JP2018084255A - Fluid control device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、流体制御装置に関する。 The present invention relates to a fluid control device.
従来から、半導体製造装置で使用される流体制御装置として、複数のラインを集積化した流体制御装置が知られている。この流体制御装置では、流体を供給するための配管、複数の流体制御機器及び複数の継手により１つのラインが形成される。各ラインでは、ベース部材の上に配置される複数の継手の上面に複数の流体制御機器を取り付けることで、隣接する流体制御機器が接続され、配管から複数の流体制御機器へ流体が供給される。 2. Description of the Related Art Conventionally, a fluid control apparatus in which a plurality of lines are integrated is known as a fluid control apparatus used in a semiconductor manufacturing apparatus. In this fluid control apparatus, one line is formed by piping for supplying fluid, a plurality of fluid control devices, and a plurality of joints. In each line, a plurality of fluid control devices are attached to the upper surfaces of a plurality of joints arranged on the base member, so that adjacent fluid control devices are connected, and fluid is supplied from the piping to the plurality of fluid control devices. .
このような流体制御装置として、複数のラインの流体制御機器に接続された上部配管を有し、上部配管を介して各ラインにパージガスを供給可能な構成が開示されている（例えば、特許文献１、２参照）。 As such a fluid control device, there is disclosed a configuration having an upper pipe connected to a plurality of lines of fluid control devices and capable of supplying purge gas to each line via the upper pipe (for example, Patent Document 1). 2).
しかしながら、上記の流体制御装置では、ラインの追加、削除等の変更を行う際、ラインの数に応じて上部配管を交換することになり、コストや工数が増加するという課題があった。 However, in the above fluid control device, when changes such as addition and deletion of lines are performed, the upper pipe is replaced according to the number of lines, and there is a problem that costs and man-hours increase.
そこで、本発明の一態様では、ラインの追加、削除等の変更を容易に行うことができる流体制御装置を提供することを目的とする。 In view of the above, an object of one embodiment of the present invention is to provide a fluid control device that can easily perform addition and deletion of lines.
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る流体制御装置は、複数の流体制御機器及び複数の継手が直列に接続されて形成されたラインが並列に配置された複数のラインを有する流体制御装置であって、前記複数の継手のうち、前記複数のラインの各々に設けられ、前記複数のラインの長手方向における同一位置に配置されたライン間接続用継手と、隣り合うラインの２つの前記ライン間接続用継手の上面をまたぐように取り付けられ、前記隣り合うラインの前記２つのライン間接続用継手を連通させるバイパスブロックと、を有する。 In order to achieve the above object, a fluid control device according to one aspect of the present invention includes a fluid having a plurality of lines in which lines formed by connecting a plurality of fluid control devices and a plurality of joints in series are arranged in parallel. It is a control device, and is provided in each of the plurality of lines among the plurality of joints, and the joint for interline connection arranged at the same position in the longitudinal direction of the plurality of lines and two adjacent lines A bypass block that is attached to straddle the upper surface of the joint for connecting lines and communicates the two joints for connecting lines between the adjacent lines.
開示の流体制御装置によれば、ラインの追加、削除等の変更を容易に行うことができる。 According to the fluid control device of the disclosure, changes such as addition and deletion of lines can be easily performed.
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, in this specification and drawing, about the substantially same structure, the duplicate description is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same code | symbol.
（流体制御装置）
本発明の実施形態に係る流体制御装置は、複数のラインを集積化した流体制御装置であって、例えば成膜装置やエッチング装置等の半導体製造装置のガス供給系として好適に用いることができる。ところで、半導体製造装置に使用されるガス種は追加、変更される場合がある。このため、流体制御装置においては、ラインの追加、削除等の変更に容易に対応可能であることが求められる。
(Fluid control device)
The fluid control apparatus according to the embodiment of the present invention is a fluid control apparatus in which a plurality of lines are integrated, and can be suitably used as a gas supply system of a semiconductor manufacturing apparatus such as a film forming apparatus or an etching apparatus. By the way, the gas species used in the semiconductor manufacturing apparatus may be added or changed. For this reason, the fluid control device is required to be able to easily cope with changes such as addition and deletion of lines.
本発明の実施形態では、ラインの追加、削除等の変更を容易に行うことができる流体制御装置について、３つのラインを集積化した流体制御装置を例に挙げて説明する。なお、流体制御装置におけるラインの数はこれに限定されるものではなく、２つ以上のラインを集積化したものであればよい。図１は、本発明の実施形態に係る流体制御装置の概略斜視図である。図２は、図１の一部拡大図であり、ライン間接続用継手を含む部分を拡大して示している。 In the embodiment of the present invention, a fluid control device capable of easily changing lines such as addition and deletion will be described using a fluid control device in which three lines are integrated as an example. Note that the number of lines in the fluid control device is not limited to this, and it is sufficient if two or more lines are integrated. FIG. 1 is a schematic perspective view of a fluid control apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG. 1, and shows an enlarged portion including a joint for connecting lines.
図１に示されるように、流体制御装置１は、第１プロセスガスを供給する第１ラインＡ、第２プロセスガスを供給する第２ラインＢ及び第３プロセスガスを供給する第３ラインＣが並列に配置されて形成されている。第１プロセスガス、第２プロセスガス及び第３プロセスガスは、異なるガス種であってもよく、同じガス種であってもよい。 As shown in FIG. 1, the fluid control apparatus 1 includes a first line A that supplies a first process gas, a second line B that supplies a second process gas, and a third line C that supplies a third process gas. They are arranged in parallel. Different gas species may be sufficient as a 1st process gas, a 2nd process gas, and a 3rd process gas, and the same gas species may be sufficient as them.
第１ラインＡ、第２ラインＢ及び第３ラインＣは、それぞれ上段に配置された複数の流体制御機器１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃと、下段に配置された複数の継手３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃと、レール５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃと、を有する。レール５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃは、例えば板状のベース部材（不図示）上に並列に取り付けられている。下段の継手３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃは、それぞれレール５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ上に取り付けられている。上段の流体制御機器１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃは、それぞれ継手３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃにまたがって直列に取り付けられている。 The first line A, the second line B, and the third line C are respectively a plurality of fluid control devices 10A, 10B, and 10C arranged in the upper stage, a plurality of joints 30A, 30B, and 30C arranged in the lower stage, and rails 50A, 50B, 50C. The rails 50A, 50B, and 50C are attached in parallel on, for example, a plate-like base member (not shown). Lower joints 30A, 30B, and 30C are mounted on rails 50A, 50B, and 50C, respectively. Upper fluid control devices 10A, 10B, and 10C are attached in series across joints 30A, 30B, and 30C, respectively.
第１ラインＡの流体制御機器１０Ａは、フィルタ１１Ａと、入口側開閉弁１２Ａと、圧力レギュレータ１３Ａと、圧力センサ１４Ａと、第１開閉弁１５Ａと、第２開閉弁１６Ａと、マスフローコントローラ１７Ａと、出口側開閉弁１８Ａとを含む。第１ラインＡの複数の継手３０Ａは、入口側継手３１Ａと、複数のＶ字状流路付継手３２Ａ、３３Ａ、３４Ａ、３５Ａ、３６Ａと、ライン間接続用継手３７Ａと、出口側継手３８Ａとを含む。ライン間接続用継手３７Ａは、ラインの長手方向において所定位置に取り付けられる。 The fluid control device 10A in the first line A includes a filter 11A, an inlet-side on-off valve 12A, a pressure regulator 13A, a pressure sensor 14A, a first on-off valve 15A, a second on-off valve 16A, and a mass flow controller 17A. And an outlet side on-off valve 18A. The plurality of joints 30A in the first line A include an inlet side joint 31A, a plurality of joints with V-shaped flow paths 32A, 33A, 34A, 35A, 36A, a joint for line connection 37A, and an outlet side joint 38A. including. The joint for line connection 37A is attached to a predetermined position in the longitudinal direction of the line.
フィルタ１１Ａは、その下方に配置された入口側継手３１Ａを介してプロセスガス配管と連通する。フィルタ１１Ａは、プロセスガス配管から供給される第１プロセスガスに含まれる不純物等を除去する。 The filter 11A communicates with the process gas pipe via an inlet side joint 31A disposed below the filter 11A. The filter 11A removes impurities and the like contained in the first process gas supplied from the process gas pipe.
入口側開閉弁１２Ａは、その下方に配置されたブロック状のＶ字状流路付継手３２Ａを介してフィルタ１１Ａと連通する。入口側開閉弁１２Ａは、流路を開閉することにより、第１プロセスガスを下流側に流したり止めたり制御するバルブである。入口側開閉弁１２Ａは、例えばエアオペレーションバルブである。また、エアオペレーションバルブに代えて、マニュアルオペレーションバルブを用いてもよい。 The inlet-side on-off valve 12A communicates with the filter 11A via a block-shaped joint with a V-shaped channel 32A disposed below the inlet-side on-off valve 12A. The inlet-side opening / closing valve 12A is a valve that controls the flow or stopping of the first process gas downstream by opening and closing the flow path. The inlet side opening / closing valve 12A is, for example, an air operation valve. A manual operation valve may be used instead of the air operation valve.
圧力レギュレータ１３Ａは、その下方に配置されたブロック状のＶ字状流路付継手３３Ａを介して入口側開閉弁１２Ａと連通する。圧力レギュレータ１３Ａは、第１プロセスガスの圧力を用途に応じた圧力へ降圧する機器である。 The pressure regulator 13A communicates with the inlet side on-off valve 12A via a block-shaped joint with a V-shaped flow path 33A disposed below the pressure regulator 13A. The pressure regulator 13A is a device that reduces the pressure of the first process gas to a pressure corresponding to the application.
圧力センサ１４Ａは、その下方に配置されたブロック状のＶ字状流路付継手３４Ａを介して圧力レギュレータ１３Ａと連通する。圧力センサ１４Ａは、圧力レギュレータ１３Ａで降圧された第１プロセスガスの圧力を検出するセンサである。 The pressure sensor 14A communicates with the pressure regulator 13A via a block-shaped joint with a V-shaped flow path 34A disposed below the pressure sensor 14A. The pressure sensor 14A is a sensor that detects the pressure of the first process gas lowered by the pressure regulator 13A.
第１開閉弁１５Ａは、その下方に配置されたブロック状のＶ字状流路付継手３５Ａを介して圧力センサ１４Ａと連通する。第１開閉弁１５Ａは、流路を開閉することにより、第１プロセスガスを流したり止めたり制御するバルブであり、例えばエアオペレーションバルブである。 The first on-off valve 15A communicates with the pressure sensor 14A through a block-shaped joint 35A with a V-shaped flow passage disposed below the first on-off valve 15A. The first on-off valve 15A is a valve that controls the flow or stopping of the first process gas by opening and closing the flow path, and is, for example, an air operation valve.
第２開閉弁１６Ａは、その下方に配置されたブロック状のライン間接続用継手３７Ａを介して第１開閉弁１５Ａ、パージガス配管７１及びバイパスブロック７０Ａと連通する。第２開閉弁１６Ａは、２つの流体入口の流路と１つの流体出口の流路とを有する三方弁である。第２開閉弁１６Ａは、第１開閉弁１５Ａ側から供給される第１プロセスガスに対して常時開放状態であり、パージガス配管７１側から供給されるパージガスに対して開放状態又は閉止状態に切り替えることができる。これにより、第２開閉弁１６Ａは、第１開閉弁１５Ａを介して供給される第１プロセスガスと、パージガス配管７１を介して供給されるパージ用のガス（以下「パージガス」という。）と、を下流側へ流したり止めたり制御することができる。第２開閉弁１６Ａは、例えばエアオペレーションバルブである。バイパスブロック７０Ａについては後述する。 The second on-off valve 16A communicates with the first on-off valve 15A, the purge gas pipe 71, and the bypass block 70A via a block-like joint for line connection 37A disposed below the second on-off valve 16A. The second on-off valve 16A is a three-way valve having two fluid inlet channels and one fluid outlet channel. The second on-off valve 16A is always open with respect to the first process gas supplied from the first on-off valve 15A side, and is switched to the open state or the closed state with respect to the purge gas supplied from the purge gas pipe 71 side. Can do. As a result, the second on-off valve 16A has a first process gas supplied via the first on-off valve 15A, a purge gas supplied via the purge gas pipe 71 (hereinafter referred to as “purge gas”), and Can be controlled to flow or stop downstream. The second on-off valve 16A is, for example, an air operation valve. The bypass block 70A will be described later.
マスフローコントローラ１７Ａは、その下方に配置されたブロック状のライン間接続用継手３７Ａを介して第２開閉弁１６Ａと連通する。マスフローコントローラ１７Ａは、第２開閉弁１６Ａを介して供給される第１プロセスガス及び／又はパージガスの質量流量を計測し、流量制御を行う機器である。 The mass flow controller 17A communicates with the second on-off valve 16A via a block-shaped inter-line coupling joint 37A disposed below the mass flow controller 17A. The mass flow controller 17A is a device that measures the mass flow rate of the first process gas and / or purge gas supplied via the second on-off valve 16A and controls the flow rate.
出口側開閉弁１８Ａは、その下方に配置されたブロック状のＶ字状流路付継手３６Ａを介してマスフローコントローラ１７Ａと連通する。出口側開閉弁１８Ａは、流路を開閉することにより、第１プロセスガス及び／又はパージガスを下流側に流したり止めたり制御するバルブである。出口側開閉弁１８Ａは、例えばエアオペレーションバルブである。また、エアオペレーションバルブに代えて、マニュアルオペレーションバルブを用いてもよい。 The outlet-side on-off valve 18A communicates with the mass flow controller 17A via a block-shaped joint with a V-shaped flow path 36A disposed below the outlet-side on-off valve 18A. The outlet-side opening / closing valve 18A is a valve that controls the flow or stopping of the first process gas and / or purge gas downstream by opening and closing the flow path. The outlet side opening / closing valve 18A is, for example, an air operation valve. A manual operation valve may be used instead of the air operation valve.
第２ラインＢの流体制御機器１０Ｂは、第１ラインＡの流体制御機器１０Ａと同様の構成とすることができる。即ち、流体制御機器１０Ｂは、フィルタ１１Ｂと、入口側開閉弁１２Ｂと、圧力レギュレータ１３Ｂと、圧力センサ１４Ｂと、第１開閉弁１５Ｂと、第２開閉弁１６Ｂと、マスフローコントローラ１７Ｂと、出口側開閉弁１８Ｂとを含む。第２ラインＢの複数の継手３０Ｂは、入口側継手３１Ｂと、Ｖ字状流路付継手３２Ｂ、３３Ｂ、３４Ｂ、３５Ｂ、３６Ｂと、ライン間接続用継手３７Ｂと、出口側継手３８Ｂとを含む。ライン間接続用継手３７Ｂは、ラインの長手方向においてライン間接続用継手３７Ａと同一位置に配置される。 The fluid control device 10B in the second line B can have the same configuration as the fluid control device 10A in the first line A. That is, the fluid control device 10B includes a filter 11B, an inlet-side on-off valve 12B, a pressure regulator 13B, a pressure sensor 14B, a first on-off valve 15B, a second on-off valve 16B, a mass flow controller 17B, and an outlet side. And an on-off valve 18B. The plurality of joints 30B of the second line B include an inlet side joint 31B, joints with V-shaped flow paths 32B, 33B, 34B, 35B, 36B, an interline connection joint 37B, and an outlet side joint 38B. . The joint for line connection 37B is arranged at the same position as the joint for line connection 37A in the longitudinal direction of the line.
第２ラインＢでは、第２開閉弁１６Ｂは、その下方に配置されたブロック状のライン間接続用継手３７Ｂを介して第１開閉弁１５Ｂ及びバイパスブロック７０Ａ、７０Ｂと連通する。第２開閉弁１６Ｂは、２つの流体入口の流路と１つの流体出口の流路とを有する三方弁である。第２開閉弁１６Ｂは、第１開閉弁１５Ｂ側から供給される第１プロセスガスに対して常時開放状態であり、パージガス配管７１側から供給されるパージガスに対して開放状態又は閉止状態に切り替えることができる。これにより、第２開閉弁１６Ｂは、第１開閉弁１５Ｂを介して供給される第２プロセスガスと、パージガス配管７１を介して供給されるパージガスとを下流側へ流したり止めたり制御することができる。第２開閉弁１６Ｂは、例えばエアオペレーションバルブである。バイパスブロック７０Ａ、７０Ｂについては後述する。 In the second line B, the second on-off valve 16B communicates with the first on-off valve 15B and the bypass blocks 70A and 70B via a block-shaped inter-line connection joint 37B disposed below the second on-off valve 16B. The second on-off valve 16B is a three-way valve having two fluid inlet channels and one fluid outlet channel. The second on-off valve 16B is always open with respect to the first process gas supplied from the first on-off valve 15B side, and is switched to an open state or a closed state with respect to the purge gas supplied from the purge gas pipe 71 side. Can do. As a result, the second on-off valve 16B can control the second process gas supplied via the first on-off valve 15B and the purge gas supplied via the purge gas pipe 71 to flow or stop downstream. it can. The second on-off valve 16B is, for example, an air operation valve. The bypass blocks 70A and 70B will be described later.
第３ラインＣの流体制御機器１０Ｃは、第１ラインＡの流体制御機器１０Ａと同様の構成とすることができる。即ち、流体制御機器１０Ｃは、フィルタ１１Ｃと、入口側開閉弁１２Ｃと、圧力レギュレータ１３Ｃと、圧力センサ１４Ｃと、第１開閉弁１５Ｃと、第２開閉弁１６Ｃと、マスフローコントローラ１７Ｃと、出口側開閉弁１８Ｃとを含む。第３ラインＣの複数の継手３０Ｃは、入口側継手３１Ｃと、Ｖ字状流路付継手３２Ｃ、３３Ｃ、３４Ｃ、３５Ｃ、３６Ｃと、ライン間接続用継手３７Ｃと、出口側継手３８Ｃとを含む。ライン間接続用継手３７Ｃは、ラインの長手方向においてライン間接続用継手３７Ｂと同一位置に配置される。 The fluid control device 10C in the third line C can have the same configuration as the fluid control device 10A in the first line A. That is, the fluid control device 10C includes a filter 11C, an inlet side on-off valve 12C, a pressure regulator 13C, a pressure sensor 14C, a first on-off valve 15C, a second on-off valve 16C, a mass flow controller 17C, and an outlet side. And an on-off valve 18C. The plurality of joints 30C of the third line C include an inlet side joint 31C, V-shaped joints with flow passages 32C, 33C, 34C, 35C, 36C, an interline connection joint 37C, and an outlet side joint 38C. . The inter-line connection joint 37C is disposed at the same position as the inter-line connection joint 37B in the longitudinal direction of the line.
第３ラインＣでは、第２開閉弁１６Ｃは、その下方に配置されたブロック状のライン間接続用継手３７Ｃを介して第１開閉弁１５Ｃ、バイパスブロック７０Ｂ及びプラグ７２と連通する。第２開閉弁１６Ｃは、２つの流体入口の流路と１つの流体出口の流路とを有する三方弁である。第２開閉弁１６Ｃは、第１開閉弁１５Ｃ側から供給される第３プロセスガスに対して常時開放状態であり、パージガス配管７１側から供給されるパージガスに対して開放状態又は閉止状態に切り替えることができる。これにより、第２開閉弁１６Ｃは、第１開閉弁１５Ｃを介して供給される第３プロセスガスと、パージガス配管７１を介して供給されるパージガスとを下流側へ流したり止めたり制御することができる。第２開閉弁１６Ｃは、例えばエアオペレーションバルブである。プラグ７２は、ライン間接続用継手３７Ｃの流路を閉止するためのふたである。バイパスブロック７０Ａ、７０Ｂについては後述する。 In the third line C, the second on-off valve 16C communicates with the first on-off valve 15C, the bypass block 70B, and the plug 72 via a block-like joint for interline connection 37C disposed below the second on-off valve 16C. The second on-off valve 16C is a three-way valve having two fluid inlet channels and one fluid outlet channel. The second on-off valve 16C is always open with respect to the third process gas supplied from the first on-off valve 15C side, and is switched to an open state or a closed state with respect to the purge gas supplied from the purge gas pipe 71 side. Can do. As a result, the second on-off valve 16C can control the third process gas supplied via the first on-off valve 15C and the purge gas supplied via the purge gas pipe 71 to flow or stop downstream. it can. The second on-off valve 16C is, for example, an air operation valve. The plug 72 is a lid for closing the flow path of the inter-line connection joint 37C. The bypass blocks 70A and 70B will be described later.
このように、本発明の実施形態に係る流体制御装置１では、隣り合うラインである第１ラインＡ、第２ラインＢに形成されたライン間接続用継手３７Ａ、３７Ｂにまたがって、バイパスブロック７０Ａが取り付けられている。これにより、第１ラインＡと第２ラインＢの２つのライン間接続用継手３７Ａ、３７Ｂ同士がバイパスブロック７０Ａを介して連通する。 Thus, in the fluid control apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, the bypass block 70A spans the joints 37A and 37B for interline connection formed on the first line A and the second line B that are adjacent lines. Is attached. Thus, the two line connecting joints 37A and 37B of the first line A and the second line B communicate with each other via the bypass block 70A.
また、隣り合うラインである第２ラインＢ、第３ラインＣに形成されたライン間接続用継手３７Ｂ、３７Ｃにまたがって、バイパスブロック７０Ｂが取り付けられている。これにより、第２ラインＢと第３ラインＣの２つのライン間接続用継手３７Ｂ、３７Ｃ同士がバイパスブロック７０Ｂを介して連通する。 In addition, a bypass block 70B is attached across the interline connecting joints 37B and 37C formed on the second line B and the third line C which are adjacent lines. Thus, the two interline connection joints 37B and 37C of the second line B and the third line C communicate with each other via the bypass block 70B.
（バイパスブロック）
図３は、バイパスブロックを説明するための図である。図３（ａ）はバイパスブロックを含む上面を示し、図３（ｂ）及び図３（ｃ）は、それぞれ図３（ａ）における一点鎖線Ｂ−Ｂ及び一点鎖線Ｃ−Ｃにおいて切断した断面を示している。なお、図３（ａ）において、太い線はプロセスガスの流路を表し、細い線はパージガスの流路を表し、いずれも実線は上部に配置された流体制御機器の流路であり、点線は下部に配置された継手の流路である。
(Bypass block)
FIG. 3 is a diagram for explaining the bypass block. 3A shows a top surface including a bypass block, and FIGS. 3B and 3C are cross-sectional views taken along one-dot chain line BB and one-dot chain line CC in FIG. 3A, respectively. Show. In FIG. 3A, the thick line represents the flow path of the process gas, the thin line represents the flow path of the purge gas, the solid lines are the flow paths of the fluid control device arranged at the upper part, and the dotted line is It is the flow path of the joint arrange | positioned at the lower part.
バイパスブロック７０Ａは、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示されるように、第１ラインＡのライン間接続用継手３７Ａと、第２ラインＢのライン間接続用継手３７Ｂとにまたがるように、ライン間接続用継手３７Ａ、３７Ｂの上面に着脱可能に取り付けられている。これにより、第１ラインＡのライン間接続用継手３７Ａと第２ラインＢのライン間接続用継手３７Ｂとが連通する。バイパスブロック７０Ａは、図３（ｂ）に示されるように、逆Ｖ字形状の流路を有する。バイパスブロック７０Ａのラインの短手方向における長さは、隣り合うラインの各々の中心線間の距離以下である。また、ライン間接続用継手３７Ａの上面には、鉛直方向に延在するパージガス配管７１が取り付けられている。これにより、図３（ａ）から図３（ｃ）に示されるように、パージガス配管７１からライン間接続用継手３７Ａに供給されるパージガスは、第２開閉弁１６Ａに供給されると共に、バイパスブロック７０Ａを介してライン間接続用継手３７Ｂにも供給される。 As shown in FIGS. 3A and 3B, the bypass block 70 </ b> A spans the interline connection joint 37 </ b> A of the first line A and the interline connection joint 37 </ b> B of the second line B. Further, it is detachably attached to the upper surfaces of the joints for line connection 37A, 37B. Thereby, the joint 37A for line connection of the 1st line A and the joint 37B for line connection of the 2nd line B are connected. As shown in FIG. 3B, the bypass block 70A has an inverted V-shaped flow path. The length of the bypass block 70A in the short direction is equal to or shorter than the distance between the center lines of the adjacent lines. A purge gas pipe 71 extending in the vertical direction is attached to the upper surface of the inter-line connection joint 37A. As a result, as shown in FIGS. 3A to 3C, the purge gas supplied from the purge gas pipe 71 to the inter-line connection joint 37A is supplied to the second on-off valve 16A and the bypass block. It is also supplied to the joint 37B for line connection via 70A.
バイパスブロック７０Ｂは、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示されるように、第２ラインＢのライン間接続用継手３７Ｂと、第３ラインＣのライン間接続用継手３７Ｃとにまたがるように、ライン間接続用継手３７Ｂ、３７Ｃの上面に着脱可能に取り付けられている。これにより、第２ラインＢのライン間接続用継手３７Ｂと第３ラインＣのライン間接続用継手３７Ｃとが連通する。バイパスブロック７０Ｂは、バイパスブロック７０Ａと同一部材とすることができ、図３（ｂ）に示されるように、逆Ｖ字形状の流路を有する。バイパスブロック７０Ｂのラインの短手方向における長さは、隣り合うラインの各々の中心線間の距離以下である。これにより、バイパスブロック７０Ａとバイパスブロック７０Ｂとが干渉することがない。また、図３（ａ）から図３（ｃ）に示されるように、ライン間接続用継手３７Ｂに供給されるパージガスは、第２開閉弁１６Ｂに供給されると共に、バイパスブロック７０Ｂを介してライン間接続用継手３７Ｃにも供給される。 As shown in FIGS. 3A and 3B, the bypass block 70 </ b> B spans the interline connection joint 37 </ b> B of the second line B and the interline connection joint 37 </ b> C of the third line C. Further, it is detachably attached to the upper surfaces of the joints for line connection 37B, 37C. Thereby, the joint 37B for line connection of the 2nd line B and the joint 37C for line connection of the 3rd line C are connected. The bypass block 70B can be the same member as the bypass block 70A, and has an inverted V-shaped channel as shown in FIG. The length of the line of the bypass block 70B in the short direction is not more than the distance between the center lines of the adjacent lines. Thereby, bypass block 70A and bypass block 70B do not interfere. Further, as shown in FIGS. 3A to 3C, the purge gas supplied to the joint for line connection 37B is supplied to the second on-off valve 16B, and is connected to the line via the bypass block 70B. Also supplied to the inter-connection joint 37C.
また、図３（ａ）から図３（ｃ）に示されるように、ライン間接続用継手３７Ｃに供給されるパージガスは、第２開閉弁１６Ｃに供給される。なお、ライン間接続用継手３７Ｃの流路の一端にはプラグ７２が取り付けられており、流路が閉止されている。 Further, as shown in FIGS. 3A to 3C, the purge gas supplied to the inter-line connection joint 37C is supplied to the second on-off valve 16C. A plug 72 is attached to one end of the flow path of the joint for line connection 37C, and the flow path is closed.
（流体制御装置の動作）
本発明の実施形態に係る流体制御装置１の動作について、第３ラインＣから供給するガスを例に挙げて説明する。図４から図６は、本発明の実施形態に係る流体制御装置１のガスの流れを説明するための図である。図４は第３ラインＣから第３プロセスガス及びパージガスのいずれも供給しない場合を示し、図５は第３ラインＣから第３プロセスガスを供給する場合を示し、図６は第３ラインＣからパージガスを供給する場合を示している。
(Operation of fluid control device)
The operation of the fluid control apparatus 1 according to the embodiment of the present invention will be described using the gas supplied from the third line C as an example. 4-6 is a figure for demonstrating the flow of the gas of the fluid control apparatus 1 which concerns on embodiment of this invention. 4 shows a case where neither the third process gas nor the purge gas is supplied from the third line C, FIG. 5 shows a case where the third process gas is supplied from the third line C, and FIG. The case where purge gas is supplied is shown.
図４に示されるように、第３ラインＣから第３プロセスガス及びパージガスのいずれのガスも供給しない場合、第１開閉弁１５Ｃを閉止（Ｃｌｏｓｅ）し、第２開閉弁１６Ｃを閉止（Ｃｌｏｓｅ）する。第１開閉弁１５Ｃを閉止することで、第１開閉弁１５Ｃの上流側から供給される第３プロセスガスは、第１開閉弁１５Ｃによって遮断される。また、第２開閉弁１６Ｃを閉止することで、パージガス配管７１からバイパスブロック７０Ｂ等を介してライン間接続用継手３７Ｃに供給されるパージガスは、第２開閉弁１６Ｃによって遮断される。これにより、第２開閉弁１６Ｃよりも下流側には、第３プロセスガス及びパージガスが供給されない。 As shown in FIG. 4, when neither the third process gas nor the purge gas is supplied from the third line C, the first on-off valve 15C is closed (Close), and the second on-off valve 16C is closed (Close). To do. By closing the first on-off valve 15C, the third process gas supplied from the upstream side of the first on-off valve 15C is blocked by the first on-off valve 15C. Further, by closing the second on-off valve 16C, the purge gas supplied from the purge gas pipe 71 to the inter-line connection joint 37C via the bypass block 70B and the like is shut off by the second on-off valve 16C. Thereby, the third process gas and the purge gas are not supplied to the downstream side of the second on-off valve 16C.
図５に示されるように、第３ラインＣから第３プロセスガスのみを供給する場合、第１開閉弁１５Ｃを開放（Ｏｐｅｎ）し、第２開閉弁１６Ｃを閉止（Ｃｌｏｓｅ）する。第１開閉弁１５Ｃを開放することで、第１開閉弁１５Ｃの上流側から供給される第３プロセスガスは、第１開閉弁１５Ｃ及びライン間接続用継手３７Ｃを介して第２開閉弁１６Ｃに供給される。また、第２開閉弁１６Ｃは、第３プロセスガスに対して常時開放状態であるため、第２開閉弁１６Ｃに供給される第３プロセスガスは、下流側に供給される。また、第２開閉弁１６Ｃを閉止することで、パージガス配管７１からバイパスブロック７０Ｂ等を介してライン間接続用継手３７Ｃに供給されるパージガスは、第２開閉弁１６Ｃによって遮断される。これにより、第２開閉弁１６Ｃよりも下流側には、第３プロセスガスが供給され、パージガスが供給されない。 As shown in FIG. 5, when only the third process gas is supplied from the third line C, the first on-off valve 15C is opened (Open), and the second on-off valve 16C is closed (Close). By opening the first on-off valve 15C, the third process gas supplied from the upstream side of the first on-off valve 15C is transferred to the second on-off valve 16C via the first on-off valve 15C and the joint for line connection 37C. Supplied. Further, since the second on-off valve 16C is always open with respect to the third process gas, the third process gas supplied to the second on-off valve 16C is supplied downstream. Further, by closing the second on-off valve 16C, the purge gas supplied from the purge gas pipe 71 to the inter-line connection joint 37C via the bypass block 70B and the like is shut off by the second on-off valve 16C. Thereby, the third process gas is supplied to the downstream side of the second on-off valve 16C, and the purge gas is not supplied.
図６に示されるように、第３ラインＣからパージガスのみを供給する場合、第１開閉弁１５Ｃを閉止（Ｃｌｏｓｅ）し、第２開閉弁１６Ｃを開放（Ｏｐｅｎ）する。第１開閉弁１５Ｃを閉止することで、第１開閉弁１５Ｃの上流側から供給される第３プロセスガスは、第１開閉弁１５Ｃによって遮断される。また、第２開閉弁１６Ｃを開放することで、パージガス配管７１からバイパスブロック７０Ｂ、ライン間接続用継手３７Ｃを介して第２開閉弁１６Ｃに供給されるパージガスは、第２開閉弁１６Ｃに遮断されることなく下流側に供給される。これにより、第２開閉弁１６Ｃよりも下流側には、パージガスが供給され、第３プロセスガスが供給されない。 As shown in FIG. 6, when only the purge gas is supplied from the third line C, the first on-off valve 15C is closed (Close), and the second on-off valve 16C is opened (Open). By closing the first on-off valve 15C, the third process gas supplied from the upstream side of the first on-off valve 15C is blocked by the first on-off valve 15C. Also, by opening the second on-off valve 16C, the purge gas supplied from the purge gas pipe 71 to the second on-off valve 16C via the bypass block 70B and the inter-line connection joint 37C is blocked by the second on-off valve 16C. Without being supplied downstream. Thereby, the purge gas is supplied to the downstream side of the second on-off valve 16C, and the third process gas is not supplied.
このように、第１開閉弁１５Ｃの開閉動作、及び、第２開閉弁１６Ｃの開閉動作を制御することによって、第３ラインＣから供給するガスを切り替えることができる。 Thus, the gas supplied from the third line C can be switched by controlling the opening / closing operation of the first opening / closing valve 15C and the opening / closing operation of the second opening / closing valve 16C.
なお、第１ラインＡ及び第２ラインＢについても、第３ラインＣから供給するガスを切り替える場合と同様の方法を用いて、それぞれ第１ラインＡから供給するガス及び第２ラインＢから供給するガスを切り替えることができる。 The first line A and the second line B are also supplied from the first line A and the second line B, respectively, using the same method as that for switching the gas supplied from the third line C. Gas can be switched.
（ラインの追加方法）
本発明の実施形態に係る流体制御装置１を用いたラインの追加方法について、３つのライン（第１ラインＡから第３ラインＣ）を集積化した流体制御装置１において、第３ラインＣの隣に第４ラインＤを追加する場合を例に挙げて説明する。図７及び図８は、ラインの追加方法を説明するための図である。図７はラインを追加する前の流体制御装置１の要部を示し、図８は図７で示す流体制御装置１にラインを１つ追加した後の流体制御装置１の要部を示している。即ち、図７は３つのラインを集積化した流体制御装置１を示し、図８は４つのラインを集積化した流体制御装置１を示している。
(How to add a line)
Regarding a method for adding a line using the fluid control apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, in the fluid control apparatus 1 in which three lines (first line A to third line C) are integrated, next to the third line C. A case where the fourth line D is added will be described as an example. 7 and 8 are diagrams for explaining a method of adding a line. FIG. 7 shows the main part of the fluid control apparatus 1 before adding a line, and FIG. 8 shows the main part of the fluid control apparatus 1 after adding one line to the fluid control apparatus 1 shown in FIG. . That is, FIG. 7 shows the fluid control apparatus 1 in which three lines are integrated, and FIG. 8 shows the fluid control apparatus 1 in which four lines are integrated.
まず、ベース部材（不図示）上の第３ラインＣの隣にレールを取り付ける。その後、レールに、下段に配置される複数の継手を取り付け、上段に配置される複数の流体制御機器を取り付けることにより、第４ラインＤを形成する。第４ラインＤは第１ラインＡ等と同様の構成であってもよく、異なる構成であってもよい。例えば、第４ラインＤを第１ラインＡと同様の構成とする場合には、追加すべき流体制御機器を接続するのに必要な継手をレールの所定の位置に取り付け、その後、所定の位置に流体制御機器を取り付ける。このとき、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示されるように、第４ラインＤに設けられるライン間接続用継手３７Ｄの位置が、ラインの長手方向において、他のラインに設けられているライン間接続用継手３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃと同一位置となるように取り付ける。 First, a rail is attached next to the third line C on a base member (not shown). Thereafter, the fourth line D is formed by attaching a plurality of joints arranged in the lower stage to the rail and attaching a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage. The fourth line D may have the same configuration as the first line A or the like, or may have a different configuration. For example, when the fourth line D has the same configuration as the first line A, a joint necessary for connecting a fluid control device to be added is attached to a predetermined position of the rail, and then the predetermined position is set. Install fluid control equipment. At this time, as shown in FIG. 8A and FIG. 8B, the position of the inter-line connection joint 37D provided in the fourth line D is provided in another line in the longitudinal direction of the line. It attaches so that it may become the same position as the joints 37A, 37B, and 37C for connecting lines.
続いて、ライン間接続用継手３７Ｃに取り付けられているプラグ７２を取り外す。そして、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示されるように、第３ラインＣのライン間接続用継手３７Ｃと第４ラインＤのライン間接続用継手３７Ｄとをまたぐようにバイパスブロック７０Ｃを取り付ける。これにより、第３ラインＣのライン間接続用継手３７Ｃと第４ラインＤのライン間接続用継手３７Ｄとを連通させる。バイパスブロック７０Ｃは、バイパスブロック７０Ａ及びバイパスブロック７０Ｂと同一部材を使用することができる。また、第４ラインＤのライン間接続用継手３７Ｄの他方の流路を閉止するプラグ７２を取り付ける。これにより、図８（ｂ）に示されるように、パージガス配管７１から供給されるパージガスを、ライン間接続用継手３７Ａ、バイパスブロック７０Ａ、ライン間接続用継手３７Ｂ、バイパスブロック７０Ｂ、ライン間接続用継手３７Ｃ、バイパスブロック７０Ｃ及びライン間接続用継手３７Ｄを介して第４ラインＤの第２開閉弁１６Ｄに供給可能となる。 Subsequently, the plug 72 attached to the joint for line connection 37C is removed. Then, as shown in FIGS. 8A and 8B, the bypass block 70C extends across the interline connection joint 37C of the third line C and the interline connection joint 37D of the fourth line D. Install. Thereby, the joint for line connection 37C of the third line C and the joint for line connection 37D of the fourth line D are communicated. The same member as the bypass block 70A and the bypass block 70B can be used for the bypass block 70C. Moreover, the plug 72 which closes the other flow path of the joint 37D for line connection of the 4th line D is attached. As a result, as shown in FIG. 8B, the purge gas supplied from the purge gas pipe 71 is supplied to the line connecting joint 37A, the bypass block 70A, the line connecting joint 37B, the bypass block 70B, and the line connecting. Supply to the second on-off valve 16D of the fourth line D is possible via the joint 37C, the bypass block 70C, and the inter-line connection joint 37D.
このように、本発明の実施形態に係る流体制御装置１では、バイパスブロック７０Ｃを追加し、プラグ７２の位置を変更することにより、ラインを追加することができる。バイパスブロック７０Ｃを削除し、プラグ７２の位置を変更することにより、ラインを削除することができる。即ち、ラインの追加、削除等の変更の際、従来のように複数のラインの流体制御機器に接続された上部配管をすべて交換する必要がなく、追加又は削除するラインと対応するバイパスブロックの追加又は削除を行えばよい。このため、ラインの交換に必要な工数を削減することができ、また、交換部材費を低減することができる。 Thus, in the fluid control apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, a line can be added by adding the bypass block 70C and changing the position of the plug 72. The line can be deleted by deleting the bypass block 70C and changing the position of the plug 72. In other words, when adding or deleting lines, it is not necessary to replace all upper pipes connected to multiple lines of fluid control devices as in the past, and the addition of bypass blocks corresponding to the lines to be added or deleted Alternatively, deletion may be performed. For this reason, the man-hour required for replacement | exchange of a line can be reduced, and replacement member cost can be reduced.
また、ラインの追加、削除等の変更に必要なバイパスブロックを共通部材とすることができる。このため、ラインの変更に必要なコストを低減し、納期を短縮することができる。 Moreover, a bypass block required for changes such as addition and deletion of lines can be used as a common member. For this reason, the cost required for the line change can be reduced and the delivery time can be shortened.
以上に説明したように、本発明の実施形態に係る流体制御装置１では、ラインの追加、削除等の変更を容易に行うことができる。 As described above, in the fluid control device 1 according to the embodiment of the present invention, changes such as addition and deletion of lines can be easily performed.
なお、上記の実施形態において、プロセスガスは第１流体の一例であり、パージガスは第２流体の一例である。 In the above embodiment, the process gas is an example of the first fluid, and the purge gas is an example of the second fluid.
以上、本発明を実施するための形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。 As mentioned above, although the form for implementing this invention was demonstrated, the said content does not limit the content of invention, Various deformation | transformation and improvement are possible within the scope of the present invention.
１ 流体制御装置
１０ 流体制御機器
１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ 第１開閉弁
１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ 第２開閉弁
３０ 継手
３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ ライン間接続用継手
７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ バイパスブロック
Ａ 第１ライン
Ｂ 第２ライン
Ｃ 第３ライン
Ｄ 第４ライン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fluid control apparatus 10 Fluid control apparatus 15A, 15B, 15C, 15D 1st on-off valve 16A, 16B, 16C, 16D 2nd on-off valve 30 Joint 37A, 37B, 37C, 37D Joint for line connection 70A, 70B, 70C Bypass Block A 1st line B 2nd line C 3rd line D 4th line
Claims (7)
前記複数の継手のうち、前記複数のラインの各々に設けられ、前記複数のラインの長手方向における同一位置に配置されたライン間接続用継手と、
隣り合うラインの２つの前記ライン間接続用継手の上面をまたぐように取り付けられ、前記隣り合うラインの前記２つのライン間接続用継手を連通させるバイパスブロックと、
を有する、
流体制御装置。 A fluid control device having a plurality of lines in which lines formed by connecting a plurality of fluid control devices and a plurality of joints in series are arranged in parallel,
Among the plurality of joints, provided to each of the plurality of lines, a joint for connecting between lines arranged at the same position in the longitudinal direction of the plurality of lines,
A bypass block that is attached so as to straddle the upper surface of the two line connecting joints of adjacent lines, and communicates the two line connecting joints of the adjacent lines;
Having
Fluid control device.
請求項１に記載の流体制御装置。 The length of the bypass block in the short direction of the line is equal to or less than the distance between the center lines of the adjacent lines.
The fluid control apparatus according to claim 1.
請求項１又は２に記載の流体制御装置。 The bypass block is removable.
The fluid control apparatus according to claim 1.
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の流体制御装置。 The bypass block has an inverted V-shaped flow path,
The fluid control apparatus according to any one of claims 1 to 3.
前記ライン間接続用継手には、前記第１流体の流れを制御する第１開閉弁と、前記第２流体の流れを制御する第２開閉弁とが取り付けられている、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の流体制御装置。 The interline connecting joint is supplied with a first fluid and a second fluid from different flow paths,
A first on-off valve for controlling the flow of the first fluid and a second on-off valve for controlling the flow of the second fluid are attached to the joint for connecting lines.
The fluid control device according to any one of claims 1 to 4.
請求項５に記載の流体制御装置。 The second on-off valve is a three-way valve having two fluid inlet channels and one fluid outlet channel.
The fluid control apparatus according to claim 5.
請求項５又は６に記載の流体制御装置。 The second fluid is a purge fluid,
The fluid control apparatus according to claim 5 or 6.
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|---|---|---|---|---|
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Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001254900A (en) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Toshiba Corp | Fluid controller |
| JP2004183771A (en) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujikin Inc | Fluid control device |
| JP2005069305A (en) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Fujikin Inc | Fluid control device |
-
2016
- 2016-11-21 JP JP2016226010A patent/JP2018084255A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001254900A (en) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Toshiba Corp | Fluid controller |
| JP2004183771A (en) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujikin Inc | Fluid control device |
| JP2005069305A (en) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Fujikin Inc | Fluid control device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210065973A (en) | 2018-10-26 | 2021-06-04 | 가부시키가이샤 후지킨 | Fluid supply systems, fluid control devices, and semiconductor manufacturing devices |
| US11346505B2 (en) | 2018-10-26 | 2022-05-31 | Fujikin Incorporated | Fluid supply system, fluid control device, and semiconductor manufacturing device |
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