JP6518501B2 - Coupling for fluid control device, on-off valve for fluid control device and fluid control device - Google Patents
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Description
この発明は、流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置に関し、特に、「集積化流体制御装置」と称されている流体制御装置での使用に適した流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置に関する。 The present invention relates to a fluid control device joint, a fluid control device on-off valve, and a fluid control device, and more particularly to a fluid control device joint suitable for use in a fluid control device called "integrated fluid control device". The present invention relates to a fluid control device on-off valve and a fluid control device.
半導体製造装置などで使用される流体制御装置においては、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数のブロック状継手部材とによって形成されており、複数のラインが、その入口および出口を同じ方向に向けて並列状に配置されることにより、パイプや管継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでいる（特許文献１、特許文献２など）。
In a fluid control apparatus used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, one line is formed by a plurality of fluid control devices disposed in the upper stage and a plurality of block-like joint members disposed in the lower stage, Are arranged in parallel with their inlets and outlets facing in the same direction, which promotes integration of the fluid control device without using pipes or pipe joints (
このような流体制御装置における出口側開閉弁支持構造(51)を図７に示す。 The outlet side on-off valve support structure (51) in such a fluid control device is shown in FIG.
出口側開閉弁支持構造(51)は、各出口側開閉弁(7)を支持する継手部材(11)(12)として、各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手(11)と、複数のライン全てにまたがって設けられたブロック状複列用継手(12)とを備えている。 The outlet side on-off valve support structure (51) is a joint member (11) (12) for supporting each outlet side on-off valve (7), and a block-shaped single-row joint (11) provided for each line; And a block-shaped double-row joint (12) provided across all the plurality of lines.
出口側開閉弁(7)は、いずれも下面に開口する入口通路(7a)および出口通路(7b)を有している。 The outlet side on-off valve (7) has an inlet passage (7a) and an outlet passage (7b) which open to the lower surface.
単列用継手(11)は、いずれも上面に開口する入口通路(11a)および出口通路(11b)からなるＶ字状の通路(11a)(11b)を有している。出口通路(11b)は、出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)に連通している。入口通路(11a)は、図示省略するが、マスフローコントローラの出口通路に連通している。 The single-row joint (11) has a V-shaped passage (11a) (11b) consisting of an inlet passage (11a) and an outlet passage (11b), both of which open on the top surface. The outlet passage (11b) communicates with the inlet passage (7a) of the outlet on-off valve (7). The inlet passage (11a) is in communication with the outlet passage of the mass flow controller (not shown).
複列用継手(12)は、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路(12a)および上面に開口する複数の分岐通路(12b)を有している。分岐通路(12b)は、ラインの数と同じだけ設けられており、流体取出し通路(12a)から上方にのびて出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)に連通している。 The multi-row joint (12) has a fluid extraction passage (12a) extending in a direction orthogonal to the line and a plurality of branch passages (12b) opened on the top surface. The branch passages (12b) are provided in the same number as the number of lines, extending upward from the fluid outlet passage (12a) and communicating with the outlet passage (7b) of the outlet on-off valve (7).
単列用継手(11)の出口通路(11b)と出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)とは、シール部(13)を介して突き合わされており、出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)と複列用継手(12)の分岐通路(12b)とも、シール部(13)を介して突き合わされている。シール部(13)は、各突き合わせ面に設けられた凹所同士が突き合わされることによって形成された環状の凹所(14)に環状のシール部材(15)が配置されることで形成されている。 The outlet passage (11b) of the single-row joint (11) and the inlet passage (7a) of the outlet on-off valve (7) are butted together via the seal portion (13), and the outlet on-off valve (7) The outlet passage (7b) and the branch passage (12b) of the double-row joint (12) are butted together via the seal portion (13). The seal portion (13) is formed by disposing an annular seal member (15) in an annular recess (14) formed by abutting the recesses provided on the respective abutting surfaces. There is.
このような流体制御装置では、全てのラインのうちの１または複数のラインが選択され、そのラインの手動弁および入口側開閉弁が開とされて、所要の流体が供給される。図７に示す出口側開閉弁支持構造(51)においては、出口側開閉弁(7)が開とされ、選択されたラインを流れた流体は、それぞれのラインの出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)から複列用継手(12)内の分岐通路(12b)を経て流体取出し通路(12a)に流入し、複列用継手(12)の端部に設けられた流体取出し部から外部へと取り出される。 In such a fluid control device, one or more lines of all the lines are selected, and the manual valve and the inlet side on-off valve of the line are opened to supply the required fluid. In the outlet side on-off valve support structure (51) shown in FIG. 7, the outlet side on-off valve (7) is opened, and the fluid having flowed through the selected line is the outlet side on-off valve (7) of each line. From the outlet passage (7b) through the branch passage (12b) in the multi-row joint (12), it flows into the fluid extraction passage (12a) and from the fluid outlet provided at the end of the double-row joint (12) It is taken out to the outside.
こうして、この流体制御装置(1)によると、全てのラインのうちのどれを選択するかとこれに流す流体を適宜変更することで、マスフローコントローラ(6)において流量を調整された種々の流体を複列用継手(12)の流体取出し通路(12a)を通じて流体取出し部から取り出すことができる。 Thus, according to the fluid control device (1), by appropriately selecting which of all the lines and the fluid to be flown, it is possible to multiply the various fluids whose flow rates have been adjusted in the mass flow controller (6). It can be removed from the fluid outlet through the fluid outlet passage (12a) of the row joint (12).
なお、特許文献２には、出口側開閉弁支持構造(51)に流体制御装置用継手を追加することが開示されている。 Patent Document 2 discloses that a fluid control device joint is added to the outlet side on-off valve support structure (51).
上記特許文献１の流体制御装置において、ラインを増設する場合、複数のライン全てにまたがって設けられたブロック状複列用継手(12)を変更する（例えば３ライン用のものを４ライン用に変更する）ことが必要となり、そのためには、既設のラインを変更前のブロック状複列用継手(12)から取り外して、変更後のブロック状複列用継手(12)に既設ラインおよび増設ラインを取り付けることが必要となり、ライン増設の手間が大きいという問題があった。
In the fluid control device of
上記特許文献２の流体制御装置においても、この問題は解消していない。 Also in the fluid control device of Patent Document 2, this problem is not solved.
この発明の目的は、ライン増設時における手間を減少させることができる流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a fluid control device coupling, a fluid control device on-off valve, and a fluid control device capable of reducing the time and effort when adding a line.
この発明による流体制御装置用継手は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において使用され、上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置されるブロック状継手であって、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とするものである。 In the fluid control device joint according to the present invention, one line is formed by the plurality of fluid control devices disposed in the upper stage and the plurality of joint members disposed in the lower stage, and the plurality of lines are arranged in parallel. Each line is provided with an outlet side open / close valve having an inlet passage and an outlet passage open on the lower surface as fluid control devices, and as a coupling member for supporting the outlet side open / close valve, all on the upper surface Block-shaped single-row joint having open inlet and outlet passages and provided for each line, fluid outlet passage extending in a direction perpendicular to the lines, and plural branch passages open on the upper surface Used in a fluid control apparatus having a block-shaped double row joint provided across the upper surface and the lower surface thereof being in contact with the lower surface of the outlet side on-off valve, the lower surface being for single row joint and double row A block-like joint disposed across the hand, one end being open at the lower surface and communicating with the outlet passage of the single row joint, and the other end being open at the upper surface and communicating with the inlet passage of the outlet on-off valve An outlet passage communicating with the outlet passage of the outlet side open / close valve, and an outlet passage communicating with the branch passage of the multi-row joint, and the other end of the outlet passage; Is opened to the outside, and when it is connected to the outlet passage of the outlet side on-off valve of any of the plurality of lines, it receives the fluid flowing through the corresponding line and is connected via the outlet passage for double row It has a branch passage flowing to the joint, and a connection portion provided in the branch passage for connecting to the outlet passage of the outlet side on-off valve of any of the lines .
複数のラインからなる既設の流体制御装置において、ラインを増設する場合、既設の流体制御装置における１つのラインにおける出口側開閉弁支持構造に、この発明の流体制御装置用継手が追加される。 In an existing fluid control device comprising a plurality of lines, when adding a line, the joint for fluid control device of the present invention is added to the outlet side on-off valve support structure in one line in the existing fluid control device.
この発明の流体制御装置用継手が追加されたラインでは、従来と同じ出口通路に加えて、分岐通路が設けられることになり、増設ラインを流れてきた流体をこの分岐通路が受け入れ、ブロック状複列用継手へと流すことができる。こうして、この発明の流体制御装置用継手が追加されることで、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。 In the line to which the fluid control device joint according to the present invention is added, a branch passage is provided in addition to the same outlet passage as the conventional one, and the branch passage receives the fluid flowing through the extension line, and the block-shaped multiple It can flow to the row fitting. Thus, by adding the fluid control device joint of the present invention, it is possible to add lines without changing the double-row joint to one corresponding to the number of lines after the line addition.
この発明による流体制御装置用開閉弁は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において、複数の流体制御機器の１つとしての出口側開閉弁として使用される流体制御装置用開閉弁であって、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する本体と、入口通路と出口通路との連通を遮断開放するアクチュエータと、上面が本体の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置される通路ブロックとを備え、通路ブロックは、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とするものである。 In the on-off valve for a fluid control device according to the present invention, one line is formed by a plurality of fluid control devices disposed in the upper stage and a plurality of joint members disposed in the lower stage, and the plurality of lines are arranged in parallel Each line is provided with an outlet side open / close valve having an inlet passage and an outlet passage open on the lower surface as fluid control devices, and a joint member for supporting the outlet side open / close valve, each of which is an upper surface A block-like single-row joint having an inlet passage and an outlet passage open to each line, a fluid takeout passage extending in a direction perpendicular to the line, and a plurality of branch passages opening on the upper surface A fluid control apparatus comprising a block-shaped multi-row joint provided across a line, wherein the fluid control is used as an outlet side on-off valve as one of a plurality of fluid control devices. An on-off valve for a device, the main body having an inlet passage and an outlet passage both open at the lower surface, the actuator for blocking and opening the communication between the inlet passage and the outlet passage, and the upper surface abutting the lower surface of the main body Has a passage block disposed across the single-row joint and the double-row joint, and one end of the passage block opens at the lower surface to communicate with the outlet passage of the single-row joint and the other end is on the upper surface An inlet passage that opens and communicates with the inlet passage of the outlet side open / close valve, and one end opens at the upper surface and communicates with the outlet passage of the outlet side open / close valve, and the other end opens at the lower surface and the branch passage of the double row joint And an outlet passage branched from the outlet passage to open to the outside, and when it is connected to the outlet passage of the outlet side on-off valve of one of the plurality of lines, it flows through the one of the lines Accepts fluid and for double row through outlet passage A branch passage to flow into the hand, is characterized in that the and a connection section provided in the branch passage for connecting the outlet passage of the outlet side switching valve of one of the line.
複数のラインからなる既設の流体制御装置において、ラインを増設する場合、既設の流体制御装置における１つのラインにおける出口側開閉弁がこの発明の流体制御装置用開閉弁とされる。 In the existing fluid control device comprising a plurality of lines, when adding a line, the outlet side on-off valve in one line in the existing fluid control device is the on-off valve for fluid control device of the present invention.
この発明の流体制御装置用開閉弁が使用されているラインでは、従来と同じ出口通路に加えて、分岐通路が設けられることになり、増設ラインを流れてきた流体をこの分岐通路が受け入れ、ブロック状複列用継手へと流すことができる。こうして、この発明の流体制御装置用開閉弁が使用されることで、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインを増設した流体制御装置を得ることができる。 In the line in which the on-off valve for fluid control device according to the present invention is used, a branch passage is provided in addition to the same outlet passage as the conventional one, and the branch passage receives the fluid flowing through the extension line. Flow to the double-row joint. Thus, by using the on-off valve for a fluid control device according to the present invention, it is possible to obtain a fluid control device in which lines are added without changing the double-row joint to one corresponding to the number of lines after the line addition. it can.
この発明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、複数のラインが並列状に配置され、各ラインは、流体制御機器として、いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する出口側開閉弁を備えているとともに、出口側開閉弁を支持する継手部材として、いずれも上面に開口する入口通路および出口通路を有し各ラインごとに設けられたブロック状単列用継手と、ラインと直交する方向にのびる流体取出し通路および上面に開口する複数の分岐通路を有し複数のラインにわたって設けられたブロック状複列用継手とを備えている流体制御装置において、複列用継手は、全てのラインよりも所定の数だけ少ないラインの出口側開閉弁の出口通路と分岐通路を介して接続されており、 所定の数のラインにおいて、上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがってブロック状継手が配置されており、ブロック状継手は、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とするものである。 In the fluid control device according to the present invention, one line is formed by the plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and the plurality of joint members arranged in the lower stage, and the plurality of lines are arranged in parallel. Each line is provided with an outlet side on-off valve having an inlet passage and an outlet passage both open on the lower surface as fluid control devices, and both open on the upper surface as a joint member for supporting the outlet side on-off valve A block-like single-row joint having an inlet passage and an outlet passage, provided for each line, a fluid outlet passage extending in a direction perpendicular to the lines, and a plurality of branch passages opened on the upper surface in the fluid control device and a block-shaped double row fitting that is, plural-line joint, exit the outlet side switching valve of as little line a predetermined number than all of the lines Is connected via a passage and branch passage, at a predetermined number of lines, the upper surface is in contact with the lower surface of the outlet-side valve, the lower surface across a single row fitting and plural-line fitting block couplings The block-like joint has an inlet passage open at one end to the lower surface to communicate with the outlet passage of the single-row joint and the other end open to the upper surface to communicate with the inlet passage of the outlet on-off valve One end opens at the upper surface and communicates with the outlet passage of the outlet side open / close valve, and the other end opens at the lower surface and communicates with the branch passage of the double row joint, and the outlet passage branches from the outlet passage and opens to the outside And, when connected to the outlet passage of the outlet side open / close valve of any of the plurality of lines, the fluid flowing through the line is received and flowed to the double-row joint through the outlet passage. a branch passage, the outlet passage of the outlet side switching valve of the one of the line It has a connecting portion provided on the branch passage to connect with is characterized in.
この発明の流体制御装置は、複数のラインからなる既設の流体制御装置に増設ラインが例えば１つ追加されたものとされる。そして、既設の流体制御装置の１つのラインにブロック状継手が配置される。 In the fluid control device of the present invention, one additional line, for example, is added to the existing fluid control device consisting of a plurality of lines. Then, the block joint is disposed in one line of the existing fluid control device.
ブロック状継手が配置されたラインでは、従来と同じ出口通路に加えて、分岐通路が設けられることになり、増設ラインを流れてきた流体をこの分岐通路が受け入れ、ブロック状複列用継手へと流すことができる。こうして、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。 In the line where the block joint is disposed, in addition to the same outlet passage as in the past, a branch passage will be provided, and the branch passage receives the fluid flowing through the extension line, and the block joint for the double row joint It can flow. Thus, the lines can be expanded without changing the double-row joint to one corresponding to the number of lines after the line expansion.
上記流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置において、分岐通路は、ライン方向と平行な方向にのびているようになされていてもよく、分岐通路は、ライン方向と直交する方向にのびているようになされてもよい。 In the coupling for fluid control device, the on-off valve for fluid control device, and the fluid control device, the branch passage may extend in a direction parallel to the line direction, and the branch passage is in a direction orthogonal to the line direction It may be done as it is.
また、上記流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置において、分岐通路として、ライン方向と平行な方向にのびている第１通路と、ライン方向と直交する方向にのびている第２通路とが設けられており、第１通路および第２通路の開口部にはそれぞれ雌ねじが設けられて、いずれか一方の通路が雌ねじにねじ合わされる雄ねじを有する閉鎖部材によって閉鎖されていることがある。 In the fluid control device joint, the fluid control device on-off valve, and the fluid control device, the first passage extending in a direction parallel to the line direction and the second direction extending in a direction orthogonal to the line direction A passage is provided, and the openings of the first passage and the second passage are each provided with an internal thread, and any one of the passages is closed by a closing member having an external thread screwed to the internal thread. is there.
なお、この明細書において、上下は図１の上下をいうものとするが、この上下は便宜的なもので、この発明の流体制御装置は、水平および垂直のいずれでの使用も可能である。 In this specification, although the upper and lower sides refer to the upper and lower sides of FIG. 1, the upper and lower sides are for convenience, and the fluid control device of the present invention can be used either horizontally or vertically.
この発明によると、上記のように、複列用継手をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。 According to the present invention, as described above, it is possible to add lines without changing the multi-row joint to one corresponding to the number of lines after the line addition.
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図６には、３つのライン(A)(B)(C)からなる増設前の流体制御装置(100)およびこれに１つのライン(D)が増設された増設後の流体制御装置(1)を示す。 In FIG. 6, the fluid control device (100) before the installation consisting of three lines (A), (B) and (C) and the fluid control device (1) after the installation with one line (D) added thereto are shown. Indicates
増設前の流体制御装置(100)では、各ライン(A)(B)(C)が複列用継手(12)によって連通させられている。 In the fluid control device (100) before expansion, the lines (A), (B), and (C) are communicated by the double-row joint (12).
増設後の流体制御装置(1)では、増設前の流体制御装置(100)の３つ目のライン(C)に、後述するこの発明のライン増設用継手（流体制御装置用継手）(21)(31)(41)が矢印で示す出口側開閉弁支持構造(10)部に追加されることで、３つ目のライン(C')が増設前とは異なる構成とされている。複列用継手(12)は、増設前の流体制御装置(100)で使用されているのと同じ複列用継手(12)が使用されている。 In the fluid control device (1) after the extension, a line extension joint (a fluid control device joint) (21) according to the present invention described later in the third line (C) of the fluid control device (100) before the extension. By adding (31) and (41) to the outlet-side open / close valve support structure (10) indicated by the arrow, the third line (C ′) is configured differently from that before the extension. The double-row joint (12) is the same double-row joint (12) used in the fluid control device (100) before the expansion.
各ライン(A)(B)(C)(C')(D)は、それぞれ、流体制御機器として、入口側開閉弁(2)、プレッシャー・レギュレータ(3)、圧力表示器(4)、マスフローコントローラ用開閉弁(5)、マスフローコントローラ(6)および出口側開閉弁(7)を有している。 Each of the lines (A), (B), (C), (C ') and (D), as fluid control devices, includes an inlet side on-off valve (2), a pressure regulator (3), a pressure indicator (4), and a mass flow It has a controller on-off valve (5), a mass flow controller (6) and an outlet side on-off valve (7).
この流体制御装置(1)によると、全てのライン(A)(B)(C')(D)のうちのどれを選択するかとこれに流す流体を適宜変更することで、マスフローコントローラ(6)において流量を調整された種々の流体を複列用継手(12)の流体取出し通路(12a)を通して流体取出し部(9)から取り出すことができる。 According to the fluid control device (1), the mass flow controller (6) can be appropriately changed by appropriately selecting which of all the lines (A), (B), (C '), and (D) and the fluid to be flowed. The various fluids whose flow rates have been adjusted can be removed from the fluid outlet (9) through the fluid outlet passage (12a) of the double-row joint (12).
増設後の流体制御装置(1)は、ライン増設用継手(21)(31)(41)を使用することで、増設前の流体制御装置(100)で使用されていた３つのライン(A)(B)(C)用の複列用継手(12)を流用した点に特徴がある。すなわち、従来であれば、ラインを増設して４つのラインとするには、複列用継手(12)を４つのラインに対応するものとして、既設の３つのライン(A)(B)(C)を一旦取り外した後、変更された複列用継手に接続していたのに対し、この発明による流体制御装置(1)は、既設の２つのライン(A)(B)および複列用継手(12)については、取り外すことなく、ラインの増設を可能としたものとなっている。 The fluid control device (1) after the extension uses the joint for line extension (21) (31) (41) to obtain three lines (A) used in the fluid control device (100) before the extension (B) is characterized in that a double row joint (12) for (C) is used. That is, conventionally, in order to add lines into four lines, it is assumed that the multi-row joint (12) corresponds to the four lines, and the existing three lines (A), (B), (C) The fluid control device (1) according to the present invention is connected to the existing two lines (A) and (B) and the double-row joint, while once connected to the modified double-row joint. As for (12), it is possible to add a line without removing it.
なお、図６では、簡素化のため、既設のライン(A)(B)(C)を３つとしているが、ラインの数がこれに限られないのはもちろんである。 Although in FIG. 6 the existing lines (A), (B) and (C) are set to three for the sake of simplicity, it goes without saying that the number of lines is not limited to this.
図１および図２は、この発明の流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置の第１実施形態を示しており、図３は、これらのうちの流体制御装置用継手だけを示している。 1 and 2 show a first embodiment of a fluid control device joint, a fluid control device on-off valve, and a fluid control device according to the present invention, and FIG. 3 shows only the fluid control device joint among them. Is shown.
この発明の流体制御装置は、図６に示した複数のライン(A)(B)(C')(D)を備えた増設後の流体制御装置(1)における出口側開閉弁支持構造の改良に係るもので、この発明の流体制御装置(1)における出口側開閉弁支持構造(10)は、各ラインごとに上段に配置されている流体制御機器の１つである出口側開閉弁(7)と、各ラインごとに下段に配置されている継手部材の１つである単列用継手(11)と、全てのラインにわたって配置されている継手部材である複列用継手(12)と、出口側開閉弁(7)と単列用継手(11)および複列用継手(12)との間に配置されたこの発明によるライン増設用（流体制御装置用）継手(21)とを備えている。 The fluid control device according to the present invention is an improvement of the outlet side on-off valve support structure in the fluid control device (1) after addition having the plurality of lines (A) (B) (C ') (D) shown in FIG. The outlet-side on-off valve support structure (10) in the fluid control device (1) according to the present invention is an outlet-side on-off valve (7 And a single-row joint (11) which is one of the joint members disposed at the lower end of each line, and a double-row joint (12) which is a joint member disposed over all the lines. A line extension (for fluid control device) joint (21) according to the present invention disposed between the outlet side on-off valve (7) and the single row joint (11) and the double row joint (12) There is.
図１および図２に示す出口側開閉弁支持構造(10)は、既設ラインにおいて使用されていた図７に示す出口側開閉弁支持構造(51)に置き換えられるもので、例えば、図６に示した３つのライン(A)(B)(C)のうちの３つ目のライン(C)に適用される。他のライン(A)(B)では、図７に示す出口側開閉弁支持構造(51)が使用されている。出口側開閉弁(7)、単列用継手(11)および複列用継手(12)は、２つの出口側開閉弁支持構造(10)(51)で共通とされている。 The outlet side on-off valve support structure (10) shown in FIGS. 1 and 2 is replaced with the outlet side on-off valve support structure (51) shown in FIG. 7 used in the existing line, for example, shown in FIG. The third line (A) (B) (C) is applied to the third line (C). In the other lines (A) and (B), the outlet side on-off valve support structure (51) shown in FIG. 7 is used. The outlet side on-off valve (7), the single row joint (11) and the double row joint (12) are common to the two outlet side on-off valve support structures (10) and (51).
出口側開閉弁(7)は、いずれも下面に開口する入口通路(7a)および出口通路(7b)が設けられた本体(7c)と、入口通路(7a)と出口通路(7b)との連通を遮断開放するアクチュエータ(7d)とを有している。単列用継手(11)は、いずれも上面に開口する入口通路(11a)および出口通路(11b)からなるＶ字状の通路(11a)(11b)を有している。単列用継手(11)の入口通路(11a)は、マスフローコントローラ(6)の出口通路に連通している。複列用継手(12)は、ライン(A)(B)(C')と直交する方向にのびる流体取出し通路(12a)および上面に開口する複数の分岐通路(12b)を有している。分岐通路(12b)は、既設ライン(A)(B)(C)の数と同じだけ設けられている。 The outlet side on-off valve (7) is in communication with the inlet passage (7a) and the outlet passage (7b), and the main body (7c) provided with the inlet passage (7a) and the outlet passage (7b) open to the lower surface. And an actuator (7d) for blocking and opening. The single-row joint (11) has a V-shaped passage (11a) (11b) consisting of an inlet passage (11a) and an outlet passage (11b), both of which open on the top surface. The inlet passage (11a) of the single-row joint (11) communicates with the outlet passage of the mass flow controller (6). The multi-row joint (12) has a fluid extraction passage (12a) extending in a direction orthogonal to the lines (A), (B), and (C ') and a plurality of branch passages (12b) opened on the top surface. The branch passages (12b) are provided in the same number as the existing lines (A), (B), and (C).
ライン増設用継手(21)は、単列用継手(11)および複列用継手(12)と同様に、ブロック状のもので、ブロック状本体(22)と、本体(22)内に設けられた入口通路(23)、出口通路(24)および分岐通路(25)とを有している。 The line expansion joint (21) is a block-like one like the single-row joint (11) and the double-row joint (12), and is provided in the block-like main body (22) and the main body (22) And an inlet passage (23), an outlet passage (24) and a branch passage (25).
ブロック状本体(22)は、平面から見て、出口側開閉弁(7)の本体(7c)と同じ大きさであり、上面が出口側開閉弁(7)の下面に当接して、下面が単列用継手(11)と複列用継手(12)とにまたがって配置されている。 The block-like main body (22) has the same size as the main body (7c) of the outlet side on-off valve (7) when viewed from above, and the upper surface is in contact with the lower surface of the outlet side on-off valve (7) It is disposed across the joint for single row (11) and the joint for double row (12).
入口通路(23)は、上下方向にのびており、下端が本体(22)の下面に開口して単列用継手(11)の出口通路(11b)の上端に連通しており、上端が本体(22)の上面に開口して出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)の下端に連通している。 The inlet passage (23) extends in the vertical direction, and the lower end is open on the lower surface of the main body (22) to communicate with the upper end of the outlet passage (11b) of the single row joint (11). 22) is communicated with the lower end of the inlet passage (7a) of the outlet side on-off valve (7).
出口通路(24)は、上下方向にのびており、上端が上面に開口して出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)の下端に連通しており、下端が本体(22)の下面に開口して複列用継手(12)の分岐通路(12b)の上端に連通している。 The outlet passage (24) extends in the vertical direction, and the upper end is open at the upper surface to communicate with the lower end of the outlet passage (7b) of the outlet on-off valve (7), and the lower end is on the lower surface of the main body (22) It opens and communicates with the upper end of the branch passage (12b) of the double-row joint (12).
分岐通路(25)は、出口通路(24)の上下の中程から出口通路(24)に直交する方向にのび、本体(22)のライン方向出口側の側面(22a)に開口している。分岐通路(25)の端面には、分岐通路(25)に連なってライン方向にのび外部との接続を可能とする円筒状接続部(26)が設けられている。 The branch passage (25) extends in the direction perpendicular to the outlet passage (24) from the upper and lower middle of the outlet passage (24) and opens at the side surface (22a) on the line direction outlet side of the main body (22). The end face of the branch passage (25) is provided with a cylindrical connection portion (26) which is continuous with the branch passage (25) to enable connection to the line direction and the outside.
分岐通路(25)および接続部(26)が設けられていることにより、増設ラインを流れてきた流体を受け入れることができる。 By providing the branch passage (25) and the connection portion (26), it is possible to receive the fluid flowing through the extension line.
単列用継手(11)の出口通路(11b)とライン増設用継手(21)の入口通路(23)との突き合わせ部およびライン増設用継手(21)の入口通路(23)と出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)との突き合わせ部には、シール部(13)が設けられている。出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)とライン増設用継手(21)の出口通路(24)との突き合わせ部およびライン増設用継手(21)の出口通路(24)と複列用継手(12)の分岐通路(12b)との突き合わせ部にも、シール部(13)が設けられている。シール部(13)は、各突き合わせ面に設けられた凹所同士が突き合わされることによって形成された環状の凹所(14)に環状のシール部材(15)が配置されることで形成されている。 The butt between the outlet passage (11b) of the single row joint (11) and the inlet passage (23) of the line extension joint (21) and the inlet passage (23) of the line extension joint (21) and the outlet on-off valve A seal portion (13) is provided at the butt portion of (7) with the inlet passage (7a). Butt between the outlet passage (7b) of the outlet side on-off valve (7) and the outlet passage (24) of the line extension joint (21) and the outlet passage (24) of the line extension joint (21) and double row joint A seal portion (13) is also provided at the butt portion of the branch passage (12b) of (12). The seal portion (13) is formed by disposing an annular seal member (15) in an annular recess (14) formed by abutting the recesses provided on the respective abutting surfaces. There is.
図３に示すように、ライン増設用継手(21)の本体(22)には、出口側開閉弁(7)を単列用継手(11)および複列用継手(12)に取り付けるための雄ねじ部材(20)を挿通する貫通孔(27)が設けられており、ライン増設用継手(21)は、出口側開閉弁(7)を取り付けるための雄ねじ部材(20)によって対応する下段のブロック状継手部材である単列用継手(11)および複列用継手(12)に上方に取り出し可能に取り付けられる。 As shown in FIG. 3, a male screw for attaching the outlet side on-off valve (7) to the single row joint (11) and the double row joint (12) in the main body (22) of the line extension joint (21) A through hole (27) for inserting the member (20) is provided, and the joint for line extension (21) has a lower block shape corresponding to the male screw member (20) for attaching the outlet side on-off valve (7) It is removably attached upward to the single row joint (11) and the double row joint (12) which are joint members.
上記出口側開閉弁支持構造(10)によると、従来の出口側開閉弁支持構造(51)がこの出口側開閉弁支持構造(10)に置き換えられることで、図６において、ライン増設用継手(21)に設けられている分岐通路(25)および接続部(26)によって形成された増設ライン接続用流体取出し通路(10a)が既設の流体制御装置(100)に付加され、これと増設ライン(D)とを接続することができる。そして、増設されたライン(D)の出口側開閉弁(7)の出口通路がライン増設用継手(21)の分岐通路(25)に接続部(26)を介して接続された際には、増設されたライン(D)を流れてきた流体は、ライン増設用継手(21)の分岐通路(25)に流入して、ライン増設用継手(21)の出口通路(24)を経て複列用継手(12)の分岐通路(12b)へと流れていく。こうして、上記出口側開閉弁支持構造(10)によると、増設ライン(D)を流れてきた流体を受け入れることができ、これにより、ライン(D)の増設に際して、増設ライン接続用流体取出し通路が形成されている複列用継手、すなわち、４つのライン用の複列用継手を使用することなく、既設の複列用継手(12)を流用することができる。
According to the outlet-side valve support structure (10), that the traditional outlet side valve support structure (51) is replaced by the outlet-side valve support structure (10), in FIG. 6, lines for expansion joint A fluid passage for additional line connection (10a) formed by the branch passage (25) and the connection portion (26) provided in (21) is added to the existing fluid control device (100), and this and the additional line (D) can be connected. And, when the outlet passage of the outlet side on-off valve (7) of the added line (D) is connected to the branch passage (25) of the joint for line extension (21) through the connection portion (26), The fluid flowing through the expanded line (D) flows into the branch passage (25) of the line expansion joint (21), passes through the outlet passage (24) of the line expansion joint (21), and is used for double row It flows to the branch passage (12b) of the joint (12). Thus, according to the outlet side on-off valve support structure (10), the fluid flowing through the extension line (D) can be received, whereby the extension line connection fluid extraction passage is expanded when the line (D) is extended. The existing double-row joint (12) can be diverted without using the formed double-row joint, ie, the double-row joint for four lines.
図４は、この発明の流体制御装置用継手の第２実施形態を示している。同図に示すように、この実施形態のライン増設用（流体制御装置用）継手(31)は、単列用継手(11)および複列用継手(12)と同様に、ブロック状のもので、ブロック状本体(32)と、本体(32)内に設けられた入口通路(33)、出口通路(34)および分岐通路(35)とを有している。 FIG. 4 shows a second embodiment of the joint for fluid control device of the present invention. As shown in the figure, the line extension (for fluid control device) joint (31) of this embodiment is a block-like one like the single-row joint (11) and the double-row joint (12). A block-like body (32) and an inlet passage (33), an outlet passage (34) and a branch passage (35) provided in the body (32).
ブロック状本体(32)は、上面が出口側開閉弁(7)の下面に当接して、下面が単列用継手(11)と複列用継手(12)とにまたがって配置される。 The block-shaped main body (32) is disposed such that the upper surface abuts on the lower surface of the outlet side on-off valve (7), and the lower surface straddles the single row joint (11) and the double row joint (12).
入口通路(33)は、上下方向にのびており、下端が本体(32)の下面に開口して単列用継手(11)の出口通路(11b)の上端に連通し、上端が本体(32)の上面に開口して出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)の下端に連通する。 The inlet passage (33) extends in the vertical direction, and the lower end opens to the lower surface of the main body (32) to communicate with the upper end of the outlet passage (11b) of the single row joint (11), and the upper end is the main body (32) It opens in the upper surface of the and communicates with the lower end of the inlet passage (7a) of the outlet side on-off valve (7).
出口通路(34)は、上下方向にのびており、上端が上面に開口して出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)の下端に連通し、下端が本体(32)の下面に開口して複列用継手(12)の分岐通路(12b)の上端に連通する。 The outlet passage (34) extends vertically, and the upper end is open at the upper surface to communicate with the lower end of the outlet passage (7b) of the outlet on-off valve (7), and the lower end is opened at the lower surface of the main body (32) It communicates with the upper end of the branch passage (12b) of the multi-row joint (12).
分岐通路(35)は、出口通路(34)の上下の中程から出口通路(34)に直交してライン方向にのびるライン方向通路部(35a)と、ライン方向通路部(35a)の端からライン方向に直交する方向にのびて本体(32)のライン方向に平行な側面(32a)に開口しているライン直交方向通路部(35b)とを有している。分岐通路(35)のライン直交方向通路部(35b)の端面には、分岐通路(35)のライン直交方向通路部(35b)に連なってラインに直交する方向にのび外部との接続を可能とする円筒状接続部(36)が設けられている。 The branch passage (35) includes a line direction passage (35a) extending in the line direction orthogonal to the outlet passage (34) from the upper and lower middle of the outlet passage (34), and an end of the line direction passage (35a) And a line orthogonal direction passage portion (35b) extending in a direction orthogonal to the line direction and opening on a side surface (32a) parallel to the line direction of the main body (32). The end face of the line orthogonal direction passage portion (35b) of the branch passage (35) is connected to the line orthogonal direction passage portion (35b) of the branch passage (35) so that connection with the outside in the direction orthogonal to the line is possible. A cylindrical connection (36) is provided.
分岐通路(35)は、出口通路(34)の上下の中程から出口通路(34)に直交してライン方向通路部(35a)とはライン方向の逆方向にのびてライン方向に直交する側面(32b)に開口している補助通路(35c)をさらに有しており、補助通路(35c)の開口側は、他の部分よりも径が大きい大径部とされて、ここに、雌ねじ部(35d)が形成されている。雌ねじ部(35d)には、雄ねじ部が形成された閉鎖部材(37)がねじ込まれており、これにより、補助通路(35c)は閉鎖されている。 The branch passage (35) is a side surface orthogonal to the outlet passage (34) from the upper middle of the outlet passage (34) and extending in the direction opposite to the line direction passage portion (35a) and orthogonal to the line direction It further has an auxiliary passage (35c) opening in (32b), and the opening side of the auxiliary passage (35c) is a large diameter portion having a diameter larger than that of the other portion, and (35d) is formed. The female screw portion (35d) is screwed with a closing member (37) formed with a male screw portion, whereby the auxiliary passage (35c) is closed.
分岐通路(35)および接続部(36)が設けられていることにより、増設ライン(D)を流れてきた流体を受け入れることができる。 By providing the branch passage (35) and the connection (36), it is possible to receive the fluid flowing through the additional line (D).
図５は、この発明の流体制御装置用継手の第３実施形態を示している。同図に示すように、この実施形態のライン増設用（流体制御装置用）継手(41)は、単列用継手(11)および複列用継手(12)と同様に、ブロック状のもので、ブロック状本体(42)と、本体(42)内に設けられた入口通路(43)、出口通路(44)および分岐通路(45)とを有している。 FIG. 5 shows a third embodiment of the joint for fluid control device of the present invention. As shown in the figure, the line extension (for fluid control device) joint (41) of this embodiment is a block-like one like the single-row joint (11) and the double-row joint (12). A block-like body (42) and an inlet passage (43), an outlet passage (44) and a branch passage (45) provided in the body (42).
ブロック状本体(42)は、上面が出口側開閉弁(7)の下面に当接して、下面が単列用継手(11)と複列用継手(12)とにまたがって配置される。 The block-shaped main body (42) is disposed such that the upper surface abuts on the lower surface of the outlet side on-off valve (7) and the lower surface straddles the single row joint (11) and the double row joint (12).
入口通路(43)は、上下方向にのびており、下端が本体(42)の下面に開口して単列用継手(11)の出口通路(11b)の上端に連通し、上端が本体(42)の上面に開口して出口側開閉弁(7)の入口通路(7a)の下端に連通する。 The inlet passage (43) extends in the vertical direction, and the lower end opens in the lower surface of the main body (42) to communicate with the upper end of the outlet passage (11b) of the single row joint (11), and the upper end is the main body (42) It opens in the upper surface of the and communicates with the lower end of the inlet passage (7a) of the outlet side on-off valve (7).
出口通路(44)は、上下方向にのびており、上端が上面に開口して出口側開閉弁(7)の出口通路(7b)の下端に連通し、下端が本体(42)の下面に開口して複列用継手(12)の分岐通路(12b)の上端に連通する。 The outlet passage (44) extends vertically, and the upper end is open at the upper surface to communicate with the lower end of the outlet passage (7b) of the outlet on-off valve (7), and the lower end is opened at the lower surface of the main body (42) It communicates with the upper end of the branch passage (12b) of the multi-row joint (12).
分岐通路(45)は、出口通路(44)の上下の中程から出口通路(44)に直交してライン方向にのびるライン方向通路部(45a)と、ライン方向通路部(45a)の端からライン方向に直交する方向にのびて本体(42)のライン方向に平行な側面(42a)に開口しているライン直交方向通路部(45b)とを有している。分岐通路(45)のライン直交方向通路部(45b)の開口側には、外部との接続を可能とする第１雌ねじ部(45c)が設けられている。 The branch passage (45) includes a line directional passage (45a) extending in the line direction orthogonal to the outlet passage (44) from the upper and lower middle of the outlet passage (44) and an end of the line directional passage (45a) And a line orthogonal direction passage portion (45b) extending in a direction orthogonal to the line direction and opening on a side surface (42a) parallel to the line direction of the main body (42). On the opening side of the line orthogonal direction passage portion (45b) of the branch passage (45), a first female screw portion (45c) which enables connection with the outside is provided.
分岐通路(45)は、出口通路(44)の上下の中程から出口通路(44)に直交してライン方向通路部(45a)とはライン方向の逆方向にのびてライン方向に直交する側面(42b)に開口している補助通路(45d)をさらに有しており、補助通路(45d)の開口側は、他の部分よりも径が大きい大径部とされて、ここに、第２雌ねじ部(45e)が形成されている。第２雌ねじ部(45e)には、雄ねじ部が形成された閉鎖部材(46)がねじ込まれており、これにより、補助通路(45d)は閉鎖されている。 The branch passage (45) is a side surface extending perpendicularly to the outlet passage (44) from the upper and lower middle of the outlet passage (44) and extending in the direction opposite to the line direction passage portion (45a) and orthogonal to the line direction It further has an auxiliary passage (45d) opening in (42b), and the opening side of the auxiliary passage (45d) is a large diameter portion having a diameter larger than that of the other portion, and An internal thread (45e) is formed. A closing member (46) formed with an external thread is screwed into the second internal thread (45e), whereby the auxiliary passage (45d) is closed.
分岐通路(45)および第１雌ねじ部(45c)が設けられていることにより、増設ライン(D)を流れてきた流体を受け入れることができる。 By providing the branch passage (45) and the first female screw portion (45c), it is possible to receive the fluid having flowed through the extension line (D).
閉鎖部材(46)は、これを第２雌ねじ部(45e)からねじ外して第１雌ねじ部(45c)にねじ込むことができる。これにより、補助通路(45d)の方を分岐通路として使用することができる。 The closing member (46) can be unscrewed from the second internal thread (45e) and screwed into the first internal thread (45c). Thus, the auxiliary passage (45d) can be used as a branch passage.
すなわち、図５に示したライン増設用継手(41)は、分岐通路として、ライン方向と平行な方向にのびている補助通路＝第１通路(45d)と、ライン方向と直交する方向にのびているライン直交方向通路部＝第２通路(45b)とが設けられており、いずれか一方の通路が閉鎖部材(46)によって閉鎖されている継手となっている。 That is, the joint for line extension (41) shown in FIG. 5 is an auxiliary passage extending in the direction parallel to the line direction = the first passage (45d) as a branch passage, and a line extending in the direction orthogonal to the line direction. Orthogonal passage portion = second passage (45b) is provided, and one of the passages is a joint closed by the closing member (46).
既存の流体制御装置(100)において、上記各実施形態のライン増設用継手(21)(31)(41)を使用してラインを増加する場合、既存の流体制御装置(100)から出口側開閉弁(7)を一旦上方に取り外し、既存の流体制御装置(100)で使用されている部品は全てそのまま使用して、このライン増設用継手(21)(31)(41)が追加され、このライン増設用継手(21)(31)(41)および一旦取り外された出口側開閉弁(7)が対応する単列用継手(11)および複列用継手(12)に雄ねじ部材によって取り付けられる。こうして、全てのラインにわたって配置されていることで、変更・交換に手間がかかる複列用継手(12)については、変更することなく、ラインを増設することができる。 In the existing fluid control apparatus (100), when increasing the line using the line expansion joints (21), (31) and (41) of the above embodiments, the outlet side opening / closing from the existing fluid control apparatus (100) The valve (7) is once removed upward, and all parts used in the existing fluid control device (100) are used as they are, and the line expansion joints (21) (31) (41) are added. The line expansion joints (21) (31) (41) and the outlet side on-off valve (7) once removed are attached by male screw members to the corresponding single-row joints (11) and double-row joints (12). In this way, by arranging over all the lines, it is possible to add more lines without changing the double-row joint (12) which takes time to change / replace.
なお、上記において、ライン増設用継手(21)(31)(41)が取り付けられた出口側開閉弁(7)をライン増設用通路ブロック(21)(31)(41)付きの出口側開閉弁(7)として扱うようにすることにより、出口側開閉弁をライン増設用通路ブロック(21)(31)(41)無しのものからライン増設用通路ブロック(21)(31)(41)付きのものに置き換えることによって、複列用継手(12)をライン増設後のライン数に対応したものに変更することなく、ラインの増設をすることができる。 In the above, the outlet side on-off valve (7) to which the joint for line expansion (21) (31) (41) is attached is the outlet side on-off valve with the passage block for line expansion (21) (31) (41) By treating it as (7), the outlet side on-off valve from the one without the line expansion passage block (21) (31) (41) to the line expansion passage block (21) (31) (41) By replacing with the one, it is possible to add a line without changing the double-row joint (12) to one corresponding to the number of lines after the line addition.
(7)：出口側開閉弁（流体制御機器）
(7a)：入口通路
(7b)：出口通路
(7c)：本体
(7d)：アクチュエータ
(10)：出口側開閉弁支持構造（流体制御装置）
(11)：単列用継手（継手部材）
(11a)：入口通路
(11b)：出口通路
(12)：複列用継手（継手部材）
(12a)：流体取出し通路
(12b)：分岐通路
(21)(31)(41)：ライン増設用（流体制御装置用）継手
(23)(33)(43)：入口通路
(24)(34)(44)：出口通路
(25)(35)(45)：分岐通路
(45b)：ライン直交方向通路部（第２通路）
(45d)：補助通路（第１通路）
(45c)：第１雌ねじ部
(45e)：第２雌ねじ部
(7): Outlet side on-off valve (fluid control device)
(7a): Entrance passage
(7b): Exit passage
(7c): Main body
(7d): Actuator
(10): Outlet side on-off valve support structure (fluid control device)
(11): Joint for single row (joint member)
(11a): Entrance passage
(11b): Exit passage
(12): Joint for double row (joint member)
(12a): fluid extraction passage
(12b): Branch passage
(21) (31) (41): Joint for additional line (for fluid control device)
(23) (33) (43): Entrance passage
(24) (34) (44): Exit passage
(25) (35) (45): branch passage
(45b): Line orthogonal direction passage portion (second passage)
(45d): auxiliary passage (first passage)
(45c): first female screw portion
(45e): Second female screw
Claims (18)
上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置されるブロック状継手であって、
一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とする流体制御装置用継手。 One line is formed by a plurality of fluid control devices disposed in the upper stage and a plurality of joint members disposed in the lower stage, and the plurality of lines are disposed in parallel, and each line is a fluid control device Each has an outlet side open / close valve having an inlet passage and an outlet passage open on the lower surface, and has an inlet passage and an outlet passage open on the upper surface as joint members for supporting the outlet side open / close valve. A block-shaped single-row joint provided for each line, a fluid extraction passage extending in a direction orthogonal to the lines, and a block-shaped double-row joint provided with a plurality of branch passages opening on the top surface Used in a fluid control device comprising
A block-like joint in which the upper surface is in contact with the lower surface of the outlet side on-off valve and the lower surface is disposed across the single-row joint and the double-row joint,
One end opens in the lower surface and communicates with the outlet passage of the single-row joint, and the other end opens in the upper surface and communicates with the inlet passage of the outlet on-off valve; An outlet passage communicating with the outlet passage of the valve and having the other end open at the lower surface and communicating with the branch passage of the multi-row joint, and a branch from the outlet passage open to the outside, any of the lines And a branch passage for receiving the fluid flowing through any one of the lines when connected to the outlet passage of the outlet side on-off valve and flowing to the multi-row joint through the outlet passage, and the outlet of any of the lines A joint for a fluid control device, comprising: a connecting portion provided in a branch passage for connecting to an outlet passage of a side opening / closing valve .
複数の流体制御機器の１つとしての出口側開閉弁として使用される流体制御装置用開閉弁であって、
いずれも下面に開口する入口通路および出口通路を有する本体と、
入口通路と出口通路との連通を遮断開放するアクチュエータと、
上面が本体の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがって配置される通路ブロックとを備え、
通路ブロックは、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とする流体制御装置用開閉弁。 One line is formed by a plurality of fluid control devices disposed in the upper stage and a plurality of joint members disposed in the lower stage, and the plurality of lines are disposed in parallel, and each line is a fluid control device Each has an outlet side open / close valve having an inlet passage and an outlet passage open on the lower surface, and has an inlet passage and an outlet passage open on the upper surface as joint members for supporting the outlet side open / close valve. A block-shaped single-row joint provided for each line, a fluid extraction passage extending in a direction orthogonal to the lines, and a block-shaped double-row joint provided with a plurality of branch passages opening on the top surface In a fluid control device comprising
A fluid control device on-off valve used as an outlet side on-off valve as one of a plurality of fluid control devices, comprising:
A main body having an inlet passage and an outlet passage both of which open to the lower surface;
An actuator for blocking and opening the communication between the inlet passage and the outlet passage;
The passage block having an upper surface in contact with the lower surface of the main body and a lower surface disposed between the single row joint and the double row joint;
In the passage block, one end is open at the lower surface to communicate with the outlet passage of the single row joint, and the other end is open at the upper surface to communicate with the inlet passage of the outlet on-off valve; An outlet passage in communication with the outlet passage of the outlet on-off valve and the other end being open on the lower surface and communicating with the branch passage of the double row joint ; a branch passage to flow into the plural-line joint through the outlet passage to accept the fluid in which the flowed either the line when it is connected to the outlet passage of the outlet side switching valve of any line, the one And a connecting portion provided in the branch passage for connecting with the outlet passage of the outlet side on-off valve of the line .
複列用継手は、全てのラインよりも所定の数だけ少ないラインの出口側開閉弁の出口通路と分岐通路を介して接続されており、
所定の数のラインにおいて、上面が出口側開閉弁の下面に当接して、下面が単列用継手と複列用継手とにまたがってブロック状継手が配置されており、
ブロック状継手は、一端が下面に開口して単列用継手の出口通路に連通し、他端が上面に開口して出口側開閉弁の入口通路に連通する入口通路と、一端が上面に開口して出口側開閉弁の出口通路に連通し、他端が下面に開口して複列用継手の分岐通路に連通する出口通路と、出口通路から分岐して外部に開口し、前記複数のラインのいずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続された際に当該いずれかのラインを流れてきた流体を受け入れて出口通路を介して複列用継手へと流す分岐通路と、当該いずれかのラインの出口側開閉弁の出口通路と接続するために分岐通路に設けられた接続部とを有していることを特徴とする流体制御装置。 One line is formed by a plurality of fluid control devices disposed in the upper stage and a plurality of joint members disposed in the lower stage, and the plurality of lines are disposed in parallel, and each line is a fluid control device Each has an outlet side open / close valve having an inlet passage and an outlet passage open on the lower surface, and has an inlet passage and an outlet passage open on the upper surface as joint members for supporting the outlet side open / close valve. A block-shaped single-row joint provided for each line, a fluid extraction passage extending in a direction orthogonal to the lines, and a block-shaped double-row joint provided with a plurality of branch passages opening on the top surface In a fluid control device comprising
The multi- row joint is connected via the branch passage to the outlet passage of the outlet on-off valve of the line by a predetermined number smaller than all the lines ,
In a predetermined number of lines, the block-shaped joint is disposed such that the upper surface abuts on the lower surface of the outlet side on-off valve and the lower surface straddles the single row joint and the double row joint.
The block joint has an inlet passage open at one end to the lower surface and in communication with the outlet passage of the single row joint and the other end open at the upper surface and connected to the inlet passage of the outlet on-off valve; And an outlet passage communicating with the outlet passage of the outlet on-off valve, the other end being open on the lower surface and communicating with the branch passage of the double row joint, and the outlet passage branched and opened to the outside a branch passage to flow into the plural-line joint through the outlet passage to accept the fluid in which the flowed either the line when it is connected to the outlet passage of the outlet side switching valve of any line, the one A fluid control device comprising: a connecting portion provided in a branch passage for connecting with an outlet passage of an outlet side on-off valve of the line .
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