JP2016197766A - 配列用マスク - Google Patents
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Abstract
配列用マスクを提供する。
【解決手段】所定の配列パターンに対応した開口12を備え、開口12内に半田ボール2を振り込むことで、ワーク3上の所定位置に半田ボール2を搭載する配列用マスクであって、開口12は、多角形状であることを特徴とする。
【選択図】図8
Description
図1乃至図3に、本発明に係る配列用マスクを示す。この配列用マスク(以下、単にマスクと記す場合がある)1は、半田バンプ形成における半田ボール2の配列工程において使用に供されるものである。図2における符号3は、マスク1による半田ボール2の搭載対象となるワークを示す。このワーク3にはリジッドタイプやフレキシブルタイプと種々のものがあり、具体的にはウエハや基板があるが、例えば、ガラスエポキシ基板のベース4に複数個の半導体チップ5を搭載し、ワイヤボンドで配線した後トランスファモールド封止してなるものであり、半導体チップ5を囲むように、ワーク3の上面には、入出力端子である電極6が所定のパターンで形成されている。なお、ワーク3は、バンプの形成後に個片に切断され、個々のLSIチップとされる。
続いて、第1実施形態に係る配列用マスクについて説明する。なお、上記構成と同一の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
次に、第2実施形態に係る配列用マスクについて説明する。なお、上記構成と同一の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
2 半田ボール
3 ワーク
6 電極
10 マスク本体
12 開口
12a 第一開口
12b 第二開口
15 突起部
15a 突起部
15b 突起部
30 母型
31 フォトレジスト層
34 一次パターンレジスト
35 一次電鋳層
36 フォトレジスト層
38 二次パターンレジスト
39 二次電鋳層
Claims (4)
- 所定の配列パターンに対応した開口(12)を備え、前記開口(12)内に半田ボール(2)を振り込むことで、ワーク(3)上の所定位置に前記半田ボール(2)を搭載する配列用マスクであって、
前記開口(12)は、多角形状であることを特徴とする配列用マスク。 - 前記開口(12)は、四角形状であることを特徴とする請求項1に記載の配列用マスク。
- 前記開口(12)寸法は、前記半田ボール(2)の直径寸法の1.01以上1.2倍未満であることを特徴とする請求項1または2に記載の配列用マスク。
- 前記開口(12)は、第一開口(12a)と第二開口(12b)とを有し、前記第一開口(12a)は多角形状に形成され、前記第二開口(12b)は円形状に形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の配列用マスク。
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