JP2013211169A - Organic electroluminescent display panel - Google Patents

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Noriko Morikawa
徳子 森川
Akira Shoda
亮 正田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transparent organic EL display panel that does not impair transparency even during non-emission.SOLUTION: A transparent organic EL display panel includes: a transparent first electrode 102 formed on a transparent substrate 101; a partition wall 103 that partitions a pixel region a by being formed on the upper surface of the transparent first electrode 102 on the opposite side of the transparent substrate 101; a luminescent medium layer 110 that is formed on the upper surface of the transparent first electrode 102 corresponding to the pixel region a, and includes at least an organic light-emitting layer; and a transparent second electrode 105 formed on the upper surface of the luminescent medium layer 110 on the opposite side of the transparent first electrode 102. The partition wall 103 has a side surface 103A located closer to the pixel region a. An angle Θ1 formed by an end portion of the side surface 103A contacted with the upper surface of the transparent first electrode 102 and the upper surface of the transparent first electrode 102 is not less than 2° nor more than 45°. An angle Θ2 formed by a plane parallel to the upper surface of the transparent first electrode 102 and the side surface 103A at a portion spaced away from the upper surface of the transparent first electrode 102 is always Θ2<Θ1.

Description

本発明は有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネルに関するものである。   The present invention relates to an organic electroluminescent display panel.

有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子)は、二つの対向する電極の間に有機発光材料からなる有機発光層が形成され、両電極間に電圧を印加すると陽極から正孔、陰極から電子が注入され、有機発光層に電流が流れ、その正孔と電子が有機発光層で再結合することで発光させるものである。   In an organic electroluminescence element (hereinafter referred to as an organic EL element), an organic light emitting layer made of an organic light emitting material is formed between two opposing electrodes, and when voltage is applied between both electrodes, holes are transferred from the anode and electrons are transferred from the cathode. When injected, a current flows through the organic light emitting layer, and the holes and electrons recombine in the organic light emitting layer to emit light.

一般的に、ディスプレイパネル用の基板として、パターニングされた感光性ポリイミドが発光画素を区画するように隔壁状に形成されているものを用いる。その際、隔壁パターンは陽極として成膜されている透明電極のエッジ部を覆うように形成される。   In general, as a substrate for a display panel, a substrate in which patterned photosensitive polyimide is formed in a partition shape so as to partition light emitting pixels is used. At that time, the partition pattern is formed so as to cover the edge portion of the transparent electrode formed as an anode.

電極の間には有機発光層以外にもキャリア注入層(キャリア輸送層とも呼ばれる)が形成される。キャリア注入層とは電極から有機発光層へ電子を注入させる際に、電子の注入量を制御あるいは、もう一方の電極から有機発光層へ正孔が注入される際に、正孔の注入量を制御するのに用いられる層で、電極と有機発光層の間に挿入される層を指す。電子注入層としては、キノリノール誘導体の金属錯体などの電子輸送性の有機物や、Ca、Baなどの仕事関数の比較的小さい例えばアルカリ金属などが用いられ、あるいはこれらの機能を持つ層を複数積層する場合もある。正孔注入層としては、TPD(トリフェニレンアミン系誘導体:特許文献1参照)、PEDOT:PSS(ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸の混合物:特許文献2参照)、あるいは無機材料の正孔輸送材料(特許文献3参照)が知られている。いずれにしても電極と発光層の間に挿入することにより、電子と正孔の注入量を制御することによって発光効率を上げる目的で挿入され、高性能な有機ELディスプレイパネルを得るためには必須である。   In addition to the organic light emitting layer, a carrier injection layer (also called a carrier transport layer) is formed between the electrodes. The carrier injection layer controls the injection amount of electrons when injecting electrons from the electrode to the organic light emitting layer, or controls the injection amount of holes when holes are injected from the other electrode to the organic light emitting layer. A layer used to control and refers to a layer inserted between an electrode and an organic light emitting layer. As the electron injection layer, an electron transporting organic substance such as a metal complex of a quinolinol derivative or a relatively small work function such as Ca or Ba such as an alkali metal is used, or a plurality of layers having these functions are stacked. In some cases. As the hole injection layer, TPD (triphenyleneamine derivative: see Patent Document 1), PEDOT: PSS (mixture of polythiophene and polystyrenesulfonic acid: see Patent Document 2), or an inorganic hole transport material (Patent Document 3) See). In any case, it is necessary to obtain a high-performance organic EL display panel by inserting it between the electrode and the light-emitting layer in order to increase the luminous efficiency by controlling the injection amount of electrons and holes. It is.

次に正孔キャリアを注入するための正孔注入層を成膜する方法として、ドライ成膜とウェット成膜法の2種類があるが、ウェット成膜法を用いる場合一般的に水に分散されたポリチオフェンの誘導体が用いられるが、水系インキは下地の影響を受けやすく均一にコーティングすることが非常に困難である。最近では有機溶媒に可溶な材料も開発されてきている。それに対してドライ成膜は、簡便に均一に全面コーティングが可能である。   Next, there are two types of methods for forming a hole injection layer for injecting hole carriers: dry film formation and wet film formation methods. When wet film formation methods are used, they are generally dispersed in water. Polythiophene derivatives are used, but water-based inks are easily affected by the base and are difficult to coat uniformly. Recently, materials soluble in organic solvents have been developed. In contrast, dry film formation enables simple and uniform coating of the entire surface.

有機発光層を形成する方法も同様にドライ成膜とウェット成膜法の2種類があるが、均一な成膜が容易なドライ成膜である真空蒸着法を用いる場合、微細パターンのマスクを用いてパターニングする必要があり、大型基板や微細パターニングが非常に困難である。   Similarly, there are two methods for forming the organic light emitting layer: dry film formation and wet film formation. However, when using the vacuum evaporation method, which is dry film formation that facilitates uniform film formation, a fine pattern mask is used. Therefore, it is necessary to perform patterning, and large substrates and fine patterning are very difficult.

そこで、最近では高分子材料を溶剤に溶かして塗工液にし、これをウェット成膜法で薄膜形成する方法が試みられるようになってきている。高分子材料の塗液を用いてウェット成膜法で有機発光層を含む発光媒体層を形成する場合の層構成は、陽極側から正孔注入層、インターレイヤー又は正孔輸送層、有機発光層と積層する3層構成が一般的である。このとき、有機発光層はカラーパネル化するために赤(R)、緑(G)、青(B)のそれぞれの発光色をもつ有機発光材料を溶剤中に溶解または安定して分散してなる有機発光インキを用いて塗り分けることができる(特許文献4、5参照)。
ウェット成膜を用いることで、微細パターンのマスクは必要なく、大型基板や微細パターンが容易に可能である。
Therefore, recently, a method of forming a thin film using a wet film forming method by dissolving a polymer material in a solvent to form a coating liquid has been tried. When a light emitting medium layer including an organic light emitting layer is formed by a wet film formation method using a coating material of a polymer material, the layer structure is a hole injection layer, an interlayer or a hole transport layer from the anode side, an organic light emitting layer A three-layer structure is generally laminated. At this time, the organic light emitting layer is formed by dissolving or stably dispersing organic light emitting materials having respective emission colors of red (R), green (G), and blue (B) in a solvent in order to form a color panel. It can be applied separately using organic light emitting ink (see Patent Documents 4 and 5).
By using wet film formation, a mask with a fine pattern is not necessary, and a large substrate or a fine pattern can be easily formed.

理想的にはRGBのそれぞれの発光層に対して異なるキャリア注入層を用いることで性能を引き出すことが可能であるが、量産プロセスにおいて工程が増えることと、高精細パターニングが困難であることから、キャリア注入層はRGB共通のベタ状の膜が形成されることが一般的である。   Ideally, it is possible to draw out performance by using different carrier injection layers for each of the RGB light emitting layers, but because the number of steps in the mass production process and high-definition patterning are difficult, The carrier injection layer is generally formed of a solid film common to RGB.

ところで、前述の有機EL素子においては、素子の厚さが非常に薄いという特徴を有しており、この特徴を活かして、いわゆる両面発光型の透明有機EL素子とすることが検討されている。これを応用したディスプレイは、非発光時は透明で、電流を流した際に発光するような特徴を持ち、車載用モニターや、広告、時計、照明、テレビ、など透明性を特徴としたディスプレイパネルとして注目されている。透明有機ELディスプレイは可視光の透過率が通常のディスプレイより高く、ディスプレイを通して背景が見えることを特徴とする。例えば特許文献6ではRGB3色の透明EL素子が重ねられたカラー表示装置が紹介されている。   By the way, the above-mentioned organic EL element has a feature that the thickness of the element is very thin. Taking advantage of this feature, a so-called double-sided light emitting type transparent organic EL element has been studied. A display that uses this is transparent when it is not emitting light, and emits light when an electric current is passed. It is a display panel featuring in-car monitors, transparency such as advertisements, watches, lighting, and televisions. It is attracting attention as. The transparent organic EL display has a visible light transmittance higher than that of a normal display, and the background can be seen through the display. For example, Patent Document 6 introduces a color display device in which transparent EL elements of three RGB colors are superimposed.

前述したように透明有機EL素子では、発光性能も重要であるが、非発光時の透明性もまた重要である。透明有機ELデバイスに求められる透明性とは、面内の透過率が大きく一定であること、且つ配線やその他のパターンが視認できないあるいはしづらく視認性が低いということである。   As described above, in the transparent organic EL element, light emission performance is also important, but transparency when not emitting light is also important. The transparency required for the transparent organic EL device means that the in-plane transmittance is large and constant, and that the wiring and other patterns are not visible or difficult to see.

特に、スイッチング素子であるTFTや、有機EL素子に用いられる陽極や陽極用の取り出し配線である、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物などは屈折率が大きく透明性に与える影響が大きい。   In particular, metal composite oxidation such as ITO (indium tin composite oxide), indium zinc composite oxide, and zinc aluminum composite oxide, which are TFTs that are switching elements, anodes used in organic EL elements, and lead-out wirings for anodes Objects have a large refractive index and a large effect on transparency.

また、発光画素の区画や、電極間の絶縁層として用いられる隔壁にも透明性が求められる。隔壁を形成する感光性材料としてポリイミド系の他に、アクリル樹脂系、ノボラック樹脂系、フルオレン系といったものが用いられており、必要な透過率や物性に応じて選択されている。しかし、透過率の高い材料を用いた場合も、隣接する部材との屈折率や反射率の違いや形状により、非発光時に隔壁形成部の端部が目立ってしまい、透明性が悪いという問題があった。   In addition, transparency is also required for partitions of light emitting pixels and partition walls used as an insulating layer between electrodes. As the photosensitive material for forming the partition walls, in addition to polyimide, acrylic resin, novolac resin, fluorene, and the like are used, and are selected according to necessary transmittance and physical properties. However, even when a material having a high transmittance is used, there is a problem in that the end of the partition wall formation portion becomes conspicuous at the time of non-light emission due to the difference in the refractive index and the reflectance with the adjacent member and the shape, and the transparency is poor. there were.

特開2001−93668号公報JP 2001-93668 A 特開2001−155858号公報JP 2001-155858 A 特許第2916098号公報Japanese Patent No. 2916098 特許第2851185号公報Japanese Patent No. 2851185 特開平9−63771号公報JP-A-9-63771

非発光時でも透明性を損なうことのない透明有機ELディスプレイパネルを提供する事を課題とした。   It was an object to provide a transparent organic EL display panel that does not impair the transparency even when it does not emit light.

請求項1に記載の発明は、透明基板上に形成された透明第一電極と、前記透明基板とは反対側の前記透明第一電極の上面に形成されることで画素領域aを区画する隔壁と、前記画素領域aに対応する前記透明第一電極の上面に形成され少なくとも有機発光層を含む発光媒体層と、前記透明第一電極とは反対側の前記発光媒体層の上面に形成された透明第二電極と、を具備する透明有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネルであって、前記隔壁は、前記画素領域側に位置する側面を有し、前記透明第一電極の上面に接触する前記側面の端部と前記透明第一電極の上面とがなす角度Θ1が2°以上45°以下であり、且つ、前記透明第一電極の上面から離れた箇所で前記透明第一電極の上面と平行な面に対して前記側面がなす角度Θ2が常にΘ2<Θ1であることを特徴とする。   According to the first aspect of the present invention, the first partition electrode formed on the transparent substrate and the partition wall defining the pixel region a by being formed on the upper surface of the first transparent electrode opposite to the transparent substrate. A light emitting medium layer including at least an organic light emitting layer formed on an upper surface of the transparent first electrode corresponding to the pixel region a, and an upper surface of the light emitting medium layer opposite to the transparent first electrode. A transparent organic electroluminescence display panel comprising a transparent second electrode, wherein the partition wall has a side surface located on the pixel region side and is in contact with the upper surface of the transparent first electrode. The angle Θ1 formed by the portion and the upper surface of the transparent first electrode is not less than 2 ° and not more than 45 °, and is parallel to the upper surface of the transparent first electrode at a location away from the upper surface of the transparent first electrode. The angle Θ2 formed by the side surface is always Θ 2 <Θ1.

請求項2記載の発明は、請求項1に記載の透明有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネルにおいて、前記隔壁の高さhが0.2μm以上2μm以下であることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the transparent organic electroluminescent display panel according to the first aspect, a height h of the partition wall is 0.2 μm or more and 2 μm or less.

請求項3記載の発明は、請求項1または2に記載の透明有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネルにおいて、前記透明有機ELディスプレイの表示領域bの可視光透過率が60%以上であることを特徴とする。   The invention described in claim 3 is the transparent organic electroluminescence display panel according to claim 1 or 2, wherein the visible light transmittance of the display region b of the transparent organic EL display is 60% or more. .

透明第一電極の上面に接触する側面の端部と透明第一電極の上面とがなす角度Θ1が2°以上45°以下であり、且つ、透明第一電極の上面から離れた箇所で透明第一電極の上面と平行な面に対して側面がなす角度Θ2が常にΘ2<Θ1とすることにより、隔壁の透過率や屈折率の変化が緩やかになり、視認性が低く、透明性を良好にすることができ、非発光時でも透明性を損なうことのない透明有機ELディスプレイパネルを提供する上で有利となる。   The angle Θ1 formed by the end of the side surface that contacts the top surface of the transparent first electrode and the top surface of the transparent first electrode is 2 ° or more and 45 ° or less, and is transparent at a position away from the top surface of the transparent first electrode. When the angle Θ2 formed by the side surface with respect to the plane parallel to the upper surface of one electrode is always Θ2 <Θ1, changes in the transmittance and refractive index of the partition wall are moderated, visibility is low, and transparency is improved. This is advantageous in providing a transparent organic EL display panel that does not impair the transparency even when no light is emitted.

本発明の透明有機ELディスプレイパネルの一例の説明平面模式図Explanation plane schematic diagram of an example of the transparent organic EL display panel of the present invention 本発明の透明有機ELディスプレイパネルの一例の説明断面模式図Description cross-sectional schematic diagram of an example of the transparent organic EL display panel of the present invention 本発明の透明有機ELディスプレイパネルの一例の説明断面模式図Description cross-sectional schematic diagram of an example of the transparent organic EL display panel of the present invention 凸版印刷装置の概略図Schematic diagram of letterpress printer 本発明の実施例、比較例の隔壁形成条件と形成された隔壁形状Example of the present invention, comparative partition formation conditions and formed partition shape

図1に本発明の1様態としてパッシブマトリックス駆動型の有機ELディスプレイパネルの平面模式図、また図2に図1に記載されているAA’の断面模式図を示した。
本発明の有機ELディスプレイパネルは、基板101上に形成された透明第一電極102を陽極、これと対向するように形成された透明第二電極105を陰極とし、これに挟持された層(発光媒体層110)を有する。
FIG. 1 shows a schematic plan view of a passive matrix driving type organic EL display panel as one embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a schematic sectional view of AA ′ described in FIG.
The organic EL display panel of the present invention has a transparent first electrode 102 formed on a substrate 101 as an anode and a transparent second electrode 105 formed so as to face the cathode as a cathode, and a layer sandwiched between the layers (light emission) Media layer 110).

透明第一電極102は画素ごとに隔壁103で区画された画素領域aに画素電極として形成され、透明第二電極105は対向電極として画素領域上に形成される。発光媒体層には、少なくとも発光に寄与する有機発光層113と、正孔を注入するキャリア注入層として正孔注入層111と正孔を輸送するキャリア注入層として正孔輸送層112、電子を注入するキャリア注入層として電子注入層114を含んでいる。   The transparent first electrode 102 is formed as a pixel electrode in the pixel region a partitioned by the partition wall 103 for each pixel, and the transparent second electrode 105 is formed as a counter electrode on the pixel region. In the light emitting medium layer, at least an organic light emitting layer 113 that contributes to light emission, a hole injection layer 111 as a carrier injection layer for injecting holes, a hole transport layer 112 as a carrier injection layer for transporting holes, and electrons are injected. An electron injection layer 114 is included as a carrier injection layer.

なお、発光媒体層110としては、陰極と発光層の間に電子輸送層や正孔ブロック層(インターレイヤー)、陽極と発光層の間に電子ブロック層(インターレイヤー)等のキャリア注入層を必要に応じて適宜積層することができる。   The light emitting medium layer 110 requires a carrier injection layer such as an electron transport layer or a hole blocking layer (interlayer) between the cathode and the light emitting layer, and an electron blocking layer (interlayer) between the anode and the light emitting layer. Depending on the case, it can be appropriately laminated.

画素領域aの外側には、外部駆動回路と接続するための陽極取り出し用基板配線104と陰極取り出し用基板配線106を有する。本発明では簡便に製造できる方法として陽極102と陽極取り出し用基板配線104、陰極105と陰極取り出し用基板配線106はそれぞれ共通としているが、コンタクト部を設けて、例えば抵抗の低い外部取り出し電極で中継しても良い。   Outside the pixel region a, an anode extraction substrate wiring 104 and a cathode extraction substrate wiring 106 for connection to an external drive circuit are provided. In the present invention, the anode 102 and the anode lead-out substrate wiring 104 and the cathode 105 and the cathode lead-out substrate wiring 106 are common to each other as a method that can be easily manufactured. However, a contact portion is provided and relayed by, for example, an external lead electrode having low resistance. You may do it.

隔壁103は画素領域aにおける発光画素を区画するために設けられるが、表示領域b全面の透過率を一定にするため、表示領域b全面を覆うように形成してもよい。ディスプレイの透明性を上げるため、隔壁材料は透過率の高いものを用いるのが良く1μmの厚みで可視光の透過率が60%以上の材料を用いるのが好ましい。
また、画素領域aと隔壁103が接する隔壁端部との角度Θ1(図3)が小さい方がよく、45°以下であることが好ましく、30°以下がより好ましい。隣接する部材との屈折率や反射率の差が小さく、変化が緩やかであるほど視認性が低く、透明性が良好となる。
また、隔壁103の高さh(図3)は2μm以下が好ましく、1μm以下がより好ましい。膜厚が薄いほど透過率が高くなり、また隣接する部材との屈折率や反射率の差が小さく、変化が緩やかになるため視認性が低く、透明性が良好となる。
The partition wall 103 is provided to partition the light emitting pixels in the pixel region a, but may be formed so as to cover the entire display region b in order to keep the transmittance of the entire display region b constant. In order to increase the transparency of the display, it is preferable to use a material having a high transmittance, and it is preferable to use a material having a thickness of 1 μm and a visible light transmittance of 60% or more.
Further, the angle Θ1 (FIG. 3) between the pixel region a and the partition wall end where the partition wall 103 is in contact is preferably small, preferably 45 ° or less, and more preferably 30 ° or less. The smaller the difference in refractive index and reflectance between adjacent members and the slower the change, the lower the visibility and the better the transparency.
Further, the height h (FIG. 3) of the partition wall 103 is preferably 2 μm or less, and more preferably 1 μm or less. The thinner the film thickness, the higher the transmittance, and the smaller the difference in refractive index and reflectance between adjacent members, and the slower the change, the lower the visibility and the better the transparency.

正孔注入層111は画素領域aにパターン形成しているが表示領域b全面を覆っても良い。全面を覆う事で、画素領域での膜形状が平坦になり、画素ごとの膜厚を均一にすることが可能となる。   The hole injection layer 111 is patterned in the pixel region a, but may cover the entire display region b. By covering the entire surface, the film shape in the pixel region becomes flat, and the film thickness for each pixel can be made uniform.

正孔輸送層112は正孔注入層111上の画素領域aにのみパターン形成しているが、正孔注入層111と同様に、画素領域b全面を覆っても良い。   Although the hole transport layer 112 is patterned only in the pixel region a on the hole injection layer 111, the entire pixel region b may be covered in the same manner as the hole injection layer 111.

有機発光層113は隔壁103の形状によって画素領域aに混色することなく形成することができる。また、混色しない程度に隣接画素間に形成されていても良い。
さらには、有機EL素子を画素(サブピクセル)として配列する事で、有機ELディスプレイパネルとすることができる。即ち各画素を構成する有機発光層113を混色することなく例えばRGBの3色に塗り分けることで、フルカラーの有機ELディスプレイパネルを作製することができる。
The organic light emitting layer 113 can be formed without being mixed with the pixel region a due to the shape of the partition wall 103. Further, it may be formed between adjacent pixels so as not to mix colors.
Furthermore, an organic EL display panel can be obtained by arranging the organic EL elements as pixels (subpixels). In other words, a full-color organic EL display panel can be manufactured by coating the organic light-emitting layer 113 constituting each pixel with, for example, three colors RGB without mixing colors.

電子注入層114は、有機発光層113上の画素領域aに形成されているが、表示領域b全面を覆っていてもよく、さらには透明第二電極105と同様のパターンでもよい。   The electron injection layer 114 is formed in the pixel region a on the organic light emitting layer 113, but may cover the entire display region b, and may have the same pattern as the transparent second electrode 105.

言い換えると、透明有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネルは、透明基板101上に形成された透明第一電極102と、透明基板101とは反対側の透明第一電極102の上面に形成されることで画素領域aを区画する隔壁103と、画素領域aに対応する透明第一電極102の上面に形成され少なくとも有機発光層を含む発光媒体層110と、透明第一電極102とは反対側の発光媒体層110の上面に形成された透明第二電極105とを備えている。   In other words, the transparent organic electroluminescence display panel is formed on the upper surface of the transparent first electrode 102 formed on the transparent substrate 101 and the transparent first electrode 102 on the side opposite to the transparent substrate 101, thereby forming a pixel region. a light-emitting medium layer 110 including at least an organic light-emitting layer formed on the upper surface of the transparent first electrode 102 corresponding to the pixel region a, and a light-emitting medium layer 110 opposite to the transparent first electrode 102. And a transparent second electrode 105 formed on the upper surface of the substrate.

<透明基板>
透明基板101として透明性、機械的強度、絶縁性を有し寸法安定性に優れていれば如何なる材料も使用することができる。例えば、ガラスや石英、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシート、または、これらプラスチックフィルムやシートに酸化珪素、酸化アルミニウム等の金属酸化物や、弗化アルミニウム、弗化マグネシウム等の金属弗化物、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの金属窒化物、酸窒化珪素などの金属酸窒化物、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリエステル樹脂などの高分子樹脂膜を単層もしくは積層させた透明基材、などを用いることができる。
<Transparent substrate>
Any material can be used as the transparent substrate 101 as long as it has transparency, mechanical strength and insulation and is excellent in dimensional stability. For example, plastic films and sheets such as glass, quartz, polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyarylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, etc., or oxidation to these plastic films and sheets Metal oxides such as silicon and aluminum oxide, metal fluorides such as aluminum fluoride and magnesium fluoride, metal nitrides such as silicon nitride and aluminum nitride, metal oxynitrides such as silicon oxynitride, acrylic resins and epoxy resins In addition, a transparent base material in which a polymer resin film such as a silicone resin or a polyester resin is single-layered or laminated can be used.

また有機ELディスプレイパネル内への水分の侵入を避けるために、無機膜を形成したり、フッ素樹脂を塗布したりして、防湿処理や疎水性処理を施してあることが好ましい。特に、発光媒体層への水分の侵入を避けるために、基板における含水率およびガス透過係数を小さくすることが好ましい。   Further, in order to avoid moisture intrusion into the organic EL display panel, it is preferable that an inorganic film is formed or a fluorine resin is applied to perform moistureproof treatment or hydrophobic treatment. In particular, in order to avoid intrusion of moisture into the light emitting medium layer, it is preferable to reduce the moisture content and gas permeability coefficient in the substrate.

<透明第一電極>
透明基板101の上に透明第一電極102を成膜し、必要に応じてパターニングをおこなう。本発明で、透明第一電極102は隔壁103によって区画され、各画素領域aに対応した透明第一電極となる。
透明第一電極の材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物や、金、白金などの金属酸化物や金属材料の微粒子をエポキシ樹脂やアクリル樹脂などに分散した微粒子分散膜を、単層もしくは積層したものをいずれも使用することができる。
<Transparent first electrode>
A transparent first electrode 102 is formed on the transparent substrate 101, and patterning is performed as necessary. In the present invention, the transparent first electrode 102 is partitioned by the partition wall 103 and becomes the transparent first electrode corresponding to each pixel region a.
As the material of the transparent first electrode, metal composite oxides such as ITO (indium tin composite oxide), indium zinc composite oxide, zinc aluminum composite oxide, metal oxides such as gold and platinum, and fine particles of metal materials Either a single layer or a laminate of a fine particle dispersion film in which is dispersed in an epoxy resin or an acrylic resin can be used.

透明第一電極102を陽極とする場合にはITOなど仕事関数の高い材料を選択することが好ましい。透明第一電極の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの湿式成膜法などを用いることができる。画素電極のパターニング方法としては、材料や成膜方法に応じて、マスク蒸着法、フォトリソグラフィー法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法などの既存のパターニング法を用いることができる。   When the transparent first electrode 102 is used as an anode, it is preferable to select a material having a high work function such as ITO. As a method of forming the transparent first electrode, depending on the material, dry film forming methods such as resistance heating vapor deposition method, electron beam vapor deposition method, reactive vapor deposition method, ion plating method, sputtering method, gravure printing method, screen A wet film forming method such as a printing method can be used. As a patterning method of the pixel electrode, an existing patterning method such as a mask vapor deposition method, a photolithography method, a wet etching method, or a dry etching method can be used depending on a material and a film forming method.

<陽極取り出し用基板配線>
陽極取り出し用基板配線104は、透明第一電極102と同様の材料である事が簡便で好ましいが、表示領域bでの透明性を保ち、配線抵抗の影響を低減するために、表示領域b外でコンタクト部を設け、CuやAlなどの金属材料を補助電極として併設してもよい。
陽極取り出し用基板配線104の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの湿式成膜法などを用いることができる。取り出し用基板配線のパターニング方法としては、材料や成膜方法に応じて、マスク蒸着法、フォトリソグラフィー法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法などの既存のパターニング法を用いることができる。
<Substrate wiring for anode removal>
The anode lead-out substrate wiring 104 is preferably the same material as that of the transparent first electrode 102. However, in order to maintain transparency in the display area b and reduce the influence of wiring resistance, The contact portion may be provided, and a metal material such as Cu or Al may be provided as an auxiliary electrode.
As a method for forming the substrate wiring 104 for extracting the anode, depending on the material, a dry film forming method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, a sputtering method, or a gravure printing method is used. Further, a wet film forming method such as a screen printing method can be used. As a patterning method for the extraction substrate wiring, an existing patterning method such as a mask vapor deposition method, a photolithography method, a wet etching method, or a dry etching method can be used depending on the material and the film forming method.

<隔壁>
透明第一電極102および陽極取り出し用基板配線104形成後、隔壁103を形成する。
<Partition wall>
After the transparent first electrode 102 and the anode lead-out substrate wiring 104 are formed, the partition wall 103 is formed.

隔壁103を形成する感光性材料としてはポジ型レジスト、ネガ型レジストのどちらであってもよく、市販のもので構わないが、絶縁性を有する必要がある。隔壁103が十分な絶縁性を有さない場合には隔壁103を通じて隣り合う画素電極に電流が流れてしまい表示不良が発生してしまう。また透明有機ELディスプレイにおいては可視光領域での高い透過性も、求められる。可視光領域での透過率が1μmの厚みで60%以上の材料が好ましい。具体的にはポリイミド系、アクリル樹脂系、ノボラック樹脂系、フルオレン系といったものが挙げられるがこれに限定するものではない。   The photosensitive material for forming the partition wall 103 may be either a positive type resist or a negative type resist, and may be a commercially available one, but it needs to have insulating properties. In the case where the partition 103 does not have sufficient insulating properties, a current flows to the adjacent pixel electrode through the partition 103 and a display defect occurs. In addition, high transparency in the visible light region is also required for transparent organic EL displays. A material having a transmittance of 1 μm in the visible light region and a thickness of 60% or more is preferable. Specific examples include polyimide, acrylic resin, novolac resin, and fluorene, but the present invention is not limited thereto.

隔壁103を形成する感光性材料はスピンコーター、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、グラビアコーター等の公知の塗布方法を用いて塗布される。次に、パターン露光、現像して隔壁パターンを形成する工程では、従来公知の露光、現像方法により隔壁部のパターンを形成できる。露光条件や現像条件を変えることによって隔壁形状を調整することが可能である。また焼成に関してはオーブン、ホットプレート等での従来公知の方法により焼成を行うことができる。   The photosensitive material for forming the partition wall 103 is applied using a known coating method such as a spin coater, bar coater, roll coater, die coater, or gravure coater. Next, in the step of pattern exposure and development to form the partition wall pattern, the partition wall pattern can be formed by a conventionally known exposure and development method. The shape of the partition wall can be adjusted by changing the exposure condition and the development condition. Regarding firing, firing can be performed by a conventionally known method using an oven, a hot plate or the like.

本発明の隔壁103は発光画素に対応した画素領域aを区画するように形成する。隔壁103を隣接する画素電極間に設けることによって、各画素電極上に印刷された発光媒体層インキの広がりを抑え混色を抑制し、また、画素電極102の端部を覆うように形成すると透明第一電極102の端部からのショート発生を防ぐことが出来る。また、表示領域b全面を覆うように形成すると、表示領域b全面の透過率を一定にし、透明性を良好にすることができる。   The partition wall 103 of the present invention is formed so as to partition the pixel region a corresponding to the light emitting pixel. By providing the partition wall 103 between adjacent pixel electrodes, the spreading of the luminescent medium layer ink printed on each pixel electrode can be suppressed, and color mixing can be suppressed. The occurrence of a short circuit from the end of one electrode 102 can be prevented. Further, if the display area b is formed so as to cover the entire surface, the transmittance of the entire display area b can be made constant and the transparency can be improved.

また、隔壁103の高さhは0.2μmから3.0μmの範囲にあることが好ましく、0.2μmから1μmの範囲であればより好ましい。隔壁103の高さhが0.2μm未満であるとショートの防止効果が得られない、あるいは発光媒体層形成時に隣接する画素と混色してしまう。隔壁103の高さhが3.0μmを超えると透明第二電極105を形成した際に透明第二電極105の断線が起こってしまい表示不良となったり、封止を妨げる、または隔壁103の透明性を低下させてしまう等の問題が生じる。また、厚みを小さくすることで、透過率を高く保て、且つ透過率や屈折率の変化を小さくすることができ、視認性を低く透明性を良好にすることができる。   The height h of the partition wall 103 is preferably in the range of 0.2 μm to 3.0 μm, and more preferably in the range of 0.2 μm to 1 μm. If the height h of the partition wall 103 is less than 0.2 μm, the effect of preventing a short circuit cannot be obtained, or the adjacent pixels are mixed in color when the light emitting medium layer is formed. If the height h of the partition wall 103 exceeds 3.0 μm, the transparent second electrode 105 may be disconnected when the transparent second electrode 105 is formed, resulting in display failure, hindering sealing, or the transparency of the partition wall 103. This causes problems such as lowering the performance. Further, by reducing the thickness, the transmittance can be kept high, the change in the transmittance and the refractive index can be reduced, and the visibility can be lowered and the transparency can be improved.

また、透明第一電極102上の画素領域aと隔壁103が接する隔壁端部との角度Θ1が2°以上45°以下であることが好ましく、より好ましくは30°以下である。角度が45°を超えると画素領域aの透明第一電極102と隔壁103の透過率や屈折率の変化が急激になり隔壁103の端部が目立ち透明性が悪くなる。角度を小さくすることで透過率や屈折率の変化が緩やかになり、視認性が低く、透明性を良好にすることができる。ただし、2°未満では製造困難となる。
また、画素領域aと平行な面に対して隔壁表面の角度Θ2が常にΘ2<Θ1であることにより隔壁形状がなだらかで透過率の変化が緩やかになり、視認性が低く透明性が良好となる。
より詳細には、図3に示すように、隔壁103は、画素領域a側に位置する側面103Aを有している。
透明第一電極102の上面に接触する側面103Aの端部と透明第一電極102の上面とがなす角度Θ1は2°以上45°以下である。
且つ、透明第一電極102の上面から離れた箇所で透明第一電極102の上面と平行な面に対して側面103Aがなす角度Θ2が常にΘ2<Θ1である。より詳細には、隔壁103Aの高さ方向の中間部において透明第一電極102の上面と平行な面に対して側面103Aがなす角度Θ2が常にΘ2<Θ1である。
The angle Θ1 between the pixel region a on the transparent first electrode 102 and the partition wall end where the partition wall 103 is in contact is preferably 2 ° or more and 45 ° or less, and more preferably 30 ° or less. When the angle exceeds 45 °, the transmittance and the refractive index of the transparent first electrode 102 and the partition wall 103 in the pixel region a change rapidly, and the end of the partition wall 103 is noticeable and the transparency is deteriorated. By reducing the angle, changes in transmittance and refractive index become gradual, visibility is low, and transparency can be improved. However, if it is less than 2 °, it becomes difficult to manufacture.
In addition, since the angle Θ2 of the partition wall surface is always Θ2 <Θ1 with respect to the plane parallel to the pixel region a, the partition wall shape is gentle, the change in transmittance is gentle, the visibility is low, and the transparency is good. .
More specifically, as shown in FIG. 3, the partition wall 103 has a side surface 103A located on the pixel region a side.
An angle Θ <b> 1 formed by the end of the side surface 103 </ b> A that contacts the upper surface of the transparent first electrode 102 and the upper surface of the transparent first electrode 102 is 2 ° or more and 45 ° or less.
In addition, an angle Θ2 formed by the side surface 103A with respect to a plane parallel to the upper surface of the transparent first electrode 102 at a location away from the upper surface of the transparent first electrode 102 is always Θ2 <Θ1. More specifically, the angle Θ2 formed by the side surface 103A with respect to the plane parallel to the top surface of the transparent first electrode 102 in the intermediate portion in the height direction of the partition wall 103A is always Θ2 <Θ1.

<正孔注入層>
正孔注入層111の材料は任意であるが、画素間の短絡を妨げるため抵抗率は10Ω・cm以上であることが好ましい。また、隔壁の形状に段差を設けることで正孔注入層の膜厚に変化をつけ画素間の短絡を抑制しても良い。例えば、CuO,Cr,Mn,FeOx,NiO,CoO,Pr,AgO,MoO,Bi、ZnO,TiO,SnO,ThO,V,Nb,Ta,MoO,WO,MnO等の遷移金属酸化物およびこれらの窒化物、硫化物を一種以上含んだ無機化合物や、ポリアニリン誘導体、オリゴアニリン誘導体、キノンジイミン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリビニルカルバゾール(PVK)誘導体、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)(PEDOT)、ピロール誘導体、芳香族アミン、(トリフェニルアミン)ダイマー誘導体(TPD)、(α−ナフチルジフェニルアミン)ダイマー(α−NPD)、[(トリフェニルアミン)ダイマー]スピロダイマー(Spiro−TAD)等のトリアリールアミン類、4,4',4''-トリス[3-メチルフェニル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン(m−MTDATA)、4,4',4''−トリス[1-ナフチル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン(1−TNATA)等のスターバーストアミン類および5,5'-α−ビス−{4−[ビス(4−メチルフェニル)アミノ]フェニル}−2,2':5',2'−α−ターチオフェン(BMA−3T)等のオリゴチオフェン類、芳香族アミン含有高分子、芳香族ジアミン含有高分子、フルオレン含有芳香族アミン高分子、トリアゾール系、オキサゾール系、オキサジアゾール系、シロール系、ボロン系、などの有機材料が挙げられる。
<Hole injection layer>
The material of the hole injection layer 111 is arbitrary, but the resistivity is preferably 10 4 Ω · cm or more in order to prevent a short circuit between pixels. Further, by providing a step in the shape of the partition wall, the film thickness of the hole injection layer may be changed to suppress a short circuit between pixels. For example, Cu 2 O, Cr 2 O 3 , Mn 2 O 3 , FeOx, NiO, CoO, Pr 2 O 3 , Ag 2 O, MoO 2 , Bi 2 O 3 , ZnO, TiO 2 , SnO 2 , ThO 2 , Transition metal oxides such as V 2 O 5 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , MoO 3 , WO 3 , MnO 2 and the like, inorganic compounds containing one or more of these nitrides and sulfides, polyaniline derivatives, oligos Aniline derivative, quinonediimine derivative, polythiophene derivative, polyvinylcarbazole (PVK) derivative, poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT), pyrrole derivative, aromatic amine, (triphenylamine) dimer derivative (TPD), ( α-naphthyldiphenylamine) dimer (α-NPD), [(triphenylamine) dimer] Triarylamines such as Rhodimer (Spiro-TAD), 4,4 ′, 4 ″ -tris [3-methylphenyl (phenyl) amino] triphenylamine (m-MTDATA), 4,4 ′, 4 ″ -Starburst amines such as tris [1-naphthyl (phenyl) amino] triphenylamine (1-TNATA) and 5,5′-α-bis- {4- [bis (4-methylphenyl) amino] phenyl} -2,2 ': 5', 2'-α-terthiophene (BMA-3T), oligothiophenes, aromatic amine-containing polymers, aromatic diamine-containing polymers, fluorene-containing aromatic amine polymers, triazoles Organic materials such as oxazole, oxadiazole, silole, and boron.

正孔注入層111の形成法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などのドライ成膜法や、スピンコート法、ゾルゲル法、インクジェット法、ノズルプリント法、凸版印刷法、スリットコート法、バーコート法などのウェット成膜法など既存の成膜法を用いることができるが本発明ではこれらに限定されず、一般的な成膜法を用いることができる。   As a method for forming the hole injection layer 111, depending on the material, a dry film forming method such as a resistance heating evaporation method, an electron beam evaporation method, a reactive evaporation method, an ion plating method, a sputtering method, a spin coating method, Existing film forming methods such as a sol-gel method, an ink jet method, a nozzle printing method, a relief printing method, a slit coating method, a wet coating method such as a bar coating method can be used. Various film forming methods can be used.

正孔注入層111の膜厚は、2nm以上、100nm以下であることが好ましい。2nmより小さくなると、ショート欠陥が生じやすくなり、100nm以上になると高抵抗化により低電流化してしまう。   The thickness of the hole injection layer 111 is preferably 2 nm or more and 100 nm or less. When the thickness is smaller than 2 nm, short defects are likely to occur, and when the thickness is 100 nm or more, the resistance is increased and the current is decreased.

無機材料は耐熱性および電気化学的安定性に優れている材料が多いため好ましい。これらは単層もしくは複数の層の積層構造、又は混合層として形成することができる。   Inorganic materials are preferred because many materials are excellent in heat resistance and electrochemical stability. These can be formed as a single layer or a stacked structure of a plurality of layers, or a mixed layer.

<インターレイヤー>
正孔注入層を形成後、インターレイヤーを形成することができる。本件では全面に形成した正孔注入層111上にライン状に正孔輸送層112をパターン形成したが正孔注入層111上にインターレイヤーを全面形成してもよい。
<Interlayer>
After forming the hole injection layer, an interlayer can be formed. In this case, the hole transport layer 112 is patterned in a line on the hole injection layer 111 formed on the entire surface, but an interlayer may be formed on the hole injection layer 111 on the entire surface.

インターレイヤーとして用いられる材料としてポリアニリン誘導体、オリゴアニリン誘導体、キノンジイミン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリビニルカルバゾール(PVK)誘導体、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)(PEDOT)、ピロール誘導体、芳香族アミン、(トリフェニルアミン)ダイマー誘導体(TPD)、(α−ナフチルジフェニルアミン)ダイマー(α−NPD)、[(トリフェニルアミン)ダイマー]スピロダイマー(Spiro−TAD)等のトリアリールアミン類、4,4',4''-トリス[3-メチルフェニル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン(m−MTDATA)、4,4',4''−トリス[1-ナフチル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン(1−TNATA)等のスターバーストアミン類および5,5'-α−ビス−{4−[ビス(4−メチルフェニル)アミノ]フェニル}−2,2':5',2'−α−ターチオフェン(BMA−3T)等のオリゴチオフェン類、芳香族アミン含有高分子、芳香族ジアミン含有高分子、フルオレン含有芳香族アミン高分子、トリアゾール系、オキサゾール系、オキサジアゾール系、シロール系、ボロン系、などの有機材料が挙げられる。   Materials used as an interlayer include polyaniline derivatives, oligoaniline derivatives, quinonediimine derivatives, polythiophene derivatives, polyvinylcarbazole (PVK) derivatives, poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT), pyrrole derivatives, aromatic amines, ( Triarylamines such as (triphenylamine) dimer derivative (TPD), (α-naphthyldiphenylamine) dimer (α-NPD), [(triphenylamine) dimer] spiro-dimer (Spiro-TAD), 4,4 ′, 4 ″ -tris [3-methylphenyl (phenyl) amino] triphenylamine (m-MTDATA), 4,4 ′, 4 ″ -tris [1-naphthyl (phenyl) amino] triphenylamine (1-TNATA ) And other starburst amines and 5,5′-α -Bis- {4- [bis (4-methylphenyl) amino] phenyl} -2,2 ′: 5 ′, 2′-α-terthiophene (BMA-3T) and other oligothiophenes, aromatic amine-containing high Examples include molecules, aromatic diamine-containing polymers, fluorene-containing aromatic amine polymers, triazole-based, oxazole-based, oxadiazole-based, silole-based, and boron-based organic materials.

インターレイヤーの形成法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などのドライ成膜法や、スピンコート法、ゾルゲル法、インクジェット法、ノズルプリント法、凸版印刷法、スリットコート法、バーコート法などのウェット成膜法など既存の成膜法を用いることができるが本発明ではこれらに限定されず、一般的な成膜法を用いることができる。   As a method for forming an interlayer, depending on the material, a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, a dry film formation method such as a sputtering method, a spin coating method, a sol-gel method, Existing film forming methods such as an ink jet method, a nozzle printing method, a relief printing method, a slit coating method, and a wet film forming method such as a bar coating method can be used. Can be used.

<有機発光層>
正孔輸送層112形成後、有機発光層113を形成する。有機発光層113は正孔と電子を再結合させることで発光する層であり、有機発光層113から放出される表示光が単色の場合、正孔輸送層112を被覆するように形成するが、多色の表示光を得るには必要に応じてパターニングを行うことにより好適に用いることができる。
<Organic light emitting layer>
After the hole transport layer 112 is formed, the organic light emitting layer 113 is formed. The organic light emitting layer 113 is a layer that emits light by recombining holes and electrons. When the display light emitted from the organic light emitting layer 113 is monochromatic, it is formed so as to cover the hole transport layer 112. In order to obtain multicolor display light, it can be suitably used by patterning as necessary.

有機発光層113を形成する有機発光材料は、例えばクマリン系、ペリレン系、ピラン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系、イリジウム錯体系などの発光性色素をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に分散させたものや、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系やポリフルオレン系の高分子材料が挙げられるが本発明ではこれらに限定されるわけではない。   Examples of the organic light-emitting material forming the organic light-emitting layer 113 include coumarin-based, perylene-based, pyran-based, anthrone-based, porphyrin-based, quinacridone-based, N, N′-dialkyl-substituted quinacridone-based, naphthalimide-based, N, N′-. Diaryl-substituted pyrrolopyrrole, iridium complex, and other luminescent dyes dispersed in polymers such as polystyrene, polymethyl methacrylate, polyvinylcarbazole, and polyarylene, polyarylene vinylene, and polyfluorene polymers Examples of the material include, but are not limited to, the present invention.

これらの有機発光材料は溶媒に溶解または安定に分散させ有機発光インキとなる。有機発光材料を溶解または分散する溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、アニソール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどの単独またはこれらの混合溶媒が上げられる。中でもトルエン、キシレン、アニソールといった芳香族有機溶媒が有機発光材料の溶解性の面から好適である。また、有機発光インキには必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等が添加されてもよい。   These organic light emitting materials are dissolved or stably dispersed in a solvent to form an organic light emitting ink. Examples of the solvent for dissolving or dispersing the organic light emitting material include toluene, xylene, acetone, anisole, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, or a mixed solvent thereof. Among them, aromatic organic solvents such as toluene, xylene, and anisole are preferable from the viewpoint of the solubility of the organic light emitting material. Moreover, surfactant, antioxidant, a viscosity modifier, a ultraviolet absorber, etc. may be added to organic luminescent ink as needed.

上述した高分子材料に加え、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス[8−(パラ−トシル)アミノキノリン]亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレンなどの低分子系発光材料が使用できる。   In addition to the polymer materials described above, 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8-quinolato) aluminum complex, tris (4-methyl) -8-quinolate) aluminum complex, bis (8-quinolate) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolate) aluminum complex, tris (4-methyl-5-cyano-8-quinolate) Aluminum complex, bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) [4- (4-Cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, tris (8-quino) Norato) scandium complex, bis [8- (para-tosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, poly-2,5-diheptyloxy-para-phenylene vinylene A low molecular weight light emitting material such as can be used.

有機発光層113の形成法としては、材料に応じて、インクジェット印刷法、ノズルプリント印刷法、凸版印刷法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などのウェット成膜法など既存の成膜法を用いることができ、本発明ではこれらに限定されるわけではないが、
特に有機発光材料を溶媒に溶解または安定に分散させた有機発光インキを用いて発光層を各発光色に塗り分ける場合には、隔壁間にインキを転写してパターニングできるインクジェット法、ノズルプリント法、凸版印刷法が好適である。
As a method for forming the organic light emitting layer 113, an existing film forming method such as an ink jet printing method, a nozzle print printing method, a relief printing method, a gravure printing method, or a wet film forming method such as a screen printing method is used depending on the material. Although the present invention is not limited to these,
In particular, when an organic light emitting material is dissolved or stably dispersed in a solvent and an organic light emitting ink is used to coat the light emitting layer in each light emitting color, an ink jet method, a nozzle print method, and the like that can transfer and pattern ink between partition walls, A relief printing method is preferred.

<発光媒体層の形成方法>
発光媒体層を凸版印刷法で形成する場合を下記に示す。
図4に有機発光材料からなる有機発光インキを、画素電極、正孔注入層、正孔輸送層が形成された被印刷基板602上にパターン印刷する際の凸版印刷装置600の概略図を示した。
本製造装置はインクタンク603とインキチャンバー604とアニロックスロール605と凸版が設けられた版607がマウントされた版銅608を有している。インクタンク603には、溶剤で希釈された有機発光インキが収容されており、インキチャンバー604にはインクタンクより有機発光インキが送り込まれるようになっている。アニロックスロール605はインキチャンバー604のインキ供給部に接して回転可能に指示されている。
<Method for forming luminescent medium layer>
A case where the light emitting medium layer is formed by a relief printing method is shown below.
FIG. 4 shows a schematic diagram of a relief printing apparatus 600 when pattern printing is performed on an organic light emitting ink made of an organic light emitting material on a substrate 602 on which a pixel electrode, a hole injection layer, and a hole transport layer are formed. .
This manufacturing apparatus has a plate copper 608 on which an ink tank 603, an ink chamber 604, an anilox roll 605, and a plate 607 provided with a relief plate are mounted. The ink tank 603 contains organic light emitting ink diluted with a solvent, and the organic light emitting ink is fed into the ink chamber 604 from the ink tank. The anilox roll 605 is instructed to rotate in contact with the ink supply unit of the ink chamber 604.

アニロックスロール605の回転に伴い、アニロックスロール表面に供給された有機発光インキのインキ層609は均一な膜厚に形成される。このインキ層のインキはアニロックスロールに近接して回転駆動される版胴608にマウントされた版607の凸部に転移する。ステージ601には、被印刷基板602が設置され、版607の凸部にあるインキが被印刷基板602に対して印刷され、必要に応じて乾燥工程を経て被印刷基板上に有機発光層が形成される。   As the anilox roll 605 rotates, the ink layer 609 of the organic light-emitting ink supplied to the anilox roll surface is formed with a uniform film thickness. The ink in this ink layer is transferred to the convex portion of the plate 607 mounted on the plate cylinder 608 that is driven to rotate in the vicinity of the anilox roll. A printing substrate 602 is installed on the stage 601, and the ink on the convex portion of the plate 607 is printed on the printing substrate 602, and if necessary, an organic light emitting layer is formed on the printing substrate through a drying process. Is done.

他の発光媒体層をインキ化して塗工する場合についても同様に上記形成法を用いて形成することができる。   The other light emitting medium layer can be formed by using the above-mentioned forming method in the same manner when it is applied as an ink.

<電子注入層>
有機発光層113を形成した後、電子注入層114を形成することができる。電子注入層に用いる材料としては、トリアゾール系、オキサゾール系、オキサジアゾール系、シロール系、ボロン系等の低分子系材料、フッ化リチウムや酸化リチウム、フッ化ナトリウム等のアルカリ金属やBa、Ca等のアルカリ土類金属の塩や酸化物等を用いて真空蒸着法による成膜が可能である。
<Electron injection layer>
After the organic light emitting layer 113 is formed, the electron injection layer 114 can be formed. Materials used for the electron injecting layer include triazole-based, oxazole-based, oxadiazole-based, silole-based, boron-based and other low molecular materials, lithium fluoride, lithium oxide, sodium fluoride, and other alkali metals, and Ba, Ca It is possible to form a film by a vacuum deposition method using an alkaline earth metal salt such as an oxide or the like.

<透明第二電極>
次に、透明第二電極106を形成する。透明第二電極106の材料、形成法方法は透明第一電極102と同様であるが、透明第二電極106を陰極とする場合には、有機発光層113への電子注入効率の高い、仕事関数の低い物質を併用する。
具体的にはMg,Al,Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体層と接する界面にLiや酸化Li,LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いてもよい。または電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数が低いLi,Mg,Ca,Sr,La,Ce,Er,Eu,Sc,Y,Yb等の金属1種以上と、安定なAg,Al,Cu等の金属元素との合金系を用いてもよい。具体的にはMgAg,AlLi,CuLi等の合金が使用できるが、いずれも透明性を得るためには10nm以下の極薄膜である必要がある。またITO(インジウムスズ複合酸化物)やIZO(インジウム亜鉛複合酸化物)、AZO(亜鉛アルミニウム複合酸化物)などの金属複合酸化物等の透明導電膜を用いることができる。形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、インクジェット印刷法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、ノズル塗布法などの湿式成膜法など既存の成膜法を用いることができるが本発明ではこれらに限定されるわけではない。
<Transparent second electrode>
Next, the transparent second electrode 106 is formed. The material and forming method of the transparent second electrode 106 are the same as those of the transparent first electrode 102. However, when the transparent second electrode 106 is a cathode, the work function is high in the efficiency of electron injection into the organic light emitting layer 113. Use a low substance.
Specifically, a single metal such as Mg, Al, or Yb is used, or a compound such as Li, oxidized Li, or LiF is sandwiched by about 1 nm at the interface contacting the light emitting medium layer, and Al or Cu having high stability and conductivity is placed. You may use it, laminating | stacking. Alternatively, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, and Yb having a low work function and stable Ag, Al An alloy system with a metal element such as Cu or Cu may be used. Specifically, an alloy such as MgAg, AlLi, or CuLi can be used, but any of them needs to be a very thin film of 10 nm or less in order to obtain transparency. A transparent conductive film such as a metal composite oxide such as ITO (indium tin composite oxide), IZO (indium zinc composite oxide), or AZO (zinc aluminum composite oxide) can be used. As the forming method, depending on the material, dry film forming methods such as resistance heating evaporation method, electron beam evaporation method, reactive evaporation method, ion plating method, sputtering method, ink jet printing method, gravure printing method, screen printing, etc. Existing film forming methods such as a wet film forming method such as a nozzle coating method can be used, but the present invention is not limited to these.

有機ELディスプレイパネルとしては電極間に発光材料を挟み、電流を流すことで発光させることが可能であるが、有機発光材料は大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため通常は外部と遮断するための保護層108や封止体109を設ける。   As an organic EL display panel, it is possible to emit light by sandwiching a light emitting material between electrodes and passing an electric current. However, since an organic light emitting material is easily degraded by moisture and oxygen in the atmosphere, A protective layer 108 and a sealing body 109 for blocking are provided.

<保護層>
保護層108としては、大気中の水分や酸素に対する浸透率が低いなどバリア性が高く、透過率が大きく透明性の高い材料であれば任意であるが、炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)が好まい。特に、前記保護層中の炭素量は連続的に変化している膜を用いる。炭素量を変化させることにより、炭素含有量の多い膜は柔らかく、カバレッジおよび密着性に優れた膜となり、炭素含有量の少ない膜は密度が高くバリア性の高い膜となる。炭素の量はS iを1としたときに炭素の量の比が1.0未満であることが望ましい。これは炭素量が1.0以上となると膜が着色したり、脆くなることがあるためである。好ましくは、この組成が変化する層が複数回繰り返すほうがよい。複数回繰り返すことによって1層のみでは覆うことのできなかった突起をカバーすることができ、また、1層目で発生したクラックを緩和する効果が期待され、よりバリア性の高い膜となる。
<Protective layer>
The protective layer 108 may be any material as long as it has a high barrier property such as low permeability to moisture and oxygen in the atmosphere, and has a high transmittance and high transparency, but carbon-containing silicon nitride (SiNxCy) is preferred. . In particular, a film in which the carbon content in the protective layer continuously changes is used. By changing the amount of carbon, a film with a high carbon content is soft and becomes a film with excellent coverage and adhesion, and a film with a low carbon content is a film with high density and high barrier properties. The amount of carbon is preferably such that the ratio of the amounts of carbon is less than 1.0 when Si is 1. This is because if the carbon content is 1.0 or more, the film may be colored or become brittle. It is preferable that the layer in which the composition changes is repeated a plurality of times. By repeating a plurality of times, it is possible to cover protrusions that could not be covered by only one layer, and to reduce the cracks generated in the first layer, so that a film having higher barrier properties can be obtained.

本発明の好適な形態においては、保護層108を構成する炭素含有窒化シリコン(SiNxCy)に含まれる窒素及び炭素の量が、1.0≦x≦1.4、0.2≦y≦0.4の範囲である層と0.4≦x<1.0、0.4<y<1.0の範囲である層とを備えていることが好ましい。
この形態によって、応力緩和性、基板表面への付着性、および良好なガスバリア特性を
両立することができるとともに、素子の保護特性を向上させることができる。
In a preferred embodiment of the present invention, the amounts of nitrogen and carbon contained in the carbon-containing silicon nitride (SiNxCy) constituting the protective layer 108 are 1.0 ≦ x ≦ 1.4, 0.2 ≦ y ≦ 0. 4 and a layer in a range of 0.4 ≦ x <1.0 and 0.4 <y <1.0 are preferably provided.
With this configuration, it is possible to achieve both stress relaxation, adhesion to the substrate surface, and good gas barrier characteristics, and to improve the protection characteristics of the element.

この炭素含有窒化シリコン(SiNxCy) を製膜する際には、プラズマCVD法を用いる。プラズマCVD法においては製膜種が発生する反応はすべて気相中で行われるため、基板表面で反応を起こす必要がなく、低温製膜に最も適している製膜法である。
保護層108中の炭素量を連続的に変化させる方法の一例としては、有機シリコン化合物と、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素とを原料ガスとし、プラズマCVD法を行う方法が挙げられる。例えば印加する電力を強くすることにより膜中の炭素量を減らすことができる。
また、シランと、アンモニア、窒素のいずれか一方または両方と、水素と、炭素含有ガスとを原料ガスとし、当該炭素含有ガスの濃度を変化させながらプラズマCVD法を行う方法が挙げられる。この場合、炭素含有ガスの流量を製膜中に変化させることにより組成を制御することができる。その他、製膜基板温度、ガス圧力などのパラメータにより適宜調整することが望ましい。
When the carbon-containing silicon nitride (SiNxCy) 2 is formed, a plasma CVD method is used. In the plasma CVD method, all reactions that generate film-forming species are performed in the gas phase, so that it is not necessary to cause a reaction on the substrate surface, and is the most suitable film-forming method for low-temperature film formation.
As an example of a method for continuously changing the amount of carbon in the protective layer 108, there is a method in which a plasma CVD method is performed using an organic silicon compound, one or both of ammonia and nitrogen, and hydrogen as source gases. It is done. For example, the amount of carbon in the film can be reduced by increasing the applied power.
Further, there is a method in which one of or both of silane, ammonia and nitrogen, hydrogen, and a carbon-containing gas is used as a raw material gas, and a plasma CVD method is performed while changing the concentration of the carbon-containing gas. In this case, the composition can be controlled by changing the flow rate of the carbon-containing gas during film formation. In addition, it is desirable to adjust appropriately according to parameters such as the film forming substrate temperature and gas pressure.

上述の有機シリコン化合物としては例えば、トリスジメチルアミノシラン(TDMAS)、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)、テトラメチルジシラザン(TMDS)などが挙げられる。また、上述の炭素含有ガスとしては、メタン、エチレン、プロペンなどが挙げられる。
保護層108のそれぞれの層の厚さは特に限定するものではないが、100-500nm程度であることが望ましく、全体では1000nm程度に収まるほうがよい。この範囲であれば膜自身のピンホールなどの欠陥を補填することが可能と酸素や水分の浸入に対するバリア性が大きく向上する。さらには短時間で製膜でき、かつ有機発光層113からの光取り出しを妨げなくなる。また、炭素含有量は陰極103側で多く、陰極103から離れるに従って少なく変化させるようにすると、より密着性、被覆性の向上が期待される。
Examples of the organic silicon compound include trisdimethylaminosilane (TDMAS), hexamethyldisilazane (HMDS), hexamethyldisiloxane (HMDSO), and tetramethyldisilazane (TMDS). Examples of the carbon-containing gas include methane, ethylene, propene and the like.
The thickness of each layer of the protective layer 108 is not particularly limited, but is preferably about 100 to 500 nm, and the whole should be about 1000 nm. Within this range, defects such as pinholes in the film itself can be compensated, and the barrier property against intrusion of oxygen and moisture is greatly improved. Furthermore, the film can be formed in a short time, and the light extraction from the organic light emitting layer 113 is not hindered. Further, if the carbon content is large on the cathode 103 side and is changed less as the distance from the cathode 103 increases, it is expected that the adhesion and covering properties are further improved.

<封止体>
次に上述した保護層108の上に封止体109を貼り合わせる。封止体109を貼り合わせることによって、さらにバリア性が向上するだけでなく、上述した保護層108のみでは持ち得ない機械的なダメージに対する耐性を持つことができる。また、例えば封止体109上に樹脂層を設けることもできる。
<Sealing body>
Next, the sealing body 109 is attached to the protective layer 108 described above. By sticking the sealing body 109, not only the barrier property is further improved, but also resistance to mechanical damage that cannot be obtained only by the protective layer 108 described above can be obtained. For example, a resin layer can be provided over the sealing body 109.

封止体109としては、水分や酸素の透過性が低い基材である必要がある。また、材料の一例として、アルミナ、窒化ケイ素、窒化ホウ素等のセラミックス、無アルカリガラス、アルカリガラス等のガラス、石英、耐湿性フィルムなどを挙げることができる。耐湿性フィルムの例として、プラスチック基材の両面にSiOxをCVD法で形成したフィルムや、透過性の小さいフィルムと吸水性のあるフィルムまたは吸水剤を塗布した重合体フィルムなどがあり、耐湿性フィルムの水蒸気透過率は、10−6g/m/day以下であることが好ましい。 The sealing body 109 needs to be a base material having low moisture and oxygen permeability. Examples of the material include ceramics such as alumina, silicon nitride, and boron nitride, glass such as alkali-free glass and alkali glass, quartz, and moisture resistant film. Examples of moisture-resistant films include films formed by CVD of SiOx on both sides of plastic substrates, films with low permeability and water-absorbing films, or polymer films coated with a water-absorbing agent. The water vapor transmission rate is preferably 10 −6 g / m 2 / day or less.

封止体109を貼り合わせる際には、封止体109側に一様に接着剤を塗布してもよいし、周囲を囲むようにして塗布してもよい。またシート状に形成した接着層を熱転写する方法をとってもよい。接着層の材料としてはエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン樹脂などからなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、2液硬化型接着性樹脂や、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの酸変性物からなる熱可塑性接着性樹脂などを単層もしくは積層して用いることができる。特に、耐湿性、耐水性に優れ、硬化時の収縮が少ないエポキシ系熱硬化型接着性樹脂を用いることが望ましい。また、接着層の光透過を妨げない程度に接着層内部の含有水分を除去するために、酸化バリウムや酸化カルシウムなどの乾燥剤を混入したり、接着層の厚みをコントロールするために数% 程度の無機フィラーを混入してもよい。   When the sealing body 109 is bonded, an adhesive may be uniformly applied to the sealing body 109 side, or may be applied so as to surround the periphery. Alternatively, a method of thermally transferring the adhesive layer formed in a sheet shape may be used. The adhesive layer is made of epoxy resin, acrylic resin, silicone resin, photo-curing adhesive resin, thermosetting adhesive resin, two-part curable adhesive resin, and acid-modified products such as polyethylene and polypropylene. A thermoplastic adhesive resin made of, for example, can be used as a single layer or laminated. In particular, it is desirable to use an epoxy thermosetting adhesive resin that is excellent in moisture resistance and water resistance and has little shrinkage upon curing. In addition, in order to remove moisture contained in the adhesive layer to the extent that it does not interfere with the light transmission of the adhesive layer, a desiccant such as barium oxide or calcium oxide is mixed in, or a few percent to control the thickness of the adhesive layer. Inorganic fillers may be mixed.

こうして作製した接着剤付封止体109で貼り合わせ、それぞれ硬化の処理を行う。この一連の保護層形成プロセスは窒素雰囲気下で行うことが望ましいが、保護層108が作製された後であれば短時間ならば大気下においても大きな影響はない。   Bonding is performed with the sealing body 109 with the adhesive thus prepared, and curing processing is performed for each. Although this series of protective layer forming processes is desirably performed in a nitrogen atmosphere, there is no significant effect even in the air for a short time after the protective layer 108 is formed.

封止体109上の樹脂層の材料の一例として、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン樹脂などからなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、2液硬化型接着性樹脂や、エチレンエチルアクリレート(EEA)ポリマー等のアクリル系樹脂、エチレンビニルアセテート(EVA)等のビニル系樹脂、ポリアミド、合成ゴム等の熱可塑性樹脂や、ポリエチレンやポリプロピレンの酸変性物などの熱可塑性接着性樹脂を挙げることができる。樹脂層を封止体109の上に形成する方法の一例として、溶剤溶液法、押出ラミ法、溶融・ホットメルト法、カレンダー法、ノズル塗布法、スクリーン印刷法、真空ラミネート法、熱ロールラミネート法などを挙げることができる。必要に応じて吸湿性や吸酸素性を有する材料を含有させることもできる。封止体上に形成する樹脂層の厚みは、封止する有機ELディスプレイパネルの大きさや形状により任意に決定されるが、5〜500μm程度が望ましい。なお、ここでは封止体109上に樹脂層として形成したが直接有機ELディスプレイパネル側に形成することもできる。   As an example of the material of the resin layer on the sealing body 109, a photocurable adhesive resin, a thermosetting adhesive resin, a two-component curable adhesive resin made of an epoxy resin, an acrylic resin, a silicone resin, or the like, Acrylic resins such as ethylene ethyl acrylate (EEA) polymer, vinyl resins such as ethylene vinyl acetate (EVA), thermoplastic resins such as polyamide and synthetic rubber, and thermoplastic adhesive resins such as acid-modified products of polyethylene and polypropylene Can be mentioned. As an example of a method for forming a resin layer on the sealing body 109, a solvent solution method, an extrusion lamination method, a melting / hot melt method, a calendar method, a nozzle coating method, a screen printing method, a vacuum laminating method, a hot roll laminating method And so on. A material having a hygroscopic property or an oxygen absorbing property may be contained as necessary. Although the thickness of the resin layer formed on a sealing body is arbitrarily determined by the magnitude | size and shape of the organic electroluminescent display panel to seal, about 5-500 micrometers is desirable. Although the resin layer is formed on the sealing body 109 here, it can be formed directly on the organic EL display panel side.

[実施例1]
以下、本発明の実施例について説明する。
なお、図5に実施例1〜4、比較例におけるギャップ、露光量、現像時間、隔壁高さL、隔壁103の角度Θ1の数値を示す。
透明基板として、日本電気硝子社製無アルカリガラスOA−10を用意した。基板のサイズは200mm×200mmでその中に対角5インチ、中央にディスプレイ表示部が配置される。
[Example 1]
Examples of the present invention will be described below.
5 shows numerical values of the gap, the exposure amount, the development time, the partition wall height L, and the angle Θ1 of the partition wall 103 in Examples 1 to 4 and the comparative example.
Non-alkali glass OA-10 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. was prepared as a transparent substrate. The size of the substrate is 200 mm × 200 mm, in which 5 inches diagonal is arranged, and a display display unit is arranged in the center.

この基板を、ITO(インジウム錫酸化物)が設置されているスパッタリング成膜装置に設置し、厚み50nmになるようITOを全面に形成する。   This substrate is placed in a sputtering film forming apparatus in which ITO (indium tin oxide) is placed, and ITO is formed on the entire surface so as to have a thickness of 50 nm.

次に、日本応化製TFR790PLポジ型レジストをスピンコーターにて基板全面に厚み2μmで形成した後、フォトリソグラフィーによって陽極、陽極取り出し配線を残し、塩化第二鉄水溶液にてウエットエッチングし、陽極、陽極取り出し配線を形成した。   Next, a TFR790PL positive resist made by Nippon Ohka Co., Ltd. was formed on the entire surface of the substrate with a spin coater to a thickness of 2 μm, and then the anode and anode lead-out wiring were left by photolithography, and wet etching was performed with an aqueous ferric chloride solution. A lead-out wiring was formed.

次に、フォトリソグラフィーによって隔壁を形成し、画素領域と陽極コンタクト部を区画する。
陽極、陽極取り出し配線を形成したガラス基板上にアクリル系ポジ型感光性材料を全面に厚み1μmで形成した。
次に、全面に塗布した感光性材料に対し、フォトマスクを用いてギャップ100μm、露光量200mJで露光を行った。その後、現像液に40s浸し、露光部を除去してから、ポストベークを行った。
形成された隔壁の高さは1μm、画素領域aと隔壁端部との角度Θ1は30°、画素領域aと平行な面に対して隔壁表面の角度Θ2は常にΘ2<Θ1であった。
Next, partition walls are formed by photolithography to partition the pixel region and the anode contact portion.
An acrylic positive photosensitive material with a thickness of 1 μm was formed on the entire surface of the glass substrate on which the anode and anode lead-out wiring were formed.
Next, the photosensitive material applied on the entire surface was exposed using a photomask with a gap of 100 μm and an exposure amount of 200 mJ. Thereafter, the film was immersed in a developing solution for 40 s to remove the exposed portion, and then post-baked.
The height of the formed partition wall was 1 μm, the angle Θ1 between the pixel region a and the end of the partition wall was 30 °, and the angle Θ2 of the partition wall surface with respect to the plane parallel to the pixel region a was always Θ2 <Θ1.

その後、正孔注入材料であるポリフルオレン誘導体を濃度1.0%になるようにアニソールに溶解させたインキを用い、この基板を印刷機にセッティングし、隔壁に挟まれた画素部の真上にそのラインパターンに合わせて凸版印刷法で印刷を行った。このとき300線/インチのアニロックスロールおよび感光性樹脂版を使用した。印刷、乾燥後の正孔注入層の膜厚は40nmとなった。   After that, using an ink in which a polyfluorene derivative, which is a hole injection material, is dissolved in anisole so as to have a concentration of 1.0%, this substrate is set in a printing machine and directly above a pixel portion sandwiched between partition walls. Printing was performed by letterpress printing according to the line pattern. At this time, an anilox roll of 300 lines / inch and a photosensitive resin plate were used. The thickness of the hole injection layer after printing and drying was 40 nm.

その後、インターレイヤー材料であるポリビニルカルバゾール誘導体を濃度0.5%になるようにトルエンに溶解させたインキを用いこの基板を印刷機にセッティングし、絶縁層に挟まれた画素電極の真上にそのラインパターンに合わせて凸版印刷法で印刷を行った。このとき300線/インチのアニロックスロールおよび感光性樹脂版を使用した。印刷、乾燥後のインターレイヤーの膜厚は20nmとなった。   After that, this substrate was set in a printing machine using an ink in which polyvinylcarbazole derivative as an interlayer material was dissolved in toluene so as to have a concentration of 0.5%, and the substrate was directly above the pixel electrode sandwiched between insulating layers. Printing was performed by letterpress printing according to the line pattern. At this time, an anilox roll of 300 lines / inch and a photosensitive resin plate were used. The film thickness of the interlayer after printing and drying was 20 nm.

次に、有機発光材料であるポリフェニレンビニレン誘導体を濃度1%になるようにトルエンに溶解させた有機発光インキを用い、この基板を印刷機にセッティングし、絶縁層に挟まれた画素電極の真上にそのラインパターンに合わせて有機発光層を凸版印刷法で印刷を行った。このとき150線/インチのアニロックスロールおよびピクセルのピッチに対応する感光性樹脂版を使用した。印刷、乾燥後の有機発光層の膜厚は80nmとなった。この工程を計3回繰り返し、R(赤)、Y(黄)、G(緑)、B(青)、W(白)の発光色に対応する有機発光層を各画素に形成した。   Next, using organic light-emitting ink in which polyphenylene vinylene derivative, which is an organic light-emitting material, is dissolved in toluene to a concentration of 1%, this substrate is set in a printing machine and directly above the pixel electrode sandwiched between insulating layers. The organic light emitting layer was printed by a relief printing method according to the line pattern. At this time, an anilox roll of 150 lines / inch and a photosensitive resin plate corresponding to the pixel pitch were used. The thickness of the organic light emitting layer after printing and drying was 80 nm. This process was repeated three times in total to form an organic light emitting layer corresponding to the emission colors of R (red), Y (yellow), G (green), B (blue), and W (white) in each pixel.

その後、表示部全体を覆うように電子注入層として真空蒸着法とシャドウマスクを用いてBaを厚み4nm成膜した。   Thereafter, a 4 nm-thick Ba film was formed using a vacuum deposition method and a shadow mask as an electron injection layer so as to cover the entire display portion.

その後、陰極として対向ターゲットスパッタ(FTS)でメタルマスクを用いて、ITOを100nm、パターン成膜した。   Thereafter, ITO was patterned to a thickness of 100 nm using a metal mask by facing target sputtering (FTS) as a cathode.

その後、保護層SiNxCyを形成した。保護層はプラズマCVD法により、原料ガスとしてはメタン、モノシラン、窒素ガス、水素ガスを用いて組成傾斜のある炭素含有窒化シリコン膜を作製した。具体的には、素子を窒素下にて搬送した後プラズマCVD装置に移し、真空槽を10^−2 P a以下まで減圧した後、原料ガスとしてシラン、窒素、メタン、水素を導入し、高周波(13.56MHz)でプラズマを発生させた。堆積時間の変化とともにメタンガスの流量を減らし組成に傾斜を設け、一度メタンガスの流量をゼロとした後また初期の量を導入し層構造を形成した。膜厚は上記の層一層当たり300nmであり、これを3回繰り返したので保護層の厚さは900nmとなった。   Thereafter, a protective layer SiNxCy was formed. The protective layer was formed by a plasma CVD method, and a carbon-containing silicon nitride film having a composition gradient using methane, monosilane, nitrogen gas, and hydrogen gas as source gases. Specifically, the device was transferred under nitrogen, then transferred to a plasma CVD apparatus, the vacuum chamber was depressurized to 10 ^ -2 Pa or less, silane, nitrogen, methane, hydrogen were introduced as source gases, and high frequency Plasma was generated at (13.56 MHz). As the deposition time changed, the flow rate of methane gas was reduced and the composition was inclined. Once the flow rate of methane gas was reduced to zero, the initial amount was introduced again to form a layer structure. The film thickness was 300 nm per layer, and this was repeated three times, so that the thickness of the protective layer was 900 nm.

その後、上記保護膜の上に封止体としてダイコーターによって熱硬化性樹脂を全面に塗布した封止ガラス基板を、100℃ の温度をかけながら熱ロールラミネーターを用いて素子基板と貼り合わせた。貼り合わせた後に、さらに100℃で1時間硬化した。   Then, the sealing glass substrate which apply | coated the thermosetting resin to the whole surface by the die-coater as a sealing body on the said protective film was bonded together with the element substrate using the hot roll laminator, applying the temperature of 100 degreeC. After pasting, it was further cured at 100 ° C. for 1 hour.

こうして得られた有機ELディスプレイパネルは良好な発光特性が得られ、駆動も正常であった。   The organic EL display panel thus obtained had good light emission characteristics and was driven normally.

また、非発光時の表示領域のうち各ポイントを大塚電子社製、顕微分光透過率測定装置にて測定した結果、画素領域における可視光透過率は75%、隔壁と陽極の境目はぼやけて目立たず良好であった。   In addition, as a result of measuring each point in the display area at the time of non-light emission using a microscopic transmittance measuring apparatus manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd., the visible light transmittance in the pixel area is 75%, and the boundary between the partition wall and the anode is blurred and conspicuous It was good.

[実施例2]
実施例2においては隔壁となるアクリル系ポジ型感光性材料を表示領域全面に膜厚1μmで形成し、露光条件を、フォトマスクとのギャップ100μm、露光量400mJで行った。その後、現像液に20s浸し、露光部を除去してから、ポストベークを行った。
形成された隔壁の高さは1μm、画素領域aと隔壁端部との角度Θ1は30°、画素領域aと平行な面に対して隔壁表面の角度Θ2は常にΘ2<Θ1であった。
その他の条件は実施例1と同様である。得られた有機ELディスプレイパネルは良好な発光特性が得られ、駆動も正常であった。
[Example 2]
In Example 2, an acrylic positive photosensitive material serving as a partition wall was formed on the entire display region with a film thickness of 1 μm, and the exposure conditions were a gap of 100 μm with a photomask and an exposure amount of 400 mJ. Thereafter, it was immersed in a developer for 20 s to remove the exposed portion, and then post-baked.
The height of the formed partition wall was 1 μm, the angle Θ1 between the pixel region a and the end of the partition wall was 30 °, and the angle Θ2 of the partition wall surface with respect to the plane parallel to the pixel region a was always Θ2 <Θ1.
Other conditions are the same as in the first embodiment. The obtained organic EL display panel had good light emission characteristics and was driven normally.

また、実施例1と同様の方法で非発光時の透過率を測定した結果、画素領域における可視光透過率は75%、隔壁と陽極表面の境目はぼやけて目立たず良好であった。   Further, as a result of measuring the transmittance at the time of non-light emission by the same method as in Example 1, the visible light transmittance in the pixel region was 75%, and the boundary between the partition wall and the anode surface was blurred and was not outstanding.

[実施例3]
実施例3においては隔壁となるアクリル系ポジ型感光性材料を表示領域全面に膜厚1μmで形成し、露光条件を、フォトマスクとのギャップ150μm、露光量400mJで行った。その後、現像液に40s浸し、露光部を除去してから、ポストベークを行った。
形成された隔壁の高さは1μm、画素領域aと隔壁端部との角度Θ1は20°、画素領域aと平行な面に対して隔壁表面の角度Θ2は常にΘ2<Θ1であった。
であった。
その他の条件は実施例1と同様である。得られた有機ELディスプレイパネルは良好な発光特性が得られ、駆動も正常であった。
また、実施例1と同様の方法で非発光時の透過率を測定した結果、画素領域における可視光透過率は70%、隔壁と陽極表面の境目はぼやけて目立たず良好であった。
[Example 3]
In Example 3, an acrylic positive photosensitive material serving as a partition wall was formed on the entire display region with a film thickness of 1 μm, and the exposure conditions were a gap of 150 μm with a photomask and an exposure amount of 400 mJ. Thereafter, the film was immersed in a developing solution for 40 s to remove the exposed portion, and then post-baked.
The height of the partition formed was 1 μm, the angle Θ1 between the pixel region a and the end of the partition was 20 °, and the angle Θ2 of the partition surface with respect to the plane parallel to the pixel region a was always Θ2 <Θ1.
Met.
Other conditions are the same as in the first embodiment. The obtained organic EL display panel had good light emission characteristics and was driven normally.
Further, as a result of measuring the transmittance at the time of non-light emission by the same method as in Example 1, the visible light transmittance in the pixel region was 70%, and the boundary between the partition wall and the anode surface was blurred and was not outstanding.

[実施例4]
実施例4においては隔壁となるアクリル系ポジ型感光性材料を表示領域全面に膜厚0.5μmで形成し、露光条件を、フォトマスクとのギャップ100μm、露光量100mJで行った。その後、現像液に20s浸し、露光部を除去してから、ポストベークを行った。
形成された隔壁の高さは0.5μm、画素領域aと隔壁端部との角度Θ1は20°、画素領域aと平行な面に対して隔壁表面の角度Θ2は常にΘ2<Θ1であった。
その他の条件は実施例1と同様である。得られた有機ELディスプレイパネルは良好な発光特性が得られ、駆動も正常であった。
また、実施例1と同様の方法で非発光時の透過率を測定した結果、画素領域における可視光透過率は80%、隔壁と陽極表面の境目はぼやけて目立たず良好であった。
[Example 4]
In Example 4, an acrylic positive photosensitive material serving as a partition wall was formed on the entire display region with a film thickness of 0.5 μm, and the exposure conditions were a gap of 100 μm with a photomask and an exposure amount of 100 mJ. Thereafter, it was immersed in a developer for 20 s to remove the exposed portion, and then post-baked.
The height of the partition wall formed was 0.5 μm, the angle Θ1 between the pixel region a and the partition wall edge was 20 °, and the angle Θ2 of the partition wall surface with respect to the plane parallel to the pixel region a was always Θ2 <Θ1. .
Other conditions are the same as in the first embodiment. The obtained organic EL display panel had good light emission characteristics and was driven normally.
Further, as a result of measuring the transmittance at the time of non-light emission by the same method as in Example 1, the visible light transmittance in the pixel region was 80%, and the boundary between the partition wall and the anode surface was blurry and unnoticeable.

[比較例1]
比較例1においては隔壁形成の露光条件を、フォトマスクとのギャップ100μm、露光量400mJで行った。その後、現像液に40s浸し、露光部を除去してから、ポストベークを行った。
形成された隔壁の高さは1μm、画素領域aと隔壁端部との角度Θ1は60°、画素領域aと平行な面に対して隔壁表面の角度Θ2は常にΘ2<Θ1であった。
であった。
その他の条件は実施例1と同様である。得られた有機ELディスプレイパネルは良好な発光特性が得られ、駆動も正常であった。
しかし、実施例1と同様の方法で非発光時の透過率を測定した結果、画素領域における可視光の透過率は70%であったが、隔壁と陽極表面の境目がくっきりと見え、透明性が悪かった。
[Comparative Example 1]
In Comparative Example 1, the exposure conditions for forming the partition walls were a gap of 100 μm from the photomask and an exposure amount of 400 mJ. Thereafter, the film was immersed in a developing solution for 40 s to remove the exposed portion, and then post-baked.
The height of the formed partition wall was 1 μm, the angle Θ1 between the pixel region a and the partition wall edge was 60 °, and the angle Θ2 of the partition wall surface with respect to the plane parallel to the pixel region a was always Θ2 <Θ1.
Met.
Other conditions are the same as in the first embodiment. The obtained organic EL display panel had good light emission characteristics and was driven normally.
However, the transmittance at the time of non-light emission was measured in the same manner as in Example 1. As a result, the visible light transmittance in the pixel region was 70%, but the boundary between the partition wall and the anode surface was clearly visible, and the transparency was high. Was bad.

101:透明基板
102:透明第一電極(陽極)
103:隔壁
103A:側面
104:陽極取り出し用基板配線
105:透明第二電極(陰極)
106:陰極取り出し用基板配線
108:保護層
109:封止体
110:有機発光媒体層
111:正孔注入層
112:インターレイヤー
113:有機発光層
114:電子注入層
a:画素領域
b:表示領域
600:凸版印刷装置
601:ステージ
602:被印刷基板
603:インキタンク
604:インキチャンバー
605:アニロックスロール
606:ドクタ
607:凸版
608:版胴
609:インキ層
101: Transparent substrate 102: Transparent first electrode (anode)
103: partition wall 103A: side surface 104: substrate wiring for extracting anode 105: transparent second electrode (cathode)
106: Substrate wiring for taking out cathode 108: Protective layer 109: Sealing body 110: Organic light emitting medium layer 111: Hole injection layer
112: Interlayer 113: Organic light emitting layer 114: Electron injection layer a: Pixel area b: Display area 600: Letterpress printing device 601: Stage 602: Printed substrate 603: Ink tank 604: Ink chamber 605: Anilox roll 606: Doctor 607: Letterpress 608: Plate cylinder 609: Ink layer

Claims (3)

透明基板上に形成された透明第一電極と、
前記透明基板とは反対側の前記透明第一電極の上面に形成されることで画素領域aを区画する隔壁と、
前記画素領域aに対応する前記透明第一電極の上面に形成され少なくとも有機発光層を含む発光媒体層と、
前記透明第一電極とは反対側の前記発光媒体層の上面に形成された透明第二電極と、
を具備する透明有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネルであって、
前記隔壁は、前記画素領域側に位置する側面を有し、
前記透明第一電極の上面に接触する前記側面の端部と前記透明第一電極の上面とがなす角度Θ1が2°以上45°以下であり、且つ、前記透明第一電極の上面から離れた箇所で前記透明第一電極の上面と平行な面に対して前記側面がなす角度Θ2が常にΘ2<Θ1であることを特徴とする透明有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネル。
A transparent first electrode formed on a transparent substrate;
A partition wall that partitions the pixel region a by being formed on the upper surface of the transparent first electrode opposite to the transparent substrate;
A light emitting medium layer formed on the upper surface of the transparent first electrode corresponding to the pixel region a and including at least an organic light emitting layer;
A transparent second electrode formed on the upper surface of the light emitting medium layer opposite to the transparent first electrode;
A transparent organic electroluminescence display panel comprising:
The partition has a side surface located on the pixel region side,
An angle Θ1 formed by an end of the side surface that contacts the upper surface of the transparent first electrode and the upper surface of the transparent first electrode is 2 ° or more and 45 ° or less, and is separated from the upper surface of the transparent first electrode. The transparent organic electroluminescence display panel, wherein an angle Θ2 formed by the side surface with respect to a plane parallel to the top surface of the transparent first electrode is always Θ2 <Θ1.
前記隔壁の高さhが0.2μm以上2μm以下であることを特徴とする、請求項1に記載の透明有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネル。   The transparent organic electroluminescence display panel according to claim 1, wherein a height h of the partition wall is 0.2 μm or more and 2 μm or less. 前記透明有機ELディスプレイの表示領域bの可視光透過率が60%以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の透明有機エレクトロルミネセンスディスプレイパネル。   The transparent organic electroluminescence display panel according to claim 1, wherein the visible light transmittance of the display region b of the transparent organic EL display is 60% or more.
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