JP2016114627A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 複数の金属層と、
   前記複数の金属層のうち、隣り合う２つの金属層の間に配置された誘電体層とを備え、
   前記複数の金属層の各々には、同一の一次元方向に等間隔に並ぶ複数のスリットが形成されており、
   前記隣り合う２つの金属層のうち、一方の金属層に形成された複数のスリットは、前記一方の金属層の法線方向から見て、他方の金属層に形成された複数のスリットと重ならない、光学フィルタ。
2. 請求項１に記載の光学フィルタであって、
   前記一方の金属層は、
   第１の領域と、
   前記第１の領域と同じ層であって、且つ、前記第１の領域とは異なる位置に形成された第２の領域とを含み、
   前記第１の領域に形成された複数のスリットの周期は、前記第２の領域に形成された複数のスリットの周期と異なる、光学フィルタ。
3. 請求項１又は２に記載の光学フィルタであって、
   前記一方の金属層に形成された複数のスリットの周期は、前記他方の金属層に形成された複数のスリットの周期と異なる、光学フィルタ。
4. 請求項３に記載の光学フィルタであって、
   前記一方の金属層に形成された複数のスリットの周期は、前記他方の金属層に形成された複数のスリットの周期の整数倍である、光学フィルタ。
5. 請求項４に記載の光学フィルタであって、
   前記一方の金属層は、前記他方の金属層よりも光の入射側に配置され、
   前記一方の金属層に形成された複数のスリットの周期は、前記他方の金属層に形成された複数のスリットの周期よりも短い、光学フィルタ。
6. 請求項４に記載の光学フィルタであって、
   前記一方の金属層は、前記他方の金属層よりも光の入射側に配置され、
   前記他方の金属層に形成された複数のスリットの周期は、前記一方の金属層に形成された複数のスリットの周期よりも短い、光学フィルタ。