JP2016090752A - 光学デバイス、光学デバイスの製造方法および画像表示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラスなどの光学部が保持部材から剥がれることが抑制された信頼性の高い光学デバイス、かかる光学デバイスを効率よく製造可能な光学デバイスの製造方法、および、前記光学デバイスを備え、画質の高い表示が可能な画像表示装置を提供する。【解決手段】光路偏向素子（光学デバイス）は、光が入射する光入射面を有する光学部２０２と、光学部２０２が配置される配置面２０４６ａを含み、かつ、凹状の配置部２０７を有する可動部２０４と、可動部２０４を揺動可能に支持する軸部２０６と、軸部２０６が接続される固定部２０８と、を備え、光入射面の法線方向からの平面視において、光学部２０２と軸部２０６との間に、設置面２０４６ａが設けられていない部分（欠損部２０４７）を有することを特徴とする。【選択図】図１８

Description

本発明は、光学デバイス、光学デバイスの製造方法および画像表示装置に関するものである。

２次元配列の画素を有する画像形成素子において、画素ごとに光の波長や強度等を制御することにより、画像を生成し、これをレンズ等の光学系で拡大して表示する投射型画像表示装置として、プロジェクター、ヘッドマウントディスプレイ等が知られている。画像形成素子としては、液晶素子や有機ＥＬ素子等が用いられており、これらの素子については、年々、解像度の向上が図られている。

現在、画像表示装置の市場では、いわゆるフルハイビジョンと呼ばれる解像度を有する商品が普及しているが、今後、例えば４Ｋ、８Ｋ（スーパーハイビジョン）と呼ばれるさらに高い解像度を有する商品に移行するものと予測されている。

このような高解像度の表示を実現する方法の１つに、画像形成素子によって生成された画像の投射位置をシフトさせる画素ずらし装置（画素シフター）を用いる方法がある。画素ずらし装置としては、光学要素での屈折（光変調）を利用して光路をシフトさせるものが知られている。

例えば、特許文献１には、画像光を透過して入射角度に応じて光路を変更する光路変更板であるガラスと、ガラスを保持する平面状の保持部材と、保持部材に設けられた開口と、開口に沿うように取り付けられたコイルと、コイルに通電する駆動回路と、コイルにローレンツ力を作用させるための磁界を発生させる永久磁石およびヨークと、保持部材を支持台に固定する板バネと、を有する光路制御装置が開示されている。このような光路制御装置では、コイルに流す電流の向きを変えることにより、ガラスに投射される光に対する保持部材およびガラスの角度を変えることができる。このようにしてガラスの角度を変えることにより、ガラスを透過する光の光路を変更することができる。

特開２０１１−１５８５８９号公報

一方、特許文献１では、ガラスをどのように保持しているかについて詳細な記載は認められない。

ガラスと保持部材とは接着剤を用いて固着されることが考えられる。ところが、この接着の方法によっては、ガラスと保持部材との間に接着剤が充填されにくく、ガラスと保持部材との間に十分な厚みの接着剤の層が形成されないというおそれがある。この場合に画素ずらし装置に温度変化が生じると、接着剤が割れ、ガラスが剥がれるという不具合が起こる。

本発明の目的は、ガラスなどの光学部が保持部材から剥がれることが抑制された信頼性の高い光学デバイス、かかる光学デバイスを効率よく製造可能な光学デバイスの製造方法、および、前記光学デバイスを備え、画質の高い表示が可能な画像表示装置を提供することにある。

このような目的は、下記の適用例により達成される。
本発明の光学デバイスは、光が入射する光入射面を有する光学部と、
前記光学部が配置される配置面を含み、かつ、凹状の配置部を有する可動部と、
前記可動部を揺動可能に支持する軸部と、
を備え、
前記光入射面の法線方向からの平面視において、前記光学部と前記軸部との間に、前記配置面が設けられていない部分を有することを特徴とする。

これにより、ガラスなどの光学部が保持部材から剥がれることが抑制された信頼性の高い光学デバイスが得られる。

本発明の光学デバイスでは、前記光学部と前記軸部との間に接着剤が設けられていることが好ましい。
これにより、光学部をより確実に支持することができる。

本発明の光学デバイスでは、前記可動部に設けられている永久磁石と、前記永久磁石に作用する磁界を発生させるコイルと、を有することが好ましい。

これにより、永久磁石とコイルとの間で磁気的相互作用が生じ、永久磁石に駆動力を発生させることができる。

本発明の光学デバイスでは、さらに、前記軸部が接続される固定部を備えることが好ましい。
これにより、軸部をより確実に支持することができる。

本発明の光学デバイスでは、前記可動部、前記軸部および前記固定部は、それぞれ前記光学部よりも弾性率が小さいことが好ましい。

これにより、軸部には可捻性（捻ることができる性質）が付与されるとともに、固定部には可撓性（撓むことができる性質）が付与される。また、光学部には、その変形が抑えられるとともに、駆動部による駆動力を可動部全体に的確に伝達する機能が付与される。このため、可動部が揺動するときの変位量が安定し、光学部を透過する光を目的とする方向に偏向させたり、目的とする量だけ偏向させたりすることができる。

本発明の光学デバイスでは、前記可動部、前記軸部および前記固定部は、それぞれ樹脂材料で構成されていることが好ましい。

これにより、軸部には可捻性（捻ることができる性質）が付与されるとともに、固定部には可撓性（撓むことができる性質）が付与される。また、光学部には、その変形が抑えられるとともに、駆動部による駆動力を可動部全体に的確に伝達する機能が付与される。このため、可動部が揺動するときの変位量が安定し、光学部を透過する光を目的とする方向に偏向させたり、目的とする量だけ偏向させたりすることができる。また、樹脂材料は、比較的弾性が大きいため、揺動に伴って光学部に発生する不要な振動を減衰させることに寄与する。これにより、光学部によって偏向される光が、意図しない方向に偏向されてしまうのを防止することができる。

本発明の光学デバイスは、光が入射する光入射面を有する光学部と、
前記光学部が配置される配置面を含み、かつ、凹状の配置部を有する可動部と、
揺動軸を中心にして前記可動部を揺動可能に支持する軸部と、
を備え、
前記光入射面の法線方向からの平面視において、前記配置面は、前記可動部の揺動軸と重ならないことを特徴とする。

これにより、ガラスなどの光学部が保持部材から剥がれることが抑制された信頼性の高い光学デバイスが得られる。

本発明の光学デバイスでは、前記光学部は、光を透過することが好ましい。
これにより、光学部に入射する光の入射角度が目的とする角度になるように光学部の姿勢を変化させることにより、透過光の偏向方向や偏向量を制御することができる。

本発明の光学デバイスでは、前記光学部は、光を反射することが好ましい。
これにより、光学部に入射する光の入射角度が目的とする角度になるように光学部の姿勢を変化させることにより、反射光の偏向方向や偏向量を制御することができる。

本発明の光学デバイスの製造方法は、光が入射する光入射面を有する光学部と、
前記光学部が配置される凹状の配置部を有する可動部と、
前記可動部を揺動可能に支持する軸部と、
を備える光学デバイスの製造方法であって、
前記配置部は、前記光学部が配置される配置面が設けられている第１部分と前記配置面が設けられていない第２部分とを有しており、前記配置部の側面のうち、前記第２部分の少なくとも一部に接着剤を供給する第１の工程と、
前記光学部を前記配置部に配置する第２の工程と、
前記第１の工程において前記接着剤を供給した前記配置部の側面に向かって前記光学部を押しつける第３の工程と、
前記第３の工程において前記光学部を押しつけることによって増加した前記配置部の側面と前記光学部との隙間に接着剤を供給する第４の工程と、
を有することを特徴とする。

これにより、接着剤への気泡の巻き込みを抑制しつつ、光学部と可動部との離間距離を狭めることができるので、ガラスなどの光学部が保持部材から剥がれることが抑制された信頼性の高い光学デバイスを効率よく製造することができる。

本発明の光学デバイスの製造方法では、さらに、前記第２の工程の前に設けられ、前記光学部の側面に接着剤を供給する第５の工程を有することが好ましい。

これにより、接着面積をより広くすることができ、光学部をより確実に固定することができる。

本発明の光学デバイスの製造方法では、前記第１の工程および前記第４の工程において供給された前記接着剤を硬化させる第６の工程と、
前記第６の工程の後に設けられ、前記第２部分における、前記配置部の側面と前記光学部との間の隙間に接着剤を供給する第７の工程と、
をさらに有することが好ましい。

これにより、硬化処理によって接着剤が収縮していた場合でも、その収縮によって生じた空間を接着剤で埋めることができる。その結果、接着剤中に気泡や隙間が残存してしまうのを抑制することができ、より信頼性の高い光学デバイスを製造することができる。

本発明の画像表示装置は、本発明の光学デバイスを備えることを特徴とする。
これにより、画質の高い表示が可能な画像表示装置が得られる。

本発明の画像表示装置では、前記光学デバイスにおいて前記光学デバイスから射出される光の光路を変更することにより、前記光の照射によって表示される画素の位置をずらすように構成されていることが好ましい。

これにより、例えば光学部に入射する光で形成される画像の画素数を増やすことなく、投射される画像の高解像度化を図ることができる。

本発明の画像表示装置では、前記光学デバイスは、前記光を走査して画像を形成することが好ましい。
これにより、投射される画像の高解像度化を図ることができる。

本発明の画像表示装置の第１実施形態を適用したプロジェクターの光学的な構成を示す図である。 図１に示すプロジェクターの電気的な構成を示すブロック図である。 図１に示す光路偏向素子（本発明の光学デバイスの第１実施形態）の構成を示す斜視図である。 図３に示す光路偏向素子のうち、機能部および駆動部周辺を拡大して示す斜視図である。 図４に示す機能部の平面図である。 図４に示す機能部の部分拡大斜視図である。 図５に示す機能部のうち、光学部のみを図示した斜視図である。 図５に示す機能部のうち、光学部を除く部分を裏面側から図示した平面図である。 図８に示す機能部の斜視図である。 図５の揺動軸Ａに沿って機能部を切断したときの切断面である。 図４に示す機能部を表面側から見たときの部分拡大斜視図である。 図４に示す機能部が、揺動軸Ａを中心に揺動したときの変位の様子をシミュレーションした図である。 図４に示す機能部が、揺動軸Ａを中心に揺動したときの変位の様子をシミュレーションした図である。 図１４（ａ）、（ｂ）に示す駆動部は、第１実施形態に係る駆動部であり、図１４（ｃ）〜（ｈ）に示す駆動部は、それぞれ電磁アクチュエーター方式を採用する駆動部の他の構成例である。 図３に示す光路偏向素子が光を偏向させる原理を説明するための図である。 図３に示す光路偏向素子が光を偏向させる原理を説明するための図である。 図５に示す光路偏向素子の製造方法を説明するための図である。 図５に示す光路偏向素子の製造方法を説明するための図である。 本発明の光学デバイスの第２実施形態を適用した光路偏向素子が光を偏向させる原理を説明するための図である。 本発明の画像表示装置の第３実施形態を適用したプロジェクターの光学的な構成を示す図である。 本発明の画像表示装置の第４実施形態を適用したヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。

以下、本発明の光学デバイス、光学デバイスの製造方法および画像表示装置について、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。

≪第１実施形態≫
（プロジェクター）
まず、本発明の光学デバイスの第１実施形態を適用した光路偏向素子、および、本発明の画像表示装置の第１実施形態を適用したプロジェクターについて説明する。

図１は、本発明の画像表示装置の第１実施形態を適用したプロジェクターの光学的な構成を示す図であり、図２は、図１に示すプロジェクターの電気的な構成を示すブロック図であり、図３は、図１に示す光路偏向素子（本発明の光学デバイスの第１実施形態）の構成を示す斜視図であり、図４は、図３に示す光路偏向素子のうち、機能部および駆動部周辺を拡大して示す斜視図であり、図５は、図４に示す機能部の平面図である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、光路偏向素子のうち、図５に図示している面、すなわち、駆動部が載置される面を「裏面」とし、その反対側の面を「表面（おもてめん）」とする。また、図５では、駆動部の一部の図示を省略している。

図１に示すプロジェクター１は、液晶表示素子に表示された画像を拡大投射する投射方式のプロジェクターである。

本実施形態に係るプロジェクター１は、図１に示すように、光源１０２と、３枚のミラー１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃと、２枚のダイクロイックミラー１０６ａ、１０６ｂと、３枚の液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂと、ダイクロイックプリズム１１０と、光路偏向素子２と、投射レンズ系１１２と、リレーレンズ１１４と、を備えている。以下、各部の構成について詳述する。

まず、プロジェクター１の光学的な構成について説明する。
光源１０２としては、例えば、ハロゲンランプ、水銀ランプ、発光ダイオード（ＬＥＤ）等が挙げられる。また、この光源１０２としては、白色光が出射するものが用いられる。

３枚のミラー１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃは、それぞれ反射によりプロジェクター１内における光路を変換する機能を有する。

一方、２枚のダイクロイックミラー１０６ａ、１０６ｂは、それぞれ光源１０２から出射した白色光をＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色に分離し、互いに異なる液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂにそれぞれ分離した光を導く機能を有する。

例えば、ダイクロイックミラー１０６ａは、白色光のうち、Ｒの波長域の光を透過し、Ｇ、Ｂの波長域の光を反射する機能を有する。これに対し、ダイクロイックミラー１０６ｂは、ダイクロイックミラー１０６ａで反射したＧ、Ｂの波長域の光のうち、Ｂの波長域の光を透過し、Ｇの波長域の光を反射する機能を有する。

なお、ダイクロイックミラー１０６ａ、１０６ｂによる反射等により、Ｂの波長域の光の光路長は、他の光の光路長に比べて長くなる。そこで、Ｂの波長域の光路の途中にリレーレンズ１１４を設けることにより、光路長のずれを補正している。

液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂは、それぞれ空間光変調器として用いられる。これらの液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂは、それぞれＲ、Ｇ、Ｂの原色に対応する透過型の空間光変調器であり、例えば縦１０８０行、横１９２０列のマトリクス状に配列した画素を備えている。各画素では、入射光に対する透過光の光量が調整され、各液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂにおいて全画素の光量分布が協調制御される。

また、液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂには、各画素に対応して走査線およびデータ線が設けられている（図示せず）。さらに、走査線とデータ線とが交差する位置に対応して画素電極とこれに対向して配置された共通電極との間には液晶が配置されている（図示せず）。

これらに加え、各液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂには、図示しない偏光板が設けられている。そして、走査線の選択によってデータ線の電圧が画素電極に印加されると、液晶分子が配向し、透過光を偏光させる。このような液晶分子による偏光と偏光板の配置とを適宜設定することにより、画素ごとに透過光の光量を調整することができる。

液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂによってそれぞれ空間的に変調された光は、ダイクロイックプリズム１１０に対し３方向から入射する。入射した光のうち、Ｒ、Ｂの波長域の光は、９０°屈折して出射する。一方、Ｇの波長域の光は、直進して出射する。その結果、ダイクロイックプリズム１１０から出射する光は、Ｒ、Ｇ、Ｂの各原色からなる画像が合成されたフルカラーの画像を含むものとなり、これが光路偏向素子２に入射する。

光路偏向素子２については、後に詳述するが、光学部材を有しており、この光学部材に入射させた光を偏向（シフト）させるか否かを適宜選択することが可能である。

このような光路偏向素子２を透過した光は、投射レンズ系１１２に入射する。
投射レンズ系１１２は、複数のレンズが組み合わされた複合レンズ系である。この投射レンズ系１１２において合成された画像が拡大され、スクリーン８に投射される。

次に、プロジェクター１の電気的な構成について説明する。
本実施形態に係るプロジェクター１は、前述した光路偏向素子２や各液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂに加え、制御回路１２０と画像信号処理回路１２２とを備えている。

制御回路１２０は、液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂに対するデータ信号の書き込み動作、光路偏向素子２における光路偏向動作、画像信号処理回路１２２におけるデータ信号の発生動作等を制御する。

画像信号処理回路１２２は、図示しない外部装置から供給される画像信号Ｖｉｄを、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色ごとに分離するとともに、それぞれの液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂの動作に適したデータ信号Ｒｖ、Ｇｖ、Ｂｖに変換する機能を有する。変換されたデータ信号Ｒｖ、Ｇｖ、Ｂｖは、それぞれ液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂに供給され、それに基づいて液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂが動作する。

（光路偏向素子の構造）
光路偏向素子２は、図３〜５に示すように、光を偏向させる光学部２０２と、光学部２０２の縁部を支持する枠状の可動部２０４と、可動部２０４を揺動可能に支持する軸部２０６と、軸部２０６が接続されている固定部２０８と、を備えている。

このうち、光学部２０２は、軸部２０６を揺動軸として揺動されることにより、その姿勢が変化するように構成されている。そして、光学部２０２の姿勢が変化するとともに、光学部２０２を透過した光の出射方向を変化させる（光路の位置を変化させる）ことができる。これにより、ダイクロイックプリズム１１０で合成された画像を任意の方向に偏向させる（ずらす）ことができる。

なお、以下の説明では、上述した光学部２０２、可動部２０４、軸部２０６、および固定部２０８を、まとめて機能部２００という。

また、光路偏向素子２は、さらに、光路偏向素子２の全体を保持するとともに、光路偏向素子２をプロジェクター１の内部に固定するための筐体２２０と、筐体２２０と光路偏向素子２との間に介在し、これらを互いに固定する筐体取付部２２４（支持部）と、を備えている。

また、光路偏向素子２は、図３、４に示すように、光学部２０２を揺動させるように駆動する駆動部２３０を備えている。この駆動部２３０によって生じる駆動力により、光学部２０２が揺動する。

以下、光路偏向素子２の各部の構成について詳述する。
（（機能部））
まず、機能部２００の各部について説明する。

本実施形態に係る光学部２０２は、光透過性を有する板状体で構成されており、板状体の板面（互いに対向する主面）が光入射面として機能する。光学部２０２の光入射面に入射した光は、その入射角度に応じて、光学部２０２を直進しつつ透過したり、あるいは、屈折しつつ透過する（空間変調する）。したがって、目的とする入射角度になるように光学部２０２の姿勢を変化させることによって、透過光の偏向方向や偏向量を制御することができる。

なお、本実施形態では、光学部２０２の表面が光入射面となり、裏面が光出射面となるが、光の入射方向は特に限定されない。

かかる光学部２０２の構成材料としては、例えば、光透過性を有する材料で構成されたものであれば特に限定されず、水晶、サファイアのような各種結晶材料、ホウケイ酸ガラス（クラウンガラス、白板ガラス、テンパックス（登録商標））、鉛ガラス（フリントガラス）、石英ガラスのような各種ガラス材料、ポリカーボネート系樹脂、アクリル系樹脂のような各種樹脂材料等が挙げられる。これらの中でも、無機系材料が好ましく用いられる。無機系材料によれば、光学部２０２の弾性率が大きくなり、換言すれば剛性が大きくなり、光学部２０２において偏向される画像の偏向ムラが抑制される。

また、本実施形態に係る光学部２０２は、図５に示すように、平面視において矩形状（長方形）をなしている。光学部２０２の平面視における大きさは、ダイクロイックプリズム１１０から出射する光線を透過させ得るように適宜設定される。なお、図５およびその他の図では、上下方向をＹ軸方向とし、左右方向をＸ軸方向とする。また、Ｘ軸を示す矢印の先端側を＋（プラス）側といい、基端側を−（マイナス）側という。

この光学部２０２の縁部を囲うように枠状の可動部２０４が設けられている。可動部２０４は、好ましくは光学部２０２の構成材料よりも弾性率が小さい材料で構成されている。このような材料で構成されることにより、可動部２０４は、揺動に伴って発生する応力が光学部２０２自体の不要な振動に繋がるのを、最小限に抑えることができる。すなわち、弾性率が小さい可動部２０４が光学部２０２の縁部を囲っていることにより、光学部２０２の姿勢を変更する際、光学部２０２に生じる応力を小さく抑え、応力分布に伴って光学部２０２自体に発生する不要な振動を小さく抑えることができる。その結果、光学部２０２によって偏向される画像が、意図しない方向に偏向されてしまうのを防止することができる。

可動部２０４は、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在している２つの可動部２０４Ｘと、Ｙ軸方向に沿ってそれぞれ延在している２つの可動部２０４Ｙと、を備えている。したがって、平面視で矩形状をなしている光学部２０２のうち、Ｘ軸方向と平行な縁部は可動部２０４Ｘによって支持され、Ｙ軸方向と平行な縁部は可動部２０４Ｙによって支持されている。

また、平面視において、各可動部２０４Ｙの外側、すなわち、各可動部２０４Ｙの光学部２０２とは反対側には、それぞれ、空隙部２０５を介して固定部２０８が設けられている。固定部２０８は、空隙部２０５を介して可動部２０４を囲うように構成された枠状をなしている。これにより、軸部２０６をより確実に支持することができる。

この固定部２０８は、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在している２つの固定部２０８Ｘと、Ｙ軸方向に沿ってそれぞれ延在している２つの固定部２０８Ｙと、を備えている。

そして、各固定部２０８Ｘと各固定部２０８Ｙとが、それぞれ端部において互いに接続されている。すなわち、各固定部２０８Ｘの一端には一方の固定部２０８Ｙの端部が接続され、他端には他方の固定部２０８Ｙの端部が接続されている。これにより、各固定部２０８Ｘおよび各固定部２０８Ｙが枠状に連結されることとなる。

また、２つの可動部２０４Ｘのうち、光学部２０２に対して＋Ｙ側に位置する可動部２０４Ｘは、その＋Ｘ側の端部とそれに隣り合う固定部２０８Ｙとが軸部２０６を介して接続されている。軸部２０６は、空隙部２０５を跨ぐように配置されており、軸部２０６によって可動部２０４が固定部２０８Ｙに対して支持されることとなる。

一方、２つの可動部２０４Ｘのうち、光学部２０２に対して−Ｙ側に位置する可動部２０４Ｘは、その−Ｘ側の端部とそれに隣り合う固定部２０８Ｙとが軸部２０６を介して接続されている。この軸部２０６も、空隙部２０５を跨ぐように配置されており、軸部２０６によって可動部２０４が固定部２０８Ｙに対して支持されることとなる。

以上のように、可動部２０４と固定部２０８との間は、２つの軸部２０６を介して連結される。

なお、２つの軸部２０６は、２つの軸部２０６が捻じれて可動部２０４を揺動させるときの揺動軸Ａ上に配置される。すなわち、揺動軸Ａは、平面視で矩形状をなす光学部２０２の外縁に対して（Ｘ軸とＹ軸の双方に対して）斜めになるように設定されている。この揺動軸Ａで可動部２０４を揺動させることにより、光学部２０２の姿勢を変化させ、光学部２０２を透過する光の偏向方向や偏向量を制御することができる。

ここで、図６は、図４に示す機能部の部分拡大斜視図である。なお、図６では、駆動部の一部の図示を省略している。

これらの軸部２０６は、図６に示すように、可動部２０４Ｘと固定部２０８Ｙとの間を隔てる空隙部２０５を跨ぐように設けられた部位である。軸部２０６のうち、空隙部２０５に臨む側面２０６１は、図６に示すように曲面で構成されている。これにより、揺動軸Ａで可動部２０４を揺動させたとき、軸部２０６内において局所的に応力が集中するのを防止することができる。その結果、軸部２０６の特性が劣化するのを防ぐことができる。

また、可動部２０４、軸部２０６および固定部２０８は、それぞれ別体のものが接着されることにより構成されていてもよいが、好ましくは一体に形成されている。これにより、可動部２０４と軸部２０６との接続部や固定部２０８と軸部２０６との接続部の耐衝撃性や長期耐久性を高めることができる。

また、可動部２０４と同様、軸部２０６および固定部２０８も、それぞれ光学部２０２の構成材料より弾性率が小さい材料（以下、省略して「低弾性率材料」ともいう。）で構成されているのが好ましく、具体的には樹脂材料で構成されているのが好ましい。これにより、軸部２０６には、可捻性（捻ることができる性質）が付与されるとともに、固定部２０８には、可撓性（撓むことができる性質）が付与される。その結果、揺動軸Ａを中心に光学部２０２および可動部２０４を十分な揺動角で揺動させることができる。

一方、光学部２０２には、その変形が抑えられるとともに、駆動部２３０による駆動力を可動部２０４全体に的確に伝達する機能が付与される。このため、光学部２０２および可動部２０４が揺動するときの変位量が安定し、光学部２０２を透過する光を目的とする方向に偏向させたり、目的とする量だけ偏向させたりすることができる。

また、低弾性率材料は、特に樹脂材料であるのが好ましい。樹脂材料は、比較的弾性が大きいため、揺動に伴って光学部２０２に発生する不要な振動を減衰させることに寄与する。すなわち、可動部２０４を樹脂材料で構成することにより、揺動に伴って発生する応力分布に基づく光学部２０２の不要な振動を小さく抑えることができる。その結果、光学部２０２によって偏向される光が、意図しない方向に偏向されてしまうのを防止することができる。

このような樹脂材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、シリコーン、ポリアセタール、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアリレート、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンスルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、フッ素樹脂等が挙げられ、これらのうちの少なくとも１種を含むものが用いられる。

なお、低弾性率材料の引張弾性率（ヤング率）は、光学部２０２の構成材料より弾性率が小さい材料であればよいが、好ましくは所定の範囲内に設定される。

具体的には、低弾性率材料の引張弾性率を１としたとき、光学部２０２の構成材料の引張弾性率は７以上であるのが好ましく、１０以上４０以下であるのがより好ましく、２６以上３１以下であるのがさらに好ましい。引張弾性率の比が前記範囲内になるように低弾性率材料と光学部２０２の構成材料とを適宜選択することにより、光学部２０２の揺動容易性と揺動時の変位量の安定性とを両立させることができる。すなわち、低弾性率材料の引張弾性率に対する光学部２０２の構成材料の引張弾性率の比が前記下限値を下回ると、揺動条件によっては、光学部２０２の剛性が十分でなくなるため、駆動部２３０による駆動力が減衰し易くなったり、低弾性率材料の引張弾性率が相対的に大きくなり、軸部２０６が捻られ難くなって揺動時の変位量が小さくなったりするおそれがある。一方、低弾性率材料の引張弾性率と光学部２０２の構成材料の引張弾性率との比が前記上限値を上回ると、揺動条件によっては、低弾性率材料の引張弾性率が相対的に小さくなり、軸部２０６の耐久性が低下するおそれがある。

なお、低弾性率材料の引張弾性率は、例えば、０．１ＧＰａ以上１０ＧＰａ以下程度であるのが好ましく、０．５ＧＰａ以上７ＧＰａ以下程度であるのがより好ましい。低弾性率材料の引張弾性率を前記範囲内に設定することで、可捻性に優れた軸部２０６を実現するとともに、重力の影響を抑えつつ光学部２０２の姿勢を保持し得る一定の剛性を有する可動部２０４を実現することができる。また、この材料を固定部２０８に適用したときには、十分な可撓性を付与することができるので、少なくとも厚さ方向（光学部２０２の光入射面の法線方向）において十分に撓むことができ、それによって応力集中を緩和し得る固定部２０８を実現することができる。

また、光学部２０２の構成材料の引張弾性率は、例えば、２０ＧＰａ以上１０００ＧＰａ以下程度であるのが好ましく、３０ＧＰａ以上２００ＧＰａ以下程度であるのがより好ましい。光学部２０２の構成材料の引張弾性率を前記範囲内に設定することで、光学部２０２の変形を抑えるとともに、駆動部２３０による駆動力が可動部２０４全体に的確に伝達される。このため、光学部２０２の揺動時の変位量が安定し、光学部２０２を透過する光を目的とする方向に偏向させたり、目的とする量だけ偏向させたりすることができる。

光学部２０２によって偏向を受ける画像を構成する画素群は、通常、Ｘ軸に平行して配列した画素の列がＹ軸に沿って並んでできる画素の集合体である。すなわち、この画素群は、ＸＹ平面に行列状に配置されている。この画素数は、特に限定されないが、例えばＸ軸方向に１９２０列、Ｙ軸方向に１０８０列とされる。

このように画素が行列状に配置されてなる画像（画素群）は、光学部２０２を透過する際に偏向を受けるが、上述したように光学部２０２の揺動軸ＡがＸ軸とＹ軸の双方に対して斜めに傾いていると、画像の偏向方向もＸ軸とＹ軸の双方に対して斜め方向に沿うこととなる。これにより、例えばスクリーン８に投射される画像が矩形状である場合、その画像を、縦と横の双方に対して斜めにずらすことができる。その結果、画像の縦と横の解像度を、それぞれ実質的に増やすことができるので、例えば液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂの画素数を増やすことなく、投射される画像の高解像度化を図ることができる。

また、２本の軸部２０６は、光学部２０２の平面視における中心に対して点対称の関係を満足する位置に配置されているのが好ましい。これにより、揺動のバランスが良好になり、光学部２０２を安定的に揺動させることができるようになるので、画像の偏向挙動も安定することとなる。その結果、解像度の高い画像を安定的に投射することができる。

なお、本実施形態に係る可動部２０４は、光学部２０２の縁部全体を囲うように構成されているが、必ずしも全体を囲っている必要はなく、例えば一部が欠損していてもよい。

ここで、図７は、図５に示す機能部２００のうち、光学部２０２のみを図示した斜視図であり、図８は、図５に示す機能部２００のうち、光学部２０２を除く部分を裏面側から図示した平面図であり、図９は、図８に示す機能部２００の斜視図であり、図１０は、図５の揺動軸Ａに沿って機能部２００を切断したときの切断面である。なお、図９では、駆動部２３０の図示を省略している。また、以下の説明では、図１０の上下方向（すなわち、光学部２０２の光入射面の法線方向）の長さのことを「厚さ」ともいう。

図８、９に示す可動部２０４は、前述したように、光学部２０２の縁部を囲うように枠状をなしている。具体的には、可動部２０４は、枠状をなす可動部枠体２０４２と、可動部枠体２０４２の内側に位置し、可動部枠体２０４２を厚さ方向に貫通する可動部貫通孔２０４４と、可動部枠体２０４２から可動部貫通孔２０４４側へ突出している突出部２０４６と、を備えている。

具体的には、可動部枠体２０４２は、図８に示すように、可動部貫通孔２０４４に臨む側面２０４２ａを有している。この側面２０４２ａは、可動部枠体２０４２の表面と裏面とを可動部貫通孔２０４４内において繋ぐ側面や、可動部枠体２０４２の裏面と突出部２０４６とを可動部貫通孔２０４４内において繋ぐ側面等である。

また、可動部貫通孔２０４４は、図７に示す光学部２０２を挿入可能な大きさで形成されている。なお、光学部２０２は、その光入射面の法線と可動部貫通孔２０４４の軸線とが平行になるように挿入され、配置される。

一方、突出部２０４６は、可動部枠体２０４２の側面２０４２ａの一部を、可動部貫通孔２０４４側に張り出させて（突出させて）なる構造体である。すなわち、突出部２０４６は、側面２０４２ａに沿って設けられ、平面視（光学部２０２の光入射面の法線方向からの平面視）において、可動部貫通孔２０４４の面積を小さくするように設けられている。このようにして可動部貫通孔２０４４の平面視における面積を小さくすることにより、可動部貫通孔２０４４には、光学部２０２を配置することができる凹状の配置部２０７が形成される。この凹状の配置部２０７は、この配置部２０７に光学部２０２を配置すると、光学部２０２の表面が突出部２０４６の裏面に当接するため、これによって光学部２０２の表面を支持することができる。すなわち、突出部２０４６の裏面は、光学部２０２が配置される配置面２０４６ａとなる。このようにして光学部２０２が可動部２０４に支持される。したがって、配置面２０４６ａは、凹状の配置部２０７の底面に相当し、可動部枠体２０４２の側面２０４２ａは、凹状の配置部２０７の内側面に相当する。

可動部枠体２０４２と光学部２０２との間は、例えば、接着剤、粘着剤、はんだ、ろう材等の各種接続手段（以下、省略して「接着剤等」という。）を介して機械的に接続されている。これらの接着剤等は、未硬化の状態で可動部枠体２０４２と光学部２０２との間に供給され、硬化反応や固化反応等を経て接続に必要な接着力を得ている。

ところで、本実施形態に係る突出部２０４６は、側面２０４２ａの全体に沿って設けられているのではなく、図９、１０に示すように、一部に欠損部２０４７を有している。このため、突出部２０４６においては、その裏面と光学部２０２の表面とが当接することによって光学部２０２が支持されている一方、欠損部２０４７では、光学部２０２が支持されていない。

ここで、この欠損部２０４７は、平面視において、可動部枠体２０４２の側面２０４２ａのうち、揺動軸Ａと重なる位置に設定されている。換言すれば、欠損部２０４７は、平面視において、光学部２０２と軸部２０６との間に設定されている。したがって、光学部２０２が配置される配置面２０４６ａは、光学部２０２と軸部２０６との間に設けられないように構成されている。

このようにすることで、光学部２０２の側面２０２ａ（図７参照）と可動部枠体２０４２の側面２０４２ａ（図９参照）との隙間に接着剤等を供給したとき、欠損部２０４７を介して、隙間の空気を効率よく排出することができる。すなわち、光学部２０２と可動部枠体２０４２との隙間に接着剤等を供給した際に、隙間の空気が押し出されるために必要な経路を、欠損部２０４７において確保することができる。このため、接着剤等の内部に気泡が残留し難くなり、接着剤等の厚さを十分に確保することができる。これにより、接着剤等には温度変化に対する十分な許容性が確保される。その結果、例えば光路偏向素子２に温度変化が生じた場合であっても、接着剤等が割れたり、光学部２０２が可動部枠体２０４２から剥がれたりする不具合の発生を抑制することができる。

そして、このような光路偏向素子２は、温度変化が生じた場合であっても、可動部２０４の揺動特性に優れたものとなる。このため、かかる光路偏向素子２は、目的とする偏向方向や偏向量を得ることができ、投射される画像の高解像度化を図ることができる。

なお、本実施形態に係る機能部２００は、光学部２０２を挟んで配置された２つの軸部２０６を備えているので、これに合わせて、欠損部２０４７も２つ設けられている。

また、欠損部２０４７は、光学部２０２と軸部２０６との間に設定されていればよいが、その長さ、すなわち、可動部枠体２０４２の側面２０４２ａに沿う欠損部２０４７の長さは、軸部２０６の幅（揺動軸Ａと直交する方向の長さ）に応じて適宜設定される。

例えば、軸部２０６の幅を１としたとき、欠損部２０４７の長さは２倍以上３倍以下程度であるのが好ましい。欠損部２０４７の長さを前記範囲内に設定することにより、揺動軸Ａを中心にして揺動する光学部２０２を安定的に支持するために必要な接着力を十分に確保することができる。すなわち、接着剤等の内部に気泡の発生が抑制される長さを、軸部２０６の幅に対して十分に確保することができるので、共振周波数によらず、光学部２０２を安定的に支持することができる。その結果、光学部２０２が傾いたり、剥がれたりするのを抑制することができる。

また、配置面２０４６ａは、上述したように、可動部枠体２０４２の側面２０４２ａに沿って設けられた帯状の面である。この配置面２０４６ａの幅Ｗ（長手方向に直交する長さ）は、特に限定されないが、光学部２０２の最大長さを１としたとき、０．００５以上０．２以下程度であるのが好ましく、０．０２以上０．１以下程度であるのがより好ましい。配置面２０４６ａの幅Ｗを前記範囲内に設定することにより、光学部２０２を光が透過し得る面積（有効面積）を十分に確保しつつ、光学部２０２を安定的に支持することができる。

図１０には、光学部２０２の側面２０２ａ（図７参照）と可動部枠体２０４２の側面２０４２ａ（図９参照）との間、および、配置面２０４６ａと光学部２０２との間に、それぞれ接着剤２１０が充填されている様子を図示している。

側面２０２ａ（図７参照）と側面２０４２ａ（図９参照）との間に設けられた接着剤２１０の表面側および裏面側は、それぞれ図１０に示すように空間に開放されているので、仮に未硬化の接着剤２１０を充填する作業の際に空気が巻き込まれてしまった場合でも、その空気を空間に逃し易い。このため、硬化後の気泡の残留が発生し難くなり、硬化後の接着剤２１０の接着力が低下するのを抑制することができる。

なお、接着剤としては、例えば、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤、シリコーン系接着剤、紫外線硬化型接着剤（ＵＶ接着剤）等が挙げられる。また、接着剤には、必要に応じてフィラー等が添加されていてもよい。

また、図示した配置面２０４６ａは、２つの欠損部２０４７以外の部分では連続的に設けられているが、途中で途切れていてもよい。

また、配置面２０４６ａは、平坦面である必要はなく、例えば粗面化処理が施されていてもよい。さらに、配置面２０４６ａは、光学部２０２の表面に対して平行な面であってもよいが、傾斜した面（非平行な面）であってもよい。

また、配置面２０４６ａと光学部２０２との間については、接着剤２１０が省略されていてもよい。

ここで、図１１は、図４に示す機能部を表面側から見たときの部分拡大斜視図である。なお、以下の説明では、図１１中のＸ軸とＹ軸の双方と直交する方向の長さのことを「厚さ」ともいう。

図４に示す機能部２００を、図４に図示した裏面とは反対側、すなわち表面側から見た場合について、図１１に基づいて説明する。固定部２０８Ｙのうち、軸部２０６を支持している部分の表面２０８ａは、図１１に示すように、機能部２００の中で最も表面側に突出している。一方、本実施形態では、機能部２００の裏面は平坦面になっている。このため、固定部２０８Ｙのうち、この表面２０８ａに対応する部分は、最も厚さが大きくなっている。したがって、表面２０８ａに対応する固定部２０８Ｙの厚さが大きいことにより、可動部２０４の揺動運動に対する軸部２０６の固定端として機能しやすくなり、揺動の共振周波数を高く設定することができる。共振周波数が高いと、光路偏向素子２としての応答速度が高くなり、高画質化することができる。

また、固定部２０８Ｙの表面のうち、上述した表面２０８ａの固定部２０８Ｘ側に隣り合う表面２０８ｂは、表面２０８ａから固定部２０８Ｘまでの間で、表面２０８ａから離れるにつれて裏面側に近づくように傾いており、その分、固定部２０８Ｙの厚さが徐々に小さくなるように構成されている（図１１参照）。

さらに、固定部２０８Ｘは、第１部分２０８Ｘａと、第１部分２０８Ｘａの外側、すなわち第１部分２０８Ｘａよりも揺動軸Ａから遠い側に位置する第２部分２０８Ｘｂと、を有している。そして、上述した傾斜している表面２０８ｂは、第１部分２０８Ｘａの表面に連続している。

一方、固定部２０８Ｙの表面のうち、図１１に示す固定部２０８Ｘとは反対側に隣り合う（図１１の表面２０８ａに対して＋Ｙ側に隣り合う）表面２０８ｃは、表面２０８ａよりも裏面側に位置しており、その分、固定部２０８Ｙの厚さが小さくなるように構成されている。なお、表面２０８ａと表面２０８ｃとの間には、段差が設けられている。

このように構成されている結果、固定部２０８Ｙの厚さは、軸部２０６を支持している部分の表面２０８ａからＹ軸方向に沿って（固定部２０８Ｙの延伸方向に沿って）離れるにつれて、連続的または段階的に小さくなっている。

可動部２０４は、それ自体が揺動するため、その厚さが固定部２０８Ｙに比べて小さくなっている。これにより、質量の低減が図られ、より小さな駆動力であっても可動部２０４を容易に揺動させることができるようになる。

また、軸部２０６の厚さも、固定部２０８Ｙに比べて小さくなっている。これにより、軸部２０６がより捻られ易くなり、より小さな駆動力であっても十分な揺動変位量を確保することができる。

一方、固定部２０８Ｙは、その横断面（延伸方向に直交する面での切断面）が厚さ方向に細長い形状になるよう構成されている。すなわち、固定部２０８Ｙの横断面形状は、厚さ方向に長軸を有する細長い形状になっている。そして、固定部２０８Ｙのうち、表面側の端部は、図１０に示すように、軸部２０６と接続されている。この部分を「軸部接続部２０８ｄ」とする。

これに対し、固定部２０８Ｙのうちの裏面側の端部は、図１０に示すように、軸部２０６に接続されておらず、自由端になっている。この部分を「自由端部２０８ｅ」とする。

ここで、駆動部２３０により、固定部２０８Ｙに対して駆動力が付与されると、軸部２０６が捻られるように揺動するが、軸部２０６の捻られる角度（揺動角）が大きくなるにつれて、固定部２０８Ｙにも駆動力が波及する。前述したように、固定部２０８Ｙの厚さは、軸部２０６の厚さよりも大きくなるように設定され、かつ、固定部２０８Ｙの厚さ方向の一部は自由端部２０８ｅになっているため、固定部２０８Ｙに波及した駆動力は、固定部２０８Ｙをその厚さ方向（図１０の上下方向）やＸ軸方向（図８の左右方向）に変位させる。この結果、固定部２０８Ｙが変位しない場合に比べて、すなわち、固定部２０８Ｙに可撓性が付与されていない場合に比べて、固定部２０８Ｙ内において局所的な応力の集中が緩和されることとなり、応力集中に伴う機能部２００の特性の劣化を抑制することができる。また、本実施形態に係る固定部２０８Ｙは、厚さ方向に変位するだけでなく、自由端部２０８ｅが図８の左右方向に変位することによっても、応力集中の緩和に寄与する。

加えて、軸部２０６や固定部２０８Ｙにおける応力集中を緩和することによって、機能部２００に衝撃が加わったときの耐久性、すなわち耐衝撃性の向上を図ることができる。これは、軸部２０６や固定部２０８Ｙに発生する応力の低減を図った結果、衝撃によって新たに発生する応力を許容し得る幅が広げられるためである。その結果、信頼性の高いプロジェクター１を得ることができる。

さらに、軸部２０６や固定部２０８Ｙにおける応力集中を緩和することによって、機能部２００の温度が上昇したときでも、機能部２００の駆動特性が低下するのを抑制することができる。これも、軸部２０６や固定部２０８Ｙに発生する応力の低減が図られることにより、温度上昇に伴って発生する熱応力の許容幅が広くなることに起因する効果である。

なお、固定部２０８Ｙのうち、軸部２０６を支持している部分の厚さが、それに隣り合う部分の厚さより大きいことにより、自由端部２０８ｅが変位する際の変位量をより大きく確保することができる。すなわち、固定部２０８Ｙは、単に軸部２０６を支持する機能を有するのみでなく、可動部２０４を揺動させる「梁」としての機能も兼ね備える。このため、自由端部２０８ｅをより大きく変位させることができ、その分、固定部２０８Ｙ内に発生する応力の緩和幅をより大きくすることができる。

また、固定部２０８Ｙを、軸部２０６が捻られることに連動させ、上述したように積極的に変位させることによって、軸部２０６の揺動角を補うことができる。すなわち、軸部２０６自体の揺動角を大きくしなくても、固定部２０８Ｙが変形することにより、その分、機能部２００全体における揺動角を大きくすることができる。

ここで、図１２および図１３は、それぞれ図４に示す機能部が、揺動軸Ａを中心に揺動したときの変位の様子をシミュレーションした図である。なお、図１２および図１３では、揺動における変位量を強調して図示している。また、図１２および図１３は、図示する際の視点の位置が互いに異なっている。

図１２および図１３に示すように、光学部２０２および可動部２０４は、その形状を維持しながら、軸部２０６を通過する揺動軸Ａを中心にして揺動する。このとき、図１２に矢印Ｂで示しているように、固定部２０８Ｙの自由端部２０８ｅが、図１２の左方に湾曲するように変位している。矢印Ｃで示している部位も同様に、固定部２０８Ｙの自由端部２０８ｅが、図１２の左方に湾曲するように変位している。

また、矢印Ｄで示すように、図１３には、固定部２０８Ｙの自由端部２０８ｅが厚さ方向（図１３に示す矢印Ｄの部位では上方）にも変位する様子が示されている。このように自由端部２０８ｅが変形することにより、軸部２０６の揺動角を補うことができる。その結果、前述したように、軸部２０６が短くて十分な揺動角を確保することが難しい場合であっても、機能部２００全体でもって十分な揺動角を確保することができる。

換言すれば、仮に固定部２０８Ｙが上述したように変位することができない場合（固定部２０８Ｙが全体で固定されている場合等）、軸部２０６のみで必要な変位量を賄う必要がある。この場合、軸部２０６内に発生する応力が大きくなり過ぎないようにするためには、軸部２０６の長さを十分に長くしなければならない。しかしながら、軸部２０６を長くすると、機能部２００の大型化を招き、ひいては、プロジェクター１の大型化を招いてしまうという問題がある。

これに対し、固定部２０８Ｙが上述したように変位することができれば、軸部２０６が短い場合でも、十分な揺動角が確保されることとなる。これにより、応力の増加を抑制しつつ軸部２０６の短縮化が図られ、ひいては機能部２００およびプロジェクター１の小型化が図られる。

また、固定部２０８Ｙのうち、光学部２０２側に臨む側面２０８ｆは、図１０に示すように、固定部２０８Ｙの表面および裏面に対して傾いている。すなわち、固定部２０８Ｙの側面２０８ｆは、自由端部２０８ｅ側から軸部接続部２０８ｄ側に向かうにつれて、Ｘ軸方向の長さが徐々に大きくなるように傾斜した傾斜面になっている。このように構成することで、固定部２０８Ｙと軸部２０６との接続部に応力が集中し難くなり、固定部２０８Ｙや軸部２０６の特性の劣化を抑制することができる。

なお、固定部２０８Ｙの側面２０８ｆは、必ずしも、固定部２０８Ｙの表面および裏面に対して傾いていなくてもよい（固定部２０８Ｙの表面および裏面に対して垂直であってもよい）。

また、軸部２０６のＸ軸方向における長さＬ１は、機能部２００の大きさに応じて適宜設定され、特に限定されないが、０．２ｍｍ以上５ｍｍ以下程度であるのが好ましく、０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。

一方、軸部２０６の厚さｔ１も、機能部２００の大きさに応じて適宜設定されるが、０．５ｍｍ以上７ｍｍ以下程度であるのが好ましく、１ｍｍ以上５ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。

さらに、軸部２０６の長さＬ１と厚さｔ１との比Ｌ１／ｔ１は、０．２以上３以下程度であるのが好ましく、０．３以上１以下程度であるのがより好ましく、０．４以上０．８以下程度であるのがさらに好ましい。これにより、軸部２０６の機械的特性が劣化するのを抑制しつつ、可捻性に優れた軸部２０６が得られる。

また、固定部２０８Ｙの側面２０８ｆは、軸部２０６の裏面２０６２と連続していてもよいが、図６、１０に示すように、固定部２０８Ｙの側面２０８ｆと軸部２０６の裏面２０６２との間には、固定部２０８Ｙに沿って設けられたステップ２０８ｇが設けられているのが好ましい。このようなステップ２０８ｇを設けることにより、固定部２０８Ｙと軸部２０６との接続により応力が集中し難くなる。なお、ステップ２０８ｇは、固定部２０８Ｙの裏面と平行な面であり、かつ、軸部２０６の裏面２０６２と同一の面である。

ステップ２０８ｇのＸ軸方向における長さＬ２は、機能部２００の大きさに応じて適宜設定され、特に限定されないが、０．０３ｍｍ以上２ｍｍ以下程度であるのが好ましく、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。長さＬ２を前記範囲内に設定することで、固定部２０８Ｙと軸部２０６との接続部に対する応力集中をより緩和することができる。

また、ステップ２０８ｇの長さＬ２と軸部２０６の長さＬ１との比Ｌ２／Ｌ１は、０．０５以上０．８以下程度であるのが好ましく、０．１以上０．５以下程度であるのがより好ましい。

また、固定部２０８Ｙの裏面のＸ軸方向における長さＬ３も、機能部２００の大きさに応じて適宜設定され、特に限定されないが、０．３ｍｍ以上５ｍｍ以下程度であるのが好ましく、０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。

一方、固定部２０８Ｙの最大厚さｔ２も、機能部２００の大きさに応じて適宜設定されるが、２ｍｍ以上１０ｍｍ以下程度であるのが好ましく、３ｍｍ以上７ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。

さらに、固定部２０８Ｙの長さＬ３と最大厚さｔ２との比Ｌ３／ｔ２は、０．０５以上０．８以下程度であるのが好ましく、０．１以上０．５以下程度であるのがより好ましい。これにより、固定部２０８Ｙの自由端部２０８ｅには、十分な変位量が付与されることとなる。その結果、固定部２０８Ｙ内において局所的な応力の集中が特に緩和されるとともに、軸部２０６の揺動角をより容易に大きくすることができる。

なお、図５に示す機能部２００のＹ軸方向の全長をＬ４とすると、全長Ｌ４は、特に限定されないが、一例として２０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下程度であるのが好ましく、４０ｍｍ以上９０ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。

また、図５に示す長さＬ５および長さＬ６は、それぞれ特に限定されないが、１０ｍｍ以上８０ｍｍ以下程度であるのが好ましく、２０ｍｍ以上６５ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。

また、図５に示す長さＬ７および長さＬ８は、それぞれ特に限定されないが、５ｍｍ以上７０ｍｍ以下程度であるのが好ましく、１０ｍｍ以上６０ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。なお、長さＬ７と長さＬ８との比Ｌ７／Ｌ８は、例えば、液晶表示素子１０８Ｒ、１０８Ｇ、１０８Ｂのアスペクト比に応じて適宜設定される。

また、図５に示す長さＬ９は、特に限定されないが、３ｍｍ以上４０ｍｍ以下程度であるのが好ましく、５ｍｍ以上３０ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。

また、図５に示す長さＬ１０は、特に限定されないが、１０ｍｍ以上８０ｍｍ以下程度であるのが好ましく、２０ｍｍ以上６０ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。

また、図１１に示す固定部２０８Ｙの表面２０８ａとそれに隣り合う表面２０８ｃとの段差の高さｔ３は、特に限定されないが、０．１ｍｍ以上２ｍｍ以下程度であるのが好ましく、０．２ｍｍ以上１ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。

（（筐体））
筐体２２０は、平板状をなす底部２２１と、底部２２１の縁部から立脚する２つの脚部２２２と、を備えている。

底部２２１は、平面視で矩形状をなしており、上述した機能部２００の表面側に位置している。

脚部２２２は、底部２２１の四辺のうち、対向する２辺の縁部からそれぞれ立脚する凸条である。そして、２つの脚部２２２に挟まれるように機能部２００が載置されている。

また、図示しないものの、底部２２１には貫通孔が形成されており、光学部２０２を透過する光がこの貫通孔を通過し得るようになっている。これにより、光学部２０２によって偏向された光の伝搬が底部２２１によって妨げられるのを防止している。

なお、底部２２１が透光性を有している場合には、上述した貫通孔は必ずしも必要ない。

筐体２２０の構成材料は、特に限定されないが、例えば、アルミニウム等の金属材料が挙げられる。

この筐体２２０と機能部２００とを機械的に接続するのが筐体取付部２２４である。図３に示す筐体取付部２２４は、平面視で枠状をなす枠体部２２５と、枠体部２２５の一部が外側（枠体部２２５の外側）に向かって延出してなる延出部２２６と、を備えている。

枠体部２２５は、その一部が機能部２００の固定部２０８Ｘと機械的に接続されるように構成されている。一方、延出部２２６は、前述した筐体２２０の脚部２２２と機械的に接続されている。枠体部２２５と固定部２０８Ｘとの間、または、延出部２２６と脚部２２２との間に、制振ワッシャー等の制振部材（図示せず）を設けて、それぞれを機械的に接続してもよい。これにより、機能部２００の揺動時の振動を筐体２２０に伝達しにくくすることができる。

このように、機能部２００は、固定部２０８Ｘにおいて筐体２２０に固定されることになるため、固定部２０８Ｙが直接、筐体２２０に固定されるのを避けることができる。これにより、固定部２０８Ｙを前述したように十分な変位量で変位させることができ、局所的な応力集中を伴うことなく必要な揺動角で光学部２０２を揺動させることができる。

なお、筐体２２０に対する機能部２００の固定方法は、上述した筐体取付部２２４を用いた方法に限定されず、例えば、筐体取付部２２４を省略して機能部２００の固定部２０８Ｘを筐体２２０に直接固定するようにしてもよい。この場合においても、固定部２０８Ｘと筐体２２０との間に制振部材を設けて機械的に接続してもよい。

また、機能部２００と筐体取付部２２４との接続方法、および、筐体取付部２２４と筐体２２０との接続方法は、それぞれ特に限定されないが、例えばネジのような接続具を用いた方法、接着剤や接着テープを用いた方法等が挙げられる。

また、本実施形態に係る固定部２０８は、枠状をなしているが、このような形状に限定されず、軸部２０６を支持し得る形状であればいかなる形状であってもよい。

（（駆動部））
次に、駆動部２３０について説明する。

本実施形態に係る駆動部２３０は、２つの可動部２０４Ｘのうちの一方の裏面に固定された磁石２３２と、固定部２０８Ｘに固定された環状にコイル２３４と、コイル２３４と固定部２０８Ｘとの間に介在しコイル２３４を固定部２０８Ｘに対して取り付けるコイル取付部２３６と、を備えている。

磁石２３２は、例えば永久磁石で構成される。磁石２３２を可動部２０４Ｘに固定することにより、磁界を発生させることができ、コイル２３４から発生する磁界との磁気的相互作用によって可動部２０４Ｘに駆動力を発生させることができる。

永久磁石としては、例えば、ネオジム（ＦｅＮｄＢ）磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ＦｅＣｏ系磁石等が挙げられる。

コイル２３４は、環状をなしており、例えば層状巻線コイル、ボイスコイルで構成される。このコイル２３４は、空芯であってもよく、任意のコアを含むものであってもよい。

また、コイル２３４の一方の面が、コイル取付部２３６に固定されている。これにより、磁石２３２とコイル２３４との間で磁気的相互作用が生じ、磁石２３２に駆動力が発生する。なお、この駆動力によって磁石２３２を備える可動部２０４が揺動し得るように、磁石２３２とコイル２３４との間には所定の間隙が設けられている。

このような本実施形態に係る駆動部２３０は、磁石側が揺動する、いわゆるムービングマグネット型の電磁アクチュエーター方式を採用するものであるが、かかる駆動方式は特に限定されず、コイル側が揺動する、いわゆるムービングコイル型の駆動方式を有するものであってもよい。

図１４（ａ）は、可動部２０４とそれに固定された磁石２３２とを模式的に示す平面図であり、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）に示す磁石２３２とそれに対応するように設けられたコイル２３４とを模式的に示す側面図である。

図１４（ｂ）に示すコイル２３４に電圧が印加されると、その印加方向と磁石２３２から発生する磁界の方向とによって、磁石２３２を図１４（ｂ）の上方または下方に駆動する力が発生する。例えば、図１４（ｂ）に示すようにＮ極およびＳ極を発生させると、コイル２３４に近づくように磁石２３２を駆動することができる。

なお、このような図１４（ａ）、（ｂ）に示す駆動部２３０は、本実施形態に係る駆動部である。また、図１４（ｃ）〜（ｈ）に示す駆動部２３０は、それぞれ電磁アクチュエーター方式を採用する駆動部２３０の他の構成例である。

図１４（ａ）、（ｂ）に示す駆動部２３０は、磁石２３２やコイル２３４を揺動軸Ａに対して非対称に配置し、可動部２０４にモーメントを付加することによって駆動するタイプの駆動部である（軸非対称・モーメント型）。

一方、図１４（ｃ）、（ｄ）に示す駆動部２３０は、軸非対称・モーメント型というタイプ分けの観点から言えば、図１４（ａ）、（ｂ）に示す駆動部２３０と同等であるが、可動部２０４における磁石２３２の配置が異なっている点で相違している。すなわち、図１４（ｃ）、（ｄ）に示す駆動部２３０では、可動部２０４のうち、揺動軸Ａから最も離れた位置に磁石２３２が配置されている。これにより、小さな磁力でも可動部２０４を容易に駆動することができる。

また、図１４（ｅ）、（ｆ）に示す駆動部２３０では、可動部２０４の面方向と平行に磁力線が放出されるように、モーメント型の駆動部２３０とは磁石２３２のＮ極およびＳ極の位置を異ならせている。さらに、コイル２３４についても、その巻き軸が可動部２０４の面方向と平行になるように、モーメント型の駆動部２３０とはコイル２３４の向きを異ならせている。磁石２３２およびコイル２３４をこのように配置することによっても、磁石２３２に対して駆動力を付与することができる（軸非対称・トルク型）。なお、コイル２３４には、巻き線２３４１とコア２３４２とを有するものが好ましく用いられる。

一方、図１４（ｇ）、（ｈ）に示す駆動部２３０では、トルク型というタイプ分けの観点から言えば、図１４（ｅ）、（ｆ）に示す駆動部２３０と同等であるが、可動部２０４における磁石２３２の配置が異なっている点で相違している。すなわち、図１４（ｇ）、（ｈ）に示す駆動部２３０では、可動部２０４のうち、揺動軸Ａに対して線対称の関係を満足するように磁石２３２が配置されている。これにより、駆動の周波数を高め易いという利点がある（軸対称・トルク型）。

なお、駆動部２３０の駆動方式は、上述した方式に限定されず、圧電駆動方式や、その他の駆動方式であってもよい。

また、駆動部２３０が設けられる位置や数も、図示のものに限定されず、例えば、１つの可動部２０４に対して複数の駆動部２３０を対応させるようにしてもよい。

また、駆動部２３０のサイズは、特に限定されないが、例えば図５に示す矩形状をなす磁石２３２の場合、短辺の長さが１ｍｍ以上１０ｍｍ以下程度であるのが好ましく、長辺の長さが５ｍｍ以上３０ｍｍ以下程度であるのが好ましい。

（光路偏向素子の作動）
次に、光路偏向素子２の作動について説明する。なお、光路偏向素子２の作動については、例えば、特開２０１２−０１３７６６号公報等に説明された作動と同様であればよい。

図１５および図１６は、それぞれ図３に示す光路偏向素子が光を偏向させる原理を説明するための図である。

コイル２３４に電圧を印加していないとき、光路偏向素子２では、光学部２０２は揺動しないので、図１５に破線で示すように、光学部２０２に入射された光８１の入射角は直角になり、屈折することなく直進する光８２となって出射する。

一方、コイル２３４に所定の電圧を印加すると、光学部２０２は、例えば図１５に実線で示すように傾き、この状態にある光学部２０２に入射された光８１は、光学部２０２を透過する際に屈折し、光８３となって出射する。この光８３は、空間上で光８２とずれているため、光８３で形成される画像は、光８２で形成される画像からずれた状態でスクリーン８に投射されることとなる。

図１６は、縦４行、横４列の行列状に画素を配置した画像８４および画像８５を示している。画像８４は、図１５に示す光８２により形成された画素８４１の集合体であり、一方、画像８５は、図１５に示す光８３により形成された画素８５１の集合体である。

図１６は、光学部２０２の揺動により、画像８４を画像８５へとずらした例である。この際のずらし量は、画素８４１のピッチの半分になっている。この結果、スクリーン８に投射された画像８５の画素数は、画像８４の画素数の２倍になり、画像の高解像度化が図られることとなる。

また、前述したように、画像８５は、画素８４１の配列方向に対して斜めにずらされている。このため、画像８５の画素数は、縦も横も実質的に２倍になっている。

なお、光路偏向素子２による画像のずらし量は、画素のピッチの半分に限定されず、例えば４分の１や８分の１等であってもよい。

（光路偏向素子の製造方法）
次に、本発明の光学デバイスの製造方法の実施形態を適用した光路偏向素子２の製造方法について説明する。

図１７、図１８は、図５に示す光路偏向素子２の製造方法を説明するための図である。
本実施形態に係る光路偏向素子２の製造方法は、［１］配置部２０７（可動部貫通孔２０４４）のうち、欠損部２０４７の少なくとも一部の側面に接着剤を供給する工程（第１の工程）と、［２］光学部２０２の側面２０２ａに接着剤を塗布する工程（第５の工程）と、［３］配置部２０７内に光学部２０２を配置する工程（第２の工程）と、［４］接着剤を供給した欠損部２０４７の側面に向かって光学部２０２を片寄せする（押しつける）工程（第３の工程）と、［５］光学部２０２を片寄せすることによって増加した隙間に接着剤を供給する工程（第４の工程）と、［６］第１の工程および第４の工程において供給された接着剤を硬化させる工程（第６の工程）と、［７］欠損部２０４７（配置面２０４６ａが設けられていない第２部分）における配置部２０７の側面と光学部２０２との間の隙間に接着剤を供給する工程（第７の工程）と、を有する。

以下、各工程について詳述する。
［１］
まず、突出部２０４６（配置面２０４６ａが設けられている第１部分）および欠損部２０４７（配置面２０４６ａが設けられていない第２部分）が設けられている配置部２０７（可動部貫通孔２０４４）を備えた可動部２０４を用意する（図１７（ａ）参照）。

なお、図１７（ａ）に示す可動部２０４は、軸部２０６および固定部２０８とともに一体で形成されている。

次に、配置部２０７の側面（可動部枠体２０４２の側面２０４２ａ）のうち、欠損部２０４７の少なくとも一部に接着剤（図示せず）を供給する。なお、図１７（ａ）では、２つの欠損部２０４７の双方の側面に接着剤を塗布する。図１７（ａ）では、接着剤を塗布した２つの領域を塗布領域Ｇ１、Ｇ２として図示している。

なお、本実施形態のように、本工程において塗布領域Ｇ１、Ｇ２の双方に接着剤を塗布してもよいが、塗布領域Ｇ１のみに塗布するようにしてもよい。

［２］
次に、配置部２０７内に光学部２０２を配置するのに先立って、光学部２０２の側面２０２ａに接着剤を塗布する（第５の工程）。図１８では、接着剤を塗布した領域を塗布領域Ｇ３として図示している。これにより、光学部２０２をより確実に固定することができる。また、塗布された接着剤は、後述する工程［３］において、例えば毛細管現象等を駆動力にして、配置面２０４６ａと光学部２０２との隙間にも濡れ広がる。これにより、より広い面積で配置面２０４６ａと光学部２０２とを接着することができる。

なお、図１８では、塗布領域Ｇ１、Ｇ３にドットを付している。
また、本工程において配置面２０４６ａにも接着剤を塗布しておいてもよい。
一方、この第５の工程は、必要に応じて行えばよく、省略されてもよい。

［３］
次に、図１７（ｂ）に示すように、配置部２０７内に光学部２０２を配置する。これにより、光学部２０２は、配置面２０４６ａに支持される。

［４］
次に、接着剤を供給した欠損部２０４７の側面に向かって光学部２０２を片寄せする（押しつける）。図１７（ｃ）では、２つの欠損部２０４７のうち、塗布領域Ｇ１に対応する欠損部２０４７の２つの側面に向かって光学部２０２を片寄せする（白抜き矢印参照）。これにより、塗布領域Ｇ１に塗布された接着剤は、片寄せされた光学部２０２の側面と配置部２０７の側面との間で圧縮され、塗り広げられる。その結果、接着剤をより隅々まで行き渡らせることができる。また、圧縮されることによって、未硬化の接着剤中に巻き込まれている気泡を排出することができる。このとき、欠損部２０４７は、表面側および裏面側が開放しているため、気泡を効率よく排出することができ、気泡の残留を抑制することができる。

光学部２０２と可動部２０４との間に接着剤を十分に充填できるので、接着部の信頼性を確保することができる。すなわち、接着剤等の内部に気泡が残留し難くなり、接着剤等の厚さを十分に確保することができるので、温度変化に対する十分な許容性が確保される。その結果、温度変化が生じた場合であっても、接着剤等が割れたり、光学部２０２が可動部枠体２０４２から剥がれたりする不具合の発生を抑制可能な機能部２００を製造することができる。

また、接着剤が十分に充填されることで、光学部２０２と可動部２０４とで構造の一体性が高まる。このため、光学部２０２と可動部２０４との間で、駆動の伝達性を高めることができる。

なお、光学部２０２を塗布領域Ｇ１に向かって片寄せすると、塗布領域Ｇ１では光学部２０２と可動部２０４の側面との隙間が狭くなる一方、塗布領域Ｇ２では光学部２０２と可動部２０４の側面との隙間が広くなる（増加する）。

［５］
次に、塗布領域Ｇ２の隙間、すなわち、光学部２０２の片寄せによって増加した隙間に、接着剤を供給する（図１７（ｃ）参照）。隙間に供給された接着剤は、いわゆる毛細管現象によって隙間に吸い込まれるとともに、隙間に留まり易い。このため、接着剤を効率よく供給することができる。また、この方法で接着剤が供給されると、気泡の巻き込みが少ないという利点もある。これにより、光学部２０２と可動部２０４とで、構造の一体性がより高まる。このため、光学部２０２と可動部２０４との間で、駆動の伝達性をより高めることができる。

その後、必要に応じて、隙間からはみ出した接着剤をふき取る。接着剤のふき取りには、必要に応じてアルコール等の有機溶剤を用いることができる。

［６］
その後、必要に応じて、接着剤に硬化処理を施す（第６の工程）。これにより、光学部２０２を配置部２０７に対して固定することができる。

硬化処理は、接着剤の組成に応じて適宜選択される処理であり、例えば加熱処理等である。また、所定の時間放置することによって硬化処理を行うこともできる。

［７］
次に、必要に応じて、欠損部２０４７（配置面２０４６ａが設けられていない第２部分）における配置部２０７の側面と光学部２０２との間の隙間に接着剤を供給する（第７の工程）。これにより、例えば前述した硬化処理によって接着剤が収縮していた場合でも、その収縮によって生じた空間を接着剤で埋めることができる。その結果、接着剤中に気泡や隙間が残存してしまうのを抑制することができ、より信頼性の高い光路偏向素子２を製造することができる。
以上のようにして機能部２００を製造することができる。

また、その後、機能部２００に駆動部２３０を取り付けるとともに、筐体取付部２２４を介して機能部２００を筐体２２０に固定する。これにより、光路偏向素子２が得られる。

≪第２実施形態≫
次に、本発明の光学デバイスの第２実施形態を適用した光路偏向素子について説明する。

図１９は、本発明の光学デバイスの第２実施形態を適用した光路偏向素子が光を偏向させる原理を説明するための図である。なお、図１９において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

本実施形態に係る光路偏向素子２は、光学部２０２において光を偏向させる原理が異なる以外、第１実施形態に係る光路偏向素子２と同様である。

すなわち、本実施形態に係る光学部２０２は、光反射性を有しており、光透過性を有している第１実施形態とこの点で相違する。

コイル２３４に電圧を印加していないとき、光路偏向素子２では、光学部２０２は揺動しないので、図１９に破線で示すように、光学部２０２に入射された光８１は、破線で示す光８２として反射する。

一方、コイル２３４に所定の電圧を印加すると、光学部２０２は、例えば図１９に実線で示すように傾く。光学部２０２が傾くと、光学部２０２に入射する光８１の入射角および出射角も変化するため、光８１は実線で示す光８３として反射する。したがって、目的とする入射角度になるように光学部２０２の姿勢を変化させることによって、光８３（反射光）の偏向方向や偏向量を制御することができる。この光８３は、空間上で光８２とずれているため、光８３で形成される画像は、光８２で形成される画像からずれた状態でスクリーン８に投射されることとなる。その結果、かかる光路偏向素子２を備えるプロジェクターは、第１実施形態に係るプロジェクターと同様の効果を奏するものとなる。

本実施形態に係る光学部２０２の構成材料は、光反射性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、シリコン、金属のような光沢を有する材料の他、第１実施形態に係る光学部２０２の構成材料として挙げた材料に反射膜を付けた部材等が挙げられる。
以上のような第２実施形態においても、第１実施形態と同様の作用、効果が得られる。

≪第３実施形態≫
次に、本発明の光学デバイスの第３実施形態を適用した光スキャナー、および、本発明の画像表示装置の第３実施形態を適用したプロジェクターについて説明する。

図２０は、本発明の画像表示装置の第３実施形態を適用したプロジェクターの光学的な構成を示す図である。なお、図２０において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

本実施形態に係るプロジェクター９は、光を走査することにより画像を形成する走査方式のプロジェクターであり、本発明の光学デバイスの第３実施形態を適用した光スキャナー９４を備えている以外、第１実施形態に係るプロジェクター１と同様である。

すなわち、本実施形態に係るプロジェクター９は、レーザー等の光を出射する光源装置９１と、クロスダイクロイックプリズム９２と、主走査を担う光スキャナー９３と、副走査を担う光スキャナー９４（本発明の光学デバイスの第３実施形態）と、固定ミラー９５と、を有している。

図２０に示す光源装置９１は、赤色光を照出する赤色光源装置９１１と、青色光を照出する青色光源装置９１２と、緑色光を照出する緑色光源装置９１３とを備えている。

クロスダイクロイックプリズム９２は、４つの直角プリズムを貼り合わせて構成され、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。

かかるプロジェクター９では、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２および緑色光源装置９１３のそれぞれから、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて光が照出され、この光をクロスダイクロイックプリズム９２で合成し、この合成された光が、光スキャナー９３、９４によって走査され、さらに固定ミラー９５によって反射され、スクリーン８上にカラー画像を形成するように構成されている。

ここで、光スキャナー９３、９４の光走査について具体的に説明する。
まず、クロスダイクロイックプリズム９２で合成された光は、光スキャナー９３によって横方向に走査される（主走査）。そして、この横方向に走査された光は、光スキャナー９４によってさらに縦方向に走査される（副走査）。これにより、２次元カラー画像をスクリーン８上に形成することができる。このような光スキャナー９４として本発明の光学デバイスを用いることで、優れた描画特性を発揮することができる。

光スキャナー９４では、光学部２０２において光を反射しつつ光路を偏向させることができる。その結果、高解像度を実現することができる。

ただし、プロジェクター９としては、光スキャナー９３、９４により光を走査し、対象物に画像を形成するように構成されていれば、これに限定されず、例えば、固定ミラー９５を省略してもよい。
また、光スキャナー９３にも、本発明の光学デバイスが適用されていてもよい。

以上のような第３実施形態においても、第１、第２実施形態と同様の作用、効果が得られる。

≪第４実施形態≫
次に、本発明の画像表示装置の第４実施形態を適用したヘッドマウントディスプレイについて説明する。

図２１は、本発明の画像表示装置の第４実施形態を適用したヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。なお、図２１において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。

図２１に示すヘッドマウントディスプレイ３００は、眼鏡３１０と、眼鏡３１０に搭載された映像出力部９０と、を有している。この映像出力部９０は、第３実施形態に係るプロジェクター９と同様の構成を有している。そして、映像出力部９０により、眼鏡３１０の本来レンズである部位に設けられた表示部３２０に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。

表示部３２０は、透明であってもよく、また、不透明であってもよい。表示部３２０が透明な場合は、現実世界からの情報に映像出力部９０からの情報を重ねて使用することができる。

なお、ヘッドマウントディスプレイ３００に、２つの映像出力部９０を設け、両方の目で視認される画像を、２つの表示部に表示するようにしてもよい。

以上のような第４実施形態においても、第１〜第３実施形態と同様の作用、効果が得られる。

以上、本発明の光学デバイス、光学デバイスの製造方法および画像表示装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明の光学デバイスおよび画像表示装置では、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができ、また、他の任意の構成を付加することもできる。

また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

また、本発明の光学デバイスは、光路偏向素子の他に、例えば光スイッチ、光アッテネーター等にも適用可能である。

また、本発明の画像表示装置は、プロジェクターやヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）の他に、プリンター、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）等にも適用可能である。

１ プロジェクター
２ 光路偏向素子
８ スクリーン
９ プロジェクター
８１ 光
８２ 光
８３ 光
８４ 画像
８５ 画像
９０ 映像出力部
９１ 光源装置
９２ クロスダイクロイックプリズム
９３ 光スキャナー
９４ 光スキャナー
９５ 固定ミラー
１０２ 光源
１０４ａ ミラー
１０４ｂ ミラー
１０４ｃ ミラー
１０６ａ ダイクロイックミラー
１０６ｂ ダイクロイックミラー
１０８Ｂ 液晶表示素子
１０８Ｇ 液晶表示素子
１０８Ｒ 液晶表示素子
１１０ ダイクロイックプリズム
１１２ 投射レンズ系
１１４ リレーレンズ
１２０ 制御回路
１２２ 画像信号処理回路
２００ 機能部
２０２ 光学部
２０２ａ 側面
２０４ 可動部
２０４Ｘ 可動部
２０４Ｙ 可動部
２０５ 空隙部
２０６ 軸部
２０７ 配置部
２０８ 固定部
２０８Ｘ 固定部
２０８Ｘａ 第１部分
２０８Ｘｂ 第２部分
２０８Ｙ 固定部
２０８ａ 表面
２０８ｂ 表面
２０８ｃ 表面
２０８ｄ 軸部接続部
２０８ｅ 自由端部
２０８ｆ 側面
２０８ｇ ステップ
２１０ 接着剤
２２０ 筐体
２２１ 底部
２２２ 脚部
２２４ 筐体取付部
２２５ 枠体部
２２６ 延出部
２３０ 駆動部
２３２ 磁石
２３４ コイル
２３６ コイル取付部
３００ ヘッドマウントディスプレイ
３１０ 眼鏡
３２０ 表示部
８４１ 画素
８５１ 画素
９１１ 赤色光源装置
９１２ 青色光源装置
９１３ 緑色光源装置
２０４２ 可動部枠体
２０４２ａ 側面
２０４４ 可動部貫通孔
２０４６ 突出部
２０４６ａ 配置面
２０４７ 欠損部
２０６１ 側面
２０６２ 裏面
２３４１ 巻き線
２３４２ コア
Ａ 揺動軸
Ｂ 矢印
Ｃ 矢印
Ｄ 矢印
Ｇ１ 塗布領域
Ｇ２ 塗布領域
Ｇ３ 塗布領域
Ｒｖ データ信号
Ｇｖ データ信号
Ｂｖ データ信号
Ｖｉｄ 画像信号

Claims (15)

1. 光が入射する光入射面を有する光学部と、
   前記光学部が配置される配置面を含み、かつ、凹状の配置部を有する可動部と、
   前記可動部を揺動可能に支持する軸部と、
   を備え、
   前記光入射面の法線方向からの平面視において、前記光学部と前記軸部との間に、前記配置面が設けられていない部分を有することを特徴とする光学デバイス。
2. 前記光学部と前記軸部との間に接着剤が設けられている請求項１に記載の光学デバイス。
3. 前記可動部に設けられている永久磁石と、前記永久磁石に作用する磁界を発生させるコイルと、を有する請求項１または２に記載の光学デバイス。
4. さらに、前記軸部が接続される固定部を備える請求項１ないし３のいずれか１項に記載の光学デバイス。
5. 前記可動部、前記軸部および前記固定部は、それぞれ前記光学部よりも弾性率が小さい請求項４に記載の光学デバイス。
6. 前記可動部、前記軸部および前記固定部は、それぞれ樹脂材料で構成されている請求項４または５に記載の光学デバイス。
7. 光が入射する光入射面を有する光学部と、
   前記光学部が配置される配置面を含み、かつ、凹状の配置部を有する可動部と、
   揺動軸を中心にして前記可動部を揺動可能に支持する軸部と、
   を備え、
   前記光入射面の法線方向からの平面視において、前記配置面は、前記可動部の揺動軸と重ならないことを特徴とする光学デバイス。
8. 前記光学部は、光を透過する請求項１ないし７のいずれか１項に記載の光学デバイス。
9. 前記光学部は、光を反射する請求項１ないし７のいずれか１項に記載の光学デバイス。
10. 光が入射する光入射面を有する光学部と、
    前記光学部が配置される凹状の配置部を有する可動部と、
    前記可動部を揺動可能に支持する軸部と、
    を備える光学デバイスの製造方法であって、
    前記配置部は、前記光学部が配置される配置面が設けられている第１部分と前記配置面が設けられていない第２部分とを有しており、前記配置部の側面のうち、前記第２部分の少なくとも一部に接着剤を供給する第１の工程と、
    前記光学部を前記配置部に配置する第２の工程と、
    前記第１の工程において前記接着剤を供給した前記配置部の側面に向かって前記光学部を押しつける第３の工程と、
    前記第３の工程において前記光学部を押しつけることによって増加した前記配置部の側面と前記光学部との隙間に接着剤を供給する第４の工程と、
    を有することを特徴とする光学デバイスの製造方法。
11. さらに、前記第２の工程の前に設けられ、前記光学部の側面に接着剤を供給する第５の工程を有する請求項１０に記載の光学デバイスの製造方法。
12. 前記第１の工程および前記第４の工程において供給された前記接着剤を硬化させる第６の工程と、
    前記第６の工程の後に設けられ、前記第２部分における、前記配置部の側面と前記光学部との間の隙間に接着剤を供給する第７の工程と、
    をさらに有する請求項１０または１１に記載の光学デバイスの製造方法。
13. 請求項１ないし９のいずれか１項に記載の光学デバイスを備えることを特徴とする画像表示装置。
14. 前記光学デバイスにおいて前記光学デバイスから射出される光の光路を変更することにより、前記光の照射によって表示される画素の位置をずらすように構成されている請求項１３に記載の画像表示装置。
15. 前記光学デバイスは、前記光を走査して画像を形成する請求項１４に記載の画像表示装置。

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