JP2014087852A - Translational table device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、工作機械や半導体製造装置などで用いられる直動テーブル装置に関する。 The present invention relates to a linear motion table device used in a machine tool, a semiconductor manufacturing apparatus, or the like.
工作機械や半導体製造装置などでは、ワークあるいは加工ツール等を所定位置に搬送するユニットとして直動テーブル装置が使用されている。 In a machine tool, a semiconductor manufacturing apparatus, etc., a linear motion table device is used as a unit for transporting a workpiece or a processing tool to a predetermined position.
直動テーブル装置は、基台上にリニアガイドを介して設けたテーブルを、駆動モータの動力伝達による送りねじ軸の回転により直線移動させる装置であり、1本の送りねじ軸を備えた装置(例えば、特許文献1)、互いに平行に配置した2本の送りねじ軸を備えた装置(例えば、特許文献2)が知られている。 The linear motion table device is a device that linearly moves a table provided on a base via a linear guide by rotation of a feed screw shaft by power transmission of a drive motor (equipment having a single feed screw shaft ( For example, Patent Document 1) and an apparatus (for example, Patent Document 2) including two feed screw shafts arranged in parallel to each other are known.
特許文献1の装置は、1本の送りねじ軸の一端側及び他端側にねじ溝が形成されており、この送りねじ軸に、回転駆動力を伝達する1台の駆動モータが連結され、送りねじ軸の一端側のねじ溝に第1ナットが螺合し、この第1ナットが基台に固定され、送りねじ軸の他端側のねじ溝に第2ナットが螺合し、この第2ナットが移動テーブルに固定されている。
In the device of
そして、この装置は、送りねじ軸の一端側のねじ溝を右ねじ及び左ねじの一方、送りねじ軸の他端側のねじ溝を右ねじ及び左ねじの他方とすることで、駆動モータから送りねじ軸に回転力が伝達されると移動テーブルが高速で移動するようになっている。 In this device, the screw groove on one end side of the feed screw shaft is one of the right screw and the left screw, and the screw groove on the other end side of the feed screw shaft is the other of the right screw and the left screw. When the rotational force is transmitted to the feed screw shaft, the moving table moves at a high speed.
また、この装置は、送りねじ軸の一端側のねじ溝及び他端側のねじ溝を、同一のねじ方向とすることで、駆動モータから送りねじ軸に回転力が伝達されると移動テーブルが微小送りで移動するようになっている。 In addition, this device sets the screw groove on one end side and the screw groove on the other end side of the feed screw shaft in the same screw direction, so that when the rotational force is transmitted from the drive motor to the feed screw shaft, It moves with a minute feed.
また、特許文献2の装置は、移動テーブルの移動方向と同一方向に移動自在に基台上に配置したモータ据付け台と、このモータ据付け台に固定した2台の駆動モータと、これら2台の駆動モータに連結され、移動テーブルが移動する方向に延在し、互いのリード量が異なる2本の送りねじ軸と、これら2本の送りねじ軸の一方に螺合して基台上に固定されている第1ナットと、2本の送りねじ軸の他方に螺合して移動テーブルに固定されている第2ナットとを備えている。
The apparatus of
そして、この装置は、2台の駆動モータから2本の送りねじ軸に回転駆動力を伝達することで、第2ナットを介して移動テーブルを高速移動、微小送りで移動させる。 And this apparatus moves a moving table by a high-speed movement and a minute feed via a 2nd nut by transmitting rotational driving force to two feed screw shafts from two drive motors.
しかし、特許文献1の装置は、一端側及び他端側の2箇所にねじ溝を形成した送りねじ軸が長尺な部材となり、この送りねじ軸が延在する方向(軸方向)が長尺化した大型の装置となってしまう。
However, in the apparatus of
また、特許文献2の装置は、2台の駆動モータを制御するコントローラを必要とするので、装置コストの面で問題があるとともに、2台の駆動モータの制御を行う必要があり、高度の制御が必要となる。
In addition, since the device of
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、装置の小型化、装置コストの低減化を図るとともに、高度の制御を不要とする直動テーブル装置を提供することを目的としている。 Therefore, the present invention has been made paying attention to the unsolved problems of the above-described conventional example, and is intended to reduce the size of the device, reduce the device cost, and eliminate the need for advanced control. It is intended to provide.
上記目的を達成するために、一の実施形態に係る直動テーブル装置は、基台上にリニアガイドを介して設けた移動テーブルを、駆動モータの駆動力伝達による送りねじ軸の回転により直線移動させる直動テーブル装置であって、前記基台に沿って互いに平行に配置された2本の入力側送りねじ軸及び出力側送りねじ軸と、これら入力側送りねじ軸及び出力側送りねじ軸の両端側を回転自在に支持し、これら送りねじ軸を前記基台の長手方向に移動自在とするねじ軸支持部と、前記入力側送りねじ軸の一端部に連結された1台の駆動モータと、前記入力側送りねじ軸及び出力側送りねじ軸の他端部に連結され、前記入力側送りねじ軸の回転を前記出力側送りねじ軸に伝達する回転伝達機構と、前記入力側送りねじ軸に螺合している第1ナットと、前記出力側送りねじ軸に螺合している第2ナットと、前記第1ナット及び前記第2ナットの一方を前記基台上に固定している固定ブラケットと、前記第1ナット及び前記第2ナットの他方を移動テーブルに固定している移動ブラケットとを備えている。 In order to achieve the above object, a linear motion table device according to one embodiment moves a moving table provided on a base via a linear guide by linearly rotating a feed screw shaft by transmitting a driving force of a driving motor. A linear motion table device, wherein two input-side feed screw shafts and output-side feed screw shafts arranged in parallel with each other along the base, and these input-side feed screw shafts and output-side feed screw shafts A screw shaft support portion that rotatably supports both end sides and makes these feed screw shafts movable in the longitudinal direction of the base; and one drive motor coupled to one end portion of the input side feed screw shaft; A rotation transmission mechanism connected to the other ends of the input-side feed screw shaft and the output-side feed screw shaft, and transmitting the rotation of the input-side feed screw shaft to the output-side feed screw shaft; and the input-side feed screw shaft A first nut screwed into the A second nut screwed to the output-side feed screw shaft; a fixing bracket that fixes one of the first nut and the second nut on the base; the first nut and the second nut; And a moving bracket that fixes the other end of the nut to the moving table.
また、一の実施形態に係る直動テーブル装置は、前記入力側送りねじ軸及び前記出力側送りねじ軸の一方のねじ溝が右ねじで形成され、前記入力側送りねじ軸及び前記出力側送りねじ軸の他方のねじ溝が左ねじで形成されていることが好ましい。 Further, in the linear motion table device according to one embodiment, one thread groove of the input side feed screw shaft and the output side feed screw shaft is formed by a right-hand thread, and the input side feed screw shaft and the output side feed screw shaft It is preferable that the other thread groove of the screw shaft is formed with a left-hand thread.
また、一の実施形態に係る直動テーブル装置は、前記入力側送りねじ軸及び前記出力側送りねじ軸が、同一方向のねじ溝が形成されているととともに、前記入力側送りねじ軸及び前記出力側送りねじ軸のねじ溝のリードを異なる値に設定することが好ましい。 Further, in the linear motion table device according to one embodiment, the input side feed screw shaft and the output side feed screw shaft are formed with thread grooves in the same direction, and the input side feed screw shaft and the output side feed screw shaft It is preferable to set the lead of the thread groove of the output side feed screw shaft to a different value.
また、一の実施形態に係る直動テーブル装置は、前記回転伝達機構が、前記入力側送りねじ軸の他端部に固定された入力側プーリと、この入力側プーリに対して異なる直径で前記出力側送りねじ軸の他端部に固定された出力側プーリと、前記入力側プーリと前記出力側プーリとの間に掛け渡された無端ベルトとで構成されていることが好ましい。 Further, in the linear motion table device according to one embodiment, the rotation transmission mechanism has an input side pulley fixed to the other end portion of the input side feed screw shaft, and a diameter different from that of the input side pulley. It is preferable that the output side pulley is fixed to the other end of the output side feed screw shaft, and an endless belt is provided between the input side pulley and the output side pulley.
本発明に係る直動テーブル装置によれば、2本の入力側送りねじ軸及び出力側送りねじ軸が、基台に沿って互いに平行に配置した短尺部材であり、従来装置のような長尺な送りねじ軸が存在しないので、装置の小型化を図ることができる。また、従来装置のような複数の駆動モータを制御するコントローラが不要となり、装置コストの低減化を図ることができるとともに、高度の制御を不要とすることができる。 According to the linear motion table device according to the present invention, the two input-side feed screw shafts and the output-side feed screw shaft are short members arranged in parallel with each other along the base, and are long like the conventional device. Since there is no simple feed screw shaft, the apparatus can be reduced in size. In addition, a controller for controlling a plurality of drive motors as in the conventional apparatus is not required, so that the apparatus cost can be reduced and high-level control can be eliminated.
以下、本発明を実施するための形態(以下、実施形態という。)を、図面を参照しながら詳細に説明する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, modes for carrying out the present invention (hereinafter referred to as embodiments) will be described in detail with reference to the drawings.
図1から図3は、本発明に係る第1実施形態として高速送りの直動テーブル装置を示すものであり、図1は平面図、図2は側面図、図3は図1のA−A線矢視図である。 FIG. 1 to FIG. 3 show a high-speed feed linear motion table device as a first embodiment according to the present invention. FIG. 1 is a plan view, FIG. 2 is a side view, and FIG. FIG.
本実施形態の直動テーブル装置は、基台1に沿って互いに平行に配置された2本の入力側ねじ軸2及び出力側ねじ軸3と、入力側ねじ軸2及び出力側ねじ軸3の両端側を回転自在に支持し、これらねじ軸2,3を基台1の長手方向に移動自在とするねじ軸支持部15,16と、入力側ねじ軸2の一端部に連結された1台の駆動モータ5と、入力側ねじ軸2及び出力側ねじ軸3の他端部に連結されている回転伝達機構6と、入力側ねじ軸2に螺合している駆動ナット7と、出力側ねじ軸3に螺合している従動ナット8と、駆動ナット7を基台1上に固定している固定ブラケット9と、従動ナット8を移動テーブル10に固定している移動ブラケット11と、を備えている。
The linear motion table device of the present embodiment includes two input
移動テーブル10は、基台1上に設けたリニアガイド12を介して基台1の長手方向(図1の左右方向)に移動自在に配置されている。
The moving table 10 is disposed so as to be movable in the longitudinal direction of the base 1 (the left-right direction in FIG. 1) via a
リニアガイド12は、基台1の長手方向に互いに平行に延在している一対のレール12aと、移動テーブル10の脚部10aに固定されて一対のレール12a上を摺動するスライダ12bとを備えている。
The
入力側ねじ軸2及び出力側ねじ軸3の一端側(図1の左側)を支持するねじ軸支持部15は、一対のレール12a上を摺動するスライダ15a,15bを介して配置された第1支持架台15cと、入力側ねじ軸2及び出力側ねじ軸3の一端側を回転自在に支持し、第1支持架台15cに固定された軸受15d,15eと、を備えており、入力側ねじ軸2の一端部に連結された駆動モータ5が、第1支持架台15c上に配置されている。 また、入力側ねじ軸2及び出力側ねじ軸3の他端側(図1の右側)を支持するねじ軸支持部16は、一対のレール12a上を摺動するスライダ16a,16bを介して配置された第2支持架台16cと、入力側ねじ軸2及び出力側ねじ軸3の他端側を回転自在に支持し、第2支持架台16cに固定された軸受16d,16eと、を備えている。
A screw
入力側ねじ軸2及び出力側ねじ軸3の他端部に配置した回転伝達機構6は、入力側ねじ軸2の他端部に同軸に固定された入力側プーリ6aと、入力側プーリ6aと比較して異なる直径に設定され、出力側ねじ軸3の他端部に同軸に固定された出力側プーリ6bと、入力側プーリ6aと出力側プーリ6bとの間に掛け渡されたタイミングベルトからなる無端ベルト6cとで構成されている。
The
そして、本実施形態は、入力側ねじ軸2のねじ溝が右ねじで形成され、出力側ねじ軸3のねじ溝が左ねじで形成されている。また、回転伝達機構6の出力側プーリ6bは、入力側プーリ6aに対して小さな直径に設定されている。
In this embodiment, the thread groove of the input
ここで、前述したリニアガイド12、ねじ軸支持部15,16を構成するスライダ12b、15a,15b,16a,16bは、レール12a上をボールやころ等の転動体を介して移動する構造としているが、レール12a上を摺動する構造としてもよい。
Here, the
なお、本発明の入力側送りねじ軸が入力側ねじ軸2に対応し、本発明の出力側送りねじ軸が出力側ねじ軸3に対応し、本発明の第1ナットが駆動ナット7に対応し、本発明の第2ナットが従動ナット8に対応している。
The input side feed screw shaft of the present invention corresponds to the input
次に、本実施形態の高速送りの直動テーブル装置の動作について説明する。 Next, the operation of the high-speed feed linear motion table device of this embodiment will be described.
本実施形態の直動テーブル装置によると、駆動モータ5から入力側ねじ軸2に右回り(図1の矢印B方向から見て時計回り)の回転力が伝達されると、入力側ねじ軸2に螺合する駆動ナット7が固定ブラケット9を介して基台1に固定されているので、ねじ軸支持部15,16とともに、入力側ねじ軸2が図1の右方向に移動する。同時に、入力側ねじ軸2の回転力が変速機構6を介して出力側ねじ軸3に伝達され、この出力側ねじ3に螺合する従動ナット8が移動ブラケット11を介して移動テーブル10に固定されているので、移動テーブル10も右方向に移動する。
According to the linear motion table device of the present embodiment, when a clockwise rotational force is transmitted from the
このとき、本実施形態の回転伝達機構6は、出力側プーリ6bが入力側プーリ6aに対して小さな直径に設定されているので、出力側ね
じ軸3の回転速度は入力側ねじ軸2の回転速度より増速され、出力側ねじ軸3の回転が、移動テーブルに対して右方向の高速送りとして伝達される。そして、入力側ねじ軸2の右ねじのリードと出力側ねじ軸3の左ねじのリードとが同一の値に設定されている場合には、移動テーブル10は、右方向への2倍速の高速送りとなる。
At this time, in the
一方、駆動モータ5から入力側ねじ軸2に左回り(図1の矢印B方向から見て反時計回り)の回転力が伝達されると、ねじ軸支持部15,16とともに、入力側ねじ軸2が図1の左方向に移動する。同時に、移動テーブル10も左方向の高速送りとなり、入力側ねじ軸2の右ねじのリードと出力側ねじ軸3の左ねじのリードとが同一の値に設定した場合には、移動テーブル10は左方向への2倍速の高速送りとなる。
On the other hand, when a counterclockwise rotational force is transmitted from the
次に、本実施形態の直動テーブル装置の作用効果について説明する。 Next, the effect of the linear motion table device of this embodiment will be described.
本実施形態の直動テーブル装置は、2本の入力側ねじ軸2及び出力側ねじ軸3が、基台1に沿って互いに平行に配置した短尺部材であり、従来装置のような長尺部材(一端側及び他端側の2箇所にねじ溝を形成した送りねじ軸)が存在しないので、装置の小型化を図ることができる。
The linear motion table device of the present embodiment is a short member in which two input-
また、本実施形態の装置は1台の駆動モータ5を使用し、従来装置のような複数の駆動モータを制御するコントローラが不要となり、装置コストの低減化を図ることができる。
Further, the apparatus of this embodiment uses a
また、複数の駆動モータを制御する必要もないので、高度の制御を不要とすることができる。 In addition, since it is not necessary to control a plurality of drive motors, a high degree of control can be eliminated.
さらに、入力側ねじ軸2のねじ溝を右ねじで形成し、出力側ねじ軸3のねじ溝を左ねじで形成することで、移動テーブル10の高速送りを実現することができる。
Furthermore, by forming the thread groove of the input
さらにまた、回転伝達機構6の出力側プーリ6bを入力側プーリ6aに対して小さな直径に設定することで、さらに増速した移動テーブルの高速送りを行うことができる。
Furthermore, by setting the
なお、本実施形態では、入力側ねじ軸2に螺合している駆動ナット7を固定ブラケット9を介して基台1に固定し、出力側ねじ軸3に螺合している従動ナット8を移動ブラケット11を介して移動テーブル10に固定した構成としたが、本発明の要旨がこれに限定されるものではなく、駆動ナット7を移動テーブル10に固定し、従動ナット8を基台1に固定した構成としても、同様の効果を得ることができる。
In the present embodiment, the
次に、図4は、本発明に係る第2実施形態として微小送りの直動テーブル装置を示す平面図である。この図において、図1から図3で示した構成と同一構成部分には、同一符号を付して説明は省略する。 Next, FIG. 4 is a plan view showing a linear feed table device for minute feed as a second embodiment according to the present invention. In this figure, the same components as those shown in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
本実施形態の直動テーブル装置は、入力側ねじ軸20及び出力側ねじ軸21のねじ溝が、同一方向の右ねじで形成されているとともに、入力側ねじ軸20の右ねじのリードを10mmとし、出力側ねじ軸21の右ねじのリードを9.9mmに設定している。
In the linear motion table device of the present embodiment, the thread grooves of the input
また、本実施形態の回転伝達機構23は、入力側ねじ軸20の他端部に同軸に固定された入力側プーリ23aと、入力側プーリ23aと同一直径に設定され、出力側ねじ軸21の他端部に同軸に固定された出力側プーリ23bと、入力側プーリ23aと出力側プーリ23bとの間に掛け渡された無端ベルト23cとで構成されている。
Further, the
なお、本発明の入力側送りねじ軸が入力側ねじ軸20に対応し、本発明の出力側送りねじ軸が出力側ねじ軸21に対応している。
The input side feed screw shaft of the present invention corresponds to the input
次に、本実施形態の微小送りの直動テーブル装置の動作について説明する。 Next, the operation of the micro feed linear motion table device of this embodiment will be described.
本実施形態の直動テーブル装置によると、駆動モータ5から入力側ねじ軸20に右回り(図4の矢印B方向から見て時計回り)の回転力が伝達されると、ねじ軸支持部15,16とともに、入力側ねじ軸20が図4の右方向に移動する。同時に、入力側ねじ軸20の回転力が回転伝達機構23を介して右ねじの出力側ねじ軸21に伝達され、この出力側ねじ21に螺合する従動ナット8が移動ブラケット11を介して移動テーブル10に固定されているので、移動テーブル10は左方向に移動する。ここで、入力側ねじ軸20及びねじ軸支持部15,16が図4の右方向に10mm移動すると、移動テーブル10は図4の左方向に9.9mm移動し、移動テーブル10は基台1に対して図4の右方向に0.1mm移動することになり、移動テーブル10が右方向への微小送りとなる。
According to the linear motion table device of this embodiment, when a clockwise rotation force is transmitted from the
一方、駆動モータ5から入力側ねじ軸20に左回り(図4の矢印B方向から見て反時計回り)の回転力が伝達されると、ねじ軸支持部15,16とともに、入力側ねじ軸20が図1の左方向に移動する。同時に、入力側ねじ軸20の回転力が回転伝達機構23を介して右ねじの出力側ねじ軸21に伝達され、この出力側ねじ21に螺合する従動ナット8が移動ブラケット11を介して移動テーブル10に固定されているので、移動テーブル10は右方向に移動する。
On the other hand, when a counterclockwise rotational force is transmitted from the
そして、ねじ軸支持部15,16が図4の左方向に10mm移動すると、移動テーブル10は図4の右方向に9.9mm移動し、移動テーブル10は基台1に対して図4の左方向に0.1mm移動することになり、移動テーブル10が左方向への微小送りとなる。
When the screw
次に、本実施形態の直動テーブル装置の作用効果について説明する。 Next, the effect of the linear motion table device of this embodiment will be described.
本実施形態の直動テーブル装置も、2本の入力側ねじ軸20及び出力側ねじ軸21が、基台1に沿って互いに平行に配置した短尺部材であり、装置の小型化を図ることができる。
The linear motion table device of this embodiment is also a short member in which the two input-
また、第1実施形態と同様に、1台の駆動モータ5を使用するので、装置コストの低減化を図ることができるとともに、複数の駆動モータを制御する必要もないので、高度の制御を不要とすることができる。
In addition, as with the first embodiment, since one
さらに、入力側ねじ軸20及び出力側ねじ軸21のねじ溝を同一方向のねじで形成し、入力側ねじ軸20及び出力側ねじ軸21のねじ溝のリードを異なる値に設定することで、移動テーブル10の微小送りを行うことができる。
Furthermore, by forming the screw grooves of the input
ここで、回転伝達機構23の出力側プーリ23bの直径を入力側プーリ23aと比較して大きく設定し、入力側プーリ23aから出力側プーリ23bに伝達される回転速度を減速させる回転伝達機構23とすることで、さらに小さな送りの移動テーブル装置10とすることができる。
Here, the diameter of the
なお、本実施形態では、入力側ねじ軸20及び出力側ねじ軸21のねじ溝を同一方向の右ねじで形成したが、入力側ねじ軸20及び出力側ねじ軸21のねじ溝を同一方向の左ねじで形成しても、同様の効果を得ることができる。
In this embodiment, the screw grooves of the input
また、上述した無端ベルト6c,23cとして、タイミングベルト、平ベルト、Vベルトなどの各種ベルトを用いることが可能であり、好ましくは、タイミングベルトが良い。
Further, as the
タイミングベルトを用いると、高トルクが伝達でき、且つ、プーリに掛け渡されるタイミングベルトのズレを防止することができるからである。 This is because when the timing belt is used, high torque can be transmitted and the timing belt that is stretched around the pulley can be prevented from being displaced.
図5に、本発明の別の実施形態を模式的に示す。本実施形態では、入力側ねじ軸2と出力側ねじ軸3を上下方向に並べて、平行に配置している。これにより、基台1の幅方向の寸法を小さくでき、装置の小型化がはかれる。
FIG. 5 schematically shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, the input
この場合、入力側ねじ軸2の中間には、サポート部材201を配置することが好ましい。
In this case, it is preferable to arrange the
1…基台、2…入力側ねじ軸、3…出力側ねじ軸、5…駆動モータ、6…回転伝達機構、6a…入力側プーリ、6b…出力側プーリ、6c…無端ベルト、7…駆動ナット、8…従動ナット、9…固定ブラケット、10…移動テーブル、10a…脚部、11…移動ブラケット、12…リニアガイド、12a…レール、12b…スライダ、15,16…ねじ軸支持部、15a,15b…スライダ、15c…支持架台、15d,15e…軸受、16a,16b…スライダ、16c…支持架台、16d,16e…軸受、20…入力側ねじ軸、21…出力側ねじ軸、23…回転伝達機構、23a…入力側プーリ、23b…出力側プーリ、23c…無端ベルト
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Cited By (2)
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JP2016083755A (en) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | 日本精工株式会社 | Direct-acting table device |
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JP2016083755A (en) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | 日本精工株式会社 | Direct-acting table device |
JP2016083753A (en) * | 2014-10-29 | 2016-05-19 | 日本精工株式会社 | Direct-acting table device |
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