を構成するTFT素子が誤作動する可能性がある。そのため、TFT素子のゲート電極部を遮光膜で覆う必要があり、開口率が低下し易い。また、反射型LCDは、バックライトを設ける必要がないため、消費電力の低減に有効である。また、本発明のドットマトリクス型表示装置は、画素電極の領域に上記の反射型電極を有する反射領域と透過型電極を有する透過領域を備えた、半透過型液晶表示装置であってもよい。   Further, the dot matrix type display device of the present invention is preferably a reflection type LCD having a pixel electrode as a reflection type electrode. In this case, the holding circuit 62 and the like can be disposed below the pixel electrode, and a decrease in light reflectance due to the holding circuit 62 and the like can be eliminated. On the other hand, in a transmissive LCD, if the transparent pixel electrode and the holding circuit 62 are arranged so as to overlap with each other, the TFT elements constituting the holding circuit 62 and the like may malfunction due to the transmitted light. For this reason, it is necessary to cover the gate electrode portion of the TFT element with a light-shielding film, and the aperture ratio tends to decrease. In addition, since the reflective LCD does not require a backlight, it is effective in reducing power consumption. Further, the dot matrix type display device of the present invention may be a transflective liquid crystal display device provided with a reflective region having the reflective electrode and a transmissive region having a transmissive electrode in the region of the pixel electrode.

また、保持回路62によって保持されるビット数を1以上とすることが好ましい。このビット数を複数として多ビット化した場合、静止画表示の際に階調表示を行うことができる。また、アナログ信号を記憶する保持回路62とすれば、静止画表示の際にフルカラー表示を行うこともできる。   In addition, the number of bits held by the holding circuit 62 is preferably 1 or more. When the number of bits is increased to a plurality of bits, gradation display can be performed during still image display. Further, if the holding circuit 62 for storing analog signals is used, full-color display can be performed during still image display.

また、画素電極制御回路63は、図10の真理値表に示すように、共通電圧VcomのH/Lのいずれの信号に対しても静止画駆動と書き換え駆動を行うものとされている。即ち、共通電圧Vcom(A)がH(3V)で画像信号data(B)がH(3V)である場合、共通電圧Vcom(A)と画素電圧Pixel(L:0V)との間に電位差が形成され、共通電圧Vcom(A)がL(0V)で画像信号data(B)がH(3V)である場合にも同様に共通電圧Vcom(A)と画素電圧Pixel(H:3V)との間に電位差が形成されて、液晶が交流駆動されている。これにより、例えば、秒表示の書き換え周期に合わせて1秒毎に共通電圧Vcom(A)のH/Lを反転させることができ、液晶分子の劣化を抑えることができる。即ち、液晶分子に直流電圧成分が長時間印加されることによって、液晶分子が画素電極表面で正負の電荷の偏り(微量不純物の固定化)を起こして寿命が短くなることを抑えることができる。   Further, as shown in the truth table of FIG. 10, the pixel electrode control circuit 63 performs the still image driving and the rewriting driving for any of the H / L signals of the common voltage Vcom. That is, when the common voltage Vcom (A) is H (3 V) and the image signal data (B) is H (3 V), there is a potential difference between the common voltage Vcom (A) and the pixel voltage Pixel (L: 0 V). Similarly, when the common voltage Vcom (A) is L (0 V) and the image signal data (B) is H (3 V), the common voltage Vcom (A) and the pixel voltage Pixel (H: 3 V) are similarly generated. A potential difference is formed between them, and the liquid crystal is AC driven. Thereby, for example, the H / L of the common voltage Vcom (A) can be inverted every second in accordance with the rewriting cycle of the second display, and deterioration of the liquid crystal molecules can be suppressed. That is, when a DC voltage component is applied to the liquid crystal molecules for a long time, it is possible to prevent the liquid crystal molecules from causing a bias of positive and negative charges (fixation of a small amount of impurities) on the pixel electrode surface and shortening the lifetime.

このように、共通電圧VcomのH/Lの反転を、書き換え周期に連動させて定期的に反転させることが好ましい。この場合、共通電圧VcomのH/Lの反転を、書き換え周期に連動させない場合と比較して、共通電圧Vcomを個別に制御するための制御回路等を付加する必要がなく、消費電力のさらなる低下に有効である。また、共通電圧VcomのH/Lの反転駆動は、液晶分子の劣化を抑制するための反転駆動と、EXORの論理ゲート回路を構成する画素電極制御回路63の制御入力としての画素電圧制御信号との、2つの役割を果たしており、これによっても消費電力のさらなる低下に寄与している。   As described above, it is preferable to periodically invert the H / L inversion of the common voltage Vcom in conjunction with the rewrite cycle. In this case, compared with the case where the H / L inversion of the common voltage Vcom is not linked to the rewrite cycle, it is not necessary to add a control circuit or the like for individually controlling the common voltage Vcom, and the power consumption is further reduced. It is effective for. Further, the H / L inversion driving of the common voltage Vcom includes inversion driving for suppressing deterioration of liquid crystal molecules, and a pixel voltage control signal as a control input of the pixel electrode control circuit 63 constituting the EXOR logic gate circuit. This contributes to further reduction in power consumption.

また、本発明のドットマトリクス型表示装置において、静止画駆動が適用される表示領域において、各画素電極部に供給される共通電圧のハイ/ローを定期的に反転させることが好ましい。これにより、書き換え駆動が適用される表示領域は勿論のこと静止画駆動が適用される領域においても液晶分子の劣化が抑制される。   In the dot matrix display device of the present invention, it is preferable to periodically invert the high / low of the common voltage supplied to each pixel electrode portion in a display region to which still image driving is applied. Thereby, the deterioration of the liquid crystal molecules is suppressed not only in the display area to which the rewrite drive is applied but also in the area to which the still image drive is applied.

また、共通電圧Vcomの反転の定期的な周期は、制御LSI等によって、1秒毎、数十秒毎、分単位、時間単位で適宜設定することもできる。さらに、共通電圧Vcomの反転の周期をn秒毎(nは自然数)にしてもよく、その場合、秒表示の書き換え周期を共通電圧Vcomの反転の制御のベースに用いることができ、共通電圧Vcomの反転の制御が容易になる。   Further, the periodic period of inversion of the common voltage Vcom can be appropriately set by the control LSI or the like every second, every several tens of seconds, minutes, or hours. Further, the inversion cycle of the common voltage Vcom may be set every n seconds (n is a natural number). In this case, the rewrite cycle of the second display can be used as a base for controlling the inversion of the common voltage Vcom. It becomes easy to control the inversion.

本発明のドットマトリクス型表示装置において、画素電極制御回路63と画素電極との間に1〜3pF程度の補助容量を並列的に接続してもよい。これにより、書き換え駆動する際に、画素電圧が次第に低下して1フィールド期間保持されにくくなるのを抑え、画素電圧を1フィールド期間保持することができる。   In the dot matrix display device of the present invention, an auxiliary capacitor of about 1 to 3 pF may be connected in parallel between the pixel electrode control circuit 63 and the pixel electrode. As a result, when rewriting driving is performed, it is possible to suppress the pixel voltage from gradually decreasing and becoming difficult to hold for one field period, and to hold the pixel voltage for one field period.

また、画素電極は、透光性を有する場合、酸化インジウムスズ(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化珪素を添加したインジウム錫酸化物(ITSO)、酸化亜鉛(ZnO)、リンやボロンが含まれるシリコン(Si)等の透光性を有する導電性材料を用いて形成することができる。   In addition, when the pixel electrode has translucency, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium tin oxide added with silicon oxide (ITSO), zinc oxide (ZnO), phosphorus or boron It can be formed using a light-transmitting conductive material such as silicon (Si).

画素電極部に配置する表示素子としては、LCD素子、有機EL(Electro Luminescence)素子、無機EL素子、FED(Field Emitting Display)素子、SED(Surface-conduction Electron-emitter Display)素子、GLV(Grating Light Valve)素子、PDP(Plasma Display)素子、電子ペーパーディスプレイ素子、DMD(Digital micro Mirror Device)素子、圧電セラミックディスプレイ素子などの表示素子を用いることができる。また、本発明のドットマトリクス型表示装置は、インプレーンスイッチング(In-plane Switching :IPS)方式、フリンジフィールドスイッチング(Fringe Field Switching :FFS)方式のものであることが好ましい。この場合、画素電極が形成されているアレイ側基板(TFT素子が形成された基板)の主面に、共通電極を画素電極部毎に形成することによって、共通電圧の制御を画素電極部毎に独立して行うことが可能となる。   Display elements placed in the pixel electrode section include LCD elements, organic EL (Electro Luminescence) elements, inorganic EL elements, FED (Field Emitting Display) elements, SED (Surface-conduction Electron-emitter Display) elements, and GLV (Grating Light). Display elements such as a Valve element, a PDP (Plasma Display) element, an electronic paper display element, a DMD (Digital micro Mirror Device) element, and a piezoelectric ceramic display element can be used. The dot matrix type display device of the present invention is preferably of an in-plane switching (IPS) system or a fringe field switching (FFS) system. In this case, the common voltage is controlled for each pixel electrode part by forming the common electrode for each pixel electrode part on the main surface of the array side substrate on which the pixel electrode is formed (the substrate on which the TFT element is formed). It can be done independently.

また、本発明のドットマトリクス型表示装置は各種の電子機器に適用できる。その電子機器としては、スマートウォッチ等のデジタル表示式腕時計、自動車経路誘導システム(カーナビゲーションシステム)、船舶経路誘導システム、航空機経路誘導システム、スマートフォン端末、携帯電話、タブレット端末、パーソナルデジタルアシスタント(PDA)、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、電子手帳、電子書籍、電子辞書、パーソナルコンピュータ、複写機、ゲーム機器の端末装置、テレビジョン、商品表示タグ、価格表示タグ、産業用のプログラマブル表示装置、カーオーディオ、ヘッドアップディスプレイ、デジタルオーディオプレイヤー、ファクシミリ、プリンター、コピー機、現金自動預け入れ払い機(ATM)、自動販売機、頭部装着型画像表示装置(Head Mounted Display device :HMD)などがある。   Further, the dot matrix display device of the present invention can be applied to various electronic devices. The electronic devices include digital display watches such as smart watches, automobile route guidance systems (car navigation systems), ship route guidance systems, aircraft route guidance systems, smartphone terminals, mobile phones, tablet terminals, and personal digital assistants (PDAs). Video cameras, digital still cameras, electronic notebooks, electronic books, electronic dictionaries, personal computers, copying machines, terminal devices for game machines, televisions, product display tags, price display tags, industrial programmable display devices, car audio, There are a head-up display, a digital audio player, a facsimile, a printer, a copier, an automated teller machine (ATM), a vending machine, a head mounted display device (HMD), and the like.

1 TFT素子
2 共通電圧線
3 ゲート信号線駆動回路
4 画像信号線駆動回路
10 表示部
11 LCDパネル
21,31 インバータ
22,32 NORの論理ゲート回路
23,33 昇圧回路(レベルシフタ)
24,34 インバータ
35 nチャンネルTFT素子
36,37 画像信号線
41,51 pチャンネルTFT素子
42,52 nチャンネルTFT素子
43,53 インバータ
44,54 一方のトランスファゲート回路
45,55 他方のトランスファゲート回路
61 入力部
61a 画像信号線側のnチャンネルTFT素子
61b ゲート信号線側のnチャンネルTFT素子
62 保持回路
62a 第1のインバータ
62b 第2のインバータ
63 画素電極制御回路
64 駆動選択回路
81 第1の2値選択回路
81a pチャンネルTFT素子
81b nチャンネルTFT素子
82 第2の2値選択回路
82a pチャンネルTFT素子
82b nチャンネルTFT素子
91 時間を表示させる表示領域
92 分を表示させる表示領域
93 秒を表示させる表示領域
94 静止画を表示させる表示領域
1 TFT element 2 Common voltage line 3 Gate signal line drive circuit 4 Image signal line drive circuit
10 Display section
11 LCD panel
21,31 inverter
22,32 NOR logic gate circuit
23,33 Booster circuit (level shifter)
24,34 inverter
35 n-channel TFT device
36,37 Image signal line
41,51 p-channel TFT device
42,52 n-channel TFT device
43,53 inverter
44,54 One transfer gate circuit
45,55 Transfer gate circuit on the other side
61 Input section
61a n-channel TFT element on the image signal line side
61b n-channel TFT element on the gate signal line side
62 Holding circuit
62a First inverter
62b Second inverter
63 Pixel electrode control circuit
64 Drive selection circuit
81 First binary selection circuit
81a p-channel TFT device
81b n-channel TFT device
82 Second binary selection circuit
82a p-channel TFT device
82b n-channel TFT device
91 Display area for displaying time
Display area displaying 92 minutes
Display area displaying 93 seconds
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基板上の所定の方向に形成された複数本のゲート信号線と、前記所定の方向に交差する方向に前記ゲート信号線と交差させて形成された複数本の画像信号線と、前記ゲート信号線と前記画像信号線の交差部に形成された、書き換え駆動と静止画駆動のいずれかを選択する駆動選択回路を含む画素電極部と、複数本の前記ゲート信号線の一本を任意に選択してオンするゲート信号線駆動回路と、複数本の前記画像信号線の一本を任意に選択してオンする画像信号線駆動回路と、を有するドットマトリクス型表示装置であって、前記駆動選択回路は、オン状態の前記ゲート信号線とオン状態の前記画像信号線との交差部にある選択された前記画素電極部を書き換える画素電極制御回路と、非選択の前記画素電極部を静止画駆動するための保持回路と、を有しており、前記保持回路は、nチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子から構成されたスタティック型メモリであり、前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがオフリーク電流値を低減させるp型不純物を含有しており、前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがオフリーク電流値を低減させるn型不純物を含有しているドットマトリクス型表示装置。   A plurality of gate signal lines formed in a predetermined direction on the substrate; a plurality of image signal lines formed to intersect the gate signal lines in a direction intersecting the predetermined direction; and the gate signal lines And a pixel electrode unit including a drive selection circuit for selecting either rewrite driving or still image driving formed at an intersection of the image signal lines and one of the plurality of gate signal lines. And a gate signal line driving circuit that is turned on, and an image signal line driving circuit that arbitrarily turns on one of the plurality of image signal lines, and the drive selection circuit. A pixel electrode control circuit for rewriting the selected pixel electrode portion at the intersection of the gate signal line in the on state and the image signal line in the on state, and driving the non-selected pixel electrode portion in a still image Holding circuit for The holding circuit is a static memory composed of an n-channel thin film transistor element and a p-channel thin film transistor element, and the n-channel thin film transistor element has a p-type impurity whose channel reduces an off-leakage current value. The p-channel thin film transistor element is a dot matrix display device in which the channel contains an n-type impurity that reduces an off-leakage current value. 前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがp型不純物を1×1011cm-2〜3×1012cm-2含有し、前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがn型不純物を1×1011cm-2〜1×1012cm-2含有している請求項1に記載のドットマトリクス型表示装置。 The n-channel thin film transistor element has a p-type impurity of 1 × 10 11 cm −2 to 3 × 10 12 cm −2 in the channel, and the p-channel thin film transistor element has an n-type impurity of 1 × 10 11 The dot matrix type display device according to claim 1, which contains cm −2 to 1 × 10 12 cm −2 . 前記p型不純物はホウ素であり、前記n型不純物はリンである請求項1または請求項2に記載のドットマトリクス型表示装置。   The dot matrix type display device according to claim 1, wherein the p-type impurity is boron and the n-type impurity is phosphorus. 前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子及び前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、それぞれオフリーク電流値が10-11A以下の低温多結晶シリコンから成るチャンネルを有している請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のドットマトリクス型表示装置。 4. The dot according to claim 1, wherein each of the n-channel thin film transistor element and the p-channel thin film transistor element has a channel made of low-temperature polycrystalline silicon having an off-leakage current value of 10 −11 A or less. Matrix type display device. 基板上の所定の方向に形成された複数本のゲート信号線と、前記所定の方向に交差する方向に前記ゲート信号線と交差させて形成された複数本の画像信号線と、前記ゲート信号線と前記画像信号線の交差部に形成された、書き換え駆動と静止画駆動のいずれかを選択する駆動選択回路を含む画素電極部と、複数本の前記ゲート信号線の一本を任意に選択してオンするゲート信号線駆動回路と、複数本の前記画像信号線の一本を任意に選択してオンする画像信号線駆動回路と、を有するドットマトリクス型表示装置であって、前記駆動選択回路は、オン状態の前記ゲート信号線とオン状態の前記画像信号線との交差部にある選択された前記画素電極部を書き換える画素電極制御回路と、非選択の前記画素電極部を静止画駆動するための保持回路と、を有しており、前記保持回路は、nチャンネル薄膜トランジスタ素子及びpチャンネル薄膜トランジスタ素子から構成されたスタティック型メモリであり、前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルが第1の閾値電圧を高くするp型不純物を含有しており、前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルが第2の閾値電圧を低くするn型不純物を含有しているドットマトリクス型表示装置。   A plurality of gate signal lines formed in a predetermined direction on the substrate; a plurality of image signal lines formed to intersect the gate signal lines in a direction intersecting the predetermined direction; and the gate signal lines And a pixel electrode unit including a drive selection circuit for selecting either rewrite driving or still image driving formed at an intersection of the image signal lines and one of the plurality of gate signal lines. And a gate signal line driving circuit that is turned on, and an image signal line driving circuit that arbitrarily turns on one of the plurality of image signal lines, and the drive selection circuit. A pixel electrode control circuit for rewriting the selected pixel electrode portion at the intersection of the gate signal line in the on state and the image signal line in the on state, and driving the non-selected pixel electrode portion in a still image Holding circuit for The holding circuit is a static memory composed of an n-channel thin-film transistor element and a p-channel thin-film transistor element, and the n-channel thin-film transistor element has a p-channel whose channel increases the first threshold voltage. A dot matrix type display device, wherein the p-channel thin film transistor element contains an n-type impurity that lowers a second threshold voltage. 前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがp型不純物を1×1011cm-2〜3×1012cm-2含有し、前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子は、そのチャンネルがn型不純物を1×1011cm-2〜1×1012cm-2含有している請求項5に記載のドットマトリクス型表示装置。 The n-channel thin film transistor element has a p-type impurity of 1 × 10 11 cm −2 to 3 × 10 12 cm −2 in the channel, and the p-channel thin film transistor element has an n-type impurity of 1 × 10 11 The dot matrix type display device according to claim 5, which contains cm −2 to 1 × 10 12 cm −2 . 前記p型不純物はホウ素であり、前記n型不純物はリンである請求項5または請求項6に記載のドットマトリクス型表示装置。   The dot matrix type display device according to claim 5, wherein the p-type impurity is boron, and the n-type impurity is phosphorus. 前記nチャンネル薄膜トランジスタ素子の前記第1の閾値電圧と前記pチャンネル薄膜トランジスタ素子の前記第2の閾値電圧との電圧差が2.0V〜3.5Vである請求項5乃至請求項7のいずれかに記載のドットマトリクス型表示装置。   The voltage difference between the first threshold voltage of the n-channel thin film transistor element and the second threshold voltage of the p-channel thin film transistor element is 2.0V to 3.5V. The dot matrix display device described.
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