JP2016189414A - Impingement cooling device - Google Patents

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川原　洋司
Yoji Kawahara
洋司 川原
益子　耕一
Koichi Masuko
耕一 益子
将宗 松田
Masamune Matsuda
将宗 松田
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Fujikura Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an impingement cooling device capable of enhancing the cooling performance by flowing the cooling liquid smoothly.SOLUTION: The outer surface of the bottom plate 3 of a container 2 is the cooling surface 3a to which heat is transmitted from a cooling object, a partition 9 is provided in the center of the container 2 in the thickness direction, a plurality of elongated holes 10 for jetting the cooling liquid toward the inner surface of the bottom plate 3 of the partition 9 are formed to penetrate the partition 9 in the plate thickness direction, and arranged at constant intervals in a direction parallel the bottom plate 3, a discharge flow path 12 opening toward the inner surface of the bottom plate 3 is provided between respective elongated holes 10, and a plurality of fins 6 perpendicular to the discharge flow path 12 are provided on the inner surface of the bottom plate 3. In such an impingement cooling device 1, protrusions 16 rising toward the elongated holes 10 and guiding the cooling liquid jetted therefrom in a direction parallel with the arrangement direction of the elongated holes 10 are provided on the inner surface of the bottom plate 3 and directly under the elongated holes 10.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、噴流にした冷却液と冷却対象物との間で熱交換をするように構成された冷却装置に関するものである。   The present invention relates to a cooling device configured to exchange heat between a jetted coolant and an object to be cooled.

特許文献１に記載された装置は、冷却対象物である電子部品に熱的に接続される冷却プレートを備えている。冷却プレートは容器を有し、容器内に冷媒が供給されて冷却対象物との間で熱交換を行うように構成されている。容器の内部は隔壁部によって二つに区画されている。隔壁部にはスリット状の複数のノズルが一定間隔をあけて形成されている。それらノズルから噴射されて容器の内面で跳ね返った冷媒を導き入れて所定箇所に排出するための凹部が、隣接するノズル同士の間に形成されている。冷媒が吹き付けられる容器の内面に、ノズルの長さ方向と直交する方向に延びる複数のフィンが一定の間隔でかつ平行に設けられている。隣接するフィン同士の間が冷媒流路とされている。各フィンが設けられた内面とは反対側の面すなわち容器の外面に冷却対象物が熱的に接続される。そして、冷媒はノズルから噴出され、冷媒流路の底部に衝突させられる。底部に衝突して跳ね返った冷媒は凹部に集合させられかつ凹部を通って冷却プレートの外部に排出される。   The apparatus described in Patent Document 1 includes a cooling plate that is thermally connected to an electronic component that is an object to be cooled. The cooling plate has a container, and is configured such that a refrigerant is supplied into the container and heat exchange is performed with an object to be cooled. The interior of the container is divided into two by a partition wall. A plurality of slit-shaped nozzles are formed in the partition wall at regular intervals. A concave portion is formed between adjacent nozzles for introducing the refrigerant that has been sprayed from these nozzles and bounced off the inner surface of the container and discharged to a predetermined location. A plurality of fins extending in a direction orthogonal to the length direction of the nozzle are provided on the inner surface of the container to which the coolant is sprayed at a constant interval and in parallel. A space between adjacent fins is a refrigerant flow path. An object to be cooled is thermally connected to the surface opposite to the inner surface provided with the fins, that is, the outer surface of the container. Then, the refrigerant is ejected from the nozzle and collides with the bottom of the refrigerant flow path. The refrigerant that collides with the bottom and bounces is collected in the recess and is discharged to the outside of the cooling plate through the recess.

特許文献２には、複数の微小開口部を設けたマニホールドに対向させて多数のフィンを立設したプレートを配置し、その開口部およびプレートをスカートによって囲った装置が記載されている。プレートは電子部品などの熱源に接触させられ、前記開口部からフィンに向けて冷媒を吹き付けてプレートが冷却される。プレートから熱を奪った冷媒はマニホールドとプレートとの間の隙間を通ってマニホールドおよびプレートの周辺部に導かれ、スカートの外部に排出される。   Patent Document 2 describes an apparatus in which a plate in which a large number of fins are erected is arranged facing a manifold having a plurality of minute openings, and the openings and the plate are surrounded by a skirt. The plate is brought into contact with a heat source such as an electronic component, and the plate is cooled by spraying a coolant from the opening toward the fin. The refrigerant that has taken heat away from the plate is guided to the manifold and the periphery of the plate through the gap between the manifold and the plate, and is discharged to the outside of the skirt.

特開２０１４−１４３２７３号公報JP 2014-143273 A 米国特許出願公開第２００９／０２９４１０６号明細書US Patent Application Publication No. 2009/0294106

特許文献１に記載された構成では、ノズルから噴出された冷媒は、冷却流路の底部で跳ね返ってノズルの両側に配置された凹部に向けて流動する。このように流動する冷媒は冷却流路の底部で対向流となるため、冷却流路の底部にいわゆるよどみ点が生じてしまう可能性がある。つまり冷媒同士が互いに衝突して流速が低くなり、その結果、冷媒が局部的に滞留し、よどみ点が生じる。このよどみ点およびその付近では、熱が運び去られないので、冷却性能が低下する可能性がある。また、特許文献２に記載された装置では、冷媒をフィンに直交する方向に流動させて排出する構成であるため、各フィンの間に冷媒が滞留し、冷却性能が損なわれる可能性がある。   In the configuration described in Patent Document 1, the refrigerant ejected from the nozzle bounces off at the bottom of the cooling flow path and flows toward the recesses disposed on both sides of the nozzle. Since the refrigerant flowing in this way becomes a counterflow at the bottom of the cooling channel, a so-called stagnation point may occur at the bottom of the cooling channel. That is, the refrigerants collide with each other and the flow velocity is lowered. As a result, the refrigerant is locally retained and a stagnation point is generated. At and around this stagnation point, heat is not carried away, and cooling performance may be reduced. Moreover, since the apparatus described in Patent Document 2 is configured to flow the refrigerant in a direction perpendicular to the fins and discharge the refrigerant, the refrigerant may remain between the fins and the cooling performance may be impaired.

本発明は、上記の技術的課題に着目してなされたものであり、冷却液をスムーズに流動させて冷却性能を向上させることのできるインピンジメント式冷却装置を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made paying attention to the above technical problem, and an object thereof is to provide an impingement type cooling device capable of improving the cooling performance by smoothly flowing the coolant. is there.

本発明は、上記の目的を達成するために、容器の底板部の外面が冷却対象物から熱が伝達される冷却面とされ、前記容器の内部における前記容器の厚さ方向での中央に隔壁が設けられ、前記隔壁に前記底板部の内面に向けて冷却液を噴射する複数の長孔が前記隔壁の板厚方向に貫通して形成されるとともに前記底板部と平行な方向に一定間隔をあけて配列され、前記各長孔の間に前記底板部の内面に向けて開口する排出用流路が設けられ、前記底板部の内面に前記排出用流路に直交する複数のフィンが設けられたインピンジメント式冷却装置において、前記底板部の内面であって前記長孔の直下に、前記長孔に向けて盛り上がるとともに前記長孔から噴射された前記冷却液を前記長孔の配列方向と平行な方向に誘導する突起部が設けられていることを特徴とするものである。   In order to achieve the above-mentioned object, the present invention has an outer surface of a bottom plate portion of a container as a cooling surface to which heat is transmitted from an object to be cooled, and a partition wall at the center in the thickness direction of the container inside the container And a plurality of elongated holes for injecting a coolant toward the inner surface of the bottom plate portion are formed in the partition wall so as to penetrate in the plate thickness direction of the partition wall and have a constant interval in a direction parallel to the bottom plate portion. A discharge flow path that is open and arranged between each of the elongated holes and opens toward the inner surface of the bottom plate portion is provided, and a plurality of fins that are orthogonal to the discharge flow channel are provided on the inner surface of the bottom plate portion. Further, in the impingement type cooling apparatus, the cooling liquid that is raised toward the long hole and parallel to the arrangement direction of the long holes is formed on the inner surface of the bottom plate portion and directly below the long holes. Protrusion that guides in any direction It is characterized in.

また本発明では、前記突起部は、断面形状が前記底板部側で幅が広くかつ前記長孔側で幅の狭い三角形断面もしくは尖塔形断面をなすように形成されていてよい。   In the present invention, the protrusion may be formed so that the cross-sectional shape forms a triangular cross section or a spire-shaped cross section that is wide on the bottom plate side and narrow on the long hole side.

さらに本発明では、前記突起部は前記排出用流路に対向する位置に配置されていてよい。   Furthermore, in the present invention, the protrusion may be disposed at a position facing the discharge channel.

本発明によれば、長孔から噴射された冷却液は突起部により長孔の配列方向と平行な方向すなわち容器の底板部の内面に沿う方向に誘導されるから、冷却液同士が激しく衝突し、冷却液の滞留が抑制され、その結果、熱の輸送が効率よく行われ、冷却性能を向上することができる。   According to the present invention, the cooling liquid sprayed from the long holes is guided by the protrusions in a direction parallel to the arrangement direction of the long holes, that is, along the inner surface of the bottom plate portion of the container. The stagnation of the cooling liquid is suppressed, and as a result, the heat is efficiently transported and the cooling performance can be improved.

本発明に係るインピンジメント式冷却装置の一例の一部破断した部分断面図である。It is a fragmentary sectional view in which an example of the impingement type cooling device according to the present invention was partially broken. 図１に示すII−II線矢視断面図である。It is the II-II arrow directional cross-sectional view shown in FIG. 図２のIII−III線に沿う断面の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of cross section which follows the III-III line | wire of FIG. 図２のIV−IV線に沿う断面の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of cross section which follows the IV-IV line | wire of FIG.

つぎに本発明を実施例を参照して説明する。図１は本発明に係るインピンジメント式冷却装置の一例の一部破断した部分断面図である。このインピンジメント式冷却装置１は、本発明の容器に相当する矩形もしくは方形の扁平形状で液密性のコンテナ２を備え、コンテナ２は冷却対象物に熱的に接続される本発明の底板部に相当するベースプレート３と、周壁部を構成する矩形枠状のマニホールドプレート４と、マニホールドプレート４の開口部を閉じるカバープレート５とによって構成されている。ベースプレート３の外面（図１での下面）が冷却対象物から熱が伝達される冷却面３ａとなっている。ベースプレート３の内面（図１での上面）のほぼ中央部に複数のフィン６が互いに一定の間隔をあけてかつ平行に立設されている。隣接するフィン６同士の間が冷却流路であるマイクロチャンネル７となっている。カバープレート５の四隅のうち一つの角部に、図示しない供給管が接続される供給孔８が形成されている。供給孔８は、カバープレート５を板厚方向に貫通してコンテナ２の内部に連通している。   Next, the present invention will be described with reference to examples. FIG. 1 is a partially cutaway partial sectional view of an example of an impingement type cooling apparatus according to the present invention. The impingement type cooling device 1 includes a rectangular or square flat and liquid-tight container 2 corresponding to the container of the present invention, and the container 2 is a bottom plate portion of the present invention that is thermally connected to the object to be cooled. Are formed by a base plate 3 corresponding to the above, a rectangular frame-shaped manifold plate 4 that constitutes a peripheral wall portion, and a cover plate 5 that closes an opening of the manifold plate 4. The outer surface of the base plate 3 (the lower surface in FIG. 1) is a cooling surface 3a through which heat is transferred from the object to be cooled. A plurality of fins 6 are erected in parallel at regular intervals from each other at substantially the center of the inner surface (the upper surface in FIG. 1) of the base plate 3. Between adjacent fins 6 is a microchannel 7 which is a cooling channel. A supply hole 8 to which a supply pipe (not shown) is connected is formed at one corner of the four corners of the cover plate 5. The supply hole 8 passes through the cover plate 5 in the thickness direction and communicates with the inside of the container 2.

上記のマニホールドプレート４は、供給孔８を介してコンテナ２の内部に供給された冷却液をマイクロチャンネル７に分散させて供給し、また、マイクロチャンネル７で熱交換を行って温度が上昇した冷却液を集めてコンテナ２の外部に排出するためのものである。図１に示すように、マニホールドプレート４の厚さ方向のほぼ中央に隔壁９が設けられている。隔壁９には、本発明の長孔に相当するノズル１０が、前記隔壁９の板厚方向に貫通して複数形成されている。各ノズル１０は、図１に示す例では、フィン６の幅方向と直交する方向に延びた細長いスリット状に形成されるとともに、マニホールドプレート４の幅方向に一定の間隔をあけて平行に配列されている。また、このように配列された複数のノズル１０を１セットとして、図１に示す例では、マニホールドプレート４の長さ方向に一定の間隔をあけて４セット、形成されている。隔壁９とカバープレート５とによって区画された空間に、供給孔８が連通している。供給孔８から供給された冷却液は、各ノズル１０からマイクロチャンネル７に向けて噴射される。したがって上記の空間が供給側ヘッダ１１として機能する。   The manifold plate 4 supplies the cooling liquid supplied to the inside of the container 2 through the supply holes 8 in a dispersed manner to the microchannels 7, and heat is exchanged in the microchannels 7 to increase the temperature. The liquid is collected and discharged to the outside of the container 2. As shown in FIG. 1, a partition wall 9 is provided substantially at the center in the thickness direction of the manifold plate 4. In the partition wall 9, a plurality of nozzles 10 corresponding to the long holes of the present invention are formed penetrating in the plate thickness direction of the partition wall 9. In the example shown in FIG. 1, each nozzle 10 is formed in an elongated slit shape extending in a direction orthogonal to the width direction of the fin 6 and is arranged in parallel with a certain interval in the width direction of the manifold plate 4. ing. Further, in the example shown in FIG. 1, four sets are formed with a certain interval in the length direction of the manifold plate 4 with the plurality of nozzles 10 arranged in this way as one set. A supply hole 8 communicates with a space defined by the partition wall 9 and the cover plate 5. The cooling liquid supplied from the supply hole 8 is ejected from each nozzle 10 toward the microchannel 7. Therefore, the above space functions as the supply-side header 11.

前記隔壁９の図１での下面はフィン６の先端部に接している。そして、隔壁９の下面でかつノズル１０同士の間には、フィン６側に開口する凹部１２が形成されている。各凹部１２はノズル１０の長さ方向すなわちフィン６に直交する方向に延びて形成されている。各凹部１２の長さ方向での一方の端部は排出側ヘッダ１３に連通されている。排出側ヘッダ１３は、排出孔１４を介して図示しない排出管に連通されている。排出孔１４は、供給孔８に対して対角線上で反対側に設けられ、隔壁９とカバープレート５との間の空間には連通せずに、隔壁９とベースプレート３との間の空間に連通している。排出側ヘッダ１３は、各凹部１２が連通するように、また各凹部１２の長さ方向に対して直交するようにコンテナ２の内部に形成されかつ排出孔１４に連通した流路となっている。つまり各凹部１２が冷却液の排出用流路となっている。   The lower surface of the partition wall 9 in FIG. 1 is in contact with the tip of the fin 6. And the recessed part 12 opened to the fin 6 side is formed in the lower surface of the partition 9 and between the nozzles 10. Each concave portion 12 is formed to extend in the length direction of the nozzle 10, that is, in a direction orthogonal to the fins 6. One end of each recess 12 in the length direction is communicated with the discharge side header 13. The discharge-side header 13 communicates with a discharge pipe (not shown) through the discharge hole 14. The discharge hole 14 is provided diagonally opposite to the supply hole 8, and does not communicate with the space between the partition wall 9 and the cover plate 5, but communicates with the space between the partition wall 9 and the base plate 3. doing. The discharge-side header 13 is a flow path that is formed inside the container 2 and communicates with the discharge hole 14 so that the respective recesses 12 communicate with each other and perpendicular to the length direction of each recess 12. . That is, each recess 12 serves as a coolant discharge passage.

図２は、図１に示すII−II線矢視断面図であり、図３は図２のIII−III線に沿う断面の一部を示す図であり、図４は図２のIV−IV線に沿う断面の一部を示す図である。図２ないし図４に示すように、マイクロチャンネル７の底部１５に、ノズル１０側に盛り上がった突起部１６が複数形成されている。この突起部１６は、ノズル１０から噴出された冷却液を速やかに凹部１２に導くことによりマイクロチャンネル７における冷却液の滞留時間を短くするためのものである。前記突起部１６は、ここに示す例では、ノズル１０および凹部１２の直下にそれぞれ設けられている。そのため、ノズル１０から噴出された冷却液は、後述するように突起部１６の頂部１６ａに衝突してノズル１０の配列方向（図２の左右方向）に誘導されるとともに、図２の左右方向に誘導された冷却液は前記ノズル１０の直下に配置された突起部１６に隣接する他の突起部１６に衝突して凹部１２に導かれる。上記の突起部１６は、図２に示すように、断面形状がベースプレート３側で幅が広くかつ前記ノズル１０側で幅の狭い三角形断面もしくは尖塔形断面をなすように形成されている。また、図３および図４に示すように、突起部１６はフィン６同士の間に配置されていて、突起部１６の長さ方向の両端部はフィン６に接している。したがってフィン６同士の間では、突起部１６とノズル１０とが対向している。なお、突起部１６は、冷却液を凹部１２に速やかに導くように構成されていればよく、図２に示す形状に替えて、断面形状が方形あるいは矩形をなすように形成してもよく、また、底部１５におけるノズル１０や凹部１２の直下にピンを配置してそのピンを突起部１６としてもよい。   2 is a cross-sectional view taken along line II-II shown in FIG. 1, FIG. 3 is a view showing a part of a cross section taken along line III-III in FIG. 2, and FIG. 4 is IV-IV in FIG. It is a figure which shows a part of cross section along a line. As shown in FIGS. 2 to 4, a plurality of protrusions 16 swelled toward the nozzle 10 are formed on the bottom 15 of the microchannel 7. This protrusion 16 is for shortening the residence time of the coolant in the microchannel 7 by quickly guiding the coolant ejected from the nozzle 10 to the recess 12. In the example shown here, the protrusion 16 is provided directly below the nozzle 10 and the recess 12. Therefore, the cooling liquid ejected from the nozzle 10 collides with the top 16a of the protrusion 16 and is guided in the arrangement direction of the nozzle 10 (left and right direction in FIG. 2) as described later, and in the left and right direction in FIG. The induced cooling liquid collides with another protrusion 16 adjacent to the protrusion 16 disposed immediately below the nozzle 10 and is guided to the recess 12. As shown in FIG. 2, the protrusion 16 is formed so that its cross-sectional shape forms a triangular or spire-shaped cross section that is wide on the base plate 3 side and narrow on the nozzle 10 side. As shown in FIGS. 3 and 4, the protruding portion 16 is disposed between the fins 6, and both end portions in the length direction of the protruding portion 16 are in contact with the fin 6. Therefore, between the fins 6, the protrusion 16 and the nozzle 10 face each other. In addition, the protrusion part 16 should just be comprised so that a cooling fluid may be rapidly guide | induced to the recessed part 12, and it may replace with the shape shown in FIG. 2, and may form so that a cross-sectional shape may make a square or a rectangle, Further, a pin may be disposed directly below the nozzle 10 or the recess 12 in the bottom portion 15 and the pin may be used as the protrusion 16.

上記のインピンジメント式冷却装置１の作用について説明する。冷却対象物の熱がベースプレート３に伝達されると、その熱はマイクロチャンネル７の底部１５および突起部１６ならびにフィン６に伝達される。冷却液は供給孔８を介して供給側ヘッダ１１に供給され、マイクロチャンネル７に向けてノズル１０から噴出される。ノズル１０から噴出された冷却液は、図２および図３に示すように、突起部１６の頂部１６ａに衝突することにより、フィン６の配列方向に誘導される。このような図２の左右方向への冷却液の流動は、ノズル１０毎に同様に生じるため、マイクロチャンネル７に冷却液の対向流が生じ、それら冷却液同士が衝突することにより冷却液が撹拌される。また、上述したように突起部１６に冷却液が衝突することによって冷却液の流線が乱れていわゆる乱流になる。乱流となった冷却液はマイクロチャンネル７の底部１５および突起部１６ならびにフィン６に衝突を繰り返しながら熱交換を行う。   The operation of the impingement type cooling device 1 will be described. When the heat of the object to be cooled is transmitted to the base plate 3, the heat is transmitted to the bottom 15 and the protrusions 16 of the microchannel 7 and the fins 6. The coolant is supplied to the supply-side header 11 through the supply hole 8 and is ejected from the nozzle 10 toward the microchannel 7. As shown in FIGS. 2 and 3, the coolant ejected from the nozzle 10 is guided in the arrangement direction of the fins 6 by colliding with the top 16 a of the protrusion 16. Such a flow of the cooling liquid in the left-right direction in FIG. 2 occurs similarly for each nozzle 10, so that a counter flow of the cooling liquid is generated in the microchannel 7, and the cooling liquid is agitated by the collision of the cooling liquids. Is done. Further, as described above, when the cooling liquid collides with the protrusion 16, the flow line of the cooling liquid is disturbed to become a so-called turbulent flow. The turbulent cooling liquid exchanges heat while repeatedly colliding with the bottom 15 and the protrusions 16 and the fins 6 of the microchannel 7.

また、突起部１６は上述したようにノズル１０および凹部１２の直下に設けられているため、前記冷却液同士の衝突は、凹部１２の直下もしくはその近傍で生じる。上記のようにして衝突した冷却液は、図２および図４に示すように、突起部１６によって凹部１２に向けて誘導される。この冷却液のいわゆる跳ね返り流は凹部１２に沿って流動し、排出側ヘッダ１３で集合させられ、排出孔１４からインピンジメント式冷却装置１の外部に排出される。   Further, since the protrusion 16 is provided directly below the nozzle 10 and the recess 12 as described above, the collision between the cooling liquids occurs immediately below or near the recess 12. The cooling liquid colliding as described above is guided toward the concave portion 12 by the protrusion 16 as shown in FIGS. This so-called rebounding flow of the coolant flows along the recess 12, gathers at the discharge side header 13, and is discharged from the impingement type cooling device 1 through the discharge hole 14.

このように本発明では、ノズル１０から噴出された冷却液を突起部１６に衝突させてノズル１０の配列方向に誘導するとともに凹部１２に誘導するため、上述したマイクロチャンネル７の底部１５に冷却液を衝突させてその跳ね返り流を凹部１２に導く場合に比較して、凹部１２に速やかに冷却液を誘導できる。そのため、マイクロチャンネル７における冷却液の滞留時間を短くできるとともに、マイクロチャンネル７の底部１５に冷却液がとどまる滞留部が生じることを抑制できる。つまり、マイクロチャンネル７に効率よく低温の冷却液が供給されることとなる。また、冷却液が突起部１６に衝突することにより乱流になり、冷却液とマイクロチャンネル７の底部１５および突起部１６ならびにフィン６との衝突が増大する。それらの結果、インピンジメント式冷却装置１の全体としての冷却性能を向上できる。さらに、底部１５に突起部１６を設けることにより、マイクロチャンネル７の底部１５での冷却液に対する伝熱面積が拡大するため、インピンジメント式冷却装置１の全体としての冷却性能を更に向上できる。   As described above, in the present invention, the coolant ejected from the nozzle 10 is caused to collide with the protrusions 16 to be guided in the arrangement direction of the nozzles 10 and to the recesses 12. As compared with the case where the rebound flow is guided to the concave portion 12, the coolant can be quickly guided to the concave portion 12. Therefore, the residence time of the cooling liquid in the microchannel 7 can be shortened, and the occurrence of a residence part where the cooling liquid stays at the bottom 15 of the microchannel 7 can be suppressed. That is, a low-temperature coolant is efficiently supplied to the microchannel 7. Further, the collision of the cooling liquid with the protrusions 16 causes a turbulent flow, and the collision of the cooling liquid with the bottom 15, the protrusions 16, and the fins 6 of the microchannel 7 increases. As a result, the cooling performance of the impingement type cooling device 1 as a whole can be improved. Furthermore, by providing the protrusion 16 on the bottom 15, the heat transfer area with respect to the coolant at the bottom 15 of the microchannel 7 is expanded, so that the cooling performance of the impingement type cooling device 1 as a whole can be further improved.

なお、本発明は上述した構成に限定されないのであって、突起部１６はノズル１０から噴出された冷却液をフィン６の幅方向に誘導して冷却液同士を衝突させるように底部１５に設けられていればよく、したがって、突起部１６は、底部１５におけるノズル１０に対応する位置から外れていてもよい。   The present invention is not limited to the above-described configuration, and the protrusion 16 is provided on the bottom 15 so as to guide the cooling liquid ejected from the nozzle 10 in the width direction of the fin 6 so that the cooling liquids collide with each other. Therefore, the protrusion 16 may be out of the position corresponding to the nozzle 10 in the bottom 15.

１…インピンジメント式冷却装置、 ２…コンテナ（容器）、 ３…ベースプレート、 ３ａ…底板部、 ６…フィン、 １０…ノズル、 １２…凹部（排出用流路）、 １６…突起部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Impingement type cooling device, 2 ... Container (container), 3 ... Base plate, 3a ... Bottom plate part, 6 ... Fin, 10 ... Nozzle, 12 ... Recessed part (discharge flow path), 16 ... Projection part.

Claims (3)

容器の底板部の外面が冷却対象物から熱が伝達される冷却面とされ、前記容器の内部における前記容器の厚さ方向での中央に隔壁が設けられ、前記隔壁に前記底板部の内面に向けて冷却液を噴射する複数の長孔が前記隔壁の板厚方向に貫通して形成されるとともに前記底板部と平行な方向に一定間隔をあけて配列され、前記各長孔の間に前記底板部の内面に向けて開口する排出用流路が設けられ、前記底板部の内面に前記排出用流路に直交する複数のフィンが設けられたインピンジメント式冷却装置において、
前記底板部の内面であって前記長孔の直下に、前記長孔に向けて盛り上がるとともに前記長孔から噴射された前記冷却液を前記長孔の配列方向と平行な方向に誘導する突起部が設けられていることを特徴とするインピンジメント式冷却装置。 The outer surface of the bottom plate portion of the container is a cooling surface to which heat is transferred from the object to be cooled, a partition wall is provided in the center of the container in the thickness direction of the container, and the partition wall is provided on the inner surface of the bottom plate portion. A plurality of long holes for injecting the coolant toward the plate are formed so as to penetrate in the plate thickness direction of the partition wall, and are arranged at a predetermined interval in a direction parallel to the bottom plate portion, and between the long holes, In the impingement type cooling apparatus provided with a discharge channel that opens toward the inner surface of the bottom plate part, and provided with a plurality of fins orthogonal to the discharge channel on the inner surface of the bottom plate part,
On the inner surface of the bottom plate portion, directly below the elongated hole, a protrusion that rises toward the elongated hole and guides the coolant sprayed from the elongated hole in a direction parallel to the arrangement direction of the elongated holes. An impingement type cooling device provided. 前記突起部は、断面形状が前記底板部側で幅が広くかつ前記長孔側で幅の狭い三角形断面もしくは尖塔形断面をなすように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインピンジメント式冷却装置。   2. The protrusion according to claim 1, wherein the protrusion has a triangular cross-section or a spire-shaped cross-section that is wide on the bottom plate side and narrow on the long hole side. Impingement type cooling device. 前記突起部は前記排出用流路に対向する位置に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載のインピンジメント式冷却装置。   The impingement type cooling apparatus according to claim 1, wherein the protrusion is disposed at a position facing the discharge channel.
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