JP2016162537A - Light emitting device and method for manufacturing light emitting device - Google Patents
Light emitting device and method for manufacturing light emitting device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016162537A JP2016162537A JP2015038423A JP2015038423A JP2016162537A JP 2016162537 A JP2016162537 A JP 2016162537A JP 2015038423 A JP2015038423 A JP 2015038423A JP 2015038423 A JP2015038423 A JP 2015038423A JP 2016162537 A JP2016162537 A JP 2016162537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- light emitting
- antireflection
- emitting device
- conductive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 105
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 325
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 113
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims abstract description 55
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 41
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 58
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 58
- 239000010408 film Substances 0.000 description 51
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 44
- 239000002585 base Substances 0.000 description 32
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 31
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 30
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 29
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 22
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 17
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 17
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 17
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 15
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 13
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 13
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 12
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 12
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 12
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 9
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 9
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 9
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 8
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 7
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 6
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 6
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 6
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 6
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 4
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 4
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000292 Polyquinoline Polymers 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 3
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 3
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 3
- 150000004775 coumarins Chemical class 0.000 description 3
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 3
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 3
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 3
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 3
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 description 3
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpyridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005725 8-Hydroxyquinoline Substances 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- 229910000846 In alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical group C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 2
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M caesium fluoride Chemical compound [F-].[Cs+] XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000001716 carbazoles Chemical class 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011365 complex material Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 238000004770 highest occupied molecular orbital Methods 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960003540 oxyquinoline Drugs 0.000 description 2
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 2
- NROKBHXJSPEDAR-UHFFFAOYSA-M potassium fluoride Chemical compound [F-].[K+] NROKBHXJSPEDAR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 2
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 2
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M sodium fluoride Chemical compound [F-].[Na+] PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N strontium oxide Chemical compound [O-2].[Sr+2] IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 1,1-Dichloroethane Chemical compound CC(Cl)Cl SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SHXCHSNZIGEBFL-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole;zinc Chemical compound [Zn].C1=CC=C2SC=NC2=C1 SHXCHSNZIGEBFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIWLITBBFICQKW-UHFFFAOYSA-N 1h-benzo[h]quinolin-2-one Chemical compound C1=CC=C2C3=NC(O)=CC=C3C=CC2=C1 UIWLITBBFICQKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFBJMPNFKOMEEW-UHFFFAOYSA-N 2,3-diphenylbut-2-enedinitrile Chemical group C=1C=CC=CC=1C(C#N)=C(C#N)C1=CC=CC=C1 VFBJMPNFKOMEEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylbenzenesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DWYHDSLIWMUSOO-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NC2=CC=CC=C2N1 DWYHDSLIWMUSOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-n-[4-[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical group CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDTHMESPCBONDT-UHFFFAOYSA-N 4-(4-oxocyclohexa-2,5-dien-1-ylidene)cyclohexa-2,5-dien-1-one Chemical class C1=CC(=O)C=CC1=C1C=CC(=O)C=C1 DDTHMESPCBONDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFNMUZCFSDMZPQ-GHXNOFRVSA-N 7-[(z)-3-methyl-4-(4-methyl-5-oxo-2h-furan-2-yl)but-2-enoxy]chromen-2-one Chemical compound C=1C=C2C=CC(=O)OC2=CC=1OC/C=C(/C)CC1OC(=O)C(C)=C1 CFNMUZCFSDMZPQ-GHXNOFRVSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJWRRBADQOOFSF-UHFFFAOYSA-N C1=CC=C2OC([Zn])=NC2=C1 Chemical compound C1=CC=C2OC([Zn])=NC2=C1 AJWRRBADQOOFSF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UXYHZIYEDDINQH-UHFFFAOYSA-N C1=CNC2=C3C=NN=C3C=CC2=C1 Chemical class C1=CNC2=C3C=NN=C3C=CC2=C1 UXYHZIYEDDINQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000284156 Clerodendrum quadriloculare Species 0.000 description 1
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000002841 Lewis acid Substances 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930192627 Naphthoquinone Natural products 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N Pyrazole Chemical class C=1C=NNC=1 WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical group C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018287 SbF 5 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- ULGYAEQHFNJYML-UHFFFAOYSA-N [AlH3].[Ca] Chemical compound [AlH3].[Ca] ULGYAEQHFNJYML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JFBZPFYRPYOZCQ-UHFFFAOYSA-N [Li].[Al] Chemical compound [Li].[Al] JFBZPFYRPYOZCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHYLKGDXMUDNEO-UHFFFAOYSA-N [Mg].[In] Chemical compound [Mg].[In] JHYLKGDXMUDNEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229910000288 alkali metal carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001508 alkali metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001615 alkaline earth metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNAAJJQQZSMGQD-UHFFFAOYSA-N aluminum magnesium Chemical compound [Mg].[Al] SNAAJJQQZSMGQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010405 anode material Substances 0.000 description 1
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001555 benzenes Chemical class 0.000 description 1
- XZCJVWCMJYNSQO-UHFFFAOYSA-N butyl pbd Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1C1=NN=C(C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)O1 XZCJVWCMJYNSQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOPBYBDAPCDYFK-UHFFFAOYSA-N caesium oxide Chemical compound [O-2].[Cs+].[Cs+] KOPBYBDAPCDYFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001942 caesium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- HFXKQSZZZPGLKQ-UHFFFAOYSA-N cyclopentamine Chemical class CNC(C)CC1CCCC1 HFXKQSZZZPGLKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUIWZLHUNCCYBL-UHFFFAOYSA-N decacyclene Chemical compound C12=C([C]34)C=CC=C4C=CC=C3C2=C2C(=C34)C=C[CH]C4=CC=CC3=C2C2=C1C1=CC=CC3=CC=CC2=C31 CUIWZLHUNCCYBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229940060296 dodecylbenzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- YLQWCDOCJODRMT-UHFFFAOYSA-N fluoren-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3C2=C1 YLQWCDOCJODRMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- JVZRCNQLWOELDU-UHFFFAOYSA-N gamma-Phenylpyridine Natural products C1=CC=CC=C1C1=CC=NC=C1 JVZRCNQLWOELDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940083761 high-ceiling diuretics pyrazolone derivative Drugs 0.000 description 1
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 description 1
- 150000007857 hydrazones Chemical class 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LHJOPRPDWDXEIY-UHFFFAOYSA-N indium lithium Chemical compound [Li].[In] LHJOPRPDWDXEIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZASAXHKAQYPEH-UHFFFAOYSA-N indium silver Chemical compound [Ag].[In] YZASAXHKAQYPEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002687 intercalation Effects 0.000 description 1
- 238000009830 intercalation Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 150000007517 lewis acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052808 lithium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- GCICAPWZNUIIDV-UHFFFAOYSA-N lithium magnesium Chemical compound [Li].[Mg] GCICAPWZNUIIDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N magnesium silver Chemical compound [Mg].[Ag] SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenyl-4-[4-(n-phenylanilino)phenyl]aniline Chemical class C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical group C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002791 naphthoquinones Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N perinone Chemical class C12=NC3=CC=CC=C3N2C(=O)C2=CC=C3C4=C2C1=CC=C4C(=O)N1C2=CC=CC=C2N=C13 DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- FIZIRKROSLGMPL-UHFFFAOYSA-N phenoxazin-1-one Chemical compound C1=CC=C2N=C3C(=O)C=CC=C3OC2=C1 FIZIRKROSLGMPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UOMHBFAJZRZNQD-UHFFFAOYSA-N phenoxazone Natural products C1=CC=C2OC3=CC(=O)C=CC3=NC2=C1 UOMHBFAJZRZNQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 150000004033 porphyrin derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 description 1
- 239000011698 potassium fluoride Substances 0.000 description 1
- 235000003270 potassium fluoride Nutrition 0.000 description 1
- CHWRSCGUEQEHOH-UHFFFAOYSA-N potassium oxide Chemical compound [O-2].[K+].[K+] CHWRSCGUEQEHOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001950 potassium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- QCTJRYGLPAFRMS-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoic acid;1,3,5-triazine-2,4,6-triamine Chemical compound OC(=O)C=C.NC1=NC(N)=NC(N)=N1 QCTJRYGLPAFRMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N pyrazol-3-one Chemical class O=C1C=CN=N1 JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003233 pyrroles Chemical class 0.000 description 1
- GPKJTRJOBQGKQK-UHFFFAOYSA-N quinacrine Chemical class C1=C(OC)C=C2C(NC(C)CCCN(CC)CC)=C(C=CC(Cl)=C3)C3=NC2=C1 GPKJTRJOBQGKQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002943 quinolinyl group Chemical group N1=C(C=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229910001952 rubidium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- CWBWCLMMHLCMAM-UHFFFAOYSA-M rubidium(1+);hydroxide Chemical compound [OH-].[Rb+].[Rb+] CWBWCLMMHLCMAM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical class C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N samarium atom Chemical compound [Sm] KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012945 sealing adhesive Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011775 sodium fluoride Substances 0.000 description 1
- 235000013024 sodium fluoride Nutrition 0.000 description 1
- KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N sodium oxide Chemical compound [O-2].[Na+].[Na+] KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001948 sodium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical class C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVRNDBHWWSPNOM-UHFFFAOYSA-L strontium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Sr+2] FVRNDBHWWSPNOM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001637 strontium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005504 styryl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003518 tetracenes Chemical class 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLLMWSRANPNYQX-UHFFFAOYSA-N thiadiazole Chemical compound C1=CSN=N1.C1=CSN=N1 VLLMWSRANPNYQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003573 thiols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- JFLKFZNIIQFQBS-FNCQTZNRSA-N trans,trans-1,4-Diphenyl-1,3-butadiene Chemical group C=1C=CC=CC=1\C=C\C=C\C1=CC=CC=C1 JFLKFZNIIQFQBS-FNCQTZNRSA-N 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
- 125000006617 triphenylamine group Chemical group 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
本発明は、発光装置、及び発光装置の製造方法に関し、特に有機エレクトロルミネッセンスとして構成可能な発光装置及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a light emitting device and a method for manufacturing the light emitting device, and particularly to a light emitting device that can be configured as organic electroluminescence and a method for manufacturing the same.
近年、液晶表示素子(LCD)に続く次世代表示デバイスとして、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、「有機EL素子」と記す)等の自発発光素子が実用化されている。また、このような自発発光素子を2次元配列した発光素子型の表示パネルを備えた発光装置の研究開発が行われている。
有機EL素子は、陽極と、電極と、これらの一対の電極間に形成される、例えば発光機能層、正孔注入層等を有する有機EL層(発光機能層)を備える。有機EL素子は、発光機能層において正孔と電子が再結合することによって発生するエネルギーによって発光する。
In recent years, spontaneous light-emitting elements such as organic electroluminescence elements (hereinafter referred to as “organic EL elements”) have been put into practical use as next-generation display devices following liquid crystal display elements (LCDs). In addition, research and development of a light-emitting device including a light-emitting element type display panel in which such spontaneous light-emitting elements are two-dimensionally arranged has been performed.
The organic EL element includes an anode, an electrode, and an organic EL layer (light emitting functional layer) formed between the pair of electrodes, for example, having a light emitting functional layer and a hole injection layer. The organic EL element emits light by energy generated by recombination of holes and electrons in the light emitting functional layer.
このような有機EL素子の光を取り出す側の透明電極は、一般的に錫ドープ酸化インジウム(Indium Thin Oxide;ITO)や亜鉛ドープ酸化インジウム(Indium Zinc Oxide;IZO)等を用いて形成される。これらの透明導電性層は、光の透過性が高く、高輝度を確保できるといった利点を有している。しかしながら、これらの透明導電性層は電気抵抗値が大きく導電率が低い。このため、例えば、有機エレクトロルミネッセンス素子に透明電導層を用いた場合には、所定の光量を得ようとすると消費電力が大きくなってしまうという問題がある。 The transparent electrode on the light extraction side of such an organic EL element is generally formed using tin-doped indium oxide (ITO), zinc-doped indium oxide (IZO), or the like. These transparent conductive layers have advantages such as high light transmittance and high brightness. However, these transparent conductive layers have large electrical resistance values and low electrical conductivity. For this reason, for example, when a transparent conductive layer is used for the organic electroluminescence element, there is a problem in that power consumption increases when a predetermined amount of light is obtained.
透明電極の消費電力を抑える透明電極として、ITOを用いない透明電極がある。ITOを用いない透明電極では、例えば、一様な網目状、ストライプ型あるいはグリッド型等の金属及び合金の少なくとも一方で形成された細線構造部を配置した導電層が作製される。そして、導電層の上に例えば、導電性高分子材料を適当な溶媒に溶解または分散したインクを、塗布法や印刷法を用いて透明導電層を形成することにより、透明電極を形成する。このような透明電極は、例えば、特許文献1、特許文献2に記載されている。 As a transparent electrode that suppresses power consumption of the transparent electrode, there is a transparent electrode that does not use ITO. In the case of a transparent electrode not using ITO, for example, a conductive layer in which a fine line structure portion formed of at least one of a metal and an alloy such as a uniform mesh, stripe type, or grid type is arranged. Then, a transparent electrode is formed by forming a transparent conductive layer on the conductive layer by using, for example, an ink obtained by dissolving or dispersing a conductive polymer material in an appropriate solvent using a coating method or a printing method. Such a transparent electrode is described in Patent Document 1 and Patent Document 2, for example.
しかしながら、透明電極の導電層に金属細線構造を用いた場合、金属の反射率、幅、光沢度合いによっては金属配線構造が視認されやすくなる。このため、金属配線構造を有する透明電極は、有機EL発光装置として配線が認識されると不具合がある用途(例えば、直視、或いは間接視用途)には使用できないという問題があった。
本発明は、上記した点に鑑みてなされたものであって、有機EL素子に使用されている導電性細線が見え難く、用途が限定されることのない発光装置及び発光装置を提供することを目的とする。
However, when a thin metal wire structure is used for the conductive layer of the transparent electrode, the metal wiring structure is likely to be visually recognized depending on the reflectivity, width, and glossiness of the metal. For this reason, the transparent electrode which has a metal wiring structure had the problem that it cannot be used for a use (for example, direct view or indirect view use) which has a malfunction, if wiring is recognized as an organic electroluminescent light-emitting device.
The present invention has been made in view of the above points, and provides a light-emitting device and a light-emitting device in which the conductive thin wires used in the organic EL element are difficult to see and the application is not limited. Objective.
上記課題を解決するため、本発明の発光装置の一態様は、透明基材と、透明基材の一の面に形成され、導電材料または絶縁材料からなる反射防止層と、を備え、透明基材の反射防止層の側に少なくとも導電層、透明導電層、発光機能層及び電極をこの順で積層して形成される。
本発明の発光装置の製造方法の一態様は、透明基材の一の面に導電材料または絶縁材料からなる反射防止層を形成する工程と、透明基材の反射防止層側に少なくとも導電層、透明導電層、発光機能層及び電極をこの順で積層して形成する工程と、を含む。
In order to solve the above problems, an embodiment of a light-emitting device of the present invention includes a transparent substrate, and an antireflection layer formed on one surface of the transparent substrate and made of a conductive material or an insulating material. It is formed by laminating at least a conductive layer, a transparent conductive layer, a light emitting functional layer, and an electrode in this order on the antireflection layer side of the material.
One aspect of the method for producing a light emitting device of the present invention includes a step of forming an antireflection layer made of a conductive material or an insulating material on one surface of a transparent substrate, and at least a conductive layer on the antireflection layer side of the transparent substrate. And laminating a transparent conductive layer, a light emitting functional layer, and an electrode in this order.
本発明の発光装置により、透明基板上に形成される導電層下に反射防止層を形成するため、導電層が認識しづらい発光装置及び発光装置の製造方法が得られる。そのため、用途が限定されることのない発光装置及び発光装置を提供することができる。 Since the antireflection layer is formed under the conductive layer formed on the transparent substrate by the light emitting device of the present invention, a light emitting device in which the conductive layer is difficult to recognize and a method for manufacturing the light emitting device are obtained. Therefore, a light-emitting device and a light-emitting device that are not limited in application can be provided.
以下、本発明の第1実施形態、第2実施形態及び第3実施形態の発光装置及び発光装置の製造方法について説明する。
[第1実施形態]
以下、第1実施形態に係る発光装置、及び発光装置の製造方法について説明する。第1実施形態の発光装置は、有機EL素子である。
Hereinafter, the light emitting device and the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment, the second embodiment, and the third embodiment of the present invention will be described.
[First Embodiment]
Hereinafter, the light emitting device according to the first embodiment and the method for manufacturing the light emitting device will be described. The light emitting device of the first embodiment is an organic EL element.
(発光装置)
図1(a)、(b)は、第1実施形態の発光装置1を説明するための図であり、図1(a)は発光装置1の上面図、図1(b)は図1(a)に示した上面を線B−B’で切った断面図である。図1に示した発光装置1は、図1(a)、(b)に示すように、透明基材11と、透明基材の一の面に形成され、導電材料または絶縁材料からなる反射防止層120と、を備え、透明基材11及び反射防止層120上に少なくとも導電層13、透明導電層14、発光機能層21及び電極22をこの順で積層して形成されている。
(Light emitting device)
1A and 1B are diagrams for explaining the light emitting device 1 according to the first embodiment. FIG. 1A is a top view of the light emitting device 1, and FIG. It is sectional drawing which cut | disconnected the upper surface shown to a) by line BB '. As shown in FIGS. 1A and 1B, the light-emitting device 1 shown in FIG. 1 is formed on a
即ち、発光装置1は、透明基材11と、透明基材11の一の面である上面11aに形成され、導電材料または絶縁材料からなる反射防止層120と、反射防止層120の透明基材11と接する面に対する裏面12aに形成された導電層13と、上面11aと接する透明電導層14の面に対する裏面14aに形成され、発光の機能を有する発光機能層21と、発光機能層21が透明電導層14と接する面に対する裏面21aに形成された電極22と、を有している。さらに、第1実施形態の発光装置1は、透明導電層14、発光機能層21、電極22を覆う接着層23と、接着層23と貼り合わせられて透明導電層14、発光機能層21、電極22を封止する封止基材24を有している。
That is, the light emitting device 1 includes a
発光装置1のうち、透明基材11、反射防止層120、導電層13及び透明導電層14は、透明電極10を構成する。
また、図1に示した発光装置1において、透明電極10は陽極、電極22は陰極として機能する。
発光装置1の反射防止層120は、上面視において第1の方向(y方向とする)の長さが、y方向と直交する第2の方向(x方向)の長さよりも長い形状の導電材料または絶縁材料からなる反射防止細線12を複数含む。複数の反射防止細線12は、x方向に並列に配置されている。このように配置された複数の反射防止細線12を、第1実施形態では「ストライプ形状を成す」とも記す。図1(a)は、複数の反射防止細線12が透明基材11上でストライプ形状を成すように配置された状態を示している。
In the light emitting device 1, the
In the light emitting device 1 shown in FIG. 1, the
The
ここで、第1実施形態の発光装置と比較するため、既存の発光装置100の断面を図2に示す。図2に示した発光装置は、図1(b)に示した発光装置と同様に、透明基材11、導電層13、透明導電層14、発光機能層21、電極22、接着層23及び封止基材24を有している。発光装置100は、反射防止層120を備えていない点で発光装置1と相違する。
Here, in order to compare with the light emitting device of the first embodiment, a cross section of the existing light emitting device 100 is shown in FIG. The light-emitting device shown in FIG. 2 is similar to the light-emitting device shown in FIG. 1B. The
既存の発光装置100は、透明基材11上に導電層13のみを形成している。このため、発光装置100を直視、或いは間接視する場合には導電層13となる細線から光が反射してくるため細線である導電層13が視認されやすかった。
しかし、図1(a)、(b)に示したように、第1実施形態は、導電層13直下に反射防止細線12を形成している。反射防止細線12を形成したことにより、第1実施形態は、細線の導電層13から反射されてくる光が低減され、導電層13が視認され難くなる。このため、第1実施形態は、直視、或いは間接視する用途等に使用される場合、導電層13が視認されない輝度の高い発光装置を提供することができる。
In the existing light emitting device 100, only the
However, as shown in FIGS. 1A and 1B, in the first embodiment, the antireflection
以下、図1(a)、図1(b)に示した各部材について、詳細に説明する。
(透明電極)
前記したように、透明電極10は、透明基材11、反射防止層120、導電層13及び透明電導層14によって構成される。導電層13は、反射防止層120に含まれる反射防止細線12のx方向の長さ(以下、「幅」と記す)と同等あるいはそれ以下の幅を持つ細い金属及び合金の少なくとも一方によって構成される。透明導電層14は、塗布法や印刷法を用いて形成される。透明電極10は、透明基材11から反射防止層120、導電層13、透明電導層14の順に作製される。
Hereafter, each member shown to Fig.1 (a) and FIG.1 (b) is demonstrated in detail.
(Transparent electrode)
As described above, the
第1実施形態の透明電極10は、有機EL素子に用いた場合に輝度を向上させる観点から、導電性面の表面抵抗率がシート抵抗で0.01Ω/□以上、100Ω/□以下であることが好ましく、さらに好ましくは0.1Ω/□以上、10Ω/□以下であることが好ましい。
また、第1実施形態の透明電極10は、LCD、エレクトロルミネッセンス素子、プラズマディスプレイ、エレクトロクロミックディスプレイ、太陽電池、タッチパネル等の透明電極、電子ペーパー及び電磁波遮蔽材等に用いることができる。さらに、導電性、透明性に優れ、また平滑性も高いため、有機EL素子に用いることが好ましい。
The
Moreover, the
(透明基材)
本発明では、透明基材11として、プラスチックフィルム、プラスチック板、ガラス等を用いることができる。
プラスチックフィルム及びプラチック板の原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタラート(PET)、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル類、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、EVA等のポリオレフィン類、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリサルホン(PSF)、ポリエーテルサルホン(PES)、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂及びトリアセチルセルロース(TAC)等を用いることができる。
(Transparent substrate)
In the present invention, a plastic film, a plastic plate, glass or the like can be used as the
Examples of raw materials for plastic films and plastic plates include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate, polyolefins such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene, and EVA, polyvinyl chloride, poly Vinyl resins such as vinylidene chloride, polyether ether ketone (PEEK), polysulfone (PSF), polyether sulfone (PES), polycarbonate (PC), polyamide, polyimide, acrylic resin, and triacetyl cellulose (TAC) are used. be able to.
透明基材11は、表面平滑性に優れているものが好ましい。表面の平滑性は算術平均粗さRaが5nm以下、かつ最大高さRyが50nm以下であることが好ましく、さらに好ましくはRaが1nm以下かつRyが20nm以下である。第1実施形態は、透明基材11の表面に、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂、放射線硬化性樹脂等の下塗り層を付与して平滑化してもよい。また、第1実施形態は、研磨等の機械加工によって透明基材11表面を平滑にすることもできる。さらに、第1実施形態は、透明基材11に対する透明導電層14の塗布、接着性を向上させるため、コロナ、プラズマ、UV/オゾンによる表面処理をしてもよい。ここで、透明基材11の表面の平滑性は、原子間力顕微鏡(AFM)等による測定から算出することができる。
The
また、透明基材11の表面には、大気中の酸素、水分を遮断する目的でガスバリア層を設けるのが好ましい。ガスバリア層の形成材料としては、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム等の金属酸化物及び金属窒化物が使用できる。これらの材料は、水蒸気バリア機能の他に酸素バリア機能も有する。特に、バリア性、耐溶剤性、透明性が良好な窒化シリコン、酸化窒化シリコンが好ましい。また、ガスバリア層は必要に応じて多層構造にすることも可能である。多層構造は、無機層のみで構成してもよいし、無機層と有機層で構成してもよい。ガスバリア層の形成方法は、透明基材11の材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法及びスパッタリング法を用いることができる。また、ガスバリア層の厚みに関しては特に限定されないが、典型的には1層あたり5nm〜500nmの範囲内であることが好ましく、さらに好ましくは1層あたり10nm〜200nmである。ガスバリア層は透明基材11の少なくとも一方の面に設けられ、両面に設けられるのが好ましい。
Moreover, it is preferable to provide a gas barrier layer on the surface of the
(反射防止層)
第1実施形態の反射防止層120としては、反射率が10%以下と低いことが好ましく、単層構造の場合、光重合系の材料が使用される。光重合系の材料の反射防止層の具体例としては、液晶ディスプレイ用のカラーフィルターとして利用されているカーボンブラックを用いた樹脂ブラックマトリクス(BM)のような低反射材料が好ましい。また、一般的なアンチグレア(AG)構造にしてもよい。また、積層構造の場合、反射防止層120は、一般的なアンチリフレクション(AR)構造であってもよい。
(Antireflection layer)
The
また、本実施形態は、反射防止層120の表面に微細な凹凸を設けてAG構造にするか、平滑材料を積層させてAR構造にすることもできる。
第1実施形態では、図1(a)に示したように、反射防止層120を、複数の反射防止細線12を使ってストライプ形状に形成したことにより、導電層13を透明基材11の直上に配置させるよりも非視認性を向上させることができる。導電性13或いは反射防止細線12の透明基材11と接する底面の幅は任意であるが、0.1μm程度から1000μmの間が好ましい。反射防止細線12の間隔は、5μmから5cmの間隔のピッチであることが好ましく、特に、10μmから、1cmピッチが好ましい。
In the present embodiment, the surface of the
In the first embodiment, as shown in FIG. 1A, the
また、反射防止細線12の図1(a)、図1(b)に示したz方向の長さ(高さ、あるいは厚み)は、0.05μm以上、10μm以下が好ましく、さらに好ましくは0.1μm以上、1μm以下である。
第1実施形態は、反射防止層120を配置することで、光の透過率が減少する。透過率の減少はできるだけ小さいことが重要であるため、反射防止細線12の間隔を狭くしすぎたり、反射防止細線12の幅を大きくしすぎたりすることなく、好ましくは80%以上の光の透過率を確保することが望ましい。
Further, the length (height or thickness) in the z direction shown in FIGS. 1A and 1B of the antireflection
In the first embodiment, the light transmittance is reduced by disposing the
(導電層)
第1実施形態の導電層13は、反射防止細線12上に形成される。このため、導電層13も反射防止細線12と同様にx方向よりもy方向に長い線状の形状を有している。そして、複数の導電層13は、一方向に並列に配置されてストライプ形状を成している。導電層13の材料としては、電気抵抗が低いことが好ましく、107S/cm以上の電気伝導度を有する材料が使用される。導電材料の具体例としては、アルミニウム、銀、クロミニウム、金、銅、タンタル、モリブデン等の金属、あるいはその合金のいずれか1つを使用することができる。このような材料の中でも、電気導電度の高さや材料のハンドリングの容易さの観点から、アルミニウム、クロミニウム、銅、銀及びその合金の少なくとも一方を使用することが好ましい。
導電層13の高さ(厚み)は、0.05μm以上、10μm以下が好ましく、さらに好ましくは0.1μm以上、1μm以下である。各導電層13の幅と高さの関係については、所望の導電性に応じて決めればよい。導電層13は、同一の導電層のみで構成してもよいし、異なる導電層を組み合わせて構成してもよい。
(Conductive layer)
The
The height (thickness) of the
(透明導電層)
第1実施形態の透明導電層14は、塗布法によって形成される塗布電極層として形成することができる。塗布電極層を塗布法により形成する際に用いられる溶液は、塗布電極層となる材料と溶媒とを含む。塗布電極層は導電性を示す高分子化合物を含むことが好ましい。この高分子化合物は、ドーパントを含有していてもよい。高分子化合物の導電性は通常、導電率で10−5〜105S/cmであり、好ましくは10−3〜105S/cmである。また、透明導電層14は、実質的に導電性を示す高分子化合物から成ることが好ましい。透明導電層14の構成材料としては、ポリアニリン及びその誘導体、ポリチオフェン及びその誘導体等を使用することができる。
(Transparent conductive layer)
The transparent
高分子化合物に含まれるドーパントとしては、公知のドーパントを用いることができる。公知のドーパントの例としては、ポリスチレンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸等の有機スルホン酸、PF5、AsF5、SbF5等のルイス酸がある。また導電性を示す高分子化合物は、ドーパントが高分子化合物に直接結合した自己ドープ型の高分子化合物であってもよい。 A well-known dopant can be used as a dopant contained in a high molecular compound. Examples of the known dopant include organic sulfonic acids such as polystyrene sulfonic acid and dodecylbenzene sulfonic acid, and Lewis acids such as PF 5 , AsF 5 , and SbF 5 . Further, the polymer compound exhibiting conductivity may be a self-doped polymer compound in which a dopant is directly bonded to the polymer compound.
透明導電層14は、ポリチオフェン及びポリチオフェンの誘導体の少なくとも一方を含んで構成されることが好ましく、実質的にポリチオフェン及びポリチオフェンの誘導体の少なくとも一方から成ることが好ましい(ポリチオフェン及びポリチオフェンの誘導体の少なくとも一方は、ドーパントを含有していてもよい)。ポリチオフェン、ポリチオフェンの誘導体、または、ポリチオフェンとポリチオフェンの誘導体との混合物は、水及びアルコール等の水系溶媒に溶解、もしくは分散しやすいため、塗布法の塗布液の溶質として好適に用いられる。
The transparent
また、ポリチオフェン、ポリチオフェンの誘導体、または、ポリチオフェンとポリチオフェンの誘導体との混合物は、導電性が高く、電極材料として好適に用いられる。さらに、ポリチオフェン、ポリチオフェンの誘導体、または、ポリチオフェンとポリチオフェンの誘導体との混合物は、HOMOエネルギーが5.0eV程度であり、公知の有機EL素子に用いられる発光機能層のHOMOエネルギーとの差が1eV程度と低い。このため、ポリチオフェン、ポリチオフェンの誘導体、または、ポリチオフェンとポリチオフェンの誘導体との混合物は、発光機能層に正孔を効率的に注入することができるので、特に、陽極の材料として好適に用いることができる。また、透明性が高く、有機EL素子の発光取り出し側の電極として好適に用いられる。 In addition, polythiophene, polythiophene derivatives, or a mixture of polythiophene and polythiophene derivatives has high conductivity, and is preferably used as an electrode material. Furthermore, polythiophene, polythiophene derivatives, or a mixture of polythiophene and polythiophene derivatives has a HOMO energy of about 5.0 eV, and the difference from the HOMO energy of a light emitting functional layer used in a known organic EL element is about 1 eV. And low. Therefore, polythiophene, a derivative of polythiophene, or a mixture of polythiophene and a derivative of polythiophene can efficiently inject holes into the light-emitting functional layer, and thus can be particularly suitably used as an anode material. . Further, it has high transparency and is suitably used as an electrode on the light emission extraction side of the organic EL element.
透明導電層14は、ポリアニリン及びポリアニリンの誘導体の少なくとも一方を含んで構成されることが好ましく、実質的にポリアニリン及びポリアニリンの誘導体の少なくとも一方から成ることが好ましい。このとき、ポリアニリン及びポリアニリンの誘導体の少なくとも一方は、ドーパントを含有していてもよい。ポリアニリン及びポリアニリンの誘導体の少なくとも一方は、導電性及び安定性に優れるため、電極材料として好適に用いられる。また、透明性が高く、有機EL素子の発光取り出し側の電極として好適に用いられる。
The transparent
有機EL素子として構成される第1実施形態の発光装置1は、以上説明した透明電極10を陽極として使用する。そして、透明電極10に対し、発光機能層21、陰極として機能する電極22を設ける。そして、電極22の周囲を接着層23で覆い、封止基材24によって封止している。接着層23、封止基材24による構造(以下、「封止構造」と記す)については有機EL素子に使われている公知の材料、構成等の任意のものを用いることができる。
The light emitting device 1 according to the first embodiment configured as an organic EL element uses the
第1実施形態の発光装置の層構造としては、以下のものが考えられる。なお、以下の表記において、記号「/」は、記号「/」を挟む各層が隣接して積層されていることを示す。また、以下の表記において、「陽極」は第1実施形態の透明導電層14に相当し、「陰極」は第1実施形態の電極22に相当する。
陽極/発光機能層/陰極
陽極/正孔輸送層/発光機能層/電子輸送層/陰極
陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光機能層/電子輸送層/陰極
陽極/正孔注入層/発光機能層/電子輸送層/電子注入層/陰極
陽極/正孔注入層/発光機能層/電子注入層/陰極
The following can be considered as the layer structure of the light emitting device of the first embodiment. In the following notation, the symbol “/” indicates that the layers sandwiching the symbol “/” are adjacently stacked. In the following notation, “anode” corresponds to the transparent
Anode / light emitting functional layer / cathode Anode / hole transport layer / light emitting functional layer / electron transport layer / cathode Anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting functional layer / electron transport layer / cathode Anode / hole injection layer / Light emitting functional layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode anode / hole injection layer / light emitting functional layer / electron injection layer / cathode
第1実施形態の発光装置1は、2層以上の発光機能層を有していてもよく、2層以上の発光機能層を有する発光装置1としては、例えば、以下に示す層構造を用いることができる。
陽極/電荷注入層/正孔輸送層/発光機能層/電子輸送層/電荷注入層/電荷発生層/電荷注入層/正孔輸送層/発光機能層/電子輸送層/電荷注入層/陰極
The light emitting device 1 of the first embodiment may have two or more light emitting functional layers, and as the light emitting device 1 having two or more light emitting functional layers, for example, the following layer structure is used. Can do.
Anode / charge injection layer / hole transport layer / light emission functional layer / electron transport layer / charge injection layer / charge generation layer / charge injection layer / hole transport layer / light emission functional layer / electron transport layer / charge injection layer / cathode
また、3層以上の発光機能層を有する発光装置1としては、具体的には、
「電荷発生層/電荷注入層/正孔輸送層/発光機能層/電子輸送層/電荷注入層」を一つの繰り返し単位とし、この繰り返し単位を2つ以上含む以下の層構造を用いることができる。
陽極/電荷注入層/正孔輸送層/発光機能層/電子輸送層/電荷注入層/「繰り返し単位」/「繰り返し単位」/・・・/陰極
上記層構造において、陽極、陰極、発光機能層以外の各層は必要に応じて削除することができる。ここで、電荷発生層とは、電界を印加することにより、正孔と電子を発生する層である。電荷発生層としては、例えば、酸化バナジウム、ITO、酸化モリブデン等からなる薄膜を用いることができる。
As the light emitting device 1 having three or more light emitting functional layers, specifically,
The following layer structure including two or more repeating units can be used in which “charge generation layer / charge injection layer / hole transport layer / light emitting functional layer / electron transport layer / charge injection layer” is one repeating unit. .
Anode / charge injection layer / hole transport layer / light emitting functional layer / electron transport layer / charge injection layer / “repeating unit” / “repeating unit” /... / Cathode In the above layer structure, anode, cathode, light emitting functional layer Each layer other than can be deleted as necessary. Here, the charge generation layer is a layer that generates holes and electrons by applying an electric field. As the charge generation layer, for example, a thin film made of vanadium oxide, ITO, molybdenum oxide, or the like can be used.
以下、正孔注入層、正孔輸送層、発光機能層、電子輸送層、電子注入層、陰極の各層、及び封止構造について説明する。
(透明電極と発光機能層との間に設けられる層)
必要に応じて透明電極10(陽極)と発光機能層21との間に設けられる層としては、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層等がある。正孔注入層は、透明電極10からの正孔注入効率を改善する機能を有する層である。正孔輸送層とは、正孔注入層または透明電極10により近い層からの正孔注入を改善する機能を有する層である。また、正孔注入層または正孔輸送層が電子の輸送を止める機能を有する場合には、これらの層を電子ブロック層と称することがある。電子の輸送を止める機能を有することは、例えば、電子電流のみを流す素子を作製し、その電流値の減少で確認することが可能である、
Hereinafter, the hole injection layer, the hole transport layer, the light emitting functional layer, the electron transport layer, the electron injection layer, each layer of the cathode, and the sealing structure will be described.
(Layer provided between transparent electrode and light emitting functional layer)
As a layer provided between the transparent electrode 10 (anode) and the light emitting
(正孔注入層)
正孔注入層は、陽極と正孔輸送層との間、または陽極と発光機能層との間に設けることができる。正孔注入層の材料としては、公知の材料を適宜用いることができ、特に制限はない。正孔注入層の材料としては、例えば、フェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、アミノ基を有するオキサジアゾール誘導体、酸化バナジウム、酸化タンタル、酸化モリブデン等の酸化物、アモルファスカーボン、ポリアニリン、ポリチオフェン誘導体等がある。
(Hole injection layer)
The hole injection layer can be provided between the anode and the hole transport layer, or between the anode and the light emitting functional layer. As a material for the hole injection layer, a known material can be appropriately used, and there is no particular limitation. Examples of the material for the hole injection layer include phenylamine, starburst amine, phthalocyanine, hydrazone derivative, carbazole derivative, triazole derivative, imidazole derivative, oxadiazole derivative having amino group, vanadium oxide, tantalum oxide And oxides such as molybdenum oxide, amorphous carbon, polyaniline, and polythiophene derivatives.
正孔注入層の成膜方法としては、例えば、正孔注入層となる材料(正孔注入材料)を含む溶液から成膜をする方法がある。溶液から成膜をする場合に用いられる溶媒としては、正孔注入材料を溶解させるものであれば、特に制限はなく、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン等の塩素系溶媒、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルセルソルブアセテート等のエステル系溶媒、及び水がある。 As a method for forming the hole injection layer, for example, there is a method of forming a film from a solution containing a material (hole injection material) that becomes the hole injection layer. The solvent used when forming a film from a solution is not particularly limited as long as it dissolves the hole injection material, and is a chlorine-based solvent such as chloroform, methylene chloride, dichloroethane, an ether-based solvent such as tetrahydrofuran, There are aromatic hydrocarbon solvents such as toluene and xylene, ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone, ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate and ethyl cellosolve acetate, and water.
溶液から成膜を行う方法には、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、スリットコート法、インクジェットプリント法及びノズルプリント法等の塗布法がある。
また、正孔注入層の厚みは、5〜300nm程度であることが好ましい。正孔注入層の厚みが5nm未満では、製造が困難になる傾向がある。他方、正孔注入層の厚みが300nmを越えると、駆動電圧、及び正孔注入層に印加される電圧が大きくなる傾向となる。
Examples of the method for forming a film from a solution include spin coating, casting, micro gravure coating, gravure coating, bar coating, roll coating, wire bar coating, dip coating, spray coating, and screen printing. There are coating methods such as a flexographic printing method, an offset printing method, a slit coating method, an ink jet printing method, and a nozzle printing method.
The thickness of the hole injection layer is preferably about 5 to 300 nm. If the thickness of the hole injection layer is less than 5 nm, the production tends to be difficult. On the other hand, when the thickness of the hole injection layer exceeds 300 nm, the driving voltage and the voltage applied to the hole injection layer tend to increase.
(正孔輸送層)
正孔輸送層を構成する材料としては、特に制限はないが、例えば、N,N’−ジフェニル−N,N’−ジ(3−メチルフェニル)4,4’−ジアミノビフェニル(TPD)、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(NPB)等の芳香族アミン誘導体、ポリビニルカルバゾールもしくはその誘導体、ポリシランもしくはその誘導体、側鎖もしくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体、ポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体、ポリアリールアミンもしくはその誘導体、ポリピロールもしくはその誘導体、ポリ(p−フェニレンビニレン)もしくはその誘導体、またはポリ(2,5−チエニレンビニレン)もしくはその誘導体等が例示される。
(Hole transport layer)
The material constituting the hole transport layer is not particularly limited. For example, N, N′-diphenyl-N, N′-di (3-methylphenyl) 4,4′-diaminobiphenyl (TPD), 4 , 4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPB) and other aromatic amine derivatives, polyvinylcarbazole or derivatives thereof, polysilane or derivatives thereof, aromatic amines in the side chain or main chain Polysiloxane derivative having pyrazole, pyrazoline derivative, arylamine derivative, stilbene derivative, triphenyldiamine derivative, polyaniline or derivative thereof, polythiophene or derivative thereof, polyarylamine or derivative thereof, polypyrrole or derivative thereof, poly (p-phenylene vinylene) Or its derivatives, or poly (2,5-thienylene vinylene) or a derivative thereof is exemplified.
上記した材料のうち、正孔輸送層に用いる正孔輸送材料としては、ポリビニルカルバゾールもしくはその誘導体、ポリシランもしくはその誘導体、側鎖もしくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体ポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体、ポリアリールアミンもしくはその誘導体、ポリ(p−フェニレンビニレン)もしくはその誘導体、またはポリ(2,5−チエニレンビニレン)もしくはその誘導体等の高分子正孔輸送材料が好ましい。低分子の正孔輸送材料を用いる場合は、高分子バインダーに分散させて用いることが好ましい。 Among the above materials, as the hole transport material used for the hole transport layer, polyvinyl carbazole or a derivative thereof, polysilane or a derivative thereof, a polysiloxane derivative having an aromatic amine in a side chain or a main chain, a polyaniline or a derivative thereof, polythiophene Alternatively, a polymer hole transport material such as a derivative thereof, polyarylamine or a derivative thereof, poly (p-phenylene vinylene) or a derivative thereof, or poly (2,5-thienylene vinylene) or a derivative thereof is preferable. When using a low molecular weight hole transport material, it is preferable to use it dispersed in a polymer binder.
正孔輸送層の成膜方法としては、特に制限はないが、低分子の正孔輸送材料を用いる場合には、高分子バインダーと正孔輸送材料とを含む混合液から成膜をする方法がある。また、高分子の正孔輸送材料を用いる場合には、正孔輸送材料を含む溶液から成膜を行う方法がある。溶液からの成膜に用いられる溶媒としては、正孔輸送材料を溶解させるものであれば、特に制限はなく、例えば、正孔注入層で使用される溶媒を使用することができる。溶液からの成膜には、上述した正孔注入層の塗布法と同様の塗布法を使用することができる。 The method for forming the hole transport layer is not particularly limited, but when a low molecular hole transport material is used, there is a method of forming a film from a mixed liquid containing a polymer binder and a hole transport material. is there. In the case of using a polymer hole transport material, there is a method of forming a film from a solution containing the hole transport material. The solvent used for film formation from a solution is not particularly limited as long as it can dissolve a hole transport material, and for example, a solvent used in a hole injection layer can be used. For film formation from a solution, a coating method similar to the above-described coating method of the hole injection layer can be used.
正孔輸送層の厚みは、特に制限されないが、目的とする設計に応じて適宜変更することができ、1〜1000nm程度であることが好ましい。正孔輸送層の厚みが1nm未満になると、製造が困難になる、または正孔輸送の効果が十分に得られない等の傾向がある。他方、正孔輸送層の厚みが1000nmを超えると、駆動電圧及び正孔輸送層に印加される電圧が大きくなる傾向がある。したがって正孔輸送層の厚みは、好ましくは、1〜1000nmであるが、より好ましくは、2〜500nmであり、さらに好ましくは、5〜200nmである。 The thickness of the hole transport layer is not particularly limited, but can be appropriately changed according to the intended design, and is preferably about 1 to 1000 nm. When the thickness of the hole transport layer is less than 1 nm, the production tends to be difficult or the effect of hole transport cannot be obtained sufficiently. On the other hand, when the thickness of the hole transport layer exceeds 1000 nm, the driving voltage and the voltage applied to the hole transport layer tend to increase. Therefore, the thickness of the hole transport layer is preferably 1 to 1000 nm, more preferably 2 to 500 nm, and still more preferably 5 to 200 nm.
(発光機能層)
発光機能層21は、主として蛍光または燐光を発光する有機物(低分子化合物及び高分子化合物)を有する。なお、発光機能層21は、さらにドーパント材料を含んでいてもよい。第1実施形態において用いられる発光機能層を形成する材料としては、例えば、以下の材料がある。
(Light emitting functional layer)
The light emitting
色素系材料
発光機能層21の色素系材料としては、例えば、シクロペンダミン誘導体、キナクドリン誘導体、クマリン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体化合物、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、ピロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、オキサジアゾールダイマー及びピラゾリンダイマー等がある。
Examples of the dye-based material of the light-emitting
金属錯体系材料
発光機能層21の金属錯体系材料としては、例えば、イリジウム錯体、白金錯体等の三重項励起状態からの発光を有する金属錯体、アルミキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体等、中心金属に、Al、Zn、Be等またはTb、Eu、Dy等の希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール及びキノリン構造等を有する金属錯体等がある。
Metal Complex Material As the metal complex material of the light emitting
高分子系材料
発光機能層21の高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体及び上記色素体や金属錯体系発光材料を高分子化したもの等がある。
上記高分子系材料のうち、青色に発光する材料としては、ジスチリルアリーレン誘導体、オキサジアゾール誘導体及びそれらの重合体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ポリパラフェニレン誘導体及びポリフルオレン誘導体等がある。
Polymeric materials Examples of the polymeric material of the light emitting
Among the high molecular weight materials, materials that emit blue light include distyrylarylene derivatives, oxadiazole derivatives and polymers thereof, polyvinylcarbazole derivatives, polyparaphenylene derivatives, and polyfluorene derivatives.
また、緑色に発光する材料としては、キナクドリン誘導体、クマリン誘導体、及びそれらの重合体、ポリパラフェニレンビニレン誘導体及びポリフルオレン誘導体等がある。
また、赤色に発光する材料としては、クマリン誘導体、チオフェン環化合物、及びそれらの重合体、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体及びポリフルオレン誘導体等がある。
Examples of materials that emit green light include quinacrine derivatives, coumarin derivatives, and polymers thereof, polyparaphenylene vinylene derivatives, and polyfluorene derivatives.
Examples of materials that emit red light include coumarin derivatives, thiophene ring compounds, and polymers thereof, polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, and polyfluorene derivatives.
ドーパント材料
発光機能層中に発光効率の向上や発光波長を変化させる目的で、ドーパントを添加することができる。このよう等パントとしては、例えば、ペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクドリン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル系色素、テトラセン誘導体、ピラゾロン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾン等がある。なお、発光機能層の厚さは、通常約2〜200nmである。
発光機能層の成膜方法としては、有機発光材料を含む溶液から成膜を行う方法がある。溶液からの成膜に用いられる溶媒としては、有機発光材料を溶解させるものであれば、特に制限はなく、正孔注入層の成膜に使用される溶媒を使用することができる。また、溶液からの成膜方法としては、上述した正孔注入層と同様の塗布法を使用することができる。
Dopant material A dopant can be added to the light emitting functional layer for the purpose of improving the light emission efficiency and changing the light emission wavelength. Examples of such isopantos include perylene derivatives, coumarin derivatives, rubrene derivatives, quinacudrine derivatives, squalium derivatives, porphyrin derivatives, styryl dyes, tetracene derivatives, pyrazolone derivatives, decacyclene, phenoxazone, and the like. The thickness of the light emitting functional layer is usually about 2 to 200 nm.
As a method of forming the light emitting functional layer, there is a method of forming a film from a solution containing an organic light emitting material. The solvent used for film formation from a solution is not particularly limited as long as it dissolves an organic light emitting material, and a solvent used for film formation of a hole injection layer can be used. Moreover, as a film-forming method from a solution, the coating method similar to the hole injection layer mentioned above can be used.
(電極と発光機能層との間に設けられる層)
必要に応じて電極22(陰極)と発光機能層21の間に設けられる層としては、電子注入層、電子輸送層、正孔ブロック層等がある。電極22と発光機能層21との間に電子注入層と電子輸送層との両方の層が設けられる場合、電極22に接する層を電子注入層といい、電子注入層を除く層を電子輸送層という。
電子注入層は、電極22からの電子注入効率を改善する機能を有する層である。電子輸送層は、電極22、電子注入層または電極22により近い層からの電子注入を改善する機能を有する層である。正孔ブロック層は、正孔の輸送を止める機能を有する層である。なお電子注入層、及び電子輸送層の少なくとも一方が正孔の輸送を止める機能を有する場合には、電子注入層、及び電子輸送層の少なくとも一方が正孔ブロック層を兼ねることがある。
(Layer provided between the electrode and the light emitting functional layer)
Examples of the layer provided between the electrode 22 (cathode) and the light emitting
The electron injection layer is a layer having a function of improving the electron injection efficiency from the
(電子輸送層)
電子輸送層を構成する電子輸送材料としては、公知の電子輸送材料を使用することができる。具体的には、電子輸送材料として、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタン若しくはその誘導体、ベンゾキノン若しくはその誘導体、ナフトキノン若しくはその誘導体、アントラキノン若しくはその誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタン若しくはその誘導体、フルオレノン若しくはその誘導体、ジフェニルジシアノエチレン若しくはその誘導体、ジフェノキノン誘導体、または8−ヒドロキシキノリン若しくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリン若しくはその誘導体、ポリキノキサリン若しくはその誘導体及びポリフルオレン若しくはその誘導体等がある。
(Electron transport layer)
A known electron transport material can be used as the electron transport material constituting the electron transport layer. Specifically, as an electron transport material, an oxadiazole derivative, anthraquinodimethane or a derivative thereof, benzoquinone or a derivative thereof, naphthoquinone or a derivative thereof, anthraquinone or a derivative thereof, tetracyanoanthraquinodimethane or a derivative thereof, fluorenone or There are derivatives thereof, diphenyldicyanoethylene or derivatives thereof, diphenoquinone derivatives, or metal complexes of 8-hydroxyquinoline or derivatives thereof, polyquinoline or derivatives thereof, polyquinoxaline or derivatives thereof, and polyfluorene or derivatives thereof.
これらのうち、電子輸送材料としては、オキサジアゾール誘導体、ベンゾキノン若しくはその誘導体、アントラキノン若しくはその誘導体、8−ヒドロキシキノリン若しくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリン若しくはその誘導体、ポリキノキサリン若しくはその誘導体、ポリフルオレン若しくはその誘導体が好ましく、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、ベンゾキノン、アントラキノン、トリス(8−キノリノール)アルミニウム及びポリキノリンがさらに好ましい。 Among these, as an electron transport material, an oxadiazole derivative, benzoquinone or a derivative thereof, anthraquinone or a derivative thereof, a metal complex of 8-hydroxyquinoline or a derivative thereof, polyquinoline or a derivative thereof, polyquinoxaline or a derivative thereof, polyfluorene or Its derivatives are preferred, 2- (4-biphenylyl) -5- (4-t-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, benzoquinone, anthraquinone, tris (8-quinolinol) aluminum and polyquinoline are more preferred. .
電子輸送層の成膜方法としては、特に制限はないが、低分子の電子輸送材料では、高分子バインダーと電子輸送材料とを含む混合液から成膜をする方法がある。また、高分子の電子輸送材料では、電子輸送材料を含む溶液から成膜をする方法がある。溶液からの成膜に用いられる溶媒としては、電子輸送材料を溶解させるものであれば、特に制限はなく、正孔注入層の溶媒として使用される溶媒を使用することができる。溶液からの成膜方法としては、上述した正孔注入層の成膜法と同様の塗布法がある。 The method for forming the electron transport layer is not particularly limited, but for a low molecular electron transport material, there is a method of forming a film from a mixed solution containing a polymer binder and an electron transport material. As a high-molecular electron transport material, there is a method of forming a film from a solution containing an electron transport material. The solvent used for film formation from a solution is not particularly limited as long as it dissolves an electron transport material, and a solvent used as a solvent for a hole injection layer can be used. As a film forming method from a solution, there is a coating method similar to the above-described film forming method of the hole injection layer.
電子輸送層の厚みは、用いる材料によって最適値が異なり、目的とする設計に応じて適宜変更することができる。電子輸送層には、少なくともピンホールが発生しない厚さが必要である。ピンホールが発生しない膜厚として、例えば、1〜1000nm程度であることが好ましく、より好ましくは、2〜500nmであり、さらに好ましくは、5〜200nmである。 The thickness of the electron transport layer varies depending on the material used, and can be changed as appropriate according to the intended design. The electron transport layer needs to have a thickness that does not generate at least pinholes. The film thickness at which no pinholes are generated is, for example, preferably about 1 to 1000 nm, more preferably 2 to 500 nm, and still more preferably 5 to 200 nm.
(電子注入層)
電子注入層を構成する材料としては、発光機能層の種類に応じて最適な材料が適宜選択される。電子注入層の材料としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、アルカリ金属及びアルカリ土類金属のうちの1種類以上含む合金、アルカリ金属若しくはアルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、炭酸化物、またはこれらの物質の混合物等がある。
(Electron injection layer)
As a material constituting the electron injection layer, an optimum material is appropriately selected according to the type of the light emitting functional layer. Examples of the material of the electron injection layer include alkali metals, alkaline earth metals, alloys containing at least one of alkali metals and alkaline earth metals, alkali metal or alkaline earth metal oxides, halides, and carbonates. Or a mixture of these substances.
アルカリ金属、アルカリ金属の酸化物、ハロゲン化物、及び炭酸化物の例としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、酸化リチウム、フッ化リチウム、酸化ナトリウム、フッ化ナトリウム、酸化カリウム、フッ化カリウム、酸化ルビジウム、フッ化ルブジウム、酸化セシウム、フッ化セシウム、炭酸リチウム等がある。また、アルカリ土類金属、アルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、及び炭酸化物の例としては、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ストロンチウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、酸化カルシウム、フッ化カルシウム、酸化バリウム、フッ化バリウム、酸化ストロンチウム、フッ化ストロンチウム、炭酸マグネシウム等がある。電子注入層は、2層以上を積層した積層体で構成されていてもよく、例えばフッ化リチウム/カルシウム等の二層構造とすることができる。電子注入層は、各種蒸着法、スパッタリング法、各種塗布法等により形成される。電子注入層の膜厚としては、1〜1000nm程度が好ましい。 Examples of alkali metals, alkali metal oxides, halides, and carbonates include lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, lithium oxide, lithium fluoride, sodium oxide, sodium fluoride, potassium oxide, potassium fluoride , Rubidium oxide, rubudium fluoride, cesium oxide, cesium fluoride, lithium carbonate, and the like. Examples of alkaline earth metals, alkaline earth metal oxides, halides, and carbonates include magnesium, calcium, barium, strontium, magnesium oxide, magnesium fluoride, calcium oxide, calcium fluoride, and barium oxide. , Barium fluoride, strontium oxide, strontium fluoride, magnesium carbonate, and the like. The electron injection layer may be composed of a laminate in which two or more layers are laminated, and may have a two-layer structure such as lithium fluoride / calcium. The electron injection layer is formed by various deposition methods, sputtering methods, various coating methods, and the like. The thickness of the electron injection layer is preferably about 1 to 1000 nm.
(電極)
電極22の材料としては、仕事関数が小さく、発光機能層への電子注入が容易な材料、電気導電度が高い材料、可視光反射率の高い材料の少なくとも一つが好ましい。かかる電極22の材料としては、具体的には、金属、金属酸化物、合金、グラファイトまたはグラファイト層間化合物及び酸化亜鉛等の無機半導体等がある。
(electrode)
The material of the
上記金属としては、アルカリ金属やアルカリ土類金属、遷移金属やIII−b属金属等を用いることができる。これらの金属の具体的例としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、金、銀、白金、銅、マンガン、チタン、コバルト、ニッケル、タングステン、錫、アルミニウム、スカンジウム、バナジウム、亜鉛、イットリウム、インジウム、セリウム、サマリウム、ユーロピウム、テルビウム及びイッテルビウム等がある。 As the metal, an alkali metal, an alkaline earth metal, a transition metal, a Group III-b metal, or the like can be used. Specific examples of these metals include lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, beryllium, magnesium, calcium, strontium, barium, gold, silver, platinum, copper, manganese, titanium, cobalt, nickel, tungsten, tin, Examples include aluminum, scandium, vanadium, zinc, yttrium, indium, cerium, samarium, europium, terbium, and ytterbium.
また、合金としては、上記金属の少なくとも一種を含む合金を使用することができる。具体的には、マグネシウム−銀合金、マグネシウム−インジウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金、インジウム−銀合金、リチウム−アルミニウム合金、リチウム−マグネシウム合金、リチウム−インジウム合金及びカルシウム−アルミニウム合金等が使用される。 Moreover, as an alloy, the alloy containing at least 1 type of the said metal can be used. Specifically, magnesium-silver alloy, magnesium-indium alloy, magnesium-aluminum alloy, indium-silver alloy, lithium-aluminum alloy, lithium-magnesium alloy, lithium-indium alloy, calcium-aluminum alloy and the like are used.
電極22は、必要に応じて透明電極として構成される。電極22の材料としては、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化錫、ITO、IZO等の導電性酸化物、ポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体等の導電性有機物がある。
なお、電極22は、2層以上の積層構造であってもよい。また、電子注入層が電極22として用いられる場合もある。電極22の膜厚は、電気導電度や耐久性を考慮して、適宜選択することができるが、例えば、10〜10000nmであり、好ましくは20〜1000nmであり、さらに好ましくは、50〜500nmである。
The
The
(封止構造)
第1実施形態の封止構造は、透明電極14、発光機能層21、電極22の側面及び上面に接着層23を形成し、電極22の上面の接着層23上に封止基材24を貼り合わせることによって構成されている。
接着層23としては、熱硬化型の接着層を使用することができるが、有機ELを構成する材料への影響を鑑みると光硬化型の接着剤が好ましい。光硬化型の接着剤としては、例えば、エステルアクリレート、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、メラミンアクリレート、アクリル樹脂アクリレート等の各種アクリレート、ウレタンポリエステル等の樹脂を用いたラジカル系接着剤や、エポキシ、ビニルエーテル等の樹脂を用いたカチオン系接着剤及びチオール・エン付加型樹脂系接着剤等がある。このような接着剤の中でも、接着層23に用いられる接着剤として、酸素による阻害がなく、光照射後も重合反応が進行するカチオン系接着剤が好ましい。
(Sealing structure)
In the sealing structure of the first embodiment, the
As the
接着層23に用いられるカチオン系硬化型タイプの接着剤としては、紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤が好ましく、また、100mW/cm2以上の紫外線を照射した際に、10〜90秒以内に硬化する紫外線硬化型接着剤が特に好ましい。接着剤を10〜90秒以内に硬化させることにより、紫外線照射による他の構成要素への影響を排除しつつ、接着剤が充分に硬化して適切な接着強度を得ることができる。
The cationic curable adhesive used for the
また、発光装置1を生産する生産工程の効率の観点からも、接着剤を10〜90秒以内に硬化させることが好ましい。さらに、接着剤は、種類に関わらず、低透湿性、かつ高接着性のものが好ましい。接着層23を封止基材24との接触面に形成する方法の一例として、ディスペンス法、押出ラミネート法、溶融・ホットメルト法、カレンダー法、ノズル塗布法、スクリーン印刷法、真空ラミネート法及び熱ロールラミネート法等がある。接着層23の厚みとしては特に制限はないが、薄膜であるとこが好ましく、好ましくは1〜100μmであり、特に好ましくは5〜50μmである。
Moreover, it is preferable to harden the adhesive within 10 to 90 seconds from the viewpoint of the efficiency of the production process for producing the light emitting device 1. Further, the adhesive preferably has a low moisture permeability and a high adhesiveness regardless of the type. As an example of a method for forming the
発光装置1がトップエミッション型の有機EL素子である場合には、封止基材24に透明性が必要になる。このような場合、封止基材24にはガラス、ポリエチレンテレフタラート(PET)、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等及びプラスチックフィルムを用いることができる。また、発光装置1が特に透明性が必要ないボトムエミッション型の有機EL素子である場合には、封止基材24として上記の材料に加えてステンレスやアルミ等の金属材料や不透明なガラス、プラスチック材料、或いはPETとアルミ箔に接着剤を介して貼り合せた基材、例えばアルペット等も用いることができる。
When the light emitting device 1 is a top emission type organic EL element, the sealing
有機EL素子として構成される第1実施形態の発光装置は、上記した構成を有している。このような有機EL素子は、自発光型ディスプレイ、液晶用及び広告媒体バックライト、照明等に用いることができる。
また、以上説明した第1実施形態の発光装置は、ストライプ形状に配置された反射防止細線12で構成される反射防止層120を設ける構成に限定されるものではない。
The light emitting device according to the first embodiment configured as an organic EL element has the above-described configuration. Such an organic EL element can be used for a self-luminous display, a liquid crystal display and an advertising medium backlight, illumination, and the like.
Further, the light emitting device according to the first embodiment described above is not limited to the configuration in which the
図3は、他の反射防止層150を示すための上面図である。反射防止層150は、例えば、上面視において、y方向の長さがx方向の長さよりも長い形状の導電材料または絶縁材料からなる複数の反射防止細線151と、x方向の長さがy方向の長さよりも長い形状の導電材料または絶縁材料からなる複数の反射防止細線152と、を含み、反射防止細線151と反射防止細線152を互いに直交するように配置している。図3に示したように、反射防止層150は、上面視において格子形状を成す。
なお、第3実施形態においては、反射防止細線151においてはx方向の長さを幅といい、反射防止細線152においてはy方向の長さを幅という。
FIG. 3 is a top view for showing another
In the third embodiment, the length in the x direction of the antireflection
(発光装置の製造方法)
次に、以上説明した第1実施形態の発光装置1の製造方法について説明する。第1実施形態の発光装置1の製造方法は、特に発光装置の透明電極10の製造方法に関する。第1実施形態の透明電極10の製造方法においては、透明基材11上において、反射防止層120、導電層13、透明導電層14が透明基材11の側からこの順に作製されて製造される。
(Method for manufacturing light emitting device)
Next, a method for manufacturing the light emitting device 1 of the first embodiment described above will be described. The manufacturing method of the light-emitting device 1 of 1st Embodiment is related with the manufacturing method of the
図4−1(a)、(b)、(c)及び図4−2(d)、(e)は、第1実施形態の発光装置の製造方法を説明するための図である。図4−1(a)に示すように、第1実施形態では、先ず、透明基材11上に反射防止層120を形成するための反射防止膜122と、導電層13を形成するための導電膜132と、を成膜する。
反射防止膜122及び導電膜132を形成する方法としては、特に制限はなく、例えば、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法、または金属薄膜を熱圧縮するラミネート法等を用いることができる。反射防止膜122及び導電膜132は、フォトレジストを用いたエッチング法によってパター二ングされ、図1(b)に示した反射防止細線12及び導電層13となる。
FIGS. 4-1 (a), (b), (c) and FIGS. 4-2 (d), (e) are views for explaining a method for manufacturing the light emitting device of the first embodiment. As shown in FIG. 4A, in the first embodiment, first, the
The method for forming the
また、第1実施形態は、反射防止細線12及び導電層13を溶液から形成することができる。反射防止細線12を形成する溶液の溶媒としては、反射防止細線12、導電層13となる材料を溶解させるものであれば、特に制限はない。
反射防止細線12及び導電層13を溶液から形成する方法としては、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、スリットコート法、インクジェットプリント法、ノズルプリント法等の塗布法がある。このような方法のうち、反射防止細線12及び導電層13のパターンを直接形成できる成膜方法が好ましい。成膜方法は適宜選択可能であるが、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法等の印刷法、インクジェットプリント法、ノズルプリント法等の吐出による塗布法が好適である。成膜された膜は、その後、乾燥固化して反射防止細線12及び導電層13となる。
In the first embodiment, the antireflection
As a method of forming the antireflection
次に、第1実施形態では、透明電極14の形成領域に塗布導電材料を塗布して、透明導電層を成膜する。この時、透明基材と貼り合せる封止基材(詳細は後述する)の封止接着剤が形成される領域を除くように、透明導電層を形成する。成膜方法としては、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、スリットコート法、インクジェットプリント法、ノズルプリント法等の塗布法を使用することができる。特に、透明電極の形成領域を全面に渡って成膜するため、一様に塗布成膜する方法が好ましく、適宜選択可能であるが、スピンコート法、バーコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スリットコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、ロールコート法等の塗布法が好適である。
Next, in the first embodiment, a coating conductive material is applied to the formation region of the
次いで、透明電極の形成領域全面に塗布導電材料が塗布された透明基材11を、乾燥処理室内で、例えば100℃以上の温度条件で加熱処理する。これにより、塗布導電材料溶液に含まれる溶媒を気化させて、透明基材11、及び反射防止細線12の上に塗布導電材料を固着させて、透明導電層14を形成する。図4−1(c)は、透明導電層14を含む透明電極10が形成された状態を示す。
Next, the
さらに、第1実施形態では、図4−2(d)に示すように、透明電極14上に発光機能層21及び電極22を形成する。発光機能層21は、発光機能層21を形成するための溶液を塗布、成膜する方法によっても形成することができる。また、電極22は、塗布による成膜、スパッタリング、CVD(chemical vapor deposition)等のいずれの方法によっても実現することができる。
Further, in the first embodiment, as shown in FIG. 4D, the light emitting
次に、第1実施形態では、図4−2(e)に示すように、透明電極10、発光機能層21及び電極22を覆うように接着層23を塗布する。そして、接着層23上に封止基材24を貼り合わせて封止する。
以上説明した第1実施形態によれば、導電層13と透明基材11との間に反射防止層120を設けたので、透明基材11の側から発光装置を見た場合に導電層13が視認し難くなる。このため、第1実施形態の発光装置は、透明度が高く、高品質なディスプレイを実現することができる。
Next, in 1st Embodiment, as shown to FIG.4-2 (e), the
According to the first embodiment described above, since the
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態の発光装置2は、有機EL素子として構成されている。第2実施形態は、第2実施形態と透明電極50内の反射防止細線52及び導電層53の形状が異なっていて、他の部材は同様に構成されている。第2実施形態においては、第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、その説明を一部略す。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. The light emitting device 2 of the second embodiment is configured as an organic EL element. The second embodiment is different from the second embodiment in the shapes of the antireflection
(反射防止細線)
図5(a)、(b)は、第2実施形態の発光装置2を説明するための図である。図5(a)は発光装置2のx軸に沿う断面図、図5(b)は図2(a)に示した反射防止細線52及び導電層53を拡大して示した図である。図5(b)に示すように、ここでは、反射防止細線52のx方向に対向する2つの側面を各々側面52b、側面52dとする。また、反射防止細線52の透明基材11と接する面を底面52aとし、底面52aに対する裏面を上面52cとする。
(Antireflection thin wire)
FIGS. 5A and 5B are views for explaining the light emitting device 2 of the second embodiment. 5A is a cross-sectional view of the light emitting device 2 along the x-axis, and FIG. 5B is an enlarged view of the antireflection
また、図5(b)に示すように、導電層53のx方向に対向する2つの側面を各々側面53b、側面53dとする。また、導電層53の透明基材11と接する面を底面53aとし、底面53aに対する裏面を上面53cとする。
図5(a)及び図5(b)に示したように、第2実施形態の発光装置2が備える反射防止細線52及び導電層53は、いずれも断面が台形を有している。そして、導電層53の底面53aの幅L2は、反射防止細線52の底面52aの幅L1より短くなっている。このような構成により、第2実施形態の発光装置2は、透明基材11の側から見た場合、反射防止細線52の底面52aが導電層53の底面53aを確実に隠すことになり、導電層53を透明基材11の側からより視認し難くすることができる。
As shown in FIG. 5B, the two side surfaces facing the x direction of the
As shown in FIGS. 5A and 5B, the antireflection
即ち、第2実施形態では、反射防止細線52、及び導電層53の断面形状が台形となり、いずれもx方向に対向する側面にテーパーが付くように形成されている。
具体的には、図5(b)に示すように、反射防止細線52のx軸に沿う断面において、底面52aと側面52bとがなす角度を下底角θ1とする。また、上面52cと側面52dとがなす角度を上底角θ2とする。また、第2実施形態では、導電層53のx軸に沿う断面において、底面53aと側面53bとがなす角度を下底角θ3とする。また、上面53cと側面53dとがなす角度を上底角θ4とする。
That is, in the second embodiment, the cross-sectional shapes of the antireflection
Specifically, as shown in FIG. 5B, in the cross section along the x-axis of the antireflection
第2実施形態において、下底角θ1は90°以下が好ましく、上底角θ2は90°以上が好ましい。また、導電層53の下底角θ3は90°以下が好ましく、上底角θ4は90°以上が好ましい。
なお、第2実施形態においても、反射防止細線52としては、反射率が10%以下と低いことが好ましく、単層構造の場合、光重合系の材料が使用される。光重合系の材料の反射防止層の具体例としては、液晶ディスプレイ用のカラーフィルターとして利用されているカーボンブラックを用いた樹脂ブラックマトリスク(BM)のような低反射材料が好ましい。また、一般的なアンチグレア(AG)構造にしてもよい。また、多層構造の場合、反射防止層520は、一般的なアンチリフレクション(AR)構造であってもよい。
In the second embodiment, the lower base angle θ1 is preferably 90 ° or less, and the upper base angle θ2 is preferably 90 ° or more. The lower base angle θ3 of the
Also in the second embodiment, the antireflection
また、第2実施形態において、反射防止細線52となる膜を形成する方法としては、特に制限はなく、例えば、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法、または金属薄膜を熱圧縮するラミネート法等を用いて成膜を行い、膜をフォトレジストを用いたエッチング法によってパター二ングすることが考えられる。
このとき、第2実施形態は、エッチング時に反射防止細線52となる膜をオーバーエッチングすることによって断面が台形の反射防止細線52を形成することができる。
In the second embodiment, the method for forming the film to be the antireflection
At this time, in the second embodiment, the antireflection
(導電層)
第1実施形態と同様に、第2実施形態の導電層53は、反射防止細線52上に形成される。このため、導電層53も反射防止細線52と同様にx方向よりもy方向に長い線状の形状を有している。そして、複数の導電層53は、一方向に並列に配置されてストライプ形状をなしている。導電層53の材料としては、電気抵抗が低いことが好ましく、107S/cm以上の電気伝導度を有する材料が使用される。導電材料の具体例としては、アルミニウム、銀、クロミニウム、金、銅、タンタル、モリブデン等の金属、あるいはその合金のいずれか1つを使用することができる。このような材料の中でも、電気導電度の高さや材料のハンドリングの容易さの観点から、アルミニウム、クロミニウム、銅、銀及びその合金を使用することが好ましい。
(Conductive layer)
Similar to the first embodiment, the
導電層53の高さ(厚み)は、0.05μm以上、10μm以下が好ましく、さらに好ましくは0.1μm以上、1μm以下である。各導電層53の幅と高さの関係については、所望の導電性に応じて決めればよい。導電層53は、同一の導電層のみで構成してもよいし、異なる導電層を組み合わせて構成してもよい。
また、第2実施形態は、反射防止細線52及び導電層53を溶液から形成することができる。反射防止細線52を形成する溶液の溶媒としては、反射防止細線52、導電層53となる材料を溶解させるものであれば、特に制限はない。
The height (thickness) of the
In the second embodiment, the antireflection
反射防止細線52及び導電層53を溶液から形成する方法としては、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、スリットコート法、インクジェットプリント法、ノズルプリント法等の塗布法がある。このような方法のうち、反射防止細線52及び導電層53のパターンを直接形成できる成膜方法が好ましい。成膜方法は適宜選択可能であるが、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法等の印刷法、インクジェットプリント法、ノズルプリント法等の吐出による塗布法が好適である。成膜された膜は、その後、乾燥固化して反射防止細線52あるいは導電層53となる。
As a method of forming the antireflection
このとき、第2実施形態は、印刷に使用される溶液を多層に塗布することにより、断面が台形の反射防止細線52及び導電層53を形成することができる。即ち、第2実施形態では、溶液の塗布において、溶液を複数回重ねて塗布し、複数の膜を重ねて形成する。このとき、第2実施形態では、複数の膜の幅が、下の側の膜から上の側の膜に向かって順に狭くなるようにする。
以上説明した第2実施形態によれば、反射防止細線52、及び導電層53の両辺にテーパーが形成されることによって、第1実施形態で得られる効果を維持しながら、透明導電膜の被覆性を高め、導電層53のエッジ部への電流集中も低減し、発光特性を向上させることができる。
At this time, in the second embodiment, the antireflection
According to the second embodiment described above, the taper is formed on both sides of the antireflection
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態について説明する。第3実施形態の発光装置3は、有機EL素子として構成されている。第3実施形態は、第1実施形態及び第2実施形態と透明電極60内の反射防止細線62及び導電層63の形状が異なっていて、他の部材は同様に構成されている。第3実施形態においては、第1実施形態、第2実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、その説明を一部略す。
[Third Embodiment]
Next, a third embodiment of the present invention will be described. The light emitting device 3 of the third embodiment is configured as an organic EL element. The third embodiment is different from the first and second embodiments in the shapes of the antireflection
(反射防止部材)
図6(a)、(b)は、第3実施形態の発光装置3を説明するための図である。図6(a)は発光装置3のx軸に沿う断面図、図6(b)は図2(a)に示した反射防止細線62及び導電層63を拡大して示した図である。図6(b)に示すように、ここでは、反射防止細線62の透明基材11と接する底面62aに対する裏面を上面62cとする。また、導電層63の上面62cと接する面を底面63aとし、底面63aに対する裏面を上面63cとする。そして、上面63cに続く側面の一方を側面63dとする。上面63cと側面63dとがなす角度を、上底角θ5とする。
第3実施形態の発光装置3は、反射防止細線62の上に形成される導電層63の底面63aの幅が反射防止細線62の上面62cの幅よりも広く形成されている点で第2実施形態と相違する。
(Antireflection member)
FIGS. 6A and 6B are views for explaining the light emitting device 3 according to the third embodiment. 6A is a cross-sectional view of the light emitting device 3 along the x-axis, and FIG. 6B is an enlarged view of the antireflection
The light emitting device 3 of the third embodiment is the second embodiment in that the width of the
図6(a)及び図6(b)に示したように、第3実施形態の発光装置3が備える反射防止細線62及び導電層63は、いずれも断面が台形を有している。第3実施形態は、図6(b)に示すように、導電層63の上底角θ5が90°以上であることが好ましい。なお、第3実施形態においても、導電層63の底面63aの幅L4は、反射防止細線52の底面62aの幅L3より短くなっている。このような構成により、第3実施形態の発光装置3は、透明基材11の側から見た場合、反射防止細線62の底面62aが導電層63の底面63aを確実に隠すことになり、導電層63を透明基材11の側からより視認し難くすることができる。
As shown in FIGS. 6A and 6B, each of the antireflection
第3実施形態の反射防止細線62としては、反射率が10%以下と低いことが好ましく、単層構造の場合、光重合系の材料が使用される。光重合系の材料の反射防止層の具体例としては、液晶ディスプレイ用のカラーフィルターとして利用されているカーボンブラックを用いた樹脂ブラックマトリスク(BM)のような低反射材料が好ましい。また、一般的なアンチグレア(AG)構造にしてもよい。また、多層構造の場合、反射防止層520は、一般的なアンチリフレクション(AR)構造であってもよい。
The antireflection
また、第3実施形態の導電層63は、反射防止細線62上に形成される。このため、導電層63も反射防止細線62と同様にx方向に長い線状の形状を有している。そして、複数の導電層63は、一方向に並列に配置されてストライプ形状をなしている。導電層63の材料としては、電気抵抗が低いことが好ましく、107S/cm以上の電気伝導度を有する材料が使用される。導電材料の具体例としては、アルミニウム、銀、クロミニウム、金、銅、タンタル、モリブデン等の金属、あるいはその合金のいずれか1つを使用することができる。このような材料の中でも、電気導電度の高さや材料のハンドリングの容易さの観点から、アルミニウム、クロミニウム、銅、銀及びその合金を使用することが好ましい。
Further, the
また、第3実施形態において、反射防止細線62及び導電層63となる膜を形成する方法としては、特に制限はなく、例えば、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法、または金属薄膜を熱圧縮するラミネート法等を用いて成膜を行い、膜をフォトレジストを用いたエッチング法によってパター二ングすることが考えられる。
このとき、第3実施形態においても、エッチング時に反射防止細線62及び導電層63となる膜をオーバーエッチングすることによって断面が台形の反射防止細線62を形成することができる。
In the third embodiment, there is no particular limitation on the method for forming the film to be the antireflection
At this time, also in the third embodiment, the antireflection
また、第3実施形態は、反射防止細線62及び導電層63を溶液から形成することができる。反射防止細線62を形成する溶液の溶媒としては、反射防止細線62、導電層63となる材料を溶解させるものであれば、特に制限はない。
反射防止細線62及び導電層63を溶液から形成する方法としては、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、スリットコート法、インクジェットプリント法、ノズルプリント法等の塗布法がある。このような方法のうち、反射防止細線62及び導電層63のパターンを直接形成できる成膜方法が好ましい。成膜方法は適宜選択可能であるが、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法等の印刷法、インクジェットプリント法、ノズルプリント法等の吐出による塗布法が好適である。成膜された膜は、その後、乾燥固化して反射防止細線62あるいは導電層63となる。
In the third embodiment, the antireflection
As a method of forming the antireflection
このとき、第3実施形態は、印刷に使用される溶液を多層に塗布することにより、断面が台形の反射防止細線62及び導電層63を形成することができる。即ち、第3実施形態では、溶液の塗布において、溶液を複数回重ねて塗布し、複数の膜を重ねて形成する。このとき、第3実施形態では、複数の膜の幅が、下の側の膜から上の側の膜に向かって順に狭くなるようにする。
At this time, in the third embodiment, the antireflection
なお、以上説明した第1実施形態から第3実施形態の説明において、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。 In the description of the first to third embodiments described above, the drawings are schematic, and the relationship between the thickness and the planar dimensions, the ratio of the thickness of each layer, and the like are different from the actual ones. It should be noted. Therefore, specific thicknesses and dimensions should be determined in consideration of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.
また、上記した第1実施形態から第3実施形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された請求項が規定する技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。 The first to third embodiments described above exemplify apparatuses and methods for embodying the technical idea of the present invention, and the technical idea of the present invention is the material of the component parts. The shape, structure, arrangement, etc. are not specified as follows. The technical idea of the present invention can be variously modified within the technical scope defined by the claims described in the claims.
1,2,3 発光装置、10,50,60 透明電極、11 透明基材
12,15,52,62 反射防止細線、13,53,63 導電層
14 透明電極、21 発光機能層、22 電極、23 接着層
24 封止基材、120,150 反射防止層
1, 2, 3
Claims (14)
前記透明基材の一の面に形成され、導電材料または絶縁材料からなる反射防止層と、を備え、
前記透明基材の前記反射防止層の側に、少なくとも導電層、透明導電層、発光機能層及び電極をこの順で積層したことを特徴とする発光装置。 A transparent substrate;
An antireflection layer formed on one surface of the transparent base material and made of a conductive material or an insulating material;
At least a conductive layer, a transparent conductive layer, a light emitting functional layer, and an electrode are laminated in this order on the side of the antireflection layer of the transparent base material.
前記透明基材の前記反射防止層の側に少なくとも導電層、透明導電層、発光機能層及び電極をこの順で積層して形成する工程と、を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。 Forming an antireflection layer made of a conductive material or an insulating material on one surface of the transparent substrate;
And a step of laminating at least a conductive layer, a transparent conductive layer, a light emitting functional layer and an electrode in this order on the side of the antireflection layer of the transparent base material.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015038423A JP2016162537A (en) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | Light emitting device and method for manufacturing light emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015038423A JP2016162537A (en) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | Light emitting device and method for manufacturing light emitting device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016162537A true JP2016162537A (en) | 2016-09-05 |
Family
ID=56847158
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015038423A Pending JP2016162537A (en) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | Light emitting device and method for manufacturing light emitting device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016162537A (en) |
-
2015
- 2015-02-27 JP JP2015038423A patent/JP2016162537A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20110018416A1 (en) | Organic electroluminescence element | |
JP2010103500A (en) | Organic electroluminescent element, method for manufacturing the same, image display unit and illuminating device | |
JP5672705B2 (en) | Light emitting device and manufacturing method thereof | |
JPWO2013057873A1 (en) | Organic electroluminescent display panel and manufacturing method thereof | |
WO2012011385A1 (en) | Organic electroluminescent element | |
JP2013211169A (en) | Organic electroluminescent display panel | |
US20160315280A1 (en) | Light-emitting device and method for fabricating light-emitting device | |
JP5249075B2 (en) | Organic electroluminescence device | |
WO2012070574A1 (en) | Light emitting device and method for producing light emitting device | |
JP2013211102A (en) | Organic electroluminescent display panel and method of manufacturing the same | |
US9923164B2 (en) | Method for manufacturing transparent electrode, transparent electrode, and organic electroluminescence device provided with the same | |
JP2017130408A (en) | Light-emitting device | |
JP2010146893A (en) | Organic electroluminescent element, and its manufacturing method | |
JP2010146894A (en) | Organic electroluminescence element | |
JP6582896B2 (en) | Light emitting panel module, light emitting device, and manufacturing method thereof | |
JP6387602B2 (en) | Transparent electrode, method for producing transparent electrode, and organic electroluminescence device provided with transparent electrode | |
JP2016162537A (en) | Light emitting device and method for manufacturing light emitting device | |
JP4867317B2 (en) | Manufacturing method of conductive substrate for organic EL device | |
JP2013211424A (en) | Organic el element and manufacturing method of the same | |
JP5184938B2 (en) | Organic electroluminescence device and method for manufacturing the same | |
WO2016139934A1 (en) | Transparent electrode, and organic electroluminescence element | |
JP2018073591A (en) | Manufacturing method of organic el element | |
JP2018045816A (en) | Transparent electrode and organic electroluminescent element | |
JP2015064958A (en) | Transparent electrode and organic electroluminescent element including the same | |
JP2017204403A (en) | Transparent electrode and organic electroluminescent element |