JP2016119201A - Light-emitting device - Google Patents

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JP2016119201A
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弘次 畠山
Koji Hatakeyama
弘次 畠山
田中 信介
Shinsuke Tanaka
信介 田中
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Tohoku Pioneer Corp
Pioneer Corp
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Tohoku Pioneer Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve, in a light-emitting device having a partition, adhesion between the partition and a base while restricting a light-non-emission area from broadening.SOLUTION: A plurality of first electrodes 110 are formed on a base plate 100 and are aligned in a first direction (X direction in Fig. 1). A plurality of second electrodes 130 are formed on a base plate 100, aligned in a second direction (Y direction in Fig. 1) different from the first direction, and intersecting the first electrode 110. The organic layer 120 is located between the first electrode 110 and an organic layer 120. A partition 170 is located between the plurality of second electrodes 130. The partition 170 has a plurality of first portions and second portions. Each first portion is located in an area overlapping the first electrode 110. Each second portion is located between the plurality of first portions. The planar shape of each of the second portions differs from the planar shape of each of the first portions.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、発光装置に関する。   The present invention relates to a light emitting device.

近年は、有機EL素子を用いた発光装置、例えば表示装置の開発が進められている。この表示装置は、第1の方向に延びる複数の第1電極と、第2の方向に延びる複数の第2電極の交点に、有機層を配置した構成を有している。第1電極と第2電極の間には、絶縁膜が設けられている。そしてこの絶縁膜のうち第1電極と第2電極の交点と重なる部分には開口が形成されている。上記した有機層は、この開口内に設けられている。また、複数の第2電極の間には、絶縁性の隔壁が設けられている(例えば特許文献1,2参照)。   In recent years, development of a light emitting device using an organic EL element, for example, a display device has been advanced. This display device has a configuration in which an organic layer is disposed at intersections of a plurality of first electrodes extending in a first direction and a plurality of second electrodes extending in a second direction. An insulating film is provided between the first electrode and the second electrode. An opening is formed in a portion of the insulating film that overlaps the intersection of the first electrode and the second electrode. The organic layer described above is provided in this opening. An insulating partition is provided between the plurality of second electrodes (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

なお、特許文献1には、絶縁膜からのアウトガスに起因して有機層が劣化する可能性があることが記載されている。特許文献1では、このアウトガスを抑制するために、絶縁膜に、SiO、SiN、又はSiNなどの無機材料を用いることが記載されている。さらに特許文献1では、絶縁膜と、隔壁との密着性を改善するために、絶縁膜の表面を、Siなどの無機材料で覆うことが記載されている。 Note that Patent Document 1 describes that the organic layer may be deteriorated due to outgas from the insulating film. Patent Document 1 describes that an inorganic material such as SiO x , SiN x , or SiN x O y is used for the insulating film in order to suppress this outgas. Further, Patent Document 1 describes that the surface of the insulating film is covered with an inorganic material such as Si in order to improve the adhesion between the insulating film and the partition.

また、特許文献2には、隔壁からのアウトガスに起因して有機層が劣化する可能性があることが記載されている。特許文献2では、隔壁を、SiO、SiN、Si、又はSiNなどの酸化物や窒化物で覆うことが記載されている。 Patent Document 2 describes that the organic layer may be deteriorated due to outgas from the partition walls. Patent Document 2 describes that a partition wall is covered with an oxide or nitride such as SiO 2 , SiN, Si 2 N 3 , or SiN 4 .

特開2009−259644号公報JP 2009-259644 A 特開2008−130410号公報JP 2008-130410 A

発光装置のうち隔壁が形成された領域は非発光領域となる。このため、隔壁は狭いほうが好ましい。一方、隔壁を狭くすると隔壁と下地の密着力は低下してしまう。   A region where the partition is formed in the light emitting device is a non-light emitting region. For this reason, it is preferable that the partition wall is narrow. On the other hand, when the partition wall is narrowed, the adhesion between the partition wall and the base is reduced.

本発明が解決しようとする課題としては、非発光領域が太くなることを抑制しつつ、隔壁と下地の密着性を高めることが一例として挙げられる。   An example of the problem to be solved by the present invention is to increase the adhesion between the partition wall and the base while suppressing the non-light emitting region from becoming thick.

請求項1に記載の発明は、基板と、
前記基板に形成され、第1の方向に並んでいる複数の第1電極と、
前記基板に形成され、第1の方向とは異なる第2の方向に並んでおり、前記第1電極と交差している複数の第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極の間に位置する有機層と、
前記複数の第2電極の間に位置している隔壁と、
を備え、
前記隔壁は、
前記第1電極と重なる領域に位置する複数の第1部分と、
前記複数の第1部分の間に位置する第2部分と、
を有し、
前記第2部分の平面形状は、前記第1部分の平面形状とは異なる発光装置である。
The invention according to claim 1 is a substrate;
A plurality of first electrodes formed on the substrate and arranged in a first direction;
A plurality of second electrodes formed on the substrate, arranged in a second direction different from the first direction, and intersecting the first electrode;
An organic layer positioned between the first electrode and the second electrode;
A partition located between the plurality of second electrodes;
With
The partition is
A plurality of first portions located in a region overlapping the first electrode;
A second portion located between the plurality of first portions;
Have
The planar shape of the second part is a light emitting device different from the planar shape of the first part.

実施形態に係る発光装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the light-emitting device which concerns on embodiment. 図1から第2電極及び有機層を取り除いた図である。It is the figure which removed the 2nd electrode and the organic layer from FIG. 図1のA−A断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 図1のB−B断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. 図1のC−C断面図である。It is CC sectional drawing of FIG. 図1の点線αで囲んだ領域を拡大した図である。It is the figure which expanded the area | region enclosed with the dotted line (alpha) of FIG. 図6の第1の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st modification of FIG. 図6の第2の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd modification of FIG. 図6の第3の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the 3rd modification of FIG. 図6の第4の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the 4th modification of FIG. 変形例に係る発光装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the light-emitting device which concerns on a modification. 図11から絶縁層、第2電極、及び有機層を除いた図である。It is the figure which remove | excluded the insulating layer, the 2nd electrode, and the organic layer from FIG.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate.

図1は、実施形態に係る発光装置10の構成を示す平面図である。図2は、図1から第2電極130及び有機層120を取り除いた図である。ただし、図2において、説明のため、第2電極130及び有機層120を点線で示している。図3は図1のA−A断面図であり、図4は図1のB−B断面図であり、図5は図1のC−C断面図である。   FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a light emitting device 10 according to the embodiment. FIG. 2 is a diagram in which the second electrode 130 and the organic layer 120 are removed from FIG. 1. However, in FIG. 2, the second electrode 130 and the organic layer 120 are indicated by dotted lines for the sake of explanation. 3 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 1, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG.

本実施形態に係る発光装置10は、基板100、複数の第1電極110、複数の第2電極130、有機層120、及び隔壁170を備えている。複数の第1電極110は基板100に形成されており、第1の方向(図1及び図2におけるX方向)に並んでいる。複数の第2電極130は基板100に形成されており、第1の方向とは異なる第2の方向(図1及び図2におけるY方向)に並んでおり、かつ、第1電極110と交差している。有機層120は、第1電極110と有機層120の間に位置している。そして隔壁170は、複数の第2電極130の間に位置している。詳細には、隔壁170は、複数の第1部分172、及び第2部分174を有している。第1部分172は第1電極110と重なる領域に位置しており、第2部分174は複数の第1部分172の間に位置している。そして第2部分174の平面形状は第1部分172の平面形状とは異なる。以下、詳細に説明する。   The light emitting device 10 according to this embodiment includes a substrate 100, a plurality of first electrodes 110, a plurality of second electrodes 130, an organic layer 120, and a partition wall 170. The plurality of first electrodes 110 are formed on the substrate 100 and are arranged in the first direction (the X direction in FIGS. 1 and 2). The plurality of second electrodes 130 are formed on the substrate 100, arranged in a second direction (Y direction in FIGS. 1 and 2) different from the first direction, and intersect the first electrode 110. ing. The organic layer 120 is located between the first electrode 110 and the organic layer 120. The partition wall 170 is located between the plurality of second electrodes 130. Specifically, the partition wall 170 has a plurality of first portions 172 and second portions 174. The first portion 172 is located in a region overlapping the first electrode 110, and the second portion 174 is located between the plurality of first portions 172. The planar shape of the second portion 174 is different from the planar shape of the first portion 172. Details will be described below.

本図に示す例において、発光装置10は表示装置であり、基板100、第1電極110、複数の第1端子112、複数の第2端子132、発光部140、複数の開口152、複数の開口154、複数の引出配線114、有機層120、第2電極130、複数の引出配線134、及び複数の隔壁170を有している。   In the example shown in the figure, the light emitting device 10 is a display device, and includes a substrate 100, a first electrode 110, a plurality of first terminals 112, a plurality of second terminals 132, a light emitting unit 140, a plurality of openings 152, and a plurality of openings. 154, a plurality of lead wires 114, the organic layer 120, the second electrode 130, a plurality of lead wires 134, and a plurality of partition walls 170.

基板100は、例えばガラスや樹脂などの材料で形成されている。基板100は、例えば矩形などの多角形である。基板100は可撓性を有していてもよい。基板100が可撓性を有している場合、基板100の厚さは、例えば10μm以上1000μm以下である。特に基板100がガラスである場合、基板100の厚さは、例えば200μm以下である。基板100が樹脂である場合、基板100は、例えばPEN(ポリエチレンナフタレート)、PES(ポリエーテルサルホン)、PET(ポリエチレンテレフタラート)、又はポリイミドを用いて形成されている。また、基板100が樹脂である場合、水分が基板100を透過することを抑制するために、基板100の少なくとも一面(好ましくは両面)に、SiNやSiONなどの無機バリア膜が形成されている。 The substrate 100 is made of a material such as glass or resin. The substrate 100 is, for example, a polygon such as a rectangle. The substrate 100 may have flexibility. In the case where the substrate 100 has flexibility, the thickness of the substrate 100 is, for example, not less than 10 μm and not more than 1000 μm. In particular, when the substrate 100 is glass, the thickness of the substrate 100 is, for example, 200 μm or less. When the substrate 100 is a resin, the substrate 100 is formed using, for example, PEN (polyethylene naphthalate), PES (polyethersulfone), PET (polyethylene terephthalate), or polyimide. When the substrate 100 is a resin, an inorganic barrier film such as SiN x or SiON is formed on at least one surface (preferably both surfaces) of the substrate 100 in order to suppress moisture from permeating the substrate 100. .

基板100には、発光部140が形成されている。発光部140は有機EL素子を有している。この有機EL素子は、第1電極110、有機層120、及び第2電極130をこの順に積層させた構成を有している。   A light emitting unit 140 is formed on the substrate 100. The light emitting unit 140 has an organic EL element. This organic EL element has a configuration in which a first electrode 110, an organic layer 120, and a second electrode 130 are laminated in this order.

第1電極110は、光透過性を有する透明電極である。透明電極を構成する透明導電材料は、金属を含む材料、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、IWZO(Indium Tungsten Zinc Oxide)、ZnO(Zinc Oxide)等の金属酸化物である。第1電極110の厚さは、例えば10nm以上500nm以下である。第1電極110は、例えばスパッタリング法又は蒸着法を用いて形成される。なお、第1電極110は、カーボンナノチューブ、又はPEDOT/PSSなどの導電性有機材料であってもよい。   The first electrode 110 is a transparent electrode having optical transparency. The transparent conductive material constituting the transparent electrode is a metal-containing material, for example, a metal oxide such as ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide), IWZO (Indium Tungsten Zinc Oxide), or ZnO (Zinc Oxide). is there. The thickness of the first electrode 110 is, for example, not less than 10 nm and not more than 500 nm. The first electrode 110 is formed using, for example, a sputtering method or a vapor deposition method. The first electrode 110 may be a carbon nanotube or a conductive organic material such as PEDOT / PSS.

有機層120は発光層を有している。有機層120は、例えば、正孔注入層、発光層、及び電子注入層を積層させた構成を有している。正孔注入層と発光層との間には正孔輸送層が形成されていてもよい。また、発光層と電子注入層との間には電子輸送層が形成されていてもよい。有機層120は蒸着法で形成されてもよい。また、有機層120のうち少なくとも一つの層、例えば第1電極110と接触する層は、インクジェット法、印刷法、又はスプレー法などの塗布法によって形成されてもよい。なお、この場合、有機層120の残りの層は、蒸着法によって形成されている。また、有機層120のすべての層が、塗布法を用いて形成されていてもよい。なお、有機層120は、隣り合う隔壁170の間に形成されている。ただし、図2及び図5に示すように、有機層120は、第2電極130と引出配線134とが接続する部分には形成されていない。   The organic layer 120 has a light emitting layer. The organic layer 120 has a configuration in which, for example, a hole injection layer, a light emitting layer, and an electron injection layer are stacked. A hole transport layer may be formed between the hole injection layer and the light emitting layer. In addition, an electron transport layer may be formed between the light emitting layer and the electron injection layer. The organic layer 120 may be formed by a vapor deposition method. In addition, at least one layer of the organic layer 120, for example, a layer in contact with the first electrode 110, may be formed by a coating method such as an inkjet method, a printing method, or a spray method. In this case, the remaining layers of the organic layer 120 are formed by vapor deposition. Moreover, all the layers of the organic layer 120 may be formed using the apply | coating method. The organic layer 120 is formed between adjacent partition walls 170. However, as shown in FIGS. 2 and 5, the organic layer 120 is not formed in a portion where the second electrode 130 and the extraction wiring 134 are connected.

第2電極130は、例えば、Al、Au、Ag、Pt、Mg、Sn、Zn、及びInからなる第1群の中から選択される金属、又はこの第1群から選択される金属の合金からなる金属層を含んでいる。この場合、第2電極130は遮光性を有している。第2電極130の厚さは、例えば10nm以上500nm以下である。ただし、第2電極130は、第1電極110の材料として例示した材料を用いて形成されていてもよい。第2電極130は、例えばスパッタリング法又は蒸着法を用いて形成される。第2電極130も、有機層120と同様に、隣り合う隔壁170の間に形成されている。   The second electrode 130 is made of, for example, a metal selected from the first group consisting of Al, Au, Ag, Pt, Mg, Sn, Zn, and In, or an alloy of a metal selected from the first group. Contains a metal layer. In this case, the second electrode 130 has a light shielding property. The thickness of the second electrode 130 is, for example, not less than 10 nm and not more than 500 nm. However, the second electrode 130 may be formed using the material exemplified as the material of the first electrode 110. The second electrode 130 is formed using, for example, a sputtering method or a vapor deposition method. Similarly to the organic layer 120, the second electrode 130 is also formed between adjacent partition walls 170.

図1〜図4に示すように、発光装置10は複数の第1電極110を有している。複数の第1電極110は、いずれも第2の方向(図1におけるY方向)にライン状に延在している。また、発光装置10は、複数の第2電極130を有している。第2電極130は、第1の方向(図1におけるX方向)に延在している。そして、発光部140は、第1電極110と第2電極130の交点に形成されている。   As illustrated in FIGS. 1 to 4, the light emitting device 10 includes a plurality of first electrodes 110. Each of the plurality of first electrodes 110 extends in a line shape in the second direction (Y direction in FIG. 1). In addition, the light emitting device 10 has a plurality of second electrodes 130. The second electrode 130 extends in the first direction (X direction in FIG. 1). The light emitting unit 140 is formed at the intersection of the first electrode 110 and the second electrode 130.

なお、図3及び図4に示す例では、有機層120を構成する各層は、いずれも第1電極110と第2電極130が重なっている領域の外側まではみ出している場合を示している。有機層120は、隔壁170が延在する方向において、隣り合う発光部140の間にも連続して形成されていてもよいし、連続して形成していなくてもよい。   In the example shown in FIG. 3 and FIG. 4, each layer constituting the organic layer 120 shows a case where it protrudes outside the region where the first electrode 110 and the second electrode 130 overlap. The organic layer 120 may be formed continuously between the adjacent light emitting units 140 in the direction in which the partition 170 extends, or may not be formed continuously.

隣り合う第2電極130の間には、隔壁170が形成されている。隔壁170は、第2電極130と平行すなわち第1の方向に延在している。本図に示す例において、隔壁170の下地は第1電極110及び基板100となっている。隔壁170は、例えばポリイミド系樹脂などの感光性の樹脂であり、露光及び現像されることによって、所望のパターンに形成されている。なお、隔壁170はポリイミド系樹脂以外の樹脂、例えばエポキシ系樹脂やアクリル系樹脂、二酸化珪素等の無機材料で構成されていても良い。   A partition wall 170 is formed between the adjacent second electrodes 130. The partition wall 170 extends in parallel with the second electrode 130, that is, in the first direction. In the example shown in this figure, the base of the partition 170 is the first electrode 110 and the substrate 100. The partition 170 is, for example, a photosensitive resin such as a polyimide resin, and is formed in a desired pattern by being exposed and developed. The partition wall 170 may be made of a resin other than a polyimide resin, for example, an inorganic material such as an epoxy resin, an acrylic resin, or silicon dioxide.

隔壁170は、断面が台形の上下を逆にした形状(逆台形)になっている。すなわち隔壁170の上面の幅は、隔壁170の下面の幅よりも大きい。このため、隔壁170を第2電極130より前に形成しておくと、蒸着法やスパッタリング法を用いて、第2電極130を基板100の一面側に形成することで、複数の第2電極130を一括で形成することができる。また、隔壁170は、有機層120を分断する機能も有している。   The partition wall 170 has a trapezoidal cross-sectional shape (reverse trapezoidal shape). That is, the width of the upper surface of the partition wall 170 is larger than the width of the lower surface of the partition wall 170. Therefore, if the partition wall 170 is formed before the second electrode 130, the second electrode 130 is formed on one surface side of the substrate 100 by using an evaporation method or a sputtering method. Can be formed collectively. The partition wall 170 also has a function of dividing the organic layer 120.

また発光装置10は、第1端子112及び第2端子132を有している。第1端子112は引出配線114を介して第1電極110に接続しており、第2端子132は引出配線134を介して第2電極130に接続している。本図に示す例において、引出配線114は第1電極110と一体になっており、引出配線134は第1電極110と同一の層を有している。そして第1端子112は引出配線114の端部であり、第2端子132は引出配線134の端部である。   The light emitting device 10 also has a first terminal 112 and a second terminal 132. The first terminal 112 is connected to the first electrode 110 via the lead wiring 114, and the second terminal 132 is connected to the second electrode 130 via the lead wiring 134. In the example shown in the drawing, the lead-out wiring 114 is integrated with the first electrode 110, and the lead-out wiring 134 has the same layer as the first electrode 110. The first terminal 112 is an end portion of the lead wire 114, and the second terminal 132 is an end portion of the lead wire 134.

引出配線114,134の上には、導体層160が形成されてもよい。導体層160は、引出配線114よりも低抵抗な材料、例えば金属によって形成されている。導体層160は多層構造を有していてもよい。この場合、導体層160は、例えば、Mo又はMo合金などの金属層である第1導電層、Al又はAl合金などの金属層である第2導電層、及び、Mo又はMo合金などの金属層である第3導電層をこの順に積層した構成を有している。第2導電層の厚さは、例えば50nm以上1000nm以下である。好ましくは、200nm以上600nm以下、さらに好ましくは100nm以下である。また第1導電層及び第3導電層は、第2導電層よりも薄く、例えば30nm以下、好ましくは25nm以下である。なお、導体層160は第1端子112及び第2端子132に形成されていてもよいし、形成されていなくてもよい。   A conductor layer 160 may be formed on the lead wires 114 and 134. The conductor layer 160 is made of a material having a lower resistance than that of the lead wiring 114, for example, a metal. The conductor layer 160 may have a multilayer structure. In this case, the conductor layer 160 includes, for example, a first conductive layer that is a metal layer such as Mo or Mo alloy, a second conductive layer that is a metal layer such as Al or Al alloy, and a metal layer such as Mo or Mo alloy. The third conductive layer is stacked in this order. The thickness of the second conductive layer is, for example, not less than 50 nm and not more than 1000 nm. Preferably, it is 200 nm or more and 600 nm or less, and more preferably 100 nm or less. The first conductive layer and the third conductive layer are thinner than the second conductive layer, for example, 30 nm or less, preferably 25 nm or less. Note that the conductor layer 160 may or may not be formed on the first terminal 112 and the second terminal 132.

第1端子112及び第2端子132には、FPC(フレキシブルプリント基板)などの導通部材が接続される。本図に示す例では、第1端子112及び第2端子132は基板100の同一の辺に沿って配置されている。このため、導通部材としてFPCを用いた場合、第1端子112及び第2端子132を、一つのFPCに接続することができる。   A conductive member such as an FPC (flexible printed circuit board) is connected to the first terminal 112 and the second terminal 132. In the example shown in this drawing, the first terminal 112 and the second terminal 132 are arranged along the same side of the substrate 100. For this reason, when FPC is used as the conductive member, the first terminal 112 and the second terminal 132 can be connected to one FPC.

発光装置10は、さらに封止部材を有していてもよい。封止部材は、例えばガラス、アルミニウムなどの金属、又は樹脂を用いて形成されており、基板100と同様の多角形や円形であり、中央に凹部を設けた形状を有している。そして封止部材の縁は接着材で基板100に固定されている。これにより、封止部材と基板100で囲まれた空間は封止される。そして発光部140は、この封止された空間の中に位置している。なお、封止部材は原子層成長(ALD)法で形成された膜又は化学気相成長(CVD)法で形成された膜や封止する空間を作成する基材などであってもよい。   The light emitting device 10 may further include a sealing member. The sealing member is formed using, for example, a metal such as glass or aluminum, or a resin, and has a polygonal shape or a circular shape similar to that of the substrate 100 and has a shape in which a concave portion is provided at the center. The edge of the sealing member is fixed to the substrate 100 with an adhesive. Thereby, the space surrounded by the sealing member and the substrate 100 is sealed. And the light emission part 140 is located in this sealed space. The sealing member may be a film formed by an atomic layer deposition (ALD) method, a film formed by a chemical vapor deposition (CVD) method, a base material for creating a space to be sealed, or the like.

また、発光装置10は、さらに乾燥剤を有していてもよい。乾燥剤は、例えば封止部材によって封止された空間内、いわゆる中空封止の場合には封止部材のうち基板100に対向する面に配置されている。また、封止部材によって封止される部分に液体充填層などを封入した、いわゆる固体封止構造の場合には、乾燥剤を液体充填層に含ませたり、乾燥層を配置するなどにより、乾燥剤を有するような構造にすることが出来る。   The light emitting device 10 may further have a desiccant. For example, in the case of so-called hollow sealing, the desiccant is disposed on the surface of the sealing member facing the substrate 100 in the space sealed by the sealing member. In the case of a so-called solid sealing structure in which a liquid filling layer or the like is sealed in a portion sealed by a sealing member, drying is performed by including a desiccant in the liquid filling layer or arranging a drying layer. A structure having an agent can be obtained.

また、発光装置10の発光部140と基板100の間には、絶縁層、半導体層、及び絶縁層がこの順に積層されていてもよい。この積層構造は、複数のTFT(thin film transistor)及びこれらに接続する配線を含んでいる。複数のTFTは、回路図において互いに異なる引出配線114に形成されている。   Further, an insulating layer, a semiconductor layer, and an insulating layer may be stacked in this order between the light emitting unit 140 of the light emitting device 10 and the substrate 100. This stacked structure includes a plurality of thin film transistors (TFTs) and wirings connected to them. The plurality of TFTs are formed on different lead lines 114 in the circuit diagram.

図6は、図1の点線αで囲んだ領域を拡大した図である。図6に示すように、隔壁170は第1部分172及び第2部分174を有している。第1部分172は第1電極110と重なる領域であり、第2部分174は隣り合う第1部分172を繋ぐ部分である。ただし第1部分172の少なくとも一方の端部は、第1電極110と重なる領域よりも外側に位置していてもよい。この場合、第2部分174は短くなる。   FIG. 6 is an enlarged view of a region surrounded by a dotted line α in FIG. As shown in FIG. 6, the partition wall 170 has a first portion 172 and a second portion 174. The first portion 172 is a region overlapping the first electrode 110, and the second portion 174 is a portion connecting the adjacent first portions 172. However, at least one end of the first portion 172 may be located outside the region overlapping the first electrode 110. In this case, the second portion 174 is shortened.

上記したように、第2部分174の平面形状は第1部分172の平面形状とは異なる。具体的には、第2部分174は、第1部分172と比較して下地への密着力が大きくなる形状、例えば下面の面積が大きくなる形状を有している。本図に示す例では、第1部分172の平面形状は長方形であり、その幅W1(言い換えると長方形における短辺の長さ)は、5μm以上30μm以下である。このようにすると、隣り合う発光部140の間に位置する非発光領域の幅を狭くすることができる。なお、平面形状とは、換言すれば、隔壁170と第1電極110、または隔壁170と隔壁170の下地などのように、隔壁170と隔壁170に接する層との接触面の形状ということもできるし、隔壁170の断面の形状ということもできる。   As described above, the planar shape of the second portion 174 is different from the planar shape of the first portion 172. Specifically, the second portion 174 has a shape that increases the adhesion to the base compared to the first portion 172, for example, a shape that increases the area of the lower surface. In the example shown in this drawing, the planar shape of the first portion 172 is a rectangle, and the width W1 (in other words, the length of the short side of the rectangle) is not less than 5 μm and not more than 30 μm. In this way, the width of the non-light emitting region located between the adjacent light emitting units 140 can be reduced. In other words, the planar shape can also be referred to as a shape of a contact surface between the partition 170 and a layer in contact with the partition 170 such as the partition 170 and the first electrode 110 or the partition 170 and a base of the partition 170. It can also be said that the shape of the cross section of the partition wall 170 is.

一方、第2部分174の幅の最大値W2は、第1部分172の幅W1よりも大きい。W2は、例えばW1の5倍以上である。またW2は、10倍以下であるのが好ましい。ただし、W2が第2の方向の画素ピッチの1/2を超えないようにすることが好ましい。並行する隔壁170の第2部分174が互いに接続してしまい、第2電極130が途中で分断されてしまうのを防ぐためである。   On the other hand, the maximum value W2 of the width of the second portion 174 is larger than the width W1 of the first portion 172. W2 is 5 times or more of W1, for example. W2 is preferably 10 times or less. However, it is preferable that W2 does not exceed 1/2 of the pixel pitch in the second direction. This is to prevent the second portions 174 of the parallel partition walls 170 from being connected to each other and the second electrode 130 being divided in the middle.

また本図に示す例では、第2部分174の平面形状は略6角形であり、かつこの略6角形の互いに対向する2辺が第1の方向(図中X方向)に延びている。別の言い方をすると、上記した互いに対向する2辺は、第1部分172が延在する方向とほぼ平行になっている。そして第2部分174の残りの4辺は、第1部分172から斜めに伸びている。言い換えると、第2部分174の端部の幅は、第1部分172から離れるに従って広くなっている。このようにすると、第2部分174の形成位置が第1の方向にずれ、第2部分174の端部が発光部140に重なった場合であっても、発光部140の発光領域が狭くなることを抑制できる。   In the example shown in the figure, the planar shape of the second portion 174 is substantially hexagonal, and two opposite sides of the substantially hexagonal shape extend in the first direction (X direction in the figure). In other words, the two opposite sides described above are substantially parallel to the direction in which the first portion 172 extends. The remaining four sides of the second portion 174 extend obliquely from the first portion 172. In other words, the width of the end portion of the second portion 174 becomes wider as the distance from the first portion 172 increases. In this case, even when the formation position of the second portion 174 is shifted in the first direction and the end of the second portion 174 overlaps the light emitting portion 140, the light emitting region of the light emitting portion 140 becomes narrow. Can be suppressed.

図7は、図6の第1の変形例を示す平面図である。本図に示す例において、第2部分174の平面形状は円形、楕円形、又は円を2つの半円に分割してこれらの間に第1部分172と同じ幅の長方形を配置した形状である。   FIG. 7 is a plan view showing a first modification of FIG. In the example shown in the figure, the planar shape of the second portion 174 is a circle, an ellipse, or a shape in which a circle is divided into two semicircles and a rectangle having the same width as the first portion 172 is disposed between them. .

図8は、図6の第2の変形例を示す平面図である。本図に示す例において、第2部分174の平面形状は長方形又は正方形である。そして互いに対向する2辺が、隔壁170が延在する方向にほぼ平行になっている。   FIG. 8 is a plan view showing a second modification of FIG. In the example shown in the figure, the planar shape of the second portion 174 is a rectangle or a square. Two sides facing each other are substantially parallel to the direction in which the partition wall 170 extends.

図9は、図6の第3の変形例を示す平面図である。本図に示す例において、第2部分174の平面形状は長方形又は正方形である。ただし、対角線の一つが隣り合う第1部分172を結んでいる。言い換えると、第2部分174は、2つの三角形を、一辺が互いに対向する向きに配置し、これら2つの三角形の間に第1部分172と同じ幅の長方形を配置した構成となっている。   FIG. 9 is a plan view showing a third modification of FIG. In the example shown in the figure, the planar shape of the second portion 174 is a rectangle or a square. However, one of the diagonal lines connects the adjacent first portions 172. In other words, the second portion 174 has a configuration in which two triangles are arranged in directions in which one side faces each other, and a rectangle having the same width as the first portion 172 is arranged between the two triangles.

図10は、図6の第4の変形例を示す平面図である。本図に示す例において第2部分174は、第1部分172と同じ幅の長方形に、第2の方向に突出する複数の凸部175を設けた形状を有している。複数の凸部175は、第2部分174の両側面のそれぞれに設けられている。なお、第2部分174の第1の側面に位置する凸部175(例えば図10において第1部分172より上側に位置する凸部175)と、第2部分174の第2の側面に位置する凸部175(例えば図10において第1部分172より下側に位置する凸部175)は、隔壁170が延在する方向において、同じ位置にあってもよいし、互いに違いになっていてもよい。   FIG. 10 is a plan view showing a fourth modification of FIG. In the example shown in the figure, the second portion 174 has a shape in which a plurality of convex portions 175 protruding in the second direction are provided in a rectangle having the same width as the first portion 172. The plurality of convex portions 175 are provided on both side surfaces of the second portion 174. In addition, the convex part 175 (For example, convex part 175 located above the 1st part 172 in FIG. 10) located in the 1st side surface of the 2nd part 174, and the convex part located in the 2nd side surface of the 2nd part 174 The portions 175 (for example, the convex portions 175 located below the first portion 172 in FIG. 10) may be at the same position or different from each other in the direction in which the partition wall 170 extends.

次に、発光装置10の製造方法を説明する。まず、基板100に第1電極110、第1端子112、第2端子132、及び引出配線114,134となる導電膜を、例えばスパッタリング法を用いて形成する。次いで、この導電膜を、例えばフォトリソグラフィー法を利用して所定のパターンにする。これにより、第1電極110、第1端子112、第2端子132、及び引出配線114,134が形成される。   Next, a method for manufacturing the light emitting device 10 will be described. First, a conductive film to be the first electrode 110, the first terminal 112, the second terminal 132, and the lead wirings 114 and 134 is formed on the substrate 100 by using, for example, a sputtering method. Next, the conductive film is formed into a predetermined pattern using, for example, a photolithography method. Thereby, the 1st electrode 110, the 1st terminal 112, the 2nd terminal 132, and the extraction wirings 114 and 134 are formed.

次いで、引出配線114上及び引出配線134上を含む領域に、導体層160となる導電膜を形成する。次いで、この導電膜を、例えばフォトリソグラフィー法を利用して所定のパターンにする。これにより、導体層160が形成される。   Next, a conductive film to be the conductor layer 160 is formed in a region including the lead wiring 114 and the lead wiring 134. Next, the conductive film is formed into a predetermined pattern using, for example, a photolithography method. Thereby, the conductor layer 160 is formed.

次いで、基板100に、隔壁170となる感光性の絶縁膜を、例えば塗布法を用いて形成する。次いで、この絶縁膜を露光及び現像する。次いで、ベーク処理を行う。これにより、隔壁170が形成される。この工程において、隔壁170には第1部分172及び第2部分174が形成される。   Next, a photosensitive insulating film to be the partition wall 170 is formed on the substrate 100 by using, for example, a coating method. Next, the insulating film is exposed and developed. Next, a baking process is performed. Thereby, the partition 170 is formed. In this step, a first portion 172 and a second portion 174 are formed in the partition wall 170.

次いで、有機層120を、例えば塗布法や蒸着法を用いて形成する。次いで、第2電極130を、例えば蒸着法やスパッタリング法を用いて形成する。このとき、隔壁170がマスクとなるため、有機層120及び第2電極130は上記した形状になる。なお、有機層120をインクジェット法で形成する場合、有機層120は、隔壁170の間の領域にのみ塗布される。その後、封止部材(図示せず)を用いて発光部140を封止する。   Next, the organic layer 120 is formed using, for example, a coating method or a vapor deposition method. Next, the second electrode 130 is formed using, for example, a vapor deposition method or a sputtering method. At this time, since the partition 170 serves as a mask, the organic layer 120 and the second electrode 130 have the shapes described above. Note that when the organic layer 120 is formed by an inkjet method, the organic layer 120 is applied only to a region between the partition walls 170. Thereafter, the light emitting unit 140 is sealed using a sealing member (not shown).

以上、本実施形態によれば、隔壁170のうち第1電極110の間に位置する部分(第2部分174)の形状は、第1電極110と重なる部分(第1部分172)の形状と異なる。このため、第2部分174と下地の密着性を高めることができる。特に第2部分174の下地が基板100である場合、第2部分174と基板100の密着性は、第1部分172と第1電極110の密着性よりも低くなりやすい。本実施形態では、第2部分174の形状を変えることにより、第2部分174と基板100の密着性を高めることができる。   As described above, according to the present embodiment, the shape of the portion (second portion 174) located between the first electrodes 110 in the partition wall 170 is different from the shape of the portion (first portion 172) overlapping the first electrode 110. . For this reason, the adhesiveness of the 2nd part 174 and a foundation | substrate can be improved. In particular, when the base of the second portion 174 is the substrate 100, the adhesion between the second portion 174 and the substrate 100 tends to be lower than the adhesion between the first portion 172 and the first electrode 110. In the present embodiment, the adhesiveness between the second portion 174 and the substrate 100 can be improved by changing the shape of the second portion 174.

また、隔壁170が延在する方向において第2部分174は発光部140と重なっていないため、第2部分174を太くしても発光部140が狭くならない。   Further, since the second portion 174 does not overlap the light emitting portion 140 in the direction in which the partition wall 170 extends, the light emitting portion 140 does not become narrow even if the second portion 174 is thickened.

(変形例)
変形例に係る発光装置10は、絶縁層150を備えている点を除いて、実施形態に係る発光装置10と同様の構成である。
(Modification)
The light emitting device 10 according to the modification has the same configuration as that of the light emitting device 10 according to the embodiment, except that the insulating layer 150 is provided.

図11は、変形例に係る発光装置10の構成を示す平面図である。図12は、図11から絶縁層150、第2電極130、及び有機層120を除いた図である。   FIG. 11 is a plan view showing a configuration of a light emitting device 10 according to a modification. FIG. 12 is a view obtained by removing the insulating layer 150, the second electrode 130, and the organic layer 120 from FIG.

絶縁層150は、第1電極110と第2電極130の間に形成されている。詳細には、絶縁層150は、例えば酸化シリコンなどの無機材料、又はポリイミドなどの感光性の有機材料によって形成されており、図11に示すように、複数の第1電極110上及びその間の領域に形成されている。   The insulating layer 150 is formed between the first electrode 110 and the second electrode 130. Specifically, the insulating layer 150 is formed of, for example, an inorganic material such as silicon oxide, or a photosensitive organic material such as polyimide, and as illustrated in FIG. 11, a region on and between the plurality of first electrodes 110. Is formed.

絶縁層150には、複数の開口152及び複数の開口154が形成されている。開口152は、平面視で第1電極110と第2電極130の交点に位置している。具体的には、複数の開口152は、第1電極110が延在する方向(図11におけるY方向)に並んでいる。また、複数の開口152は、第2電極130の延在方向(図11におけるX方向)にも並んでいる。このため、複数の開口152はマトリクスを構成するように配置されていることになる。そして、開口152と重なる領域には、有機層120が形成されている。このため、発光部140は、開口152と重なる領域それぞれに位置していることになる。   A plurality of openings 152 and a plurality of openings 154 are formed in the insulating layer 150. The opening 152 is located at the intersection of the first electrode 110 and the second electrode 130 in plan view. Specifically, the plurality of openings 152 are arranged in the direction in which the first electrode 110 extends (Y direction in FIG. 11). The plurality of openings 152 are also arranged in the extending direction of the second electrode 130 (X direction in FIG. 11). For this reason, the plurality of openings 152 are arranged to form a matrix. An organic layer 120 is formed in a region overlapping with the opening 152. For this reason, the light emitting part 140 is located in each of the regions overlapping with the opening 152.

開口154は、平面視で複数の第2電極130のそれぞれの一端側と重なる領域に位置している。また開口154は、開口152が構成するマトリクスの一辺に沿って配置されている。そしてこの一辺に沿う方向(例えば図1におけるY方向、すなわち第1電極110に沿う方向)で見た場合、開口154は、所定の間隔で配置されている。開口154からは、引出配線134の一部分が露出している。そして、引出配線134は、開口154を介して第2電極130に接続している。   The opening 154 is located in a region overlapping with one end side of each of the plurality of second electrodes 130 in plan view. The openings 154 are arranged along one side of the matrix formed by the openings 152. When viewed in a direction along this one side (for example, the Y direction in FIG. 1, ie, the direction along the first electrode 110), the openings 154 are arranged at a predetermined interval. A part of the lead wiring 134 is exposed from the opening 154. The lead wiring 134 is connected to the second electrode 130 through the opening 154.

そして、隔壁170の下地は、絶縁層150になっている。   The base of the partition wall 170 is an insulating layer 150.

本変形例に係る発光装置10の製造方法は、第1電極110を形成した後、隔壁170を形成する前に、絶縁層150を形成する点を除いて、実施形態に係る発光装置10の製造方法と同様である。絶縁層150が無機材料によって形成される場合、絶縁層150は、例えば気相成膜法を用いて形成される。開口152,154は、絶縁層150上にレジストパターンを形成した後、このレジストパターンをマスクとして絶縁層150をエッチングすることにより、形成される。また絶縁層150が感光性の樹脂材料で形成される場合、絶縁層150は、例えば塗布法を用いて形成される。次いで、絶縁層150を露光及び現像することにより、開口152,154が形成される。   The manufacturing method of the light emitting device 10 according to this modification is the same as the manufacturing method of the light emitting device 10 according to the embodiment except that the insulating layer 150 is formed after the first electrode 110 is formed and before the partition wall 170 is formed. It is the same as the method. When the insulating layer 150 is formed of an inorganic material, the insulating layer 150 is formed using, for example, a vapor deposition method. The openings 152 and 154 are formed by forming a resist pattern on the insulating layer 150 and then etching the insulating layer 150 using the resist pattern as a mask. When the insulating layer 150 is formed of a photosensitive resin material, the insulating layer 150 is formed using, for example, a coating method. Next, the openings 152 and 154 are formed by exposing and developing the insulating layer 150.

本変形例によっても、隔壁170は第2部分174を有しているため、隔壁170の下地である絶縁層150と隔壁170の密着性を高めることができる。特に絶縁層150を無機材料で形成した場合、有機材料である隔壁170と絶縁層150の密着性は低下しやすいが、本変形例によれば隔壁170が絶縁層150から剥離することを抑制できる。また、絶縁層150を無機材料で形成すると、絶縁層150を樹脂で形成した場合と比較して、絶縁層150からアウトガスが発生することを抑制できる。このため、発光装置10の耐久性は向上する。   Also according to this modification, the partition 170 has the second portion 174, and thus the adhesion between the insulating layer 150 which is the base of the partition 170 and the partition 170 can be improved. In particular, when the insulating layer 150 is formed of an inorganic material, the adhesion between the partition 170, which is an organic material, and the insulating layer 150 is likely to deteriorate. However, according to the present modification, the separation of the partition 170 from the insulating layer 150 can be suppressed. . In addition, when the insulating layer 150 is formed using an inorganic material, generation of outgas from the insulating layer 150 can be suppressed as compared with the case where the insulating layer 150 is formed using a resin. For this reason, the durability of the light emitting device 10 is improved.

以上、図面を参照して実施形態及び実施例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。   As mentioned above, although embodiment and the Example were described with reference to drawings, these are illustrations of this invention and can also employ | adopt various structures other than the above.

10 発光装置
100 基板
110 第1電極
120 有機層
130 第2電極
140 発光部
150 絶縁層
152 開口
154 開口
160 導体層
170 隔壁
172 第1部分
174 第2部分
175 凸部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Light-emitting device 100 Board | substrate 110 1st electrode 120 Organic layer 130 2nd electrode 140 Light-emitting part 150 Insulating layer 152 Opening 154 Opening 160 Conductive layer 170 Partition 172 1st part 174 2nd part 175 Convex part

Claims (5)

基板と、
前記基板に形成され、第1の方向に並んでいる複数の第1電極と、
前記基板に形成され、第1の方向とは異なる第2の方向に並んでおり、前記第1電極と交差している複数の第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極の間に位置する有機層と、
前記複数の第2電極の間に位置している隔壁と、
を備え、
前記隔壁は、
前記第1電極と重なる領域に位置する複数の第1部分と、
前記複数の第1部分の間に位置する第2部分と、
を有し、
前記第2部分の平面形状は、前記第1部分の平面形状とは異なる発光装置。
A substrate,
A plurality of first electrodes formed on the substrate and arranged in a first direction;
A plurality of second electrodes formed on the substrate, arranged in a second direction different from the first direction, and intersecting the first electrode;
An organic layer positioned between the first electrode and the second electrode;
A partition located between the plurality of second electrodes;
With
The partition is
A plurality of first portions located in a region overlapping the first electrode;
A second portion located between the plurality of first portions;
Have
The planar shape of the second part is a light emitting device different from the planar shape of the first part.
請求項1に記載の発光装置において、
前記第2の方向において、前記第2部分の幅は前記第1部分の幅よりも大きい発光装置。
The light-emitting device according to claim 1.
The light emitting device according to the second direction, wherein a width of the second portion is larger than a width of the first portion.
請求項2に記載の発光装置において、
前記第2部分の平面形状は略6角形であり、かつ前記略6角形の互いに対向する2辺が前記第1の方向に延びている発光装置。
The light-emitting device according to claim 2.
The planar shape of the second part is a substantially hexagonal shape, and two opposing sides of the substantially hexagonal shape extend in the first direction.
請求項2又は3に記載の発光装置において、
前記第2部分のうち最も太い部分の幅は、前記第1部分の幅の5倍以上である発光装置。
The light emitting device according to claim 2 or 3,
The width of the thickest portion of the second portion is a light emitting device that is five times or more the width of the first portion.
請求項1〜4のいずれか一項に記載の発光装置において、
厚さ方向において前記第1電極と前記第2電極の間に位置している絶縁層を備え、
前記絶縁層は、前記第1電極と前記第2電極の交点と重なる領域に開口を有しており、
前記有機層は前記開口内に位置しており、
前記隔壁は前記絶縁層の上に形成されている発光装置。
In the light-emitting device as described in any one of Claims 1-4,
An insulating layer located between the first electrode and the second electrode in the thickness direction;
The insulating layer has an opening in a region overlapping an intersection of the first electrode and the second electrode;
The organic layer is located in the opening;
The partition is a light emitting device formed on the insulating layer.
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