JP2016166424A - 蒸着フィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
さらに、前記伸縮可能な機構により、装置の運転および停止を長期間繰り返しても、仕切り部が破損しにくい。
そして、厚みが5mmの仕切り部13で確保された幅が約100mmの各ボックスには、前記2種類の蒸着材料を交互に均一に収容した。なお、図2で,Aは酸化アルミニウム、Sは酸化珪素を示す。また、酸化アルミニウムおよび酸化珪素を蒸着した高分子フィルムは、食品、医療品、電子部品など気密性を要求される包装材料やガス遮断材料として広く利用され得る。
仕切り部13と連結板16との組み方は実施例と同じであるが、クッション材を入れずに材料保持手段8と仕切り部端面を直接接触させた。
2 巻き取りロール
3 冷却ロール
4 電子銃
5 テンションロール
6 真空槽
7 遮蔽板
8 材料保持手段
9 排気装置
10 蒸着材料
11 フィルム
12 電子線
13 仕切り部
14 クッション材
15 冷却管
16 連結板
Claims (5)
- 真空槽内に少なくとも2種類以上の異なる蒸着材料を仕分ける仕切り部および該仕切り部を一定の間隔で保持する連結板を有する材料保持手段、ならびに蒸着材料を蒸発させる加熱手段を備え、真空槽内で走行するフィルム上に蒸着膜を形成させる真空蒸着装置において該仕切り部が仕切方向と垂直方向に伸縮可能な機構を有する真空蒸着装置を用いる蒸着フィルムの製造方法。
- 前記真空蒸着装置における前記材料保持手段が銅製の外枠を有しその中に仕切り部が収容されている請求項1に記載の蒸着フィルムの製造方法。
- 前記真空蒸着装置における前記材料保持手段の仕切り部と垂直方向の少なくとも1方の端部と前記材料保持手段との間にクッション材を有する請求項1あるいは2の蒸着フィルムの製造方法。
- 前記真空蒸着装置における前記仕切り部の長尺方向がフィルムの走行方向と平行となるように設置されている請求項1〜3のいずれかに記載の蒸着フィルムの製造方法。
- 前記真空蒸着装置における前記材料保持手段がフィルム走行方向に水平移動する機構を有する請求項1〜4のいずれかに記載の蒸着フィルムの製造方法。
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JP2006083427A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Sanritsuku:Kk | 蒸着用発熱体 |
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