JP2016083755A

JP2016083755A - Direct-acting table device

Info

Publication number: JP2016083755A
Application number: JP2014220240A
Authority: JP
Inventors: 明彦石川; Akihiko Ishikawa; 吉田　圭一; Keiichi Yoshida; 圭一吉田; 聡志橋本; Satoshi Hashimoto
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2014-10-28
Filing date: 2014-10-29
Publication date: 2016-05-19
Anticipated expiration: 2034-10-29
Also published as: JP6447009B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a direct-acting table device in which a device length in an axial direction of a drive screw shaft can be shortened.SOLUTION: A direct-acting table device 1 is equipped with: a drive screw shaft 11 for a main table which is so rotatably pivoted that an axial direction thereof becomes one direction; and a drive screw shaft 31 for a weight table which is so rotatably pivoted that an axial direction thereof becomes one direction. A drive motor 18 for rotationally driving either the drive screw shaft 11 for the main table or the drive screw shaft 31 for the weight table is provided, and further, a first pulley 41 fixed to an end of the drive screw shaft 11 for the main table, a second pulley 42 fixed to an end of the drive screw shaft 31 for the weight table, and a belt 43 wound around outer peripheries of the first pulley 41 and the second pulley 42 are provided. The drive screw shaft 11 for the main table and the drive screw shaft 31 for the weight table are arranged in parallel in a direction orthogonal to said one direction as an axial direction.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられる直動テーブル装置、特に、工作物等の被搭載物を移動、位置決め可能な直動テーブル装置に関する。 The present invention relates to a linear motion table device used in various manufacturing devices such as machine tools, semiconductor manufacturing devices, and flat panel display manufacturing devices, and more particularly to a linear motion table device capable of moving and positioning a workpiece such as a workpiece.

従来のこの種の直動テーブル装置として、例えば、特許文献１に示すものが知られている。
特許文献１に示す直動テーブル装置は、被搭載物を搭載する、略鉛直方向に移動可能なメインテーブルと、メインテーブルに対して鉛直方向下方に配置され、略鉛直方向に移動可能なウエイトとを備え、メインテーブル及びウエイトは、同軸の駆動ねじ軸によって駆動されるようになっている。そして、メインテーブルは、駆動ねじ軸の鉛直方向の上部で右ねじナットと結合され、ウエイトは、駆動ねじ軸の鉛直方向の下部で左ねじナットに結合されている。そして、右ねじナット及び左ねじナットは、モータから伝達される駆動ねじ軸の回転によりそれぞれ上下逆方向に移動し、これにより、メインテーブル及びウエイトは上下逆方向に移動するようになっている。
そして、メインテーブル側にかかるトルクとウエイト側にかかるトルクとを同等としてバランスさせることにより、両トルクを相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。 As this type of conventional linear motion table device, for example, the one shown in Patent Document 1 is known.
The linear motion table device shown in Patent Document 1 includes a main table that mounts an object to be mounted and is movable in a substantially vertical direction, and a weight that is disposed vertically below the main table and is movable in a substantially vertical direction. The main table and the weight are driven by a coaxial drive screw shaft. The main table is coupled to the right screw nut at the upper portion in the vertical direction of the drive screw shaft, and the weight is coupled to the left screw nut at the lower portion in the vertical direction of the drive screw shaft. The right screw nut and the left screw nut are moved in the upside down direction by the rotation of the drive screw shaft transmitted from the motor, whereby the main table and the weight are moved in the upside down direction.
The torque applied to the main table side and the torque applied to the weight side are balanced to equalize both torques, thereby suppressing the vibration of the apparatus.

しかしながら、特許文献１に記載された直動テーブル装置にあっては、１本の駆動ねじ軸上に右ねじ溝及び左ねじ溝の２種類のねじ溝を加工する必要があり、駆動ねじ軸が軸方向に長尺化し、ひいては駆動ねじ軸の軸方向において装置長が長くなってしまう、という課題があった。 However, in the linear motion table device described in Patent Document 1, it is necessary to process two types of screw grooves, a right screw groove and a left screw groove, on one drive screw shaft. There has been a problem that the length of the apparatus becomes longer in the axial direction, and the apparatus length becomes longer in the axial direction of the drive screw shaft.

特開２０１２−２３２３５４号公報JP 2012-232354 A

本発明は、前述の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、駆動ねじ軸の軸方向における装置長を短くできる直動テーブル装置を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a linear motion table device capable of shortening the device length in the axial direction of a drive screw shaft.

上記目的を達成するために、本発明のある態様は、一方向に延びるように設置されるベースと、該ベースに取り付けられた一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受と、前記ベースに取り付けられた一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受と、軸方向が前記一方向となるように前記一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支され、外周にねじ溝が形成されたメインテーブル用駆動ねじ軸と、軸方向が前記一方向となるように前記一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支され、外周に前記メインテーブル用駆動ねじ軸のねじ溝とねじれ方向が逆のねじ溝が形成されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸と、前記メインテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記メインテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより前記メインテーブル用駆動ねじ軸に沿って移動するメインテーブル用ナットと、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸が前記メインテーブル用駆動ねじ軸と同一方向に回転することにより、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブル及び前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、前記メインテーブル用駆動ねじ軸及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸のいずれか一方を回転駆動する駆動モータと、前記メインテーブル用駆動ねじ軸の端部に固定された第１プーリ、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸の端部に固定されだ第２プーリ、及び前記第１プーリ及び前記第２プーリの外周に巻回されたベルトとを備え、前記メインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸は、前記軸方向となる前記一方向と直交する方向において並列配置されていることを要旨とする。 In order to achieve the above object, an aspect of the present invention includes a base installed so as to extend in one direction, a pair of a main table side first bearing and a main table side second bearing attached to the base, A pair of weight table side first bearing and weight table side second bearing attached to the base, and the pair of main table side first bearing and main table side second bearing so that the axial direction is the one direction. The main table drive screw shaft having both ends rotatably supported and screw grooves formed on the outer periphery thereof, and the pair of weight table side first bearing and weight table side first shaft so that the axial direction is the one direction. A weight table in which both ends are rotatably supported by two bearings, and a screw groove having a reverse twist direction to the screw groove of the main table drive screw shaft is formed on the outer periphery. A drive screw shaft and a main table nut that is mounted on the drive screw shaft for the main table via a rolling element and moves along the drive screw shaft for the main table by rotating the drive screw shaft for the main table And the weight table drive screw shaft, and the weight table drive screw shaft rotates in the same direction as the main table drive screw shaft, thereby rotating the weight table drive screw shaft. A weight table nut that moves in the opposite direction to the main table nut, a main table on which an object to be mounted fixed to the main table nut can be mounted, and a weight table fixed to the weight table nut And a drive screw shaft for the main table and a drive screw for the weight table. A drive motor that rotationally drives any one of the shafts, a first pulley fixed to an end of the main table drive screw shaft, a second pulley fixed to an end of the weight table drive screw shaft, and A belt wound around the outer periphery of the first pulley and the second pulley, and the main table drive screw shaft and the weight table drive screw shaft are in a direction orthogonal to the one direction as the axial direction. The gist is that they are arranged in parallel.

本発明に係る直動テーブル装置によれば、メインテーブルを駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸と、ウエイトテーブルを駆動するための前記メインテーブル用駆動ねじ軸とは別個のウエイトテーブル用駆動ねじ軸とを用い、それらメインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸が、軸方向となる一方向と直交する方向において並列配置されているので、駆動ねじ軸の軸方向における装置長を短くできる直動テーブル装置を提供できる。 According to the linear motion table device of the present invention, the main table drive screw shaft for driving the main table and the main table drive screw shaft for driving the weight table are separate from the main table drive screw shaft. Since the main table drive screw shaft and the weight table drive screw shaft are arranged in parallel in a direction orthogonal to the one axial direction, the apparatus length in the axial direction of the drive screw shaft is shortened. Can be provided.

本発明の第１実施形態に係る直動テーブル装置の平面図である。It is a top view of the linear motion table apparatus concerning 1st Embodiment of this invention. 図１に示す直動テーブル装置の正面図である。It is a front view of the linear motion table apparatus shown in FIG. 図１に示す直動テーブル装置において、（Ａ）はメインテーブル用駆動ねじ軸が撓んでベルトが引っ張られる様子を示す図、（Ｂ）は（Ａ）の状態からウエイトテーブル用駆動ねじ軸が撓み、ベルトの引っ張り状態が解消された様子を示す図である。In the linear motion table device shown in FIG. 1, (A) is a view showing a state where the main table drive screw shaft is bent and the belt is pulled, and (B) is a weight table drive screw shaft bent from the state of (A). It is a figure which shows a mode that the tension | pulling state of the belt was eliminated. 図１及び図２に示す第１実施形態に係る直動テーブル装置の変形例の正面図である。It is a front view of the modification of the linear motion table apparatus which concerns on 1st Embodiment shown in FIG.1 and FIG.2. 本発明の第２実施形態に係る直動テーブル装置の正面図である。It is a front view of the linear motion table apparatus concerning 2nd Embodiment of this invention. 図５に示す直動テーブル装置の左側面図である。It is a left view of the linear motion table apparatus shown in FIG. 図５及び図６に示す第２実施形態に係る直動テーブル装置の変形例の左側面図である。It is a left view of the modification of the linear motion table apparatus which concerns on 2nd Embodiment shown in FIG.5 and FIG.6. 本発明の第３実施形態に係る直動テーブル装置の正面図である。It is a front view of the linear motion table apparatus concerning 3rd Embodiment of this invention. 図８に示す直動テーブル装置に設けられた工具による被搭載物への加工の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of a process to the to-be-mounted object with the tool provided in the linear motion table apparatus shown in FIG.

以下、本発明の第１乃至第３実施形態の直動テーブル装置について説明する。
（第１実施形態）
第１実施形態の直動テーブル装置は、図１及び図２に示されており、この直動テーブル装置１は、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、工作物などの被搭載物を水平方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。 The linear motion table device according to the first to third embodiments of the present invention will be described below.
(First embodiment)
The linear motion table device of the first embodiment is shown in FIGS. 1 and 2, and the linear motion table device 1 is used in various manufacturing apparatuses such as machine tools, semiconductor manufacturing apparatuses, and flat panel display manufacturing apparatuses. In particular, it is a device that moves an object to be mounted such as a workpiece in the horizontal direction and performs accurate positioning.

図１及び図２に示す直動テーブル装置１において、長方形の板状に形成されたベース２が水平方向（図１における上下及び左右方向、請求項１における一方向）に延びるように設置されている。
このベース２の上面には、水平方向の左右（図１における左右）において所定間隔離れた位置に一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４が取り付けられている。メインテーブル側第１軸受１３は、ベース２の水平方向左端部近傍に取り付けられ、メインテーブル側第２軸受１４は、ベース２の水平方向中央部よりやや右側の位置に取り付けられている。 In the linear motion table device 1 shown in FIGS. 1 and 2, a base 2 formed in a rectangular plate shape is installed so as to extend in the horizontal direction (up and down and left and right directions in FIG. 1, one direction in claim 1). Yes.
A pair of main table side first bearings 13 and main table side second bearings 14 are attached to the upper surface of the base 2 at positions spaced apart by a predetermined distance in the horizontal direction (left and right in FIG. 1). The main table side first bearing 13 is attached in the vicinity of the horizontal left end portion of the base 2, and the main table side second bearing 14 is attached at a position slightly to the right of the horizontal center portion of the base 2.

そして、外周に右ねじ溝１１ａを形成したメインテーブル用駆動ねじ軸１１の両端が、軸方向が水平方向となるように一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４に回転可能に軸支されている。
また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１には、メインテーブル用ナット１２が外装されている。メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成された右ねじ溝１１ａとメインテーブル用ナット１２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が回転することによりメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向に移動するようになっている。メインテーブル用駆動ねじ軸１１、転動体及びメインテーブル用ナット１２によりメインテーブル側ボールねじを構成している。 Then, both ends of the main table drive screw shaft 11 having the right thread groove 11a formed on the outer periphery rotate to the pair of main table side first bearing 13 and main table side second bearing 14 so that the axial direction is horizontal. It is pivotally supported.
A main table nut 12 is externally mounted on the main table drive screw shaft 11. Between the right screw groove 11a formed on the outer periphery of the main table drive screw shaft 11 and the screw groove formed on the inner periphery of the main table nut 12, there are a plurality of rolling elements (balls or rollers) (not shown). The main table nut 12 is moved in the horizontal direction along the main table drive screw shaft 11 as the main table drive screw shaft 11 rotates. The main table side drive screw shaft 11, the rolling elements and the main table nut 12 constitute a main table side ball screw.

また、メインテーブル用ナット１２には、メインテーブル１０が固定されている。メインテーブル１０は、メインテーブル用ナット１２に固定される本体部１２ａと、本体部１２ａの上端に設けられた平板状の搭載板部１０ｂとを備えている。搭載板部１０ｂは上面側から見て長方形状に形成され、上面に工作物等の被搭載物６０（図９参照）が搭載可能となっている。メインテーブル１０の本体部１０ａには、後述するウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が挿通可能な水平方向に延びる貫通孔１０ｃが形成されている。 The main table 10 is fixed to the main table nut 12. The main table 10 includes a main body portion 12a fixed to the main table nut 12 and a flat mounting plate portion 10b provided at the upper end of the main body portion 12a. The mounting plate portion 10b is formed in a rectangular shape when viewed from the upper surface side, and a mounted object 60 (see FIG. 9) such as a workpiece can be mounted on the upper surface. The main body 10a of the main table 10 is formed with a through hole 10c extending in the horizontal direction through which a weight table drive screw shaft 31 described later can be inserted.

そして、メインテーブル１０の本体部１０ａは、長手方向（図１における上下方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、メインテーブル１０の本体部１０ａの長手方向の一端下面は、図１及び図２に示すように、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、本体部１０ａの長手方向の他端下面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。第１直動案内装置１７ａは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の一端（図１における下端）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ａと、レール１５ａ上をレール１５ａに沿って移動するスライダ１６ａとを備えている。また、第２直動案内装置１７ｂは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の他端（図１における上端）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ｂと、レール１５ｂ上をレール１５ｂに沿って移動するスライダ１６ｂとを備えている。
また、ベース２の上面には、水平方向の左右（図１における左右）において所定間隔離れた位置に一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４が取り付けられている。ウエイトテーブル側第１軸受３３は、ベース２の水平方向においてメインテーブル側第１軸受１３と同じ位置であってメインテーブル側第１軸受１３に対して水平方向と直交する鉛直方向の下側に位置している。ウエイトテーブル側第１軸受３３は、図示しない外輪に固定されたハウジングがメインテーブル側第１軸受１３のハウジングと共通化して一体となっている。一方、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、ベース２の水平方向においてメインテーブル側第２軸受１４と同じ位置であってメインテーブル側第２軸受１４に対して水平方向と直交する鉛直方向の下側に位置している。ウエイトテーブル側第２軸受３４は、図示しない外輪に固定されたハウジングがメインテーブル側第２軸受１４のハウジングと共通化して一体となっている。 And the main-body part 10a of the main table 10 is formed in the substantially rectangular parallelepiped shape extended long in a longitudinal direction (up-down direction in FIG. 1). Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the bottom surface of the main table 10a in the longitudinal direction of the main table 10 is attached on the slider 16a of the first linear motion guide device 17a. The end lower surface is mounted on the slider 16b of the second linear motion guide device 17b. The first linear motion guide device 17a is attached to one end (lower end in FIG. 1) of the base 2 in the horizontal width direction (vertical direction in FIG. 1) and extends in the axial direction of the main table drive screw shaft 11. And a slider 16a that moves on the rail 15a along the rail 15a. The second linear motion guide device 17b is attached to the other end (upper end in FIG. 1) of the base 2 in the horizontal width direction (vertical direction in FIG. 1) and extends in the axial direction of the main table drive screw shaft 11. A rail 15b that extends and a slider 16b that moves on the rail 15b along the rail 15b are provided.
A pair of weight table side first bearings 33 and weight table side second bearings 34 are attached to the upper surface of the base 2 at positions spaced apart by a predetermined distance on the left and right in the horizontal direction (left and right in FIG. 1). The weight table side first bearing 33 is located at the same position as the main table side first bearing 13 in the horizontal direction of the base 2 and below the vertical direction perpendicular to the horizontal direction with respect to the main table side first bearing 13. doing. The weight table side first bearing 33 is integrated with a housing fixed to the outer ring (not shown) in common with the housing of the main table side first bearing 13. On the other hand, the weight table side second bearing 34 is located at the same position as the main table side second bearing 14 in the horizontal direction of the base 2 and is below the vertical direction perpendicular to the horizontal direction with respect to the main table side second bearing 14. Is located. The weight table side second bearing 34 is integrated with a housing fixed to the outer ring (not shown) in common with the housing of the main table side second bearing 14.

そして、外周にメインテーブル用駆動ねじ軸１１の右ねじ溝１１ａとねじれ方向が逆の左ねじ溝３１ａを形成したウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の両端が、軸方向が水平方向となるように一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４に回転可能に軸支されている。
ここで、ウエイトテーブル側第１軸受３３は、メインテーブル側第１軸受１３に対して鉛直方向の下側に位置し、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、メインテーブル側第２軸受１４に対して鉛直方向下側に位置しているから、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に対して鉛直方向の下側に位置している。このため、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されていることになる。 A pair of weight table drive screw shafts 31 each having a left screw groove 31a having a reverse twist direction to the right screw groove 11a of the main table drive screw shaft 11 on the outer periphery so that the axial direction is horizontal. The weight table side first bearing 33 and the weight table side second bearing 34 are rotatably supported.
Here, the weight table side first bearing 33 is positioned vertically below the main table side first bearing 13, and the weight table side second bearing 34 is relative to the main table side second bearing 14. Since the weight table drive screw shaft 31 is located on the lower side in the vertical direction, the weight table drive screw shaft 31 is located on the lower side in the vertical direction with respect to the main table drive screw shaft 11. For this reason, the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are arranged in parallel in the vertical direction perpendicular to the horizontal direction as the axial direction.

そして、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１には、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている。ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成された左ねじ溝３１ａとウエイトテーブル用ナット３２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１がメインテーブル用駆動ねじ軸１１と同一方向に回転することによりウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動するようになっている。ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１、転動体及びウエイトテーブル用ナット３２によりウエイトテーブル側ボールねじを構成している。 A weight table nut 32 is externally mounted on the weight table drive screw shaft 31. Between the left screw groove 31a formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 31 and the screw groove formed on the inner periphery of the weight table nut 32, a plurality of rolling elements (balls or rollers) (not shown) are provided. The weight table nut 32 is opposite to the main table nut 12 along the weight table drive screw shaft 31 when the weight table drive screw shaft 31 rotates in the same direction as the main table drive screw shaft 11. It is designed to move in the direction. The weight table drive screw shaft 31, the rolling elements, and the weight table nut 32 constitute a weight table side ball screw.

また、ウエイトテーブル用ナット３２には、ウエイトテーブル３０が固定されている。ウエイトテーブル３０は、長手方向（図１における上下方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、図１及び図２に示すように、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。第３直動案内装置３７ａは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の一端（図１における下端）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ａと、レール３５ａ上をレール３５ａに沿って移動するスライダ３６ａとを備えている。また、第４直動案内装置３７ｂは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の他端（図１における上端）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ｂと、レール３５ｂ上をレール３５ｂに沿って移動するスライダ３６ｂとを備えている。 The weight table 30 is fixed to the weight table nut 32. The weight table 30 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape extending long in the longitudinal direction (vertical direction in FIG. 1). Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the lower end of the weight table 30 in the longitudinal direction is attached on the slider 36a of the third linear motion guide device 37a, and the lower end of the other end of the weight table 30 in the longitudinal direction is It is mounted on the slider 36b of the fourth linear motion guide device 37b. The third linear motion guide device 37a is attached to one end (lower end in FIG. 1) of the base 2 in the horizontal width direction (vertical direction in FIG. 1) and extends in the axial direction of the weight table drive screw shaft 31. And a slider 36a that moves on the rail 35a along the rail 35a. The fourth linear motion guide device 37b is attached to the other end (upper end in FIG. 1) of the base 2 in the horizontal width direction (vertical direction in FIG. 1), and extends in the axial direction of the weight table drive screw shaft 31. A rail 35b that extends and a slider 36b that moves on the rail 35b along the rail 35b are provided.

そして、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のうちメインテーブル用駆動ねじ軸１１は、駆動モータ１８によって回転駆動される。駆動モータ１８は、ベース２の上面に設けられた駆動モータ用支持部材１９に取り付けられている。そして、駆動モータ１８の出力軸がカップリング２０を介してメインテーブル用駆動ねじ軸１１のメインテーブル側第２軸受１４側の端部に連結されている。なお、駆動モータ１８の軸の近傍には、図示しない支持部材に取り付けられたエンコーダ２１が設けられ、このエンコーダ２１により、駆動モータ１８の回転数を検出するようにしている。
また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１のメインテーブル側第１軸受１３側の端部には、第１プーリ４１が固定されている。更に、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のウエイトテーブル側第１軸受３３側の端部には、第２プーリ４２が固定されている。そして、第１プーリ４１及び第２プーリ４２の外周には、ベルト４３が巻回されている。 Of the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31, the main table drive screw shaft 11 is rotationally driven by the drive motor 18. The drive motor 18 is attached to a drive motor support member 19 provided on the upper surface of the base 2. The output shaft of the drive motor 18 is connected to the end of the main table drive screw shaft 11 on the main table side second bearing 14 side via the coupling 20. An encoder 21 attached to a support member (not shown) is provided in the vicinity of the shaft of the drive motor 18, and the rotation speed of the drive motor 18 is detected by the encoder 21.
A first pulley 41 is fixed to an end of the main table drive screw shaft 11 on the main table side first bearing 13 side. Further, a second pulley 42 is fixed to an end of the weight table drive screw shaft 31 on the weight table side first bearing 33 side. A belt 43 is wound around the outer circumferences of the first pulley 41 and the second pulley 42.

次に、第１実施形態の直動テーブル装置１の動作について説明する。
駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する。メインテーブル用ナット１２がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット１２に固定されたメインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する。 Next, the operation of the linear motion table device 1 of the first embodiment will be described.
When the output shaft of the drive motor 18 rotates in one direction, the main table drive screw shaft 11 rotates in one direction, so that the main table nut 12 moves in the horizontal direction along the main table drive screw shaft 11. Move in one direction. The main table nut 12 moves in one horizontal direction along the main table drive screw shaft 11 so that the main table 10 fixed to the main table nut 12 moves along the main table drive screw shaft 11. Move in one horizontal direction.

一方、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が一方向に回転すると、第１プーリ４１、ベルト４３及び第２プーリ４２を介してウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が前記一方向と同一方向に回転し、これにより、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の一方向と逆方向に移動する。ウエイトテーブル用ナット３２がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の一方向と逆方向に移動することで、そのウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する。 On the other hand, when the main table drive screw shaft 11 rotates in one direction, the weight table drive screw shaft 31 rotates in the same direction as the one direction via the first pulley 41, the belt 43 and the second pulley 42. As a result, the weight table nut 32 moves along the weight table drive screw shaft 31 in the direction opposite to the horizontal direction. When the weight table nut 32 moves along the weight table drive screw shaft 31 in one direction opposite to the horizontal direction, the weight table 30 fixed to the weight table nut 32 becomes the weight table drive screw shaft. It moves in the direction opposite to the main table 10 along 31.

本実施形態に係る直動テーブル装置１においては、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。
ここで、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１は次の（１）式で表すことができる。
Ｆ１＝Ｍ１×α１・・・（１）
ここで、Ｍ１はメインテーブル１０側の被搭載物の質量を含む総質量、α１はメインテーブル１０側の加速度である。 In the linear motion table device 1 according to the present embodiment, the weight table 30 is moved in the opposite direction to the main table 10, and further the inertia force F1 on the main table 10 side acting on the base 2 and the weight table acting on the base 2. By balancing the inertial force F2 on the 30 side as equal, both inertial forces are canceled out and vibrations of the apparatus are suppressed.
Here, the inertial force F1 on the main table 10 acting on the base 2 can be expressed by the following equation (1).
F1 = M1 × α1 (1)
Here, M1 is the total mass including the mass of the mounted object on the main table 10 side, and α1 is the acceleration on the main table 10 side.

また、ベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２は次の（２）式で表すことができる。
Ｆ２＝Ｍ２×α２・・・（２）
ここで、Ｍ２はウエイトテーブル３０側の総質量、α２はウエイトテーブル３０側の加速度である。
そして、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等としてバランスさせるために、次の（３）式が成立しなければならない。
Ｆ１＝Ｍ１×α１≒Ｍ２×α２＝Ｆ２・・・（３） Further, the inertia force F2 on the weight table 30 side acting on the base 2 can be expressed by the following equation (2).
F2 = M2 × α2 (2)
Here, M2 is the total mass on the weight table 30 side, and α2 is the acceleration on the weight table 30 side.
And in order to balance both inertial force F1 and F2 as equal, following (3) Formula must be materialized.
F1 = M1 × α1≈M2 × α2 = F2 (3)

従って、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が変化した場合には、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２及び/又はウエイトテーブル３０側の加速度α２を調整することにより、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等とすることができる。メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が変化した場合において、ウエイトテーブル３０側の総重量Ｍ２を変えない場合には、ウエイトテーブル３０側の加速度α２のみを調整することで、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等とすることができる。 Therefore, when the total mass M1 on the main table 10 side changes, the inertial forces F1 and F2 are made equal by adjusting the total mass M2 on the weight table 30 side and / or the acceleration α2 on the weight table 30 side. can do. When the total mass M1 on the main table 10 side changes, and the total weight M2 on the weight table 30 side does not change, only the acceleration α2 on the weight table 30 side is adjusted so that both inertia forces F1 and F2 are Can be equivalent.

そして、第１実施形態の直動テーブル装置１においては、メインテーブル１０を駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸１１と、ウエイトテーブル３０を駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸１１とは別個のウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１とを用いているので、右ねじと左ねじとを一つの駆動ねじ軸に形成する必要はない。そして、それらメインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されているので、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向における装置長を短くすることができる。 In the linear motion table device 1 of the first embodiment, the main table drive screw shaft 11 for driving the main table 10 and the main table drive screw shaft 11 for driving the weight table 30 are separately provided. Therefore, it is not necessary to form the right screw and the left screw as one drive screw shaft. Since the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are arranged in parallel in the vertical direction perpendicular to the horizontal direction which is the axial direction, the main table drive screw shaft 11 and the weight The apparatus length in the axial direction of the table drive screw shaft 31 can be shortened.

また、メインテーブル１０の長手方向の一端下面は、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、メインテーブル１０の長手方向の他端下面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。このため、メインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。 Further, the lower surface of one end of the main table 10 in the longitudinal direction is attached on the slider 16a of the first linear motion guide device 17a, and the lower surface of the other end of the main table 10 in the longitudinal direction is the slider 16b of the second linear motion guide device 17b. Mounted on top. For this reason, when the main table 10 moves in one horizontal direction along the main table drive screw shaft 11, the movement can be performed smoothly and stably.

また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。このため、ウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。
なお、第１実施形態においては、直動テーブル装置１の諸元として、駆動モータ１８の回転数は、４５０〜３０００（ｒｐｍ）、メインテーブル１０の送り速度は、３６〜６０（ｍ/ｍｉｎ）、第２プーリ４２の外径の第１プーリ４１の外径に対する比は、１〜２、メインテーブル用駆動ねじ軸１１のリードは２０〜４０（ｍｍ）である。 The lower end of the weight table 30 in the longitudinal direction is mounted on the slider 36a of the third linear motion guide device 37a, and the lower end of the other end of the weight table 30 in the longitudinal direction is the slider 36b of the fourth linear motion guide device 37b. Mounted on top. For this reason, when the weight table 30 moves in the direction opposite to the main table 10 along the weight table drive screw shaft 31, the movement can be performed smoothly and stably.
In the first embodiment, as the specifications of the linear motion table device 1, the rotational speed of the drive motor 18 is 450 to 3000 (rpm), and the feed speed of the main table 10 is 36 to 60 (m / min). The ratio of the outer diameter of the second pulley 42 to the outer diameter of the first pulley 41 is 1 to 2, and the lead of the main table drive screw shaft 11 is 20 to 40 (mm).

そして、直動テーブル装置１を工作機械に用いた場合において、工作物である被搭載物６０を切削、研磨すると、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が軽量になるので、メインテーブル１０の送り速度が高速となり、メインテーブル１０の加速度α１が増加する。そうなると、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とのバランスが不均衡となり、駆動モータ１８の回転数に変化が生じるとともに、直動テーブル装置１全体に振動が発生する。
このため、この場合、メインテーブル１０の上部あるはメインテーブル用ナット１２に図示しない錘を付加して、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１を増加させ、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とをバランスさせ、駆動モータ１８の回転数をもとに戻す。 And when the linear motion table apparatus 1 is used for a machine tool, when the mounted object 60, which is a workpiece, is cut and polished, the total mass M1 on the main table 10 side becomes lighter. Increases, and the acceleration α1 of the main table 10 increases. As a result, the balance between the inertial force F1 on the main table 10 side and the inertial force F2 on the weight table 30 side becomes unbalanced, the rotational speed of the drive motor 18 changes, and vibration occurs in the entire linear motion table device 1. .
Therefore, in this case, a weight (not shown) is added to the upper part of the main table 10 or the main table nut 12 to increase the total mass M1 on the main table 10 side, and the inertia force F1 and weight table on the main table 10 side are increased. The inertial force F2 on the 30th side is balanced and the rotational speed of the drive motor 18 is restored.

また、直動テーブル装置１を工作機械に用いた場合において、メインテーブル１０に搭載した工作物である被搭載物６０を加工した後に、加工した被搭載物６０に合わせて他の工作物を組み合わせて加工をする場合がある。
この場合、メインテーブル１０に搭載した被搭載物の質量が重くなり、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が重くなるため、メインテーブル１０の送り速度が遅くなり、メインテーブル１０側の加速度α１が減少し、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とのバランスが不均衡となり、駆動モータ１８の回転数に変化が生じるとともに直動テーブル装置１全体に振動が発生する。
このため、この場合、ウエイトテーブル３０またはウエイトテーブル用ナット３２に錘を付加して、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２を増加させ、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とをバランスさせ、駆動モータ１８の回転数をもとに戻すようにしている。 Further, when the linear motion table device 1 is used for a machine tool, after the workpiece 60 that is a workpiece mounted on the main table 10 is processed, another workpiece is combined with the processed workpiece 60. May be processed.
In this case, the mass of the object mounted on the main table 10 becomes heavy, and the total mass M1 on the main table 10 side becomes heavy, so that the feed speed of the main table 10 becomes slow and the acceleration α1 on the main table 10 side decreases. In addition, the balance between the inertial force F1 on the main table 10 side and the inertial force F2 on the weight table 30 side becomes unbalanced, the rotational speed of the drive motor 18 changes, and vibration occurs in the entire linear motion table device 1.
Therefore, in this case, a weight is added to the weight table 30 or the weight table nut 32 to increase the total mass M2 on the weight table 30 side, and the inertia force F1 on the main table 10 side and the inertia force on the weight table 30 side are increased. F2 is balanced and the rotational speed of the drive motor 18 is restored.

また、第１プーリ４１側のメインテーブル側第１軸受１３とメインテーブル用駆動ねじ軸１１とは、当該ねじ軸１１が熱膨張しても軸方向に膨張しないようにすきま嵌めにしている。このため、メインテーブル１０に載置されている被搭載物６０の重量が増加すると、図３（ａ）に示すように、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が撓み、ベルト４３が引っ張られ、ベルト４３が破損するおそれがある。 Further, the main table side first bearing 13 on the first pulley 41 side and the main table drive screw shaft 11 are fitted so that the screw shaft 11 does not expand in the axial direction even if the screw shaft 11 thermally expands. For this reason, when the weight of the mounted object 60 placed on the main table 10 increases, as shown in FIG. 3A, the main table drive screw shaft 11 is bent, the belt 43 is pulled, and the belt 43 May be damaged.

これを防止するために、ウエイトテーブル３０のウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１付近あるいはウエイトテーブル用ナット３２に錘を付加する。これにより、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が撓み、図４（ｂ）に示すように、ベルト４３が引っ張られるのが阻止されてベルト４３の破損を回避することができることになる。
なお、第１実施形態の直動テーブル装置１においては、駆動モータ１８が、メインテーブル用駆動ねじ軸１１を直接回転駆動するようにしてあるが、メインテーブル用駆動ねじ軸１１ではなく、図４に示すように、駆動モータ１８がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１を直接回転駆動するようにしてもよい。 In order to prevent this, a weight is added to the vicinity of the weight table drive screw shaft 31 of the weight table 30 or to the weight table nut 32. As a result, the weight table drive screw shaft 31 is bent, and as shown in FIG. 4B, the belt 43 is prevented from being pulled and damage to the belt 43 can be avoided.
In the linear motion table device 1 according to the first embodiment, the drive motor 18 directly drives the main table drive screw shaft 11, but not the main table drive screw shaft 11. As shown in the figure, the drive motor 18 may directly drive the weight table drive screw shaft 31 to rotate.

このように、駆動モータ１８を、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１を直接回転駆動するようにした場合、駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、ウエイト用駆動ねじ軸３１が一方向に回転し、これにより、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の一方向に移動する。ウエイトテーブル用ナット３２がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の一方向に移動することで、そのウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の一方向に移動する。 In this way, when the drive motor 18 is directly driven to rotate the weight table drive screw shaft 31, when the output shaft of the drive motor 18 rotates in one direction, the weight drive screw shaft 31 rotates in one direction. As a result, the weight table nut 32 moves in one horizontal direction along the weight table drive screw shaft 31. The weight table nut 32 moves in one horizontal direction along the weight table drive screw shaft 31, so that the weight table 30 fixed to the weight table nut 32 moves along the weight table drive screw shaft 31. Move in one horizontal direction.

一方、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が一方向に回転すると、第２プーリ４２、ベルト４３及び第１プーリ４１を介してメインテーブル用駆動ねじ軸１１が前記一方向と同一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿ってウエイトテーブル用ナット３２と逆方向に移動する。メインテーブル用ナット１２がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿ってウエイトテーブル用ナット３２と逆方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット１２に固定されたメインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿ってウエイトテーブル３０と逆方向に移動する。 On the other hand, when the weight table drive screw shaft 31 rotates in one direction, the main table drive screw shaft 11 rotates in the same direction as the one direction via the second pulley 42, the belt 43, and the first pulley 41. As a result, the main table nut 12 moves in the direction opposite to the weight table nut 32 along the main table drive screw shaft 11. The main table nut 12 moves in a direction opposite to the weight table nut 32 along the main table drive screw shaft 11, so that the main table 10 fixed to the main table nut 12 becomes the main table drive screw shaft. 11 moves in the opposite direction to the weight table 30.

この場合にあっても、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制することができる。
また、この場合にあっても、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されているので、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向における装置長を短くすることができる。 Even in this case, the weight table 30 is moved in the opposite direction to the main table 10, and further, the inertia force F1 on the main table 10 side acting on the base 2 and the inertial force F2 on the weight table 30 side acting on the base 2. Are balanced to equalize, both inertial forces can be offset and vibration of the apparatus can be suppressed.
Even in this case, the main table driving screw shaft 11 and the weight table driving screw shaft 31 are arranged in parallel in the vertical direction perpendicular to the horizontal direction as the axial direction. The device length in the axial direction of the drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 can be shortened.

なお、第１実施形態の直動テーブル装置１及び図４に示す変形例の直動テーブル装置１においては、一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１、ウエイトテーブル用ナット３２、及びウエイトテーブル３０は、ベース２の上面側、即ち表面側に設けられているが、これらはベース２の裏面側に設けられてもよい。 In the linear motion table device 1 of the first embodiment and the linear motion table device 1 of the modification shown in FIG. 4, the pair of weight table side first bearings 33, the weight table side second bearings 34, the weight table drive The screw shaft 31, the weight table nut 32, and the weight table 30 are provided on the upper surface side, that is, the front surface side of the base 2, but these may be provided on the back surface side of the base 2.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態の直動テーブル装置について、図５及び図６を参照して説明する。図５及び図６において、図５及び図６に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
第２実施形態の直動テーブル装置は、図５及び図６に示されており、この直動テーブル装置は、図１及び図２に示す直動テーブル装置１と同様に、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、図１及び図２に示す直動テーブル装置１と異なり、工作物などの被搭載物を垂直方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。 (Second Embodiment)
Next, a linear motion table device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6, the same members as those shown in FIGS. 5 and 6 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof may be omitted.
The linear motion table device of the second embodiment is shown in FIG. 5 and FIG. 6, and this linear motion table device is similar to the linear motion table device 1 shown in FIG. 1 and FIG. Used in various manufacturing equipment such as equipment and flat panel display manufacturing equipment, and in particular, unlike the linear motion table device 1 shown in FIGS. 1 and 2, an object to be mounted such as a workpiece is moved in the vertical direction for accurate positioning. It is a device that performs.

図５及び図６に示す直動テーブル装置１において、長方形の板状に形成された台座３が水平方向（図５における左右方向及び図６における左右方向）に延びるように設置されている。そして、この台座３の上面に、長方形の板状に形成されたベース２が水平方向に直交する鉛直方向（図５における上下方向及び図６における上下方向、請求項１の一方向）に延びるように設置されている。 In the linear motion table device 1 shown in FIGS. 5 and 6, a pedestal 3 formed in a rectangular plate shape is installed so as to extend in the horizontal direction (the left-right direction in FIG. 5 and the left-right direction in FIG. 6). A base 2 formed in the shape of a rectangular plate on the upper surface of the pedestal 3 extends in a vertical direction perpendicular to the horizontal direction (the vertical direction in FIG. 5 and the vertical direction in FIG. 6, one direction of claim 1). Is installed.

このベース２の表面（図６における右側面）には、鉛直方向において所定間隔離れた位置に一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４が取り付けられている。メインテーブル側第１軸受１３は、ベース２の鉛直方向下端部近傍に取り付けられ、メインテーブル側第２軸受１４は、ベース２の鉛直方向中央部よりやや上側の位置に取り付けられている。 A pair of main table side first bearings 13 and main table side second bearings 14 are attached to the surface of the base 2 (the right side surface in FIG. 6) at positions spaced apart in the vertical direction. The main table side first bearing 13 is attached in the vicinity of the lower end in the vertical direction of the base 2, and the main table side second bearing 14 is attached at a position slightly above the center in the vertical direction of the base 2.

そして、外周に右ねじ溝１１ａを形成したメインテーブル用駆動ねじ軸１１の両端が、軸方向が鉛直方向となるように一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４に回転可能に軸支されている。
また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１には、メインテーブル用ナット１２が外装されている。メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成された右ねじ溝１１ａとメインテーブル用ナット１２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が回転することによりメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向に移動するようになっている。メインテーブル用駆動ねじ軸１１、転動体及びメインテーブル用ナット１２によりメインテーブル側ボールねじを構成している。 Then, both ends of the main table drive screw shaft 11 having the right thread groove 11a formed on the outer periphery rotate to the pair of main table side first bearing 13 and main table side second bearing 14 so that the axial direction is the vertical direction. It is pivotally supported.
A main table nut 12 is externally mounted on the main table drive screw shaft 11. Between the right screw groove 11a formed on the outer periphery of the main table drive screw shaft 11 and the screw groove formed on the inner periphery of the main table nut 12, there are a plurality of rolling elements (balls or rollers) (not shown). The main table nut 12 is configured to move in the vertical direction along the main table drive screw shaft 11 as the main table drive screw shaft 11 rotates. The main table side drive screw shaft 11, the rolling elements and the main table nut 12 constitute a main table side ball screw.

また、メインテーブル用ナット１２には、メインテーブル１０が固定されている。メインテーブル１０は、メインテーブル用ナット１２に固定される本体部１２ａと、本体部１２ａの上端に設けられた平板状の搭載板部１０ｂとを備えている。搭載板部１０ｂは表面側から見て長方形状に形成され、表面に工作物等の被搭載物６０（図９参照）が搭載可能となっている。 The main table 10 is fixed to the main table nut 12. The main table 10 includes a main body portion 12a fixed to the main table nut 12 and a flat mounting plate portion 10b provided at the upper end of the main body portion 12a. The mounting plate portion 10b is formed in a rectangular shape when viewed from the front surface side, and an object to be mounted 60 (see FIG. 9) such as a workpiece can be mounted on the surface.

そして、メインテーブル１０の本体部１０ａは、長手方向（図５における左右方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、メインテーブル１０の本体部１０ａの長手方向の一端下面は、図５及び図６に示すように、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、本体部１０ａの長手方向の他端下面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。第１直動案内装置１７ａは、ベース２の幅方向（図５における左右方向）の一側（図５における右側）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ａと、レール１５ａ上をレール１５ａに沿って移動するスライダ１６ａとを備えている。また、第２直動案内装置１７ｂは、ベース２の幅方向の他側（図５における左側）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ｂと、レール１５ｂ上をレール１５ｂに沿って移動するスライダ１６ｂとを備えている。 And the main-body part 10a of the main table 10 is formed in the substantially rectangular parallelepiped shape extended long in a longitudinal direction (left-right direction in FIG. 5). Further, as shown in FIGS. 5 and 6, the bottom surface of the main table 10a in the longitudinal direction of the main table 10 is attached on the slider 16a of the first linear motion guide device 17a. The end lower surface is mounted on the slider 16b of the second linear motion guide device 17b. The first linear motion guide device 17a is attached to one side (right side in FIG. 5) of the base 2 in the width direction (left and right direction in FIG. 5), and extends in the axial direction of the main table drive screw shaft 11; And a slider 16a that moves on the rail 15a along the rail 15a. The second linear motion guide device 17b is attached to the other side in the width direction of the base 2 (left side in FIG. 5) and extends in the axial direction of the main table drive screw shaft 11, and the rail 15b is mounted on the rail 15b. And a slider 16b that moves along 15b.

一方、ベース２の裏面には、鉛直方向において所定間隔離れた位置に一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４が取り付けられている。ウエイトテーブル側第１軸受３３は、ベース２の鉛直方向においてメインテーブル側第１軸受１３と同じ位置に位置し、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、ベース２の鉛直方向においてメインテーブル側第２軸受１４と同じ位置に位置している。
そして、外周にメインテーブル用駆動ねじ軸１１の右ねじ溝１１ａとねじれ方向が逆の左ねじ溝３１ａを形成したウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の両端が、軸方向が水平方向となるように一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４に回転可能に軸支されている。 On the other hand, a pair of weight table side first bearings 33 and weight table side second bearings 34 are attached to the back surface of the base 2 at positions spaced apart by a predetermined distance in the vertical direction. The weight table side first bearing 33 is located at the same position as the main table side first bearing 13 in the vertical direction of the base 2, and the weight table side second bearing 34 is the main table side second bearing in the vertical direction of the base 2. 14 is located at the same position.
A pair of weight table drive screw shafts 31 each having a left screw groove 31a having a reverse twist direction to the right screw groove 11a of the main table drive screw shaft 11 on the outer periphery so that the axial direction is horizontal. The weight table side first bearing 33 and the weight table side second bearing 34 are rotatably supported.

ここで、ウエイトテーブル側第１軸受３３は、メインテーブル側第１軸受１３に対して鉛直方向の同じ位置に位置し、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、メインテーブル側第２軸受１４に対して鉛直方向の同じ位置に位置しているから、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に対して、軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向に並列配置されていることになる。 Here, the weight table side first bearing 33 is located at the same position in the vertical direction with respect to the main table side first bearing 13, and the weight table side second bearing 34 is relative to the main table side second bearing 14. Since the weight table drive screw shaft 31 is located at the same position in the vertical direction, the weight drive screw shaft 31 is arranged in parallel to the main table drive screw shaft 11 in a horizontal direction perpendicular to the vertical direction. become.

そして、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１には、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている。ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成された左ねじ溝３１ａとウエイトテーブル用ナット３２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１がメインテーブル用駆動ねじ軸１１と同一方向に回転することによりウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動するようになっている。ウエイトテーブル用駆動ねじ軸１１、転動体及びウエイトテーブル用ナット３２によりウエイトテーブル側ボールねじを構成している。 A weight table nut 32 is externally mounted on the weight table drive screw shaft 31. Between the left screw groove 31a formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 31 and the screw groove formed on the inner periphery of the weight table nut 32, a plurality of rolling elements (balls or rollers) (not shown) are provided. The weight table nut 32 is opposite to the main table nut 12 along the weight table drive screw shaft 31 when the weight table drive screw shaft 31 rotates in the same direction as the main table drive screw shaft 11. It is designed to move in the direction. The weight table drive screw shaft 11, the rolling elements and the weight table nut 32 constitute a weight table side ball screw.

また、ウエイトテーブル用ナット３２には、ウエイトテーブル３０が固定されている。ウエイトテーブル３０は、長手方向（図５における左右方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、図５及び図６に示すように、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。第３直動案内装置３７ａは、ベース２の幅方向（図５における左右方向）の一側（図５における右側）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ａと、レール３５ａ上をレール３５ａに沿って移動するスライダ３６ａとを備えている。また、第４直動案内装置３７ｂは、ベース２の幅方向の他側（図５における左側）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ｂと、レール３５ｂ上をレール３５ｂに沿って移動するスライダ３６ｂとを備えている。 The weight table 30 is fixed to the weight table nut 32. The weight table 30 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape that extends long in the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 5). Also, as shown in FIGS. 5 and 6, the lower end of the weight table 30 in the longitudinal direction is attached on the slider 36a of the third linear motion guide device 37a, and the lower end of the other end of the weight table 30 in the longitudinal direction is It is mounted on the slider 36b of the fourth linear motion guide device 37b. The third linear motion guide device 37a is attached to one side (right side in FIG. 5) of the base 2 in the width direction (left and right direction in FIG. 5), and extends in the axial direction of the weight table drive screw shaft 31; And a slider 36a that moves along the rail 35a on the rail 35a. The fourth linear motion guide device 37b is attached to the other side in the width direction of the base 2 (left side in FIG. 5) and extends in the axial direction of the weight table drive screw shaft 31. And a slider 36b that moves along the line 35b.

そして、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のうちメインテーブル用駆動ねじ軸１１は、駆動モータ１８によって回転駆動される。駆動モータ１８は、ベース２の表面に設けられた駆動モータ用支持部材１９に取り付けられている。そして、駆動モータ１８の出力軸がカップリング２０を介してメインテーブル用駆動ねじ軸１１のメインテーブル側第２軸受１４側の端部に連結されている。なお、駆動モータ１８の軸の近傍には、図示しない支持部材に取り付けられたエンコーダ２１が設けられ、このエンコーダ２１により、駆動モータ１８の回転数を検出するようにしている。
また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１のメインテーブル側第１軸受１３側の端部には、第１プーリ４１が固定されている。更に、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のウエイトテーブル側第１軸受３３側の端部には、第２プーリ４２が固定されている。そして、第１プーリ４１及び第２プーリ４２の外周には、ベルト４３が巻回されている。 Of the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31, the main table drive screw shaft 11 is rotationally driven by the drive motor 18. The drive motor 18 is attached to a drive motor support member 19 provided on the surface of the base 2. The output shaft of the drive motor 18 is connected to the end of the main table drive screw shaft 11 on the main table side second bearing 14 side via the coupling 20. An encoder 21 attached to a support member (not shown) is provided in the vicinity of the shaft of the drive motor 18, and the rotation speed of the drive motor 18 is detected by the encoder 21.
A first pulley 41 is fixed to an end of the main table drive screw shaft 11 on the main table side first bearing 13 side. Further, a second pulley 42 is fixed to an end of the weight table drive screw shaft 31 on the weight table side first bearing 33 side. A belt 43 is wound around the outer circumferences of the first pulley 41 and the second pulley 42.

次に、第２実施形態の直動テーブル装置１の動作について説明する。
駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向の一方向に移動する。メインテーブル用ナット１２がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向の一方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット１２に固定されたメインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向の一方向に移動する。 Next, the operation of the linear motion table device 1 of the second embodiment will be described.
When the output shaft of the drive motor 18 rotates in one direction, the main table drive screw shaft 11 rotates in one direction, so that the main table nut 12 moves along the main table drive screw shaft 11 in the vertical direction. Move in one direction. The main table nut 12 moves in one vertical direction along the main table drive screw shaft 11, so that the main table 10 fixed to the main table nut 12 extends along the main table drive screw shaft 11. Move in one vertical direction.

一方、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が一方向に回転すると、第１プーリ４１、ベルト４３及び第２プーリ４２を介してウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が前記一方向と同一方向に回転し、これにより、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動する。ウエイトテーブル用ナット３２がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動することで、そのウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する。 On the other hand, when the main table drive screw shaft 11 rotates in one direction, the weight table drive screw shaft 31 rotates in the same direction as the one direction via the first pulley 41, the belt 43 and the second pulley 42. As a result, the weight table nut 32 moves in the direction opposite to the main table nut 12 along the weight table drive screw shaft 31. The weight table nut 32 is moved in the direction opposite to the main table nut 12 along the weight table drive screw shaft 31, so that the weight table 30 fixed to the weight table nut 32 is moved to the weight table drive screw shaft. It moves in the direction opposite to the main table 10 along 31.

第２実施形態の直動テーブル装置１においても、第１実施形態の直動テーブル装置１と同様に、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。
ここで、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１は、前述の（１）式で表し、また、ベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２は前述の（２）式で表される。
そして、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等としてバランスさせるために、前述の（３）式が成立する。 Also in the linear motion table device 1 of the second embodiment, as with the linear motion table device 1 of the first embodiment, the weight table 30 is moved in the opposite direction to the main table 10 and further the main table acting on the base 2. The inertial force F1 on the 10 side and the inertial force F2 on the weight table 30 acting on the base 2 are balanced and balanced to cancel both inertial forces and suppress the vibration of the apparatus.
Here, the inertial force F1 on the main table 10 acting on the base 2 is expressed by the above-described equation (1), and the inertial force F2 on the weight table 30 acting on the base 2 is expressed by the above-described equation (2). expressed.
Then, in order to balance both inertial forces F1 and F2 equally, the above-described equation (3) is established.

そして、第１実施形態の直動テーブル装置１においては、メインテーブル１０を駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸１１と、ウエイトテーブル３０を駆動するための、メインテーブル用駆動ねじ軸１１とは別個のウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１とを用いているので、右ねじと左ねじとを一つの駆動ねじ軸に形成する必要はない。そして、それらメインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が、軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向において並列配置されているので、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向における装置長を短くすることができる。 In the linear motion table device 1 of the first embodiment, the main table drive screw shaft 11 for driving the main table 10 and the main table drive screw shaft 11 for driving the weight table 30 are as follows. Since separate weight table drive screw shafts 31 are used, it is not necessary to form a right screw and a left screw on one drive screw shaft. Since the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are arranged in parallel in the horizontal direction perpendicular to the vertical direction as the axial direction, the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are arranged. The apparatus length in the axial direction of the drive screw shaft 31 can be shortened.

また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。このため、ウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。
なお、第２実施形態の直動テーブル装置１においては、駆動モータ１８が、メインテーブル用駆動ねじ軸１１を直接回転駆動するようにしてあるが、メインテーブル用駆動ねじ軸１１ではなく、図７に示すように、駆動モータ１８がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１を直接回転駆動するようにしてもよい。 The lower end of the weight table 30 in the longitudinal direction is mounted on the slider 36a of the third linear motion guide device 37a, and the lower end of the other end of the weight table 30 in the longitudinal direction is the slider 36b of the fourth linear motion guide device 37b. Mounted on top. For this reason, when the weight table 30 moves in the direction opposite to the main table 10 along the weight table drive screw shaft 31, the movement can be performed smoothly and stably.
In the linear motion table device 1 of the second embodiment, the drive motor 18 directly drives the main table drive screw shaft 11, but not the main table drive screw shaft 11. As shown in the figure, the drive motor 18 may directly drive the weight table drive screw shaft 31 to rotate.

このように、駆動モータ１８を、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１を直接回転駆動するようにした場合、駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、ウエイト用駆動ねじ軸３１が一方向に回転し、これにより、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って鉛直方向の一方向に移動する。ウエイトテーブル用ナット３２がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って鉛直方向の一方向に移動することで、そのウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って鉛直方向の一方向に移動する。 In this way, when the drive motor 18 is directly driven to rotate the weight table drive screw shaft 31, when the output shaft of the drive motor 18 rotates in one direction, the weight drive screw shaft 31 rotates in one direction. As a result, the weight table nut 32 moves in one vertical direction along the weight table drive screw shaft 31. When the weight table nut 32 moves in one vertical direction along the weight table drive screw shaft 31, the weight table 30 fixed to the weight table nut 32 moves along the weight table drive screw shaft 31. Move in one vertical direction.

この場合にあっても、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制することができる。
また、この場合にあっても、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が、軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向において並列配置されているので、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向における装置長を短くすることができる。 Even in this case, the weight table 30 is moved in the opposite direction to the main table 10, and further, the inertia force F1 on the main table 10 side acting on the base 2 and the inertial force F2 on the weight table 30 side acting on the base 2. Are balanced to equalize, both inertial forces can be offset and vibration of the apparatus can be suppressed.
Even in this case, the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are arranged in parallel in the horizontal direction perpendicular to the vertical direction as the axial direction. The apparatus length in the axial direction of the shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 can be shortened.

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態の直動テーブル装置について、図８及び図９を参照して説明する。図８及び図９において、図１乃至図７に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
第３実施形態の直動テーブル装置は、図８及び図９に示されており、この直動テーブル装置１は、第１実施形態の直動テーブル装置１と同様に、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、工作物などの被搭載物を水平方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。
そして、第３実施形態の直動テーブル装置１は、第１実施形態の直動テーブル装置１と基本構成は同様であるが、ウエイトテーブル３０の構成が異なっている。 (Third embodiment)
Next, a linear motion table device according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9, the same members as those shown in FIGS. 1 to 7 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof may be omitted.
The linear motion table device according to the third embodiment is shown in FIGS. 8 and 9, and this linear motion table device 1 is similar to the linear motion table device 1 according to the first embodiment. It is used in various manufacturing apparatuses such as flat panel display manufacturing apparatuses, and in particular, is an apparatus that moves an object to be mounted such as a workpiece in the horizontal direction to perform accurate positioning.
The linear motion table device 1 according to the third embodiment has the same basic configuration as the linear motion table device 1 according to the first embodiment, but is different in the configuration of the weight table 30.

即ち、ウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０は、ウエイトテーブル用ナット３２に固定される本体部３０ａと、本体部３０ａの上端面に設けられた平板状の搭載板部３０ｂとを備えている。搭載板部３０ｂは上面側から見て長方形状に形成され、上面に工作物等の被搭載物６０（図９参照）が搭載可能となっている。搭載板部３０ｂの上面の位置は、メインテーブル１０の搭載板部１０ｂの上面の位置と、上下方向においてほぼ同一の位置に設定されている。そして、本体部３０ａは、長手方向（図８における紙面に対して直交する方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、本体部３０ａには、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が挿通可能な貫通孔３０ｃがメインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるように形成されている。 That is, the weight table 30 fixed to the weight table nut 32 includes a main body portion 30a fixed to the weight table nut 32, and a flat mounting plate portion 30b provided on the upper end surface of the main body portion 30a. ing. The mounting plate portion 30b is formed in a rectangular shape when viewed from the upper surface side, and a mounted object 60 (see FIG. 9) such as a workpiece can be mounted on the upper surface. The position of the upper surface of the mounting plate portion 30b is set to be substantially the same as the position of the upper surface of the mounting plate portion 10b of the main table 10 in the vertical direction. And the main-body part 30a is formed in the substantially rectangular parallelepiped shape extended long in a longitudinal direction (direction orthogonal to the paper surface in FIG. 8). Further, a through hole 30c through which the main table drive screw shaft 11 can be inserted is formed in the main body 30a so as to extend in the axial direction of the main table drive screw shaft 11.

第３実施形態の直動テーブル装置１によれば、メインテーブル１０のみならず、ウエイトテーブル３０にも工作物等の被搭載物６０が搭載可能なので、メインテーブル１０及びウエイトテーブル３０上に被搭載物６０を搭載し、両テーブル１０、３０上で同じ製品を製造することができる。
また、直動テーブル装置１においては、図９に示すように、水平方向に移動するメインテーブル１０上の被搭載物６０及びウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の双方を加工することが可能な工具５０が設置されている。工具５０は、工具５０の動作を制御する工具制御部５１に接続されている。工具制御部５１には、エンコーダ２１（図８参照）からメインテーブル１０及びウエイトテーブル３０の水平方向の位置が入力されるとともに、図示しない上位コンピュータから加工するメインテーブル１０上及びウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の最終形状が入力される。工具制御部５１は、これらの情報を基に工具５０を移動させて、メインテーブル１０上の被搭載物６０及びウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の双方を加工可能である。工具制御部５１に、メインテーブル１０上の被搭載物６０の最終形状とウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の最終形状とを同じにする情報を入力することにより、両テーブル１０、３０上で同じ形状の製品を製造することができる。 According to the linear motion table device 1 of the third embodiment, not only the main table 10 but also the weight table 30 can be loaded with a load 60 such as a workpiece, so that the load is mounted on the main table 10 and the weight table 30. The same product can be manufactured on both tables 10 and 30 by mounting the object 60.
Moreover, in the linear motion table apparatus 1, as shown in FIG. 9, it is possible to process both the mounted object 60 on the main table 10 that moves in the horizontal direction and the mounted object 60 on the weight table 30. A tool 50 is installed. The tool 50 is connected to a tool control unit 51 that controls the operation of the tool 50. The horizontal position of the main table 10 and the weight table 30 is input from the encoder 21 (see FIG. 8) to the tool control unit 51, and on the main table 10 and the weight table 30 processed from a host computer (not shown). The final shape of the mounted object 60 is input. The tool control unit 51 can move both the mounted object 60 on the main table 10 and the mounted object 60 on the weight table 30 by moving the tool 50 based on these pieces of information. By inputting information that makes the final shape of the mounted object 60 on the main table 10 and the final shape of the mounted object 60 on the weight table 30 the same on the tool control unit 51, Products with the same shape can be produced.

（変形例）
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されず、種々の変更、改良を行うことができる。
例えば、図１及び図２に示す第１実施形態の直動テーブル装置１、図３に示す変形例の直動テーブル装置１、図５及び図６に示す第２実施形態の直動テーブル装置１、及び図７に示す変形例の直動テーブル装置１においては、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に右ねじ溝１１ａを形成し、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に左ねじ溝３１ａを形成してあるが、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に左ねじ溝を形成し、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に右ねじ溝を形成してもよい。 (Modification)
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to this, A various change and improvement can be performed.
For example, the linear motion table device 1 of the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the linear motion table device 1 of the modification shown in FIG. 3, and the linear motion table device 1 of the second embodiment shown in FIGS. In the linear motion table device 1 of the modification shown in FIG. 7, the right screw groove 11 a is formed on the outer periphery of the main table drive screw shaft 11, and the left screw groove 31 a is formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 31. However, a left screw groove may be formed on the outer periphery of the main table drive screw shaft 11, and a right screw groove may be formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 31.

また、図１及び図２に示す第１実施形態の直動テーブル装置１、図３に示す変形例の直動テーブル装置１、図５及び図６に示す第２実施形態の直動テーブル装置１、及び図７に示す変形例の直動テーブル装置１においては、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成した右ねじ溝１１ａのリードと、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成した左ねじ溝３１ａのリードとは同等にしてある。ただし、これに限定されるものではなく、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成した左ねじ溝３１ａのリードを、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成した右ねじ溝１１ａのリードよりも小さくしてもよい。これにより、ウエートテーブル用駆動ねじ軸３１の重量、ひいては装置の重量を軽量にすることができる。ただし、この場合、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成した左ねじ溝３１ａのリードを小さくすると、ウエイトテーブル３０側の加速度α２が小さくなるため、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２大きくして、ウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２を変えないようにする必要がある。メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とバランスをとるためである。 Moreover, the linear motion table apparatus 1 of 1st Embodiment shown in FIG.1 and FIG.2, the linear motion table apparatus 1 of the modification shown in FIG. 3, and the linear motion table apparatus 1 of 2nd Embodiment shown in FIG.5 and FIG.6. 7 and the linear motion table device 1 of the modified example shown in FIG. 7, the lead of the right screw groove 11 a formed on the outer periphery of the main table drive screw shaft 11 and the left formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 11. The lead of the thread groove 31a is the same. However, the present invention is not limited to this, and the lead of the left screw groove 31a formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 31 is more than the lead of the right screw groove 11a formed on the outer periphery of the main table drive screw shaft 11. May be made smaller. As a result, the weight of the weight table drive screw shaft 31 and the weight of the apparatus can be reduced. However, in this case, if the lead of the left screw groove 31a formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 31 is reduced, the acceleration α2 on the weight table 30 side is reduced, so the total mass M2 on the weight table 30 side is increased. It is necessary not to change the inertial force F2 on the weight table 30 side. This is to balance the inertial force F1 on the main table 10 side.

また、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成した左ねじ溝３１ａのリードを、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成した右ねじ溝１１ａのリードよりも小さくすると、ウエイトテーブル側ボールねじの転動体の直径が小さくなり、動定格荷重が小さくなる。従って、この場合に、ウエイトテーブル側ボールねじの転動体の直径を大きくすることにより、ウエイトテーブル側ボールねじの動定格荷重を大きくすることが好ましい。 If the lead of the left screw groove 31a formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 31 is smaller than the lead of the right screw groove 11a formed on the outer periphery of the main table drive screw shaft 11, the weight table side ball screw The diameter of the rolling element becomes smaller and the dynamic load rating becomes smaller. Therefore, in this case, it is preferable to increase the dynamic load rating of the weight table side ball screw by increasing the diameter of the rolling element of the weight table side ball screw.

更に、図１及び図２に示す第１実施形態の直動テーブル装置１、図３に示す変形例の直動テーブル装置１、図５及び図６に示す第２実施形態の直動テーブル装置１、及び図７に示す変形例の直動テーブル装置１において、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びメインテーブル用ナット１２を有するメインテーブル側ボールねじの転動体の直径及び右ねじ溝１１ａのリードと、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１及びウエイトテーブル用ナット３２を有するウエイトテーブル側ボールねじの転動体の直径及び左ねじ溝３１ａのリードとを調整して、メインテーブル側ボールねじ及びウエイトテーブル側ボールねじの動定格荷重を合わせる（同一とする）ことが好ましい。
このように、メインテーブル側ボールねじ及びウエイトテーブル側ボールねじの動定格荷重を合わせることにより、メインテーブル側ボールねじ及びウエイトテーブル側ボールねじの交換時期を揃えることができる。これにより、装置のメンテナンスによる未稼働時間を減少させることができる。 Further, the linear motion table device 1 of the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the linear motion table device 1 of the modification shown in FIG. 3, and the linear motion table device 1 of the second embodiment shown in FIGS. In the linear motion table device 1 of the modification shown in FIG. 7, the diameter of the rolling element of the main table side ball screw having the main table drive screw shaft 11 and the main table nut 12 and the lead of the right screw groove 11a, By adjusting the diameter of the rolling element of the weight table side ball screw having the weight table drive screw shaft 31 and the weight table nut 32 and the lead of the left screw groove 31a, the main table side ball screw and the weight table side ball screw It is preferable to match the dynamic load ratings (the same).
Thus, by matching the dynamic load ratings of the main table side ball screw and the weight table side ball screw, the replacement times of the main table side ball screw and the weight table side ball screw can be made uniform. Thereby, the non-operation time by the maintenance of an apparatus can be reduced.

また、図１及び図２に示す第１実施形態の直動テーブル装置１、図３に示す変形例の直動テーブル装置１、図５及び図６に示す第２実施形態の直動テーブル装置１、及び図７に示す変形例の直動テーブル装置１において、第１プーリ４１の外径と第２プーリ４２の外径との比を調整して、ウエイトテーブル用ナット３２及びウエイトテーブル３０の移動速度を増速させるようにしてもよい。このように、ウエイトテーブル用ナット３２及びウエイトテーブル３０の移動速度を増速させることで、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２を小さくすることができ、装置全体を軽量化することができる。 Moreover, the linear motion table apparatus 1 of 1st Embodiment shown in FIG.1 and FIG.2, the linear motion table apparatus 1 of the modification shown in FIG. 3, and the linear motion table apparatus 1 of 2nd Embodiment shown in FIG.5 and FIG.6. 7 and FIG. 7, the ratio of the outer diameter of the first pulley 41 to the outer diameter of the second pulley 42 is adjusted to move the weight table nut 32 and the weight table 30. The speed may be increased. Thus, by increasing the moving speed of the weight table nut 32 and the weight table 30, the total mass M2 on the weight table 30 side can be reduced, and the entire apparatus can be reduced in weight.

また、図１及び図２に示す第１実施形態の直動テーブル装置１、図３に示す変形例の直動テーブル装置１、図５及び図６に示す第２実施形態の直動テーブル装置１、及び図７に示す変形例の直動テーブル装置１において、メインテーブル１０は、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ及び第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０は、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ及び第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられているが、メインテーブル１０は、１つあるいは３つ以上の直動案内装置のスライダ上に取り付けられてもよいし、ウエイトテーブル３０も、１つあるいは３つ以上の直動案内装置のスライダ上に取り付けられてもよい。 Moreover, the linear motion table apparatus 1 of 1st Embodiment shown in FIG.1 and FIG.2, the linear motion table apparatus 1 of the modification shown in FIG. 3, and the linear motion table apparatus 1 of 2nd Embodiment shown in FIG.5 and FIG.6. 7 and FIG. 7, the main table 10 is mounted on the slider 16a of the first linear motion guide device 17a and the slider 16b of the second linear motion guide device 17b. Are mounted on the slider 36a of the third linear motion guide device 37a and the slider 36b of the fourth linear motion guide device 37b, but the main table 10 is on the sliders of one or more linear motion guide devices. The weight table 30 may also be mounted on the sliders of one or more linear guide devices.

１直動テーブル装置
２ベース
１０メインテーブル
１１メインテーブル用駆動ねじ軸
１２メインテーブル用ナット
１３メインテーブル側第１軸受
１４メインテーブル側第２軸受
１５ａ，１５ｂレール
１６ａ，１６ｂスライダ
１７ａ第１直動案内装置
１７ｂ第２直動案内装置
１８駆動モータ
３０ウエイトテーブル
３１ウエイトテーブル用駆動ねじ軸
３２ウエイトテーブル用ナット
３３ウエイトテーブル側第１軸受
３４ウエイトテーブル側第２軸受
３５ａ，３５ｂレール
３６ａ，３６ｂスライダ
３７ａ第３直動案内装置
３７ｂ第４直動案内装置
４１第１プーリ
４２第２プーリ
４３ベルト
６０被搭載物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Linear motion table apparatus 2 Base 10 Main table 11 Main table drive screw shaft 12 Main table nut 13 Main table side first bearing 14 Main table side second bearing 15a, 15b Rail 16a, 16b Slider 17a First linear motion guide Device 17b Second linear motion guide device 18 Drive motor 30 Weight table 31 Weight table drive screw shaft 32 Weight table nut 33 Weight table side first bearing 34 Weight table side second bearing 35a, 35b Rail 36a, 36b Slider 37a First 3 linear motion guide device 37b 4th linear motion guide device 41 1st pulley 42 2nd pulley 43 Belt 60 Mounted object

Claims

A base installed to extend in one direction;
A pair of main table side first bearings and main table side second bearings attached to the base;
A pair of weight table side first bearings and weight table side second bearings attached to the base;
A main table drive screw having both ends rotatably supported by the pair of main table side first bearing and main table side second bearing so that the axial direction is the one direction, and a thread groove is formed on the outer periphery. The axis,
Both ends of the pair of weight table side first bearings and weight table side second bearings are rotatably supported so that the axial direction is the one direction, and a thread groove of the main table drive screw shaft is provided on the outer periphery. A weight table drive screw shaft in which a thread groove having a reverse twist direction is formed;
A main table nut that is mounted on the main table drive screw shaft via a rolling element and moves along the main table drive screw shaft by rotating the main table drive screw shaft;
The weight table drive screw shaft is externally mounted via a rolling element, and the weight table drive screw shaft rotates in the same direction as the main table drive screw shaft, thereby along the weight table drive screw shaft. A weight table nut that moves in the opposite direction to the main table nut,
A main table capable of mounting an object to be mounted fixed to the main table nut, and a weight table fixed to the weight table nut;
A drive motor that rotationally drives one of the drive screw shaft for the main table and the drive screw shaft for the weight table;
The first pulley fixed to the end of the main table drive screw shaft, the second pulley fixed to the end of the weight table drive screw shaft, and the outer periphery of the first pulley and the second pulley. With a rotated belt,
The linear motion table device, wherein the main table driving screw shaft and the weight table driving screw shaft are arranged in parallel in a direction orthogonal to the one direction which is the axial direction.

The main table is attached to the slider of a linear motion guide device that is attached to the base and includes a rail that extends in the axial direction of the drive shaft for the main table and a slider that moves on the rail along the rail. The linear motion table device according to claim 1, wherein the linear motion table device is provided.

The weight table is attached to the base and includes a rail extending in the axial direction of the weight table drive shaft and a slider that moves on the rail along the rail. The weight table is attached to the slider. The linear motion table device according to claim 1, wherein the linear motion table device is provided.

The diameter of the rolling element of the main table side ball screw having the main table drive screw shaft and the main table nut and the lead of the thread groove, and the weight table side having the weight table drive screw shaft and the weight table nut 4. The dynamic load rating of the main table side ball screw and the weight table side ball screw are adjusted by adjusting the diameter of the rolling element of the ball screw and the lead of the thread groove. 5. The linear motion table device according to claim 1.

5. The moving speed of the weight table nut and the weight table is increased by adjusting a ratio of an outer diameter of the first pulley and an outer diameter of the second pulley. The linear table apparatus as described in any one of them.

The linear table apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the weight table is capable of mounting an object to be mounted.