JP2016205595A - Joint for fluid control device, opening/closing valve for fluid control device, and fluid control device - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置に関し、特に、「集積化流体制御装置」と称されている流体制御装置での使用に適した流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a fluid control device joint, a fluid control device on-off valve, and a fluid control device, and in particular, a fluid control device joint suitable for use in a fluid control device called an “integrated fluid control device”. The present invention relates to an on-off valve for a fluid control device and a fluid control device.
半導体製造装置などで使用される流体制御装置においては、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数のブロック状継手部材とによって形成されており、複数のラインが、その入口および出口を同じ方向に向けて並列状に配置されることにより、パイプや管継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでいる（特許文献１、特許文献２など）。
In a fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, one line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of block joint members arranged in the lower stage. Are arranged in parallel so that their inlets and outlets are directed in the same direction, so that integration to configure a fluid control device without using pipes and pipe joints is proceeding (
このような流体制御装置における出口側開閉弁支持構造(51)を図７に示す。 An outlet side on-off valve support structure (51) in such a fluid control apparatus is shown in FIG.
出口側開閉弁支持構造(51)は、各出口側開閉弁(7)を支持する継手部材(11)(12)として、各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手(11)と、複数のライン全てにまたがって設けられたブロック状複列用継手(12)とを備えている。 The outlet-side on / off valve support structure (51) includes, as joint members (11) and (12) for supporting each outlet-side on-off valve (7), a block-like single-row joint (11) provided for each line, and And a block-shaped double row joint (12) provided across all of the plurality of lines.
出口側開閉弁(7)は、いずれも下面に開口する入口通路(7a)および出口通路(7b)を有している。 The outlet-side on-off valve (7) has an inlet passage (7a) and an outlet passage (7b) that are open on the lower surface.
単列用継手(11)は、いずれも上面に開口する入口通路(11a)および出口通路(11b)からなるＶ字状の通路(11a)(11b)を有している。出口通路(11b)は、出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)に連通している。入口通路(11a)は、図示省略するが、マスフローコントローラの出口通路に連通している。 The single-row joint (11) has V-shaped passages (11a) and (11b) each including an inlet passage (11a) and an outlet passage (11b) that open to the upper surface. The outlet passage (11b) communicates with the inlet passage (7a) of the outlet side opening / closing valve (7). Although not shown, the inlet passage (11a) communicates with the outlet passage of the mass flow controller.
複列用継手(12)は、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路(12a)および上面に開口する複数の分岐通路(12b)を有している。分岐通路(12b)は、ラインの数と同じだけ設けられており、流体取出し通路(12a)から上方にのびて出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)に連通している。 The double row joint (12) has a fluid take-out passage (12a) extending in a direction perpendicular to the line and a plurality of branch passages (12b) opened on the upper surface. The branch passages (12b) are provided in the same number as the number of lines, and extend upward from the fluid take-out passage (12a) to communicate with the outlet passage (7b) of the outlet-side on-off valve (7).
単列用継手(11)の出口通路(11b)と出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)とは、シール部(13)を介して突き合わされており、出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)と複列用継手(12)の分岐通路(12b)とも、シール部(13)を介して突き合わされている。シール部(13)は、各突き合わせ面に設けられた凹所同士が突き合わされることによって形成された環状の凹所(14)に環状のシール部材(15)が配置されることで形成されている。 The outlet passage (11b) of the joint for single row (11) and the inlet passage (7a) of the outlet-side on-off valve (7) are abutted via a seal portion (13), and the outlet-side on-off valve (7) The outlet passage (7b) and the branch passage (12b) of the double-row joint (12) are also abutted via the seal portion (13). The seal portion (13) is formed by disposing an annular seal member (15) in an annular recess (14) formed by abutting the recesses provided on each butting surface. Yes.
このような流体制御装置では、全てのラインのうちの１または複数のラインが選択され、そのラインの手動弁および入口側開閉弁が開とされて、所要の流体が供給される。図７に示す出口側開閉弁支持構造(51)においては、出口側開閉弁(7)が開とされ、選択されたラインを流れた流体は、それぞれのラインの出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)から複列用継手(12)内の分岐通路(12b)を経て流体取出し通路(12a)に流入し、複列用継手(12)の端部に設けられた流体取出し部から外部へと取り出される。 In such a fluid control device, one or a plurality of lines among all the lines are selected, the manual valve and the inlet side on-off valve of the line are opened, and the required fluid is supplied. In the outlet side opening / closing valve support structure (51) shown in FIG. 7, the outlet side opening / closing valve (7) is opened, and the fluid flowing through the selected line is allowed to flow through the outlet side opening / closing valve (7) of each line. From the outlet passage (7b) through the branch passage (12b) in the double-row joint (12), the fluid flows into the fluid take-out passage (12a), and from the fluid take-out section provided at the end of the double-row joint (12). It is taken out to the outside.
こうして、この流体制御装置(1)によると、全てのラインのうちのどれを選択するかとこれに流す流体を適宜変更することで、マスフローコントローラ(6)において流量を調整された種々の流体を複列用継手(12)の流体取出し通路(12a)を通じて流体取出し部から取り出すことができる。 Thus, according to this fluid control device (1), various fluids whose flow rates have been adjusted in the mass flow controller (6) can be duplicated by appropriately changing which of all the lines is selected and the fluid to be supplied to this line. It can be taken out from the fluid outlet through the fluid outlet passage (12a) of the row joint (12).
なお、特許文献２には、出口側開閉弁支持構造(51)に流体制御装置用継手を追加することが開示されている。 Patent Document 2 discloses that a fluid control device joint is added to the outlet-side on-off valve support structure (51).
上記特許文献１の流体制御装置において、ラインを増設する場合、複数のライン全てにまたがって設けられたブロック状複列用継手(12)を変更する（例えば３ライン用のものを４ライン用に変更する）ことが必要となり、そのためには、既設のラインを変更前のブロック状複列用継手(12)から取り外して、変更後のブロック状複列用継手(12)に既設ラインおよび増設ラインを取り付けることが必要となり、ライン増設の手間が大きいという問題があった。
In the fluid control device disclosed in
上記特許文献２の流体制御装置においても、この問題は解消していない。 This problem is not solved even in the fluid control device of Patent Document 2.
この発明の目的は、ライン増設時における手間を減少させることができる流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a joint for a fluid control device, an on-off valve for a fluid control device, and a fluid control device that can reduce the labor required when adding a line.
この発明による流体制御装置用継手は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において使用され、上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置されるブロック状継手であって、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口する分岐通路とを有していることを特徴とするものである。 In the fluid control device joint according to the present invention, one line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint members arranged in the lower stage, and the plurality of lines are arranged in parallel. Each line is provided with an outlet-side on-off valve having an inlet passage and an outlet passage that open to the lower surface as a fluid control device, and as a joint member that supports the outlet-side on-off valve, both on the upper surface. A block-like single-row joint provided for each line having an inlet passage and an outlet passage that opens, a fluid take-out passage extending in a direction perpendicular to the line, and a plurality of branches passages opening on the upper surface Is used in a fluid control device having a block-shaped double-row coupling provided over the upper surface, the upper surface is in contact with the lower surface of the outlet side on-off valve, and the lower surface is a single-row joint and double-row joint A block-like joint that is arranged across the hand, with one end opening on the lower surface and communicating with the outlet passage of the single-row joint, and the other end opening on the upper surface and communicating with the inlet passage of the outlet side opening / closing valve Branched from the outlet passage, an inlet passage that opens at the top and communicates with the outlet passage of the outlet on-off valve, and opens at the bottom and communicates with the branch passage of the double-row joint. And a branch passage that opens to the outside.
複数のラインからなる既設の流体制御装置において、ラインを増設する場合、既設の流体制御装置における１つのラインにおける出口側開閉弁支持構造に、この発明の流体制御装置用継手が追加される。 In the existing fluid control device composed of a plurality of lines, when the number of lines is increased, the fluid control device joint of the present invention is added to the outlet side on-off valve support structure in one line of the existing fluid control device.
この発明の流体制御装置用継手が追加されたラインでは、従来と同じ出口通路に加えて、分岐通路が設けられることになり、増設ラインを流れてきた流体をこの分岐通路が受け入れ、ブロック状複列用継手へと流すことができる。こうして、この発明の流体制御装置用継手が追加されることで、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。 In the line to which the joint for a fluid control device according to the present invention is added, a branch passage is provided in addition to the same outlet passage as the conventional one. It can flow to the joint for the row. Thus, by adding the joint for a fluid control device of the present invention, it is possible to add a line without changing the double-row joint to one corresponding to the number of lines after the line is added.
この発明による流体制御装置用開閉弁は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において、複数の流体制御機器の１つとしての出口側開閉弁として使用される流体制御装置用開閉弁であって、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する本体と、入口通路と出口通路との連通を遮断開放するアクチュエータと、上面が本体の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置される通路ブロックとを備え、通路ブロックは、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口する分岐通路とを有していることを特徴とするものである。 In the on-off valve for a fluid control device according to the present invention, one line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint members arranged in the lower stage, and the plurality of lines are arranged in parallel. Each line is provided with an outlet-side on / off valve having an inlet passage and an outlet passage that open to the lower surface as a fluid control device, and as a joint member that supports the outlet-side on-off valve, A block-shaped single-row coupling provided for each line, a fluid outlet passage extending in a direction perpendicular to the line, and a plurality of branch passages opening on the upper surface. In a fluid control device having a block-shaped double-row joint provided over a line, a flow system used as an outlet-side on-off valve as one of a plurality of fluid control devices An on-off valve for an apparatus, both of which have a main body having an inlet passage and an outlet passage that open to the lower surface, an actuator that blocks and opens communication between the inlet passage and the outlet passage, and the upper surface is in contact with the lower surface of the main body. Has a passage block arranged across the joint for single row and the joint for double row, and the passage block has one end opened to the lower surface and communicated with the outlet passage of the single row joint, and the other end on the upper surface. An inlet passage that opens and communicates with the inlet passage of the outlet-side on-off valve, a branch passage of the double-row joint that has one end opened on the top surface and communicated with the outlet passage of the outlet-side on-off valve, and the other end opened on the bottom surface And an outlet passage that communicates with the outlet passage and a branch passage that branches off from the outlet passage and opens to the outside.
複数のラインからなる既設の流体制御装置において、ラインを増設する場合、既設の流体制御装置における１つのラインにおける出口側開閉弁がこの発明の流体制御装置用開閉弁とされる。 In the existing fluid control device composed of a plurality of lines, when the number of lines is increased, the outlet-side on-off valve in one line of the existing fluid control device is used as the on-off valve for the fluid control device of the present invention.
この発明の流体制御装置用開閉弁が使用されているラインでは、従来と同じ出口通路に加えて、分岐通路が設けられることになり、増設ラインを流れてきた流体をこの分岐通路が受け入れ、ブロック状複列用継手へと流すことができる。こうして、この発明の流体制御装置用開閉弁が使用されることで、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインを増設した流体制御装置を得ることができる。 In the line in which the on-off valve for the fluid control device of the present invention is used, a branch passage is provided in addition to the same outlet passage as in the prior art. It can flow to the joint for the double row. Thus, by using the on-off valve for the fluid control device of the present invention, it is possible to obtain a fluid control device having an additional line without changing the double-row joint to one corresponding to the number of lines after the line is added. it can.
この発明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において、ブロック状複列用継手は、全てのラインよりも所定の数だけ少ないラインに対応するものとされており、所定の数のラインにおいて、上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがってブロック状継手が配置されており、ブロック状継手は、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口する分岐通路とを有していることを特徴とするものである。 In the fluid control device according to the present invention, one line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint members arranged in the lower stage, and the plurality of lines are arranged in parallel. Each line is provided with an outlet side opening / closing valve having an inlet passage and an outlet passage that are open on the lower surface as a fluid control device, and is open on the upper surface as a joint member that supports the outlet side opening / closing valve. A block-shaped single-row joint provided for each line having an inlet passage and an outlet passage, a fluid take-out passage extending in a direction perpendicular to the line, and a plurality of branch passages opened on the upper surface, and provided over a plurality of lines In the fluid control device having the block-shaped double row joint, the block-shaped double row joint corresponds to a predetermined number of lines less than all the lines. In a predetermined number of lines, the upper surface is in contact with the lower surface of the outlet-side on-off valve, and the lower surface is arranged with a block joint extending over the single row joint and the double row joint, One end of the block joint opens to the lower surface and communicates with the outlet passage of the joint for single row, the other end opens to the upper surface and communicates with the inlet passage of the outlet side opening / closing valve, and one end opens to the upper surface And an outlet passage that communicates with the outlet passage of the outlet-side on-off valve, the other end opens on the lower surface and communicates with the branch passage of the double-row joint, and a branch passage that branches off from the outlet passage and opens to the outside. It is characterized by that.
この発明の流体制御装置は、複数のラインからなる既設の流体制御装置に増設ラインが例えば１つ追加されたものとされる。そして、既設の流体制御装置の１つのラインにブロック状継手が配置される。 In the fluid control device of the present invention, for example, one additional line is added to the existing fluid control device including a plurality of lines. And a block-shaped coupling is arrange | positioned to one line of the existing fluid control apparatus.
ブロック状継手が配置されたラインでは、従来と同じ出口通路に加えて、分岐通路が設けられることになり、増設ラインを流れてきた流体をこの分岐通路が受け入れ、ブロック状複列用継手へと流すことができる。こうして、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。 In the line where the block-shaped joint is arranged, a branch passage is provided in addition to the same outlet passage as the conventional one. This branch passage accepts the fluid flowing through the extension line, and the block-shaped joint is connected to the double-row joint. It can flow. In this way, it is possible to increase the number of lines without changing the double-row joint to a number corresponding to the number of lines after the line expansion.
上記流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置において、分岐通路は、ライン方向と平行な方向にのびているようになされていてもよく、分岐通路は、ライン方向と直交する方向にのびているようになされてもよい。 In the fluid control device joint, the fluid control device on-off valve, and the fluid control device, the branch passage may extend in a direction parallel to the line direction, and the branch passage is perpendicular to the line direction. It may be made to stretch.
また、上記流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置において、分岐通路として、ライン方向と平行な方向にのびている第１通路と、ライン方向と直交する方向にのびている第２通路とが設けられており、第１通路および第２通路の開口部にはそれぞれ雌ねじが設けられて、いずれか一方の通路が雌ねじにねじ合わされる雄ねじを有する閉鎖部材によって閉鎖されていることがある。 In the fluid control device joint, the fluid control device on-off valve, and the fluid control device, the branch passage includes a first passage extending in a direction parallel to the line direction and a second passage extending in a direction orthogonal to the line direction. A passage is provided, and an opening of each of the first passage and the second passage is provided with a female screw, and either one of the passages is closed by a closing member having a male screw that is screwed to the female screw. is there.
なお、この明細書において、上下は図１の上下をいうものとするが、この上下は便宜的なもので、この発明の流体制御装置は、水平および垂直のいずれでの使用も可能である。 In this specification, the top and bottom refer to the top and bottom of FIG. 1, but this top and bottom is for convenience, and the fluid control device of the present invention can be used either horizontally or vertically.
この発明によると、上記のように、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。 According to the present invention, as described above, the number of lines can be increased without changing the double-row joint to the number corresponding to the number of lines after the number of lines.
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図６には、３つのライン(A)(B)(C)からなる増設前の流体制御装置(100)およびこれに１つのライン(D)が増設された増設後の流体制御装置(1)を示す。 FIG. 6 shows the fluid control device (100) before the addition consisting of three lines (A), (B) and (C), and the fluid control device (1) after the addition where one line (D) is added thereto. Indicates.
増設前の流体制御装置(100)では、各ライン(A)(B)(C)が複列用継手(12)によって連通させられている。 In the fluid control device (100) before the expansion, the lines (A), (B), and (C) are communicated with each other by the double row joint (12).
増設後の流体制御装置(1)では、増設前の流体制御装置(100)の３つ目のライン(C)に、後述するこの発明のライン増設用継手（流体制御装置用継手）(21)(31)(41)が矢印で示す出口側開閉弁支持構造(10)部に追加されることで、３つ目のライン(C')が増設前とは異なる構成とされている。複列用継手(12)は、増設前の流体制御装置(100)で使用されているのと同じ複列用継手(12)が使用されている。 In the fluid control device (1) after the expansion, the third line (C) of the fluid control device (100) before the expansion is connected to the line expansion joint (fluid control device joint) (21) of the present invention described later. By adding (31) and (41) to the outlet side on-off valve support structure (10) indicated by the arrows, the third line (C ′) is configured differently from before the addition. The double-row joint (12) is the same double-row joint (12) used in the fluid control device (100) before the expansion.
各ライン(A)(B)(C)(C')(D)は、それぞれ、流体制御機器として、入口側開閉弁(2)、プレッシャー・レギュレータ(3)、圧力表示器(4)、マスフローコントローラ用開閉弁(5)、マスフローコントローラ(6)および出口側開閉弁(7)を有している。 Each line (A) (B) (C) (C ') (D) is an inlet side on-off valve (2), pressure regulator (3), pressure indicator (4), mass flow The controller has an on-off valve (5), a mass flow controller (6), and an outlet-side on-off valve (7).
この流体制御装置(1)によると、全てのライン(A)(B)(C')(D)のうちのどれを選択するかとこれに流す流体を適宜変更することで、マスフローコントローラ(6)において流量を調整された種々の流体を複列用継手(12)の流体取出し通路(12a)を通して流体取出し部(9)から取り出すことができる。 According to this fluid control device (1), the mass flow controller (6) can be changed by appropriately changing which one of all the lines (A), (B), (C '), and (D) is selected and the fluid flowing therethrough. The various fluids whose flow rates are adjusted in (5) can be taken out from the fluid outlet (9) through the fluid outlet passage (12a) of the double row joint (12).
増設後の流体制御装置(1)は、ライン増設用継手(21)(31)(41)を使用することで、増設前の流体制御装置(100)で使用されていた３つのライン(A)(B)(C)用の複列用継手(12)を流用した点に特徴がある。すなわち、従来であれば、ラインを増設して４つのラインとするには、複列用継手(12)を４つのラインに対応するものとして、既設の３つのライン(A)(B)(C)を一旦取り外した後、変更された複列用継手に接続していたのに対し、この発明による流体制御装置(1)は、既設の２つのライン(A)(B)および複列用継手(12)については、取り外すことなく、ラインの増設を可能としたものとなっている。 The expanded fluid control device (1) uses the line expansion joints (21), (31), and (41), so that the three lines (A) used in the fluid control device (100) before the expansion (B) It is characterized by diverting the double row joint (12) for (C). In other words, in the past, in order to increase the number of lines to four lines, the double row joint (12) corresponds to the four lines, and the existing three lines (A) (B) (C ) Once removed and then connected to the modified double-row joint, the fluid control device (1) according to the present invention has two existing lines (A) and (B) and a double-row joint. For (12), the line can be expanded without removing it.
なお、図６では、簡素化のため、既設のライン(A)(B)(C)を３つとしているが、ラインの数がこれに限られないのはもちろんである。 In FIG. 6, for the sake of simplification, three existing lines (A), (B), and (C) are shown, but it goes without saying that the number of lines is not limited to this.
図１および図２は、この発明の流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置の第１実施形態を示しており、図３は、これらのうちの流体制御装置用継手だけを示している。 1 and 2 show a first embodiment of a fluid control device joint, a fluid control device on-off valve and a fluid control device according to the present invention, and FIG. 3 shows only the fluid control device joint of these. Is shown.
この発明の流体制御装置は、図６に示した複数のライン(A)(B)(C')(D)を備えた増設後の流体制御装置(1)における出口側開閉弁支持構造の改良に係るもので、この発明の流体制御装置(1)における出口側開閉弁支持構造(10)は、各ラインごとに上段に配置されている流体制御機器の１つである出口側開閉弁(7)と、各ラインごとに下段に配置されている継手部材の１つである単列用継手(11)と、全てのラインにわたって配置されている継手部材である複列用継手(12)と、出口側開閉弁(7)と単列用継手(11)および複列用継手(12)との間に配置されたこの発明によるライン増設用（流体制御装置用）継手(21)とを備えている。 The fluid control device according to the present invention is an improvement of the outlet side on-off valve support structure in the fluid control device (1) after addition having a plurality of lines (A), (B), (C '), and (D) shown in FIG. The outlet side on-off valve support structure (10) in the fluid control device (1) of the present invention is an outlet side on-off valve (7) which is one of the fluid control devices arranged in the upper stage for each line. ), A joint for a single row (11) which is one of the joint members arranged in the lower stage for each line, and a joint for a double row (12) which is a joint member arranged over all the lines, A line expansion (fluid control device) joint (21) according to the present invention disposed between the outlet side opening / closing valve (7) and the single-row joint (11) and double-row joint (12) Yes.
図１および図２に示す出口側開閉弁支持構造(10)は、既設ラインにおいて使用されていた図７に示す出口側開閉弁支持構造(51)に置き換えられるもので、例えば、図６に示した３つのライン(A)(B)(C)のうちの３つ目のライン(C)に適用される。他のライン(A)(B)では、図７に示す出口側開閉弁支持構造(51)が使用されている。出口側開閉弁(7)、単列用継手(11)および複列用継手(12)は、２つの出口側開閉弁支持構造(10)(51)で共通とされている。 The outlet side on / off valve support structure (10) shown in FIGS. 1 and 2 can be replaced with the outlet side on / off valve support structure (51) shown in FIG. 7 used in the existing line. This is applied to the third line (C) of the three lines (A), (B), and (C). In the other lines (A) and (B), the outlet side on-off valve support structure (51) shown in FIG. 7 is used. The outlet side on / off valve (7), the single row joint (11) and the double row joint (12) are common to the two outlet side on / off valve support structures (10) and (51).
出口側開閉弁(7)は、いずれも下面に開口する入口通路(7a)および出口通路(7b)が設けられた本体(7c)と、入口通路(7a)と出口通路(7b)との連通を遮断開放するアクチュエータ(7d)とを有している。単列用継手(11)は、いずれも上面に開口する入口通路(11a)および出口通路(11b)からなるＶ字状の通路(11a)(11b)を有している。単列用継手(11)の入口通路(11a)は、マスフローコントローラ(6)の出口通路に連通している。複列用継手(12)は、ライン(A)(B)(C')と直交する方向にのびる流体取出し通路(12a)および上面に開口する複数の分岐通路(12b)を有している。分岐通路(12b)は、既設ライン(A)(B)(C)の数と同じだけ設けられている。 The outlet-side on-off valve (7) is connected to the main body (7c) provided with the inlet passage (7a) and the outlet passage (7b) that are open on the lower surface, and the communication between the inlet passage (7a) and the outlet passage (7b). And an actuator (7d) for shutting off and opening. The single-row joint (11) has V-shaped passages (11a) and (11b) each including an inlet passage (11a) and an outlet passage (11b) that open to the upper surface. The inlet passage (11a) of the single-row joint (11) communicates with the outlet passage of the mass flow controller (6). The double row joint (12) has a fluid take-out passage (12a) extending in a direction orthogonal to the lines (A), (B), and (C ') and a plurality of branch passages (12b) opened on the upper surface. The number of branch passages (12b) is the same as the number of existing lines (A), (B), and (C).
ライン増設用継手(21)は、単列用継手(11)および複列用継手(12)と同様に、ブロック状のもので、ブロック状本体(22)と、本体(22)内に設けられた入口通路(23)、出口通路(24)および分岐通路(25)とを有している。 Like the single-row joint (11) and double-row joint (12), the line expansion joint (21) is a block-like one, and is installed in the block-shaped main body (22) and the main body (22). An inlet passage (23), an outlet passage (24), and a branch passage (25).
ブロック状本体(22)は、平面から見て、出口側開閉弁(7)の本体(7c)と同じ大きさであり、上面が出口側開閉弁(7)の下面に当接して、下面が単列用継手(11)と複列用継手(12)とにまたがって配置されている。 The block-shaped main body (22) is the same size as the main body (7c) of the outlet-side on-off valve (7) when viewed from above, and the upper surface is in contact with the lower surface of the outlet-side on-off valve (7), and the lower surface is It is arranged across the joint for single row (11) and the joint for double row (12).
入口通路(23)は、上下方向にのびており、下端が本体(22)の下面に開口して単列用継手(11)の出口通路(11b)の上端に連通しており、上端が本体(22)の上面に開口して出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)の下端に連通している。 The inlet passage (23) extends in the vertical direction, the lower end opens to the lower surface of the main body (22) and communicates with the upper end of the outlet passage (11b) of the single row joint (11), and the upper end is the main body ( 22) and opens to the lower end of the inlet passage (7a) of the outlet-side on-off valve (7).
出口通路(24)は、上下方向にのびており、上端が上面に開口して出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)の下端に連通しており、下端が本体(22)の下面に開口して複列用継手(12)の分岐通路(12b)の上端に連通している。 The outlet passage (24) extends in the vertical direction, the upper end opens to the upper surface and communicates with the lower end of the outlet passage (7b) of the outlet-side on-off valve (7), and the lower end is connected to the lower surface of the main body (22). It opens and communicates with the upper end of the branch passage (12b) of the double row joint (12).
分岐通路(25)は、出口通路(24)の上下の中程から出口通路(24)に直交する方向にのび、本体(22)のライン方向出口側の側面(22a)に開口している。分岐通路(25)の端面には、分岐通路(25)に連なってライン方向にのび外部との接続を可能とする円筒状接続部(26)が設けられている。 The branch passage (25) extends in the direction perpendicular to the outlet passage (24) from the middle of the upper and lower sides of the outlet passage (24), and opens on the side surface (22a) on the outlet side in the line direction of the main body (22). A cylindrical connection portion (26) is provided on the end face of the branch passage (25), which is connected to the branch passage (25) in the line direction and enables connection to the outside.
分岐通路(25)および接続部(26)が設けられていることにより、増設ラインを流れてきた流体を受け入れることができる。 By providing the branch passage (25) and the connecting portion (26), the fluid flowing through the extension line can be received.
単列用継手(11)の出口通路(11b)とライン増設用継手(21)の入口通路(23)との突き合わせ部およびライン増設用継手(21)の入口通路(23)と出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)との突き合わせ部には、シール部(13)が設けられている。出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)とライン増設用継手(21)の出口通路(24)との突き合わせ部およびライン増設用継手(21)の出口通路(24)と複列用継手(12)の分岐通路(12b)との突き合わせ部にも、シール部(13)が設けられている。シール部(13)は、各突き合わせ面に設けられた凹所同士が突き合わされることによって形成された環状の凹所(14)に環状のシール部材(15)が配置されることで形成されている。 Butt section between the outlet passage (11b) of the single row joint (11) and the inlet passage (23) of the line expansion joint (21) and the inlet passage (23) of the line expansion joint (21) and the outlet side opening / closing valve A seal portion (13) is provided at the abutting portion of (7) with the inlet passage (7a). The butt section between the outlet passage (7b) of the outlet side opening / closing valve (7) and the outlet passage (24) of the line expansion joint (21) and the outlet passage (24) of the line expansion joint (21) and double-row coupling A seal portion (13) is also provided at the abutting portion of (12) with the branch passage (12b). The seal portion (13) is formed by disposing an annular seal member (15) in an annular recess (14) formed by abutting the recesses provided on each butting surface. Yes.
図３に示すように、ライン増設用継手(21)の本体(22)には、出口側開閉弁(7)を単列用継手(11)および複列用継手(12)に取り付けるための雄ねじ部材(20)を挿通する貫通孔(27)が設けられており、ライン増設用継手(21)は、出口側開閉弁(7)を取り付けるための雄ねじ部材(20)によって対応する下段のブロック状継手部材である単列用継手(11)および複列用継手(12)に上方に取り出し可能に取り付けられる。 As shown in FIG. 3, the main body (22) of the line expansion joint (21) has a male screw for attaching the outlet side opening / closing valve (7) to the single-row joint (11) and double-row joint (12). A through hole (27) is provided through which the member (20) is inserted, and the line expansion joint (21) has a lower block shape corresponding to the male screw member (20) for mounting the outlet side on-off valve (7). It is attached to the single-row joint (11) and the double-row joint (12), which are joint members, so as to be removable upward.
上記出口側開閉弁支持構造(10)によると、増設ライン(D)を流れてきた流体を受け入れることができるので、従来の出口側開閉弁支持構造(51)がこの出口側開閉弁支持構造(10)に置き換えられることで、図６において、分岐通路(25)および接続部(26)によって形成された増設ライン接続用流体取出し通路(10a)が既設の流体制御装置(100)に付加され、これと増設ライン(D)とを接続することができる。これにより、ライン(D)の増設に際して、増設ライン接続用流体取出し通路が形成されている複列用継手、すなわち、４つのライン用の複列用継手を使用することなく、既設の複列用継手(12)を流用することができる。 According to the outlet side on / off valve support structure (10), since the fluid flowing through the extension line (D) can be received, the conventional outlet side on / off valve support structure (51) is provided with the outlet side on / off valve support structure ( 10), in FIG. 6, the extension line connecting fluid outlet passage (10a) formed by the branch passage (25) and the connecting portion (26) is added to the existing fluid control device (100). This can be connected to the extension line (D). As a result, when the line (D) is expanded, the double-row joint in which the fluid outlet passage for connecting the additional line is formed, that is, without using the double-row joint for four lines, the existing double-row joint is used. The joint (12) can be diverted.
図４は、この発明の流体制御装置用継手の第２実施形態を示している。同図に示すように、この実施形態のライン増設用（流体制御装置用）継手(31)は、単列用継手(11)および複列用継手(12)と同様に、ブロック状のもので、ブロック状本体(32)と、本体(32)内に設けられた入口通路(33)、出口通路(34)および分岐通路(35)とを有している。 FIG. 4 shows a second embodiment of the fluid control device joint according to the present invention. As shown in the figure, the line extension (fluid control device) joint (31) of this embodiment is a block-like joint, similar to the single-row joint (11) and double-row joint (12). And a block-shaped main body (32) and an inlet passage (33), an outlet passage (34) and a branch passage (35) provided in the main body (32).
ブロック状本体(32)は、上面が出口側開閉弁(7)の下面に当接して、下面が単列用継手(11)と複列用継手(12)とにまたがって配置される。 The block-shaped main body (32) is arranged such that the upper surface abuts on the lower surface of the outlet side on-off valve (7) and the lower surface extends over the single-row joint (11) and the double-row joint (12).
入口通路(33)は、上下方向にのびており、下端が本体(32)の下面に開口して単列用継手(11)の出口通路(11b)の上端に連通し、上端が本体(32)の上面に開口して出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)の下端に連通する。 The inlet passage (33) extends in the vertical direction, the lower end opens to the lower surface of the main body (32) and communicates with the upper end of the outlet passage (11b) of the single row joint (11), and the upper end is the main body (32). And communicates with the lower end of the inlet passage (7a) of the outlet-side on-off valve (7).
出口通路(34)は、上下方向にのびており、上端が上面に開口して出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)の下端に連通し、下端が本体(32)の下面に開口して複列用継手(12)の分岐通路(12b)の上端に連通する。 The outlet passage (34) extends in the vertical direction, the upper end opens to the upper surface and communicates with the lower end of the outlet passage (7b) of the outlet-side on-off valve (7), and the lower end opens to the lower surface of the main body (32). To communicate with the upper end of the branch passage (12b) of the double row joint (12).
分岐通路(35)は、出口通路(34)の上下の中程から出口通路(34)に直交してライン方向にのびるライン方向通路部(35a)と、ライン方向通路部(35a)の端からライン方向に直交する方向にのびて本体(32)のライン方向に平行な側面(32a)に開口しているライン直交方向通路部(35b)とを有している。分岐通路(35)のライン直交方向通路部(35b)の端面には、分岐通路(35)のライン直交方向通路部(35b)に連なってラインに直交する方向にのび外部との接続を可能とする円筒状接続部(36)が設けられている。 The branch passage (35) includes a line-direction passage portion (35a) extending in the line direction perpendicular to the outlet passage (34) from the middle of the upper and lower sides of the exit passage (34), and from the end of the line-direction passage portion (35a). A line orthogonal direction passage portion (35b) extending in a direction orthogonal to the line direction and opening in a side surface (32a) parallel to the line direction of the main body (32) is provided. The end surface of the line orthogonal direction passage portion (35b) of the branch passage (35) can be connected to the outside extending in the direction orthogonal to the line connected to the line orthogonal direction passage portion (35b) of the branch passage (35). A cylindrical connecting part (36) is provided.
分岐通路(35)は、出口通路(34)の上下の中程から出口通路(34)に直交してライン方向通路部(35a)とはライン方向の逆方向にのびてライン方向に直交する側面(32b)に開口している補助通路(35c)をさらに有しており、補助通路(35c)の開口側は、他の部分よりも径が大きい大径部とされて、ここに、雌ねじ部(35d)が形成されている。雌ねじ部(35d)には、雄ねじ部が形成された閉鎖部材(37)がねじ込まれており、これにより、補助通路(35c)は閉鎖されている。 The branch passage (35) extends from the middle of the upper and lower sides of the exit passage (34) to the exit passage (34) and extends in the direction opposite to the line direction passage portion (35a) and perpendicular to the line direction. (32b) further has an auxiliary passageway (35c), and the opening side of the auxiliary passageway (35c) is a large-diameter portion having a diameter larger than that of the other portion. (35d) is formed. The female screw part (35d) is screwed with a closing member (37) in which a male screw part is formed, whereby the auxiliary passage (35c) is closed.
分岐通路(35)および接続部(36)が設けられていることにより、増設ライン(D)を流れてきた流体を受け入れることができる。 By providing the branch passage (35) and the connecting portion (36), the fluid flowing through the expansion line (D) can be received.
図５は、この発明の流体制御装置用継手の第３実施形態を示している。同図に示すように、この実施形態のライン増設用（流体制御装置用）継手(41)は、単列用継手(11)および複列用継手(12)と同様に、ブロック状のもので、ブロック状本体(42)と、本体(42)内に設けられた入口通路(43)、出口通路(44)および分岐通路(45)とを有している。 FIG. 5 shows a third embodiment of the fluid control device joint according to the present invention. As shown in the figure, the line expansion (fluid control device) joint (41) of this embodiment is a block-like joint, similar to the single-row joint (11) and double-row joint (12). And a block-like main body (42), and an inlet passage (43), an outlet passage (44) and a branch passage (45) provided in the main body (42).
ブロック状本体(42)は、上面が出口側開閉弁(7)の下面に当接して、下面が単列用継手(11)と複列用継手(12)とにまたがって配置される。 The block-shaped main body (42) has an upper surface in contact with a lower surface of the outlet-side on-off valve (7), and a lower surface disposed across the single-row joint (11) and the double-row joint (12).
入口通路(43)は、上下方向にのびており、下端が本体(42)の下面に開口して単列用継手(11)の出口通路(11b)の上端に連通し、上端が本体(42)の上面に開口して出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)の下端に連通する。 The inlet passage (43) extends in the vertical direction, the lower end opens to the lower surface of the main body (42) and communicates with the upper end of the outlet passage (11b) of the joint for single row (11), and the upper end is the main body (42). And communicates with the lower end of the inlet passage (7a) of the outlet-side on-off valve (7).
出口通路(44)は、上下方向にのびており、上端が上面に開口して出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)の下端に連通し、下端が本体(42)の下面に開口して複列用継手(12)の分岐通路(12b)の上端に連通する。 The outlet passage (44) extends in the vertical direction, the upper end opens on the upper surface and communicates with the lower end of the outlet passage (7b) of the outlet-side on-off valve (7), and the lower end opens on the lower surface of the main body (42). To communicate with the upper end of the branch passage (12b) of the double row joint (12).
分岐通路(45)は、出口通路(44)の上下の中程から出口通路(44)に直交してライン方向にのびるライン方向通路部(45a)と、ライン方向通路部(45a)の端からライン方向に直交する方向にのびて本体(42)のライン方向に平行な側面(42a)に開口しているライン直交方向通路部(45b)とを有している。分岐通路(45)のライン直交方向通路部(45b)の開口側には、外部との接続を可能とする第１雌ねじ部(45c)が設けられている。 The branch passage (45) includes a line-direction passage portion (45a) extending in the line direction perpendicular to the outlet passage (44) from the middle of the upper and lower sides of the exit passage (44), and from the end of the line-direction passage portion (45a). A line orthogonal direction passage portion (45b) extending in a direction orthogonal to the line direction and opening in a side surface (42a) parallel to the line direction of the main body (42) is provided. A first female thread portion (45c) that enables connection to the outside is provided on the opening side of the passage portion (45b) in the line orthogonal direction of the branch passage (45).
分岐通路(45)は、出口通路(44)の上下の中程から出口通路(44)に直交してライン方向通路部(45a)とはライン方向の逆方向にのびてライン方向に直交する側面(42b)に開口している補助通路(45d)をさらに有しており、補助通路(45d)の開口側は、他の部分よりも径が大きい大径部とされて、ここに、第２雌ねじ部(45e)が形成されている。第２雌ねじ部(45e)には、雄ねじ部が形成された閉鎖部材(46)がねじ込まれており、これにより、補助通路(45d)は閉鎖されている。 The branch passage (45) extends from the middle of the upper and lower sides of the outlet passage (44) to the outlet passage (44) and extends in the direction opposite to the line direction passage portion (45a) and perpendicular to the line direction. (42b) is further provided with an auxiliary passage (45d), and the opening side of the auxiliary passage (45d) is a large-diameter portion having a diameter larger than that of the other portions. A female screw part (45e) is formed. A closing member (46) having a male screw portion is screwed into the second female screw portion (45e), whereby the auxiliary passage (45d) is closed.
分岐通路(45)および第１雌ねじ部(45c)が設けられていることにより、増設ライン(D)を流れてきた流体を受け入れることができる。 By providing the branch passage (45) and the first female thread portion (45c), the fluid flowing through the extension line (D) can be received.
閉鎖部材(46)は、これを第２雌ねじ部(45e)からねじ外して第１雌ねじ部(45c)にねじ込むことができる。これにより、補助通路(45d)の方を分岐通路として使用することができる。 The closing member (46) can be unscrewed from the second female screw portion (45e) and screwed into the first female screw portion (45c). Thereby, the auxiliary passage (45d) can be used as a branch passage.
すなわち、図５に示したライン増設用継手(41)は、分岐通路として、ライン方向と平行な方向にのびている補助通路＝第１通路(45d)と、ライン方向と直交する方向にのびているライン直交方向通路部＝第２通路(45b)とが設けられており、いずれか一方の通路が閉鎖部材(46)によって閉鎖されている継手となっている。 That is, the line expansion joint (41) shown in FIG. 5 has, as a branch passage, an auxiliary passage extending in a direction parallel to the line direction = first passage (45d) and a line extending in a direction perpendicular to the line direction. An orthogonal direction passage portion = a second passage (45b) is provided, and one of the passages is a joint closed by a closing member (46).
既存の流体制御装置(100)において、上記各実施形態のライン増設用継手(21)(31)(41)を使用してラインを増加する場合、既存の流体制御装置(100)から出口側開閉弁(7)を一旦上方に取り外し、既存の流体制御装置(100)で使用されている部品は全てそのまま使用して、このライン増設用継手(21)(31)(41)が追加され、このライン増設用継手(21)(31)(41)および一旦取り外された出口側開閉弁(7)が対応する単列用継手(11)および複列用継手(12)に雄ねじ部材によって取り付けられる。こうして、全てのラインにわたって配置されていることで、変更・交換に手間がかかる複列用継手(12)については、変更することなく、ラインを増設することができる。 In the existing fluid control device (100), when the number of lines is increased by using the line expansion joints (21), (31), and (41) of the above embodiments, the outlet side opening / closing from the existing fluid control device (100) is performed. Once the valve (7) is removed upward, all parts used in the existing fluid control device (100) are used as they are, and this line expansion joint (21) (31) (41) is added. The joints for line expansion (21), (31), and (41) and the once-removed outlet side on-off valve (7) are attached to the corresponding single-row joint (11) and double-row joint (12) by male thread members. Thus, the arrangement of all the lines makes it possible to increase the number of lines without changing the double-row joint (12), which takes time to change and replace.
なお、上記において、ライン増設用継手(21)(31)(41)が取り付けられた出口側開閉弁(7)をライン増設用通路ブロック(21)(31)(41)付きの出口側開閉弁(7)として扱うようにすることにより、出口側開閉弁をライン増設用通路ブロック(21)(31)(41)無しのものからライン増設用通路ブロック(21)(31)(41)付きのものに置き換えることによって、複列用継手(12)をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。 In the above, the outlet side on-off valve (7) to which the line expansion joint (21) (31) (41) is attached is connected to the outlet side on-off valve with the line expansion passage block (21) (31) (41). By treating it as (7), the outlet side opening / closing valve can be used without a line expansion passage block (21) (31) (41) or with a line expansion passage block (21) (31) (41). By replacing it with one, the number of lines can be increased without changing the double-row joint (12) to one corresponding to the number of lines after the line expansion.
(7)：出口側開閉弁（流体制御機器）
(7a)：入口通路
(7b)：出口通路
(7c)：本体
(7d)：アクチュエータ
(10)：出口側開閉弁支持構造（流体制御装置）
(11)：単列用継手（継手部材）
(11a)：入口通路
(11b)：出口通路
(12)：複列用継手（継手部材）
(12a)：流体取出し通路
(12b)：分岐通路
(21)(31)(41)：ライン増設用（流体制御装置用）継手
(23)(33)(43)：入口通路
(24)(34)(44)：出口通路
(25)(35)(45)：分岐通路
(45b)：ライン直交方向通路部（第２通路）
(45d)：補助通路（第１通路）
(45c)：第１雌ねじ部
(45e)：第２雌ねじ部
(7): Outlet opening / closing valve (fluid control device)
(7a): Entrance passage
(7b): Exit passage
(7c): Body
(7d): Actuator
(10): Outlet opening / closing valve support structure (fluid control device)
(11): Single row joint (joint member)
(11a): Entrance passage
(11b): Exit passage
(12): Double row joint (joint member)
(12a): Fluid extraction passage
(12b): Branch passage
(21) (31) (41): Fitting for line expansion (for fluid control device)
(23) (33) (43): Entrance passage
(24) (34) (44): Exit passage
(25) (35) (45): Branch passage
(45b): Line orthogonal direction passage part (second passage)
(45d): Auxiliary passage (first passage)
(45c): First female thread
(45e): Second female thread
Claims (12)
上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置されるブロック状継手であって、
一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口する分岐通路とを有していることを特徴とする流体制御装置用継手。 One line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint members arranged in the lower stage, and the plurality of lines are arranged in parallel. Both have an outlet-side on-off valve having an inlet passage and an outlet passage that opens on the lower surface, and both have an inlet passage and an outlet passage that open on the upper surface as joint members that support the outlet-side on-off valve. Block-shaped single row joint provided for each line, a fluid take-out passage extending in a direction perpendicular to the line, and a plurality of branch passages opened on the upper surface, and provided for a plurality of lines Used in a fluid control device comprising:
A block-shaped joint in which the upper surface is in contact with the lower surface of the outlet side on-off valve, and the lower surface is disposed across the single-row joint and the double-row joint,
One end opens to the bottom surface and communicates with the outlet passage of the single-row joint, the other end opens to the top surface and communicates with the inlet passage of the outlet side on-off valve, and one end opens to the top surface and opens and closes the outlet side It has an outlet passage that communicates with the outlet passage of the valve, the other end opens on the lower surface and communicates with the branch passage of the double-row joint, and a branch passage that branches off from the outlet passage and opens to the outside Fitting for fluid control device.
複数の流体制御機器の１つとしての出口側開閉弁として使用される流体制御装置用開閉弁であって、
いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する本体と、
入口通路と出口通路との連通を遮断開放するアクチュエータと、
上面が本体の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置される通路ブロックとを備え、
通路ブロックは、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口する分岐通路とを有していることを特徴とする流体制御装置用開閉弁。 One line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint members arranged in the lower stage, and the plurality of lines are arranged in parallel. Both have an outlet-side on-off valve having an inlet passage and an outlet passage that opens on the lower surface, and both have an inlet passage and an outlet passage that open on the upper surface as joint members that support the outlet-side on-off valve. Block-shaped single row joint provided for each line, a fluid take-out passage extending in a direction perpendicular to the line, and a plurality of branch passages opened on the upper surface, and provided for a plurality of lines A fluid control device comprising:
An on-off valve for a fluid control device used as an outlet-side on-off valve as one of a plurality of fluid control devices,
A main body having an inlet passage and an outlet passage both open to the lower surface;
An actuator that blocks and opens communication between the inlet passage and the outlet passage;
The upper surface is in contact with the lower surface of the main body, and the lower surface includes a passage block disposed across the single-row joint and the double-row joint,
One end of the passage block opens on the lower surface and communicates with the outlet passage of the joint for single row, the other end opens on the upper surface and communicates with the inlet passage of the outlet side opening / closing valve, and one end opens on the upper surface. An outlet passage that communicates with the outlet passage of the outlet-side on-off valve, the other end opens on the lower surface and communicates with the branch passage of the double-row joint, and a branch passage that branches off from the outlet passage and opens to the outside An on-off valve for a fluid control device.
ブロック状複列用継手は、全てのラインよりも所定の数だけ少ないラインに対応するものとされており、
所定の数のラインにおいて、上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがってブロック状継手が配置されており、ブロック状継手は、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口する分岐通路とを有していることを特徴とする流体制御装置。 One line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint members arranged in the lower stage, and the plurality of lines are arranged in parallel. Both have an outlet-side on-off valve having an inlet passage and an outlet passage that opens on the lower surface, and both have an inlet passage and an outlet passage that open on the upper surface as joint members that support the outlet-side on-off valve. Block-shaped single row joint provided for each line, a fluid take-out passage extending in a direction perpendicular to the line, and a plurality of branch passages opened on the upper surface, and provided for a plurality of lines A fluid control device comprising:
The block-shaped double-row joint corresponds to a predetermined number of lines less than all the lines.
In a predetermined number of lines, the upper surface is in contact with the lower surface of the outlet side on-off valve, and the lower surface is arranged with a block joint extending over the single row joint and the double row joint. Is open to the lower surface and communicates with the outlet passage of the joint for single row, the other end opens to the upper surface and communicates with the inlet passage of the outlet-side on-off valve, and one end opens to the upper surface and exit-side on-off valve The other end has an outlet passage that opens to the lower surface and communicates with the branch passage of the double-row joint, and a branch passage that branches from the outlet passage and opens to the outside. A fluid control device.
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
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| WO2020090347A1 (en) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 株式会社フジキン | Fluid suplly system |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06193756A (en) * | 1992-12-25 | 1994-07-15 | Tokyo Electron Ltd | Flow rate controller |
| JPH10311450A (en) * | 1997-05-08 | 1998-11-24 | Tadahiro Omi | Coupling for fluid control unit |
| JP2015010623A (en) * | 2013-06-27 | 2015-01-19 | 株式会社フジキン | Joint for fluid control device, and fluid control device |
-
2015
- 2015-04-28 JP JP2015091569A patent/JP6518501B2/en active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06193756A (en) * | 1992-12-25 | 1994-07-15 | Tokyo Electron Ltd | Flow rate controller |
| JPH10311450A (en) * | 1997-05-08 | 1998-11-24 | Tadahiro Omi | Coupling for fluid control unit |
| JP2015010623A (en) * | 2013-06-27 | 2015-01-19 | 株式会社フジキン | Joint for fluid control device, and fluid control device |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110506323A (en) * | 2017-03-29 | 2019-11-26 | 富士金公司 | The installation method of crossover sub, integrated-type fluid supply apparatus and fluidic component with the crossover sub |
| WO2020090347A1 (en) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 株式会社フジキン | Fluid suplly system |
| US11226049B2 (en) | 2018-10-31 | 2022-01-18 | Fujikin Incorporated | Fluid supply system |
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