JP2016083753A - Direct-acting table device - Google Patents

Direct-acting table device Download PDF

Info

Publication number
JP2016083753A
JP2016083753A JP2014220238A JP2014220238A JP2016083753A JP 2016083753 A JP2016083753 A JP 2016083753A JP 2014220238 A JP2014220238 A JP 2014220238A JP 2014220238 A JP2014220238 A JP 2014220238A JP 2016083753 A JP2016083753 A JP 2016083753A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
screw shaft
drive screw
weight
main table
main
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014220238A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6428160B2 (en
Inventor
雄志 大谷
Yuji Otani
雄志 大谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NSK Ltd filed Critical NSK Ltd
Priority to JP2014220238A priority Critical patent/JP6428160B2/en
Publication of JP2016083753A publication Critical patent/JP2016083753A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6428160B2 publication Critical patent/JP6428160B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a direct-acting table device in which a device length in an axial direction of a drive screw shaft can be shortened.SOLUTION: A direct-acting table device 1 is equipped with: a drive screw shaft 11 for a main table of which both ends are so rotatably pivoted on a pair of main table side first bearing 13 and main table side second bearing 14 that an axial direction thereof becomes a horizontal direction; and a drive screw shaft 31 for a weight table of which both ends are so rotatably pivoted on a pair of weight table side first bearing 33 and weight table side second bearing 34 that an axial direction thereof becomes a horizontal direction. The drive screw shaft 11 for the main table and the drive screw shaft 31 for the weight table are arranged in parallel on upper and lower sides in a vertical direction orthogonal to a horizontal direction as the axial direction.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられる直動テーブル装置、特に、工作物等の被搭載物を移動、位置決め可能な直動テーブル装置に関する。   The present invention relates to a linear motion table device used in various manufacturing devices such as machine tools, semiconductor manufacturing devices, and flat panel display manufacturing devices, and more particularly to a linear motion table device capable of moving and positioning a workpiece such as a workpiece.

従来のこの種の直動テーブル装置として、例えば、特許文献１に示すものが知られている。
特許文献１に示す直動テーブル装置は、被搭載物を搭載する、略鉛直方向に移動可能なメインテーブルと、メインテーブルに対して鉛直方向下方に配置され、略鉛直方向に移動可能なウエイトとを備え、メインテーブル及びウエイトは、同軸の駆動ねじ軸によって駆動されるようになっている。そして、メインテーブルは、駆動ねじ軸の鉛直方向の上部で右ねじナットと結合され、ウエイトは、駆動ねじ軸の鉛直方向の下部で左ねじナットに結合されている。そして、右ねじナット及び左ねじナットは、モータから伝達される駆動ねじ軸の回転によりそれぞれ上下逆方向に移動し、これにより、メインテーブル及びウエイトは上下逆方向に移動するようになっている。
そして、メインテーブル側にかかるトルクとウエイト側にかかるトルクとを同等としてバランスさせることにより、両トルクを相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。 As this type of conventional linear motion table device, for example, the one shown in Patent Document 1 is known.
The linear motion table device shown in Patent Document 1 includes a main table that mounts an object to be mounted and is movable in a substantially vertical direction, and a weight that is disposed vertically below the main table and is movable in a substantially vertical direction. The main table and the weight are driven by a coaxial drive screw shaft. The main table is coupled to the right screw nut at the upper portion in the vertical direction of the drive screw shaft, and the weight is coupled to the left screw nut at the lower portion in the vertical direction of the drive screw shaft. The right screw nut and the left screw nut are moved in the upside down direction by the rotation of the drive screw shaft transmitted from the motor, whereby the main table and the weight are moved in the upside down direction.
The torque applied to the main table side and the torque applied to the weight side are balanced to equalize both torques, thereby suppressing the vibration of the apparatus.

しかしながら、特許文献１に記載された直動テーブル装置にあっては、１本の駆動ねじ軸上に右ねじ溝及び左ねじ溝の２種類のねじ溝を加工する必要があり、駆動ねじ軸が軸方向に長尺化し、ひいては駆動ねじ軸の軸方向において装置長が長くなってしまう、という課題があった。   However, in the linear motion table device described in Patent Document 1, it is necessary to process two types of screw grooves, a right screw groove and a left screw groove, on one drive screw shaft. There has been a problem that the length of the apparatus becomes longer in the axial direction, and the apparatus length becomes longer in the axial direction of the drive screw shaft.

特開２０１２−２３２３５４号公報JP 2012-232354 A

本発明は、前述の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、駆動ねじ軸の軸方向における装置長を短くできる直動テーブル装置を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a linear motion table device capable of shortening the device length in the axial direction of a drive screw shaft.

上記目的を達成するために、本発明のある態様は、水平方向に延びるように設置されるベースと、該ベースに取り付けられた一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受と、前記ベースに取り付けられた一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受と、軸方向が水平方向となるように前記一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支されたメインテーブル用駆動ねじ軸及び軸方向が水平方向となるように前記一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸と、前記メインテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記メインテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより前記メインテーブル用駆動ねじ軸に沿って水平方向に移動するメインテーブル用ナット及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸が前記メインテーブル用駆動ねじ軸と逆方向に回転することにより、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブル及び前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、前記メインテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するメインテーブル駆動モータ及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するウエイトテーブル駆動モータとを備え、前記メインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸は、前記軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されていることを要旨とする。   In order to achieve the above object, an aspect of the present invention includes a base installed to extend in the horizontal direction, a pair of main table side first bearing and main table side second bearing attached to the base, A pair of weight table side first bearings and weight table side second bearings attached to the base, and the pair of main table side first bearings and main table side second bearings so that the axial direction is horizontal. The main table drive screw shaft rotatably supported at both ends and the pair of weight table side first bearings and the weight table side second bearing so that both ends thereof are rotatably supported so that the axial direction is horizontal. The weight table drive screw shaft, and the main table drive screw shaft, which is externally mounted on the main table drive screw shaft via a rolling element. A main table nut and a weight table driving screw shaft that move in a horizontal direction along the main table driving screw shaft by rotating, and are mounted on the weight table driving screw shaft via rolling elements, and the weight table driving screw shaft is By rotating in a direction opposite to the main table drive screw shaft, the weight table nut moves in the direction opposite to the main table nut along the weight table drive screw shaft, and fixed to the main table nut. The main table on which the mounted object can be mounted, the weight table fixed to the weight table nut, the main table driving motor for rotating the driving screw shaft for the main table, and the driving screw shaft for the weight table. A weight table drive motor that Down table drive screw shaft and the weight table drive screw shaft, and summarized in that are arranged in parallel in the vertical direction of the vertical perpendicular to the horizontal direction to be the axial direction.

また、本発明の別の態様は、鉛直方向に延びるように設置されるベースと、該ベースに取り付けられた一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受と、前記ベースに取り付けられた一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受と、軸方向が鉛直方向となるように前記一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支されたメインテーブル用駆動ねじ軸及び軸方向が鉛直方向となるように前記一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸と、前記メインテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記メインテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより前記メインテーブル用駆動ねじ軸に沿って鉛直方向に移動するメインテーブル用ナット及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸が前記メインテーブル用駆動ねじ軸と逆方向に回転することにより、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブル及び前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、前記メインテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するメインテーブル駆動モータ及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するウエイトテーブル駆動モータとを備え、前記メインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸は、前記軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向の左右において並列配置されていることを要旨とする。   According to another aspect of the present invention, a base installed to extend in the vertical direction, a pair of main table side first bearing and main table side second bearing attached to the base, and the base are attached. The pair of weight table side first bearings and weight table side second bearings and both ends of the pair of main table side first bearings and main table side second bearings are rotatable so that the axial direction is a vertical direction. The main table drive screw shaft and the weight table whose both ends are rotatably supported by the pair of weight table side first bearing and weight table side second bearing so that the axial direction is vertical. The drive screw shaft and the main table drive screw shaft are sheathed via rolling elements, and the main table drive screw shaft rotates. The main table nut that moves in the vertical direction along the main table drive screw shaft and the weight table drive screw shaft are covered with a rolling element, and the weight table drive screw shaft is driven by the main table drive A weight table nut that moves in a direction opposite to the main table nut along the weight table drive screw shaft by rotating in a direction opposite to the screw shaft, and a mounted object fixed to the main table nut. A weight table fixed to the weight table nut, a weight table drive motor that rotates the weight table drive screw shaft, and a weight table drive that rotates the weight table drive screw shaft. A motor for driving the main table. Axis and the weight table drive screw shaft, and summarized in that are arranged in parallel in the horizontal direction of the right and left perpendicular to the vertical direction serving as the axial direction.

本発明に係る直動テーブル装置によれば、メインテーブルを駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸と、ウエイトテーブルを駆動するための前記メインテーブル用駆動ねじ軸とは別個のウエイトテーブル用駆動ねじ軸とを用い、それらメインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸が、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下あるいは水平方向の左右において並列配置されているので、駆動ねじ軸の軸方向における装置長を短くできる直動テーブル装置を提供できる。   According to the linear motion table device of the present invention, the main table drive screw shaft for driving the main table and the main table drive screw shaft for driving the weight table are separate from the main table drive screw shaft. The drive screw shaft for the main table and the drive screw shaft for the weight table are arranged in parallel vertically in the vertical direction perpendicular to the horizontal direction as the axial direction, or in the horizontal direction on the left and right. It is possible to provide a linear motion table device that can shorten the device length in the axial direction.

本発明の第１実施形態に係る直動テーブル装置の平面図である。It is a top view of the linear motion table apparatus concerning 1st Embodiment of this invention. 図１に示す直動テーブル装置の正面図である。It is a front view of the linear motion table apparatus shown in FIG. 本発明の第２実施形態に係る直動テーブル装置の正面図である。It is a front view of the linear motion table apparatus concerning 2nd Embodiment of this invention. 図３に示す直動テーブル装置の右側面図である。It is a right view of the linear motion table apparatus shown in FIG. 本発明の第３実施形態に係る直動テーブル装置の平面図である。It is a top view of the linear motion table apparatus concerning 3rd Embodiment of this invention. 図５に示す直動テーブル装置の正面図である。It is a front view of the linear motion table apparatus shown in FIG. 図５に示す直動テーブル装置に設けられた工具による被搭載物への加工の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of a process to the to-be-mounted object by the tool provided in the linear motion table apparatus shown in FIG.

以下、本発明の第１乃至第３実施形態の直動テーブル装置について説明する。
（第１実施形態）
第１実施形態の直動テーブル装置は、図１及び図２に示されており、この直動テーブル装置は、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、工作物などの被搭載物を水平方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。 The linear motion table device according to the first to third embodiments of the present invention will be described below.
(First embodiment)
The linear motion table device of the first embodiment is shown in FIGS. 1 and 2, and this linear motion table device is used in various manufacturing apparatuses such as machine tools, semiconductor manufacturing apparatuses, and flat panel display manufacturing apparatuses. In particular, it is a device that moves an object to be mounted such as a workpiece in the horizontal direction and performs accurate positioning.

図１及び図２に示す直動テーブル装置１において、長方形の板状に形成されたベース２が水平方向（図１における上下及び左右方向）に延びるように設置されている。
このベース２の上面には、水平方向の左右（図１における左右）において所定間隔離れた位置に一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４が取り付けられている。メインテーブル側第１軸受１３は、ベース２の水平方向左端部近傍に取り付けられ、メインテーブル側第２軸受１４は、ベース２の水平方向中央部よりやや右側の位置に取り付けられている。
そして、外周に右ねじ溝を形成したメインテーブル用駆動ねじ軸１１の両端が、軸方向が水平方向となるように一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４に回転可能に軸支されている。 In the linear motion table device 1 shown in FIGS. 1 and 2, a base 2 formed in a rectangular plate shape is installed so as to extend in the horizontal direction (vertical and horizontal directions in FIG. 1).
A pair of main table side first bearings 13 and main table side second bearings 14 are attached to the upper surface of the base 2 at positions spaced apart by a predetermined distance in the horizontal direction (left and right in FIG. 1). The main table side first bearing 13 is attached in the vicinity of the horizontal left end portion of the base 2, and the main table side second bearing 14 is attached at a position slightly to the right of the horizontal center portion of the base 2.
Then, both ends of the main table drive screw shaft 11 having a right screw groove formed on the outer periphery can rotate to the pair of main table side first bearing 13 and main table side second bearing 14 so that the axial direction is horizontal. Is pivotally supported.

また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１には、メインテーブル用ナット１２が外装されている。メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成された右ねじ溝とメインテーブル用ナット１２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が回転することによりメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向に移動するようになっている。   A main table nut 12 is externally mounted on the main table drive screw shaft 11. Between the right screw groove formed on the outer periphery of the main table drive screw shaft 11 and the screw groove formed on the inner periphery of the main table nut 12, a plurality of rolling elements (balls or rollers) (not shown) are provided. The main table nut 12 moves in the horizontal direction along the main table drive screw shaft 11 as the main table drive screw shaft 11 rotates.

また、メインテーブル用ナット１２には、メインテーブル１０が固定されている。メインテーブル１０は、メインテーブル用ナット１２に固定される本体部１２ａと、本体部１２ａの上端に設けられた平板状の搭載板部１０ｂとを備えている。搭載板部１０ｂは上面側から見て長方形状に形成され、上面に工作物等の被搭載物６０（図７参照）が搭載可能となっている。メインテーブル１０の本体部１０ａは、長手方向（図１における上下方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、メインテーブル１０の本体部１０ａの長手方向の一端下面は、図１及び図２に示すように、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、本体部１０ａの長手方向の他端下面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。第１直動案内装置１７ａは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の一端（図１における下端）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ａと、レール１５ａ上をレール１５ａに沿って移動するスライダ１６ａとを備えている。また、第２直動案内装置１７ｂは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の他端（図１における上端）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ｂと、レール１５ｂ上をレール１５ｂに沿って移動するスライダ１６ｂとを備えている。   The main table 10 is fixed to the main table nut 12. The main table 10 includes a main body portion 12a fixed to the main table nut 12 and a flat mounting plate portion 10b provided at the upper end of the main body portion 12a. The mounting plate portion 10b is formed in a rectangular shape when viewed from the upper surface side, and a mounted object 60 (see FIG. 7) such as a workpiece can be mounted on the upper surface. The main body 10a of the main table 10 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape that extends long in the longitudinal direction (vertical direction in FIG. 1). Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the bottom surface of the main table 10a in the longitudinal direction of the main table 10 is attached on the slider 16a of the first linear motion guide device 17a. The end lower surface is mounted on the slider 16b of the second linear motion guide device 17b. The first linear motion guide device 17a is attached to one end (lower end in FIG. 1) of the base 2 in the horizontal width direction (vertical direction in FIG. 1) and extends in the axial direction of the main table drive screw shaft 11. And a slider 16a that moves on the rail 15a along the rail 15a. The second linear motion guide device 17b is attached to the other end (upper end in FIG. 1) of the base 2 in the horizontal width direction (vertical direction in FIG. 1) and extends in the axial direction of the main table drive screw shaft 11. A rail 15b that extends and a slider 16b that moves on the rail 15b along the rail 15b are provided.

また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１は、メインテーブル駆動モータ１８によって回転駆動される。メインテーブル駆動モータ１８は、ベース２の上面に設けられたメインテーブル駆動モータ用支持部材１９に取り付けられている。そして、メインテーブル駆動モータ１８の出力軸がカップリング２０を介してメインテーブル用駆動ねじ軸１１のメインテーブル側第２軸受１４側の端部に連結されている。なお、メインテーブル駆動モータ１８の軸の近傍には、図示しない支持部材に取り付けられたエンコーダ２１が設けられ、このエンコーダ２１により、メインテーブル駆動モータ１８の回転数を検出するようにしている。   The main table drive screw shaft 11 is rotationally driven by a main table drive motor 18. The main table drive motor 18 is attached to a main table drive motor support member 19 provided on the upper surface of the base 2. The output shaft of the main table drive motor 18 is coupled to the end of the main table drive screw shaft 11 on the main table side second bearing 14 side via the coupling 20. An encoder 21 attached to a support member (not shown) is provided in the vicinity of the shaft of the main table drive motor 18 so as to detect the rotation speed of the main table drive motor 18.

更に、ベース２の上面には、水平方向の左右（図１における左右）において所定間隔離れた位置に一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４が取り付けられている。ウエイトテーブル側第１軸受３３は、ベース２の水平方向において、メインテーブル側第１軸受１３とメインテーブル側第２軸受１４との略中間の位置に取り付けられ、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、ベース２の水平方向において、メインテーブル側第２軸受１４と同じ位置に取り付けられている。メインテーブル側第２軸受１４とウエイトテーブル側第２軸受３４は、それぞれの図示しない外輪に固定されたハウジングが共通化して一体となっている。ウエイトテーブル側第１軸受３３は、メインテーブル側第１軸受１３に対して鉛直方向の下側に位置し、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、メインテーブル側第２軸受１４に対して鉛直方向下側に位置している。   Furthermore, a pair of weight table side first bearings 33 and weight table side second bearings 34 are attached to the upper surface of the base 2 at positions spaced apart by a predetermined distance on the left and right in the horizontal direction (left and right in FIG. 1). The weight table side first bearing 33 is attached at a substantially intermediate position between the main table side first bearing 13 and the main table side second bearing 14 in the horizontal direction of the base 2, and the weight table side second bearing 34 is In the horizontal direction of the base 2, it is mounted at the same position as the main table side second bearing 14. The main table side second bearing 14 and the weight table side second bearing 34 are integrated with a common housing fixed to an outer ring (not shown). The weight table side first bearing 33 is positioned below the main table side first bearing 13 in the vertical direction, and the weight table side second bearing 34 is vertically below the main table side second bearing 14. Located on the side.

そして、外周に右ねじ溝を形成したウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の両端が、軸方向が水平方向となるように一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４に回転可能に軸支されている。
ここで、ウエイトテーブル側第１軸受３３は、メインテーブル側第１軸受１３に対して鉛直方向の下側に位置し、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、メインテーブル側第２軸受１４に対して鉛直方向下側に位置しているから、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に対して鉛直方向の下側に位置している。このため、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されていることになる。 Then, both ends of the weight table drive screw shaft 31 having a right thread groove formed on the outer periphery can rotate to the pair of weight table side first bearings 33 and weight table side second bearings 34 so that the axial direction is horizontal. Is pivotally supported.
Here, the weight table side first bearing 33 is positioned vertically below the main table side first bearing 13, and the weight table side second bearing 34 is relative to the main table side second bearing 14. Since the weight table drive screw shaft 31 is located on the lower side in the vertical direction, the weight table drive screw shaft 31 is located on the lower side in the vertical direction with respect to the main table drive screw shaft 11. For this reason, the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are arranged in parallel in the vertical direction perpendicular to the horizontal direction as the axial direction.

そして、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１には、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている。ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成された右ねじ溝とウエイトテーブル用ナット３２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１がメインテーブル用駆動ねじ軸１１と逆方向に回転することによりウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動するようになっている。   A weight table nut 32 is externally mounted on the weight table drive screw shaft 31. Between the right thread groove formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 31 and the thread groove formed on the inner periphery of the weight table nut 32, a plurality of rolling elements (balls or rollers) (not shown) are provided. The weight table nut 32 is rotated in the direction opposite to the main table nut 12 along the weight table drive screw shaft 31 when the weight table drive screw shaft 31 rotates in the direction opposite to the main table drive screw shaft 11. To move to.

また、ウエイトテーブル用ナット３２には、ウエイトテーブル３０が固定されている。ウエイトテーブル３０は、長手方向（図１における上下方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、図１及び図２に示すように、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。第３直動案内装置３７ａは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の一端（図１における下端）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ａと、レール３５ａ上をレール３５ａに沿って移動するスライダ３６ａとを備えている。また、第４直動案内装置３７ｂは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の他端（図１における上端）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ｂと、レール３５ｂ上をレール３５ｂに沿って移動するスライダ３６ｂとを備えている。   The weight table 30 is fixed to the weight table nut 32. The weight table 30 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape extending long in the longitudinal direction (vertical direction in FIG. 1). Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the lower end of the weight table 30 in the longitudinal direction is attached on the slider 36a of the third linear motion guide device 37a, and the lower end of the other end of the weight table 30 in the longitudinal direction is It is mounted on the slider 36b of the fourth linear motion guide device 37b. The third linear motion guide device 37a is attached to one end (lower end in FIG. 1) of the base 2 in the horizontal width direction (vertical direction in FIG. 1) and extends in the axial direction of the weight table drive screw shaft 31. And a slider 36a that moves on the rail 35a along the rail 35a. The fourth linear motion guide device 37b is attached to the other end (upper end in FIG. 1) of the base 2 in the horizontal width direction (vertical direction in FIG. 1), and extends in the axial direction of the weight table drive screw shaft 31. A rail 35b that extends and a slider 36b that moves on the rail 35b along the rail 35b are provided.

また、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、ウエイトテーブル駆動モータ３８によって回転駆動される。ウエイトテーブル駆動モータ３８は、ベース２の上面に設けられ、メインテーブル駆動モータ用支持部材１９と一体のウエイトテーブル駆動モータ支持部材３９に取り付けられている。そして、ウエイトテーブル駆動モータ３８の出力軸がカップリング４０を介してウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のウエイトテーブル側第２軸受３４側の端部に連結されている。なお、ウエイトテーブル駆動モータ３８の軸の近傍には、図示しない支持部材に取り付けられたエンコーダ４１が設けられ、このエンコーダ４１により、ウエイトテーブル駆動モータ３８の回転数を検出するようにしている。   The weight table drive screw shaft 31 is rotationally driven by a weight table drive motor 38. The weight table drive motor 38 is provided on the upper surface of the base 2 and is attached to a weight table drive motor support member 39 integral with the main table drive motor support member 19. The output shaft of the weight table drive motor 38 is connected to the end of the weight table drive screw shaft 31 on the weight table side second bearing 34 side via the coupling 40. An encoder 41 attached to a support member (not shown) is provided in the vicinity of the shaft of the weight table drive motor 38, and the encoder 41 detects the number of rotations of the weight table drive motor 38.

次に、直動テーブル装置１の動作について説明する。
メインテーブル駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する。メインテーブル用ナット１２がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット１２に固定されたメインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する。 Next, the operation of the linear motion table device 1 will be described.
When the output shaft of the main table drive motor 18 rotates in one direction, the main table drive screw shaft 11 rotates in one direction, whereby the main table nut 12 is horizontal along the main table drive screw shaft 11. Move in one direction. The main table nut 12 moves in one horizontal direction along the main table drive screw shaft 11 so that the main table 10 fixed to the main table nut 12 moves along the main table drive screw shaft 11. Move in one horizontal direction.

一方、ウエイトテーブル駆動モータ３８の出力軸が前記一方向と逆方向に回転すると、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が前記一方向と逆方向に回転し、これにより、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の前記一方向と逆方向に移動する。ウエイトテーブル用ナット３２がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の前記一方向と逆方向に移動することで、そのウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って水平方向の前記一方向と逆方向に移動する。   On the other hand, when the output shaft of the weight table drive motor 38 rotates in the direction opposite to the one direction, the weight table drive screw shaft 31 rotates in the direction opposite to the one direction. It moves in the direction opposite to the one direction in the horizontal direction along the table drive screw shaft 31. When the weight table nut 32 moves along the weight table drive screw shaft 31 in the direction opposite to the one direction in the horizontal direction, the weight table 30 fixed to the weight table nut 32 becomes the weight table drive screw. It moves along the axis 31 in the direction opposite to the one direction in the horizontal direction.

本実施形態に係る直動テーブル装置１においては、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。
ここで、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１は次の（１）式で表すことができる。
Ｆ１＝Ｍ１×α１ ・・・（１）
ここで、Ｍ１はメインテーブル１０側の被搭載物の質量を含む総質量、α１はメインテーブル１０側の加速度である。 In the linear motion table device 1 according to the present embodiment, the weight table 30 is moved in the opposite direction to the main table 10, and further the inertia force F1 on the main table 10 side acting on the base 2 and the weight table acting on the base 2. By balancing the inertial force F2 on the 30 side as equal, both inertial forces are canceled out and vibrations of the apparatus are suppressed.
Here, the inertial force F1 on the main table 10 acting on the base 2 can be expressed by the following equation (1).
F1 = M1 × α1 (1)
Here, M1 is the total mass including the mass of the mounted object on the main table 10 side, and α1 is the acceleration on the main table 10 side.

また、ベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２は次の（２）式で表すことができる。
Ｆ２＝Ｍ２×α２ ・・・（２）
ここで、Ｍ２はウエイトテーブル３０側の総質量、α２はウエイトテーブル３０側の加速度である。
そして、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等としてバランスさせるために、次の（３）式が成立しなければならない。
Ｆ１＝Ｍ１×α１≒Ｍ２×α２＝Ｆ２ ・・・（３） Further, the inertia force F2 on the weight table 30 side acting on the base 2 can be expressed by the following equation (2).
F2 = M2 × α2 (2)
Here, M2 is the total mass on the weight table 30 side, and α2 is the acceleration on the weight table 30 side.
And in order to balance both inertial force F1 and F2 as equal, following (3) Formula must be materialized.
F1 = M1 × α1≈M2 × α2 = F2 (3)

従って、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が変化した場合には、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２及び/又はウエイトテーブル３０側の加速度α２を調整することにより、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等とすることができる。メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が変化した場合において、ウエイトテーブル３０側の総重量Ｍ２を変えない場合には、ウエイトテーブル３０側の加速度α２のみを調整することで、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等とすることができる。   Therefore, when the total mass M1 on the main table 10 side changes, the inertial forces F1 and F2 are made equal by adjusting the total mass M2 on the weight table 30 side and / or the acceleration α2 on the weight table 30 side. can do. When the total mass M1 on the main table 10 side changes, and the total weight M2 on the weight table 30 side does not change, only the acceleration α2 on the weight table 30 side is adjusted so that both inertia forces F1 and F2 are Can be equivalent.

そして、第１実施形態の直動テーブル装置１においては、メインテーブル１０を駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸１１と、ウエイトテーブル３０を駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸１１とは別個のウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１とを用いているので、右ねじと左ねじとを一つの駆動ねじ軸に形成する必要はない。そして、それらメインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が、軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されているので、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向における装置長を短くすることができる。   In the linear motion table device 1 of the first embodiment, the main table drive screw shaft 11 for driving the main table 10 and the main table drive screw shaft 11 for driving the weight table 30 are separately provided. Therefore, it is not necessary to form the right screw and the left screw as one drive screw shaft. Since the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are arranged in parallel in the vertical direction perpendicular to the horizontal direction which is the axial direction, the main table drive screw shaft 11 and the weight The apparatus length in the axial direction of the table drive screw shaft 31 can be shortened.

また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１とウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１とは別個独立であるため、それぞれを入手しやすい右ねじのみで構成することができる。
また、メインテーブル１０の長手方向の一端下面は、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、メインテーブル１０の長手方向の他端下面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。このため、メインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。 In addition, since the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are independent of each other, they can be configured with only right-hand screws that are easily available.
Further, the lower surface of one end of the main table 10 in the longitudinal direction is attached on the slider 16a of the first linear motion guide device 17a, and the lower surface of the other end of the main table 10 in the longitudinal direction is the slider 16b of the second linear motion guide device 17b. Mounted on top. For this reason, when the main table 10 moves in one horizontal direction along the main table drive screw shaft 11, the movement can be performed smoothly and stably.

また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。このため、ウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。
なお、第１実施形態においては、直動テーブル装置１の諸元として、メインテーブル駆動モータ１８の回転数は、４５０〜３０００（ｒｐｍ）、メインテーブル１０の送り速度は、３６〜６０（ｍ/ｍｉｎ）、メインテーブル用駆動ねじ軸１１のリードは２０〜４０（ｍｍ）である。 The lower end of the weight table 30 in the longitudinal direction is mounted on the slider 36a of the third linear motion guide device 37a, and the lower end of the other end of the weight table 30 in the longitudinal direction is the slider 36b of the fourth linear motion guide device 37b. Mounted on top. For this reason, when the weight table 30 moves in the direction opposite to the main table 10 along the weight table drive screw shaft 31, the movement can be performed smoothly and stably.
In the first embodiment, as the specifications of the linear motion table device 1, the rotational speed of the main table drive motor 18 is 450 to 3000 (rpm), and the feed speed of the main table 10 is 36 to 60 (m / min), the lead of the drive screw shaft 11 for the main table is 20 to 40 (mm).

そして、直動テーブル装置１を工作機械に用いた場合において、工作物である被搭載物６０を切削、研磨すると、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が軽量になるので、メインテーブル１０の送り速度が高速となり、メインテーブル１０の加速度α１が増加する。そうなると、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とのバランスが不均衡となり、メインテーブル駆動モータ１８の回転数に変化が生じるとともに、直動テーブル装置１全体に振動が発生する。
このため、この場合、メインテーブル１０の上部あるはメインテーブル用ナット１２に図示しない錘を付加して、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１を増加させ、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とをバランスさせ、メインテーブル駆動モータ１８の回転数をもとに戻す。 And when the linear motion table apparatus 1 is used for a machine tool, when the mounted object 60, which is a workpiece, is cut and polished, the total mass M1 on the main table 10 side becomes lighter. Increases, and the acceleration α1 of the main table 10 increases. As a result, the balance between the inertial force F1 on the main table 10 side and the inertial force F2 on the weight table 30 side becomes unbalanced, the rotational speed of the main table drive motor 18 changes, and vibrations occur throughout the linear motion table device 1. Occur.
Therefore, in this case, a weight (not shown) is added to the upper part of the main table 10 or the main table nut 12 to increase the total mass M1 on the main table 10 side, and the inertia force F1 and weight table on the main table 10 side are increased. The inertial force F2 on the 30 side is balanced and the rotational speed of the main table drive motor 18 is restored.

また、直動テーブル装置１を工作機械に用いた場合において、メインテーブル１０に搭載した工作物である被搭載物６０を加工した後に、加工した被搭載物６０に合わせて他の工作物を組み合わせて加工をする場合がある。
この場合、メインテーブル１０に搭載した被搭載物の質量が重くなり、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が重くなるため、メインテーブル１０の送り速度が遅くなり、メインテーブル１０側の加速度α１が減少し、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とのバランスが不均衡となりウエイトテーブル駆動モータ３８の回転数に変化が生じるとともに直動テーブル装置１全体に振動が発生する。
このため、この場合、ウエイトテーブル３０またはウエイトテーブル用ナット３２に錘を付加して、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２を増加させ、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とをバランスさせ、ウエイトテーブル駆動モータ３８の回転数をもとに戻す。 Further, when the linear motion table device 1 is used for a machine tool, after the workpiece 60 that is a workpiece mounted on the main table 10 is processed, another workpiece is combined with the processed workpiece 60. May be processed.
In this case, the mass of the object mounted on the main table 10 becomes heavy, and the total mass M1 on the main table 10 side becomes heavy, so that the feed speed of the main table 10 becomes slow and the acceleration α1 on the main table 10 side decreases. As a result, the balance between the inertial force F1 on the main table 10 side and the inertial force F2 on the weight table 30 side becomes unbalanced, causing a change in the rotational speed of the weight table drive motor 38 and generating vibrations throughout the linear motion table device 1. .
Therefore, in this case, a weight is added to the weight table 30 or the weight table nut 32 to increase the total mass M2 on the weight table 30 side, and the inertia force F1 on the main table 10 side and the inertia force on the weight table 30 side are increased. F2 is balanced and the number of rotations of the weight table drive motor 38 is restored.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態の直動テーブル装置について、図３及び図４を参照して説明する。図３及び図４において、図１及び図２に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
第２実施形態の直動テーブル装置は、図３及び図４に示されており、この直動テーブル装置は、図１及び図２に示す直動テーブル装置１と同様に、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、図１及び図２に示す直動テーブル装置１と異なり、工作物などの被搭載物を垂直方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。 (Second Embodiment)
Next, a linear motion table device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4, the same members as those shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof may be omitted.
The linear motion table device of the second embodiment is shown in FIG. 3 and FIG. 4, and this linear motion table device is similar to the linear motion table device 1 shown in FIG. 1 and FIG. Used in various manufacturing equipment such as equipment and flat panel display manufacturing equipment, and in particular, unlike the linear motion table device 1 shown in FIGS. 1 and 2, an object to be mounted such as a workpiece is moved in the vertical direction for accurate positioning. It is a device that performs.

図３及び図４に示す直動テーブル装置１において、長方形の板状に形成された台座３が水平方向（図３における左右方向及び図４における左右方向）に延びるように設置されている。そして、この台座３の上面に、長方形の板状に形成されたベース２が水平方向に直交する鉛直方向（図３における上下方向及び図４における上下方向）に延びるように設置されている。
このベース２の右側面（図３における右面）には、鉛直方向上下において所定間隔離れた位置に一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４が取り付けられている。メインテーブル側第１軸受１３は、ベース２の鉛直方向下端部近傍に取り付けられ、メインテーブル側第２軸受１４は、ベース２の鉛直方向中央部よりやや上側の位置に取り付けられている。 In the linear motion table device 1 shown in FIGS. 3 and 4, a pedestal 3 formed in the shape of a rectangular plate is installed so as to extend in the horizontal direction (the horizontal direction in FIG. 3 and the horizontal direction in FIG. 4). A base 2 formed in a rectangular plate shape is installed on the upper surface of the base 3 so as to extend in a vertical direction (vertical direction in FIG. 3 and vertical direction in FIG. 4) perpendicular to the horizontal direction.
A pair of main table side first bearings 13 and main table side second bearings 14 are attached to the right side surface of the base 2 (the right surface in FIG. 3) at positions spaced apart in the vertical direction. The main table side first bearing 13 is attached in the vicinity of the lower end in the vertical direction of the base 2, and the main table side second bearing 14 is attached at a position slightly above the center in the vertical direction of the base 2.

そして、外周に右ねじ溝を形成したメインテーブル用駆動ねじ軸１１の両端が、軸方向が鉛直方向となるように一対のメインテーブル側第１軸受１３及びメインテーブル側第２軸受１４に回転可能に軸支されている。
また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１には、メインテーブル用ナット１２が外装されている。メインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成された右ねじ溝とメインテーブル用ナット１２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が回転することによりメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向に移動するようになっている。 Then, both ends of the main table drive screw shaft 11 having a right screw groove formed on the outer periphery can rotate to the pair of main table side first bearing 13 and main table side second bearing 14 so that the axial direction is a vertical direction. Is pivotally supported.
A main table nut 12 is externally mounted on the main table drive screw shaft 11. Between the right screw groove formed on the outer periphery of the main table drive screw shaft 11 and the screw groove formed on the inner periphery of the main table nut 12, a plurality of rolling elements (balls or rollers) (not shown) are provided. The main table nut 12 moves in the vertical direction along the main table drive screw shaft 11 as the main table drive screw shaft 11 rotates.

また、メインテーブル用ナット１２には、メインテーブル１０が固定されている。メインテーブル１０は、メインテーブル用ナット１２に固定される本体部１０ａと、本体部１０ａの右側面に設けられた平板状の搭載板部１０ｂとを備えている。搭載板部１０ｂは右側面側から見て長方形状に形成され、右側面に工作物等の被搭載物６０（図７参照）が搭載可能となっている。本体部１０ａは、長手方向（図４における左右方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、本体部１０ａの長手方向の一端側面は、図３及び図４に示すように、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、本体部１０ａの長手方向の他端側面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。第１直動案内装置１７ａは、ベース２の幅方向（図４における左右方向）の一端（図４における左端）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ａと、レール１５ａ上をレール１５ａに沿って移動するスライダ１６ａとを備えている。また、第２直動案内装置１７ｂは、ベース２の幅方向の他端（図４における右端）に取り付けられ、メインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ｂと、レール１５ｂ上をレール１５ｂに沿って移動するスライダ１６ｂとを備えている。   The main table 10 is fixed to the main table nut 12. The main table 10 includes a main body portion 10a fixed to the main table nut 12 and a flat mounting plate portion 10b provided on the right side surface of the main body portion 10a. The mounting plate portion 10b is formed in a rectangular shape when viewed from the right side surface, and a mounted object 60 (see FIG. 7) such as a workpiece can be mounted on the right side surface. The main body 10a is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape that extends long in the longitudinal direction (left and right direction in FIG. 4). Also, as shown in FIGS. 3 and 4, one end side surface of the main body 10a in the longitudinal direction is attached on the slider 16a of the first linear motion guide device 17a, and the other end side surface of the main body 10a in the longitudinal direction is It is mounted on the slider 16b of the second linear motion guide device 17b. The first linear motion guide device 17a is attached to one end (left end in FIG. 4) in the width direction (left and right direction in FIG. 4) of the base 2, and extends in the axial direction of the main table drive screw shaft 11; 15a, and a slider 16a that moves along the rail 15a. The second linear motion guide device 17b is attached to the other end in the width direction of the base 2 (the right end in FIG. 4) and extends in the axial direction of the main table drive screw shaft 11, and the rail 15b is mounted on the rail 15b. And a slider 16b that moves along 15b.

また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１は、メインテーブル駆動モータ１８によって回転駆動される。メインテーブル駆動モータ１８は、ベース２の右側面に設けられたメインテーブル駆動モータ用支持部材１９に取り付けられている。そして、メインテーブル駆動モータ１８の出力軸がカップリング２０を介してメインテーブル用駆動ねじ軸１１のメインテーブル側第２軸受１４側の端部に連結されている。なお、メインテーブル駆動モータ１８の軸の近傍には、図示しない支持部材に取り付けられたエンコーダ２１が設けられ、このエンコーダ２１により、メインテーブル駆動モータ１８の回転数を検出するようにしている。   The main table drive screw shaft 11 is rotationally driven by a main table drive motor 18. The main table drive motor 18 is attached to a main table drive motor support member 19 provided on the right side surface of the base 2. The output shaft of the main table drive motor 18 is coupled to the end of the main table drive screw shaft 11 on the main table side second bearing 14 side via the coupling 20. An encoder 21 attached to a support member (not shown) is provided in the vicinity of the shaft of the main table drive motor 18 so as to detect the rotation speed of the main table drive motor 18.

更に、ベース２の左側面には、鉛直方向上下（図３における上下）において所定間隔離れた位置に一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４が取り付けられている。ウエイトテーブル側第１軸受３３は、ベース２の鉛直方向において、メインテーブル側第１軸受１３とメインテーブル側第２軸受１４との略中間の位置に取り付けられ、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、ベース２の鉛直方向において、メインテーブル側第２軸受１４と同じ位置に取り付けられている。   Further, a pair of weight table side first bearings 33 and weight table side second bearings 34 are attached to the left side surface of the base 2 at positions spaced apart by a predetermined distance in the vertical direction (up and down in FIG. 3). The weight table side first bearing 33 is attached at a substantially intermediate position between the main table side first bearing 13 and the main table side second bearing 14 in the vertical direction of the base 2, and the weight table side second bearing 34 is In the vertical direction of the base 2, the base 2 is attached at the same position as the second bearing 14.

そして、外周に右ねじ溝を形成したウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の両端が、軸方向が鉛直方向となるように一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４に回転可能に軸支されている。
ここで、ウエイトテーブル側第１軸受３３は、ベース２の鉛直方向において、メインテーブル側第１軸受１３とメインテーブル側第２軸受１４との略中間の位置に取り付けられ、ウエイトテーブル側第２軸受３４は、ベース２の鉛直方向において、メインテーブル側第２軸受１４と同じ位置に取り付けられているから、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向の左右において並列配置されていることになる。 Then, both ends of the weight table drive screw shaft 31 having a right thread groove formed on the outer periphery can rotate to the pair of weight table side first bearings 33 and weight table side second bearings 34 so that the axial direction is a vertical direction. Is pivotally supported.
Here, the weight table side first bearing 33 is attached to a position approximately in the middle between the main table side first bearing 13 and the main table side second bearing 14 in the vertical direction of the base 2, and the weight table side second bearing 33. Since 34 is attached at the same position as the main table side second bearing 14 in the vertical direction of the base 2, the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are in the vertical direction which is the axial direction. Are arranged in parallel on the left and right of the horizontal direction orthogonal to the.

そして、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１には、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている。ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の外周に形成された右ねじ溝とウエイトテーブル用ナット３２の内周に形成されたねじ溝との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１がメインテーブル用駆動ねじ軸１１と逆方向に回転することによりウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動するようになっている。   A weight table nut 32 is externally mounted on the weight table drive screw shaft 31. Between the right thread groove formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 31 and the thread groove formed on the inner periphery of the weight table nut 32, a plurality of rolling elements (balls or rollers) (not shown) are provided. The weight table nut 32 is rotated in the direction opposite to the main table nut 12 along the weight table drive screw shaft 31 when the weight table drive screw shaft 31 rotates in the direction opposite to the main table drive screw shaft 11. To move to.

また、ウエイトテーブル用ナット３２には、ウエイトテーブル３０が固定されている。ウエイトテーブル３０は、長手方向（図４における左右方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端側面は、図３及び図４に示すように、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端側面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。第３直動案内装置３７ａは、ベース２の幅方向（図４における左右方向）の一端（図４における左端）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ａと、レール３５ａ上をレール３５ａに沿って移動するスライダ３６ａとを備えている。また、第４直動案内装置３７ｂは、ベース２の幅方向（図４における左右方向）の他端（図４における右端）に取り付けられ、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向に延びるレール３５ｂと、レール３５ｂ上をレール３５ｂに沿って移動するスライダ３６ｂとを備えている。   The weight table 30 is fixed to the weight table nut 32. The weight table 30 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape that extends long in the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 4). Further, as shown in FIGS. 3 and 4, one end side surface in the longitudinal direction of the weight table 30 is attached on the slider 36a of the third linear motion guide device 37a, and the other end side surface in the longitudinal direction of the weight table 30 is It is mounted on the slider 36b of the fourth linear motion guide device 37b. The third linear motion guide device 37a is attached to one end (left end in FIG. 4) of the base 2 in the width direction (left and right direction in FIG. 4) and extends in the axial direction of the weight table drive screw shaft 31; And a slider 36a that moves on the rail 35a along the rail 35a. The fourth linear motion guide device 37b is attached to the other end (right end in FIG. 4) of the base 2 in the width direction (left and right direction in FIG. 4) and extends in the axial direction of the weight table drive screw shaft 31. And a slider 36b that moves on the rail 35b along the rail 35b.

また、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１は、ウエイトテーブル駆動モータ３８によって回転駆動される。ウエイトテーブル駆動モータ３８は、ベース２の左側面に設けられたウエイトテーブル駆動モータ支持部材３９に取り付けられている。そして、ウエイトテーブル駆動モータ３８の出力軸がカップリング４０を介してウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のウエイトテーブル側第２軸受３４側の端部に連結されている。なお、ウエイトテーブル駆動モータ３８の軸の近傍には、図示しない支持部材に取り付けられたエンコーダ４１が設けられ、このエンコーダ４１により、ウエイトテーブル駆動モータ３８の回転数を検出するようにしている。   The weight table drive screw shaft 31 is rotationally driven by a weight table drive motor 38. The weight table drive motor 38 is attached to a weight table drive motor support member 39 provided on the left side surface of the base 2. The output shaft of the weight table drive motor 38 is connected to the end of the weight table drive screw shaft 31 on the weight table side second bearing 34 side via the coupling 40. An encoder 41 attached to a support member (not shown) is provided in the vicinity of the shaft of the weight table drive motor 38, and the encoder 41 detects the number of rotations of the weight table drive motor 38.

次に、直動テーブル装置１の動作について説明する。
メインテーブル駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット１２は、メインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向の一方向に移動する。メインテーブル用ナット１２がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向の一方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット１２に固定されたメインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向の一方向に移動する。 Next, the operation of the linear motion table device 1 will be described.
When the output shaft of the main table drive motor 18 rotates in one direction, the main table drive screw shaft 11 rotates in one direction, so that the main table nut 12 moves vertically along the main table drive screw shaft 11. Move in one direction. The main table nut 12 moves in one vertical direction along the main table drive screw shaft 11, so that the main table 10 fixed to the main table nut 12 extends along the main table drive screw shaft 11. Move in one vertical direction.

一方、ウエイトテーブル駆動モータ３８の出力軸が前記一方向と逆方向に回転すると、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が前記一方向と逆方向に回転し、これにより、ウエイトテーブル用ナット３２は、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って鉛直方向の前記一方向と逆方向に移動する。ウエイトテーブル用ナット３２がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って鉛直方向の前記一方向と逆方向に移動することで、そのウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿って鉛直方向の前記一方向と逆方向に移動する。   On the other hand, when the output shaft of the weight table drive motor 38 rotates in the direction opposite to the one direction, the weight table drive screw shaft 31 rotates in the direction opposite to the one direction. It moves along the table drive screw shaft 31 in the direction opposite to the one direction in the vertical direction. When the weight table nut 32 moves in the direction opposite to the one direction in the vertical direction along the weight table drive screw shaft 31, the weight table 30 fixed to the weight table nut 32 becomes the weight table drive screw. It moves along the axis 31 in the direction opposite to the one direction in the vertical direction.

第２実施形態に係る直動テーブル装置１においても、第１実施形態に係る直動テーブル装置１と同様に、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。   Also in the linear motion table device 1 according to the second embodiment, the weight table 30 is moved in the opposite direction to the main table 10 and acts on the base 2 in the same manner as the linear motion table device 1 according to the first embodiment. By balancing the inertial force F1 on the main table 10 side and the inertial force F2 on the weight table 30 acting on the base 2 equally, both inertial forces are canceled out and vibrations of the apparatus are suppressed.

ここで、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１及びウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２を表す式は、それぞれ前述した（１）式及び（２）式と同様である。
そして、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等としてバランスさせるために、前述と同様に、次の（３）式が成立しなければならない。
Ｆ１＝Ｍ１×α１≒Ｍ２×α２＝Ｆ２ ・・・（３） Here, the expressions representing the inertial force F1 on the main table 10 side and the inertial force F2 on the weight table 30 side acting on the base 2 are the same as the expressions (1) and (2), respectively.
And in order to balance both inertial force F1 and F2 as equal, following (3) Formula must be materialized like the above.
F1 = M1 × α1≈M2 × α2 = F2 (3)

従って、メインテーブル１０側の総重量Ｍ１が変化した場合には、ウエイトテーブル３０側の総重量Ｍ２及び/又はウエイトテーブル３０側の加速度α２を調整することにより、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等とすることができる。メインテーブル１０側の総重量Ｍ１が変化した場合において、ウエイトテーブル３０側の総重量Ｍ２を変えない場合には、ウエイトテーブル３０側の加速度α２のみを調整することで、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等とすることができる。   Accordingly, when the total weight M1 on the main table 10 side changes, the inertial forces F1 and F2 are made equal by adjusting the total weight M2 on the weight table 30 side and / or the acceleration α2 on the weight table 30 side. can do. When the total weight M1 on the main table 10 side is changed and the total weight M2 on the weight table 30 side is not changed, only the acceleration α2 on the weight table 30 side is adjusted to obtain both inertial forces F1 and F2. Can be equivalent.

そして、第２実施形態の直動テーブル装置１においても、メインテーブル１０を駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸１１と、ウエイトテーブル３０を駆動するためのメインテーブル用駆動ねじ軸１１とは別個のウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１とを用いているので、右ねじと左ねじとを一つの駆動ねじ軸に形成する必要はない。そして、それらメインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１が、軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向の左右において並列配置されているので、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１の軸方向における装置長を短くすることができる。   Also in the linear motion table device 1 of the second embodiment, the main table drive screw shaft 11 for driving the main table 10 and the main table drive screw shaft 11 for driving the weight table 30 are separately provided. Therefore, it is not necessary to form the right screw and the left screw as one drive screw shaft. Since the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are arranged in parallel in the horizontal direction perpendicular to the vertical direction as the axial direction, the main table drive screw shaft 11 and the weight are arranged. The apparatus length in the axial direction of the table drive screw shaft 31 can be shortened.

また、メインテーブル用駆動ねじ軸１１とウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１とは別個独立であるため、それぞれを入手しやすい右ねじのみで構成することができる。
また、メインテーブル１０の長手方向の一端側面は、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、メインテーブル１０の長手方向の他端側面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。このため、メインテーブル１０がメインテーブル用駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向の一方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。 In addition, since the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 are independent of each other, they can be configured with only right-hand screws that are easily available.
One end side surface of the main table 10 in the longitudinal direction is attached on the slider 16a of the first linear motion guide device 17a, and the other side surface of the main table 10 in the longitudinal direction is the slider 16b of the second linear motion guide device 17b. Mounted on top. For this reason, when the main table 10 moves along the main table drive screw shaft 11 in one direction in the vertical direction, the movement can be performed smoothly and stably.

また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端側面は、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端側面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。このため、ウエイトテーブル３０がウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する際に、その移動を円滑かつ安定して行うことができる。
なお、第２実施形態においても、第１実施形態の直動テーブル装置１と同様に、直動テーブル装置１の諸元として、メインテーブル駆動モータ１８の回転数は、４５０〜３０００（ｒｐｍ）、メインテーブル１０の送り速度は、３６〜６０（ｍ/ｍｉｎ）、メインテーブル用駆動ねじ軸１１のリードは２０〜４０（ｍｍ）である。 One end side surface of the weight table 30 in the longitudinal direction is attached on the slider 36a of the third linear motion guide device 37a, and the other side surface of the weight table 30 in the longitudinal direction is the slider 36b of the fourth linear motion guide device 37b. Mounted on top. For this reason, when the weight table 30 moves in the direction opposite to the main table 10 along the weight table drive screw shaft 31, the movement can be performed smoothly and stably.
In the second embodiment, as in the linear motion table device 1 of the first embodiment, as the specifications of the linear motion table device 1, the rotational speed of the main table drive motor 18 is 450 to 3000 (rpm), The feed speed of the main table 10 is 36 to 60 (m / min), and the lead of the main table drive screw shaft 11 is 20 to 40 (mm).

そして、直動テーブル装置１を工作機械に用いた場合において、工作物である被搭載物６０を切削、研磨すると、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が軽量になるので、メインテーブル１０の送り速度が高速となり、メインテーブル１０の加速度α１が増加する。そうなると、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とのバランスが不均衡となり、メインテーブル駆動モータ１８の回転数に変化が生じるとともに、直動テーブル装置１全体に振動が発生する。
このため、この場合、メインテーブル１０の上部あるはメインテーブル用ナット１２に図示しない錘を付加して、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１を増加させ、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とをバランスさせ、メインテーブル駆動モータ１８の回転数をもとに戻す。 And when the linear motion table apparatus 1 is used for a machine tool, when the mounted object 60, which is a workpiece, is cut and polished, the total mass M1 on the main table 10 side becomes lighter. Increases, and the acceleration α1 of the main table 10 increases. As a result, the balance between the inertial force F1 on the main table 10 side and the inertial force F2 on the weight table 30 side becomes unbalanced, the rotational speed of the main table drive motor 18 changes, and vibrations occur throughout the linear motion table device 1. Occur.
Therefore, in this case, a weight (not shown) is added to the upper part of the main table 10 or the main table nut 12 to increase the total mass M1 on the main table 10 side, and the inertia force F1 and weight table on the main table 10 side are increased. The inertial force F2 on the 30 side is balanced and the rotational speed of the main table drive motor 18 is restored.

また、直動テーブル装置１を工作機械に用いた場合において、メインテーブル１０に搭載した工作物である被搭載物６０を加工した後に、加工した被搭載物６０に合わせて他の工作物を組み合わせて加工をする場合がある。
この場合、メインテーブル１０に搭載した被搭載物の質量が重くなり、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が重くなるため、メインテーブル１０の送り速度が遅くなり、メインテーブル１０側の加速度α１が減少し、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とのバランスが不均衡となりウエイトテーブル駆動モータ３８の回転数に変化が生じるとともに直動テーブル装置１全体に振動が発生する。
このため、この場合、ウエイトテーブル３０またはウエイトテーブル用ナット３２に錘を付加して、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２を増加させ、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とをバランスさせ、ウエイトテーブル駆動モータ３８の回転数をもとに戻す。 Further, when the linear motion table device 1 is used for a machine tool, after the workpiece 60 that is a workpiece mounted on the main table 10 is processed, another workpiece is combined with the processed workpiece 60. May be processed.
In this case, the mass of the object mounted on the main table 10 becomes heavy, and the total mass M1 on the main table 10 side becomes heavy, so that the feed speed of the main table 10 becomes slow and the acceleration α1 on the main table 10 side decreases. As a result, the balance between the inertial force F1 on the main table 10 side and the inertial force F2 on the weight table 30 side becomes unbalanced, causing a change in the rotational speed of the weight table drive motor 38 and generating vibrations throughout the linear motion table device 1. .
Therefore, in this case, a weight is added to the weight table 30 or the weight table nut 32 to increase the total mass M2 on the weight table 30 side, and the inertia force F1 on the main table 10 side and the inertia force on the weight table 30 side are increased. F2 is balanced and the number of rotations of the weight table drive motor 38 is restored.

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態の直動テーブル装置について、図５乃至図７を参照して説明する。図５乃至図７において、図１乃至図４に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
第３実施形態の直動テーブル装置は、図５乃至図７に示されており、この直動テーブル装置は、第１実施形態の直動テーブル装置１と同様に、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、工作物などの被搭載物を水平方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。
そして、第３実施形態の直動テーブル装置１は、第１実施形態の直動テーブル装置１と基本構成は同様であるが、ウエイトテーブル３０の構成が異なっている。 (Third embodiment)
Next, a linear motion table device according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 7, the same members as those shown in FIGS. 1 to 4 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof may be omitted.
The linear motion table device according to the third embodiment is shown in FIG. 5 to FIG. 7, and this linear motion table device is similar to the linear motion table device 1 according to the first embodiment. It is used in various manufacturing apparatuses such as flat panel display manufacturing apparatuses, and in particular, is an apparatus that moves an object to be mounted such as a workpiece in the horizontal direction and performs accurate positioning.
The linear motion table device 1 according to the third embodiment has the same basic configuration as the linear motion table device 1 according to the first embodiment, but is different in the configuration of the weight table 30.

即ち、ウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０は、ウエイトテーブル用ナット３２に固定される本体部３０ａと、本体部３０ａの上端面に設けられた平板状の搭載板部３０ｂとを備えている。搭載板部３０ｂは上面側から見て長方形状に形成され、上面に工作物等の被搭載物６０（図７参照）が搭載可能となっている。搭載板部３０ｂの上面の位置は、メインテーブル１０の搭載板部１０ｂの上面の位置と、上下方向においてほぼ同一の位置に設定されている。そして、本体部３０ａは、長手方向（図３における上下方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、本体部３０ａには、メインテーブル用駆動ねじ軸１１が挿通可能な貫通孔４２がメインテーブル用駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるように形成されている。   That is, the weight table 30 fixed to the weight table nut 32 includes a main body portion 30a fixed to the weight table nut 32, and a flat mounting plate portion 30b provided on the upper end surface of the main body portion 30a. ing. The mounting plate portion 30b is formed in a rectangular shape when viewed from the upper surface side, and a mounted object 60 (see FIG. 7) such as a workpiece can be mounted on the upper surface. The position of the upper surface of the mounting plate portion 30b is set to be substantially the same as the position of the upper surface of the mounting plate portion 10b of the main table 10 in the vertical direction. And the main-body part 30a is formed in the substantially rectangular parallelepiped shape extended long in a longitudinal direction (up-down direction in FIG. 3). Further, a through hole 42 through which the main table drive screw shaft 11 can be inserted is formed in the main body 30 a so as to extend in the axial direction of the main table drive screw shaft 11.

第３実施形態の直動テーブル装置１によれば、メインテーブル１０のみならず、ウエイトテーブル３０にも工作物等の被搭載物６０が搭載可能なので、メインテーブル１０及びウエイトテーブル３０上に被搭載物６０を搭載し、両テーブル１０、３０上で同じ製品を製造することができる。
また、直動テーブル装置１においては、図７に示すように、水平方向に移動するメインテーブル１０上の被搭載物６０及びウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の双方を加工することが可能な工具５０が設置されている。工具５０は、工具５０の動作を制御する工具制御部５１に接続されている。工具制御部５１には、エンコーダ２１（図６参照）からメインテーブル１０の水平方向の位置及びエンコーダ４１（図６参照）からウエイトテーブル３０の水平方向の位置が入力されるとともに、図示しない上位コンピュータから加工するメインテーブル１０上及びウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の最終形状が入力される。工具制御部５１は、これらの情報を基に工具５０を移動させて、メインテーブル１０上の被搭載物６０及びウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の双方を加工可能である。工具制御部５１に、メインテーブル１０上の被搭載物６０の最終形状とウエイトテーブル３０上の被搭載物６０の最終形状とを同じにする情報を入力することにより、両テーブル１０、３０上で同じ形状の製品を製造することができる。 According to the linear motion table device 1 of the third embodiment, not only the main table 10 but also the weight table 30 can be loaded with a load 60 such as a workpiece, so that the load is mounted on the main table 10 and the weight table 30. The same product can be manufactured on both tables 10 and 30 by mounting the object 60.
Moreover, in the linear motion table apparatus 1, as shown in FIG. 7, it is possible to process both the mounted object 60 on the main table 10 that moves in the horizontal direction and the mounted object 60 on the weight table 30. A tool 50 is installed. The tool 50 is connected to a tool control unit 51 that controls the operation of the tool 50. The tool controller 51 receives the horizontal position of the main table 10 from the encoder 21 (see FIG. 6) and the horizontal position of the weight table 30 from the encoder 41 (see FIG. 6). The final shape of the mounted object 60 on the main table 10 and the weight table 30 to be processed is input. The tool control unit 51 can move both the mounted object 60 on the main table 10 and the mounted object 60 on the weight table 30 by moving the tool 50 based on these pieces of information. By inputting information that makes the final shape of the mounted object 60 on the main table 10 and the final shape of the mounted object 60 on the weight table 30 the same on the tool control unit 51, Products with the same shape can be produced.

（変形例）
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されず、種々の変更、改良を行うことができる。
例えば、第１実施形態及び第２実施形態の直動テーブル装置１において、メインテーブル用駆動ねじ軸１１及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１のそれぞれは外周に右ねじ溝を形成してあるが、それぞれ左ねじ溝を形成してもよいし、一方に右ねじ溝、他方に左ねじ溝を形成してもよい。一方に右ねじ溝、他方に左ねじ溝を形成した場合、メインテーブル駆動モータ１８の回転方向とウエイトテーブル駆動モータ３８の回転方向とを同一方向とする。 (Modification)
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to this, A various change and improvement can be performed.
For example, in the linear motion table device 1 of the first embodiment and the second embodiment, each of the main table drive screw shaft 11 and the weight table drive screw shaft 31 has a right screw groove formed on the outer periphery. A left screw groove may be formed, a right screw groove may be formed on one side, and a left screw groove may be formed on the other side. When a right screw groove is formed on one side and a left screw groove is formed on the other side, the rotation direction of the main table drive motor 18 and the rotation direction of the weight table drive motor 38 are the same direction.

また、第１実施形態及び第２実施形態の直動テーブル装置１において、メインテーブル１０は、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ及び第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０は、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ及び第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられているが、メインテーブル１０は、１つあるいは３つ以上の直動案内装置のスライダ上に取り付けられてもよいし、ウエイトテーブル３０も、１つあるいは３つ以上の直動案内装置のスライダ上に取り付けられてもよい。   In the linear motion table device 1 according to the first and second embodiments, the main table 10 is mounted on the slider 16a of the first linear motion guide device 17a and the slider 16b of the second linear motion guide device 17b. The weight table 30 is mounted on the slider 36a of the third linear motion guide device 37a and the slider 36b of the fourth linear motion guide device 37b, but the main table 10 has one or more linear motion guide devices. The weight table 30 may also be mounted on the sliders of one or more linear motion guide devices.

更に、第１実施形態及び第２実施形態の直動テーブル装置１においては、メインテーブル用駆動ねじ軸１１のリード、即ちメインテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成した右ねじ溝のリードと、ウエートテーブル用駆動ねじ軸３１のリード、即ち、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸１１の外周に形成した右ねじ溝のリードとは同等にしてある。ただし、これに限定されるものではなく、ウエートテーブル用駆動ねじ軸３１のリードをメインテーブル用駆動ねじ軸１１のリードよりも小さくしてもよい。これにより、ウエートテーブル用駆動ねじ軸３１の重量、ひいては装置の重量を軽量にすることができる。ただし、この場合、ウエートテーブル用駆動ねじ軸３１のリードを小さくすると、ウエイトテーブル３０側の加速度α２が小さくなるため、ウエイトテーブル３０側の総重量Ｍ２大きくして、ウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２を変えないようにする必要がある。メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とバランスをとるためである。   Furthermore, in the linear motion table device 1 of the first and second embodiments, the lead of the main table drive screw shaft 11, that is, the lead of the right screw groove formed on the outer periphery of the main table drive screw shaft 11, The lead of the weight table drive screw shaft 31, that is, the lead of the right screw groove formed on the outer periphery of the weight table drive screw shaft 11 is the same. However, the present invention is not limited to this, and the lead of the weight table drive screw shaft 31 may be smaller than the lead of the main table drive screw shaft 11. As a result, the weight of the weight table drive screw shaft 31 and the weight of the apparatus can be reduced. However, in this case, if the lead of the weight table drive screw shaft 31 is reduced, the acceleration α2 on the weight table 30 side is reduced, so that the total weight M2 on the weight table 30 side is increased and the inertia force F2 on the weight table 30 side is increased. It is necessary not to change. This is to balance the inertial force F1 on the main table 10 side.

また、第１実施形態の直動テーブル装置１においては、一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１、ウエイトテーブル用ナット３２、ウエイトテーブル３０、ウエイトテーブル駆動モータ３８、ウエイトテーブル駆動モータ支持部材３９、及びカップリング４０は、ベース２の上面側、即ち表面側に設けられているが、これらはベース２の裏面側に設けられてもよい。   In the linear motion table device 1 of the first embodiment, the pair of weight table side first bearings 33 and weight table side second bearings 34, the weight table drive screw shaft 31, the weight table nut 32, and the weight table 30. The weight table drive motor 38, the weight table drive motor support member 39, and the coupling 40 are provided on the upper surface side, that is, the front surface side of the base 2, but these may be provided on the rear surface side of the base 2. .

また、第２実施形態の直動テーブル装置１においては、一対のウエイトテーブル側第１軸受３３及びウエイトテーブル側第２軸受３４、ウエイトテーブル用駆動ねじ軸３１、ウエイトテーブル用ナット３２、ウエイトテーブル３０、ウエイトテーブル駆動モータ３８、ウエイトテーブル駆動モータ支持部材３９、及びカップリング４０は、ベース２の左側面側に設けられているが、これらはベース２の右側面側に設けられてもよい。
また、第３実施形態の直動テーブル装置１においては、第１実施形態の直動テーブル装置１と同様に、メインテーブル１０及びウエイトテーブル３０が水平方向に移動するようになっているが、第２実施形態の直動テーブル装置１同様に、インテーブル１０及びウエイトテーブル３０が鉛直方向に移動するようになっっていてもよい。 In the linear motion table device 1 of the second embodiment, the pair of weight table side first bearings 33 and weight table side second bearings 34, the weight table drive screw shaft 31, the weight table nut 32, and the weight table 30. The weight table drive motor 38, the weight table drive motor support member 39, and the coupling 40 are provided on the left side surface side of the base 2, but these may be provided on the right side surface side of the base 2.
Further, in the linear motion table device 1 of the third embodiment, the main table 10 and the weight table 30 move in the horizontal direction as in the linear motion table device 1 of the first embodiment. Similarly to the linear motion table device 1 of the second embodiment, the in-table 10 and the weight table 30 may be moved in the vertical direction.

１ 直動テーブル装置
２ ベース
１０ メインテーブル
１１ メインテーブル用駆動ねじ軸
１２ メインテーブル用ナット
１３ メインテーブル側第１軸受
１４ メインテーブル側第２軸受
１５ａ，１５ｂ レール
１６ａ，１６ｂ スライダ
１７ａ 第１直動案内装置
１７ｂ 第２直動案内装置
１８ メインテーブル駆動モータ
３０ ウエイトテーブル
３１ ウエイトテーブル用駆動ねじ軸
３２ ウエイトテーブル用ナット
３３ ウエイトテーブル側第１軸受
３４ ウエイトテーブル側第２軸受
３５ａ，３５ｂ レール
３６ａ，３６ｂ スライダ
３７ａ 第３直動案内装置
３７ｂ 第４直動案内装置
３８ ウエイトテーブル駆動モータ
６０ 被搭載物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Linear motion table apparatus 2 Base 10 Main table 11 Main table drive screw shaft 12 Main table nut 13 Main table side first bearing 14 Main table side second bearing 15a, 15b Rail 16a, 16b Slider 17a First linear motion guide Device 17b Second linear motion guide device 18 Main table drive motor 30 Weight table 31 Weight table drive screw shaft 32 Weight table nut 33 Weight table side first bearing 34 Weight table side second bearing 35a, 35b Rail 36a, 36b Slider 37a 3rd linear motion guide device 37b 4th linear motion guide device 38 Weight table drive motor 60 Mounted object

Claims (6)

水平方向に延びるように設置されるベースと、
該ベースに取り付けられた一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受と、
前記ベースに取り付けられた一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受と、
軸方向が水平方向となるように前記一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支されたメインテーブル用駆動ねじ軸及び軸方向が水平方向となるように前記一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸と、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記メインテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより前記メインテーブル用駆動ねじ軸に沿って移動するメインテーブル用ナット及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、
前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブル及び前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するメインテーブル駆動モータ及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するウエイトテーブル駆動モータとを備え、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸は、前記軸方向となる水平方向と直交する鉛直方向の上下において並列配置されていることを特徴とする直動テーブル装置。 A base installed to extend in the horizontal direction;
A pair of main table side first bearings and main table side second bearings attached to the base;
A pair of weight table side first bearings and weight table side second bearings attached to the base;
The drive screw shaft for main table and its axial direction are horizontally supported by the pair of main table side first bearing and main table side second bearing so that both ends thereof are rotatably supported so that the axial direction is horizontal. A weight table drive screw shaft rotatably supported at both ends thereof by the pair of weight table side first bearing and weight table side second bearing,
A main table nut and a weight table that are externally mounted to the main table drive screw shaft via a rolling element and move along the main table drive screw shaft as the main table drive screw shaft rotates. For a weight table that is mounted on a drive screw shaft via a rolling element and moves in a direction opposite to the main table nut along the weight table drive screw shaft by rotating the weight table drive screw shaft. Nuts,
A main table capable of mounting an object to be mounted fixed to the main table nut, and a weight table fixed to the weight table nut;
A main table drive motor that rotationally drives the main table drive screw shaft and a weight table drive motor that rotationally drives the weight table drive screw shaft;
The linear motion table device, wherein the main table drive screw shaft and the weight table drive screw shaft are arranged in parallel in the vertical direction perpendicular to the horizontal direction as the axial direction. 鉛直方向に延びるように設置されるベースと、
該ベースに取り付けられた一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受と、
前記ベースに取り付けられた一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受と、
軸方向が鉛直方向となるように前記一対のメインテーブル側第１軸受及びメインテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支されたメインテーブル用駆動ねじ軸及び軸方向が鉛直方向となるように前記一対のウエイトテーブル側第１軸受及びウエイトテーブル側第２軸受にその両端が回転可能に軸支されたウエイトテーブル用駆動ねじ軸と、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記メインテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより前記メインテーブル用駆動ねじ軸に沿って移動するメインテーブル用ナット及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に対し転動体を介して外装され、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸が回転することにより、前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、
前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブル及び前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するメインテーブル駆動モータ及び前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸を回転駆動するウエイトテーブル駆動モータとを備え、
前記メインテーブル用駆動ねじ軸及びウエイトテーブル用駆動ねじ軸は、前記軸方向となる鉛直方向と直交する水平方向の左右において並列配置されていることを特徴とする直動テーブル装置。 A base installed to extend vertically;
A pair of main table side first bearings and main table side second bearings attached to the base;
A pair of weight table side first bearings and weight table side second bearings attached to the base;
The drive screw shaft for main table and its axial direction are vertically supported by the pair of main table side first bearing and main table side second bearing so that the axial direction thereof is vertical. A weight table drive screw shaft rotatably supported at both ends thereof by the pair of weight table side first bearing and weight table side second bearing,
A main table nut and a weight table that are externally mounted to the main table drive screw shaft via a rolling element and move along the main table drive screw shaft as the main table drive screw shaft rotates. For a weight table that is mounted on a drive screw shaft via a rolling element and moves in a direction opposite to the main table nut along the weight table drive screw shaft by rotating the weight table drive screw shaft. Nuts,
A main table capable of mounting an object to be mounted fixed to the main table nut, and a weight table fixed to the weight table nut;
A main table drive motor that rotationally drives the main table drive screw shaft and a weight table drive motor that rotationally drives the weight table drive screw shaft;
The linear motion table device, wherein the main table drive screw shaft and the weight table drive screw shaft are arranged side by side in the horizontal direction perpendicular to the vertical direction as the axial direction. 前記メインテーブルは、前記ベースに取り付けられ、前記メインテーブル用駆動軸の軸方向に延びるレールと、該レール上を前記レールに沿って移動するスライダとを備えた直動案内装置の前記スライダに取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の直動テーブル装置。   The main table is attached to the slider of a linear motion guide device that is attached to the base and includes a rail that extends in the axial direction of the drive shaft for the main table and a slider that moves on the rail along the rail. The linear motion table device according to claim 1, wherein the linear motion table device is provided. 前記ウエイトテーブルは、前記ベースに取り付けられ、前記ウエイトテーブル用駆動軸の軸方向に延びるレールと、該レール上を前記レールに沿って移動するスライダとを備えた直動案内装置の前記スライダに取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項に記載の直動テーブル装置。   The weight table is attached to the base and includes a rail extending in the axial direction of the weight table drive shaft and a slider that moves on the rail along the rail. The weight table is attached to the slider. The linear motion table device according to any one of claims 1 to 3, wherein the linear motion table device is provided. 前記ウエイトテーブル用駆動ねじ軸のリードを前記メインテーブル用駆動ねじ軸のリードよりも小さくしたことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項に記載の直動テーブル装置。   The linear motion table device according to any one of claims 1 to 4, wherein a lead of the weight table drive screw shaft is made smaller than a lead of the main table drive screw shaft. 前記ウエイトテーブルは、被搭載物を搭載可能であることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか一項に記載の直動テーブル装置。   The linear table apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the weight table is capable of mounting an object to be mounted.
JP2014220238A 2014-10-29 2014-10-29 Linear motion table device Active JP6428160B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014220238A JP6428160B2 (en) 2014-10-29 2014-10-29 Linear motion table device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014220238A JP6428160B2 (en) 2014-10-29 2014-10-29 Linear motion table device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016083753A true JP2016083753A (en) 2016-05-19
JP6428160B2 JP6428160B2 (en) 2018-11-28

Family

ID=55971670

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014220238A Active JP6428160B2 (en) 2014-10-29 2014-10-29 Linear motion table device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6428160B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018048693A (en) * 2016-09-21 2018-03-29 オリエンタルモーター株式会社 Linear actuator and linear actuator device
CN107863864A (en) * 2017-11-20 2018-03-30 杭州集智机电股份有限公司 For full-automatic balancing machine can linearity correction mariages rod-type feed slide unit
JP7023670B2 (en) 2017-10-27 2022-02-22 住友重機械工業株式会社 Processing equipment, processing machines, processing equipment systems, design methods for processing equipment

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01193134A (en) * 1988-01-27 1989-08-03 Komatsu Ltd Counter balance moving device for slide table equipped construction
JP2004263825A (en) * 2003-03-04 2004-09-24 Nec Machinery Corp Reaction force attenuation drive unit
US20040187621A1 (en) * 2003-02-20 2004-09-30 Siemens Aktiengesellschaft Device for linearly moving a useful mass
JP2012232354A (en) * 2011-04-28 2012-11-29 Nsk Ltd Positioning table device
JP2014008885A (en) * 2012-06-29 2014-01-20 Honda Motor Co Ltd Suspension control device
JP2014087852A (en) * 2012-10-29 2014-05-15 Nsk Ltd Translational table device

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01193134A (en) * 1988-01-27 1989-08-03 Komatsu Ltd Counter balance moving device for slide table equipped construction
US20040187621A1 (en) * 2003-02-20 2004-09-30 Siemens Aktiengesellschaft Device for linearly moving a useful mass
JP2004263825A (en) * 2003-03-04 2004-09-24 Nec Machinery Corp Reaction force attenuation drive unit
JP2012232354A (en) * 2011-04-28 2012-11-29 Nsk Ltd Positioning table device
JP2014008885A (en) * 2012-06-29 2014-01-20 Honda Motor Co Ltd Suspension control device
JP2014087852A (en) * 2012-10-29 2014-05-15 Nsk Ltd Translational table device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018048693A (en) * 2016-09-21 2018-03-29 オリエンタルモーター株式会社 Linear actuator and linear actuator device
JP7023670B2 (en) 2017-10-27 2022-02-22 住友重機械工業株式会社 Processing equipment, processing machines, processing equipment systems, design methods for processing equipment
CN107863864A (en) * 2017-11-20 2018-03-30 杭州集智机电股份有限公司 For full-automatic balancing machine can linearity correction mariages rod-type feed slide unit
CN107863864B (en) * 2017-11-20 2023-09-22 杭州集智机电股份有限公司 Double-screw rod type feeding sliding table capable of being linearly corrected for full-automatic balancing machine

Also Published As

Publication number Publication date
JP6428160B2 (en) 2018-11-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5774360B2 (en) Machine tool table unit
JP6428160B2 (en) Linear motion table device
TW201521979A (en) SCARA Robot
JP2018130805A (en) Horizontal articulated robot and reverse installation method of the same
KR20130084816A (en) An workrest elevator in use with grinder
US10189156B2 (en) Industrial robot
JP6464665B2 (en) Linear motion table device
JP2011149514A (en) Feed drive device
JP6447009B2 (en) Linear motion table device
TW202118712A (en) Vibrating conveyor capable of suppressing an increase in cost and installation space by eliminating the need for providing a driving controller for controlling the rotation of a motor
JP2012232354A (en) Positioning table device
JP2016083752A (en) Direct-acting table device
JP5889767B2 (en) Tool holding device
JP6748134B2 (en) Grinder
JP6442332B2 (en) Sheet material grinding machine
JP4806236B2 (en) Stage drive device
JP2014084975A (en) Linear motion table device and ball screw support mechanism of linear motion table device
JP5550464B2 (en) Linear actuator
JP4449583B2 (en) Machining center and machining center column support method
JP2010133519A (en) Actuator of multi-stage structure
JP7023670B2 (en) Processing equipment, processing machines, processing equipment systems, design methods for processing equipment
JP6060600B2 (en) Linear motion table device
JP2010184270A (en) Rotating type plastic working apparatus
JP2007270956A (en) Vibration control device
TWI580526B (en) Shock absorption apparatus and grinding shock absorption module and hod shock absorption module using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170608

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180320

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180322

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180425

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181002

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181015

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6428160

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150