JP2016106247A - Thin film-forming device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、インクジェット方式の薄膜形成装置および薄膜形成方法に関する。 The present invention relates to an ink jet thin film forming apparatus and a thin film forming method.
インクジェット方式とは、塗布ヘッドとしての気泡または圧電素子を利用したインクジェット塗布ヘッドから塗布材料としてのインク液滴を少量ずつ高精度に吐出する方式である。このインク液滴の高精度な吐出によって塗布対象とする部材にインク液滴を塗布する処理を装置化したものが、インクジェット塗布装置である。これは、インクの高精細な塗布を実現できる装置として近年注目されており、紙への印刷に限らず、あらゆる産業分野でその適用可能性が探られており、既に実用化されているものもある。 The ink jet method is a method in which ink droplets as a coating material are ejected little by little with high accuracy from an ink jet coating head using bubbles or a piezoelectric element as a coating head. An ink jet coating apparatus is a device that applies a process for applying ink droplets to a member to be coated by highly accurate ejection of the ink droplets. This has attracted attention in recent years as an apparatus that can realize high-definition ink application, and is not limited to printing on paper. is there.
塗布ヘッドの下面先端には、複数のノズルが所定のピッチで設けられ、このノズルのピッチによって塗布材料である液滴の吐出間隔が決まる。このノズルのピッチは小さく、ノズルごとに吐出の有無を個別に管理できることから、フレキソ印刷法のような版型を不要として、平面内の自由な形状の塗布が可能となる。 A plurality of nozzles are provided at a predetermined pitch at the tip of the lower surface of the coating head, and the discharge interval of the droplets that are the coating material is determined by the pitch of the nozzles. Since the nozzle pitch is small and the presence or absence of ejection can be individually managed for each nozzle, it is possible to apply a free shape in a plane without using a plate as in the flexographic printing method.
一方で、ノズルから液滴の吐出が可能なように塗布材料の粘度が調整されることから、吐出された後の基板上で塗布材料の濡れ広がりが発生する。このため、液滴の1滴と隣りの液滴の1滴とが作る面形状の安定性が問題となり、特に面形状の最外周でのライン形状は製作物の品質に大きく影響する。 On the other hand, since the viscosity of the coating material is adjusted so that droplets can be ejected from the nozzle, wetting and spreading of the coating material occurs on the substrate after ejection. For this reason, the stability of the surface shape formed by one droplet of one droplet and one droplet of the adjacent droplet becomes a problem, and the line shape at the outermost periphery of the surface shape greatly affects the quality of the product.
例えば、特許文献1は、インクジェットヘッドにより配向膜材料を吐出して基板上に付着させるものである。乾燥固化させて配向膜を形成する方法において、インクジェットでの吐出に適した粘度とするための配向膜材料に添加する表面張力調整の溶剤や、脱気溶剤が示されている。これは、インクジェットの吐出動作と吐出後の基板上でのレベリング性を向上しようとするものであり、乾燥固化については別工程として次の乾燥させる装置に移されるものである(非特許文献1参照)。 For example, in Patent Document 1, an alignment film material is ejected by an ink jet head and adhered onto a substrate. In the method of forming an alignment film by drying and solidifying, a solvent for adjusting the surface tension and a deaeration solvent to be added to the alignment film material for achieving a viscosity suitable for ink jet discharge are shown. This is intended to improve the inkjet discharge operation and leveling on the substrate after discharge, and the drying and solidification is transferred to the next drying apparatus as a separate process (see Non-Patent Document 1). ).
これまで、インクジェット方式の塗布における高い塗布位置精度や膜厚の均一性を求める上では、主に、目標とする塗布間隔と塗布ヘッドのノズルピッチとの相対的な位置関係が着目されていた。
しかしながら、インクジェット方式の塗布を様々な分野で活用していく上では、塗布する時点の動作に加えて、塗布した直後から乾燥して基板上に固着するまでをいかに管理するかも重要である。
Until now, in order to obtain high coating position accuracy and film thickness uniformity in inkjet coating, the relative positional relationship between the target coating interval and the nozzle pitch of the coating head has been focused.
However, in order to utilize inkjet application in various fields, in addition to the operation at the time of application, it is also important how to manage from immediately after application to drying and fixing on the substrate.
特に、液晶ガラス基板の製造に適用した事例では、基板の大型化が進むにつれ、どのような固着状態となるかが極めて重要となる。このため、インクジェット方式により位置を管理して塗布し、管理された位置を保持できるよう速やかに乾燥させることが望ましい。
しかしながら、非特許文献1に示すような従来の方法では、一連の塗布処理が終了した後に、乾燥処理が行われる。このため、塗布処理開始から乾燥装置にセットされ乾燥処理が開始されるまでの間に、乾燥処理が行われないこととなる。このため、乾燥処理を開始するまでの間にガラス基板に塗布された液滴が動いてしまったり、液滴間のオーバーラップによるレベリングが意図しない状態で連鎖的に発生したりするおそれがある。
In particular, in a case where the present invention is applied to the production of a liquid crystal glass substrate, it is extremely important what kind of fixing state is brought about as the size of the substrate increases. For this reason, it is desirable that the position is controlled and applied by an ink jet method and dried quickly so that the controlled position can be maintained.
However, in the conventional method as shown in Non-Patent Document 1, a drying process is performed after a series of coating processes are completed. For this reason, the drying process is not performed during the period from the start of the coating process until the drying process is started after being set in the drying apparatus. For this reason, there is a possibility that the droplets applied to the glass substrate move before the drying process starts, or that the leveling due to the overlap between the droplets may occur in an unintended state.
そこで、本発明は、高精度で均一な塗布が可能な薄膜形成装置及び薄膜形成方法を提供することを課題とする。 Then, this invention makes it a subject to provide the thin film formation apparatus and thin film formation method which can apply | coat uniformly with high precision.
このような課題を解決するために、本発明は、薄膜形成を行う複数の塗布ヘッドを備える薄膜形成装置であって、塗布対象物の表面に前記塗布ヘッドのインクジェット式ノズルから塗布材を吐出しながら外枠を塗布した後に、前記塗布ヘッドを前記インクジェット式ノズルのノズルピッチの1/N(Nは所定の塗布回数)移動させながら、N回塗布して前記外枠パターンで囲まれた内面の塗布を行うことを特徴とする。
本発明は、薄膜形成を行う複数の塗布ヘッドを備える薄膜形成装置の薄膜形成方法であって、塗布対象物の表面に前記塗布ヘッドのインクジェット式ノズルから塗布材を吐出しながら外枠を塗布する外枠塗布工程と、前記外枠を塗布した後に、前記塗布ヘッドを前記インクジェット式ノズルのノズルピッチの1/N(Nは所定の塗布回数)移動させながら、N回塗布して前記外枠パターンで囲まれた内面を塗布する内面塗布工程と、を行うことを特徴とする。
これにより、膜厚を均一化させることができる。
また、前記内面の塗布は、前記外枠により堰き止められるように、前記塗布材をN回塗布することを特徴とする。これにより、配向膜形成領域からのはみ出し(濡れ広がり)を低減させ、配向膜材料を効率的に使用することができる。
また、前記塗布材は、ポリイミドの薄膜を含む配向膜であることを特徴とする。
In order to solve such a problem, the present invention is a thin film forming apparatus including a plurality of coating heads for forming a thin film, and discharges a coating material from an inkjet nozzle of the coating head to the surface of a coating target. After coating the outer frame, the coating head is applied N times while moving the coating head 1 / N of the nozzle pitch of the inkjet nozzle (N is a predetermined number of coating times), and the inner surface surrounded by the outer frame pattern. It is characterized by performing application.
The present invention is a thin film forming method of a thin film forming apparatus including a plurality of coating heads for forming a thin film, and applies an outer frame to the surface of an application target while discharging a coating material from an inkjet nozzle of the coating head. After applying the outer frame, the outer frame pattern is applied N times while moving the application head 1 / N (N is a predetermined number of application times) of the nozzle pitch of the ink jet nozzle. And an inner surface coating step of coating the inner surface surrounded by.
Thereby, a film thickness can be made uniform.
In addition, the coating of the inner surface is performed by applying the coating material N times so as to be blocked by the outer frame. Thereby, the protrusion (wetting spread) from the alignment film forming region can be reduced, and the alignment film material can be used efficiently.
The coating material is an alignment film including a polyimide thin film.
本発明によれば、高精度で均一な塗布が可能な薄膜形成装置及び薄膜形成方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the thin film formation apparatus and thin film formation method which can apply | coat uniformly with high precision can be provided.
以下、本発明を実施するための形態(以下「実施形態」という)について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。 Hereinafter, modes for carrying out the present invention (hereinafter referred to as “embodiments”) will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. In each figure, common portions are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
図1は、本実施形態に係る薄膜形成装置1の構成を示す斜視図である。
本実施形態に係る薄膜形成装置1は、フラット・パネル・ディスプレイや、電気泳動方式などを応用したフレキシブル・ディスプレイと呼ばれるしなやかに曲がる電子ペーパなど、多種多様な用途がある。以下の説明において、本実施形態に係る薄膜形成装置1は、フラット・パネル・ディスプレイに用いられるガラス基板100に対してポリイミドの薄膜を形成(塗布)するものとして説明する。なお、本実施形態に係る薄膜形成装置1でガラス基板100上に形成(塗布)されたポリイミドの薄膜は、本乾燥処理および配向処理(ラビング)をされることにより、配向膜となるものであるが、本説明においては、本乾燥処理・配向処理前の薄膜も「配向膜」と称するものとする。
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a thin film forming apparatus 1 according to the present embodiment.
The thin film forming apparatus 1 according to the present embodiment has a wide variety of uses such as a flat panel display and a flexible bendable electronic paper called an electrophoretic method. In the following description, the thin film forming apparatus 1 according to the present embodiment will be described as forming (coating) a polyimide thin film on a
薄膜形成装置1は、架台2と、ガントリ3と、複数の塗布ヘッド4を有する塗布ヘッドユニット5と、X軸移動機構6と、Y軸移動機構7と、Z軸移動機構8と、配向膜を形成(塗布)する対象であるガラス基板100を真空吸着して固定する吸着テーブル9と、ヘッド回復装置10と、熱源装置31と、アライメントカメラ32(図2参照)と、アライメントカメラ移動機構33(図2参照)と、制御部50(図5参照)と、を備えている。
The thin film forming apparatus 1 includes a gantry 2, a
なお、以下の説明において、図1に示すように、架台2の長手方向(ガントリ3の移動方向)をX軸とし、架台2の幅方向(水平面上でX軸と直交する方向)をY軸とし、鉛直方向をZ軸とするものとして説明する。また、ガントリ3がX軸の正方向に移動することを往路とし、X軸の負方向に移動することを復路とするものとして説明する。
In the following description, as shown in FIG. 1, the longitudinal direction of the gantry 2 (moving direction of the gantry 3) is taken as the X axis, and the width direction of the gantry 2 (the direction perpendicular to the X axis on the horizontal plane) is taken as the Y axis. In the following description, the vertical direction is the Z axis. Further, it is assumed that the movement of the
ガントリ3は、架台2との間に開口3aを有する門型ガントリであり、X軸移動機構6を介して、架台2の上に設けられている。
ガントリ3の復路側には、Y軸移動機構7およびZ軸移動機構8を介して、複数の塗布ヘッド4を有する塗布ヘッドユニット5が設けられている。
ガントリ3の往路側には、熱源装置31が設けられている。また、ガントリ3の往路側は、アライメントカメラ移動機構33(図2参照)を介して、アライメントカメラ32(図2参照)が設けられている。
The
On the return path side of the
A
X軸移動機構6は、架台2に設けられた固定子(マグネットプレート)6aと、ガントリ3に設けられた可動子(コイル)6bとからなるリニアモータアクチュエータであり、架台2に対してガントリ3をX軸方向に移動させることができるようになっている。
Y軸移動機構7は、ガントリ3に設けられた固定子(マグネットプレート)7aと、塗布ヘッドユニット5に設けられた可動子(コイル)7bとからなるリニアモータアクチュエータであり、ガントリ3に対して塗布ヘッドユニット5をY軸方向に移動させることができるようになっている。
Z軸移動機構8は、サーボモータからなり、ガントリ3に対して塗布ヘッドユニット5をZ軸方向に移動させることができるようになっている。
即ち、塗布ヘッドユニット5(塗布ヘッド4,後述するノズル4a)は、X軸移動機構6によりX軸方向に移動することができるようになっており、Y軸移動機構7によりY軸方向に移動することができるようになっており、Z軸移動機構8によりZ軸方向に移動することができるようになっている。
なお、X軸移動機構6、Y軸移動機構7およびZ軸移動機構8は、制御部50により制御されるようになっている。
The
The Y-
The Z-
That is, the coating head unit 5 (the
The
複数の塗布ヘッド4を有する塗布ヘッドユニット5が設けられている。配向膜材料を吐出するノズルのピッチの連続性を確保するために、塗布ヘッド4が複数設けられている。図1に示す例において、塗布ヘッドユニット5には、4個の塗布ヘッド4がY軸方向に沿って一列に配置され、その塗布ヘッド4の列がX軸方向に3列配置されることが図示されている。
さらに、一つの塗布ヘッド4に対して配向膜材料を吐出するノズル(図示せず)がY軸方向に沿って一列に複数配置され、そのノズルの列が複数列配置されている(図示せず)。なお、塗布ヘッド4は、圧電素子等を利用してノズルから少量の液滴を高精度に吐出するインクジェットヘッドである。
なお、制御部50は、塗布ヘッド4の各ノズルごとに配向膜材料の吐出の有無やタイミング、吐出する配向膜材料の量を制御することができるようになっている。
A
Further, a plurality of nozzles (not shown) that discharge alignment film material to one
The
図2は、ガントリ3の背面側の構造を説明する構成模式図である。なお、図2において、X軸移動機構6の可動子6b、Y軸移動機構7、Z軸移動機構8は省略して図示している。
図2に示すように、ガントリ3の往路側(図1の背面側)に配置される熱源装置31は、例えば、赤外線ランプで構成され、略鉛直方向に赤外線を照射することができるようになっている。即ち、ガントリ3の復路時にガントリ3の開口3a(図1参照)を通過した対象(ガラス基板100)に対して赤外線を照射することができるようになっている。
なお、熱源装置31は、制御部50によりその点灯・消灯が制御されるようになっている。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating the structure of the back side of the
As shown in FIG. 2, the
The
なお、本実施形態に係る薄膜形成装置1は、熱源装置31として赤外線ランプを用いるものとして説明するが、これに限られるものではなく、可視光線を照射する可視光線ランプ(図示せず)であってもよく、紫外線を照射する紫外線ランプ(図示せず)であってもよく、ガラス基板100に塗布された配向膜材料を加熱することができるものであればよい。
ちなみに、熱源装置31として紫外線ランプ(図示せず)を用いる場合、紫外線ランプの電源投入から照射される紫外線の強度が安定するまでに時間を要するため、シャッタ(図示せず)を設けて、紫外線ランプの点灯・消灯を制御するのにかえて、シャッタの開閉により照射開始と照射停止を制御するようにするのが望ましい。
また、熱源装置31として、塵埃等を含まない清浄な空気(クリーンエア)を加熱して対象(ガラス基板100)に吹き付ける熱風送風装置(図示せず)であってもよい。加熱された清浄な空気を熱媒体として対象に吹き付けることにより、対象(ガラス基板100)をより加熱することができる。また、熱風送風装置と赤外線ランプ(可視光線ランプ、紫外線ランプ)を組み合せたものであってもよい。
Although the thin film forming apparatus 1 according to the present embodiment is described as using an infrared lamp as the
Incidentally, when an ultraviolet lamp (not shown) is used as the
Further, the
アライメントカメラ32は、吸着テーブル9に吸着されたガラス基板100との位置決め用に使用されるほか、塗布ヘッド4から吐出してガラス基板100に塗布された配向膜材料を観察するためのカメラである。
アライメントカメラ移動機構33は、ガントリ3に対してアライメントカメラ32をY軸方向に移動させることができるようになっている。即ち、アライメントカメラ32は、X軸移動機構6によりX軸方向に移動することができるようになっており、アライメントカメラ移動機構33によりY軸方向に移動することができるようになっている。
なお、X軸移動機構6およびアライメントカメラ移動機構33は、制御部50により制御されるようになっている。また、アライメントカメラ32で撮像された画像は、制御部50に送信され、塗布ヘッド4の位置補正に用いられる。
The
The alignment
The X
図1に戻り、吸着テーブル9は、ガラス基板100を真空吸着して固定することができるようになっている。また、吸着テーブル9は、サーボモータからなるθ回転機構(図示せず)を備えており、Z軸方向の軸を回転軸として回転角θだけ回転させることができるようになっている。
なお、吸着テーブル9は、制御部50によりガラス基板100の着脱および回転角θが制御されるようになっている。
Returning to FIG. 1, the suction table 9 can fix the
The suction table 9 is configured such that the
次に、ヘッド回復装置10について、図3および図4を用いて更に説明する。図3は、ヘッド回復装置10の拡大図である。
ヘッド回復装置10は、塗布ヘッド4のノズルから吐出させて、ノズルの目詰まりを防止するとともに、目詰まりの回復を検出する装置である。
ヘッド回復装置10は、吸込口11と、LED(Light Emitting Diode;発光ダイオード)12と、カメラ13と、LED12をY軸方向に移動させるLED移動機構12Aと、カメラ13をY軸方向に移動させるカメラ移動機構13Aと、電子天秤14と、を備えている。電子天秤14では、配向膜材料を塗布ヘッド4のノズルから吐出させて、各塗布ヘッド4間の1回あたりの吐出量を調整する。
Next, the
The
The
吸込口11は、真空チャンバ(図示せず)等に接続され、Z軸方向に見て塗布ヘッドユニット5に設けられた複数の塗布ヘッド4と位置が対応するように配置されている。即ち、図1に示す塗布ヘッドユニット5に対応して、4個の吸込口11がY軸方向に沿って一列に配置され、その吸込口11の列がX軸方向に3列配置されている。
The
LED12は、塗布ヘッドユニット5に設けられたY軸方向に沿って一列に配置された塗布ヘッド4と位置が対応するように配置されている。即ち、図1に示す塗布ヘッドユニット5に対応して、4個のLED12がY軸方向に沿って一列に配置されている。また、LED12は、LED移動機構12AによりY軸方向に移動することができるようになっている。
なお、LED12は、制御部50によりその点灯・消灯が制御されるようになっている。
The
The
カメラ13は、塗布ヘッドユニット5に設けられたY軸方向に沿って一列に配置された塗布ヘッド4と位置が対応するように配置されている。即ち、図1に示す塗布ヘッドユニット5に対応して、4個のカメラ13がY軸方向に沿って一列に配置されている。また、カメラ13は、カメラ移動機構13AによりY軸方向に移動することができるようになっている。
なお、カメラ13で撮像された画像は、制御部50に送信される。
The
The image captured by the
図4は、ヘッド回復装置10の動作を説明する模式図である。なお、図4は、図1のX−Z平面でみた模式図である。また、図1において、X軸方向に複数の塗布ヘッド4および吸込口11が配置されているが、検査対象のノズルと対応する塗布ヘッド4および吸込口11以外のものは、この図4では図示を省略している。
FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the operation of the
まず、制御部50(後述するヘッド回復制御部51)は、X軸移動機構6およびY軸移動機構7を制御して、吸込口11と対応するように塗布ヘッド4を移動させる。また、制御部50(ヘッド回復制御部51)は、LED移動機構12Aおよびカメラ移動機構13Aを制御して、LED12およびカメラ13のY軸座標が検査対象のノズル4aのY軸座標と一致するように移動させる。また、カメラ13は、X軸方向の移動機構(図示せず)を有しており、撮像の焦点位置を検査対象のノズル4aのX軸座標と一致するように移動させる。
First, the control unit 50 (a head
次に、制御部50(ヘッド回復制御部51)は、塗布ヘッド4を制御して、ノズル4aから配向膜材料の液滴4bを吐出させる回復運転を行う。なお、吐出された配向膜材料の液滴4bは、吸込口11に入る。
この際、制御部50(ヘッド回復制御部51)は、LED12を点灯させ、カメラ13で撮像する。吐出された配向膜材料の液滴4bは、カメラ13で撮像する画像において、影として撮像される。これにより、ノズル4aの目詰まりの回復を検知することができる。
Next, the control unit 50 (head recovery control unit 51) controls the
At this time, the control unit 50 (head recovery control unit 51) turns on the
なお、ノズル4aの目詰まりは、配向膜材料の液滴4bを吐出することによって解消するが、吐出制御のみで目詰まりが解消できない場合、制御部50(ヘッド回復制御部51)は、Z軸移動機構8(図1参照)を制御して、塗布ヘッド4を吸込口11と接触するように降下させ、吸引回復を行ってもよい。そして、制御部50(ヘッド回復制御部51)は、Z軸移動機構8(図1参照)を制御して、所定の高さまで戻し、ノズル4aから配向膜材料の液滴4bを吐出させ、カメラ13で撮像して回復を確認する。
The clogging of the
図5は、制御部50の機能を説明する機能ブロック図である。
制御部50は、X軸移動機構6、Y軸移動機構7、Z軸移動機構8、LED移動機構12A、カメラ移動機構13Aおよびアライメントカメラ移動機構33の移動位置を制御することができるようになっている。
また、制御部50は、吸着テーブル9において、ガラス基板100の着脱および回転角θを制御することができるようになっている。
また、制御部50は、LED12および熱源装置31の点灯・消灯を制御することができるようになっている。
また、制御部50は、複数ある塗布ヘッド4のノズルごとに配向膜材料の吐出の有無やタイミングを制御することができるようになっている。
また、制御部50は、カメラ13およびアライメントカメラ32で撮像された画像が入力されるようになっている。
FIG. 5 is a functional block diagram illustrating functions of the
The
In addition, the
Moreover, the
Further, the
In addition, the
制御部50は、ヘッド回復制御部51と、外枠塗布工程制御部52と、内面塗布工程制御部53と、を備えている。
ヘッド回復制御部51は、塗布ヘッド4のノズルを回復させる制御を行うようになっている。
外枠塗布工程制御部52は、ガラス基板100に塗布する配向膜の外枠を形成する制御を行うようになっている。
内面塗布工程制御部53は、外枠塗布工程制御部52により形成された配向膜の外枠の内部に配向膜材料を塗布する制御を行うようになっている。
The
The head
The outer frame application
The inner surface application
次に図6から図8を用いて、本実施形態に係る薄膜形成装置1の薄膜形成方法を説明する。 Next, a thin film forming method of the thin film forming apparatus 1 according to this embodiment will be described with reference to FIGS.
ステップS1において、制御部50のヘッド回復制御部51は、塗布ヘッド4のノズルから配向膜材料を正常に滴下できるか確認する。また、電子天秤14を用いて、塗布ヘッド4のノズルからの配向膜材料の吐出量を調整する。
具体的には、ヘッド回復制御部51は、X軸移動機構6およびY軸移動機構7を制御して、吸込口11と対応するように塗布ヘッド4を移動させる。また、LED移動機構12Aおよびカメラ移動機構13Aを制御して、LED12およびカメラ13のY軸座標が検査対象のノズルのY軸座標と一致するように移動させる。
そして、ヘッド回復制御部51は、塗布ヘッド4を制御して、ノズルから配向膜材料を吐出させ、吐出された配向膜材料の液滴をカメラ13で撮像して確認する。
なお、ノズルに目詰まりが発生し、滴下されない場合、前述した吸引回復を実行する。
塗布ヘッド4のノズルから正常に滴下できることを確認したら、ステップS2に進む。
In step S <b> 1, the head
Specifically, the head
Then, the head
When the nozzle is clogged and not dropped, the above-described suction recovery is executed.
If it is confirmed that the liquid can be normally dropped from the nozzle of the
ステップS2において、制御部50は、吸着テーブル9を制御して、外部の基板装填機構(図示せず)により吸着テーブル9上に配置されたガラス基板100を吸着させる(基板ロード)。また、制御部50は、X軸移動機構6およびアライメントカメラ移動機構33を制御してアライメントカメラ32を移動させ、アライメントカメラ32で撮像された画像に基づいて吸着テーブル9に吸着されたガラス基板100の位置を確認する。制御部50は、ここで確認されたガラス基板100の位置情報に基づいて、後述する塗布ヘッド4の移動を制御する。
In step S2, the
ステップS3において、制御部50の外枠塗布工程制御部52は、ガラス基板100上に配向膜の外枠を塗布して形成する。ここで、図7を用いてステップS3に示す外枠塗布工程を更に説明する。
まず、ステップS31において、外枠塗布工程制御部52は、Y軸移動機構7を制御して、後述するステップS32において塗布ヘッド4が外枠パターン110(図9(a)参照)を形成する領域を通過するように、Y軸の位置を移動させる(塗布ヘッドY軸位置合わせ)。
In step S <b> 3, the outer frame application
First, in step S31, the outer frame coating
ステップS32において、図9(a)に示すように、外枠塗布工程制御部52は、X軸移動機構6を制御して、ガントリ3を往路方向に移動させるとともに、塗布ヘッド4を制御して、塗布ヘッド4のノズルから配向膜材料の液滴を滴下するタイミングを制御する。
これにより、ガラス基板100に配向膜の外枠パターン110が塗布される。
In step S32, as shown in FIG. 9A, the outer frame application
Thereby, the
ガントリ3の往路方向の移動が終了すると、ステップS33に進む。
ステップS33において、外枠塗布工程制御部52は、熱源装置31である赤外線ランプを点灯させる(熱源装置ON)。
When the movement of the
In step S33, the outer frame coating
ステップS34において、図9(b)に示すように、外枠塗布工程制御部52は、X軸移動機構6を制御して、ガントリ3を復路方向に移動させる。こうして、ガントリ3の開口3a(図1参照)を通過したガラス基板100に対して、赤外線(加熱領域)34を照射する。
これにより、ステップS32でガラス基板100に塗布された配向膜の外枠パターン110を乾燥させる。
In step S34, as shown in FIG. 9B, the outer frame application
Thereby, the
ガントリ3の復路方向の移動が終了すると、ステップS35に進む。
ステップS35において、外枠塗布工程制御部52は、熱源装置31である赤外線ランプを消灯させる(熱源装置OFF)。
When the movement of the
In step S35, the outer frame coating
ステップS36において、外枠塗布工程制御部52は、所定の回数が終了したか否かを判定する。
ステップS3に示す外枠塗布工程において、外枠パターン110を所定の高さとするために、外枠パターン110の塗布と乾燥を複数回繰り返すようになっており、所定の回数が終了していない場合(S36・No)、外枠塗布工程制御部52の処理は、ステップS31に戻る。所定の回数が終了した場合(S36・Yes)、図7に示す外枠塗布工程(ステップS3)を終了し、図6のステップS4に進む。
In step S36, the outer frame coating
In the outer frame application process shown in step S3, in order to set the
図6に戻り、ステップS4において、制御部50の内面塗布工程制御部53は、ステップS3で形成された外枠パターン110(図9参照)で囲まれた内面に配向膜材料を塗布する。ここで、図8を用いてステップS4に示す内面塗布工程を更に説明する。
ステップS41において、内面塗布工程制御部53は、Y軸移動機構7を制御して、塗布ヘッド4がY軸方向の初期位置に配置されるように、Y軸の位置を移動させる(塗布ヘッドY軸位置合わせ)。
Returning to FIG. 6, in step S <b> 4, the inner surface coating
In step S41, the inner surface application
ステップS42において、内面塗布工程制御部53は、X軸移動機構6を制御して、ガントリ3を移動させるとともに、塗布ヘッド4を制御して、ノズルから配向膜材料の液滴を滴下するタイミングを制御する(ガントリ移動・塗布)。なお、S42におけるガントリ3の移動は、往路、復路を問わない。
これにより、ステップS3で形成された外枠パターン110(図9参照)で囲まれた内面に配向膜材料が塗布される。
In step S42, the inner surface coating
Thus, the alignment film material is applied to the inner surface surrounded by the outer frame pattern 110 (see FIG. 9) formed in step S3.
ステップS43において、内面塗布工程制御部53は、所定の塗布回数(N回)が終了したか否かを判定する。
後述するように、外枠パターン110で囲まれた内面の塗布は、塗布ヘッド4をノズルピッチの1/N移動させながら、N回塗布する。これにより、外枠パターン110で囲まれた内面に滴下される液滴のピッチは、塗布ヘッド4のノズルピッチの1/Nとなる。これにより、膜厚を均一化させることができる。
所定の塗布回数が終了していない場合(S43・No)、ステップS44に進み、内面塗布工程制御部52は、Y軸移動機構7を制御して、塗布ヘッド4を1/Nノズルピッチ移動させる。そしてステップS42に戻る。
所定の塗布回数が終了した場合(S43・Yes)、図8に示す内面塗布工程(ステップS4)を終了し、図6のステップS5に進む。
In step S43, the inner surface application
As will be described later, the inner surface surrounded by the
If the predetermined number of times of application has not been completed (No at S43), the process proceeds to Step S44, and the inner surface application
When the predetermined number of times of application is completed (S43 / Yes), the inner surface application process (step S4) shown in FIG. 8 is ended, and the process proceeds to step S5 of FIG.
ステップS5において、制御部50は、吸着テーブル9を制御して、吸着テーブル9上に配置されたガラス基板100の吸着を解除する。配向膜が塗布されたガラス基板100は外部の基板装填機構(図示せず)により薄膜形成装置1から摘出される(基板アンロード)。
なお、薄膜形成装置1から摘出されたガラス基板100は、本乾燥処理を行う乾燥処理装置(図示せず)へと送られる。
In step S <b> 5, the
The
このように、本実施形態に係る薄膜形成装置1は、インクジェット方式を用いて配向膜を形成するので、従来のフレキソ印刷法のような版型を必要とせず、少量・多品種の配向膜形成(換言すれば、少量・多品種のフラット・パネル・ディスプレイの製造)に対応することができる。 As described above, since the thin film forming apparatus 1 according to the present embodiment forms an alignment film using an ink jet method, it does not require a plate as in the conventional flexographic printing method, and forms a small amount and a variety of alignment films. (In other words, it is possible to manufacture a small amount and a variety of flat panel displays).
また、本実施形態に係る薄膜形成装置1は、ガラス基板100に配向膜を形成する際、配向膜の外枠パターン110を形成し、その後、枠内に配向膜材料を塗布する。
ここで、図9に示すように、配向膜の外枠パターン110を形成する際、赤外線ランプ等の熱源装置31により、ガラス基板100上に塗布された配向膜材料を加熱するので、塗布された配向膜材料がガラス基板100上の塗布された位置から広がることを低減させることができる。これにより、配向膜形成領域からのはみ出しを低減させ、配向膜材料を効率的に使用することができる。
また、配向膜のエッジの直線性を向上させることができる。これにより、フラット・パネル・ディスプレイの非表示部面積の更なる縮小化を図ることができる。また、多面取りをするガラス基板においては、隣接する配向膜パターン間を縮小することができ、1枚のガラス基板から取り出せるフラット・パネル・ディスプレイの枚数を向上させることができる。
Moreover, when forming the alignment film on the
Here, as shown in FIG. 9, when forming the
Further, the linearity of the edge of the alignment film can be improved. Thereby, the area of the non-display portion of the flat panel display can be further reduced. In addition, in a multi-surface glass substrate, the space between adjacent alignment film patterns can be reduced, and the number of flat panel displays that can be taken out from one glass substrate can be improved.
次に、枠内に塗布された配向膜材料は、外枠により堰き止められ、それ以上広がらないようになっている。これにより、配向膜形成領域からのはみ出し(濡れ広がり)を低減させ、配向膜材料を効率的に使用することができる。 Next, the alignment film material applied in the frame is blocked by the outer frame so that it does not spread further. Thereby, the protrusion (wetting spread) from the alignment film forming region can be reduced, and the alignment film material can be used efficiently.
また、本実施形態に係る薄膜形成装置1は、吸着テーブル9に隣接して、ヘッド回復装置10が設けられている。これにより、塗布ヘッド4の目詰まりを防止するとともに、ノズルを回復(清掃)することができ、塗布ヘッド4のノズルから滴下する配向膜材料の液滴の量と滴下するタイミングを好適に制御することができる。
また、塗布ヘッド4から吐出する配向膜材料をカメラ13で撮像することにより、目詰まりなく正しく吐出されているか否かを確認することができる。
なお、熱源装置31の照射領域(図9(b)に示す加熱領域34)は、ガラス基板100にガントリ3の下方へと向けられているため、塗布ヘッド4の目詰まりを助長することがないようになっている。
Further, the thin film forming apparatus 1 according to the present embodiment is provided with a
Further, by imaging the alignment film material discharged from the
In addition, since the irradiation area | region (heating area |
<変形例>
なお、本実施形態に係る薄膜形成装置は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。
図10は、変形例に係る薄膜形成装置のガントリ3の構造を説明する構成模式図である。本実施形態に係るガントリ3(図2参照)と比較して、変形例に係るガントリ3(図10参照)は、ガントリ3の復路側(図1の正面側)にも熱源装置35を備えている。熱源装置35は、熱源装置31と同様に、例えば、赤外線ランプで構成され、略鉛直方向に赤外線を照射することができるようになっている。即ち、熱源装置35は、ガントリ3の往路時にガントリ3の開口3a(図1参照)を通過した対象に対して赤外線を照射することができるようになっている。
なお、熱源装置35は、制御部50によりその点灯・消灯が制御されるようになっている。
<Modification>
The thin film forming apparatus according to this embodiment is not limited to the configuration of the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the invention.
FIG. 10 is a schematic diagram illustrating the structure of the
The
図11は、変形例に係る薄膜形成装置の外枠塗布工程を説明する模式図であり、(a)が往路時を(b)が復路時を示す。
図11(a)に示すように、ガントリ3を往路方向に移動させる際、塗布ヘッド4を制御して、塗布ヘッド4のノズルから配向膜材料の液滴を滴下するタイミングを制御するとともに、熱源装置35を点灯させることによりガラス基板100に対して赤外線(加熱領域)36を照射する。
また、図11(b)に示すように、ガントリ3を復路方向に移動させる際、塗布ヘッド4を制御して、塗布ヘッド4のノズルから配向膜材料の液滴を滴下するタイミングを制御するとともに、熱源装置31を点灯させることによりガラス基板100に対して赤外線(加熱領域)34を照射する。
このように、変形例に係る薄膜形成装置によれば、往路時にも復路時にも配向膜材料の滴下と乾燥を行うことができ、外枠を形成するタクトタイムを短縮することができる。
また、塗布(配向膜材料の液滴の滴下)から乾燥(赤外線の照射)までの時間を短縮することができるので、外枠の直線性が更に向上する。
FIG. 11 is a schematic diagram for explaining the outer frame coating process of the thin film forming apparatus according to the modification, where (a) shows the time of the forward path and (b) shows the time of the return path.
As shown in FIG. 11A, when the
Further, as shown in FIG. 11B, when moving the
As described above, according to the thin film forming apparatus according to the modification, the alignment film material can be dropped and dried both during the outward path and during the return path, and the tact time for forming the outer frame can be shortened.
Further, since the time from application (dropping of droplets of alignment film material) to drying (infrared irradiation) can be shortened, the linearity of the outer frame is further improved.
また、吸着テーブル9(図1参照)に吸着したガラス基板100を加熱する加熱手段(図示せず)を更に備え、外枠形成工程(ステップS3)においてガラス基板100を加熱することにより、滴下された配向膜材料の液滴の乾燥を促進させるようにしてもよい。
Further, the apparatus further includes a heating means (not shown) for heating the
1 薄膜形成装置
2 架台
3 ガントリ
3a 開口
4 塗布ヘッド
4a ノズル
4b 配向膜材料の液滴
5 塗布ヘッドユニット
6 X軸移動機構
6a 固定子
6b 可動子
7 Y軸移動機構
7a 固定子
7b 可動子
8 Z軸移動機構
9 吸着テーブル
10 ヘッド回復装置
11 吸込口(吐出位置)
12 LED(撮像装置)
12A LED移動機構(撮像装置)
13 カメラ(撮像装置)
13A カメラ移動機構(撮像装置)
31 熱源装置
32 アライメントカメラ
33 アライメントカメラ移動機構
34 赤外線(加熱領域)
35 熱源装置
36 赤外線(加熱領域)
50 制御ユニット
51 ヘッド回復制御部
52 外枠塗布工程制御部
53 内面塗布工程制御部
100 ガラス基板(塗布対象物)
110 外枠パターン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Thin film forming apparatus 2
12 LED (imaging device)
12A LED moving mechanism (imaging device)
13 Camera (imaging device)
13A Camera moving mechanism (imaging device)
31
35
50
110 Outer frame pattern
本発明は、インクジェット方式の薄膜形成装置に関する。 The present invention relates to a thin film forming equipment of an ink jet system.
このような課題を解決するために、本発明は、薄膜形成を行う複数の塗布ヘッドを備える薄膜形成装置であって、塗布対象物の表面に前記複数の塗布ヘッドのインクジェット式ノズルから塗布材を吐出して内面の塗布を行う際に、前記塗布ヘッドを前記インクジェット式ノズルのノズルピッチの1/N(Nは所定の塗布回数)移動させながら、N回塗布して内面の塗布を行うことを特徴とする。
これにより、膜厚を均一化させることができる。
また、前記複数の塗布ヘッドのインクジェット式ノズルから塗布材を吐出して外枠を塗布した後に、前記内面の塗布を行うことを特徴とする。
これにより、外枠を塗布した後に、内面を塗布することができる。
また、前記内面の塗布は、前記外枠により堰き止められるように、前記塗布材をN回塗布することを特徴とする。これにより、配向膜形成領域からのはみ出し(濡れ広がり)を低減させ、配向膜材料を効率的に使用することができる。
また、前記塗布ヘッドを前記塗布対象物の上方位置で移動させるガントリを有し、
前記ガントリに、前記塗布対象物の表面を加熱する熱源装置を備えたことを特徴とする。
また、前記塗布ヘッドのノズルから吐出された塗布材を撮像する撮像装置を備えることを特徴とする。
また、前記塗布材は、ポリイミドの薄膜を含む配向膜であることを特徴とする。
In order to solve such a problem, the present invention is a thin film forming apparatus comprising a plurality of coating heads for forming a thin film, and applying a coating material from the inkjet nozzles of the plurality of coating heads to the surface of a coating object. When applying the inner surface by discharging, the inner surface is applied by applying N times while moving the application head 1 / N (N is a predetermined number of application times) of the nozzle pitch of the inkjet nozzle. Features.
Thereby, a film thickness can be made uniform.
In addition, the inner surface is applied after the outer frame is applied by discharging a coating material from the ink jet nozzles of the plurality of coating heads.
Thereby, after apply | coating an outer frame, an inner surface can be apply | coated.
In addition, the coating of the inner surface is performed by applying the coating material N times so as to be blocked by the outer frame. Thereby, the protrusion (wetting spread) from the alignment film forming region can be reduced, and the alignment film material can be used efficiently.
A gantry that moves the application head above the application object;
The gantry includes a heat source device that heats the surface of the object to be coated.
In addition, the image pickup apparatus includes an imaging device that images the coating material discharged from the nozzle of the coating head.
The coating material is an alignment film including a polyimide thin film.
本発明によれば、高精度で均一な塗布が可能な薄膜形成装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a thin film forming equipment that can be uniformly applied with high precision.
Claims (4)
塗布対象物の表面に前記塗布ヘッドのインクジェット式ノズルから塗布材を吐出しながら外枠を塗布した後に、
前記塗布ヘッドを前記インクジェット式ノズルのノズルピッチの1/N(Nは所定の塗布回数)移動させながら、N回塗布して前記外枠パターンで囲まれた内面の塗布を行う
ことを特徴とする薄膜形成装置。 A thin film forming apparatus comprising a plurality of coating heads for forming a thin film,
After applying the outer frame while discharging the coating material from the inkjet nozzle of the coating head to the surface of the coating object,
While the coating head is moved 1 / N of the nozzle pitch of the inkjet nozzle (N is a predetermined number of coating times), coating is performed N times to coat the inner surface surrounded by the outer frame pattern. Thin film forming equipment.
ことを特徴とする請求項1に記載の薄膜形成装置。 The thin film forming apparatus according to claim 1, wherein the inner surface is coated with the coating material N times so that the outer frame can be dammed.
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の薄膜形成装置。 The thin film forming apparatus according to claim 1, wherein the coating material is an alignment film including a polyimide thin film.
塗布対象物の表面に前記塗布ヘッドのインクジェット式ノズルから塗布材を吐出しながら外枠を塗布する外枠塗布工程と、
前記外枠を塗布した後に、前記塗布ヘッドを前記インクジェット式ノズルのノズルピッチの1/N(Nは所定の塗布回数)移動させながら、N回塗布して前記外枠パターンで囲まれた内面を塗布する内面塗布工程と、を行う
ことを特徴とする薄膜形成装置の薄膜形成方法。 A thin film forming method of a thin film forming apparatus including a plurality of coating heads for forming a thin film,
An outer frame application step of applying an outer frame to the surface of an application object while discharging an application material from an inkjet nozzle of the application head;
After coating the outer frame, the inner surface surrounded by the outer frame pattern is coated N times while moving the coating head 1 / N (N is a predetermined number of coating times) of the nozzle pitch of the inkjet nozzle. A thin film forming method for a thin film forming apparatus, comprising: an inner surface coating step for coating.
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JP (1) | JP6339553B2 (en) |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10157087A (en) * | 1996-11-29 | 1998-06-16 | Ricoh Co Ltd | Ink jet recorder |
JPH10235848A (en) * | 1997-02-26 | 1998-09-08 | Tec Corp | Image recording mehtod for image recording device |
JP2004165140A (en) * | 2002-09-19 | 2004-06-10 | Dainippon Printing Co Ltd | Manufacturing method and manufacturing apparatus of organic electroluminescence display device and color filter using ink jet method |
JP2005000721A (en) * | 2003-06-09 | 2005-01-06 | Shibaura Mechatronics Corp | Method and apparatus for forming film |
JP2006122898A (en) * | 2004-09-30 | 2006-05-18 | Ricoh Printing Systems Ltd | Thin film forming apparatus and thin film forming method |
JP2006133671A (en) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Toshiba Corp | Method for producing display device and method for depositing thin film |
WO2008093701A1 (en) * | 2007-01-30 | 2008-08-07 | Toray Engineering Co., Ltd. | Application apparatus |
JP2009072691A (en) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Hitachi High-Technologies Corp | Ink jet state inspection device, manufacturing apparatus for flat panel, and flat panel |
JP2009181674A (en) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Toshiba Corp | Method of manufacturing magnetic recording medium |
JP2010184196A (en) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Seiko Epson Corp | Method of forming thin film and method of forming oriented film |
JP2012066528A (en) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Olympus Corp | Inkjet printer equipped with head moving mechanism |
JP2012187713A (en) * | 2011-03-08 | 2012-10-04 | Olympus Corp | Inkjet printer |
JP2013000656A (en) * | 2011-06-16 | 2013-01-07 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Thin film-forming device and thin film-forming method |
-
2015
- 2015-12-24 JP JP2015250941A patent/JP6339553B2/en active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10157087A (en) * | 1996-11-29 | 1998-06-16 | Ricoh Co Ltd | Ink jet recorder |
JPH10235848A (en) * | 1997-02-26 | 1998-09-08 | Tec Corp | Image recording mehtod for image recording device |
JP2004165140A (en) * | 2002-09-19 | 2004-06-10 | Dainippon Printing Co Ltd | Manufacturing method and manufacturing apparatus of organic electroluminescence display device and color filter using ink jet method |
JP2005000721A (en) * | 2003-06-09 | 2005-01-06 | Shibaura Mechatronics Corp | Method and apparatus for forming film |
JP2006122898A (en) * | 2004-09-30 | 2006-05-18 | Ricoh Printing Systems Ltd | Thin film forming apparatus and thin film forming method |
JP2006133671A (en) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Toshiba Corp | Method for producing display device and method for depositing thin film |
WO2008093701A1 (en) * | 2007-01-30 | 2008-08-07 | Toray Engineering Co., Ltd. | Application apparatus |
JP2009072691A (en) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Hitachi High-Technologies Corp | Ink jet state inspection device, manufacturing apparatus for flat panel, and flat panel |
JP2009181674A (en) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Toshiba Corp | Method of manufacturing magnetic recording medium |
JP2010184196A (en) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Seiko Epson Corp | Method of forming thin film and method of forming oriented film |
JP2012066528A (en) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Olympus Corp | Inkjet printer equipped with head moving mechanism |
JP2012187713A (en) * | 2011-03-08 | 2012-10-04 | Olympus Corp | Inkjet printer |
JP2013000656A (en) * | 2011-06-16 | 2013-01-07 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Thin film-forming device and thin film-forming method |
JP5864141B2 (en) * | 2011-06-16 | 2016-02-17 | 株式会社日立製作所 | Thin film forming apparatus and thin film forming method |
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Publication number | Publication date |
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