JP2016125618A

JP2016125618A - 真空バルブ

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Publication number: JP2016125618A
Application number: JP2015001442A
Authority: JP
Inventors: 竜大田口; Tatsuhiro Taguchi
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2015-01-07
Filing date: 2015-01-07
Publication date: 2016-07-11
Anticipated expiration: 2035-01-07
Also published as: US20160195191A1; CN105757272A; CN105757272B; US9689507B2; JP6500445B2

Abstract

【課題】バルブプレートが開口を開放し始める期間において、バルブプレートの形状を変化させずに、バルブプレートの開き角に対して開放面積を緩やかに変化させることができる真空バルブの提供。【解決手段】真空バルブ１は、バルブ開口４５の縁の一部は、外側に凸のくさび形状のくさび縁部Ｄ１である。くさび縁部Ｄ１は、バルブプレート８を移動させてバルブ開口４５を開放させる際に、バルブプレート８がバルブ開口４５を開放し始める領域に設けられている。【選択図】図１２

Description

本発明は、真空バルブに関する。

真空処理装置の真空チャンバにターボ分子ポンプなどの真空ポンプを装着する場合には、一般的に真空バルブを介在させる。

真空バルブは開口部とバルブプレートとを備えるものがある。このような真空バルブでは、バルブプレートの開度を変化させ、開口部がバルブプレートと対向せずに解放されている領域（開放領域）の面積（開放面積）を変化させることで、真空バルブのコンダクタンスを変化させ、真空チャンバ内の圧力コントロールに用いられることがある。

真空バルブの中には、開口部の断面形状が円となっているものが一般的で、また、そのような真空バルブのバルブプレートの縁部の形状は、円弧になっているのが一般的である。このような形状を有する開口部とバルブプレートとの組み合わせでは、特に、バルブプレートが開き始めるところで、バルブプレートの開度に対する開放面積の変化が大きいという問題が生じる。

特許文献１には、縁端部の一部を内側にオフセットさせるか又は外側に突出させるかした輪郭を有するバルブプレートが開示され、それにより流量制御性を改善している。

特開平９−２１０２２２号公報

しかし、特許文献１に記載の発明では、当該輪郭を設けるために、他の縁端部の外周方向の厚みを大きくする必要があり、結果としてバルブプレートが大型化されてしまう。バルブプレートの大型化は、重量増加を招き、バルブプレートの高速動作の弊害となる。

本発明の好ましい態様による真空バルブは、バルブ開口と、バルブ開口を開閉するバルブプレートと、を備える真空バルブであって、バルブ開口の縁の一部は、外側に凸のくさび形状のくさび縁部であり、くさび縁部は、バルブプレートを移動させてバルブ開口を開放させる際に、バルブプレートがバルブ開口を開放し始める領域に設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、バルブプレートが開口を開放し始める期間において、バルブプレートの形状を変化させずに、バルブプレートの開度に対して開放面積を緩やかに変化させることができる。

本発明の一実施形態による真空バルブの斜視図。封止体の動作について示した図。バルブ本体の概略断面図であって、開放領域を示した図。バルブ開口の形状について示した図。バルブ開口のくさび縁部の形状の設定方法について示した図（その１）。バルブ開口のくさび縁部の形状の設定方法について示した図（その２）。バルブ開口のくさび縁部の形状の設定方法について示した図（その３）。バルブ開口のくさび縁部の形状の設定方法について示した図（その４）。バルブ開口のくさび縁部の形状の設定方法について示した図（その５）。全閉時におけるバルブ開口及びバルブプレートの位置関係について示した図。バルブ開口が開放され始めるときにおけるバルブ開口及びバルブプレートの位置関係を示した図。くさび縁部とバルブプレートの縁部とが交わるときのバルブ開口及びバルブプレートの位置関係について示した図。くさび縁部と接しているときのバルブ開口及びバルブプレートの位置関係について示した図。本実施形態の真空バルブと比較例の真空バルブの作用効果を比較した図。くさび縁部を着脱可能とする変形例について示した図。くさび縁部のくさび形状の変形例について示した図。

―実施形態―
図１は、本発明の一実施形態による真空バルブ１の外観を示す斜視図である。
真空バルブ１は、バルブ本体２と駆動部１０とを備えている。バルブ本体２は、フランジ３と、フランジ面６（図２参照）と圧縮空気導入口・排出口９とが形成された筐体４と、筐体４内においてスライド駆動されるバルブプレート８と、を備えている。真空処理装置の真空チャンバにフランジ３が固定され、フランジ面６に真空ポンプが固定される。図示は省略するが、駆動部１０には、バルブプレート８を揺動駆動するモータと、モータを駆動制御する制御部と、が設けられている。

図１に示すαは、バルブプレート８の開度αを示している。「α＝０％」は、フランジ３の開口部３１を全閉する開度αを示し、「α＝１００％」は、フランジ３の開口部３１を全開する開度αを示している。破線８ａは、全開（α＝１００％）時のバルブプレート８を示している。バルブプレート８は、駆動部１０のモータによって揺動駆動される。バルブプレート８の開度が調節されることで、真空処理装置から真空ポンプへ流れる気体の流量が調節される。

バルブ本体２は、開口部３１、４１を有している。なお、図１には示していないが、本実施形態では、開口部４１にくさび形状のくさび縁部Ｄ１が設けられている。くさび縁部Ｄ１については、図３以降の説明箇所で説明する。

図２は、図１のＩ−Ｉ断面図である。ただし、図１と異なり、バルブプレート８を全閉（α＝０％）とした時のものを示している。

フランジ３は、シール面３Ａと、開口部３１とを有している。筐体４は、圧縮空気導入口・排出口９と、通気口４２、開口部４１と、フランジ面６とを有している。フランジ３と筐体４とは、不図示のボルトにより締結されている。

開口部３１と開口部４１は互いに対向している。バルブプレート８は、開口部３１と開口部４１の間に挿脱される。開口部３１側には、真空チャンバが締結され、開口部４１側に真空ポンプが締結される。

フランジ３と筐体４との間には、封止体７が収容される筒状の収容部５が形成される。
封止体７は、ピストン部７１０とシールリング７２０とから構成されている。ピストン部７１０とシールリング７２０とは、突部７１ｂと凹部７２ａで互いに係合している。

ピストン部７１０は、圧空導入路４２から送り込まれる圧縮空気（圧空）によって、図示上向きの力を受ける。また、ピストン部７１０は、圧縮ばね５０によって、図示下向きの力を受ける。圧縮空気が導入されると、封止体７は図示上方向に移動し、圧縮空気が排出されると封止体７は図示下方向に移動する。

バルブプレート８を全閉（α＝０％）にして、さらに、封止体７をバルブプレート８に当接させることで、バルブ閉状態となる。その結果、真空チャンバから真空ポンプに流れる気体の流路Ｇが遮断される。反対に、バルブプレート８から封止体が離れることでバルブ閉状態が解除され、流路Ｇが開放される。

図２に示すように、開口部４１にくさび縁部Ｄ１が設けられている。くさび縁部Ｄ１は、バルブプレート８近傍に設けられるのが好ましい。以下、開口部４１の一部であってくさび縁部Ｄ１を含む開口を有するものをバルブ開口４５と呼ぶことにする。くさび縁部Ｄ１は、開口部４１に一体的に設けられている。

図３は、バルブ本体２の断面を簡略化して示したものである。図４は、図３のＩＩ−ＩＩ断面図である。図４において、太線で示したものがバルブ開口４５である。破線で示したものが、従来の円形の開口部である。くさび縁部Ｄ１は、バルブ開口４５の縁部であって、従来の円形の縁部から外れた形状の縁部を指す。すなわち、図４において破線から離れた縁部がくさび縁部Ｄ１である。

本実施形態では、開口部４１の内周側でバルブプレート８の近傍にくさび縁部Ｄ１が設けられることで、バルブ開口４５が形成されている。バルブ開口４５がバルブプレートと対向せずに開放されている領域を開放領域Ｓと呼ぶことにする（図３参照）。また、開放領域Ｓの面積を開放面積と呼ぶことにする。

図５〜図９は、図４に示すくさび縁部Ｄ１の設定方法について説明するための図である。
図５は、バルブプレート８と、開口部６５０と、を示している。開口部６５０は、開口部４１にくさび縁部Ｄ１が設けられていないとした場合の開口部であって、円形の開口を有する開口部である。

バルブプレート８は、弁部８Ｖと、梁部８Ｈと、を有している。バルブプレート８は、梁部８Ｈに位置する回転軸８Ｃを中心に揺動することで、開口部３１と開口部４１との間を挿脱される。

開口部６５０に示した点Ａは、開口部６５０をバルブプレート８が開放する時に、バルブプレート８が最初に開放する位置を示している。すなわち、全閉時のバルブプレート８が開く方向に移動する時、点Ａの位置で最初にバルブプレート８の弁部８Ｖの縁８ＶＥを見ることができる。

図５において、バルブプレート８は、所定の開度となる位置に位置する。所定の開度は、「開口部６５０と縁８ＶＥが２点で交わること」、「開口部６５０の開き始めであること」、その他の設計方針等によって決定される。図５に示す点Ｂ，Ｃは、バルブプレート８が当該位置に位置することで、バルブプレート８の弁部８Ｖの縁８ＶＥと開口部６５０とが交わる交点を示している。なお、図６〜図９においても、バルブプレート８は、図５に示した位置に位置する。

図６は、図５に示したバルブプレート８の弁部８Ｖの縁８ＶＥに対して、点Ａから接線を引いた様子を示したものである。接線ＡＰの縁８ＶＥの接点を点Ｄとし、接線ＡＱの縁８ＶＥの接点を点Ｅとする。点Ａとは異なる、接線ＡＰの開口部６５０との交点を点Ｆとする。点Ａとは異なる、接線ＡＱの開口部６５０との交点を点Ｇとする。

図７〜図９は、くさび縁部Ｄ１の構成、および、バルブ開口４５の構成について説明したものである。
くさび縁部Ｄ１は、図７に太線で示した線分ＡＤおよび線分ＡＥを輪郭として有する。さらに、くさび縁部Ｄ１は、図８に示すように、円弧ＤＢおよび円弧ＥＣを輪郭として有する。円弧ＤＢおよび円弧ＥＣは、バルブプレート８の弁部８Ｖの縁８ＶＥに起因するものである。以上に示したように、くさび縁部Ｄ１は、線分ＡＤ、線分ＡＥ、円弧ＤＢ、および、円弧ＥＣを輪郭として有する。これによって、くさび縁部Ｄ１は、外側に凸のくさび形状を有する。上述のように、バルブプレート８がバルブ開口４５を開放する方向に移動したときに最初に開く位置に点Ａがある。本実施形態のくさび縁部Ｄ１のくさびの頂点ＤＶＥは、その点Ａに位置している。そのため、バルブプレート８が移動して開放領域Ｓが最初に生じた時に、その開放領域Ｓは、くさび縁部Ｄ１とバルブプレート８の弁部８Ｖの縁８ＶＥとで形成している（図１２等参照）。

なお、本実施形態では、くさび縁部Ｄ１は、円弧ＤＢおよび円弧ＥＣを輪郭として有するとした。このようにすると、開放領域Ｓを１つに保つことができる。しかし、それ以外の設け方をしてもよい。例えば、円弧ＤＢの代わりに線分ＤＦと円弧ＦＢとを採用し、円弧ＥＣの代わりに線分ＥＧと円弧ＧＣとを採用するようにしてもよい。このようにすると、図８で理解されるように、点Ａ，Ｄ，Ｅを頂点とする開放領域Ｓの他に、点Ｄ，Ｆ，Ｂを頂点とする開放領域、および、点Ｅ，Ｇ，Ｃを頂点とする開放領域も生じる。

図９に太線で示した領域は、バルブ開口４５を示している。上述のように、くさび縁部Ｄ１は、線分ＡＤ、線分ＡＥ、円弧ＤＢ、および、円弧ＥＣを輪郭として有する。開放領域Ｓは、上記のくさび縁部Ｄ１の他に、図９に太線で示された開口部６５０に起因する円弧ＢＣを輪郭として有して、図９に太線で示された閉じた領域を形成する。以上のようにして、バルブ開口４５が設定される。

ここで、バルブプレート８の開き角について説明する。本実施形態では、くさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥを開口部６５０の縁の上にある点Ａに一致させた（図８等参照）。しかし、バルブ開口４５のくさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥの設け方は点Ａに必ずしも一致させる必要ない。例えば、くさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥを開口部６５０の縁よりも内側に設けることもできる（図１６（ａ）参照）。逆に、くさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥを開口部６５０の縁よりも外側に設けることもできる（図１６（ｂ）参照）。このように、頂点ＤＶＥの位置によって、バルブ開口４５が開放され始める開度が変化する。

そこで、「開き角」という新たなパラメータを導入して、開き角がゼロ度の時に、バルブ開口４５が開放され始めるようにした。すなわち、バルブプレート８の開き角の基準角度位置（ゼロ度の位置）は、バルブ開口４５が最初に開放されるときのバルブプレート８の角度位置である。バルブプレート８の開き角は、その基準角度位置からの角度を指す。なお、バルブプレート８が開く方を、バルブプレート８の開き角の正の角度とする。

図１０〜図１３は、バルブプレート８の開き角に対する、開放領域Ｓの変化について示す図である。
図１０は、バルブプレート８が全閉（α＝０％）位置にある時の様子を示す図である。図１０に示すように、バルブ開口４５の縁の一部は、外側に凸のくさび形状のくさび縁部Ｄ１（図の太線で示した領域）となっている。図１０に示すように、全閉（α＝０％）時では、開放領域Ｓの面積（開放面積）は、ゼロである。なお、図１０に示した点Ａ〜Ｅは、図５〜図９に示した点Ａ〜Ｅに対応し、図１１以降でも同様である。

図１１は、バルブ開口４５が開放され始める時の様子を示す図である。すなわち、本実施形態において、バルブプレート８の開き角がゼロ度となる基準角度位置を示している。
上述したが、バルブ開口４５の縁の一部は、外側に凸のくさび形状のくさび縁部Ｄ１（図の太線で示した領域）となっている。
くさび縁部Ｄ１は、バルブプレート８がバルブ開口４５を開放する方向に移動する際にバルブプレート８の弁部８Ｖの縁８ＶＥが見え始める領域に、設けられている。換言すると、くさび縁部Ｄ１は、バルブプレート８を移動させてバルブ開口４５を開放させる際に、バルブプレート８がバルブ開口４５を開放し始める領域に設けられている。
さらに、くさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥは、バルブプレート８がバルブ開口４５を開放する方向に移動する際に縁８ＶＥが見え始める領域のうち、縁８ＶＥが最初に見える位置に設けられている。換言すると、くさび縁部Ｄ１のくさびの頂点ＤＶＥは、バルブプレート８の縁８ＶＥが最初にバルブ開口４５の縁と接する位置に位置する。図１１においても、開放面積は、ゼロである。

図１２は、バルブプレート８の弁部８Ｖの縁８ＶＥがくさび縁部Ｄ１の線分ＡＤ，線分ＡＥを通過する時の様子を示す図である。本実施形態では、図１２の開き角は３度である。すなわち、図１２に示すバルブプレート８は、図１１の基準角度位置から３度移動した。図１２では、開放領域Ｓ（図１２のハッチング領域）が生じている。

図１３は、バルブプレート８の弁部８Ｖの縁８ＶＥがくさび縁部Ｄ１の円弧ＤＢ、円弧ＥＣと接している時の様子を示す図である。本実施形態では、図１３の開き角は５度である。バルブプレート８の開き角が増加すると、開面積は上昇する。図１３での開放面積は、図１２での開放面積より大きい。

図１４は、本実施形態の真空バルブ１における開き角に対する開放面積の変化と、比較例の真空バルブにおける開き角に対する開放面積の変化と、を対比したものである。比較例の真空バルブは、断面が円形になっている点が、本実施形態と相違する。図１４において、開き角０°であるＰ_０は、バルブプレート８が図１１の位置にあるときを示している。開き角３°であるＰ_１は、バルブプレート８が図１２の位置にあるときを示している。開き角５°であるＰ_２は、バルブプレート８が図１３の位置にあるときを示している。
図１４に示すように、本実施形態の真空バルブ１にはくさび縁部Ｄ１が設けられているため、円弧の縁部を有する比較例の真空バルブよりも開放面積の上昇が緩やかになっていることが理解される。また、本実施形態の真空バルブ１においては、Ｐ_２よりも開き角が大きくなると（Ｐ_３参照）、開放面積の変化が大きくなることも理解される。

本実施形態の真空バルブは、以下の構成を有し、以下の作用効果を奏する。
（１）真空バルブ１は、バルブ開口４５の縁の一部は、外側に凸のくさび形状のくさび縁部Ｄ１である。くさび縁部Ｄ１は、バルブプレート８を移動させてバルブ開口４５を開放させる際に、バルブプレート８がバルブ開口４５を開放し始める領域に設けられている。
これによって、バルブプレートが開口を開放し始める期間において、バルブプレート８の形状を変化させずに、バルブプレート８の開き角に対して開放面積を緩やかに変化させることができる。また、くさび縁部Ｄ１は、バルブプレート８には設けられていないので、バルブプレート８の重量増加を招くことがない。そのため、バルブプレート８の動作速度が悪化しない。

（２）くさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥは、バルブプレート８がバルブ開口４５を開放する方向に移動する際に縁８ＶＥが見え始める領域のうち、縁８ＶＥが最初に見える位置に設けられている。換言すると、くさび縁部Ｄ１のくさびの頂点ＤＶＥは、バルブプレート８の縁８ＶＥが最初にバルブ開口４５の縁と接する位置に位置する。
これによって、バルブプレート８の開き角に対して開放面積をより緩やかに変化させることができる。

―変形例１―
図１５は、変形例１について説明した図である。変形例１では、開口部４１Ａとは別体であるくさび縁部Ｄ１が形成された部材を、開口部４１Ａに取り付けることで、バルブ開口４５を形成している。
図１５（ａ）は、くさび縁部Ｄ１が形成された部材ＢＰを示している。この部材ＢＰには、くさび縁部Ｄ１はもちろんのこと、ボルト締結するためのボルト孔Ｂ１が設けられている。この部材ＢＰを、図１５（ｂ）に示すように、開口部４１Ａに取り付ける。図１５（ｃ）は、図１５（ｂ）のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。図１５（ｂ）、図１５（ｃ）に示すように、本変形例では、ボルトＢＯＬで締結して取り付けている。くさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥを、バルブプレート８の縁８ＶＥが最初に開口部４１Ａの縁と接する位置に位置させることで、以上の実施形態と同様のバルブ開口４５を得ることができる。図１５（ｄ）は、開口部４１Ａに部材ＢＰを取り付ける様子を示したものである。開口部４１Ａのバルブプレート８側の端部には、凹部ＤＥが形成されている。凹部ＤＥの底面にはネジ穴が設けられている。この凹部ＤＥに部材ＢＰを取り付けて、ボルトＢＯＬで締結することで、くさび縁部Ｄ１を有するバルブ開口を設けることができる。また、部材ＢＰには、様々なくさび縁部Ｄ１の形状を形成することができる。そのため、本変形例のように着脱式にすることで、くさび縁部Ｄ１の形状を簡単に変更し、バルブプレート８の開き角に対する開放面積の変化の調整を簡単に行うことができる。

以下に示す変形例２〜５は、くさび縁部のくさび形状の変形例である。説明の都合上、変形例２〜５のくさび縁部の符号をそれぞれＤ２〜Ｄ５と付した。また、説明のために、円形の開口部６５０も併せて示している。

―変形例２―
図１６（ａ）は、変形例２を示す図である。以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥは開口部６５０の縁に位置していたが、変形例２のくさび縁部Ｄ２の頂点ＤＶＥは開口部６５０の内側に位置している。このように変形しても、バルブプレート８の開き角に対する開放面積の変化を緩やかにすることができる。ただし、変形例２のくさび縁部Ｄ２が縁の一部をなすバルブ開口が開放される開度は、以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１が縁の一部をなすバルブ開口４５が開放される開度より、大きくなる。

―変形例３―
図１６（ｂ）は、変形例３を示す図である。以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥは開口部６５０の縁に位置していたが、変形例３のくさび縁部Ｄ３の頂点ＤＶＥは開口部６５０の外側に位置している。このように変形しても、バルブプレート８の開き角に対する開放面積の変化を緩やかにすることができる。ただし、変形例３のくさび縁部Ｄ３が縁の一部をなすバルブ開口が開放される開度は、以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１が縁の一部をなすバルブ開口４５が開放される開度より、小さくなる。

―変形例４―
図１６（ｃ）は、変形例４を示す図である。比較のために、以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１を一点鎖線で示した。また、説明のために、図５と同じ点Ａ，Ｂ，Ｃを示した。
変形例４のくさび縁部Ｄ４の頂点ＤＶＥは、以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥと、同じ位置（点Ａ）に位置している。以上の実施形態と変形例４の違いは、縁の位置である。具体的に説明する。変形例４のくさび縁部Ｄ４の縁である曲線ＡＢは、以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１の縁である曲線ＡＢよりも内側に位置している。また、変形例４のくさび縁部Ｄ４の縁である曲線ＡＣは、以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１の縁である曲線ＡＣよりも内側に位置している。
このように変形しても、バルブプレート８の開き角に対する開放面積の変化を緩やかにすることができる。ただし、くさび縁部Ｄ４の縁の形状によって、開放し始めの開放面積は、以上の実施形態よりも緩やかになる。

―変形例５―
図１６（ｄ）は、変形例５を示す図である。比較のために、以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１を一点鎖線で示した。また、説明のために、図５と同じ点Ａ，Ｂ，Ｃを示した。
変形例５のくさび縁部Ｄ５の頂点ＤＶＥは、以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１の頂点ＤＶＥと、同じ位置（点Ａ）に位置している。以上の実施形態と変形例５の違いは、縁の位置である。具体的に説明する。変形例５のくさび縁部Ｄ５の縁である曲線ＡＢは、以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１の縁である曲線ＡＢよりも外側に位置している。また、変形例５のくさび縁部Ｄ５の縁である曲線ＡＣは、以上の実施形態のくさび縁部Ｄ１の縁である曲線ＡＣよりも外側に位置している。
このように変形しても、円形の開口部６５０と比較して、バルブプレート８の開き角に対する開放面積の変化を緩やかにすることができる。ただし、くさび縁部Ｄ５の縁の形状によって、開放し始めの開放面積は、以上の実施形態よりもやや急になる。しかし、円形の開口部６５０よりは、緩やかに変化する。

―その他の変形例―
次のような変形も本発明の範囲内である。

以上の実施形態では、開口部４１の軸方向領域のうち、バルブプレート８の近傍の軸方向領域にのみ、くさび縁部Ｄ１を設けるようにしたが、開口部４１の全ての軸方向領域にくさび縁部Ｄ１を設けるようにしてもよい。

本発明は、封止体７を有さずにバルブプレート８がＺ方向（開口部３１，４１の軸方向）に移動してバルブ閉状態をなす真空バルブにおいても、適用できる。

以上の実施形態では、本発明を、スライドプレートが搖動する真空バルブ（振子式真空バルブ）に適用したが、本発明はこれに限定されない。例えば、スライドプレートが直動する真空バルブに適用することもできる。

本発明は以上の内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

１：真空バルブ
３１：開口部
４１：開口部
４５：バルブ開口
６５０：開口部
８：バルブプレート
８Ｖ：弁部
８ＶＥ：縁
Ｄ１：くさび縁部
ＤＶＥ：くさび縁部のくさびの頂点
Ｓ：開放領域

Claims

バルブ開口と、前記バルブ開口を開閉するバルブプレートと、を備える真空バルブであって、
前記バルブ開口の縁の一部は、外側に凸のくさび形状のくさび縁部であり、
前記くさび縁部は、前記バルブプレートを移動させて前記バルブ開口を開放させる際に、前記バルブプレートが前記バルブ開口を開放し始める領域に設けられている、真空バルブ。
請求項１に記載の真空バルブにおいて、
前記くさび縁部のくさびの頂点は、前記バルブプレートの縁が最初に前記バルブ開口の縁と接する位置に位置する、真空バルブ。
請求項１または２に記載の真空バルブにおいて、
前記くさび縁部が形成された部材が、前記バルブ開口に着脱可能に設けられている、真空バルブ。